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JP2975459B2 - Multilayer ceramic chip capacitors - Google Patents

Multilayer ceramic chip capacitors

Info

Publication number
JP2975459B2
JP2975459B2 JP3200031A JP20003191A JP2975459B2 JP 2975459 B2 JP2975459 B2 JP 2975459B2 JP 3200031 A JP3200031 A JP 3200031A JP 20003191 A JP20003191 A JP 20003191A JP 2975459 B2 JP2975459 B2 JP 2975459B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
multilayer ceramic
ceramic chip
chip capacitor
internal electrode
dielectric layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP3200031A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0521267A (en
Inventor
武史 野村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP3200031A priority Critical patent/JP2975459B2/en
Publication of JPH0521267A publication Critical patent/JPH0521267A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2975459B2 publication Critical patent/JP2975459B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、積層型セラミックチッ
プコンデンサに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer ceramic chip capacitor.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層型セラミックチップコンデンサは、
小型、大容量、高信頼性の電子部品として広く利用され
ており、1台の電子機器の中で使用される個数も多数に
のぼる。近年、機器の小型・高性能化にともない、積層
型セラミックチップコンデンサに対する更なる小型、大
容量、低価格、高信頼性化への要求はますます厳しくな
っている。
2. Description of the Related Art Multilayer ceramic chip capacitors are:
It is widely used as a small, large-capacity, high-reliability electronic component, and the number used in one electronic device is large. In recent years, with the miniaturization and high performance of devices, demands for further miniaturization, large capacity, low price, and high reliability of multilayer ceramic chip capacitors have become more and more severe.

【0003】積層型セラミックチップコンデンサは通
常、内部電極層用のペーストと誘電体層用のペーストと
をシート法や印刷法等により積層し、一体同時焼成して
製造される。
A multilayer ceramic chip capacitor is usually manufactured by laminating a paste for an internal electrode layer and a paste for a dielectric layer by a sheet method, a printing method, or the like, and simultaneously firing them.

【0004】内部電極層の導電材には、一般にPdやP
d合金が用いられているが、Pdは高価であるため、比
較的安価なNiやNi合金等の卑金属が使用されつつあ
る。内部電極層の導電材として卑金属を用いる場合、大
気中で焼成を行なうと内部電極層が酸化してしまうた
め、誘電体層と内部電極層との同時焼成を、還元性雰囲
気中で行なう必要がある。しかし、還元性雰囲気中で焼
成すると、誘電体層が還元され、比抵抗が低くなってし
まうため、非還元性の誘電体材料が提案されている。
The conductive material of the internal electrode layer is generally Pd or Pd.
Although d alloys are used, Pd is expensive, and relatively inexpensive base metals such as Ni and Ni alloys are being used. When a base metal is used as the conductive material of the internal electrode layer, if the firing is performed in the air, the internal electrode layer is oxidized. Therefore, the simultaneous firing of the dielectric layer and the internal electrode layer must be performed in a reducing atmosphere. is there. However, when firing in a reducing atmosphere, the dielectric layer is reduced and the specific resistance is reduced, and thus non-reducing dielectric materials have been proposed.

【0005】しかし、非還元性の誘電体材料を用いた積
層型セラミックチップコンデンサは、絶縁抵抗IRの寿
命が短くなり、信頼性が低いという問題がある。
However, a multilayer ceramic chip capacitor using a non-reducing dielectric material has a problem that the life of the insulation resistance IR is short and the reliability is low.

【0006】また、誘電体を直流電界にさらすと、比誘
電率εs が経時的に低下するという問題が生じる。チッ
プコンデンサを小型、大容量化するために誘電体層の厚
みを薄くすると、直流電圧を印加したときの誘電体層に
かかる電界が強くなるため、比誘電率εs の経時変化、
すなわち容量の経時変化が著しく大きくなってしまう。
Further, when exposing the dielectric to a DC electric field, the dielectric constant epsilon s is caused a problem that decreases over time. When the thickness of the dielectric layer is reduced in order to increase the size and capacitance of the chip capacitor, the electric field applied to the dielectric layer when a DC voltage is applied increases, so that the relative dielectric constant ε s changes with time,
That is, the change with time of the capacitance becomes extremely large.

【0007】ところで、EIA規格に定められたX7R
特性と呼ばれる規格では、容量の変化率が、−55℃か
ら125℃の間で±15%以内(基準温度25℃)と定
められている。また、JIS規格に定められたB特性と
呼ばれる規格では、容量の変化率が、−25℃から85
℃の間で±10%以内(基準温度20℃)と定められて
いる。
By the way, X7R specified in the EIA standard
In a standard called characteristics, the rate of change of the capacitance is defined to be within ± 15% (reference temperature 25 ° C.) between −55 ° C. and 125 ° C. Further, in a standard called the B characteristic defined in the JIS standard, the rate of change in capacity is from -25 ° C to 85 ° C.
It is specified that the temperature is within ± 10% (reference temperature: 20 ° C.).

【0008】X7R特性やB特性を満足する誘電体材料
としては、例えば特開昭61−36170号公報に示さ
れるBaTiO3 +SrTiO3 +MnO系の組成が知
られている。しかし、このものは、直流電界下における
容量の経時変化が大きく、例えば40℃で50V の直流
電界を1000時間印加すると、容量の変化率が−10
〜−30%程度となってしまい、X7R特性やB特性を
満足することができなくなる。
As a dielectric material satisfying the X7R characteristic and the B characteristic, for example, a composition of BaTiO 3 + SrTiO 3 + MnO system disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-36170 is known. However, according to this method, the capacitance changes with time under a DC electric field is large.
-30%, so that the X7R characteristic and the B characteristic cannot be satisfied.

