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JP3051751B2 - Thermal analyzer with generated gas analysis function - Google Patents

Thermal analyzer with generated gas analysis function

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Publication number
JP3051751B2
JP3051751B2 JP2214180A JP21418090A JP3051751B2 JP 3051751 B2 JP3051751 B2 JP 3051751B2 JP 2214180 A JP2214180 A JP 2214180A JP 21418090 A JP21418090 A JP 21418090A JP 3051751 B2 JP3051751 B2 JP 3051751B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
tube
sample
generated
analyzer
Prior art date
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Application number
JP2214180A
Other languages
Japanese (ja)
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JPH0495869A (en
Inventor
義博 高田
Original Assignee
理学電機株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 理学電機株式会社 filed Critical 理学電機株式会社
Priority to JP2214180A priority Critical patent/JP3051751B2/en
Publication of JPH0495869A publication Critical patent/JPH0495869A/en
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  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、試料の温度を変化させながらその試料の物
理的特性の変化を測定すると共に、その試料から発生す
る気体の特性をも分析する機能を備えた熱分析装置に関
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention measures changes in physical characteristics of a sample while changing the temperature of the sample, and also analyzes characteristics of a gas generated from the sample. The present invention relates to a thermal analyzer having a function.

[従来の技術] 熱重量測定装置(TG装置)のように、試料の温度を変
化させながらその試料の物理的特性、この場合は重量の
変化を測定するという熱分析装置は公知である。また、
そのような物理的特性についての測定に加えて、試料か
ら発生する気体についての分析をも同時に行おうとい
う、発生気体分析機能を備えた熱分析装置も既に知られ
ている。
2. Description of the Related Art A thermoanalytical device that measures the physical properties of a sample while changing the temperature of the sample, in this case, a change in weight, such as a thermogravimetric device (TG device) is known. Also,
In addition to the measurement of such physical properties, a thermal analysis apparatus having a function of analyzing a generated gas, which simultaneously analyzes a gas generated from a sample, is already known.

この種の熱分析装置は、一般的には、試料が載置され
た試料台を外部から遮蔽する保護管と、その保護管のま
わりに配設されていて試料を加熱するヒータと、試料か
ら発生した気体に関して分析を行う気体分析装置と、そ
して試料から発生する気体をキャリヤガスによって気体
分析装置まで搬送する気体搬送管とによって構成されて
いる。
This type of thermal analyzer generally includes a protective tube that shields a sample stage on which a sample is placed from the outside, a heater disposed around the protective tube to heat the sample, It is composed of a gas analyzer for analyzing the generated gas, and a gas transfer pipe for transferring the gas generated from the sample to the gas analyzer by a carrier gas.

上記の気体分析装置としては、種々のものが考えられ
るが、例えば四重極質量分析装置を用いる場合を考える
ものとすると、試料から発生した気体をキャリヤガスに
よって気体搬送管を介してその四重極質量分析装置まで
運び、その四重極質量分析装置において気体成分の質量
数を測定することにより、その気体の種類を同定する。
Various types of gas analyzers are conceivable.For example, when a quadrupole mass spectrometer is used, the gas generated from the sample is transported by the carrier gas through the gas transfer pipe to the quadrupole mass analyzer. The gas is carried to the polar mass spectrometer, and the type of the gas is identified by measuring the mass number of the gas component in the quadrupole mass spectrometer.

このように、保護管に四重極質量分析装置などといっ
た気体分析装置を付設した場合には、保護管内にキャリ
ヤガスのガス流を形成し、そのキャリヤガスによって発
生気体を気体分析装置まで運ばなければならない。この
場合、本来であれば、試料から発生した気体のみを搬送
しなければならないのであるが、キャリヤガスの流し方
如何によっては、CO2、O2、H2などといった本来は運ん
ではならないバックグラウンド成分(発生気体分析の妨
げとなる成分)まで気体分析装置へ運んでしまい、その
結果、正確な気体分析ができないという問題があった。
As described above, when a gas analyzer such as a quadrupole mass spectrometer is attached to the protective tube, a carrier gas gas flow is formed in the protective tube, and the generated gas must be carried to the gas analyzer by the carrier gas. Must. In this case, originally, only the gas generated from the sample must be transported, but depending on how the carrier gas flows, background that should not be transported, such as CO 2 , O 2 , H 2, etc. Components (components that hinder the analysis of generated gas) are transported to the gas analyzer, and as a result, there has been a problem that accurate gas analysis cannot be performed.

