JP2700621B2 - ロボット - Google Patents
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- 239000000428 dust Substances 0.000 description 16
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001953 sensory effect Effects 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J13/00—Controls for manipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/023—Cartesian coordinate type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J18/00—Arms
- B25J18/02—Arms extensible
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0058—Means for cleaning manipulators, e.g. dust removing means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/18—Mechanical movements
- Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
- Y10T74/18576—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut
- Y10T74/18656—Carriage surrounded, guided, and primarily supported by member other than screw [e.g., linear guide, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20341—Power elements as controlling elements
- Y10T74/20354—Planar surface with orthogonal movement only
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ロボットに係り、詳細
には、部品の組み立て等を行う直交座標型の産業用ロボ
ットに関する。
には、部品の組み立て等を行う直交座標型の産業用ロボ
ットに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、クリーンルーム内で使用されるロ
ボットの開発が盛んに行われている。クリーンルーム内
で使用されるロボットでは、駆動部分からの発塵でクリ
ーン度を悪くする虞れがあるため、発塵対策が重要な技
術的課題となっている。特に、互いに直交する２方向に
直線運動する駆動部分によって各種の作業を行う直交座
標型のロボットでは、直線運動のストローク長に合わせ
て大きな開口部分を有するので、内部の塵等が外部に出
やすく、従来から各種の発塵対策が講じられている。例
えば、駆動部分をカバーで被覆すると共に、ロボット内
部を真空ポンプやブロア等により吸引して負圧の状態に
していた。内部吸引では、ロボットの内部から外部への
気体の流通がなくなるため、発生した塵等が外部に出
ず、発塵によるクリーン度の悪化を防止することができ
る。
ボットの開発が盛んに行われている。クリーンルーム内
で使用されるロボットでは、駆動部分からの発塵でクリ
ーン度を悪くする虞れがあるため、発塵対策が重要な技
術的課題となっている。特に、互いに直交する２方向に
直線運動する駆動部分によって各種の作業を行う直交座
標型のロボットでは、直線運動のストローク長に合わせ
て大きな開口部分を有するので、内部の塵等が外部に出
やすく、従来から各種の発塵対策が講じられている。例
えば、駆動部分をカバーで被覆すると共に、ロボット内
部を真空ポンプやブロア等により吸引して負圧の状態に
していた。内部吸引では、ロボットの内部から外部への
気体の流通がなくなるため、発生した塵等が外部に出
ず、発塵によるクリーン度の悪化を防止することができ
る。
【０００３】吸引の方法としては、塵の発生部分まで吸
引用の配管を伸ばすことで、局所的に吸引する方法や、
強力なブロア等によりロボットの内部を一括して吸引す
る方法等がある。
引用の配管を伸ばすことで、局所的に吸引する方法や、
強力なブロア等によりロボットの内部を一括して吸引す
る方法等がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、局所吸引の場