【0009】また、この他、非還元性の誘電体磁器組成
物としては、特開昭57−71866号公報に開示され
ているBaTiO3 +MnO+MgO、特開昭61−2
50905号公報に開示されている(Ba1-x Srx
O)a Ti1-y Zry2 +α((1−z)MnO+z
CoO)+β((1−t)A25 +tL23 )+w
SiO2 (ただし、A=Nb,Ta,V、L=Yまたは
希土類元素)、特開平2−83256号公報に開示され
ているチタン酸バリウムにガラス状態のBaαCa1-α
SiO3 を添加したものなどが挙げられる。しかし、こ
れらのいずれの誘電体磁器組成物も、容量の温度特性が
良好で、直流電界下での容量の経時変化が少なく、絶縁
抵抗の加速寿命が長いという特性の全てを満足すること
はできなかった。例えば、特開昭61−250905号
公報および特開平2−83256号公報にそれぞれ開示
されているものでは、絶縁抵抗の加速寿命が短い。
Other non-reducing dielectric porcelain compositions include BaTiO 3 + MnO + MgO disclosed in JP-A-57-71866 and JP-A-61-2.
No. 50905 (Ba 1-x Sr x
O) a Ti 1-y Zr y O 2 + α ((1-z) MnO + z
(CoO) + β ((1-t) A 2 O 5 + tL 2 O 3 ) + w
SiO 2 (where A = Nb, Ta, V, L = Y or a rare earth element), barium titanate disclosed in JP-A-2-83256, and BaαCa 1- α in a glassy state
One to which SiO 3 is added is exemplified. However, any of these dielectric ceramic compositions can satisfy all of the characteristics that the temperature characteristics of the capacitance are good, the capacitance changes with time under a DC electric field are small, and the accelerated life of the insulation resistance is long. Did not. For example, those disclosed in JP-A-61-250905 and JP-A-2-83256, respectively, have a short insulation resistance accelerated life.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような事
情からなされたものであり、容量の温度特性であるX7
R特性やB特性を満足することができ、かつ、直流電界
下での容量の経時変化が小さく、また、絶縁抵抗IRの
加速寿命が長い積層型セラミックチップコンデンサを提
供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and has a temperature characteristic X7 which is a capacitance.
It is an object of the present invention to provide a multilayer ceramic chip capacitor that can satisfy the R characteristics and the B characteristics, has a small change in capacitance with time under a DC electric field, and has a long accelerated life of an insulation resistance IR.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
(1)〜(4)の本発明により達成される。
This and other objects are achieved by the present invention which is defined below as (1) to (4).

【0012】(1) 誘電体層と内部電極層とが交互に
積層された構成のコンデンサチップ体を有する積層型セ
ラミックチップコンデンサであって、前記誘電体層が、
チタン酸バリウムを主成分とし、BaTiO3 に換算し
た前記チタン酸バリウム100モルに対し、MgOに換
算して0.5〜3モルの酸化マグネシウム、MnOに換
算して0.1〜0.5モルの酸化マンガンおよびCoO
に換算して0.05〜0.3モルの酸化コバルトを副成
分として含み、さらに、副成分として、ガラス状の(B
x Ca1-x O)y ・SiO2 (ただし、0.3≦x≦
0.7、0.95≦y≦1.05である。)を、前記B
aTiO3 、MgO、MnOおよびCoOの合計に対し
3〜7重量%含むことを特徴とする積層型セラミックチ
ップコンデンサ。
(1) A multilayer ceramic chip capacitor having a capacitor chip body having a structure in which dielectric layers and internal electrode layers are alternately stacked, wherein the dielectric layer comprises:
Based on 100 mol of the barium titanate converted to BaTiO 3 , the main component of which is barium titanate, 0.5 to 3 mol of magnesium oxide converted to MgO, and 0.1 to 0.5 mol converted to MnO. Manganese oxide and CoO
Contains 0.05 to 0.3 mol of cobalt oxide as a sub-component, and further, as a sub-component, a glassy (B
a x Ca 1-x O) y · SiO 2 (however, 0.3 ≦ x ≦
0.7, 0.95 ≦ y ≦ 1.05. ) To the above B
aTiO 3, MgO, multilayer ceramic chip capacitors which comprises 3 to 7% by weight relative to the sum of MnO and CoO.

【0013】(2) 前記内部電極層に含まれる導電材
が、NiまたはNi合金である上記(1)に記載の積層
型セラミックチップコンデンサ。
(2) The multilayer ceramic chip capacitor according to the above (1), wherein the conductive material contained in the internal electrode layer is Ni or a Ni alloy.

【0014】(3) 酸素分圧が10-8〜10-12 気圧
である雰囲気中で、1200〜1380℃の温度範囲内
にて焼成された上記(2)に記載の積層型セラミックチ
ップコンデンサ。
(3) The multilayer ceramic chip capacitor according to (2), which is fired in an atmosphere having an oxygen partial pressure of 10 -8 to 10 -12 atm in a temperature range of 1200 to 1380 ° C.

【0015】(4) 焼成後に、酸素分圧が10-6気圧
以上の雰囲気中で1100℃以下の温度範囲内にてアニ
ールされた上記(2)または(3)に記載の積層型セラ
ミックチップコンデンサ。
(4) The multilayer ceramic chip capacitor as described in (2) or (3) above, which has been annealed in an atmosphere having an oxygen partial pressure of 10 -6 atm or more within a temperature range of 1100 ° C. or less after firing. .

【0016】[0016]

【具体的構成】以下、本発明の具体的構成について詳細
に説明する。
[Specific Configuration] Hereinafter, a specific configuration of the present invention will be described in detail.

【0017】[積層型セラミックチップコンデンサ]本
発明の積層型セラミックチップコンデンサの好適実施例
の断面図を、図1に示す。
[Laminated Ceramic Chip Capacitor] FIG. 1 is a sectional view of a preferred embodiment of the laminated ceramic chip capacitor of the present invention.

【0018】図1に示されるように、本発明の積層型セ
ラミックチップコンデンサ1は、誘電体層2と内部電極
層3とが交互に積層された構成のコンデンサチップ体1
0を有し、このコンデンサチップ体10表面に、内部電
極層3と導通する外部電極4を有する。コンデンサチッ
プ体10の形状に特に制限はないが、通常、直方体状と
される。また、その寸法にも特に制限はなく、用途に応
じて適当な寸法とすればよいが、通常、(1.0〜5.
6mm)×(0.5〜5.0mm)×(0.5〜1.9mm)
程度である。内部電極層3は、その端面がコンデンサチ
ップ体10の対向する2表面に交互に露出するように積
層され、外部電極4は、コンデンサチップ体10の前記
対向する2表面に形成され、所定のコンデンサ回路を構
成する。
As shown in FIG. 1, a multilayer ceramic chip capacitor 1 according to the present invention has a structure in which dielectric layers 2 and internal electrode layers 3 are alternately stacked.
0, and the outer surface of the capacitor chip body 10 has an external electrode 4 which is electrically connected to the internal electrode layer 3. The shape of the capacitor chip body 10 is not particularly limited, but is generally a rectangular parallelepiped. The size is not particularly limited and may be an appropriate size depending on the application.
6mm) × (0.5-5.0mm) × (0.5-1.9mm)
It is about. The internal electrode layer 3 is laminated so that the end faces thereof are alternately exposed on the two opposing surfaces of the capacitor chip body 10, and the external electrodes 4 are formed on the two opposing surfaces of the capacitor chip body 10, Configure the circuit.

