JP2918393B2 - Nitrogen oxide detection sensor - Google Patents
Nitrogen oxide detection sensorInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本願は、窒素酸化物低減技術、窒
素酸化物分解技術等の分野に使用される窒素酸化物の検
出に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the detection of nitrogen oxides used in fields such as nitrogen oxide reduction technology and nitrogen oxide decomposition technology.
【0002】[0002]
【従来の技術】排ガス中等の窒素酸化物濃度を測定する
ための手法としては、化学発光方式、赤外線吸収方式、
紫外線吸収方式、定電位電解方式、定電位電量方式等が
知られている。一方、最近注目されているものとして2. Description of the Related Art Methods for measuring the concentration of nitrogen oxides in exhaust gas and the like include a chemiluminescence system, an infrared absorption system,
An ultraviolet absorption system, a constant potential electrolysis system, a constant potential coulomb system and the like are known. On the other hand,
【0003】[0003]
【化2】 組成のものを酸化物半導体センサをして採用することが
知れている。Embedded image It is known to employ a composition having an oxide semiconductor sensor.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ここで、化学発光式の
ものは、最も精度が高く、信頼性も高く、現在最も有力
な方法とされているが、オゾン発生器、光電子倍増管、
高電圧源などを要し、小型化、低価格化、メンテナンス
条件に限界がある。一方、吸光法は検出閾が高く、補正
も必要である。また、厳密な精度を必要としない場合に
は、定電位電解方式が簡便であるが、電極性能の経時変
化、電解質溶液のメンテナンスに難がある。そして、こ
れらの方式に使用される機器は、価格が数十万円〜数百
万円もする点問題があるとともに、測定精度が高い反
面、ドリフトを生ずるために補正が必要であったり、耐
久性を欠く欠点を有している。一方、上述の酸化物半導
体センサにおいては、検出環境内に水が存在するとその
感度特性が変化するという欠点を有する。Here, the chemiluminescence type has the highest accuracy and reliability and is considered to be the most effective method at present. However, an ozone generator, a photomultiplier tube,
It requires a high voltage source, etc., and has limitations in miniaturization, price reduction, and maintenance conditions. On the other hand, the absorption method has a high detection threshold and requires correction. When strict accuracy is not required, the constant potential electrolysis method is simple, but there are difficulties in changing the electrode performance with time and maintaining the electrolyte solution. The devices used in these methods have the problem of costing hundreds of thousands of yen to several million yen, and have high measurement accuracy, but require correction due to drift, It has the disadvantage of lacking properties. On the other hand, the above-described oxide semiconductor sensor has a disadvantage that the sensitivity characteristic changes when water is present in the detection environment.
【0005】従って本発明の目的は、比較的構造が簡単
であるとともに、安価で、耐久性のある窒素酸化物検出
センサを得ることにある。Accordingly, an object of the present invention is to provide an inexpensive and durable nitrogen oxide detection sensor having a relatively simple structure.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの窒素酸化物検出センサの特徴構成は、電気導電性あ
るいは半導電性を備えたIn order to achieve the above-mentioned object, a characteristic feature of a nitrogen oxide detection sensor is that it has electrical conductivity or semi-conductivity.
【0007】[0007]
【化3】 Embedded image
【0008】(AはIVb族元素より選ばれた一種類以上
の元素、xは0〜2、nは1以上、δは0〜0.2)に
より表される複合酸化物を主成分とするガス検出部と、
ガス検出部と電気的に接続された電極より構成されるこ
とを特徴とすることにあり、その作用・効果は以下のと
おりである。(A is one or more elements selected from Group IVb elements, x is 0 to 2, n is 1 or more, and δ is 0 to 0.2). A gas detector,
It is characterized by comprising an electrode electrically connected to the gas detector, and its operation and effects are as follows.