合には、配管の分、ロボットが大型化してしまうという
問題がある。また、ロボット内を一括して吸引する方法
では、吸引力に優れた強力なブロア等が必要となるた
め、同様にロボットが大型化し、かつ高価となる。そこ
で、本発明は、大型化や高価となることなく効果的に発
塵を防止することができるロボットを提供することを目
的とする。
合には、配管の分、ロボットが大型化してしまうという
問題がある。また、ロボット内を一括して吸引する方法
では、吸引力に優れた強力なブロア等が必要となるた
め、同様にロボットが大型化し、かつ高価となる。そこ
で、本発明は、大型化や高価となることなく効果的に発
塵を防止することができるロボットを提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本願発明では、互いに直
交する２方向にそれぞれ移動する複数のスライダを備え
た直交座標型のロボットに、前記スライダの一部を収容
したフレームと、このフレームの内部に設けられた中空
部と、この中空部と前記フレームの内側空間を連通させ
た連通孔と、前記中空部を吸引する吸引手段とを具備し
たロボットにおいて、前記フレームの内壁部に前記スラ
イダの移動方向に沿って形成されたセンサ用溝と、前記
フレームの内壁部に前記センサ用溝と平行に形成された
センサドグ用溝と、このセンサドグ用溝における任意の
位置に取り付けられるセンサドグ固定部材と、このセン
サドグ固定部材によって、前記センサ用溝の一部を被覆
する位置に固定されるセンサドグと、前記センサ用溝と
対向する位置で前記スライダに取り付けられ、前記セン
サドグの有無を検出する位置検出用センサとを具備させ
て前記目的を達成する。
交する２方向にそれぞれ移動する複数のスライダを備え
た直交座標型のロボットに、前記スライダの一部を収容
したフレームと、このフレームの内部に設けられた中空
部と、この中空部と前記フレームの内側空間を連通させ
た連通孔と、前記中空部を吸引する吸引手段とを具備し
たロボットにおいて、前記フレームの内壁部に前記スラ
イダの移動方向に沿って形成されたセンサ用溝と、前記
フレームの内壁部に前記センサ用溝と平行に形成された
センサドグ用溝と、このセンサドグ用溝における任意の
位置に取り付けられるセンサドグ固定部材と、このセン
サドグ固定部材によって、前記センサ用溝の一部を被覆
する位置に固定されるセンサドグと、前記センサ用溝と
対向する位置で前記スライダに取り付けられ、前記セン
サドグの有無を検出する位置検出用センサとを具備させ
て前記目的を達成する。
【０００６】
【作用】本願発明のロボットでは、吸引手段がフレーム
の中空部を吸引する。これによ り、フレームの内側空間
内の気体が発生した塵等と共に連通孔から吸引され、ま
た、スライダがガイドレールによって案内されながら移
動する。このスライダとガイドレールとの接触部分で発
生した塵等は、ガイドレールの近傍に開口部を有する連
通孔に吸引される。更に、本願発明における位置検出用
センサは、スライダと共に移動し、この移動途中におい
て、センサドッグの有無を検出し、前記スライダは、ス
トッパ部材に当接することで、その移動範囲を制限され
る。
の中空部を吸引する。これによ り、フレームの内側空間
内の気体が発生した塵等と共に連通孔から吸引され、ま
た、スライダがガイドレールによって案内されながら移
動する。このスライダとガイドレールとの接触部分で発
生した塵等は、ガイドレールの近傍に開口部を有する連
通孔に吸引される。更に、本願発明における位置検出用
センサは、スライダと共に移動し、この移動途中におい
て、センサドッグの有無を検出し、前記スライダは、ス
トッパ部材に当接することで、その移動範囲を制限され
る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明のロボットにおける一実施例を
図１ないし図４を参照して詳細に説明する。図１は、本
実施例によるロボットの外観を表したものである。な
お、図においては、互いに直交するＸ軸とＹ軸を水平方
向に取り、Ｚ軸を鉛直方向に取っている。
図１ないし図４を参照して詳細に説明する。図１は、本
実施例によるロボットの外観を表したものである。な
お、図においては、互いに直交するＸ軸とＹ軸を水平方
向に取り、Ｚ軸を鉛直方向に取っている。
【０００８】本実施例のロボット１０は、略直方体形状
を有する第１スライダ支持部１２と、この第１スライダ
支持部１２に対してＸ軸方向に移動する第１スライダ１
４と、この第１スライダ１４に固定された略直方体形状
の第２スライダ支持部１６と、この第２スライダ支持部
１６に対してＹ軸方向に移動する第２スライダ１８と、
この第２スライダ１８に取り付けられた作業ユニット２
０とを備えている。
を有する第１スライダ支持部１２と、この第１スライダ
支持部１２に対してＸ軸方向に移動する第１スライダ１