【0019】<誘電体層2>誘電体層2は、チタン酸バ
リウムを主成分とし、BaTiO3 に換算した前記チタ
ン酸バリウム100モルに対し、MgOに換算して0.
5〜3モル、好ましくは1.0〜1.5モルの酸化マグ
ネシウム、MnOに換算して0.1〜0.5モル、好ま
しくは0.2〜0.4モルの酸化マンガンおよびCoO
に換算して0.05〜0.3モル、好ましくは0.1〜
0.2モルの酸化コバルトを副成分として含み、さら
に、副成分として、ガラス状の(Bax Ca1-x O)y
・SiO2 (ただし、0.3≦x≦0.7、0.95≦
y≦1.05である。)を、前記BaTiO3 、Mg
O、MnOおよびCoOの合計に対し3〜7重量%、好
ましくは4〜6重量%含む。なお、各酸化物の酸化状態
は特に限定されず、各酸化物を構成する金属元素の含有
量が上記範囲であればよい。
<Dielectric Layer 2> The dielectric layer 2 contains barium titanate as a main component, and is converted to MgO with respect to 100 moles of the above barium titanate converted to BaTiO 3 .
5 to 3 mol, preferably 1.0 to 1.5 mol of magnesium oxide, 0.1 to 0.5 mol, preferably 0.2 to 0.4 mol of manganese oxide and CoO in terms of MnO
0.05 to 0.3 mol, preferably 0.1 to
Containing 0.2 mol of cobalt oxide as a sub-component, further, as a secondary component, glassy (Ba x Ca 1-x O ) y
・ SiO 2 (however, 0.3 ≦ x ≦ 0.7, 0.95 ≦
y ≦ 1.05. ) Is replaced with BaTiO 3 , Mg
It contains 3 to 7% by weight, preferably 4 to 6% by weight, based on the total of O, MnO and CoO. The oxidation state of each oxide is not particularly limited as long as the content of the metal element constituting each oxide is within the above range.

【0020】上記各副成分の含有量の限定理由は下記の
とおりである。
The reasons for limiting the contents of the above subcomponents are as follows.

【0021】酸化マグネシウムの含有量が前記範囲未満
であると、容量の温度特性を所望の範囲とすることがで
きない。酸化マグネシウムの含有量が前記範囲を超える
と、焼結性が急激に悪化し、緻密化が不十分となってI
R加速寿命が低下し、また、高い比誘電率が得られな
い。
If the content of magnesium oxide is less than the above range, the temperature characteristics of the capacity cannot be set in a desired range. When the content of magnesium oxide exceeds the above range, the sinterability rapidly deteriorates, the densification becomes insufficient, and
The R accelerated life is reduced, and a high relative dielectric constant cannot be obtained.

【0022】酸化マンガンの含有量が前記範囲未満であ
ると、良好な耐還元性が得られずIR加速寿命が不十分
となり、また、損失 tanδを低くすることが困難とな
る。酸化マンガンの含有量が前記範囲を超えている場
合、直流電界印加時の容量の経時変化を小さくすること
が困難となる。
If the manganese oxide content is less than the above range, good reduction resistance cannot be obtained, the IR accelerated life becomes insufficient, and it becomes difficult to reduce the loss tan δ. If the manganese oxide content exceeds the above range, it is difficult to reduce the change over time of the capacity when a DC electric field is applied.

【0023】酸化コバルトの含有量が前記範囲未満であ
ると、絶縁抵抗IRの寿命が不十分であり、また、耐還
元性も不十分であり、損失 tanδも大きくなる。酸化コ
バルトの含有量が前記範囲を超えていると、直流電界印
加時の容量の経時変化が大きくなる。
When the content of cobalt oxide is less than the above range, the life of the insulation resistance IR is insufficient, the reduction resistance is also insufficient, and the loss tan δ increases. When the content of cobalt oxide exceeds the above range, the change with time of the capacity when a DC electric field is applied becomes large.

【0024】ガラス状の(Bax Ca1-x O)y・Si
2 の含有量が前記範囲未満であると、直流電界印加時
の容量の経時変化が大きくなり、また、IR加速寿命が
不十分となる。前記範囲を超えると比誘電率の急激な低
下が起こる。(Bax Ca1- x O)y ・SiO2 におけ
るxの値が前記範囲を外れるか、あるいはyの値が前記
範囲を外れると、焼結性が低下して緻密化が不十分とな
る。
Glassy (Ba x Ca 1-x O) y · Si
When the content of O 2 is less than the above range, the change with time of the capacity when a DC electric field is applied becomes large, and the IR accelerated life becomes insufficient. Exceeding the above range causes a sharp drop in the relative dielectric constant. If the value of x in (Ba x Ca 1- x O) y · SiO 2 is out of the above range, or the value of y is out of the above range, sinterability is reduced and densification becomes insufficient.

【0025】本発明において誘電体層は、いわゆるコア
−シェル構造となっている。すなわち、BaTiO3
MnO+CoO+MgOなどから構成される高誘電率相
の結晶粒(コア)の周囲を、CaTiO3 +(Bax
1-x O)y ・SiO2 +MnO+CoO+MgOなど
から構成される低誘電率相の結晶粒界(シェル)が取り
囲む構造となっている。
In the present invention, the dielectric layer has a so-called core-shell structure. That is, BaTiO 3 +
Around the crystal grains (core) of the high dielectric constant phase composed of MnO + CoO + MgO or the like, CaTiO 3 + (Ba x C
a 1-x O) y · SiO 2 + MnO + CoO + MgO The structure is surrounded by crystal grain boundaries (shells) of a low dielectric constant phase composed of, for example, a.

【0026】誘電体層の平均結晶粒径は特に限定されな
いが、上記組成とすることにより微細な結晶粒が得ら
れ、通常、平均結晶粒径は0.2〜0.7μm 程度とな
る。また、結晶粒界の平均幅は、0.02〜0.2μm
程度である。
Although the average crystal grain size of the dielectric layer is not particularly limited, fine grains can be obtained by the above composition, and the average crystal grain size is usually about 0.2 to 0.7 μm. The average width of the crystal grain boundary is 0.02 to 0.2 μm
It is about.

【0027】誘電体層のキュリー温度は、適用される規
格に応じて組成を選択することにより適宜設定すること
ができるが、一般に85℃以上、通常、120〜130
℃程度とする。
The Curie temperature of the dielectric layer can be appropriately set by selecting the composition according to the applicable standard, but is generally 85 ° C. or higher, usually 120 to 130.
About ℃.

【0028】誘電体層の一層あたりの厚さは、100μ
m 以下、特に50μm 以下、さらには5〜30μm 程度
とする。本発明は、このような薄層化した誘電体層を有
する積層型セラミックチップコンデンサの容量の経時変
化防止に有効である。なお、誘電体層の積層数は、通常
2〜200程度とする。
The thickness of one dielectric layer is 100 μm.
m, particularly 50 μm or less, and more preferably about 5 to 30 μm. The present invention is effective in preventing the capacitance of a multilayer ceramic chip capacitor having such a thin dielectric layer from changing over time. The number of stacked dielectric layers is usually about 2 to 200.

