JP2936523B2 - 電子部品の少なくとも１つのリードの位置を決定する方法及び装置 - Google Patents
電子部品の少なくとも１つのリードの位置を決定する方法及び装置Info
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
- H05K13/081—Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
- H05K13/0813—Controlling of single components prior to mounting, e.g. orientation, component geometry
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- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
- G01N2021/8829—Shadow projection or structured background, e.g. for deflectometry
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、電子部品によって形成される面の側方外側
に位置する第１の位置からリードを照らし、前記リード
の少なくとも一部の第１イメージをイメージ面に形成す
るようにして、基準面に対して、電子部品、特に半導体
要素の少なくとも１つのリードの位置を決定する方法に
関する。また、本発明は、この方法を実施するための装
置にも関する。
に位置する第１の位置からリードを照らし、前記リード
の少なくとも一部の第１イメージをイメージ面に形成す
るようにして、基準面に対して、電子部品、特に半導体
要素の少なくとも１つのリードの位置を決定する方法に
関する。また、本発明は、この方法を実施するための装
置にも関する。
このような方法は、電子部品、特に半導体要素のリー
ド間の相互の位置の違いを決定するために使用される。
電子部品のリードが必ずしも正確に整列しないことにつ
いては種々の原因がある。しかし、チップをカード上に
組立てるには、リードをはんだ付け部位に正確に位置付
けることが重要である。リードとはんだ付け部位がずれ
ると、これらの間で機械的接触がないことになり、その
ため、電気的な接触もせず、カード全体が使いものにな
らなくなる。しかし、リードは所望寸法に関して折り曲
げられていることが多いので、この折り曲げ具合がどの
程度に達するとカードを不良にするかを確かめることが
必要である。従来の方法は、リードが正しく配列されて
いるか否かを位置測定により検定していた。このため、
２次元イメージが、例えば、テレビカメラによって、電
子部品の下側から撮影されていた。このイメージは、カ
メラに対して所定角度で配置されたコヒーレント光線
（coherent light beam）によって、電子部品を照らす
ことにより得られていた。リードに反射したイメージに
おける光源の位置は、それからリードの位置を推定する
ために必要な情報となる。
ド間の相互の位置の違いを決定するために使用される。
電子部品のリードが必ずしも正確に整列しないことにつ
いては種々の原因がある。しかし、チップをカード上に
組立てるには、リードをはんだ付け部位に正確に位置付
けることが重要である。リードとはんだ付け部位がずれ
ると、これらの間で機械的接触がないことになり、その
ため、電気的な接触もせず、カード全体が使いものにな
らなくなる。しかし、リードは所望寸法に関して折り曲
げられていることが多いので、この折り曲げ具合がどの
程度に達するとカードを不良にするかを確かめることが
必要である。従来の方法は、リードが正しく配列されて
いるか否かを位置測定により検定していた。このため、
２次元イメージが、例えば、テレビカメラによって、電
子部品の下側から撮影されていた。このイメージは、カ
メラに対して所定角度で配置されたコヒーレント光線
（coherent light beam）によって、電子部品を照らす
ことにより得られていた。リードに反射したイメージに
おける光源の位置は、それからリードの位置を推定する
ために必要な情報となる。
これに使用される従来の方法及び装置の欠点は、リー
ドに反射した光線にクリヤーなイメージを形成させるた
めには、かなり強いコヒーレント光線を使用しなければ
ならないことがある。そのため、光源としてレーザーを
必要とするばかりでなく、装置を遮蔽しなければならな
い。従って、使用装置や方法が高価になってしまう。
ドに反射した光線にクリヤーなイメージを形成させるた
めには、かなり強いコヒーレント光線を使用しなければ
ならないことがある。そのため、光源としてレーザーを
必要とするばかりでなく、装置を遮蔽しなければならな
い。従って、使用装置や方法が高価になってしまう。
本発明の目的は、測定の信頼性に悪影響を与えること
なく、簡素で廉価な手段を使用して、電子部品の少なく
ともリードの位置を決定するための装置及び方法を提供
することである。
なく、簡素で廉価な手段を使用して、電子部品の少なく
ともリードの位置を決定するための装置及び方法を提供