４と、この第１スライダ１４に固定された略直方体形状
の第２スライダ支持部１６と、この第２スライダ支持部
１６に対してＹ軸方向に移動する第２スライダ１８と、
この第２スライダ１８に取り付けられた作業ユニット２
０とを備えている。
【０００９】本実施例では、作業ユニット２０が、第１
スライダ１４や第２スライダ１８等の移動によって、Ｘ
Ｙ平面内で移動可能となっている。また、作業ユニット
２０は、図示しないモータによって上下動や回動を行う
作業ピン２０ａを有しており、この作業ピン２０ａに所
定の工具等が取り付けられ、各スライダ１４、１８等が
駆動されることで、部品組み立て等の各種作業を行うよ
うになっている。
スライダ１４や第２スライダ１８等の移動によって、Ｘ
Ｙ平面内で移動可能となっている。また、作業ユニット
２０は、図示しないモータによって上下動や回動を行う
作業ピン２０ａを有しており、この作業ピン２０ａに所
定の工具等が取り付けられ、各スライダ１４、１８等が
駆動されることで、部品組み立て等の各種作業を行うよ
うになっている。
【００１０】図２及び図３は、第１スライダ支持部１２
の内部構造を表したものであり、図２は側断面を、図３
は平断面をそれぞれ示している。図２及び図３に示すよ
うに、第１スライダ支持部１２は、その底部と側部を構
成する支持フレーム２４を備えている。この支持フレー
ム２４の、図２及び図３において右端には、端部カバー
２５が取り付けられ、支持フレーム２４の上部には、第
１スライダ支持部１２の上面を構成する上面カバー２６
が配設されている。この上面カバー２６と支持フレーム
２４との間には、一定の隙間が設けられている。また、
支持フレーム２４の内側底面には、ガイドレール２８が
Ｘ軸方向に沿って取り付けられている。
の内部構造を表したものであり、図２は側断面を、図３
は平断面をそれぞれ示している。図２及び図３に示すよ
うに、第１スライダ支持部１２は、その底部と側部を構
成する支持フレーム２４を備えている。この支持フレー
ム２４の、図２及び図３において右端には、端部カバー
２５が取り付けられ、支持フレーム２４の上部には、第
１スライダ支持部１２の上面を構成する上面カバー２６
が配設されている。この上面カバー２６と支持フレーム
２４との間には、一定の隙間が設けられている。また、
支持フレーム２４の内側底面には、ガイドレール２８が
Ｘ軸方向に沿って取り付けられている。
【００１１】本実施例では、第１スライダ支持部１２の
内部に、ボールねじのねじ軸３０がＸ軸方向に配設され
ており、このねじ軸３０は、図２及び図３において左端
が、支持フレーム２４の底面に取り付けられた固定部材
３２に固定され、右端は端部カバー２５に固定されてい
る。第１スライダ１４は、支持フレーム２４と上面カバ
ー２６との隙間によって構成された窓Ｗを介して、図３
に示すように第１スライダ支持部１２の内部をＹ軸方向
に貫通しており、第１スライダ支持部１２の外部に配設
されたモータ部３４と、第１スライダ支持部１２の内部
に配設された推進機構部３６とで主に構成されている。
内部に、ボールねじのねじ軸３０がＸ軸方向に配設され
ており、このねじ軸３０は、図２及び図３において左端
が、支持フレーム２４の底面に取り付けられた固定部材
３２に固定され、右端は端部カバー２５に固定されてい
る。第１スライダ１４は、支持フレーム２４と上面カバ
ー２６との隙間によって構成された窓Ｗを介して、図３
に示すように第１スライダ支持部１２の内部をＹ軸方向
に貫通しており、第１スライダ支持部１２の外部に配設
されたモータ部３４と、第１スライダ支持部１２の内部
に配設された推進機構部３６とで主に構成されている。
【００１２】推進機構部３６は、ベアリング３８によっ
て回転自在に支持されたボールねじの回転ナット４０を
有している。回転ナット４０は、回転することで、ねじ
軸３０に対して軸方向（Ｘ軸方向）に移動するものであ
り、この回転ナット４０には、従動プーリ４２が取り付
けられている。また、推進機構部３６の下端部分には、
図２に示すように、ガイドレール２８による案内を受け
るガイド部４４が設けられている。
て回転自在に支持されたボールねじの回転ナット４０を
有している。回転ナット４０は、回転することで、ねじ
軸３０に対して軸方向（Ｘ軸方向）に移動するものであ
り、この回転ナット４０には、従動プーリ４２が取り付
けられている。また、推進機構部３６の下端部分には、
図２に示すように、ガイドレール２８による案内を受け
るガイド部４４が設けられている。
【００１３】一方、モータ部３４は、モータ本体４６
と、このモータ本体４６の出力軸に取り付けられた駆動
プーリ４８とを有しており、この駆動プーリ４８と推進
機構部３６の従動プーリ４２との間には、タイミングベ
ルト５０が巻きかけられている。
と、このモータ本体４６の出力軸に取り付けられた駆動
プーリ４８とを有しており、この駆動プーリ４８と推進
