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JP2887114B2 - Ultrasonic cleaning equipment - Google Patents

Ultrasonic cleaning equipment

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Publication number
JP2887114B2
JP2887114B2 JP22986796A JP22986796A JP2887114B2 JP 2887114 B2 JP2887114 B2 JP 2887114B2 JP 22986796 A JP22986796 A JP 22986796A JP 22986796 A JP22986796 A JP 22986796A JP 2887114 B2 JP2887114 B2 JP 2887114B2
Authority
JP
Japan
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space
cleaning liquid
cleaning
main body
vibration
Prior art date
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JP22986796A
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Japanese (ja)
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JPH1074723A (en
Inventor
伸樹 松崎
秀樹 森
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SHIBAURA MEKATORONIKUSU KK
Original Assignee
SHIBAURA MEKATORONIKUSU KK
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Publication date
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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は被洗浄物を洗浄す
る洗浄液に超音波振動を付与する超音波洗浄装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic cleaning apparatus for applying ultrasonic vibration to a cleaning liquid for cleaning an object to be cleaned.

【0002】[0002]

【従来の技術】たとえば液晶表示装置や半導体装置の製
造工程においては、被洗浄物としての液晶用ガラス基板
や半導体ウエハを高い清浄度で洗浄することが要求され
る工程がある。このような被洗浄物を洗浄する方式とし
ては、洗浄液中に複数枚の被洗浄物を浸漬するデイップ
方式や被洗浄物に向けて洗浄液を噴射して一枚づつ洗浄
する枚葉方式があり、最近では高い清浄度が得られると
ともに、コスト的に有利な枚葉方式が採用されることが
多くなってきている。
2. Description of the Related Art For example, in a process of manufacturing a liquid crystal display device or a semiconductor device, there is a process that requires cleaning a liquid crystal glass substrate or a semiconductor wafer as an object to be cleaned with high cleanliness. As a method of cleaning such an object to be cleaned, there are a dip method in which a plurality of objects to be cleaned are immersed in a cleaning liquid, and a single-wafer method in which a cleaning liquid is sprayed toward the object to be cleaned to wash one by one, In recent years, a single-wafer method which is advantageous in terms of cost while being able to obtain high cleanliness has been increasingly used.

【0003】枚葉方式の1つとして被洗浄物に噴射され
る洗浄液に振動を付与し、その振動作用によって上記被
洗浄物から微粒子を効率よく除去するようにした洗浄方
式が実用化されている。
[0003] As one of the single-wafer systems, a cleaning system has been put to practical use in which vibration is imparted to a cleaning liquid sprayed on a cleaning object, and the fine particles are efficiently removed from the cleaning object by vibrating action. .

【0004】洗浄液に振動を付与する洗浄方式におい
て、従来は20〜50kHz程度の超音波が用いられていた
が、最近では600 〜2000kHz程度の極超音波帯域の音
波を用いる超音波洗浄装置が開発されている。
In the cleaning method of applying vibration to the cleaning liquid, ultrasonic waves of about 20 to 50 kHz have been used in the past, but recently an ultrasonic cleaning apparatus using ultrasonic waves in the ultra-ultrasonic band of about 600 to 2000 kHz has been developed. Have been.

【0005】振動が付与された洗浄液を被洗浄物に噴射
すると、その振動の作用によって被洗浄物に付着した微
粒子の結合力が低下するため、振動を付与しない場合に
比べて洗浄効果を向上させることができる。
[0005] When the vibration-applied cleaning liquid is sprayed onto the object to be cleaned, the effect of the vibration reduces the bonding force of the fine particles adhering to the object to be cleaned, so that the cleaning effect is improved as compared with the case where no vibration is applied. be able to.

【0006】従来、上記超音波洗浄装置は、図5に示す
ように洗浄液が供給される空間部2が形成された装置本
体1を有する。この空間部2は上記装置本体1の下面に
開口していて、その開口であるノズル口3から上記洗浄
液が噴出されるようになっている。
Conventionally, the ultrasonic cleaning apparatus has an apparatus main body 1 in which a space 2 to which a cleaning liquid is supplied is formed as shown in FIG. The space 2 is open to the lower surface of the apparatus main body 1, and the cleaning liquid is ejected from a nozzle port 3 which is the opening.

