JP2934126B2 - 磁気ディスク装置用の磁気ヘッドユニット - Google Patents
磁気ディスク装置用の磁気ヘッドユニットInfo
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/486—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives with provision for mounting or arranging electrical conducting means or circuits on or along the arm assembly
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4833—Structure of the arm assembly, e.g. load beams, flexures, parts of the arm adapted for controlling vertical force on the head
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】磁気ディスク装置において磁気デ
ィスクに情報を記録／再生するための磁気ヘッドは、在
来のモノリシック型に代わって薄膜型のものが普及して
きている。本発明は、磁気ディスク装置に用いられる薄
膜型の磁気ヘッドユニットに関する。
ィスクに情報を記録／再生するための磁気ヘッドは、在
来のモノリシック型に代わって薄膜型のものが普及して
きている。本発明は、磁気ディスク装置に用いられる薄
膜型の磁気ヘッドユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】図１０は従来の磁気ディスク装置用の薄
膜磁気ヘッドユニットであり、（ａ）は組立て状態、
（ｂ）は分解状態である。磁気ヘッドユニットとは、ス
プリングアームの根元が磁気ヘッド位置決め機構に取り
付け可能になっており、先端に磁気ヘッドが取り付けら
れた状態を指す。
膜磁気ヘッドユニットであり、（ａ）は組立て状態、
（ｂ）は分解状態である。磁気ヘッドユニットとは、ス
プリングアームの根元が磁気ヘッド位置決め機構に取り
付け可能になっており、先端に磁気ヘッドが取り付けら
れた状態を指す。
【０００３】板バネからなるスプリングアーム１は、そ
の根元１ａが、スペーサ２を介して、磁気ヘッド位置決
め機構に積層固定される。スプリングアーム１の先端１
ｂには、ジンバル３が（ｂ）図の×印の位置でレーザ溶
接され、該ジンバル３に磁気ヘッドｈのコアスライダ４
の背面が接着固定される。
の根元１ａが、スペーサ２を介して、磁気ヘッド位置決
め機構に積層固定される。スプリングアーム１の先端１
ｂには、ジンバル３が（ｂ）図の×印の位置でレーザ溶
接され、該ジンバル３に磁気ヘッドｈのコアスライダ４
の背面が接着固定される。
【０００４】コアスライダ４の後端面に形成された磁気
ヘッド素子部５にリード線６が接続されており、スプリ
ングアーム１に固定されている絶縁チューブ７中の信号
線８を通して、図１１に示す情報の記録／再生回路９に
導かれる。
ヘッド素子部５にリード線６が接続されており、スプリ
ングアーム１に固定されている絶縁チューブ７中の信号
線８を通して、図１１に示す情報の記録／再生回路９に
導かれる。
【０００５】この磁気ヘッドｈにおいて、コアスライダ
４を図１１の磁気記録媒体１０と対向させ、スプリング
アーム１の根元の湾曲部１ｃのバネ性によって、コアス
ライダ４を磁気記録媒体側に押しつけ、磁気記録媒体１
０を高速回転させる。このとき、浮上型の磁気ヘッドに
おいては、風力によってコアスライダ４が浮上し、接触
型においては、コアスライダ４が磁気記録媒体１０と接
触した状態で、情報の記録／再生が行なわれる。
４を図１１の磁気記録媒体１０と対向させ、スプリング
アーム１の根元の湾曲部１ｃのバネ性によって、コアス
ライダ４を磁気記録媒体側に押しつけ、磁気記録媒体１
０を高速回転させる。このとき、浮上型の磁気ヘッドに
おいては、風力によってコアスライダ４が浮上し、接触
型においては、コアスライダ４が磁気記録媒体１０と接
触した状態で、情報の記録／再生が行なわれる。
【０００６】図１１において、１１は磁気ヘッドの位置
決め機構（キャリッジ）であり、回転軸１２に取り付け
られた駆動アーム１３が回転することで、その先端にス
ペーサ２を介して取り付けられたスプリングアーム１の
先端の磁気ヘッドｈが、磁気記録媒体１０上の目的のト
ラックにシークされる。
決め機構（キャリッジ）であり、回転軸１２に取り付け
られた駆動アーム１３が回転することで、その先端にス
ペーサ２を介して取り付けられたスプリングアーム１の
先端の磁気ヘッドｈが、磁気記録媒体１０上の目的のト
ラックにシークされる。
【０００７】ところで、前記のように絶縁チューブ７を
用いてリード線を引き出す構造では、絶縁チューブ７が
高密度実装の妨げになり、また組立て作業の邪魔にな
り、特に自動組立てに支障を来す。また、信号線がノイ
ズを拾いやすく、Ｓ／Ｎ特性を低下させる。
用いてリード線を引き出す構造では、絶縁チューブ７が
高密度実装の妨げになり、また組立て作業の邪魔にな
り、特に自動組立てに支障を来す。また、信号線がノイ
ズを拾いやすく、Ｓ／Ｎ特性を低下させる。
【０００８】そこで、特開平４−２１９１８号公報に記
載されているように、スプリングアーム１上に絶縁層を
形成してその上に導体パターンを形成し、信号線とする
ことが提案されている。
載されているように、スプリングアーム１上に絶縁層を
形成してその上に導体パターンを形成し、信号線とする
ことが提案されている。
【０００９】図１２は薄膜磁気ヘッドの全容を示す斜視
図、図１３は薄膜磁気ヘッドの素子部の層構成を示す断
面図（図１２におけるＡ−Ａ断面図）である。薄膜磁気
ヘッドは、スライダ部４とヘッド素子部５とで構成さ
れ、ヘッド素子部５は成膜技術とリソグラフィ技術によ
って積層形成される。１５ａ，１５ｂは記録／再生コイ
ルの端子である。
図、図１３は薄膜磁気ヘッドの素子部の層構成を示す断
面図（図１２におけるＡ−Ａ断面図）である。薄膜磁気
ヘッドは、スライダ部４とヘッド素子部５とで構成さ
れ、ヘッド素子部５は成膜技術とリソグラフィ技術によ
って積層形成される。１５ａ，１５ｂは記録／再生コイ
ルの端子である。
【００１０】図１３に示すように、ヘッド素子部５は、
磁路を構成する下部磁極１６と上部磁極１７との間に、
後端の磁気結合部１８を中心に渦巻き状に薄膜コイル１
９を巻いた構成になっている。そして、ギャップ絶縁層
２０で、下部磁極と上部磁極１７間のギャップＧの寸法
が規定され、このギャップＧを磁気記録媒体１０に対向
させることで、情報の記録／再生が行なわれる。
磁路を構成する下部磁極１６と上部磁極１７との間に、
後端の磁気結合部１８を中心に渦巻き状に薄膜コイル１
９を巻いた構成になっている。そして、ギャップ絶縁層
２０で、下部磁極と上部磁極１７間のギャップＧの寸法
が規定され、このギャップＧを磁気記録媒体１０に対向
させることで、情報の記録／再生が行なわれる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記のよう
にスプリングアーム１上に直接導体パターンを形成する
手法では、スプリングアーム１の根元１ａの弾力発生部
１ｃを湾曲形成する工程において、導体パターンにスト
レスが作用して断線するなどの問題が生じる。これに対
し、特開平４−１１１２１７号公報に記載されているよ
うに、フレキシブルプリント板をスプリングアームに貼
りつけ、湾曲部のみは貼りつけないでフリー状態とする
手法もあるが、最近のように板厚が数十μｍで、幅が4.
