JP2759934B2 - ガスレーザ装置におけるダスト除去装置 - Google Patents
ガスレーザ装置におけるダスト除去装置Info
- Publication number
- JP2759934B2 JP2759934B2 JP4264282A JP26428292A JP2759934B2 JP 2759934 B2 JP2759934 B2 JP 2759934B2 JP 4264282 A JP4264282 A JP 4264282A JP 26428292 A JP26428292 A JP 26428292A JP 2759934 B2 JP2759934 B2 JP 2759934B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- mirror
- baffle
- laser
- flange portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、炭酸ガスレーザやエキ
シマレーザ装置等のガスレーザ装置に関し、より詳しく
はそのレーザ発振器の光共振器を形成するフロントミラ
ー及びリアミラーの内側近傍に配設されるダスト除去装
置に関するものである。
シマレーザ装置等のガスレーザ装置に関し、より詳しく
はそのレーザ発振器の光共振器を形成するフロントミラ
ー及びリアミラーの内側近傍に配設されるダスト除去装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種のガスレーザ装置においては、製
作ないし点検時等に混入する塵や、レーザ発振時の放電
に基づく電極部の消耗により発生する微粒子等からなる
ダストがレーザチャンバ内を浮遊し、これが種々のトラ
ブルを誘引する原因となることがある。特に、レーザ発
振器の光共振器を形成しているフロントミラーないしリ
アミラーにこのダストが付着すると、その反射機能や透
過率が低下してやがて使用不能に至るといった問題があ
った。このため、従来からレーザガスの循環流中にダス
ト除去手段を配設したり（実公昭２−１７４９１号公
報、実開昭５９−１６９０５７号公報）、図４に示すよ
うに、ミラー１０１の内側近傍に配管１０２を介して図
示しないフィルタ等により浄化されたレーザガスを吹込
みその領域１０３の内圧を若干高めてダストの侵入を防
ぐ等の方策がとられている。
作ないし点検時等に混入する塵や、レーザ発振時の放電
に基づく電極部の消耗により発生する微粒子等からなる
ダストがレーザチャンバ内を浮遊し、これが種々のトラ
ブルを誘引する原因となることがある。特に、レーザ発
振器の光共振器を形成しているフロントミラーないしリ
アミラーにこのダストが付着すると、その反射機能や透
過率が低下してやがて使用不能に至るといった問題があ
った。このため、従来からレーザガスの循環流中にダス
ト除去手段を配設したり（実公昭２−１７４９１号公
報、実開昭５９−１６９０５７号公報）、図４に示すよ
うに、ミラー１０１の内側近傍に配管１０２を介して図
示しないフィルタ等により浄化されたレーザガスを吹込
みその領域１０３の内圧を若干高めてダストの侵入を防
ぐ等の方策がとられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来技術のうち前者のダスト除去手段は、最も問題の多い
電極部の放電に基づくダストのミラー内表面への付着防
止に対しては間接的に作用するだけで、その効用が不確
実であるとともに効率的でもなかった。この点、後者の
ダスト除去手段は相応の効用はあるものの、前記領域１
０３へ送風量は種々の制約からそれほど大きいものでは
なく、その気流にも渦流が生ずることがあり、しかも電
極部と各ミラーとは近接した位置関係に配設される関係
から、その電極部で発生したダストがその領域１０３内
に侵入することを完全に防ぐことは事実上困難であっ
た。
来技術のうち前者のダスト除去手段は、最も問題の多い
電極部の放電に基づくダストのミラー内表面への付着防
止に対しては間接的に作用するだけで、その効用が不確
実であるとともに効率的でもなかった。この点、後者の
ダスト除去手段は相応の効用はあるものの、前記領域１
０３へ送風量は種々の制約からそれほど大きいものでは
なく、その気流にも渦流が生ずることがあり、しかも電
極部と各ミラーとは近接した位置関係に配設される関係
から、その電極部で発生したダストがその領域１０３内
に侵入することを完全に防ぐことは事実上困難であっ
た。
【０００４】本発明は、このような事情の下でなされた
もので、簡単な構成により、特に電極部で発生したダス
トをミラーの内表面に到達する手前で捕捉し、そのミラ
ー内表面に対するダストの付着を低減し得るとともに、
捕捉されたダストの除去や部品交換時におけるダスト捕
捉部材の着脱作業が簡便で、しかも的確な装着状態が得
られるガスレーザ装置におけるダスト除去装置を提供す