【0007】上記装置本体1には上記空間部2に供給さ
れた洗浄液が接触する状態で振動板4が設けられ、この
振動板4には振動子5が取着されている。この振動子5
には電圧が印加されるようになっており、それによって
振動子5とともに上記振動板4が超音波振動するように
なっている。
A vibrating plate 4 is provided in the apparatus main body 1 in a state where the cleaning liquid supplied to the space 2 comes into contact with the vibrating plate 4, and a vibrator 5 is attached to the vibrating plate 4. This vibrator 5
Is applied with a voltage, whereby the vibrating plate 4 and the vibrating plate 4 are ultrasonically vibrated.

【0008】上記振動板4が超音波振動すると、この振
動板4に接触する洗浄液には超音波振動が付与されるか
ら、超音波振動が付与されて上記ノズル口3から流出す
る洗浄液によって上記被洗浄物を洗浄することができる
ようになっている。
When the vibrating plate 4 is ultrasonically vibrated, the cleaning liquid coming into contact with the vibrating plate 4 is subjected to ultrasonic vibration. The washing object can be washed.

【0009】上記空間部2への洗浄液の供給は、この空
間部2の幅方向両側から行なわれている。すなわち、上
記装置本体1の上記空間部2の幅方向両側部には一対の
供給路6が上記装置本体1の長手方向に沿って形成され
ている。各供給路6には噴出路7が一端を連通させてい
る。噴出路7の他端は上記空間部2の上部に開口してい
る。
The supply of the cleaning liquid to the space 2 is performed from both sides of the space 2 in the width direction. That is, a pair of supply paths 6 are formed on both sides in the width direction of the space portion 2 of the apparatus main body 1 along the longitudinal direction of the apparatus main body 1. An ejection path 7 has one end communicating with each supply path 6. The other end of the ejection path 7 opens to the upper part of the space 2.

【0010】したがって、上記供給路6に供給された洗
浄液は上記噴出路7から振動板に向けて噴出し、この
振動板によって超音波振動が付与されてノズル口3か
ら被洗浄物に向かって噴出するようになっている。な
お、空間部2に供給される洗浄液の流量はノズル口3か
ら流出する流量よりも多く設定されており、それによっ
て空間部2の内部で洗浄液の圧力が高められてノズル口
3から噴出するようになっている。
Accordingly, the cleaning liquid supplied to the supply passage 6 is ejected toward the diaphragm 4 from the ejection passage 7, towards the object to be cleaned from a nozzle port 3 ultrasonic vibration is imparted by the vibrating plate 4 To spout out. The flow rate of the cleaning liquid supplied to the space 2 is set to be higher than the flow rate flowing out of the nozzle port 3, so that the pressure of the cleaning liquid is increased inside the space 2 and the cleaning liquid is ejected from the nozzle port 3. It has become.

【0011】ところで、上記構成の超音波洗浄装置によ
ると、洗浄液が空間部2の幅方向両側の噴出路7から上
記空間部2に供給されると、洗浄液は図5に矢印で示す
ように流れてノズル口3から流出する。すなわち、空間
部2の幅方向両側の噴出路7から供給された洗浄液は矢
印のごとく流れることで、同図にXで示す振動板4の下
面の幅方向ほぼ中央部分で衝突するため、その部分では
洗浄液が流れにくい、つまり滞留し易いということがあ
った。
According to the ultrasonic cleaning apparatus having the above structure, when the cleaning liquid is supplied to the space 2 from the ejection paths 7 on both sides in the width direction of the space 2, the cleaning liquid flows as shown by arrows in FIG. Out of the nozzle port 3. That is, the cleaning liquid supplied from the ejection paths 7 on both sides in the width direction of the space portion 2 flows as indicated by arrows, and collides at a substantially central portion in the width direction of the lower surface of the diaphragm 4 shown by X in FIG. In such a case, the cleaning liquid is difficult to flow, that is, it tends to stay.