することである。
このため、本発明の方法は、前記第１のイメージが形
成される際に影イメージ（shadow image）を形成し、前
記第１の位置と異なる第２の位置から前記リードを照ら
して、前記イメージ面に第２の影イメージを形成し、前
記第１影イメージ及び第２影イメージの位置を定めて第
３及び第４の位置を決定し、問題の位置を前記第３及び
第４の位置から決定することを特徴としている。影イメ
ージを使用することにより、レーザーのようなコヒーレ
ント光線を使用することが必要でなくなり、従って、強
すぎる光のために装置を覆うことも必要でなくなる。さ
らに２つの影イメージを決定することにより、リードの
位置を正確に定めることができる。そして、基準位置と
のずれは、２つの影イメージが基準イメージの位置と異
なる位置になることから検知でき、リードの位置は一連
の影イメージから常に正確、且つ、信頼性高く決定され
る。
成される際に影イメージ（shadow image）を形成し、前
記第１の位置と異なる第２の位置から前記リードを照ら
して、前記イメージ面に第２の影イメージを形成し、前
記第１影イメージ及び第２影イメージの位置を定めて第
３及び第４の位置を決定し、問題の位置を前記第３及び
第４の位置から決定することを特徴としている。影イメ
ージを使用することにより、レーザーのようなコヒーレ
ント光線を使用することが必要でなくなり、従って、強
すぎる光のために装置を覆うことも必要でなくなる。さ
らに２つの影イメージを決定することにより、リードの
位置を正確に定めることができる。そして、基準位置と
のずれは、２つの影イメージが基準イメージの位置と異
なる位置になることから検知でき、リードの位置は一連
の影イメージから常に正確、且つ、信頼性高く決定され
る。
本発明による方法の第１の好ましい具体例では、第３
及び第４の位置が、第１及び第２の影イメージの実質的
に中間に位置することを特徴としている。これにより、
第３及び第４の位置の決定が容易となる。
及び第４の位置が、第１及び第２の影イメージの実質的
に中間に位置することを特徴としている。これにより、
第３及び第４の位置の決定が容易となる。
好適には、第１及び第２の位置からの照射が実質的に
反対側から行われる。これにより、影イメージは同じ軸
上に形成され、位置の決定が容易になる。
反対側から行われる。これにより、影イメージは同じ軸
上に形成され、位置の決定が容易になる。
本発明による装置は、前記第１の位置と異なる第２位
置の位置から前記リードを照らすように照射手段が設け
られており、前記イメージ形成部材が前記第２の位置か
ら照らされた前記リードの少なくとも一部の第２の影イ
メージを形成するようになっており、前記装置が、前記
イメージ形成部材に接続されるとともに、前記第１及び
第２影イメージの位置を定めて第３及び第４の位置を決
定し、前記第３及び第４の位置から問題の位置を決定す
るようになっている位置決定部材を具えていることを特
徴としている。
置の位置から前記リードを照らすように照射手段が設け
られており、前記イメージ形成部材が前記第２の位置か
ら照らされた前記リードの少なくとも一部の第２の影イ
メージを形成するようになっており、前記装置が、前記
イメージ形成部材に接続されるとともに、前記第１及び
第２影イメージの位置を定めて第３及び第４の位置を決
定し、前記第３及び第４の位置から問題の位置を決定す
るようになっている位置決定部材を具えていることを特
徴としている。
本発明による装置の第１に好適な具体例では、前記位
置決定部材が前記第３及び第４の位置の差から前記位置
を決定するように構成されていることを特徴としてい
る。これにより、前記位置の決定を容易、且つ、迅速に
行うことができる。
置決定部材が前記第３及び第４の位置の差から前記位置
を決定するように構成されていることを特徴としてい
る。これにより、前記位置の決定を容易、且つ、迅速に
行うことができる。
本発明による装置の第２に好適な具体例では、前記装
置が、前記リードと前記イメージ形成部材との間の光線
の経路内に配置されたすりガラス板を有することを特徴
としている。すりガラス板は、クリヤーな影イメージを
形成させる。
置が、前記リードと前記イメージ形成部材との間の光線
の経路内に配置されたすりガラス板を有することを特徴
としている。すりガラス板は、クリヤーな影イメージを
形成させる。
以下、図面に示された実施例に基づいて、本発明をよ
り詳細に説明する。
り詳細に説明する。
第１図は、本発明による装置の実施例を概略的に示し
ている。
ている。
第２図は、第１及び第２の影イメージの形成を示して
いる。
いる。
第３図は、投影面に対して直角の方向において、２つ
の異なる位置におけるリードのイメージ形成を示してい
る。
の異なる位置におけるリードのイメージ形成を示してい
る。
第４図は、投影面に対して平行な方向において、２つ
の異なる位置におけるリードのイメージ形成を示してい
る。
の異なる位置におけるリードのイメージ形成を示してい
る。
第５図は、本発明による装置に使用されるデータプロ
セッサ手段のブロック図を示している。
セッサ手段のブロック図を示している。
図面において、同じ又は類似する部材には同じ符号が