6mmといった超小型のスプリングアームには適用不可能
である。
にスプリングアーム１上に直接導体パターンを形成する
手法では、スプリングアーム１の根元１ａの弾力発生部
１ｃを湾曲形成する工程において、導体パターンにスト
レスが作用して断線するなどの問題が生じる。これに対
し、特開平４−１１１２１７号公報に記載されているよ
うに、フレキシブルプリント板をスプリングアームに貼
りつけ、湾曲部のみは貼りつけないでフリー状態とする
手法もあるが、最近のように板厚が数十μｍで、幅が4.
6mmといった超小型のスプリングアームには適用不可能
である。
【００１２】本発明の技術的課題は、以上のような問題
に着目し、スプリングアームに湾曲部を形成する際に導
体パターンが損傷したり断線するのを未然に防止するこ
とにある。
に着目し、スプリングアームに湾曲部を形成する際に導
体パターンが損傷したり断線するのを未然に防止するこ
とにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】図１に例示するように、
請求項１は、先端に取り付けられた磁気ヘッドを磁気記
録媒体側に弾圧するスプリングアームが、弾力を発生す
るための弾性部を有し、しかも磁気ヘッドの磁気ヘッド
素子部と記録／再生回路との間を電気的に接続するため
の導体パターンが積層形成されている磁気ヘッドユニッ
トであって、少なくとも前記の弾性部において、導体パ
ターン積層領域とは別に湾曲形成領域３３ａ，３３ｂを
設けると共に、該湾曲形成領域３３ａ，３３ｂと導体パ
ターン積層領域との間をスリット等で空間的に分離し、
湾曲形成領域のみに湾曲加工を行なってなる磁気ディス
ク装置用の磁気ヘッドユニットである。
請求項１は、先端に取り付けられた磁気ヘッドを磁気記
録媒体側に弾圧するスプリングアームが、弾力を発生す
るための弾性部を有し、しかも磁気ヘッドの磁気ヘッド
素子部と記録／再生回路との間を電気的に接続するため
の導体パターンが積層形成されている磁気ヘッドユニッ
トであって、少なくとも前記の弾性部において、導体パ
ターン積層領域とは別に湾曲形成領域３３ａ，３３ｂを
設けると共に、該湾曲形成領域３３ａ，３３ｂと導体パ
ターン積層領域との間をスリット等で空間的に分離し、
湾曲形成領域のみに湾曲加工を行なってなる磁気ディス
ク装置用の磁気ヘッドユニットである。
【００１４】図４に例示するように、請求項２は、スプ
リングアームに導体パターンが積層形成されている磁気
ヘッドユニットであって、少なくとも弾性部において、
スプリングアームの板材に凹部３９を形成して、その中
に導体パターン２５を形成してなる磁気ディスク装置用
の磁気ヘッドユニットである。
リングアームに導体パターンが積層形成されている磁気
ヘッドユニットであって、少なくとも弾性部において、
スプリングアームの板材に凹部３９を形成して、その中
に導体パターン２５を形成してなる磁気ディスク装置用
の磁気ヘッドユニットである。
【００１５】図５に例示するように、請求項３は、スプ
リングアームに導体パターンが積層形成されている磁気
ヘッドユニットであって、少なくとも弾性部における導
体パターンの幅を、弾性部以外の導体パターンの幅より
広くしてなる磁気ディスク装置用の磁気ヘッドユニット
である。
リングアームに導体パターンが積層形成されている磁気
ヘッドユニットであって、少なくとも弾性部における導
体パターンの幅を、弾性部以外の導体パターンの幅より
広くしてなる磁気ディスク装置用の磁気ヘッドユニット
である。
【００１６】図６に例示するように、請求項４は、スプ
リングアームに導体パターンが積層形成されている磁気
ヘッドユニットであって、少なくとも弾性部における導
体パターンを、弾性部以外の導体パターンに対し斜めに
形成してなる磁気ディスク装置用の磁気ヘッドユニット
である。
リングアームに導体パターンが積層形成されている磁気
ヘッドユニットであって、少なくとも弾性部における導
体パターンを、弾性部以外の導体パターンに対し斜めに
形成してなる磁気ディスク装置用の磁気ヘッドユニット
である。
【００１７】図７に例示するように、請求項５は、スプ
リングアームに導体パターンが積層形成されている磁気
ヘッドユニットであって、少なくとも弾性部において、
前記の導体パターンの両側に、該導体パターンと同じ層
構成でダミーの導体パターンを形成してなる磁気ディス
ク装置用の磁気ヘッドユニットである。
リングアームに導体パターンが積層形成されている磁気
ヘッドユニットであって、少なくとも弾性部において、
前記の導体パターンの両側に、該導体パターンと同じ層
構成でダミーの導体パターンを形成してなる磁気ディス
ク装置用の磁気ヘッドユニットである。
【００１８】図８に例示するように、請求項６は、スプ
リングアームに導体パターンが積層形成されている磁気
ヘッドユニットであって、少なくとも弾性部において、
前記の導体パターンの上側に、導体層と絶縁層からなる
保護層を積層してなる磁気ディスク装置用の磁気ヘッド
ユニットである。
リングアームに導体パターンが積層形成されている磁気
ヘッドユニットであって、少なくとも弾性部において、
前記の導体パターンの上側に、導体層と絶縁層からなる
保護層を積層してなる磁気ディスク装置用の磁気ヘッド
ユニットである。
【００１９】図９に例示するように、請求項７は、スプ
リングアームに導体パターンが積層形成されている磁気
ヘッドユニットであって、少なくとも弾性部において、
導体パターン２５と並行して予備の導体パターン２５ｓ
を有している。そして、この予備導体パターン２５ｓの
両端は、導体パターン２５に予め接続されている。
リングアームに導体パターンが積層形成されている磁気
ヘッドユニットであって、少なくとも弾性部において、
導体パターン２５と並行して予備の導体パターン２５ｓ
を有している。そして、この予備導体パターン２５ｓの
両端は、導体パターン２５に予め接続されている。
【００２０】
【作用】請求項１の磁気ヘッドユニットは、少なくとも
弾性部において、導体パターン積層領域と湾曲形成領域
３３ａ，３３ｂとの間をスリット等で空間的に分離し、
湾曲形成領域のみに湾曲加工を行なう構成なため、湾曲
形成の際の加工力は導体パターンには作用しない。した
がって、導体パターンが断線や損傷するなどの恐れはな
い。
弾性部において、導体パターン積層領域と湾曲形成領域
３３ａ，３３ｂとの間をスリット等で空間的に分離し、
湾曲形成領域のみに湾曲加工を行なう構成なため、湾曲
形成の際の加工力は導体パターンには作用しない。した
がって、導体パターンが断線や損傷するなどの恐れはな
い。
【００２１】請求項２の磁気ヘッドユニットは、弾性部
において、スプリングアームの板材に凹部３９を形成し
て、その中に導体パターン２５を埋め込んだ構成なた
め、湾曲形成の際の加工力は導体パターンには作用せ
ず、導体パターンの断線や損傷を未然に防止できる。
において、スプリングアームの板材に凹部３９を形成し
て、その中に導体パターン２５を埋め込んだ構成なた
め、湾曲形成の際の加工力は導体パターンには作用せ
ず、導体パターンの断線や損傷を未然に防止できる。
【００２２】請求項３の磁気ヘッドユニットは、弾性部
における導体パターンの幅が、弾性部以外の導体パター
ンの幅より広いため、湾曲形成の際の加工力が導体パタ
ーン２５の領域以外にも分散され、導体パターン２５の
断線や損傷が抑制され、かつ加工力もスプリングアーム
の全幅に均一に作用するので、効率的に湾曲加工を行な
うことができる。
における導体パターンの幅が、弾性部以外の導体パター
ンの幅より広いため、湾曲形成の際の加工力が導体パタ
ーン２５の領域以外にも分散され、導体パターン２５の
断線や損傷が抑制され、かつ加工力もスプリングアーム
の全幅に均一に作用するので、効率的に湾曲加工を行な
うことができる。
【００２３】請求項４の磁気ヘッドユニットは、弾性部
における導体パターンが、弾性部以外の導体パターンに
対し斜めに形成されているため、斜め導体パターンが受
ける湾曲形成の際の加工力が分散され、しかも導体パタ
ーンがねじれる方向の力を受けるので、受けるストレス
が小さく、導体パターンの断線や損傷を未然に防止でき
る。
における導体パターンが、弾性部以外の導体パターンに
対し斜めに形成されているため、斜め導体パターンが受
ける湾曲形成の際の加工力が分散され、しかも導体パタ
ーンがねじれる方向の力を受けるので、受けるストレス
が小さく、導体パターンの断線や損傷を未然に防止でき
る。
【００２４】請求項５の磁気ヘッドユニットは、弾性部
において、信号用の導体パターン２５の両側に、該導体
パターン２５と同じ層構成でダミーの導体パターン２５
ｄを有しているため、湾曲形成の際の加工力がダミーの
導体パターン２５ｄにも分散され、導体パターン２５の
断線や損傷が抑制され、かつ加工力もスプリングアーム
の全幅に均一に作用するので、効率的に湾曲加工を行な
うことができる。
において、信号用の導体パターン２５の両側に、該導体
パターン２５と同じ層構成でダミーの導体パターン２５
ｄを有しているため、湾曲形成の際の加工力がダミーの
導体パターン２５ｄにも分散され、導体パターン２５の
断線や損傷が抑制され、かつ加工力もスプリングアーム
の全幅に均一に作用するので、効率的に湾曲加工を行な
うことができる。
【００２５】請求項６の磁気ヘッドユニットは、弾性部
における導体パターン２５の上側に、導体層と絶縁層か
らなる保護層が積層されていて、湾曲加工の際の力が保
護層に作用するので、加工力が直接に導体パターン２５
に加わって断線したり損傷するのを抑制できる。
における導体パターン２５の上側に、導体層と絶縁層か
らなる保護層が積層されていて、湾曲加工の際の力が保
護層に作用するので、加工力が直接に導体パターン２５
に加わって断線したり損傷するのを抑制できる。
【００２６】請求項７の磁気ヘッドユニットは、弾性部
における導体パターン２５と並行して予備の導体パター
ン２５ｓを有しており、この予備導体パターン２５ｓの
両端は、導体パターン２５と予め接続されているので、
本導体パターン２５および予備の導体パターン２５ｓの
いずれかが断線したりしても、他方の導体パターンで電
気的接続が確保されているので、湾曲加工力などで断線
などが生じても支障はない。
における導体パターン２５と並行して予備の導体パター
ン２５ｓを有しており、この予備導体パターン２５ｓの
両端は、導体パターン２５と予め接続されているので、
本導体パターン２５および予備の導体パターン２５ｓの
いずれかが断線したりしても、他方の導体パターンで電
気的接続が確保されているので、湾曲加工力などで断線
などが生じても支障はない。
【００２７】
【実施例】次に本発明による磁気ディスク装置用の磁気
ヘッドユニットが実際上どのように具体化されるかを実
施例で説明する。
ヘッドユニットが実際上どのように具体化されるかを実
施例で説明する。
【００２８】〔請求項１〜７の実施例〕 図１は本発明の第１実施例を示す斜視図と断面図であ
り、スプリングアーム１の先端１ｂには、両側のブリッ
ジ部２３ａ，２３ｂを介してジンバル部２４が一体形成
されており、このジンバル部２４に磁気ヘッドのコアス
ライダ４が接着固定されている。
り、スプリングアーム１の先端１ｂには、両側のブリッ
ジ部２３ａ，２３ｂを介してジンバル部２４が一体形成
されており、このジンバル部２４に磁気ヘッドのコアス
ライダ４が接着固定されている。
【００２９】スプリングアーム１の根元部１ａは、磁気
ヘッド位置決め機構への取り付け領域になっており、根
元部１ａとジンバル部２４との間は、導体パターン２５
で電気的に接続されている。図２（ａ）は、図１におけ
るジンバル部２４に磁気ヘッドを搭載する前の状態を示
す斜視図であり、２本の導体パターン２５の先端にパッ
ド２５ａが形成されており、同図（ｂ）に示すように、
ジンバル部２４上にコアスライダ４を搭載して接着固定
するとともに、パッド２５ａとコアスライダ４の端子パ
ッド２６とで形成される直角の隅部に半田を付着させて
ボンディングする。なお、図２（ｂ）は図１における矢
印Ｂ方向から見た斜視図である。
ヘッド位置決め機構への取り付け領域になっており、根
元部１ａとジンバル部２４との間は、導体パターン２５
で電気的に接続されている。図２（ａ）は、図１におけ
るジンバル部２４に磁気ヘッドを搭載する前の状態を示
す斜視図であり、２本の導体パターン２５の先端にパッ
ド２５ａが形成されており、同図（ｂ）に示すように、
ジンバル部２４上にコアスライダ４を搭載して接着固定
するとともに、パッド２５ａとコアスライダ４の端子パ
ッド２６とで形成される直角の隅部に半田を付着させて
ボンディングする。なお、図２（ｂ）は図１における矢
印Ｂ方向から見た斜視図である。
【００３０】スプリングアーム１上の導体パターン２５
は、図２（ｃ）に示すようなプロセスで形成される。す
なわち、に示すようにステンレス材からなるスプリン
グアーム１の上に、に示すように、導体パターン形成
領域のみに或いは全面にポリイミド樹脂を塗布して絶縁
層２７を形成して、その上にに示すように、銅（Cu）
をスパッタまたは蒸着、化学メッキして下地層２８を形
成する。
は、図２（ｃ）に示すようなプロセスで形成される。す
なわち、に示すようにステンレス材からなるスプリン
グアーム１の上に、に示すように、導体パターン形成
領域のみに或いは全面にポリイミド樹脂を塗布して絶縁
層２７を形成して、その上にに示すように、銅（Cu）
をスパッタまたは蒸着、化学メッキして下地層２８を形
成する。
【００３１】この下地層２８を電極にして電気メッキを
行ない、のように銅メッキ層２９を形成する。そし
て、のように、下地層および銅メッキ層の不要部をエ
ッチング除去して、導体パターン２５を残す。最後に、
導体パターン２５の上から、ポリイミド樹脂を塗布し
て、絶縁保護膜３０とする。したがって、図１以下に示
す導体パターン２５は、絶縁体の保護膜で覆われている
ものとする。
行ない、のように銅メッキ層２９を形成する。そし
て、のように、下地層および銅メッキ層の不要部をエ
ッチング除去して、導体パターン２５を残す。最後に、
導体パターン２５の上から、ポリイミド樹脂を塗布し
て、絶縁保護膜３０とする。したがって、図１以下に示
す導体パターン２５は、絶縁体の保護膜で覆われている
ものとする。
【００３２】このように絶縁層２７、導体パターン２５
および絶縁保護膜３０の３層からなる導体パターン形成
領域の上から、湾曲形成の加工を行なうと、導体パター
ン２５が断線したり損傷するので、本実施例では、図１
に例示するように、導体パターン形成領域の両側に細長
い窓孔３１ａ，３１ｂを形成したり、図２（ａ）に例示
するようにスリット３２ａ，３２ｂを形成して、導体パ
ターン形成領域とその両側の湾曲形成領域３３ａ，３３
ｂとの間を空間的に分離する。
および絶縁保護膜３０の３層からなる導体パターン形成
領域の上から、湾曲形成の加工を行なうと、導体パター
ン２５が断線したり損傷するので、本実施例では、図１
に例示するように、導体パターン形成領域の両側に細長
い窓孔３１ａ，３１ｂを形成したり、図２（ａ）に例示
するようにスリット３２ａ，３２ｂを形成して、導体パ
ターン形成領域とその両側の湾曲形成領域３３ａ，３３
ｂとの間を空間的に分離する。
【００３３】この分離手段は、少なくとも磁気ヘッドを
磁気記録媒体側に弾圧するための弾性部Ｒに形成すれば
足り、全長に設ける必要はない。そして、このように導
体パターン形成領域から空間的に分離された湾曲形成領
域３３ａ，３３ｂのみに、湾曲形成を行なう構成なた
め、導体パターン形成領域には、湾曲形成のための加工
力が作用しない。なお、図１におけるスプリングアーム
１の板圧ｔ＝25μｍ、幅Ｗ＝4.6mm、導体パターン形成
領域の幅ｘ＝0.4mm、湾曲形成領域３３ａ，３３ｂの幅
ｙ＝1.8mm、窓孔３１ａ，３１ｂの幅ｚ＝0.3mm、湾曲形
成領域３３ａ，３３ｂの長さＬ＝２mmである。
磁気記録媒体側に弾圧するための弾性部Ｒに形成すれば
足り、全長に設ける必要はない。そして、このように導
体パターン形成領域から空間的に分離された湾曲形成領
域３３ａ，３３ｂのみに、湾曲形成を行なう構成なた
め、導体パターン形成領域には、湾曲形成のための加工
力が作用しない。なお、図１におけるスプリングアーム
