JP2756700B2 - Reflective illumination type projector - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、例えばフィルムマスク、プリント基板等
の被検物のパターンを観察するのに使用する投影装置に
関し、特に不透明な被検物に対応し得る反射照明型の投
影装置に関するものである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a projection apparatus used for observing a pattern of a test object such as a film mask, a printed circuit board, and the like, and particularly to a opaque test object. And a reflective illumination type projection device.
［従来の技術及び発明が解決しようとする課題］ 観察用の投影装置としては、従来から被検物を透過し
た光束による像を観察する透過型と、被検物で反射され
た光束による像を観察する反射型とがある。透過型は、
フィルムマスク等の透明な被検物に対しては有効である
が、不透明なプリント基板等には使用することができな
い。[Problems to be Solved by the Related Art and the Invention] Conventionally, as a projection device for observation, a transmission type for observing an image by a light beam transmitted through a test object and a transmission type for observing an image by a light beam reflected by the test object are used. There is a reflection type to observe. The transmission type is
Although it is effective for a transparent test object such as a film mask, it cannot be used for an opaque printed circuit board or the like.
そこで、この種の用途に対しては、従来から第10図に
概念的に示したような反射照明型投影装置が使用されて
いる。Therefore, for this type of application, a reflection illumination type projection device as conceptually shown in FIG. 10 has been used.
すなわち、図示した装置は、光源11及びコンデンサー
レンズ12を有する照明光学系10と、投影レンズ21及びス
クリーン22及びリレー用ミラー23,24を備える投影光学
系20と、両光学系の交差部分に一点鎖線で示した投影レ
ンズ21の光軸L2に対して斜設されたハーフミラー30と、
プリント基板等の被検物41が載置されたステージ40とか
ら構成されている。That is, the illustrated apparatus has an illumination optical system 10 having a light source 11 and a condenser lens 12, a projection optical system 20 having a projection lens 21, a screen 22, and relay mirrors 23 and 24, and one point at the intersection of the two optical systems. a half mirror 30 which is obliquely set with respect to the optical axis L 2 of the projection lens 21 shown by a chain line,
And a stage 40 on which a test object 41 such as a printed board is mounted.
二点鎖線で示した照明光学系10の光軸L1と投影レンズ
21の光軸L2とは互いに直交し、ハーフミラー30はその交
点上に位置する。Optical axis L 1 and the projection lens of the illumination optical system 10 shown by the two-dot chain line
21 are perpendicular to each other and the optical axis L 2 of the half mirror 30 is located on the intersection.
スクリーン22は、光軸L2を中心として対称に設けられ
ている。Screen 22 is provided symmetrically around the optical axis L 2.
光源11から発した光束の一部は、ハーフミラー30によ
って被検物41側へ反射され、投影レンズ21を介して被検
物41を照明する。被検物41で反射された光束は再び投影
レンズ21を透過し、ハーフミラー30を透過してスクリー
ン22上に被検物像を形成する。Part of the light beam emitted from the light source 11 is reflected by the half mirror 30 toward the test object 41, and illuminates the test object 41 via the projection lens 21. The light beam reflected by the test object 41 passes through the projection lens 21 again, transmits through the half mirror 30, and forms an image of the test object on the screen 22.
しかしながら、上記のようにハーフミラー30を用いた
場合には、光源11から発する光量のうち、投影用に生か
されるのは被検物41の反射率が100％であるとしても最
大25％に過ぎず、光量のロスが大きいという問題があ
る。However, when the half mirror 30 is used as described above, only 25% of the amount of light emitted from the light source 11 is utilized for projection even if the reflectance of the test object 41 is 100%. However, there is a problem that the loss of light amount is large.
また、従来の投影装置では、スクリーン22が光軸L2を
中心として対称に設けられているため、レンズ面での反
射が起きた場合にゴースト光の影響を受けやすいという
問題もある。Further, the conventional projector is because the screen 22 are provided symmetrically around the optical axis L 2, a problem that susceptible to ghost light when reflected on the lens surface occurs.