付されている。
付されている。
第１図に概略的に示された本発明の実施例の装置は、
各々が光源2,4,6,8を具えた４つのホルダー1,3,5,7を有
している。電子部品14、特に、半導体要素の複数のリー
ド15上には、各々の光源から照射される光が斜めに投下
される。電子部品は、イメージ形成部材としての部品で
ある艶消し板９の上に、すなわち、そのすぐ上に配置さ
れる。光は反射するので、照らされたリードのうちの１
つの近くにおいて、すりガラス板の表面及び裏面には、
その都度影が形成される。すりガラス板を使用すること
により、１つのリード又は複数のリードの影イメージ
は、すりガラス板の裏面において構成されるイメージ面
のレベルで得られる。このイメージ面は、すりガラス板
を通過する光が投影される、例えば、投影面によって形
成される。イメージ形成部材は、さらに、レンズシステ
ム10及びカメラ11、例えばCCDカメラを有する。カメラ1
1は、カメラをコントロールするとともにカメラによっ
て読み込まれたデータの処理を行うデータプロセッサシ
ステム12に接続されている。データプロセッサシステム
12は、さらに、インターフェイス13に接続されている。
インターフェイス13は、さらに、光源2,4,6,8に接続さ
れており、光源のオン・オフの切換えをコントロールす
るようになっている。光が照射される傾斜角は、好まし
くは、45゜である。この角度は、明確に、且つ、一義的
に位置を定められる、くっきりとした輪郭の影イメージ
を形成するのに便利である。さらに、角度が45゜のた
め、ｚ方向の変位とｘ方向の変位が同じである。しか
し、45゜以外の他の角度にすることができることは明ら
かである。一方の光線を90゜の角度で投下し、他方の光
線を０゜の角度で投下するときには、有用な情報が得ら
れないので、このような組合せは避けるべきである。
各々が光源2,4,6,8を具えた４つのホルダー1,3,5,7を有
している。電子部品14、特に、半導体要素の複数のリー
ド15上には、各々の光源から照射される光が斜めに投下
される。電子部品は、イメージ形成部材としての部品で
ある艶消し板９の上に、すなわち、そのすぐ上に配置さ
れる。光は反射するので、照らされたリードのうちの１
つの近くにおいて、すりガラス板の表面及び裏面には、
その都度影が形成される。すりガラス板を使用すること
により、１つのリード又は複数のリードの影イメージ
は、すりガラス板の裏面において構成されるイメージ面
のレベルで得られる。このイメージ面は、すりガラス板
を通過する光が投影される、例えば、投影面によって形
成される。イメージ形成部材は、さらに、レンズシステ
ム10及びカメラ11、例えばCCDカメラを有する。カメラ1
1は、カメラをコントロールするとともにカメラによっ
て読み込まれたデータの処理を行うデータプロセッサシ
ステム12に接続されている。データプロセッサシステム
12は、さらに、インターフェイス13に接続されている。
インターフェイス13は、さらに、光源2,4,6,8に接続さ
れており、光源のオン・オフの切換えをコントロールす
るようになっている。光が照射される傾斜角は、好まし
くは、45゜である。この角度は、明確に、且つ、一義的
に位置を定められる、くっきりとした輪郭の影イメージ
を形成するのに便利である。さらに、角度が45゜のた
め、ｚ方向の変位とｘ方向の変位が同じである。しか
し、45゜以外の他の角度にすることができることは明ら
かである。一方の光線を90゜の角度で投下し、他方の光
線を０゜の角度で投下するときには、有用な情報が得ら
れないので、このような組合せは避けるべきである。
第１図に概略的に示された実施例は１つの実施可能な
例を示すに過ぎず、種々の他の実施例も可能であること
は明らかである。従って、例えば、照射手段として４つ
ではなく２つのランプを使用することもできる。この場
合、２つのランプ、例えばランプ2,4は、実質的に対向
して設けられ、電子部品のリードは好ましくは傾斜角を
もって照らされる。さらに、ランプは必ずしも同じ高さ
に配置されている必要はなく、また、互いにｙ方向にお
いて及びｚ方向においてずらされていても差支えない。
対応するｙ位置にランプを配置することにより、影イメ
ージの位置に基づいて、対象となるリードの位置を決定
することが容易となる。
例を示すに過ぎず、種々の他の実施例も可能であること
は明らかである。従って、例えば、照射手段として４つ
ではなく２つのランプを使用することもできる。この場
合、２つのランプ、例えばランプ2,4は、実質的に対向
して設けられ、電子部品のリードは好ましくは傾斜角を
もって照らされる。さらに、ランプは必ずしも同じ高さ
に配置されている必要はなく、また、互いにｙ方向にお
いて及びｚ方向においてずらされていても差支えない。
対応するｙ位置にランプを配置することにより、影イメ
ージの位置に基づいて、対象となるリードの位置を決定
することが容易となる。
他の実施例としては、唯一の光源を可動アームに取付
けて使用することができる。この方法によると、光源は
異なる位置に転回されて、各々異なる位置から電子部品
のリードを照らすことになる。可動アームは、例えば、
