JP3076274B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JP3076274B2 JP3076274B2 JP18848997A JP18848997A JP3076274B2 JP 3076274 B2 JP3076274 B2 JP 3076274B2 JP 18848997 A JP18848997 A JP 18848997A JP 18848997 A JP18848997 A JP 18848997A JP 3076274 B2 JP3076274 B2 JP 3076274B2
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- ink
- lid member
- head
- head substrate
- pressurizing chamber
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドに関し、特に、インクジェットプリンタに用い、必
要に応じて圧電素子に電圧を印加して、その変形により
インク加圧室内に発生する圧力波でインク噴射口からイ
ンク滴を記録媒体に向けて吐出するインクジェットヘッ
ドに関する。
ッドに関し、特に、インクジェットプリンタに用い、必
要に応じて圧電素子に電圧を印加して、その変形により
インク加圧室内に発生する圧力波でインク噴射口からイ
ンク滴を記録媒体に向けて吐出するインクジェットヘッ
ドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のインクジェットヘッド
は、圧電材料から成るヘッド基板と、ヘッド基板を覆う
ふた部材とを接着して一体化し、さらに、インク噴射口
を持つノズルプレートをヘッド基板とふた部材に接着し
ている。インク噴射口やインク加圧室に接着剤が流れ込
むと、インク滴の吐出不良となり、印字不良の原因とな
る。
は、圧電材料から成るヘッド基板と、ヘッド基板を覆う
ふた部材とを接着して一体化し、さらに、インク噴射口
を持つノズルプレートをヘッド基板とふた部材に接着し
ている。インク噴射口やインク加圧室に接着剤が流れ込
むと、インク滴の吐出不良となり、印字不良の原因とな
る。
【０００３】インク噴射口やインク加圧室に接着剤が流
れ込むことを少なくする接着方法が特開平０６−１８３
０１１号公報に開示されている。この公報によると、半
硬化状態の接着剤の付いたノズルプレートを用いて仮接
着後、ノズルの穴加工を行い、その後、本硬化させてい
る。
れ込むことを少なくする接着方法が特開平０６−１８３
０１１号公報に開示されている。この公報によると、半
硬化状態の接着剤の付いたノズルプレートを用いて仮接
着後、ノズルの穴加工を行い、その後、本硬化させてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のインク
ジェットヘッドは、圧電材料からなるヘッド基板とふた
部材には材質差による表面状態差が存在し、各々が必要
とする接着剤層厚さが異なるが、より多くを必要とする
ヘッド基板での必要接着剤厚さをノズルプレートに形成
して接着するため、ふた部材部では接着剤が過剰とな
り、インク加圧室内部にはみ出したり、インク噴射口を
塞いだりすることが避けられないという問題点がある。
ジェットヘッドは、圧電材料からなるヘッド基板とふた
部材には材質差による表面状態差が存在し、各々が必要
とする接着剤層厚さが異なるが、より多くを必要とする
ヘッド基板での必要接着剤厚さをノズルプレートに形成
して接着するため、ふた部材部では接着剤が過剰とな
り、インク加圧室内部にはみ出したり、インク噴射口を
塞いだりすることが避けられないという問題点がある。
【０００５】本発明の目的は、接着剤がインク加圧室内
部にはみ出したり、インク噴射口を塞いだりすることを
防止し、製造時の歩留まりと印字品質とを向上させたイ
ンクジェットヘッドを提供することにある。
部にはみ出したり、インク噴射口を塞いだりすることを
防止し、製造時の歩留まりと印字品質とを向上させたイ
ンクジェットヘッドを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドは、複数のインク加圧室を有し圧電材料から成る
