JP2991575B2 - Semiconductor integrated circuit - Google Patents
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ヒューズの切断の有無
によって選択的に制御信号を発生する制御信号発生回路
を備えた半導体記憶装置等の半導体集積回路、例えばそ
の半導体記憶装置においてヒューズの切断によって不良
メモリセル救済用の冗長回路を動作させるための制御信
号を発生する回路構成に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor integrated circuit such as a semiconductor memory device having a control signal generating circuit for selectively generating a control signal depending on whether or not a fuse is blown. And a circuit configuration for generating a control signal for operating a redundant circuit for repairing a defective memory cell.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、半導体集積回路(例えば、半導体
記憶装置)において、ヒューズの切断によって不良メモ
リセル救済用の冗長回路を動作させるための制御信号を
発生する回路としては、例えば特開平3−130999
号公報に記載されるものがあった。図2は、前記文献に
記載された従来の冗長回路を有する半導体記憶装置の一
構成例を示すブロック図である。この半導体記憶装置
は、複数のメモリセルがマトリクス状に配列されたデー
タ格納用のメモリセルアレイ1と、該メモリセルの不良
を救済するための冗長メモリセルを複数有する不良救済
用の冗長メモリセルアレイ2とを備えている。また、不
良アドレスRAを発生する不良アドレス記憶部11が設
けられ、その出力側に冗長比較回路12が接続されてい
る。冗長比較回路12は、外部アドレスAと不良アドレ
スRAとを比較する回路であり、その出力側に冗長判定
回路13を介して非冗長アドレスデコーダ14及び冗長
アドレスデコーダ15が接続されている。2. Description of the Related Art Conventionally, in a semiconductor integrated circuit (for example, a semiconductor memory device), as a circuit for generating a control signal for operating a redundant circuit for repairing a defective memory cell by cutting a fuse, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 130999
There was what was described in the gazette. FIG. 2 is a block diagram showing an example of a configuration of a semiconductor memory device having a conventional redundant circuit described in the above document. In this semiconductor memory device, a memory cell array 1 for storing data in which a plurality of memory cells are arranged in a matrix, and a redundant memory cell array 2 for repairing a defect having a plurality of redundant memory cells for repairing a defect in the memory cell. And Further, a defective address storage section 11 for generating a defective address RA is provided, and a redundant comparison circuit 12 is connected to an output side thereof. The redundancy comparison circuit 12 is a circuit for comparing the external address A with the defective address RA. The output of the redundancy comparison circuit 12 is connected to a non-redundant address decoder 14 and a redundant address decoder 15 via a redundancy determination circuit 13.
【0003】冗長判定回路13は、冗長比較回路12の
出力に基づき不良救済をするか否かの判定を行い、不良
救済必要無しと判定したときには非冗長アドレスデコー
ダ14を活性化し、不良救済必要有りと判定したときに
は冗長アドレスデコーダ15を活性化する。非冗長アド
レスデコーダ14は、冗長判定回路13の出力によって
活性化されると、外部アドレスAをデコードしてメモリ
セルアレイ1内のメモリセルを選択する回路である。冗
長アドレスデコーダ15は、冗長判定回路13の出力に
よって活性化されると、不良アドレスRAをデコードし
て冗長メモリセルアレイ2内の冗長メモリセルを選択す
る回路である。ここで、冗長メモリセルアレイ2、不良
アドレス記憶部11、冗長比較回路12、冗長判定回路
13、及び冗長アドレスデコーダ15により、半導体記
憶装置における冗長回路が構成されている。不良アドレ
ス記憶部11は、アドレスn個の制御信号発生回路(例
えば、冗長選択回路)等で構成され、その1つの冗長選
択回路の構成例を図3に示す。図3は、前記文献に記載
された図2の不良アドレス記憶部11を構成する従来の
冗長選択回路の回路図である。この冗長選択回路は、電
圧降下用のPチャネルMOSトランジスタ(以下、PM
OSという)21を有し、そのソースが第1の電源(例
えば、電源電位)VCCに接続され、ゲートが第2の電
源(例えば、接地電位)VSSに接続され、さらにドレ
インがヒューズ22の第1の端子に接続されている。ヒ
ューズ22の第2の端子には、不良アドレスRAを出力
する出力端子23が接続されると共に、ヒューズ24の
第1の端子が接続されている。ヒューズ24の第2の端
子には、電圧降下用のNチャネルMOSトランジスタ
(以下、NMOSという)25のドレインが接続され、
そのゲートが電源電位VCCに接続されると共に、ソー
スが接地電位VSSに接続されている。PMOS21及
びNMOS25は、常にオン状態に維持されている。ま
た、ヒューズ22及び24の切断には、レーザ光の照射
が用いられる。A redundancy determining circuit 13 determines whether or not to repair a defect based on the output of the redundancy comparing circuit 12. When it is determined that the repair is not necessary, the non-redundant address decoder 14 is activated to require the repair. Is activated, the redundant address decoder 15 is activated. The non-redundant address decoder 14 is a circuit that, when activated by the output of the redundancy judgment circuit 13, decodes the external address A and selects a memory cell in the memory cell array 1. The redundancy address decoder 15 is a circuit that, when activated by the output of the redundancy judgment circuit 13, decodes the defective address RA and selects a redundancy memory cell in the redundancy memory cell array 2. Here, the redundant memory cell array 2, the defective address storage unit 11, the redundant comparison circuit 12, the redundancy judgment circuit 13, and the redundant address decoder 15 constitute a redundant circuit in the semiconductor memory device. The defective address storage unit 11 is composed of n control signal generation circuits (for example, a redundancy selection circuit) and the like, and FIG. 3 shows a configuration example of one of the redundancy selection circuits. FIG. 3 is a circuit diagram of a conventional redundancy selection circuit constituting the defective address storage unit 11 of FIG. 2 described in the above-mentioned document. This redundancy selection circuit includes a P-channel MOS transistor for voltage drop (hereinafter referred to as PM
The source is connected to a first power supply (for example, power supply potential) VCC, the gate is connected to a second power supply (for example, ground potential) VSS, and the drain is connected to the first power supply (for example, ground potential) VSS. 1 terminal. An output terminal 23 for outputting the defective address RA is connected to a second terminal of the fuse 22, and a first terminal of the fuse 24 is connected to the output terminal 23. A second terminal of the fuse 24 is connected to a drain of an N-channel MOS transistor (hereinafter referred to as NMOS) 25 for voltage drop,
Its gate is connected to the power supply potential VCC, and its source is connected to the ground potential VSS. The PMOS 21 and the NMOS 25 are always kept on. In addition, laser light irradiation is used for cutting the fuses 22 and 24.
