JP2776681B2 - Flow sensor device - Google Patents
Flow sensor deviceInfo
- Publication number
- JP2776681B2 JP2776681B2 JP4065160A JP6516092A JP2776681B2 JP 2776681 B2 JP2776681 B2 JP 2776681B2 JP 4065160 A JP4065160 A JP 4065160A JP 6516092 A JP6516092 A JP 6516092A JP 2776681 B2 JP2776681 B2 JP 2776681B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- current
- resistor
- temperature
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、流体の流量を測定する
流量センサ装置に関するもので、特に圧縮空気の流量セ
ンサ装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow sensor for measuring the flow rate of a fluid, and more particularly to a flow sensor for compressed air.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、圧縮空気用の流量センサ装置とし
て差圧式及び面積式の流量センサ装置が一般的に使用さ
れていた。しかしながら、差圧式は流量の他に圧力と温
度を検出し、それらによって流量補正を行う必要があ
る。同様に面積式では温度と圧力の範囲が限られており
汎用性がない。又、圧力、温度が変化した時には補正を
行う必要があり不便である。2. Description of the Related Art Conventionally, differential pressure type and area type flow rate sensor devices have been generally used as flow sensor devices for compressed air. However, in the differential pressure type, it is necessary to detect pressure and temperature in addition to the flow rate, and to correct the flow rate based on the detected pressure and temperature. Similarly, in the area formula, the range of temperature and pressure is limited, and there is no versatility. Further, when the pressure and the temperature change, it is necessary to perform the correction, which is inconvenient.
【0003】このため質量流量を測定するために、原理
的に圧力補正が不要な熱線式の流量センサが提案されて
いる。この熱線式流量センサはマイコン等で簡単に温度
補正が可能であり、配管に接続するだけで簡単に測定が
できる特徴を有している。[0003] Therefore, in order to measure the mass flow rate, a hot wire type flow sensor which does not require pressure correction in principle has been proposed. This hot wire type flow sensor has a feature that the temperature can be easily corrected by a microcomputer or the like, and the measurement can be performed simply by connecting to a pipe.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところが、熱線式で
は、そのセンサ部分を常時一定温度に保つ構造になって
おり、水滴が付着して温度が下がった場合には、加熱用
の電流を増加して温度を復帰させるようになっている。
通常の大気圧用のセンサでは発熱部に水滴が付着しても
蒸発温度が100°Cであるため、センサ部の水滴は一
瞬に蒸発し発熱部に過大な電流が流れる時間が短い。し
かし、圧縮空気中においては水の蒸発温度が高くなり、
付着した水滴の蒸発に時間がかかる。従って、センサの
発熱部に過大な電流が流れる時間が長くなりセンサの破
壊につながるという問題があった。However, in the hot-wire system, the sensor portion is always kept at a constant temperature. When the temperature drops due to the attachment of water droplets, the heating current is increased. To restore the temperature.
In a normal atmospheric pressure sensor, the evaporation temperature is 100 ° C. even if water droplets adhere to the heat generating portion, so that the water droplets in the sensor portion evaporate instantaneously, and the time during which an excessive current flows through the heat generating portion is short. However, in compressed air, the water evaporation temperature increases,
It takes time to evaporate the attached water droplets. Therefore, there has been a problem that the time during which an excessive current flows through the heat-generating portion of the sensor is prolonged, leading to destruction of the sensor.
【0005】本発明は上記従来技術に存在する問題点に
着目してなされたものであって、その目的とするところ
は、センサの発熱部に水滴が付着しても破損しない信頼
性の高い流量センサ装置を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the problems existing in the prior art described above, and has as its object to provide a highly reliable flow rate which is not damaged even if water droplets adhere to the heat generating portion of the sensor. It is to provide a sensor device.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に記載の発明では温度変化によって抵抗値
が変化する抵抗体と、該抵抗体を加熱するヒータからな
る流速検出センサと、前記流速検出センサとともに同一
流体通路内に配置され、温度変化によって抵抗値が変化
する抵抗体からなる流体温度検出センサと、前記流速検
出センサの抵抗体と流体温度検出センサの抵抗体とでブ
リッジを構成し、前記流速検出センサの抵抗体を一定温
度にするため同抵抗体を前記ヒータで加熱すべく前記ブ
リッジの出力をフィードバックして前記ヒータに流れる
電流を制御する定温度回路とを備え、更に、前記ヒータ
への過剰電流を一定時間制限する電流リミッタと、その
電流リミッタの作動が一定時間以上継続したことを判断
する判断手段と、その判断に基づいて電流リミッタへの
電流をカットする駆動手段とを備えたことをその要旨と
している。In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, the resistance value is changed by a temperature change.
