JP2808255B2

JP2808255B2 - 湿度センサ素子

Info

Publication number: JP2808255B2
Application number: JP9606595A
Authority: JP
Inventors: 江美子吉村; 信一手塚
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1994-03-31
Filing date: 1995-03-29
Publication date: 1998-10-08
Anticipated expiration: 2013-10-08
Also published as: JPH07318526A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、雰囲気中の水分を検
知、定量するための湿度センサ素子およびその製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電気抵抗値などの電気特性の変化
により湿度を検出する湿度センサ用材料（感湿材料）と
して、塩化リチウム等の電解質を用いたもの、金属酸化
物を用いたもの、有機高分子化合物を用いたものが知ら
れている。

【０００３】しかし、塩化リチウム等の電解質系のもの
は、計測湿度範囲が狭く、また結露や水漏れで特性が変
化し耐水性が悪い。また、金属酸化物を用いたものは耐
水性は強いが感度が低く、またそのままでは長期安定性
が悪いため加熱クリーニング回路が必要で、そのため運
転コストが高く、かつセンサ構造が複雑という欠点を有
している。

【０００４】他方、湿度センサ用材料の中でも、有機高
分子化合物、特に第四級アンモニウム塩基を持つ高分子
電解質は、民生用や産業用に広く利用され、高く評価さ
れている材料である。

【０００５】例えば、特公昭６１−５４１７６号公報に
は、疎水性モノマとイオン性あるいは非イオン性の親水
性モノマとの共重合体であり、かつ表面層が親水性があ
るラテックス粒子の集合体からなる感湿材が開示されて
おり、そのなかにカチオン性化合物として第一級ないし
第四級の各アンモニウム塩を有するものが挙げられてい
る。

【０００６】また、特公昭６２−７９７６号公報には、
２−ヒドロキシ−３−メタクリルオキシプロピルトリメ
チルアンモニウムクロライドを含む高分子を、重合度１
０００〜１００００の範囲で重合させて得た重合体を感
湿材料に用いることが開示されている。

【０００７】さらに、特公平２−２４４６５号公報に
は、 −（Ｎ⁺ （Ｒ¹ ）（Ｒ² ）Ｘ^- −Ａ−Ｎ⁺ （Ｒ³ ）（Ｒ
⁴ ）Ｘ^- −Ｂ）_n − 〔ここで、Ｒ¹ 〜Ｒ⁴ はアルキル基、Ｘ^- はハロゲンイ
オン、Ａ、Ｂは−（ＣＨ₂ ）_m −（ｍ≧２）〕の構造式
を有するポリマーの薄膜、あるいは基板に対する接着性
や耐水性を向上させる目的で、このポリマーとポリビニ
ルピロリドンのような他のポリマーとの混合物の薄膜を
感湿高分子の薄膜として用いることが開示されている。

【０００８】しかし、上記に例示したようなこれまでの
高分子電解質を湿度センサ用材料に用いた湿度センサの
場合、高い湿度領域、特に結露雰囲気中では高分子電解
質が一部溶出するなど耐水性が悪く、また湿度を増加さ
せた場合と減少させた場合とで同じ湿度でも異なる出力
値を示すヒステリシス現象もみられた。また１０％ＲＨ
以下の低湿度領域では高い抵抗値をもち実用上湿度測定
が不可能であった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明の主たる目的
は、耐水性に優れ、結露する雰囲気中でも長期間安定に
動作し、その上広い湿度領域で、特に低湿度領域におい
ても、安定した優れた出力特性をもつ感湿薄膜を有する
湿度センサ素子および製造方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
（１）〜（８）の本発明により達成される。（１）絶縁基板上にギャップを介して対向するように一
対の電極を有し、このギャップ上に感湿薄膜を有し、こ
の感湿薄膜が、下記化４で示される重合体の架橋物を含
有する湿度センサ素子。

【００１１】

【化４】

【００１２】〔化４において、ＡおよびＢは各々二価基
を表わす。Ｙ_１およびＹ_６は、アクリロイルオキシ基、
メタクリロイルオキシ基、アクリロイルイミノ基、メタ
クリロイルイミノ基、アリルオキシ基、ビニロキシ基お
よびビニルベンジル基から選ばれたエチレン性不飽和反
応性基を末端に有する基であり、Ｙ_２、Ｙ_３、Ｙ_４およ
びＹ_５は、各々アルキル基またはアルケニル基を表わ
す。Ｙ_１とＹ_２、Ｙ_１とＡもしくはＡの一部、Ｙ_２とＡ
もしくはＡの一部、Ｙ_３とＹ_４、Ｙ_３とＡもしくはＡの
一部、Ｙ_４とＡもしくはＡの一部、Ｙ_１とＹ_３もしくは
Ｙ_４、またはＹ_２とＹ_３もしくはＹ_４が互いに結合して
窒素原子（Ｎ）とともに環を形成してもよい。Ｙ_１、Ｙ
_２、Ｙ_３、Ｙ_４、Ｙ_５、Ａおよびこれらの窒素原子
（Ｎ）側の一部のうちの任意の２つ以上、またはＹ_４、
Ｙ_５、Ｙ_６、Ｂおよびこれらの窒素原子（Ｎ）側の一部
のうちの任意の２つ以上が結合して窒素原子（Ｎ）とと
もに環を形成してもよい。Ｘ⁻はハロゲン化物イオンを
表わす。ｎは２〜５０００である。〕（２）前記重合体が、下記化５または化６で示される上
記（１）の湿度センサ素子。

【００１３】

【化５】

【００１４】

【化６】

【００１５】〔化５および化６の各々において、Ａおよ
びＢは各々二価基を表わす。Ｒ_１、Ｒ_２、Ｒ_３およびＲ
_４は各々アルキル基またはアルケニル基を表わす。Ｒ_１
とＲ_２、Ｒ_１とＡもしくはＡの一部、Ｒ_２とＡもしくは
Ａの一部、Ｒ_３とＲ_４、Ｒ_３とＡもしくはＡの一部、Ｒ
_４とＡもしくはＡの一部、Ｒ_１とＲ_３もしくはＲ_４、ま
たはＲ_２とＲ_３もしくはＲ_４が互いに結合して窒素原子
（Ｎ）とともに環を形成してもよい。ＬはＣＨ_２＝ＣＲ
と一緒になって、前記エチレン性不飽和反応性基を末端
に有する基を完成させる二価基を表わす。Ｒは水素原子
またはアルキル基を表わす。Ｘ⁻はハロゲン化物イオン
を表わす。ｎは２〜５０００である。化５において、Ｒ
_５およびＲ_６は各々アルキル基またはアルケニル基を表
わす。Ｒ_５、Ｒ_６およびＬの２個または３個は互いに結
合して窒素原子（Ｎ）とともに環を形成しても良い。〕（３）前記Ｘ⁻で表わされるハロゲン化物イオンが塩化
物イオンである上記（１）または（２）の湿度センサ素
子。（４）前記Ａで表わされる二価基がアルキレン基、アル
ケニレン基、アリーレン基またはこれらの組合せである
上記（１）〜（３）のいずれかの湿度センサ素子。（５）前記Ｂで表わされる二価基が、オキシ基（−Ｏ
−）およびカルボニル基（−ＣＯ−）のうちの１種以上
が介在してもよいアルキレン基、アルケニレン基、アリ
ーレン基またはこれらの組合せである上記（１）〜
（４）のいずれかの湿度センサ素子。（６）前記重合体が、ジアミン化合物とジハロゲン化合
物とを反応させて得られる中間重合体の両末端にエチレ
ン性不飽和反応性基を導入して得られる上記（２）〜
（５）のいずれかの湿度センサ素子。（７）前記架橋物が放射線照射によって得られる上記
（１）〜（６）のいずれかの湿度センサ素子。（８）前記感湿薄膜上にさらに撥水性被膜を設けた上記
（１）〜（７）のいずれかの湿度センサ素子。

【００１６】

【作用】本発明では、絶縁基板上に設けた一対の電極を
被覆するように導電性高分子の感湿薄膜を形成する。こ
の感湿薄膜は化４、好ましくは化５、化６で示される重
合体の架橋物を含有するものである。すなわち、この感
湿薄膜は、上記重合体を含有する水溶液を塗布したの
ち、好ましくは紫外線照射によって上記重合体を架橋さ
せて得られたものである。上記重合体は化４〜化６に示
されるように、主鎖中に４級アンモニウム塩基（環化し
たものも含む。）を有し、かつ重合体のいずれかの末端
に、好ましくは両末端にエチレン性不飽和反応性基を有
する構造的特徴をもつ。

【００１７】このような重合体を用いた感湿薄膜では、
重合体分子内に含まれる４級アンモニウム塩基部分が導
電性を発現する部分となり、４級アンモニウム塩基の対
イオンが雰囲気中の水分により解離し、イオン伝導性を
示す。そして雰囲気中の水分の多寡により、この解離の
程度が変化する現象を利用して湿度を検出するものであ
る。

【００１８】上記重合体は、主鎖中に、４級アンモニウ
ム塩基を有するため、出力特性に優れた湿度センサ素子
となり、ヒステリシスも生じない。

【００１９】また、上記重合体において、４級アンモニ
ウム塩基の対イオンを塩化物イオンとすることで、特に
低湿度領域（１０％ＲＨ以下）の測定が可能になり、測
定領域が広域となるとともに、従来のセンサでは測定不
可能だった０％ＲＨ〜１００％ＲＨまでの全湿度範囲で
の測定が可能となる。

【００２０】さらに、上記重合体は、末端基にエチレン
性不飽和反応性基を有するものであるため、放射線、好
ましくは紫外線照射による架橋が可能になる。そして、
この架橋により耐水性に優れた感湿薄膜が得られ、耐水
性に優れた湿度センサ素子となる。しかしながら、架橋
による感湿機能の低下はみられない。

【００２１】なお、特公平２−２４４６５号公報には、
前記のように、主鎖中に４級アンモニウム基を有する本
発明と類似の重合体が開示されている。しかし、本発明
と異なり、重合体の末端にエチレン性不飽和反応性基を
導入した構造については示唆すらされていない。従っ
て、上記公報の発明と本発明とは構成が明らかに異なる
ものである。また、上記公報には、耐水性向上のため、
ポリビニルピロリドンのような他の重合体を併用する旨
の記載があるが、本発明の後記実施例に示されるとお
り、本発明に比べ耐水性が明らかに劣るものである。

【００２２】

【具体的構成】以下、本発明の具体的構成について詳細
に説明する。

【００２３】本発明の湿度センサ素子は、絶縁基板上に
ギャップを介して対向するように一対の電極を有し、こ
のギャップ上に感湿薄膜を有するものである。

【００２４】そして、上記の感湿薄膜は化４で示される
重合体の架橋物を含有する。

【００２５】化４について記す。

【００２６】化４において、Ａ、Ｂ、Ｘ^- およびｎは、
各々、化５、化６におけるものと同義であり、以下で併
せて説明する。

【００２７】Ｙ_１およびＹ_６は一価基を表わし、Ｙ_１お
よびＹ_６のうち少なくとも一つは、アクリロイルオキシ
基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイルイミノ基、
メタクリロイルイミノ基、アリルオキシ基、ビニロキシ
基およびビニルベンジル基から選ばれたエチレン性不飽
和反応性基を末端に有する基である。

【００２８】また、Ｙ_２、Ｙ_３、Ｙ_４およびＹ_５は、各
々アルキル基またはアルケニル基を表す。アルキル基、
アルケニル基の具体例については、化５、化６のＲ_１等
と同様のものが挙げられ、以下に併せて説明する。Ｙ_１
とＹ_２、Ｙ_１とＡもしくはＡの一部、Ｙ_２とＡもしくは
Ａの一部、Ｙ_３とＹ_４、Ｙ_３とＡもしくはＡの一部、Ｙ
_４とＡもしくはＡの一部、Ｙ_１とＹ_３もしくはＹ_４、Ｙ
_２とＹ_３もしくはＹ_４が互いに結合して窒素原子（Ｎ）
とともに環を形成していてもよく、Ｙ_１、Ｙ_２、Ｙ_３、
Ｙ_４、Ｙ_５、Ａおよびこれらの窒素原子（Ｎ）側の一部
のうち任意の２つ以上、またはＹ_４、Ｙ_５、Ｙ_６、Ｂお
よびこれらの窒素原子（Ｎ）側の一部のうち任意の２つ
以上が結合して窒素原子（Ｎ）とともに環を形成しても
よいが、形成される環としては、化５、化６のＲ_１等に
よって形成される環と同様であるので、後述する。