【0004】次に、図2及び図3の動作を説明する。図
3の冗長選択回路は、必要とするアドレスの数n個設け
られ、それらによって図2の不良アドレス記憶部11が
構成されている。そして、図3の冗長選択回路では、救
済すべき不良アドレスに応じてヒューズ22または24
が切断される。Next, the operation of FIGS. 2 and 3 will be described. The redundancy selection circuit of FIG. 3 is provided with the required number n of addresses, and these constitute the defective address storage unit 11 of FIG. In the redundant selection circuit of FIG. 3, fuses 22 or 24 are selected according to the defective address to be relieved.
Is disconnected.
【0005】例えば、ヒューズ22を切断すると、電源
電位VCCと出力端子23との接続が遮断されると共
に、NMOS25の動作によって該出力端子23の電荷
がヒューズ24を介して接地電位VSS側へ引き抜かれ
るので、該出力端子23から“L”レベルの不良アドレ
スRAが速やかに出力される。このとき、ヒューズ22
の第1の端子には、電源電位VCCよりPMOS21の
電圧降下分だけ低下した電圧が印加されるので、該ヒュ
ーズ22の切断後におけるその切断箇所の高電圧による
再接続を未然に防止している。For example, when the fuse 22 is cut, the connection between the power supply potential VCC and the output terminal 23 is cut off, and the charge of the output terminal 23 is drawn to the ground potential VSS through the fuse 24 by the operation of the NMOS 25. Therefore, the defective address RA of the "L" level is promptly output from the output terminal 23. At this time, the fuse 22
Since the voltage lower than the power supply potential VCC by the voltage drop of the PMOS 21 is applied to the first terminal, the reconnection due to the high voltage of the cut portion after the fuse 22 is cut is prevented beforehand. .
【0006】一方、ヒューズ24を切断すると、PMO
S21の動作により、出力端子23から“H”レベルの
不良アドレスRAが出力される。従って、図3の冗長選
択回路では、その出力端子23から“H”レベルあるい
は“L”レベルの不良アドレスRAを出力させるとき
に、ヒューズ22またはヒューズ24のいずれか一方が
必ず切断されるので、電源電位VCCから接地電位VS
Sへ流れる貫通電流を確実に遮断することができる。そ
して、このような冗長選択回路は、図2の不良アドレス
記憶部11において1つのアドレスに1回路ずつ設けら
れているので、該不良アドレス記憶部11における消費
電力の大幅な低減が可能となる。図2の不良アドレス記
憶部11から出力される“H”レベルまたは“L”レベ
ルの不良アドレスRAは、冗長比較回路12へ送られ
る。この冗長比較回路12には、“H”レベルまたは
“L”レベルの外部アドレスAが入力される。外部アド
レスA及び不良アドレスRA共に“H”レベルのときに
は、冗長比較回路12から“H”レベルの信号が出力さ
れ、冗長判定回路13へ送られる。冗長判定回路13で
は、冗長比較回路12から“H”レベルの信号が入力さ
れると、非冗長アドレスデコーダ14を非活性化状態に
すると共とに、冗長アドレスデコーダ15を活性化状態
にする。すると、冗長アドレスデコーダ15が不良アド
レスRAをデコードし、冗長メモリセルアレイ2内の冗
長メモリセルを選択する。これに対し、冗長比較回路1
2から“L”レベルの信号が出力されると、冗長判定回
路13によって非冗長アドレスデコーダ14が活性化状
態にされると共に、冗長アドレスデコーダ15が非活性
化状態にされる。非冗長アドレスデコーダ14が活性化
状態になると、外部アドレスAがデコードされ、メモリ
セルアレイ1内のメモリセルが選択される。On the other hand, when the fuse 24 is cut, the PMO
By the operation of S21, the defective address RA at the “H” level is output from the output terminal 23. Therefore, in the redundancy selection circuit shown in FIG. 3, when the "H" level or "L" level defective address RA is output from the output terminal 23, one of the fuses 22 and 24 is cut off without fail. Power supply potential VCC to ground potential VS
The through current flowing to S can be reliably shut off. Since one such redundant selection circuit is provided for each address in the defective address storage unit 11 of FIG. 2, power consumption in the defective address storage unit 11 can be significantly reduced. The “H” level or “L” level defective address RA output from the defective address storage unit 11 of FIG. 2 is sent to the redundancy comparison circuit 12. An external address A of “H” level or “L” level is input to the redundancy comparison circuit 12. When both the external address A and the defective address RA are at “H” level, an “H” level signal is output from the redundancy comparison circuit 12 and sent to the redundancy judgment circuit 13. When an “H” level signal is input from the redundancy comparison circuit 12, the redundancy judgment circuit 13 deactivates the non-redundancy address decoder 14 and activates the redundancy address decoder 15. Then, the redundant address decoder 15 decodes the defective address RA and selects a redundant memory cell in the redundant memory cell array 2. On the other hand, the redundant comparison circuit 1
When an “L” level signal is output from 2, the redundancy judgment circuit 13 activates the non-redundant address decoder 14 and activates the redundant address decoder 15. When non-redundant address decoder 14 is activated, external address A is decoded, and a memory cell in memory cell array 1 is selected.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の回路では、不良アドレス記憶部11を構成する複数
の冗長選択回路のヒューズ22またはヒューズ24のい
ずれか一方を切断するため、電源間に流れる貫通電流を
確実に遮断して消費電力を低減できるものの、冗長回路
の使用の必要がない完全良品の場合にも、該不良アドレ
ス記憶部11における複数の冗長選択回路のヒューズ2
2またはヒューズ24のいずれか一方を切断しなければ
ならないため、不良アドレス生成作業が煩雑になるとい
う問題が有り、それを解決することが困難であった。本
発明は、前記従来技術が持っていた課題として、完全良
品における不良アドレス記憶部の複数の冗長選択回路の
ヒューズを切断しなければならず、不良アドレス生成作
業が煩雑になるという点について解決した、半導体記憶
装置等の半導体集積回路を提供するものである。However, in the circuit having the above-described structure, one of the fuses 22 and the fuses 24 of the plurality of redundant selection circuits constituting the defective address storage section 11 is cut off, so that the through current flowing between the power supplies is cut off. Although the current can be reliably cut off and the power consumption can be reduced, even in the case of a completely non-defective product that does not require the use of a redundant circuit, the fuses 2 of the plurality of redundant selection circuits in the defective address storage unit 11 can be used.
