JP2745569B2 - 電子部品実装装置 - Google Patents
電子部品実装装置Info
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- JP2745569B2 JP2745569B2 JP63251180A JP25118088A JP2745569B2 JP 2745569 B2 JP2745569 B2 JP 2745569B2 JP 63251180 A JP63251180 A JP 63251180A JP 25118088 A JP25118088 A JP 25118088A JP 2745569 B2 JP2745569 B2 JP 2745569B2
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- electronic component
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- head
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、電子部品をマルチヘッドのノズルに真空吸
着して基板に搭載する電子部品実装装置に関するもので
ある。
着して基板に搭載する電子部品実装装置に関するもので
ある。
従来の技術 電子部品実装装置として、ロータリーヘッドに複数個
のノズルを備えたマルチヘッドを装備するものが知られ
ている（特開昭59−113699号公報）。このもののマルチ
ヘッド（同公報では副ホルダ４）は、主ホルダ２に保持
されて、インデックスシャフト１を中心にインデックス
回転をしながら、部品吸着ステーションＩや部品装着ス
テーションIIIを含む複数の作業ステーションI,II,III,
IVを順に移動させて、部品28を回路基板22に装着（実
装）するようになっている。
のノズルを備えたマルチヘッドを装備するものが知られ
ている（特開昭59−113699号公報）。このもののマルチ
ヘッド（同公報では副ホルダ４）は、主ホルダ２に保持
されて、インデックスシャフト１を中心にインデックス
回転をしながら、部品吸着ステーションＩや部品装着ス
テーションIIIを含む複数の作業ステーションI,II,III,
IVを順に移動させて、部品28を回路基板22に装着（実
装）するようになっている。
第８図は、上記特開昭59−113699号に係るロータリー
ヘッド（主ホルダ）を簡略に示す側面図である。副ホル
ダ４には複数本のノズル31,32,33が備えられており、セ
レクタ26で副ホルダ４を取付軸５を中心に回転させるこ
とにより、対象となる部品28に適したノズル31,32,33を
選択するようになっており、また部品吸着ステーション
Ｉと部品装着ステーションIIIに設けられた棒状のタペ
ット24,25により選択されたノズル31,32,33を押圧し
て、部品28の吸着や回路基板22への装着を行うようにな
っている。
ヘッド（主ホルダ）を簡略に示す側面図である。副ホル
ダ４には複数本のノズル31,32,33が備えられており、セ
レクタ26で副ホルダ４を取付軸５を中心に回転させるこ
とにより、対象となる部品28に適したノズル31,32,33を
選択するようになっており、また部品吸着ステーション
Ｉと部品装着ステーションIIIに設けられた棒状のタペ
ット24,25により選択されたノズル31,32,33を押圧し
て、部品28の吸着や回路基板22への装着を行うようにな
っている。
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記従来装置は、全体構造がきわめて複
雑であり、しかも第８図に示すように、副ホルダ４に備
えられた複数本のノズル31,32,33の下端部は、常時（イ
ンデックス回転中）は同一レベルＬにあるため、ノズル
同士の間隔Ｔを大きく確保しておかないと、何れかのノ
ズル（第８図ではノズル31）に吸着された部品28が他の
ノズル（第８図ではノズル32）に当ってしまう。しかし
ながらこの間隔Ｔを大きくすると、副ホルダ４は大型化
し、その重量も重くなるなどして高速度でのインデック
ス回転が困難となり、それだけ作業能率が低下するとい
う問題点があった。
雑であり、しかも第８図に示すように、副ホルダ４に備
えられた複数本のノズル31,32,33の下端部は、常時（イ
ンデックス回転中）は同一レベルＬにあるため、ノズル
同士の間隔Ｔを大きく確保しておかないと、何れかのノ
ズル（第８図ではノズル31）に吸着された部品28が他の
ノズル（第８図ではノズル32）に当ってしまう。しかし
ながらこの間隔Ｔを大きくすると、副ホルダ４は大型化
し、その重量も重くなるなどして高速度でのインデック
ス回転が困難となり、それだけ作業能率が低下するとい
う問題点があった。
またノズル31,32,33に吸着された部品28は、θ方向
（水平回転方向）の位置ずれがあり、したがってこの位
置ずれを補正したうえで、部品装着ステーションIIIの
回路基板22に装着する必要があるが、上記従来装置はこ
のθ方向の位置ずれを簡単かつ正確に行える手段を具備