１の板圧ｔ＝25μｍ、幅Ｗ＝4.6mm、導体パターン形成
領域の幅ｘ＝0.4mm、湾曲形成領域３３ａ，３３ｂの幅
ｙ＝1.8mm、窓孔３１ａ，３１ｂの幅ｚ＝0.3mm、湾曲形
成領域３３ａ，３３ｂの長さＬ＝２mmである。
【００３４】図３は湾曲形成加工を行なっている状態を
例示する図であり、まず（ａ）のように、導体パターン
形成領域の両側の湾曲形成領域３３ａ，３３ｂのみに接
触するように、小径部３４の両側に大径部３５ａ，３５
ｂを有するローラを用意し、ゴム台３６上にスプリング
アーム１の弾性部Ｒを載置して、前記ローラを湾曲形成
領域３３ａ，３３ｂに押しつけ、同図（ｂ）のように回
転させる。
例示する図であり、まず（ａ）のように、導体パターン
形成領域の両側の湾曲形成領域３３ａ，３３ｂのみに接
触するように、小径部３４の両側に大径部３５ａ，３５
ｂを有するローラを用意し、ゴム台３６上にスプリング
アーム１の弾性部Ｒを載置して、前記ローラを湾曲形成
領域３３ａ，３３ｂに押しつけ、同図（ｂ）のように回
転させる。
【００３５】その結果、（ｃ）図のように、湾曲形成領
域３３ａ，３３ｂのみ円弧状に永久変形するとともに、
導体パターン形成領域は、湾曲形成領域３３ａ，３３ｂ
の弾力によって円弧状に弾性変形する。したがって、こ
の実施例によると、導体パターン形成領域にはローラが
接触せず、湾曲形成のための加工力が作用しないので、
導体パターン２５が断線したり、損傷するなどの問題は
生じない。
域３３ａ，３３ｂのみ円弧状に永久変形するとともに、
導体パターン形成領域は、湾曲形成領域３３ａ，３３ｂ
の弾力によって円弧状に弾性変形する。したがって、こ
の実施例によると、導体パターン形成領域にはローラが
接触せず、湾曲形成のための加工力が作用しないので、
導体パターン２５が断線したり、損傷するなどの問題は
生じない。
【００３６】図４（ａ）は本発明の第２実施例を示す斜
視図、（ｂ）は（ａ）図におけるｂ−ｂ断面図、（ｃ）
は（ａ）図におけるｃ−ｃ断面図である。この実施例
は、請求項２に示すように、少なくとも弾性部Ｒにおい
て、スプリングアーム１の板材に凹溝３９を形成して、
その中に導体パターン２５を形成してある。
視図、（ｂ）は（ａ）図におけるｂ−ｂ断面図、（ｃ）
は（ａ）図におけるｃ−ｃ断面図である。この実施例
は、請求項２に示すように、少なくとも弾性部Ｒにおい
て、スプリングアーム１の板材に凹溝３９を形成して、
その中に導体パターン２５を形成してある。
【００３７】凹溝３９は、少なくとも弾性部Ｒの全長Ｃ
を含み、総ての導体パターン２５，２５を充分カバーで
きる広い幅Ｂが必要である。この実施例は、凹溝３９中
にも図２（ｃ）の絶縁層２７形成を行ない、凹溝３９
中および凹溝以外の絶縁層２７上にわたって下地層２８
および銅メッキ層２９を形成してから、パターニングし
て導体パターン２５を形成する。
を含み、総ての導体パターン２５，２５を充分カバーで
きる広い幅Ｂが必要である。この実施例は、凹溝３９中
にも図２（ｃ）の絶縁層２７形成を行ない、凹溝３９
中および凹溝以外の絶縁層２７上にわたって下地層２８
および銅メッキ層２９を形成してから、パターニングし
て導体パターン２５を形成する。
【００３８】そして、最後に絶縁層３０を形成するが、
導体パターン２５上の絶縁層３０の高さが、凹溝３９の
深さより小さいことが望ましい。このように、導体パタ
ーン２５を凹溝３９中に埋め込む構造とし、導体パター
ン２５上の絶縁層３０が、凹溝３９から突出しない寸法
とすることにより、ローラなどで湾曲形成する際の加工
力が、凹溝３９の両側のスプリングアーム板材のみに作
用し、導体パターン２５には作用しないので、図１の実
施例の場合と同様に、導体パターン２５の損傷、断線を
防止できる。
導体パターン２５上の絶縁層３０の高さが、凹溝３９の
深さより小さいことが望ましい。このように、導体パタ
ーン２５を凹溝３９中に埋め込む構造とし、導体パター
ン２５上の絶縁層３０が、凹溝３９から突出しない寸法
とすることにより、ローラなどで湾曲形成する際の加工
力が、凹溝３９の両側のスプリングアーム板材のみに作
用し、導体パターン２５には作用しないので、図１の実
施例の場合と同様に、導体パターン２５の損傷、断線を
防止できる。
【００３９】（ｂ）（ｃ）は、スプリングアーム１の板
材をエッチングして凹溝３９を形成しているが、（ｄ）
図に例示するように、プレス加工などによって、凹溝３
９を形成すれば、スプリングアーム１の板厚が薄い場合
でも、あるいは導体パターン２５、絶縁層２７，３０が
厚い場合でも、確実に形成できる。なお、導体パターン
２５の直線部の領域２５Ｌの全長を凹溝３９中に埋め込
むことも良い。
材をエッチングして凹溝３９を形成しているが、（ｄ）
図に例示するように、プレス加工などによって、凹溝３
９を形成すれば、スプリングアーム１の板厚が薄い場合
でも、あるいは導体パターン２５、絶縁層２７，３０が
厚い場合でも、確実に形成できる。なお、導体パターン
２５の直線部の領域２５Ｌの全長を凹溝３９中に埋め込
むことも良い。
【００４０】図５（ａ）は本発明の第３実施例を示す斜
視図であり、（ｂ）は弾性部における断面図である。こ
の実施例は、請求項３のように、少なくとも前記の弾性
部Ｒにおける導体パターン２５ｒの幅Ｃ１が、弾性部Ｒ
以外の導体パターン２５の幅ｃ２より広くなっている。
すなわち、図２（ｃ）のにおける導体パターン２５
が、「幅ｃ１×長さＬ」の全領域にわたる大面積の寸法
になっている。そして、図４以降の各実施例では、外径
が一定のローラ３５を弾性部Ｒの全幅に押しつけて湾曲
加工力を加える。
視図であり、（ｂ）は弾性部における断面図である。こ
の実施例は、請求項３のように、少なくとも前記の弾性
部Ｒにおける導体パターン２５ｒの幅Ｃ１が、弾性部Ｒ
以外の導体パターン２５の幅ｃ２より広くなっている。
すなわち、図２（ｃ）のにおける導体パターン２５
が、「幅ｃ１×長さＬ」の全領域にわたる大面積の寸法
になっている。そして、図４以降の各実施例では、外径
が一定のローラ３５を弾性部Ｒの全幅に押しつけて湾曲
加工力を加える。
【００４１】図２（ｃ）のように盛り上がった導体パタ
ーン２５や絶縁層が、弾性部Ｒに存在すると、湾曲形成
加工の際の力が、該導体パターン２５に集中し、導体パ
ターン２５が断線したり、損傷しやすい等の問題があ
る。
ーン２５や絶縁層が、弾性部Ｒに存在すると、湾曲形成
加工の際の力が、該導体パターン２５に集中し、導体パ
ターン２５が断線したり、損傷しやすい等の問題があ
る。
【００４２】これに対し、この実施例のように、弾性部
Ｒにおける導体パターン２５ｒの幅ｃ１が大きいと、湾
曲形成の際の加工力は、全幅「２×ｃ１」に分散され
る。しかも、全幅において導体パターン２５ｒおよび絶
縁層２７，３０の厚さが均一なため、加工力がより均一
に分散され、湾曲形成部における導体パターンの損傷、
断線をより確実に防止できると共に、湾曲形成もより効
果的に行なわれる。また、部分的に導体パターン２５に
クラック等の損傷が生じたとしても、他の領域で接続し
ているので、電気的な信頼性も確保される。なお、弾性
部における導体パターン２５ｒの幅ｃ１＝2.0mm、長さ
Ｌ＝1.5mmである。
Ｒにおける導体パターン２５ｒの幅ｃ１が大きいと、湾
曲形成の際の加工力は、全幅「２×ｃ１」に分散され
る。しかも、全幅において導体パターン２５ｒおよび絶
縁層２７，３０の厚さが均一なため、加工力がより均一
に分散され、湾曲形成部における導体パターンの損傷、
断線をより確実に防止できると共に、湾曲形成もより効
果的に行なわれる。また、部分的に導体パターン２５に
クラック等の損傷が生じたとしても、他の領域で接続し
ているので、電気的な信頼性も確保される。なお、弾性
部における導体パターン２５ｒの幅ｃ１＝2.0mm、長さ
Ｌ＝1.5mmである。
【００４３】図６は本発明の第４実施例を示す斜視図で
ある。この実施例は、請求項４のように、少なくとも弾
性部Ｒにおける導体パターン２５ｚが、弾性部以外の導
体パターン２５に対し斜めに形成されている。このよう
に、湾曲形成部における導体パターン２５ｚが斜めにな
っていると、湾曲形成時に加工力が分散され、しかも導