Since either one of the fuse 2 and the fuse 24 must be cut, there is a problem that the operation of generating a defective address is complicated, and it has been difficult to solve the problem. The present invention has solved the problem of the prior art that the fuses of a plurality of redundant selection circuits in a defective address storage unit in a completely non-defective product must be cut, which complicates a defective address generation operation. And a semiconductor integrated circuit such as a semiconductor memory device.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】第1の発明は、前記課題
を解決するために、ヒューズの切断の有無により選択的
に冗長信号等の制御信号を発生する制御信号発生回路を
備えた半導体記憶装置等の半導体集積回路において、前
記制御信号発生回路を次のように構成している。即ち、
本発明の制御信号発生回路は、第1及び第2の端子を有
しその第1の端子が電流制御手段を介して第1の電源に
接続された第1のヒューズと、第2の電源に直列または
並列に接続された複数のヒューズ手段を有するヒューズ
回路とを備え、前記第1のヒューズを切断することによ
って前記ヒューズ回路中での前記第1の電源から前記第
2の電源への貫通電流を流す経路を制御する構成にして
いる。According to a first aspect of the present invention, there is provided a semiconductor memory having a control signal generating circuit for selectively generating a control signal such as a redundant signal depending on whether a fuse is cut or not. In a semiconductor integrated circuit such as a device, the control signal generation circuit is configured as follows. That is,
A control signal generating circuit according to the present invention includes a first fuse having first and second terminals, the first terminal of which is connected to a first power supply via a current control means, and a second power supply. And a fuse circuit having a plurality of fuse means connected in series or in parallel, wherein a through current from the first power supply to the second power supply in the fuse circuit by cutting the first fuse is provided. Is configured to control the path through which the air flows.
【0009】第2の発明では、第1の発明のヒューズ手
段を、少なくとも2本の直列に接続されたヒューズを有
する構成にしている。第3の発明では、第1の発明にお
ける第1のヒューズの第2の端子に、第2のヒューズを
直列接続した構成にしている。In a second aspect, the fuse means of the first aspect has a configuration having at least two fuses connected in series. According to the third invention, a second fuse is connected in series to the second terminal of the first fuse in the first invention.
【0010】[0010]
【作用】第1の発明によれば、以上のように半導体集積
回路における制御信号発生回路を構成したので、第1の
ヒューズはヒューズ回路に対して電源を供給する働きが
ある。ヒューズ回路の複数のヒューズ手段は、それを切
断することによって任意の論理の制御信号の出力が行え
る。そして、第1のヒューズを接断すれば、ヒューズ回
路の非活性化と、第1の電源から第2の電源への貫通電
流の遮断が行える。According to the first aspect of the present invention, since the control signal generation circuit in the semiconductor integrated circuit is configured as described above, the first fuse has a function of supplying power to the fuse circuit. A plurality of fuse means of the fuse circuit can output a control signal of an arbitrary logic by cutting the fuse means. When the first fuse is blown, the fuse circuit can be deactivated and the through current from the first power supply to the second power supply can be cut off.
【0011】第2の発明によれば、2本の直列に接続さ
れたヒューズのうち、一方を切断することによって任意
の制御信号の出力が行えると共に、そのヒューズ切断に
よって第1の電源から第2の電源へ流れる貫通電流の遮
断が行える。第3の発明によれば、直列接続された第1
及び第2のヒューズのうちのいずれが一方を切断するこ
とにより、任意の論理の制御信号の出力が行えると共
に、そのヒューズの切断によって第1の電源から第2の
電源への貫通電流の遮断が行える。従って、前記課題を
解決できるのである。According to the second aspect of the present invention, an arbitrary control signal can be output by cutting one of the two series-connected fuses, and by cutting the fuse, the second power is supplied from the first power supply to the second power supply. Of the through current flowing to the power supply can be cut off. According to the third aspect, the first series-connected first
And one of the second fuses cuts one of them, so that a control signal of an arbitrary logic can be output, and the cutoff of the fuse cuts off a through current from the first power supply to the second power supply. I can do it. Therefore, the above problem can be solved.
【0012】[0012]
【実施例】第1の実施例 図1は、本発明の第1の実施例を示すもので、半導体集
積回路の1つである半導体記憶装置における冗長用の制
御信号発生回路の回路図である。図4は、図1の制御信
号発生回路の出力側に接続される冗長回路を備えた半導
体記憶装置の概略の構成ブロック図である。この半導体
記憶装置は、図1に示すように、ヒューズの切断の有無
によって選択的に制御信号(冗長信号R、反転冗長信号
RN 、及び不良アドレスRA1 ,…,RAm ,…,RA
n )を発生する制御信号発生回路を備えている。制御信
号発生回路は、不良メモリセル救済用の冗長回路の使用
の有無を決定するための冗長信号R及び反転冗長信号R
N を出力する冗長選択回路20と、該冗長信号Rにより
動作して予め設定された不良アドレスRA1 ,…,RA
m ,…,RAn を出力する不良アドレス記憶部30と
で、構成されている。EXAMPLES First Embodiment FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention, is a circuit diagram of a control signal generating circuit for redundancy in a semiconductor memory device which is one of semiconductor integrated circuits . FIG. 4 is a schematic block diagram of a semiconductor memory device including a redundant circuit connected to the output side of the control signal generation circuit of FIG. As shown in FIG. 1, this semiconductor memory device selectively controls signals (redundant signal R, inverted redundant signal RN , and defective addresses RA 1 ,..., RA m ,.
n ) for generating a control signal generating circuit. The control signal generating circuit includes a redundant signal R and an inverted redundant signal R for determining whether to use a redundant circuit for repairing a defective memory cell.
N, which outputs N , and a preset defective address RA 1 ,.
m, ..., in the defective address storage unit 30 for outputting a RA n, is constructed.
【0013】不良アドレス記憶部30の出力側には、図
4に示すn個の冗長比較回路401,…,40m ,…,
40n が接続されている。各冗長比較回路401 〜40
n は、外部アドレスA1 ,…,Am ,…,An と不良ア
ドレスRA1 ,…,RAm ,…,RAn との一致/不一
致をそれぞれ検出する回路であり、排他的論理和ゲート
(以下、ExORゲートという)等で構成されている。
冗長比較回路401 〜40n の出力側には、冗長判定回
路50を介して非冗長アドレスデコーダ60及び冗長ア
ドレスデコーダ70が接続されている。On the output side of the defective address storage unit 30, n redundant comparison circuits 40 1 ,..., 40 m ,.