【0009】[0009]
【作用】このセンサのガス検出部に採用される複合酸化
物は、結晶構造中に層状の酸素格子欠陥構造を有してお
り、この酸素欠陥部位に窒素酸化物分子が可逆的に配位
・脱離する。この反応は、気相中の窒素酸化物の濃度に
応じたものであり、可逆的な配位・脱離反応である。こ
こで、この吸収が起こると、ガス検出部は、気相中の窒
素酸化物の濃度に応じて電気抵抗値が変化する。この電
気抵抗値の変化が、センサに備えられている電極を利用
して検出され、窒素酸化物センサとして働くこととな
る。The composite oxide employed in the gas detection portion of this sensor has a layered oxygen lattice defect structure in the crystal structure, and nitrogen oxide molecules are reversibly coordinated at the oxygen defect site. To detach. This reaction depends on the concentration of nitrogen oxides in the gas phase and is a reversible coordination / elimination reaction. Here, when this absorption occurs, the electric resistance value of the gas detector changes in accordance with the concentration of nitrogen oxide in the gas phase. This change in the electric resistance value is detected using an electrode provided in the sensor, and functions as a nitrogen oxide sensor.
【0010】[0010]
【発明の効果】即ち、本願のセンサにおいてはガス検出
部の電気抵抗値の変化を、電極を介して測定することに
より、大気中あるいは燃焼排ガス中などに含まれる、窒
素酸化物ガスの濃度を、検出することができる。さら
に、複合酸化物の電極を設けただけのものであるため、
装置的に簡単且つ安価なものとして構成される。That is, in the sensor of the present invention, the concentration of the nitrogen oxide gas contained in the atmosphere or the combustion exhaust gas is measured by measuring the change in the electric resistance value of the gas detecting section through the electrode. , Can be detected. Furthermore, since it is only provided with a composite oxide electrode,
It is configured as a simple and inexpensive device.
【0011】[0011]
【実施例】以下本願の実施例を、センサ構造、センサの
製法、センサの特性の順に、図面に基づいて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings in the order of sensor structure, sensor manufacturing method, and sensor characteristics.
【0012】1.センサ構造 本願の窒素酸化物検出センサ1の構成を図1に示す。セ
ンサ1は、MgO基板2の上部側に薄膜状のガス検出部
3を備えて構成されており、このガス検出部3に対し
て、一対のPt電流加流電極4と、これらの電流加流電
極4に対するPt電圧検出電極5を備えている。さら
に、前記基板2の下部には、加熱手段としてのセラミッ
クヒータ板6が備えられている。さて、前述のガス検出
部3の主成分は1. Sensor structure FIG. 1 shows the configuration of the nitrogen oxide detection sensor 1 of the present application. The sensor 1 is provided with a thin-film gas detector 3 on the upper side of the MgO substrate 2, and a pair of Pt current flowing electrodes 4 and these current A Pt voltage detection electrode 5 for the electrode 4 is provided. Further, a ceramic heater plate 6 as a heating means is provided below the substrate 2. By the way, the main component of the above-mentioned gas detection unit 3 is
【0013】[0013]
【化4】 Embedded image
【0014】即ち、このセンサ構成により、ガス検出部
3の電気抵抗値の変化が検出される。ここで、ガス検出
部3を薄膜状に構成すると、ガス検出部全体のうち、検
査対象のガス中に含まれる窒素酸化物がこの部位と反応
する場合に、気相−固相反応により抵抗の変化する部分
の割合を大きく、窒素酸化物のガス検出部中での拡散等
の影響を少なくすることができるため、窒素酸化物の吸
収・放出の速度(センサの応答速度)を向上することが
可能となる。結果、低濃度の窒素酸化物に対する感度、
及び、窒素酸化物の濃度変化に対する感度の応答性が向
上する。さらに、電極構成については、上記の構成を採
用することにより、電流がガス検出部中の抵抗変化部分
にも流れ、窒素酸化物ガスによるガス検出部の電気抵抗
変化を有効に検出することができる。That is, with this sensor configuration, a change in the electric resistance value of the gas detecting section 3 is detected. Here, when the gas detection unit 3 is configured in a thin film shape, when nitrogen oxide contained in the gas to be inspected in the entire gas detection unit reacts with this portion, the resistance of the gas detection unit 3 is reduced by a gas-solid reaction. The rate of change can be increased, and the influence of diffusion of nitrogen oxides in the gas detector can be reduced, so that the speed of absorption and emission of nitrogen oxides (response speed of the sensor) can be improved. It becomes possible. As a result, sensitivity to low concentrations of nitrogen oxides,
In addition, the responsiveness of sensitivity to a change in the concentration of nitrogen oxide is improved. Further, with respect to the electrode configuration, by employing the above configuration, the current also flows to the resistance change portion in the gas detection unit, and it is possible to effectively detect the electric resistance change of the gas detection unit due to the nitrogen oxide gas. .