機構部３６の従動プーリ４２との間には、タイミングベ
ルト５０が巻きかけられている。
【００１４】従って、モータ本体４６の駆動力が駆動プ
ーリ４８やタイミングベルト５０を介して従動プーリ４
２に伝達されることで、回転ナット４０が回転され、第
１スライダ１４をＸ軸方向に移動させるようになってい
る。なお、このモータ本体４６の駆動は、図示しない制
御装置によって制御され、この駆動制御によって第１ス
ライダ１４の位置制御が行われるようになっている。
ーリ４８やタイミングベルト５０を介して従動プーリ４
２に伝達されることで、回転ナット４０が回転され、第
１スライダ１４をＸ軸方向に移動させるようになってい
る。なお、このモータ本体４６の駆動は、図示しない制
御装置によって制御され、この駆動制御によって第１ス
ライダ１４の位置制御が行われるようになっている。
【００１５】なお、図２では、点線で輪郭のみが示され
ているが、第１スライダ１４上には、第２スライダ１８
や作業ピン２０ａが設けられた第２スライダ支持部１６
が固定され、第１スライダ１４と一体的にＸ軸方向に移
動するようになっている。
ているが、第１スライダ１４上には、第２スライダ１８
や作業ピン２０ａが設けられた第２スライダ支持部１６
が固定され、第１スライダ１４と一体的にＸ軸方向に移
動するようになっている。
【００１６】図４は、図３におけるＡ−Ａ線方向の断面
を表したものである。この図に示すように、本実施例で
は、軽量化等のために支持フレーム２４の全長に渡っ
て、中空部５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、５２ｄ、５２ｅが
形成されている。また、支持フレーム２４には、その内
側底面２４ａに一端が開口し、他端は、中空部５２ｂ、
５２ｄに開口したエア吸引孔５４が複数形成され、これ
らによって支持フレーム２４の内側空間と中空部５２
ｂ、５２ｄとが連通している。各エア吸引孔５４は、図
３に示すように、ガイドレール２８の長手方向に沿っ
て、その両側にそれぞれ形成されている。中空部５２
ｂ、５２ｄは、図示しない真空ポンプによって吸引され
るようになっている。
を表したものである。この図に示すように、本実施例で
は、軽量化等のために支持フレーム２４の全長に渡っ
て、中空部５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、５２ｄ、５２ｅが
形成されている。また、支持フレーム２４には、その内
側底面２４ａに一端が開口し、他端は、中空部５２ｂ、
５２ｄに開口したエア吸引孔５４が複数形成され、これ
らによって支持フレーム２４の内側空間と中空部５２
ｂ、５２ｄとが連通している。各エア吸引孔５４は、図
３に示すように、ガイドレール２８の長手方向に沿っ
て、その両側にそれぞれ形成されている。中空部５２
ｂ、５２ｄは、図示しない真空ポンプによって吸引され
るようになっている。
【００１７】また、本実施例では、支持フレーム２４の
両側の内壁部に、図４に示すような矩形状の断面を有す
るセンサ用溝５６ａ、５６ｂと十字形状の断面を有する
ボルト用溝５８ａ、５８ｂが、それぞれ形成されてい
る。これらは、図２に示すように、Ｘ軸方向に互いに平
行となっており、支持フレーム２４の全長に渡って形成
されている。ボルト用溝５８ａ、５８ｂは、ボルトのナ
ット部分を収容するための溝であり、本実施例では、図
４に示すように、ボルト用溝５８ａにナット６０を収容
させたボルト６２によって、長板形状のセンサドグ６４
が、センサ用溝５６ａの一部を塞ぐように支持フレーム
２４の左側側壁部に取り付けられている。このセンサド
グ６４は、ナット６０を緩めることで、ボルト用溝５８
ａに沿ってＸ軸方向に移動可能となっている。
両側の内壁部に、図４に示すような矩形状の断面を有す
るセンサ用溝５６ａ、５６ｂと十字形状の断面を有する
ボルト用溝５８ａ、５８ｂが、それぞれ形成されてい
る。これらは、図２に示すように、Ｘ軸方向に互いに平
行となっており、支持フレーム２４の全長に渡って形成
されている。ボルト用溝５８ａ、５８ｂは、ボルトのナ
ット部分を収容するための溝であり、本実施例では、図
４に示すように、ボルト用溝５８ａにナット６０を収容
させたボルト６２によって、長板形状のセンサドグ６４
が、センサ用溝５６ａの一部を塞ぐように支持フレーム
２４の左側側壁部に取り付けられている。このセンサド
グ６４は、ナット６０を緩めることで、ボルト用溝５８
ａに沿ってＸ軸方向に移動可能となっている。
【００１８】一方、第１スライダ１４の推進機構部３６
においては、支持フレーム２４側のセンサ用溝５６ａと
対向する高さに光学式の位置検出用センサ６６が取り付
けられている。この位置検出用センサ６６は、対向した
面までの距離を検出するようになっており、本実施例で
は、この位置検出用センサ６６の出力信号から原点位置