A resistor but which varies, the flow rate sensor comprising a heater for heating the resistive element antibodies, are arranged together with the flow velocity sensor in the same fluid passage, the resistance value varies with temperature change
A bridge is formed by a fluid temperature detection sensor composed of a resistor that changes the flow rate, a resistor of the flow velocity detection sensor and a resistor of the fluid temperature detection sensor, and the resistor of the flow velocity detection sensor is kept at a constant temperature.
The heater to heat the resistor with the heater.
Feedback the ridge output to the heater
A constant temperature circuit for controlling the current ; furthermore, a current limiter for limiting the excess current to the heater for a certain period of time, a judging means for judging that the operation of the current limiter has continued for a certain period of time or more, And a driving unit that cuts off the current to the current limiter based on the above.
【0007】請求項2に記載の発明では前記判断手段の
判断結果を表示する表示手段を設けたことをその要旨と
している。The gist of the present invention is that a display means for displaying a result of the judgment by the judgment means is provided.
【0008】[0008]
【作用】上記構成により、請求項1に記載の発明では、
例えば圧縮流体中で使用した場合、流速検出センサに水
滴が付着すると、流速検出センサの温度が下がりヒータ
にフィードバックされ加熱のために電流が流れる。この
電流がある一定量以上になると、電流リミッタが作動し
て電流を一定時間制限する。このため、ヒータに過大な
電流が流れることがなくなる。そして、この電流リミッ
タが数回、一定時間以上作動した場合、判断手段がそれ
を判断して駆動手段を駆動させて電流リミッタへの電流
をカットする。従って、電流リミッタが作動している内
に蒸発してしまうような量の水滴が付着した場合には、
流量測定は自動的に継続して行われる。又、水滴の量が
それより多量であるような異常な状態では、電流リミッ
タへの電流がカットされるため、流量測定が停止され
る。 According to the first aspect of the present invention ,
For example, when used in a compressed fluid, if water droplets adhere to the flow velocity detection sensor, the temperature of the flow velocity detection sensor decreases and is fed back to the heater, causing a current to flow for heating. When this current exceeds a certain amount, a current limiter operates to limit the current for a certain time. For this reason, excessive heater
No current flows. When the current limiter has been operated several times or more for a certain period of time, the judging means judges this and drives the driving means to cut off the current to the current limiter. Therefore, while the current limiter is operating,
If the amount of water droplets that evaporates on
The flow measurement is performed automatically and continuously. Also, the amount of water drops
Under abnormal conditions, such as a larger amount, the current limit
Flow measurement is stopped because the current to the
You.
【0009】請求項2に記載の発明では、前記判断手段
が電流リミッタへの電流をカットすると判断した場合、
その結果を表示手段に表示して異常を知らせる。In the invention according to claim 2, when the determination means determines that the current to the current limiter is cut,
The result is displayed on the display means to notify the abnormality.
【0010】[0010]
【実施例】以下に本発明を具体化した実施例について図
1〜図7に従って説明する。図1に示すように、流速検
出センサ1及び流体温度検出センサ2は圧縮空気の流路
中に配設されている。流体温度検出センサ2の詳しい構
造は図2の断面図に示すように、セラミック基盤3上に
白金薄膜抵抗体4が固定され、基盤端部に配置された銀
電極5に電気的に接続されている。この銀電極5には金
メッキ処理したリード6が溶接により接合されている。
又、その溶接部には補強剤としてガラスコーティング7
がなされている。同様に、センサの抵抗体4の部分にも
絶縁、保護用のガラスコーティング8がなされている。
流速検出センサ1には低い抵抗値の抵抗体からなるヒー
タ9と、検出用の抵抗体10とを備えており、その他の
構成は流体温度検出センサ2と同様である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments embodying the present invention will be described below with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the flow velocity detecting sensor 1 and the fluid temperature detecting sensor 2 are disposed in a flow path of compressed air. As shown in the sectional view of FIG. 2, the detailed structure of the fluid temperature detection sensor 2 is such that a platinum thin film resistor 4 is fixed on a ceramic substrate 3 and is electrically connected to a silver electrode 5 arranged at an end of the substrate. I have. Gold-plated leads 6 are joined to the silver electrodes 5 by welding.