【0015】2.センサの製法 ガス検出部3を構成する複合酸化物薄膜の製法について
以下に説明する。 1.各成分の硝酸塩をモル比混合後焼成し、焼結体を得
る。 2.得られた焼結体をターゲットとし、レーザーアブレ
ーション法により、薄膜状のガス検出部3を作成する。
レーザーアブレーションの成膜条件を表1に示す。2. Manufacturing method of sensor The manufacturing method of the composite oxide thin film constituting the gas detection unit 3 will be described below. 1. The nitrates of each component are mixed at a molar ratio and then fired to obtain a sintered body. 2. Using the obtained sintered body as a target, a thin film-shaped gas detector 3 is formed by a laser ablation method.
Table 1 shows the film forming conditions for laser ablation.
【0016】[0016]
【表1】 [Table 1]
【0017】このようにして基板2上にガス検出部3が
形成され、この検出部3に対して電極4.5が設けられ
る。In this manner, the gas detecting section 3 is formed on the substrate 2, and the detecting section 3 is provided with the electrode 4.5.
【0018】3.センサの特性 3−1 対窒素酸化物感応特性 感応特性を以下のようにして測定した。セラミックヒー
ター板6に一定電圧を加えガス検出部を150℃に保
ち、電流加流電極4に10mAの電流を加流し、空気中
に種々の成分を所定濃度含むガスを接触させ、電圧検出
電極5により電圧を測定し、電気抵抗値を求めた。図2
に各ガス(NO,NO2, C2H5OH,CH3OH,
H2 )に対する感応特性を示す。図中、空気中での抵抗
値をR0(Ω)、各ガス中での抵抗値をR(Ω)で示
す。同図に於いて、横軸は各ガスの濃度(ppm単位)
を示し、縦軸は応答率(log(R/R 0 ))を示して
いる。3. Sensor Characteristics 3-1 Nitrogen oxide sensitivity characteristics Sensitivity characteristics were measured as follows. A constant voltage is applied to the ceramic heater plate 6, the gas detecting section is maintained at 150 ° C., a current of 10 mA is supplied to the current supplying electrode 4, and a gas containing various components in a predetermined concentration is brought into contact with the air. Was measured to determine the electric resistance value. FIG.
Each gas (NO, NO 2, C 2 H 5 OH, CH 3 OH,
H 2 ). In the drawing, the resistance value in air is represented by R 0 (Ω), and the resistance value in each gas is represented by R (Ω). In the figure, the horizontal axis is the concentration of each gas (ppm unit).
And the vertical axis indicates the response rate (log ( R / R 0 )).
【0019】結果、このセンサは、NO,NO2に対し
て十分な感応特性を示した。As a result, this sensor showed sufficient sensitivity characteristics to NO and NO 2 .
【0020】3−2 Pt担持の窒素酸化物感応特性 上記のセンサ1に対して、前述の干渉成分(C2H5O
H,CH3OH,H2 )を酸化反応により除去するP
t,Pd等の白金族元素を備えた酸化触媒層7を形成し
たもの(ガス検出部を構成する膜上に、活性アルミナ中
にPtを1%混合分散させたものを500μmの厚みに
スクリーン印刷法により印刷し、600℃24hr焼成
を行うことにより形成)も、窒素酸化物検出には有効で
ある。このセンサ10の構成が図3に示されている。さ
らに図4に、このセンサ10の図2に対応する測定結果
を示した。結果、干渉成分に対する選択性が向上すると
ともに、NO,NO2成分に対する感度が向上してい
る。即ち、複合酸化物上にPt,Pd等の白金族元素を
含む触媒層7を設けることにより、高濃度の干渉成分の
影響をも抑制することができることがわかる。3-2 Nitrogen Oxide Sensitivity of Pt Carrying the sensor 1 described above, the interference component (C 2 H 5 O
H, CH 3 OH, H 2 ) by oxidation reaction
An oxidation catalyst layer 7 having a platinum group element such as t, Pd or the like formed thereon (1% of Pt mixed and dispersed in activated alumina on a film constituting a gas detection portion) by screen printing to a thickness of 500 μm. Printing by a method and baking at 600 ° C. for 24 hours) is also effective for detecting nitrogen oxides. The configuration of this sensor 10 is shown in FIG. FIG. 4 shows a measurement result of the sensor 10 corresponding to FIG. As a result, the selectivity for the interference component is improved, and the sensitivity for the NO and NO 2 components is improved. That is, it can be seen that by providing the catalyst layer 7 containing a platinum group element such as Pt and Pd on the composite oxide, it is possible to suppress the influence of a high concentration of interference components.