に対する第１スライダ１４の位置を認識するようになっ
ている。
においては、支持フレーム２４側のセンサ用溝５６ａと
対向する高さに光学式の位置検出用センサ６６が取り付
けられている。この位置検出用センサ６６は、対向した
面までの距離を検出するようになっており、本実施例で
は、この位置検出用センサ６６の出力信号から原点位置
に対する第１スライダ１４の位置を認識するようになっ
ている。
【００１９】すなわち、位置検出用センサ６６の出力信
号は、センサドグ６４が取り付けられた位置と取り付け
られていない位置とで変化するので、センサドグ６４
を、その端部が第１スライダ１４の原点位置となる位置
に取り付けることで、位置検出用センサ６６の出力信号
を基に、第１スライダ１４が原点位置にあるか否かを認
識するようになっている。なお、第１スライダ１４の位
置の認識は、位置検出用センサ６６の検出信号が供給さ
れる図示しない制御装置によって行われる。
号は、センサドグ６４が取り付けられた位置と取り付け
られていない位置とで変化するので、センサドグ６４
を、その端部が第１スライダ１４の原点位置となる位置
に取り付けることで、位置検出用センサ６６の出力信号
を基に、第１スライダ１４が原点位置にあるか否かを認
識するようになっている。なお、第１スライダ１４の位
置の認識は、位置検出用センサ６６の検出信号が供給さ
れる図示しない制御装置によって行われる。
【００２０】また、本実施例では、支持フレーム２４の
内側に位置するテーパ部２４ｂにも、ボルト用溝５８
ａ、５８ｂと同様に十字断面を有するストッパ用溝６５
が支持フレーム２４の全長に渡って形成されている。こ
のストッパ用溝６５には、図３に示すように、突起物と
してのメカストッパ６８がナット６９によって取り付け
られている。このメカストッパ６８は、ガイド部４４に
当接することで、第１スライダ１４のＸ軸方向への移動
を規制するもので、図２に示すように、第１スライダ１
４の可動範囲の両端に取り付けられている。このメカス
トッパ６８も、センサドグ６４と同様に、ナット６９を
緩めることで、ストッパ用溝６５に沿ってＸ軸方向に移
動可能となっており、取り付け位置を変えることで、第
１スライダ１４の可動範囲を変更することができるよう
になっている。
内側に位置するテーパ部２４ｂにも、ボルト用溝５８
ａ、５８ｂと同様に十字断面を有するストッパ用溝６５
が支持フレーム２４の全長に渡って形成されている。こ
のストッパ用溝６５には、図３に示すように、突起物と
してのメカストッパ６８がナット６９によって取り付け
られている。このメカストッパ６８は、ガイド部４４に
当接することで、第１スライダ１４のＸ軸方向への移動
を規制するもので、図２に示すように、第１スライダ１
４の可動範囲の両端に取り付けられている。このメカス
トッパ６８も、センサドグ６４と同様に、ナット６９を
緩めることで、ストッパ用溝６５に沿ってＸ軸方向に移
動可能となっており、取り付け位置を変えることで、第
１スライダ１４の可動範囲を変更することができるよう
になっている。
【００２１】なお、本実施例の第１スライダ支持部１２
は、図４において左右に対称な形状を有している。ま
た、詳細な説明は省略するが、第２スライダ支持部１６
も第１スライダ支持部１２と同様な構造を有している。
例えば、ねじ軸３０や回転ナット４０と同様なボールね
じ機構や、支持フレーム２４と同様なフレーム構造等を
有している。すなわち、第２スライダ１８は、固定され
たねじ軸に対してナットが回転するボールねじ機構によ
って、第２スライダ支持部１６に対しＹ軸方向に移動す
るようになっている。また、第２スライダ支持部１６の
支持フレームには、支持フレーム２４と同様に中空部分
やエア吸引孔、及びセンサ用溝、ボルト用溝等が形成さ
れている。
は、図４において左右に対称な形状を有している。ま
た、詳細な説明は省略するが、第２スライダ支持部１６
も第１スライダ支持部１２と同様な構造を有している。
例えば、ねじ軸３０や回転ナット４０と同様なボールね
じ機構や、支持フレーム２４と同様なフレーム構造等を
有している。すなわち、第２スライダ１８は、固定され
たねじ軸に対してナットが回転するボールねじ機構によ
って、第２スライダ支持部１６に対しＹ軸方向に移動す
るようになっている。また、第２スライダ支持部１６の
支持フレームには、支持フレーム２４と同様に中空部分
やエア吸引孔、及びセンサ用溝、ボルト用溝等が形成さ
れている。
【００２２】次に、このように構成された実施例の動作
について説明する。第１スライダ支持部１２において
は、駆動時、すなわち、モータ本体４６によって第１ス
ライダ１４が往復動を行っている時に、図示しないポン
プによって支持フレーム２４の中空部５２ｂ、５２ｄが
エア吸引される。このエア吸引により、第１スライダ１
４のガイド部４４とガイドレール２８との接触部分で