【００２９】化４で示される重合体は、上記のように、
エチレン性不飽和反応性基を少なくとも１個有するもの
であればよく、通常は２個程度が好ましい。このような
反応性基の数の上限値には特に制限はないが、重合体単
位質量当りの二重結合当量で換算してこのような二重結
合が１×１０^-3〜２meq/g 、さらには２×１０^-3〜１me
q/g で存在することが好ましい。

【００３０】また、Ｙ₂ 〜Ｙ₅ で表わされる一価基は、
化４に示される分子構造中の繰り返し単位の結合鎖を含
むものであってもよく、そのとき化４中の繰り返し単位
は各々同一であっても、異なるものであってもよい。

【００３１】さらに、化４で示される重合体中における
４級アンモニウム塩基の数は、重合体単位質量当りのカ
チオン当量で換算して、１．２〜９．５meq/g 、さらに
は１．５〜９．５meq/g で存在することが好ましい

【００３２】化４で示される重合体のなかでも、化５、
化６で示される重合体が好ましい。化５、化６について
記す。化５、化６において、ＡおよびＢは各々二価基を
表わす。

【００３３】Ａで表わされる二価基としては、アルキレ
ン基、アルケニレン基、アリーレン基またはこれらの組
合せが好ましく、これらはヒドロキシ基やメチル基等の
アルキル基、あるいはカルバモイル基などが置換してい
てもよい。

【００３４】アルキレン基の総炭素数は１〜２０が好ま
しく、ヒドロキシ基が置換するときの置換基数は１〜５
が好ましい。

【００３５】アルケニレン基の総炭素数は２〜１０が好
ましい。

【００３６】アリーレン基の総炭素数は６〜２０が好ま
しい。

【００３７】また、これらの組合せであるときの総炭素
数は３〜２０が好ましい。

【００３８】具体的には、−（ＣＨ₂ ）_m −（ｍ＝１〜
２０の整数）、−ＣＨ₂ ＣＨ＝ＣＨ−ＣＨ₂ −、−ＣＨ
₂ −ＣＨ（ＯＨ）−ＣＨ₂ − −ＣＨ（ＣＨ₃ ）−ＣＨ₂ −ＣＨ₂ −、−Ｃ₆ Ｈ₄ −Ｃ
₆ Ｈ₄ −、−Ｃ₆ Ｈ₄ −ＣＨ（ＯＨ）−Ｃ₆ Ｈ₄ −等が
好ましいものとして挙げられる。

【００３９】Ｂで表わされる二価基としては、アルキレ
ン基、オキシ基（−Ｏ−）およびカルボニル基（−ＣＯ
−）のうちの１種以上が介在したアルキレン基、アルケ
ニレン基、アリーレン基またはこれらの組合せが好まし
く、これらはヒドロキシ基やビニル基等のアルケニル基
などが置換していてもよい。

【００４０】アルキレン基の総炭素数は１〜２０が好ま
しく、ヒドロキシ基が置換するときの置換基数は１〜５
が好ましい。また、アルキレン基に−Ｏ−、−ＣＯ−が
介在するときの介在数は合計で１〜５が好ましい。

【００４１】アルケニレン基の総炭素数は２〜１０が好
ましい。アリーレン基の総炭素数は６〜２０が好まし
い。また、これらの組合せであるときの総炭素数は３〜
２０が好ましい。

【００４２】具体的には、−（ＣＨ₂ ）_m −（ｍ＝１〜
２０の整数）、−（ＣＨ₂ ）₂ −ＣＨ（ＯＨ）−ＣＨ₂
−、−ＣＨ₂ −ＣＨ（ＯＨ）−ＣＨ₂ −、−ＣＨ₂ −Ｃ
Ｈ＝ＣＨ−ＣＨ₂ −、−ＣＨ₂ −ＣＨ（ＣＨ＝ＣＨ₂ ）
−、−（ＣＨ₂ −ＣＨ₂ −Ｏ）₂ −（ＣＨ₂ ）₂ −、−
ＣＨ₂ −（ＣＯ）−ＣＨ₂ −、−ＣＨ₂ −Ｃ₆ Ｈ₄ −Ｃ
Ｈ₂ −等が好ましいものとして挙げられる。

【００４３】Ｒ₁ 、Ｒ₂ 、Ｒ₃ およびＲ₄ は各々アルキ
ル基またはアルケニル基を表わす。

【００４４】Ｒ₁ 〜Ｒ₄ で表わされるアルキル基として
は、炭素数の１〜１０のものが好ましく、置換基を有し
ていてもよいが、無置換のものが好ましい。具体的に
は、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等が好
ましいものとして挙げられる。

【００４５】Ｒ₁ 〜Ｒ₄ で表わされるアルケニル基とし
ては、炭素数１〜１０のものが好ましく、置換基を有し
ていてもよいが、無置換のものが好ましい。具体的には
ビニル基、アリル基、プロペニル基、ブテニル基等が好
ましいものとして挙げられる。

【００４６】Ｒ₁ とＲ₂ 、Ｒ₁ とＡもしくはＡの一部、
Ｒ₂ とＡもしくはＡの一部、Ｒ₃ とＲ₄ 、Ｒ₃ とＡもし
くはＡの一部、Ｒ₄ とＡもしくはＡの一部、Ｒ₁ とＲ₃
もしくはＲ₄ 、またはＲ₂ とＲ₃ もしくはＲ₄ が互いに
結合して窒素原子（Ｎ）とともに環を形成してもよい。
このような環としては、５員または６員、特に６員の含
窒素複素環が好ましく挙げられ、さらには橋かけ環であ
ってもよい。このような含窒素複素環としては、ピリジ
ン環、１，４−ジアザビシクロ〔２．２．２〕オクタン
環、ピペリジン環、ピペラジン環、ピラジン環等が好ま
しく、場合によってはカルバモイル基等が置換していて
もよい。

【００４７】化５において、Ｒ₅ およびＲ₆ は、各々、
アルキル基またはアルケニル基を表わす。なかでも、ア
ルキル基が好ましく、炭素数１〜１０のものが好まし
く、置換基を有していてもよいが、無置換であることが
好ましく、メチル基、エチル基等が好ましいものとして
挙げられる。また、Ｒ₅ 、Ｒ₆ で表わされるアルケニル
基の具体例等については、Ｒ₁ 〜Ｒ₄ におけるものと同
様のものが挙げられる。

【００４８】化５、化６において、Ｌは二価基を表わ
す。化５におけるＬの好ましいものとしては、−ＣＯＯ
（ＣＨ₂ ）₂ −、−ＣＯＮＨ（ＣＨ₂ ）₃ −、−（ＣＨ
₂ ）_m−（ｍは１〜２０の整数）などが挙げられる。ま
た、化６におけるＬの好ましいものとしては、−ＯＣＨ
₂ ＣＨ₂ −、−（ＣＨ₂ ）_m −（ｍは１〜２０の整
数）、−ＣＯＯ（ＣＨ₂ ）₂ −、−ＣＯＯＣＨ₂ ＣＨ
（ＯＨ）ＣＨ₂ −、−ＣＨ₂ −Ｃ₆ Ｈ₄ −（ｐ−または
ｍ−）などが挙げられる。

【００４９】なお、化５において、Ｒ₅ 、Ｒ₆ およびＬ
は、これらのなかの２個または３個の組合せで適宜結合
して窒素原子（Ｎ）とともにピリジン環等を形成してい
てもよい。

【００５０】化５、化６において、Ｒは水素原子または
アルキル基を表わすが、水素原子、メチル基が特に好ま
しい。

【００５１】化５、化６において、Ｘ^- はハロゲン化物
イオンを表わし、具体的には塩化物イオン、臭化物イオ
ン、ヨウ化物イオン等であってよいが、塩化物イオン、
臭化物イオンが好ましく、特に塩化物イオンが好まし
い。これらのＸ^- は通常同一であるが、各々異なってい
てもよい。

【００５２】ｎは２〜５０００の数を表わす。

【００５３】化４、化５、化６で示される重合体の数平
均分子量Ｍ_n は１０００〜１００万程度である。

【００５４】本発明に好ましく用いられる化５、化６で
示される重合体（以下、「化５、化６の重合体」ともい
う。）は次のようにして得られる。

【００５５】化５の重合体は、化７に示すようなスキー
ムに従って合成される。

【００５６】まず、ジアミン化合物とジハロゲン化合物
との反応から、４級アンモニウム塩基を有し末端基がハ
ロゲンである中間重合体Ｉを得る。この場合、ジアミン
化合物に対しジハロゲン化合物が１．１倍モル量〜２．
０倍モル量となる条件下で反応させればよい。また、中
間重合体Ｉの末端基を確実にハロゲンとするために、ジ
ハロゲン化合物を２回に分けて添加してもよく、この場
合の１回目の添加量は、ジアミン化合物に対し１倍モル
量〜１．３倍モル量程度とし、２回目は残部を添加する
ようにすればよい。

【００５７】このときの反応はメタノール、イソプロパ
ノール、メトキシエタノール、２−エトキシエタノール
等の非水溶媒中で還流温度あるいは１００℃程度の温度
にて５〜１００時間程度行う。

【００５８】次に、エチレン性不飽和反応性基を有する
化合物Ａを中間重合体Ｉと反応させ、中間重合体Ｉの両
末端にエチレン性不飽和反応性基を導入して化５の重合
体を得る。この場合の反応は、上記の反応に引き続き行
えばよく、上記溶液にジハロゲン化合物とほぼ等モル量
のエチレン性不飽和反応性基を有する化合物Ａを添加
し、１５〜１００℃程度の温度で、重合禁止剤（例え
ば、ｍ−ジニトロベンゼン）の存在下にて、１０〜１５
０時間程度反応させる。この反応において、導入された
エチレン性不飽和反応性基の少なくとも一部に重合が生
じるような反応条件を選択すれば、感湿薄膜として用い
たとき、さらに耐水性が向上する。そのためには、７０
℃以上、特に７０〜１００℃の温度で反応させることが
好ましい。

【００５９】その後、反応溶液をアセトン、酢酸エチル
等の溶媒に滴下して沈澱物を生成させ、これを濾取する
ことにより沈澱精製し、目的物が得られる。

【００６０】

【化７】

【００６１】一方、化６の重合体は化８に示すようなス
キームに従って合成される。

【００６２】まず、ジアミン化合物とジハロゲン化合物
との反応から、４級アンモニウム塩基を有し末端基がア
ミノ基である中間重合体IIを得る。この場合、ジハロゲ
ン化合物に対しジアミン化合物が１．１倍モル量〜２．
０倍モル量となる条件下で反応させればよい。このほか
の反応条件等については、前記の中間重合体Ｉを得る場
合と同様であり、末端基を確実にアミノ基とするための
方法も前記に準じて行えばよい。

【００６３】次に、エチレン性不飽和反応性基を有する
化合物Ｂを中間重合体IIと反応させ、中間重合体IIの両
末端エチレン性不飽和反応性基を導入して化６の重合体
を得る。この場合の反応は前記の化５の重合体と同様に
行えばよい。また、導入した末端エチレン性不飽和反応
性基の少なくとも一部において重合が起きるような反応
条件についても同様である。

【００６４】

【化８】

【００６５】化５、化６で示される重合体は、ジアミン
化合物とジハロゲン化合物との反応によって得られるも
のであり、化７、化８のスキームに従う反応が可能なも
のであれば、用いられるジアミン化合物およびジハロゲ
ン化合物はいずれであってもよく、特に限定されるもの
ではない。なお、これらの重合体および中間重合体は、
通常、重合度ｎが２〜２０程度のオリゴマーと重合度ｎ
が２０をこえるポリマーとの混合物として得られる。

【００６６】ジアミン化合物の好適例を化９、化１０、
化１１に示す。

【００６７】

【化９】

【００６８】

【化１０】

【００６９】

【化１１】

【００７０】ジハロゲン化合物の好適例を化１２、１３
に示す。

【００７１】

【化１２】

【００７２】

【化１３】

【００７３】化１２、１３において、Ｘは前記と同義で
あるが、塩素原子、臭素原子が好ましい。

【００７４】化５、化６の重合体の中間重合体の例をジ
アミン化合物とジハロゲン化合物の組合わせから得られ
る重合体として以下に示す。なお、カッコ内の数値はモ
ル比を表わす。

