JP2818042B2 - Fourier transform spectroscopy using a pulsed light source - Google Patents
Fourier transform spectroscopy using a pulsed light sourceInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、干渉計を用いてインタ
フェログラムを取り出しフーリエ変換して試料の分析ス
ペクトルを得るフーリエ変換分光法に関し、特に、光源
としてパルス光源を用いたフーリエ変換分光法に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a Fourier transform spectroscopy that obtains an analysis spectrum of a sample by taking out an interferogram using an interferometer and, more particularly, to a Fourier transform spectroscopy using a pulse light source as a light source. .
【0002】[0002]
【従来の技術】図6はフーリエ変換光分光法の従来例を
説明するための図、図7は図6に示す回路の信号波形を
示す図である。2. Description of the Related Art FIG. 6 is a diagram for explaining a conventional example of Fourier transform optical spectroscopy, and FIG. 7 is a diagram showing signal waveforms of the circuit shown in FIG.
【0003】マイケルソン干渉計で代表されるラピッド
スキャン方式のフーリエ変換光分光法では、図6に示す
ように半透鏡12、固定鏡13、移動鏡14からなる二
光束干渉計、光源11、及び検知器15が用いられる。
そして、二光束干渉計の半透鏡12で光源11からの光
を2光束に分け、一方を固定鏡13側に、他方を定速移
動する移動鏡14側に導き、検知器15でそれらの光路
差によるインタフェログラム(図7(b))を検出して
いる。このインタフェログラムは、AD変換器18で図
7(c)に示すような干渉計により作られる周期τ0 の
トリガ信号を用いて同図(d)に示すようにサンプリン
グされ、それがCPU19でフーリエ変換され分析スペ
クトルが得られる。なお、ここで試料は直接関係しない
ので省略する。In the Fourier transform optical spectroscopy of the rapid scan system represented by the Michelson interferometer, as shown in FIG. 6, a two-beam interferometer comprising a semi-transmissive mirror 12, a fixed mirror 13, and a movable mirror 14, a light source 11, and A detector 15 is used.
Then, the light from the light source 11 is split into two light beams by the semi-transmissive mirror 12 of the two-beam interferometer, and one is guided to the fixed mirror 13 side, and the other is guided to the movable mirror 14 that moves at a constant speed. An interferogram (FIG. 7B) based on the difference is detected. The interferogram is sampled by the AD converter 18 using a trigger signal having a period τ 0 generated by an interferometer as shown in FIG. 7C, as shown in FIG. Converted to obtain an analytical spectrum. Since the sample is not directly related here, the description is omitted.
【0004】上記ラピッドスキャン方式のフーリエ変換
光分光法では、光源の強度が一定で時間的に連続な光を
条件としてきた。すなわち、光源11は、図7(a)に
示すように強度が一定の時間的に連続な光を放出するも
のであり、干渉計に入射した光は、移動鏡14が一定速
度で移動することで光の波数に比例した周波数に変調さ
れ、検知器に受光されるようになっている。In the above-described Fourier transform optical spectroscopy of the rapid scan method, it has been required that the intensity of the light source is constant and the light is continuous in time. In other words, the light source 11 emits continuous light having a constant intensity as shown in FIG. 7A, and the light incident on the interferometer causes the movable mirror 14 to move at a constant speed. Is modulated to a frequency proportional to the wave number of light, and is received by a detector.
【0005】そのため、使用する光源が制約され、ま
た、光が連続照射されることから、試料としても対象が
連続照射に影響されないものに限られてしまうという問
題がある。[0005] Therefore, there is a problem that the light source to be used is restricted, and since the light is continuously irradiated, the target is limited to a sample which is not affected by the continuous irradiation.
【0006】このような状況の下に、本出願人はすで
に、干渉計を用いてインタフェログラムを取り出しフー
リエ変換して試料の分析スペクトルを得るフーリエ変換
分光法において、光源としてパルス光源を用い、サンプ
リング周期より短い周期のパルス光を放射して検知器出
力から低周波成分のインタフェログラムを取り出しサン
プリングしてフーリエ変換することにより、試料の分析
スペクトルを得ることを特徴とするパルス光源を用いた
フーリエ変換分光法を提案した(特願平2−82126
号)。この方法は、光源にパルス光源を利用するので、
SOR光源やパルスレーザ励起ラマン試料等を光源とし
て利用することができ、しかも、測定対象に光を照射す
る時間を短くし照射する光量を少なくすることができる
ので、光照射により影響を受ける測定対象や連続照射等
が好ましくない測定対象に対してもフーリエ変換分光法
を適用することができ、応用対象が広がるものである。Under such circumstances, the present applicant has already used a pulsed light source as a light source and a sampling method in Fourier transform spectroscopy in which an interferogram is taken out using an interferometer and Fourier transform is performed to obtain an analysis spectrum of the sample. A Fourier transform using a pulsed light source characterized by obtaining an analysis spectrum of a sample by emitting a pulse light having a shorter cycle than the cycle, extracting an interferogram of a low frequency component from a detector output, sampling and performing a Fourier transform. A spectroscopic method was proposed (Japanese Patent Application No. 2-82126).
