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JP2994288B2 - Chemical liquid filter processing method and device - Google Patents

Chemical liquid filter processing method and device

Info

Publication number
JP2994288B2
JP2994288B2 JP8331966A JP33196696A JP2994288B2 JP 2994288 B2 JP2994288 B2 JP 2994288B2 JP 8331966 A JP8331966 A JP 8331966A JP 33196696 A JP33196696 A JP 33196696A JP 2994288 B2 JP2994288 B2 JP 2994288B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chemical
alcohol
tank
filter
pure water
Prior art date
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Application number
JP8331966A
Other languages
Japanese (ja)
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JPH10165788A (en
Inventor
正義 笠原
Original Assignee
山形日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 山形日本電気株式会社 filed Critical 山形日本電気株式会社
Priority to JP8331966A priority Critical patent/JP2994288B2/en
Publication of JPH10165788A publication Critical patent/JPH10165788A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2994288B2 publication Critical patent/JP2994288B2/en
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  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は薬液用フィルター
(以下、フィルター、と称す)の処理方法およびその装
置に係わり、特に半導体装置の製造において、半導体基
板を薬液槽に入れて、半導体基板の洗浄、エッチングな
どの薬液処理を行う半導体装置の製造装置で使用するフ
ィルターの純水置換方法およびその装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for treating a chemical liquid filter (hereinafter, referred to as a filter) and an apparatus therefor. In particular, in the manufacture of a semiconductor device, a semiconductor substrate is placed in a chemical tank and the semiconductor substrate is cleaned. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method and an apparatus for purifying a filter used in a semiconductor device manufacturing apparatus for performing chemical liquid processing such as etching.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体基板の処理に用いる薬液すなわち
実液を清浄化するフィルターを親水性にして循環圧力を
低減させる必要がある。このために特に新しく交換した
フィルターは疎水性であるからこれをアルコールにより
親水性にし、その後、アルコールの成分が実液に混入す
るのを防止するためにアルコールを純水で置換する。
2. Description of the Related Art It is necessary to reduce the circulating pressure by making a filter for cleaning a chemical solution, that is, a real solution, used for processing a semiconductor substrate hydrophilic. For this purpose, the newly replaced filter is made hydrophobic by alcohol, especially since it is hydrophobic, and then the alcohol is replaced with pure water in order to prevent the components of the alcohol from being mixed into the actual liquid.

【0003】図4を参照して特開昭63−248414
号公報に開示されている従来の薬液フィルター純水置換
方法を説明する。図4において、薬液槽10からバルブ
18c→ポンプ12→フィルター14→バルブ18b→
薬液槽10へ戻る循環経路と、薬液フィルター14とバ
ルブ18bとの間からバルブ18aと通して排液する排
液経路の他に、第二の薬液槽20からバルブ18dを通
してバルブ18cとポンプ12との間に接続する経路を
有している。
Referring to FIG. 4, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-248414
A conventional method for purifying a chemical liquid filter with pure water disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. H10-209,878 will be described. In FIG. 4, from the chemical solution tank 10, the valve 18c → the pump 12 → the filter 14 → the valve 18b →
In addition to the circulation path returning to the chemical solution tank 10 and the drainage path for draining the liquid between the chemical solution filter 14 and the valve 18b through the valve 18a, the valve 18c and the pump 12 are connected to the second chemical solution tank 20 through the valve 18d. Has a path connected between them.

【0004】そして第二薬液層20にアルコールを入
れ、ポンプ12を介してフィルター14のフィルターエ
レメントの親水化処理をし、その後、フィルター内のア
ルコールを純水で洗浄し、通常の循環ラインで使用す
る。テフロン(商標名)膜フィルターは、疎水性である
ため、無機薬品等を使用する循環ラインに於いては、フ
ィルターに対する接触抵抗が高く、薬液の通りが悪くな
るため、上述の親水化処理が必要となる。
[0004] Then, alcohol is put into the second chemical liquid layer 20, the filter element of the filter 14 is subjected to a hydrophilic treatment through the pump 12, and then the alcohol in the filter is washed with pure water and used in a normal circulation line. I do. The Teflon (trade name) membrane filter is hydrophobic, so in a circulation line using inorganic chemicals, etc., the contact resistance to the filter is high and the flow of the chemical solution is poor, so the above-mentioned hydrophilic treatment is necessary. Becomes