また、試料から発生した気体を気体分析装置まで搬送
するための気体搬送管の形状および特性如何によって
は、発生した気体が搬送中に変質してしまい、やはり正
確な気体分析ができなかった。気体搬送管を金属材料を
用いて製造することを考えると、金属材料は少なからず
触媒作用を呈するので、そこを流れる気体はどうしても
変質することを免れ得なかった。
Further, depending on the shape and characteristics of the gas transfer pipe for transferring the gas generated from the sample to the gas analyzer, the generated gas is deteriorated during the transfer, so that accurate gas analysis could not be performed. Considering the fact that the gas transport pipe is manufactured using a metal material, the metal material exerts a catalytic action to a certain extent, so that the gas flowing through it cannot be inevitably deteriorated.

[発明が解決しようとする課題] 本発明は、発生気体分析機能を備えた熱分析装置にお
ける上述した種々の問題点に鑑みてなされたものであっ
て、発生した気体について精度の高い気体分析測定を行
うことのできる熱分析装置を提供することを第1の目的
とする。
[Problems to be Solved by the Invention] The present invention has been made in view of the above-mentioned various problems in a thermal analysis apparatus having a generated gas analysis function, and has a high accuracy in gas analysis measurement of generated gas. It is a first object of the present invention to provide a thermal analyzer capable of performing the above.

また、作業性の良好な発生気体分析機能を備えた熱分
析装置を提供することを第2の目的とする。
It is a second object of the present invention to provide a thermal analyzer having a generated gas analyzing function with good workability.

[課題を解決するための手段] 上記第1の目的を達成するため、本発明に係る第1の
熱分析装置は、保護管内における試料の直上位置から気
体分析装置にわたって配設された毛細ガラス管と、その
毛細ガラス管のまわりに被覆された被覆管とによって気
体搬送管を形成することを特徴としている。
Means for Solving the Problems In order to achieve the first object, a first thermal analyzer according to the present invention is a capillary glass tube arranged from a position immediately above a sample in a protective tube to a gas analyzer. And a coating tube coated around the capillary glass tube to form a gas transfer tube.

[作用] 請求項1記載の熱分析装置において、熱分析測定を行
っている最中に試料(10)から気体が発生した場合に
は、その発生気体はキャリヤガスによって毛細ガラス管
(14)内へ送り込まれ、さらにその毛細ガラス管を通っ
て気体分析装置(質量分析装置2)へ送られる。ガラス
管は気体に対する触媒能力が低いので、搬送される気体
に変質が生じることがない。
[Operation] In the thermal analyzer according to claim 1, when gas is generated from the sample (10) during the thermal analysis measurement, the generated gas is transferred into the capillary glass tube (14) by the carrier gas. To the gas analyzer (mass analyzer 2) through the capillary glass tube. Since the glass tube has a low catalytic ability for gas, the gas to be conveyed does not deteriorate.

また、内径がきわめて細い毛細管を用いて発生気体を
搬送するので、搬送される気体の流速が早く、試料で発
生した気体を瞬時に気体分析装置へ運ぶことができ、そ
れ故、熱重量測定などの熱分析測定と気体分析とをほと
んど同時に、いわゆるリアルタイムで行うことができ
る。
In addition, since the generated gas is transported using a capillary tube with an extremely small inner diameter, the flow velocity of the transported gas is high, and the gas generated in the sample can be instantly transported to the gas analyzer, and therefore thermogravimetric measurement, etc. Thermal analysis and gas analysis can be performed almost simultaneously, that is, in real time.