issue). Since this method uses a pulsed light source as the light source,
A SOR light source or a pulsed laser-excited Raman sample can be used as a light source. In addition, the time for irradiating the measurement target with light can be reduced and the amount of light to be irradiated can be reduced. The Fourier transform spectroscopy can be applied to a measurement object where continuous irradiation or the like is not preferable, and the application object is expanded.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
本出願人による提案は、パルス光源の発光周期がインタ
フェログラムのサンプリング周期より短いこと、すなわ
ち、サンプリング定理により、パルス光源の発光周期が
インタフェログラム信号の持っている最大周波数fmax
の2倍の逆数(これは、インタフェログラムのサンプリ
ング周期に等しいかそれ以上である。)より短いものを
前提としていた。パルス光源の発光周期をτとすると、
上記はτ<1/2fmax 、又は、fmax <1/2τを前
提としていたことを意味している。However, the above-mentioned proposal proposed by the present applicant is that the light emission cycle of the pulse light source is shorter than the sampling cycle of the interferogram, that is, the light emission cycle of the pulse light source is reduced by the sampling theorem. The maximum frequency f max of
(Which is equal to or greater than the interferogram sampling period). Assuming that the emission cycle of the pulse light source is τ,
The above means that τ <1 / f max or f max <1 / τ was assumed.
【0008】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、上記した本出願人の提案に係
るパルス光源を用いたフーリエ変換分光法を、パルス光
源の発光周期がインタフェログラム信号の持っている最
大周波数fmax の2倍の逆数より長い場合、すなわち、
パルス光源の発光周期がより長くても、適用できるよう
にすることである。The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to perform the Fourier transform spectroscopy using the pulse light source according to the above-mentioned proposal of the present applicant by using the light emission cycle of the pulse light source. If the maximum frequency f max of the program signal is longer than the reciprocal of twice, that is,
An object of the present invention is to make it applicable even when the light emission cycle of the pulse light source is longer.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】そのために、本発明のパ
ルス光源を用いたフーリエ変換分光法は、ラピッドスキ
ャン干渉計を用いた検出器出力からインタフェログラム
を取得し、フーリエ変換して測定光のスペクトルを得る
フーリエ変換分光法であって、光源としてパルス光源を
用い、干渉計による変調周波数をf、パルス光源の周波
数を1/τとしたとき、m/2τ<f<(m+1)/2
τ(mは正の整数)にのみに検出器出力信号が存在する
場合に適用するフーリエ変換分光法において、検出器出
力信号のm/2τ<f<(m+1)/2τ(mは正の整
数)の範囲の周波数成分を取り出し、サンプリングして
フーリエ変換することにより、測定光のスペクトルを得
ることを特徴とする方法である。For this purpose, Fourier transform spectroscopy using a pulse light source according to the present invention obtains an interferogram from a detector output using a rapid scan interferometer, and performs Fourier transform to obtain an interferogram. Fourier transform spectroscopy for obtaining a spectrum, where a pulse light source is used as a light source, and a modulation frequency by an interferometer is f and a frequency of the pulse light source is 1 / τ, m / 2τ <f <(m + 1) / 2
In Fourier transform spectroscopy applied when a detector output signal exists only at τ (m is a positive integer), m / 2τ <f <(m + 1) / 2τ (m is a positive integer) The method is characterized in that the spectrum of the measurement light is obtained by extracting the frequency components in the range of (1), sampling and performing Fourier transform.