は、発生した塵等がエア吸引孔５４から中空部５２ｂ、
５２ｄへと吸引される。同様に第２スライダ支持部１６
においても、支持フレームに形成されたエア吸引孔によ
り、第２スライダ１８のガイドレール部分で発生した塵
等の局部吸引が行われる。従って、発生した塵等が窓Ｗ
等を介して外部へと出てしまうことがなく、クリーン度
を悪くすることが防止される。
について説明する。第１スライダ支持部１２において
は、駆動時、すなわち、モータ本体４６によって第１ス
ライダ１４が往復動を行っている時に、図示しないポン
プによって支持フレーム２４の中空部５２ｂ、５２ｄが
エア吸引される。このエア吸引により、第１スライダ１
４のガイド部４４とガイドレール２８との接触部分で
は、発生した塵等がエア吸引孔５４から中空部５２ｂ、
５２ｄへと吸引される。同様に第２スライダ支持部１６
においても、支持フレームに形成されたエア吸引孔によ
り、第２スライダ１８のガイドレール部分で発生した塵
等の局部吸引が行われる。従って、発生した塵等が窓Ｗ
等を介して外部へと出てしまうことがなく、クリーン度
を悪くすることが防止される。
【００２３】上説明したように、本実施例では、支持フ
レーム２４等に形成された中空部を利用して、第１スラ
イダ支持部１２や第２スライダ支持部１６内の局所吸引
が行われるので、従来のように配管を配置していた場合
に比べ、第１スライダ支持部１２や第２スライダ支持部
１６を小さくすることができる。すなわち、装置を小型
化することができる。また、装置内を一括吸引していた
従来技術に比べ、小さなポンプで済むため、装置が大き
くならず、製造コストも低く抑えることができる。
レーム２４等に形成された中空部を利用して、第１スラ
イダ支持部１２や第２スライダ支持部１６内の局所吸引
が行われるので、従来のように配管を配置していた場合
に比べ、第１スライダ支持部１２や第２スライダ支持部
１６を小さくすることができる。すなわち、装置を小型
化することができる。また、装置内を一括吸引していた
従来技術に比べ、小さなポンプで済むため、装置が大き
くならず、製造コストも低く抑えることができる。
【００２４】更に、発塵箇所であるガイドレール２８に
非常に近接した位置で吸引が行われるので、塵等が効果
的に吸引され、高い防塵効果を発揮することができる。
また、配管等がないため、構造が簡単であり、メンテナ
ンス性も良い。本実施例では、センサドグ６４やメカス
トッパ６８等の位置を第１スライダ１４や第２スライダ
１８の移動方向に変えられるので、第１スライダ１４や
第２スライダ１８の原点位置や可動範囲をロボット１０
の使用条件によって変えることができる。
非常に近接した位置で吸引が行われるので、塵等が効果
的に吸引され、高い防塵効果を発揮することができる。
また、配管等がないため、構造が簡単であり、メンテナ
ンス性も良い。本実施例では、センサドグ６４やメカス
トッパ６８等の位置を第１スライダ１４や第２スライダ
１８の移動方向に変えられるので、第１スライダ１４や
第２スライダ１８の原点位置や可動範囲をロボット１０
の使用条件によって変えることができる。
【００２５】また、本実施例では、第１スライダ支持部
１２や第２スライダ支持部１６が左右対称の構造を有し
ているので、第１スライダ１４や第２スライダ１８が左
右逆の構造を有するものでも取り付け可能である。な
お、以上の実施例では、第１スライダ１４や第２スライ
ダ１８を移動させるためにナット回転型のボールねじが
使用されていたが、ねじ軸が回転してナット側は固定さ
れた通常のボールねじを使用してもよい。この場合、ね
じ軸を支持する軸受部分での発塵が問題となるので、支
持フレームの中空部と連通するエア吸引孔を軸受に近接
した部分にも設けて、軸受部分でもエア吸引を行うよう
にしてもよい。
１２や第２スライダ支持部１６が左右対称の構造を有し
ているので、第１スライダ１４や第２スライダ１８が左
右逆の構造を有するものでも取り付け可能である。な
お、以上の実施例では、第１スライダ１４や第２スライ
ダ１８を移動させるためにナット回転型のボールねじが
使用されていたが、ねじ軸が回転してナット側は固定さ
れた通常のボールねじを使用してもよい。この場合、ね
じ軸を支持する軸受部分での発塵が問題となるので、支
持フレームの中空部と連通するエア吸引孔を軸受に近接
した部分にも設けて、軸受部分でもエア吸引を行うよう
にしてもよい。
【００２６】
【発明の効果】本発明のロボットによれば、大型化や高
価となることなく効果的に発塵を防止することができ
る。
価となることなく効果的に発塵を防止することができ
る。
【図１】本発明の一実施例によるロボットの外観を示し
た斜視図である。
た斜視図である。
【図２】同ロボットの側断面図である。
【図３】同ロボットの平断面図である。
【図４】図３におけるＡ−Ａ線方向断面を示した図であ
る。
る。
