JP3053256B2 - ウェハのスライスベース剥離・洗浄方法及び装置並びにウェハの処理搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体インゴット等の
ワークからスライシング装置で切り出されたウエハを剥
離・洗浄する方法及び装置に関し、さらには、上記スラ
イシング装置から剥離・洗浄装置へウェハを搬送し、か
つ剥離・洗浄装置からウェハを搬出して所定の収納容器
内に収納するウェハ処理搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、高脆性材料である半導体インゴッ
ト（例えばシリコン単結晶）等のワークをスライシング
装置でスライスすることにより、薄肉のウェハを切り出
すことが行われている。このようにして切り出されたウ
ェハは、面取り加工等の諸工程を経て製品として市場に
提供される。

【０００３】しかし、上記ワークの切断終了時には切刃
に作用する切断抵抗が急に開放され、ワークの最終切断
部分が欠け易いため、これを防ぐために上記ワークにカ
ーボン等からなるスライスベースがワーク軸方向に沿っ
て固着されることが多く、この場合には、上記面取り工
程に移る前に、切り出されたウェハに付着したスライス
ベースを予めウェハから剥離させておく必要がある。ま
た、この面取り加工には緻密な精度が要求されるため、
ウェハの基準面を正確に位置決めするためにこのウェハ
表面に付着した微細な異物を除去する洗浄作業も行う必
要がある。

【０００４】そこで従来は、上記スライスベースととも
に切り出されたウェハをカセット等の専用収納容器に複
数枚収容し、このカセットごと水槽内に浸漬し、これに
超音波振動を与えることにより上記ウェハの表面に付着
した異物を取り除いた後、この水槽からウェハを引上
げ、このウェハからスライスベースを剥離するといった
作業が行われている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来方法
では、ウェハの剥離工程及び洗浄工程が全く独立して行
われるので、その分工程時間が長く、また、剥離装置及
び洗浄装置を別個に設けるために処理装置全体の所要ス
ペースも大きなものとなる。

【０００６】さらに、上記方法では、ウェハの剥離・洗
浄を行う前にスライシング装置で切り出されたウェハを
１枚ずつ手作業でカセット内に入れる必要があり、か
つ、剥離・洗浄を終了した後も、各ウェハを手作業で面
取り装置まで運び込まなければならないので人的負担が
大きく、その自動化が大きな課題とされている。

【０００７】本発明は、このような事情に鑑み、ウェハ
の剥離・洗浄に要する時間及び装置の設置スペースを削
減することができる方法及び装置を提供し、さらには、
ウェハの処理搬送を自動的に行うことにより省力化、省
人化を果たすことができる装置を提供することを目的と
する。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、スライシング
装置で切り出されたウェハからこのウェハの周縁部に接
着されたスライスベースを剥離し、かつこのウェハを洗
浄するための方法であって、上記ウェハを熱水内に入
れ、この熱水内で、当該熱水内に設けたスライスベース
剥離手段により上記ウェハからスライスベースを剥離す
る剥離工程と、この熱水に超音波振動を与えることによ
り上記ウェハの洗浄を行う洗浄工程とを行うものである
（請求項１）。

【０００９】また本発明は、上記方法を実施するための
装置として、熱水を収容する熱水槽と、上記ウェハを略
水平状態で保持するウェハ保持手段と、このウェハ保持
手段を上記熱水槽内の水中位置及び上記熱水槽よりも上
方の水上位置との間で昇降させる昇降手段と、上記ウェ
ハ及びウェハ保持手段が水中位置にある状態でウェハか
らスライスベースを剥離するスライスベース剥離手段
と、上記熱水槽に超音波振動を与える振動発生手段とを
備えたものである（請求項２）。

【００１０】ここで、上記スライスベース剥離手段とし
ては、上記熱水槽内に設けられ、上記ウェハ及びウェハ
保持手段が水中位置まで下降した状態でウェハとスライ
スベースとの境界部分近傍に下方から当接する境界部分
支持部材と、この境界部分支持部材が上記境界部分近傍
に当接した状態で上記スライスベースを上方から押圧す
る押圧手段とを備えたものが好適である（請求項３）。

【００１１】また本発明は、上記スライスベース剥離・
洗浄装置と、スライシング装置で切り出されたウェハを
受け取り、上記スライスベース剥離・洗浄装置において
水上位置に位置するウェハ保持手段内に搬入するウェハ
搬入手段と、上記スライスベース剥離・洗浄装置におい
て水上位置に位置するウェハ保持手段からウェハを搬出
し、このウェハをウェハ収納容器内に入れるウェハ収納
搬送手段とを備えたものである（請求項４）。

【００１２】さらに、このようなウェハの処理搬送装置
において、上記ウェハ収納搬送手段により搬送されるウ
ェハに乾燥エアを吹き付けるウェハ乾燥手段を備えるこ
とにより、後述のようなより優れた効果が得られる（請
求項５）。