【0029】<内部電極層3>内部電極層3に含有され
る導電材は特に限定されないが、誘電体層2構成材料が
耐還元性を有するため、卑金属を用いることができる。
導電材として用いる卑金属としては、NiまたはNi合
金が好ましい。Ni合金としては、Mn、Cr、Coお
よびAlから選択される1種以上の元素とNiとの合金
が好ましく、合金中のNi含有量は95重量%以上であ
ることが好ましい。
<Internal Electrode Layer 3> The conductive material contained in the internal electrode layer 3 is not particularly limited, but a base metal can be used because the material constituting the dielectric layer 2 has reduction resistance.
As the base metal used as the conductive material, Ni or a Ni alloy is preferable. As the Ni alloy, an alloy of one or more elements selected from Mn, Cr, Co, and Al and Ni is preferable, and the Ni content in the alloy is preferably 95% by weight or more.

【0030】なお、NiまたはNi合金中には、P等の
各種微量成分が0.1重量%程度以下含まれていてもよ
い。
It should be noted that various trace components such as P may be contained in Ni or Ni alloy in an amount of about 0.1% by weight or less.

【0031】内部電極層の厚さは用途等に応じて適宜決
定されればよいが、通常、1〜5μm 、特に2〜3μm
程度であることが好ましい。
The thickness of the internal electrode layer may be appropriately determined according to the application and the like, but is usually 1 to 5 μm, particularly 2 to 3 μm.
It is preferred that it is about.

【0032】<外部電極4>外部電極4に含有される導
電材は特に限定されないが、本発明では安価なNi、C
uや、これらの合金を用いることができる。
<External Electrode 4> The conductive material contained in the external electrode 4 is not particularly limited.
u or an alloy thereof can be used.

【0033】外部電極の厚さは用途等に応じて適宜決定
されればよいが、通常、10〜50μm 程度であること
が好ましい。
The thickness of the external electrode may be appropriately determined according to the application and the like, but is usually preferably about 10 to 50 μm.

【0034】[積層型セラミックチップコンデンサの製
造方法]本発明の積層型セラミックチップコンデンサ
は、ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグ
リーンチップを作製し、これを焼成した後、外部電極を
印刷ないし転写して焼成することにより製造される。
[Production Method of Multilayer Ceramic Chip Capacitor] In the multilayer ceramic chip capacitor of the present invention, a green chip is prepared by a usual printing method or sheet method using a paste, and after firing, a green chip is formed. It is manufactured by printing or transferring and firing.

【0035】<誘電体層用ペースト>誘電体層用ペース
トは、誘電体原料と有機ビヒクルとを混練して製造され
る。
<Dielectric Layer Paste> The dielectric layer paste is manufactured by kneading a dielectric material and an organic vehicle.

【0036】誘電体原料には、上記した複合酸化物、酸
化物およびガラスの混合物を用いることができるが、そ
の他、焼成により上記した複合酸化物や酸化物となる各
種化合物、例えば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸
化物、有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用い
ることができる。誘電体原料中の各化合物の含有量は、
焼成後に上記した誘電体層の組成となるように決定すれ
ばよい。
As the dielectric material, a mixture of the above-mentioned composite oxide, oxide and glass can be used. In addition, various compounds which become the above-mentioned composite oxide and oxide by firing, such as carbonate, It can be appropriately selected from oxalates, nitrates, hydroxides, organometallic compounds, and the like, and used by mixing. The content of each compound in the dielectric material is
What is necessary is just to determine so that it may become the above-mentioned composition of a dielectric layer after baking.

【0037】誘電体原料は、通常、平均粒子径0.1〜
1μm 程度の粉末として用いられる。
The dielectric material usually has an average particle diameter of 0.1 to
It is used as a powder of about 1 μm.

【0038】有機ビヒクルとは、バインダを有機溶剤中
に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバインダ
は特に限定されず、エチルセルロース等の通常の各種バ
インダから適宜選択すればよい。また、用いる有機溶剤
も特に限定されず、印刷法やシート法など、利用する方
法に応じて、テルピネオール、ブチルカルビトール、ア
セトン、トルエン等の各種有機溶剤から適宜選択すれば
よい。
The organic vehicle is obtained by dissolving a binder in an organic solvent. The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and may be appropriately selected from various ordinary binders such as ethyl cellulose. In addition, the organic solvent to be used is not particularly limited, and may be appropriately selected from various organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, and toluene according to a method to be used such as a printing method and a sheet method.

【0039】<内部電極層用ペースト>内部電極層用ペ
ーストは、上記した各種導電性金属や合金からなる導電
材、あるいは焼成後に上記した導電材となる各種酸化
物、有機金属化合物、レジネート等と、上記した有機ビ
ヒクルとを混練して調製する。
<Paste for Internal Electrode Layer> The paste for the internal electrode layer is made of a conductive material made of the above-mentioned various conductive metals or alloys, or various oxides, organometallic compounds, resinates, etc. which become the above-mentioned conductive material after firing. And the above-mentioned organic vehicle.

【0040】<外部電極用ペースト>外部電極用ペース
トは、上記した内部電極層用ペーストと同様にして調製
すればよい。
<Paste for External Electrode> The paste for the external electrode may be prepared in the same manner as the paste for the internal electrode layer described above.

【0041】<有機ビヒクル含有量>上記した各ペース
ト中の有機ビヒクルの含有量に特に制限はなく、通常の
含有量、例えば、バインダは1〜5重量%程度、溶剤は
10〜50重量%程度とすればよい。また、各ペースト
中には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体、絶
縁体等から選択される添加物が含有されていてもよい。
これらの総含有量は、10重量%以下とすることが好ま
しい。
<Organic Vehicle Content> The content of the organic vehicle in each of the above-mentioned pastes is not particularly limited, and ordinary contents, for example, about 1 to 5% by weight of a binder and about 10 to 50% by weight of a solvent. And it is sufficient. Further, each paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, insulators, and the like, as necessary.
The total content of these is preferably 10% by weight or less.

【0042】<グリーンチップ作製>印刷法を用いる場
合、誘電体層用ペーストおよび内部電極層用ペースト
を、PET等の基板上に積層印刷し、所定形状に切断し
た後、基板から剥離してグリーンチップとする。
<Preparation of Green Chip> When the printing method is used, the paste for the dielectric layer and the paste for the internal electrode layer are laminated and printed on a substrate such as PET, and cut into a predetermined shape. Chips.

【0043】また、シート法を用いる場合、誘電体層用
ペーストを用いてグリーンシートを形成し、この上に内
部電極層用ペーストを印刷した後、これらを積層してグ
リーンチップとする。
When the sheet method is used, a green sheet is formed by using a dielectric layer paste, an internal electrode layer paste is printed thereon, and these are laminated to form a green chip.