40 n are connected. Each redundant comparison circuit 40 1 to 40
n is the external address A 1, ..., A m, ..., A n defective address RA 1, ..., RA m, ..., a circuit which detect match / mismatch of the RA n, XOR gates (Hereinafter, referred to as an ExOR gate).
The output side of the redundant comparator circuit 40 1 to 40 n via the redundancy judgment circuit 50 non-redundant address decoder 60 and redundant address decoder 70 is connected.
【0014】冗長判定回路50は、冗長選択回路20か
ら出力される例えば“H”レベルの反転冗長信号RN に
より活性化され、冗長比較回路401 〜40n の出力に
基づき、不良救済をするか否かの判定を行い、不良救済
の必要のないときには非冗長アドレスデコーダ60を活
性化すると共に、冗長アドレスデコーダ70を非活性化
し、不良救済の必要のあるときには非冗長アドレスデコ
ーダ60を非活性化すると共に、冗長アドレスデコーダ
70を活性化する回路であり、ANDゲート等で構成さ
れている。非冗長アドレスデコーダ60は、冗長判定回
路50の出力により動作し、外部アドレスA1 〜An を
デコードする回路である。冗長アドレスデコーダ70
は、冗長判定回路50の出力により動作し、不良アドレ
スRA1 〜RAn をデコードする回路である。非冗長ア
ドレスデコーダ60の出力側には、複数のメモリセルを
マトリクス状に配列したデータ格納用のメモリセルアレ
イ80が接続され、該非冗長アドレスデコーダ60の出
力によってメモリセルを選択するようになっている。冗
長アドレスデコーダ70の出力側には、複数の不良救済
用の冗長メモリセルが配列された冗長メモリセルアレイ
90が接続され、該冗長アドレスデコーダ70の出力に
よって冗長メモリセルを選択するようになっている。[0014] redundancy determination circuit 50 is activated by the inverted redundant signal R N of output from the redundancy selection circuit 20 for example "H" level, based on the output of the redundant comparator circuit 40 1 to 40 n, the failure repair It is determined whether or not the non-redundant address decoder 60 is activated when the defect relief is not required, and the redundant address decoder 70 is deactivated when the defect relief is not required. And a circuit for activating the redundant address decoder 70, and is constituted by an AND gate and the like. Non-redundant address decoder 60 operates by the output of the redundancy determination circuit 50, a circuit for decoding the external address A 1 to A n. Redundant address decoder 70
Operates by the output of the redundancy determination circuit 50, a circuit for decoding the defective address RA 1 to RA n. A memory cell array 80 for storing data in which a plurality of memory cells are arranged in a matrix is connected to the output side of the non-redundant address decoder 60, and a memory cell is selected by the output of the non-redundant address decoder 60. . On the output side of the redundant address decoder 70, a redundant memory cell array 90 in which a plurality of redundant memory cells for repairing defects are arranged is connected, and the redundant memory cell is selected by the output of the redundant address decoder 70. .
【0015】なお、図示されていないが、これらのメモ
リセルアレイ80及び冗長メモリセルアレイ90には、
データ読出し用のセンスアンプや出力バッファ等が接続
されている。図1の冗長選択回路20は、電流制御手段
(例えば、PMOS)21を有し、そのソースが第1の
電源(例えば、電源電位VCC)に接続され、ゲートが
第2の電源(例えば、接地電源電位VSS)に接続され
ている。PMOS21のドレインは、第1のヒューズ2
1の第1の端子に接続され、その第2の端子が、反転冗
長信号RN を出力するための出力端子23に接続される
と共に、第2のヒューズ24の第1の端子に接続されて
いる。第2のヒューズ24の第2の端子は、接地電位V
SSに接続されている。出力端子23には、反転冗長信
号RN を反転して冗長信号Rを出力するインバータ25
が接続され、その出力側に出力端子26が接続されてい
る。PMOS21はそのゲートが接地電位VSSに接続
され、オン状態となっている。ヒューズ22あるいはヒ
ューズ24は、例えばレーザ光の照射等によって切断す
ることができる。ヒューズ22及び24の両方の未切断
時における電源電位VCCから接地電位VSSへの貫通
電流は、PMOS21の相互コンダクタンスgm によっ
て制御され、出力端子23が“L”レベルになるように
該PMOS21の相互コンダクタンスgm が小さく設定
されている。冗長選択回路20の出力端子26には、不
良アドレス記憶部30が接続されている。この不良アド
レス記憶部30は、複数のヒューズ手段を有するヒュー
ズ回路等で構成され、例えば“L”レベルの冗長信号R
によって動作して不良アドレスRA1 ,…,RAm ,
…,RAn を出力する回路である。即ち、不良アドレス
記憶部30には、冗長選択回路20の出力端子26から
出力される冗長信号Rによってゲート制御されるPMO
S31を有し、そのソースが電源電位VCCに接続され
ている。PMOS31のドレインには、複数のヒューズ
321 ,…,32m ,…,32n の第1の端子が並列接
続され、その各ヒューズ321 〜32n の第2の端子が
不良アドレスRA1 〜RAn を出力するための出力端子
331 ,…,33m ,…,33n に接続されると共に、
ヒューズ341 ,…,34m ,…,34n の第1の端子
にそれぞれ接続されている。各ヒューズ341 〜34n
の第2の端子は、接地電位VSSに接続されている。Although not shown, these memory cell arrays 80 and redundant memory cell arrays 90 include:
A sense amplifier for reading data, an output buffer, and the like are connected. The redundancy selection circuit 20 in FIG. 1 includes a current control unit (for example, PMOS) 21 whose source is connected to a first power supply (for example, power supply potential VCC) and whose gate is connected to a second power supply (for example, ground). Power supply potential VSS). The drain of the PMOS 21 is connected to the first fuse 2
1 and a second terminal thereof is connected to an output terminal 23 for outputting an inverted redundancy signal RN and to a first terminal of a second fuse 24. I have. The second terminal of the second fuse 24 is connected to the ground potential V
Connected to SS. The output terminal 23, and inverts the inverted redundant signal R N and outputs a redundant signal R inverter 25
And an output terminal 26 is connected to the output side. The PMOS 21 has its gate connected to the ground potential VSS and is in an ON state. The fuse 22 or the fuse 24 can be cut by, for example, irradiation of a laser beam. Through current from the power supply potential VCC to the ground potential VSS when uncleaved both fuses 22 and 24 is controlled by the transconductance g m of the PMOS 21, the mutual of the PMOS 21 so that the output terminal 23 is "L" level conductance g m is set smaller. A defective address storage unit 30 is connected to the output terminal 26 of the redundancy selection circuit 20. The defective address storage unit 30 is composed of a fuse circuit or the like having a plurality of fuse units, and is, for example, an "L" level redundant signal R.