１０ ロボット １２ 第１スライダ支持部 １４ 第１スライダ １６ 第２スライダ支持部 １８ 第２スライダ ２０ 作業ユニット ２０ａ 作業ピン ２４ 支持フレーム ２５ 端部カバー ２６ 上面カバー ２８ ガイドレール ３０ ねじ軸 ３４ モータ部 ３６ 推進機構部 ３８ ベアリング ４０ 回転ナット ４２ 従動プーリ ４４ ガイド部 ４６ モータ本体 ４８ 駆動プーリ ５０ タイミングベルト ５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、５２ｄ、５２ｅ 中空部 ５４ エア吸引孔 ５６ａ、５６ｂ センサ用溝 ５８ａ、５８ｂ ボルト用溝 ６４ センサドグ ６６ 位置検出用センサ ６８ メカストッパ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ２３Ｑ 7/08 Ｂ２３Ｑ 7/08
Claims (1)
- 【請求項１】 互いに直交する２方向にそれぞれ移動す
る複数のスライダを備えた直交座標型のロボットにおい
て、前記スライダの一部を収容したフレームと、このフ
レームの内部に設けられた中空部と、この中空部と前記
フレームの内側空間を連通させた連通孔と、前記中空部
を吸引する吸引手段とを具備するロボットにおいて、前
記フレームの内壁部に前記スライダの移動方向に沿って
形成されたセンサ用溝と、前記フレームの内壁部に前記
センサ用溝と平行に形成されたセンサドグ用溝と、この
センサドグ用溝における任意の位置に取り付けられるセ
ンサドグ固定部材と、このセンサドグ固定部材によっ
て、前記センサ用溝の一部を被覆する位置に固定される
センサドグと、前記センサ用溝と対向する位置で前記ス
ライダに取り付けられ、前記センサドグの有無を検出す
る位置検出用センサとを備えたことを特徴とするロボッ
ト。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7055158A JP2700621B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | ロボット |
| KR1019960003766A KR960031074A (ko) | 1995-02-20 | 1996-02-15 | 로보트 |
| US08/602,972 US5713244A (en) | 1995-02-20 | 1996-02-16 | Robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7055158A JP2700621B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08216071A JPH08216071A (ja) | 1996-08-27 |
| JP2700621B2 true JP2700621B2 (ja) | 1998-01-21 |
Family
ID=12990947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7055158A Expired - Fee Related JP2700621B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | ロボット |
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| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP2700621B2 (ja) |
| KR (1) | KR960031074A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11325070A (ja) * | 1998-05-11 | 1999-11-26 | Nippon Thompson Co Ltd | スライド装置のシール構造 |
| JP4412798B2 (ja) | 2000-03-01 | 2010-02-10 | Ｏｂａｒａ株式会社 | 溶接装置における加圧軸駆動装置 |
| DE10104555B4 (de) * | 2001-02-01 | 2007-11-08 | Krauss Maffei Gmbh | Lagervorrichtung zum Einsatz in Reinumgebungen |
| DE102008035949A1 (de) * | 2008-07-31 | 2010-02-04 | Etel S.A. | Reinraumtaugliche Linearführung |
| JP2013143824A (ja) * | 2012-01-11 | 2013-07-22 | Smc Corp | 電動アクチュエータ |
| KR101321505B1 (ko) * | 2012-12-13 | 2013-10-28 | (주)현준에프에이 | 방진밴드를 구비한 직선 로봇 |
| JP6308574B2 (ja) * | 2013-06-14 | 2018-04-11 | 株式会社スター精機 | パレタイジング装置及びパレタイジング方法 |
| CN105549334B (zh) * | 2016-01-28 | 2017-12-29 | 武汉华星光电技术有限公司 | 曝光机 |
| JP2018075689A (ja) * | 2016-11-11 | 2018-05-17 | Ntn株式会社 | 作動装置および双腕型作動装置 |
| JP6465524B2 (ja) * | 2017-10-18 | 2019-02-06 | 株式会社スター精機 | パレタイジング装置及びパレタイジング方法 |
| CN112045716A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-12-08 | 高上杰 | 一种智能装卸工业机器人 |
| CN112476440A (zh) * | 2020-11-12 | 2021-03-12 | 湖州慧能机电科技有限公司 | 一种工业机器人机械手的打孔装置 |
| KR102432778B1 (ko) * | 2021-02-18 | 2022-08-16 | (주)에스피시스템스 | 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇 |
Citations (3)
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| JPH01321180A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 産業用ロボット |
| JPH0516092A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-26 | Sony Corp | 直交型ロボツトの集塵構造 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS626508U (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-16 | ||
| JP2638955B2 (ja) * | 1988-07-14 | 1997-08-06 | 日本精工株式会社 | 無塵室用作動装置 |
| JPH02106282A (ja) * | 1988-10-11 | 1990-04-18 | Mitsubishi Electric Corp | 産業用ロボット |
| US5228353A (en) * | 1990-12-25 | 1993-07-20 | Nsk, Ltd. | Ball screw device |
| US5499547A (en) * | 1991-09-04 | 1996-03-19 | Smc Kabushiki Kaisha | Actuator |
| JPH05277870A (ja) * | 1992-03-27 | 1993-10-26 | Nippon Thompson Co Ltd | 駆動装置及びこれを具備したｘｙ駆動装置 |
-
1995
- 1995-02-20 JP JP7055158A patent/JP2700621B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-02-15 KR KR1019960003766A patent/KR960031074A/ko not_active Application Discontinuation
- 1996-02-16 US US08/602,972 patent/US5713244A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
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| JPH0516092A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-26 | Sony Corp | 直交型ロボツトの集塵構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5713244A (en) | 1998-02-03 |
| JPH08216071A (ja) | 1996-08-27 |
| KR960031074A (ko) | 1996-09-17 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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