していないものであった。
（水平回転方向）の位置ずれがあり、したがってこの位
置ずれを補正したうえで、部品装着ステーションIIIの
回路基板22に装着する必要があるが、上記従来装置はこ
のθ方向の位置ずれを簡単かつ正確に行える手段を具備
していないものであった。
したがって本発明は、全体構造が簡単かつ小型コンパ
クトであって、ロータリーヘッドを高速回転させながら
電子部品を基板に効率よく実装できる電子部品実装装置
を提供することを目的とする。
クトであって、ロータリーヘッドを高速回転させながら
電子部品を基板に効率よく実装できる電子部品実装装置
を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段 このために本発明は、ロータリーヘッドと、このロー
タリーヘッドの円周方向に沿って複数個並設されて垂直
軸を中心に回転するノズルを上下動自在に複数個備えた
マルチヘッドとを有する電子部品実装装置であって、前
記ロータリーヘッドとともに回転するマルチヘッドの移
動路に、複数個のノルズのうちの何れか一つのノズルが
電子部品供給部に備えられた電子部品を真空吸着してピ
ックアップする電子部品の供給ステージと、ノズルに真
空吸着された電子部品を外観検査装置により観察してそ
のxyθ方向の位置ずれを検出する観察ステージと、この
観察ステージで検出されたθ方向の位置ずれをマルチヘ
ッドを駆動手段を駆動して垂直軸を中心に回転させるこ
とにより補正するθ補正エリアと、基板を支持するXY方
向移動装置を備えたこのXY方向移動装置を駆動してこの
基板をxy方向に移動させることによりxy方向の位置ずれ
を補正したうえでノズルに真空吸着された電子部品をこ
の基板に搭載するマウントステージと、このマウントス
テージで基板に電子部品を搭載したノズルを上方へ退去
させるイニシャル化ステージと、マルチヘッドを前記駆
動手段を駆動して垂直軸を中心に回転させることにより
複数個のノズルのうちから、電子部品の供給ステージで
次にピックアップする電子部品に適合するノズルを選択
するノズル選択エリアと、このノズル選択エリアで選択
されたノズルを下方へ突出させるノズル突出ステージ
を、ロータリーヘッドの回転方向に沿って順に設けたも
のである。
タリーヘッドの円周方向に沿って複数個並設されて垂直
軸を中心に回転するノズルを上下動自在に複数個備えた
マルチヘッドとを有する電子部品実装装置であって、前
記ロータリーヘッドとともに回転するマルチヘッドの移
動路に、複数個のノルズのうちの何れか一つのノズルが
電子部品供給部に備えられた電子部品を真空吸着してピ
ックアップする電子部品の供給ステージと、ノズルに真
空吸着された電子部品を外観検査装置により観察してそ
のxyθ方向の位置ずれを検出する観察ステージと、この
観察ステージで検出されたθ方向の位置ずれをマルチヘ
ッドを駆動手段を駆動して垂直軸を中心に回転させるこ
とにより補正するθ補正エリアと、基板を支持するXY方
向移動装置を備えたこのXY方向移動装置を駆動してこの
基板をxy方向に移動させることによりxy方向の位置ずれ
を補正したうえでノズルに真空吸着された電子部品をこ
の基板に搭載するマウントステージと、このマウントス
テージで基板に電子部品を搭載したノズルを上方へ退去
させるイニシャル化ステージと、マルチヘッドを前記駆
動手段を駆動して垂直軸を中心に回転させることにより
複数個のノズルのうちから、電子部品の供給ステージで
次にピックアップする電子部品に適合するノズルを選択
するノズル選択エリアと、このノズル選択エリアで選択
されたノズルを下方へ突出させるノズル突出ステージ
を、ロータリーヘッドの回転方向に沿って順に設けたも
のである。
作用 上記構成の電子部品実装装置によれば、ロータリーヘ
ッドを高速度で回転させてマルチヘッドを電子部品の供
給ステージ，観察ステージ，θ補正エリア，マウントス
テージ，イニシャル化ステージ，ノズル選択エリア，ノ
ズル突出ステージに沿って順に回転させながら、電子部
品を基板に高速・高精度で実装できる。
ッドを高速度で回転させてマルチヘッドを電子部品の供
給ステージ，観察ステージ，θ補正エリア，マウントス
テージ，イニシャル化ステージ，ノズル選択エリア，ノ
ズル突出ステージに沿って順に回転させながら、電子部
品を基板に高速・高精度で実装できる。
しかもノズルを上下動自在にマルチヘッドに設け、不
要なノズルは上方へ退去させ、必要なノズルだけを下方
へ突出させるようにしているので、何れかのノズルに真
空吸着された電子部品が他のノズルに当ることはなく、
したがってノズル同士の間隔を小さくしてマルチヘッド
を小型コンパクトに構成できる。
要なノズルは上方へ退去させ、必要なノズルだけを下方
へ突出させるようにしているので、何れかのノズルに真
空吸着された電子部品が他のノズルに当ることはなく、
したがってノズル同士の間隔を小さくしてマルチヘッド
を小型コンパクトに構成できる。
実施例 次に、図面を参照しながら本発明の実施例を説明す
る。
る。
第２図は電子部品実装置の斜視図であって、１はロー