ゴースト光には、反射されるレンズ面の曲率によりス
クリーン上に集光するものと発散するものとがあるが、
後者の場合には観察に与える影響は小さい。また、収束
の度合により影響の大小に差異がある。ゴーストが生じ
るとスクリーン上での被検物像のコントラストが低下
し、観察困難な部位が生じる。Ghost light includes light that converges on the screen and light that diverges due to the curvature of the lens surface being reflected.
In the latter case, the effect on observation is small. In addition, the magnitude of the influence differs depending on the degree of convergence. When a ghost occurs, the contrast of the image of the test object on the screen decreases, and a part that is difficult to observe occurs.
これらのゴーストについて説明するため、投影レンズ
21の詳細を２例説明する。To explain these ghosts, a projection lens
Two examples of 21 will be described in detail.
第11図は、被検物側にテレセントリックな投影レンズ
21を用いた例である。この投影レンズ21はハーフミラー
30の位置に絞りを持つ６枚構成のテレセントリックレン
ズであり、ハーフミラー30側から第１レンズ21a〜第６
レンズ21fの順で配列されている。Fig. 11 shows a telecentric projection lens on the test object side.
This is an example using No. 21. This projection lens 21 is a half mirror
This is a six-element telecentric lens having an aperture at the position of 30. The first lens 21a to the sixth lens
The lenses 21f are arranged in this order.
このレンズ構成によれば、第５レンズ21eの表面によ
り反射が起きた場合には、第12図に示したようにゴース
ト光が全てスクリーン内に戻ってしまう。しかも、この
場合にはスクリーン22に達するまでの光路中でゴースト
光の発散が少ないため、スクリーン上に出現するゴース
トの影響が顕著であり、特に被検物像の観察の妨げとな
る。According to this lens configuration, when reflection occurs on the surface of the fifth lens 21e, all the ghost light returns to the screen as shown in FIG. Moreover, in this case, since the ghost light diverges in the optical path until reaching the screen 22, the effect of the ghost appearing on the screen is remarkable, and particularly obstructs the observation of the image of the test object.
また、第６レンズ21fの裏面により反射が起きた場合
には、ゴースト光は第13図に示したような状態でスクリ
ーン22に達して観察の妨げとなる。但し、この場合には
第７図で示した場合よりもゴースト光の発散が強く、し
かもスクリーンに達するのはゴースト光の一部であるた
め、第12図の場合よりは観察に対する影響は少ない。When reflection occurs on the back surface of the sixth lens 21f, the ghost light reaches the screen 22 in the state shown in FIG. 13 and hinders observation. However, in this case, the divergence of the ghost light is stronger than in the case shown in FIG. 7, and since only a part of the ghost light reaches the screen, the influence on the observation is smaller than in the case of FIG.
第14図は、被検物41側に非テレセントリックな投影レ
ンズ21′を用いた従来例を示したものである。この投影
レンズ21′は、第１レンズ21g〜第４レンズ21jから構成
されている。他のハーフミラー30、スクリーン22等の配
置関係は第11図に示した例と同一である。FIG. 14 shows a conventional example using a non-telecentric projection lens 21 'on the test object 41 side. The projection lens 21 'includes a first lens 21g to a fourth lens 21j. The arrangement relationship of the other half mirror 30, the screen 22, and the like is the same as the example shown in FIG.
第14図の投影レンズにおいて、第３レンズ21iの裏面
により反射が起きた場合には、第15図に示したようにゴ
ースト光がスクリーン22の全面に拡散して表れる。ま
た、第４レンズ21jの裏面で反射が起きた場合には、第1
6図に示したようにゴースト光がスクリーンの中央部に
出現する。In the projection lens shown in FIG. 14, when reflection occurs on the back surface of the third lens 21i, ghost light is diffused over the entire surface of the screen 22 as shown in FIG. If reflection occurs on the back surface of the fourth lens 21j, the first lens
Ghost light appears at the center of the screen as shown in FIG.
このようなゴーストを低減させるための対策として
は、従来からレンズ面に反射防止コーティングを施す方
法、あるいはレンズ設計の段階でゴーストが目立たない
ような設計を行なう方法等を採っていたが、根本的な解
決とはなり得なかった。As a countermeasure to reduce such a ghost, a method of applying an anti-reflection coating on the lens surface or a method of performing a design in which the ghost is not noticeable at the lens designing stage has conventionally been adopted. It could not be a solution.
