JP2818722B2 - 搬送装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウエハ、磁気ディ
スク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造
等の工程で半導体ウエハ等を収納するカセット等のワー
ク（本明細書において、単に「ワーク」という場合があ
る。）をクリーンな環境の下で搬送するのに適した搬送
装置に関するものである。
スク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造
等の工程で半導体ウエハ等を収納するカセット等のワー
ク（本明細書において、単に「ワーク」という場合があ
る。）をクリーンな環境の下で搬送するのに適した搬送
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、半導体工場において使用
されている半導体ウエハ搬送装置は、走行体と該走行体
に連設されたアーム部と半導体ウエハを収納したカセッ
トを把持するチャック部からなり、複数の工程の各製造
装置に設けられた受渡口において半導体ウエハを収納し
たカセットを把持及び開放する機能と、受渡口から半導
体ウエハを収納したカセットを他の工程の製造装置等の
所定位置まで搬送する機能を有している。また、半導体
ウエハ搬送装置が走行するいわゆるクリーンルームは、
一般的には、天井から清浄空気が噴出、流下し、床下か
ら排気されるようになっているため、発塵した微細粒子
は、この気流によって速やかに排出されるようになって
いる。しかしながら、前記半導体ウエハ搬送装置の走行
中において、半導体ウエハ搬送装置自体が複雑な形状を
していたり、高速で走行すると、半導体ウエハ搬送装置
の走行動作により、清浄空気の流れに乱流を発生させる
こととなり、この乱流によって、半導体ウエハ表面のほ
か、走行路付近の設備の表面に塵埃が付着する不都合が
あった。
されている半導体ウエハ搬送装置は、走行体と該走行体
に連設されたアーム部と半導体ウエハを収納したカセッ
トを把持するチャック部からなり、複数の工程の各製造
装置に設けられた受渡口において半導体ウエハを収納し
たカセットを把持及び開放する機能と、受渡口から半導
体ウエハを収納したカセットを他の工程の製造装置等の
所定位置まで搬送する機能を有している。また、半導体
ウエハ搬送装置が走行するいわゆるクリーンルームは、
一般的には、天井から清浄空気が噴出、流下し、床下か
ら排気されるようになっているため、発塵した微細粒子
は、この気流によって速やかに排出されるようになって
いる。しかしながら、前記半導体ウエハ搬送装置の走行
中において、半導体ウエハ搬送装置自体が複雑な形状を
していたり、高速で走行すると、半導体ウエハ搬送装置
の走行動作により、清浄空気の流れに乱流を発生させる
こととなり、この乱流によって、半導体ウエハ表面のほ
か、走行路付近の設備の表面に塵埃が付着する不都合が
あった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の問
題点を解決し、清浄空気の流れに乱流を発生させること
とがなく、製品その他設備を清浄に保つことができる搬
送装置を提供することを目的とする。
題点を解決し、清浄空気の流れに乱流を発生させること
とがなく、製品その他設備を清浄に保つことができる搬
送装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の搬送装置は、クリーンルーム内でワークを
搬送する搬送装置において、搬送装置の走行方向に対す
る前面及び後面を吸気面とし、下部に排気孔を設けたこ
とを特徴とする。
め、本発明の搬送装置は、クリーンルーム内でワークを
搬送する搬送装置において、搬送装置の走行方向に対す
る前面及び後面を吸気面とし、下部に排気孔を設けたこ
とを特徴とする。
【０００５】この場合において、搬送装置の横断面形状
を略台形とし、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と
平行になるように、かつ略台形の平行面のうち長辺側を
ワークの主なる搬入、搬出側に構成することができる。
を略台形とし、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と
平行になるように、かつ略台形の平行面のうち長辺側を
ワークの主なる搬入、搬出側に構成することができる。
【０００６】また、搬送装置の走行方向に対する先端部
にアール部を形成することができる。
にアール部を形成することができる。
【０００７】
【作用】本発明の搬送装置によれば、搬送装置が走行す
る際、搬送装置の前面及び後面から空気を吸込むことに
より、清浄空気の流れに対する乱流の発生を防止するこ
とができる。
る際、搬送装置の前面及び後面から空気を吸込むことに
より、清浄空気の流れに対する乱流の発生を防止するこ
とができる。