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来技術の第1の問題
点は、フィルターエレメントが充分に置換され、親水性
になったかどうか、定量的に確認する手段がないことで
ある。
A first problem of the prior art is that there is no means for quantitatively confirming whether the filter element has been sufficiently substituted and has become hydrophilic.

【0006】その理由は、アルコールで親水性処理を行
うフィルター置換ラインが圧力計で管理されていない為
である。
The reason for this is that the filter replacement line for performing the hydrophilic treatment with alcohol is not controlled by a pressure gauge.

【0007】従来技術の第2の問題点は、アルコールで
親水性化処理を行った後の純水置換が、確実に行われた
かどうかを定量的に確認する手段がないことである。
A second problem of the prior art is that there is no means for quantitatively confirming whether or not the replacement with pure water after performing the hydrophilicity-imparting treatment with alcohol has been reliably performed.

【0008】その理由は、フィルター純水置換ラインが
アルコール濃度計管理されていない為である。
[0008] The reason is that the filter pure water replacement line is not managed by an alcohol concentration meter.

【0009】したがって本発明は、テフロン(商標名)
膜のフィルターを無機薬品を使用する半導体基板の製造
装置で使用する前に、フィルターをアルコール、純水の
順で置換する際の置換の信頼性向上を目的とする。
Accordingly, the present invention relates to Teflon (trade name)
An object of the present invention is to improve the reliability of substitution when replacing a filter in the order of alcohol and pure water before using the membrane filter in a semiconductor substrate manufacturing apparatus using an inorganic chemical.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、薬液循
環系に使用される薬液フィルターを疎水性から親水性に
するための処理方法において、アルコールで疎水性のテ
フロン(商標名)膜フィルターを親水化しつつ、親水化
度を圧力計で検知し、その後、純水を加えていきアルコ
ールが純水により置換されたことをアルコール濃度計に
より検知する薬液用フィルターの処理方法にある。
A feature of the present invention is to provide a treatment method for making a chemical solution filter used in a chemical solution circulation system from hydrophobic to hydrophilic, and comprising a Teflon (trademark) membrane filter which is hydrophobic with alcohol. The method for treating a chemical liquid filter comprises detecting a degree of hydrophilization with a pressure gauge while hydrophilizing, and then adding pure water and detecting with an alcohol concentration meter that the alcohol has been replaced by pure water.

【0011】あるいは本発明の特徴は、混合槽に蓄液し
たアルコールを薬液槽に導入する第1のステップと、次
に、前記薬液槽から圧力計、薬液用フィルターを経て前
記薬液槽に戻る循環系に前記アルコールを循環させる第
2のステップと、次に、前記薬液槽に純水を加えていく
ことにより疎水性の薬液用フィルターを所定の親水性に
したアルコールを純水に置換する第3のステップとを有
し、前記第2及び第3のステップの期間に前記薬液用フ
ィルターの一次圧力および前記薬液槽に設置されたアル
コール濃度計を管理する薬液用フィルターの処理方法に
ある。ここで、前記圧力計により前記フィルターが所定
の親水性になったことを検知した後、前記薬液槽のアル
コールを排液し、前記混合槽に蓄液したアルコールと純
水との混合液を前記薬液槽に導入してこの混合液の循環
を行い、純水パイプから純水を前記薬液槽に導入してい
くことができる。あるいは、前記混合液の循環以降に前
記圧力が一時的に上昇した場合には、アルコールパイプ
からアルコールを前記薬液槽に導入することができる。
Another feature of the present invention is that a first step of introducing the alcohol stored in the mixing tank into the chemical tank and the following step:
, The second circulating the alcohol from the chemical tank pressure gauge, a through chemical filter circulation system to return to the chemical tank
Yes and second step, then a third step of replacing the alcohol with a chemical filter for hydrophobic predetermined hydrophilic in pure water by going adding pure water to the chemical tank
In the method for treating a chemical liquid filter, the primary pressure of the chemical liquid filter and the alcohol concentration meter installed in the chemical liquid tank are managed during the second and third steps . Here, after the pressure gauge detects that the filter has become a predetermined hydrophilic property, the alcohol in the chemical tank is drained, and the mixed liquid of alcohol and pure water stored in the mixing tank is drained. The mixed solution is circulated by being introduced into the chemical tank, and pure water can be introduced into the chemical tank from a pure water pipe. Alternatively, when the pressure temporarily increases after the circulation of the mixture, alcohol can be introduced into the chemical solution tank from an alcohol pipe.