体パターン２５ｚがねじれるような力を受けるので、断
線や損傷を生じにくい。なお、屈曲部２５ｃは、パター
ン幅を広めにするのがよい。
ある。この実施例は、請求項４のように、少なくとも弾
性部Ｒにおける導体パターン２５ｚが、弾性部以外の導
体パターン２５に対し斜めに形成されている。このよう
に、湾曲形成部における導体パターン２５ｚが斜めにな
っていると、湾曲形成時に加工力が分散され、しかも導
体パターン２５ｚがねじれるような力を受けるので、断
線や損傷を生じにくい。なお、屈曲部２５ｃは、パター
ン幅を広めにするのがよい。
【００４４】図７（ａ）は本発明の第５実施例を示す斜
視図、（ｂ）は弾性部における断面図である。この実施
例は、請求項５のように、少なくとも弾性部Ｒにおい
て、導体パターン２５の両側に、該導体パターン２５と
同じ層構成でダミーの導体パターン２５ｄを形成してあ
り、ダミーの導体パターン２５ｄの本数は多いほど良
い。また、ダミーの導体パターン２５ｄは、信号用の導
体パターン２５より広くてもよいが、同じ寸法にすれ
ば、パターニングが容易になる。
視図、（ｂ）は弾性部における断面図である。この実施
例は、請求項５のように、少なくとも弾性部Ｒにおい
て、導体パターン２５の両側に、該導体パターン２５と
同じ層構成でダミーの導体パターン２５ｄを形成してあ
り、ダミーの導体パターン２５ｄの本数は多いほど良
い。また、ダミーの導体パターン２５ｄは、信号用の導
体パターン２５より広くてもよいが、同じ寸法にすれ
ば、パターニングが容易になる。
【００４５】このようなダミーの導体パターン２５ｄを
有していると、（ｂ）図のようにローラ３５を押しつけ
て湾曲形成する際の加工力がダミーの導体パターン２５
ｄにも分散されるので、導体パターン２５のみに加工力
が集中する従来構造に比べて、信号用導体パターン２５
の損傷や断線が防止できる。また、ダミーの導体パター
ン２５ｄの領域にも均一に加工力が加わるので、スプリ
ングアーム１の全幅Ｗにわたって均一かつ確実に湾曲形
成できる。
有していると、（ｂ）図のようにローラ３５を押しつけ
て湾曲形成する際の加工力がダミーの導体パターン２５
ｄにも分散されるので、導体パターン２５のみに加工力
が集中する従来構造に比べて、信号用導体パターン２５
の損傷や断線が防止できる。また、ダミーの導体パター
ン２５ｄの領域にも均一に加工力が加わるので、スプリ
ングアーム１の全幅Ｗにわたって均一かつ確実に湾曲形
成できる。
【００４６】図８（ａ）は本発明の第６実施例を示す斜
視図、（ｂ）は（ａ）図におけるｂ−ｂ断面図、（ｃ）
は（ａ）図におけるｃ−ｃ断面図である。この実施例
は、請求項６に示すように、少なくとも弾性部Ｒにおい
て、導体パターン２５の上側に、導体層３７と絶縁層３
８からなる保護層を積層した構成になっている。
視図、（ｂ）は（ａ）図におけるｂ−ｂ断面図、（ｃ）
は（ａ）図におけるｃ−ｃ断面図である。この実施例
は、請求項６に示すように、少なくとも弾性部Ｒにおい
て、導体パターン２５の上側に、導体層３７と絶縁層３
８からなる保護層を積層した構成になっている。
【００４７】すなわち、導体パターン２５の上の絶縁保
護層３０の上に、図２（ｃ）における〜のプロセス
によって銅の下地層を形成し、その上に銅の導体層３７
を電気メッキで形成した後、導体層３７をパターニング
する。その上から、保護用の絶縁層３８として、ポリイ
ミド樹脂などをコーティングする。
護層３０の上に、図２（ｃ）における〜のプロセス
によって銅の下地層を形成し、その上に銅の導体層３７
を電気メッキで形成した後、導体層３７をパターニング
する。その上から、保護用の絶縁層３８として、ポリイ
ミド樹脂などをコーティングする。
【００４８】導体パターン２５の上の絶縁層３０は厚め
に塗布し、かつ表面研摩して平面化処理してから、導体
層３７を形成するのがよい。導体層３７は、単一で足り
るが、総ての導体パターン２５，２５を充分カバーでき
る広い幅Ｂが必要である。また、（ｃ）図に示すよう
に、少なくとも弾性部Ｒの全長Ｃを含む長さとする。
に塗布し、かつ表面研摩して平面化処理してから、導体
層３７を形成するのがよい。導体層３７は、単一で足り
るが、総ての導体パターン２５，２５を充分カバーでき
る広い幅Ｂが必要である。また、（ｃ）図に示すよう
に、少なくとも弾性部Ｒの全長Ｃを含む長さとする。
【００４９】このように、導体パターン２５の上に導体
層３７と絶縁層３８を被せると、湾曲加工の際の力が導
体層３７に作用するので、加工の際に導体パターン２５
が損傷したり断線するのを抑制できる。
層３７と絶縁層３８を被せると、湾曲加工の際の力が導
体層３７に作用するので、加工の際に導体パターン２５
が損傷したり断線するのを抑制できる。
【００５０】図９は本発明の第７実施例を示す斜視図で
あり、請求項７に示すように、信号用の導体パターン２
５と並行して予備の導体パターン２５ｓが形成されてお
り、しかも導体パターン２５と予備導体パターン２５ｓ
との端部同士が、４０，４１で示すように予め接続され
ている。したがって、導体パターン２５および予備の導
体パターン２５ｓのいずれかが断線したりしても、他方
によって電気的な導通が確保されているので、信頼性が
低下することはない。
あり、請求項７に示すように、信号用の導体パターン２
５と並行して予備の導体パターン２５ｓが形成されてお
り、しかも導体パターン２５と予備導体パターン２５ｓ
との端部同士が、４０，４１で示すように予め接続され
ている。したがって、導体パターン２５および予備の導
体パターン２５ｓのいずれかが断線したりしても、他方
によって電気的な導通が確保されているので、信頼性が
低下することはない。
【００５１】（ａ）図は導体パターン２５の全長にわた
って予備導体パターン２５ｓを形成されているが、
（ｂ）図に例示するように、弾性部Ｒの長さＬより多少
長い範囲のみ予備導体パターン２５ｓを形成しておい
て、両端を弾性部Ｒの外側で導体パターン２５と接続し
ておくこともできる。
って予備導体パターン２５ｓを形成されているが、
（ｂ）図に例示するように、弾性部Ｒの長さＬより多少
長い範囲のみ予備導体パターン２５ｓを形成しておい
て、両端を弾性部Ｒの外側で導体パターン２５と接続し
ておくこともできる。
【００５２】なお、弾力発生のための湾曲形成加工は、
前記のローラによるシゴキ法のほかに、プレス加工法、
レーザ加工法などが知られているが、以上の各実施例
は、これらいずれの手法にも適用できる。
前記のローラによるシゴキ法のほかに、プレス加工法、
レーザ加工法などが知られているが、以上の各実施例
は、これらいずれの手法にも適用できる。
【００５３】図１１におけるスプリングアーム１に代え
て、以上の各実施例の磁気ヘッドユニットにおけるスプ
リングアーム１の根元部１ａを、磁気ヘッドの位置決め
機構１１の駆動アーム１３の先端に取り付け固定するこ
とで、スプリングアーム１上に積層された信号用導体パ
ターンの信頼性の高い磁気ディスク装置を実現できる。
て、以上の各実施例の磁気ヘッドユニットにおけるスプ
リングアーム１の根元部１ａを、磁気ヘッドの位置決め
機構１１の駆動アーム１３の先端に取り付け固定するこ
とで、スプリングアーム１上に積層された信号用導体パ
ターンの信頼性の高い磁気ディスク装置を実現できる。
【００５４】
【発明の効果】請求項１のように、湾曲形成領域３３
ａ，３３ｂと導体パターン形成領域とを、空間的に分離
することにより、導体パターン２５には加工力が作用し
ない構成としたため、加工力によって導体パターンが断
線や損傷するのを防止できる。また、請求項２のよう
に、弾性部における導体パターン２５を凹部中に埋め込
んだ構成の場合も、湾曲形成のための加工力が凹部中の
導体パターンには作用しないので、請求項１の場合と同
様に導体パターンの断線や損傷を防止できる。
ａ，３３ｂと導体パターン形成領域とを、空間的に分離
することにより、導体パターン２５には加工力が作用し
ない構成としたため、加工力によって導体パターンが断
線や損傷するのを防止できる。また、請求項２のよう
に、弾性部における導体パターン２５を凹部中に埋め込
んだ構成の場合も、湾曲形成のための加工力が凹部中の