【０００８】さらに、搬送装置の横断面形状を略台形と
し、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と平行になる
ように、かつ略台形の平行面のうち長辺側をワークの主
なる搬入、搬出側に構成することにより、ワークの主な
る搬入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流の発生を
低減でき、製品その他設備を清浄に保ちながらワークを
搬送することができる。
し、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と平行になる
ように、かつ略台形の平行面のうち長辺側をワークの主
なる搬入、搬出側に構成することにより、ワークの主な
る搬入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流の発生を
低減でき、製品その他設備を清浄に保ちながらワークを
搬送することができる。
【０００９】また、搬送装置の走行方向に対する先端部
にアール部を形成することにより、搬送装置の先端部に
おける境界層の剥離する位置が後方にずれるため、ワー
クの主なる搬入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流
の発生をより有効に防止することができる。
にアール部を形成することにより、搬送装置の先端部に
おける境界層の剥離する位置が後方にずれるため、ワー
クの主なる搬入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流
の発生をより有効に防止することができる。
【００１０】
【実施例】以下本発明を図示の実施例に基づいて説明す
る。
る。
【００１１】図１は、搬送装置の横断面の概念図を、図
２は、それぞれの搬送装置の横断面方向の気流シュミレ
ーションを示す。なお、図２に示す気流シュミレーショ
ンの解析条件は以下のとおりである。 ・搬送装置の走行速度：１ｍ／ｓ ・搬送装置の前面及び後面からの空気の吸込速度：０．
４ｍ／ｓ
２は、それぞれの搬送装置の横断面方向の気流シュミレ
ーションを示す。なお、図２に示す気流シュミレーショ
ンの解析条件は以下のとおりである。 ・搬送装置の走行速度：１ｍ／ｓ ・搬送装置の前面及び後面からの空気の吸込速度：０．
４ｍ／ｓ
【００１２】図１及び図２の（ａ）は、第１参考例であ
る搬送装置Ａを示したもので、搬送装置Ａの横断面形状
を略台形とし、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と
平行になるように、かつ略台形の平行面のうち長辺側Ａ
１をワークの主なる搬入、搬出側に構成する。この場
合、図２（ａ）に示すとおり、先端部で若干の境界層の
剥離が生じ、境界層の成長により略台形の平行面のうち
長辺側Ａ１、すなわちワークの主なる搬入、搬出側にわ
ずかではあるが乱流域が生じていることがわかる。な
お、ワークの搬入、搬出は、略台形の平行面のうち長辺
側Ａ１に限定する必要のないことはいうまでもなく、例
えば、清浄空気の流れに乱流を発生させるおそれのない
場所でワークの搬入、搬出を行う場合には、搬送装置の
他の面からワークの搬入、搬出を行うように搬送装置を
構成することも可能である。
る搬送装置Ａを示したもので、搬送装置Ａの横断面形状
を略台形とし、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と
平行になるように、かつ略台形の平行面のうち長辺側Ａ
１をワークの主なる搬入、搬出側に構成する。この場
合、図２（ａ）に示すとおり、先端部で若干の境界層の
剥離が生じ、境界層の成長により略台形の平行面のうち
長辺側Ａ１、すなわちワークの主なる搬入、搬出側にわ
ずかではあるが乱流域が生じていることがわかる。な
お、ワークの搬入、搬出は、略台形の平行面のうち長辺
側Ａ１に限定する必要のないことはいうまでもなく、例
えば、清浄空気の流れに乱流を発生させるおそれのない
場所でワークの搬入、搬出を行う場合には、搬送装置の
他の面からワークの搬入、搬出を行うように搬送装置を
構成することも可能である。
【００１３】図１及び図２の（ｂ）は、第２参考例であ
る搬送装置Ｂを示したもので、上記第１参考例の搬送装
置Ａを改良し、搬送装置Ｂの走行方向に対する先端部に
アール部Ｂ２を形成する。ここで、略台形の平行面のう
ち長辺側Ｂ１をワークの主なる搬入、搬出側に構成する
ことは上記の例と同様である。この場合、図２（ｂ）に
示すとおり、搬送装置Ａと比べて境界層の剥離する位置
が後方にずれ、これにより略台形の平行面のうち長辺側
Ｂ１、すなわちワークの主なる搬入、搬出側の乱流域が
減少していることがわかる。なお、アール部Ｂ２の曲率
は、第２参考例に示されているものの０．２〜３倍程度
の範囲で設定することにより、略台形の平行面のうち長
辺側Ｂ１、すなわちワークの主なる搬入、搬出側の清浄