【0010】[0010]
【作用】本発明のパルス光源を用いたフーリエ変換分光
法では、光源としてパルス光源を用い、干渉計による変
調周波数をf、パルス光源の周波数を1/τとしたと
き、m/2τ<f<(m+1)/2τ(mは正の整数)
にのみに検出器出力信号が存在する場合に適用できるの
で、発光周期がインタフェログラム信号の持っている最
大周波数fmax の2倍の逆数より長い周期パルス光源、
すなわち、発光周期がより長いパルス光源を用いて、ス
ペクトル分光測定ができるようになる。したがって、パ
ルス光源として利用できるものがより多くなる。In the Fourier transform spectroscopy using a pulse light source according to the present invention, when a pulse light source is used as the light source and the modulation frequency of the interferometer is f and the frequency of the pulse light source is 1 / τ, m / 2τ <f < (M + 1) / 2τ (m is a positive integer)
, A pulsed light source whose emission cycle is longer than the reciprocal of twice the maximum frequency f max of the interferogram signal,
That is, spectrum spectrometry can be performed using a pulse light source having a longer light emission cycle. Therefore, more light sources can be used as pulse light sources.
【0011】また、本発明の前提の方法と同様、光源に
パルス光源を利用するので、SOR光源やパルスレーザ
励起ラマン試料等を光源として利用することができ、し
かも、測定対象に光を照射する時間を短くし照射する光
量を少なくすることができるので、光照射により影響を
受ける測定対象や連続照射等が好ましくない測定対象に
対してもフーリエ変換分光法を適用することができ、応
用対象が広がるものである。Further, as in the premise method of the present invention, since a pulse light source is used as a light source, an SOR light source, a pulsed laser-excited Raman sample, or the like can be used as a light source. Since the time can be shortened and the amount of light to be irradiated can be reduced, Fourier transform spectroscopy can be applied to measurement objects affected by light irradiation or measurement objects where continuous irradiation is not preferable. It spreads.
【0012】しかも、本発明の前提の方法に比べて、ロ
ーパスフィルタをバンドパスフィルタで置き換えると言
う単純な変更のみで、この方法を実施する装置を構成す
ることができる。Furthermore, compared to the method presupposed by the present invention, an apparatus for implementing this method can be constructed with only a simple change of replacing the low-pass filter with a band-pass filter.
【0013】[0013]
【実施例】上記したように、本出願人が先に提案したパ
ルス光源を用いたフーリエ変換分光法においては、スペ
クトロメータの変調周波数fが、パルス光源の発光周波
数1/τ(τ:パルス発光周期)の半分より小さい範囲
にのみ存在する場合を取り扱ってきた。これに対し、本
発明は、m/2τ<f<(m+1)/2τ(mは正の整
数)の範囲のみに信号が存在する場合を取り扱う。As described above, in the Fourier transform spectroscopy using the pulse light source previously proposed by the present applicant, the modulation frequency f of the spectrometer is such that the light emission frequency of the pulse light source is 1 / τ (τ: pulse light emission). (Period) has been handled only in a range smaller than half. On the other hand, the present invention deals with a case where a signal exists only in the range of m / 2τ <f <(m + 1) / 2τ (m is a positive integer).
【0014】以下、図面を参照にして本発明の実施例に
ついて説明する。図1に本発明に係るパルス光源を用い
たフーリエ変換分光法の1実施例を実施するためのフー
リエ変換分光装置の基本構成を示す。図1において、1
は周期パルス光源、2は干渉計、3は試料(この場合の
試料3は透過試料であるが、反射試料、散乱試料等であ
ってもよい。)、4は検知器、5はプリアンプ、6はバ
ンドパスフィルタ、7はメインアンプ、8はAD変換
器、9はコンピュータを示す。周期パルス光源1は、A
D変換器8のトリガー信号(インタフェログラムをA/
D変換してコンピュータに取り込んでフーリエ変換する
ためのサンプリング信号)と非同期で一定周期τで強度
の等しいパルス光を放射するパルスレーザ等であるが、
SOR(Synchrotron Orbital Radiation) 光源や
パルスレーザ励起ラマン試料等を用いてもよい。また、
光源の強度が変動する場合には、その強度をモニタして
検知器出力を規格化すればよい。バンドパスフィルタ6
は、プリアンプ5から得られるスペクトルの特定バンド
成分(後記するように、m/2τ<f<(m+1)/2
τ(mは正の整数)の範囲)を切り出して、アナルグ信
号(アナログインタフェログラム)に変換するものであ
る。AD変換器8は、周期τ0 のトリガー信号によって
バンドパスフィルタ6を通して得られたアナログインタ
フェログラムをサンプリングするためのものである。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a basic configuration of a Fourier transform spectrometer for performing one embodiment of Fourier transform spectroscopy using a pulse light source according to the present invention. In FIG. 1, 1
Is a periodic pulse light source, 2 is an interferometer, 3 is a sample (in this case, the sample 3 is a transmission sample, but may be a reflection sample, a scattering sample, etc.), 4 is a detector, 5 is a preamplifier, 6 Denotes a bandpass filter, 7 denotes a main amplifier, 8 denotes an AD converter, and 9 denotes a computer. The periodic pulse light source 1 has A
Trigger signal of D converter 8 (interferogram is converted to A /
Pulsed laser that emits pulsed light having the same intensity at a constant period τ asynchronously with a sampling signal for D-converted and taken into a computer for Fourier transform)
A SOR (Synchrotron Orbital Radiation) light source, a pulsed laser-excited Raman sample, or the like may be used. Also,
When the intensity of the light source fluctuates, the intensity may be monitored to normalize the detector output. Bandpass filter 6
Is a specific band component of the spectrum obtained from the preamplifier 5 (m / 2τ <f <(m + 1) / 2, as described later)
τ (m is a positive integer) is extracted and converted into an analog signal (analog interferogram). The AD converter 8 is for sampling an analog interferogram obtained through the band pass filter 6 by a trigger signal having a period τ 0 .
