JP2622842B2 - 電子線画像表示装置および電子線画像表示装置の偏向方法 - Google Patents
電子線画像表示装置および電子線画像表示装置の偏向方法Info
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- H01J1/316—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode having an electric field parallel to the surface, e.g. thin film cathodes
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- H01J31/12—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は電子線画像表示装置およびその偏向方法に関
し、特に表面伝導形放出素子もしくはこれと類似の電子
放出素子を電子ビーム源として用いる電子線画像表示装
置およびその偏向方法に関するものである。
し、特に表面伝導形放出素子もしくはこれと類似の電子
放出素子を電子ビーム源として用いる電子線画像表示装
置およびその偏向方法に関するものである。
［従来の技術］ 近年、情報機器や家庭用TV受像機の分野で、薄形で視
認性の良い画像表示装置が求められている。従来、薄形
の画像表示装置としては、たとえば液晶表示装置やEL表
示装置、プラズマディスプレイパネルなどが開発されて
いるが、これらには、視野角、カラー化、輝度等の点に
問題があり、市場の要求する性能を十分に満足している
とは言えない状況である。
認性の良い画像表示装置が求められている。従来、薄形
の画像表示装置としては、たとえば液晶表示装置やEL表
示装置、プラズマディスプレイパネルなどが開発されて
いるが、これらには、視野角、カラー化、輝度等の点に
問題があり、市場の要求する性能を十分に満足している
とは言えない状況である。
ところで、従来、簡単な構造で電子の放出が得られる
素子としては、例えば、エム アイ エリンソン（M.I.
Elinson）等によって発表された冷陰極素子が知られて
いる。［ラジオ エンジニアリング エレクトロン フ
ィジックス（Radio Eng.Electron.Phys.）第10巻,1290
〜1296頁,1965年］ これは、基板上に形成された小面積の薄膜に、薄面に
平行に電流を流すことにより、電子放出が生ずる現象を
利用するもので、一般には表面伝導型放出素子と呼ばれ
ている。
素子としては、例えば、エム アイ エリンソン（M.I.
Elinson）等によって発表された冷陰極素子が知られて
いる。［ラジオ エンジニアリング エレクトロン フ
ィジックス（Radio Eng.Electron.Phys.）第10巻,1290
〜1296頁,1965年］ これは、基板上に形成された小面積の薄膜に、薄面に
平行に電流を流すことにより、電子放出が生ずる現象を
利用するもので、一般には表面伝導型放出素子と呼ばれ
ている。
この表面伝導型放出素子としては、前記エリンソン等
により開発されたSnO2（Sb）薄膜を用いたもの、Au薄膜
によるもの［ジー・ディトマー“スイン ソリド フィ
ルムス”（G.Dittmer:“Thin Solid Films"）,9巻,317
頁，（1972年）］、ITO薄膜によるもの［エム ハート
ウェル アンド シー ジー フォンスタッド“アイ
イー イー イー トランス” イー ディー コンフ
（M.Hartwell and C.G.Fonstad:“I E E E Trans.ED Co
nf."）519頁，（1975年）］、カーボン薄膜によるもの
［荒木久他：“真空",第26巻，第１号,22頁，（1983
年）］などが報告されている。
により開発されたSnO2（Sb）薄膜を用いたもの、Au薄膜
によるもの［ジー・ディトマー“スイン ソリド フィ
ルムス”（G.Dittmer:“Thin Solid Films"）,9巻,317
頁，（1972年）］、ITO薄膜によるもの［エム ハート
ウェル アンド シー ジー フォンスタッド“アイ
イー イー イー トランス” イー ディー コンフ
（M.Hartwell and C.G.Fonstad:“I E E E Trans.ED Co
nf."）519頁，（1975年）］、カーボン薄膜によるもの
［荒木久他：“真空",第26巻，第１号,22頁，（1983
年）］などが報告されている。
これらの表面伝導形放出素子は、 １）高い電子放出効率が得られる ２）構造が簡単であるため、製造が容易である ３）同一基板上に多数の素子を配列形成できる等の利点
を有する。
を有する。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、表面伝導形放出素子を、平板形表示装
置の蛍光体励起用として表示画素と同じ数だけ設けた場
合には、素子数が膨大な数となり、製造歩留りが低下
し、コストの増大をまねく結果となる。かといって、単
一の素子を用いて、全画面を走査した場合には、従来CR
Tと同様、薄形化を実現することは不可能である。
置の蛍光体励起用として表示画素と同じ数だけ設けた場
合には、素子数が膨大な数となり、製造歩留りが低下
し、コストの増大をまねく結果となる。かといって、単
一の素子を用いて、全画面を走査した場合には、従来CR
Tと同様、薄形化を実現することは不可能である。
そこで、折中案として、素子１個あたり数画素〜数十
画素を割り当てれば、素子の製造歩留りと装置の薄形化
の両方を高いレベルでバランスさせる事が可能となる。
画素を割り当てれば、素子の製造歩留りと装置の薄形化
の両方を高いレベルでバランスさせる事が可能となる。
その場合、電子線を走査する為には、従来は各素子毎
に偏光器を付設する方法が通常行われていたが、従来の
偏光器は、例えば第４図に示す様に、電極形状が複雑で
ある為、微細化やマルチ化が困難であった。なお、図
中、点線で囲まれた41は表面伝導形放出素子の１素子，
同様に点線で囲まれた42は１個の偏向器,43は蛍光体の
１画素,44はガラス板を示す。
に偏光器を付設する方法が通常行われていたが、従来の
偏光器は、例えば第４図に示す様に、電極形状が複雑で
ある為、微細化やマルチ化が困難であった。なお、図
中、点線で囲まれた41は表面伝導形放出素子の１素子，
同様に点線で囲まれた42は１個の偏向器,43は蛍光体の
１画素,44はガラス板を示す。
本発明は、上記の従来例の欠点を改善し、電子線発生
源として表面伝導形放出素子を用い、該素子の二極間に
印加する電圧を変化させる事により、電子線の軌道を制
御する事から、素子に偏向器を付設する必要がなくな
り、表示装置の構造を極めて簡素化する事を目的とする
ものである。
源として表面伝導形放出素子を用い、該素子の二極間に
印加する電圧を変化させる事により、電子線の軌道を制
御する事から、素子に偏向器を付設する必要がなくな
り、表示装置の構造を極めて簡素化する事を目的とする
ものである。
［問題点を解決するための手段］及び［作用］ すなわち、本発明は、基板面に沿って並設された電極
間に、前記電極を介して電圧が印加される電子放出部を
有する電子放出素子と、前記電子放出素子の上部のター
ゲット部材と、前記電極間に接続された電圧印加手段と
を備えた電子線画像表示装置において、前記電圧印加手
段は、前記電子放出素子から電子線を放出させる手段で
あり、かつ、前記電極間に印加する電圧を変化させるこ
とにより電子線の偏向量を変化させ、ターゲット部材上
の所望位置に電子線を到達させる手段であることを特徴
とする電子線画像表示装置である。
間に、前記電極を介して電圧が印加される電子放出部を
有する電子放出素子と、前記電子放出素子の上部のター
ゲット部材と、前記電極間に接続された電圧印加手段と
を備えた電子線画像表示装置において、前記電圧印加手
段は、前記電子放出素子から電子線を放出させる手段で
あり、かつ、前記電極間に印加する電圧を変化させるこ
とにより電子線の偏向量を変化させ、ターゲット部材上
の所望位置に電子線を到達させる手段であることを特徴
とする電子線画像表示装置である。
また、本発明は、基板面に沿って並設された電極間
に、前記電極を介して電圧を印加させる電子放出部を有
する電子放出素子と、前記電子放出素子の上部のターゲ
ット部材と、前記電極間に接続された電圧印加手段とを
備えた電子線画像表示装置の偏向方法において、前記電
圧印加手段は、前記電子放出素子から電子線を放出さ
せ、かつ、前記電極間に印加する電圧を変化させること
により電子線の偏向量を変化させ、ターゲット部材上の
所望位置に電子線を到達させることを特徴とする電子線
画像表示装置の偏向方法である。
に、前記電極を介して電圧を印加させる電子放出部を有
する電子放出素子と、前記電子放出素子の上部のターゲ
ット部材と、前記電極間に接続された電圧印加手段とを
備えた電子線画像表示装置の偏向方法において、前記電
圧印加手段は、前記電子放出素子から電子線を放出さ