【００７５】（１）A-16/B-10(50/50)の組合わせから得
られる重合体（２）A-8/B-12/B-10(50/48/2)の組合わせから得られる
重合体（３）A-8/B-13/B-10(50/48/2)の組合わせから得られる
重合体（４）A-8/B-15/B-10(50/48/2)の組合わせから得られる
重合体（５）A-16/B-2(50/50) の組合わせから得られる重合体（６）A-7/B-10(50/50) の組合わせから得られる重合体（７）A-2/B-10(50/50) の組合わせから得られる重合体（８）A-9/B-10(50/50) の組合わせから得られる重合体（９）A-16/B-9(50/50) の組合わせから得られる重合体（10）A-3/A-8/B-10(2/48/50) の組合わせから得られる
重合体（11）A-14/A-16/B-17(49/1/50) の組合わせから得られ
る重合体（12）A-11/B-16(50/50)の組合わせから得られる重合体（13）A-6/B-4/B-15(50/47/3) の組合わせから得られる
重合体（14）A-11/B-6(50/50) の組合わせから得られる重合体（15）A-13/B-3(50/50) の組合わせから得られる重合体（16）A-10/B-15(50/50)の組合わせから得られる重合体（17）A-15/B-16(50/50)の組合わせから得られる重合体（18）A-4/B-10(50/50) の組合わせから得られる重合体（19）A-10/B-12/B-10(50/48/2) の組合わせから得られ
る重合体（20）A-8/B-2(50/50)の組合わせから得られる重合体（21）A-7/A-16/B-10(15/35/50) の組合わせから得られ
る重合体（22）A-8/A-16/B-10(15/35/50) の組合わせから得られ
る重合体（23）A-9/A-16/B-10(15/35/50) の組合わせから得られ
る重合体（24）A-10/A-16/B-10(15/35/50)の組合わせから得られ
る重合体（25）A-8/B-13(50/50) の組合わせから得られる重合体（26）A-8/A-10/B-13(15/35/50) の組合わせから得られ
る重合体（27）A-8/B-13/B-10(50/40/10) の組合わせから得られ
る重合体（28）A-8/B-13/B-2(50/40/10)の組合わせから得られる
重合体（29）A-9/B-13(50/50) の組合わせから得られる重合体（30）A-8/A-9/B-13(25/25/50)の組合わせから得られる
重合体（31）A-9/A-10/B-13(25/25/50) の組合わせから得られ
る重合体

【００７６】中間重合体Ｉ、IIの両末端にエチレン性不
飽和反応性基を導入する際に用いられる化合物Ａ、Ｂと
しては、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ
基、アクリロイルイミノ基、メタクリロイルイミノ基、
ビニル基、アリル基、ジアリルメチル基、アリルオキシ
基、ジアクリロイルイミノ基、ジメタクリロイルイミノ
基等のエチレン性不飽和反応性基を有する化合物であれ
ば特に制限はない。なお、中間重合体Ｉ、IIの生成の段
階で末端にエチレン性不飽和反応性基を有する［例えば
（１０）、（１１）、（１３）］の場合は，そのまま本
発明の重合体として用いることができる。

【００７７】中間重合体Ｉとの組合わせにおいて好まし
く用いられる化合物Ａとしては化１４のものが挙げられ
る。

【００７８】

【化１４】

【００７９】一方、中間重合体IIとの組合わせにおいて
好ましく用いられる化合物Ｂとしては化１５のものが挙
げられる。

【００８０】

【化１５】

【００８１】化１５において、Ｘは前記と同義である。

【００８２】本発明において、化４、好ましくは化５、
化６の重合体は通常１種のみ用いられるが、２種以上を
併用してもよい。

【００８３】本発明における感湿薄膜は、前記のとお
り、化４、好ましくは化５、化６の重合体の架橋物を含
有するものであるが、感湿薄膜の形成は次のように行う
ことが好ましい。

【００８４】化４、好ましくは化５、化６の重合体を含
有する塗布液を調製する。塗布液は、上記重合体の１〜
１０wt% 水溶液とすることが好ましい。このとき、後に
上記重合体を放射線、好ましくは紫外線照射により架橋
させる都合上、重合開始剤（例えば水溶性のベンゾフェ
ノン系の化合物を０．０３〜０．７wt% 程度添加するこ
とが好ましい。

【００８５】本発明では、上記の塗布液を用いて、前記
のように電極が設けられた絶縁基板上に感湿薄膜を形成
するが、塗布により形成することが好ましい。塗布方法
としては、例えば浸漬（ディッピング）法、刷毛塗り
法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、スピナー塗布
法等種々の方法が使用でき、工程や製品の用途・種類等
により選択すればよい。

【００８６】このように塗膜を形成したのち、１５〜１
００℃程度の温度で３〜１５分程度乾燥し、その後重合
体を架橋させる。重合体の架橋は、放射線照射によるこ
とが好ましく、特に、紫外線照射によることが好まし
い。

【００８７】紫外線照射による架橋方法は、公知の方法
に従って行えばよい。通常、照射する紫外線強度は、５
０mW/cm²程度以上、照射量は２００〜２５００mJ/cm²程
度とすればよい。また、紫外線源としては、水銀灯など
の通常のものを用いればよい。

【００８８】このようにして得られる感湿薄膜の架橋後
の膜厚は０．５〜１０μm 程度であることが好ましい
が、さらに好ましくは０．５〜７μm 程度である。膜が
厚すぎると、湿度に対する膜の電気抵抗値の応答速度す
なわちレスポンスが遅くなり、膜が薄すぎると、特に低
湿度領域での出力が低下し、さらに耐水性なども低下す
ることになり、好ましくない。

【００８９】なお、本発明では、付着する水滴の影響を
防止し、迅速に正確な湿度測定を行うために、前記薄膜
上に撥水性被膜を形成してもよい。

【００９０】撥水性被膜は、水との接触角が９０度以
上、特に９０〜１３０度であることが望ましい。また、
膜厚としては、充分な水分の透過を確保する必要があ
り、そのためには、５μm 以下、特に０．１〜２μm に
することが望ましい。

【００９１】このような撥水性被膜を構成する材料とし
ては、疎水性のポリマー、例えばポリテトラフルオロエ
チレン等のフッ素系ポリマー、ポリエチレンやポリプロ
ピレン等のオレフィン系ポリマー、シリコーン系ポリマ
ー等が好適に使用される。

【００９２】このような撥水性被膜の形成方法に限定は
ないが、上記材料を可溶な溶媒（例えば飽和炭化フッ素
等）に溶解し、塗布すればよい。

【００９３】本発明の湿度センサ素子は、前記のように
電極が設けられた絶縁基板上に、上記のような感湿薄膜
を有するものであれば、他の構成については特に制限は
ない。

【００９４】このような湿度センサ素子の一構成例が図
１に示されている。図１は平面図である。

【００９５】図１に示すように、湿度センサ素子１は、
絶縁基板２上に一対の櫛形電極４を有し、一対の櫛形電
極４は、一定距離のギャップ５を介し、かつ噛み合うよ
うにして絶縁基板２上に配置されている。そして、絶縁
基板２および櫛形電極４上には図示のように感湿薄膜３
が設けられている。また、櫛形電極４の各々の一端には
電極端子６が取り付けられており、電極端子６の各々に
はリード線７が半田８を用いて接続されている。また、
図示のように、電極材料の拡散防止のためのレジスト膜
９が設けられている。

【００９６】このような構成で、両電極間に好ましくは
交流を印加する。感湿薄膜の湿度に応じた抵抗ないしイ
ンピーダンス変化により出力電圧が変化し、湿度が検出
される。印加電圧は１２V 程度以下とする。

【００９７】図１に従って説明すれば、本発明に用いる
絶縁基板２としては、材質は感湿薄膜３との接着性が良
好で、かつ電気絶縁性を有するものであればどのような
ものでもよく、例えばガラス、プラスチック、セラミッ
クまたは絶縁被覆した金属等が用いられる。

【００９８】また、電極４は通常使用されているもので
あれば特に制限はなく、例えばＡｕないしはＲｕＯ₂ 等
を含有し、さらに、必要に応じガラスフリットを含有す
る低抵抗ペースト等をスクリーン印刷し高温焼結したも
のなどが使用できる。また電極端子６は半田８との相溶
性のあるものであればどのようなものでもよく、例えば
Ａｇ−Ｐｄ合金等を用い、これらを通常の方法で印刷し
て高温で焼付等すればよい。さらに、例えば電極４にＡ
ｕを用いる場合は、図１に示すように、半田付け処理時
のＡｕ拡散防止のためにレジストまたはガラスよりなる
レジスト膜９を設けることが好ましい。レジスト膜９の
厚さおよび形状には制限はなく、半田付け処理時のＡｕ
拡散防止の効果を有すればよい。

【００９９】本発明の湿度センサ素子は図示例に限ら
ず、種々のものであってよい。

【０１００】なお、本発明における一対の電極間のギャ
ップは、通常、１００〜５００μm程度である。

【０１０１】

【実施例】以下、本発明の具体的実施例を比較例ととも
に示し、本発明をさらに詳細に説明する。

【０１０２】＜実施例１＞Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラ
メチル−１，６−ジアミノヘキサン８．６g （０．０５
モル）と１，３−ジクロロプロパン６．８g （０．０６
モル）とを７．５g のメタノールに溶解し還流温度で２
５時間攪拌し、化１６の式（１）のような４級化反応を
行った。ついでＮ−（３−ジメチルアミノプロピル）メ
タクリルアミドを１０．２g （０．０６モル）と重合禁
止剤のｍ−ジニトロベンゼンを０．２g 添加し、３５℃
で１００時間攪拌し化１６の式（２）のように中間重合
体の末端に反応性基を導入した。このようにして得られ
た反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成
させ、この重合体沈澱物を濾別し、その後この沈澱物を
減圧乾燥した。このようにして沈澱精製した後、５wt%
の重合体水溶液を調製し、この水溶液に重合開始剤とし
て０．２wt% のＫＡＹＡＣＵＲＥＡＢＱ（日本化薬社
製）を添加して、塗布液を調製した。この場合の架橋前
の重合体のＭ_nは１１万であった。

【０１０３】

【化１６】

【０１０４】この塗布液を用いて図１に示すような湿度
センサ素子１を組み立てた。絶縁基板２としてはアルミ
ナ製の多孔性セラミック基板を用い、電極４はＲｕＯ₂
とガラスフリットとを含むペーストをスクリーン印刷
し、高温焼成して得られた櫛形電極とした。また、電極
４間のギャップは、２２５μm 程度であった。

【０１０５】このような絶縁基板２上に上記塗布液を用
いてディッピングにより塗布し、１００℃で５分間乾燥
して塗膜を形成した。次に、窒素雰囲気下でこの塗膜の
電極面と裏面の両面に対しそれぞれ１分間ずつ紫外線照
射を行い架橋処理を施し感湿薄膜３を得た。このときの
紫外線照射量は１０００mJ/cm²とした。このようにして
形成した感湿薄膜３の膜厚は５μm であった。

【０１０６】このようにして得られた湿度センサ素子に
ついて出力特性の評価および耐水性試験を行った。

【０１０７】出力特性は特開平２−１２３８４３号公報
に記載の回路に湿度センサを組み込み、分流式湿度発生
装置（モデルＳＲＨ−１、神栄株式会社製）を用いて評
価した。前記分流式湿度発生装置内に前記回路に組み込
んだ湿度センサ素子を設置し、２５℃にて相対湿度を低
湿度側から高湿度側へ、続いて高湿度側から低湿度側へ
変化させ、その各過程における０％ＲＨ、１０％ＲＨ、
２０％ＲＨ、３０％ＲＨ、５０％ＲＨ、７０％ＲＨ、９
０％ＲＨの各湿度条件下に湿度センサ素子を１０分間放
置したときの出力電圧を測定した。得られた結果を図２
に示す。

【０１０８】耐水性試験は、上述のように出力電圧を測
定したのち、湿度センサ素子を１分間蒸留水中に浸漬し
大気中で乾燥させて再度出力電圧を測定し比較した。続
いて同じセンサ素子に対して蒸留水中の浸漬時間を１０
分間、３０分間、６０分間と延長して同様に各々出力電
圧を測定し比較した。得られた結果を図３に示す。