[実施例] 第1図は本発明の一実施例であり、発生気体分析機能
を奏する装置として質量分析装置2を、熱重量測定装置
(TG装置)1に付設した場合の実施例である。すなわ
ち、温度変化に伴う試料の重量変化をTG装置1によって
測定すると共に、その重量変化の原因である試料から発
生した気体の質量数の測定、すなわちその気体の同定を
質量分析装置2によって行おうとするものである。
[Embodiment] Fig. 1 shows an embodiment of the present invention, in which a mass spectrometer 2 as a device having an evolved gas analysis function is attached to a thermogravimetric device (TG device) 1. That is, the TG device 1 measures the weight change of the sample due to the temperature change, and the mass spectrometer 2 measures the mass number of the gas generated from the sample that causes the weight change, that is, identifies the gas. Is what you do.

同図において、TG装置1は、石英ガラスなどによって
作られている保護管3と、その保護管3の下に配置され
た重量測定ユニット4と、保護管3のまわりに配設した
ヒータ5とを有している。
In FIG. 1, a TG device 1 includes a protective tube 3 made of quartz glass or the like, a weight measuring unit 4 disposed below the protective tube 3, and a heater 5 disposed around the protective tube 3. have.

重量測定ユニット4の中にはそれ自体周知の天秤機構
6が設けられており、その天秤機構6によって支持され
ている支持棒7が重量測定ユニット4のカバー開口8を
通って保護管3の内部へ延びている。支持棒7の上端に
は、試料台9が固定されており、その試料台9の上には
試料10が収容されている。支持棒7のまわりには、例え
ば白金によって形成された均熱筒12が配置され、その均
熱筒12の上端に、試料10を上方から覆う蓋13が載置され
ている。この蓋13も白金によって形成されている。
A weighing mechanism 6 known per se is provided in the weighing unit 4, and a support rod 7 supported by the weighing mechanism 6 passes through the cover opening 8 of the weighing unit 4 and the inside of the protective tube 3. Extending to A sample stage 9 is fixed to the upper end of the support rod 7, and a sample 10 is accommodated on the sample stage 9. A heat equalizing cylinder 12 made of, for example, platinum is arranged around the support rod 7, and a lid 13 that covers the sample 10 from above is placed on the upper end of the heat equalizing cylinder 12. This lid 13 is also made of platinum.

ヒータ5は、予め決められた所定のプログラムに基づ
いて発熱し、これにより、試料台9内の試料10の温度が
上昇する。この温度上昇により、試料10に熱的な変化、
例えば気体の発生が生じると、その試料10の重量が変化
する。この重量変化は、天秤機構6によって周知の方法
によって測定される。
The heater 5 generates heat based on a predetermined program, which increases the temperature of the sample 10 in the sample table 9. Due to this temperature rise, the sample 10 undergoes a thermal change,
For example, when gas generation occurs, the weight of the sample 10 changes. This weight change is measured by the balance mechanism 6 by a known method.

保護管3と質量分析装置2との間には、試料10から発
生した気体を質量分析装置2まで運ぶための気体搬送管
16が設置されている。この気体搬送管16は、試料10の直
上位置から蓋13を貫通して質量分析装置2の間まで延び
ている毛細ガラス管14と、その毛細ガラス管14を被覆し
ている被覆管15とによって構成されている。被覆管15の
保護管3側の先端は、保護管3の内部、すなわちヒータ
5によって加熱することのできる領域まで延びている。
A gas transfer tube for transporting gas generated from the sample 10 to the mass spectrometer 2 between the protective tube 3 and the mass spectrometer 2
16 are installed. The gas transfer tube 16 is formed by a capillary glass tube 14 extending from a position directly above the sample 10 to the space between the mass spectrometers 2 through the lid 13 and a covering tube 15 covering the capillary glass tube 14. It is configured. The tip of the coating tube 15 on the side of the protection tube 3 extends to the inside of the protection tube 3, that is, a region that can be heated by the heater 5.

毛細ガラス管14は、気体を変質させ難い材質から成る
材料、例えば石英ガラスによって形成されておりその内
径は非常に細く、例えば内径0.1mm〜0.6mm程度となって
いる。また、被覆管15は熱伝導性の良い金属、例えばス
テンレスによって形成されている。
The capillary glass tube 14 is formed of a material made of a material that does not easily change the gas, such as quartz glass, and has an extremely small inner diameter, for example, about 0.1 mm to 0.6 mm. The cladding tube 15 is formed of a metal having good heat conductivity, for example, stainless steel.