なお、上記の２つの従来例においては、ゴースト光の
影響を比較するため、後述する本願発明の実施例と同一
の投影レンズを用いて説明している。Note that, in the above two conventional examples, in order to compare the influence of ghost light, the description is made using the same projection lens as an embodiment of the present invention described later.
［発明の目的］ この発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、
反射照明型の構成を採りつつ光量損失を低減させると共
に、少なくとも観察を妨げる度合が大きいゴースト光を
カットすることができる反射照明型投影装置の提供を目
的とする。[Object of the Invention] The present invention has been made in view of the above problems,
It is an object of the present invention to provide a reflection illumination type projection apparatus that can reduce a light amount loss while adopting a reflection illumination type configuration, and can cut at least ghost light having a high degree of obstructing observation.
［課題を解決するための手段］ この発明に係る反射照明型投影装置は、被検物の像を
スクリーンに投影する投影レンズと、投影レンズの光軸
を境とする一側から照明光を入射させる光源部と、投影
レンズの絞りとなる位置に設けられて光源からの光束と
スクリーンへ向かう光束とを分離する反射ミラーとを有
し、スクリーンを、光軸を境として光源部からの光束が
投影レンズに入射する側に偏って設けたことを特徴とす
る。[Means for Solving the Problems] In a reflection illumination type projection apparatus according to the present invention, a projection lens for projecting an image of a test object on a screen, and illumination light are incident from one side of the optical axis of the projection lens. A light source unit to be used, and a reflecting mirror provided at a position serving as an aperture of the projection lens to separate a light beam from the light source and a light beam heading for the screen. It is characterized in that it is provided so as to be biased toward the side of incidence on the projection lens.
［実施例］ 以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
この反射照明型投影装置は、第１図に概略的に示した
通り、ハロゲンランプ等の光源11及びこの光源11から発
する光束を収束光とするコンデンサーレンズ12から成る
照明光学系10と、投影レンズ21及びスクリーン22及び２
枚のリレー用ミラー23,24を有する投影光学系20と、両
光学系の交差部分に設けられた反射ミラーとしての反射
ミラー50、そしてプリント基板等の被検物41が載置され
るステージ40とから構成されている。As shown schematically in FIG. 1, the reflection illumination type projection apparatus includes an illumination optical system 10 including a light source 11 such as a halogen lamp, and a condenser lens 12 that converges a light beam emitted from the light source 11, and a projection lens. 21 and screens 22 and 2
A projection optical system 20 having two relay mirrors 23 and 24, a reflection mirror 50 as a reflection mirror provided at an intersection of the two optical systems, and a stage 40 on which an object 41 such as a printed circuit board is mounted. It is composed of
一点鎖線で示した投影レンズ21の光軸L2はステージ40
に対してほぼ垂直に、かつ、二点鎖線で示した照明光学
系の光軸L1とも垂直に設定されている。なお、従来の構
成では両光軸がハーフミラー上で交わっていたが、この
例では両光軸が交差する点より光源11側に反射ミラー50
が設けられている。Optical axis L 2 of the projection lens 21 shown by a chain line is stage 40
Substantially vertical, and is also set perpendicular to the optical axis L 1 of the illumination optical system shown by the two-dot chain line is relative. In the conventional configuration, the two optical axes intersect on the half mirror, but in this example, the reflecting mirror 50 is closer to the light source 11 than the point where the two optical axes intersect.
Is provided.
次に、投影レンズ21部分の詳細につき、２つの実施例
を説明する。Next, two embodiments will be described with respect to the details of the projection lens 21 portion.
第２図〜第４図に示したのは、被検物41側にテレセン
トリックな投影レンズ21を用いた第１実施例を示してい
る。FIGS. 2 to 4 show a first embodiment in which the telecentric projection lens 21 is provided on the test object 41 side.
この投影レンズ21は、第11図に示した従来例と同一の
第１レンズ21a〜第６レンズ21fの６枚構成であり、絞り
がレンズよりスクリーン22側に位置し、被検物41側にテ
レセントリックな前絞りテレセントリックレンズであ
る。This projection lens 21 has the same six lenses as a first lens 21a to a sixth lens 21f, which are the same as the conventional example shown in FIG. 11, and the diaphragm is located closer to the screen 22 than the lens and closer to the test object 41. It is a telecentric front aperture telecentric lens.