ヘッド基板と、前記ヘッド基板を覆うふた部材とに、複
数のインク噴射口を形成したノズルプレートを接着し、
前記インク加圧室を圧電効果で変形させて前記インク噴
射口からインク滴を吐出させるインクジェットヘッドに
おいて、前記ふた部材が余剰接着剤を吸収するように変
形する構造であることを特徴とする本発明のインクジェ
ットヘッドは、複数のインク加圧室を有し圧電材料から
成るヘッド基板と、前記ヘッド基板を覆うふた部材と
に、複数のインク噴射口を形成したノズルプレートを接
着し、前記インク加圧室を圧電効果で変形させて前記イ
ンク噴射口からインク滴を吐出させるインクジェットヘ
ッドにおいて、前記ふた部材の前記ノズルプレート近傍
に前記インク噴射口並び方向の溝を設けるようにしても
よい。
ヘッドは、複数のインク加圧室を有し圧電材料から成る
ヘッド基板と、前記ヘッド基板を覆うふた部材とに、複
数のインク噴射口を形成したノズルプレートを接着し、
前記インク加圧室を圧電効果で変形させて前記インク噴
射口からインク滴を吐出させるインクジェットヘッドに
おいて、前記ふた部材が余剰接着剤を吸収するように変
形する構造であることを特徴とする本発明のインクジェ
ットヘッドは、複数のインク加圧室を有し圧電材料から
成るヘッド基板と、前記ヘッド基板を覆うふた部材と
に、複数のインク噴射口を形成したノズルプレートを接
着し、前記インク加圧室を圧電効果で変形させて前記イ
ンク噴射口からインク滴を吐出させるインクジェットヘ
ッドにおいて、前記ふた部材の前記ノズルプレート近傍
に前記インク噴射口並び方向の溝を設けるようにしても
よい。
【０００７】本発明のインクジェットヘッドは、前記溝
は少なくとも前記インク噴射口の存在する範囲にあるよ
うにしてもよい。
は少なくとも前記インク噴射口の存在する範囲にあるよ
うにしてもよい。
【０００８】本発明のインクジェットヘッドは、前記溝
は前記ふた部材の前記ヘッド基板に対する面とは反対側
にあるようにしてもよい。
は前記ふた部材の前記ヘッド基板に対する面とは反対側
にあるようにしてもよい。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
て図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】図１は本発明のインクジェットヘッドの分
解斜視図、図２はインクジェットヘッドの加圧室長手方
向の断面図である。
解斜視図、図２はインクジェットヘッドの加圧室長手方
向の断面図である。
【００１１】インクジェットヘッド１は、圧電材料から
なり相互に平行な複数の細長いインク加圧室６を有する
ヘッド基板２と、インク加圧室６全体を覆うふた部材４
と、インク噴射口８が設けられたノズルプレート３と、
インク加圧室６にインクを供給するインク供給室５から
構成される。
なり相互に平行な複数の細長いインク加圧室６を有する
ヘッド基板２と、インク加圧室６全体を覆うふた部材４
と、インク噴射口８が設けられたノズルプレート３と、
インク加圧室６にインクを供給するインク供給室５から
構成される。
【００１２】ヘッド基板２は圧電セラミック等の圧電材
料からなり、ベース１１に取り付けられている。また、
ヘッド基板２はインクジェットヘッド１の基本的な構成
要素となっているので、インク加圧室６を形成し、また
インク供給室５を取り付けられるように充分な大きさが
確保されている。
料からなり、ベース１１に取り付けられている。また、
ヘッド基板２はインクジェットヘッド１の基本的な構成
要素となっているので、インク加圧室６を形成し、また
インク供給室５を取り付けられるように充分な大きさが
確保されている。
【００１３】ヘッド基板２の表面に形成された略円弧状
のインク加圧室６は、印字用のインク（図示略）を内部
に貯留し、所定の圧力を発生させてインクを外部に噴出
させるためのものである。また、インク加圧室６の両側
には、圧電材料からなる壁を隔ててダミー溝７が形成さ
れている。即ち、インク加圧室６とダミー溝７は一つお
きに交互に形成されている。このダミー溝７は、圧電効
果によるインク加圧室６の体積変化を容易とするための
ものである。またダミー溝７は、インク供給口１０から
インクが侵入しないように、インク加圧室６より短く形
成される。