【０１０９】図２より、ヒステリシスがみられず、また
低湿度、特に１０％ＲＨ以下の領域での測定が可能にな
ることがわかる。

【０１１０】また、図３より、耐水性に優れたものであ
ることがわかる。

【０１１１】以上より、本発明の効果は明らかである。

【０１１２】＜実施例２＞Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラ
メチル−１，６−ジアミノヘキサン８．６g （０．０５
モル）と１，３−ジクロロ−２−プロパノール７．７g
（０．０６モル）とを８．１g のイソプロパノールに溶
解し還流温度で５０時間攪拌し、４級化反応を行った。
ついで、Ｎ−（３−ジメチルアミノプロピル）メタクリ
ルアミド１０．２g （０．０６モル）と重合禁止剤のｍ
−ジニトロベンゼン０．２g とを添加し、４５℃で１２
０時間攪拌し中間重合体の末端に反応性基を導入した。
沈澱精製後、これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿塗膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０１１３】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図４に、耐水性試
験の測定結果を図５に示す。なお、架橋前重合体のＭ_n
は、１１万程度であった。

【０１１４】図４、図５より本発明の効果は明らかであ
る。

【０１１５】＜実施例３＞１，４−ジアザビシクロ
［２．２．２］オクタン５．６g （０．０５モル）と
１，５−ジクロロペンタン７．１g （０．０５モル）と
を６．４g の２−エトキシエタノールに溶解し、還流温
度で６０時間攪拌し、４級化反応を行った。この反応溶
液を多量のアセトン中に滴下し、沈澱精製した。つい
で、その生成物と１，３−ジクロロプロパン２．３g
（０．０２モル）を６．４g の２−エトキシエタノール
に溶解して、還流温度で２０時間攪拌し、再度４級化反
応を行った。反応終了後、同様に沈澱精製し、Ｎ−（３
−ジメチルアミノプロピル）メタクリルアミド１０．２
g （０．０６モル）と重合禁止剤のｍ−ジニトロベンゼ
ン０．２g を添加し、４５℃で１２０時間攪拌し中間重
合体の末端に反応性基を導入した。沈澱精製後、これを
導電性成分として用いた他は実施例１と同様に塗布液を
調製し、感湿塗膜を形成し、湿度センサ素子を得た。

【０１１６】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性および耐水性試験は実施例１と同様に行った。
得られた出力特性の測定結果を図６に、耐水性試験の測
定結果を図７に示す。

【０１１７】なお、架橋前の重合体のＭ_n は９万程度で
あった。

【０１１８】図６、図７より本発明の効果は明らかであ
る。

【０１１９】＜実施例４＞１，３−ジ（４−ピリジル）
プロパン９．９g （０．０５モル）と１，３−ジクロロ
プロパン６．８g （０．０６モル）とを８．８g の２−
エトキシエタノールに溶解し、還流温度で７５時間攪拌
し、４級化反応を行った。ついで、Ｎ−（３−ジメチル
アミノプロピル）メタクリルアミド１０．２g （０．０
６モル）と重合禁止剤としてｍ−ジニトロベンゼン０．
２g を添加し、４５℃で１２０時間攪拌し中間重合体の
末端に反応性基を導入した。沈澱精製後、これを導電性
成分として用いた他は実施例１と同様に塗布液を調製し
て感湿薄膜を形成し、湿度センサ素子を得た。

【０１２０】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図８に、耐水性試
験の測定結果を図９に示す。

【０１２１】なお、架橋前重合体のＭ_n は８万程度であ
った。

【０１２２】図８、図９より本発明の効果は明らかであ
る。

【０１２３】＜実施例５＞Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラ
エチル−１，３−ジアミノプロパン９．３g （０．０５
モル）と１，３−ジクロロプロパン６．８g （０．０６
モル）とを８．５g の２−エトキシエタノールに溶解
し、還流温度で６０時間攪拌し、４級化反応を行った。
ついで、Ｎ−（３−ジメチルアミノプロピル）メタクリ
ルアミド１０．２g （０．０６モル）と重合禁止剤とし
てｍ−ジニトロベンゼン０．２g を添加し、４５℃で１
２０時間攪拌し中間重合体の末端に反応性基を導入し
た。沈澱精製した後、これを導電性成分として用いた他
は実施例１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成
し、湿度センサ素子を得た。

【０１２４】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性および耐水性試験は実施例１と同様に行った。
得られた出力特性の測定結果を図１０に、耐水性試験の
測定結果は図１１に示す。

【０１２５】なお、架橋前の重合体のＭ_n は８万程度で
あった。

【０１２６】図１０、図１１より本発明の効果は明らか
である。

【０１２７】＜実施例６＞Ｎ，Ｎ′−ジメチルピペラジ
ン５．７g （０．０５モル）と１，３−ジクロロプロパ
ン６．８g （０．０６モル）とを６．７g の２−エトキ
シエタノールに溶解し、還流温度で６０時間攪拌し、４
級化反応を行った。ついで、Ｎ−（３−ジメチルアミノ
プロピル）メタクリルアミド１０．２g （０．０６モ
ル）と重合禁止剤としてｍ−ジニトロベンゼン０．２g
を添加し、４５℃で１２０時間攪拌し中間重合体の末端
に反応性基を導入した。沈澱精製した後、これを導電性
成分として用いた他は実施例１と同様に塗布液を調製し
て感湿薄膜を形成し、湿度センサを得た。

【０１２８】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性および耐水性試験は実施例１と同様に行った。
得られた出力特性の測定結果を図１２に、耐水性試験の
測定結果を図１３に示す。

【０１２９】なお、架橋前重合体のＭ_n は１０万程度で
あった。

【０１３０】図１２、図１３より本発明の効果は明らか
である。

【０１３１】＜実施例７＞Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラ
メチル−１，６−ジアミノヘキサン８．６g （０．０５
モル）とα，α′−ジクロロ−ｐ−キシレン１０．５g
（０．０６モル）を９．６g の２−エトキシエタノール
に溶解し、還流温度で７０時間攪拌し、４級化反応を行
った。ついで、Ｎ−（３−ジメチルアミノプロピル）メ
タクリルアミド１０．２g （０．０６モル）と重合禁止
剤としてｍ−ジニトロベンゼン０．２g を添加し、４５
℃で１２０時間攪拌し中間重合体の末端に反応性基を導
入した。沈澱精製した後、これを導電性成分として用い
た他は実施例１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形
成し、湿度センサ素子を得た。

【０１３２】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図１４に、耐水性
試験の測定結果を図１５に示す。

【０１３３】なお、架橋前の重合体のＭ_n は８万程度で
あった。

【０１３４】図１４、図１５より本発明の効果は明らか
である。

【０１３５】＜実施例８＞Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラ
メチル−２−ブテン−１，４−ジアミノブタン０．３６
g （０．００２５モル）と１，４−ジアザビシクロ
［２．２．２］オクタン５．３g （０．０４８モル）と
１，３−ジクロロプロパン５．７g （０．０５モル）と
を７．４g のエタノールに溶解し、還流温度で７０時間
攪拌し、４級化反応を行った。沈澱精製後、これを導電
性成分として用いた他は実施例１と同様に塗布液を調製
して感湿薄膜を形成し、湿度センサ素子を得た。

【０１３６】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性および耐水性試験は実施例１と同様に行った。
得られた出力特性の測定結果を図１６に、耐水性試験の
測定結果を図１７に示す。

【０１３７】なお、架橋前の重合体のＭ_n は８万程度で
あった。

【０１３８】図１６、図１７より本発明の効果は明らか
である。

【０１３９】＜実施例９＞Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラ
メチル−１，６−ジアミノヘキサン８．６g （０．０５
モル）と１，３−ジブロモプロパン１２．１g （０．０
６モル）とを１０．９g のメタノールに溶解し、還流温
度で１０時間攪拌し、４級化反応を行った。ついで、Ｎ
−（３−ジメチルアミノプロピル）アクリルアミド９．
３６g （０．０６モル）と重合禁止剤としてｍ−ジニト
ロベンゼン０．４g を添加し、３５℃で１００時間攪拌
し中間重合体の末端に反応性基を導入した。沈澱精製し
た後、これを導電性成分として用いた他は実施例１と同
様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度センサ素
子を得た。

【０１４０】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図１８に、耐水性
試験の測定結果を図１９に示す。

【０１４１】なお、架橋前の重合体のＭ_n は１５万程度
であった。

【０１４２】図１８より、ジハロゲン化合物としてジブ
ロム化合物を用いているため、１０％ＲＨ以下の領域に
おいては測定不可能ではあるが、広領域の測定が可能な
ことがわかる。また、図１９より耐水性に優れたもので
あることがわかる。

【０１４３】＜実施例１０＞１，４−ジアザ−ビシクロ
［２．２．２］オクタン５．６g （０．０５モル）と
１，３−ジブロモ−２−プロパノール１３．１g （０．
０６モル）とを９．４g の２−エトキシエタノールに溶
解し、還流温度で３０時間攪拌し、４級化反応を行っ
た。ついで、Ｎ−（３−ジメチルアミノプロピル）メタ
クリルアミド１０．２g （０．０６モル）と重合禁止剤
としてｍ−ジニトロベンゼンを０．４g 添加し、３５℃
で１００時間攪拌し中間重合体の末端に反応性基を導入
した。沈澱精製後、これを導電性成分として用いた他は
実施例１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０１４４】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図２０に、耐水性
試験の測定結果は図２１に示す。

【０１４５】なお、架橋前の重合体のＭ_n は１３万程度
であった。

【０１４６】図２０、図２１より、実施例９の結果と同
様のことがわかる。

【０１４７】＜実施例１１＞Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テト
ラメチル−１，６−ジアミノヘキサン１０．３g （０．
０６モル）と１，３−ジクロロプロパン５．７g （０．
０５モル）とを８．０g のメタノールに溶解し、還流温
度で２５時間攪拌し、化１７の式（３）に従って４級化
した。ついで、２−クロロエチルビニルエーテルを６．
４g （０．０６モル）と重合禁止剤としてｍ−ジニトロ
ベンゼン０．２g を添加し、実施例１と同様の操作によ
り、化１７の式（４）のように反応性基を導入した。な
お、架橋前の重合体のＭ_n は１１万程度であった。

【０１４８】その後、実施例１と同様にして湿度センサ
素子を得、同様に出力特性の評価および耐水性試験を行
ったところ、実施例１と同様の結果が得られた。

【０１４９】

【化１７】

【０１５０】＜実施例１２＞Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テト
ラアリル−１，４−ジアミノブタン０．８２g （０．０
０２５モル）と１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］
オクタン５．３g （０．０４８モル）と１，３−ジクロ
ロプロパン５．７g （０．０５モル）とを７．４g のエ
タノールに溶解し、還流温度で７０時間攪拌し、４級化
反応を行った。沈澱精製した後、これを導電性成分とし
て用いた他は実施例１と同様に塗布液を調製して感湿薄
膜を形成し、感度センサ素子を得た。

【０１５１】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図２２に、耐水性
試験の測定結果を図２３に示す。

【０１５２】なお、架橋前の重合体のＭ_n は１１万程度
であった。

【０１５３】図２２、図２３より、本発明の効果は明ら
かである。

【０１５４】＜実施例１３＞実施例１において中間重合
体の末端に反応性基を導入する際、３５℃で１００時間
攪拌を行うかわりに、還流温度で２０時間攪拌を行った
他は実施例１と同様に感湿薄膜を形成し、湿度センサ素
子を得た。

【０１５５】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図２４に示す。
また、出力特性は実施例１と同様の結果であった。図２
４より、耐水性に優れたものであることがわかる。特
に、実施例１よりも高温の条件下で中間重合体の末端に
反応性基を導入し、反応性基の一部に重合を生じさせた
ことで、実施例１よりもさらに耐水性が優れたものであ
ることがわかる。なお、架橋前の重合体のＭ_n は１３万
程度であった。

【０１５６】＜実施例１４＞実施例２において中間重合
体の末端に反応性基を導入する際、４５℃で１２０時間
攪拌を行うかわりに、８０℃で２５時間攪拌を行った他
は実施例２と同様に感湿薄膜を形成し、湿度センサ素子
を得た。

【０１５７】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図２５に示す。
また、出力特性は実施例２と同様の結果であった。図２
５より、耐水性に優れたものであることがわかる。実施
例２よりも高温の条件下で中間重合体の末端に反応性基
を導入し、反応性基の一部に重合を生じさせたことで、
実施例２よりもさらに耐水性が向上していることがわか
る。なお、架橋前の重合体のＭ_n は９万程度であった。

【０１５８】＜実施例１５＞実施例３において中間重合
体の末端に反応性基を導入する際、４５℃で１２０時間
攪拌を行うかわりに、８０℃で２０時間攪拌を行った他
は実施例３と同様に感湿薄膜を形成し、湿度センサ素子
を得た。