【００１３】

【作用】請求項１記載の方法によれば、スライスベース
付のウェハを熱水槽内に入れることにより、接着剤を軟
化させてスライスベースを剥離するスライスベース剥離
工程と、上記熱水槽に超音波振動を与えてウェハ表面を
洗浄するウェハ洗浄工程とを単一の熱水槽内で行うこと
ができる。

【００１４】具体的に、請求項２記載の装置によれば、
ウェハ保持手段でウェハを水平に保持した状態でこのウ
ェハ保持手段を熱水槽内の水中位置まで下降させ、この
状態でスライスベース剥離手段によりウェハからスライ
スベースを剥離することができるとともに、上記熱水槽
に振動発生手段で超音波振動を与えることにより、ウェ
ハ表面を洗浄することができ、その後ウェハ保持手段を
水上位置まで上昇させることにより、熱水中からウェハ
を取り出すことができる。

【００１５】より具体的に、請求項３記載の装置によれ
ば、ウェハ及びウェハ保持手段が水中位置まで下降した
状態でウェハとスライスベースとの境界部分近傍に境界
部分支持部材が下方から当接するので、この状態で押圧
手段によりスライスベースを上方から押圧することによ
り、上記境界部材支持部材を支点としてスライスベース
をウェハから折り取ることができる。

【００１６】また、請求項４記載の装置によれば、ウェ
ハ搬入手段により、スライシング装置で切り出されたウ
ェハを自動的に上記スライスベース剥離・洗浄装置にお
いて水上位置に位置するウェハ保持手段内に搬入するこ
とができる。そして、この装置でスライスベースの剥離
及びウェハの洗浄を行った後、上記ウェハ保持手段を水
上位置に戻した状態で、ウェハ収納搬送手段により、上
記ウェハ保持手段からウェハを搬出してウェハ収納容器
内に収納することができる。このように収納したウェハ
はウェハ収納容器ごと面取り装置等へ運び込むことがで
きる。

【００１７】さらに、請求項５記載の装置によれば、熱
水槽から搬出されて濡れているウェハに対し、その収納
搬送中においてウェハ乾燥手段により乾燥エアを吹き付
けることにより、ウェハを乾燥させた状態で上記ウェハ
収納容器内に収納することができる。

【００１８】

【実施例】本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。

【００１９】図５，６において、１０はスライシング装
置であり、このスライシング装置１０近傍にウェハ処理
搬送装置が設けられている。このウェハ処理搬送装置
は、ウェハ搬送装置（ウェハ搬入手段を構成）１２及び
ウェハ処理装置１４を備えている。

【００２０】上記スライシング装置１０は、中央に円形
の貫通穴をもつドーナツ状の薄板からなるブレード１６
を備えている。このブレード１６は、図略のテンション
ディスクの周縁部に装着され、このテンションディスク
とともに図５の矢印Ａ０方向に高速で回転駆動されるよ
うになっており、このブレード１６の内周縁部にはダイ
ヤモンド粒子等からなる内周刃１７が固着されている。

【００２１】また、このスライシング装置１０は、上記
ブレード１０の面に対して直交する方向に延びるスライ
ドテーブル１８を備えている。このスライドテーブル１
８上には、ワーク保持部材２０がスライド可能に支持さ
れ（図６矢印Ａ１）、このワーク保持部材２０によって
シリコン製半導体インゴット等からなるワーク２２が保
持されている。そして、このワーク２２がワーク保持部
材２０で保持されたまま上記ブレード１６の中央貫通穴
を僅かに突き抜ける位置まで送り出され、この状態で上
記ブレード１６を高速回転させながら上記スライドテー
ブル１８及びワーク保持部材２０全体を上記ブレード１
６に対してその半径方向（図５の左右方向）に移動させ
ることにより、上記ワーク２２から内周刃１７によって
ウェハＷを切り出せるようになっている。

【００２２】ここで、ワーク２２の切断送り方向下流側
の外周部分、すなわち、ワーク２２において内周刃１７
で最終的に切断される部分には、カーボン等からなるス
ライスベースＳＢが接着剤で接着されており、このスラ
イスベースＳＢの固着により、ワーク２２の切断終了時
にブレード１６に作用する切断抵抗が急に開放されて上
記ワーク２２の最終切断部分が欠けることが防がれてい
る。従って、上記ウェハＷの切り出しの際、このウェハ
Ｗの周縁部の特定個所にはスライスされたスライスベー
スＳＢが付着した状態となる。

【００２３】上記スライドテーブル１８の側方には、こ
れと並行してウェハ回収装置２４が設けられている。こ
のウェハ回収装置２４は、上記スライドテーブル１８と
ともに上記切断送り方向（すなわち図５の左右方向）に
移送される基台２６を備え、この基台２６上に前後一対
（図６では左右一対）の支持板２８が立設されており、
両支持板２８にわたって、上下一対の案内ロッド３０が
設けられている。そして、これらのロッド３０に貫通さ
れる状態でスライド部材３２が配置されている。このス
ライド部材３２には、後側の支持板２８に固定されたス
ライド駆動用シリンダ３４のロッド３５の先端が固定さ
れており、このスライド駆動用シリンダ３４の伸縮によ
り上記スライド部材３２が案内ロッド３０に沿ってスラ
イド駆動されるようになっている。