のインク加圧室６は、印字用のインク（図示略）を内部
に貯留し、所定の圧力を発生させてインクを外部に噴出
させるためのものである。また、インク加圧室６の両側
には、圧電材料からなる壁を隔ててダミー溝７が形成さ
れている。即ち、インク加圧室６とダミー溝７は一つお
きに交互に形成されている。このダミー溝７は、圧電効
果によるインク加圧室６の体積変化を容易とするための
ものである。またダミー溝７は、インク供給口１０から
インクが侵入しないように、インク加圧室６より短く形
成される。
【００１４】また、ヘッド基板２の上には、インク加圧
室６のほぼ全体を覆うようにふた部材４が接着されてい
る。このふた部材４はインク加圧室６を覆うことにより
インク加圧室６を密閉空間とし、インクを確実に噴出さ
せるために設けられている。ふた部材４に設けられた分
離溝９は、ダミー溝７と同様に、圧電効果によるインク
加圧室６の体積変化を容易とするためのものである。ふ
た部材４とインク加圧室６の一端部には印字用のインク
が噴出するインク噴射口８が形成されたノズルプレート
３が接着されている。ふた部材４には、ふた部材４のヘ
ッド基板２と接着した面と反対面のノズルプレート３側
の端近傍の少なくともインク噴射口８の存在する範囲に
インク噴射口８並び方向の溝１８が設けられている。
室６のほぼ全体を覆うようにふた部材４が接着されてい
る。このふた部材４はインク加圧室６を覆うことにより
インク加圧室６を密閉空間とし、インクを確実に噴出さ
せるために設けられている。ふた部材４に設けられた分
離溝９は、ダミー溝７と同様に、圧電効果によるインク
加圧室６の体積変化を容易とするためのものである。ふ
た部材４とインク加圧室６の一端部には印字用のインク
が噴出するインク噴射口８が形成されたノズルプレート
３が接着されている。ふた部材４には、ふた部材４のヘ
ッド基板２と接着した面と反対面のノズルプレート３側
の端近傍の少なくともインク噴射口８の存在する範囲に
インク噴射口８並び方向の溝１８が設けられている。
【００１５】また、圧電材料からなるヘッド基板２に対
する電気的接続のために、電気的パターンが形成され外
部との接続用のコネクタ１２が取り付けてあるベース１
１にヘッド基板２が接着されている。そして、ボンディ
ングワイヤ１３によってヘッド基板２とベース１１が接
続され、さらにボンディングワイヤ１３に保護のシール
ド１４が施されている。
する電気的接続のために、電気的パターンが形成され外
部との接続用のコネクタ１２が取り付けてあるベース１
１にヘッド基板２が接着されている。そして、ボンディ
ングワイヤ１３によってヘッド基板２とベース１１が接
続され、さらにボンディングワイヤ１３に保護のシール
ド１４が施されている。
【００１６】図３は図２のＸ−Ｘ断面図、図４は図３に
示すインクジェットヘッド１に電圧が加えられ、インク
加圧室６が変形している状態を示す断面図である。
示すインクジェットヘッド１に電圧が加えられ、インク
加圧室６が変形している状態を示す断面図である。
【００１７】インク加圧室６の内部には、圧電材料を駆
動するための電極１５ａ、１５ｂ、１５ｃが設けられて
いる。一方、ヘッド基板２の上面には電極は装備されて
いない。即ち、上面にマスキングを施してインク加圧室
６の内部にのみ電極１５ａ、１５ｂ、１５ｃを形成し、
その後マスキングを剥がしても良いし、全面に電極１５
ａ、１５ｂ、１５ｃを形成した後、上面をラッピングす
ることにより、上面に付いた電極材料を取り去るように
しても良い。
動するための電極１５ａ、１５ｂ、１５ｃが設けられて
いる。一方、ヘッド基板２の上面には電極は装備されて
いない。即ち、上面にマスキングを施してインク加圧室
６の内部にのみ電極１５ａ、１５ｂ、１５ｃを形成し、
その後マスキングを剥がしても良いし、全面に電極１５
ａ、１５ｂ、１５ｃを形成した後、上面をラッピングす
ることにより、上面に付いた電極材料を取り去るように
しても良い。
【００１８】さらに、インク加圧室６内には、電極１５
ａ、１５ｂ、１５ｃの劣化を防止すると共に、インクに
電流が流れないようにするための保護層１６が形成され
ている。水性のインクは導電性があり、電流が流れると
固体分が析出して堆積し、インク噴出口８を詰まらせた
りしてインクジェットヘッド１の信頼性を損なうからで
ある。このための保護層１６は、絶縁性のものでインク