Defective address RA 1 operated by, ..., RA m,
..., it is a circuit that outputs the RA n. That is, the PMO gate-controlled by the redundancy signal R output from the output terminal 26 of the redundancy selection circuit 20 is stored in the defective address storage unit 30.
S31, the source of which is connected to the power supply potential VCC. The drain of the PMOS 31, a plurality of fuses 32 1, ..., 32 m, ..., 32 n first terminals are connected in parallel, and their respective fuse 321 to 323 second terminals defective address RA 1 ~ of n output terminals 33 1 to output a RA n, ..., 33 m, ..., is connected to 33 n,
, 34 m ,..., 34 n are respectively connected to first terminals of the fuses 34 1 ,. Each fuse 34 1 to 34 n
Is connected to the ground potential VSS.
【0016】以上の冗長選択回路20、不良アドレス記
憶部30、冗長比較回路401 〜40n 、冗長判定回路
50、冗長アドレスデコーダ70、及び冗長メモリセル
アレイ90により、半導体記憶装置の不良救済用の冗長
回路が構成されている。次に、図1及び図4の動作を説
明する。図1のヒューズ未接断状態において、図4のメ
モリセルアレイ80の試験を行い、不良救済の必要のな
い完全良品であった場合、図1の冗長選択回路20内の
第1のヒューズ22のみの接断を行う。これに対し、メ
モリセルアレイ80を試験した結果、冗長回路を使って
不良救済を行う必要がある場合には、冗長選択回路20
内の第2のヒューズ24を切断すると共に、不良アドレ
スに基づき不良アドレス記憶部30内のヒューズ321
〜32n または341 〜34n のいずれか一方を切断す
る。不良救済の必要のない完全良品のときに冗長選択回
路20内の第1のヒューズ22を切断した場合、該冗長
選択回路20内の出力端子23が“L”レベルとなり、
それがインバータ25で反転されて“H”レベルの冗長
信号Rが出力端子26から出力される。この“H”レベ
ルの冗長信号Rにより、不良アドレス記憶部30内のP
MOS31がオフ状態となるそのため、ヒューズ321
〜32n 及びヒューズ341 〜34n の切断の有無に関
わらず、該不良アドレス記憶部30内の電源電位VCC
から接地電位VSSへの貫通電流を遮断することができ
る。また、ヒューズ22を接断しているので、冗長選択
回路20内の電源電位VCCから接地電位VSSへの貫
通電流を遮断できる。冗長選択回路20内の第1のヒュ
ーズ22を接断した場合、出力端子23から“L”レベ
ルの反転冗長信号RN が出力されるので、図4の非冗長
アドレスデコーダ60が動作し、該非冗長アドレスデコ
ーダ60によって外部アドレスA1 〜An がデコードさ
れ、メモリセルアレイ80内のメモリセルが選択され、
データの読出し等が行われる。The redundancy selection circuit 20, the defective address storage unit 30, the redundancy comparison circuits 40 1 to 40 n , the redundancy judgment circuit 50, the redundancy address decoder 70, and the redundancy memory cell array 90 are used to remedy the failure of the semiconductor memory device. A redundant circuit is configured. Next, the operation of FIGS. 1 and 4 will be described. When the memory cell array 80 shown in FIG. 4 is tested in the unconnected state of the fuse shown in FIG. 1 and the defective product does not need to be remedied, only the first fuse 22 in the redundancy selection circuit 20 shown in FIG. Make a disconnection. On the other hand, as a result of testing the memory cell array 80, if it is necessary to perform defect repair using a redundant circuit, the redundant selection circuit 20
Thereby cutting the second fuse 24 of the fuse 32 1 of the defective address storage unit 30 on the basis of the defective address
To 32 cutting one of n or 34 1 to 34C n. If the first fuse 22 in the redundancy selection circuit 20 is cut off when the defective product does not need to be remedied, the output terminal 23 in the redundancy selection circuit 20 becomes "L" level,
This is inverted by the inverter 25, and the "H" level redundant signal R is output from the output terminal 26. This "H" level redundant signal R causes P in the defective address storage unit 30 to
Since the MOS 31 is turned off, the fuse 32 1
32 n and the fuses 34 1 to 34 n irrespective of whether they are cut or not.
Through current to ground potential VSS can be cut off. Further, since the fuse 22 is disconnected, a through current from the power supply potential VCC in the redundancy selection circuit 20 to the ground potential VSS can be cut off. If you connecting and disconnecting the first fuse 22 in the redundant selection circuit 20, the inverted redundant signal R N of "L" level from the output terminal 23 is output, the non-redundant address decoder 60 of FIG. 4 is operated, the non External addresses A 1 to An are decoded by redundant address decoder 60, and memory cells in memory cell array 80 are selected.
Data reading and the like are performed.
【0017】一方、冗長回路を使って不良救済を行うた
めに図1の冗長選択回路20内の第2のヒューズ24を
切断した場合、出力端子23が“H”レベルとなり、そ
れがインバータ25で反転されて“L”レベルの冗長信
号Rが出力端子26から出力され、不良アドレス記憶部
30内のPMOS31がオン状態となる。不良救済を行
う場合には、救済すべき不良アドレスに応じて不良アド
レス記憶部30内のヒューズ321 〜32n またはヒュ
ーズ341 〜34n のいずれか一方を切断し、不良救済
に必要な全アドレスの設定を行う。そのため、不良アド
レス記憶部30の出力端子331 〜33n から不良アド
レスRA1 〜RAn が出力されて図4の各冗長比較回路
401 〜40n へ送られる。このとき、冗長選択回路2
0の出力端子23から出力された“H”レベルの反転冗
長信号RN によって図4の冗長判定回路50が動作す
る。そして、各冗長比較回路401 〜40n により、外
部アドレスA1 〜An と不良アドレスRA1 〜RAn と
の一致/不一致が検出され、その検出結果が冗長判定回
路50へ送られる。冗長判定回路50では、ある外部ア
ドレスが不良アドレスと一致するときには、冗長アドレ
スデコーダ70を活性化し、その不良アドレスを該冗長
アドレスデコーダ70でデコードし、冗長メモリセルア
レイ90内の冗長メモリセルを選択する。これにより、
選択された冗長メモリセルからデータの読出し等が行わ
れる。On the other hand, when the second fuse 24 in the redundancy selection circuit 20 shown in FIG. 1 is cut to perform the defect repair using the redundancy circuit, the output terminal 23 becomes "H" level. The inverted “L” level redundant signal R is output from the output terminal 26, and the PMOS 31 in the defective address storage unit 30 is turned on. When performing defect relief is one of the fuse 32 1 to 32 n or fuses 34 1 to 34C n of the defective address storage unit 30 is cut in accordance with the defective address to be relieved, all necessary defect relief Set the address. Therefore, it sent from the output terminal 33 1 ~ 33 n of the defective address memory 30 is output defective address RA 1 to RA n to each redundant comparison circuit 40 1 to 40 n in Fig. At this time, the redundancy selection circuit 2
The 0 output terminal 23 is output from the "H" level of the inverted redundant signal R N redundancy judgment circuit 50 of FIG. 4 operates. By each redundant comparator circuits 40 1 to 40 n, is detected match / mismatch between the external address A 1 to A n and the defective address RA 1 to RA n, the detection result is sent to the redundancy determination circuit 50. In the redundancy judgment circuit 50, when a certain external address matches a defective address, the redundant address decoder 70 is activated, the defective address is decoded by the redundant address decoder 70, and a redundant memory cell in the redundant memory cell array 90 is selected. . This allows
Data is read from the selected redundant memory cell.