【0044】<脱バインダ処理>焼成前に行なわれる脱
バインダ処理は、通常の条件で行えばよいが、内部電極
層の導電材にNiやNi等の卑金属を用いる場合、特に
下記の条件で行うことが好ましい。 昇温速度:10〜300℃/時間、特に50〜100℃
/時間 保持温度:600〜1200℃、特に700〜900℃ 温度保持時間:0.5〜5時間、特に1〜3時間 酸素分圧:10-4〜10-8気圧、特に10-5〜10-6
圧 脱バインダ処理の際の雰囲気ガスには、加湿したN2
ス等を用いることが好ましい。
<Binder Removal> The binder removal performed before firing may be performed under ordinary conditions. When a base metal such as Ni or Ni is used as the conductive material of the internal electrode layer, the binder removal is particularly performed under the following conditions. Is preferred. Heating rate: 10 to 300 ° C / hour, especially 50 to 100 ° C
/ Hour Holding temperature: 600 to 1200 ° C., especially 700 to 900 ° C. Temperature holding time: 0.5 to 5 hours, especially 1 to 3 hours Oxygen partial pressure: 10 -4 to 10 -8 atm, especially 10 -5 to 10 It is preferable to use a humidified N 2 gas or the like as an atmospheric gas at the time of the -6 atm binder removal treatment.

【0045】<焼成>グリーンチップ焼成時の雰囲気
は、内部電極層用ペースト中の導電材の種類に応じて適
宜決定されればよいが、導電材としてNiやNi合金等
の卑金属を用いる場合、焼成雰囲気中の酸素分圧は、1
-8〜10-12 気圧とすることが好ましい。酸素分圧が
前記範囲未満であると、内部電極層の導電材が異常焼結
を起こし、途切れてしまうことがある。また、酸素分圧
が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にあ
る。
<Firing> The atmosphere for firing the green chip may be appropriately determined according to the type of the conductive material in the internal electrode layer paste. When a base metal such as Ni or a Ni alloy is used as the conductive material, The oxygen partial pressure in the firing atmosphere is 1
The pressure is preferably from 0 -8 to 10 -12 atm. If the oxygen partial pressure is less than the above range, the conductive material of the internal electrode layer may abnormally sinter and be interrupted. If the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.

【0046】また、焼成時の保持温度は、1200〜1
380℃、特に1260〜1340℃とすることが好ま
しい。保持温度が前記範囲未満であると緻密化が不十分
であり、前記範囲を超えると直流電界印加時の容量の経
時変化が大きくなる。
The holding temperature during firing is 1200 to 1
It is preferably 380 ° C, particularly preferably 1260-1340 ° C. If the holding temperature is lower than the above range, the densification is insufficient, and if the holding temperature is higher than the above range, the change with time of the capacity when a DC electric field is applied becomes large.

【0047】上記条件以外の各種条件は、下記のように
することが好ましい。 昇温速度:50〜500℃/時間、特に200〜300
℃/時間 温度保持時間:0.5〜8時間、特に1〜3時間 冷却速度:50〜500℃/時間、特に200〜300
℃/時間 焼成雰囲気は還元性雰囲気とすることが好ましく、雰囲
気ガスとしては、例えば、N2 とH2 との混合ガスを加
湿して用いることが好ましい。
Various conditions other than the above conditions are preferably as follows. Heating rate: 50 to 500 ° C / hour, especially 200 to 300
° C / hour Temperature holding time: 0.5-8 hours, especially 1-3 hours Cooling rate: 50-500 ° C / hour, especially 200-300
C / hour The firing atmosphere is preferably a reducing atmosphere. As the atmosphere gas, for example, a mixed gas of N 2 and H 2 is preferably used after being humidified.

【0048】<アニール>還元性雰囲気中で焼成した場
合、コンデンサチップ体にはアニールが施されることが
好ましい。アニールは、誘電体層を再酸化するための処
理であり、これによりIR加速寿命を著しく長くするこ
とができる。
<Annealing> When firing in a reducing atmosphere, the capacitor chip is preferably annealed. Annealing is a process for reoxidizing the dielectric layer, which can significantly increase the IR accelerated life.

【0049】アニール雰囲気中の酸素分圧は、10-6
圧以上、特に10-5〜10-4気圧とすることが好まし
い。酸素分圧が前記範囲未満であると誘電体層の再酸化
が困難であり、前記範囲を超えると内部電極層が酸化す
る傾向にある。
The oxygen partial pressure in the annealing atmosphere is preferably 10 −6 atm or more, particularly preferably 10 −5 to 10 −4 atm. When the oxygen partial pressure is less than the above range, it is difficult to reoxidize the dielectric layer, and when the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.

【0050】アニールの際の保持温度は、1100℃以
下、特に500〜1000℃とすることが好ましい。保
持温度が前記範囲未満であると誘電体層の酸化が不十分
となって寿命が短くなる傾向にあり、前記範囲を超える
と内部電極層が酸化し、容量が低下するだけでなく、誘
電体素地と反応してしまい、寿命も短くなる傾向にあ
る。なお、アニールは昇温および降温だけから構成して
もよい。この場合、温度保持時間は零であり、保持温度
は最高温度と同義である。
The holding temperature at the time of annealing is preferably 1100 ° C. or less, particularly preferably 500 to 1000 ° C. If the holding temperature is less than the above range, the oxidation of the dielectric layer tends to be insufficient and the life tends to be short, and if the holding temperature exceeds the above range, the internal electrode layer is oxidized and the capacity is reduced, It tends to react with the substrate and shorten its life. Note that the annealing may be configured only by raising and lowering the temperature. In this case, the temperature holding time is zero, and the holding temperature is synonymous with the maximum temperature.

【0051】上記条件以外の各種条件は下記のようにす
ることが好ましい。 温度保持時間:0〜20時間、特に6〜10時間 冷却速度:50〜500℃/時間、特に100〜300
℃/時間 雰囲気用ガスには、加湿したN2 ガス等を用いることが
好ましい。
Various conditions other than the above conditions are preferably as follows. Temperature holding time: 0 to 20 hours, especially 6 to 10 hours Cooling rate: 50 to 500 ° C / hour, especially 100 to 300
C / hour It is preferable to use a humidified N 2 gas or the like as the atmosphere gas.

【0052】なお、上記した脱バインダ処理、焼成およ
びアニールにおいて、N2 ガスや混合ガス等を加湿する
には、例えばウェッター等を使用すればよい。この場
合、水温は5〜75℃程度が好ましい。
In the above-mentioned binder removal processing, firing and annealing, for example, a wetter or the like may be used to humidify the N 2 gas or the mixed gas. In this case, the water temperature is preferably about 5 to 75 ° C.

【0053】脱バインダ処理、焼成およびアニールは、
連続して行なっても、独立に行なってもよい。
The binder removal treatment, firing and annealing are performed as follows.
It may be performed continuously or independently.

【0054】これらを連続して行なう場合、脱バインダ
処理後、冷却せずに雰囲気を変更し、続いて焼成の際の
保持温度まで昇温して焼成を行ない、次いで冷却し、ア
ニールの保持温度に達したときに雰囲気を変更してアニ
ール行なうことが好ましい。
In the case where these steps are continuously performed, after removing the binder, the atmosphere is changed without cooling, and then the temperature is raised to the holding temperature at the time of firing, firing is performed, and then cooling is performed. It is preferable to perform annealing by changing the atmosphere when the temperature reaches the threshold value.