に浸されず、電極１５ａ、１５ｂ、１５ｃにも悪影響を
与えないものであれば良い。
ａ、１５ｂ、１５ｃの劣化を防止すると共に、インクに
電流が流れないようにするための保護層１６が形成され
ている。水性のインクは導電性があり、電流が流れると
固体分が析出して堆積し、インク噴出口８を詰まらせた
りしてインクジェットヘッド１の信頼性を損なうからで
ある。このための保護層１６は、絶縁性のものでインク
に浸されず、電極１５ａ、１５ｂ、１５ｃにも悪影響を
与えないものであれば良い。
【００１９】ＳiＯ2等をＣＶＤやスパッタで積層しても
良いし、他の材料をコーティングしても良い。
良いし、他の材料をコーティングしても良い。
【００２０】また、ヘッド基板２には、圧電材料に形成
された壁１７ａ、１７ｂを圧電素子として機能させるた
めに、インク加圧室６の両側のダミー溝７ａ、７ｂに形
成された電極１５ａ、１５ｃからインク加圧室６に形成
された電極１５ｂ方向（図４中の矢印方向）に電圧が加
えられて分極処理がなされるようになっている。
された壁１７ａ、１７ｂを圧電素子として機能させるた
めに、インク加圧室６の両側のダミー溝７ａ、７ｂに形
成された電極１５ａ、１５ｃからインク加圧室６に形成
された電極１５ｂ方向（図４中の矢印方向）に電圧が加
えられて分極処理がなされるようになっている。
【００２１】次にインクジェットヘッド１の製造方法に
ついて図１を参照して説明する。
ついて図１を参照して説明する。
【００２２】インク加圧室６は、ダイシングブレード
（図示略、半径ほぼ２インチ）にて形成される。実際に
はまず、圧電材料からなるヘッド基板２の上面からイン
ク加圧室６の深さ（ほぼ２００μｍ）まてダイシングブ
レードで垂直下方に加工を進める。その後必要に応じて
インク加圧室６の長さ（図１の左右方向）分平行にダイ
シングブレードを移動させて加工し、その後垂直上方に
持ち上げる。このようにすることにより、インク加圧室
６の前後に一定の曲率（半径ほぼ２インチ）を持った傾
斜面が形成される。
（図示略、半径ほぼ２インチ）にて形成される。実際に
はまず、圧電材料からなるヘッド基板２の上面からイン
ク加圧室６の深さ（ほぼ２００μｍ）まてダイシングブ
レードで垂直下方に加工を進める。その後必要に応じて
インク加圧室６の長さ（図１の左右方向）分平行にダイ
シングブレードを移動させて加工し、その後垂直上方に
持ち上げる。このようにすることにより、インク加圧室
６の前後に一定の曲率（半径ほぼ２インチ）を持った傾
斜面が形成される。
【００２３】インク噴出口８の近傍のノズルプレート３
に連通する空間の加工に関しては、インク噴出ロ８の内
径に合わせた適当な深さのところで溝列と直角方向に切
断する。例えば、図２を参照すると、ダイシングブレー
ドで加工されたインク加圧室６の最左端部を切断する
と、ふた部材４とヘッド基板２によって形成されるイン
ク加圧室６の空間は浅いものとなる。一方、インク加圧
室６の中央方向に近い側で切断するほど深い空間が形成
される。
に連通する空間の加工に関しては、インク噴出ロ８の内
径に合わせた適当な深さのところで溝列と直角方向に切
断する。例えば、図２を参照すると、ダイシングブレー
ドで加工されたインク加圧室６の最左端部を切断する
と、ふた部材４とヘッド基板２によって形成されるイン
ク加圧室６の空間は浅いものとなる。一方、インク加圧
室６の中央方向に近い側で切断するほど深い空間が形成
される。
【００２４】ヘッド基板２とふた部材４を接着して一体
化したものに、ノズルプレート３に接着剤を付けたもの
を押し当てて接着する。ヘッド基板２とふた部材４には
材質差による表面状態差が存在し、各々が必要とする接
着剤層厚さが異なり、ヘッド基板２の方が多くを要す
る。ふた部材４に接着するには過剰な接着剤は、ふた部
材４に設けられた溝１８によるふた部材４の剛性低下
で、ふた部材４の溝１８とノズルプレート３間が曲がっ
て接着されることにより吸収される。その結果、余剰接
着剤がインク噴射口８に入って詰まったり、インク加圧
室６内部にはみ出したりすることを防止することができ
る。
化したものに、ノズルプレート３に接着剤を付けたもの
を押し当てて接着する。ヘッド基板２とふた部材４には
材質差による表面状態差が存在し、各々が必要とする接
着剤層厚さが異なり、ヘッド基板２の方が多くを要す