【0012】その結果、洗浄液中に含まれる気体が気泡
となって振動板4に付着すると、洗浄液の滞留が生じて
いる部分では振動板4に付着した気泡が除去されず、次
第に成長するということがある。気泡が成長すると、超
音波振動によって発熱した振動板が洗浄液によって冷却
されにくくなるから、その発熱によって振動板4が変形
したり、振動板4に接着剤によって取着された振動子5
が剥離するなどのことがあった。
As a result, when the gas contained in the cleaning liquid becomes bubbles and adheres to the vibration plate 4, the bubbles adhered to the vibration plate 4 are not removed in the portion where the cleaning liquid stays, and grow gradually. There is. When the bubbles grow, the vibration plate heated by the ultrasonic vibration becomes difficult to be cooled by the cleaning liquid. Therefore, the heat generation deforms the vibration plate 4 or the vibrator 5 attached to the vibration plate 4 with an adhesive.
Was peeled off.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の超
音波振動装置は空間部に供給される洗浄液が振動板の下
面側で滞留し易いため、その滞留によって振動板に付着
した気泡が除去されずに成長し、振動板のその部分が洗
浄液によって冷却されにくくなって異常に温度上昇する
ということがあった。
As described above, in the conventional ultrasonic vibration device, since the cleaning liquid supplied to the space portion easily stays on the lower surface side of the diaphragm, the bubbles adhering to the diaphragm are removed by the stay. In some cases, it grows without being cooled, and that portion of the vibration plate is hardly cooled by the cleaning liquid, causing an abnormal rise in temperature.

【0014】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、装置本体の空間部に供給
された洗浄液が振動板の下面側で滞留しにくいようにし
た超音波振動装置を提供することにある。
The present invention has been made based on the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic vibrator in which a cleaning liquid supplied to a space of an apparatus main body is less likely to stay on a lower surface side of a diaphragm. To provide.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、被洗
浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を付与するための超
音波洗浄装置において、空間部が形成されこの空間部が
ノズル口を介して一側面に開口するとともに上記空間部
内に供給された上記洗浄液を上記ノズル口から流出させ
る装置本体と、この装置本体の上部に設けられ上記空間
部に供給された上記洗浄液と接触するとともにその一方
の面に取着された振動子によって超音波振動しその振動
を上記洗浄液に付与する振動板と、上記装置本体に設け
られ上記空間部の幅方向一側から上記振動板に向けて上
記洗浄液を上記ノズル口からの流出量よりも多い供給量
供給する供給部と、上記装置本体に設けられ上記供給
部から上記空間部に供給された洗浄液の一部を上記振動
板の他方の面に沿って流して上記空間部の幅方向他端側
から排出する排出部とを具備したことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] of claim 1 the invention provides the ultrasonic cleaning device for applying ultrasonic vibrations to the cleaning liquid for cleaning the object to be cleaned, the space portion space is formed
An apparatus body that opens to one side via a nozzle port and allows the cleaning liquid supplied into the space to flow out of the nozzle port, and contacts the cleaning liquid provided at an upper part of the apparatus body and supplied to the space section On the other hand with the
A vibrating plate which is ultrasonically vibrated by a vibrator attached to the surface of the cleaning liquid and applies the vibration to the cleaning liquid, and the cleaning liquid is provided on the apparatus body from one side in the width direction of the space toward the vibration plate. Supply volume larger than the outflow volume from the nozzle port
It said vibrating a supply unit for supplying a part of the cleaning liquid supplied to the space from being provided in the device body the supply unit in
A discharge section for flowing along the other surface of the plate and discharging from the other end in the width direction of the space.