【０１５９】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図２６に示す。
また、出力特性は実施例３と同様の結果であった。図２
６より、耐水性に優れたものであることがわかる。特
に、実施例３よりも高温の条件下で中間重合体の末端に
反応性基を導入し、反応性基の一部に重合を生じさせた
ことで、実施例３よりもさらに耐水性が向上しているこ
とがわかる。なお、架橋前の重合体のＭ_n は８万程度で
あった。

【０１６０】＜実施例１６＞実施例５において中間重合
体の末端に反応性基を導入する際、４５℃で１２０時間
攪拌を行うかわりに、８０℃で２０時間攪拌を行った他
は実施例５と同様に感湿薄膜を形成し、湿度センサ素子
を得た。

【０１６１】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図２７に示す。
また、出力特性は実施例５と同様の結果であった。図２
７より、耐水性に優れたものであることがわかる。特
に、実施例５よりも高温の条件下で中間重合体の末端に
反応性基を導入し、反応性基の一部に重合を生じさせた
ことで、実施例５よりもさらに耐水性が向上しているこ
とがわかる。なお、架橋前の重合体のＭ_n は８万程度で
あった。

【０１６２】＜実施例１７＞実施例６において中間重合
体の末端に反応性基を導入する際、４５℃で１２０時間
攪拌を行うかわりに、８０℃で２０時間攪拌を行った他
は実施例６と同様に感湿薄膜を形成し、湿度センサ素子
を得た。

【０１６３】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図２８に示す。
また、出力特性は実施例６と同様の結果であった。図２
８より、耐水性に優れたものであることがわかる。特
に、実施例６よりも高温の条件下で中間重合体の末端に
反応性基を導入し、反応性基の一部に重合を生じさせた
ことで、実施例６よりもさらに耐水性が向上しているこ
とがわかる。なお、架橋前の重合体のＭ_n は８万程度で
あった。

【０１６４】＜実施例１８＞実施例７において中間重合
体の末端に反応性基を導入する際、４５℃で１２０時間
攪拌を行うかわりに、８０℃で２０時間攪拌を行った他
は実施例７と同様に感湿薄膜を形成し、湿度センサ素子
を得た。

【０１６５】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図２９に示す。
また、出力特性は実施例７と同様の結果であった。図２
９より、耐水性に優れたものであることがわかる。特
に、実施例７よりも高温の条件下で中間重合体の末端に
反応性基を導入し、反応性基の一部に重合を生じさせた
ことで、実施例７よりもさらに耐水性が向上しているこ
とがわかる。なお、架橋前の重合体のＭ_n は１０万程度
であった。

【０１６６】＜実施例１９＞実施例９において中間重合
体の末端に反応性基を導入する際、３５℃で１００時間
攪拌を行うかわりに、８０℃で２０時間攪拌を行った他
は実施例８と同様に感湿薄膜を形成し、湿度センサ素子
を得た。

【０１６７】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図３０に示す。
また、出力特性は実施例８と同様の結果であった。図３
０より、耐水性に優れたものであることがわかる。特
に、実施例８よりも高温の条件下で中間重合体の末端に
反応性基を導入し、反応性基の一部に重合を生じさせた
ことで、実施例８よりもさらに耐水性が向上しているこ
とがわかる。なお、架橋前の重合体のＭ_n は８万程度で
あった。

【０１６８】＜実施例２０＞実施例１０において中間重
合体の末端に反応性基を導入する際、３５℃で１００時
間攪拌を行うかわりに、還流温度で２０時間攪拌を行っ
た他は実施例１０と同様に感湿薄膜を形成し、湿度セン
サ素子を得た。

【０１６９】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図３１に示す。
また、出力特性は実施例１０と同様の結果であった。図
３１より、耐水性に優れたものであることがわかる。特
に、実施例１０よりも高温の条件下で中間重合体の末端
に反応性基を導入し、反応性基の一部に重合を生じさせ
たことで、実施例１０よりもさらに耐水性が向上してい
ることがわかる。なお、架橋前の重合体のＭ_nは１５万
程度であった。

【０１７０】＜実施例２１＞実施例１１において中間重
合体の末端に反応性基を導入する際、３５℃で１００時
間攪拌を行うかわりに、８０℃で２０時間攪拌を行った
他は実施例１１と同様に感湿薄膜を形成し、湿度センサ
素子を得た。

【０１７１】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図３２に示す。
また、出力特性は実施例１１と同様の結果であった。図
３２より、耐水性に優れたものであることがわかる。特
に、実施例１１よりも高温の条件下で中間重合体の末端
に反応性基を導入し、反応性基の一部に重合を生じさせ
たことで、実施例１１よりもさらに耐水性が向上してい
ることがわかる。なお、架橋前の重合体のＭ_nは１５万
程度であった。

【０１７２】＜実施例２２＞１，３−ジ（４−ピリジ
ル）プロパン４．２５g （０．０２モル）と、Ｎ，Ｎ，
Ｎ′，Ｎ′−テトラメチル−１，６−ジアミノへキサン
８．１３g （０．０４７モル）と１，３−ジクロロプロ
パン７．６２g （０．０６７モル）とをメタノール１
０．０g に溶解し、還流温度にて２５時間攪拌しなが
ら、４級化反応を行った。反応終了後冷却し、さらに
１，３−ジクロロプロパンを３．８１g （０．０３４モ
ル）とメタノール２０．０g を加え、還流温度にて２５
時間攪拌を続けた。反応終了後冷却し、２−プロパノー
ルを３０g 加えた。このようにして得られた反応溶液を
大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成させ、中間重
合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採取し、減圧
乾燥した。

【０１７３】この中間重合体１５．０g と、Ｎ−（３−
ジメチルアミノプロピル）メタクリルアミド１５．０g
と重合禁止剤としてｍ−ジニトロベンゼン０．２g をメ
タノール３０．０g に溶解し、還流温度にて２０時間攪
拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。
反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた
反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。

【０１７４】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０１７５】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図３３に、耐水性
試験の測定結果は図３４に示す。

【０１７６】なお、架橋前重合体のＭ_n は１３万程度で
あった。

【０１７７】図３３、図３４より本発明の効果は明らか
である。

【０１７８】＜実施例２３＞１，４−ジアザビシクロ
［２．２．２］オクタン２．５２g （０．０２２モル）
とＮ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラメチル−１，６−ジアミ
ノヘキサン９．０３g（０．０５２モル）と１，３−ジ
クロロプロパンとを８．４６g （０．０７５モル）とを
メタノール１０．０g に溶解し、還流温度にて、２５時
間攪拌しながら、４級化反応を行った。反応終了後、冷
却し、さらに１，３−ジクロロプロパンを４．２３g
（０．０３７モル）とメタノール２０．０g を加え、還
流温度にて２５時間攪拌を続けた。反応終了後冷却し、
２−プロパノールを３０g 加えた。このようにして得ら
れた反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生
成させ、この中間重合体沈澱物をガラスフィルターにて
濾別・採取し、減圧乾燥した。

【０１７９】この中間重合体１５．０g と、Ｎ−（３−
ジメチルアミノプロピル）メタクリルアミド１５．０g
と重合禁止剤としてｍ−ジニトロベンゼン０．２g をメ
タノール３０．０g に溶解し、還流温度にて２０時間攪
拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。
反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた
反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。

【０１８０】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０１８１】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図３５に、耐水性
試験の測定結果を図３６に示す。

【０１８２】なお、架橋前重合体のＭ_n は１１万程度で
あった。

【０１８３】図３５、図３６より本発明の効果は明らか
である。

【０１８４】＜実施例２４＞Ｎ，Ｎ′−ジメチルピペラ
ジン２．５１g （０．０２２モル）とＮ，Ｎ，Ｎ′，
Ｎ′−テトラメチル−１，６−ジアミノヘキサン９．０
１g （０．０５２モル）と１，３−ジクロロプロパン
８．４４g （０．０７５モル）とをメタノール１０．０
g に溶解し、還流温度にて２５時間攪拌しながら、４級
化反応を行った。反応終了後冷却し、さらに１，３−ジ
クロロプロパン４．２２g （０．０３７モル）とメタノ
ール２０．０g を加え、還流温度にて２５時間攪拌を続
けた。反応終了後冷却し、２−プロパノールを３０g 加
えた。このようにして得られた反応溶液を大量のアセト
ン中に滴下して沈澱物を生成させ、この中間重合体沈澱
物をガラスフィルターにて濾別・採取し、減圧乾燥し
た。

【０１８５】この中間重合体１５．０g と、Ｎ−（３−
ジメチルアミノプロピル）メタクリルアミド１５．０g
と重合禁止剤としてｍ−ジニトロベンゼン０．２g をメ
タノール３０．０g に溶解し、還流温度にて２０時間攪
拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。
反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた
反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。

【０１８６】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０１８７】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図３７に、耐水性
試験の測定結果を図３８に示す。

【０１８８】なお、架橋前重合体のＭ_n は１２万程度で
あった。

【０１８９】図３７、図３８より本発明の効果は明らか
である。

【０１９０】＜実施例２５＞Ｎ，Ｎ′−ジメチル−１，
３−ジ−ピペリジルプロパン４．６９g （０．０２０モ
ル）とＮ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラメチル−１，６−ジ
アミノヘキサン７．９０g （０．０４６モル）と１，３
−ジクロロプロパンを７．４１g （０．０６６モル）と
をメタノール１０．０g に溶解し、還流温度にて２５時
間攪拌しながら、４級化反応を行った。反応終了後、冷
却し、さらに１，３−ジクロロプロパンを３．７１g
（０．０３３モル）とメタノール２０．０g を加え、還
流温度にて２５時間攪拌を続けた。反応終了後冷却し、
２−プロパノールを３０g 加えた。このようにして得ら
れた反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生
成させ、この中間重合体沈澱物をガラスフィルターにて
濾別・採取し、減圧乾燥した。

【０１９１】この中間重合体１５．０g と、Ｎ−（３−
ジメチルアミノプロピル）メタクリルアミド１５．０g
と重合禁止剤としてｍ−ジニトロベンゼン０．２g をメ
タノール３０．０g に溶解し、還流温度にて２０時間攪
拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。
反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた
反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。

【０１９２】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０１９３】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図３９に、耐水性
試験の測定結果は図４０に示す。

【０１９４】なお、架橋前重合体のＭ_n は９万程度であ
った。

【０１９５】図３９、図４０より本発明の効果は明らか
である。

【０１９６】＜実施例２６＞１，４−ジアザビシクロ
［２．２．２］オクタン９．２９g （０．０８３モル）
と１，６−ジクロロヘキサン１０．７１g （０．０６９
モル）とをメタノール１０．０g に溶解し、還流温度に
て１５時間攪拌しながら、４級化反応を行った。反応終
了後、冷却し、さらに１，４−ジアザビシクロ［２．
２．２］オクタン４．６５g （０．０４１モル）とメタ
ノール２０．０g を加え、還流温度にて１５時間攪拌を
続けた。反応終了後冷却し、２−プロパノールを３０g
加えた。このようにして得られた反応溶液を大量のアセ
トン中に滴下して沈澱物を生成させ、この中間重合体沈
澱物をガラスフィルターにて濾別・採取し、減圧乾燥し
た。（収量；１５．５g ）

【０１９７】この中間重合体１５．０g と、ビニルベン
ジルクロライド（ｍ−とｐ−の混合物）１５．０g とを
メタノール３０．０g に溶解し、２５℃にて２４時間攪
拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。
反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた
反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。（収量；２０．３g ）

【０１９８】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０１９９】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図４１に、耐水性
試験の測定結果を図４２に示す。

【０２００】なお、架橋前重合体のＭ_n は５万程度であ
った。

【０２０１】図４１、図４２より本発明の効果は明らか
である。

【０２０２】＜実施例２７＞１，４−ジアザビシクロ
［２．２．２］オクタン３．６８g （０．０３３モル）
と４，４′−トリメチレンビス（１−メチルピペリジ
ン）７．８３g （０．０３３モル）と、１，６−ジクロ
ロヘキサン８．４９g （０．０５５モル）とをメタノー
ル１０．０g に溶解し、還流温度にて１５時間攪拌しな
がら、４級化反応を行った。反応終了後、冷却し、さら
に１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］オクタン３．
６８g （０．０３３モル）とメタノール２０．０g を加
え、還流温度にて１５時間攪拌を続けた。反応終了後冷
却し、２−プロパノールを３０g 加えた。このようにし
て得られた反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱
物を生成させ、この中間重合体沈澱物をガラスフィルタ
ーにて濾別・採取し、減圧乾燥した。（収量；１６．２
g ）

【０２０３】この中間重合体１５．０g と、ビニルベン
ジルクロライド（ｍ−とｐ−の混合物）１５．０g とを
メタノール３０．０g に溶解し、２５℃にて２４時間攪
拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。
反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた
反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。（収量；１９．２g ）