データプロセッサユニット12によってコントロールされ
る。
けて使用することができる。この方法によると、光源は
異なる位置に転回されて、各々異なる位置から電子部品
のリードを照らすことになる。可動アームは、例えば、
データプロセッサユニット12によってコントロールされ
る。
しかし、重要なことは、光源が電子部品に対して側方
（sideways）に及び電子部品に配置されている面の外側
に（out of）配置されていることであり、さもさけれ
ば、有用な影イメージは得られないであろう。
（sideways）に及び電子部品に配置されている面の外側
に（out of）配置されていることであり、さもさけれ
ば、有用な影イメージは得られないであろう。
好ましくは、電子部品を、そのリードが板に向うよう
に、すりガラス板９の上方に少し吊持しておく。こうし
ておくと、リードが損傷したり曲がったりすることが防
止できる。電子部品は、測定が行われる場所に次の部品
をその都度適切に送ることができるような、例えば吊持
手段又は吸引手段によって、その場所に保持される。し
かし、測定を慎重に行うときには、電子部品はすりガラ
ス板上に載置されることは明らかであろう。
に、すりガラス板９の上方に少し吊持しておく。こうし
ておくと、リードが損傷したり曲がったりすることが防
止できる。電子部品は、測定が行われる場所に次の部品
をその都度適切に送ることができるような、例えば吊持
手段又は吸引手段によって、その場所に保持される。し
かし、測定を慎重に行うときには、電子部品はすりガラ
ス板上に載置されることは明らかであろう。
すりガラス板を使用する替わりに、当然のことなが
ら、コーティングガラスを使用することもできる。ま
た、カメラ11を、例えば、フォトディテクタのような他
のイメージ形成手段に変更することができることは言う
までもない。
ら、コーティングガラスを使用することもできる。ま
た、カメラ11を、例えば、フォトディテクタのような他
のイメージ形成手段に変更することができることは言う
までもない。
光源2,4,6,8は、点光源からなる。従来、例えば自転
車燈のような、小さな電球が使用されてきた。影イメー
ジを使用するので、光源は高性能である必要はなく、簡
素な手段で十分である。
車燈のような、小さな電球が使用されてきた。影イメー
ジを使用するので、光源は高性能である必要はなく、簡
素な手段で十分である。
また、フラッシュ光を使用することもできる。フラッ
シュ光は射光時の照射時間が短いという効果がある。し
かし、くっきりとした影イメージを形成するには、充分
な光強度が必要である。さらに、フラッシュ光は、瞬間
的なスイッチ操作が可能であり、測定サイクル時間をか
なり短縮でき、装置の効率を向上させる。
シュ光は射光時の照射時間が短いという効果がある。し
かし、くっきりとした影イメージを形成するには、充分
な光強度が必要である。さらに、フラッシュ光は、瞬間
的なスイッチ操作が可能であり、測定サイクル時間をか
なり短縮でき、装置の効率を向上させる。
第２図には、本発明による方法によって得られた影イ
メージ形成が示されている。この実施例は、まず、座標
システムの原点Ｏに対して、各々高さh1及びhr、各距離
d1及びdrで定められる第１の位置及び第２の位置から、
光源2,4によってリード15が照らされることから始ま
る。そして、リード15の位置を決定するために、高さｈ
（ｚ方向）及び距離ｄ（ｘ方向）を定めなければならな
い。ｙ座標は、後述するように、測定窓（window）を使
用することによって定められる。問題の位置は、それか
ら、３次元的に定められる。
メージ形成が示されている。この実施例は、まず、座標
システムの原点Ｏに対して、各々高さh1及びhr、各距離
d1及びdrで定められる第１の位置及び第２の位置から、
光源2,4によってリード15が照らされることから始ま
る。そして、リード15の位置を決定するために、高さｈ
（ｚ方向）及び距離ｄ（ｘ方向）を定めなければならな
い。ｙ座標は、後述するように、測定窓（window）を使
用することによって定められる。問題の位置は、それか
ら、３次元的に定められる。
各々の光源2,4から照射された光源は、投影面Ｐ上に
第１及び第２影イメージを形成する。投影面Ｐには、第
３位置x1及び第４位置xr上に、影イメージが位置する。
測定を簡素化するために、点x1及びxrは、各々、影イメ
ージの中間部位から選ばれる。しかし、例えば、影イメ
ージの先端のような他の部位から選ばれても差支えな
い。
第１及び第２影イメージを形成する。投影面Ｐには、第
３位置x1及び第４位置xr上に、影イメージが位置する。
測定を簡素化するために、点x1及びxrは、各々、影イメ
ージの中間部位から選ばれる。しかし、例えば、影イメ
ージの先端のような他の部位から選ばれても差支えな
い。
影イメージが投射した点x1及びxrの位置の決定は、原
点Ｏに対してｘ方向の距離x1及びxrを決定することによ
り行われる。これは、例えば、カメラによって記録され
たイメージのイメージポイントをカウントすることによ
り、すなわち、グレーバリュー法（grey value determi
nation）によっておこなうことができる。h1,hr,d1,dr