保護管3の上方には、キャリヤガス導入機構17が設け
られている。このキャリヤガス導入機構17は、第2図に
示すように、円錐状外周面を備えたテーパ部18を有する
搬送管側ガラス管19と、その搬送管側ガラス管19の上端
に接合された3方向分岐管20と、その分岐管20の上端に
接合された密封部材21とによって構成されている。3方
向分岐管20の吸気ポート20aには、図示しないキャリヤ
ガス供給源に連通するガス供給管22が接続されている。
また、分岐管20の内壁と気体搬送管16の被覆管15との間
および搬送管側ガラス管19と被覆管15との間には、適宜
の間隙Gが設けられている。
Above the protection tube 3, a carrier gas introduction mechanism 17 is provided. As shown in FIG. 2, the carrier gas introduction mechanism 17 includes a transfer tube-side glass tube 19 having a tapered portion 18 having a conical outer peripheral surface, and a carrier tube 3 joined to the upper end of the transfer tube-side glass tube 19. It is constituted by a directional branch pipe 20 and a sealing member 21 joined to an upper end of the branch pipe 20. A gas supply pipe 22 communicating with a carrier gas supply source (not shown) is connected to the intake port 20a of the three-way branch pipe 20.
Further, appropriate gaps G are provided between the inner wall of the branch pipe 20 and the coating pipe 15 of the gas transport pipe 16 and between the transport pipe-side glass pipe 19 and the coating pipe 15.

ガス供給管22は、比較的分子量の小さいガス、例えば
ヘリウム(He)ガスを吸気ポート20aを介してキャリヤ
ガスとして分岐管20内へ送り込む。送り込まれたキャリ
ヤガスは、上記の間隙Gを通って下方へ流れ、保護管3
の上部よりその保護管3内へ流れ込む。密封部材21があ
るためキャリヤガスは図の上方へは流れない。
The gas supply pipe 22 feeds a gas having a relatively small molecular weight, for example, helium (He) gas into the branch pipe 20 as a carrier gas through the intake port 20a. The carrier gas sent in flows downward through the gap G, and enters the protective tube 3.
Flows into the protection tube 3 from above. Because of the sealing member 21, the carrier gas does not flow upward in the figure.

保護管3内に配置された試料10が温度変化する際、試
料10の性質に応じてその試料10から気体が発生すること
は既に述べた通りである。この発生気体は、保護管3内
に送り込まれた上記のキャリヤガスによって毛細ガラス
管14内へ送り込まれる。その後、発生気体は、キャリヤ
ガスによって毛細ガラス管14内を搬送され、第1図に示
した質量分析装置2へ送り込まれる。
As described above, when the temperature of the sample 10 disposed in the protective tube 3 changes, gas is generated from the sample 10 according to the properties of the sample 10. This generated gas is sent into the capillary glass tube 14 by the carrier gas sent into the protective tube 3. Thereafter, the generated gas is transported in the capillary glass tube 14 by the carrier gas, and is sent to the mass spectrometer 2 shown in FIG.

質量分析装置2は本実施例の場合、いわゆる四重極質
量分析装置によって構成されている。この質量分析装置
2は、内部が真空に保持されている真空ケース23を有し
ており、その真空ケース23の中に、イオン源24、四重極
25、そしてイオン検知器26の各構成要素が配設されてい
る。
In this embodiment, the mass spectrometer 2 is constituted by a so-called quadrupole mass spectrometer. The mass spectrometer 2 has a vacuum case 23 in which the inside is kept in a vacuum, and an ion source 24, a quadrupole
25, and each component of the ion detector 26 is provided.

キャリヤガスに乗って毛細ガラス管14を通って送られ
る上記の発生気体は、まず、イオン源24へ送り込まれ、
そのイオン源24内において、その気体を構成する気体成
分がイオン化される。この場合、イオン化された気体成
分が有する電荷は、その気体成分の質量数、すなわち気
体の種類に対応した固有の値となる。イオン化された気
体成分は、その後、四重極25によって形成される電場内
を通過する。このときその気体成分は、自らが有する電
荷に応じた曲率を描きながら進行する。
The generated gas sent through the capillary glass tube 14 on the carrier gas is first sent to the ion source 24,
In the ion source 24, a gas component constituting the gas is ionized. In this case, the charge of the ionized gas component has a unique value corresponding to the mass number of the gas component, that is, the type of gas. The ionized gas component then passes within the electric field formed by the quadrupole 25. At this time, the gas component proceeds while drawing a curvature according to the electric charge of the gas component.

発生気体が、測定しようとしている特定種類の気体で
ある場合には、四重極25を通過した気体成分がイオン検
知器26によって検知される。一方、四重極25を通過した
気体成分が、そのような特定のものでない場合は、四重
極25内における気体成分の進行曲線がイオン検知器26へ
向かう進行路から外れ、その結果、イオン検知器26はそ
の気体成分を検知しない、このように、イオン化した気
体成分をイオン検知器26によって検知するか否かによ
り、イオン源24へ送られた気体、すなわち保護管3内の
試料10から発生した気体の種類が同定される。
When the generated gas is a specific type of gas to be measured, the gas component passing through the quadrupole 25 is detected by the ion detector 26. On the other hand, when the gas component passing through the quadrupole 25 is not such a specific one, the traveling curve of the gas component in the quadrupole 25 deviates from the traveling path toward the ion detector 26, and as a result, the ion The detector 26 does not detect the gas component. Thus, depending on whether or not the ionized gas component is detected by the ion detector 26, the gas sent to the ion source 24, that is, from the sample 10 in the protection tube 3, The type of gas generated is identified.

TG装置1および質量分析装置2によって行われる上記
の処理により、試料10に関する温度変化に対して質量変
化測定(熱重量測定)および試料から発生した気体の同
定が行われる。
By the above-described processing performed by the TG device 1 and the mass spectrometer 2, the mass change measurement (thermogravimetry) with respect to the temperature change of the sample 10 and the identification of the gas generated from the sample are performed.

以上の説明からも明らかな通り、本実施例において
は、保護管3内に置かれた試料10から発生した気体を、
毛細ガラス管14によって質量分析装置2まで搬送してい
る。ガラスは、金属に比べて気体に対する触媒能力がき
わめて低いので、試料10から発生した気体を変質させる
ことなく質量分析装置2まで運ぶことができる。それ
故、発生気体の同定を精度よく行うことができる。なお
この場合、毛細ガラス管14の構成材料として石英ガラス
を用いれば、発生気体の変質をより一層確実に抑えるこ
とができる。
As is clear from the above description, in this embodiment, the gas generated from the sample 10 placed in the protective tube 3 is
It is carried to the mass spectrometer 2 by a capillary glass tube 14. Since glass has extremely low catalytic ability to gas as compared with metal, gas generated from the sample 10 can be transported to the mass spectrometer 2 without altering. Therefore, the generated gas can be accurately identified. In this case, if quartz glass is used as the constituent material of the capillary glass tube 14, the generated gas can be more reliably prevented from being altered.

また、毛細ガラス管14は、内径0.1mm〜0.6mm程度のき
わめて細い管であり、しかもそれが試料10の直上位置ま
で延びている。毛細ガラス管14の内径がきわめて細いと
いうことは、その中を流れる気体の流れがきわめて早い
ということであり、このことは、試料10から気体が発生
した際には、その発生気体がきわめて瞬時に質量分析装
置2まで送られ、発生気体の同定処理が行われるという
ことである。その結果、天秤機構6による熱重量測定
と、質量分析装置2による発生気体分析とを、いわゆる
リアルタイムで行うことが可能となる。
The capillary glass tube 14 is an extremely thin tube having an inner diameter of about 0.1 mm to 0.6 mm, and extends to a position immediately above the sample 10. The extremely small inner diameter of the capillary glass tube 14 means that the gas flowing therethrough is extremely fast, which means that when gas is generated from the sample 10, the generated gas is very instantaneously. That is, the gas is sent to the mass spectrometer 2 and the generated gas is identified. As a result, the thermogravimetric measurement by the balance mechanism 6 and the generated gas analysis by the mass spectrometer 2 can be performed in so-called real time.

ところで、保護管3の内部であって位置の低い所に
は、本来は質量分析装置2へ搬送してはならないO2、H2
Oその他の、いわゆるバックグラウンド成分(発生気体
分析の妨げとなる成分)が多く蓄積されている。これ
は、保護管3の下には重量測定ユニット4などの付帯設
備が取り付けられからである。
By the way, O 2 , H 2 which should not be conveyed to the mass spectrometer 2 in the lower part inside the protection tube 3
O Many other so-called background components (components that hinder the analysis of generated gas) are accumulated in large amounts. This is because auxiliary equipment such as the weight measurement unit 4 is attached below the protection tube 3.

本実施例においては、キャリヤガス導入機構17が保護
管3の上方に設けられていて、キャリヤガスは保護管3
の上部からその内部へ導入される。従って、保護管3の
底部に蓄積されたバックグラウンド成分を含むことな
く、試料10から発生した気体だけをキャリヤガスによっ
て毛細ガラス管14内へ運び入れることが可能となる。そ
のため、質量分析装置2によって精度の高い気体分析を
行うことができる。
In this embodiment, the carrier gas introduction mechanism 17 is provided above the protection tube 3 and the carrier gas is supplied to the protection tube 3.
Is introduced into the interior from the top of the Therefore, only the gas generated from the sample 10 can be carried into the capillary glass tube 14 by the carrier gas without including the background component accumulated at the bottom of the protective tube 3. Therefore, highly accurate gas analysis can be performed by the mass spectrometer 2.

第2図において、キャリヤガス導入機構17から保護管
3の頂部に至る部分においては、ガス供給管22から送り
込まれたキャリヤガスが間隙G内を下方へ流下し、その
一方で試料10から発生した気体がキャリヤガスと共に毛
細ガラス管14内を上方へ流れる。間隙Gおよび毛細ガラ
ス管14は、いずれもきわめて細いので、該部の温度が許
容限度よりも低くなると液滴化したガスあるいは気体に
よって、間隙Gあるいは毛細ガラス管14が詰まるおそれ
がある。
In FIG. 2, in a portion from the carrier gas introduction mechanism 17 to the top of the protective tube 3, the carrier gas sent from the gas supply tube 22 flows downward in the gap G, while being generated from the sample 10. The gas flows upward in the capillary glass tube 14 together with the carrier gas. Since the gap G and the capillary glass tube 14 are both extremely thin, if the temperature of the portion becomes lower than an allowable limit, the gap G or the capillary glass tube 14 may be clogged with the gas or gas that has been formed into droplets.

これに対して本実施例では、被覆管15をステンレスな
どの熱伝導性の良い材料によって形成し、しかもその被
覆管15の先端部を保護管3の上方内部、すなわちヒータ
5による加熱領域まで延ばしてあるので、キャリヤガス
導入機構17から保護管3の頂部に至る領域は、熱伝導に
よって高温とされた被覆管15によって常に暖められる。
従って、上記のような液滴による間隙Gなどの詰まりを
防止でき、キャリヤガスおよび試料から発生した気体を
常に円滑に流すことができる。
On the other hand, in this embodiment, the cladding tube 15 is formed of a material having good thermal conductivity such as stainless steel, and the tip of the cladding tube 15 is extended to the inside of the protection tube 3, that is, to the region heated by the heater 5. Therefore, the region from the carrier gas introduction mechanism 17 to the top of the protective tube 3 is always warmed by the cladding tube 15 heated to a high temperature by heat conduction.
Therefore, clogging of the gap G or the like due to the above-described droplet can be prevented, and the carrier gas and the gas generated from the sample can always flow smoothly.

また、本実施例においては、キャリヤガス導入機構17
を構成している搬送管側ガラス管19の下部が、下方に向
かってすぼまる形状のテーパ部18とされている。一方、
保護管3の上部には、上方へ向かってその径が徐々に広
がってゆく逆テーパ状内周面を備えた保護管側ガラス管
27が形成されている。テーパ部18および保護管側ガラス
管27の両者は、互いに面接触する状態に嵌合させること
もでき、一方、搬送管側ガラス管19を図の上方へ引き抜
くことにより、上記の嵌合状態から互いを分離させるこ
ともできる。両者を分離させた場合には、気体搬送管1
6、すなわち毛細ガラス管14および被覆管15がテーパ部1
8と一体になって移動して、保護管3の外部へ取り外さ
れる。
In this embodiment, the carrier gas introduction mechanism 17
The lower part of the transfer-tube-side glass tube 19 is formed as a tapered portion 18 having a shape narrowing downward. on the other hand,
A protective tube-side glass tube having an inverted tapered inner peripheral surface whose diameter gradually increases upward at the upper part of the protective tube 3.
27 are formed. Both the tapered portion 18 and the protective tube-side glass tube 27 can be fitted so that they are in surface contact with each other.On the other hand, by pulling the transfer tube-side glass tube 19 upward in the drawing, They can be separated from each other. If both are separated, the gas transfer pipe 1
6, that is, the capillary glass tube 14 and the cladding tube 15
It moves together with 8 and is removed to the outside of the protection tube 3.

現在行われている熱分析測定においては、上記実施例
のように試料10に質量分析装置2を接続したり、あるい
は質量分析装置2に代えてガスクロマトグラフィー装置
を接続したり、あるいはなにも接続しない状態で単に熱
重量測定などといった物理的測定だけを行う場合など、
種々の測定態様がある。
In the current thermal analysis measurement, the mass spectrometer 2 is connected to the sample 10 as in the above-described embodiment, or a gas chromatography device is connected instead of the mass spectrometer 2, or When performing only physical measurements such as thermogravimetry without connecting,
There are various measurement modes.

本実施例のように、保護管3と気体搬送管16との接続
を、テーパ部18と逆テーパ状の保護管側ガラス管27とを
単にはめ合わせるだけという簡単な作業のみによって行
うようにしておけば、上記のような種々の異なった態様
の熱分析測定を行うに際しての装置の部品変更作業をき
わめて簡単に行うことができる。
As in the present embodiment, the connection between the protection tube 3 and the gas transfer tube 16 is performed only by a simple operation of simply fitting the tapered portion 18 and the protection-tube-side glass tube 27 having an inverted taper shape. If this is the case, it is possible to extremely easily change the parts of the apparatus when performing the thermal analysis measurement in various different modes as described above.

以上、図示の実施例に基づいて本発明を説明したが、
本発明はその実施例に限定されるものではない。
The present invention has been described based on the illustrated embodiment.
The present invention is not limited to the embodiment.

例えば、実施例では発生気体分析機能を奏する装置と
して質量分析装置2を例にあげたが、その他任意の気体
分析装置を用いることができる。
For example, in the embodiment, the mass spectrometer 2 has been described as an example of the device having the generated gas analysis function, but any other gas analyzer can be used.

また、キャリヤガスを保護管3内へ導入する方法も、
キャリヤガスを保護管3の上部からその内部へ導入する
という機能が達成される範囲内で、他の任意の構成を採
用することができる。
Also, a method of introducing a carrier gas into the protective tube 3 is as follows.
Any other configuration can be adopted as long as the function of introducing the carrier gas from the upper portion of the protection tube 3 into the inside thereof is achieved.

[発明の効果] 請求項1の発明によれば、試料(10)から発生した気
体をガラス管によって搬送することにしたので、その発
生気体を変質させることなく気体分析装置まで導くこと
ができる。
[Effects of the Invention] According to the first aspect of the present invention, the gas generated from the sample (10) is transported by the glass tube, so that the generated gas can be guided to the gas analyzer without altering the quality.

また、内径がきわめて細い毛細管を用いたので、その
管内を流れる発生気体の流速を早くすることができ、熱
重量測定などの熱分析測定と発生気体分析とをほとんど
時間差のない状態、いわゆるリアルタイムで行うことが
できる。
In addition, since a capillary tube with an extremely small inner diameter is used, the flow velocity of the generated gas flowing in the tube can be increased, and the thermal analysis measurement such as thermogravimetry and the generated gas analysis have almost no time difference, so-called real time. It can be carried out.

請求項2の発明によれば、被覆管(15)および毛細ガ
ラス管(14)の両方が暖められて、それらの内部および
外周にガスが液滴化して詰まるということがなくなっ
た。この場合、毛細ガラス管は被覆管によって暖めら
れ、その被覆管は試料を加熱するためのヒータ(5)に
よって暖められる。従って、それらを暖めるために専用
のヒータを設ける必要がなく、非常に経済的であり、し
かも専用ヒータを配設するためのスペースを節約するこ
とができる。
According to the second aspect of the present invention, both the cladding tube (15) and the capillary glass tube (14) are warmed, and the inside and the outer periphery of the tube do not become clogged with droplets of gas. In this case, the capillary glass tube is heated by the cladding tube, and the cladding tube is warmed by the heater (5) for heating the sample. Therefore, it is not necessary to provide a dedicated heater for heating them, which is very economical and can save space for disposing the dedicated heater.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明に係る発生気体分析機能を備えた熱分析
装置の一実施例を示す全体概略図、第2図はその実施例
の要部を示す断面図である。 2……質量分析装置、3……保護管、5……ヒータ、9
……試料台、10……試料、14……毛細ガラス管、15……
被覆管、16……気体搬送管、18……テーパ部、19……搬
送管側ガラス管、27……保護管側ガラス管
FIG. 1 is an overall schematic view showing one embodiment of a thermal analyzer having a generated gas analysis function according to the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing a main part of the embodiment. 2 ... mass spectrometer, 3 ... protective tube, 5 ... heater, 9
…… Sample stage, 10 …… Sample, 14 …… Capillary glass tube, 15 ……
Cladding tube, 16 Gas transport tube, 18 Tapered portion, 19 Glass tube on transfer tube, 27 Glass tube on protection tube

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−219540(JP,A) 特開 昭61−213655(JP,A) 特開 昭59−17133(JP,A) 特開 昭62−268201(JP,A) 特開 昭61−106339(JP,A) 特開 平2−272357(JP,A) 実開 昭63−14155(JP,U) 実開 昭49−95993(JP,U) 実開 昭61−193281(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 25/20 G01N 27/62 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-1-219540 (JP, A) JP-A-61-213655 (JP, A) JP-A-59-17133 (JP, A) JP-A-62 268201 (JP, A) JP-A-61-106339 (JP, A) JP-A-2-272357 (JP, A) JP-A-63-14155 (JP, U) JP-A-49-95993 (JP, U) Shokai 61-193281 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 25/20 G01N 27/62

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】試料が載置された試料台を外部より遮蔽す
る保護管と、上記試料から発生した気体に関する分析を
行う気体分析装置と、試料から発生する気体をキャリヤ
ガスによってその気体分析装置まで搬送する気体搬送管
とを有する発生気体分析機能を備えた熱分析装置におい
て、 上記気体搬送管は、 保護管内における試料の直上位置から気体分析装置にわ
たって配設された毛細ガラス管と、 その毛細ガラス管のまわりに被覆された被覆管とを有す
ることを特徴とする熱分析装置。
1. A protective tube for shielding a sample stage on which a sample is mounted from the outside, a gas analyzer for analyzing gas generated from the sample, and a gas analyzer for converting gas generated from the sample by a carrier gas. A thermal analysis apparatus having a generated gas analysis function having a gas transport pipe for transporting the gas to the gas analyzer, wherein the gas transport pipe comprises: a capillary glass tube provided from the position immediately above the sample in the protective tube to the gas analyzer; A thermal analysis device comprising: a glass tube; and a coating tube coated around the glass tube.
【請求項2】請求項1記載の熱分析装置であって、 上記保護管のまわりには試料を加熱するためのヒータが
設けられており、 上記被覆管は、熱伝導性を有する材料によって作られて
おり、 少なくとも被覆管の一部が上記の試料加熱用ヒータによ
って加熱されることを特徴とする熱分析装置。
2. The thermal analyzer according to claim 1, wherein a heater for heating a sample is provided around the protective tube, and the cladding tube is made of a material having thermal conductivity. A thermal analyzer characterized in that at least a part of the cladding tube is heated by the sample heating heater.
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CN103439212A (en) * 2013-08-07 2013-12-11 华中科技大学 Double-furnace body thermobalance capable of changing temperature quickly
CN104237058A (en) * 2014-09-23 2014-12-24 中国科学技术大学 Thermogravimetric molecular beam mass spectrum combined device

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