【0018】以上のように、本実施例では、メモリセル
アレイ80が不良救済不要な完全良品の場合、冗長選択
回路20内の第1のヒューズ22のみを切断するだけ
で、不良アドレス記憶部30内のヒューズ321 〜32
n ,341 〜34n を接断しなくても、該不良アドレス
記憶部30内の電源電位VCCから接地電位VSSへの
貫通電流を遮断できる。しかも、ヒューズ22を切断す
るため、冗長選択回路20内の電源電位VCCから接地
電位VSSへの貫通電流も遮断できる。また、冗長回路
を使用して不良救済する場合には、冗長選択回路20内
の第2のヒューズ24を切断すると共に、不良アドレス
記憶部30内のヒューズ321 〜32n または341 〜
34n のいずれか一方を切断して不良救済に必要な全ア
ドレスの設定を行うため、該不良アドレス記憶部30内
の電源電位VCCから接地電位VSSへの貫通電流を遮
断できると共に、第2のヒューズ24を切断するために
該冗長選択回路20内の電源電位VCCから接地電位V
SSへの貫通電流も遮断できる。As described above, in this embodiment, when the memory cell array 80 is a completely non-defective product that does not require defect repair, only the first fuse 22 in the redundant selection circuit 20 is cut off, and the defective address Fuses 32 1 to 32
n, 34 1 to 34C without clutching a n, can be shut off through current to ground potential VSS from the power supply potential VCC of the defective address memory 30. Moreover, since the fuse 22 is cut, a through current from the power supply potential VCC in the redundancy selection circuit 20 to the ground potential VSS can be cut off. When a defect is remedied by using a redundancy circuit, the second fuse 24 in the redundancy selection circuit 20 is cut and the fuses 32 1 to 32 n or 34 1 to 34 1 in the defective address storage unit 30 are cut.
For setting all addresses required 34 by cutting one of n to defect remedy, it is possible to cut off the through-current to the ground potential VSS from the power supply potential VCC of the defective address memory 30, the second To cut the fuse 24, the power supply potential VCC in the redundancy selection circuit 20 is changed from the ground potential V
The through current to SS can also be cut off.
【0019】第2の実施例 図5は、本発明の第2の実施例を示す制御信号発生回路
の回路図であり、第1の実施例を示す図1中の要素と共
通の要素には共通の符号が付されている。この制御信号
発生回路は、図1とは異なる冗長選択回路20Aと不良
アドレス記憶部30Aとで構成されている。冗長選択回
路20Aは、図1と同様のPMOS21及び第1のヒュ
ーズ22を有し、該PMOS21のソースが電源電位V
CCに、ゲートが接地電位VSSにそれぞれ接続されて
いる。PMOS21のドレインは、第1のヒューズ22
の第1の端子に接続され、その第2の端子が出力端子2
3に接続されている。不良アドレス記憶部30Aは、図
1と同様のヒューズ321 ,…,32m ,…,32n と
ヒューズ341 ,…,34m ,…,34n とを備え、そ
れらが不良アドレスRA1 ,…,RAm ,…,RAn を
出力するための出力端子331 ,…,33m ,…,33
n を介して相互に接続されている。そして、各ヒューズ
321〜32n の一端が冗長選択回路20Aの出力端子
23に並列接続されている。 Second Embodiment FIG. 5 is a circuit diagram of a control signal generating circuit according to a second embodiment of the present invention. The elements common to those in FIG. 1 showing the first embodiment are the same as those in FIG. Common symbols are assigned. This control signal generation circuit includes a redundancy selection circuit 20A and a defective address storage unit 30A different from those in FIG. The redundancy selection circuit 20A has a PMOS 21 and a first fuse 22 similar to those in FIG.
CC and the gate are connected to the ground potential VSS, respectively. The drain of the PMOS 21 is connected to the first fuse 22.
, And the second terminal is connected to the output terminal 2
3 is connected. Defective address storage unit 30A, as shown in FIG. 1 and similar fuses 32 1, ..., 32 m, ..., 32 n and a fuse 34 1, ..., 34 m, ..., a 34 n, they defective address RA 1, ..., RA m, ..., an output terminal 33 1 to output a RA n, ..., 33 m, ..., 33
interconnected via n . One end of each of the fuses 32 1 to 32 n is connected in parallel to the output terminal 23 of the redundant selection circuit 20A.
【0020】次に、動作を説明する。冗長選択回路20
Aにおいて、ゲートを接地電位VSSに接続したPMO
S21は、相互コンダクタンスgm が小さく設定され、
全てのヒューズ22,321〜3n ,341 〜34n が
未切断時に、出力端子23の反転冗長信号RN が“L”
レベルとなっている。図4の冗長判定回路50が反転冗
長信号RN の“H”レベルのときに活性化されるので、
ヒューズ未接断時には該冗長判定回路50が動作しな
い。このヒューズ未切断時には、PMOS21の相互コ
ンダクタンスgmで決定される電流が電源電位VCCか
ら接地電位VSSへの貫通電流として流れる。Next, the operation will be described. Redundancy selection circuit 20
A, a PMO having a gate connected to the ground potential VSS
In S21, the transconductance g m is set small,
All fuses 22,32 1 ~3 n, 34 1 ~34 when n is uncut, the inverted redundant signal R N of the output terminal 23 is "L"
Level. Since the redundancy judgment circuit 50 shown in FIG. 4 is activated when the inverted redundancy signal RN is at "H" level,
When the fuse is not disconnected, the redundancy judgment circuit 50 does not operate. At the time of the fuse uncut, flows as a through current to the ground potential VSS from the transconductance g m current power supply potential VCC, which is determined by the PMOS 21.