【0016】請求項1の発明によれば、装置本体の空間
部の幅方向一側に形成された供給部から空間部に供給さ
れた洗浄液の一部は上記空間部の幅方向他側に形成され
た排出部から排出される。それによって、振動板の下面
には洗浄液の流れが生じるから、振動板の下面に気泡が
付着しても、その気泡は洗浄液の流れによって除去され
る。
According to the first aspect of the present invention, a part of the cleaning liquid supplied to the space from the supply section formed on one side in the width direction of the space of the apparatus body is formed on the other side in the width direction of the space. It is discharged from the discharge section. As a result, a flow of the cleaning liquid is generated on the lower surface of the vibration plate. Therefore, even if air bubbles adhere to the lower surface of the vibration plate, the air bubbles are removed by the flow of the cleaning liquid.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施形態を図
1乃至図3を参照して説明する。図1に示すこの発明の
超音波洗浄装置は装置本体11を有する。この装置本体
11は上面が開放した凹部12が長手方向に沿って形成
された上部材13と、この上部材13の下面に第1のシ
−ル材14を介して液密に接合固定された下部材15と
によって細長い角柱状に形成されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. The ultrasonic cleaning apparatus of the present invention shown in FIG. The apparatus main body 11 is joined and fixed in a liquid-tight manner to an upper member 13 having a concave portion 12 with an open upper surface formed along the longitudinal direction and a lower surface of the upper member 13 through a first seal member 14. The lower member 15 forms an elongated prism.

【0018】上記上部材13の下部壁には長手方向に沿
って嵌合孔16が穿設され、上記下部材15の上面の幅
方向中央部分には上記嵌合孔16に嵌合した凸部17が
形成されている。
A fitting hole 16 is formed in the lower wall of the upper member 13 along the longitudinal direction, and a convex portion fitted in the fitting hole 16 is formed in the center of the upper surface of the lower member 15 in the width direction. 17 are formed.

【0019】上記下部材15の凸部17が形成された幅
方向中央部分には、一端を上面に開口させ、他端を下面
に開口させた空間部18が長手方向に沿って形成されて
いる。この空間部18の断面形状は、一端(上端)から
他端(下端)にゆくにつれて幅寸法が小さくなるテ−パ
状をなしていて、その下端開口は狭幅なノズル口19と
なっている。
A space 18 having one end opened on the upper surface and the other end opened on the lower surface is formed along the longitudinal direction at the center of the lower member 15 in the width direction where the projection 17 is formed. . The cross-sectional shape of the space 18 is tapered such that the width decreases from one end (upper end) to the other end (lower end), and the lower end opening is a narrow nozzle opening 19. .

【0020】上記空間部18の開口した上端は矩形状の
薄い金属板からなる振動板21によって液密に閉塞され
ている。つまり、この振動板21は、その下面周辺部が
所定の厚さを有する枠状の第2のシ−ル材22を介して
上記上部材13の凹部12の内底面に接合されている。
それによって、振動板21は上記空間部18の上部に下
面を臨ませて設けられている。
The open upper end of the space 18 is liquid-tightly closed by a diaphragm 21 made of a rectangular thin metal plate. That is, the diaphragm 21 is joined to the inner bottom surface of the concave portion 12 of the upper member 13 through the frame-shaped second seal member 22 having a predetermined thickness at the lower peripheral portion.
Thus, the diaphragm 21 is provided on the upper part of the space 18 with the lower surface facing the same.

【0021】上記振動板21の上面には同じく枠状の押
え板23が接合され、上記上部材13に固定されてい
る。それによって、上記空間部18の上端開口は液密に
閉塞されている。
A frame-like pressing plate 23 is also joined to the upper surface of the vibration plate 21 and is fixed to the upper member 13. Thereby, the upper end opening of the space 18 is liquid-tightly closed.

【0022】上記振動板21の上面の幅方向中央部分、
つまり上記空間部18と対応する部位には圧電素子から
なる複数の振動子24(図2に示す)が上記振動板21
の長手方向に沿って所定間隔で取着されている。
A widthwise center portion of the upper surface of the diaphragm 21;
That is, a plurality of vibrators 24 (shown in FIG. 2) made of piezoelectric elements
Are attached at predetermined intervals along the longitudinal direction.