ることを目的とするものである。
もので、簡単な構成により、特に電極部で発生したダス
トをミラーの内表面に到達する手前で捕捉し、そのミラ
ー内表面に対するダストの付着を低減し得るとともに、
捕捉されたダストの除去や部品交換時におけるダスト捕
捉部材の着脱作業が簡便で、しかも的確な装着状態が得
られるガスレーザ装置におけるダスト除去装置を提供す
ることを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、レーザ発振器の光共振器を形成するフロン
トミラーないしリアミラーの内側近傍に内表面にダスト
滞積用の凹凸が形成されたダスト捕捉用のバッフルを配
設し、かつ該ダスト捕捉用のバッフルの外側に磁石を付
設してダストを同バッフルに吸引捕捉し得るように構成
するとともに、前記バッフルにフランジ部を形成し、そ
のフランジ部をミラーハウジングとミラーホルダで挟持
することにより取外し可能に装着したことを特徴とす
る。
決するため、レーザ発振器の光共振器を形成するフロン
トミラーないしリアミラーの内側近傍に内表面にダスト
滞積用の凹凸が形成されたダスト捕捉用のバッフルを配
設し、かつ該ダスト捕捉用のバッフルの外側に磁石を付
設してダストを同バッフルに吸引捕捉し得るように構成
するとともに、前記バッフルにフランジ部を形成し、そ
のフランジ部をミラーハウジングとミラーホルダで挟持
することにより取外し可能に装着したことを特徴とす
る。
【０００６】
【作用】前記技術手段の採用により、電極部の放電で発
生したダストには多量の金属分が含有されているため、
フロントミラーないしリアミラーの内側近傍に侵入した
場合には、前記磁石の磁気作用により吸引され、前記ダ
スト捕捉用のバッフルに形成した凹凸の凹部に捕捉され
て滞積するので、前記ミラーの内表面に対する付着分を
低減させることができる。また、前記バッフルにフラン
ジ部を形成し、そのフランジ部をミラーハウジングとミ
ラーホルダで挟持することにより、取外し可能に装着す
るという構成を採用したので、その装着のための部品点
数が削減され、捕捉されたダストの除去や部品交換時に
おける、ダスト捕捉部材としての前記バッフルの着脱作
業がきわめて簡便になり、しかもフランジ部を介して的
確な装着状態が可能になる。
生したダストには多量の金属分が含有されているため、
フロントミラーないしリアミラーの内側近傍に侵入した
場合には、前記磁石の磁気作用により吸引され、前記ダ
スト捕捉用のバッフルに形成した凹凸の凹部に捕捉され
て滞積するので、前記ミラーの内表面に対する付着分を
低減させることができる。また、前記バッフルにフラン
ジ部を形成し、そのフランジ部をミラーハウジングとミ
ラーホルダで挟持することにより、取外し可能に装着す
るという構成を採用したので、その装着のための部品点
数が削減され、捕捉されたダストの除去や部品交換時に
おける、ダスト捕捉部材としての前記バッフルの着脱作
業がきわめて簡便になり、しかもフランジ部を介して的
確な装着状態が可能になる。
【０００７】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例に関して
説明する。図１は本発明の一実施例を示した全体構成図
である。図中、１はレーザチャンバで、該レーザチャン
バ１内に封入されたレーザガスは循環ファン２の送風作
用により電極３，３間を通過する経路上を循環する。
４，５はそれぞれフロントミラー部及びリアミラー部
で、この間に形成される光共振器内において、レーザガ
スが前記電極３，３により励起されてレーザ発振を継続
するのは一般のガスレーザ装置と同様である。６は前記
循環ファン２駆動用の接続部である。また、図中、７は
レーザガス給排用の管路系で、前記レーザチャンバ１に
接続され、必要に応じてこの管路系７を介してレーザガ
スの排気ないし補給が行われる。このレーザガス給排用
の管路系７中には、レーザガス中に含まれるダストを除
去するためのダスト除去機構８が配設され、給排切替用
のバルブ９に接続されている。このダスト除去機構８
は、レーザガスの給排時において、ダスト分がそれ自体
の慣性力によって直進する現象を利用してダストを捕捉
するもので、そのための直進通路及びその外側に付設さ
れた磁石からなるダスト捕捉部１０，１１が形成されて
いる。また、バルブ９は、レーザチャンバ１側の管路系
７を遮断状態あるいは管路１２ないし１３への連通状態
に切替えるためのもので、これにより、レーザチャンバ
１は、レーザガスの排気作業時には、図示しない吸引ポ
ンプ等に接続された管路１２側に、またレーザガスの補
給時には、図示しないレーザガスボンベ等に接続された
管路１３側に選択的に接続されることになる。
説明する。図１は本発明の一実施例を示した全体構成図
である。図中、１はレーザチャンバで、該レーザチャン
バ１内に封入されたレーザガスは循環ファン２の送風作
用により電極３，３間を通過する経路上を循環する。