る。ふた部材４に接着するには過剰な接着剤は、ふた部
材４に設けられた溝１８によるふた部材４の剛性低下
で、ふた部材４の溝１８とノズルプレート３間が曲がっ
て接着されることにより吸収される。その結果、余剰接
着剤がインク噴射口８に入って詰まったり、インク加圧
室６内部にはみ出したりすることを防止することができ
る。
【００２５】次に、動作について図２〜図４を参照して
説明する。
説明する。
【００２６】まず、インクを噴出させたいインク噴出口
８に対応するインク加圧室６に形成された電極１５ｂを
共通電極とし、インク加圧室６の左右両側のダミー溝７
ａ、７ｂに形成された電極１５ａ、１５ｃを個別電極と
してある。そして、電極１５ａ及び１５ｃと電極１５ｂ
の相互間に、駆動のための電圧が供給される（図３参
照）。電圧が加えられると圧電材料の壁１７ａ、１７ｂ
は、高さ方向には縮み、幅方向には膨らむ（図４参
照）。変形前と変形後の体積変化によりインク加圧室６
内には、圧力波が発生し、圧力波はインク噴出口８まで
伝搬し、インク噴出口８からインクが噴出する。分離溝
９ａ、９ｂは、圧電効果によるインク加圧室６の体積変
化を容易とする。
８に対応するインク加圧室６に形成された電極１５ｂを
共通電極とし、インク加圧室６の左右両側のダミー溝７
ａ、７ｂに形成された電極１５ａ、１５ｃを個別電極と
してある。そして、電極１５ａ及び１５ｃと電極１５ｂ
の相互間に、駆動のための電圧が供給される（図３参
照）。電圧が加えられると圧電材料の壁１７ａ、１７ｂ
は、高さ方向には縮み、幅方向には膨らむ（図４参
照）。変形前と変形後の体積変化によりインク加圧室６
内には、圧力波が発生し、圧力波はインク噴出口８まで
伝搬し、インク噴出口８からインクが噴出する。分離溝
９ａ、９ｂは、圧電効果によるインク加圧室６の体積変
化を容易とする。
【００２７】噴出した分のインクは、インク供給口１０
（図２参照）を通ってインク供給室５から補給される。
インク供給室５へは図示しない外部のインクタンクから
補給されるようになっている。
（図２参照）を通ってインク供給室５から補給される。
インク供給室５へは図示しない外部のインクタンクから
補給されるようになっている。
【００２８】ここで、分極及び電圧印加方向は、上記記
載の方向に限定されるものではなく、上記と逆でも良
い。また、他の伸縮モード（圧電素子の分極方向と駆動
のための電圧印加方向が同じである）動作のインクジェ
ットヘッド（分極方向と電圧印加方向が圧電材の厚さ方
向である）や、圧電素子の分極方向と駆動のための電圧
印加方向が直角方向であるせん断モード（電圧印加方向
は、本実施の形態で示した方向と同じで、分極方向が圧
電材料の厚さ方向である、等）での動作のインクジェッ
トヘッドでも良い。
載の方向に限定されるものではなく、上記と逆でも良
い。また、他の伸縮モード（圧電素子の分極方向と駆動
のための電圧印加方向が同じである）動作のインクジェ
ットヘッド（分極方向と電圧印加方向が圧電材の厚さ方
向である）や、圧電素子の分極方向と駆動のための電圧
印加方向が直角方向であるせん断モード（電圧印加方向
は、本実施の形態で示した方向と同じで、分極方向が圧
電材料の厚さ方向である、等）での動作のインクジェッ
トヘッドでも良い。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ヘッド
基板とふた部材を接着して一体化したものに、ノズルプ
レートに接着剤を付けたものを押し当てて接着する際
に、ふた部材に接着するには過剰な接着剤は、ふた部材
に設けられた溝によるふた部材の剛性低下で、ふた部材
の溝部とノズルプレート間が曲がって接着されることに
より吸収されるため、余剰接着剤がインク噴射口８に入
って詰まったり、インク加圧室６内部にはみ出したりす
ることを防止できるという効果がある。
基板とふた部材を接着して一体化したものに、ノズルプ
レートに接着剤を付けたものを押し当てて接着する際
に、ふた部材に接着するには過剰な接着剤は、ふた部材
に設けられた溝によるふた部材の剛性低下で、ふた部材
の溝部とノズルプレート間が曲がって接着されることに
より吸収されるため、余剰接着剤がインク噴射口８に入
って詰まったり、インク加圧室６内部にはみ出したりす
ることを防止できるという効果がある。