【0012】本発明の他の特徴は、薬液循環系に使用さ
れる薬液用フィルターを疎水性から親水性にするための
アルコール循環装置を有する薬液用フィルターの処理装
において、前記薬液フィルターの一次圧力、アルコー
ル濃度を管理するために、圧力計及び濃度計を取り付け
た薬液用フィルターの処理装置にある。
Another feature of the present invention is to provide a chemical solution filter used in a chemical solution circulating system for making the filter from hydrophobic to hydrophilic.
Treatment device for chemical liquid filter with alcohol circulation device
In order to control the primary pressure and the alcohol concentration of the chemical liquid filter, the chemical liquid filter processing device is provided with a pressure gauge and a concentration meter.

【0013】あるいは本発明の他の特徴は、アルコール
供給ラインと純水供給ラインと、前記アルコール供給
ラインからアルコールが供給され前記純水供給ラインか
ら純水が供給される薬液槽と、前記薬液槽内に設けられ
たアルコール濃度計と、前記薬液槽から圧力計、薬液用
フィルターを経て前記薬液槽に戻る循環系とを有し、前
薬液槽内のアルコール濃度及びフィルター一次圧力を
管理しながら純水置換を行うために、薬液用フィルター
の一次圧力の変化に伴い、アルコール濃度を変化させる
フィードバック機能を設けた薬液用フィルターの処理装
置にある。
Another feature of the present invention is that an alcohol supply line, a pure water supply line, and the alcohol supply line are provided.
Alcohol is supplied from the line and the pure water supply line
A chemical solution tank to which pure water is supplied, and provided in the chemical solution tank.
Alcohol concentration meter, pressure gauge from the chemical tank,
A circulation system that returns to the chemical solution tank through a filter;
In order to perform pure water replacement while controlling the alcohol concentration in the chemical liquid tank and the primary pressure of the filter, a chemical liquid filter processing device equipped with a feedback function to change the alcohol concentration with the primary pressure change of the chemical liquid filter It is in.

【0014】このような本発明によれば、フィルター一
次圧力の変化を定量的に確認し、置換ラインのアルコー
ル濃度を定量的に確認することができる。すなわち、フ
ィルターの膜質状態を管理するために、圧力計を取り付
け、圧力変動により、アルコールの濃度を制御してい
る。このためフィルターの置換特性が均一になり、より
多くの循環流量を確保することが出来る。この為、フィ
ルターの親水化の信頼性が向上し、循環流量の安定化が
図られる。またアルコール濃度計で純水の置換を確実に
することが出来る。
According to the present invention, the change in the primary pressure of the filter can be quantitatively confirmed, and the alcohol concentration in the substitution line can be quantitatively confirmed. That is, in order to control the film quality state of the filter, a pressure gauge is attached, and the alcohol concentration is controlled by pressure fluctuation. For this reason, the replacement characteristics of the filter become uniform, and a larger circulation flow rate can be secured. For this reason, the reliability of the hydrophilicity of the filter is improved, and the circulation flow rate is stabilized. Also, the replacement of pure water can be ensured with an alcohol concentration meter.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して詳細に説明する。
Next, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0016】図1は本発明の第1の実施の形態を示す概
略図である。半導体基板の洗浄、エッチングなどの薬液
処理を行う薬液槽1には、低レベルの液面LLを検知す
るセンサと高レベルの液面Hを検知するセンサからなる
エアーセンサー6aが設けられ、さらにアルコールの濃
度を測定するアルコール濃度計7aが設けられている。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a first embodiment of the present invention. The chemical solution tank 1 for performing a chemical solution treatment such as cleaning and etching of a semiconductor substrate is provided with an air sensor 6a including a sensor for detecting a low level liquid level LL and a sensor for detecting a high level liquid level H. An alcohol concentration meter 7a for measuring the concentration of the alcohol is provided.