【0021】4.実験例 4−1 各種複合酸化物 ガス検出部3を構成する複合酸化物として適合する材料
の検討として、発明者がおこなった種々の材料に関する
実験結果を以下に示す。センサ構成は、図1のものと同
一であり、感応特性の結果は図2と同様に整理した。図
5にNO2に対する結果を、図6にNOに対する結果を
示す。これらの図において、R0はNO2あるいはNOが
存在しないときの抵抗値、RはNO2あるいはNOがあ
る濃度存在するときの抵抗値であり、応答率log(R
/R 0 )で感度を示している。検討の対象とした複合酸
化物試料の組成を表2に示す。また図5、図6におい
て、夫々の番号が各試料の番号に対応している。4. Experimental Example 4-1 Various Composite Oxides As a study of a material suitable as a composite oxide constituting the gas detection unit 3, experimental results on various materials performed by the inventor are shown below. The sensor configuration was the same as that of FIG. 1, and the results of the sensitivity characteristics were arranged as in FIG. FIG. 5 shows the results for NO 2 and FIG. 6 shows the results for NO. In these figures, R 0 is the resistance value when NO 2 or NO is not present, R is the resistance value when NO 2 or NO is present at a certain concentration , and the response rate log (R
/ R 0 ) indicates the sensitivity. Table 2 shows the composition of the composite oxide sample studied. 5 and 6, each number corresponds to the number of each sample.
【0022】[0022]
【表2】 [Table 2]
【0023】結果いずれの試料においても、窒素酸化物
の検出が行えることが判明した。従って、検出原理、結
晶構造より、本願のガス検出部3に採用可能な複合酸化
物として、As a result, it was found that any of the samples could detect nitrogen oxides. Therefore, from the detection principle and crystal structure, as a composite oxide that can be employed in the gas detection unit 3 of the present application,
【0024】[0024]
【化5】 Embedded image
【0025】式中、元素Aとしては、Sn,Pb等のIV
b族元素より選ばれた一種類以上の元素(2種類以上の
元素の混合体若しくは固溶体でもよい)を挙げられる。
Cuの価数がある程度変化しうるため、酸素の量は、2
n+6−δ(δは0〜0.2)の範囲で変化しうる。ま
た、A,n,x,δの組合せについては、センサ構成、
検出原理構成より、この材料が電気導電性あるいは半導
電性のものであるべきである。In the formula, as the element A, IV such as Sn, Pb, etc.
One or more elements selected from group b elements (a mixture or solid solution of two or more elements may be used).
Since the valence of Cu can change to some extent, the amount of oxygen is 2
n + 6-δ (δ is 0 to 0.2). For the combination of A, n, x, and δ, the sensor configuration,
Due to the principle of detection, this material should be electrically or semi-conductive.
【0026】4−2 耐久特性 表2に於いてNo2及び3で示されてる複合酸化物をガ
ス検出部とする本願のセンサと、4-2 Durability characteristics The sensor according to the present invention in which the composite oxides shown in Nos.
【0027】[0027]
【化6】 を採用したセンサの水分共存雰囲気下での耐久性のグラ
フを図7に示した。結果、従来型のEmbedded image FIG. 7 is a graph showing the durability of the sensor adopting the above method under an atmosphere coexisting with moisture. As a result,
【0028】[0028]
【化7】 が10日でほぼ感度を失っているのに対して、本願の組
成のものは初期性能をそのまま維持している。従って、
本願のセンサが良好な耐久性を維持できることがわか
る。Embedded image Although the sensitivity was almost lost after 10 days, the composition of the present invention maintained the initial performance as it was. Therefore,
It can be seen that the sensor of the present application can maintain good durability.
【0029】〔別実施例〕以下に別実施例について説明
する。 (1)酸化触媒層の構成 上記の実施例においては、活性アルミナ中にPtを担持
させた酸化触媒層7を設ける例を示したが、これは、以
下のようにも構成してもよい。 a.複合酸化物中にPt,Pd等の白金族元素を0〜2
%程度添加混合する。 b.複合酸化物中表面上にPt,Pd等の白金族元素を
担持する。[Another embodiment] Another embodiment will be described below. (1) Configuration of Oxidation Catalyst Layer In the above embodiment, an example in which the oxidation catalyst layer 7 in which Pt is supported on activated alumina is provided, but this may be configured as follows. a. A platinum group element such as Pt, Pd, etc.
% And mixed. b. A platinum group element such as Pt and Pd is supported on the inner surface of the composite oxide.
【0030】(2)電極構成 上記の実施例においては、一対の電流加流電極4と一対
の電圧検出電極5を設けて抵抗値の変化を検出する例を
示したが、一対の電圧印加電極間に、一定の電圧を印加
し、一対の電流検出電極間の電流を検出するものとして
もよい。さらに、電極の構成方法として、通常の二端子
電極(電流電極と電圧電極を共通したもの)を用いるこ
とも可能であるが、この場合、本発明に関るガス検出部
の場合窒素酸化物の吸収により部分的に抵抗変化を起こ
した部分が生成するため、電流は低抵抗相のみを優先的
に流れてしまう。従って、電極より検出できるガス検出
部の抵抗値の変化は微小となる可能性がある。よって、
実施例に開示の構成が好ましい。ただし、電極の機能と
しては、ガス検出部に起こる抵抗値の変化を検出できる
ものであればいかなる構成でもよい。(2) Electrode Configuration In the above embodiment, an example was shown in which a pair of current-carrying electrodes 4 and a pair of voltage detection electrodes 5 were provided to detect a change in resistance. In the meantime, a constant voltage may be applied to detect the current between the pair of current detection electrodes. Further, as a configuration method of the electrodes, it is also possible to use a normal two-terminal electrode (in which the current electrode and the voltage electrode are common). Since a portion where a resistance change occurs partially due to absorption is generated, the current preferentially flows only in the low-resistance phase. Therefore, the change in the resistance value of the gas detection unit that can be detected from the electrode may be small. Therefore,
The configuration disclosed in the embodiment is preferable. However, as the function of the electrode, any configuration may be used as long as it can detect a change in resistance value occurring in the gas detection unit.
【0031】(3)加熱手段 窒素酸化物ガスの濃度の変化に対する窒素酸化物検出セ
ンサの電気抵抗値の応答性および回復性を高めるために
は、実施例のようにセンサを150℃以上に加熱するこ
とが望ましく、この目的のために、実施例のセラミック
ヒータ板6の他、任意の加熱手段を設けることが好まし
い。加熱手段を設けることにより、窒素酸化物の吸収・
放出の速度が十分大きくなり、窒素酸化物ガスの濃度の
変化に対する窒素酸化物検出センサの電気抵抗値の応答
性および、回復性を高められる。但し、抵抗値の変化が
確保できれば、この加熱手段がない場合でも検出はおこ
なえる。また自己加熱型のものも考えられる。(3) Heating means In order to improve the response and recovery of the electrical resistance value of the nitrogen oxide detection sensor to the change in the concentration of nitrogen oxide gas, the sensor is heated to 150 ° C. or higher as in the embodiment. For this purpose, it is preferable to provide an arbitrary heating means in addition to the ceramic heater plate 6 of the embodiment. By providing a heating means, nitrogen oxide absorption and
The release rate becomes sufficiently large, and the responsiveness and recovery of the electrical resistance value of the nitrogen oxide detection sensor to changes in the concentration of the nitrogen oxide gas can be improved. However, if a change in the resistance value can be ensured, detection can be performed even without this heating means. A self-heating type is also conceivable.
【0032】(4) 膜形成法 ガス検出部を形成する薄膜形成法としては、上記のもの
の他、真空蒸着法、スパッタリング法などの物理的蒸着
法、MO−CVD、塩化物CVDなどの化学的蒸着法も
ある。(4) Film Forming Method In addition to the above-described methods, a film forming method for forming a gas detecting portion is a physical vapor deposition method such as a vacuum vapor deposition method and a sputtering method, and a chemical vapor deposition method such as MO-CVD and chloride CVD. There is also a vapor deposition method.
【0033】(5) 基板の材質 基板の材質としては、MgOの他、SrTiO3も採用
できる。(5) Material of Substrate In addition to MgO, SrTiO 3 can be used as the material of the substrate.
【0034】(6) センサ構成 ガス検出部3の形状構成は薄膜状の他、塊状等、任意の
構造を採用した場合も窒素酸化物に対する検出機能を発
揮しえる。(6) Sensor Configuration The gas detector 3 can also exhibit the function of detecting nitrogen oxides when an arbitrary structure such as a lump or the like is employed in addition to a thin film.
【0035】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。Incidentally, reference numerals are written in the claims for convenience of comparison with the drawings, but the present invention is not limited to the configuration of the attached drawings by the entry.
【図1】センサ構成を示す図FIG. 1 is a diagram showing a sensor configuration.
【図2】ガスに対する感応特性を示す図FIG. 2 is a diagram showing sensitivity characteristics to gas.
【図3】Pt担持の触媒層を備えたセンサ構成を示す図FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a sensor including a catalyst layer carrying Pt.
【図4】触媒層を備えたセンサのガス感応特性を示す図FIG. 4 is a view showing gas sensing characteristics of a sensor having a catalyst layer.
【図5】実験例の各複合酸化物のNO2に対するガス感
応特性を示す図FIG. 5 is a diagram showing the gas sensitivity characteristics of each composite oxide to NO 2 in an experimental example.
【図6】実験例の各複合酸化物のNOに対するガス感応
特性を示す図FIG. 6 is a graph showing gas sensitivity characteristics of each composite oxide of the experimental example to NO.
【図7】センサの耐久性を示す図FIG. 7 is a diagram showing durability of a sensor.
2 基板 3 ガス検出部 4 電極 5 電極 7 酸化触媒層 2 Substrate 3 Gas detector 4 Electrode 5 Electrode 7 Oxidation catalyst layer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 一本松 正道 大阪府大阪市中央区平野町四丁目1番2 号 大阪瓦斯株式会社内 (56)参考文献 特開 昭48−54981(JP,A) 特開 昭62−192643(JP,A) 特開 平3−200057(JP,A) 特開 平3−200058(JP,A) 特開 平2−126146(JP,A) 特開 昭51−15492(JP,A) 特開 昭50−144391(JP,A) Sensors and Actua tors B,9,(1992),p17−23 (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01N 27/12 JICSTファイル(JOIS)──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Masamichi Ipponmatsu Osaka Gas Co., Ltd. 4-1-2, Hirano-cho, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka (56) References JP-A-48-54981 (JP, A) JP-A-62-192643 (JP, A) JP-A-3-200057 (JP, A) JP-A-3-200058 (JP, A) JP-A-2-126146 (JP, A) JP-A-51-15492 JP, A) JP-A-50-144391 (JP, A) Sensors and Actuators B, 9, (1992), p17-23 (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G01N 27/12 JICST file (JOIS)
Claims (3)
0〜2、nは1以上、δは0〜0.2)により表される
複合酸化物を主成分とするガス検出部(3)と、前記ガ
ス検出部(3)と電気的に接続された電極(4、5)よ
り構成されることを特徴とする窒素酸化物検出センサ。(1) having electrical conductivity or semi-conductivity; (A is at least one element selected from group IVb elements, x is 0 to 2, n is 1 or more, and δ is 0 to 0.2) A nitrogen oxide detection sensor comprising: (3) and electrodes (4, 5) electrically connected to the gas detection section (3).
側に、白金族元素を担持した酸化触媒層(7)が設けら
れている請求項1記載の窒素酸化物検出センサ。2. The nitrogen oxide detection sensor according to claim 1, wherein an oxidation catalyst layer supporting a platinum group element is provided at least on a surface side of the gas detection section.
(2)上に設けられる薄膜である請求項1記載の窒素酸
化物検出センサ。3. The nitrogen oxide detection sensor according to claim 1, wherein the gas detection section is a thin film provided on a flat substrate.
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JP13944092A JP2918393B2 (en) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | Nitrogen oxide detection sensor |
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EP1020721A4 (en) * | 1997-01-20 | 2000-10-04 | Osaka Gas Co Ltd | Nitrogen oxides detection method, and sensor element for detection of nitrogen oxides |
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1992
- 1992-05-29 JP JP13944092A patent/JP2918393B2/en not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
Title |
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Sensors and Actuators B,9,(1992),p17−23 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05332971A (en) | 1993-12-17 |
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