は即知であるから、距離ｈ及びｄは次式により計算する
ことができる。
点Ｏに対してｘ方向の距離x1及びxrを決定することによ
り行われる。これは、例えば、カメラによって記録され
たイメージのイメージポイントをカウントすることによ
り、すなわち、グレーバリュー法（grey value determi
nation）によっておこなうことができる。h1,hr,d1,dr
は即知であるから、距離ｈ及びｄは次式により計算する
ことができる。
この計算は、例えば、光源のオン・オフの切換えをも
コントロールするデータプロセッサユニットによって実
行される。リード位置を決定する際、データプロセッサ
ユニットは光源を継々にオン・オフ切換えして、光源に
よって形成された影イメージの位置をその都度決定す
る。光源は測定時のみオン状態にされる。
コントロールするデータプロセッサユニットによって実
行される。リード位置を決定する際、データプロセッサ
ユニットは光源を継々にオン・オフ切換えして、光源に
よって形成された影イメージの位置をその都度決定す
る。光源は測定時のみオン状態にされる。
第３図及び第４図は、リードが異なる位置にあるとき
は、影イメージも異なる位置にくるという事実を示して
いる。第３図は、点Ｍ及びＭ′の影イメージを示してお
り、Ｍ′はＭに対してｚ方向にずれている。Ｍ′の影イ
メージは位置ｘ′１及びｘ′ｒの位置にあり、これらは
位置x1及びxrとは明らかに異なっている。このことは、
第４図に示されるように、位置Ｍ″がＭに対してｘ方向
ずれた場合にも、位置Ｍ″の要素によって形成された位
置ｘ″１及びｘ″ｒの影イメージについても当て嵌ま
る。故に、各々の影イメージが１つのリード位置に正確
に対応していることは、第３図及び第４図から明らかで
ある。従って、リードの位置を、これらの影イメージか
ら一義的に、且つ、正確に測定することができるのであ
る。
は、影イメージも異なる位置にくるという事実を示して
いる。第３図は、点Ｍ及びＭ′の影イメージを示してお
り、Ｍ′はＭに対してｚ方向にずれている。Ｍ′の影イ
メージは位置ｘ′１及びｘ′ｒの位置にあり、これらは
位置x1及びxrとは明らかに異なっている。このことは、
第４図に示されるように、位置Ｍ″がＭに対してｘ方向
ずれた場合にも、位置Ｍ″の要素によって形成された位
置ｘ″１及びｘ″ｒの影イメージについても当て嵌ま
る。故に、各々の影イメージが１つのリード位置に正確
に対応していることは、第３図及び第４図から明らかで
ある。従って、リードの位置を、これらの影イメージか
ら一義的に、且つ、正確に測定することができるのであ
る。
第２図の実施例では、高さｈは、ｘ軸と一致する投射
面に対して決定される。しかし、高さｈを、例えば、電
子部品の底面によって形成される面のような他の如何な
る基準面に対しても決定することができる。しかし、他
の基準面に対して決定する場合、この基準面の位置を最
初に決定しておく必要がある。このことは前述の影イメ
ージによってもおこないうる。
面に対して決定される。しかし、高さｈを、例えば、電
子部品の底面によって形成される面のような他の如何な
る基準面に対しても決定することができる。しかし、他
の基準面に対して決定する場合、この基準面の位置を最
初に決定しておく必要がある。このことは前述の影イメ
ージによってもおこないうる。
第５図は、装置をコントロールし、且つ、測定値x1及
びxrに基づいて位置を計算するためのデータプロセッサ
ユニット12の実施例を示している。データプロセッサユ
ニットは、例えば、VMEバスのような通信バス21、及び
マイクロプロセッサ22並びに前記バスに接続された第１
及び第２メモリー23,24を有している。例えば、第１メ
モリーはROMであり、第２メモリーはRAMである。さらに
入力−出力インターフェイス25がバス21に接続されてい
る。入力−出力インターフェイスには、装置をコントロ
ールするためのコントロール部分26が接続されている。
さらに、センサーインターフェイス27、イメージ読取り
部材28及びビデオジェネレータ29がバス21に接続されて
いる。これらは、例えば、SCバスのような、さらなるバ
ス31,32によって互いに接続されている。センサーイン
ターフェイスは、カメラ11に接続されており、ビデオジ
ェネレータは、例えばCRTのようなディスプレイユニッ
ト30に接続されている。
びxrに基づいて位置を計算するためのデータプロセッサ
ユニット12の実施例を示している。データプロセッサユ
ニットは、例えば、VMEバスのような通信バス21、及び
マイクロプロセッサ22並びに前記バスに接続された第１
及び第２メモリー23,24を有している。例えば、第１メ
モリーはROMであり、第２メモリーはRAMである。さらに
入力−出力インターフェイス25がバス21に接続されてい
る。入力−出力インターフェイスには、装置をコントロ
ールするためのコントロール部分26が接続されている。
さらに、センサーインターフェイス27、イメージ読取り
部材28及びビデオジェネレータ29がバス21に接続されて
いる。これらは、例えば、SCバスのような、さらなるバ
ス31,32によって互いに接続されている。センサーイン