【００２４】このスライド部材３２の側面には、ブレー
ド１６の半径方向に伸長するウェハ回収シリンダ３６が
設けられ、そのロッド先端にウェハ回収アーム３７が連
結されている。このウェハ回収アーム３７は、上記ウェ
ハ回収シリンダ３６から上記ブレード１６の中央貫通穴
を通ってこのブレード１６の裏側（図６では左側）に回
り込む形状を有しており、このウェハ回収アーム３７の
先端部にウェハ回収パッド３８が固定されている。

【００２５】このウェハ回収パッド３８は、図５に示す
ようなコ字状の正面視形状を有し、このウェハ回収パッ
ド３８においてウェハＷに対向する側の面には複数のエ
ア吸引穴３９が設けられている。そして、これらのエア
吸引穴３９からエアが吸引されることによって、ウェハ
回収パッド３８にウェハＷが吸着されるようになってい
る。

【００２６】なお、このウェハ回収装置２４によるウェ
ハ回収要領は後に詳述する。

【００２７】上記ウェハ搬送装置１２は、基台４０上に
立設されたコラム４１を備え、このコラム４１の上端に
水平方向、詳しくは上記ブレード１６と平行な方向に延
びるビーム４２が設けられている。このビーム４２の両
端には、上記ブレード１６に向かって突出する支持ブラ
ケット４４が固定され、両支持ブラケット４４に、ロッ
ドレスシリンダ４６及び案内ロッド４８の両端部が固定
されている。そして、上記ロッドレスシリンダ４６の作
動により、ウェハ搬送部材５０全体が上記案内ロッド４
８に沿って図５矢印Ａ３方向に駆動されるようになって
いる。

【００２８】このウェハ搬送部材５０は、上記ロッドレ
スシリンダ４６及び案内ロッド４８に貫通された状態で
ロッドレスシリンダ４６により駆動される移動ブロック
５１を備えている。この移動ブロック５１には、上下方
向に延びる支持板５２の上端部が固定され、この支持板
５２の下半部に、上下方向に作動するロッドレスシリン
ダ５３が固定されている。このロッドレスシリンダ５３
には、上下方向に延びる昇降板５４が連結され、この昇
降板５４が上記ロッドレスシリンダ５３によって昇降駆
動（図５矢印Ａ４参照）されるようになっており、この
昇降板５４の下端部にワーク保持装置５６が設けられて
いる。

【００２９】このワーク保持装置５６の構造を図７，８
に示す。図において、昇降板５４の下端部にはブラケッ
ト５７を介して旋回シリンダ５８が水平状態で取付けら
れ、この旋回シリンダ５８の旋回ロッド５９にウェハ吸
着装置６０が固定されている。このウェハ吸着装置６０
は、吸着パッド６２を備え、この吸着パッド６２の中央
からエアを吸引することにより、同吸着パッド６２がウ
ェハＷを吸着するように構成されている。そして、上記
旋回ロッド５９の旋回により、このウェハ吸着装置６０
の吸着パッド６２がブレード１６側を向く状態（図５〜
図８の実線に示す状態）と、吸着パッド６２が下側を向
く状態（図７，８二点鎖線に示す状態）とに方向切換さ
れるようになっている。

【００３０】なお、このウェハ搬送装置１２によるウェ
ハＷの搬送手順は後に詳述する。

【００３１】次に、ウェハ処理装置１４を図１〜図４に
基づいて説明する。

【００３２】このウェハ処理装置１４は、ウェハの搬送
方向上流側（図１，２では右側）から順に、ウェハ搬入
部（ウェハ搬入手段を構成）６６、剥離・洗浄部（スラ
イスベース剥離・洗浄装置）６７、及びウェハ収納搬送
部６８を備え、各部６６〜６８は同一基板７０上に設置
されている。

【００３３】ウェハ搬入部６６は、上記基板７０上に立
設された左右一対のガイド板７２を備えている。両ガイ
ド板７２は、上記ウェハＷの直径よりも小さい離間間隔
をおいて互いに平行な状態で設置されており、各ガイド
板７２の上端には、例えば合成樹脂等、上記ウェハＷを
傷付けることのない程度の柔らかさをもつ材料からなる
ガイド部７１が固定されている。

【００３４】なお、図２では便宜上手前側（図１では下
側）のガイド板７２を取り外した状態を描いている。

【００３５】両ガイド板７２の間には、これらと平行な
状態でロッドレスシリンダ７６が配置され、このロッド
レスシリンダ７６の両側方に案内ロッド７８が配置され
ている。これらロッドレスシリンダ７６及び案内ロッド
７８の前後両端部（図１，２では左右両端部）は、上記
基板７０上に立設された支持板７４に固定されている。

