JP2962056B2 - Voltage non-linear resistor - Google Patents
Voltage non-linear resistorInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、サージ吸収素子、電圧
安定化素子、避雷器等に用いられ、印加電圧によって抵
抗値が変化する電圧非直線抵抗体に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a voltage non-linear resistor which is used for a surge absorbing element, a voltage stabilizing element, a lightning arrester and the like, and whose resistance changes according to an applied voltage.
【0002】[0002]
【従来の技術】電圧非直線抵抗体(以下、バリスタと称
す。)は、サージ吸収素子、電圧安定化素子、避雷器等
に広く用いられている。従来これらの用途には、SiC
バリスタなどが用いられてきた。しかしながらこれらの
バリスタは、電圧非直線係数が小さいなどの欠点を有し
ていた。これらの欠点を改善するものとして、酸化亜鉛
(ZnO)を主成分とする酸化亜鉛バリスタが開発され
た。酸化亜鉛バリスタは、電圧非直線係数αが大きく、
耐サージ性能が優れており、広く用いられている(特公
昭55−46045号公報,特公昭55−48442号
公報)。酸化亜鉛バリスタとしては、酸化亜鉛(Zn
O)を主成分とし、添加物として酸化ビスマス(Bi2
O3)、酸化コバルト(CoO)、酸化マンガン(Mn
O2)、酸化アンチモン(Sb2O3)などを混合し、1
000℃〜1350℃で焼成したバリスタなどが挙げら
れる。2. Description of the Related Art Voltage non-linear resistors (hereinafter, referred to as varistors) are widely used in surge absorbing elements, voltage stabilizing elements, lightning arresters and the like. Conventionally, these applications include SiC
Varistors and the like have been used. However, these varistors have disadvantages such as a small voltage nonlinear coefficient. As an improvement over these disadvantages, zinc oxide varistors containing zinc oxide (ZnO) as a main component have been developed. Zinc oxide varistors have a large voltage nonlinear coefficient α,
It has excellent surge resistance and is widely used (JP-B-55-46045, JP-B-55-48442). As the zinc oxide varistor, zinc oxide (Zn
O) as a main component, and bismuth oxide (Bi 2
O 3 ), cobalt oxide (CoO), manganese oxide (Mn)
O 2 ), antimony oxide (Sb 2 O 3 ), etc.
Varistors fired at 000 ° C. to 1350 ° C. are examples.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】酸化亜鉛バリスタにお
いて、電気特性を示すうえで電圧非直線指数(α)およ
び立ち上がり電圧(V1mA)は、実用上重要な要素であ
る。αは、バリスタを挿入した電気回路の電圧がいかに
制御されるかを示すものであり、αが大きい程立ち上が
りが優れている。V1mAは、実際に使用される回路電圧
によって定められる値であり、それぞれ製品によってあ
らかじめ指定された値に調整されるものである。また、
α,V1mAのみならず、もれ電流(IR)の値も重要な
要素である。バリスタを過電圧保護用として使用する場
合、もれ電流(IR)はより小さいことが望まれる。In a zinc oxide varistor, the voltage non-linear index (α) and the rise voltage (V 1mA ) are important factors for practical use in showing electrical characteristics. α indicates how the voltage of the electric circuit in which the varistor is inserted is controlled, and the larger the α, the better the rise. V 1mA is a value determined by a circuit voltage actually used, and is adjusted to a value specified in advance by a product. Also,
Not only α and V 1 mA but also the value of the leakage current (IR) are important factors. When a varistor is used for overvoltage protection, a smaller leakage current (IR) is desired.
【0004】ところで、通信機器の電気回路において、
バリスタは一般に一定電圧負荷のかかった状態で使用さ
れ、スイッチの開閉等に起因する大電流パルスを吸収す
る、いわゆるサージ吸収素子として使用される。しかし
ながら、従来のZnOを主成分とするバリスタは、一定
電圧負荷が長時間印加されると、立ち上がり電圧(V
1mA)が減少し、これに伴ってもれ電流が増大するとい
う欠点を有していた。大電流パルスが印加された場合に
も全く同様の欠点を有しており、ZnOを主成分とする
バリスタの優れた電圧非直線性は維持し得なくなってい
た。By the way, in an electric circuit of a communication device,
The varistor is generally used under a constant voltage load, and is used as a so-called surge absorbing element that absorbs a large current pulse caused by opening and closing of a switch. However, the conventional varistor mainly composed of ZnO has a rising voltage (V) when a constant voltage load is applied for a long time.
1 mA ) and the leakage current increases accordingly. Even when a large current pulse is applied, it has exactly the same disadvantage, and it is impossible to maintain excellent voltage non-linearity of a varistor containing ZnO as a main component.
【0005】また、ZnOバリスタにおいて、電圧非直
線係数αを高くするため、副成分の一つとして酸化ビス
マス(Bi2O3)を添加せしめることが不可欠であっ
た。このバリスタの大部分は、酸化ビスマス(Bi
2O3)を主なる成分とする高抵抗粒界層によって、半導
体化したZnO結晶粒の周囲を取りかこんだものが、縦
横無数に並んだ構造である。確かにBi2O3を添加した
ものでは、電圧非直線性が良好でαが大きく、立ち上が
り電圧V1mAも実用上適切な値のものが得られ、Bi2O
3を添加しないものと比較すると、格段に優れた特性を
示し、実用的価値が大きい。しかしながら、このBi2
O3は比較的低温で結晶変態が起こったり、融点も低
く、高温では蒸発もしやすい。このようなBi2O3の温
度に対する不安定性は、大電流パルス印加時の特性劣
化、すなわち大サージ電流が印加されることによりV
1mAが低下し、もれ電流(IR)が増大するという、バ
リスタの素子としての信頼性を上げるうえでの問題の1
つとなっていた。また、製造工程中の焼結時にBi2O3
の蒸発等雰囲気の影響を受けやすく、焼結体中のBi2
O3の含有量を一定にかつ均一に制御することは極めて
困難であった。この結果、バリスタの諸特性が変動し、
工業生産性を著しく阻害し、量産時の歩留まりを上げる
うえでの難点の1つであった。In addition, in order to increase the voltage non-linear coefficient α in the ZnO varistor, it is essential to add bismuth oxide (Bi 2 O 3 ) as one of the subcomponents. Most of this varistor is made of bismuth oxide (Bi
A structure in which the periphery of ZnO crystal grains made into a semiconductor is surrounded by countless vertical and horizontal lines by a high-resistance grain boundary layer mainly composed of 2 O 3 ). Certainly obtained by adding Bi 2 O 3, large α good voltage nonlinearity, also rising voltage V 1mA was obtained as a practically appropriate value, Bi 2 O
Compared to the case where 3 is not added, it shows remarkably excellent characteristics and has a large practical value. However, this Bi 2
O 3 undergoes crystal transformation at a relatively low temperature, has a low melting point, and easily evaporates at a high temperature. Such instability of Bi 2 O 3 with respect to temperature is caused by deterioration of characteristics when a large current pulse is applied, that is, by applying a large surge current to V
One of the problems in improving the reliability of the varistor element is that 1 mA decreases and the leakage current (IR) increases.
Had one. Further, during sintering during the manufacturing process, Bi 2 O 3
It is easily affected by atmosphere such as evaporation of Bi 2
It was extremely difficult to control the content of O 3 constantly and uniformly. As a result, various characteristics of the varistor fluctuate,
This significantly impeded industrial productivity and was one of the difficulties in increasing the yield during mass production.
【0006】また、V1mAの低いものを得るには焼結温
度を上げるか、素体の厚みを薄くすること以外に方法が
ない。しかしながら、焼結温度を上げるとZnOや添加
物が蒸発し、バリスタ特性が失われてしまったり、焼結
時に素子が融着したりする問題が生じ、実用上、140
0℃が上限で焼結温度を上げる方法には限度がある。一
方、素子の厚みを薄くする方法では、0.3mmの厚み
が実用上の限度である。通常、バリスタの製造は、指定
厚みの素子をプレスし、焼結する工程をとるが、立ち上
がり電圧を指定値の±10%以内にするには、厚み精度
も10%が少なくとも必要である。0.3mm以下の厚
みで均一にしかも10%以内の精度でプレス成形するこ
とは非常に困難で、製造歩留まりが著しく悪くなる。ま
た、0.3mm程度の薄いものを焼結する際には、12
00℃の温度において素子表面からのZnOや添加物の
蒸発が無視できず、充分良好な特性が得られないことが
起こる。更に0.3mm以下の薄い厚みのものは、製造
時あるいは使用時に素子が破損しやすく、また焼付け電
極を付与する際の処理によって、表面層が変質したり
し、特性や安定性が悪くなることも生じ、あまり薄くす
ることは望ましいことではない。また、焼結後に切断
し、更に研磨する方法でも同様であり、素子表面層が変
質したり、表面からの素子の脱落などで、漏れ電流(I
R)の増加やαの低下をもたらしやすく、切断や研磨に
よって素子を薄くし、立ち上がり電圧(V1mA)を下げ
ることは困難である。There is no other way to obtain a low V 1 mA except by increasing the sintering temperature or reducing the thickness of the element body. However, when the sintering temperature is increased, ZnO and additives evaporate, causing problems such as loss of varistor characteristics and fusion of elements during sintering.