【０２０４】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２０５】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図４３に、耐水性
試験の測定結果を図４４に示す。

【０２０６】なお、架橋前重合体のＭ_n は６万程度であ
った。

【０２０７】図４３、図４４より本発明の効果は明らか
である。

【０２０８】＜実施例２８＞１，４−ジアザビシクロ
［２．２．２］オクタン９．４６g （０．０８４モル）
と、１，６−ジクロロヘキサン８．７２g （０．０５６
モル）と１，３−ジクロロ−２−プロパノール１．８１
g （０．０１４モル）とをメタノール１０．０g に溶解
し、還流温度にて１５時間攪拌しながら、４級化反応を
行った。反応終了後、冷却し、さらに１，４−ジアザビ
シクロ［２．２．２］オクタン４．７３g （０．０４２
モル）とメタノール２０．０g を加え、還流温度にて１
５時間攪拌を続けた。反応終了後冷却し、２−プロパノ
ールを３０g 加えた。このようにして得られた反応溶液
を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成させ、この
中間重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採取
し、減圧乾燥した。（収量；１５．２g ）

【０２０９】この中間重合体１５．０g と、ビニルベン
ジルクロライド（ｍ−とｐ−の混合物）１５．０g とを
メタノール３０．０g に溶解し、２５℃にて２４時間攪
拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。
反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた
反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。（収量；１８．２g ）

【０２１０】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２１１】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図４５に、耐水性
試験の測定結果を図４６に示す。

【０２１２】なお、架橋前重合体のＭ_n は４万程度であ
った。

【０２１３】図４５、図４６より本発明の効果は明らか
である。

【０２１４】＜実施例２９＞１，４−ジアザビシクロ
［２．２．２］オクタン７．５２g （０．０６７モル）
と、１，６−ジクロロヘキサン１２．４８g （０．０８
０モル）とをメタノール１０．０g に溶解し、還流温度
にて１５時間攪拌しながら、４級化反応を行った。反応
終了後、冷却し、さらに１，６−ジクロロヘキサン６．
２４g （０．０４０モル）とメタノール２０．０g を加
え、還流温度にて１５時間攪拌を続けた。反応終了後冷
却し、２−プロパノールを３０g 加えた。このようにし
て得られた反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱
物を生成させ、この中間重合体沈澱物をガラスフィルタ
ーにて濾別・採取し、減圧乾燥した。（収量；１７．５
g）

【０２１５】この中間重合体１５．０g と、Ｎ−（３−
ジメチルアミノプロピル）メタクリルアミド１５．０g
とをメタノール３０．０g に溶解し、２５℃にて２４時
間攪拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入し
た。反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得ら
れた反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生
成させ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別
・採取し、減圧乾燥した。（収量；１８．４g ）

【０２１６】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２１７】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図４７に、耐水性
試験の測定結果を図４８に示す。

【０２１８】なお、架橋前重合体のＭ_n は５万程度であ
った。

【０２１９】図４７、図４８より本発明の効果は明らか
である。

【０２２０】＜実施例３０＞実施例２９と同様の合成・
分離・精製した中間重合体１５．０g とＮ−（３−ジメ
チルアミノプロピル）アクリルアミド１５．０g とをメ
タノール３０．０gに溶解し、２５℃にて２４時間攪拌
しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。反
応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた反
応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、中間重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。（収量；１６．２g ）

【０２２１】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２２２】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図４９に示す。
また、出力特性は実施例２９と同様の結果であった。

【０２２３】なお、架橋前重合体のＭ_n は５万程度であ
った。

【０２２４】これらより本発明の効果は明らかである。

【０２２５】＜実施例３１＞１，４−ジアザビシクロ
［２．２．２］オクタン９．４６g （０．０８４モル）
と、１，６−ジクロロヘキサン８．７２g （０．０５６
モル）と１，３−ジクロロ−２−プロパノール１．８１
g （０．０１４モル）をメタノール１０．０gに溶解
し、還流温度にて１５時間攪拌しながら、４級化反応を
行った。反応終了後、冷却し、さらに１，３−ジクロロ
−２−プロパノール５．４２g （０．０４２モル）とメ
タノール２０．０g を加え、還流温度にて１５時間攪拌
を続けた。反応終了後冷却し、このようにして得られた
反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この中間重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別
・採取し、減圧乾燥した。（収量；１８．１g ）

【０２２６】この中間重合体１５．０g と、Ｎ−（３−
ジメチルアミノプロピル）メタクリルアミド１５．０g
とをメタノール３０．０g に溶解し、２５℃にて２４時
間攪拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入し
た。反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得ら
れた反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生
成させ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別
・採取し、減圧乾燥した。（収量；１５．４g ）

【０２２７】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２２８】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図５０に、耐水性
試験の測定結果を図５１に示す。

【０２２９】なお、架橋前重合体のＭ_n は４万程度であ
った。

【０２３０】図５０、図５１より本発明の効果は明らか
である。

【０２３１】＜実施例３２＞Ｎ，Ｎ′ジメチルピペラジ
ン９．３８g （０．０８２モル）と１，６−ジクロロヘ
キサン１０．６２g （０．０６８モル）とをメタノール
１０．０g に溶解し、還流温度にて１５時間攪拌しなが
ら、４級化反応を行った。反応終了後、冷却し、さらに
Ｎ，Ｎ′ジメチルピペラジン４．６９g （０．０４１モ
ル）とメタノール２０．０g を加え、還流温度にて１５
時間攪拌を続けた。反応終了後冷却し、このようにして
得られた反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物
を生成させ、この中間重合体沈澱物をガラスフィルター
にて濾別・採取し、減圧乾燥した。（収量；１５．１g
）

【０２３２】この中間重合体１５．０g と、ビニルベン
ジルクロライド（ｍ−とｐ−の混合物）１５．０g とを
メタノール３０．０g に溶解し、２５℃にて２４時間攪
拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。
反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた
反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。（収量；１９．２g ）

【０２３３】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２３４】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図５２に、耐水性
試験の測定結果を図５３に示す。

【０２３５】なお、架橋前重合体のＭ_n は５万程度であ
った。

【０２３６】図５２、図５３より本発明の効果は明らか
である。

【０２３７】＜実施例３３＞１，４−ジアザビシクロ
［２．２．２］オクタン４．６３g （０．０４１モル）
と、Ｎ，Ｎ′−ジメチルピペラジン４．７１g （０．０
４１モル）と、１，６−ジクロロヘキサン１０．６６g
（０．０６９モル）とをメタノール１０．０gに溶解
し、還流温度にて１５時間攪拌しながら、４級化反応を
行った。反応終了後、冷却し、さらに１，４−ジアザビ
シクロ［２．２．２］オクタン４．６３g（０．０４１
モル）とメタノール２０．０g を加え、還流温度にて１
５時間攪拌を続けた。反応終了後冷却し、このようにし
て得られた反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱
物を生成させ、この中間重合体沈澱物をガラスフィルタ
ーにて濾別・採取し、減圧乾燥した。（収量；１７．２
g ）

【０２３８】この中間重合体１５．０g と、ビニルベン
ジルクロライド（ｍ−とｐ−の混合物）１５．０g とを
メタノール３０．０g に溶解し、２５℃にて２４時間攪
拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。
反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた
反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。（収量；２０．２g ）

【０２３９】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２４０】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図５４に、耐水性
試験の測定結果は図５５に示す。

【０２４１】なお、架橋前重合体のＭ_n は７万程度であ
った。

【０２４２】図５４、図５５より本発明の効果は明らか
である。

【０２４３】＜実施例３４＞Ｎ，Ｎ′−ジメチルピペラ
ジン８．４８g （０．０７４モル）と１，６−ジクロロ
ヘキサン１３．８２g （０．０８９モル）とをメタノー
ル１０．０g に溶解し、還流温度にて１５時間攪拌しな
がら、４級化反応を行った。反応終了後、冷却し、さら
に１，６−ジクロロヘキサン６．９１g （０．０４５モ
ル）とメタノール２０．０g を加え、還流温度にて１５
時間攪拌を続けた。反応終了後冷却し、このようにして
得られた反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物
を生成させ、この中間重合体沈澱物をガラスフィルター
にて濾別・採取し、減圧乾燥した。（収量；１７．１g
）

【０２４４】この中間重合体１５．０g と、Ｎ−（３−
ジメチルアミノプロピル）メタクリルアミド１５．０g
とをメタノール３０．０g に溶解し、２５℃にて２４時
間攪拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入し
た。反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得ら
れた反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生
成させ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別
・採取し、減圧乾燥した。（収量；１７．４g ）

【０２４５】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２４６】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図５６に、耐水性
試験の測定結果を図５７に示す。

【０２４７】なお、架橋前重合体のＭ_n は７万程度であ
った。

【０２４８】図５６、図５７より本発明の効果は明らか
である。

【０２４９】＜実施例３５＞実施例３４と同様の合成・
分離・精製した中間重合体１５．０g とＮ−（３−ジメ
チルアミノプロピル）アクリルアミド１５．０g とをメ
タノール３０．０gに溶解し、２５℃にて２４時間攪拌
しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。反
応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた反
応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。（収量；１５．１g ）

【０２５０】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２５１】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図５８に示す。
また、出力特性は実施例３４と同様の結果であった。

【０２５２】なお、架橋前重合体のＭ_n は７万程度であ
った。

【０２５３】これらより本発明の効果は明らかである。

【０２５４】＜実施例３６＞１，４−ジアザビシクロ
［２．２．２］オクタン３．７５g （０．０３３モル）
と、Ｎ，Ｎ′−ジメチルピペラジン３．８２g （０．０
３３モル）と、１，６−ジクロロヘキサン１２．４４g
（０．０８０モル）とをメタノール１０．０gに溶解
し、還流温度にて１５時間攪拌しながら、４級化反応を
行った。反応終了後、冷却し、さらに１，６−ジクロロ
ヘキサン６．２２g （０．０４０モル）とメタノール２
０．０g を加え、還流温度にて１５時間攪拌を続けた。
反応終了後冷却し、２−プロパノールを３０g 加えた。
このようにして得られた反応溶液を大量のアセトン中に
滴下して沈澱物を生成させ、この中間重合体沈澱物をガ
ラスフィルターにて濾別・採取し、減圧乾燥した。（収
量；１７．５g ）

【０２５５】この中間重合体１５．０g と、Ｎ−（３−
ジメチルアミノプロピル）メタクリルアミド１５．０g
とをメタノール３０．０g に溶解し、２５℃にて２４時
間攪拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入し
た。反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得ら
れた反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生
成させ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別
・採取し、減圧乾燥した。（収量；１８．４g ）

【０２５６】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２５７】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図５９に、耐水性
試験の測定結果を図６０に示す。

【０２５８】なお、架橋前重合体のＭ_n は５万程度であ
った。

【０２５９】図５９、図６０より本発明の効果は明らか
である。

【０２６０】＜実施例３７＞実施例３６と同様の合成・
分離・精製した中間重合体１５．０g とＮ−（３−ジメ
チルアミノプロピル）アクリルアミド１５．０g とをメ
タノール３０．０gに溶解し、２５℃にて２４時間攪拌
しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。反
応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた反
応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。（収量；１８．２g ）

【０２６１】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２６２】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図６１に示す。ま
た、出力特性は実施例３６と同様の結果であった。

【０２６３】なお、架橋前重合体のＭ_n は５万程度であ
った。

【０２６４】これらより本発明の効果は明らかである。

【０２６５】＜実施例３８＞Ｎ，Ｎ′ジメチルピペラジ
ン３．７４g （０．０３３モル）と４，４′−トリメチ
レンビス（１−メチルピペリジン）７．８０g （０．０
３３モル）と１，６−ジクロロヘキサン８．４６g
（０．０５５モル）をメタノール１０．０g に溶解し、
還流温度にて１５時間攪拌しながら、４級化反応を行っ
た。反応終了後、冷却し、さらにＮ，Ｎ′−ジメチルピ
ペラジン３．７４g （０．０３３モル）とメタノール２
０．０g を加え、還流温度にて１５時間攪拌を続けた。
反応終了後冷却し、２−プロパノールを３０g 加えた。
このようにして得られた反応溶液を大量のアセトン中に
滴下して沈澱物を生成させ、この重合体沈澱物をガラス
フィルターにて濾別・採取し、減圧乾燥した。（収量；
１５．５g ）

【０２６６】この中間重合体１５．０g と、ビニルベン
ジルクロライド（ｍ−とｐ−の混合物）１５．０g とを
メタノール３０．０g に溶解し、２５℃にて２４時間攪
拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。
反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた
反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。（収量；１２．２g ）

【０２６７】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２６８】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図６２に、耐水性
試験の測定結果を図６３に示す。

【０２６９】なお、架橋前重合体のＭ_n は６万程度であ
った。

【０２７０】図６２、図６３より本発明の効果は明らか
である。

【０２７１】＜実施例３９＞Ｎ，Ｎ′−ジメチルピペラ
ジン３．１５g （０．０２８モル）と４，４′−トリメ
チレンビス（１−メチルピペリジン）６．５８g （０．
０２８モル）と、１，６−ジクロロヘキサン１０．２７
g （０．０６５モル）とをメタノール１０．０g に溶解
し、還流温度にて１５時間攪拌しながら、４級化反応を
行った。反応終了後、冷却し、さらに１，６−ジクロロ
ヘキサン５．１４g （０．０３３モル）とメタノール２
０．０g を加え、還流温度にて１５時間攪拌を続けた。
反応終了後冷却し、２−プロパノールを３０g 加えた。
このようにして得られた反応溶液を大量のアセトン中に
滴下して沈澱物を生成させ、この重合体沈澱物をガラス
フィルターにて濾別・採取し、減圧乾燥した。（収量；
１６．５g ）

【０２７２】この中間重合体１５．０g と、Ｎ−（３−
ジメチルアミノプロピル）メタクリルアミド１５．０g
とをメタノール３０．０g に溶解し、２５℃にて２４時
間攪拌しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入し
た。反応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得ら
れた反応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生
成させ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別
・採取し、減圧乾燥した。（収量；１５．４g ）

【０２７３】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２７４】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた出力特性の測定結果を図６４に、耐水性
試験の測定結果を図６５に示す。

【０２７５】なお、架橋前重合体のＭ_n は５万程度であ
った。

【０２７６】図６４、図６５より本発明の効果は明らか
である。

【０２７７】＜実施例４０＞実施例３９と同様の合成・
分離・精製した中間重合体１５．０g とＮ−（３−ジメ
チルアミノプロピル）アクリルアミド１５．０g とをメ
タノール３０．０gに溶解し、２５℃にて２４時間攪拌
しながら、中間重合体の末端に反応性基を導入した。反
応終了後、２−プロパノールを３０g 加え、得られた反
応溶液を大量のアセトン中に滴下して沈澱物を生成さ
せ、この重合体沈澱物をガラスフィルターにて濾別・採
取し、減圧乾燥した。（収量；１７．９g ）

【０２７８】これを導電性成分として用いた他は実施例
１と同様に塗布液を調製して感湿薄膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０２７９】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図６６に示す。
また、出力特性は実施例３９と同様の結果であった。

【０２８０】なお、架橋前重合体のＭ_n は６万程度であ
った。

【０２８１】これらより本発明の効果は明らかである。

【０２８２】＜実施例４１＞実施例１の塗布液を用い、
実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、アモルフ
ァステフロン（テフロンＡＦ２４００：デュポン社製）
を飽和炭化弗素（フロリナートＦＣ−４３：住友３Ｍ社
製）に溶解し、０．２５wt% に調製した溶液を用い、前
記形成した感湿薄膜上にディッピングにより塗布・含浸
させ、５分間風乾して撥水性被膜を形成し、湿度センサ
素子を得た。

【０２８３】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図６７に示す。
また、出力特性は実施例１と同様の結果であった。

【０２８４】これらより本発明の効果は明らかである。

【０２８５】＜実施例４２＞実施例２の塗布液を用い、
実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施例４
１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、湿度
センサ素子を得た。

【０２８６】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図６８に示す。
また、出力特性は実施例２と同様の結果であった。

【０２８７】これらより本発明の効果は明らかである。

【０２８８】＜実施例４３＞実施例３の塗布液を用い、
実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施例４
１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、湿度
センサ素子を得た。

【０２８９】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図６９に示す。
また、出力特性は実施例３と同様の結果であった。

【０２９０】これらより本発明の効果は明らかである。

【０２９１】＜実施例４４＞実施例４の塗布液を用い、
実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施例４
１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、湿度
センサ素子を得た。

【０２９２】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図７０に示す。
また、出力特性は実施例４と同様の結果であった。

【０２９３】これらより本発明の効果は明らかである。

【０２９４】＜実施例４５＞実施例５の塗布液を用い、
実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施例４
１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、湿度
センサ素子を得た。

【０２９５】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図７１に示す。
また、出力特性は実施例５と同様の結果であった。

【０２９６】これらより本発明の効果は明らかである。

【０２９７】＜実施例４６＞実施例６の塗布液を用い、
実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施例４
１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、湿度
センサ素子を得た。

【０２９８】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図７２に示す。
また、出力特性は実施例６と同様の結果であった。

【０２９９】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３００】＜実施例４７＞実施例７の塗布液を用い、
実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施例４
１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、湿度
センサ素子を得た。

【０３０１】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図７３に示す。
また、出力特性は実施例７と同様の結果であった。

【０３０２】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３０３】＜実施例４８＞実施例８の塗布液を用い、
実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施例４
１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、湿度
センサ素子を得た。

【０３０４】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図７４に示す。
また、出力特性は実施例８と同様の結果であった。

【０３０５】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３０６】＜実施例４９＞実施例９の塗布液を用い、
実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施例４
１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、湿度
センサ素子を得た。

【０３０７】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図７５に示す。
また、出力特性は実施例９と同様の結果であった。

【０３０８】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３０９】＜実施例５０＞実施例１０の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３１０】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図７６に示す。
また、出力特性は実施例１０と同様の結果であった。

【０３１１】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３１２】＜実施例５１＞実施例１１の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３１３】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図７７に示す。
また、出力特性は実施例１１と同様の結果であった。

【０３１４】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３１５】＜実施例５２＞実施例１２の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３１６】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図７８に示す。
また、出力特性は実施例１２と同様の結果であった。

【０３１７】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３１８】＜実施例５３＞実施例１３の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３１９】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図７９に示す。
また、出力特性は実施例１３と同様の結果であった。

【０３２０】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３２１】＜実施例５４＞実施例１４の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３２２】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図８０に示す。
また、出力特性は実施例１４と同様の結果であった。

【０３２３】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３２４】＜実施例５５＞実施例１５の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３２５】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図８１に示す。
また、出力特性は実施例１５と同様の結果であった。

【０３２６】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３２７】＜実施例５６＞実施例１６の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３２８】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図８２に示す。
また、出力特性は実施例１６と同様の結果であった。

【０３２９】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３３０】＜実施例５７＞実施例１７の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３３１】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図８３に示す。
また、出力特性は実施例１７と同様の結果であった。

【０３３２】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３３３】＜実施例５８＞実施例１８の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３３４】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図８４に示す。
また、出力特性は実施例１８と同様の結果であった。

【０３３５】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３３６】＜実施例５９＞実施例１９の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３３７】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図８５に示す。
また、出力特性は実施例１９と同様の結果であった。

【０３３８】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３３９】＜実施例６０＞実施例２０の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３４０】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図８６に示す。
また、出力特性は実施例２０と同様の結果であった。

【０３４１】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３４２】＜実施例６１＞実施例２１の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３４３】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図８７に示す。
また、出力特性は実施例２１と同様の結果であった。

【０３４４】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３４５】＜実施例６２＞実施例２２の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３４６】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図８８に示す。
また、出力特性は実施例２２と同様の結果であった。

【０３４７】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３４８】＜実施例６３＞実施例２３の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３４９】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図８９に示す。
また、出力特性は実施例２３と同様の結果であった。

【０３５０】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３５１】＜実施例６４＞実施例２４の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３５２】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図９０に示す。
また、出力特性は実施例２４と同様の結果であった。

【０３５３】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３５４】＜実施例６５＞実施例２５の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３５５】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例４１と同様に
行った。得られた耐水性試験の測定結果を図９１に示
す。また、出力特性は実施例２５と同様の結果であっ
た。

【０３５６】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３５７】＜実施例６６＞実施例２６の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３５８】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例４１と同様に
行った。得られた耐水性試験の測定結果を図９２に示
す。また、出力特性は実施例２６と同様の結果であっ
た。

【０３５９】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３６０】＜実施例６７＞実施例２７の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３６１】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例４１と同様に
行った。得られた耐水性試験の測定結果を図９３に示
す。また、出力特性は実施例２７と同様の結果であっ
た。

【０３６２】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３６３】＜実施例６８＞実施例２８の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３６４】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例４１と同様に
行った。得られた耐水性試験の測定結果を図９４に示
す。また、出力特性は実施例２８と同様の結果であっ
た。

【０３６５】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３６６】＜実施例６９＞実施例２９の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３６７】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例４１と同様に
行った。得られた耐水性試験の測定結果を図９５に示
す。また、出力特性は実施例２９と同様の結果であっ
た。

【０３６８】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３６９】＜実施例７０＞実施例３０の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３７０】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例４１と同様に
行った。得られた耐水性試験の測定結果を図９６に示
す。また、出力特性は実施例３０と同様の結果であっ
た。

【０３７１】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３７２】＜実施例７１＞実施例３１の塗布液を用
い、実施例４１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実
施例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成
し、湿度センサ素子を得た。

【０３７３】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図９７に示す。
また、出力特性は実施例３１と同様の結果であった。

【０３７４】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３７５】＜実施例７２＞実施例３２の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３７６】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図９８に示す。
また、出力特性は実施例３２と同様の結果であった。

【０３７７】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３７８】＜実施例７３＞実施例３３の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３７９】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図９９に示す。
また、出力特性は実施例３３と同様の結果であった。

【０３８０】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３８１】＜実施例７４＞実施例３４の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３８２】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図１００に示
す。また、出力特性は実施例３４と同様の結果であっ
た。

【０３８３】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３８４】＜実施例７５＞実施例３５の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３８５】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図１０１に示
す。また、出力特性は実施例３５と同様の結果であっ
た。

【０３８６】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３８７】＜実施例７６＞実施例３６の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３８８】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図１０２に示
す。また、出力特性は実施例３６と同様の結果であっ
た。

【０３８９】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３９０】＜実施例７７＞実施例３７の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３９１】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図１０３に示
す。また、出力特性は実施例３７と同様の結果であっ
た。

【０３９２】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３９３】＜実施例７８＞実施例３８の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３９４】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図１０４に示
す。また、出力特性は実施例３８と同様の結果であっ
た。

【０３９５】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３９６】＜実施例７９＞実施例３９の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０３９７】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図１０５に示
す。また、出力特性は実施例３９と同様の結果であっ
た。

【０３９８】これらより本発明の効果は明らかである。

【０３９９】＜実施例８０＞実施例４０の塗布液を用
い、実施例１と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施
例４１と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、
湿度センサ素子を得た。

【０４００】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様に行
った。得られた耐水性試験の測定結果を図１０６に示
す。また、出力特性は実施例４０と同様の結果であっ
た。

【０４０１】これらより本発明の効果は明らかである。

【０４０２】実施例１〜７および実施例９〜１１、１３
〜４０において、上記以外のジアミン化合物とジハロゲ
ン化合物とを種々組み合わせ、かつこれらの化合物の添
加量を実施例１に従うもの（化７のスキーム）と実施例
１３に従うもの（化８のスキーム）とに種々かえ、さら
に組合わせるエチレン性不飽和反応性基を有する化合物
を種々かえるほかは、同様に感湿薄膜を形成し、同様に
湿度センサ素子を得た。また、実施例８および１２に準
ずるジアミン化合物とジハロゲン化合物の組合わせの場
合は実施例１と同様にして感湿薄膜を形成し、同様に湿
度センサ素子を得た。これらの湿度センサ素子について
同様に出力特性および耐水性を調べたところ、用いたジ
アミン化合物、ジハロゲン化合物や反応条件等に応じ
て、実施例１〜４０の結果と同等の結果を示した。ま
た、これらの化合物の組合せにおいて実施例４１〜８０
と同様に撥水性被膜を形成した湿度センサを得たが、化
合物等に応じ、実施例４１〜８０と同様の結果が得られ
た。

【０４０３】＜比較例１＞特公昭６２−７９７６号公報
に記載の湿度センサ素子を用いて出力特性を実施例１と
同様にして測定した。得られた出力特性の測定結果を図
１０７に示す。

【０４０４】この場合の感湿材料は化１８に示されるポ
リ２−ヒドロキシ−３−メタクリルオキシプロピルトリ
メチルアンモニウムクロライドであり、感湿薄膜は、化
１８の重合体溶液を用いて塗膜形成した後、重クロム酸
アンモニウム溶液を塗布してベーキングを行い、その後
紫外線を２〜３分間照射して架橋処理を行って得たもの
である。

【０４０５】

【化１８】

【０４０６】図１０７より、３０％ＲＨ以下の領域でヒ
ステリシスを示すことがわかり、本発明のものに比べ明
らかに出力特性が劣ることがわかる。

【０４０７】＜比較例２＞特公平２−２４４６５号公報
に記載の湿度センサ素子のうち第１の発明のものを用い
て出力特性および耐水性を実施例１と同様にして測定し
た。得られた出力特性の測定結果を図１０８に、耐水性
の測定結果を図１０９に示す。

【０４０８】この場合の感湿材料は、Ｎ，Ｎ，Ｎ′，
Ｎ′−テトラメチル−１，６−ジアミノヘキサンと１，
６−ジブロモヘキサンの等モルをアセトニトリルとメタ
ノール（体積比１：１）の混合溶媒中で反応させて得ら
れる化１９に示されるものである。また、感湿薄膜は、
化１９の重合体１重量部とポリビニルピロリドン１６重
量部とをイオン交換水３８３重量部に添加して調製した
塗布液を用い、ディッピングにより形成したものであ
る。

【０４０９】

【化１９】

【０４１０】図１０８より、１０％ＲＨ以下の領域で測
定不可能であることがわかる。これはジブロム化合物を
出発原料とした本発明のものと同じ傾向である。また、
図１０９より、耐水性が不十分であることがわかる。こ
れより、本発明のもののように出力特性と耐水性の両方
を満足するものではないことがわかる。

【０４１１】＜比較例３＞比較例２の塗布液を用い、比
較例２と同様に感湿薄膜を形成した。次に、実施例４１
と同様に前記感湿薄膜上に撥水性被膜を形成し、湿度セ
ンサ素子を得た。

【０４１２】このようにして得られた湿度センサ素子の
出力特性の評価および耐水性試験は実施例１と同様にし
て行った。得られた出力特性の測定結果を図１１０に、
耐水性試験の測定結果を図１１１に示す。図１１０よ
り、比較例２と同様な出力特性であることがわかる。ま
た、図１１１より、感湿薄膜上に撥水性被膜を形成して
も耐水性が不十分であることがわかる。

【０４１３】

【発明の効果】本発明によれば、耐水性に優れ、結露す
る雰囲気中でも長期間安定に動作することが可能にな
る。また、ヒステリシスがみられず、広範囲の湿度領域
での測定が可能になる。特に、感湿材料である重合体の
４級アンモニウム基の対イオンをＣｌ^- としたもので
は、１０％ＲＨ以下の低湿度領域での測定が可能であ
り、０〜１００％ＲＨの領域での測定を実現することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の湿度センサ素子の構成例の一つを示す
平面図である。

【図２】実施例１で得た湿度センサ素子の出力特性の測
定結果を示すグラフである。

【図３】実施例１で得た湿度センサ素子の耐水性試験の
測定結果を示すグラフである。

【図４】実施例２で得た湿度センサ素子の出力特性の測
定結果を示すグラフである。

【図５】実施例２で得た湿度センサ素子の耐水性試験の
測定結果を示すグラフである。

【図６】実施例３で得た湿度センサ素子の出力特性の測
定結果を示すグラフである。

【図７】実施例３で得た湿度センサ素子の耐水性試験の
測定結果を示すグラフである。

【図８】実施例４で得た湿度センサ素子の出力特性の測
定結果を示すグラフである。

【図９】実施例４で得た湿度センサ素子の耐水性試験の
測定結果を示すグラフである。

【図１０】実施例５で得た湿度センサ素子の出力特性の
測定結果を示すグラフである。

【図１１】実施例５で得た湿度センサ素子の耐水性試験
の測定結果を示すグラフである。

【図１２】実施例６で得た湿度センサ素子の出力特性の
測定結果を示すグラフである。

【図１３】実施例６で得た湿度センサ素子の耐水性試験
の測定結果を示すグラフである。

【図１４】実施例７で得た湿度センサ素子の出力特性の
測定結果を示すグラフである。

【図１５】実施例７で得た湿度センサ素子の耐水性試験
の測定結果を示すグラフである。

【図１６】実施例８で得た湿度センサ素子の出力特性の
測定結果を示すグラフである。

【図１７】実施例８で得た湿度センサ素子の耐水性試験
の測定結果を示すグラフである。

【図１８】実施例９で得た湿度センサ素子の出力特性の
測定結果を示すグラフである。

【図１９】実施例９で得た湿度センサ素子の耐水性試験
の測定結果を示すグラフである。

【図２０】実施例１０で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図２１】実施例１０で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図２２】実施例１２で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図２３】実施例１２で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図２４】実施例１３で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図２５】実施例１４で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図２６】実施例１５で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図２７】実施例１６で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図２８】実施例１７で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図２９】実施例１８で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図３０】実施例１９で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図３１】実施例２０で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図３２】実施例２１で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図３３】実施例２２で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図３４】実施例２２で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図３５】実施例２３で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図３６】実施例２３で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図３７】実施例２４で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図３８】実施例２４で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図３９】実施例２５で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図４０】実施例２５で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図４１】実施例２６で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図４２】実施例２６で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図４３】実施例２７で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図４４】実施例２７で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図４５】実施例２８で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図４６】実施例２８で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図４７】実施例２９で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図４８】実施例２９で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図４９】実施例３０で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図５０】実施例３１で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。鷹

【図５１】実施例３１で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図５２】実施例３２で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図５３】実施例３２で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図５４】実施例３３で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図５５】実施例３３で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図５６】実施例３４で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図５７】実施例３４で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図５８】実施例３５で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図５９】実施例３６で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。鷹

【図６０】実施例３６で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図６１】実施例３７で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図６２】実施例３８で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図６３】実施例３８で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図６４】実施例３９で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図６５】実施例３９で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図６６】実施例４０で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図６７】実施例４１で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。鷹

【図６８】実施例４２で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図６９】実施例４３で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図７０】実施例４４で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図７１】実施例４５で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図７２】実施例４６で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図７３】実施例４７で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図７４】実施例４８で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図７５】実施例４９で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図７６】実施例５０で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図７７】実施例５１で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図７８】実施例５２で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図７９】実施例５３で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図８０】実施例５４で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図８１】実施例５５で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図８２】実施例５６で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図８３】実施例５７で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図８４】実施例５８で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図８５】実施例５９で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図８６】実施例６０で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図８７】実施例６１で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図８８】実施例６２で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図８９】実施例６３で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図９０】実施例６４で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図９１】実施例６５で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図９２】実施例６６で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図９３】実施例６７で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図９４】実施例６８で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図９５】実施例６９で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図９６】実施例７０で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図９７】実施例７１で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図９８】実施例７２で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図９９】実施例７３で得た湿度センサ素子の耐水性試
験の測定結果を示すグラフである。

【図１００】実施例７４で得た湿度センサ素子の耐水性
試験の測定結果を示すグラフである。

【図１０１】実施例７５で得た湿度センサ素子の耐水性
試験の測定結果を示すグラフである。

【図１０２】実施例７６で得た湿度センサ素子の耐水性
試験の測定結果を示すグラフである。

【図１０３】実施例７７で得た湿度センサ素子の耐水性
試験の測定結果を示すグラフである。

【図１０４】実施例７８で得た湿度センサ素子の耐水性
試験の測定結果を示すグラフである。

【図１０５】実施例７９で得た湿度センサ素子の耐水性
試験の測定結果を示すグラフである。

【図１０６】実施例８０で得た湿度センサ素子の耐水性
試験の測定結果を示すグラフである。

【図１０７】比較例１の湿度センサ素子の出力特性の測
定結果を示すグラフである。

【図１０８】比較例２で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図１０９】比較例２の湿度センサ素子の耐水性試験の
測定結果を示すグラフである。

【図１１０】比較例３で得た湿度センサ素子の出力特性
の測定結果を示すグラフである。

【図１１１】比較例３の湿度センサ素子の耐水性試験の
測定結果を示すグラフである。

【符号の説明】

１湿度センサ素子２絶縁基板３感湿薄膜４電極５ギャップ６電極端子７リード線８半田９レジスト膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01N 27/12

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】絶縁基板上にギャップを介して対向する
ように一対の電極を有し、このギャップ上に感湿薄膜を
有し、この感湿薄膜が、下記化１で示される重合体の架橋物を
含有する湿度センサ素子。【化１】〔化１において、ＡおよびＢは各々二価基を表わす。Ｙ
_１およびＹ _６は、アクリロイルオキシ基、メタクリロイ
ルオキシ基、アクリロイルイミノ基、メタクリロイルイ
ミノ基、アリルオキシ基、ビニロキシ基およびビニルベ
ンジル基から選ばれたエチレン性不飽和反応性基を末端
に有する基であり、Ｙ _２、Ｙ _３、Ｙ _４およびＹ _５は、各
々アルキル基またはアルケニル基を表わす。Ｙ _１と
Ｙ _２、Ｙ _１とＡもしくはＡの一部、Ｙ _２とＡもしくはＡ
の一部、Ｙ _３とＹ _４、Ｙ _３とＡもしくはＡの一部、Ｙ _４
とＡもしくはＡの一部、Ｙ _１とＹ _３もしくはＹ _４、また
はＹ _２とＹ _３もしくはＹ _４が互いに結合して窒素原子
（Ｎ）とともに環を形成してもよい。Ｙ_１、Ｙ_２、
Ｙ_３、Ｙ_４、Ｙ_５、Ａおよびこれらの窒素原子（Ｎ）側
の一部のうちの任意の２つ以上、またはＹ_４、Ｙ_５、Ｙ
_６、Ｂおよびこれらの窒素原子（Ｎ）側の一部のうちの
任意の２つ以上が結合して窒素原子（Ｎ）とともに環を
形成してもよい。Ｘ⁻はハロゲン化物イオンを表わす。
ｎは２〜５０００である。〕
【請求項２】前記重合体が、下記化２または化３で示
される請求項１の湿度センサ素子。【化２】【化３】〔化２および化３の各々において、ＡおよびＢは各々二
価基を表わす。Ｒ_１、Ｒ_２、Ｒ_３およびＲ_４は各々アル
キル基またはアルケニル基を表わす。Ｒ_１とＲ_２、Ｒ_１
とＡもしくはＡの一部、Ｒ_２とＡもしくはＡの一部、Ｒ
_３とＲ_４、Ｒ_３とＡもしくはＡの一部、Ｒ_４とＡもしく
はＡの一部、Ｒ_１とＲ_３もしくはＲ_４、またはＲ_２とＲ
_３もしくはＲ_４が互いに結合して窒素原子（Ｎ）ととも
に環を形成してもよい。ＬはＣＨ _２＝ＣＲと一緒になっ
て、前記エチレン性不飽和反応性基を末端に有する基を
完成させる二価基を表わす。Ｒは水素原子またはアルキ
ル基を表わす。Ｘ⁻はハロゲン化物イオンを表わす。ｎ
は２〜５０００である。化２において、Ｒ_５およびＲ_６
は各々アルキル基またはアルケニル基を表わす。Ｒ _５、
Ｒ _６およびＬの２個または３個は互いに結合して窒素原
子（Ｎ）とともに環を形成しても良い。〕
【請求項３】前記Ｘ⁻で表わされるハロゲン化物イオ
ンが塩化物イオンである請求項１または２の湿度センサ
素子。
【請求項４】前記Ａで表わされる二価基がアルキレン
基、アルケニレン基、アリーレン基またはこれらの組合
せである請求項１〜３のいずれかの湿度センサ素子。
【請求項５】前記Ｂで表わされる二価基が、オキシ基
（−Ｏ−）およびカルボニル基（−ＣＯ−）のうちの１
種以上が介在してもよいアルキレン基、アルケニレン
基、アリーレン基またはこれらの組合せである請求項１
〜４のいずれかの湿度センサ素子。
【請求項６】前記重合体が、ジアミン化合物とジハロ
ゲン化合物とを反応させて得られる中間重合体の両末端
にエチレン性不飽和反応性基を導入して得られる請求項
２〜５のいずれかの湿度センサ素子。
【請求項７】前記架橋物が放射線照射によって得られ
る請求項１〜６のいずれかの湿度センサ素子。
【請求項８】前記感湿薄膜上にさらに撥水性被膜を設
けた請求項１〜７のいずれかの湿度センサ素子。