【００３６】上記ロッドレスシリンダ７６及び案内ロッ
ド７８には、これらに貫通される状態で図３にも示すよ
うな進退ブロック８４が装着されており、この進退ブロ
ック８４は上記ロッドレスシリンダ７６の作動で上記案
内ロッド７８に沿ってスライド駆動される。この進退ブ
ロック８４の上面には、連結板８０を介して押出し部材
８２が連結され、この押出し部材８０が上記進退ブロッ
ク８４と一体に前方向（図１の矢印Ａ５方向）にスライ
ドすることにより、上記ガイド部７１上に載置されたウ
ェハＷがこのガイド部７１に沿って剥離・洗浄部６７に
導入されるようになっている。

【００３７】剥離・洗浄部６７は、図４にも示すよう
に、上記基板７０上に設置された熱水槽８６を備え、こ
の熱水槽８６内に熱水８８が収容されている。この熱水
槽８６の底部には、この熱水槽８６に超音波振動を与え
るための超音波装置９０が装着されており、上記熱水槽
８６内には、熱水８８を常時一定温度に保つように、一
回の処理動作毎に熱水が補給されるようになっている。
この熱水８８の温度は、後に記すようなウェハＷの洗浄
を良好に行うことができ、かつ、ウェハＷにスライスベ
ースＳＢの接着に用いられている接着剤を軟化させるの
に十分な温度に設定されている。具体的に、上記接着剤
としてエポキシ樹脂等の熱軟化性樹脂が用いられている
場合には、熱水温度は３０〜６０℃が好適である。

【００３８】この熱水槽８６の近傍にはウェハ取扱装置
９２が設けられている。具体的に、上記熱水槽８６の片
側側方（図４では左方）には、この熱水槽８６からウェ
ハ収納搬送部６８の入口部分にまで至るロッドレスシリ
ンダ９６が配置され、このロッドレスシリンダ９６の上
下にこれと並行に案内ロッド９８が配置されており、こ
れらロッドレスシリンダ９６及び案内ロッド９８の前後
両端は前記基板７０上に立設された支持板９４に固定さ
れている。これらロッドレスシリンダ９６及び案内ロッ
ド９８には、これらに貫通される状態で移動ブロック１
００が装着されており、この移動ブロック１００が上記
ロッドレスシリンダ９６の作動で上記案内ロッド９８に
沿ってスライド駆動されるようになっている。

【００３９】この移動ブロック１００の上面には、基板
７０の幅方向略全域にわたって延びるビーム１０２の片
側端部が固定されており、このビーム１０２の略中央部
には昇降駆動用シリンダ（昇降手段）１０４が下向きに
装着されている。そして、この昇降駆動用シリンダ１０
４の伸縮ロッド１０５の下端部にウェハ保持部材（ウェ
ハ保持手段）１０６が固定されている。

【００４０】このウェハ保持部材１０６は、水平な上部
材１０８及び下部材１１０と、両部材１０８，１１０を
垂直方向に連結する連結部材１０９とからなり、上部材
１０８と下部材１１０との離間寸法はウェハＷの厚み寸
法よりも十分大きく設定されている。

【００４１】上部材１０８は、装置幅方向に延びる１本
の縦部材１０８ｂと、この縦部材１０８ｂと直交する２
本の横部材１０８ａとからなるＨ字状の平面視形状を有
している。同様に下部材１１０も縦部材１１０ｂと横部
材１１０ａとからなる同等の形状を有しているが、図４
に示すように、各横部材１１０ａの上面はウェハＷを点
接触で支持するために円筒状に形成されている。連結部
材１０９は、図４に示すように側面視コ字状の形状をな
し、移動ブロック１００に近い側の縦部材１０８ａ，１
１０ａ同士を連結しており、より詳しくは、両縦部材１
０８ａ，１１０ａにおいて上記縦部材１０８ｂよりも後
側（図１では右側）よりの部分同士を連結している。

【００４２】このような構造において、上記昇降駆動用
シリンダ１０４が伸縮作動することにより、ウェハ保持
部材１０６全体が、図４に実線で示すように上記熱水槽
８６の上方に位置して上記ガイド部７１と同等の高さレ
ベルにある水上位置と、同図二点鎖線で示すような熱水
槽８６内の水中位置との間で昇降駆動されるようになっ
ている。

【００４３】さらに、上記熱水槽８６内において、ウェ
ハ保持部材１０６に保持されたウェハＷとスライスベー
スＳＢとの境界部分近傍に対応する位置には、境界部材
支持板８７が突設されており、上記ウェハ保持部材１０
６が上記水中位置にある状態で上記境界部分近傍に境界
部材支持板８７の上端が下方から当接するようになって
いる。

【００４４】一方、上記ビーム１０２の先端部であっ
て、上記ウェハＷのスライスベースの直上方となる部分
には、下向きにスライスベース剥離シリンダ（押圧手
段）１１２が固定されており、このスライスベース剥離
シリンダ１１２が最も伸長した状態でその伸縮ロッド１
１４の下端部が上記スライスベースＳＢを上から押し下
げるように同シリンダ１１２のストロークが設定されて
いる。