【0055】また、これらを独立して行なう場合、焼成
に際しては、脱バインダ処理時の保持温度までN2 ガス
あるいは加湿したN2 ガス雰囲気下で昇温した後、雰囲
気を変更してさらに昇温を続けることが好ましく、アニ
ール時の保持温度まで冷却した後は、再びN2 ガスある
いは加湿したN2 ガス雰囲気に変更して冷却を続けるこ
とが好ましい。また、アニールに際しては、N2 ガス雰
囲気下で保持温度まで昇温した後、雰囲気を変更しても
よく、アニールの全工程を加湿したN2 ガス雰囲気とし
てもよい。
[0055] Also, when performing these independently, at the time of firing, after raising the temperature under N 2 gas atmosphere with N 2 gas or wet to the holding temperature of the binder removal processing, the temperature is further raised to change the atmosphere After cooling to the holding temperature at the time of annealing, it is preferable to change the atmosphere to N 2 gas or a humidified N 2 gas atmosphere again and continue cooling. Further, at the time of annealing, the temperature may be raised to a holding temperature in an N 2 gas atmosphere, and then the atmosphere may be changed, or the entire annealing process may be performed in a humidified N 2 gas atmosphere.

【0056】<外部電極形成>上記のようにして得られ
たコンデンサチップ体に、例えばバレル研磨やサンドブ
ラストなどにより端面研磨を施し、外部電極用ペースト
を印刷ないし転写して焼成し、外部電極4を形成する。
外部電極用ペーストの焼成条件は、例えば、600〜8
00℃にて10分間〜1時間程度とすることが好まし
い。
<Formation of External Electrodes> The capacitor chip body obtained as described above is subjected to edge polishing by, for example, barrel polishing or sand blasting, and the external electrode paste is printed or transferred and baked. Form.
The firing conditions for the external electrode paste are, for example, 600 to 8
It is preferable to set the temperature at 00 ° C. for about 10 minutes to 1 hour.

【0057】そして、必要に応じ、外部電極4表面に、
めっき等により被覆層を形成する。
Then, if necessary, on the surface of the external electrode 4,
A coating layer is formed by plating or the like.

【0058】このようにして製造された本発明の積層型
セラミックチップコンデンサは、ハンダ付等によりプリ
ント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用され
る。
The multilayer ceramic chip capacitor of the present invention thus manufactured is mounted on a printed circuit board or the like by soldering or the like, and is used for various electronic devices and the like.

【0059】そして、本発明の積層型セラミックチップ
コンデンサの誘電体層には、使用時に、0.02V/μm
以上、 特に0.2V/μm 以上、さらには0.5V/μm 以
上、一般に5V/μm 程度以下の直流電界と、通常、これ
に重畳する交流成分とが印加されるが、このような直流
電界を負荷しても、容量の経時変化は極めて少ないもの
である。
The dielectric layer of the multilayer ceramic chip capacitor of the present invention has a thickness of 0.02 V / μm when used.
A DC electric field of 0.2 V / μm or more, especially 0.5 V / μm or more, generally about 5 V / μm or less, and an AC component superimposed on the electric field are applied. , The change with time of the capacity is extremely small.

【0060】[0060]

【実施例】以下、本発明の具体的実施例を挙げ、本発明
をさらに詳細に説明する。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples of the present invention.

【0061】下記の各ペーストを調製した。誘電体層用ペースト 粒径0.1〜1μm のBaTiO3 、MgCO3 、Mn
CO3 、CoO、(Ba0.5 Ca0.5 )SiO3 粉末を
ボールミルにより16時間湿式混合し、次いでスプレー
ドライヤーで乾燥させて、誘電体原料とした。各粉末の
混合比率を変えて、複数の誘電体原料を作製した。
The following pastes were prepared. BaTiO 3 , MgCO 3 , Mn having a dielectric particle paste particle size of 0.1 to 1 μm
CO 3 , CoO, and (Ba 0.5 Ca 0.5 ) SiO 3 powder were wet-mixed by a ball mill for 16 hours and then dried by a spray drier to obtain a dielectric material. By changing the mixing ratio of each powder, a plurality of dielectric materials were produced.

【0062】各誘電体原料100重量部を、有機ビヒク
ル(エチルセルロース樹脂12重量部をブチルカルビト
ール88重量部に溶解したもの)34重量部およびテル
ピネオール50重量部と3本ロールによりそれぞれ混練
し、ペースト化した。
100 parts by weight of each dielectric material were kneaded with 34 parts by weight of an organic vehicle (12 parts by weight of ethylcellulose resin dissolved in 88 parts by weight of butyl carbitol) and 50 parts by weight of terpineol with a three-roll mill, and the paste was mixed. It has become.

【0063】内部電極層用ペースト 平均粒径0.8μm のNi粒子100重量部と、有機ビ
ヒクル(エチルセルロース樹脂8重量部をブチルカルビ
トール92重量部に溶解したもの)40重量部およびブ
チルカルビトール10重量部とを3本ロールにより混練
し、ペースト化した。
100 parts by weight of Ni particles having an average particle diameter of 0.8 μm for the internal electrode layer paste, 40 parts by weight of an organic vehicle (8 parts by weight of ethyl cellulose resin dissolved in 92 parts by weight of butyl carbitol) and 10 parts by weight of butyl carbitol By weight and kneaded with three rolls to form a paste.

【0064】外部電極用ペースト 平均粒径0.5μm のCu粒子100重量部と、有機ビ
ヒクル(エチルセルロース樹脂8重量部をブチルカルビ
トール92重量部に溶解したもの)35重量部およびブ
チルカルビトール7重量部とを混練し、ペースト化し
た。
100 parts by weight of Cu particles having an average particle diameter of 0.5 μm for the external electrode paste, 35 parts by weight of an organic vehicle (8 parts by weight of ethyl cellulose resin dissolved in 92 parts by weight of butyl carbitol) and 7 parts by weight of butyl carbitol And kneaded to form a paste.

【0065】上記各誘電体層用ペーストおよび上記内部
電極層用ペーストを用い、図1に示される構成の積層型
セラミックコンデンサを作製した。
Using the above-mentioned pastes for the dielectric layers and the pastes for the internal electrode layers, a multilayer ceramic capacitor having the structure shown in FIG. 1 was produced.

【0066】まず、誘電体層用ペーストと内部電極層用
ペーストとを、印刷法により交互に積層し、グリーンチ
ップを得た。誘電体層用ペーストの積層数は、20層と
した。
First, a dielectric layer paste and an internal electrode layer paste were alternately laminated by a printing method to obtain a green chip. The number of layers of the dielectric layer paste was set to 20 layers.