反射ミラー50は、投影レンズ21の開口絞りとなる位置
で、光軸L2を境とする光源11側に設けられており、ステ
ージ40とリレー用ミラー23との間で投影光学系20の光路
を半分覆う状態で配置されている。Reflecting mirror 50 is a position where the aperture stop of the projection lens 21, the optical axis L 2 is provided on the light source 11 side of a boundary, the optical path of the projection optical system 20 between the stage 40 and the relay mirror 23 Are arranged so as to cover half.
一方、照明光学系10のコンデンサーレンズ12は、光源
11と反射ミラー50とが共役となるよう配置されており、
光源の像が反射ミラー50上に形成される構成となってい
る。別言すれば、照明光学系10から発する光束はすべて
反射ミラー50上に集光し、ステージ40側へ反射偏向され
ることとなる。On the other hand, the condenser lens 12 of the illumination optical system 10
11 and the reflection mirror 50 are arranged to be conjugate,
The image of the light source is formed on the reflection mirror 50. In other words, all light beams emitted from the illumination optical system 10 are condensed on the reflection mirror 50 and are reflected and deflected toward the stage 40.
照明光束が反射ミラー50によって光軸L2を境とした一
側から投影レンズ21へ入射すると、レンズが被検物41側
にテレセントリックであるため、照明光は光軸L2に対し
てミラー50の設けられている側から角度を持って被検物
41に導かれる。従って、被検物41における正反射成分
は、光軸L2に対してミラーの設けられていない側に角度
を持って投影レンズ21に入射すると共に、レンズを出射
した絞りの位置では反射ミラー50が設けられていない側
をスクリーン22へ向けて透過することとなる。When the illumination light beam is incident on the projection lens 21 from a side which is a boundary of the optical axis L 2 by the reflection mirror 50, since the lens is telecentric on the specimen 41 side, the mirror 50 with respect to the illumination light optical axis L 2 Test object at an angle from the side where
Guided to 41. Therefore, the specular reflection components in the test object 41, together with the side where the optical axis L 2 not provided mirror at an angle incident to the projection lens 21, reflecting mirror 50 at the position of the aperture emitted from the lens Is transmitted toward the screen 22 on the side where is not provided.
しかも、この反射光は、絞りの位置から光軸L2を境と
してミラー50の設けられている側で被検物像を形成す
る。Moreover, the reflected light forms a specimen image on the side which is provided from the position of the aperture of the mirror 50 the optical axis L 2 as a boundary.
スクリーン22は、被検物からの正反射成分を受けるよ
うに、投影レンズ21の光軸L2を境として反射ミラー50と
同一の側に偏って設けられており、特にこの例では投影
レンズ21がテレセントリックであるため、スクリーン全
体が光軸L2より反射ミラー50と同一の側に設けられてい
る。Screen 22, to receive the specular reflection component from the test object is provided biased to the same side as the reflecting mirror 50 and the optical axis L 2 of the projection lens 21 as a boundary, in particular in this example the projection lens 21 There because it is telecentric, the entire screen is provided on the same side of the reflection mirror 50 from the optical axis L 2.
スクリーン22に投影されるのはステージ40上で光軸L2
を境とする一方側のみであるため、被検物41は光軸L2を
境としてミラー50とは反対側に設置される。The light projected onto the screen 22 is the optical axis L 2 on the stage 40.
Since only one side of the boundary, the specimen 41 is placed on the opposite side of the mirror 50 as a boundary to the optical axis L 2.
このような構成によれば、被検物41での光量損失は正
反射成分については０となるために光量の有効利用を図
ることができ、スクリーン22上に高コントラストで被検
物像を形成することができる。実験においても、スクリ
ーン22上の照度はハーフミラーを用いた従来の装置と比
較して他の条件が同一である場合、２倍程度とかなり改
善がみられた。According to such a configuration, since the light amount loss at the test object 41 is 0 for the specular reflection component, the light amount can be effectively used, and the test object image is formed on the screen 22 with high contrast. can do. Also in the experiment, the illuminance on the screen 22 was considerably improved to about twice as much as that of the conventional apparatus using the half mirror when other conditions were the same.