４，５はそれぞれフロントミラー部及びリアミラー部
で、この間に形成される光共振器内において、レーザガ
スが前記電極３，３により励起されてレーザ発振を継続
するのは一般のガスレーザ装置と同様である。６は前記
循環ファン２駆動用の接続部である。また、図中、７は
レーザガス給排用の管路系で、前記レーザチャンバ１に
接続され、必要に応じてこの管路系７を介してレーザガ
スの排気ないし補給が行われる。このレーザガス給排用
の管路系７中には、レーザガス中に含まれるダストを除
去するためのダスト除去機構８が配設され、給排切替用
のバルブ９に接続されている。このダスト除去機構８
は、レーザガスの給排時において、ダスト分がそれ自体
の慣性力によって直進する現象を利用してダストを捕捉
するもので、そのための直進通路及びその外側に付設さ
れた磁石からなるダスト捕捉部１０，１１が形成されて
いる。また、バルブ９は、レーザチャンバ１側の管路系
７を遮断状態あるいは管路１２ないし１３への連通状態
に切替えるためのもので、これにより、レーザチャンバ
１は、レーザガスの排気作業時には、図示しない吸引ポ
ンプ等に接続された管路１２側に、またレーザガスの補
給時には、図示しないレーザガスボンベ等に接続された
管路１３側に選択的に接続されることになる。
【０００８】つぎに、図２及び図３に基づいて本発明の
特徴である前記フロントミラー部４ないしリアミラー部
５に配設されるダスト除去装置に関して説明する。図２
はミラー部の例としてフロントミラー部４を拡大して示
した縦断面図、図３はそのＸ−Ｘ断面図である。図中、
１４はフロントミラーで、ミラーハウジング１５を介し
てレーザチャンバ１を形成するチャンバ壁部１６に対し
て調整可能に支持されている。１７はフロントミラー１
４の内側近傍に配設されたダスト捕捉用のバッフルで、
内表面にはダスト滞積用の凹凸１８が形成されるととも
に、フランジ部１９を介してミラーハウジング１５に対
して取外し可能に装着されている。２０，２１はフロン
トミラー１４を挟持するミラーホルダで、内側に図示し
ないシムを介在してフロントミラー１４を両側から挟持
し、さらにボルト２２等の締付け手段を用いてミラーハ
ウジング１５のフランジ部２３に対して締付けることに
よってフロントミラー１４を固定する。その際、前記ダ
スト捕捉用のバッフル１７のフランジ部１９もミラーホ
ルダ２０とミラーハウジング１５のフランジ部２３との
間に同時に挟持されるため、該バッフル１７もミラーハ
ウジング１５に対して同時に固定される。さらに、この
ミラーハウジング１５の外周には、ダスト捕捉用のバッ
フル１７に対向して磁石が配設され、２４，２５はその
磁石の磁極、２６は磁気回路を形成するＵ字部である。
なお、図中、２７〜２９はミラーハウジング１５の壁部
１６に対する支持用ボルト、３０，３１はその支持状態
に関する微調整手段を示したものである。以上において
は、フロントミラー部４を中心に説明したがリアミラー
部５も同様のダスト除去装置を有する。
特徴である前記フロントミラー部４ないしリアミラー部
５に配設されるダスト除去装置に関して説明する。図２
はミラー部の例としてフロントミラー部４を拡大して示
した縦断面図、図３はそのＸ−Ｘ断面図である。図中、
１４はフロントミラーで、ミラーハウジング１５を介し
てレーザチャンバ１を形成するチャンバ壁部１６に対し
て調整可能に支持されている。１７はフロントミラー１
４の内側近傍に配設されたダスト捕捉用のバッフルで、
内表面にはダスト滞積用の凹凸１８が形成されるととも
に、フランジ部１９を介してミラーハウジング１５に対
して取外し可能に装着されている。２０，２１はフロン
トミラー１４を挟持するミラーホルダで、内側に図示し
ないシムを介在してフロントミラー１４を両側から挟持
し、さらにボルト２２等の締付け手段を用いてミラーハ
ウジング１５のフランジ部２３に対して締付けることに
よってフロントミラー１４を固定する。その際、前記ダ
スト捕捉用のバッフル１７のフランジ部１９もミラーホ
ルダ２０とミラーハウジング１５のフランジ部２３との
間に同時に挟持されるため、該バッフル１７もミラーハ
ウジング１５に対して同時に固定される。さらに、この
ミラーハウジング１５の外周には、ダスト捕捉用のバッ
フル１７に対向して磁石が配設され、２４，２５はその
磁石の磁極、２６は磁気回路を形成するＵ字部である。
なお、図中、２７〜２９はミラーハウジング１５の壁部
１６に対する支持用ボルト、３０，３１はその支持状態
に関する微調整手段を示したものである。以上において
は、フロントミラー部４を中心に説明したがリアミラー
部５も同様のダスト除去装置を有する。
【０００９】しかして、前記レーザチャンバ１内に製作
ないし点検時等に混入する塵や、電極部の放電に基づい
て発生する微粒子等からなるダストが浮遊し、これがフ
ロントミラー４ないしリアミラー５のミラーハウジング
１５内へ侵入した場合には、前記ダスト捕捉用のバッフ