空気の流れに対する乱流の発生をより有効に防止するこ
とができる。
る搬送装置Ｂを示したもので、上記第１参考例の搬送装
置Ａを改良し、搬送装置Ｂの走行方向に対する先端部に
アール部Ｂ２を形成する。ここで、略台形の平行面のう
ち長辺側Ｂ１をワークの主なる搬入、搬出側に構成する
ことは上記の例と同様である。この場合、図２（ｂ）に
示すとおり、搬送装置Ａと比べて境界層の剥離する位置
が後方にずれ、これにより略台形の平行面のうち長辺側
Ｂ１、すなわちワークの主なる搬入、搬出側の乱流域が
減少していることがわかる。なお、アール部Ｂ２の曲率
は、第２参考例に示されているものの０．２〜３倍程度
の範囲で設定することにより、略台形の平行面のうち長
辺側Ｂ１、すなわちワークの主なる搬入、搬出側の清浄
空気の流れに対する乱流の発生をより有効に防止するこ
とができる。
【００１４】図１及び図２の（ｃ）は、本発明の一実施
例である搬送装置Ｃを示したもので、搬送装置Ｃの走行
方向に対する前面及び後面を吸気面Ｃ２とし、下部に排
気孔（図示せず）を設ける。ここで、略台形の平行面の
うち長辺側Ｃ１をワークの主なる搬入、搬出側に構成す
ることは上記の参考例と同様である。この場合、図２
（ｃ）に示すとおり、搬送装置Ｂと比べて略台形の平行
面のうち長辺側Ｃ１、すなわちワークの主なる搬入、搬
出側の乱流域が減少していることがわかる。なお、本実
施例は、第２参考例である搬送装置Ｂに本発明を適用し
たものであるが、本発明単独でも清浄空気の流れに対す
る乱流の発生を防止するのに十分効果を奏するものであ
り、例えば、搬送装置の横断面形状が略矩形のものに適
用することも可能である。
例である搬送装置Ｃを示したもので、搬送装置Ｃの走行
方向に対する前面及び後面を吸気面Ｃ２とし、下部に排
気孔（図示せず）を設ける。ここで、略台形の平行面の
うち長辺側Ｃ１をワークの主なる搬入、搬出側に構成す
ることは上記の参考例と同様である。この場合、図２
（ｃ）に示すとおり、搬送装置Ｂと比べて略台形の平行
面のうち長辺側Ｃ１、すなわちワークの主なる搬入、搬
出側の乱流域が減少していることがわかる。なお、本実
施例は、第２参考例である搬送装置Ｂに本発明を適用し
たものであるが、本発明単独でも清浄空気の流れに対す
る乱流の発生を防止するのに十分効果を奏するものであ
り、例えば、搬送装置の横断面形状が略矩形のものに適
用することも可能である。
【００１５】次に、本発明をより具体化した実施例を図
３〜図５に示す。図３は搬送装置をワークの搬入、搬出
側、すなわち各種の製造装置（図示せず）側から見た外
観斜視図、図４はその逆側から見た外観斜視図であり、
図５はロボット部の外観斜視図である。搬送装置は、走
行体１と、走行体１の上部に設けた昇降部２と昇降部２
に連設したアーム部３とワーク４を把持するチャック部
５からなるロボット部と、ロボット部を覆い、搬送装置
の外郭を形成するカバー６で構成される。
３〜図５に示す。図３は搬送装置をワークの搬入、搬出
側、すなわち各種の製造装置（図示せず）側から見た外
観斜視図、図４はその逆側から見た外観斜視図であり、
図５はロボット部の外観斜視図である。搬送装置は、走
行体１と、走行体１の上部に設けた昇降部２と昇降部２
に連設したアーム部３とワーク４を把持するチャック部
５からなるロボット部と、ロボット部を覆い、搬送装置
の外郭を形成するカバー６で構成される。
【００１６】走行部１は、複数の工程の各製造装置等の
設備を連絡するように施設されたレール７上をガイドさ
れ、走行駆動装置（図示せず）の牽引等によって矢印方
向に走行するように構成されている。昇降部２は走行体
１の上部に設けられ、昇降部駆動モータ２１、タイミン
グベルト２２、減速機２３、昇降部リンク２４，２５及
び昇降枠２６よりなる。アーム部３は昇降部２の昇降枠
２６に連設され、アーム部駆動モータ３１、アーム部リ
ンク３２，３３及び傾転用モータ３４よりなる。ワーク
４を把持するチャック部５はアーム部３の先端に設けら
れ、チャック部材５１及び係止爪５２よりなる。カバー
６は昇降部２、アーム部３及びチャック部５からなるロ
ボット部全体をを覆い、走行部１と一体化されている。
カバー６の上部には、上面フィルター付ファン６１ａ、
前面フィルター付ファン６１ｂ、後面フィルター付ファ
ン６１ｃをそれぞれ設け、下部には、排気孔６２ａ，６
２ｂ，６２ｃを設けてなる。また、カバー６は、横断面
形状を角部にアールを形成した略台形に形成するととも
に、平行面が搬送装置の走行方向と平行になるように
し、さらに平行面の長辺側をワークの搬入、搬出側とす
ることによって、ワークの搬入、搬出側をほぼ平坦面と
するとともに、このワークの搬入、搬出側には、スライ
ド方式等により開閉可能とした扉６３を設ける。なお、
図３は、この扉６３を開放した状態を示しているが、扉
６３を開放した場合の開口の６４の大きさは、ワーク６
の大きさ等に応じて適宜変更することができる。
設備を連絡するように施設されたレール７上をガイドさ
れ、走行駆動装置（図示せず）の牽引等によって矢印方