【0021】ヒューズ未切断状態において、図4のメモ
リセル80の試験を行い、不良救済の必要のない完全良
品であった場合、ヒューズ22のみの切断を行う。ヒュ
ーズ22を切断すると、不良アドレス記憶部30A内の
ヒューズ321 〜32n あるいは341 〜34n を切断
しない限り、出力端子23から“L”レベルの反転冗長
信号RN が出力される。そのため、図4の冗長判定回路
50が動作せず、さらに電源電位VCCから接地電位V
SSへの貫通電流も遮断される。図4のメモリセルアレ
イ80の試験の結果、不良メモリセルが存在し、それに
対し冗長回路を使って不良救済を行う場合、ヒューズ2
2を切断しないで、不良アドレス記憶部30A内の対に
なっているヒューズ321 〜32n またはヒューズ34
1 〜34n のいずれか一方を不良アドレスに基づき切断
する。この作業を不良アドレス記憶部30A内の全ての
ヒューズ321 〜32n ,ヒューズ341〜34n につ
いて行うと、冗長選択回路20Aの出力端子23から
“H”レベルの反転冗長信号RN が出力される。そのた
め、図4の冗長判定回路50が動作し、第1の実施例と
同様の冗長メモリセルアレイ90に対するアクセスが行
えると共に、電源電位VCCから接地電位VSSへの貫
通電流経路も遮断される。本実施例では、第1の実施例
と同様の利点が得られる上に、該第1の実施例の回路よ
りも構成素子数を減らすことができる。In the uncut state of the fuse, the memory cell 80 shown in FIG. 4 is tested, and if the memory cell 80 is a completely non-defective product that does not require defect repair, only the fuse 22 is cut. When the fuse 22 unless the fuse 32 1 to 32 n or 34 1 to 34C n of the defective address memory unit 30A, the inverted redundant signal R N of "L" level from the output terminal 23 is outputted. Therefore, the redundancy judgment circuit 50 shown in FIG. 4 does not operate, and furthermore, the power supply potential VCC is changed to the ground potential V
The through current to SS is also cut off. As a result of the test of the memory cell array 80 of FIG. 4, if a defective memory cell exists and the defective circuit is
2 without cutting, the pair of fuses 32 1 to 32 n or fuse 34 in the defective address storage unit 30A.
Any one of 1 to 34 n is cut off based on the defective address. All fuses 32 1 to 32 n in this work in the defective address storage unit 30A, is performed for the fuse 34 1 ~34 n, the "H" level from the output terminal 23 of the redundancy selection circuit 20A inverted redundant signal R N is output Is done. Therefore, the redundancy judgment circuit 50 shown in FIG. 4 operates to access the same redundant memory cell array 90 as in the first embodiment, and also cuts off the through current path from the power supply potential VCC to the ground potential VSS. In the present embodiment, the same advantages as those of the first embodiment can be obtained, and the number of components can be reduced as compared with the circuit of the first embodiment.
【0022】なお、本発明は上記実施例に限定されず、
種々の変形が可能である。その変形例としては、例えば
次のようなものがある。 (a) 図1及び図5に示す冗長選択回路20,20A
は、その他種々の回路で構成できる。例えば、図6は、
図1の冗長選択回路20の他の構成例を示す回路図であ
る。この冗長選択回路では、第1,第2のヒューズ2
2,24、及び電流制御手段であるNMOS27より構
成されている。ヒューズ24の第1の端子は電源電位V
CCに接続され、その第2の端子が、反転冗長信号RN
を出力するための出力端子23、及びヒューズ22の第
1の端子に接続されている。ヒューズ22の第2の端子
は、NMOS27のドレインに接続され、そのゲートが
電源電位VCCに、ソースが接地電位VSSにそれぞれ
接続され、該NMOS27がオン状態になっている。こ
のような冗長選択回路を用いても、図1の冗長選択回路
20と同様の作用、効果が得られるばかりか、該冗長選
択回路20内のインバータ25を省略できるので、回路
構成が簡単になる。The present invention is not limited to the above embodiment,
Various modifications are possible. For example, there are the following modifications. (A) Redundancy selection circuits 20, 20A shown in FIGS. 1 and 5
Can be constituted by other various circuits. For example, FIG.
FIG. 3 is a circuit diagram illustrating another configuration example of the redundancy selection circuit 20 of FIG. 1. In this redundant selection circuit, the first and second fuses 2
2 and 24 and an NMOS 27 as current control means. The first terminal of the fuse 24 has a power supply potential V
CC, the second terminal of which is connected to the inverted redundant signal RN
And a first terminal of the fuse 22. The second terminal of the fuse 22 is connected to the drain of the NMOS 27, the gate is connected to the power supply potential VCC, and the source is connected to the ground potential VSS, and the NMOS 27 is turned on. Even if such a redundancy selection circuit is used, the same operation and effect as those of the redundancy selection circuit 20 of FIG. 1 can be obtained, and the inverter 25 in the redundancy selection circuit 20 can be omitted, so that the circuit configuration is simplified. .
【0023】(b) 図1において、電源電位VCCと
接地電位VSSの接続を反対にし、PMOS21,31
をNMOSに置き換えても、図1とほぼ同様の作用、効
果が得られる。図1のPMOS21及び図6のNMOS
27は、抵抗に置き換えることも可能である。また、図
1のPMOS21及びヒューズ22の接続位置を置き換
えることも可能である。 (c) 図5のPMOS21は抵抗に置き換えることも
可能である。また、そのPMOS21とヒューズ22の
接続位置を置き換えても良い。 (d) 図4に示す半導体記憶装置における冗長回路
は、他の回路で構成しても良い。さらに、上記実施例で
は半導体記憶装置における冗長用の制御信号発生回路に
ついて説明したが、他の半導体集積回路における制御信
号発生回路にも適用できる。(B) In FIG. 1, the connection between the power supply potential VCC and the ground potential VSS is reversed, and PMOSs 21 and 31 are connected.
1 can be replaced with an NMOS to obtain substantially the same operation and effect as in FIG. The PMOS 21 of FIG. 1 and the NMOS of FIG.
