JP2786812B2 - Coriolis flow meter - Google Patents
Coriolis flow meterInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、コリオリ流量計に関
し、より詳細には、二重直管状のコリオリ流量計の構造
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a Coriolis flow meter, and more particularly, to the structure of a double straight tubular Coriolis flow meter.
【0002】[0002]
【従来の技術】測定管を両端で支持し、支持された測定
管の中央部を支持線に直直な方向に交番駆動することに
より、測定管の支持部と中央部との間において位相差が
生じる。この位相差は、コリオリの力に基づくもので、
駆動周波数と質量流量とに比例した値であり、前記位相
差を検知して質量流量を計測するコリオリ流量計は周知
である。測定管の形状は、大別して湾曲管と直管の方式
がある。湾曲管方式は、湾曲管を面と直角方向に駆動し
たとき、コリオリの力を湾曲管の対称軸まわりに発生す
る湾曲管の対称位置における位相差として検知される。
駆動周波数が一定のとき、位相差は、例えば、湾曲管の
静止状態における基準面を湾曲管の両腕部が通過する時
間差として計測される。この方式では、位相差が検出さ
れる部位での湾曲管の捩りモーメントを大きくすること
により大きい検出感度のものが得られるという特徴をも
っているが、逆に捩りモーメントを大きくすると形状が
大きくなる。2. Description of the Related Art A measuring tube is supported at both ends, and a central portion of the supported measuring tube is alternately driven in a direction perpendicular to a support line, thereby providing a phase difference between the supporting portion and the central portion of the measuring tube. Occurs. This phase difference is based on the Coriolis force,
It is a value proportional to the drive frequency and the mass flow rate, and a Coriolis flow meter that detects the phase difference and measures the mass flow rate is well known. The shape of the measuring tube is roughly classified into a curved tube and a straight tube. In the bending tube method, when the bending tube is driven in a direction perpendicular to the plane, the Coriolis force is detected as a phase difference at a symmetric position of the bending tube generated around a symmetry axis of the bending tube.
When the drive frequency is constant, the phase difference is measured, for example, as a time difference when the two arms of the bending tube pass through the reference plane in the stationary state of the bending tube. This method has a feature that a higher detection sensitivity can be obtained by increasing the torsional moment of the curved tube at the portion where the phase difference is detected. Conversely, when the torsional moment is increased, the shape becomes larger.
【0003】これに対して、直管方式のコリオリ流量計
は、形状が最も単純な直管であり、流れと直角な断面形
状を小さくすることができる。この反面、コリオリの力
が発生する測定管の軸と直角方向の、いわゆる横剛性
は、湾曲管の捩り剛性に対して極めて大きいので、加振
エネルギが一定であれば、コリオリの力の検出感度は低
下する。On the other hand, a Coriolis flow meter of a straight pipe type is a straight pipe having the simplest shape, and can reduce the cross-sectional shape perpendicular to the flow. On the other hand, the so-called lateral stiffness in the direction perpendicular to the axis of the measuring tube in which the Coriolis force is generated is extremely large with respect to the torsional stiffness of the curved tube. Drops.
【0004】このため、直管式のコリオリ流量計では、
外部振動や被測流体の温度・圧力等の影響を受け易くS
N比が低下する。検出感度を高めるためには、同一材質
の測定管では肉厚を薄くして且つ、長さを長くし、直管
の横剛性を小さくして流体の流れを大きくし、更に、加
振振幅を大きくする必要がある。For this reason, in a straight tube type Coriolis flowmeter,
S is susceptible to external vibration and the temperature and pressure of the fluid to be measured.
The N ratio decreases. In order to increase the detection sensitivity, the measurement tubes made of the same material should be made thinner and longer, the lateral stiffness of the straight tube should be smaller, the flow of the fluid should be larger, and the vibration amplitude should be smaller. Need to be bigger.
【0005】この結果、共振周波数が低下して外部振動
周波数に近づくので外部振動影響を受け易くなり、加振
振幅を大きくすると加振エネルギが増大し、且つ圧力が
増大するという欠点があった。As a result, the resonance frequency decreases and approaches the external vibration frequency, so that the external vibration is easily affected. When the vibration amplitude is increased, the vibration energy increases and the pressure increases.
【0006】本出願人は、この欠点を解決するために、
先に、両端にフランジを有する筒状の外筐内に、この外
筐と同軸で一体に構成された二重管を軸方向に移動可能
で両端部を半径方向の移動が拘束されるように配設した
図5に示したコリオリ流量計を提案した。[0006] In order to solve this drawback, the present applicant has
First, in a cylindrical outer casing having flanges at both ends, a double pipe formed coaxially and integrally with the outer casing can be moved in the axial direction so that the movement in the radial direction at both ends is restricted. The Coriolis flowmeter shown in FIG. 5 was proposed.
【0007】図5は、従来のコリオリ流量計の流れ方向
の断面図であり、両端に接続フランジ62を有する中空
円筒状の外筐61を有し、外筐61内には、外筐61と
同軸な二重管63が配設されている。FIG. 5 is a sectional view in the flow direction of a conventional Coriolis flowmeter, which has a hollow cylindrical outer case 61 having connection flanges 62 at both ends. A coaxial double tube 63 is provided.
【0008】二重管63は、コリオリ流量計の要部をな
す構成要素であり、被測流体が流れる直管状の内側チュ
ーブ64と、中空直管状の外側チューブ65とからな
り、内側チューブ64と外側チューブ65とは両端部で
連結ブロック66a,66bにより同軸に固着されてい
る。The double tube 63 is a component constituting a main part of the Coriolis flowmeter, and comprises a straight tubular inner tube 64 through which a fluid to be measured flows, and a hollow straight tubular outer tube 65. Both ends are coaxially fixed to the outer tube 65 by connecting blocks 66a and 66b.
【0009】また、外側チューブ65の中央部にはバラ
ンスウェイト67が取り付けられ、バランスウェイト6
7の重量は、連結ブロック66a,66bにより支持さ
れ被測流体が流れる内側チューブ64の(横)固有振動
数と、外側チューブ65の(横)固有振動数が等しくな
るように調整されている。At the center of the outer tube 65, a balance weight 67 is attached.
The weight of 7 is adjusted so that the (lateral) natural frequency of the inner tube 64 supported by the connection blocks 66a and 66b and through which the fluid to be measured flows is equal to the (lateral) natural frequency of the outer tube 65.
【0010】更に、固有振動数が等しい内側チューブ6
4と外側チューブ65の中央部には、内側チューブ64
と外側チューブ65とを反対位相で共振駆動するための
駆動装置69が取り付けられ、更に駆動装置69に関す
る二重管63の対称位置にコリオリの力による内側チュ
ーブ64の位相差を検知するための一対のセンサ70
a,70bが配設されている。Furthermore, the inner tube 6 having the same natural frequency
4 and the center of the outer tube 65, the inner tube 64
A driving device 69 for driving the resonance of the inner tube 64 and the outer tube 65 in opposite phases is mounted, and a pair of sensors for detecting a phase difference of the inner tube 64 due to Coriolis force at a symmetric position of the double tube 63 with respect to the driving device 69. Sensor 70
a and 70b are provided.
【0011】上述のように構成された二重管63は、連
結ブロック66a,66bの外壁部と接続フランジ6
2、62内に開口する流路62a、62aとをOリング
68a,68bによりシールされ、流路62a,62b
から被測流体が外筐61内に流入しないように液密に支
持されている。The double pipe 63 constructed as described above is connected to the outer walls of the connecting blocks 66a and 66b and the connecting flange 6a.
The channels 62a, 62a opening into the channels 2, 62 are sealed by O-rings 68a, 68b, and the channels 62a, 62b
, The liquid to be measured is supported in a liquid-tight manner so as not to flow into the outer casing 61.
【0012】更に、Oリング68a,68bは、内側チ
ューブ64内を流れる被測流体の温度が外部温度と大き
く相異し温度差が生じたとき、二重管63と外筐61と
の間の熱膨張差により生ずる二重管63の内部ひずみの
発生を取り除くための弾性部材となると共に、外筐61
から伝達される外部振動が二重管63に達するのを遮断
する効果を有している。Further, the O-rings 68a and 68b are provided between the double tube 63 and the outer casing 61 when the temperature of the fluid to be measured flowing through the inner tube 64 is significantly different from the external temperature and a temperature difference occurs. It becomes an elastic member for removing the generation of internal strain of the double tube 63 caused by the difference in thermal expansion, and the outer casing 61
This has the effect of blocking the external vibration transmitted from the motor from reaching the double pipe 63.
【0013】[0013]
【発明が解決しようとする課題】二重管63を弾性支持
するのはOリング68a,68bだけであるがOリング
68a,68bは合成ゴム等の有機材で、弾性率は、温
度影響を受けて変化する。また、リング68は、接続フ
ランジ62の流路62a内を流れる被測流体と接するの
で、Oリング68aは、被測流体の圧力変化に影響され
圧力変化により締付け力が変化し共振周波数に影響を与
える。Only the O-rings 68a and 68b elastically support the double tube 63. The O-rings 68a and 68b are made of an organic material such as synthetic rubber, and the elastic modulus is affected by temperature. Change. Further, since the ring 68 comes into contact with the fluid to be measured flowing in the flow path 62a of the connection flange 62, the O-ring 68a is affected by the pressure change of the fluid to be measured, and the tightening force changes due to the pressure change, thereby affecting the resonance frequency. give.
【0014】また、前述のように二重管63は、内側チ
ューブ64内を流れる流体の温度に応じて伸縮し、外筐
61との間に対する熱ひずみをOリング68a,68b
の弾性変形によって取り除くことが可能であるが、同時
に支持位置が変化し、二重管63の振動に影響を与え、
Oリング68a,68bによる二重管63の支持構造
は、温度変化に対し、安定性の向上が望まれた。As described above, the double tube 63 expands and contracts in accordance with the temperature of the fluid flowing through the inner tube 64, and reduces thermal strain between the double tube 63 and the outer casing 61 by the O-rings 68a and 68b.
Can be removed by elastic deformation, but at the same time the support position changes, affecting the vibration of the double pipe 63,
The support structure of the double tube 63 by the O-rings 68a and 68b is desired to have improved stability against temperature changes.
【0015】本発明は、外側チューブにバランスウェイ
トを取り付けて外側チューブの固有振動数と内側チュー
ブの固有振動とを等しくした二重管を、支持点が被測流
体の温度や圧力に影響されることなく安定して支持する
支持手段を有して、安定した質量流量および密度を計測
可能なコリオリ流量計を提供することを目的とするもの
である。According to the present invention, a double tube in which the natural frequency of the outer tube is made equal to the natural vibration of the inner tube by attaching a balance weight to the outer tube, the supporting point of which is affected by the temperature and pressure of the fluid to be measured. It is an object of the present invention to provide a Coriolis flowmeter that has a supporting means for stably supporting the mass flow and a density that can be measured stably.
【0016】[0016]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するために、(1)両端に接続フランジを有する中空
筒状の外筐と、該外筐内に、半径方向の移動が拘束さ
れ、軸方向の移動が可能に配設された直管状の同軸な二
重管で、前記接続フランジを介して被測流体が流れる内
側チューブと、該内側チューブに両端が固着された外側
チューブと、該外側チューブに固着された重錘で、該外
側チューブの横固有振動数を前記内側チューブの横固有
振動数と等しくするためのバランスウェイトと、前記内
側チューブと外側チューブとを共振駆動する駆動装置
と、前記共振駆動により前記内側チューブに作用するコ
リオリの力に比例した位相差を検出するセンサとからな
ること、更には、(2)前記(1)において、前記外筐
と二重管とを、該二重管の振動節部において、支持面が
振動方向に平行し、振動と直角な半径方向に延在する短
柵状の板ばねで支持したこと、更には、(3)前記
(1)において、前記外筐と二重管とを、前記接続フラ
ンジに開口する流路と前記内側チューブの端部におい
て、軸方向に伸縮可能で、軸と直角方向に大きい弾性力
を有するフレキシブルチューブにより接続したこと、更
には、(4)前記(1)において、前記外筐と二重管と
を、前記接続フランジに開口する流路と前記内側チュー
ブの端部において、軸方向に伸縮可能なフレキシブルチ
ューブで液密に接続し、且つ、前記二重管の振動節部に
おいて、支持面が振動方向に平行し、振動と直角な半径
方向に延在する短柵状の板ばねで支持したこと、更に
は、(5)前記(1)において、前記二重管の内側チュ
ーブと外側チューブの固着部から該内側チューブを前記
接続フランジ側に延在し、延在した前記内側チューブの
端部を前記接続フランジ側に向けて拡がるノズル管と
し、該ノズル管の外周と前記接続フランジに開口する流
路とを固着して前記外筐と二重管とを接続したことを特
徴とするものである。In order to achieve the above object, the present invention provides: (1) a hollow cylindrical outer casing having connection flanges at both ends, and radial movement within the outer casing is restricted. A straight tubular coaxial double pipe arranged so as to be movable in the axial direction, an inner tube through which the fluid to be measured flows through the connection flange, and an outer tube having both ends fixed to the inner tube. A weight attached to the outer tube, a balance weight for making the lateral natural frequency of the outer tube equal to the lateral natural frequency of the inner tube, and a drive for resonantly driving the inner tube and the outer tube. And a sensor for detecting a phase difference proportional to the Coriolis force acting on the inner tube by the resonance drive. (2) In the above (1), the outer casing and the double pipe are connected to each other. The double (3) The supporting surface is supported by a short fence-shaped leaf spring extending in a radial direction perpendicular to the vibration in a direction parallel to the vibration direction at the vibrating node portion. The casing and the double pipe are connected by a flexible tube having a large elastic force in a direction perpendicular to the axis, which is axially expandable and contractible at an end of the inner tube and a flow path opened to the connection flange. (4) In the above (1), the outer casing and the double pipe are liquid-tightly connected to each other by a flexible tube that can expand and contract in the axial direction at a flow path opening to the connection flange and at an end of the inner tube. Connected, and at the vibrating node of the double pipe, the supporting surface is supported by a short fence-shaped leaf spring extending in a radial direction perpendicular to the vibration and parallel to the vibration direction. ) In (1) above, The inner tube extends from the fixed portion of the tube and the outer tube to the connection flange side, and an end of the extended inner tube extends to the connection flange side as a nozzle tube. The outer casing and the double pipe are connected by fixing a flow path opened to the connection flange.
【0017】[0017]
【作用】被測流体が流れる測定管を一本の内側チューブ
とし、バランスウェイトを取り付けることにより内側チ
ューブと等しい横固有振動数をもった外側チューブとで
二重管を構成し、構成された二重管を共振駆動すること
により質量流量および密度を計測可能としたコリオリ流
量計の要部を、両端に接続フランジを有する外筐内に、
軸方向に移動可能で半径方向に移動が拘束される金属の
支持手段により温度、圧力に影響されず長期安定に支持
する。The measuring tube through which the fluid to be measured flows is a single inner tube, and a double tube is formed by attaching a balance weight to the outer tube having the same lateral natural frequency as the inner tube. The main part of the Coriolis flowmeter, which can measure the mass flow rate and the density by resonantly driving the heavy pipe, is placed in an outer casing having connection flanges at both ends.
The metal support means, which is movable in the axial direction and is restricted from moving in the radial direction, provides stable support for a long period without being affected by temperature and pressure.
【0018】[0018]
実施例1(請求項1、2に対応) 図1は、本発明によるコリオリ流量計の実施例1を説明
するための図であり、図1(a)は図1(b)の矢視A
−A線断面図、図(b)は図1(a)の矢視B−B線断
面図、図1(c)は図1(a)の矢視C−C線断面図で
あり、図中、1は外筐、2は接続フランジ、3は二重
管、4は内側チューブ、5は外側チューブ、6a,6b
は連結ブロック、7はバランスウェイト、8a,8b,
8c,8dは板ばね、9は駆動装置、10a,10bは
センサ、11a,11bはOリングである。Embodiment 1 (corresponding to claims 1 and 2) FIG. 1 is a view for explaining Embodiment 1 of a Coriolis flowmeter according to the present invention, and FIG. 1 (a) is an arrow A in FIG. 1 (b).
FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 1A, and FIG. 1C is a cross-sectional view taken along line CC of FIG. 1A. Inside, 1 is an outer casing, 2 is a connection flange, 3 is a double tube, 4 is an inner tube, 5 is an outer tube, 6a, 6b
Is a connecting block, 7 is a balance weight, 8a, 8b,
8c and 8d are leaf springs, 9 is a driving device, 10a and 10b are sensors, and 11a and 11b are O-rings.
【0019】外筐1は、両端に接続フランジ2、2を有
する中空の筒状体で、接続フランジ2、2は被測流体が
流れる流管(図示せず)と接続され接続フランジ2、2
の内部に流路2a,2bが穿設されている。The outer casing 1 is a hollow cylindrical body having connection flanges 2 and 2 at both ends, and the connection flanges 2 and 2 are connected to a flow pipe (not shown) through which a fluid to be measured flows.
Are provided with flow passages 2a and 2b.
【0020】二重管3は、直管状の内側チューブ4と直
管状の外側チューブ5とを連結ブロック6a,6bによ
り両端部を同軸に固着されたコリオリ流量計の要部であ
り、外側チューブ5の中央部の振動方向の壁面には、バ
ランスウェイト7が固着されている。バランスウェイト
7の重量は、被測流体が流れる内側チューブ4の固有振
動数と外側チューブ5の固有振動数とが等しくなるよう
に選ばれている。The double tube 3 is a main part of a Coriolis flow meter in which both ends are coaxially fixed by connecting blocks 6a and 6b to a straight inner tube 4 and a straight outer tube 5. A balance weight 7 is fixed to the wall in the vibration direction at the center of the balance weight. The weight of the balance weight 7 is selected so that the natural frequency of the inner tube 4 through which the fluid to be measured flows and the natural frequency of the outer tube 5 are equal.
【0021】内側チューブ4と外側チューブ5との中央
部には、内側チューブ4と外側チューブ5の振動を反対
位相で共振駆動するための駆動装置9が取り付けられ、
更に、駆動装置9に関する対称位置に外側チューブ5に
対する内側チューブ4の変位を検知し、内側チューブ4
に作用するコリオリの力に比例した位相差を求めるため
のセンサ10a,10bが取り付けられている。At the center between the inner tube 4 and the outer tube 5, a driving device 9 for resonatingly driving the vibrations of the inner tube 4 and the outer tube 5 in opposite phases is attached.
Further, the displacement of the inner tube 4 with respect to the outer tube 5 is detected at a symmetrical position with respect to the driving device 9, and the inner tube 4 is detected.
Sensors 10a and 10b for obtaining a phase difference proportional to the Coriolis force acting on the sensor are attached.
【0022】二重管3は、連結ブロック6a,6bの外
周において外筐1内に外筐1と同軸にOリング11a,
11bでシールされて弾性支持され、更に、内側チュー
ブ4と外側チューブ5とが接続された位置で直径方向に
延在する板ばね8a,8bおよび8c,8dで弾性支持
される。板ばね8a,8bと8c,8dとは板ばね8
a,8bを結ぶ軸線および板ばね8c,8dを結ぶ軸線
は互いに平行に配置されている。各々の板ばね8a,8
bおよび8c,8dは短柵形の平板で、駆動装置9とバ
ランスウェイト7とを結ぶ線の振動方向と面平行で、振
動方向と直角な半径方向に延在している。The double pipe 3 is provided inside the outer casing 1 on the outer periphery of the connecting blocks 6a and 6b, coaxially with the outer casing 1, and O-rings 11a,
The inner tube 4 and the outer tube 5 are sealed and elastically supported by 11b, and further elastically supported by diametrically extending leaf springs 8a and 8b and 8c and 8d at a position where the inner tube 4 and the outer tube 5 are connected. The leaf springs 8a, 8b and 8c, 8d
The axis connecting a and 8b and the axis connecting the leaf springs 8c and 8d are arranged parallel to each other. Each leaf spring 8a, 8
b, 8c and 8d are short fence-shaped flat plates extending in a plane parallel to the vibration direction of a line connecting the driving device 9 and the balance weight 7 and in a radial direction perpendicular to the vibration direction.
【0023】図1に示した実施例1によるコリオリ流量
計の二重管3は、駆動装置9により矢印(±F)で示し
た上下方向に共振駆動される。バランスウェイト7の重
心は矢印上下方向で示した振動方向にあるので内側チュ
ーブ4と外側チューブ5とは互いに正しく反対位相で共
振駆動される。The double tube 3 of the Coriolis flowmeter according to the first embodiment shown in FIG. 1 is driven by the driving device 9 in a vertical direction indicated by arrows (± F). Since the center of gravity of the balance weight 7 is in the vibration direction indicated by the vertical direction of the arrow, the inner tube 4 and the outer tube 5 are driven to resonate in the opposite phases.
【0024】質量流量に比例したコリオリの力は、セン
サ10aと10bとから出力される信号の位相差信号か
ら求められ、更に、共振周波数から被測流体の密度を求
めることができる。The Coriolis force proportional to the mass flow rate can be obtained from the phase difference signal between the signals output from the sensors 10a and 10b, and the density of the fluid to be measured can be obtained from the resonance frequency.
【0025】二重管3を構成する内側チューブ4と外側
チューブ5とを共振駆動した場合、連結ブロック6a,
6bは駆動振幅に応じて軸方向に微少振動する。もし、
板ばねによる外筐1に対する二重管3の支持方向を共振
駆動の方向とした場合、板ばねは軸方向に微少振動する
と同時に、軸と直角な軸まわりに微少回転を伴なう曲げ
振動する。このため微少回動方向に二重管3の重心移動
が生ずる。When the inner tube 4 and the outer tube 5 constituting the double tube 3 are driven by resonance, the connecting blocks 6a,
6b slightly vibrates in the axial direction according to the drive amplitude. if,
When the supporting direction of the double tube 3 with respect to the outer casing 1 by the leaf spring is set to the direction of resonance drive, the leaf spring vibrates minutely in the axial direction, and at the same time, bends and vibrates around the axis perpendicular to the axis with slight rotation. . For this reason, the center of gravity of the double pipe 3 moves in the minute rotation direction.
【0026】これに対し、図1に示した板ばね8a,8
bおよび8c,8dのように共振駆動方向と直角方向に
支持すると、面方向の曲げ剛性が大きいので、板ばね8
a,8bおよび8c,8dは二重管3の振動に伴なう微
少な捩り振動するだけで、振動方向の変位はなく二重管
3は安定して支持される。On the other hand, the leaf springs 8a, 8 shown in FIG.
When supported in the direction perpendicular to the resonance drive direction as in b and 8c, 8d, the plate spring 8
The a, 8b and 8c, 8d undergo only slight torsional vibration accompanying the vibration of the double pipe 3, and there is no displacement in the vibration direction, and the double pipe 3 is stably supported.
【0027】図1に示した実施例1のコリオリ流量計に
よれば、バランスウェイト7を有する二重管3を共振駆
動することにより直管式のもつ感度不良をなくし、高感
度に検出可能とするとともに、二重管3を、駆動方向に
平面で、駆動方向と直角な方向に延在する短柵形の板ば
ね8a,8bおよび8c,8dで弾性支持し、Oリング
11a,11bは流路2aと外筐1内をシールする作用
を与えただけであるから、Oリング11a,11bの弾
性係数の変化や経時変化することなく長期安定で温度や
圧力の影響を受けないコリオリ流量計を提供することが
できる。According to the Coriolis flowmeter of the first embodiment shown in FIG. 1, the double tube 3 having the balance weight 7 is driven in resonance, thereby eliminating the sensitivity defect of the straight tube type and enabling high sensitivity detection. At the same time, the double pipe 3 is elastically supported by short fence-shaped leaf springs 8a, 8b and 8c, 8d extending in a direction perpendicular to the driving direction in a plane in the driving direction, and the O-rings 11a, 11b Since only the action of sealing the path 2a and the inside of the outer casing 1 is provided, a Coriolis flowmeter which is stable for a long time and which is not affected by temperature or pressure without changing the elastic coefficients of the O-rings 11a and 11b or changing with time is used. Can be provided.
【0028】実施例2(請求項1、3に対応) 図2は、実施例2によるコリオリ流量計を説明するため
の図であり、図中、21は外筐、22は接続フランジ、
23は二重管、24は内側チューブ、25は外側チュー
ブ、26a,26bは連結ブロック、27はバランスウ
ェイト、28a,28bは可撓チューブ、29は駆動装
置、30a,30bはセンサである。Embodiment 2 (corresponding to claims 1 and 3) FIG. 2 is a view for explaining a Coriolis flowmeter according to Embodiment 2, in which 21 is an outer casing, 22 is a connection flange,
23 is a double tube, 24 is an inner tube, 25 is an outer tube, 26a and 26b are connection blocks, 27 is a balance weight, 28a and 28b are flexible tubes, 29 is a driving device, and 30a and 30b are sensors.
【0029】実施例2によるコリオリ流量計は、実施例
1と同様に、両端に接続フランジ22、22を有する空
室21aを有する筒状の外筐21内に、外筐21と同軸
に二重管23を配設したものである。二重管23も前記
二重管3と同様に内側チューブ24と外側チューブ25
とを連結ブロック26a,26bにより同軸に連結し
て、外側チューブ25の中央にバランスウェイト27を
固着して内側チューブ24の固有振動を等しくなるよう
に調整して駆動装置29により共振駆動し、センサ30
a,30bでコリオリの力に比例した位相差信号を検出
する機能を有している。The Coriolis flow meter according to the second embodiment is, like the first embodiment, provided in a cylindrical outer housing 21 having an empty space 21a having connection flanges 22 and 22 at both ends. A pipe 23 is provided. The double tube 23 has an inner tube 24 and an outer tube 25 similarly to the double tube 3.
Are connected coaxially by connecting blocks 26a, 26b, a balance weight 27 is fixed to the center of the outer tube 25, the natural vibration of the inner tube 24 is adjusted to be equal, and the drive device 29 drives the device in resonance, and the sensor is driven. 30
A and 30b have a function of detecting a phase difference signal proportional to the Coriolis force.
【0030】内側チューブ24は、外側チューブ25よ
り長尺で、連結ブロック26a,26bより接続フラン
ジ22側に突出して、突出した内側チューブ24の端部
にフレキシブルチューブ28a,28bの一端が同軸に
固着され、フレキシブルチューブ28a,28bの他端
側は、接続フランジ22、22の端部に固着される。二
重管23の連結ブロック26a,26bから突出した内
側チューブ24およびフレキシブルチューブ28a,2
8bの部分を端面で接続フランジ22の端面に固着し外
筐21内に同軸に取り付けるために、接続フランジ2
2、22から空室21cに連通する空孔22bが穿設さ
れている。The inner tube 24 is longer than the outer tube 25 and protrudes from the connection blocks 26a and 26b toward the connection flange 22. One ends of the flexible tubes 28a and 28b are coaxially fixed to the protruding ends of the inner tube 24. The other ends of the flexible tubes 28a, 28b are fixed to the ends of the connection flanges 22, 22, respectively. Inner tube 24 and flexible tubes 28a, 2 projecting from connecting blocks 26a, 26b of double tube 23
8b is fixed to the end face of the connection flange 22 at the end face and coaxially mounted in the outer casing 21.
A hole 22b communicating with the vacant room 21c from the second and second holes 22 is formed.
【0031】フレキシブルチューブ28a,28bは、
例えば、厚肉金属製のベローズで具現され、軸方向には
伸縮するが、通常のベローズと異なり曲げ剛性が大きい
ベローズであり曲がりにくくなっている。このようなフ
レキシブルチューブ28a,28bは、厚肉金属による
ベローズにより得られる。The flexible tubes 28a and 28b are
For example, it is embodied by a thick metal bellows and expands and contracts in the axial direction, but unlike ordinary bellows, has a large bending rigidity and is hard to bend. Such flexible tubes 28a and 28b are obtained by bellows made of a thick metal.
【0032】実施例2によるコリオリ流量計によれば、
実施例1と同様に二重管の支持点が安定し、被測流体の
温度や圧力に影響されず、質量流量又は密度を計測可能
なコリオリ流量計を提供できる。According to the Coriolis flow meter according to the second embodiment,
As in the first embodiment, a Coriolis flowmeter capable of measuring the mass flow rate or the density without being affected by the temperature or pressure of the fluid to be measured can be provided.
【0033】実施例3(請求項1、4に対応) 図3は、実施例3によるコリオリ流量計を説明するため
の図であり、図3(a)は、図3(b)の矢視A−A線
断面図、図3(b)は図3(a)の矢視B−B線断面図
であり、図中、31は外筐、32は接続フランジ、33
は二重管、34は内側チューブ、35は外側チューブ、
36a,36bは連結ブロック、37はバランスウェイ
ト、38a,38b,38c,38dは板ばね、39は
駆動装置、40a,40bはセンサ、41はフレキシブ
ルチューブである。Third Embodiment (corresponding to Claims 1 and 4) FIG. 3 is a view for explaining a Coriolis flowmeter according to a third embodiment, and FIG. 3 (a) is viewed from an arrow in FIG. 3 (b). FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 3A, where 31 is an outer casing, 32 is a connection flange, 33
Is a double tube, 34 is an inner tube, 35 is an outer tube,
36a and 36b are connection blocks, 37 is a balance weight, 38a, 38b, 38c and 38d are leaf springs, 39 is a drive device, 40a and 40b are sensors, and 41 is a flexible tube.
【0034】図3に示した実施例3によるコリオリ流量
計は、実施例1,2と同様な、両端に接続フランジ3
2、32を有する筒状の外筐31内に、外筐31と同軸
に二重管33を、軸方向に移動可能で、半径方向への移
動を拘束されて支持する、二重管33の支持構造を有し
ている。The Coriolis flow meter according to the third embodiment shown in FIG. 3 has the same connection flanges 3 at both ends as in the first and second embodiments.
In a cylindrical outer casing 31 having two and 32, a double pipe 33 coaxial with the outer casing 31 is supported, which is movable in the axial direction and is restrained from moving in the radial direction. It has a support structure.
【0035】二重管33には、バランスウェイト37と
駆動装置39およびセンサ40a,40bが取り付けら
れているが、これらは、実施例2,3と同様な作用をも
っているので、ここでは説明を省く。The double pipe 33 is provided with a balance weight 37, a driving device 39, and sensors 40a and 40b, which have the same functions as those of the second and third embodiments, and therefore will not be described here. .
【0036】連結ブロック36a,36bにより同軸に
固着された二重管33は、共振駆動される振動方向に平
行な面で、振動と直角な半径方向に延在する短柵状の板
ばね38a,38bおよび38c,38dにより外筐3
1に支持され、更に、外側チューブ35よりも長尺で連
結ブロック36a,36bより接続フランジ32の方向
に突出した内側チューブ34の端部に、ベローズ等のフ
レキシブルチューブ41a,41bの一端を固着し、フ
レキシブルチューブ41a,41bの他端を接続フラン
ジ32に穿孔された空孔32a端部に固着されている。The double pipe 33 coaxially fixed by the connecting blocks 36a and 36b is a short fence-shaped leaf spring 38a, which extends in a radial direction perpendicular to the vibration on a plane parallel to the vibration direction driven by resonance. 38b and 38c, 38d make the outer casing 3
Further, one ends of flexible tubes 41a and 41b such as bellows are fixed to ends of the inner tube 34 which is longer than the outer tube 35 and is longer than the outer tube 35 and protrudes from the connection blocks 36a and 36b toward the connection flange 32. The other ends of the flexible tubes 41a and 41b are fixed to ends of holes 32a formed in the connection flange 32.
【0037】板ばね38a,38bおよび38c,38
dは、実施例1に示した板ばね8a,8bおよび8c,
8dと同様な短柵状の平板で振動方向と平行な面で、振
動方向と直角な半径方向に延在するように配設され、両
端が連結ブロック36a,36bと外筐1とに固着され
ている。The leaf springs 38a, 38b and 38c, 38
d is the leaf springs 8a, 8b and 8c shown in the first embodiment,
A short fence-shaped flat plate similar to 8d is disposed so as to extend in a radial direction perpendicular to the vibration direction on a plane parallel to the vibration direction, and both ends are fixed to the connection blocks 36a and 36b and the outer casing 1. ing.
【0038】駆動装置39により二重管33が共振駆動
されたとき、板ばね38a,38bおよび38c,38
dは、二重管33の振動に伴なう微少な捩り振動と軸方
向の微少振動を生ずるが、この微少振動はフレキシブル
チューブ41a,41bで吸収され、板ばね38a,3
8bおよび38c,38dの面方向の剛性が大きいので
重心移動を伴なう二重管33の振動は発生しない。When the double pipe 33 is driven by resonance by the driving device 39, the leaf springs 38a, 38b and 38c, 38
d generates a small torsional vibration and a small vibration in the axial direction accompanying the vibration of the double pipe 33, and the fine vibration is absorbed by the flexible tubes 41a and 41b, and the leaf springs 38a and 3b.
Since the rigidity of the planes 8b, 38c and 38d in the plane direction is large, the vibration of the double pipe 33 accompanying the movement of the center of gravity does not occur.
【0039】また、熱膨張による二重管33と外筐31
との相対変位も、振動モードに悪影響を及ぼすことなく
吸収することができる。Further, the double tube 33 and the outer casing 31 due to thermal expansion are provided.
Can be absorbed without adversely affecting the vibration mode.
【0040】実施例4(請求項1、5に対応) 図4は、実施例4によるコリオリ流量計を説明するため
の図であり、図中、51は外筐、52は接続フランジ、
53は二重管、54は内側チューブ、55は外側チュー
ブ、56a,56bは連結ブロック、57はバランスウ
ェイト、58a,58bはノズル管部、59は駆動装
置、60a,60bはセンサである。Embodiment 4 (corresponding to claims 1 and 5) FIG. 4 is a view for explaining a Coriolis flowmeter according to embodiment 4, in which 51 is an outer casing, 52 is a connection flange,
53 is a double tube, 54 is an inner tube, 55 is an outer tube, 56a and 56b are connection blocks, 57 is a balance weight, 58a and 58b are nozzle tube parts, 59 is a driving device, and 60a and 60b are sensors.
【0041】両端に接続フランジ52を有する筒状の外
筐51およびバランスウェイト57、駆動装置59およ
びセンサ60a,60bを有する二重管53の構造は、
図1に示した外筒1と二重管3と同様であり、外筐51
と二重管53の説明は省く。The structure of a cylindrical outer casing 51 having connection flanges 52 at both ends and a balance weight 57, a double pipe 53 having a driving device 59 and sensors 60a and 60b are as follows.
The outer casing 1 and the double pipe 3 shown in FIG.
The description of the double tube 53 will be omitted.
【0042】内側チューブ54の両端は連結ブロック5
6a,56bより接続フランジ52側に突出して突出さ
れた両端には一端が内側チューブ54と同径で他端に向
けて拡大される各々ノズル管部58a,58bが接続さ
れ、拡大端部は、接続フランジ52、52を貫通した空
孔52bに配設された異径円孔によるエッジ部52aに
固着される。なお、ノズル管部58a,58bは、内側
チューブ54と一体で、端部をテーパ状に拡大したもの
でもよい。Both ends of the inner tube 54 are connected to the connecting block 5.
Nozzle tube portions 58a and 58b are connected to both ends protruding toward the connection flange 52 side from 6a and 56b and having one end having the same diameter as the inner tube 54 and expanded toward the other end. The connection flanges 52 are fixed to the edge portion 52a by the different diameter circular holes provided in the holes 52b penetrating the 52. The nozzle tube portions 58a and 58b may be formed integrally with the inner tube 54 and have an enlarged end portion in a tapered shape.
【0043】ノズル管部58a,58bは、半径方向に
剛性が大きく、軸方向に弾性変形し易く可撓性があるの
で、二重管53は、内側チューブ54の両端部にノズル
管部58a,58bを配設したという簡単な構造で、軸
方向に移動可能で半径方向に変位しにくいコリオリ流量
計とすることができる。Since the nozzle tubes 58a and 58b have high rigidity in the radial direction, are easily elastically deformed in the axial direction, and are flexible, the double tube 53 is provided at both ends of the inner tube 54 with the nozzle tubes 58a and 58b. With a simple structure in which the 58b is provided, a Coriolis flowmeter that can move in the axial direction and is hardly displaced in the radial direction can be provided.
【0044】[0044]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
による二重直管式のコリオリ流量計によれば、以下の効
果がある。 請求項1に対応する効果:測定管を一本の直管とした内
側チューブと、内側チューブに両端が固着された外側チ
ューブとからなる二重管を外側チューブにバランスウェ
イトを固着することにより共振駆動可能とし、外筐内に
軸方向に移動可能で半径方向への移動が拘束されるよう
に構成したので、支持点が安定し、被測流体の温度や圧
力に影響されない安定した質量流量および密度を計測す
ることができる。また、測定管が一本の内側チューブで
あるから測定管内に被測流体の滞留がなく、メンテナン
スが容易となり、更に、被測流体が直線方向に流れるの
でキャビテーションが発生しなく、且つ共振駆動したの
で小さい駆動エネルギでも高感度とすることができる。 請求項2に対応する効果:二重管の両端を振動と直角な
半径方向に延在し、振動と平行な面を有する短柵形の板
ばねで支持したので請求項1と同様の効果が得られる。 請求項3に対応する効果:二重管の内側チューブの両端
を外側に突出して、突出した端部にフレキシブルチュー
ブを取り付けたので、振動する二重管の支持点が安定
し、被測流体の温度や圧力に影響されないコリオリ流量
計を提供することができる。 請求項4に対応する効果:外筐内に、請求項1に記載し
た板ばねと請求項3に記載したフレキシブルチューブで
二重管を支持したので、請求項2,3と同様の効果があ
る。 請求項5に対応する効果:二重管の内側チューブを連結
ブロックの外部に突出させて突出した端部を外に拡がる
ノズル管とし、拡がり部分を接続フランジ内に固着する
という簡単な構造により、請求項1と同様な効果が得ら
れる。As is apparent from the above description, the double straight pipe type Coriolis flow meter according to the present invention has the following effects. Advantageous Effect According to Claim 1: Resonance is achieved by fixing a balance weight to the outer tube of a double tube comprising an inner tube having a single straight measuring tube and an outer tube having both ends fixed to the inner tube. It is drivable, and it is constructed so that it can move in the axial direction inside the outer casing and is constrained from moving in the radial direction, so the support point is stable, and stable mass flow rate and unaffected by the temperature and pressure of the fluid to be measured Density can be measured. In addition, since the measurement tube is a single inner tube, there is no stagnation of the fluid to be measured in the measurement tube, maintenance is easy, and cavitation does not occur because the fluid to be measured flows in a linear direction, and resonance driving is performed. Therefore, high sensitivity can be obtained even with a small driving energy. Advantageous Effect Corresponding to Claim 2: Since both ends of the double pipe extend in the radial direction perpendicular to the vibration and are supported by a short fence-shaped leaf spring having a surface parallel to the vibration, the same effect as in Claim 1 can be obtained. can get. According to the third aspect of the present invention, since both ends of the inner tube of the double pipe are projected outward and the flexible tube is attached to the protruding end, the supporting point of the vibrating double pipe is stabilized, and the fluid to be measured is A Coriolis flowmeter that is not affected by temperature or pressure can be provided. Advantageous Effect Corresponding to Claim 4: Since the double tube is supported in the outer casing by the leaf spring described in Claim 1 and the flexible tube described in Claim 3, the same effects as in Claims 2 and 3 are obtained. . Advantageous effect according to claim 5: With a simple structure in which the inner tube of the double tube is protruded to the outside of the connection block and the protruding end is formed as a nozzle tube which expands outward, and the expanded portion is fixed in the connection flange. The same effect as the first aspect is obtained.
【図1】 本発明によるコリオリ流量計の実施例1を説
明するための図である。FIG. 1 is a diagram for explaining a Coriolis flow meter according to a first embodiment of the present invention.
【図2】 実施例2によるコリオリ流量計を説明するた
めの図である。FIG. 2 is a diagram for explaining a Coriolis flow meter according to a second embodiment.
【図3】 実施例3によるコリオリ流量計を説明するた
めの図である。FIG. 3 is a diagram for explaining a Coriolis flowmeter according to a third embodiment.
【図4】 実施例4によるコリオリ流量計を説明するた
めの図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a Coriolis flowmeter according to a fourth embodiment.
【図5】 従来のコリオリ流量計の流れ方向の断面図で
ある。FIG. 5 is a sectional view of a conventional Coriolis flow meter in a flow direction.
1…外筐、2…接続フランジ、3…二重管、4…内側チ
ューブ、5…外側チューブ、6a,6b…連結ブロッ
ク、7…バランスウェイト、8a,8b,8c,8d…
板ばね、9…駆動装置、10a,10b…センサ、11
a,11b…Oリング、21…外筐、22…接続フラン
ジ、23…二重管、24…内側チューブ、25…外側チ
ューブ、26a,26b…連結ブロック、27…バラン
スウェイト、28a,28b…可撓チューブ、29…駆
動装置、30a,30b…センサ、31…外筐、32…
接続フランジ、33…二重管、34…内側チューブ、3
5…外側チューブ、36a,36b…連結ブロック、3
7…バランスウェイト、38a,38b,38c,38
d…板ばね、39…駆動装置、40a,40b…セン
サ、41…フレキシブルチューブ、51…外筐、52…
接続フランジ、53…二重管、54…内側チューブ、5
5…外側チューブ、56a,56b…連結ブロック、5
7…バランスウェイト、58a,58b…ノズル管部、
59…駆動装置、60a,60b…センサ。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Outer housing, 2 ... Connection flange, 3 ... Double tube, 4 ... Inner tube, 5 ... Outer tube, 6a, 6b ... Connection block, 7 ... Balance weight, 8a, 8b, 8c, 8d ...
Leaf spring, 9 ... Drive device, 10a, 10b ... Sensor, 11
a, 11b O-ring, 21 outer casing, 22 connecting flange, 23 double pipe, 24 inner tube, 25 outer tube, 26a, 26b connecting block, 27 balance weight, 28a, 28b possible Flexible tube, 29 ... Drive device, 30a, 30b ... Sensor, 31 ... Outer casing, 32 ...
Connection flange, 33: double tube, 34: inner tube, 3
5 ... outer tube, 36a, 36b ... connecting block, 3
7. Balance weight, 38a, 38b, 38c, 38
d: leaf spring, 39: drive device, 40a, 40b: sensor, 41: flexible tube, 51: outer casing, 52:
Connection flange, 53: double tube, 54: inner tube, 5
5 ... outer tube, 56a, 56b ... connecting block, 5
7 ... balance weight, 58a, 58b ... nozzle tube,
59: drive device, 60a, 60b: sensor.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松岡 健一 東京都新宿区上落合3丁目10番8号 株 式会社オーバル内 (72)発明者 一瀬 公宏 東京都新宿区上落合3丁目10番8号 株 式会社オーバル内 (56)参考文献 特開 平5−248913(JP,A) 特開 平6−94501(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01F 1/84──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Kenichi Matsuoka 3-10-8 Kamiochiai, Shinjuku-ku, Tokyo Inside the oval company (72) Inventor Kimihiro Ichinose 3-108 Kamiochiai, Shinjuku-ku, Tokyo (56) References JP-A-5-248913 (JP, A) JP-A-6-94501 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G01F 1/84
Claims (5)
外筐と、該外筐内に、半径方向の移動が拘束され、軸方
向の移動が可能に配設された直管状の同軸な二重管で、
前記接続フランジを介して被測流体が流れる内側チュー
ブと、該内側チューブに両端が固着された外側チューブ
と、該外側チューブに固着された重錘で、該外側チュー
ブの横固有振動数を前記内側チューブの横固有振動数と
等しくするためのバランスウェイトと、前記内側チュー
ブと外側チューブとを共振駆動する駆動装置と、前記共
振駆動により前記内側チューブに作用するコリオリの力
に比例した位相差を検出するセンサとからなることを特
徴とするコリオリ流量計。1. A hollow cylindrical outer casing having connection flanges at both ends, and a straight tubular coaxial two-piece, which is constrained in the outer casing to be movable in the radial direction and is movable in the axial direction. With heavy pipes,
An inner tube through which the fluid to be measured flows through the connection flange, an outer tube having both ends fixed to the inner tube, and a weight fixed to the outer tube, the lateral natural frequency of the outer tube being set to the inner side. A balance weight for equalizing the lateral natural frequency of the tube, a drive device for driving the inner tube and the outer tube in resonance, and detecting a phase difference proportional to Coriolis force acting on the inner tube by the resonance drive. A Coriolis flowmeter characterized by comprising a sensor that performs measurement.
節部において、支持面が振動方向に平行し、振動と直角
な半径方向に延在する短柵状の板ばねで支持したことを
特徴とした請求項1に記載のコリオリ流量計。2. A short fence-shaped leaf spring in which the outer casing and the double pipe are supported at a vibrating node of the double pipe, with a support surface parallel to a vibration direction and extending in a radial direction perpendicular to the vibration. The Coriolis flowmeter according to claim 1, wherein the Coriolis flowmeter is supported by:
ジに開口する流路と前記内側チューブの端部において、
軸方向に伸縮可能で、軸と直角方向に大きい弾性力を有
するフレキシブルチューブにより接続したことを特徴と
する請求項1に記載のコリオリ流量計。3. The method according to claim 1, wherein the outer casing and the double pipe are connected to each other at a flow path opening to the connection flange and an end of the inner tube.
The Coriolis flowmeter according to claim 1, wherein the Coriolis flowmeter is connected by a flexible tube that can expand and contract in the axial direction and has a large elastic force in a direction perpendicular to the axis.
ジに開口する流路と前記内側チューブの端部において、
軸方向に伸縮可能なフレキシブルチューブで液密に接続
し、且つ、前記二重管の振動節部において、支持面が振
動方向に平行し、振動と直角な半径方向に延在する短柵
状の板ばねで支持したことを特徴とする請求項1に記載
のコリオリ流量計。4. The method according to claim 1, wherein the outer casing and the double pipe are provided at a flow path opening to the connection flange and at an end of the inner tube.
It is connected in a fluid-tight manner with a flexible tube that can expand and contract in the axial direction, and at the vibrating node portion of the double pipe, a support surface is parallel to the vibration direction and has a short fence shape extending in a radial direction perpendicular to the vibration. The Coriolis flowmeter according to claim 1, wherein the Coriolis flowmeter is supported by a leaf spring.
ブの固着部から該内側チューブを前記接続フランジ側に
延在し、延在した前記内側チューブの端部を前記接続フ
ランジ側に向けて拡がるノズル管とし、該ノズル管の外
周と前記接続フランジに開口する流路とを固着して前記
外筐と二重管とを接続したことを特徴とする請求項1に
記載のコリオリ流量計。5. The inner tube extends from the fixing portion of the inner tube and the outer tube of the double tube to the connection flange side, and the extended end of the inner tube extends toward the connection flange side. The Coriolis flowmeter according to claim 1, wherein the outer casing and the double pipe are connected by fixing the outer circumference of the nozzle pipe and a flow path opened to the connection flange, as a nozzle pipe.
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1994
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1995
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