【0023】上記振動板21の上方には給電板25が上
記押え板23に保持部材26を介して取り付けられてい
る。この給電板25には上記振動子24と弾性的に接触
した接触子27が設けられている。上記給電板25には
コイル28が設けられ、このコイル28を介して上記振
動子24に給電されるようになっている。それによっ
て、上記振動子24が超音波振動し、その超音波振動に
上記振動板21が連動するようになっている。
Above the vibration plate 21, a power supply plate 25 is attached to the holding plate 23 via a holding member 26. The power supply plate 25 is provided with a contact 27 that is in elastic contact with the vibrator 24. A coil 28 is provided on the power supply plate 25, and power is supplied to the vibrator 24 via the coil 28. Thereby, the vibrator 24 is ultrasonically vibrated, and the vibration plate 21 is interlocked with the ultrasonic vibration.

【0024】上記装置本体11の下部材15には、上記
空間部18の幅方向一側に位置する主供給路31が上記
装置本体11の長手方向に沿って形成されている。この
主供給路31の一端は上記装置本体11の長手方向一端
面に開口し、そこには図示しない純水や薬液などの洗浄
液の供給源が接続される。
In the lower member 15 of the apparatus main body 11, a main supply path 31 located on one side in the width direction of the space 18 is formed along the longitudinal direction of the apparatus main body 11. One end of the main supply path 31 is opened at one end face in the longitudinal direction of the apparatus main body 11, and a supply source of a cleaning liquid (not shown) such as pure water or a chemical liquid is connected thereto.

【0025】上記主供給路31には装置本体11の長手
方向に所定間隔で形成された複数の分岐供給路32が一
端を連通させている。この分岐供給路32は上記装置本
体11の上部材13と下部材15とにわたって形成され
ていて、他端を上記上部材13の凹部12の内底面の上
記振動板21によって覆われた部分、つまり上記空間部
18の上端側の幅方向一側に連通するよう開口させてい
る。
A plurality of branch supply paths 32 formed at predetermined intervals in the longitudinal direction of the apparatus main body 11 communicate with one end of the main supply path 31. The branch supply path 32 is formed over the upper member 13 and the lower member 15 of the apparatus main body 11, and the other end is covered by the diaphragm 21 on the inner bottom surface of the concave portion 12 of the upper member 13, that is, The space 18 is opened so as to communicate with one side in the width direction on the upper end side.

【0026】上記空間部18の幅方向他側で、装置本体
11の下部材15には主排出路33が長手方向ほぼ全長
にわたって形成されている。この主排出路33には、装
置本体11の長手方向に所定間隔で形成された分岐排出
路34の下端が連通している。この分岐排出路34の上
端は上記空間部18の上端側の幅方向他側に連通するよ
う開口している。
On the other side of the space 18 in the width direction, a main discharge passage 33 is formed in the lower member 15 of the apparatus main body 11 over substantially the entire length in the longitudinal direction. The lower end of a branch discharge path 34 formed at a predetermined interval in the longitudinal direction of the apparatus main body 11 communicates with the main discharge path 33. The upper end of the branch discharge path 34 is open to communicate with the other side in the width direction on the upper end side of the space 18.

【0027】上記分岐供給路32と分岐排出路34と
は、図2に示すように装置本体11の長手方向において
位置をずらして形成されている。上記分岐供給管32か
ら空間部18に供給される洗浄液の量はノズル口19と
分岐排出路34から流出する量よりも多くなるよう設定
されている。
The branch supply path 32 and the branch discharge path 34 are formed at different positions in the longitudinal direction of the apparatus main body 11 as shown in FIG. The amount of the cleaning liquid supplied from the branch supply pipe 32 to the space 18 is set to be larger than the amount flowing out of the nozzle port 19 and the branch discharge path 34.

【0028】それによって、分岐供給路32から空間部
18に供給された洗浄液は、この空間部18内で圧力が
上昇して上記ノズル口19から噴出するとともに、一部
は上記分岐排出路34から排出されるようになってい
る。
As a result, the cleaning liquid supplied to the space 18 from the branch supply path 32 is increased in pressure in the space 18 and is ejected from the nozzle port 19, and a part of the cleaning liquid is supplied from the branch discharge path 34. It is being discharged.