せ、かつ、前記電極間に印加する電圧を変化させること
により電子線の偏向量を変化させ、ターゲット部材上の
所望位置に電子線を到達させることを特徴とする電子線
画像表示装置の偏向方法である。
本発明を完成するに先立ち、本発明者らは、表面伝導
形放出素子に於ては、二極間に印加する電圧と電子線の
軌道の間に、第５図に示すような関係がある事を実験的
に確認した。
形放出素子に於ては、二極間に印加する電圧と電子線の
軌道の間に、第５図に示すような関係がある事を実験的
に確認した。
第５図（ａ），（ｂ）に於て１と２は各々表面伝導形
放出素子に電圧を印加するために設けられた電極で、３
は、例えば金属や金属酸化物を材料とする薄膜（なお、
薄膜３の材料によっては、電極1,2と同様の材料を用い
てもよい）、４は前記薄膜３に従来公知のフォーミング
と呼ばれる処理を行なって形成した電子放出部、５′は
基板である。
放出素子に電圧を印加するために設けられた電極で、３
は、例えば金属や金属酸化物を材料とする薄膜（なお、
薄膜３の材料によっては、電極1,2と同様の材料を用い
てもよい）、４は前記薄膜３に従来公知のフォーミング
と呼ばれる処理を行なって形成した電子放出部、５′は
基板である。
また、51は素子から放出した電子線を捕集する為のコ
レクタ電極とし、電子線が当たった箇所を記録する為
に、表面には有機レジストが塗布されている。
レクタ電極とし、電子線が当たった箇所を記録する為
に、表面には有機レジストが塗布されている。
本発明者らが行なった実験によれば、同第５図（ａ）
に示すように、コレクタ電極51に一定電圧Vaを印加し、
素子の電極１と２の間に電圧Vf（Va＞Vf＞０）を印加し
たところ、レジストの露光点52は、電子放出部４の法線
上（破線）よりも、電極２の側にずれた位置にあった。
しかも、電圧Vaの一定のもとに、電圧Vfを変化させたと
ころ、電圧Vfを大きくするほど、変位量Δx1が大きくな
ることが判った。また、同第５図（ｂ）に示すように、
電極１と２の間に印加する電圧の極性を反転したとこ
ろ、露光点52は電極１側に移り、第５図（ａ）の場合と
同様、Vfを大きくするほど、変位量Δx2が大きくなっ
た。
に示すように、コレクタ電極51に一定電圧Vaを印加し、
素子の電極１と２の間に電圧Vf（Va＞Vf＞０）を印加し
たところ、レジストの露光点52は、電子放出部４の法線
上（破線）よりも、電極２の側にずれた位置にあった。
しかも、電圧Vaの一定のもとに、電圧Vfを変化させたと
ころ、電圧Vfを大きくするほど、変位量Δx1が大きくな
ることが判った。また、同第５図（ｂ）に示すように、
電極１と２の間に印加する電圧の極性を反転したとこ
ろ、露光点52は電極１側に移り、第５図（ａ）の場合と
同様、Vfを大きくするほど、変位量Δx2が大きくなっ
た。
本発明は、上述した実験結果にもとづいてなされたも
のである。尚、印加電圧Vfによる変位量Δｘの程度は、
表面伝導形放出素子の形状や大きさ、薄膜３に用いられ
る材料、素子とコレクタ電極との距離、コレクタ電極の
印加電圧Va等により変わるが、本発明は、どの様な場合
に於ても適用する事が可能である。
のである。尚、印加電圧Vfによる変位量Δｘの程度は、
表面伝導形放出素子の形状や大きさ、薄膜３に用いられ
る材料、素子とコレクタ電極との距離、コレクタ電極の
印加電圧Va等により変わるが、本発明は、どの様な場合
に於ても適用する事が可能である。
［実施例］ 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明をさらに詳
細に説明する。
細に説明する。
実施例１ 第１図は本発明に係わる電子線画像表示装置の一実施
例を示す部分説明図であり、電子線画像表示装置を構成
する多数の表示ユニットのうちの１つを示すものであ
る。図中、１〜４は前記第５図と同様で、表面伝導形放
出素子の各部位を示している。５及び11は板状のガラス
部材でなり、画像表示装置のバックプレート５及びフェ
ースプレート11を構成している。前記バックプレート5,
フェースプレート11及び図示外の側板により真空容器が
形成され、内部は１×10-6torr前後の真空度に保たれて
いる。ターゲット部材14のフェースプレート11の内面に
は透明電極（図示せず）をはさんで、蛍光体12,13がモ
ザイク状に塗り分けられて設けられている。
例を示す部分説明図であり、電子線画像表示装置を構成
する多数の表示ユニットのうちの１つを示すものであ
る。図中、１〜４は前記第５図と同様で、表面伝導形放