【0015】したがって、周期パルス光源1、干渉計
2、試料3、検知器4、プリアンプ5からなるFT−I
R/スペクトロメータ部の検知器4からの出力は、バン
ドパスフィルタ6を経て、FT−IR/信号処理部のメ
インアンプ7に入力され、AD変換器8でフーリエ変換
のためにサンプリングされる。ところで、測定光のスペ
クトルが干渉計2により変調された周波数(インタフェ
ログラムの周波数)の最小と最大をfmin 、fmax とす
ると、 τ>m/2fmin ・・・(a) τ<(m+1)/2fmax ・・・(b) の条件を満足する周期τでパルス光源1の発光が繰り返
される。ここで、mは正の整数である。すなわち、測定
光のスペクトルがm/2τ<f<(m+1)/2τの範
囲にのみ存在する場合である。図2(A)にm=1の場
合の様子を示す。この変調周波数fは、スペクトルの波
数をσ(波長をλとすると、1/λ)、干渉計2の移動
鏡の移動速度をvとすると、f=2vσで表されるの
で、上記条件を満足するように、光源1からの放射スペ
クトル領域(波長範囲)を光学フィルタで制限しておく
ようにしてもよいし、移動鏡の移動速度を調整して上記
条件を満足させるようにしてもよい。この分光測定法の
特長の1つは、上に述べた条件から分かるように、光源
1の繰り返し周波数1/τをこの移動鏡の移動と同期を
取る必要がない点にある。Therefore, the FT-I comprising the periodic pulse light source 1, the interferometer 2, the sample 3, the detector 4, and the preamplifier 5
The output from the detector 4 of the R / spectrometer section is input to the main amplifier 7 of the FT-IR / signal processing section via the band pass filter 6 and is sampled by the AD converter 8 for Fourier transform. By the way, if the minimum and maximum of the frequency (interferogram frequency) at which the spectrum of the measurement light is modulated by the interferometer 2 are fmin and fmax, τ> m / 2fmin (a) τ <(m + 1) / 2fmax The light emission of the pulse light source 1 is repeated at a period τ that satisfies the condition (b). Here, m is a positive integer. That is, this is a case where the spectrum of the measurement light exists only in the range of m / 2τ <f <(m + 1) / 2τ. FIG. 2A shows a case where m = 1. The modulation frequency f is represented by f = 2vσ, where σ is the wave number of the spectrum (1 / λ when the wavelength is λ), and v is the moving speed of the movable mirror of the interferometer 2, so that the above condition is satisfied. As described above, the emission spectrum region (wavelength range) from the light source 1 may be limited by an optical filter, or the moving speed of the movable mirror may be adjusted to satisfy the above condition. One of the features of this spectrometry is that it is not necessary to synchronize the repetition frequency 1 / τ of the light source 1 with the movement of the movable mirror, as can be seen from the above-mentioned conditions.
【0016】さて、このような構成の装置を用いて分光
する場合の原理を以下に説明する。図3(A)に示すよ
うな光源1から周期的に発光される光をデラック関数δ
(t)が等間隔な時間τで並んだ繰り返し操作を示すコ
ム関数Шτ(t) で表し、試料3の透過スペクトルをT
(σ) とすると、検知器4からの出力信号F(x,t)は
(1)式のようになる。Now, the principle of spectral separation using the apparatus having such a configuration will be described below. The light periodically emitted from the light source 1 as shown in FIG.