タリーヘッドであり、テーブル２上に設けられた駆動ボ
ックス３の下部に回転自在に配設されている。４はマル
チヘッドであって、ロータリーヘッド１の下面にその円
周方向に沿って多数個並設されている。５はテーブル１
上に設けられた外観検査装置であって、マルチヘッド４
のノズルの下端部に吸着された電子部品のｘ方向,y方
向，θ方向の位置ずれを検出する。６はXY方向移動装置
7,8から成るマウント部であって、その上部に基板９が
位置決めされており、基板９をXY方向に水平移動させ
て、所望の位置に電子部品を搭載する。10は基板９をマ
ウント部６に搬入し、またここから搬出するコンベヤで
ある。
タリーヘッドであり、テーブル２上に設けられた駆動ボ
ックス３の下部に回転自在に配設されている。４はマル
チヘッドであって、ロータリーヘッド１の下面にその円
周方向に沿って多数個並設されている。５はテーブル１
上に設けられた外観検査装置であって、マルチヘッド４
のノズルの下端部に吸着された電子部品のｘ方向,y方
向，θ方向の位置ずれを検出する。６はXY方向移動装置
7,8から成るマウント部であって、その上部に基板９が
位置決めされており、基板９をXY方向に水平移動させ
て、所望の位置に電子部品を搭載する。10は基板９をマ
ウント部６に搬入し、またここから搬出するコンベヤで
ある。
第３図はロータリーヘッド１の平面図である。矢印Ｎ
はロータリーヘッド１の回転方向であって、マルチヘッ
ド４はこのロータリーヘッド１の回転とともに矢印Ｎ方
向に回転するが、マルチヘッド４の移動路には、電子部
品を装備するトレイやテープユニットから成る電子部品
供給部11が備えられた電子部品の供給ステージＡ、上記
外観検査装置５が配設された観察ステージＢ、ノズルに
真空吸着された電子部品を基板に搭載するマウント部６
が備えられたマウントステージＣが順に設けられてい
る。
はロータリーヘッド１の回転方向であって、マルチヘッ
ド４はこのロータリーヘッド１の回転とともに矢印Ｎ方
向に回転するが、マルチヘッド４の移動路には、電子部
品を装備するトレイやテープユニットから成る電子部品
供給部11が備えられた電子部品の供給ステージＡ、上記
外観検査装置５が配設された観察ステージＢ、ノズルに
真空吸着された電子部品を基板に搭載するマウント部６
が備えられたマウントステージＣが順に設けられてい
る。
ＤはマウントステージＣと供給ステージＡの間に設け
られたイニシャル化ステージ、Ｅはノズル突出ステージ
であって、それぞれ平板から成るイニシャル化装置12と
（第２図も併せて参照）、棒材から成るノズル突出装置
13が設けられている。また観察ステージＢとマウントス
テージＣの間は、後に詳述するように、ノズルの下端部
に吸着された電子部品のθ方向（ノズルの軸心を中心と
する回転方向）の補正をゆっくりと行うθ補正エリアＦ
となっており、またイニシャル化ステージＤとノズル突
出ステージＥの間は、次に使用されるノズルを使用位置
に移動させるノズル選択エリアＧとなっている。
られたイニシャル化ステージ、Ｅはノズル突出ステージ
であって、それぞれ平板から成るイニシャル化装置12と
（第２図も併せて参照）、棒材から成るノズル突出装置
13が設けられている。また観察ステージＢとマウントス
テージＣの間は、後に詳述するように、ノズルの下端部
に吸着された電子部品のθ方向（ノズルの軸心を中心と
する回転方向）の補正をゆっくりと行うθ補正エリアＦ
となっており、またイニシャル化ステージＤとノズル突
出ステージＥの間は、次に使用されるノズルを使用位置
に移動させるノズル選択エリアＧとなっている。
イニシャル化装置12は、マルチヘッド４から下方に突
出するノズルを上方位置へ退去させるものである。また
ノズル突出装置13は、ノズル選択エリアＧにおいて、後
述する手段により、使用位置に移動させられたノズル
を、下方に突出させるものである。次に、第１図及び第
４図〜第６図を参照しながら、マルチヘッド４の詳細な
構造を説明する。
出するノズルを上方位置へ退去させるものである。また
ノズル突出装置13は、ノズル選択エリアＧにおいて、後
述する手段により、使用位置に移動させられたノズル
を、下方に突出させるものである。次に、第１図及び第
４図〜第６図を参照しながら、マルチヘッド４の詳細な
構造を説明する。
このマルチヘッド４は、略コの字形のフレーム25（第
１図参照）に、以下に述べる種々の部材を組み付けて構
成されている。第４図において、１は上記ロータリーヘ
ッドであって、垂直軸15とガイドシャフト16が貫通して
いる。垂直軸15の上部はスプライン軸15aとなってお
り、スプライン軸受け17に摺動自在に装着されている。
18はロータリーヘッド１に設けられたノズル選択駆動用
モータであり、タイミングベルト19を介して垂直軸15を
回転させることにより、垂直軸15の周囲に配設された４
つのノズル4a,4b,4c,4d（第５図参照）をこの垂直軸15
を中心に回動させて、これらのうちの、何れか一つのノ
ズルを使用位置（最外部）に移動させる。第４図及び第
５図では、ノズル4aが使用位置にある。なおこのモータ
18は、後述するように、各ノズル4a〜4dを、垂直軸15の
周囲を回動させることにより、その下端部に吸着された
電子部品Ｐのθ方向の位置ずれを補正するための補正用
モータを兼務している。
１図参照）に、以下に述べる種々の部材を組み付けて構
成されている。第４図において、１は上記ロータリーヘ
ッドであって、垂直軸15とガイドシャフト16が貫通して
いる。垂直軸15の上部はスプライン軸15aとなってお
り、スプライン軸受け17に摺動自在に装着されている。
18はロータリーヘッド１に設けられたノズル選択駆動用
モータであり、タイミングベルト19を介して垂直軸15を
回転させることにより、垂直軸15の周囲に配設された４
つのノズル4a,4b,4c,4d（第５図参照）をこの垂直軸15
を中心に回動させて、これらのうちの、何れか一つのノ
ズルを使用位置（最外部）に移動させる。第４図及び第
５図では、ノズル4aが使用位置にある。なおこのモータ
18は、後述するように、各ノズル4a〜4dを、垂直軸15の
周囲を回動させることにより、その下端部に吸着された
電子部品Ｐのθ方向の位置ずれを補正するための補正用
モータを兼務している。
第１図において、33は垂直軸15に装着された回転体で
あって、その周縁部にはスリットから成るマーク34が形
成されている。このマーク34は、各ノズル4a〜4dに対応
して４ケ所形成されており、センサー（図外）などによ
り、ノズルの現在位置を認識するための目印になってい
る。なお４ケ所のうち、１ケ所にだけマーク34は２個形
成され、原点マークとなっている。
あって、その周縁部にはスリットから成るマーク34が形
成されている。このマーク34は、各ノズル4a〜4dに対応
して４ケ所形成されており、センサー（図外）などによ
り、ノズルの現在位置を認識するための目印になってい
る。なお４ケ所のうち、１ケ所にだけマーク34は２個形
成され、原点マークとなっている。
21は垂直軸15とガイドシャフト16の上部を結合するブ
ラケットであり、これに突設されたローラ22に、昇降子
23が嵌合している。24はこの昇降子23を駆動する揺動子
であって、図示しない手段により駆動されてピン24aを
中心に揺動し、これに昇降子23,ブラケット21,垂直軸1
5,ガイドシャフト16は昇降する。20はカバーケースであ
る。32はフレーム25の下部に装着された反射板であり、
上記観察ステージＢにおいて、下方から照射された光を
この反射板32で反射させ、ノズル4a〜4dの下端部に吸着
された電子部品Ｐを黒いシルエットとして外観検査装置
５により観察し、そのｘ方向,y方向，θ方向の位置ずれ
を認識する。なお本発明のマルチヘッドは、ロータリー
ヘッド式の電子部品実装装置に限らず、他の方式の電子
部品実装装置に用いてもよいものである。
ラケットであり、これに突設されたローラ22に、昇降子
23が嵌合している。24はこの昇降子23を駆動する揺動子
であって、図示しない手段により駆動されてピン24aを
中心に揺動し、これに昇降子23,ブラケット21,垂直軸1
5,ガイドシャフト16は昇降する。20はカバーケースであ
る。32はフレーム25の下部に装着された反射板であり、
上記観察ステージＢにおいて、下方から照射された光を
この反射板32で反射させ、ノズル4a〜4dの下端部に吸着
された電子部品Ｐを黒いシルエットとして外観検査装置
５により観察し、そのｘ方向,y方向，θ方向の位置ずれ
を認識する。なお本発明のマルチヘッドは、ロータリー
ヘッド式の電子部品実装装置に限らず、他の方式の電子
部品実装装置に用いてもよいものである。
上記ノズル4a〜4dはフレーム25の下方に突出してお
り、またその上端部は係止部材26に装着されている（第
６図参照）。なお、係止部材26は、ノズル4a〜4dと一体
成形したものでもよい。29は係止部材26が保持されたシ
ャフト、30はこのシャフト29に嵌挿されたコイルスプリ
ングから成るばね材であり、このばね材30のばね力によ
り、係止部材26やこれに装着されたノズル4a〜4dは下方
に付勢されている。27はノズル4a〜4dがばね材30のばね
力により下降するのを阻止する下降阻止部材であって、
ピン28に軸着されており、その下端係止部27aは、上記
ノズル4a〜4d側の係止部材26の上端係止部26aに着脱自
在に係合している。31はリングばねであり、第６図にお
いて、阻止部材27を反時計方向、すなわち係止部27aが
係止部26aに係合する方向に付勢している。
り、またその上端部は係止部材26に装着されている（第
６図参照）。なお、係止部材26は、ノズル4a〜4dと一体
成形したものでもよい。29は係止部材26が保持されたシ
ャフト、30はこのシャフト29に嵌挿されたコイルスプリ
ングから成るばね材であり、このばね材30のばね力によ
り、係止部材26やこれに装着されたノズル4a〜4dは下方
に付勢されている。27はノズル4a〜4dがばね材30のばね
力により下降するのを阻止する下降阻止部材であって、
ピン28に軸着されており、その下端係止部27aは、上記
ノズル4a〜4d側の係止部材26の上端係止部26aに着脱自
在に係合している。31はリングばねであり、第６図にお
いて、阻止部材27を反時計方向、すなわち係止部27aが
係止部26aに係合する方向に付勢している。
ここで、マルチヘッド４が上記イニシャル化装置12の
上方にきた状態で、上記昇降子23が下降することにより
マルチヘッド４が下降すると、下方に突出するノズル
（例えばノズル4a）はこのイニシャル化装置12に着地
し、ノズル4aはスプリング30のばね力に抗して上方へ押
し上げられ、係止部材26の係止部26aは阻止部材27の係
止部27aに係合し、ノズル4aは上方位置（イニシャル位
置）に退去する。
上方にきた状態で、上記昇降子23が下降することにより
マルチヘッド４が下降すると、下方に突出するノズル
（例えばノズル4a）はこのイニシャル化装置12に着地
し、ノズル4aはスプリング30のばね力に抗して上方へ押
し上げられ、係止部材26の係止部26aは阻止部材27の係
止部27aに係合し、ノズル4aは上方位置（イニシャル位
置）に退去する。
またマルチヘッド４が上記ノズル選択エリアＧを移動
している間に、上記モータ18が駆動することにより、ノ
ズル4a〜4dは垂直軸15を中心に回動し、所望のノズル
（例えばノズル4b）が使用位置（最外部）に移動して選
択される。
している間に、上記モータ18が駆動することにより、ノ
ズル4a〜4dは垂直軸15を中心に回動し、所望のノズル
（例えばノズル4b）が使用位置（最外部）に移動して選
択される。
そしてロータリーヘッド１が更に回転して、このマル
チヘッド４が上記ノズル突出装置13まで移動すると、こ
のノズル突出装置13の先端部がノズル4bの上方の阻止部
材27の上部に当り（第６図鎖線参照）、この阻止部材27
をリングばね31のばね力に抗して内方へ押圧することに
より、阻止部材27は第６図において時計方向に回転し
て、係止部27aは係止部26aからはずれ、ノズル4bの下端
部はばね材30のばね力により下方に突出し、次に供給ス
テージＡにおいて、マルチヘッド４が昇降することによ
り、このノズル4bの下端部に電子部品Ｐを真空吸着して
ピックアップする。上記のように構成されたマルチヘッ
ド４は、構造が簡単であって小型コンパクトであり、し
たがってロータリーヘッド１に小さなピッチで多数並設
することができる。
チヘッド４が上記ノズル突出装置13まで移動すると、こ
のノズル突出装置13の先端部がノズル4bの上方の阻止部
材27の上部に当り（第６図鎖線参照）、この阻止部材27
をリングばね31のばね力に抗して内方へ押圧することに
より、阻止部材27は第６図において時計方向に回転し
て、係止部27aは係止部26aからはずれ、ノズル4bの下端
部はばね材30のばね力により下方に突出し、次に供給ス
テージＡにおいて、マルチヘッド４が昇降することによ
り、このノズル4bの下端部に電子部品Ｐを真空吸着して
ピックアップする。上記のように構成されたマルチヘッ
ド４は、構造が簡単であって小型コンパクトであり、し
たがってロータリーヘッド１に小さなピッチで多数並設
することができる。
本電子部品実装装置は上記のような構成より成り、次
に第３図と第７図を参照しながら全体の動作の説明を行
う。なお第７図は、各ステージA,B,Cにおける動作を簡
略に示すものである。
に第３図と第７図を参照しながら全体の動作の説明を行
う。なお第７図は、各ステージA,B,Cにおける動作を簡
略に示すものである。
供給ステージＡにおいて、何れかのノズル（例えばノ
ズル4a）に電子部品Ｐを真空吸着してピックアップした
マルチヘッド４は、ロータリーヘッド１が矢印Ｎ方向へ
間欠回転することにより、観察ステージＢに到達し、こ
こで、外観検査装置５により、ノズル4aの下端部に吸着
された電子部品Ｐのｘ方向,y方向，θ方向の位置ずれΔ
x,Δy,Δθが観察される（第７図の観察ステージＢの部
分拡大図参照）。
ズル4a）に電子部品Ｐを真空吸着してピックアップした
マルチヘッド４は、ロータリーヘッド１が矢印Ｎ方向へ
間欠回転することにより、観察ステージＢに到達し、こ
こで、外観検査装置５により、ノズル4aの下端部に吸着
された電子部品Ｐのｘ方向,y方向，θ方向の位置ずれΔ
x,Δy,Δθが観察される（第７図の観察ステージＢの部
分拡大図参照）。
次にマルチヘッド４はマウントステージＣへ向って移
動するが、その間のθ補正エリアＦにおいて、モータ18
が駆動して、ノズル4aを垂直軸15を中心に回転させるこ
とにより、θ方向の位置ずれΔθを補正する。このよう
にノズル4aをθ回転させると、そのセンター○は○′へ
移動するため（第７図のマウントステージＣの部分拡大
図参照）、新たなvy方向の誤差Δｘ′，Δｙ′を生じ
る。したがって、この誤差Δｘ′，Δｙ′と、上記誤差
Δx,Δｙを補正するよう、XY方向移動装置7,8を駆動し
て基板９をその分だけｘ方向やｙ方向に水平移動させる
ことにより、xy方向の位置ずれΔｘ＋Δｘ′，Δｙ＋Δ
ｙ′を補正したうえで、電子部品Ｐを基板９に搭載す
る。
動するが、その間のθ補正エリアＦにおいて、モータ18
が駆動して、ノズル4aを垂直軸15を中心に回転させるこ
とにより、θ方向の位置ずれΔθを補正する。このよう