出素子の各部位を示している。５及び11は板状のガラス
部材でなり、画像表示装置のバックプレート５及びフェ
ースプレート11を構成している。前記バックプレート5,
フェースプレート11及び図示外の側板により真空容器が
形成され、内部は１×10-6torr前後の真空度に保たれて
いる。ターゲット部材14のフェースプレート11の内面に
は透明電極（図示せず）をはさんで、蛍光体12,13がモ
ザイク状に塗り分けられて設けられている。
前記透明電極には、高電圧電源７により、たとえばVC
＝10kVの加速電圧が印加される。
＝10kVの加速電圧が印加される。
本実施例の画像表示装置に於ては、表面伝導形放出素
子の電極に印加する電圧極性を適時反転することを特徴
としているが、図中、Tr1,Tr2,Tr3,Tr4で示されるの
は、そのためのスイッチング素子のトランジスタであ
る。トランジスタTr1及びTr2は、表面伝導形放出素子の
電極１に印加する電圧を制御し、またトランジスタTr3
及びTr4は電極２に印加する電圧を制御する。各トラン
ジスタのスイッチングのON又はOFFは、ベース端子B1〜B
4を介して外部から制御することが可能である。
子の電極に印加する電圧極性を適時反転することを特徴
としているが、図中、Tr1,Tr2,Tr3,Tr4で示されるの
は、そのためのスイッチング素子のトランジスタであ
る。トランジスタTr1及びTr2は、表面伝導形放出素子の
電極１に印加する電圧を制御し、またトランジスタTr3
及びTr4は電極２に印加する電圧を制御する。各トラン
ジスタのスイッチングのON又はOFFは、ベース端子B1〜B
4を介して外部から制御することが可能である。
本装置に於ては、 （ｉ）表面伝導形放出素子より放出された電子ビーム
が、第１図で示す軌道を飛翔し、蛍光体12が発光す
る。
が、第１図で示す軌道を飛翔し、蛍光体12が発光す
る。
（ii）表面伝導形放出素子より放出された電子ビーム
が、第１図で示す軌道を飛翔し、蛍光体13が発光す
る。
が、第１図で示す軌道を飛翔し、蛍光体13が発光す
る。
（iii）表面伝導形放出素子が駆動されず、電子ビーム
がOFFとなり、発光しない。
がOFFとなり、発光しない。
という３つの動作状態が存在する。
これらのうち、どの動作状態をとるかは第１表に示す
ように、トランジスタTr1〜Tr4の動作により決定され
る。
ように、トランジスタTr1〜Tr4の動作により決定され
る。
たとえば、トランジスタTr1及びTr4がONし、Tr2及びT
r3がOFFした場合には、第１図中の電極１にVE［Ｖ］、
電極２に０［Ｖ］が印加され、先述の第５図（ｂ）の説
明から明らかなように、電子ビームはの軌道を飛翔す
る。（動作状態（ｉ）） また、トランジスタTr2及びTr3がONし、Tr1及びTr4が
OFFした場合には、電極１、電極２に印加される電圧が
逆転するため、電子ビームは電極２側に偏向され、電子
ビームはの軌道を飛翔する。（動作状態（ii）） また、トランジスタTr2及びTr4がONし、Tr1及びTr3が
OFFした場合には、電極１と電極２にはともに０［Ｖ］
が印加されるため、電子放出は起こらない。（動作状態
（iii）） 従って、適当な信号をベース端子B1〜B4に印加するこ
とにより、蛍光体12もしくは13のうち１つを選択的に点
灯することも可能であるし、また状態（ｉ）と（ii）
を、毎秒60回程度、交互に繰り返せば視覚効果上、両画
素とも点灯している様に表示することもできる。
r3がOFFした場合には、第１図中の電極１にVE［Ｖ］、
電極２に０［Ｖ］が印加され、先述の第５図（ｂ）の説
明から明らかなように、電子ビームはの軌道を飛翔す
る。（動作状態（ｉ）） また、トランジスタTr2及びTr3がONし、Tr1及びTr4が
OFFした場合には、電極１、電極２に印加される電圧が
逆転するため、電子ビームは電極２側に偏向され、電子
ビームはの軌道を飛翔する。（動作状態（ii）） また、トランジスタTr2及びTr4がONし、Tr1及びTr3が
OFFした場合には、電極１と電極２にはともに０［Ｖ］
が印加されるため、電子放出は起こらない。（動作状態
（iii）） 従って、適当な信号をベース端子B1〜B4に印加するこ
とにより、蛍光体12もしくは13のうち１つを選択的に点
灯することも可能であるし、また状態（ｉ）と（ii）
を、毎秒60回程度、交互に繰り返せば視覚効果上、両画
素とも点灯している様に表示することもできる。
本発明者等が実際に製作した画像表示装置に於ては、
前記第１図に示した表示ユニットを200×200個、真空容
器内に並設した。各ユニットを独立に駆動することによ
り、200×400画素の表示が可能で、文字あるいは図形の
表示に非常に好適である。
前記第１図に示した表示ユニットを200×200個、真空容
器内に並設した。各ユニットを独立に駆動することによ
り、200×400画素の表示が可能で、文字あるいは図形の
表示に非常に好適である。
しかも、100［ft−Ｌ］以上の輝度を有しながら、装
置の厚さは3cm程度と薄形である。
置の厚さは3cm程度と薄形である。
この様に、第１図に示した実施例１によれば、極めて
簡単な構造で、高輝度な表示を得ることができる。した
がって、たとえば文字や図形を扱う情報機器端末を、安
価に提供することが可能となる。
簡単な構造で、高輝度な表示を得ることができる。した
がって、たとえば文字や図形を扱う情報機器端末を、安
価に提供することが可能となる。
実施例２ また、本発明の電子線発生装置のユニットとしては、
第２図に示す形態も可能である。本装置に於ては、表面
伝導形放出素子に印加する電圧として、第２表に示す４
種の組み合わせを用いる事により、〜のうちの所望
の軌道を選ぶ事が可能である。
第２図に示す形態も可能である。本装置に於ては、表面
伝導形放出素子に印加する電圧として、第２表に示す４
種の組み合わせを用いる事により、〜のうちの所望
の軌道を選ぶ事が可能である。
本実施例の場合、印加電圧の極性を反転させる必要が
ない為、駆動回路が小規模ですむ利点がある。また、印
加電圧を連続して変えれば、電子放出部４から放出され
た電子を引きだす電極24を通ってターゲット上に連続し
た線を描画する事も可能である。
ない為、駆動回路が小規模ですむ利点がある。また、印
加電圧を連続して変えれば、電子放出部４から放出され
た電子を引きだす電極24を通ってターゲット上に連続し
た線を描画する事も可能である。
さらに、本発明の画像表示装置では第２図に示すよう
に、D/A変換器23及びメモリ22を設けてもよい。この際
メモリ22内には、電子線を〜の各軌道に飛翔させる
為に、電極１に印加すべき電圧があらかじめ記憶されて
おり、このデータは外部からアドレスを指定する事によ
り、D/A変換器23に出力されるように設定してある。
に、D/A変換器23及びメモリ22を設けてもよい。この際
メモリ22内には、電子線を〜の各軌道に飛翔させる
為に、電極１に印加すべき電圧があらかじめ記憶されて
おり、このデータは外部からアドレスを指定する事によ
り、D/A変換器23に出力されるように設定してある。
また、D/A変換器23は、メモリ22の出力する数値デー
タにもとづき、電圧を発生するように設定されている。
タにもとづき、電圧を発生するように設定されている。
実施例３ また、本発明の表示装置のユニットとしては、第３図
に示す形態も可能である。本装置の場合、第３表に示す
４種類の組み合わせにより、蛍光体32〜35の中の所望の
１画素を発光させる事が可能である。
に示す形態も可能である。本装置の場合、第３表に示す
４種類の組み合わせにより、蛍光体32〜35の中の所望の
１画素を発光させる事が可能である。
また、本実施例の場合、表面伝導形放出素子と蛍光体
の間には、板状電極31が保持されている。該板状電極31
には、電子ビームを透過させる為の穴36〜39が設けられ
ている。
の間には、板状電極31が保持されている。該板状電極31
には、電子ビームを透過させる為の穴36〜39が設けられ
ている。
該板状電極31には、電圧Va（透明電極14bの印加電
圧）よりも低い電圧を印加するが、適当な電圧を選ぶ事
により次の様な効果を得る事が可能である。
圧）よりも低い電圧を印加するが、適当な電圧を選ぶ事
により次の様な効果を得る事が可能である。
（イ）レンズ効果により、蛍光体面で電子ビームが絞ら
れる為、蛍光スポットがシャープになる。
れる為、蛍光スポットがシャープになる。
（ロ）偏向感度が大きくなる。即ち、板状電極31を設け
ない場合に比べて、より小さな電圧（V1,V2）で電子線
の偏向が可能となる。
ない場合に比べて、より小さな電圧（V1,V2）で電子線
の偏向が可能となる。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、電子線発生源
に偏向器を付設する事なく電子線の偏向が可能である
為、極めて簡単な構造で表示装置を得る事ができる。
に偏向器を付設する事なく電子線の偏向が可能である
為、極めて簡単な構造で表示装置を得る事ができる。
その結果、従来のCRTと同様に高輝度でありながら、