(T) is represented by a comb function Шτ (t) indicating a repetitive operation arranged at equal intervals of time τ, and the transmission spectrum of sample 3 is represented by T
Assuming that (σ), the output signal F (x, t) from the detector 4 is as shown in equation (1).
【0017】 F(x,t)=Шτ(t) ∫T(σ) B(σ) cos2πx σ dσ ・・・(1) ここで、xは干渉計2の光路差、σはスペクトルの波
数、そしてB(σ)はFT−IR/スペクトロメータ部の
試料室から試料3を取り除いた場合のバックグラウンド
スペクトルを表す。図3(B)に実線で干渉計出力信号
のおよその様子を示す。なお、xは時間変数t'とはx=
2vt'の関係にあるが、光源1の発光が干渉計2の移動
鏡の動きとは同期がとられていないため、tとt'とは位
相の相関を持たない。すなわち、tとt'の間に有する位
相量Δt=t'−tは、移動鏡の走査の都度異なる値をと
る。このため、(1)式はインターフェログラムが移動
鏡の走査の度に異なる値を示すことを表している。F (x, t) = Шτ (t) ∫T (σ) B (σ) cos2πx σ dσ (1) where x is the optical path difference of the interferometer 2, σ is the wave number of the spectrum, B (σ) represents a background spectrum when the sample 3 is removed from the sample chamber of the FT-IR / spectrometer section. FIG. 3B shows an approximate state of the output signal of the interferometer by a solid line. Note that x is a time variable t ′ and x =
Although there is a relationship of 2vt ', since the light emission of the light source 1 is not synchronized with the movement of the movable mirror of the interferometer 2, t and t' have no phase correlation. That is, the phase amount Δt = t′−t between t and t ′ takes a different value each time the movable mirror scans. Therefore, the expression (1) indicates that the interferogram shows a different value each time the movable mirror scans.
【0018】さて、(1)式の積分部分は測定対象スペ
クトルT(σ) B(σ) のインタフェログラム(アナログイ
ンタフェログラム)であって、(1)式全体は、このア
ナログ信号がШτ(t) でサンプリングされた形の離散型
データ(デジタルインタフェログラム)になっている。
そして、サンプリングは変数tとxが非同期であるた
め、移動鏡の走査の都度、インタフェログラムのサンプ
リングされる位置が異なることを示している。The integral part of the equation (1) is an interferogram (analog interferogram) of the spectrum T (σ) B (σ) to be measured. ) Is sampled discrete data (digital interferogram).
Since the variables t and x are asynchronous in the sampling, the position where the interferogram is sampled is different each time the movable mirror scans.
【0019】この検出器4からの出力を詳しく知るため
に、(1)式のШτ(t) を移動鏡の移動と相関のある時
間t'でフーリエ変換して、信号の持つスペクトルを調べ
ることにする。In order to know the output from the detector 4 in detail, it is necessary to perform a Fourier transform on Шτ (t) of the equation (1) at a time t ′ correlated with the movement of the movable mirror and to examine the spectrum of the signal. To
【0020】 ∫Шτ(t)exp(-i2πft')dt'= (1/τ)exp(-i2πΔtf) ×Ш1/τ(f) ・(2) =(1/τ ){δ(f)+ exp(-i2πΔt/τ) δ(f- 1/τ) +・・・・ + exp(i2πΔt/τ) δ(f+ 1/τ)+・・・} ・・・(2') (2)式は位相項を持ったコム関数である。(1)式の
積分部分を時間でフーリエ変換するとき得られるスペク
トルは、係数を除いて、変調周波数fを変数とした T
(f) B(f)である。したがって、検出器4からの出力信号
である(1)式全体は、位相項及び係数を除いて考える
と、測定対象スペクトル T(f) B(f)((2')式のゼロ次
項であるδ(f) から得られる。計算上偶関数になってい
るため、f=0を対象軸として負の部分にも同じスペク
トルが存在する。)の他に、同じものが1/τの間隔の
搬送周波数のサイドバンドとして現われるスペクトルを
持つことを示す。ここで、m/2τ<f<(m+1)/
2τの条件から、各サイドバンド同士のスペクトルは重
ならない。このことを図2(B)に示す。この図の各ス
ペクトルに書き込んだ番号は、同じ番号の搬送周波数の
サイドバンドであることを示している。∫Шτ (t) exp (−i2πft ′) dt ′ = (1 / τ) exp (−i2πΔtf) × Ш1 / τ (f) · (2) = (1 / τ) {δ (f) + exp (-i2πΔt / τ) δ (f-1 / τ) + ・ ・ ・ ・ + exp (i2πΔt / τ) δ (f + 1 / τ) + ・ ・ ・} (2 ') (2) Is a comb function with a phase term. The spectrum obtained when the Fourier transform of the integral part of the equation (1) is performed with respect to time is obtained by using the modulation frequency f as a variable, excluding the coefficients.