ターフェイスは、カメラ11に接続されており、ビデオジ
ェネレータは、例えばCRTのようなディスプレイユニッ
ト30に接続されている。
カメラ11によって形成されたイメージは、センサーイ
ンターフェイス27によって走査されてディジタルイメー
ジに変換される。ディジタルイメージはインターフェイ
ス27のメモリーに記憶される。読取り部材28はメモリー
からイメージデータを抽出して、そのデータを、例え
ば、形成されたイメージについて定義される窓を測定す
ることによって処理する。次いで、ビデオジェネレータ
がイメージデータのイメージを作り、そのイメージがデ
ィスプレイユニットの画面に表示される。データの構成
は、ROM23に記憶されたプログラムにより、マイクロプ
ロセッサのコントロール下において行われる。
ンターフェイス27によって走査されてディジタルイメー
ジに変換される。ディジタルイメージはインターフェイ
ス27のメモリーに記憶される。読取り部材28はメモリー
からイメージデータを抽出して、そのデータを、例え
ば、形成されたイメージについて定義される窓を測定す
ることによって処理する。次いで、ビデオジェネレータ
がイメージデータのイメージを作り、そのイメージがデ
ィスプレイユニットの画面に表示される。データの構成
は、ROM23に記憶されたプログラムにより、マイクロプ
ロセッサのコントロール下において行われる。
電子部品の各々のリードの位置を決定するために、各
々のリードを周囲に窓が定義される。これまでは、それ
自体知られている、隣合うリード間の距離が使用されて
いた。カメラによって形成されたイメージの窓の位置に
基づいて、影イメージが位置する部位を定めるために、
その時々、予測値が決定される。これにより、影イメー
ジの位置を探すことが容易になる。窓を決定する際、リ
ードの長さが考慮される。
々のリードを周囲に窓が定義される。これまでは、それ
自体知られている、隣合うリード間の距離が使用されて
いた。カメラによって形成されたイメージの窓の位置に
基づいて、影イメージが位置する部位を定めるために、
その時々、予測値が決定される。これにより、影イメー
ジの位置を探すことが容易になる。窓を決定する際、リ
ードの長さが考慮される。
対象となる各リードの周囲で窓が定義される際、各々
の窓について２つの輪郭、すなわち、リード輪郭（lead
profile）と、グラビティ輪郭（gravity profile）が
決定される。リード輪郭は、リードの方向において定め
られ、個々のリードの位置を表わす。グラビティ輪郭
は、リードを横切る方向に定められ、リードの中間を表
わす。
の窓について２つの輪郭、すなわち、リード輪郭（lead
profile）と、グラビティ輪郭（gravity profile）が
決定される。リード輪郭は、リードの方向において定め
られ、個々のリードの位置を表わす。グラビティ輪郭
は、リードを横切る方向に定められ、リードの中間を表
わす。
リード輪郭を決定した後、各リード輪郭のグレイ値が
基準のリード輪郭のそれと比較される。基準のリード輪
郭は、好ましくは三角形であり、多数のイメージポイン
トとして表わされる補正幅（Ti）を取ることにより、及
び、リードの高さと窓の高さの比を与える高さに選択す
ることにより得られる。三角形の基準輪郭を使用する
と、公差を小さく抑えることができるという効果があ
る。次いで、リードの中心がこの長さ方向の輪郭からそ
れ自体公知の方法で計算される。その後、水平及び垂直
方向の一連のリードのｘ位置及びｙ位置が、これらの個
々のリードの位置の平均値から計算される。
基準のリード輪郭のそれと比較される。基準のリード輪
郭は、好ましくは三角形であり、多数のイメージポイン
トとして表わされる補正幅（Ti）を取ることにより、及
び、リードの高さと窓の高さの比を与える高さに選択す
ることにより得られる。三角形の基準輪郭を使用する
と、公差を小さく抑えることができるという効果があ
る。次いで、リードの中心がこの長さ方向の輪郭からそ
れ自体公知の方法で計算される。その後、水平及び垂直
方向の一連のリードのｘ位置及びｙ位置が、これらの個
々のリードの位置の平均値から計算される。
グラビティ輪郭を使用することにより、ｙ方向及びｘ
方向における水平及び垂直の一連のリードの位置が、各
々の重心から計算される。
方向における水平及び垂直の一連のリードの位置が、各
々の重心から計算される。
計算は所定のプログラムを具えたデータプロセッサシ
ステムを使用して行われる。
ステムを使用して行われる。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−66404（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−10204（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−136003（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−118754（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H05K 13/04
Claims (12)
- 【請求項１】電子部品によって形成される平面の側方外
側に位置する第１の位置からリードを照らし、前記リー
ドの少なくとも一部の第１イメージをイメージ面に形成
するようにして、基準面に対して、電子部品、特に半導
体要素の少なくとも１つのリードの位置を決定する方法
であって、 前記第１のイメージを形成する際に影イメージを形成す
るとともに、前記第１の位置と異なる第２の位置から前
記リードを照らして、前記イメージ面に第２の影イメー
ジを形成し、前記第１影イメージ及び第２影イメージの
位置を定めて第３及び第４の位置を決定し、問題の位置
を前記第３及び第４の位置から決定することを特徴とす
る、方法。 - 【請求項２】前記第３及び第４の位置が、前記第１及び
第２の影イメージの実質的に中間に位置することを特徴
とする、請求項１記載の方法。 - 【請求項３】前記第１及び第２の位置からの照射が実質
的に反対側から行われることを特徴とする、請求項１又
は２記載の方法 - 【請求項４】基準面が存在する位置に対応する第５の位
置が決定されることを特徴とする、請求項１乃至３のい
ずれか１つに記載の方法。 - 【請求項５】電子部品が配置される平面の側方外側に位
置する第１の位置からリードを照らすように設けられた
照射手段と、照射された前記リードの少なくとも一部の
第１イメージをイメージ面に形成するようなイメージ形
成部材とを有し、基準面に対して、電子部品、特に半導
体要素の少なくとも１つのリードの位置を決定する装置
であって、 前記第１の位置と異なる第２位置の位置から前記リード
を照らすように照射手段が設けられており、前記イメー
ジ形成部材が前記第２の位置から照らされた前記リード
の少なくとも一部の第２の影イメージを形成するように
なっており、前記装置が、前記イメージ形成部材に接続
されるとともに、前記第１及び第２影イメージの位置を
定めて第３及び第４の位置を決定し前記第３及び第４の
位置から問題の位置を決定するようになっている位置決
定部材を具えていることを特徴とする、装置。 - 【請求項６】前記照射手段が、前記第１及び第２の位置
に配置された第１及び第２光源を有することを特徴とす
る、請求項５記載の装置。 - 【請求項７】前記第１及び第２位置が実質的に互いに対
向していることを特徴とする、請求項５又は６記載の装
置。 - 【請求項８】前記位置決定部材が前記第３及び第４の位
置の差から前記位置を決定するように構成されているこ
とを特徴とする、請求項７記載の装置。 - 【請求項９】前記装置が、前記リードと前記イメージ形
成部材との間の光線の経路内に配置されたすりガラス板
を有することを特徴とする、請求項５乃至８のいずれか
１つに記載の方法。 - 【請求項１０】前記イメージ形成部材がカメラからなる
ことを特徴とする、請求項５乃至９のいずれか１つに記
載の方法。 - 【請求項１１】前記光源が点光源であることを特徴とす
る、請求項７記載の方法。 - 【請求項１２】前記点光源が自転車燈から形成されてい
ることを特徴とする、請求項11記載の方法。
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|---|---|---|---|
| BE09000331 | 1990-03-23 | ||
| BE9000331A BE1003136A3 (nl) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | Werkwijze en inrichting voor het bepalen van een positie van ten minste een aansluitpen van een elektronische component. |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04506886A JPH04506886A (ja) | 1992-11-26 |
| JP2936523B2 true JP2936523B2 (ja) | 1999-08-23 |
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ID=3884728
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP3505379A Expired - Lifetime JP2936523B2 (ja) | 1990-03-23 | 1991-03-22 | 電子部品の少なくとも１つのリードの位置を決定する方法及び装置 |
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| JP (1) | JP2936523B2 (ja) |
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| BE (1) | BE1003136A3 (ja) |
| DE (1) | DE69116270T3 (ja) |
| WO (1) | WO1991015104A1 (ja) |