【００４５】ウェハ収納搬送部６８は、左右一対のベル
トコンベア１１６を備え、両ベルトコンベア１１６の後
端部同士が水平軸１１８を介して連結されており、上記
ウェハ保持部材１０６に保持されたウェハＷは、ビーム
１０２とともに上記ベルトコンベア１１６の後端部まで
搬送されるようになっている。一方、基板７０上におい
て上記水平軸１１８の中央部下方に対応する位置にはコ
ンベア昇降用シリンダ１２０が上向きに載置され、この
コンベア昇降用シリンダ１２０の伸縮ロッド１２１の上
端部が上記水平軸１１８の中央部に連結されており、こ
のコンベア昇降用シリンダ１２０の伸縮動作により、両
ベルトコンベア１１６の上面が水上位置における上記ウ
ェハ保持部材１０６内のウェハＷよりも僅かに低くなる
ウェハ迎え位置と、両ベルトコンベア１１６の上面が上
記ウェハＷよりも僅かに高くなるウェハ拾い位置とに切
換えられるようになっている。

【００４６】上記基板７０上において、上記コンベア昇
降用シリンダ１２０のすぐ前方の位置には、旋回伸縮シ
リンダ１２２が上向きに載置されている。この旋回伸縮
シリンダ１２２は、伸縮動作及び旋回動作の双方を行う
旋回伸縮ロッドを備え、この旋回伸縮ロッドの上端部
に、ウェハＷを下から支持する形状のウェハ支持部材１
２４が固定されている。そして、上記旋回伸縮ロッドの
作動により、ウェハ支持部材１２４の位置が、ベルトコ
ンベア１１６上面よりも低い待機位置と、ベルトコンベ
ア１１６上面よりも高いウェハリフト位置とに切換えら
れ、かつ、このウェハリフト位置にある状態で上記旋回
伸縮ロッドが旋回動作を行うことにより、上記ウェハ支
持部材１２４が９０°の範囲で往復旋回駆動されるよう
になっている。

【００４７】両ベルトコンベア１１６の前端部が臨む位
置にはカセット（ウェハ収容容器）１２６が配置され、
このカセット１２６は、図外のエレベータ装置により昇
降駆動されるようになっている。このカセット１２６内
には、１枚のウェハＷを収納する棚が上下にわたって多
数段設けられており、各棚には、カセット１２６の上昇
時にこのカセット１２６とベルトコンベア１１６との干
渉を避けるための切欠１２８が設けられている。

【００４８】さらに、このカセット１２６の直上流側の
位置であって、両ベルトコンベア１１６を上下から挾む
位置には、装置幅方向に延びるエアブロー管１３１，１
３２が配設されている。上側のエアブロー管１３１にお
いて斜め下側後側の位置、及び下側のエアブロー管１３
２において斜め上側後側の位置にはエア噴射口が設けら
れ、ここから上記ベルトコンベア１１６上のウェハＷに
向けて乾燥エアが吹き付けられるようになっている。

【００４９】次に、以上記したスライシング装置及びウ
ェハ処理搬送装置の作用を説明する。

【００５０】まず、スライシング装置１０においては、
保持部材２０で保持された円柱状のワーク２２がスライ
ドテーブル１８に沿って前方（図６では左方）に割り出
され、このワーク２２の前端部がブレード１６の中央貫
通穴を僅かに貫く位置にワーク２２が位置決めされる。
そして、ブレード１６が回転した状態でこのブレード１
６に対してスライドテーブル１８が図５左方向に移動す
る（すなわち切断送りされる）ことにより、ワーク２２
前端部からウェハＷを切り出すスライシング動作が開始
される。

【００５１】そして、このスライシングが進行し、ブレ
ード１６の内周刃１７がワーク２２に接着されたスライ
スベースＳＢに到達した時点で一旦切断送りが止めら
れ、この状態でウェハ回収パッド３８が作動することに
より、このウェハ回収パッド３８に、切り出されつつあ
るウェハＷの表側面（図６では左側面）が吸着される。

【００５２】その後、切断送りが再開され、上記スライ
スベースＳＢも完全に切断された後は、ウェハ回収シリ
ンダ３６が収縮動作することにより、ワーク２２に対し
てウェハＷのみがウェハ回収パッド３８とともに上記切
断送りと逆の方向（図５では右方向）に搬送され、ブレ
ード１６の中央貫通穴に合致する位置に位置決めされ
る。この状態でスライド駆動用シリンダ３４が収縮動作
することにより、上記ウェハ回収パッド３８に保持され
たウェハＷがブレード１６の中央貫通穴を通ってブレー
ド１６よりも手前側（図６では右側）の位置まで搬送さ
れる。

【００５３】次に、ウェハ保持装置５６のウェハ保持パ
ッド６２がブレード１６側に向いた状態で、ウェハ搬送
部材５０が図５矢印Ａ３方向に駆動され、かつ、昇降板
５４が昇降駆動されることにより、上記ウェハ保持パッ
ド６２が上記ウェハ回収パッド３８に保持されたウェハ
Ｗと対向する位置に位置決めされ、この状態でウェハ保
持装置５６を作動させてウェハ保持パッド６２にウェハ
Ｗを吸着させるとともに、ウェハ回収パッド３８による
吸着を解除することにより、ウェハＷはウェハ回収パッ
ド３８からウェハ保持パッド６２に受け渡される。