There is a limit to the method of raising the sintering temperature at an upper limit of 0 ° C. On the other hand, in the method of reducing the thickness of the element, a thickness of 0.3 mm is a practical limit. Normally, a varistor is manufactured by pressing and sintering an element having a specified thickness. However, in order to make the rising voltage within ± 10% of the specified value, a thickness accuracy of at least 10% is required. It is very difficult to press-mold uniformly with a thickness of 0.3 mm or less and with an accuracy of within 10%, and the production yield is significantly reduced. When sintering a thin material of about 0.3 mm,
At a temperature of 00 ° C., evaporation of ZnO and additives from the element surface cannot be neglected, and satisfactory characteristics cannot be obtained. Further, if the thickness is less than 0.3 mm, the element is easily damaged at the time of manufacture or use, and the surface layer is deteriorated by the treatment at the time of applying a baked electrode, and the characteristics and stability are deteriorated. And making it too thin is not desirable. The same applies to a method of cutting after sintering and further polishing, and the leakage current (I) may be changed due to deterioration of the element surface layer or dropping of the element from the surface.
R) tends to increase and α decreases, and it is difficult to make the element thinner by cutting or polishing, and to lower the rising voltage (V 1mA ).
【0007】本発明は、このような従来の問題点を解決
するためになされたもので、電圧非直線係数αが大き
く、もれ電流が小さく、かつ電圧負荷、大電流パルス印
加に対してV1mAの変化が小さく、安定した特性が得ら
れる電圧非直線抵抗体を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve such a conventional problem, and has a large voltage non-linear coefficient α, a small leakage current, a voltage load and a large current pulse applied to a large current pulse. An object of the present invention is to provide a voltage non-linear resistor having a small change of 1 mA and obtaining stable characteristics.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の第1は、酸化亜
鉛を主成分とし、副成分としてコバルト,マンガン,ク
ロムおよびアンチモンを、これらの酸化物、CoO,M
nO,Cr2O3およびSb2O3に換算してそれぞれ0.
1〜10.0モル%、0.05〜10.0モル%、0.
05〜6.0モル%および0.05〜6.0モル%と、
ホウケイ酸鉛亜鉛ガラスを重量比で0.50〜20.0
%とを配合した原料に対し、酸化ジルコニウム(ZrO
2)を0.05〜5.0モル%添加配合して得られる焼
結体からなることを特徴とする電圧非直線抵抗体であ
る。本発明の第2は、酸化亜鉛を主成分とし、副成分と
してコバルト,マンガン,クロムおよびアンチモンを、
これらの酸化物、CoO,MnO,Cr2O3およびSb
2O3に換算してそれぞれ0.1〜10.0モル%、0.
05〜10.0モル%、0.05〜6.0モル%および
0.05〜6.0モル%と、ホウケイ酸亜鉛ガラスを重
量比で0.50〜20.0%とを配合した原料に対し、
酸化ジルコニウム(ZrO2)を0.05〜5.0モル
%添加配合して得られる焼結体からなることを特徴とす
る電圧非直線抵抗体である。さらに本発明によれば、複
数の内部電極と焼結体とが交互に積層され、該内部電極
の外部への取り出し部分が積層体の相対向する二側面に
交互に露出した構造を有する上記に記載した積層型電圧
非直線抵抗体が提供される。A first aspect of the present invention is to use zinc oxide as a main component, cobalt, manganese, chromium and antimony as subcomponents, and oxides of these oxides, CoO, M
In terms of nO, Cr 2 O 3, and Sb 2 O 3 , each was 0.
1 to 10.0 mol%, 0.05 to 10.0 mol%, 0.
05-6.0 mol% and 0.05-6.0 mol%,
Lead zinc borosilicate glass in a weight ratio of 0.50 to 20.0
% Of zirconium oxide (ZrO)
2 ) A non-linear voltage resistor comprising a sintered body obtained by adding and mixing 0.05 to 5.0 mol% of ( 2 ). In the second aspect of the present invention, zinc oxide is used as a main component, and cobalt, manganese, chromium, and antimony are used as accessory components.
These oxides, CoO, MnO, Cr 2 O 3 and Sb
0.1 to 10.0 mol% in terms of 2 O 3 , respectively.
A raw material in which 0.5 to 10.0 mol%, 0.05 to 6.0 mol%, and 0.05 to 6.0 mol%, and 0.50 to 20.0% by weight of zinc borosilicate glass are blended. Against
A voltage nonlinear resistor, characterized in that a sintered body obtained by the zirconium oxide (ZrO 2) and 0.05 to 5.0 mol% added formulation. Further, according to the present invention, the internal electrode and the sintered body are alternately stacked, and the external electrode has a structure in which a portion to be taken out to the outside is alternately exposed on two opposite side surfaces of the stacked body. The described stacked voltage non-linear resistor is provided.
【0009】[0009]
【作用】本発明によれば、酸化亜鉛(ZnO)を主成分
とし、副成分としてCoO,MnO,Cr2O3,Sb2
O3および高抵抗粒界層成分となるべき成分として、ホ
ウケイ酸鉛亜鉛ガラスまたはホウケイ酸亜鉛ガラスとと
もに酸化ジルコニウム(ZrO2)を所定量添加した焼
結体を用いることにより、電圧非直線係数αが大きく、
もれ電流も小さく、かつ電圧負荷、大電流パルス印加に
対してV1mAの変化が小さく非常に安定した特性の電圧
非直線抵抗体が得られる。According to the present invention, zinc oxide (ZnO) is a main component, and CoO, MnO, Cr 2 O 3 , Sb 2 is a sub component.
By using a sintered body to which a predetermined amount of zirconium oxide (ZrO 2 ) has been added together with O 3 and a component to be a high-resistance grain boundary layer component together with lead zinc borosilicate glass or zinc borosilicate glass, the voltage nonlinear coefficient α Is large,
A voltage non-linear resistor having a small leakage current, a small change in V1mA with respect to a voltage load and application of a large current pulse, and very stable characteristics can be obtained.
【0010】さらに本発明によれば、図9にその基本的
構造を示すような複数の内部電極と焼結体とが交互に積
層され、該内部電極の外部への取り出し部分が積層体の
相対向する二側面に交互に露出した構造を有する積層型
の電圧非直線抵抗体が提供される。図9において、図9
(b)および図9(c)は、それぞれ図9(a)を切断
線B−B’およびC−C’に沿って切断し、矢印の方向
を視た断面図である。図中、1は本発明による内部に内
部電極が封入された焼結体、2,3は内部電極、4,5
は外部取り出し電極である。ここで焼結体は前記したよ
うな組成を有するもので、その製造方法としては、例え
ば、前記の添加物により得られた原料粉末を用いてドク
ターブレード法により生シートを作り、この生シート上
に内部電極を印刷し、複数の内部電極を積層して焼結前
に一体化させた後、所定の大きさに切断し、焼結させて
得られる。この積層型バリスタは、電極間の厚みを0.
3mm以下、例えば10μmないしは20μmにするこ
とが容易であり、立ち上がり電圧V1mAの低いバリスタ
が実現でき、かつ電圧非直線係数αが大きく、もれ電流
も小さく、電圧負荷、電流パルス印加に対してV1mAの
変化が小さく非常に安定した特性が得られる。よって、
電圧負荷、大電流パルスによる信頼性が高まり、過電圧
保護素子、スイッチの開閉時に発生する大電流パルスを
吸収するサージ吸収素子、ICやLSIなど低電圧のサ
ージ吸収素子等に優れたZnOバリスタとして、通信機
器など幅広い用途が期待できるものである。Further, according to the present invention, a plurality of internal electrodes and a sintered body having the basic structure shown in FIG. There is provided a laminated voltage non-linear resistor having a structure alternately exposed on two opposite side surfaces. In FIG. 9, FIG.
9 (b) and FIG. 9 (c) are cross-sectional views of FIG. 9 (a) taken along cutting lines BB 'and CC', respectively, and viewed in the direction of the arrows. In the figure, 1 is a sintered body according to the present invention in which internal electrodes are sealed, 2 and 3 are internal electrodes, 4, 5
Is an external extraction electrode. Here, the sintered body has the above-described composition, and as a manufacturing method thereof, for example, a raw sheet is made by a doctor blade method using the raw material powder obtained by the above-described additive, and the raw sheet is formed on the raw sheet. After the internal electrodes are printed, a plurality of internal electrodes are laminated and integrated before sintering, and then cut to a predetermined size and sintered. This multilayer varistor has a thickness between electrodes of 0.