厚さがその数分の１ですむ表示装置を安価に提供でき
る。
厚さがその数分の１ですむ表示装置を安価に提供でき
る。
第１図は本発明に係わる電子線画像表示装置の一実施例
を示す部分説明図、第２図は電子線発生装置の一実施例
を示す部分説明図、第３図は表示装置の他の実施例を示
す部分説明図、第４図は従来の電子線画像表示装置の説
明図および第５図（ａ），（ｂ）は表面伝導形放出素子
の構成を示す説明図である。 1,2,24……電極、３……薄膜 ４……電子放出部、５……バックプレート ５′……基板、７……高電圧電源 11……フェースプレート 12,13,32〜35,43……蛍光体 14……ターゲット部材、14a……ターゲット 14b……透明電極 Tr1,Tr2,Tr3,Tr4……トランジスタ B1,B2,B3,B4……ベース端子 22……メモリ、23……D/A変換器 31……板状電極、36〜39……穴
を示す部分説明図、第２図は電子線発生装置の一実施例
を示す部分説明図、第３図は表示装置の他の実施例を示
す部分説明図、第４図は従来の電子線画像表示装置の説
明図および第５図（ａ），（ｂ）は表面伝導形放出素子
の構成を示す説明図である。 1,2,24……電極、３……薄膜 ４……電子放出部、５……バックプレート ５′……基板、７……高電圧電源 11……フェースプレート 12,13,32〜35,43……蛍光体 14……ターゲット部材、14a……ターゲット 14b……透明電極 Tr1,Tr2,Tr3,Tr4……トランジスタ B1,B2,B3,B4……ベース端子 22……メモリ、23……D/A変換器 31……板状電極、36〜39……穴
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 武田 俊彦 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 坂野 嘉和 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 横野 幸次郎 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭56−15529（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−16379（ＪＰ，Ａ) 特公 昭45−23846（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭44−28009（ＪＰ，Ｂ１)
Claims (6)
- 【請求項１】基板面に沿って並設された電極間に、前記
電極を介して電圧が印加される電子放出部を有する電子
放出素子と、前記電子放出素子の上部のターゲット部材
と、前記電極間に接続された電圧印加手段とを備えた電
子線画像表示装置において、前記電圧印加手段は、前記
電子放出素子から電子線を放出させる手段であり、か
つ、前記電極間に印加する電圧を変化させることにより
電子線の偏向量を変化させ、ターゲット部材上の所望位
置に電子線を到達させる手段であることを特徴とする電
子線画像表示装置。 - 【請求項２】前記電圧印加手段は、前記電極の各々に独
立に電圧を印加する手段である特許請求の範囲第１項記
載の電子線画像表示装置。 - 【請求項３】前記電圧印加手段は、前記電極間に印加す
る電圧の極性を変えることができる手段である特許請求
の範囲第１項記載の電子線画像表示装置。 - 【請求項４】前記電圧印加手段は、放出される電子線を
複数の軌道に飛翔させるための複数の印加電圧値を記憶
したメモリを有している特許請求の範囲第１項ないし第
３項のいずれかの項に記載の電子線画像表示装置。 - 【請求項５】前記電子放出素子は、表面伝導型放出素子
である特許請求の範囲第１項ないし第４項のいずれかの
項に記載の電子線画像表示装置。 - 【請求項６】基板面に沿って並設された電極間に、前記
電極を介して電圧を印加させる電子放出部を有する電子
放出素子と、前記電子放出素子の上部のターゲット部材
と、前記電極間に接続された電圧印加手段とを備えた電
子線画像表示装置の偏向方法において、前記電圧印加手
段は、前記電子放出素子から電子線を放出させ、かつ、
前記電極間に印加する電圧を変化させることにより電子
線の偏向量を変化させ、ターゲット部材上の所望位置に
電子線を到達させることを特徴とする電子線画像表示装
置の偏向方法。
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