【図１】本発明のインクジェットヘッドの分解斜視図で
ある。
ある。
【図２】インク加圧室長手方向の断面図である。
【図３】図２のＸ−Ｘ断面図である。
【図４】電圧が加えられてインク加圧室が変形している
状態を示す断面図である。
状態を示す断面図である。
１ インクジェットヘッド ２ ヘッド基板 ３ ノズルプレート ４ ふた部材 ５ インク供給室 ６ インク加圧室 ７、７ａ、７ｂ ダミー溝 ８ インク噴射口 ９、９ａ、９ｂ 分離溝 １０ インク供給口 １１ ベース １２ コネクタ １３ ボンディングワイヤ １４ シールド １５ａ、１５ｂ、１５ｃ 電極 １６ 保護層 １７ａ、１７ｂ 壁 １８ 溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−48132（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−117230（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 2/16
Claims (4)
- 【請求項１】 複数のインク加圧室を有し圧電材料から
成るヘッド基板と、前記ヘッド基板を覆うふた部材と
に、複数のインク噴射口を形成したノズルプレートを接
着し、前記インク加圧室を圧電効果で変形させて前記イ
ンク噴射口からインク滴を吐出させるインクジェットヘ
ッドにおいて、前記ふた部材が余剰接着剤を吸収するよ
うに変形する構造であることを特徴とするインクジェッ
トヘッド。 - 【請求項２】 複数のインク加圧室を有し圧電材料から
成るヘッド基板と、前記ヘッド基板を覆うふた部材と
に、複数のインク噴射口を形成したノズルプレートを接
着し、前記インク加圧室を圧電効果で変形させて前記イ
ンク噴射口からインク滴を吐出させるインクジェットヘ
ッドにおいて、前記ふた部材の前記ノズルプレート近傍
に前記インク噴射口並び方向の溝を設けたことを特徴と
するインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 前記溝は少なくとも前記インク噴射口の
存在する範囲にあることを特徴とする請求項２記載のイ
ンクジェットヘッド。 - 【請求項４】 前記溝は前記ふた部材の前記ヘッド基板
に対する面とは反対側にあることを特徴とする請求項２
または３記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18848997A JP3076274B2 (ja) | 1997-07-14 | 1997-07-14 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18848997A JP3076274B2 (ja) | 1997-07-14 | 1997-07-14 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1134318A JPH1134318A (ja) | 1999-02-09 |
| JP3076274B2 true JP3076274B2 (ja) | 2000-08-14 |
Family
ID=16224633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18848997A Expired - Fee Related JP3076274B2 (ja) | 1997-07-14 | 1997-07-14 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3076274B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002029049A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-01-29 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
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1997
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