向に走行するように構成されている。昇降部２は走行体
１の上部に設けられ、昇降部駆動モータ２１、タイミン
グベルト２２、減速機２３、昇降部リンク２４，２５及
び昇降枠２６よりなる。アーム部３は昇降部２の昇降枠
２６に連設され、アーム部駆動モータ３１、アーム部リ
ンク３２，３３及び傾転用モータ３４よりなる。ワーク
４を把持するチャック部５はアーム部３の先端に設けら
れ、チャック部材５１及び係止爪５２よりなる。カバー
６は昇降部２、アーム部３及びチャック部５からなるロ
ボット部全体をを覆い、走行部１と一体化されている。
カバー６の上部には、上面フィルター付ファン６１ａ、
前面フィルター付ファン６１ｂ、後面フィルター付ファ
ン６１ｃをそれぞれ設け、下部には、排気孔６２ａ，６
２ｂ，６２ｃを設けてなる。また、カバー６は、横断面
形状を角部にアールを形成した略台形に形成するととも
に、平行面が搬送装置の走行方向と平行になるように
し、さらに平行面の長辺側をワークの搬入、搬出側とす
ることによって、ワークの搬入、搬出側をほぼ平坦面と
するとともに、このワークの搬入、搬出側には、スライ
ド方式等により開閉可能とした扉６３を設ける。なお、
図３は、この扉６３を開放した状態を示しているが、扉
６３を開放した場合の開口の６４の大きさは、ワーク６
の大きさ等に応じて適宜変更することができる。
【００１７】上記のように構成された搬送装置を半導体
ウエハ搬送装置として使用する場合について以下説明す
る。この場合、ワーク４として、半導体ウエハ（図示せ
ず）を直立して挿置するカセットを使用する。ワーク４
は、複数の工程の各製造装置に設けられた受渡口に半導
体ウエハを収納した状態で整列されている。受渡口の前
面に半導体ウエハ搬送装置を停止させ、扉を開き、昇降
部駆動モータ２１を駆動し、タイミングベルト２２、減
速機２３、昇降部リンク２４，２５及び昇降枠２６を介
してアーム部３の水準を調節し、アーム部駆動モータ３
１及び傾動用モータ３４を駆動し、アーム部リンク３
２，３３を介してチャック部５をワーク４の受渡口に移
動し、チャック部材５１及び係止爪５２によりワーク４
を把持し、アーム部駆動モータ３１及び傾動用モータ３
４を駆動し、アーム部リンク３２，３３を介してチャッ
ク部５、すなわちをワーク４をカバー６内部に収容した
後、扉を閉じる。その後、半導体ウエハ搬送装置は、次
の工程の製造装置までレール７上をガイドされながら走
行駆動装置に牽引されて走行し、上記と同様の作業を繰
り返す。なお、上記使用方法は、製造装置に設けられた
受渡口に整列されているワーク４を半導体ウエハ搬送装
置内部に収容する工程についてのみ説明したが、半導体
ウエハ搬送装置内部に収容されているワーク４を製造装
置に設けられた受渡口に放出する場合も、昇降部２、ア
ーム部３及びチャック部５を順に作動させることにより
行うが、この操作は、ワーク４を収容する工程とほぼ同
様であるので、説明は省略する。
ウエハ搬送装置として使用する場合について以下説明す
る。この場合、ワーク４として、半導体ウエハ（図示せ
ず）を直立して挿置するカセットを使用する。ワーク４
は、複数の工程の各製造装置に設けられた受渡口に半導
体ウエハを収納した状態で整列されている。受渡口の前
面に半導体ウエハ搬送装置を停止させ、扉を開き、昇降
部駆動モータ２１を駆動し、タイミングベルト２２、減
速機２３、昇降部リンク２４，２５及び昇降枠２６を介
してアーム部３の水準を調節し、アーム部駆動モータ３
１及び傾動用モータ３４を駆動し、アーム部リンク３
２，３３を介してチャック部５をワーク４の受渡口に移
動し、チャック部材５１及び係止爪５２によりワーク４
を把持し、アーム部駆動モータ３１及び傾動用モータ３
４を駆動し、アーム部リンク３２，３３を介してチャッ
ク部５、すなわちをワーク４をカバー６内部に収容した
後、扉を閉じる。その後、半導体ウエハ搬送装置は、次
の工程の製造装置までレール７上をガイドされながら走
行駆動装置に牽引されて走行し、上記と同様の作業を繰
り返す。なお、上記使用方法は、製造装置に設けられた
受渡口に整列されているワーク４を半導体ウエハ搬送装
置内部に収容する工程についてのみ説明したが、半導体
ウエハ搬送装置内部に収容されているワーク４を製造装
置に設けられた受渡口に放出する場合も、昇降部２、ア
ーム部３及びチャック部５を順に作動させることにより
行うが、この操作は、ワーク４を収容する工程とほぼ同
様であるので、説明は省略する。
【００１８】また、半導体ウエハ搬送装置が走行するい
わゆるクリーンルームは、一般的には、天井から清浄空
気が噴出、流下し、床下から排気されるようになってい
るため、発塵した微細粒子は、この気流によって速やか
に排出されるようになっているが、この半導体ウエハ搬
送装置が走行する際、カバー６により、また、カバーの
走行方向に対する前面及び後面に設けたフィルター付フ
ァン６１ｂ，６１ｃによりカバーの前面及び後面の空気
を吸込むことにより、また、カバー６は、横断面形状を
走行方向先端角部にアールを形成した略台形に形成する
とともに、平行面が搬送装置の走行方向と平行になるよ
うにし、さらに平行面の長辺側をワークの搬入、搬出側
とすることによって、カバー６のワークの搬入、搬出側
をほぼ平坦面としたことから、半導体ウエハ搬送装置、
特にワークの搬入、搬出側周辺の気流はカバー６に沿っ
てほぼ層流状態となり、半導体ウエハ搬送装置の走行に
よる清浄空気の流れに対する乱流の発生を防止する。
わゆるクリーンルームは、一般的には、天井から清浄空
気が噴出、流下し、床下から排気されるようになってい
るため、発塵した微細粒子は、この気流によって速やか
に排出されるようになっているが、この半導体ウエハ搬
送装置が走行する際、カバー６により、また、カバーの
走行方向に対する前面及び後面に設けたフィルター付フ
ァン６１ｂ，６１ｃによりカバーの前面及び後面の空気
を吸込むことにより、また、カバー６は、横断面形状を
走行方向先端角部にアールを形成した略台形に形成する
とともに、平行面が搬送装置の走行方向と平行になるよ
うにし、さらに平行面の長辺側をワークの搬入、搬出側
とすることによって、カバー６のワークの搬入、搬出側
をほぼ平坦面としたことから、半導体ウエハ搬送装置、
特にワークの搬入、搬出側周辺の気流はカバー６に沿っ
てほぼ層流状態となり、半導体ウエハ搬送装置の走行に
よる清浄空気の流れに対する乱流の発生を防止する。
【００１９】なお、ここでは、本発明の搬送装置を半導
体ウエハ搬送装置として使用する場合について説明した
が、本発明の対象は、半導体ウエハのほか、磁気ディス
ク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造等
の工程で対象製品を収納するカセット等のワークをクリ
ーンな環境の下で搬送するために広範囲に使用できるも
のである。
体ウエハ搬送装置として使用する場合について説明した
が、本発明の対象は、半導体ウエハのほか、磁気ディス
ク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造等
の工程で対象製品を収納するカセット等のワークをクリ
ーンな環境の下で搬送するために広範囲に使用できるも
のである。
【００２０】
【発明の効果】本発明の搬送装置によれば、搬送装置が
走行する際、搬送装置の前面及び後面から空気を吸込む
ことにより、搬送装置周辺の気流は搬送装置に沿ってほ
ぼ層流状態となり、清清浄空気の流れに対する乱流の発
生を防止することができ、製品その他設備を清浄に保ち
ながらワークを搬送することができる。
走行する際、搬送装置の前面及び後面から空気を吸込む
ことにより、搬送装置周辺の気流は搬送装置に沿ってほ
ぼ層流状態となり、清清浄空気の流れに対する乱流の発
生を防止することができ、製品その他設備を清浄に保ち
ながらワークを搬送することができる。
【００２１】さらに、搬送装置の横断面形状を略台形と
し、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と平行になる
ように、かつ略台形の平行面のうち長辺側をワークの主
なる搬入、搬出側に構成することにより、ワークの主な
る搬入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流の発生を
低減することができ、製品その他設備を清浄に保ちなが
らワークを搬送することができる。
し、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と平行になる
ように、かつ略台形の平行面のうち長辺側をワークの主
なる搬入、搬出側に構成することにより、ワークの主な
る搬入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流の発生を
低減することができ、製品その他設備を清浄に保ちなが
らワークを搬送することができる。
【００２２】また、搬送装置の走行方向に対する先端部
にアール部を形成することにより、搬送装置の先端部に
おける境界層の剥離する位置が後方にずれるため、ワー
クの主なる搬入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流
の発生をより有効に防止することができる。
にアール部を形成することにより、搬送装置の先端部に
おける境界層の剥離する位置が後方にずれるため、ワー
クの主なる搬入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流
の発生をより有効に防止することができる。
【図１】搬送装置の横断面の概念図を示し、（ａ）は第
１参考例、（ｂ）は第２参考例、（ｃ）は本発明の一実
施例である。
１参考例、（ｂ）は第２参考例、（ｃ）は本発明の一実
施例である。
【図２】本発明の搬送装置の横断面方向の気流シュミレ
ーションの図を示し、（ａ）は第１参考例、（ｂ）は第
２参考例、（ｃ）は本発明の一実施例である。
ーションの図を示し、（ａ）は第１参考例、（ｂ）は第
２参考例、（ｃ）は本発明の一実施例である。
【図３】本発明を実施した搬送装置の外観斜視図であ
る。
る。
【図４】本発明を実施した搬送装置の他方向から見た外
観斜視図である。
観斜視図である。
【図５】本発明を実施した搬送装置に用いるロボット部
の外観斜視図である。
の外観斜視図である。
Ａ 搬送装置 Ａ１ ワークの主なる搬入、搬出側 Ｂ 搬送装置 Ｂ１ ワークの主なる搬入、搬出側 Ｂ２ アール部 Ｃ 搬送装置 Ｃ１ ワークの主なる搬入、搬出側 Ｃ２ 吸気面 １ 走行体 ２ 昇降部 ３ アーム部 ４ ワーク ５ チャック部 ６ カバー ６１ａ 上面フィルター付ファン ６１ｂ 前面フィルター付ファン ６１ｃ 後面フィルター付ファン ６２ａ 排気孔 ６２ｂ 排気孔 ６２ｃ 排気孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊東 徹雄 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292 株式 会社日立画像情報システム内 (72)発明者 関 守 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日 立機電工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−175426（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−219135（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B65G 49/00 H01L 21/68
Claims (3)
- 【請求項１】 クリーンルーム内でワークを搬送する搬
送装置において、搬送装置の走行方向に対する前面及び
後面を吸気面とし、下部に排気孔を設けたことを特徴と
する搬送装置。 - 【請求項２】 搬送装置の横断面形状を略台形とし、略
台形の平行面を搬送装置の走行方向と平行になるよう
に、かつ略台形の平行面のうち長辺側をワークの主なる
搬入、搬出側に構成してなることを特徴とする請求項１
記載の搬送装置。 - 【請求項３】 搬送装置の走行方向に対する先端部にア
ール部を形成してなることを特徴とする請求項１又は２
記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4360501A JP2818722B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4360501A JP2818722B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06199418A JPH06199418A (ja) | 1994-07-19 |
| JP2818722B2 true JP2818722B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=18469674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4360501A Expired - Fee Related JP2818722B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2818722B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20060078408A1 (en) * | 2004-10-08 | 2006-04-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | System for manufacturing a flat panel display |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61175426A (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-07 | Nec Corp | 清浄搬送装置 |
| JPS63219135A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-12 | Daifuku Co Ltd | クリ−ンル−ム内の荷取扱い設備 |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP4360501A patent/JP2818722B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06199418A (ja) | 1994-07-19 |
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