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JP2706363B2 - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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Publication number
JP2706363B2
JP2706363B2 JP2244564A JP24456490A JP2706363B2 JP 2706363 B2 JP2706363 B2 JP 2706363B2 JP 2244564 A JP2244564 A JP 2244564A JP 24456490 A JP24456490 A JP 24456490A JP 2706363 B2 JP2706363 B2 JP 2706363B2
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JP
Japan
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signal
level
memory cell
bit line
data
Prior art date
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JP2244564A
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Japanese (ja)
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JPH04181600A (en
Inventor
佳似 太田
和明 落合
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to US07/616,923 priority Critical patent/US5185722A/en
Publication of JPH04181600A publication Critical patent/JPH04181600A/en
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  • Dram (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は半導体記憶装置に関し、特に動作テストを
高速に行うことができる半導体記憶装置に関する。
The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a semiconductor memory device capable of performing an operation test at high speed.

〈従来の技術〉 近年の半導体記憶装置の進歩は著しいものがあり、RA
M(ランダム・アクセス・メモリ)、ROM(リード・オン
リ・メモリ)その他のメモリとも、3年に4倍づつ集積
度を着実に増してきている。それにつれて、デバイスの
動作テストに要する時間も増大しており、製造側の出荷
検査やユーザー側の受け入れ検査を効率的に行うため、
より高速なテストモードの確立が求められている。
<Conventional Technology> In recent years, semiconductor storage devices have made remarkable progress.
The degree of integration of M (random access memory), ROM (read only memory) and other memories has steadily increased four times in three years. The time required for device operation tests has been increasing along with this, and in order to efficiently carry out shipping inspection on the manufacturing side and acceptance inspection on the user side,
There is a need to establish a faster test mode.

従来、このような状況の下、動作テストを高速に行う
ために、たとえばDRAM(ダイナミック・ランダム・アク
セス・メモリ)では、複数のビット線を並列にテストす
るいわゆる並列テストモードが採用されている。この並
列テストモードは、複数のビットに同時に同一のデータ
を書き込み、読み出し時にそのデータを比較して1つで
も違うデータがあると不良であると判定するようになっ
ている。
Conventionally, in such a situation, in order to perform an operation test at a high speed, for example, a so-called parallel test mode for testing a plurality of bit lines in parallel has been adopted in a DRAM (Dynamic Random Access Memory). In the parallel test mode, the same data is written to a plurality of bits at the same time, and the data is compared at the time of reading, and if there is even one different data, it is determined to be defective.

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、従来の並列テストモードは、およそ1M
×1DRAMのテスト時間を越えないようにしているのが実
状である。
<Problems to be solved by the invention> However, the conventional parallel test mode is about 1M
The reality is that the test time of × 1 DRAM is not exceeded.

そこで、この発明の目的は、1行分(実用的にはおよ
そ1024ビットもしくは2048ビット)を並列にテストで
き、したがって動作テストを高速に行うことができる半
導体記憶装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a semiconductor memory device capable of testing one row (practically, about 1024 bits or 2048 bits) in parallel, and thus performing an operation test at high speed.

〈課題を解決するための手段〉 上記目的を達成するために、この発明の半導体記憶装
置は、相補に動作する各一対のビット線を介して複数の
メモリセルに並行に同一のデータを書き込み読み出し可
能な半導体記憶装置であって、特定なメモリセルに書き
込まれたデータを表わす期待値信号をこのメモリセルに
つながるビット線を介して出力するラインデータ記憶回
路と、上記特定なメモリセルへの書き込みデータに基づ
く信号、又は上記ラインデータ記憶回路からの上記期待
値信号を、その入力信号として受けて、該入力信号のレ
ベルの高低に応じて、上記メモリセル以外の他のメモリ
セルの一対のビット線のうち一方または他方のビット線
を選択するビット線選択回路と、選択ビット線に対して
予め設定された所定電位を与える電位供給回路と、上記
特定なメモリセルへの書き込みデータに基づく信号に基
づく上記ビット線選択回路によるビット線の選択と、上
記電位供給回路による所定電位の供給により、上記特定
なメモリセルと並行して上記他のメモリセルに書き込ま
れた、上記期待値信号と同一のデータを表わすべき出力
信号を、上記期待値信号が高レベルのとき上記ビット線
選択回路によって選択された一方のビット線を介して検
出する一方、上記期待値信号が低レベルのとき上記ビッ
ト線選択回路によって選択された他方のビット線を介し
て検出して、この検出した出力信号のレベルに応じて上
記出力信号と上記期待値信号との一致または不一致を表
わす信号を出力する出力判定回路を備えたことを特徴と
している。
<Means for Solving the Problems> In order to achieve the above object, a semiconductor memory device of the present invention writes and reads the same data in a plurality of memory cells in parallel through a pair of bit lines operating in a complementary manner. A possible semiconductor memory device, comprising: a line data storage circuit for outputting an expected value signal representing data written to a specific memory cell via a bit line connected to the memory cell; and writing to the specific memory cell. A signal based on data or the expected value signal from the line data storage circuit is received as an input signal, and a pair of bits of a memory cell other than the memory cell according to the level of the input signal. A bit line selection circuit for selecting one or the other bit line, and a potential supply circuit for applying a predetermined potential to the selected bit line Path, a bit line selection by the bit line selection circuit based on a signal based on data written to the specific memory cell, and supply of a predetermined potential by the potential supply circuit, in parallel with the specific memory cell. An output signal written to another memory cell and representing the same data as the expected value signal is detected via one of the bit lines selected by the bit line selection circuit when the expected value signal is at a high level. On the other hand, when the expected value signal is at a low level, it is detected through the other bit line selected by the bit line selection circuit, and the output signal and the expected value signal are detected in accordance with the level of the detected output signal. And an output determination circuit for outputting a signal indicating a match or a mismatch with.