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| US6236747B1 (en) * | 1997-02-26 | 2001-05-22 | Acuity Imaging, Llc | System and method for image subtraction for ball and bumped grid array inspection |
| US6118524A (en) * | 1997-02-26 | 2000-09-12 | Acuity Imaging, Llc | Arc illumination apparatus and method |
| US6201892B1 (en) | 1997-02-26 | 2001-03-13 | Acuity Imaging, Llc | System and method for arithmetic operations for electronic package inspection |
| US5828449A (en) * | 1997-02-26 | 1998-10-27 | Acuity Imaging, Llc | Ring illumination reflective elements on a generally planar surface |
| JPH11148807A (ja) * | 1997-07-29 | 1999-06-02 | Toshiba Corp | バンプ高さ測定方法及びバンプ高さ測定装置 |
| US6064483A (en) * | 1997-08-07 | 2000-05-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Device for checking the position the coplanarity and the separation of terminals of components |
| US6915006B2 (en) * | 1998-01-16 | 2005-07-05 | Elwin M. Beaty | Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components |
| US6915007B2 (en) | 1998-01-16 | 2005-07-05 | Elwin M. Beaty | Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components |
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| US4507557A (en) * | 1983-04-01 | 1985-03-26 | Siemens Corporate Research & Support, Inc. | Non-contact X,Y digitizer using two dynamic ram imagers |
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| DE3431616A1 (de) * | 1984-08-28 | 1986-03-06 | Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8012 Ottobrunn | Messvorrichtung zur bestimmung der relativlage zweier koerper |
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-
1991
- 1991-03-22 EP EP91905650A patent/EP0473749B2/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-22 WO PCT/BE1991/000023 patent/WO1991015104A1/en active IP Right Grant
- 1991-03-22 JP JP3505379A patent/JP2936523B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-22 US US07/777,366 patent/US5440391A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-22 AT AT91905650T patent/ATE133026T1/de not_active IP Right Cessation
- 1991-03-22 DE DE69116270T patent/DE69116270T3/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-11-22 KR KR1019910701663A patent/KR100218756B1/ko not_active IP Right Cessation
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