ル１７の外側に付設した磁石の磁気作用によって、とり
わけ問題の多い電極の放電によるダストが多量の金属分
を含有しているため、これを効率的に吸引して凹凸１８
の凹部に滞積する。また、滞積が進んで所定以上のダス
トが凹凸１８に滞積された場合には、前記ボルト２２を
緩めてミラーホルダ２０，２１と共にバッフル１７を外
して、滞積したダストを除去するなり、新しいバッフル
に交換して再装着すればよい。この場合、バッフル１７
のフランジ部１９をミラーホルダ２０とミラーハウジン
グ１５のフランジ部２３との間に同時に挟持して装着す
るように構成したので、装着用の部品点数が少なく、バ
ッフル１７の着脱作業がきわめて簡便であり、しかもフ
ランジ部１９を介して的確な装着状態がきわめて容易に
得られる。そして、以上のダストの除去やバッフルの交
換作業を繰返して前記凹凸１８を清潔に保つことによ
り、常に前記バッフル１７によってレーザガス中のダス
ト分を各ミラーの内表面に至る手前で確実に捕捉できる
ので、各ミラーの内表面に対するダストの付着を常に有
効に防止することができる。
ないし点検時等に混入する塵や、電極部の放電に基づい
て発生する微粒子等からなるダストが浮遊し、これがフ
ロントミラー４ないしリアミラー５のミラーハウジング
１５内へ侵入した場合には、前記ダスト捕捉用のバッフ
ル１７の外側に付設した磁石の磁気作用によって、とり
わけ問題の多い電極の放電によるダストが多量の金属分
を含有しているため、これを効率的に吸引して凹凸１８
の凹部に滞積する。また、滞積が進んで所定以上のダス
トが凹凸１８に滞積された場合には、前記ボルト２２を
緩めてミラーホルダ２０，２１と共にバッフル１７を外
して、滞積したダストを除去するなり、新しいバッフル
に交換して再装着すればよい。この場合、バッフル１７
のフランジ部１９をミラーホルダ２０とミラーハウジン
グ１５のフランジ部２３との間に同時に挟持して装着す
るように構成したので、装着用の部品点数が少なく、バ
ッフル１７の着脱作業がきわめて簡便であり、しかもフ
ランジ部１９を介して的確な装着状態がきわめて容易に
得られる。そして、以上のダストの除去やバッフルの交
換作業を繰返して前記凹凸１８を清潔に保つことによ
り、常に前記バッフル１７によってレーザガス中のダス
ト分を各ミラーの内表面に至る手前で確実に捕捉できる
ので、各ミラーの内表面に対するダストの付着を常に有
効に防止することができる。
【００１０】
【発明の効果】本発明は、以上の構成に基づいて次の効
果を得ることができる。 （１）各ミラー部に近接して配設され、ミラー内表面へ
の付着の悪影響が大きい電極部の放電で発生するダスト
を効率的に除去できる。すなわち、電極が消耗して発生
したダストには多量の金属分が含有されているため、フ
ロントミラーないしリアミラーの内側近傍に侵入した場
合には、前記磁石の磁気作用により吸引され、前記ダス
ト捕捉用のバッフルに形成した凹凸の凹部に捕捉されて
滞積するので、簡単な構成により、ミラーの内表面の手
前で効率的に除去できる。 （２）前記ダスト捕捉用のバッフルに形成した凹凸部に
所定量のダストが滞積した場合には、そのバッフルを取
外して、滞積したダストを除去し、あるいは新しいバッ
フルに交換して再装着することにより容易に対応でき
る。 （３）しかも、ダスト捕捉用のバッフルは、そのバッフ
ルに形成したフランジ部をミラーハウジングとミラーホ
ルダで挟持することにより装着するように構成したの
で、その装着のための部品点数が削減され、バッフルの
着脱作業がきわめて簡便になり、かつフランジ部を介し
て的確な装着状態が容易に得られる。 （４）他の従来のダスト除去手段との相性もよいので、
それと併用すれば、相互に補完し合いながら、ミラーの
内表面へのダストの付着をより完全に防ぐことができ、
ミラーの寿命の向上にさらに有効である。
果を得ることができる。 （１）各ミラー部に近接して配設され、ミラー内表面へ
の付着の悪影響が大きい電極部の放電で発生するダスト
を効率的に除去できる。すなわち、電極が消耗して発生
したダストには多量の金属分が含有されているため、フ
ロントミラーないしリアミラーの内側近傍に侵入した場
合には、前記磁石の磁気作用により吸引され、前記ダス
ト捕捉用のバッフルに形成した凹凸の凹部に捕捉されて
滞積するので、簡単な構成により、ミラーの内表面の手
前で効率的に除去できる。 （２）前記ダスト捕捉用のバッフルに形成した凹凸部に
所定量のダストが滞積した場合には、そのバッフルを取
外して、滞積したダストを除去し、あるいは新しいバッ
フルに交換して再装着することにより容易に対応でき
る。 （３）しかも、ダスト捕捉用のバッフルは、そのバッフ
ルに形成したフランジ部をミラーハウジングとミラーホ
ルダで挟持することにより装着するように構成したの
で、その装着のための部品点数が削減され、バッフルの
着脱作業がきわめて簡便になり、かつフランジ部を介し