27 can be replaced with a resistor. Further, the connection positions of the PMOS 21 and the fuse 22 in FIG. 1 can be replaced. (C) The PMOS 21 in FIG. 5 can be replaced with a resistor. Further, the connection position between the PMOS 21 and the fuse 22 may be replaced. (D) The redundant circuit in the semiconductor memory device shown in FIG. 4 may be constituted by another circuit. Further, in the above embodiment, the control signal generating circuit for redundancy in the semiconductor memory device has been described, but the present invention can be applied to a control signal generating circuit in another semiconductor integrated circuit.
【0024】[0024]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、第1の発明
によれば、第1のヒューズ、及び複数のヒューズ手段を
有するヒューズ回路等で制御信号発生回路を構成したの
で、例えば不良救済等が不要な完全良品においては、第
1のヒューズを切断するだけで、ヒューズ回路内のヒュ
ーズ手段を切断しなくても、第1の電源から第2の電源
への貫通電流を遮断することができる。そして、不良救
済等が必要な不良品については、ヒューズ回路内の複数
のヒューズ手段を切断することにより、第1の電源から
第2の電源への貫通電流を遮断でき、消費電力を低減で
きる。As described above in detail, according to the first aspect, the control signal generating circuit is constituted by the first fuse and the fuse circuit having a plurality of fuse means. In a completely non-defective product that does not require the above, it is possible to cut off the through current from the first power supply to the second power supply without cutting the fuse means in the fuse circuit only by cutting the first fuse. . For a defective product requiring repair or the like, a through current from the first power supply to the second power supply can be cut off by cutting a plurality of fuse means in the fuse circuit, thereby reducing power consumption.
【0025】第2の発明によれば、ヒューズ回路を構成
するヒューズ手段を、少なくとも2本のヒューズを直列
接続した構成にしたので、その2本のヒューズのうちの
いずれか一方を切断することによって該ヒューズ回路か
ら任意の制御信号を発生できると共に、そのヒューズ切
断によって第1の電源から第2の電源への貫通電流を遮
断できる。第3の発明によれば、第1のヒューズの第2
の端子に第2のヒューズを直列接続したので、その第1
または第2のヒューズのいずれか一方を切断することに
より、任意の論理の制御信号を発生できると共に、第1
の電源から第2の電源への貫通電流を遮断できる。According to the second aspect of the present invention, the fuse means constituting the fuse circuit has a configuration in which at least two fuses are connected in series, so that one of the two fuses is cut. An arbitrary control signal can be generated from the fuse circuit, and a through current from the first power supply to the second power supply can be cut off by cutting the fuse. According to the third invention, the second fuse of the first fuse is
The second fuse is connected in series to the terminal of
Alternatively, by cutting one of the second fuses, a control signal of an arbitrary logic can be generated and the first fuse can be generated.
Current from the first power supply to the second power supply can be cut off.
【図1】本発明の第1の実施例を示す制御信号発生回路
の回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram of a control signal generation circuit showing a first embodiment of the present invention.
【図2】半導体集積回路の1つである従来の冗長回路を
有する半導体記憶装置の概略の構成ブロック図である。FIG. 2 is a schematic configuration block diagram of a semiconductor memory device having a conventional redundant circuit which is one of the semiconductor integrated circuits.
【図3】図2中の不良アドレス記憶部を構成する冗長選
択回路の回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram of a redundancy selection circuit constituting a defective address storage unit in FIG. 2;
【図4】本発明の第1の実施例を示すもので、図1の制
御信号発生回路に接続される半導体記憶装置の概略の構
成ブロック図である。FIG. 4 shows a first embodiment of the present invention, and is a schematic configuration block diagram of a semiconductor memory device connected to the control signal generation circuit of FIG. 1;
【図5】本発明の第2の実施例を示す制御信号発生回路
の回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram of a control signal generation circuit showing a second embodiment of the present invention.
【図6】図1中の他の冗長選択回路の回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram of another redundant selection circuit in FIG. 1;
20 冗長選択回路 21 PMOS(電流制
御手段) 22,24 第1,第2のヒュ
ーズ 25 インバータ 27 NMOS(電流制
御手段) 30,30A 不良アドレス記憶
部 31 PMOS 321 〜32n ,341 〜34n ヒューズ 401 〜40n 冗長比較回路 50 冗長判定回路 60 非冗長アドレスデ
コーダ 70 冗長アドレスデコ
ーダ 80 メモリセルアレイ 90 冗長メモリセルア
レイ A1 〜An 外部アドレス RA1 〜RAn 不良アドレス R 冗長信号 RN 反転冗長信号REFERENCE SIGNS LIST 20 redundant selection circuit 21 PMOS (current control means) 22, 24 first and second fuses 25 inverter 27 NMOS (current control means) 30, 30A defective address storage unit 31 PMOS 32 1 to 32 n , 34 1 to 34 n fuse 40 1 to 40 n redundant comparison circuit 50 redundancy judgment circuit 60 non-redundant address decoder 70 redundant address decoder 80 memory cell array 90 redundant memory cell array A 1 to A n external address RA 1 to RA n defective address R redundant signal R n inversion redundant signal
Claims (3)
御信号を発生する制御信号発生回路を備えた半導体集積
回路において、 前記制御信号発生回路は、第1及び第2の端子を有しそ
の第1の端子が電流制御手段を介して第1の電源に接続
された第1のヒューズと、第2の電源に直列または並列
に接続された複数のヒューズ手段を有するヒューズ回路
とを備え、 前記第1のヒューズを切断することによって前記ヒュー
ズ回路中での前記第1の電源から前記第2の電源への貫
通電流を流す経路を制御する構成にしたことを特徴とす
る半導体集積回路。1. A semiconductor integrated circuit having a control signal generation circuit for selectively generating a control signal depending on whether a fuse is cut or not, wherein the control signal generation circuit has first and second terminals and A first fuse having one terminal connected to the first power supply via a current control means, and a fuse circuit having a plurality of fuse means connected in series or in parallel to the second power supply; A semiconductor integrated circuit, wherein a path for flowing a through current from the first power supply to the second power supply in the fuse circuit is controlled by cutting one fuse.
直列に接続されたヒューズを有することを特徴とする請
求項1記載の半導体集積回路。2. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein said fuse means has at least two fuses connected in series.
2のヒューズを直列接続したことを特徴とする請求項1
記載の半導体集積回路。3. The device according to claim 1, wherein a second fuse is connected in series to a second terminal of the first fuse.
A semiconductor integrated circuit as described in the above.
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