導体パターンには作用しないので、請求項１の場合と同
様に導体パターンの断線や損傷を防止できる。
【００５５】請求項３〜５の構成によると、湾曲形成の
加工力が分散され、導体パターンに作用する加工ストレ
スが軽減されるので、導体パターンの断線や損傷が抑制
される。
加工力が分散され、導体パターンに作用する加工ストレ
スが軽減されるので、導体パターンの断線や損傷が抑制
される。
【００５６】請求項６のように、弾性部における導体パ
ターンの上を導体層３７と絶縁層３８からなる保護層で
覆った構造にすると、加工力が直接導体パターンに加わ
るのを防止できるので、断線や損傷を防止できる。
ターンの上を導体層３７と絶縁層３８からなる保護層で
覆った構造にすると、加工力が直接導体パターンに加わ
るのを防止できるので、断線や損傷を防止できる。
【００５７】請求項７のように、少なくとも弾性部にお
ける導体パターン２５と並行して予備の導体パターン２
５ｓを形成して、両端を導体パターン２５と接続してお
くことで、いずれかが断線しても、他方で電気的接続が
確保されるので、加工力などで片方の導体パターンが断
線や損傷しても、他方で導通が維持される。
ける導体パターン２５と並行して予備の導体パターン２
５ｓを形成して、両端を導体パターン２５と接続してお
くことで、いずれかが断線しても、他方で電気的接続が
確保されるので、加工力などで片方の導体パターンが断
線や損傷しても、他方で導通が維持される。
【図１】本発明の第１実施例を示す斜視図と断面図であ
る。
る。
【図２】本発明の第１実施例の製造方法を例示する図で
ある。
ある。
【図３】第１実施例における湾曲加工方法を例示する図
である。
である。
【図４】本発明の第２実施例を示す図である。
【図５】本発明の第３実施例を示す図である。
【図６】本発明の第４実施例を示す斜視図である。
【図７】本発明の第５実施例を示す図である。
【図８】本発明の第６実施例を示す図である。
【図９】本発明の第７実施例を示す斜視図である。
【図１０】従来の磁気ディスク装置用の薄膜磁気ヘッド
ユニットであり、（ａ）は組立て状態、（ｂ）は分解状
態である。
ユニットであり、（ａ）は組立て状態、（ｂ）は分解状
態である。
【図１１】磁気ディスク装置の全容を示す斜視図であ
る。
る。
【図１２】薄膜磁気ヘッドの全容を示す斜視図である。
【図１３】薄膜磁気ヘッドの素子部の層構成を示す断面
図（図１２におけるＡ−Ａ断面図）である。
図（図１２におけるＡ−Ａ断面図）である。
１ スプリングアーム １ａ スプリングアームの後端 １ｂ スプリングアームの先端 １ｃ スプリングアームの弾性部 ｈ 磁気ヘッド ３ ジンバル ４ コアスライダ ４ｉ 絶縁体製のコアスライダ ５ 磁気ヘッド素子部 １０ 磁気記録媒体 Ｇ 記録／再生ギャップ １３ 駆動アーム ２４ ジンバル部（スプリングアーム先端と一体） ２５ 導体パターン ２５r 幅広の導体パターン ２５z 斜め導体パターン ２５d ダミーの導体パターン ２５s 予備の導体パターン ３１ａ，３１ｂ 窓孔 ３２ａ，３２ｂ スリット ３３ａ，３３ｂ 湾曲形成領域 Ｒ 弾性部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺島 重夫 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 21/21 G11B 5/60
Claims (7)
- 【請求項１】 先端に取り付けられた磁気ヘッドを磁気
記録媒体側に弾圧するスプリングアームが、弾力を発生
するための弾性部を有し、しかも磁気ヘッドの磁気ヘッ
ド素子部と記録／再生回路との間を電気的に接続するた
めの導体パターンが積層形成されている磁気ヘッドユニ
ットであって、 少なくとも前記の弾性部において、導体パターン積層領
域とは別に湾曲形成領域を設けると共に、該湾曲形成領
域と導体パターン積層領域との間をスリット等で空間的
に分離し、湾曲形成領域のみに湾曲加工を行なってなる
ことを特徴とする磁気ディスク装置用の磁気ヘッドユニ
ット。 - 【請求項２】 先端に取り付けられた磁気ヘッドを磁気
記録媒体側に弾圧するスプリングアームが、弾力を発生
するための弾性部を有し、しかも磁気ヘッドの磁気ヘッ
ド素子部と記録／再生回路との間を電気的に接続するた
めの導体パターンが積層形成されている磁気ヘッドユニ
ットであって、 少なくとも前記の弾性部において、スプリングアームの
板材に凹部を形成して、その中に前記の導体パターンを
形成してなることを特徴とする磁気ディスク装置用の磁
気ヘッドユニット。 - 【請求項３】 先端に取り付けられた磁気ヘッドを磁気
記録媒体側に弾圧するスプリングアームが、弾力を発生
するための弾性部を有し、しかも磁気ヘッドの磁気ヘッ
ド素子部と記録／再生回路との間を電気的に接続するた
めの導体パターンが積層形成されている磁気ヘッドユニ
ットであって、 少なくとも前記の弾性部における導体パターンの幅を、
弾性部以外の導体パターンの幅より広くしてなることを
特徴とする磁気ディスク装置用の磁気ヘッドユニット。 - 【請求項４】 先端に取り付けられた磁気ヘッドを磁気
記録媒体側に弾圧するスプリングアームが、弾力を発生
するための弾性部を有し、しかも磁気ヘッドの磁気ヘッ
ド素子部と記録／再生回路との間を電気的に接続するた
めの導体パターンが積層形成されている磁気ヘッドユニ
ットであって、少なくとも前記の弾性 部における導体パ
ターンを、弾性部以外の導体パターンに対し斜めに形成
してなることを特徴とする磁気ディスク装置用の磁気ヘ
ッドユニット。 - 【請求項５】 先端に取り付けられた磁気ヘッドを磁気
記録媒体側に弾圧するスプリングアームが、弾力を発生
するための弾性部を有し、しかも磁気ヘッドの磁気ヘッ
ド素子部と記録／再生回路との間を電気的に接続するた
めの導体パターンが積層形成されている磁気ヘッドユニ
ットであって、 少なくとも前記の弾性部において、前記の導体パターン
の両側に、該導体パターンと同じ層構成でダミーの導体
パターンを形成してなることを特徴とする磁気ディスク
装置用の磁気ヘッドユニット。 - 【請求項６】 先端に取り付けられた磁気ヘッドを磁気
記録媒体側に弾圧するスプリングアームが、弾力を発生
するための弾性部を有し、しかも磁気ヘッドの磁気ヘッ
ド素子部と記録／再生回路との間を電気的に接続するた
めの導体パターンが積層形成されている磁気ヘッドユニ
ットであって、 少なくとも前記の弾性部において、前記の導体パターン
の上側に、導体層と絶縁層からなる保護層を積層してな
ることを特徴とする磁気ディスク装置用の磁気ヘッドユ
ニット。 - 【請求項７】 先端に取り付けられた磁気ヘッドを磁気
記録媒体側に弾圧するスプリングア―ムが、弾力を発生
するための弾性部を有し、しかも磁気ヘッドの磁気ヘッ
ド素子部と記録／再生回路との間を電気的に接続するた
めの導体パターンが積層形成されている磁気ヘッドユニ
ットであって、 少なくとも弾性部において、前記の導体パターンと並行
して予備の導体パターンを有しており、 この予備導体パターンの両端が、導体パターンと予め接
続されていることを特徴とする磁気ディスク装置用の磁
気ヘッドユニット。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5198673A JP2934126B2 (ja) | 1993-08-10 | 1993-08-10 | 磁気ディスク装置用の磁気ヘッドユニット |
| US08/248,334 US5612840A (en) | 1993-08-10 | 1994-05-24 | Magnetic spring arm assembly including structure for preventing damage to a conductive layer resulting from bending |
| US08/774,558 US5901014A (en) | 1993-08-10 | 1996-12-30 | Thin film magnetic head and assembly configured to reduce risk of discharge between the coil and the core slider |