て的確な装着状態が容易に得られる。 （４）他の従来のダスト除去手段との相性もよいので、
それと併用すれば、相互に補完し合いながら、ミラーの
内表面へのダストの付着をより完全に防ぐことができ、
ミラーの寿命の向上にさらに有効である。
【図１】 本発明の一実施例を示した全体構成図であ
る。
る。
【図２】 同実施例におけるフロントミラー部の拡大縦
断面図である。
断面図である。
【図３】 そのＸ−Ｘ断面図である。
【図４】 従来例におけるフロントミラー部の拡大縦断
面図である。
面図である。
１…レーザチャンバ、２…循環ファン、３…電極、４…
フロントミラー部、５…リアミラー部、６…接続部、７
…レーザガス給排用の管路系、８…ダスト除去機構、９
…バルブ、１０，１１…ダスト捕捉部、１２，１３…管
路、１４…フロントミラー、１５…ミラーハウジング、
１６…チャンバ壁部、１７…ダスト捕捉用バッフル、１
８…凹凸、１９…フランジ部、２０，２１…ミラーホル
ダ、２２…ボルト、２３…フランジ部、２４，２５…磁
極、２６…Ｕ字部、２７〜２９…支持用ボルト、３０，
３１…微調整手段
フロントミラー部、５…リアミラー部、６…接続部、７
…レーザガス給排用の管路系、８…ダスト除去機構、９
…バルブ、１０，１１…ダスト捕捉部、１２，１３…管
路、１４…フロントミラー、１５…ミラーハウジング、
１６…チャンバ壁部、１７…ダスト捕捉用バッフル、１
８…凹凸、１９…フランジ部、２０，２１…ミラーホル
ダ、２２…ボルト、２３…フランジ部、２４，２５…磁
極、２６…Ｕ字部、２７〜２９…支持用ボルト、３０，
３１…微調整手段
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ発振器の光共振器を形成するフロ
ントミラーないしリアミラーの内側近傍に内表面にダス
ト滞積用の凹凸が形成されたダスト捕捉用のバッフルを
配設し、かつ該ダスト捕捉用のバッフルの外側に磁石を
付設してダストを同バッフルに吸引捕捉し得るように構
成するとともに、前記バッフルにフランジ部を形成し、
そのフランジ部をミラーハウジングとミラーホルダで挟
持することにより取外し可能に装着したことを特徴とす
るガスレーザ装置におけるダスト除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4264282A JP2759934B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | ガスレーザ装置におけるダスト除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4264282A JP2759934B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | ガスレーザ装置におけるダスト除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0690041A JPH0690041A (ja) | 1994-03-29 |
| JP2759934B2 true JP2759934B2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=17401006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4264282A Expired - Fee Related JP2759934B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | ガスレーザ装置におけるダスト除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2759934B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3568621B2 (ja) | 1995-04-20 | 2004-09-22 | 株式会社日立製作所 | 地図表示装置 |
| JP3474022B2 (ja) | 1995-04-20 | 2003-12-08 | 株式会社日立製作所 | 地図表示装置、地図表示方法、地図表示装置用演算処理部およびナビゲーションシステム |
| US6654014B2 (en) | 1995-04-20 | 2003-11-25 | Yoshinori Endo | Bird's-eye view forming method, map display apparatus and navigation system |
| JP4487188B2 (ja) | 2004-10-25 | 2010-06-23 | ソニー株式会社 | 情報処理装置および方法、プログラム、並びにナビゲーション装置 |
| JP5601305B2 (ja) * | 2011-10-12 | 2014-10-08 | 三菱電機株式会社 | 炭酸ガスレーザ発振器 |
| JP6031064B2 (ja) | 2014-05-15 | 2016-11-24 | ファナック株式会社 | ガス循環式のレーザ発振装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS639178A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-14 | Komatsu Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPH01225384A (ja) * | 1988-03-04 | 1989-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ装置用ウインドウ機構 |
-
1992
- 1992-09-07 JP JP4264282A patent/JP2759934B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0690041A (ja) | 1994-03-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3701108B2 (ja) | 防塵繊維部材の濾過効率測定装置及びその測定方法 | |
| JP2759934B2 (ja) | ガスレーザ装置におけるダスト除去装置 | |
| JP2000244165A (ja) | ディスプレイの防塵装置 | |
| JPH08332586A (ja) | レーザ加工装置 | |
| KR950008617B1 (ko) | 음이온 발생기능을 구비한 진공청소기 | |
| JP2722382B2 (ja) | ガスレーザ装置のガス管路用ダスト除去装置 | |
| KR200258515Y1 (ko) | 집진기의 필터청소장치 | |
| JPS60187073A (ja) | 気体レ−ザ発振装置 | |
| CN219682048U (zh) | 一种新型空气引流除尘装置 | |
| JPH11290620A (ja) | 濾過装置およびこれを用いた塗装工程用処理液循環装置 | |
| JP2002119816A (ja) | 汚染物質捕集装置 | |
| JPH11354861A (ja) | ガスレーザ装置内のダスト除去装置 | |
| JP3027444U (ja) | オゾンガス発生器 | |
| JPH04177886A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS637683A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JP2002272656A (ja) | 電気掃除機 | |
| JP2958767B1 (ja) | 砥粒子ブラスト方法及びその装置 | |
| JPH10216443A (ja) | 集塵装置 | |
| JPH06152007A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH05251792A (ja) | 放電励起型レーザ装置 | |
| JP2000340863A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH01274888A (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
| JP2000244164A (ja) | プラズマディスプレイの防塵装置 | |
| JP2000073766A (ja) | エンジンの冷却水配管 | |
| JPH02203248A (ja) | 微粒子検出セルの汚染防止方式 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080320 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090320 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090320 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100320 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110320 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110320 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120320 Year of fee payment: 14 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |