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JP2788901B2 - 基板用カセット - Google Patents

基板用カセット

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JP2788901B2
JP2788901B2 JP17315796A JP17315796A JP2788901B2 JP 2788901 B2 JP2788901 B2 JP 2788901B2 JP 17315796 A JP17315796 A JP 17315796A JP 17315796 A JP17315796 A JP 17315796A JP 2788901 B2 JP2788901 B2 JP 2788901B2
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明寛 松田
春彦 大野
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NEC Corp
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Nippon Electric Co Ltd
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/0061—Tools for holding the circuit boards during processing; handling transport of printed circuit boards
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  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の液晶パネル
等の大きな基板の複数枚を収納し運搬したりバッチ処理
に使用したりする基板用カセットに関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の基板用カセットは、液晶パネル
のような大きな基板の複数枚を収納し、各行程間の運搬
や高温処理などのバッチ処理のための容器としても使用
されていた。また、バッチ処理行程においては、収納さ
れる枚数が多い程生産性を高めることができるという利
点がある。しかしながら、枚数が多くなる程カセットの
重量が増し取扱いが困難となる。そこで、より多くの枚
数の基板が収納できかつ重量がより軽くするというカセ
ットに対し種々の改善工夫がなされてきた。
【０００３】図３は従来の基板用カセットの一例を示す
斜視図である。この基板用カセットは、図３に示すよう
に、、金属フレームにより組立られる上枠部７ａおよび
下枠部７ｂと、この上枠部７ａと下枠部７ｂを所定の間
隔に離間させ固定する柱８と、上下の枠部７ａ，７ｂの
枠内にあって相対する金属フレームに差し渡され上下に
互に平行に配設される複数対のスライドシャフト５と、
基板１６の側端が挿入される溝４ａを向き合せて上下の
スライドシャフト５に差し渡して配設される複数の溝付
き側板４とを備えている。
【０００４】また、それぞれの溝付き側板４は、押え板
と協働しスライドシャフト５を挟み保持する支持部部６
ａ，６ｂに両端をねじ止めすることで固定されている。
なお、基板１６の外形寸法が変るとき、スライドシャフ
ト５を挟み保持する支持部６ａ，６ｂの押え板のねじを
緩め、支持部６ａ，６ｂと押え板とをスライドシャフト
５上に摺動させ基板１６の寸法に合うように一対の溝付
き側板４の間隔を調節していた。
【０００５】さらに、この基板用カセットは、運搬時に
衝撃や振動を受け易い上下の上枠部７ａおよび下枠部７
ｂを機械的に強度のある金属フレームでねじやナットで
組立て構成し、周囲の柱８や溝付き側板４などは、ガラ
ス基板である基板１６を疵をつけないようにするととも
に重量が軽いしかも耐熱性のある樹脂材で製作されてい
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の基板用カセットでは、軽量化が図れるものの、
加熱処理工程における温度上昇により樹脂製の溝付き側
板とこの溝付き側板をねじ止め固定する金属製の支持部
とがともに伸び、両端が固定された溝付き側板が線膨張
係数の差の分だけより伸びるので、溝付き側板が弓状に
歪む。このため、対向する溝付き側板の溝の位置がずれ
たりあるいは溝自身の開口が歪み、基板が収納できなく
なると同時に既に収納されている溝付き側板が取り出さ
すことができなくなる。特に、検出機能のない基板自動
搬出入装置を使用する場合は、単に機械的にプッシャや
フォークが搬出入するので、基板に無理な力を与え打痕
したり破損させたりするという問題がある。
【０００７】また、上下の枠部の構造は、金属フレーム
の角の面を付き当ててねじにより互に固定する構造であ
るため、熱履歴を受ける毎にねじ締付け力が弱まり外形
寸法が歪むとともに剛性が維持でなかたり、さらに、横
方向の剛性を仕さどる補強用の柱の本数の制限や樹脂製
であるため十分な剛性が得られい。このため、カセット
搬送装置による基板用カセットの搬送を円滑にできず、
基板用カセットの位置決めが精密にできないという問題
もあった。
【０００８】本発明の目的は、熱履歴を受けても基板の
出し入れの不具合およびそれによる基板の破損が無くか
つ搬送が円滑で位置決めを精度良くできる基板用カセッ
トを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、金属フ
レームにより組立られる四角形状の上下枠部と、この上
下枠部材を所定の間隔に離間させ固定する柱部材と、前
記上下枠部材のそれぞれの枠内にあって相対する一対の
前記金属フレーム間に差し渡し上下平行に配設される複
数対のスライドシャフトと、複数枚の基板のそれぞれの
両側端が挿入される溝を向き合せて上下の前記スライド
シャフトに差し渡して配設される複数の溝付き側板部材
とを備える基板用カセットにおいて、前記スライドシャ
フトに摺動し得るとともに該スライドシャフトの所定の
位置に固定する固定手段を具備する第一の支持部材と、
前記溝付き側板部材のいずれかの一端を前記第一の支持
部材に固定する固定部材と、前記溝付き側板部材の残り
の端部が入り込みかつ該溝付き側板部材の長手方向に伸
びる方向に余裕をもたせるとともに前記第一の支持部材
に取付けられる押え部材とを備える基板用カセットであ
る。
【００１０】また、本発明の他の特徴は、金属フレーム
により組立られる四角形状の上下枠部と、この上下枠部
材を所定の間隔に離間させ固定する柱部材と、前記上下
枠部材のそれぞれの枠内にあって相対する一対の前記金
属フレーム間に差し渡し上下平行に配設される複数対の
スライドシャフトと、複数枚の基板のそれぞれの両側端
が挿入される溝を向き合せて上下の前記スライドシャフ
トに差し渡して配設される複数の溝付き側板部材とを備
える基板用カセットにおいて、上下の複数対の前記スラ
イドシャフトに摺動し得るとともに該スライドシャフト
の所定の位置に固定する固定手段を具備しかつ前記溝付
き側板部材を周囲に間隙をもたせ入り込む切欠き穴を有
する板状の第二の支持部材と、この第二の支持部材の該
切欠き穴に入り込む前記溝付き側板部材の中間部を前記
第二の支持部材に固定する第二の固定部材とを備える基
板用カセットである。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
【００１２】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施
の形態における基板用ソケットを示す斜視図およびＡＡ
断面矢視図である。この基板用カセットは、図１に示す
ように、溝付き側板４の下側を支持部６ｂにボルトで固
定し、溝付き側板４の上側のタグ４ａが挿入される穴を
有しタグ４ｂの端面４ｃから間隙ｃだけ離間して配置さ
れる抑え板１ａ，１ｂ，１ｃを設けたことである。
【００１３】また、上枠部７ｃ側に押え板１ｂを設けて
いるが、溝付き側板４の固定部を上側にして、熱膨張で
伸びる方向に間隙ｃを設けた押え板１ａ，１ｂ，１ｃを
下側にしても良い。さらに、この基板用カセットの上枠
部７ｃおよび下枠部７ｄは、軽量なアルミフレーム１０
を歪みが生じない電子ビームなどにより溶接し組立てて
剛性をも高めている。そして、上枠部７ｃおよび下枠部
７ｄには、従来例と同じように、相対する金属フレーム
を差し渡すスライドシャフト５が備えられている。
【００１４】溝付き側板４の取付けについては、前文で
述べた通り、樹脂製の溝付き側板４の下端部は、下側金
属フレーム８にネジ固定し溝付き側板４の位置の基準を
取り、溝付き側板４の上端部は、図１（ｂ）に示すよう
に、上枠部７ｃの金属フレームに取付けられる押え板１
ｂの穴にタグ４ｂが挿入され、温度上昇により伸びる溝
付き側板４の端部が押え板１ｂに当接しないように隙間
を明けている。なお、ダグ４ｂと入り込む穴との嵌合
は、がたつかない程度とし、押え板１ｂの材質は、溝付
き側板４と同一材料で製作されることが望ましい。
【００１５】このような構造をもつ基板用カセットで
は、液晶パネル製造工程の特に加熱処理が必要となる行
程での使用に際し、溝付き側板４の上端部を押え板１ｂ
で覆うように保持し長手方向をフリーにしたことで、加
熱処理時に発生する溝付き側板４の熱膨張によって伸び
る端部を上側方向に逃がし、溝付き側板４にストレスが
かからず、変形が防止できる。ちなみに、変形を測定し
たところ、この溝付き側板４の熱膨張による変形量が、
従来は１．５ｍｍの変形量に対し、０．５ｍｍ以下に低
減することができた。
【００１６】図２（ａ）〜（ｃ）は本発明の他の実施の
形態における基板用ソケットを説明するための取り付け
られた溝付き側板の正面図（ａ）および側面図ならびに
ＢＢ断面矢視図である。この基板用カセットは、図３に
示すように、上下の２対のスライドシャフト５に摺動し
得るとともにスライドシャフト５の所定の位置に挟み固
定する取付板を具備しかつ溝付き側板４を周囲に隙間２
ａをもたせ入り込む切欠き穴２ｃを有する板状の金属製
の支持板２と、この支持板２の切欠き穴２入り込む溝付
き側板４の中間部から派生し支持板２に固定する取付部
３とを設けている。
【００１７】すなわち、一枚の金属板からなる支持板２
に複数の基板保持溝が形成された溝付き側板４を押し当
て、溝付き側板４の上下方向の中央部から取付部３を張
出し、この取付部３を支持板２にネジ固定する構造を採
用し、溝付き側板４の上端部と下端部は、固定すること
なくフリーにした構造である。また、この支持部２の切
り欠き穴は、溝付き側板４の上下端との間には隙間２ａ
以外に隙間２ｂを設け、熱膨張により厚み方向への伸び
も考慮している。
【００１８】この実施の形態における基板用カセット
は、一体の金属板である支持板２の断面係数が大きく横
方向の剛性をさらに高めるという利点がある。ちなみ
に、従来と比較するために、横方向に所定の荷重を加え
変形量を測定したところ、０．５ｍｍ以下にすることが
できた。この変形量は、基板用カセットの円滑な搬送お
よび位置決め精度の維持する変形量に対して十分満足す
る値であった。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、基板を挿
入する多数の溝が形成される樹脂製側板の一端を固定し
他端を伸びる方向に規制しないように保持するか、ある
いは、樹脂製側板の中間部を固定し両端が伸びる方向に
規制する物を無くすことよって、熱膨張によって伸びる
樹脂側板を拘束する物が無く歪み変形は皆無となる。そ
の結果、従来起きていた基板の取り入れ取り出しの不具
合が無くなりそれによる基板の破損が無くなるという効
果がある。
【００２０】また、カセットを構成する上下枠を金属フ
レームの溶接によって一体化にし、その上に複数の樹脂
側板を取付けるように支持板を大きくしカセット自体の
剛性を高めることによって、外部衝撃によるカセット変
形量が小さくなり、運搬上の不具合や位置決めの不具合
を飛躍的に減少させるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態における基板用ソケット
を示す斜視図およびＡＡ断面矢視図である。
【図２】本発明の他の実施の形態における基板用ソケッ
トを説明するための取り付けられた溝付き側板の正面図
（ａ）および側面図（ｂ）ならびにＢＢ断面矢視図
（ｃ）である。
【図３】従来の基板用カセットの一例を示す斜視図であ
る。
【符号の説明】
１ａ，１ｂ，１ｃ 押え板 ２ 支持板 ２ａ，２ｂ 隙間 ２ｃ 切欠き穴 ３ 取付部 ４ 溝付き側板 ４ａ 溝 ４ｂ タグ ４ｃ 端面 ５ スライドシャフト ６ａ，６ｂ 支持部 ７ａ，７ｃ 上枠部 ７ｂ，７ｄ 下枠部 ８ 柱 １６ 基板
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B65D 85/86 H01L 21/68

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 金属フレームにより組立られる四角形状
    の上下枠部と、この上下枠部材を所定の間隔に離間させ
    固定する柱部材と、前記上下枠部材のそれぞれの枠内に
    あって相対する一対の前記金属フレーム間に差し渡し上
    下平行に配設される複数対のスライドシャフトと、複数
    枚の基板のそれぞれの両側端が挿入される溝を向き合せ
    て上下の前記スライドシャフトに差し渡して配設される
    複数の溝付き側板部材とを備える基板用カセットにおい
    て、前記スライドシャフトに摺動し得るとともに該スラ
    イドシャフトの所定の位置に固定する固定手段を具備す
    る第一の支持部材と、前記溝付き側板部材のいずれかの
    一端を前記第一の支持部材に固定する固定部材と、前記
    溝付き側板部材の残りの端部が入り込みかつ該溝付き側
    板部材の長手方向に伸びる方向に余裕をもたせるととも
    に前記第一の支持部材に取付けられる押え部材とを備え
    ることを特徴とする基板用カセット。
  2. 【請求項２】 金属フレームにより組立られる四角形状
    の上下枠部と、この上下枠部材を所定の間隔に離間させ
    固定する柱部材と、前記上下枠部材のそれぞれの枠内に
    あって相対する一対の前記金属フレーム間に差し渡し上
    下平行に配設される複数対のスライドシャフトと、複数
    枚の基板のそれぞれの両側端が挿入される溝を向き合せ
    て上下の前記スライドシャフトに差し渡して配設される
    複数の溝付き側板部材とを備える基板用カセットにおい
    て、上下の複数対の前記スライドシャフトに摺動し得る
    とともに該スライドシャフトの所定の位置に固定する固
    定手段を具備しかつ前記溝付き側板部材を周囲に間隙を
    もたせ入り込む切欠き穴を有する板状の第二の支持部材
    と、この第二の支持部材の該切欠き穴に入り込む前記溝
    付き側板部材の中間部を前記第二の支持部材に固定する
    第二の固定部材とを備えることを特徴とする基板用カセ
    ット。
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