【0029】つぎに、上記構成の超音波洗浄装置の作用
について説明する。装置本体11の空間部18には、主
供給路31から分岐供給路32を通じて洗浄液が供給さ
れる。洗浄液が空間部18内に供給される量は、ノズル
口19と分岐排出路34からの流出量よりも多く設定さ
れているから、空間部18内は所定の圧力に上昇する。
Next, the operation of the ultrasonic cleaning apparatus having the above configuration will be described. The cleaning liquid is supplied to the space 18 of the apparatus main body 11 from the main supply path 31 through the branch supply path 32. Since the amount of the cleaning liquid supplied into the space 18 is set to be larger than the amount of outflow from the nozzle port 19 and the branch discharge path 34, the pressure inside the space 18 rises to a predetermined pressure.

【0030】空間部18内の圧力が上昇することで、洗
浄液はノズル口19から図示しない被洗浄物に向かって
勢いよく噴出する。また、分岐供給管32から空間部1
8へ供給された洗浄液の一部は分岐排出路34へ流入
し、主排出路33から排出されることで、振動板21
下面には図3に矢印Zで示すようにその幅方向に沿う流
れが生じる。
As the pressure in the space 18 increases, the cleaning liquid gushes out of the nozzle port 19 toward the object to be cleaned (not shown). Further, the space part 1 is connected to the branch supply pipe 32.
A part of the cleaning liquid supplied to 8 flows into the branch discharge path 34 and is discharged from the main discharge path 33, so that the lower surface of the diaphragm 21 extends along the width direction as shown by the arrow Z in FIG. Flow occurs.

【0031】空間部18に供給された洗浄液には気体が
含まれていて、その気体は気泡となって空間部18を上
昇し、振動板21の下面に付着する。しかしながら、振
動板21の下面に付着した気泡は、洗浄液の一部が分岐
供給路32から分岐排出路34に向かって流れること
で、その流れにより振動板21から除去される。
The cleaning liquid supplied to the space 18 contains gas, and the gas becomes bubbles and rises up the space 18, and adheres to the lower surface of the diaphragm 21 . However, bubbles adhered to the lower surface of the vibration plate 21, by a portion of the cleaning liquid flows toward the branch exhaust passage 34 from the branch supply path 32, it is removed from the diaphragm 21 by its flow.

【0032】そのため、空間部18内に洗浄液が供給さ
れることで気泡がつぎつぎに発生しても、その気泡が振
動板21に付着して成長するということがなくなるか
ら、振動板21が部分的に洗浄液によって冷却されなく
なって異常に温度上昇して熱変形したり、振動板21
接着された振動子24が温度上昇によって剥離するなど
のことを防止できる。さらに、振動板21に気泡が付着
することで、気泡により超音波振動が減衰されるとうこ
とがなくなるから、振動板21の超音波振動が洗浄液に
効率よく伝播させることができる。
[0032] Therefore, even in the event the air bubbles one after another by the cleaning liquid is supplied into the space 18, because it is eliminated that the bubble grows attached to the diaphragm 21, partially vibration plate 21 In addition, it is possible to prevent the temperature from being abnormally increased by the cleaning liquid to cause abnormal temperature rise and thermal deformation, and the vibrator 24 bonded to the diaphragm 21 from being peeled off due to the temperature rise. Furthermore, by adhering air bubbles to the diaphragm 21, since it shake ultrasonic vibration is attenuated by the air bubbles is eliminated, it is possible to ultrasonic vibration of the vibrating plate 21 to propagate efficiently in the cleaning solution.

【0033】この発明は上記一実施形態に限定されず、
種々変形可能である。たとえば、図4に示すように主排
出路33に排液管41を介して廃液ポンプ42を接続
し、空間部18内の洗浄液を強制的に排出させること
で、振動板21の下面側にその幅方向に沿う流れを生じ
させるようにしてもよい。その場合、上記排液管41に
流量の調整弁43を設ければ、振動板21の下面側に沿
う洗浄液の流れの速度を制御することができる。
The present invention is not limited to the above embodiment,
Various modifications are possible. For example, through the drain pipe 41 connect the waste pump 42 to the main discharge passage 33 as shown in FIG. 4, by forcibly discharging the cleaning liquid in the space portion 18, the lower surface side of the diaphragm 21 A flow along the width direction may be generated. In this case, if the drainage pipe 41 is provided with a flow rate adjusting valve 43, the flow rate of the cleaning liquid along the lower surface of the diaphragm 21 can be controlled.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上述べたように請求項1の発明は、装
置本体の空間部の幅方向一側に形成された供給部から空
間部に供給された洗浄液の一部は上記空間部の幅方向他
側に形成された排出部へ排出される。
As described above, according to the first aspect of the present invention, a part of the cleaning liquid supplied to the space portion from the supply portion formed on one side in the width direction of the space portion of the main body of the apparatus is reduced to the width of the space portion. It is discharged to the discharge part formed on the other side in the direction.