〈作用〉 特定のメモリセルに書き込まれたデータが論理レベル
“1"の場合、ラインデータ記憶回路が出力する期待値信
号は高レベルとなる。このとき、出力判定回路は、他の
メモリセルに書き込まれた上記データと同一のデータを
表わすべき出力信号をビット線選択回路によって選択さ
れた一方のビット線を介して検出する。上記一方のビッ
ト線は、上記出力信号を表わす高低いずれかのレベルと
なっている。出力判定回路は、検出したレベルが高低い
ずれのレベルであるかに応じて、上記出力信号と上記期
待値信号との一致または不一致を表わす信号を出力す
る。例えば、上記他のメモリセルの読み出しが正常に行
われたとき上記一方のビット線が低レベルになる場合、
検出したレベルが低レベルであるとき一致を表わす信号
を出力する一方、検出したレベルが高レベルであるとき
不一致を表わす信号を出力するようにしておく。
<Operation> When the data written in a specific memory cell is at the logical level “1”, the expected value signal output from the line data storage circuit is at a high level. At this time, the output determination circuit detects an output signal that should represent the same data as the data written in the other memory cell via one of the bit lines selected by the bit line selection circuit. The one bit line is at a high or low level representing the output signal. The output determination circuit outputs a signal indicating a match or a mismatch between the output signal and the expected value signal according to whether the detected level is higher or lower. For example, when one of the bit lines goes low when the other memory cell is read normally,
When the detected level is low, a signal indicating a match is output, while when the detected level is high, a signal indicating a mismatch is output.

一方、特定のメモリセルに書き込まれたデータが論理
レベル“0"の場合、ラインデータ記憶回路が出力する期
待値信号は低レベルとなる。このとき出力判定回路は、
他のメモリセルに書き込まれた上記データと同一のデー
タを表わすべき出力信号を、ビット線選択回路によって
選択された他方のビット線を介して検出する。先の例に
対応させて説明すると、上記他のメモリセルの読み出し
が正常に行われると、上記出力信号が反転していること
から、上記他方のビット線は低レベルとなる。ここで、
出力判定回路は、検出したレベルが低レベルであるとき
一致を表わす信号を出力する一方、検出したレベルが高
レベルであるとき不一致を表わす信号を出力するように
なっている。したがって、上記出力判定回路は、上記他
のメモリセルの読み出しが正常に行われたとき一致を表
わす信号を出力する一方、読み出しが誤りであったとき
不一致を表わす信号を出力する。このように、上記出力
判定回路は、上記特定のメモリセルおよび上記他のメモ
リセルに同時に書き込まれた同一データが論理レベル
“0",“1"のいずれの場合であっても、上記他のメモリ
セルの読み出しが正常に行われたとき一致を表わす信号
を出力し、上記他のメモリセルの読み出しが誤りであっ
たとき不一致を表わす信号を出力する。
On the other hand, when the data written in the specific memory cell is at the logical level “0”, the expected value signal output from the line data storage circuit becomes low. At this time, the output determination circuit
An output signal representing the same data as the data written in the other memory cells is detected via the other bit line selected by the bit line selection circuit. Explaining with reference to the above example, when reading of the other memory cell is performed normally, the output signal is inverted, so that the other bit line goes low. here,
The output determination circuit outputs a signal indicating a match when the detected level is a low level, and outputs a signal indicating a mismatch when the detected level is a high level. Therefore, the output determination circuit outputs a signal indicating a match when the other memory cell is normally read, and outputs a signal indicating a mismatch when the read is erroneous. As described above, the output determination circuit performs the above-described operation even when the same data simultaneously written in the specific memory cell and the other memory cell is at any of the logical levels “0” and “1”. A signal indicating a match is output when the reading of the memory cell is normally performed, and a signal indicating a mismatch is output when the reading of the other memory cell is erroneous.

1行分のメモリセルは一般に1本のワード線によって
同時に選択することができる。したがって、上記ビット
線選択回路に1行分のメモリセルの各一対のビット線の
うちの一方または他方を並列に同時に選択させると共
に、上記出力判定回路を各メモリセルごとに同時に動作
させることによって、上記1行分のメモリセルが同時に
テスト可能となる。したがって、動作テストが高速に行
われる。
Generally, memory cells for one row can be simultaneously selected by one word line. Therefore, by causing the bit line selection circuit to simultaneously select one or the other of the pair of bit lines of the memory cells for one row in parallel and simultaneously operating the output determination circuit for each memory cell, The memory cells for one row can be tested at the same time. Therefore, the operation test is performed at high speed.

〈実施例〉 以下、この発明の半導体記憶装置を実施例により詳細
に説明する。
Embodiment Hereinafter, a semiconductor memory device according to the present invention will be described in detail with reference to embodiments.

第1図はこの発明の一実施例のDRAMを示している。こ
のDRAMは、ラインデータ記憶回路1と、ビット線選択回
路2と、出力判定回路3を備えている。4はメモリセル
アレイを示し、5はセンスアンプ51,52,…からなるセン
スアンプアレイを示している。メモリセルアレイ4は1
本のワード線WLによって同時に選択される1行分のメモ
リセル41,42,…を有している。メモリセル41,42は相補
に動作する各一対のビット線B,B#;BL,BL#を介してデ
ータの書き込み、読み出しが行われる。なお、メモリセ
ル41,42に実際に接続されているのは上記各一対のビッ
ト線のうちビット線B,BLのみである。センスアンプアレ
イ5のセンスアンプ51,52はそれぞれ上記ビット線B,B#
間;BL,BL#間の電圧を増幅する。ラインデータ記憶回路
1は、信号φ11により制御されるNMOSトランジスタ11
と、逆並列接続されたインバータ12および13と、信号φ
12により同時に制御されるNMOSトランジスタ14および15
を備えている。そして、入力信号DINで表わされるデー
タをビット線B,B#を介してメモリセル41に書き込むと
共に、上記入力信号DINを反転させた信号DIN#を上記ビ
ット線選択回路2へ出力することができる。また、メモ
リセル41に書き込まれたデータを期待値信号Eとして読
み出し、この信号Eを反転させて信号E#となして、上
記ビット線選択回路2へ出力することができる。ビット
線選択回路2は、信号φ21を受けるアンド回路21および
22と、このアンド回路21,22の入力端子間に接続された
インバータ23を備えている。そして、上記ラインデータ
記憶回路1からの信号DIN#または期待値信号E#を受
けて、各信号DIN#,E#のレベルの高低に応じて、上記
メモリセル42のビット線BLまたはBL#を選択する一対の
選択信号SおよびS#を出力する。出力判定回路3は、
電源と出力線DOUTとの間に接続され信号φ32によりオン
オフ制御されるPMOSトランジスタ32と、出力線DOUTとグ
ランドとの間に接続されたNMOSトランジスタ35を備えて
いる。NMOSトランジスタ35のゲートはNMOSトランジスタ
33,34を介してビット線BL,BL#に並列に接続されてい
る。上記NMOSトランジスタ33,34は、それぞれ上記ビッ
ト線選択回路2からの選択信号S,S#により制御され
る。また、この出力判定回路3は、上記NMOSトランジス
タ35のゲートとグランドとの間に接続され信号φ31によ
り制御されるNMOSトランジスタ31を備えている。
FIG. 1 shows a DRAM according to an embodiment of the present invention. This DRAM includes a line data storage circuit 1, a bit line selection circuit 2, and an output determination circuit 3. Reference numeral 4 denotes a memory cell array, and reference numeral 5 denotes a sense amplifier array including sense amplifiers 51, 52,. The memory cell array 4 is 1
One row of memory cells 41, 42,... Simultaneously selected by the word lines WL. Data is written to and read from the memory cells 41 and 42 via each pair of bit lines B and B #; BL and BL # that operate complementarily. Note that only the bit lines B and BL of the pair of bit lines are actually connected to the memory cells 41 and 42. The sense amplifiers 51 and 52 of the sense amplifier array 5 are connected to the bit lines B and B #, respectively.
Amplify the voltage between BL and BL #. The line data storage circuit 1 includes an NMOS transistor 11 controlled by a signal φ11.
And inverters 12 and 13 connected in anti-parallel, and signal φ
NMOS transistors 14 and 15 controlled simultaneously by 12
It has. Then, data represented by the input signal DIN can be written to the memory cell 41 via the bit lines B and B #, and a signal DIN # obtained by inverting the input signal DIN can be output to the bit line selection circuit 2. . Further, the data written in the memory cell 41 can be read as an expected value signal E, and this signal E can be inverted to be a signal E # and output to the bit line selection circuit 2. Bit line selection circuit 2 includes an AND circuit 21 receiving signal φ21 and
22 and an inverter 23 connected between the input terminals of the AND circuits 21 and 22. Then, upon receiving the signal DIN # or the expected value signal E # from the line data storage circuit 1, the bit line BL or BL # of the memory cell 42 is changed according to the level of each signal DIN #, E #. A pair of selection signals S and S # to be selected are output. The output determination circuit 3
A PMOS transistor 32 is connected between the power supply and the output line DOUT and is turned on and off by a signal φ32, and an NMOS transistor 35 is connected between the output line DOUT and the ground. The gate of the NMOS transistor 35 is an NMOS transistor
They are connected in parallel to the bit lines BL, BL # via 33,34. The NMOS transistors 33 and 34 are controlled by selection signals S and S # from the bit line selection circuit 2, respectively. The output determination circuit 3 includes an NMOS transistor 31 connected between the gate of the NMOS transistor 35 and the ground and controlled by a signal φ31.

このDRAMは、第2図に示す動作タイミングに基づいて
次のように動作する。なお、第2図中破線は書き込み動
作のタイミング,実線は読み出し動作のタイミングをそ
れぞれ示している。
This DRAM operates as follows based on the operation timing shown in FIG. In FIG. 2, the broken line indicates the timing of the write operation, and the solid line indicates the timing of the read operation.

まず、書き込み動作について説明する。 First, the write operation will be described.

プリチャージ状態(第2図に示す動作タイミングにお
ける左端の状態)では信号φ21が低(L)レベルであ
り、ビット線選択回路2のアンド回路21,22の出力はい
ずれもLレベル、したがって、出力判定回路3のNMOSト
ランジスタ33,34はいずれも非導通状態となっている。
また、信号φ31は高(H)レベル、信号φ32はLレベル
になっている。
In the precharge state (the state at the left end in the operation timing shown in FIG. 2), the signal φ21 is at the low (L) level, and the outputs of the AND circuits 21 and 22 of the bit line selection circuit 2 are both at the L level. Both the NMOS transistors 33 and 34 of the determination circuit 3 are non-conductive.
The signal φ31 is at a high (H) level, and the signal φ32 is at an L level.

書き込み動作に入ると、入力信号DINには、入力デー
タに対応してHまたはLレベルが与えられる。そして、
信号φ11が立ち上がって、ラインデータ記憶回路1のNM
OSトランジスタ11が導通状態となり、上記入力信号DIN
はインバータ12および13によってラッチされる。その
後、信号φ21がH状態に立ち上がると、入力信号DINが
HレベルすなわちDIN#がLレベルの場合、選択信号S,S
#はそれぞれLレベル,Hレベルとなる。したがって、NM
OSトランジスタ34が導通状態となって、ビット線BL#が
GNDレベルへ引き落とされる。一方、NMOSトランジスタ3
3は非導通状態であるため、ビット線BLは元のプリチャ
ージ状態のレベル(通常1/2Vccのレベルが用いられる)
のままとなっている。これに対して、入力信号DINがL
レベルすなわち信号DIN#がHレベルの場合、選択信号
S,S#はそれぞれHレベル,Lレベルとなる。したがっ
て、NMOSトランジスタ33が導通状態となってビット線BL
がGNDレベルに引き落とされる。一方、NMOSトランジス
タ34は非導通状態であるため、ビット線BL#は元のプリ
チャージ状態のレベルのままとなっている。
When a write operation starts, an H or L level is applied to the input signal DIN in accordance with the input data. And
When the signal φ11 rises, NM of the line data storage circuit 1
The OS transistor 11 becomes conductive and the input signal DIN
Is latched by inverters 12 and 13. Thereafter, when the signal φ21 rises to the H state, when the input signal DIN is at the H level, that is, when DIN # is at the L level, the selection signals S, S
# Indicates L level and H level, respectively. Therefore, NM
The OS transistor 34 becomes conductive, and the bit line BL #
Deducted to GND level. On the other hand, NMOS transistor 3
3 is in a non-conducting state, so that the bit line BL is at the level of the original precharged state (usually 1/2 Vcc level is used)
It is still. On the other hand, when the input signal DIN is L
Level, that is, when the signal DIN # is at the H level, the selection signal
S and S # are H level and L level, respectively. Therefore, the NMOS transistor 33 becomes conductive and the bit line BL
Is dropped to the GND level. On the other hand, since the NMOS transistor 34 is non-conductive, the bit line BL # remains at the level of the original precharged state.