【0067】次いでグリーンチップを所定サイズに切断
し、脱バインダ処理、焼成およびアニールを下記の条件
にて連続的に行ない、コンデンサチップ体を作製した。
Next, the green chip was cut into a predetermined size, and binder removal processing, firing and annealing were continuously performed under the following conditions to produce a capacitor chip body.

【0068】脱バインダ処理 昇温速度:100℃/時間 保持温度:800℃ 温度保持時間:2時間 雰囲気ガス:加湿したN2 ガス 酸素分圧:10-4気圧 Binder removal temperature rise rate: 100 ° C./hour Holding temperature: 800 ° C. Temperature holding time: 2 hours Atmospheric gas: humidified N 2 gas Oxygen partial pressure: 10 -4 atm

【0069】焼成 昇温速度:200℃/時間 保持温度:1300℃ 温度保持時間:2時間 冷却速度:300℃/時間 雰囲気ガス:加湿したN2 とH2 との混合ガス 酸素分圧:10-9気圧 Baking temperature raising rate: 200 ° C./hour Holding temperature: 1300 ° C. Temperature holding time: 2 hours Cooling rate: 300 ° C./hour Atmospheric gas: humidified mixed gas of N 2 and H 2 Oxygen partial pressure: 10 − 9 atm

【0070】アニール 保持温度:900℃ 温度保持時間:9時間 冷却速度:300℃/時間 雰囲気ガス:加湿したN2 ガス 酸素分圧:10-5気圧 Annealing holding temperature: 900 ° C. Temperature holding time: 9 hours Cooling rate: 300 ° C./hour Atmospheric gas: humidified N 2 gas Oxygen partial pressure: 10 −5 atm

【0071】なお、それぞれの雰囲気ガスの加湿にはウ
ェッターを用い、水温は35℃とした。
A wetter was used for humidifying each atmosphere gas, and the water temperature was 35 ° C.

【0072】得られたコンデンサチップ体の端面をサン
ドブラストにて研磨した後、上記外部電極用ペーストを
前記端面に転写し、N2 +H2雰囲気中で800℃にて
10分間焼成して外部電極を形成し、積層型セラミック
チップコンデンササンプルを得た。
After polishing the end face of the obtained capacitor chip body by sandblasting, the above-mentioned external electrode paste was transferred to the end face, and baked at 800 ° C. for 10 minutes in an N 2 + H 2 atmosphere to form an external electrode. Then, a multilayer ceramic chip capacitor sample was obtained.

【0073】このようにして製造した各サンプルのサイ
ズは、3.2mm×1.6mm×1.2mmであり、誘電体層
の厚さは20μm 、内部電極層の厚さは2.5μm であ
った。
The size of each sample manufactured in this manner was 3.2 mm × 1.6 mm × 1.2 mm, the thickness of the dielectric layer was 20 μm, and the thickness of the internal electrode layer was 2.5 μm. Was.

【0074】各サンプルの誘電体層の組成を、下記表1
に示す。なお、これらの組成は、前述した基準に従って
算出した。また、表1中のガラスとは、(Ba0.5 Ca
0.5)SiO3 である。
Table 1 shows the composition of the dielectric layer of each sample.
Shown in In addition, these compositions were calculated according to the above-mentioned criteria. Further, the glass in Table 1 means (Ba 0.5 Ca
0.5 ) SiO 3 .

【0075】各サンプルについて、下記の測定を行なっ
た。結果を表1に示す。
The following measurement was performed for each sample. Table 1 shows the results.

【0076】容量の温度特性 LCRメータにより、−55〜125℃について測定電
圧1V で容量を測定し、下記特性を満足するかどうかを
調べた。満足する場合を○、満足しない場合を×とし
た。
Temperature Characteristics of Capacitance The capacitance was measured at a measurement voltage of 1 V at -55 to 125 ° C. using an LCR meter to check whether or not the following characteristics were satisfied. When satisfied, it was evaluated as ○, and when it was not satisfied, as ×.

【0077】X7R特性:−55℃から125℃の間で
容量変化率が±15%以内(基準温度25℃)
X7R characteristics: Capacitance change within ± 15% between −55 ° C. and 125 ° C. (reference temperature 25 ° C.)

【0078】B特性:−25℃から85℃の間で容量変
化率が±10%以内(基準温度20℃)
B characteristic: the rate of change of capacity is within ± 10% between -25 ° C. and 85 ° C. (reference temperature 20 ° C.)

【0079】直流電界下での容量の経時変化 誘電体層の厚さ1μm あたり1.8V の直流電界(サン
プルへの印加電圧36V )を40℃にて1000時間印
加し、次いで、無負荷状態で室温にて24時間放置した
後、容量を測定し、直流電界印加前の容量C0(初期容
量)からの変化量ΔCを求めて、変化率ΔC/C0 を算
出した。なお、容量は上記条件にて測定した。
Time-dependent change of capacitance under DC electric field A DC electric field of 1.8 V (voltage applied to the sample: 36 V) per 1 μm of the thickness of the dielectric layer was applied at 40 ° C. for 1000 hours. After being left at room temperature for 24 hours, the capacitance was measured, and the amount of change ΔC from the capacitance C 0 (initial capacitance) before the application of the DC electric field was obtained to calculate the rate of change ΔC / C 0 . The capacity was measured under the above conditions.

【0080】絶縁抵抗IRの加速寿命 200℃にて10V/μm の電界下で加速試験を行ない、
抵抗(IR)が2×105 Ω以下になるまでの時間を寿
命時間とした。
An acceleration test was performed under the electric field of 10 V / μm at an accelerated life of insulation resistance IR at 200 ° C.
The time until the resistance (IR) became 2 × 10 5 Ω or less was defined as the life time.

【0081】比誘電率εs 25℃における比誘電率を測定した。 Relative permittivity ε s The relative permittivity at 25 ° C. was measured.

【0082】[0082]

【表1】 [Table 1]

【0083】表1に示される結果から、本発明の効果が
明らかである。すなわち、誘電体層の組成が本発明の範
囲内であるサンプルでは、X7R特性またはB特性を満
足し、かつ、直流電界下での容量の経時変化率が10%
以下と極めて低く、また、加速試験における絶縁抵抗I
Rの寿命が長い。
From the results shown in Table 1, the effect of the present invention is clear. That is, in a sample in which the composition of the dielectric layer is within the range of the present invention, the X7R characteristic or the B characteristic is satisfied, and the rate of change with time of the capacitance under a DC electric field is 10%.
Below, and the insulation resistance I in the accelerated test
R has a long life.