| US09/107,010 US6341415B2 (en) | 1992-08-31 | 1998-06-30 | Method for assembling a magnetic head assembly and magnetic disk drive using bonding balls connecting magnetic head terminals to wiring terminals |
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|---|---|---|---|
| JP5198673A JP2934126B2 (ja) | 1993-08-10 | 1993-08-10 | 磁気ディスク装置用の磁気ヘッドユニット |
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|---|---|---|---|
| JP4382099A Division JPH11283346A (ja) | 1999-02-22 | 1999-02-22 | 磁気ディスク装置用の磁気ヘッドユニット |
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|---|---|
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| JP (1) | JP2934126B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6341415B2 (en) * | 1992-08-31 | 2002-01-29 | Fujitsu Limited | Method for assembling a magnetic head assembly and magnetic disk drive using bonding balls connecting magnetic head terminals to wiring terminals |
| JP3242785B2 (ja) * | 1994-03-08 | 2001-12-25 | 富士通株式会社 | 磁気ディスク駆動装置 |
| JPH07262540A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-13 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスク装置のアクチュエータアームアセンブリ |
| US5839193A (en) * | 1994-04-15 | 1998-11-24 | Hutchinson Technology Incorporated | Method of making laminated structures for a disk drive suspension assembly |
| JP2855255B2 (ja) * | 1994-07-26 | 1999-02-10 | 日本メクトロン株式会社 | 磁気ヘッド用サスペンション及びその製造法 |
| JP3199977B2 (ja) | 1995-03-17 | 2001-08-20 | 富士通株式会社 | ディスク装置 |
| US5774305A (en) * | 1995-06-07 | 1998-06-30 | Seagate Technology, Inc. | Head gimbal assembly to reduce slider distortion due to thermal stress |
| JPH0916932A (ja) * | 1995-06-27 | 1997-01-17 | Hitachi Ltd | 磁気ヘッド支持機構およびその製造方法ならびに磁気ディスク装置 |
| JP3139950B2 (ja) * | 1995-12-01 | 2001-03-05 | 株式会社日立製作所 | 磁気ディスク装置のロードビームとガイドアームにおける配線構造 |
| JP3328800B2 (ja) * | 1996-06-24 | 2002-09-30 | ハッチンソン テクノロジー インコーポレイテッド | ヘッドサスペンション |
| US7012787B2 (en) * | 1996-06-29 | 2006-03-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Head suspension assembly for hard disk drive |
| JP2997918B2 (ja) | 1996-07-31 | 2000-01-11 | セイコー精機株式会社 | ロボットマウンタ及びコアマウント方法 |
| US5956209A (en) * | 1996-10-04 | 1999-09-21 | International Business Machines Corporation | Integrated suspension flexure having a compliant tip termination platform |
| US6038102A (en) * | 1997-01-21 | 2000-03-14 | Quantum Corporation | Conductor trace array having interleaved passive conductors |
| JP3537282B2 (ja) * | 1997-01-27 | 2004-06-14 | アルプス電気株式会社 | ヘッドユニットの検査方法および検査装置 |
| JP3340352B2 (ja) * | 1997-05-22 | 2002-11-05 | 富士通株式会社 | 配線パターンを有する磁気ヘッド用サスペンション素子の製造方法 |
| US6288877B1 (en) * | 1998-05-01 | 2001-09-11 | Magnecomp Corp. | Mechanical support of flexible conductors in disk drive suspensions |
| US6055132A (en) * | 1998-06-04 | 2000-04-25 | Internatinal Business Machines Corporation | Integrated lead suspension flexure for attaching a micro-actuator with a transducer slider |
| KR20010080107A (ko) * | 1998-10-13 | 2001-08-22 | 스프레이그 로버트 월터 | 투수성 저감용 가요성 회로 상호 접속체를 구비한 헤드서스펜션 |
| US6201664B1 (en) | 1998-11-16 | 2001-03-13 | International Business Machines Corporation | Polymer bumps for trace and shock protection |
| US6552875B1 (en) * | 2000-07-21 | 2003-04-22 | International Business Machines Corporation | Suspension design for improving the curing process for head bonding application and method for same |
| JP3738679B2 (ja) * | 2000-09-12 | 2006-01-25 | Ｔｄｋ株式会社 | ヘッドジンバルアセンブリ |
| US6768613B1 (en) | 2001-05-18 | 2004-07-27 | Magnecomp Corporation | Low stiffness, high torsion suspension |