(f) B (f). Therefore, the entire equation (1), which is an output signal from the detector 4, is a zero-order term of the spectrum to be measured T (f) B (f) ((2 ′), excluding the phase term and the coefficient). δ (f). Since the calculation is an even function, the same spectrum exists in the negative part with f = 0 as the target axis.) It has a spectrum that appears as a sideband of the carrier frequency. Here, m / 2τ <f <(m + 1) /
From the condition of 2τ, the spectra of the side bands do not overlap. This is shown in FIG. The numbers written in the respective spectra in this figure indicate that they are sidebands of the carrier frequency of the same number.
【0021】検出器4からの出力は、従来の方式ではロ
ーパスフィルタに導いたが、本発明の場合には、図4
(A)に示す特性を持ったバンドパスフィルタ6を通し
て、番号0のスペクトルだけを取り出すようにする。こ
のとき、バンドパスフィルタ6からは、(2')式の第1
項(ゼロ次項)が寄与するスペクトル成分を有するアナ
ログ信号(アナログインタフェログラム)が出力され
る。この(2')式の第1項は位相成分を持たないため、
出力信号は位相ずれを起こさない。このことを次の
(3)式に示す。The output from the detector 4 is led to a low-pass filter in the conventional system, but in the case of the present invention,
Only the spectrum of number 0 is taken out through the band pass filter 6 having the characteristic shown in FIG. At this time, the band-pass filter 6 outputs the first
An analog signal (analog interferogram) having a spectral component contributed by the term (zero-order term) is output. Since the first term of this equation (2 ') has no phase component,
The output signal does not cause a phase shift. This is shown in the following equation (3).
【0022】 F(x)=(1/τ) ∫ T( σ) B(σ)cos2 πx σ dσ ・・・(3) (3)式はアナログ形状のインターフェログラムであ
り、時間tとは独立な式になっている。すなわち、光源
1によりサンプリングされた図3(B)のようなデジタ
ル信号がバンドパスフィルタ6により、図3(C)に示
したようなアナログ信号に復元される。これは、通常の
FT−IRスペクトロメータ測定で得られるインタフェ
ログラムと同じ形であるので、通常のFT−IRスペク
トロメータでの処理と同様に、AD変換器8により干渉
計2が持つ周期τ0 の基準信号(図3(D))でサンプ
リングを行い、コンピュータ9によりフーリエ変換する
ことにより、スペクトル T( σ,) B(σ) が求められ
る。このとき、τ0 は、バンドパスフィルタ6から出力
されるインタフェログラム信号の持つ変調周波数の最小
と最大をfmin 、fmax とすると、 τ0 >m′/2fmin ,τ0 <(m′+1)/2fmax の条件を満足する必要がある。ここで、m′はゼロ又は
正の整数である。したがって、上記と同様にして求めた
B(σ) と上記のより求めたスペクトル T( σ) B(σ) と
の比をとれば、試料3の透過率スペクトル T( σ) を得
ることができる。以上のようにして、本発明のパルス光
源を用いたフーリエ変換分光法によると、発光周期がイ
ンタフェログラム信号の持っている最大周波数fmax の
2倍の逆数より長い周期パルス光源、すなわち、発光周
期がより長いパルス光源を用いて、スペクトル分光測定
ができるものである。F (x) = (1 / τ) ∫T (σ) B (σ) cos2πxσdσ (3) Equation (3) is an analog interferogram, and the time t It is an independent formula. That is, the digital signal as shown in FIG. 3B sampled by the light source 1 is restored to the analog signal as shown in FIG. Since this has the same form as the interferogram obtained by the normal FT-IR spectrometer measurement, the period τ 0 of the interferometer 2 provided by the AD converter 8 is similar to the processing in the normal FT-IR spectrometer. The spectrum T (σ,) B (σ) is obtained by performing sampling using the reference signal (FIG. 3D) and performing Fourier transform by the computer 9. In this case, tau 0, when the minimum and maximum modulation frequency with the interferogram signal output from the band pass filter 6 f min, and f max, τ 0> m ' / 2f min, τ 0 <(m' +1) / 2f max must be satisfied. Here, m 'is zero or a positive integer. Therefore, it was determined in the same manner as above.