【0084】なお、本発明のサンプルNo. 9および比較
例のサンプルNo. 1の誘電体層断面の走査型電子顕微鏡
写真を、それぞれ図2および図3に示す。なお、断面を
鏡面研磨し、フッ酸−硝酸の混合水溶液によりエッチン
グした後に、写真を撮影した。これらの図から、比較例
であるサンプルNo.1(図3)では平均結晶粒径が約1
μm 、結晶粒界の平均幅が約0.2μm であるが、本発
明のサンプルNo. 9(図2)では平均結晶粒径が約0.
5μm 、結晶粒界の平均幅が約0.2μm と細かい。な
お、表1に示される他の比較サンプルおよび本発明サン
プルについても、同様な関係がみられた。
The scanning electron micrographs of the cross section of the dielectric layer of Sample No. 9 of the present invention and Sample No. 1 of Comparative Example are shown in FIGS. 2 and 3, respectively. A photograph was taken after the cross section was mirror-polished and etched with a mixed aqueous solution of hydrofluoric acid and nitric acid. From these figures, it can be seen that the average crystal grain size of sample No. 1 (FIG. 3), which is
μm, and the average width of the crystal grain boundaries is about 0.2 μm. In the sample No. 9 of the present invention (FIG. 2), the average crystal grain size is about 0.3 μm.
5 μm, and the average width of the crystal grain boundaries is as fine as about 0.2 μm. Note that a similar relationship was observed for the other comparative samples shown in Table 1 and the sample of the present invention.

【0085】また、比較例のサンプルNo. 2の誘電体層
の透過型電子顕微鏡写真を、上記直流電界印加前および
印加後に撮影した。印加前の写真を図4に、印加後の写
真を図5にそれぞれ示す。図4および図5から、直流電
界の印加によりドメインが減少していることがわかる。
Further, transmission electron micrographs of the dielectric layer of Sample No. 2 of the comparative example were taken before and after the application of the DC electric field. FIG. 4 shows a photograph before the application, and FIG. 5 shows a photograph after the application. 4 and 5 that the domain is reduced by the application of the DC electric field.

【0086】[0086]

【発明の効果】本発明では、誘電体層を所定の組成とす
ることにより、容量の温度特性に関するX7R特性やB
特性を満足することができ、かつ、直流電界下での容量
の経時変化が小さく、また、絶縁抵抗IRの加速寿命が
長い積層型セラミックチップコンデンサを実現すること
ができる。
According to the present invention, by setting the dielectric layer to a predetermined composition, the X7R characteristic and the B
A multilayer ceramic chip capacitor that satisfies the characteristics, has a small change in capacitance under a DC electric field with time, and has a long accelerated life of the insulation resistance IR can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の積層型セラミックチップコンデンサの
好適実施例を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a preferred embodiment of a multilayer ceramic chip capacitor according to the present invention.

【図2】粒子構造を示す図面代用写真であって、本発明
の積層型セラミックチップコンデンサの誘電体層断面の
走査型電子顕微鏡写真である。
FIG. 2 is a scanning electron micrograph of a cross section of a dielectric layer of a multilayer ceramic chip capacitor of the present invention, which is a drawing substitute photograph showing a particle structure.

【図3】粒子構造を示す図面代用写真であって、従来の
積層型セラミックチップコンデンサの誘電体層断面の走
査型電子顕微鏡写真である。
FIG. 3 is a drawing substitute photograph showing a particle structure, and is a scanning electron microscope photograph of a cross section of a dielectric layer of a conventional multilayer ceramic chip capacitor.

【図4】粒子構造を示す図面代用写真であって、積層型
セラミックチップコンデンサの誘電体層の透過型電子顕
微鏡写真である。
FIG. 4 is a drawing substitute photograph showing a particle structure, and is a transmission electron micrograph of a dielectric layer of a multilayer ceramic chip capacitor.

【図5】粒子構造を示す図面代用写真であって、直流電
界印加後の積層型セラミックチップコンデンサの誘電体
層の透過型電子顕微鏡写真である。
FIG. 5 is a drawing substitute photograph showing a particle structure, and is a transmission electron microscope photograph of a dielectric layer of a multilayer ceramic chip capacitor after application of a DC electric field.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 積層型セラミックチップコンデンサ 10 コンデンサチップ体 2 誘電体層 3 内部電極層 4 外部電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Multilayer ceramic chip capacitor 10 Capacitor chip body 2 Dielectric layer 3 Internal electrode layer 4 External electrode

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 誘電体層と内部電極層とが交互に積層さ
れた構成のコンデンサチップ体を有する積層型セラミッ
クチップコンデンサであって、 前記誘電体層が、チタン酸バリウムを主成分とし、Ba
TiO3 に換算した前記チタン酸バリウム100モルに
対し、MgOに換算して0.5〜3モルの酸化マグネシ
ウム、MnOに換算して0.1〜0.5モルの酸化マン
ガンおよびCoOに換算して0.05〜0.3モルの酸
化コバルトを副成分として含み、さらに、副成分とし
て、ガラス状の(Bax Ca1-x O)y ・SiO2 (た
だし、0.3≦x≦0.7、0.95≦y≦1.05で
ある。)を、前記BaTiO3 、MgO、MnOおよび
CoOの合計に対し3〜7重量%含むことを特徴とする
積層型セラミックチップコンデンサ。
1. A multilayer ceramic chip capacitor having a capacitor chip body having a structure in which dielectric layers and internal electrode layers are alternately stacked, wherein the dielectric layer contains barium titanate as a main component, and
For 100 moles of the barium titanate converted to TiO 3 , 0.5 to 3 moles of magnesium oxide converted to MgO, and 0.1 to 0.5 moles of manganese oxide and CoO converted to MnO. includes 0.05 to 0.3 mol of cobalt oxide as a secondary component Te, further, as a secondary component, glassy (Ba x Ca 1-x O ) y · SiO 2 ( provided that, 0.3 ≦ x ≦ 0 0.7, 0.95 ≦ y ≦ 1.05) with respect to the total of BaTiO 3 , MgO, MnO and CoO in an amount of 3 to 7% by weight.
【請求項2】 前記内部電極層に含まれる導電材が、N
iまたはNi合金である請求項1に記載の積層型セラミ
ックチップコンデンサ。
2. The method according to claim 1, wherein the conductive material contained in the internal electrode layer is N
The multilayer ceramic chip capacitor according to claim 1, wherein the capacitor is an i or Ni alloy.
【請求項3】 酸素分圧が10-8〜10-12 気圧である
雰囲気中で、1200〜1380℃の温度範囲内にて焼
成された請求項2に記載の積層型セラミックチップコン
デンサ。
3. The multilayer ceramic chip capacitor according to claim 2, wherein the multilayer ceramic chip capacitor is fired in an atmosphere having an oxygen partial pressure of 10 -8 to 10 -12 atm in a temperature range of 1200 to 1380 ° C.
【請求項4】 焼成後に、酸素分圧が10-6気圧以上の
雰囲気中で1100℃以下の温度範囲内にてアニールさ
れた請求項2または3に記載の積層型セラミックチップ
コンデンサ。
4. The multilayer ceramic chip capacitor according to claim 2, wherein after firing, the multilayer ceramic chip capacitor is annealed in an atmosphere having an oxygen partial pressure of 10 −6 atm or more within a temperature range of 1100 ° C. or less.
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