【００５４】そして、ロッドレスシリンダ５３の作動で
上記昇降板５４及びウェハ保持装置５６が一体に上昇し
（図５右側二点鎖線の位置）、ここからロッドレスシリ
ンダ４６の作動でウェハ搬送部材５０全体が図５左方向
に駆動されることにより、ウェハＷはウェハ処理装置１
４の上方の位置まで搬送される（図５，７，８に実線で
示す位置）。この状態から、旋回シリンダ５８が作動し
てウェハ保持パッド６２が下向きの状態（図５，７，８
の二点鎖線の状態）に切換えられるとともに、ロッドレ
スシリンダ５３が作動して昇降板５４及びウェハ保持装
置５６全体が下降する（図７，８矢印Ａ４）ことによ
り、ウェハＷがウェハ処理装置１４におけるガイド部材
７２のガイド部７１上に載置される（図１の最右二点鎖
線位置及び図３の実線位置）。

【００５５】次に、ロッドレスシリンダ７６が作動する
ことにより、移動ブロック８４、連結板８０、及び押出
し部材８２全体が前方へスライド駆動される。この押出
し部材８２によって、上記ウェハＷはガイド部７１に沿
ってウェハ剥離・洗浄部６７に向けて押し出され、図４
に実線で示す水上位置で待機しているウェハ保持部材１
０６内に搬入される。

【００５６】このウェハ剥離・洗浄部６７においては、
まず、昇降駆動用シリンダ１０４が伸長してウェハ保持
部材１０６が上記水上位置から図４二点鎖線の水中位置
まで下降することにより、ウェハＷはウェハ保持部材１
０６に保持されたまま熱水８８内に浸漬され、かつ、こ
のウェハＷとスライスベースＳＢとの境界部分近傍が熱
水槽８６内の境界部分支持板８７の上端に当接する。こ
の熱水８８内への浸漬により、スライスベース接着用の
接着剤が軟化するため、この浸漬状態のままスライスベ
ース剥離シリンダ１１２を伸長させ、その伸縮ロッド１
１４の下端部で上記スライスベースＳＢを押し下げるこ
とにより、上記境界部分支持板８７を支点にしてウェハ
ＷからスライスベースＳＢを折り取ることができる。さ
らに、この状態のまま、あるいはこの状態からさらに熱
水槽８６底部までウェハ保持部材１０６を下降させた状
態で超音波装置９０を作動させ、熱水槽８６及び熱水８
８に超音波振動を与えることにより、ウェハＷ表面の微
小異物を除去することができる。

【００５７】このようなスライスベース剥離工程、及び
ウェハ洗浄工程が終了した後は、再び昇降駆動用シリン
ダ１０４を作動させてウェハＷ及びウェハ保持部材１０
６を前記水上位置まで引き上げる。そして、ロッドレス
シリンダ９６を作動させることにより、移動ブロック１
００、ビーム１０２、及びウェハ保持部材１０６ととも
にウェハＷをウェハ収納搬送部６８に向けて搬送する。

【００５８】一方、このウェハ収納搬送部６８において
は、コンベア昇降用シリンダ１２０及び旋回伸縮シリン
ダ１２２をともに収縮させ、ベルトコンベア１１６の後
端部をウェハ迎え位置に、ウェハ支持部材１２４を待機
位置にそれぞれ位置させておく。そして、ウェハ保持部
材１０６に保持されたウェハＷが両ベルトコンベア１１
６の後端部上方の位置に到達した状態、すなわち、ウェ
ハＷの中心部がウェハ支持部材１２４の直上方となる位
置まで搬送された状態で旋回伸縮シリンダ１２２が伸長
することにより、ウェハＷはビーム１０２の横部材１１
０ａから持ち上げられてウェハ支持部材１２４上に載せ
られ、この状態から旋回伸縮シリンダ１２２が９０°旋
回作動することにより、ウェハＷの向きも９０°変換さ
れる。すなわち、この旋回伸縮シリンダ１２２及びウェ
ハ支持部材１２４はカセット１２６へのウェハＷの収納
向きを調整する。その後、上記旋回伸縮シリンダ１２２
を収縮させて、ウェハＷをビーム１０２の横部材１１０
ａ上に載せる。なお、このような向き調整が不要の場合
には旋回伸縮シリンダ１２２及びウェハ支持部材１２４
は省略可能である。

【００５９】次に、上記コンベア昇降用シリンダ１２０
を伸長させ、両ベルトコンベア１１６の後端部を上記ウ
ェハ迎え位置からウェハ拾い位置まで上昇させることに
より、両ベルトコンベア１１６の後端部でウェハＷが掬
い上げられ、これによって、上記ウェハ保持部材１０６
からベルトコンベア１１６へのウェハＷの受け渡しが完
了する。なお、上記旋回伸縮シリンダ１２２が伸長して
ウェハＷがウェハ支持部材１２４上に載せられた時点で
ウェハ保持部材１０６を退避させるようにすれば、その
後旋回伸縮シリンダ１２２を収縮させるだけでウェハＷ
をベルトコンベア１１６上に渡すことが可能である。