にノズル4aをθ回転させると、そのセンター○は○′へ
移動するため（第７図のマウントステージＣの部分拡大
図参照）、新たなvy方向の誤差Δｘ′，Δｙ′を生じ
る。したがって、この誤差Δｘ′，Δｙ′と、上記誤差
Δx,Δｙを補正するよう、XY方向移動装置7,8を駆動し
て基板９をその分だけｘ方向やｙ方向に水平移動させる
ことにより、xy方向の位置ずれΔｘ＋Δｘ′，Δｙ＋Δ
ｙ′を補正したうえで、電子部品Ｐを基板９に搭載す
る。
このようにこの手段によれば、マルチヘッド４に装備
されたノズル選択駆動用モータ18と、マウント部６のXY
方向移動装置7,8を利用して、ノズル4a〜4dの下端部に
吸着された電子部品Ｐのθ方向の位置ずれを簡単かつ正
確に補正することができる。特にノズル4a〜4d等から成
る回動部分はかなりの重量を有しているが、マルチヘッ
ド４が観察ステージ13からマウントステージＣへ移動す
る間の十分に長いエリアをθ補正エリアＦとしているの
で、ゆっくりと時間的余裕をもって回動させてθ補正を
行うことができ、したがって小型低容量のモータであっ
ても、難なくかつ正確にθ補正を行うことができる。
されたノズル選択駆動用モータ18と、マウント部６のXY
方向移動装置7,8を利用して、ノズル4a〜4dの下端部に
吸着された電子部品Ｐのθ方向の位置ずれを簡単かつ正
確に補正することができる。特にノズル4a〜4d等から成
る回動部分はかなりの重量を有しているが、マルチヘッ
ド４が観察ステージ13からマウントステージＣへ移動す
る間の十分に長いエリアをθ補正エリアＦとしているの
で、ゆっくりと時間的余裕をもって回動させてθ補正を
行うことができ、したがって小型低容量のモータであっ
ても、難なくかつ正確にθ補正を行うことができる。
マウントステージＣにおいて、基板９に電子部品Ｐを
搭載したマルチヘッド４は、次の電子部品Ｐをピックア
ップするために、供給ステージＡへ向かって移動する
が、その途中にイニシャル化ステージＤにおいて、第６
図を参照しながら説明したように、マルチヘッド４を下
降させて下方へ突出する上記ノズル4aをイニシャル化装
置12に着地させることにより、このノズル4aを上方へ押
し上げて上方位置（イニシャル位置）へ退去させる。
搭載したマルチヘッド４は、次の電子部品Ｐをピックア
ップするために、供給ステージＡへ向かって移動する
が、その途中にイニシャル化ステージＤにおいて、第６
図を参照しながら説明したように、マルチヘッド４を下
降させて下方へ突出する上記ノズル4aをイニシャル化装
置12に着地させることにより、このノズル4aを上方へ押
し上げて上方位置（イニシャル位置）へ退去させる。
次にマルチヘッド４はノズル突出ステージＥへ向かっ
て移動するが、その途中のノズル選択エリアＧにおい
て、モータ18を駆動してマルチヘッド４を垂直軸15を中
心に回転させることにより、供給ステージＡで次にピッ
クアップする電子部品Ｐに適合するノズル（例えばノズ
ル4b）を選択する。そしてノズル突出ステージ13におい
て、ノズル突出装置13の先端部が選択されたノズル4bの
上方の阻止部材27の上部に当たることにより、その係止
部27aを係止部26aからはずして、ノズル4bをばね材30の
ばね力によって下方へ突出させる。次にマルチヘッド４
は供給ステージＡへ移動し、そこで昇降動作をすること
により、ノズル4bは次の電子部品Ｐを真空吸着してピッ
クアップし、以下、上述した動作が繰り返される。
て移動するが、その途中のノズル選択エリアＧにおい
て、モータ18を駆動してマルチヘッド４を垂直軸15を中
心に回転させることにより、供給ステージＡで次にピッ
クアップする電子部品Ｐに適合するノズル（例えばノズ
ル4b）を選択する。そしてノズル突出ステージ13におい
て、ノズル突出装置13の先端部が選択されたノズル4bの
上方の阻止部材27の上部に当たることにより、その係止
部27aを係止部26aからはずして、ノズル4bをばね材30の
ばね力によって下方へ突出させる。次にマルチヘッド４
は供給ステージＡへ移動し、そこで昇降動作をすること
により、ノズル4bは次の電子部品Ｐを真空吸着してピッ
クアップし、以下、上述した動作が繰り返される。
発明の効果 以上説明したように本発明の電子部品実装装置によれ
ば、供給ステージにおける電子部品のピックアップ、観
察ステージにおける位置ずれ検出、θ補正エリアとマウ
ントステージにおけるxyθ方向の位置ずれ補正と基板へ
の搭載、イニシャル化ステージにおけるノズルのイニシ
ャル化、選択エリアとノズル突出ステージにおけるノズ
ルの選択と突出などの必要な動作を、ロータリーヘッド
を高速度で回転させながら作業性よくスムーズに一連の
作業として行って、電子部品を高速・高精度で基板に実
装できる。
ば、供給ステージにおける電子部品のピックアップ、観
察ステージにおける位置ずれ検出、θ補正エリアとマウ
ントステージにおけるxyθ方向の位置ずれ補正と基板へ
の搭載、イニシャル化ステージにおけるノズルのイニシ
ャル化、選択エリアとノズル突出ステージにおけるノズ
ルの選択と突出などの必要な動作を、ロータリーヘッド