The transmittance spectrum T (σ) of the sample 3 can be obtained by calculating the ratio between B (σ) and the spectrum T (σ) B (σ) obtained above. As described above, according to the Fourier transform spectroscopy using the pulse light source of the present invention, the periodic pulse light source whose emission cycle is longer than the reciprocal of twice the maximum frequency f max of the interferogram signal, that is, the emission cycle Can use a longer pulsed light source to perform spectral spectrometry.
【0023】次に、本発明のフーリエ分光法をラマン分
光に適用する場合は、図5に構成の要部を示すように、
周期τで発光するパルスレーザ10により試料3を励起
し、試料3からのラマン光を干渉計2を介して検知器4
で検知し、その出力を、図1の場合と同様にして、プリ
アンプ5、バンドパスフィルタ6を経て、メインアンプ
7に入力し、AD変換器8でフーリエ変換のためにサン
プリングする。この場合も、励起パルスレーザ10の発
光周期τは、試料3からのラマン光のスペクトルが干渉
計2により変調された周波数(インタフェログラムの周
波数)の最小と最大をfmin 、fmax とすると、 τ>m/2fmin ・・・(a) τ<(m+1)/2fmax ・・・(b) の条件を満足して発光が繰り返される。ここで、mは正
の整数でる。すなわち、測定ラマン光のスペクトルがm
/2τ<f<(m+1)/2τの範囲にのみ存在する場
合である。Next, when the Fourier spectroscopy of the present invention is applied to Raman spectroscopy, as shown in FIG.
A sample 3 is excited by a pulse laser 10 emitting light at a period τ, and Raman light from the sample 3 is detected by a detector 4 via an interferometer 2.
The output is input to the main amplifier 7 through the preamplifier 5 and the band-pass filter 6 in the same manner as in the case of FIG. 1, and is sampled by the AD converter 8 for Fourier transform. Also in this case, the emission period τ of the excitation pulse laser 10 is given by f min, f max where the minimum and maximum of the frequency (interferogram frequency) at which the spectrum of the Raman light from the sample 3 is modulated by the interferometer 2 are τ> m / 2fmin (a) Light emission is repeated while satisfying the condition of τ <(m + 1) / 2fmax (b). Here, m is a positive integer. That is, the spectrum of the measured Raman light is m
/ 2τ <f <(m + 1) / 2τ.
【0024】なお、本発明は、上記の実施例に限定され
るものではなく、種々の変形が可能である。また、本発
明のパルス光源を用いたフーリエ変換分光法を時間分解
分光測定法に適用することもできる。It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. Further, Fourier transform spectroscopy using the pulse light source of the present invention can also be applied to time-resolved spectroscopy.
【0025】[0025]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のパルス光源を用いたフーリエ変換分光法によれば、光
源としてパルス光源を用い、干渉計による変調周波数を
f、パルス光源の周波数を1/τとしたとき、m/2τ
<f<(m+1)/2τ(mは正の整数)にのみに検出
器出力信号が存在する場合に適用できるので、発光周期
がインタフェログラム信号の持っている最大周波数f
max の2倍の逆数より長い周期パルス光源、すなわち、
発光周期がより長いパルス光源を用いて、スペクトル分
光測定ができるようになる。したがって、パルス光源と
して利用できるものがより多くなる。As is apparent from the above description, according to the Fourier transform spectroscopy using the pulse light source of the present invention, the pulse light source is used as the light source, the modulation frequency by the interferometer is f, and the frequency of the pulse light source is When 1 / τ, m / 2τ
<F <(m + 1) / 2τ (m is a positive integer), so that the present invention can be applied to the case where the detector output signal exists only at the maximum frequency f of the interferogram signal.
A periodic pulsed light source longer than the reciprocal of twice max , ie
Using a pulsed light source having a longer light emission cycle, spectral spectrometry can be performed. Therefore, more light sources can be used as pulse light sources.
【0026】また、本発明の前提の方法と同様、光源に
パルス光源を利用するので、SOR光源やパルスレーザ
励起ラマン試料等を光源として利用することができ、し
かも、測定対象に光を照射する時間を短くし照射する光
量を少なくすることができるので、光照射により影響を
受ける測定対象や連続照射等が好ましくない測定対象に
対してもフーリエ変換分光法を適用することができ、応
用対象が広がるものである。Since the pulse light source is used as the light source as in the premise method of the present invention, an SOR light source or a pulsed laser-excited Raman sample can be used as the light source, and the object to be measured is irradiated with light. Since the time can be shortened and the amount of light to be irradiated can be reduced, Fourier transform spectroscopy can be applied to measurement objects affected by light irradiation or measurement objects where continuous irradiation is not preferable. It spreads.
【0027】しかも、本発明の前提の方法に比べて、ロ
ーパスフィルタをバンドパスフィルタで置き換えると言
う単純な変更のみで、この方法を実施する装置を構成す
ることができる。Moreover, as compared with the method presupposed by the present invention, an apparatus for implementing this method can be configured with only a simple change of replacing the low-pass filter with a band-pass filter.
【図1】本発明に係るパルス光源を用いたフーリエ変換
分光法を実施するためのフーリエ変換分光装置の基本構
成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a basic configuration of a Fourier transform spectrometer for performing Fourier transform spectroscopy using a pulse light source according to the present invention.
【図2】アナログ形態とデジタル形態のインタフェログ
ラムとそれらに含まれるスペクトルを説明するための図
である。FIG. 2 is a diagram for explaining an analog interferogram and a digital interferogram and spectra included therein;
【図3】本発明に係るパルス光源を用いたフーリエ変換
分光法の動作を説明するための波形図である。FIG. 3 is a waveform diagram for explaining the operation of Fourier transform spectroscopy using the pulse light source according to the present invention.
【図4】図1の装置に用いるバンドパスフィルタの周波
数応答特性とその出力スペクトルを示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a frequency response characteristic of a bandpass filter used in the apparatus of FIG. 1 and an output spectrum thereof.
【図5】本発明のフーリエ変換分光法をラマン分光法に
適用した実施例の構成の要部を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a main part of a configuration of an embodiment in which the Fourier transform spectroscopy of the present invention is applied to Raman spectroscopy.
【図6】従来のフーリエ変換分光装置の構成を説明する
ための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining a configuration of a conventional Fourier transform spectrometer.
【図7】図6の装置の動作を説明するための波形図であ
る。FIG. 7 is a waveform chart for explaining the operation of the device of FIG. 6;
【符号の説明】 1…周期パルス光源 2…干渉計 3…試料 4…検知器 5…プリアンプ 6…バンドパスフィルタ 7…メインアンプ 8…AD変換器 9…コンピュータ 10…ラマン励起用パルスレーザ[Description of Signs] 1 ... Periodic pulse light source 2 ... Interferometer 3 ... Sample 4 ... Detector 5 ... Preamplifier 6 ... Band pass filter 7 ... Main amplifier 8 ... AD converter 9 ... Computer 10 ... Pulse laser for Raman excitation
Claims (1)
出力からインタフェログラムを取得し、フーリエ変換し
て測定光のスペクトルを得るフーリエ変換分光法であっ
て、光源としてパルス光源を用い、干渉計による変調周
波数をf、パルス光源の周波数を1/τとしたとき、m
/2τ<f<(m+1)/2τ(mは正の整数)にのみ
に検出器出力信号が存在する場合に適用するフーリエ変
換分光法において、検出器出力信号のm/2τ<f<
(m+1)/2τ(mは正の整数)の範囲の周波数成分
を取り出し、サンプリングしてフーリエ変換することに
より、測定光のスペクトルを得ることを特徴とするパル
ス光源を用いたフーリエ変換分光法。1. A Fourier transform spectroscopy method for obtaining an interferogram from a detector output using a rapid scan interferometer and performing a Fourier transform to obtain a spectrum of measurement light, wherein a pulse light source is used as a light source and the interferometer is used. When the modulation frequency is f and the frequency of the pulse light source is 1 / τ, m
/ 2τ <f <(m + 1) / 2τ (m is a positive integer), and in the Fourier transform spectroscopy applied when the detector output signal exists only at m / 2τ <f <
Fourier transform spectroscopy using a pulsed light source, wherein a frequency component in a range of (m + 1) / 2τ (m is a positive integer) is extracted, sampled, and subjected to Fourier transform to obtain a spectrum of measurement light.
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