このようなメモリセル42側の動作と並行して、メモリ
セル41側では信号φ12が立ち上げられ、ラインデータ記
憶回路1のNMOSトランジスタ14,15が導通状態となり、
入力データがビット線B,B#に書き込まれる。なお、入
力振動DINがHレベルの場合、ビット線B,B#はそれぞれ
Hレベル,Lレベルとなり、入力信号DINがLレベルの場
合、上記ビット線B,B#はそれぞれLレベル,Hレベルと
なる。ワード線WLが立ち上げられた後、センスアンプア
レイ5のセンスアンプ51,52が駆動されて、ビット線対
B,B#;ビット線対BL,BL#のレベルはメモリセル41,42
に書き込まれるのに十分なレベルにまで増幅される。最
後にワード線WLを立ち下げられ、メモリセル41,42への
書き込み動作が終了する。このようにして、各一対のビ
ット線B,B#;BL,BL#を介してメモリセル41,42,…に同
一のデータが同時に書き込まれる。
In parallel with such an operation on the memory cell 42 side, a signal φ12 is raised on the memory cell 41 side, and the NMOS transistors 14 and 15 of the line data storage circuit 1 are turned on.
Input data is written to bit lines B and B #. When the input vibration DIN is at H level, the bit lines B and B # are at H level and L level, respectively. When the input signal DIN is at L level, the bit lines B and B # are at L level and H level, respectively. Become. After the rise of the word line WL, the sense amplifiers 51 and 52 of the sense amplifier array 5 are driven, and the bit line pair
B, B #; the level of the bit line pair BL, BL # is the memory cells 41, 42
Is amplified to a level sufficient to be written to Finally, the word line WL is dropped, and the write operation to the memory cells 41 and 42 ends. In this manner, the same data is simultaneously written to the memory cells 41, 42,... Via each pair of bit lines B, B #; BL, BL #.

次に、読み出し動作および判定動作について説明す
る。
Next, the read operation and the determination operation will be described.

読み出し動作に入ると、第2図に示すように、ワード
線WLが立ち上げられ、センスアンプ51,52が駆動され
て、メモリセル41,42に書き込まれたデータがビット線
対B,B#;ビット線対BL,BL#にそれぞれ読み出される。
さらに、信号φ12が立ち上げられて、メモリセル41に書
き込まれたデータを表わす期待値信号Eがこれを反転さ
せた信号E#としてビット線選択回路2へ出力される。
そして、判定動作に入るとき、信号φ31がLレベル、信
号φ32がHレベルになった後、信号φ21が立ち上げられ
る。
When the read operation starts, as shown in FIG. 2, the word line WL rises, the sense amplifiers 51 and 52 are driven, and the data written in the memory cells 41 and 42 is transferred to the bit line pair B and B #. Read out to the bit line pair BL, BL #, respectively.
Further, signal φ12 rises, and expected value signal E representing the data written in memory cell 41 is output to bit line selection circuit 2 as inverted signal E #.
When the signal φ31 goes low and the signal φ32 goes high when the determination operation starts, the signal φ21 rises.

ここで、メモリセル41に書き込まれた入力データが論
理“1"の場合、期待値信号EがHレベルすなわち信号E
#がLレベルとなる。このとき、選択信号S,S#はそれ
ぞれLレベル,Hレベルとなる。したがって、出力判定回
路3のNMOSトランジスタ34が導通し、ビット線BL#のレ
ベルがNMOSトランジスタ35のゲートに入力される。も
し、メモリセル42の読み出しが正常に行われたとすれ
ば、データ線BL#はLレベルとなっているはずである。
データ線BL#がLレベルのとき、NMOSトランジスタ35は
ゲートにLレベルが与えられることになり、非導通のま
まとなる。したがって、出力線DOUTには一致を表わすH
レベルが出力される。これに対して、メモリセル42の読
み出しが誤まりであったときは、データ線BL#はHレベ
ルとなっている。したがって、NMOSトランジスタ35は導
通して、出力線DOUTには不一致を表わすLレベルが出力
される。
Here, when the input data written in the memory cell 41 is logic “1”, the expected value signal E becomes H level, that is, the signal E
# Becomes L level. At this time, the selection signals S and S # are at L level and H level, respectively. Therefore, the NMOS transistor 34 of the output determination circuit 3 becomes conductive, and the level of the bit line BL # is input to the gate of the NMOS transistor 35. If the reading of the memory cell 42 is normally performed, the data line BL # should be at the L level.
When the data line BL # is at L level, the gate of the NMOS transistor 35 is given L level, and the NMOS transistor 35 remains non-conductive. Therefore, the output line DOUT has H
The level is output. On the other hand, when reading of the memory cell 42 is erroneous, the data line BL # is at the H level. Therefore, the NMOS transistor 35 is turned on, and an L level indicating a mismatch is output to the output line DOUT.