3 mm or less, for example, 10 μm to 20 μm, a varistor with a low rise voltage V 1 mA can be realized, the voltage nonlinear coefficient α is large, the leakage current is small, and the voltage load and the current pulse Very stable characteristics with small changes in V1mA are obtained. Therefore,
As a ZnO varistor, the reliability is enhanced by voltage load and large current pulse, over voltage protection element, surge absorption element that absorbs large current pulse generated when switch is opened and closed, and low voltage surge absorption element such as IC and LSI, etc. It can be expected to be used in a wide range of applications such as communication equipment.
【0011】[0011]
【実施例】以下、本発明を実施例により詳細に説明す
る。 実施例1 出発原料として、純度99.9%以上の酸化亜鉛(Zn
O),酸化コバルト(CoO),炭酸マンガン(MnC
O3),酸化クロム(Cr2O3),酸化アンチモン(S
b2O3),酸化ジルコニウム(ZrO2)およびホウケ
イ酸鉛亜鉛ガラスフリットの各粉末を用いた。これらの
粉末を所定量秤量し、純水を用いてボールミルで70時
間混合した。次いで混合液を濾過し、乾燥して得られた
混合粉をライカイ機により10分間粉砕し、600℃の
温度で2時間の熱処理を行った。熱処理後、ボールミル
にて粉砕し、この粉末に、少量のバインダ(PVA2.
5%水溶液)を加え、ライカイ機により混ぜ合わせた
後、ふるいを用いて整粒粉末を作製し、直径12mm、
高さ15mmの円柱にプレス成型した。焼成は1100
℃〜1300℃の温度で1.5時間行った。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to embodiments. Example 1 As a starting material, zinc oxide (Zn) having a purity of 99.9% or more was used.
O), cobalt oxide (CoO), manganese carbonate (MnC)
O 3 ), chromium oxide (Cr 2 O 3 ), antimony oxide (S
b 2 O 3 ), zirconium oxide (ZrO 2 ), and lead zinc borosilicate glass frit were used. A predetermined amount of these powders was weighed and mixed with pure water in a ball mill for 70 hours. Next, the mixed solution was filtered, and the mixed powder obtained by drying was pulverized with a raikai machine for 10 minutes, and heat-treated at a temperature of 600 ° C. for 2 hours. After the heat treatment, the mixture is pulverized by a ball mill, and a small amount of a binder (PVA2.
5% aqueous solution) and mixed with a raikai machine. Then, a sized powder was prepared using a sieve and had a diameter of 12 mm.
It was press-molded into a cylinder having a height of 15 mm. Firing is 1100
Performed for 1.5 hours at a temperature between 1C and 1300C.
【0012】得られた焼結体を、厚さ1mmに切断、研
磨し、直径8mmの銀電極を焼付けた。α,V1mA,も
れ電流等の特性は、直流電源により電圧−電流特性を測
定して算定した。バリスタ電圧は、電流1mA印加で、
厚さ1mm当たりの電圧とした。もれ電流(IR)の値
は、V1mAの80%の電圧における値として評価した。
大電流パルス特性は、3000A(電流波形8×20μ
sec)のパルスを1回印加した後のV1mAを測定して
変化率を算出し、これで特性評価を行った。一定電圧負
荷特性は、温度80℃の恒温槽中でバリスタ電圧の80
%の直流電圧を1000時間印加した後のV1mAを測定
して変化率を算出し、これで特性評価を行った。表1
は、用いたホウケイ酸鉛亜鉛ガラスの組成比を示す。ま
た、表2〜表9に用いた粉末組成と、得られた焼結体の
特性評価の結果を示す。表中、*印を付したものは、本
発明の範囲に含まれないものである。The obtained sintered body was cut and polished to a thickness of 1 mm, and a silver electrode having a diameter of 8 mm was baked. Characteristics such as α, V 1mA , leakage current, etc. were calculated by measuring voltage-current characteristics with a DC power supply. The varistor voltage is 1 mA current applied,
The voltage was 1 mm in thickness. The value of the leakage current (IR) was evaluated as a value at a voltage of 80% of V1mA .
The large current pulse characteristic is 3000A (current waveform 8 × 20μ)
V) was applied once, and V 1 mA was measured to calculate the rate of change, and the characteristics were evaluated. The constant voltage load characteristic is such that a varistor voltage of 80
% DC voltage was applied for 1000 hours, V1mA was measured, and the rate of change was calculated. Table 1
Indicates the composition ratio of the lead zinc borosilicate glass used. Tables 2 to 9 show the powder compositions used and the results of evaluation of the characteristics of the obtained sintered bodies. In the table, those marked with * are not included in the scope of the present invention.
【0013】[0013]
【表1】 [Table 1]
【0014】[0014]
【表2】 [Table 2]
【0015】[0015]
【表3】 [Table 3]
【0016】[0016]
【表4】 [Table 4]
【0017】[0017]
【表5】 [Table 5]
【0018】[0018]
【表6】 [Table 6]
【0019】[0019]
【表7】 [Table 7]
【0020】[0020]
【表8】 [Table 8]
【0021】[0021]
【表9】 [Table 9]
【0022】図1は、表4,5のNo.23の試料を用
いて広範囲の電流電圧特性を測定した結果を示す。広い
電流領域にわたって優れた特性を示していることが明ら
かであり、特に低電流領域での特性が優れており、もれ
電流がいかに少ないかを明らかにするものである。図2
は、表2〜表5のNo.19〜No.27の試料で得ら
れたα,V1mAの値をZrO2の添加量との関係において
示したグラフである。この図から明らかなように、Zr
O2を添加することによってαは増大し、V1mAも増加傾
向を示す。図3は、表2〜表5のNo.19〜No.2
7の試料で得られたもれ電流(IR)の値をZrO2の
添加量との関係において示したグラフである。この図か
ら明らかなように、ZrO2を添加することによっても
れ電流は減少し、0.5〜1.0モル%で極小値にな
る。図4は、表2〜表5のNo.19〜No.27の試
料による直流電圧負荷および大電流パルス印加後におけ
るV1mAの電圧変化を、ZrO2の添加量との関係におい
て示したグラフである。ZrO2が添加されると、直流
電圧印加、大電流パルス印加のいずれに対しても、V
1mAの電圧変化は極めて小さいことを明らかにしてい
る。FIG. The results of measuring the current-voltage characteristics over a wide range using 23 samples are shown. It is evident that it shows excellent characteristics over a wide current range, especially in the low current range, and reveals how little leakage current. FIG.
Is the No. of Tables 2 to 5. 19-No. Α obtained in 27 samples, which is a graph showing the value of V 1mA in relation to the amount of ZrO 2. As is clear from this figure, Zr
By adding O 2 , α increases, and V 1mA also tends to increase. FIG. 19-No. 2
7 is a graph showing the value of leakage current (IR) obtained in Sample No. 7 in relation to the amount of ZrO 2 added. As is apparent from this figure, a current leak by adding ZrO 2 is reduced, and a minimum value at 0.5 to 1.0 mol%. FIG. 19-No. 27 is a graph showing a voltage change of V 1 mA after applying a DC voltage load and a large current pulse by using 27 samples in relation to the amount of ZrO 2 added. When ZrO 2 is added, V DC is applied to both DC voltage application and large current pulse application.
It reveals that the 1mA voltage change is extremely small.
【0023】なおCoO、MnO、Cr2O3、Sb
2O3、ホウケイ酸鉛亜鉛ガラスおよびZrO2の組成範
囲をそれぞれ0.1〜10.0モル%、0.05〜1
0.0モル%、0.05〜6.0モル%、0.05〜
6.0モル%、重量比で0.5〜20.0%および0.
05〜5.0モル%に限定したのは、この範囲から外れ
た場合でも電圧非直線性を示すが、本発明の目的と合致
しなくなるためである。CoO, MnO, Cr 2 O 3 , Sb
The composition ranges of 2 O 3 , lead zinc borosilicate glass and ZrO 2 are 0.1 to 10.0 mol% and 0.05 to 1 mol%, respectively.
0.0 mol%, 0.05-6.0 mol%, 0.05-
6.0 mol%, 0.5 to 20.0% by weight and 0.
The reason why the content is limited to the range of 0.05 to 5.0 mol% is that even if the ratio is out of this range, the voltage non-linearity is exhibited, but this does not meet the purpose of the present invention.