を高速度で回転させながら作業性よくスムーズに一連の
作業として行って、電子部品を高速・高精度で基板に実
装できる。
しかもノズルを上下動自在にマルチヘッドに設け、不
要なノズルは上方へ退去させ、必要なノズルだけを下方
へ突出させるようにしているので、何れかのノズルに真
空吸着された電子部品が他のノズルに当ることはなく、
したがってノズル同士の間隔を小さくしてマルチヘッド
を小型コンパクトに構成できる。
要なノズルは上方へ退去させ、必要なノズルだけを下方
へ突出させるようにしているので、何れかのノズルに真
空吸着された電子部品が他のノズルに当ることはなく、
したがってノズル同士の間隔を小さくしてマルチヘッド
を小型コンパクトに構成できる。
また各発明によれば、同一の駆動手段を駆動してマル
チヘッドを垂直軸を中心に回転させることにより、複数
個のノズルの中からのいずれかのノズルの選択と、下方
に突出したノズルに吸着された電子部品のθ方向の位置
ずれ補正を行うので、同一の駆動手段をノズル選択とθ
方向の位置ずれ補正に共用でき、より一層マルチヘッド
の構造を簡単化して小型コンパクト化できる。
チヘッドを垂直軸を中心に回転させることにより、複数
個のノズルの中からのいずれかのノズルの選択と、下方
に突出したノズルに吸着された電子部品のθ方向の位置
ずれ補正を行うので、同一の駆動手段をノズル選択とθ
方向の位置ずれ補正に共用でき、より一層マルチヘッド
の構造を簡単化して小型コンパクト化できる。
図は本発明の実施例を示すものであって、第１図はマル
チヘッドの斜視図、第２図は電子部品実装装置の斜視
図、第３図はロータリーヘッドの平面図、第４図はマル
チヘッドの側面図、第５図は底面図、第６図は部分側面
図、第７図はロータリーヘッドの平面図、第８図は従来
の電子部品実装装置のロータリーヘッドの側面図であ
る。 １……ロータリーヘッド ４……マルチヘッド 4a〜4d……ノズル ５……外観検査装置 ６……マウント部 7,8……XY方向移動装置 ９……基板 11……電子部品供給部 15……垂直軸 18……モータ 26……係止部材 27……下降阻止部材 30……ばね材 Ａ……供給ステージ Ｂ……観察ステージ Ｃ……マウントステージ Ｄ……イニシャル化ステージ Ｅ……ノズル突出ステージ Ｆ……θ補正エリア Ｇ……ノズル選択エリア
チヘッドの斜視図、第２図は電子部品実装装置の斜視
図、第３図はロータリーヘッドの平面図、第４図はマル
チヘッドの側面図、第５図は底面図、第６図は部分側面
図、第７図はロータリーヘッドの平面図、第８図は従来
の電子部品実装装置のロータリーヘッドの側面図であ
る。 １……ロータリーヘッド ４……マルチヘッド 4a〜4d……ノズル ５……外観検査装置 ６……マウント部 7,8……XY方向移動装置 ９……基板 11……電子部品供給部 15……垂直軸 18……モータ 26……係止部材 27……下降阻止部材 30……ばね材 Ａ……供給ステージ Ｂ……観察ステージ Ｃ……マウントステージ Ｄ……イニシャル化ステージ Ｅ……ノズル突出ステージ Ｆ……θ補正エリア Ｇ……ノズル選択エリア
Claims (2)
- 【請求項１】ロータリーヘッドと、このロータリーヘッ
ドの円周方向に沿って複数個並設されて垂直軸を中心に
回転するノズルを上下動自在に複数個備えたマルチヘッ
ドとを有する電子部品実装装置であって、 前記ロータリーヘッドとともに回転する前記マルチヘッ
ドの移動路に、前記複数個のノルズのうちの何れか一つ
のノズルが電子部品供給部に備えられた電子部品を真空
吸着してピックアップする電子部品の供給ステージと、
前記ノズルに真空吸着された電子部品を外観検査装置に
より観察してそのxyθ方向の位置ずれを検出する観察ス
テージと、この観察ステージで検出されたθ方向の位置
ずれを前記マルチヘッドを駆動手段を駆動して垂直軸を
中心に回転させることにより補正するθ補正エリアと、
基板を支持するXY方向移動装置を備えこのXY方向移動装
置を駆動してこの基板をxy方向に移動させることにより
xy方向の位置ずれを補正したうえで前記ノズルに真空吸
着された電子部品をこの基板に搭載するマウントステー
ジと、このマウントステージで前記基板に電子部品を搭
載した前記ノズルを上方へ退去させるイニシャル化ステ
ージと、前記マルチヘッドを前記駆動手段を駆動して前
記垂直軸を中心に回転させることにより前記複数個のノ
ズルのうちから、前記電子部品の供給ステージで次にピ
ックアップする電子部品に適合するノズルを選択するノ
ズル選択エリアと、このノズル選択エリアで選択された
ノズルを下方へ突出させるノズル突出ステージとを前記
ロータリーヘッドの回転方向に沿って順に設けたことを
特徴とする電子部品実装装置。 - 【請求項２】前記マルチヘッドが、駆動手段に駆動され
た回転する垂直軸と、この垂直軸の周囲に配設されて、
前記駆動手段の駆動によりこの垂直軸の周囲を回動する
複数個のノズルと、これらのノズルをそれぞれ下方に付
勢するばね材と、ノズル側の係止部材に着脱自在に係合
して、ノズルがこのばね材のばね力により下降するのを
阻止する下降阻止部材とから成り、かつ前記ノズル突出
ステージに前記下降阻止部材による前記ノズルの下降阻
止状態を解除して前記ノズルを前記ばね材のばね力によ
り下方へ突出させるノズル突出装置を設けたことを特徴
とする請求項１項記載の電子部品実装装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63251180A JP2745569B2 (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 電子部品実装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63251180A JP2745569B2 (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 電子部品実装装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9239321A Division JP2809226B2 (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | 電子部品実装装置のマルチヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0299000A JPH0299000A (ja) | 1990-04-11 |
| JP2745569B2 true JP2745569B2 (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=17218873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63251180A Expired - Lifetime JP2745569B2 (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 電子部品実装装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2745569B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2755855B2 (ja) * | 1991-12-19 | 1998-05-25 | 三洋電機株式会社 | 部品装着装置 |
| JP3477321B2 (ja) * | 1996-07-25 | 2003-12-10 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | 電子部品装着装置 |
| JP3981834B2 (ja) | 2003-11-19 | 2007-09-26 | ソニー株式会社 | 部品実装装置 |
| JP2007173500A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 電子部品の装着装置および装着方法 |
| CN106808199A (zh) * | 2015-12-01 | 2017-06-09 | 佳木斯骥驰拖拉机制造有限公司 | 一种拖拉机过桥装配工作台 |
| CN110431933B (zh) * | 2017-03-28 | 2020-12-22 | 株式会社富士 | 元件安装机 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6028298A (ja) * | 1983-07-27 | 1985-02-13 | 株式会社日立製作所 | 電子部品搭載装置 |
| JPS6163089A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-04-01 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品自動装着装置 |
| JPH0666560B2 (ja) * | 1985-07-12 | 1994-08-24 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品移載装置 |
| JPS62133794A (ja) * | 1985-12-06 | 1987-06-16 | 株式会社日立製作所 | 物品自動搭載装置 |
| JPS63221700A (ja) * | 1987-03-10 | 1988-09-14 | 三洋電機株式会社 | 部品装着装置 |
-
1988
- 1988-10-05 JP JP63251180A patent/JP2745569B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0299000A (ja) | 1990-04-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080213 Year of fee payment: 10 |
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