一方、メモリセル41に書き込まれたデータが論理“0"
の場合、期待値信号EがLレベルすなわち信号E#がH
レベルとなる。このとき、選択信号S,S#はそれぞれH
レベル,Lレベルとなる。したがって、出力判定回路3の
NMOSトランジスタ33が導通し、ビット線BLのレベルがNM
OSトランジスタ35のゲートに入力される。もし、メモリ
セル42の読み出しが正常に行われたとすれば、データ線
BLはLレベルとなっているはずである。データ線BLがL
レベルのとき、NMOSトランジスタ35はゲートにLレベル
が与えられることになり、非導通のままとなる。したが
って、出力線DOUTには一致を表わすHレベルが出力され
る。これに対して、メモリセル42の読み出しが誤まりで
あったときは、データ線BLはHレベルとなっている。NM
OSトランジスタ35は導通して、出力線DOUTには不一致を
表わすLレベルが出力される。
On the other hand, the data written in the memory cell 41 is logic “0”.
, The expected value signal E is at the L level, that is, the signal E # is at the H level.
Level. At this time, the selection signals S and S # are H
Level, L level. Therefore, the output determination circuit 3
The NMOS transistor 33 becomes conductive, and the level of the bit line BL becomes NM.
Input to the gate of OS transistor 35. If the reading of the memory cell 42 is normally performed, the data line
BL should be at L level. Data line BL is L
When the level is at the level, the NMOS transistor 35 is supplied with the L level at the gate and remains non-conductive. Therefore, an H level indicating coincidence is output to output line DOUT. On the other hand, when reading of the memory cell 42 is erroneous, the data line BL is at the H level. NM
The OS transistor 35 is turned on, and an L level indicating a mismatch is output to the output line DOUT.

このようにして、このDRAMは、メモリセル41,42に同
時に書き込まれた同一入力データが論理レベル“0",
“1"のいずれの場合であっても、上記メモリセル42の読
み出しが正常に行われたとき一致を表わす信号を出力
し、上記メモリセル42の読み出しが誤まりであったとき
不一致を表わす信号を出力する。そして、上記ワード線
WLによって同時に選択される図示しない他のメモリセル
ごとに出力判定回路3のNMOSトランジスタ33,34および3
5を設けて同時に動作させることによって、1行分のメ
モリセルを同時にテストすることができる。したがっ
て、動作テストを高速に行うことができる。
In this way, in this DRAM, the same input data simultaneously written into the memory cells 41 and 42 has the logic level “0”,
In either case of "1", a signal indicating a match is output when reading of the memory cell 42 is normally performed, and a signal indicating mismatch when reading of the memory cell 42 is erroneous. Is output. And the above word line
The NMOS transistors 33, 34 and 3 of the output determination circuit 3 are provided for each of the other memory cells (not shown) selected simultaneously by WL.
By providing 5 and operating simultaneously, one row of memory cells can be tested simultaneously. Therefore, an operation test can be performed at high speed.

なお、上記メモリセル41,42は、相補に動作する各一
対のビット線B,B#;BL,BL#のうちそれぞれ一方のビッ
ト線B,BLのみと接続されているものとした。例えば、第
3図に示すように、メモリセルMが直列接続されたMOS
トランジスタとキャパシタとで構成され、かつキャパシ
タの一方の端子にセルプレート電圧が印加される場合が
これに相当する。しかしながら、この発明はこれに限ら
れるものではなく、第4図または第5図に示すように、
ビット線BL,BL#の双方に接続されている場合(米国特
許(US)4792922号)にも適用できる。
The memory cells 41 and 42 are connected to only one of the pair of bit lines B and B #; BL and BL # that operate complementarily. For example, as shown in FIG.
This corresponds to the case where a cell plate voltage is applied to one terminal of the capacitor, which is composed of a transistor and a capacitor. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 4 or FIG.
The present invention can be applied to a case in which both are connected to both bit lines BL and BL # (US Pat. No. 4,792,922).

次に、本発明の第2の実施例について説明する。 Next, a second embodiment of the present invention will be described.

第6図は、第2の実施例のDRAMのテスト回路を示し、
第7図は上記テスト回路に入力される制御信号φ1、φ2
およびφ3の入力波形を示している。
FIG. 6 shows a DRAM test circuit of the second embodiment,
FIG. 7 shows control signals φ 1 and φ 2 input to the test circuit.
And φ represents a third input waveform.

第6図において、101は第1図に示したラインデータ
記憶回路1に相当する期待値発生回路、102は同様に第
1図に示したビット線選択回路2に相当するデータ信号
選択回路を示している。また、103〜108はインバータ、
109はP型MOSトランジスタ、110〜114はN型MOSトラン
ジスタ、115,116はNAND(否定論理和)ゲートを示して
いる。出力判定回路は、トランジスタ12〜14からなる第
1のスイッチSW1と、トランジスタ11からなる第2のス
イッチSW2とで構成されている。また、トランジスタ109
および110は、出力信号線Sに期待値を一時的に保持さ
せるスイッチSW3を構成している。
6, reference numeral 101 denotes an expected value generation circuit corresponding to the line data storage circuit 1 shown in FIG. 1, and reference numeral 102 similarly denotes a data signal selection circuit corresponding to the bit line selection circuit 2 shown in FIG. ing. 103-108 are inverters,
109 is a P-type MOS transistor, 110 to 114 are N-type MOS transistors, and 115 and 116 are NAND (Negative OR) gates. Output judging circuit includes a first switch SW 1 composed of transistors 12-14, and a second switch SW 2 consisting of transistor 11. In addition, the transistor 109
And 110 constitute a switch SW 3 for temporarily holding the expected value to the output signal line S.

このテスト回路は、期待値発生回路101より出力され
る期待値とデータ線Dのレベルとが同じであるかどうか
の確認を次のようにして行う。なお、ここでは期待値を
VCC又はGNDの2値とする。また、データ線Dおよびに
は、必ず互いに逆相のデータが入力される。この一方の
データは、ひとつのビット端子から出力される信号を図
示しないインバータに入力して得られ、他方のデータは
上記ビット端子より直接得られる。
This test circuit checks whether or not the expected value output from the expected value generation circuit 101 and the level of the data line D are the same as follows. Note that here the expected value is
VCC or GND. In addition, data lines D and D always receive data having phases opposite to each other. The one data is obtained by inputting a signal output from one bit terminal to an inverter (not shown), and the other data is obtained directly from the bit terminal.

まず、第7図に示すように信号φ1を立ち下げて
(t1)、データ線選択回路102を通してN型MOSトラン
ジスタ113および114をオフする。次に信号φ2を立ち下
げて(t2)、インバータ108を通してトランジスタ112
をオンし、N型MOSトランジスタ111のゲートにつながる
ノードをディスチャージする。これにより、N型MOSト
ランジスタ111をオフする。さらに信号φ3を立ち下げて
(t3)、P型MOSトランジスタ109およびN型MOSトラン
ジスタ110をオンし、出力信号線Sに期待値を与える。
First, as shown in FIG. 7, the signal φ 1 falls (t 1 ), and the N-type MOS transistors 113 and 114 are turned off through the data line selection circuit 102. Next, the signal φ 2 falls (t 2 ), and the transistor 112
Is turned on, and the node connected to the gate of the N-type MOS transistor 111 is discharged. As a result, the N-type MOS transistor 111 is turned off. Further, the signal φ 3 falls (t 3 ), and the P-type MOS transistor 109 and the N-type MOS transistor 110 are turned on to give an expected value to the output signal line S.

期待値とデータ線Dのレベルとの比較を行うには、ま
ず信号φ2およびφ3を立ち上げ(t4)、トランジスタ1
09、110および112をオフする。次にφ1を立ち上げ
(t5)、データ線選択回路102をイネーブル状態、すな
わち期待値を受けて動作できる状態にする。
To compare the expected value with the level of the data line D, first, the signals φ 2 and φ 3 are raised (t 4 ), and the transistor 1
Turn off 09, 110 and 112. Next, φ 1 rises (t 5 ), and the data line selection circuit 102 is enabled, that is, put into an operable state in response to an expected value.

期待値がVCCの時には、データ線選択回路2を通して
トランジスタ113がオンされ、データ線の出力がN型
トランジスタ111のゲートに入力される。ここで、もし
期待値とデータ線Dのレベルが一致したとすると、デー
タ線のレベルはGNDとなっているから、N型トランジ
スタ111はオフのままであり、出力信号線Sには期待値
がそのまま出力される。逆に、期待値とデータ線Dのレ
ベルが不一致であれば、データ線はVCCとなっている
から、N型トランジスタ111はオンされ、出力信号線S
はフェイル信号線のレベルに書き変えられて、この結
果、出力信号線Sには期待値と逆相のデータが出力され
る。
When the expected value is VCC, the transistor 113 is turned on through the data line selection circuit 2, and the output of the data line is input to the gate of the N-type transistor 111. Here, if the expected value and the level of the data line D match, the level of the data line is GND, so that the N-type transistor 111 remains off and the expected value is output to the output signal line S. Output as is. Conversely, if the expected value and the level of the data line D do not match, the data line is at VCC, so that the N-type transistor 111 is turned on and the output signal line S
Is rewritten to the level of the fail signal line, and as a result, data having a phase opposite to the expected value is output to the output signal line S.

一方、期待値がGNDの時には、データ線選択回路102を
通してトランジスタ114がオンされ、データ線Dのレベ
ルがN型トランジスタ111のゲートに出力される。ここ
で、もし期待値とデータ線Dの出力が一致したとする
と、データ線Dの出力はGNDとなっているから、N型ト
ランジスタ111はオフのままであり、出力信号線Sには
期待値がそのまま出力される。逆に、期待値とデータ線
Dのレベルが不一致であれば、データ線DはVCCである
ため、N型トランジスタ111はオンされ、出力信号線S
はフェイル信号線のレベルに書き変えられ、この結
果、出力信号線Sには期待値と逆相のデータが出力され
る。
On the other hand, when the expected value is GND, the transistor 114 is turned on through the data line selection circuit 102, and the level of the data line D is output to the gate of the N-type transistor 111. Here, if the expected value matches the output of the data line D, the output of the data line D is at GND, so that the N-type transistor 111 remains off and the output signal line S has the expected value. Is output as is. Conversely, if the expected value and the level of the data line D do not match, the data line D is VCC, so that the N-type transistor 111 is turned on and the output signal line S
Is rewritten to the level of the fail signal line, and as a result, data having a phase opposite to the expected value is output to the output signal line S.

以上述べたように、期待値とデータ線の出力が一致す
れば、トランジスタ111はオフで出力信号線Sには期待
値が出力される。また、期待値とデータ線の出力が不一
致であれば、トランジスタ111はオンし、この結果出力
信号線Sにはフェイル信号線のレベルすなわち期待値
と逆相のデータが出力される。
As described above, if the expected value matches the output of the data line, the transistor 111 is turned off and the expected value is output to the output signal line S. If the expected value and the output of the data line do not match, the transistor 111 is turned on. As a result, the output signal line S outputs the level of the fail signal line, that is, data having a phase opposite to the expected value.

この回路は、データ線選択回路102からのデータ選択
信号及び出力信号線S,フェイル信号線を複数のデータ
線対で共用させることもできる。これを例えば半導体記
憶装置(DRAM,SRAM,ROMなど)に用いると、複数のデー
タ線D,に出力されたデータを一度に判定できるので、
デバイスのテスト時間を短縮することができる。また、
全てのビットのデータが誤っていても誤りであることを
検出することができる。また、EXOR(排他的論理和)等
の複雑な回路構成を使わずに済ませることができる。
In this circuit, the data selection signal from the data line selection circuit 102, the output signal line S, and the fail signal line can be shared by a plurality of data line pairs. If this is used for, for example, a semiconductor memory device (DRAM, SRAM, ROM, etc.), data output to a plurality of data lines D, can be determined at a time.
Device test time can be reduced. Also,
Even if the data of all the bits is erroneous, it can be detected that the data is erroneous. In addition, it is possible to avoid using a complicated circuit configuration such as EXOR (exclusive OR).

なお、N型MOSトランジスタ111〜114の代わりにP型M
OSやMOSを用いることもでき、また、第1のスイッチSW1
を例えば第8図に示すような論理回路に置き変えてもよ
い。
Note that a P-type M transistor is used instead of the N-type MOS transistors 111 to 114.
OS or MOS can be used, and the first switch SW 1
May be replaced by a logic circuit as shown in FIG. 8, for example.

次に、1行分の書き込みを同時に行うための回路構成
について説明する。
Next, a circuit configuration for simultaneously performing writing for one row will be described.

第9図は、DRAMにおける1行パラレル書き込み回路の
構成を示している。第9図において、201は書き込み制
御回路、202は書き込み回路、203はセンスアンプ、204
は記憶素子をそれぞれ示している。第1図には書き込み
回路202、センスアンプ203、記憶素子204及びビット線
対BL,BL#等で構成される回路を1組しか示してない
が、このような回路が、書き込み制御回路201の出力線O
UT1,OUT2及びワード線WLに対して複数個並列に接続され
ている。なお、211はインバータ、212及び213はAND(論
理積)ゲート、21及び22はNMOSトランジスタである。
FIG. 9 shows a configuration of a one-row parallel write circuit in a DRAM. In FIG. 9, 201 is a write control circuit, 202 is a write circuit, 203 is a sense amplifier, 204
Indicates storage elements, respectively. FIG. 1 shows only one set of a circuit composed of a write circuit 202, a sense amplifier 203, a storage element 204, a bit line pair BL, BL #, etc. Output line O
A plurality of UT1, OUT2 and word lines WL are connected in parallel. Note that 211 is an inverter, 212 and 213 are AND (logical product) gates, and 21 and 22 are NMOS transistors.

プリチャージ状態では書き込み制御信号φpが“L"レ
ベルであり、ANDゲート212,213の出力はいずれも“L"レ
ベルとなる。従って、NMOSトランジスタ221,222はいず
れも非導通状態となっている。
In the precharge state, the write control signal φp is at “L” level, and the outputs of the AND gates 212 and 213 are both at “L” level. Therefore, the NMOS transistors 221 and 222 are both in a non-conductive state.

書き込み動作に入ると、入力信号DINには入力データ
に対応した“H"レベルまたは“L"レベルが与えられる。
その後、制御信号φpが“H"レベルに立ち上がると、入
力信号DINが“H"レベルであればNMOSトランジスタ222が
導通状態となって、ビット線BL#がGNDレベルへ引き落
とされる。一方、入力信号DINが“L"レベルであればNMO
Sトランジスタ221が導通状態となって、ビット線BLがGN
Dレベルに引き落とされる。いずれの場合も、引き落と
されなかったビット線は、元のプリチャージ状態のレベ
ル(通常1/2Vccレベルが用いられる)に保持される。
When a write operation is started, an “H” level or an “L” level corresponding to input data is applied to the input signal DIN.
Thereafter, when the control signal φp rises to the “H” level, if the input signal DIN is the “H” level, the NMOS transistor 222 is turned on and the bit line BL # is pulled down to the GND level. On the other hand, if the input signal DIN is “L” level, NMO
The S transistor 221 becomes conductive, and the bit line BL becomes GN
Deducted to D level. In any case, the bit lines that have not been dropped are kept at the original precharged state level (usually 1/2 Vcc level is used).

次に、ワード線WLを立ち上げた後、センスアンプ203
を動作させ、ビット線対BL,BL#のレベルを記憶素子204
に書き込むのに十分なレベルに増幅して書き込みを行な
う。最後にワード線WLを立ち下げ、記憶素子204への書
き込み動作を終了する。
Next, after starting the word line WL, the sense amplifier 203
To change the level of the bit line pair BL, BL # to the storage element 204.
Is amplified to a level sufficient to write data into the memory. Finally, the word line WL is dropped, and the write operation to the storage element 204 ends.

以上の動作により、ワード線WLに接続されている複数
の記憶素子204,204…は、共通の書き込み制御回路201の
出力に応じて同時に、すなわちパラレルに書き込みが行
なわれる。
.. Connected to the word line WL, the writing is performed simultaneously, that is, in parallel, according to the output of the common write control circuit 201.

なお、第10図に示すように、書き込み回路202にPMOS
トランジスタ223,224を追加して、ビット線の一方をGND
レベル、他方をVccレベルにするようにしてもよい。ま
た書き込み制御回路201のANDゲート212,213をOR(論理
和)ゲートに変更して、制御信号φpの“H"または“L"
のレベル設定を逆にしても良い。さらに、書き込み回路
202のNMOSトランジスタ221,222の代わりにPMOSトランジ
スタを使用して、ビット線BL,BL#のレベルをGNDからVc
cにしたりするなど、回路構成を適宜変更しても良い。
Note that, as shown in FIG.
Add transistors 223 and 224 and connect one bit line to GND
The other level may be set to the Vcc level. Further, the AND gates 212 and 213 of the write control circuit 201 are changed to OR (logical sum) gates, and the control signal φp is set to “H” or “L”.
May be reversed. Furthermore, the writing circuit
By using PMOS transistors instead of the NMOS transistors 221 and 222 of 202, the level of the bit lines BL and BL # is changed from GND to Vc
The circuit configuration may be changed as appropriate such as c.

〈発明の効果〉 以上より明らかなように、この発明の半導体記憶装置
は、特定なメモリセルに書き込まれたデータを表わす期
待値信号をこのメモリセルにつながるビット線を介して
出力するラインデータ記憶回路と、上記特定なメモリセ
ルへの書き込みデータに基づく信号、又は上記ラインデ
ータ記憶回路からの上記期待値信号を、その入力信号と
して受けて、該入力信号のレベルの高低に応じて、上記
メモリセル以外の他のメモリセルの一対のビット線のう
ち一方または他方のビット線を選択するビット線選択回
路と、選択ビット線に対して予め設定された所定電位を
与える電位供給回路と、上記特定なメモリセルへの書き
込みデータに基づく信号に基づく上記ビット線選択回路
によるビット線の選択と、上記電位供給回路による所定
電位の供給により、上記特定なメモリセルと並行して上
記他のメモリセルに書き込まれた、上記期待値信号と同
一のデータを表わすべき出力信号を、上記期待値信号が
高レベルのとき上記ビット線選択回路によって選択され
た一方のビット線を介して検出する一方、上記期待値信
号が低レベルのとき上記ビット線選択回路によって選択
された他方のビット線を介して検出して、この検出した
出力信号のレベルに応じて上記出力信号と上記期待値信
号との一致または不一致を表わす信号を出力する出力判
定回路を備えているので、1行分を並列にテストでき、
したがって、動作テストを高速に行うことができる。
<Effects of the Invention> As is clear from the above, the semiconductor memory device of the present invention has a line data storage for outputting an expected value signal representing data written in a specific memory cell via a bit line connected to the memory cell. A circuit and a signal based on write data to the specific memory cell, or the expected value signal from the line data storage circuit as an input signal thereof. A bit line selection circuit for selecting one or the other bit line of a pair of bit lines of a memory cell other than the cell, a potential supply circuit for applying a predetermined potential to the selected bit line, Selection of a bit line by the bit line selection circuit based on a signal based on write data to a specific memory cell, and a predetermined potential by the potential supply circuit Supplies the output signal to be written to the other memory cell in parallel with the specific memory cell and representing the same data as the expected value signal, and the bit line when the expected value signal is at a high level. While the signal is detected through one of the bit lines selected by the selection circuit, when the expected value signal is at a low level, the signal is detected through the other bit line selected by the bit line selection circuit. An output determination circuit that outputs a signal indicating a match or mismatch between the output signal and the expected value signal in accordance with the signal level is provided, so that one row can be tested in parallel,
Therefore, an operation test can be performed at high speed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図はこの発明の半導体記憶装置の第1の一実施例の
DRAMを示す図、第2図は上記DRAMの動作タイミングを示
す図、第3図,第4図,第5図はそれぞれメモリセルが
ビット線に接続される状態を示す図、第6図はこの発明
の第2の実施例のDRAMのテスト回路を示す図、第7図は
上記テスト回路の動作タイミングを示す図、第8図は上
記テスト回路の一部を変形した例を示す図、第9図,第
10図はそれぞれ1行パラレル書き込み回路を示す図であ
る。 1……ラインデータ記憶回路、2……ビット線選択回
路、3……出力判定回路、4……メモリセルアレイ、5
……センスアンプアレイ、41,42……メモリセル、51,52
……センスアンプ、101……期待値発生回路、102……デ
ータ信号選択回路、103〜108……インバータ、109……
P型MOSトランジスタ、110〜114……N型MOSトランジス
タ、115,116……NANDゲート、B,B#,BL,BL#……ビット
線、S……出力信号線、……フェイル信号線、WL……
ワード線。
FIG. 1 shows a semiconductor memory device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a DRAM, FIG. 2 is a diagram showing the operation timing of the DRAM, FIGS. 3, 4, and 5 are diagrams each showing a state where a memory cell is connected to a bit line, and FIG. FIG. 7 is a diagram showing a test circuit of a DRAM according to a second embodiment of the invention, FIG. 7 is a diagram showing operation timing of the test circuit, FIG. 8 is a diagram showing an example in which a part of the test circuit is modified, and FIG. Figure, No.
FIG. 10 shows a one-row parallel writing circuit. 1 ... line data storage circuit, 2 ... bit line selection circuit, 3 ... output determination circuit, 4 ... memory cell array, 5
…… Sense amplifier array, 41,42 …… Memory cells, 51,52
… Sense amplifier, 101 expected value generation circuit, 102 data signal selection circuit, 103 to 108 inverter, 109…
P-type MOS transistor, 110 to 114 N-type MOS transistor, 115, 116 NAND gate, B, B #, BL, BL # bit line, S output signal line, fail signal line, WL …
Word line.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】相補に動作する各一対のビット線を介して
複数のメモリセルに並行に同一のデータを書き込み読み
出し可能な半導体記憶装置であって、 特定なメモリセルに書き込まれたデータを表わす期待値
信号をこのメモリセルにつながるビット線を介して出力
するラインデータ記憶回路と、 上記特定なメモリセルへの書き込みデータに基づく信
号、又は上記ラインデータ記憶回路からの上記期待値信
号を、その入力信号として受けて、該入力信号のレベル
の高低に応じて、上記メモリセル以外の他のメモリセル
の一対のビット線のうち一方または他方のビット線を選
択するビット線選択回路と、 選択ビット線に対して予め設定された所定電位を与える
電位供給回路と、 上記特定なメモリセルへの書き込みデータに基づく信号
に基づく上記ビット線選択回路によるビット線の選択
と、上記電位供給回路による所定電位の供給により、上
記特定なメモリセルと並行して上記他のメモリセルに書
き込まれた、上記期待値信号と同一のデータを表わすべ
き出力信号を、上記期待値信号が高レベルのとき上記ビ
ット線選択回路によって選択された一方のビット線を介
して検出する一方、上記期待値信号が低レベルのとき上
記ビット線選択回路によって選択された他方のビット線
を介して検出して、この検出した出力信号のレベルに応
じて上記出力信号と上記期待値信号との一致または不一
致を表わす信号を出力する出力判定回路を備えたことを
特徴とする半導体記憶装置。
1. A semiconductor memory device capable of writing and reading the same data to and from a plurality of memory cells in parallel via a pair of bit lines operating in a complementary manner, and representing data written to a specific memory cell. A line data storage circuit that outputs an expected value signal via a bit line connected to the memory cell, a signal based on write data to the specific memory cell, or the expected value signal from the line data storage circuit, A bit line selection circuit that receives as an input signal and selects one or the other bit line out of a pair of bit lines of a memory cell other than the memory cell according to the level of the input signal; A potential supply circuit for applying a preset predetermined potential to the line; and a potential supply circuit based on a signal based on data written to the specific memory cell. By selecting a bit line by a bit line selection circuit and supplying a predetermined potential by the potential supply circuit, the same data as the expected value signal written to the other memory cells in parallel with the specific memory cell is written. An output signal to be represented is detected via one of the bit lines selected by the bit line selection circuit when the expected value signal is at a high level, and is detected by the bit line selection circuit when the expected value signal is at a low level. An output determination circuit for detecting via the other selected bit line and outputting a signal indicating a match or mismatch between the output signal and the expected value signal in accordance with the level of the detected output signal; A semiconductor memory device characterized by the above-mentioned.
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