【0024】すなわち、CoOの配合比が0.1モル%
未満ではαが20以下となり、電圧負荷、大電流パルス
によるV1mAの変化率が50%以上の変化となる。1
0.0モル%を超えると、もれ電流(IR)の値が20
μA以上となり、低電流の特性が悪くなる。MnOの場
合は、配合比が0.05モル%未満では実用性のある電
圧比直線性を示すが、もれ電流(IR)の値が20μA
以上で、電圧負荷、大電流パルスによるV1mAの変化率
が40%以上となり、10.0モル%を超えると、αは
実用性のある値を示すが、もれ電流(IR)の値が30
μA以上となり、低電流の特性が悪くなる。Cr2O3の
場合は、配合比が0.05モル%未満では電圧負荷、大
電流パルスによるV1mAの変化率が40%以上の変化率
になり、6.0モル%を超えると、もれ電流(IR)の
値が20μA以上あり、大電流パルスによるV1mAの変
化率が20%以上であり、改善効果が認められない。S
b2O3の場合は、配合比が0.05モル%未満では、電
圧負荷、大電流パルスによるV1mAの変化率が40%以
上となり、6.0モル%を超えると、大電流パルスによ
るV1mAの変化率が30%以上となる。また、1300
℃以上の高温においても焼結性が悪く、製造が困難とな
り、、実用性がない。ホウケイ酸鉛亜鉛ガラスの場合
は、重量比で0.5%未満では電圧負荷、大電流パルス
によるV1mAの変化率が42%〜85%となり、20%
を超えると、もれ電流(IR)の値が20μA以上とな
り、電圧負荷、大電流パルスによるV1mAの変化率がそ
れぞれ20%以上、70%以上となり、高電流領域の特
性が悪く信頼性がない。ZrO2の場合は、配合比が
0.05モル%未満では電圧負荷、大電流パルスによる
V1mAの変化率が70%で、5.0モル%を超えると、
もれ電流(IR)の値が70μA以上となり、また電圧
負荷、大電流パルスによるV1mAの変化率が30%以上
で、高電流特性が悪く信頼性がない。従って本発明の有
効な組成範囲は、CoO、MnO、Cr2O3、Sb
2O3、ホウケイ酸鉛亜鉛ガラスおよびZrO2の組成範
囲をそれぞれ0.1〜10.0モル%、0.05〜1
0.0モル%、0.05〜6.0モル%、0.05〜
6.0モル%、重量比で0.5〜20.0%および0.
05〜5.0モル%に限定される。That is, the mixing ratio of CoO is 0.1 mol%
If it is less than α, α becomes 20 or less, and the rate of change of V1mA due to the voltage load and the large current pulse changes by 50% or more. 1
If it exceeds 0.0 mol%, the value of the leakage current (IR) becomes 20
μA or more, and the characteristics of low current deteriorate. In the case of MnO, when the compounding ratio is less than 0.05 mol%, practical voltage ratio linearity is exhibited, but the leakage current (IR) value is 20 μA.
As described above, when the rate of change of V1mA due to the voltage load and the large current pulse becomes 40% or more and exceeds 10.0 mol%, α shows a practical value, but the value of the leakage current (IR) becomes 30
μA or more, and the characteristics of low current deteriorate. In the case of Cr 2 O 3 , if the blending ratio is less than 0.05 mol%, the rate of change of V 1 mA by a voltage load and a large current pulse becomes 40% or more, and if it exceeds 6.0 mol%, The current (IR) value was 20 μA or more, and the rate of change of V 1 mA by a large current pulse was 20% or more, and no improvement effect was observed. S
In the case of b 2 O 3 , if the compounding ratio is less than 0.05 mol%, the rate of change of V 1 mA by the voltage load and the large current pulse becomes 40% or more, and if it exceeds 6.0 mol%, the change by the large current pulse is caused. The rate of change of V1mA is 30% or more. Also, 1300
Even at a high temperature of not less than ℃, sinterability is poor, production becomes difficult, and there is no practicality. For lead borosilicate zinc glass, voltage load is less than 0.5% by weight, next to the rate of change of V 1mA by a large current pulse is 42% to 85%, 20%
, The leakage current (IR) value becomes 20 μA or more, and the rate of change of V 1 mA by the voltage load and the large current pulse becomes 20% or more and 70% or more, respectively. Absent. In the case of ZrO 2 , if the compounding ratio is less than 0.05 mol%, the rate of change of V 1 mA by a voltage load and a large current pulse is 70%, and if it exceeds 5.0 mol%,
The value of the leakage current (IR) becomes more 70Myuei, also voltage load, with the rate of change of V 1mA by a large current pulse of 30% or more, is bad unreliable high current characteristics. Therefore, the effective composition range of the present invention is CoO, MnO, Cr 2 O 3 , Sb.
The composition ranges of 2 O 3 , lead zinc borosilicate glass and ZrO 2 are 0.1 to 10.0 mol% and 0.05 to 1 mol%, respectively.
0.0 mol%, 0.05-6.0 mol%, 0.05-
6.0 mol%, 0.5 to 20.0% by weight and 0.
It is limited to 05-5.0 mol%.
【0025】実施例2 出発原料として、純度99.9%以上の酸化亜鉛(Zn
O),酸化コバルト(CoO),炭酸マンガン(MnC
O3),酸化クロム(Cr2O3),酸化アンチモン(S
b2O3),酸化ジルコニウム(ZrO2)およびホウケ
イ酸鉛亜鉛ガラスフリットの各粉末を用いた。これらの
粉末を所定量秤量し、純水を用いてボールミルで70時
間混合した。次いで混合液を濾過し、乾燥して得られた
混合粉をライカイ機により10分間粉砕し、600〜8
50℃の温度で2時間仮焼を行った。仮焼後、更に再度
粉砕し、有機バインダーとともに溶媒中に分散させスラ
リー状とする。これをドクターブレード法によって10
μm〜200μm程度の厚さの均一な生シートにする。
この生シートを100mm×70mmの大きさに打ち抜
き、この上にスクリーン印刷法によって、白金、パラジ
ウム、銀またはこれらの内の二つ以上からなる合金を内
部電極としてペースト状にして、所定の大きさにスクリ
ーン印刷する。内部電極を印刷した生シートを所定の枚
数重ね、更に電極を印刷していない生シートを上下に積
み重ね圧着する。その後カッターで所定の大きさに切断
し、1000℃〜1300℃で1時間焼成し、内部電極
を露出させた両端に銀電極を塗布し、600℃で焼き付
けた。α、V1mAおよびもれ電流等の特性は、直流電源
により電圧−電流特性を測定して算定した。バリスタ電
圧は、電流1mA印加の電圧とした。Example 2 As a starting material, zinc oxide (Zn) having a purity of 99.9% or more was used.
O), cobalt oxide (CoO), manganese carbonate (MnC)
O 3 ), chromium oxide (Cr 2 O 3 ), antimony oxide (S
b 2 O 3 ), zirconium oxide (ZrO 2 ), and lead zinc borosilicate glass frit were used. A predetermined amount of these powders was weighed and mixed with pure water in a ball mill for 70 hours. Next, the mixed liquid was filtered, and the mixed powder obtained by drying was pulverized for 10 minutes by a raikai machine,
Calcination was performed at a temperature of 50 ° C. for 2 hours. After calcination, the mixture is further pulverized again and dispersed in a solvent together with an organic binder to form a slurry. This is obtained by the doctor blade method.
A uniform raw sheet having a thickness of about μm to 200 μm is obtained.
This green sheet is punched into a size of 100 mm × 70 mm, and platinum, palladium, silver or an alloy composed of two or more of these is made into a paste as an internal electrode by a screen printing method. Screen print. A predetermined number of raw sheets on which internal electrodes are printed are stacked, and further, raw sheets on which no electrodes are printed are vertically stacked and pressed. Thereafter, it was cut into a predetermined size by a cutter, and baked at 1000 ° C. to 1300 ° C. for 1 hour. Silver electrodes were applied to both ends where the internal electrodes were exposed, and baked at 600 ° C. Characteristics such as α, V1 mA, and leakage current were calculated by measuring voltage-current characteristics using a DC power supply. The varistor voltage was a voltage applied with a current of 1 mA .
【0026】もれ電流(IR)の値は、V1mAの80%
の電圧における値として評価した。電流パルス特性は、
200A(電流波形8×20μsec)のパルスを1回
印加した後のV1mAを測定して変化率を算出し、これで
特性評価を行った。一定電圧負荷特性は、温度80℃の
恒温槽中でバリスタ電圧の80%の直流電圧を1000
時間印加した後のV1mAを測定して変化率を算出し、こ
れで特性評価を行った。用いたホウケイ酸鉛亜鉛ガラス
の組成比は表1の通りである。また表10〜表13に、
用いた粉末組成と、得られた焼結体の特性評価の結果を
示す。ここで表10から表13の結果は、内部電極を印
刷したシートの厚みが焼き上がりで50μmとなるよう
にし、1枚当たりの電極面積は1.5mm×2.5mm
の大きさで10層積層し、内部電極としてPtを用いた
ものを使用して得た。また、試料全体の外形は厚み1.
5mmで2.0mm×3.0mmの大きさとしたもので
ある。表中、*印を付したものは本発明の範囲に含まれ
ないものである。The value of the leakage current (IR) is 80% of V 1 mA .
Was evaluated as the value at the voltage. The current pulse characteristics are
After applying a pulse of 200 A (current waveform 8 × 20 μsec) once, V 1 mA was measured to calculate the rate of change, and the characteristics were evaluated using this. The constant voltage load characteristic is such that a DC voltage of 80% of the varistor voltage is set to 1000 in a constant temperature bath at a temperature of 80 ° C.
The rate of change was calculated by measuring V1mA after the voltage was applied for a period of time, and the characteristics were evaluated using this. Table 1 shows the composition ratio of the lead zinc borosilicate glass used. Also, in Tables 10 to 13,
The powder composition used and the results of property evaluation of the obtained sintered body are shown. Here, the results in Tables 10 to 13 are such that the thickness of the sheet on which the internal electrodes are printed is 50 μm after baking, and the electrode area per sheet is 1.5 mm × 2.5 mm.
And 10 layers were laminated and Pt was used as an internal electrode. The outer shape of the entire sample has a thickness of 1.
5 mm and a size of 2.0 mm × 3.0 mm. In the table, those marked with * are not included in the scope of the present invention.
【0027】[0027]
【表10】 [Table 10]
【0028】[0028]
【表11】 [Table 11]
【0029】[0029]
【表12】 [Table 12]
【0030】[0030]
【表13】 [Table 13]
【0031】図5は、表10,11のNo.14の試料
を用いて広範囲の電流電圧特性を測定した結果を示す。
広い電流領域にわたって優れた特性を示していることが
明らかであり、特に低電流領域での特性が優れており、
もれ電流がいかに少ないかを明らかにするものである。
図6は、表10,11のNo.10〜No.18の試料
で得られたα,V1mAの値をZrO2の添加量との関係に
おいて示したグラフである。この図から明らかなよう
に、電極間が50μm程度の厚みでもαは30以上あ
り、優れた特性を示し、ZrO2を添加することによっ
てαは増大する。また、V1mAは約10〜20Vという
低電圧が得られる。図7は、表10,11のNo.10
〜No.18の試料で得られたもれ電流(IR)の値を
ZrO2の添加量との関係において、示したグラフであ
る。この図から明らかなように、ZrO2を添加するこ
とによってもれ電流は減少し、0.5〜1.0モル%で
極小値になる。図8は、表10〜表13のNo.19〜
No.27の試料による直流電圧負荷および200Aの
電流パルス印加後におけるV1mAの電圧変化をZrO2の
添加量との関係において示したグラフである。ZrO2
が添加されると、直流電圧印加、200Aの電流パルス
印加のいずれに対してもV1mAの電圧変化は極めて小さ
いことを明らかにしている。FIG. The results of measuring the current-voltage characteristics over a wide range using 14 samples are shown.
It is clear that it shows excellent characteristics over a wide current range, especially in the low current range,
It reveals how little leakage current is.
FIG. 10-No. 18 obtained in a sample of alpha, is a graph showing the value of V 1mA in relation to the amount of ZrO 2. As is clear from this figure, even when the thickness between the electrodes is about 50 μm, α is 30 or more, showing excellent characteristics, and α is increased by adding ZrO 2 . Further, a low voltage of about 10 to 20 V can be obtained for V 1 mA . FIG. 10
-No. 18 samples obtained in leakage current of the value of (IR) in relation to the amount of ZrO 2, is a graph showing. As is apparent from this figure, a current leak by adding ZrO 2 is reduced, and a minimum value at 0.5 to 1.0 mol%. FIG. 19 ~
No. 27 is a graph showing a voltage change of V 1 mA after applying a DC voltage load and a current pulse of 200 A with respect to 27 samples in relation to the amount of ZrO 2 added. ZrO 2
It has been clarified that the voltage change of V1mA is extremely small both when a DC voltage is applied and when a 200 A current pulse is applied.
【0032】実施例3 出発原料として、純度99.9%以上の酸化亜鉛(Zn
O),酸化コバルト(CoO),炭酸マンガン(MnC
O3),酸化クロム(Cr2O3),酸化アンチモン(S
b2O3),酸化ジルコニウム(ZrO2)およびホウケ
イ酸亜鉛ガラスフリットの各粉末を用いた。これらの粉
末を所定量秤量し、純水を用いてボールミルで70時間
混合した。次いで混合液を濾過し、乾燥して得られた混
合粉をライカイ機により10分間粉砕し、600℃の温
度で2時間の熱処理を行った。熱処理後、ボールミルに
て粉砕し、この粉末に少量のバインダ(PVA2.5%
水溶液)を加え、ライカイ機により混ぜ合わせた後、ふ
るいを用いて整粒粉末を作成し、直径12mm、高さ1
5mmの円柱にプレス成型した。焼成は1100℃〜1
300℃の温度で1.5時間行った。Example 3 As a starting material, zinc oxide (Zn) having a purity of 99.9% or more was used.
O), cobalt oxide (CoO), manganese carbonate (MnC)
O 3 ), chromium oxide (Cr 2 O 3 ), antimony oxide (S
b 2 O 3 ), zirconium oxide (ZrO 2 ) and zinc borosilicate glass frit were used. A predetermined amount of these powders was weighed and mixed with pure water in a ball mill for 70 hours. Next, the mixed solution was filtered, and the mixed powder obtained by drying was pulverized with a raikai machine for 10 minutes, and heat-treated at a temperature of 600 ° C. for 2 hours. After heat treatment, the mixture is pulverized with a ball mill, and a small amount of binder (PVA2.5%
Aqueous solution), mixed with a raikai machine, and then sieved to prepare a sized powder, having a diameter of 12 mm and a height of 1 mm.
It was press-molded into a 5 mm cylinder. Firing at 1100 ° C-1
Performed at a temperature of 300 ° C. for 1.5 hours.
【0033】得られた焼結体を厚さ1mmに切断、研磨
し、直径8mmの銀電極を焼付けた。α,V1mA,もれ
電流等の特性は、直流電源により電圧−電流特性を測定
して算定した。バリスタ電圧は、電流1mA印加で厚さ1
mm当たりの電圧とした。もれ電流(IR)の値は、V
1mAの80%の電圧における値として評価した。大電流
パルス特性は、3000A(電流波形8×20μse
c)のパルスを1回印加した後のV1mAを測定して変化
率を算出し、これで特性評価を行った。一定電圧負荷特
性は、温度80℃の恒温槽中でバリスタ電圧の80%の
直流電圧を1000時間印加した後のV1mAを測定して
変化率を算出し、これで特性評価を行った。表14は、
用いたホウケイ酸亜鉛ガラスの組成比を示す。また、表
15〜表22に、用いた粉末組成と、得られた焼結体の
特性評価の結果を示す。表中、*印を付したものは、本
発明の範囲に含まれないものである。The obtained sintered body was cut and polished to a thickness of 1 mm, and a silver electrode having a diameter of 8 mm was baked. Characteristics such as α, V 1mA , leakage current, etc. were calculated by measuring voltage-current characteristics with a DC power supply. Varistor voltage, the thickness at the current 1 mA is applied of 1
The voltage per mm was used. The value of the leakage current (IR) is V
It was evaluated as a value at a voltage of 80% of 1 mA . The large current pulse characteristic is 3000 A (current waveform 8 × 20 μs
The rate of change was calculated by measuring V1mA after applying the pulse c) once, and the characteristics were evaluated. The constant voltage load characteristic was measured by measuring V1mA after applying a DC voltage of 80% of the varistor voltage for 1000 hours in a constant temperature bath at a temperature of 80 ° C., and calculating the rate of change. Table 14 shows
The composition ratio of the used zinc borosilicate glass is shown. Tables 15 to 22 show the powder compositions used and the results of the property evaluation of the obtained sintered bodies. In the table, those marked with * are not included in the scope of the present invention.
【0034】[0034]
【表14】 [Table 14]
【0035】[0035]
【表15】 [Table 15]
【0036】[0036]
【表16】 [Table 16]
【0037】[0037]
【表17】 [Table 17]
【0038】[0038]
【表18】 [Table 18]
【0039】[0039]
【表19】 [Table 19]
【0040】[0040]
【表20】 [Table 20]
【0041】[0041]
【表21】 [Table 21]
【0042】[0042]
【表22】 [Table 22]
【0043】図10は、表17、18のNo.23の試
料を用いて広範囲の電流電圧特性を測定した結果を示
す。広い電流領域にわたって優れた特性を示しているこ
とが明らかであり、特に低電流領域での特性が優れてお
り、もれ電流がいかに少ないかを明らかにするものであ
る。図11は、表15〜表18のNo.19〜No.2
7の試料で得られたα,V1mAの値をZrO2の添加量と
の関係において示したグラフである。この図から明らか
なように、ZrO2を添加することによってαは増大
し、1.0モル%で極大値になり、V1mAは増加傾向を
示す。図12は、表15〜表18のNo.19〜No.
27の試料で得られたもれ電流(IR)の値をZrO2
の添加量との関係において示したグラフである。この図
から明らかなように、ZrO2を添加することによって
もれ電流は減少し、1.0モル%で極小値になる。図1
3は、表15〜表18のNo.19〜No.27の試料
による直流電圧負荷および大電流パルス印加後における
V1mAの電圧変化をZrO2の添加量との関係において示
したグラフである。ZrO2が添加されると直流電圧印
加、大電流パルス印加のいずれに対しても、V1mAの電
圧変化は極めて小さいことを明らかにしている。FIG. The results of measuring the current-voltage characteristics over a wide range using 23 samples are shown. It is evident that it shows excellent characteristics over a wide current range, especially in the low current range, and reveals how little leakage current. FIG. 19-No. 2
7 is a graph showing the values of α and V 1 mA obtained in Sample No. 7 in relation to the amount of ZrO 2 added. As is clear from this figure, the addition of ZrO 2 increases α, reaches a maximum value at 1.0 mol%, and shows an increasing tendency of V 1 mA . FIG. 19-No.
The value of the leakage current (IR) obtained from the sample No. 27 was calculated as ZrO 2
4 is a graph shown in relation to the amount of addition of the present invention. As is clear from this figure, the leakage current is reduced by adding ZrO 2 , and reaches a minimum value at 1.0 mol%. FIG.
No. 3 is No. 15 in Tables 15 to 18. 19-No. 27 is a graph showing a voltage change of V 1 mA after applying a DC voltage load and a large current pulse with respect to 27 samples in relation to the addition amount of ZrO 2 . It is clear that when ZrO 2 is added, the voltage change of V 1 mA is extremely small both when applying a DC voltage and when applying a large current pulse.
【0044】なお、CoO,MnO,Cr2O3,Sb2
O3,ホウケイ酸亜鉛ガラスおよびZrO2の組成範囲を
それぞれ0.1〜10.0モル%、0.05〜10.0
モル%、0.05〜6.0モル%、0.05〜6.0モ
ル%、重量比で0.5〜20.0%および0.05〜
5.0モル%に限定したのは、この範囲から外れた場合
でも電圧非直線性を示すが、本発明の目的と合致しなく
なるためである。Incidentally, CoO, MnO, Cr 2 O 3 , Sb 2
The composition ranges of O 3 , zinc borosilicate glass and ZrO 2 are 0.1 to 10.0 mol% and 0.05 to 10.0 mol%, respectively.
Mol%, 0.05 to 6.0 mol%, 0.05 to 6.0 mol%, 0.5 to 20.0% and 0.05 to
The reason why the content is limited to 5.0 mol% is that even if the ratio is out of this range, the voltage non-linearity is exhibited, but this does not meet the purpose of the present invention.
【0045】すなわち、CoOの配合比が0.1モル%
未満ではαが20以下となり、電圧負荷、大電流パルス
によるV1mAの変化率が50%以上の変化となる。1
0.0モル%を超えると、もれ電流(IR)の値が50
μA以上となり、低電流の特性が悪くなる。MnOの場
合は、配合比が0.05モル%未満では実用性のある電
圧非直線性を示すが、もれ電流(IR)の値が30μA
以上で、電圧負荷、大電流パルスによるV1mAの変化率
が40%以上となり、10.0モル%を超えると、αは
実用性のある値を示すが、もれ電流(IR)の値が40
μA以上となり、低電流の特性が悪くなる。Cr2O3の
場合は、配合比が0.05モル%未満では電圧負荷、大
電流パルスによるV1mAの変化率が40%以上の変化率
になり、6.0モル%を超えると、もれ電流(IR)の
値が30μA以上であり、大電流パルスによるV1mAの
変化率が20%以上であり、改善効果が認められない。
Sb2O3の場合は、配合比が0.05モル%未満では、
電圧負荷、大電流パルスによるV1mAの変化率が50%
以上となり、6.0モル%を超えると、大電流パルスに
よるV1mAの変化率が30%以上となる。また、130
0℃以上の高温においても焼結性が悪く、製造が困難と
なり、実用性がない。ホウケイ酸亜鉛ガラスの場合は、
重量比で0.5%未満では電圧負荷、大電流パルスによ
るV1mAの変化率が52%〜84%となり、20%を超
えると、もれ電流(IR)の値が200μA以上とな
り、低電流の特性が悪くなる。また、大電流パルスによ
るV1mAの変化率がそれぞれ20%以上、70%以上と
なり、高電流領域の特性が悪く信頼性がない。ZrO2
の場合は、配合比が0.05モル%未満では電圧負荷、
大電流パルスによるV1mAの変化率が50%で、5.0
モル%を超えると、もれ電流(IR)の値が60μA以
上となり、また電圧負荷、大電流パルスによるV1mAの
変化率が40%以上で、高電流特性が悪く信頼性がな
い。従って本発明の有効な組成範囲は、CoO,Mn
O,Cr2O3,Sb2O3,ホウケイ酸亜鉛ガラスおよび
ZrO2の組成範囲をそれぞれ、0.1〜10モル%、
0.05〜10.0モル%、0.05〜6.0モル%、
0.05〜6.0モル%、重量比で0.5〜20.0%
および0.05モル%〜5.0モル%に限定される。That is, the mixing ratio of CoO is 0.1 mol%
If it is less than α, α becomes 20 or less, and the rate of change of V1mA due to the voltage load and the large current pulse changes by 50% or more. 1
If it exceeds 0.0 mol%, the value of the leakage current (IR) becomes 50%.
μA or more, and the characteristics of low current deteriorate. In the case of MnO, if the compounding ratio is less than 0.05 mol%, practical voltage nonlinearity is exhibited, but the leakage current (IR) value is 30 μA.
As described above, when the rate of change of V1mA due to the voltage load and the large current pulse becomes 40% or more and exceeds 10.0 mol%, α shows a practical value, but the value of the leakage current (IR) becomes 40
μA or more, and the characteristics of low current deteriorate. In the case of Cr 2 O 3 , if the blending ratio is less than 0.05 mol%, the rate of change of V 1 mA by a voltage load and a large current pulse becomes 40% or more, and if it exceeds 6.0 mol%, The current (IR) value is 30 μA or more, the change rate of V 1 mA by a large current pulse is 20% or more, and no improvement effect is observed.
In the case of Sb 2 O 3 , if the compounding ratio is less than 0.05 mol%,
50% change rate of V1mA due to voltage load and large current pulse
When the molar ratio exceeds 6.0 mol%, the rate of change of V1mA by a large current pulse becomes 30% or more. Also, 130
Even at a high temperature of 0 ° C. or higher, the sinterability is poor, the production becomes difficult, and there is no practicality. For zinc borosilicate glass,
Voltage load is less than 0.5% by weight, next to the rate of change of V 1mA by a large current pulse is 52% to 84%, more than 20%, the value of the leakage current (IR) becomes more 200 .mu.A, low current Characteristics are worsened. In addition, the rate of change of V1mA due to the large current pulse is 20% or more and 70% or more, respectively, and the characteristics in the high current region are poor and unreliable. ZrO 2
In the case of, when the compounding ratio is less than 0.05 mol%, the voltage load,
50% change rate of V1mA due to large current pulse and 5.0
If it exceeds mol%, the value of the leakage current (IR) becomes 60 μA or more, and the rate of change of V 1 mA by a voltage load or a large current pulse is 40% or more, and the high current characteristics are poor and unreliable. Therefore, the effective composition range of the present invention is CoO, Mn.
The composition ranges of O, Cr 2 O 3 , Sb 2 O 3 , zinc borosilicate glass and ZrO 2 are each 0.1 to 10 mol%,
0.05 to 10.0 mol%, 0.05 to 6.0 mol%,
0.05-6.0 mol%, 0.5-20.0% by weight
And 0.05 mol% to 5.0 mol%.
【0046】実施例4 出発原料として、純度99.9%以上の酸化亜鉛(Zn
O),酸化コバルト(CoO),炭酸マンガン(MnC
O3),酸化クロム(Cr2O3),酸化アンチモン(S
b2O3),酸化ジルコニウム(ZrO2)およびホウケ
イ酸亜鉛ガラスフリットの各粉末を用いた。これらの粉
末を所定量秤量し、純水を用いてボールミルで70時間
混合した。次いで混合液を濾過し、乾燥して得られた混
合粉をライカイ機により10分間粉砕し、600〜85
0℃の温度で2時間仮焼を行った。仮焼後更に再度粉砕
し、有機バインダーとともに溶媒中に分散させスラリー
状とする。これをドクターブレード法によって10μm
〜200μm程度の厚さの均一な生シートにする。この
生シートを100mm×70mmの大きさに打ち抜き、
この上にスクリーン印刷法によって、白金、パラジウ
ム、銀またはこれらの内の二つ以上からなる合金を内部
電極としてペースト状にして、所定の大きさにスクリー
ン印刷する。内部電極を印刷した生シートを所定の枚数
重ね、更に電極を印刷していない生シートを上下に積み
重ね圧着する。その後カッターで所定の大きさに切断
し、1000℃〜1300℃で1時間焼成し、内部電極
を露出させた両端に銀電極を塗布し、600℃で焼き付
けた。α,V1mAおよびもれ電流等の特性は、直流電源
により電圧−電流特性を測定して算定した。バリスタ電
圧は、電流1mA印加の電圧とした。もれ電流(IR)の
値はV1mAの80%の電圧における値として評価した。
電流パルス特性は、200A(電流波形8×20μse
c)のパルスを1回印加した後のV1mAを測定して変化
率を算出し、これで特性評価を行った。一定電圧負荷特
性は、温度80℃の恒温槽中でバリスタ電圧の80%の
直流電圧を1000時間印加した後のV1mAを測定して
変化率を算出し、これで特性評価を行った。用いたホウ
ケイ酸亜鉛ガラスの組成比は表14の通りである。ま
た、表23〜表26に、用いた粉末組成と得られた焼結
体の特性評価の結果を示す。ここで表23から表26の
結果は、内部電極を印刷したシートの厚みが焼き上がり
で50μmとなるようにし、1枚当たりの電極面積は
1.5mm×2.5mmの大きさで10層積層し、内部
電極としてPtを用いたものを使用して得た。また、試
料全体の外形は厚み1.5mmで、2.0mm×3.0
mmの大きさとしたものである。表中、*印を付したも
のは本発明の範囲に含まれないものである。Example 4 As a starting material, zinc oxide (Zn) having a purity of 99.9% or more was used.
O), cobalt oxide (CoO), manganese carbonate (MnC)
O 3 ), chromium oxide (Cr 2 O 3 ), antimony oxide (S
b 2 O 3 ), zirconium oxide (ZrO 2 ) and zinc borosilicate glass frit were used. A predetermined amount of these powders was weighed and mixed with pure water in a ball mill for 70 hours. Next, the mixed liquid was filtered, and the mixed powder obtained by drying was pulverized for 10 minutes by a raikai machine,
Calcination was performed at a temperature of 0 ° C. for 2 hours. After calcination, the mixture is further pulverized again and dispersed in a solvent together with an organic binder to form a slurry. This is 10 μm by the doctor blade method.
A uniform raw sheet having a thickness of about 200 μm is formed. This raw sheet is punched into a size of 100 mm x 70 mm,
Platinum, palladium, silver or an alloy composed of two or more of them is formed into a paste as an internal electrode thereon by screen printing, and is screen-printed to a predetermined size. A predetermined number of raw sheets on which internal electrodes are printed are stacked, and further, raw sheets on which no electrodes are printed are vertically stacked and pressed. Thereafter, it was cut into a predetermined size by a cutter, and baked at 1000 ° C. to 1300 ° C. for 1 hour. Silver electrodes were applied to both ends where the internal electrodes were exposed, and baked at 600 ° C. Characteristics such as α, V 1 mA and leakage current were calculated by measuring voltage-current characteristics using a DC power supply. The varistor voltage was a voltage applied with a current of 1 mA . The value of the leakage current (IR) was evaluated as a value at a voltage of 80% of V1mA .
The current pulse characteristic is 200 A (current waveform 8 × 20 μs
The rate of change was calculated by measuring V1mA after applying the pulse c) once, and the characteristics were evaluated. The constant voltage load characteristic was measured by measuring V1mA after applying a DC voltage of 80% of the varistor voltage for 1000 hours in a constant temperature bath at a temperature of 80 ° C., and calculating the rate of change. Table 14 shows the composition ratio of the used zinc borosilicate glass. Tables 23 to 26 show the powder compositions used and the results of the property evaluation of the obtained sintered bodies. Here, the results in Tables 23 to 26 show that the thickness of the sheet on which the internal electrodes were printed was 50 μm after baking, and the electrode area per sheet was 1.5 mm × 2.5 mm and 10 layers were laminated. Then, an electrode using Pt as an internal electrode was obtained. The outer shape of the entire sample is 1.5 mm thick and 2.0 mm × 3.0.
mm. In the table, those marked with * are not included in the scope of the present invention.
【0047】[0047]
【表23】 [Table 23]
【0048】[0048]
【表24】 [Table 24]
【0049】[0049]
【表25】 [Table 25]
【0050】[0050]
【表26】 [Table 26]
【0051】図14は、表23のNo.14の試料を用
いて広範囲の電流電圧特性を測定した結果を示す。広い
電流領域にわたって優れた特性を示していることが明ら
かであり、特に低電流領域での特性が優れており、もれ
電流がいかに少ないかを明らかにするものである。図1
5は、表23のNo.10〜No.18の試料で得られ
たα,V1mAの値をZrO2の添加量との関係において示
したグラフである。この図から明らかなように、電極間
が50μm程度の厚みでもαは30以上あり、優れた特
性を示し、ZrO2を添加することによってαは増大す
る。また、V1mAは約25〜40Vという値が得られ
る。図16は、表23のNo.10〜No.18の試料
で得られたもれ電流(IR)の値をZrO2の添加量と
の関係において示したグラフである。この図から明らか
なように、ZrO2を添加することによってもれ電流は
減少し、0.5モル%〜1.0モル%で極小値になる。
図17は、表23〜表26のNo.19〜No.27の
試料による直流電圧負荷および200Aの電流パルス印
加後におけるV1mAの電圧変化をZrO2の添加量との関
係において示したグラフである。ZrO2が添加される
と、直流電圧印加、200Aの電流パルスの印加のいず
れに対してもV1mAの電圧変化は極めて小さいことを明
らかにしている。FIG. The results of measuring the current-voltage characteristics over a wide range using 14 samples are shown. It is evident that it shows excellent characteristics over a wide current range, especially in the low current range, and reveals how little leakage current. FIG.
No. 5 in Table 23 is No. 10-No. 18 obtained in a sample of alpha, is a graph showing the value of V 1mA in relation to the amount of ZrO 2. As is clear from this figure, even when the thickness between the electrodes is about 50 μm, α is 30 or more, showing excellent characteristics, and α is increased by adding ZrO 2 . Further, V 1 mA a value of about 25~40V is obtained. FIG. 10-No. 18 samples obtained in leakage current of the value of (IR) is a graph showing the relationship between the addition amount of ZrO 2. As is clear from this figure, the leakage current is reduced by adding ZrO 2, and reaches a minimum value at 0.5 mol% to 1.0 mol%.
FIG. 19-No. 27 is a graph showing a voltage change of V 1 mA after applying a DC voltage load and a current pulse of 200 A with respect to 27 samples in relation to the amount of ZrO 2 added. It is clear that when ZrO 2 is added, the voltage change of V 1 mA is extremely small both when a DC voltage is applied and when a current pulse of 200 A is applied.
【0052】[0052]
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
による電圧非直線抵抗体は、電圧非直線係数αが大き
く、もれ電流も小さく、かつ電圧負荷、大電流パルス印
加に対してV1mAの変化が小さく非常に安定した特性が
得られる。また、このように優れた特性が得られたの
は、粒界層として、ジルコニウム、ホウケイ酸(鉛)亜
鉛ガラスおよび他の副成分がZnO結晶粒のまわりに介
在しているためであり、この構造がバリスタとしての特
性を優れたものにしている。また、本発明の電圧非直線
抵抗体は、焼成温度1000℃〜1300℃において、
厚み1mm当りのV1mAの値が、ホウケイ酸鉛亜鉛ガラ
スを用いた場合は250V以上、ホウケイ酸亜鉛ガラス
を用いた場合は400V以上の単板型のバリスタに適し
ている。さらに、本発明による積層型電圧非直線抵抗体
は、電極間の厚みを0.3mm以下、例えば10μmな
いしは20μmにすることが容易であり、また電圧非直
線係数αが大きく、もれ電流も小さく、電圧負荷、電流
パルス印加に対してV1mAの変化が小さく非常に安定し
た特性が得られることが特徴である。この積層型電圧非
直線抵抗体においては、ホウケイ酸鉛亜鉛ガラスを用い
た時はV1mAの低いバリスタが得られ、ホウケイ酸亜鉛
ガラスを用いた時はV1mAの高いバリスタが得られる。
このような特徴を有する本発明の電圧非直線抵抗体は、
過電圧保護素子、スイッチの開閉時に発生する大電流パ
ルスを吸収するサージ吸収素子、ICやLSIなど低電
圧のサージ吸収素子等に優れたZnOバリスタとして、
通信機器など幅広い用途が期待できるものである。As is apparent from the above description, the voltage non-linear resistor according to the present invention has a large voltage non-linear coefficient α, a small leakage current, and has a low V.sub.V with respect to a voltage load and a large current pulse application. Very stable characteristics with a small change of 1 mA can be obtained. Further, such excellent characteristics were obtained because zirconium, zinc borosilicate (lead) zinc glass and other subcomponents were interposed around the ZnO crystal grains as a grain boundary layer. The structure makes the characteristics as a varistor excellent. In addition, the voltage non-linear resistor of the present invention has a firing temperature of 1000 ° C. to 1300 ° C.
It is suitable for a single-plate type varistor having a value of V1mA per 1 mm of thickness of 250 V or more when lead zinc borosilicate glass is used and 400 V or more when zinc borosilicate glass is used. Further, the laminated voltage non-linear resistor according to the present invention can easily make the thickness between the electrodes 0.3 mm or less, for example, 10 μm or 20 μm, and has a large voltage non-linear coefficient α and a small leakage current. It is characterized in that the change of V1mA with respect to voltage load and application of current pulse is small and very stable characteristics can be obtained. In this laminated voltage non-linear resistor, a varistor with a low V 1 mA is obtained when lead zinc borosilicate glass is used, and a varistor with a high V 1 mA is obtained when zinc borosilicate glass is used.
The voltage non-linear resistor of the present invention having such features is:
As a ZnO varistor excellent for overvoltage protection element, surge absorption element that absorbs large current pulse generated when opening and closing a switch, low voltage surge absorption element such as IC and LSI, etc.
It can be expected to be used in a wide range of applications such as communication equipment.
【図1】本発明の実施例1における電圧電流特性の関係
を示した図である。FIG. 1 is a diagram showing a relationship between voltage and current characteristics in Example 1 of the present invention.
【図2】本発明の実施例1における電圧非直線係数α、
V1mAとZrO2の添加量の関係を示したものである。FIG. 2 shows a voltage nonlinear coefficient α according to the first embodiment of the present invention;
5 shows the relationship between V 1 mA and the amount of ZrO 2 added.
【図3】本発明の実施例1におけるもれ電流(IR)と
ZrO2の添加量との関係を示したものである。FIG. 3 shows the relationship between leakage current (IR) and the amount of ZrO 2 added in Example 1 of the present invention.
【図4】本発明の実施例1における直流電圧負荷および
大電流パルス印加後のV1mAの電圧変化とZrO2の添加
量との関係を示した図である。FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a voltage change of V 1 mA after application of a DC voltage load and a large current pulse and an addition amount of ZrO 2 in Example 1 of the present invention.
【図5】本発明の実施例2における電圧電流特性の関係
を示した図である。FIG. 5 is a diagram showing a relationship between voltage and current characteristics in Embodiment 2 of the present invention.
【図6】本発明の実施例2における電圧非直線係数α、
V1mAとZrO2の添加量の関係を示した図である。FIG. 6 shows a voltage nonlinear coefficient α according to a second embodiment of the present invention;
FIG. 3 is a diagram showing a relationship between V 1 mA and the amount of ZrO 2 added.
【図7】本発明の実施例2におけるもれ電流(IR)と
ZrO2の添加量の関係を示した図である。FIG. 7 is a diagram showing the relationship between leakage current (IR) and the amount of ZrO 2 added in Example 2 of the present invention.
【図8】本発明の実施例2における直流電圧負荷および
200A電流パルス印加後の電圧変化とZrO2の添加
量の関係を示した図である。FIG. 8 is a diagram showing a relationship between a DC voltage load and a voltage change after application of a 200 A current pulse and an addition amount of ZrO 2 in Example 2 of the present invention.
【図9】本発明による積層型電圧非直線抵抗体の斜視図
および断面図である。FIG. 9 is a perspective view and a cross-sectional view of a multilayer voltage nonlinear resistor according to the present invention.
【図10】本発明の実施例3における電圧電流特性の関
係を示した図である。FIG. 10 is a diagram showing a relationship between voltage and current characteristics in Embodiment 3 of the present invention.
【図11】本発明の実施例3における電圧非直線係数
α、V1mAとZrO2の添加量の関係を示した図である。FIG. 11 is a diagram showing the relationship between the voltage nonlinear coefficient α, V 1 mA and the addition amount of ZrO 2 in Example 3 of the present invention.
【図12】本発明の実施例3におけるもれ電流(IR)
とZrO2の添加量の関係を示した図である。FIG. 12 shows leakage current (IR) in Embodiment 3 of the present invention.
FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the amount of ZrO 2 and the amount of ZrO 2 added.
【図13】本発明の実施例3における直流電圧負荷およ
び大電流パルス印加後のV1mAの電圧変化とZrO2の添
加量の関係を示した図である。FIG. 13 is a diagram showing a relationship between a change in voltage of V1 mA after application of a DC voltage load and a large current pulse and an addition amount of ZrO 2 in Example 3 of the present invention.
【図14】本発明の実施例4における電圧電流特性の関
係を示した図である。FIG. 14 is a diagram showing a relationship between voltage and current characteristics in Example 4 of the present invention.
【図15】本発明の実施例4における電圧非直線係数
α、V1mAとZrO2の添加量の関係を示した図である。FIG. 15 is a diagram showing the relationship between the voltage nonlinear coefficient α, V 1 mA and the addition amount of ZrO 2 in Example 4 of the present invention.
【図16】本発明の実施例4におけるもれ電流(IR)
とZrO2の添加量の関係を示した図である。FIG. 16 shows leakage current (IR) in Example 4 of the present invention.
FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the amount of ZrO 2 and the amount of ZrO 2 added.
【図17】本発明の実施例4における直流電圧負荷およ
び200A電流パルス印加後のV1mAの電圧変化とZr
O2の添加量の関係を示した図である。FIG. 17 shows a change in voltage of V 1 mA and Zr after application of a DC voltage load and a 200 A current pulse in Example 4 of the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the amounts of O 2 added.
1 焼結体 2,3 内部電極 4,5 外部取り出し電極 1 Sintered body 2, 3 Internal electrode 4, 5 External extraction electrode
Claims (3)
バルト,マンガン,クロムおよびアンチモンを、これら
の酸化物、CoO,MnO,Cr2O3およびSb2O3に
換算してそれぞれ0.1〜10.0モル%、0.05〜
10.0モル%、0.05〜6.0モル%および0.0
5〜6.0モル%と、ホウケイ酸鉛亜鉛ガラスを重量比
で0.50〜20.0%とを配合した原料に対し、酸化
ジルコニウム(ZrO2)を0.05〜5.0モル%添
加配合して得られる焼結体からなることを特徴とする電
圧非直線抵抗体。[Claim 1] as a main component zinc oxide, cobalt as an auxiliary component, manganese, chromium and antimony, these oxides, CoO, MnO, respectively in terms of Cr 2 O 3 and Sb 2 O 3 0.1 ~ 10.0 mol%, 0.05 ~
10.0 mol%, 0.05-6.0 mol% and 0.0
Zirconium oxide (ZrO 2 ) is added in an amount of 0.05 to 5.0 mol% with respect to a raw material in which 5 to 6.0 mol% and a lead zinc borosilicate glass are mixed in a weight ratio of 0.50 to 20.0%. A non-linear voltage resistor comprising a sintered body obtained by addition and blending.
バルト,マンガン,クロムおよびアンチモンを、これら
の酸化物、CoO,MnO,Cr2O3およびSb2O3に
換算してそれぞれ0.1〜10.0モル%、0.05〜
10.0モル%、0.05〜6.0モル%および0.0
5〜6.0モル%と、ホウケイ酸亜鉛ガラスを重量比で
0.50〜20.0%とを配合した原料に対し、酸化ジ
ルコニウム(ZrO2)を0.05〜5.0モル%添加
配合して得られる焼結体からなることを特徴とする電圧
非直線抵抗体。2. Cobalt, manganese, chromium and antimony as main components, and cobalt, manganese, chromium and antimony as sub-components, each of which is 0.10 in terms of these oxides, CoO, MnO, Cr 2 O 3 and Sb 2 O 3. ~ 10.0 mol%, 0.05 ~
10.0 mol%, 0.05-6.0 mol% and 0.0
0.05 to 5.0 mol% of zirconium oxide (ZrO 2 ) is added to a raw material in which 5 to 6.0 mol% and zinc borosilicate glass are mixed in a weight ratio of 0.50 to 20.0%. A voltage non-linear resistor comprising a sintered body obtained by blending.
され、該内部電極の外部への取り出し部分が積層体の相
対向する二側面に交互に露出した構造を有する請求項1
または2に記載の積層型電圧非直線抵抗体。3. A structure in which a plurality of internal electrodes and a sintered body are alternately laminated, and a portion of the internal electrodes to be taken out to the outside is alternately exposed on two opposing side surfaces of the laminated body.
Or the laminated voltage non-linear resistor according to item 2.
Priority Applications (1)
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JPH05347204A JPH05347204A (en) | 1993-12-27 |
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