また、上記のレンズ構成によれば、第５レンズ21eの
表面により反射が起きた場合には、第３図に示したよう
にゴースト光が全てスクリーン外に導かれる。従って、
この場合にはスクリーン22上にゴースト光が達せず、被
検物像の観察の妨げとなることはない。Further, according to the above-described lens configuration, when reflection occurs on the surface of the fifth lens 21e, all the ghost light is guided to the outside of the screen as shown in FIG. Therefore,
In this case, the ghost light does not reach the screen 22 and does not hinder the observation of the test object image.
更に、第６レンズ21fの裏面により反射が起きた場合
には、ゴースト光は第４図に示したような状態でスクリ
ーン22の一端部に達する。但し、この場合には第３図で
示した場合よりもゴースト光の発散が強く、しかもスク
リーンに達するのはゴースト光の一部であるため、従来
の例（第12,13図）よりは観察に対する影響は少ない。Further, when reflection occurs on the back surface of the sixth lens 21f, the ghost light reaches one end of the screen 22 in a state as shown in FIG. However, in this case, the ghost light diverges more than in the case shown in FIG. 3, and only a part of the ghost light reaches the screen. Therefore, the ghost light is more observable than the conventional example (FIGS. 12 and 13). The effect on is small.
次に、被検物41側に非テレセントリックな投影レンズ
21′を用いた例を第５図〜第７図に示す。Next, a non-telecentric projection lens is placed on the test object 41 side.
An example using 21 'is shown in FIGS.
この投影レンズ21′は、第14図に示した従来例と同一
であり、第１レンズ21g〜第４レンズ21jにより構成され
ている。また、反射ミラー50は、第２図に示した例と同
様に、投影レンズ21′の絞りとなる位置で、光軸L2を境
として一側に設けられている。This projection lens 21 'is the same as the conventional example shown in FIG. 14, and is composed of a first lens 21g to a fourth lens 21j. The reflection mirror 50, as in the example shown in FIG. 2, with the diaphragm and a position of the projection lens 21 'is provided on one side of the optical axis L 2 as a boundary.
スクリーン22は、光軸L2を境として反射ミラー50と同
一の側にその大部分が位置するように偏って設けられて
いる。Screen 22, for the most part on the same side as the reflecting mirror 50 and the optical axis L 2 as a boundary is provided biased to be positioned.
上記構成による場合にも、第２図に示した例と同様に
照明光学系10から発する光束はすべてステージ40側へ反
射偏向され、被検物41からの反射光は、反射ミラー50の
設けられていない側をスクリーン22側へ透過する。Also in the case of the above configuration, similarly to the example shown in FIG. 2, all the light beams emitted from the illumination optical system 10 are reflected and deflected toward the stage 40, and the reflected light from the test object 41 is provided on a reflection mirror 50. The other side is transmitted to the screen 22 side.
従って、光量損失は正反射成分については０となるた
めに光量の有効利用を図ることができ、スクリーン22上
に高コントラストで被検物像を形成することができる。Therefore, since the light amount loss is 0 for the specular reflection component, the light amount can be effectively used, and the test object image can be formed on the screen 22 with high contrast.
第５図の投影レンズ21′において、第３レンズ21iの
裏面により反射が起きた場合には、第６図に示したよう
にゴースト光がスクリーン22の周辺部の一端部に現れ
る。また、第４レンズ21jの裏面で反射が起きた場合に
は、第７図に示したように第６図より少ないゴースト光
がスクリーン22の周辺部に出現する。しかし、従来例
（第15図、第16図）との比較によれば、ゴーストによる
影響は小さく、スクリーン上での観察の妨げとなる可能
性は小さい。In the projection lens 21 'of FIG. 5, when reflection occurs on the back surface of the third lens 21i, ghost light appears at one end of the periphery of the screen 22 as shown in FIG. Further, when reflection occurs on the back surface of the fourth lens 21j, less ghost light appears on the periphery of the screen 22 than in FIG. 6, as shown in FIG. However, according to the comparison with the conventional example (FIGS. 15 and 16), the influence of the ghost is small, and the possibility of obstructing the observation on the screen is small.