【0035】それによって、振動板の下面には洗浄液の
流れが生じ、その流れで振動板の下面に付着した気泡が
除去されるから、振動板に付着した気泡によって洗浄液
による振動板の冷却作用が妨げられたり、超音波振動の
伝播効率が低下するなどのことがなくなる。
As a result, a flow of the cleaning liquid is generated on the lower surface of the diaphragm, and the flow removes the air bubbles adhering to the lower surface of the vibration plate. It does not obstruct or reduce the propagation efficiency of the ultrasonic vibration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施形態を示す超音波洗浄装置の
縦断面図。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an ultrasonic cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】同じく図1のA−A線に沿う横断面図。FIG. 2 is a transverse sectional view taken along the line AA of FIG. 1;

【図3】同じく空間部における洗浄液の流れを説明する
ための拡大図。
FIG. 3 is an enlarged view for explaining the flow of the cleaning liquid in the space.

【図4】この発明の他の実施形態を示す超音波洗浄装置
の縦断面図。
FIG. 4 is a longitudinal sectional view of an ultrasonic cleaning apparatus showing another embodiment of the present invention.

【図5】従来の超音波洗浄装置を示す縦断面図。FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a conventional ultrasonic cleaning device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…装置本体 18…空間部 21…振動板 24…振動子 31…主供給路 32…分岐供給路 33…主排出路 34…分岐排出路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Device main body 18 ... Space part 21 ... Vibration plate 24 ... Vibrator 31 ... Main supply path 32 ... Branch supply path 33 ... Main discharge path 34 ... Branch discharge path

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動
を付与するための超音波洗浄装置において、空間部が形成されこの空間部がノズル口を介して一側面
に開口するとともに 上記空間部内に供給された上記洗浄
液を上記ノズル口から流出させる装置本体と、 この装置本体の上部に設けられ上記空間部に供給された
上記洗浄液と接触するとともにその一方の面に取着され
た振動子によって超音波振動しその振動を上記洗浄液に
付与する振動板と、 上記装置本体に設けられ上記空間部の幅方向一側から上
記振動板に向けて上記洗浄液を上記ノズル口からの流出
量よりも多い供給量で供給する供給部と、 上記装置本体に設けられ上記供給部から上記空間部に供
給された洗浄液の一部を上記振動板の他方の面に沿って
流して上記空間部の幅方向他端側から排出する排出部と
を具備したことを特徴とする超音波洗浄装置。
1. An ultrasonic cleaning apparatus for applying ultrasonic vibration to a cleaning liquid for cleaning an object to be cleaned, wherein a space is formed , and the space is formed on one side through a nozzle port.
A device main body that opens into the space and allows the cleaning liquid supplied into the space to flow out of the nozzle port, and is provided at an upper portion of the device main body and comes into contact with the cleaning liquid supplied to the space and has one surface thereof. A vibrating plate that is ultrasonically vibrated by the attached vibrator and applies the vibration to the cleaning liquid, and the cleaning liquid is provided in the apparatus main body from one side in the width direction of the space toward the vibrating plate and the nozzle port is provided. Spill from
A supply unit that supplies a supply amount greater than the supply amount, and a part of the cleaning liquid that is provided in the apparatus main body and that is supplied to the space from the supply unit along the other surface of the vibration plate
An ultrasonic cleaning device, comprising: a discharge portion for flowing and discharging from the other end in the width direction of the space portion.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN1853799B (en) * 2005-04-20 2013-02-06 芝浦机械电子株式会社 Substrate processing device and method

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