| US7035051B1 (en) * | 2001-05-18 | 2006-04-25 | Magnecomp Corporation | Low stiffness, high torsion suspension for disk drives |
| KR100438777B1 (ko) * | 2001-11-06 | 2004-07-05 | 삼성전자주식회사 | 공동이 형성된 가요성 인쇄회로를 구비하는 하드디스크드라이브 |
| US7019946B2 (en) * | 2002-09-11 | 2006-03-28 | Seagate Technology Llc | Laminate load beam with trench arrangement having circuit housed therein |
| US7203033B2 (en) * | 2002-10-02 | 2007-04-10 | Seagate Technology Llc | Head gimbal assembly with an integrated mechanical and electrical attachment and a stiff plate |
| WO2004072974A1 (ja) * | 2003-02-14 | 2004-08-26 | Fujitsu Limited | ヘッドサスペンション、情報記憶装置、およびリード |
| CN1765161B (zh) * | 2003-04-18 | 2011-06-22 | 揖斐电株式会社 | 刚挠性电路板 |
| US7042670B2 (en) * | 2003-07-11 | 2006-05-09 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method for adjusting flying height of magnetic heads using an electrical charge through an electrical pad on the slider |
| US7489493B2 (en) * | 2003-12-01 | 2009-02-10 | Magnecomp Corporation | Method to form electrostatic discharge protection on flexible circuits using a diamond-like carbon material |
| JP4536430B2 (ja) * | 2004-06-10 | 2010-09-01 | イビデン株式会社 | フレックスリジッド配線板 |
| JP4386863B2 (ja) * | 2005-02-21 | 2009-12-16 | 日本発條株式会社 | ヘッド・サスペンション |
| JP4326484B2 (ja) * | 2005-02-21 | 2009-09-09 | 日本発條株式会社 | ヘッドサスペンション |
| US7379271B1 (en) | 2005-05-16 | 2008-05-27 | Magnecomp Corporation | Multilayer gimbal suspension element manufacture with co-etchable layers |
| JP2007012111A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Shinka Jitsugyo Kk | 磁気ヘッドスライダを搭載するサスペンション及びヘッドジンバルアッセンブリ並びにハードディスクドライブ |
| US8553364B1 (en) | 2005-09-09 | 2013-10-08 | Magnecomp Corporation | Low impedance, high bandwidth disk drive suspension circuit |
| US8395866B1 (en) | 2005-09-09 | 2013-03-12 | Magnecomp Corporation | Resilient flying lead and terminus for disk drive suspension |
| JP5502647B2 (ja) * | 2010-08-06 | 2014-05-28 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板集合体シートおよびその製造方法 |
| US9131605B2 (en) * | 2012-05-25 | 2015-09-08 | Nitto Denko Corporation | Dynamic loop with fold |
| KR20150126353A (ko) * | 2013-03-07 | 2015-11-11 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 및 전자 기기 |
| US11449108B2 (en) * | 2020-03-05 | 2022-09-20 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Flexible hinge device |
| JP2023073833A (ja) * | 2021-11-16 | 2023-05-26 | 日本発條株式会社 | ディスク装置用サスペンションのフレキシャ、およびディスク装置用サスペンション |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5720961A (en) * | 1980-07-09 | 1982-02-03 | Nec Corp | Magnetic head assembly |
| JPH01124114A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-17 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気ヘッド支持装置 |
| US5185683A (en) * | 1987-12-21 | 1993-02-09 | Hutchinson Technology, Inc. | Suspension arm mounting assembly |
| JPH0421918A (ja) * | 1990-05-17 | 1992-01-24 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッド |
| JPH04111217A (ja) * | 1990-08-30 | 1992-04-13 | Fujitsu Ltd | 浮動型磁気ヘッド支持機構 |
| US5198945A (en) * | 1990-11-09 | 1993-03-30 | Hutchinson Technology Incorporated | Magnetic head suspension |
| JPH04351712A (ja) * | 1991-05-29 | 1992-12-07 | Sony Corp | 磁気ヘッド装置 |
| JP2616631B2 (ja) * | 1992-04-23 | 1997-06-04 | 日本電気株式会社 | 磁気ヘッド |
-
1993
- 1993-08-10 JP JP5198673A patent/JP2934126B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-05-24 US US08/248,334 patent/US5612840A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0757418A (ja) | 1995-03-03 |
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