【００６０】このようにしてウェハＷをベルトコンベア
１１６に渡した後、このベルトコンベア１１６を駆動し
てウェハＷをカセット１２６に向けて搬送する。この搬
送中、上下のエアブロー管１３１，１３２から、ウェハ
Ｗの上下面に乾燥エアが吹き付けられることにより、そ
れまで濡れていたウェハＷは乾燥した状態でカセット１
２６内に収納されることとなる。

【００６１】カセット１２６は、ウェハＷが１枚搬入さ
れる度に図外のエレベータ装置の駆動によって棚１段分
だけ上昇し、このような動作を繰り返すことにより、カ
セット１２６内の各段には上から順に１枚ずつウェハＷ
が収納されていくことになる。満杯となったカセット１
２６は、その中にウェハＷを収容したまま面取り装置へ
搬送され、次の面取り工程が進められる。

【００６２】以上のように、この方法及び装置によれ
ば、ウェハ保持部材１０６でウェハＷを保持した状態で
ウェハＷを熱水８８内に浸漬し、接着剤を軟化させてス
ライスベースＳＢをウェハＷから剥離するスライスベー
ス剥離工程と、上記熱水８８に超音波振動を与えてウェ
ハＷを洗浄する洗浄工程とを同一の熱水槽８８内で行う
ようにしているので、従来のように上記剥離工程及び洗
浄工程をそれぞれ別の装置で行う場合に比べ、ウェハＷ
の搬送時間等を大幅に削減することができ、また装置全
体の所要スペースも大幅に削減することができる。

【００６３】さらに、ここで示したウェハ処理搬送装置
は、スライシング装置１０で切り出されたウェハＷを１
枚ずつ自動的に剥離・洗浄部６７へ送り込み、処理後は
自動的にカセット１２６内に送り込むようにしているの
で、スライシング装置１０での切り出しからカセット１
２６内への搬入までをほとんど人手を介することなく自
動的に進行することができ、大幅な省力化、省人化を進
めることができるとともに、この作業工程中にも、ウェ
ハＷについて１枚単位で正確かつ自動的に品質管理を行
うことが可能である。また、この装置では、ウェハＷが
カセット１２６内に搬入される前に乾燥エアを吹き付け
るようにしているので、ウェハＷを熱水槽８８に浸漬さ
せたにもかかわらず、その後、ウェハＷを自動的に乾燥
状態でカセット１２６内に搬入することができる。

【００６４】なお、本発明はこのような実施例に限定さ
れるものでなく、例として次のような態様をとることも
可能である。

【００６５】(1) 上記実施例では、ウェハ保持部材１０
６でウェハＷを保持して熱水８８中に浸漬した後、まず
スライスベースＳＢの剥離を行い、その後にウェハＷの
洗浄を行う方法を示したが、本発明方法においてはスラ
イスベース剥離工程とウェハ洗浄工程の順序は問わず、
従って、上記ウェハＷを熱水８８に浸漬してからまず超
音波振動で洗浄を行い、その後にスライスベースＳＢを
剥離するようにしても良い。

【００６６】(2) 上記実施例では、ワーク２２を水平方
向に割り出して垂直方向にスライシングするスライシン
グ装置１０を用い、このスライシング装置１０で切り出
された垂直状態にあるウェハＷを旋回シリンダ５８の作
動で水平状態に直した後にウェハ処理装置１４へ導入す
るようにしたものを示したが、ワーク２２を上下方向に
割り出して横方向にスライシングするスライシング装置
を用いる場合には、切り出されたウェハＷは既に水平状
態にあるために上記旋回シリンダ５８等は不要であり、
よって上記ウェハＷについてはそのままの状態で剥離・
洗浄工程へ進めるようにすれば良い。

【００６７】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、次のよう
な効果を得ることができる。

【００６８】請求項１記載の方法では、ウェハを熱水槽
内に入れ、当該熱水内に設けたスライスベース剥離手段
により前記ウェハからスライスベースを剥離する剥離工
程と、この熱水槽に超音波振動を与えることによりウェ
ハの洗浄を行う洗浄工程と同一熱水槽内で行うようにし
ているので、両工程の間でウェハを搬送する必要がなく
なり、これによりウェハ処理時間の大幅な短縮を図るこ
とができるとともに、上記剥離工程及び洗浄工程を行う
装置を設置するための所要スペースも大幅に削減するこ
とができ、これらによって製品コストの削減に寄与する
ことができる効果がある。

【００６９】請求項２記載の装置によれば、ウェハ保持
手段でウェハを保持した状態で、人手を介することなく
熱水槽内でウェハからのスライスベース剥離及びウェハ
洗浄を行うことができる。

【００７０】より具体的に、請求項３記載の装置によれ
ば、上記熱水槽内の境界部分支持部材と、スライスベー
スを上から押圧する押圧手段とを備えるだけの簡単な構
造で、スライスベースの剥離を容易に行うことができる
効果がある。

【００７１】さらに、請求項４記載の装置によれば、ス
ライシング装置で切り出されたウェハを剥離・洗浄装置
に搬入し、さらに、剥離・洗浄処理後、所定のウェハ収
納容器に搬入するまでの一連の作業を自動的に行うこと
ができ、これによって大幅な省力化、省人化を果たすこ
とができるとともに、ウェハを１枚ずつ自動的にハンド
リングすることを可能にすることにより、上記作業中に
おいてウェハ１枚毎の品質管理を自動的にかつ確実に行
うことができる効果がある。

【００７２】特に、請求項５記載の装置によれば、ウェ
ハを熱水に浸漬したにもかかわらず、その後のウェハの
搬送中に乾燥エアを吹き付けることにより、自動的にウ
ェハを乾燥状態でウェハ収納容器に搬入することができ
る効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例におけるウェハ処理装置の全
体平面図である。

【図２】上記ウェハ処理装置の全体側面図である。

【図３】図２のIII矢視図である。

【図４】図２のIV-IV線断面図である。

【図５】上記ウェハ処理装置を備えたウェハ処理搬送装
置の正面図である。

【図６】上記ウェハ処理搬送装置の側面図である。

【図７】上記ウェハ処理搬送装置におけるウェハ搬送装
置とウェハ処理装置との位置関係を示す正面図である。

【図８】上記ウェハ搬送装置とウェハ処理装置との位置
関係を示す側面図である。

【符号の説明】

１０ スライシング装置 １２ ウェハ搬送装置（ウェハ搬入手段を構成） １４ ウェハ処理装置 ２２ ワーク ６６ ウェハ搬入部（ウェハ搬入手段を構成） ６７ 剥離・洗浄部（スライスベース剥離・洗浄装置） ６８ ウェハ収納搬送部 ８６ 熱水槽 ８７ 境界部分支持板 ８８ 熱水 ９０ 超音波装置（振動発生手段） １０４ 昇降駆動用シリンダ（昇降手段） １０６ ウェハ保持部材（ウェハ保持手段） １１２ スライスベース剥離シリンダ（押圧手段） １２６ カセット（ウェハ収納容器） Ｗ ウェハ ＳＢ スライスベース

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−219526（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−58807（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−101661（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/304 622 H01L 21/304 642 B08B 3/10

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スライシング装置で切り出されたウェハ
   からこのウェハの周縁部に接着されたスライスベースを
   剥離し、かつこのウェハを洗浄するための方法であっ
   て、上記ウェハを熱水内に入れ、この熱水内で、当該熱
   水内に設けたスライスベース剥離手段により上記ウェハ
   からスライスベースを剥離する剥離工程と、この熱水に
   超音波振動を与えることにより上記ウェハの洗浄を行う
   洗浄工程とを行うことを特徴とするウェハのスライスベ
   ース剥離・洗浄方法。
2. 【請求項２】 スライシング装置で切り出されたウェハ
   からこのウェハの周縁部に接着されたスライスベースを
   剥離し、かつこのウェハを洗浄するための装置であっ
   て、熱水を収容する熱水槽と、上記ウェハを略水平状態
   で保持するウェハ保持手段と、このウェハ保持手段を上
   記熱水槽内の水中位置及び上記熱水槽よりも上方の水上
   位置との間で昇降させる昇降手段と、上記ウェハ及びウ
   ェハ保持手段が水中位置にある状態でウェハからスライ
   スベースを剥離するスライスベース剥離手段と、上記熱
   水槽に超音波振動を与える振動発生手段とを備えたこと
   を特徴とするウェハのスライスベース剥離・洗浄装置。
3. 【請求項３】 上記スライスベース剥離手段は、上記熱
   水槽内に設けられ、上記ウェハ及びウェハ保持手段が水
   中位置まで下降した状態でウェハとスライスベースとの
   境界部分近傍に下方から当接する境界部分支持部材と、
   この境界部分支持部材が上記境界部分近傍に当接した状
   態で上記スライスベースを上方から押圧する押圧手段と
   を備えていることを特徴とする請求項２記載のウェハの
   スライスベース剥離・洗浄装置。
4. 【請求項４】 請求項２または３記載のウェハのスライ
   スベース剥離・洗浄装置と、スライシング装置で切り出
   されたウェハを受け取り、上記スライスベース剥離・洗
   浄装置において水上位置に位置するウェハ保持手段内に
   搬入するウェハ搬入手段と、上記スライスベース剥離・
   洗浄装置において水上位置に位置するウェハ保持手段か
   らウェハを搬出し、このウェハをウェハ収納容器内に入
   れるウェハ収納搬送手段とを備えたことを特徴とするウ
   ェハの処理搬送装置。
5. 【請求項５】 請求項４記載のウェハの処理搬送装置に
   おいて、上記ウェハ収納搬送手段により搬送されるウェ
   ハに乾燥エアを吹き付けるウェハ乾燥手段を備えたこと
   を特徴とするウェハの処理搬送装置。