【0017】薬液槽1からポンプ2→バルブ8g→フィ
ルター4→バルブ8f→薬液槽1へ戻る循環経路と、ポ
ンプ2とバルブ8gとの間からバルブ8hと通して排液
する排液経路を有し、循環経路において、バルブ8gと
フィルター4との間にフィルター4の一次圧力の変化を
定量的に確認する圧力計3が設けられている。
There is a circulation path from the chemical tank 1 to the pump 2 → valve 8 g → filter 4 → valve 8 f → chemical tank 1, and a drain path from the pump 2 to the valve 8 g for draining through the valve 8 h. In the circulation path, a pressure gauge 3 for quantitatively confirming a change in the primary pressure of the filter 4 is provided between the valve 8g and the filter 4.

【0018】さらに、アルコールを溜めたり、アルコー
ルと純水を混合して溜める混合槽5には、低レベルの液
面LLを検知するセンサーと中間レベルの液面Lを検知
するセンサーと高レベルの液面Hを検知するセンサーか
らなるエアーセンサー6bが設けられ、またアルコール
の濃度を測定するアルコール濃度計7bが設けられてお
り、混合槽5からのアルコールやアルコールと純水の混
合液を薬液槽1にバルブ8eを通して供給できるように
なっている。この混合槽5は薬液槽1より上方に位置し
ているから、混合槽5からの液体は自重のみによっても
薬液槽1に導入することが出来る。
Further, a mixing tank 5 for storing alcohol or a mixture of alcohol and pure water is provided with a sensor for detecting a low level liquid level LL, a sensor for detecting an intermediate level liquid level L, and a high level An air sensor 6b comprising a sensor for detecting the liquid level H is provided, and an alcohol concentration meter 7b for measuring the concentration of alcohol is provided. 1 can be supplied through a valve 8e. Since the mixing tank 5 is located above the chemical tank 1, the liquid from the mixing tank 5 can be introduced into the chemical tank 1 only by its own weight.

【0019】また、アルコールIPA用の配管により、
アルコールをバルブ8aを通して混合槽5に供給し、バ
ルブ8dを通して薬液槽1に供給することが出来るよう
になっている。
Also, the piping for alcohol IPA allows
The alcohol can be supplied to the mixing tank 5 through the valve 8a, and can be supplied to the chemical tank 1 through the valve 8d.

【0020】さらに純水DIW用の配管により、純水を
バルブ8bを通して混合槽5に供給し、バルブ8cを通
して薬液槽1に供給することが出来るようになってい
る。
In addition, pure water DIW piping allows pure water to be supplied to the mixing tank 5 through a valve 8b and to the chemical tank 1 through a valve 8c.

【0021】次に、新規に取り替えたフィルター4を親
水性にする本発明の第1の実施の形態の動作について、
図2を参照して詳細に説明する。
Next, the operation of the first embodiment of the present invention for making the newly replaced filter 4 hydrophilic will be described.
This will be described in detail with reference to FIG.

【0022】まずバルブ8aを開にし、バルブ8b、8
d、8eを閉にして混合槽5に高レベルHまでアルコー
ルを溜める。
First, the valve 8a is opened, and the valves 8b and 8
After closing d and 8e, the alcohol is stored in the mixing tank 5 to a high level H.

【0023】アルコールが高レベルHになったことをエ
アーセンサー6bで検知したら、バルブ8aを閉にし、
バルブ8eを開にして、薬液槽1にアルコールを投入す
る。エアーセンサー6aで薬液槽1に投入されたアルコ
ールレベルHを認識し、定量の高レベルHになったら、
ポンプ2が動作し、アルコールの循環が開始される。こ
こで「異常」とは、混合槽5のアルコールが低レベルL
Lになっても薬液槽1のアルコールがいつまでも高レベ
ルHとならない場合であり、これは設備のトラブル発生
であるからその対策がとられる。
When the air sensor 6b detects that the level of alcohol has reached a high level H, the valve 8a is closed,
The valve 8e is opened, and alcohol is introduced into the chemical tank 1 . The air sensor 6a recognizes the alcohol level H charged into the chemical tank 1, and when the alcohol level H reaches a fixed high level H,
The pump 2 operates and the circulation of alcohol is started. Here, "abnormal" means that the alcohol in the mixing tank 5 is at a low level L.
This is the case where the alcohol level in the chemical liquid tank 1 does not reach the high level H forever even when the level becomes L. Since this is the occurrence of a trouble in the equipment, measures are taken.

【0024】循環開始直後の圧力計3の指示は高い値を
示すが、フィルター4が親水性になるにしたがい徐々に
低下してくる。循環圧力の低下が落ち着いたら、フィル
ターエレメントが所定の親水性になったと判断し、バル
ブ8gを閉にし、バルブ8hを開にしてポンプ2により
薬液槽1のアルコールを低レベルLまで一度に全てのア
ルコールを排液する。
Although the indication of the pressure gauge 3 immediately after the start of circulation shows a high value, it gradually decreases as the filter 4 becomes hydrophilic. When the decrease in the circulation pressure is settled, it is determined that the filter element has become a predetermined hydrophilic property, the valve 8g is closed, the valve 8h is opened, and the alcohol in the chemical solution tank 1 is reduced to a low level L by the pump 2 at a time. Drain the alcohol.

【0025】これらの間に、バルブ8aを開にし、バル
ブ8b、8d、8eを閉にして混合槽5に中間レベルL
までアルコールをため、次にバルブ8bを開にし、バル
ブ8a、8c、8eを閉にして混合槽5に混合液が高レ
ベルHまで純水を導入して、混合槽5にアルコールと純
水で1:1の混合液をつくる。
In the meantime, the valve 8a is opened, the valves 8b, 8d and 8e are closed and the intermediate level L
Then, the valve 8b is opened, the valves 8a, 8c and 8e are closed, and pure water is introduced into the mixing tank 5 until the mixed liquid reaches a high level H. Make a 1: 1 mixture.

【0026】次に、バルブ8bを閉にしにし、バルブ8
eを開にして混合液を薬液槽1に投入して循環を開始す
る。この場合も、混合槽5の混合液が低レベルLLにな
っても薬液槽1の混合液がいつまでも高レベルHとなら
ない場合であり、設備のトラブル発生の「異常である」
からその対策がとられる。
Next, the valve 8b is closed, and the valve 8b is closed.
e is opened and the mixed solution is introduced into the chemical tank 1 to start circulation. Also in this case, even when the mixed liquid in the mixing tank 5 becomes the low level LL, the mixed liquid in the chemical liquid tank 1 does not become the high level H forever, and it is “abnormal” when trouble occurs in the equipment.
The countermeasure is taken from.

【0027】その後、アルコールの濃度を低下させる為
に、純水のバルブ8cを開にして純水DIW用の配管か
ら純水を薬液槽1に投入していく。
Thereafter, in order to reduce the alcohol concentration, the pure water valve 8c is opened, and pure water is injected into the chemical solution tank 1 from a pure water DIW pipe.

【0028】この際に純水の割合が多すぎてフィルター
エレメントに対する表面エネルギーが若干高くなり、そ
れに伴い一時的に循環圧力が上昇する場合には、バルブ
8dを開にしてアルコールIPA用の配管からアルコー
ルを薬液槽に導入して薬液槽1のアルコール濃度を上げ
て、循環圧力の上昇を抑える。
At this time, if the ratio of pure water is too large and the surface energy for the filter element is slightly increased, and the circulation pressure is temporarily increased, the valve 8d is opened and the alcohol IPA pipe is opened. Alcohol is introduced into the chemical tank to increase the alcohol concentration in the chemical tank 1, thereby suppressing an increase in circulation pressure.

【0029】その後、また純水を投入し、アルコール濃
度計7aにより検出されるアルコールの濃度をゼロへ近
づけ、これにより100%純水置換がされたと判断す
る。
Thereafter, pure water is supplied again to bring the concentration of alcohol detected by the alcohol concentration meter 7a closer to zero, thereby determining that 100% pure water replacement has been performed.

【0030】ここで混合槽5を設けるのは、アルコール
置換をしたフィルター内のアルコールを一度全て排液
し、新たに1:1= 純水:アルコールの混合液で循環さ
せるためであり、この混合槽により薬液投入時の時間を
短縮することが出来る。そしてこのように100%アル
コールによる循環の後、純水のみの循環を行わずにアル
コールと純水(1:1)の混合液を用いることにより、
フィルターエレメントに余分な圧力をかけず徐々に純水
置換を行い、かつ置換効率を上げることが出来る。
The reason why the mixing tank 5 is provided is to drain all the alcohol in the alcohol-substituted filter once and to circulate it again with a mixed liquid of 1: 1 = pure water: alcohol. The time required for introducing the chemical solution can be reduced by the tank. Then, after the circulation using 100% alcohol, a mixture of alcohol and pure water (1: 1) is used without circulating pure water alone.
Pure water replacement can be performed gradually without applying extra pressure to the filter element, and the replacement efficiency can be increased.

【0031】このようにしてフィルターの所定の処理が
完了した後、純水を排液し、半導体基板を処理する薬
液、すなわち実液を薬液槽1に溜めて循環経路を実液を
循環させながら、薬液槽1内で半導体基板の処理が行わ
れる。
After the predetermined processing of the filter is completed in this way, pure water is drained, and a chemical solution for processing the semiconductor substrate, that is, an actual solution is stored in the chemical solution tank 1 and the actual solution is circulated through the circulation path. The processing of the semiconductor substrate is performed in the chemical solution tank 1.

【0032】次に本発明の第2の実施の形態について、
図3を参照して説明する。尚、図3において図1と同一
もしくは類似の箇所は同じ符号を付してあるから、重複
する説明は省略する。
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
This will be described with reference to FIG. Note that, in FIG. 3, the same or similar portions as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and thus the duplicated description will be omitted.

【0033】図3の本発明の第2の実施の形態は、薬液
槽1からポンプ2を介してフィルター4を通り薬液槽1
へ戻る循環ラインと、純水、アルコールを混合する混合
槽5の他に、実液を貯液する第二薬液槽9を有して構成
される。
In the second embodiment of the present invention shown in FIG. 3, the chemical tank 1 passes through the filter 4 via the pump 2 from the chemical tank 1.
In addition to the circulation line for returning to the above, a mixing tank 5 for mixing pure water and alcohol, a second chemical liquid tank 9 for storing an actual liquid is provided.

【0034】この第二薬液槽9には実液の低レベルの液
面LLを検知するセンサーと高レベルの液面Hを検知す
るセンサーからなるエアーセンサー6cが設けられ、さ
らに実液パイプからバルブ8iを通して実液を第二薬液
槽9に導入し、第二薬液槽9に溜まった実液をバルブ8
iを通して第一薬液槽1の送り込むようになっている。
The second chemical tank 9 is provided with an air sensor 6c composed of a sensor for detecting the low level liquid level LL of the actual liquid and a sensor for detecting the high level liquid level H. 8i, the real liquid is introduced into the second chemical liquid tank 9, and the real liquid accumulated in the second chemical liquid tank 9 is supplied to the valve 8.
The first chemical solution tank 1 is fed through i.

【0035】また混合槽5と同様に第二の薬液槽9も第
一の薬液槽1より上方に位置しているから、第二の薬液
槽9からの実液も自重のみによっても薬液槽1に導入す
ることが出来る。
Also, like the mixing tank 5, the second chemical tank 9 is also located above the first chemical tank 1, so that the actual liquid from the second chemical tank 9 can be used only by its own weight. Can be introduced.

【0036】第1の実施の形態と同様にフィルター4の
親水性化、純水置換が完了したら、第一薬液槽1からポ
ンプ2を介して排液する。
When the hydrophilicity of the filter 4 and the replacement with pure water are completed as in the first embodiment, the liquid is drained from the first chemical liquid tank 1 via the pump 2.

【0037】この間にこの第二薬液槽9にバルブ8iを
開にして実液を入れ、エアセンサー6cの定量検知でバ
ルブ8iを閉じる。その後、バルブ8jを開にして第一
薬液槽1に実液を投入し、エアセンサー6aで定量を認
識したら、バルブ8jを閉じ、ポンプ2を始動させ循環
を開始する。
During this time, the valve 8i is opened and the actual liquid is put into the second chemical liquid tank 9, and the valve 8i is closed by the quantitative detection of the air sensor 6c. After that, the valve 8j is opened to put the actual liquid into the first chemical liquid tank 1, and when the amount is recognized by the air sensor 6a, the valve 8j is closed and the pump 2 is started to start circulation.

【0038】[0038]

【発明の効果】上記本発明では、フィルターエレメント
の性質を圧力計で管理しながらアルコール置換を行う為
に、フィルターの親水化の信頼性が向上する。
According to the present invention, since the substitution of alcohol is performed while controlling the properties of the filter element with a pressure gauge, the reliability of the hydrophilicity of the filter is improved.

【0039】また本発明では、フィルター循環ラインの
アルコール濃度を管理しながら純水置換を行う為に、フ
ィルターの純水置換精度が向上する。
Further, in the present invention, since the pure water replacement is performed while controlling the alcohol concentration in the filter circulation line, the accuracy of the filter for pure water replacement is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施の形態の動作を示すフロー
チャートである。
FIG. 2 is a flowchart showing an operation of the first exemplary embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第2の実施の形態を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図4】従来の技術を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 薬液槽、第一薬液槽 2 ポンプ 3 圧力計 4 フィルター 5 混合槽 6a、6b、6c エアーセンサー 7a、7b 濃度計 8a〜8j バルブ 9 第二薬液槽 10 薬液槽 12 ポンプ 14 フィルター 18a〜18d バルブ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Chemical tank, 1st chemical tank 2 Pump 3 Pressure gauge 4 Filter 5 Mixing tank 6a, 6b, 6c Air sensor 7a, 7b Densitometer 8a-8j Valve 9 Second chemical tank 10 Chemical tank 12 Pump 14 Filter 18a-18d Valve

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 薬液循環系に使用される薬液フィルター
を疎水性から親水性にするための処理方法において、ア
ルコールで疎水性のテフロン(商標名)膜フィルターを
親水化しつつ、親水化度を圧力計で検知し、その後、純
水を加えていきアルコールが純水により置換されたこと
をアルコール濃度計により検知することを特徴とする薬
液用フィルターの処理方法。
In a treatment method for making a chemical filter used in a chemical circulation system from hydrophobic to hydrophilic, a hydrophilic Teflon (trade name) membrane filter is hydrophilized with an alcohol and the degree of hydrophilization is increased. A method for treating a chemical liquid filter, comprising: detecting with a meter, and then adding pure water and detecting that the alcohol has been replaced by pure water with an alcohol concentration meter.
【請求項2】 混合槽に蓄液したアルコールを薬液槽に
導入する第1のステップと、次に、前記薬液槽から圧力
計、薬液用フィルターを経て前記薬液槽に戻る循環系に
前記アルコールを循環させる第2のステップと、次に、
前記薬液槽に純水を加えていくことにより疎水性の薬液
用フィルターを所定の親水性にしたアルコールを純水に
置換する第3のステップとを有し、前記第2及び第3の
ステップの期間に前記薬液用フィルターの一次圧力およ
び前記薬液槽に設置されたアルコール濃度計を管理する
ことを特徴とする薬液用フィルターの処理方法。
2. A first step of introducing the alcohol stored in the mixing tank into the chemical tank, and then transferring the alcohol to the circulation system returning from the chemical tank to the chemical tank through a pressure gauge and a chemical filter. A second step of circulating , and then
A third step in which pure water is added to the chemical solution tank to replace alcohol having a hydrophobic chemical solution filter with a predetermined hydrophilicity by pure water , wherein the second and third steps are performed.
A method for treating a chemical liquid filter, comprising: managing a primary pressure of the chemical liquid filter and an alcohol concentration meter installed in the chemical liquid tank during a step .
【請求項3】 前記圧力計により前記薬液用フィルター
が所定の親水性になったことを検知した後、前記薬液槽
のアルコールを排液し、前記混合槽に蓄液したアルコー
ルと純水との混合液を前記薬液槽に導入してこの混合液
の循環を行い、純水パイプから純水を前記薬液槽に導入
していくことを特徴とする請求項2記載の薬液用フィル
ターの処理方法。
3. After detecting that the chemical liquid filter has become predetermined hydrophilicity by the pressure gauge, the alcohol in the chemical liquid tank is drained, and the alcohol and pure water stored in the mixing tank are mixed. The method according to claim 2, wherein the mixed solution is introduced into the chemical solution tank, the mixed solution is circulated, and pure water is introduced into the chemical solution tank from a pure water pipe.
【請求項4】 前記混合液の循環以降に前記圧力が一時
的に上昇した場合には、アルコールパイプからアルコー
ルを前記薬液槽に導入することを特徴とする請求項3
載の薬液用フィルターの処理方法。
4. The treatment of a chemical liquid filter according to claim 3 , wherein when the pressure temporarily rises after the circulation of the liquid mixture, alcohol is introduced into the chemical liquid tank from an alcohol pipe. Method.
【請求項5】 薬液循環系に使用される薬液用フィルタ
ーを疎水性から親水性にするためのアルコール循環装置
を有する薬液用フィルターの処理装置において、前記薬
液フィルターの一次圧力、アルコール濃度を管理するた
めに、圧力計及び濃度計を取り付けたことを特徴とする
薬液用フィルターの処理装置。
5. An alcohol circulating device for changing a chemical solution filter used in a chemical solution circulation system from hydrophobic to hydrophilic.
A chemical liquid filter processing device , comprising: a pressure gauge and a concentration meter for controlling a primary pressure and an alcohol concentration of the chemical liquid filter.
【請求項6】 アルコール供給ラインと純水供給ライ
ンと、前記アルコール供給ラインからアルコールが供給
され前記純水供給ラインから純水が供給される薬液槽
と、前記薬液槽内に設けられたアルコール濃度計と、前
記薬液槽から圧力計、薬液用フィルターを経て前記薬液
槽に戻る循環系とを有し、前記薬液槽内のアルコール濃
度及びフィルター一次圧力を管理しながら純水置換を行
うために、薬液用フィルターの一次圧力の変化に伴い、
アルコール濃度を変化させるフィードバック機能を設け
ることを特徴とする薬液用フィルターの処理装置。
6. An alcohol supply line, a pure water supply line, and alcohol supplied from the alcohol supply line.
And a chemical tank to which pure water is supplied from the pure water supply line.
And an alcohol concentration meter provided in the chemical solution tank,
From the chemical storage tank through a pressure gauge and a chemical filter, the chemical
With a circulation system returning to the tank, in order to perform pure water replacement while managing the alcohol concentration and the filter primary pressure in the chemical tank, with the change in the primary pressure of the chemical liquid filter,
An apparatus for treating a chemical liquid filter, comprising a feedback function for changing an alcohol concentration.
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