In addition, glass coating 7
Has been made. Similarly, a portion of the resistor 4 of the sensor is coated with a glass coating 8 for insulation and protection.
The flow velocity detection sensor 1 includes a heater 9 made of a resistor having a low resistance value and a detection resistor 10, and the other configuration is the same as that of the fluid temperature detection sensor 2.
【0011】流量センサ装置全体は図4及び図5に示す
ブロック図で構成されている。このセンサ部12は流体
通路11を備え、その両端はネジ13が切られており、
そこに直接配管を接続すればよいようにパッケージされ
ている。センサ部12は電流リミッタ14を備え、規定
以上の電流が流れた場合は、その電流をカットする働き
を持っている。一方、モニタ部15はLEDからなる表
示部16を備えており、判断手段であるマイコン17の
働きにより瞬時流量、積算流量あるいは流量のピーク値
等を切替えにより表示できる。又、100Vの交流電圧
を24V直流電圧に変換する電源18を備えている。こ
の電源18は駆動手段であるリレー19を介してセンサ
部12に接続されている。The entire flow sensor device is constituted by the block diagrams shown in FIGS. The sensor unit 12 has a fluid passage 11 and both ends thereof are threaded 13.
It is packaged so that the piping can be connected directly there. The sensor unit 12 includes a current limiter 14, and has a function of cutting the current when a current exceeding a specified value flows. On the other hand, the monitor unit 15 includes a display unit 16 composed of an LED, and can display the instantaneous flow rate, the integrated flow rate, the peak value of the flow rate, and the like by switching by the operation of the microcomputer 17 serving as the determination unit. Further, a power supply 18 for converting an AC voltage of 100 V into a DC voltage of 24 V is provided. The power supply 18 is connected to the sensor unit 12 via a relay 19 as a driving unit.
【0012】以上のように構成されたセンサにおいてそ
の作用を説明する。通常加熱された物体を流体中におく
と、流体中に伝達によって放散される熱量は次式で示さ
れるように、物体の表面と流体の温度差、流速の平方根
にほぼ比例する。The operation of the sensor configured as described above will be described. Normally, when a heated object is placed in a fluid, the amount of heat dissipated by transmission into the fluid is substantially proportional to the temperature difference between the surface of the object and the fluid and the square root of the flow velocity as shown in the following equation.
【0013】[0013]
【数式1】Q=(a+b・U1/2 )・(T−Ta ) ここでQは放散熱量、Uは流速、Tは物体の表面温度、
Ta は流体の温度、a、bは定数である。図3に示すよ
うに、定温度型熱線流量計の回路では流体温度検出セン
サ2の抵抗体4Rref 及び流速検出センサ1の抵抗体1
0Rsen とでブリッジを構成し、さらにアンプ20とを
組み合わせてフィードバックループにする。この回路で
は流速検出センサ1の抵抗体10Rsen が流体温度検出
センサ2の抵抗体4Rref より100°C高く、すなわ
ち、圧縮空気より100°C高くなるように設定されて
いる。流体による熱の放散により流速検出センサ1の抵
抗体10Rsen の温度を下げると、アンプ20の出力が
ヒータ9Rheatを電流Iで加熱し流速検出センサ1の抵
抗体10Rsen の温度を上昇させ再び平衡する。この時
の電力I2 ・Rheatが数式1のQに等しくなる。すなわ
ちヒータ9Rheatの両端に発生する電圧が流体の流量と
等価になりこの電圧を測定すれば流量を得ることにな
る。[Formula 1] Q = (a + b · U 1/2 ) · (T−T a ) where Q is the amount of heat dissipated, U is the flow velocity, T is the surface temperature of the object,
T a is the temperature of the fluid, a, b are constants. As shown in FIG. 3, in the circuit of the constant temperature type hot wire flow meter, the resistor 4R ref of the fluid temperature detection sensor 2 and the resistor 1
A bridge is formed with 0R sen and further combined with an amplifier 20 to form a feedback loop. In this circuit, the resistor 10R sen of the flow velocity detecting sensor 1 is set to be 100 ° C. higher than the resistor 4R ref of the fluid temperature detecting sensor 2, that is, 100 ° C. higher than the compressed air. When the temperature of the resistor 10R sen of the flow rate detection sensor 1 is reduced by the heat dissipation by the fluid, the output of the amplifier 20 heats the heater 9R heat with the current I to raise the temperature of the resistor 10R sen of the flow rate detection sensor 1 again. Equilibrate. The power I 2 · R heat at this time becomes equal to Q in Equation 1. That is, the voltage generated at both ends of the heater 9R heat is equivalent to the flow rate of the fluid, and if this voltage is measured, the flow rate can be obtained.