なお、上述した実施例においては、光源からの光束を
反射ミラー50により反射させて投影レンズ21を介して被
検物41へ導き、被検物からの反射光をそのままスクリー
ン20へ投影する構成につてのみ説明した。In the above-described embodiment, the configuration is such that the light beam from the light source is reflected by the reflection mirror 50, guided to the test object 41 via the projection lens 21, and the reflected light from the test object is directly projected on the screen 20. Only described.
しかしながら、この発明の適用範囲は、以上のような
構成に限られず、例えば、第８図及び第９図に示したよ
うな配置の装置に対しても有効である。However, the scope of application of the present invention is not limited to the configuration described above, and is also effective, for example, for devices arranged as shown in FIG. 8 and FIG.
第８図の例では、反射ミラー50に代えてダハミラー51
を用いており、光源側から投影レンズ21へ入射する光
束、及び被検物41で反射されてスクリーン22へ向かう光
路の両者を反射により折り曲げている。In the example of FIG. 8, a roof mirror 51 is used instead of the reflection mirror 50.
The light beam incident on the projection lens 21 from the light source side and the optical path reflected by the test object 41 toward the screen 22 are both bent by reflection.
第９図の例では、第２図の例とは逆に、光源からの光
束をそのまま投影レンズ21へ入射させ、被検物41からの
反射光を反射ミラー52を用いて折曲し、スクリーン22へ
導いている。In the example of FIG. 9, contrary to the example of FIG. 2, the light beam from the light source is directly incident on the projection lens 21, and the reflected light from the test object 41 is bent using the reflecting mirror 52, and the screen is screened. Leading to 22.
第８図、第９図の何れの例も、ミラー等の光学素子の
配置関係のみが異なるのみで、光路に沿って展開した場
合の位置関係は、第２図の例と同一である。8 and 9, only the arrangement of the optical elements such as mirrors is different, and the positional relationship when deployed along the optical path is the same as the example of FIG.
なお、この例ではスクリーン上に形成された像を検者
が目視観察して被検物の検査を行う構成とされている
が、反射光束をテレビカメラ等で受けて電気的処理によ
ってディスプレイ上に表示するものであってもよい。In this example, the examiner visually inspects the image formed on the screen and inspects the test object, but the reflected light beam is received by a television camera or the like, and the reflected light beam is electrically processed and displayed on the display. It may be displayed.
［効果］ 以上説明したように、この発明によれば、反射照明型
の構成をとりつつ、反射ミラー部分による光量の損失を
抑えることができ、スクリーン上に形成される被検物の
像のコントラストを向上させることができる。[Effects] As described above, according to the present invention, it is possible to suppress the loss of the light amount due to the reflection mirror portion while adopting the configuration of the reflection illumination type, and the contrast of the image of the test object formed on the screen. Can be improved.
また、投影レンズの光軸を境としてミラーとスクリー
ンとを同一の側に設けたため、レンズの各面で反射が起
きた場合にも、ゴースト光がスクリーンに達し難く、少
なくとも被検物の観察の妨げとなるような発散の弱いゴ
ースト光はスクリーン外に導かれる。Further, since the mirror and the screen are provided on the same side with respect to the optical axis of the projection lens, even when reflection occurs on each surface of the lens, ghost light hardly reaches the screen. Ghost light with weak divergence that interferes is guided out of the screen.
第１図は、この発明に係る反射照明型投影装置の光学系
の概略図である。 第２図〜第４図はこの発明の第１実施例に係るテレセン
トリックな投影レンズを示したものであり、第２図は被
検物からの光束を示す説明図、第３図及び第４図はゴー
スト光の状態を示す説明図である。 第５図〜第７図はこの発明の第２実施例に係る非テレセ
ントリックな投影レンズを示したものであり、第５図は
被検物からの光束を示す説明図、第６図及び第７図はゴ
ースト光の状態を示す説明図である。 第８図及び第９図は、上述した実施例の変形例を示した
被検物からの光束を示す説明図である。 第10図は従来の反射照明型投影装置の光学系の概略図で
ある。 第11図〜第13図は従来の反射照明型投影装置のテレセン
トリックな投影レンズを示したものであり、第11図は被
検物からの光束を示す説明図、第12図及び第13図はゴー
スト光の状態を示す説明図である。 第14図〜第16図は従来の反射照明型投影装置の非テレセ
ントリックな投影レンズを示したものであり、第14図は
被検物からの光束を示す説明図、第15図及び第16図はゴ
ースト光の状態を示す説明図である。 21,21′……投影レンズ 22……スクリーン 41……被検物 50……反射ミラー L1……照明光学系の光軸 L2……投影光学系の光軸FIG. 1 is a schematic view of an optical system of a reflection illumination type projection apparatus according to the present invention. 2 to 4 show a telecentric projection lens according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is an explanatory view showing a light beam from a test object, and FIGS. FIG. 4 is an explanatory diagram showing a state of ghost light. FIGS. 5 to 7 show a non-telecentric projection lens according to a second embodiment of the present invention. FIG. 5 is an explanatory view showing a light beam from a test object, and FIGS. The figure is an explanatory diagram showing the state of ghost light. FIG. 8 and FIG. 9 are explanatory diagrams showing a light beam from a test object showing a modification of the above-described embodiment. FIG. 10 is a schematic diagram of an optical system of a conventional reflection illumination type projection apparatus. 11 to 13 show a telecentric projection lens of a conventional reflection illumination type projection apparatus, FIG. 11 is an explanatory view showing a light beam from a test object, FIG. 12 and FIG. It is explanatory drawing which shows the state of ghost light. 14 to 16 show a non-telecentric projection lens of a conventional reflection illumination type projection apparatus, and FIG. 14 is an explanatory view showing a light beam from a test object, FIG. 15 and FIG. FIG. 4 is an explanatory diagram showing a state of ghost light. 21, 21 '... projection lens 22 ... screen 41 ... object 50 ... reflecting mirror L 1 ... illumination optical system optical axis L 2 ... projection optical system of the optical axis of the
Claims (2)
ンズと、該投影レンズの光軸を境とする一側から照明光
を入射させる光源部と、前記投影レンズの絞りとなる位
置に設けられて前記光源からの光束と前記スクリーンへ
向かう光束とを分離する反射ミラーとを有し、前記スク
リーンは、前記光軸を境として前記光源部からの光束が
投影レンズに入射する側に偏って設けられていることを
特徴とする反射照明型投影装置。1. A projection lens for projecting an image of a test object on a screen, a light source unit for illuminating light from one side of the optical axis of the projection lens as a boundary, and a projection lens at a position to be a stop of the projection lens. A reflection mirror provided to separate the light beam from the light source and the light beam heading for the screen, wherein the screen is biased toward the side where the light beam from the light source unit enters the projection lens with the optical axis as a boundary. A reflection illumination type projection device, wherein:
ントリックであり、前記スクリーンは、前記投影レンズ
の光軸を境として前記光源部からの光束が投影レンズに
入射する側に設けられていることを特徴とする請求項１
記載の反射照明型投影装置。2. The projection lens is telecentric on the object side, and the screen is provided on a side where a light beam from the light source unit enters the projection lens with an optical axis of the projection lens as a boundary. 2. The method according to claim 1, wherein
The reflective illumination type projection device according to claim 1.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/691,673 US5192961A (en) | 1988-07-22 | 1991-04-25 | Reflecting illumination type projecting device |
| US07/988,792 US5293188A (en) | 1988-07-22 | 1992-12-10 | Reflecting illumination type projecting device |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP678689 | 1989-01-13 | ||
| JP1-6786 | 1989-01-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02275920A JPH02275920A (en) | 1990-11-09 |
| JP2756700B2 true JP2756700B2 (en) | 1998-05-25 |
Family
ID=11647858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13326089A Expired - Fee Related JP2756700B2 (en) | 1988-07-22 | 1989-05-26 | Reflective illumination type projector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2756700B2 (en) |
-
1989
- 1989-05-26 JP JP13326089A patent/JP2756700B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02275920A (en) | 1990-11-09 |
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