【0014】続いて、圧縮空気用流量センサ装置の流量
と電力との関係を図7に示す。通常、空気圧システムに
おいて、流量センサは使用するコンプレッサの容量に合
わせたセンサを用いる。従って、センサ自体に定格流量
以上の流体が流れることは少ない。そこで電流リミッタ
14は定格流量の1.5倍程度に設定している。流速検
出センサ1全体に水滴が付着した場合、水の蒸発熱によ
り、定格流量が流れた時よりも一桁以上大きい電流が流
れ込むことになる。(実際には電流リミッタがあるため
電流値は制限される)又、水滴が蒸発するためにはある
程度(5〜10秒)の時間を必要とする。FIG. 7 shows the relationship between the flow rate and the power of the compressed air flow rate sensor device. Normally, in a pneumatic system, a flow sensor uses a sensor corresponding to the capacity of a compressor to be used. Therefore, it is unlikely that fluid exceeding the rated flow rate flows through the sensor itself. Therefore, the current limiter 14 is set to about 1.5 times the rated flow rate. When water droplets adhere to the entire flow velocity detection sensor 1, a current larger by one digit or more than when the rated flow rate flows flows due to heat of evaporation of water. (Actually, the current value is limited because of the current limiter.) In addition, a certain amount of time (5 to 10 seconds) is required for the water droplet to evaporate.
【0015】上述の前提を基に、前記回路を利用した流
量計において水滴の付着から流速検出センサ1を保護す
る機能について説明する。図5に示す電流リミッタ14
は次のように作動する。流速検出センサ1の抵抗体10
Rsen に印加される電圧は小さな水滴が一時的に空気流
に混入したような場合、図6の(a)に示すように、冷
えた抵抗体10を加熱しようと一瞬上昇するが、規定以
上の電流が流れると電流リミッタ14の働きにより印加
電圧はほぼ時間t1 だけゼロとなる。その後リミッタ1
4は解除されるが、その間に水滴は蒸発され電圧は正常
時の値に復帰する。次に、水滴が比較的多い場合には図
6の(b)に示すように、先程と同様に電圧は一瞬上昇
してリミッタ14の働きにより、印加電圧はゼロにな
る。その後t1 後に電圧は復帰されるが、水滴が多いた
め全部が蒸発されずに残っている。従って、復帰した電
圧は再び正常値より上昇し電流リミッタ14によって再
びカットされる。この繰り返しが時間t2 以上経過した
場合は判断手段であるマイコン17がそれを判断して、
駆動手段であるリレー19を作動させてセンサ部12へ
の電源回路を遮断する。そして、この電源18の遮断状
態を表示部16に表示してその異常を知らせる。しばら
くして、流速検出センサ1に付着した水滴が蒸発したと
判断したら作業者によって再び復帰される。Based on the above assumptions, the function of protecting the flow velocity detecting sensor 1 from the adhesion of water droplets in a flow meter using the above circuit will be described. Current limiter 14 shown in FIG.
Works as follows. Resistor 10 of flow velocity detection sensor 1
The voltage applied to R sen rises momentarily to heat the cooled resistor 10 as shown in FIG. 6 (a) when small water droplets are temporarily mixed into the airflow, but exceeds the specified value. When the current flows, the applied voltage becomes almost zero for the time t 1 by the function of the current limiter 14. Then limiter 1
4 is released, during which time the water droplet evaporates and the voltage returns to the normal value. Next, when the number of water droplets is relatively large, as shown in FIG. 6B, the voltage rises momentarily and the applied voltage becomes zero by the function of the limiter 14, as in the previous case. Thereafter, the voltage is restored after t 1 , but all remain without being evaporated because there are many water drops. Therefore, the restored voltage rises again from the normal value and is cut again by the current limiter 14. When this repetition has elapsed for time t 2 or more, the microcomputer 17 which is a determining means determines this, and
The power supply circuit to the sensor section 12 is cut off by operating the relay 19 as the driving means. Then, the power-off state of the power supply 18 is displayed on the display unit 16 to notify the abnormality. After a while, when it is determined that the water droplets attached to the flow velocity detecting sensor 1 have evaporated, the worker returns again.
【0016】従って、流速検出センサ1に多量な水滴が
付着した場合、電源18を遮断するためリミッタ14が
長い時間働くことがなく流速検出センサ1の破損を避け
ることができる。又、その異常を表示によって知ること
ができ、異常に対する処置をタイムリーに行うことがで
きる。Therefore, when a large amount of water droplets adhere to the flow velocity detection sensor 1, the power supply 18 is shut off, so that the limiter 14 does not work for a long time, and damage to the flow velocity detection sensor 1 can be avoided. In addition, the abnormality can be known by the display, and a measure for the abnormality can be performed in a timely manner.
【0017】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で次に示す態
様等で具体化することも可能である。 (1)上記実施例では電流リミッタの作動繰り返しが時
間t2 以上経過した場合は判断手段であるマイコン17
がそれを判断して、駆動手段であるリレー19を作動さ
せてセンサ部12への電源回路を遮断するが、電流リミ
ッタの作動回数によって判断する構成とすること。The present invention is not limited to the above embodiment, but may be embodied in the following modes without departing from the spirit of the invention. (1) The microcomputer 17 in the above embodiment is a determining means if the operation repetition of current limiter has elapsed t 2 or more
Then, the power supply circuit to the sensor section 12 is cut off by operating the relay 19 as the driving means, and the determination is made based on the number of times the current limiter is operated.
【0018】(2)前記繰り返しの時間t2 を流体の温
度、あるいは流速に応じて可変にすること。(2) The repetition time t 2 is made variable according to the fluid temperature or the flow velocity.
【0019】[0019]
【発明の効果】請求項1に記載の発明によれば、例えば
圧縮流体中で使用した場合に、流速検出センサに水滴が
付着してもヒータに過大な電流が流れることがなく、そ
のセンサの破損を防止することができる。又、電流リミ
ッタが作動している内に蒸発してしまうような量の水滴
が付着した場合には、流量測定は自動的に継続して行う
ことができ、水滴の量がそれより多量であるような異常
な状態では、流量測定を停止することができる。 According to the first aspect of the present invention, for example,
When used in compressed fluid, water droplets may
Even if it adheres, no excessive current will flow through the heater.
Of the sensor can be prevented. In addition, current limit
The amount of water that evaporates while the cutter is operating
If the adheres, the flow measurement is automatically continued.
Abnormalities such that the amount of water droplets is larger than that
In such a state, the flow measurement can be stopped.
【0020】請求項2に記載の発明によれば、加熱を中
止していることを表示でき、異常をタイムリーに知るこ
とができるという効果を奏する。According to the second aspect of the present invention, it is possible to display that the heating is stopped, and it is possible to know the abnormality in a timely manner.
【図1】本発明を具体化した流量センサ装置の構造を示
す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing the structure of a flow sensor device embodying the present invention.
【図2】流体温度検出センサを示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing a fluid temperature detection sensor.
【図3】流量センサ装置の定温度型回路図である。FIG. 3 is a constant temperature circuit diagram of the flow sensor device.
【図4】流量センサ装置の外観を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing the appearance of the flow sensor device.
【図5】流量センサ装置の概要を示すブロック図であ
る。FIG. 5 is a block diagram illustrating an outline of a flow sensor device.
【図6】電流リミッタの作動状態を示す特性図である。FIG. 6 is a characteristic diagram showing an operation state of a current limiter.
【図7】ヒータに流れる電流を示す特性図である。FIG. 7 is a characteristic diagram showing a current flowing through a heater.
1 流速検出センサ、2 流体温度検出センサ、4 抵
抗体、9 ヒータ、10 抵抗体、14 電流リミッ
タ、16 表示部、17 判断手段であるマイコン、1
9 駆動手段であるリレー。Reference Signs List 1 flow velocity detection sensor, 2 fluid temperature detection sensor, 4 resistor, 9 heater, 10 resistor, 14 current limiter, 16 display section, 17
9 Relay as driving means.
Claims (2)
体と、該抵抗体を加熱するヒータからなる流速検出セン
サと、 前記流速検出センサとともに同一流体通路内に配置さ
れ、温度変化によって抵抗値が変化する抵抗体からなる
流体温度検出センサと、 前記流速検出センサの抵抗体と流体温度検出センサの抵
抗体とでブリッジを構成し、前記流速検出センサの抵抗
体を一定温度にするため同抵抗体を前記ヒータで加熱す
べく前記ブリッジの出力をフィードバックして前記ヒー
タに流れる電流を制御する定温度回路とを備え、更に、 前記ヒータへの過剰電流を一定時間制限する電流
リミッタと、その電流リミッタの作動が一定時間以上継
続したことを判断する判断手段と、その判断に基づいて
電流リミッタへの電流をカットする駆動手段とを備えた
ことを特徴とする流量センサ装置。1. A resistor element whose resistance value with temperature variation changes, the flow rate sensor comprising a heater for heating the resistive element antibodies, are arranged with the same fluid passage wherein the flow velocity detecting sensor, the resistance value with temperature variation a fluid temperature detecting sensor consisting of varying resistors constitute a bridge between the resistor of the resistor and the fluid temperature detecting sensor of the velocity detection sensor, the resistance of the flow rate detection sensor
Heat the resistor with the heater to bring the body to a constant temperature.
Feedback the output of the bridge to
And a constant-temperature circuit for controlling a current flowing through the motor further includes a current limiter for a predetermined time limit excessive current to the heater, and determining means for determining that the operation of the current limiter has continued a predetermined time or more, And a driving means for cutting the current to the current limiter based on the determination.
手段を設けたことを特徴とする請求項1に記載の流量セ
ンサ装置。2. The flow sensor device according to claim 1, further comprising display means for displaying a result of the judgment by said judgment means.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4065160A JP2776681B2 (en) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | Flow sensor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4065160A JP2776681B2 (en) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | Flow sensor device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05264312A JPH05264312A (en) | 1993-10-12 |
JP2776681B2 true JP2776681B2 (en) | 1998-07-16 |
Family
ID=43004467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4065160A Expired - Fee Related JP2776681B2 (en) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | Flow sensor device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2776681B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3468727B2 (en) * | 1999-09-24 | 2003-11-17 | 株式会社日立製作所 | Thermal air flow meter |
JP2007309828A (en) * | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Ckd Corp | Sectional type thermal type flow meter |
JP5961592B2 (en) | 2013-08-06 | 2016-08-02 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | Thermal mass flow meter |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0623665B2 (en) * | 1985-02-20 | 1994-03-30 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | Flow sensor |
-
1992
- 1992-03-23 JP JP4065160A patent/JP2776681B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05264312A (en) | 1993-10-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3468727B2 (en) | Thermal air flow meter | |
JP5209232B2 (en) | Thermal flow meter | |
JP3343801B2 (en) | Humidity sensor | |
US5837884A (en) | Humidity sensor using temperature sensing resistor controlled to be at constant temperature of more than 150° C. | |
US7107835B2 (en) | Thermal mass flow sensor | |
EP1264160A2 (en) | Fluid flow sensing and control method and apparatus | |
WO1992014995A1 (en) | Temperature compensated liquid level and fluid flow sensor | |
JP2776681B2 (en) | Flow sensor device | |
JPS6150028A (en) | Solid-state type temperature measuring device for fluid and device utilizing said temperature measuring device | |
JPH01254825A (en) | Heat transmission measuring apparatus, especially flow measuring apparatus | |
US6973826B2 (en) | Heating resistance flow rate measuring apparatus | |
EP0219984B1 (en) | Flow sensing device | |
JP3527657B2 (en) | Flow sensor failure determination apparatus and method | |
JP2000171385A (en) | Air filter clogging detecting method | |
EP1703262A1 (en) | System and method for regulating bridge voltage in a intermittently heated hot-wire anemometer | |
JPH0717925Y2 (en) | Electric boiler with scale attachment detection mechanism | |
JP2004045408A (en) | Thermal air flowmeter | |
JPH06265565A (en) | Current speed detector for gas | |
US20040237643A1 (en) | Airspeed sensor and method for operating an airspeed sensor | |
JPH10281835A (en) | Current detector | |
JPH11148945A (en) | Flow velocity sensor and flow velocity-measuring apparatus | |
KR100244902B1 (en) | Air flow speed sensor element and its measurement circuit | |
JP3758031B2 (en) | Thermal flow meter | |
JP4154125B2 (en) | Thermal air flow meter | |
JP3274564B2 (en) | Gas flow meter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080501 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090501 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090501 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100501 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110501 Year of fee payment: 13 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |