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JP2617849B2 - Canned motor for driving vacuum pump - Google Patents

Canned motor for driving vacuum pump

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Publication number
JP2617849B2
JP2617849B2 JP4059298A JP5929892A JP2617849B2 JP 2617849 B2 JP2617849 B2 JP 2617849B2 JP 4059298 A JP4059298 A JP 4059298A JP 5929892 A JP5929892 A JP 5929892A JP 2617849 B2 JP2617849 B2 JP 2617849B2
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JP
Japan
Prior art keywords
motor
mounting flange
motor frame
pump
vacuum pump
Prior art date
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JP4059298A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH05223098A (en
Inventor
洋二 三浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
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Filing date
Publication date
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  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
  • Motor Or Generator Cooling System (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はポンプと軸を共有し、且
つポンプに直結される真空ポンプ駆動用キャンドモータ
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a canned motor for driving a vacuum pump which shares a shaft with a pump and is directly connected to the pump.

【0002】[0002]

【従来技術】従来、モータフレームの一端に取付けたポ
ンプ取付フランジを介して該モータフレームとポンプフ
レームが連結され、モータ軸とポンプ軸とが一体的に連
結され、且つモータ固定子がフレームとキャンで密封さ
れた構造の真空ポンプ駆動用キャンドモータにおいて、
その冷却方法は一般に、固定子が挿入されたフレーム外
周に水冷室又は冷却フィンを設けてモータ固定子及び回
転子から発する熱を外部に放出して冷却している。
2. Description of the Related Art Conventionally, a motor frame and a pump frame are connected via a pump mounting flange mounted on one end of the motor frame, a motor shaft and a pump shaft are integrally connected, and a motor stator is fixed to the frame and the canister. In a canned motor for driving a vacuum pump having a structure sealed with
In general, a cooling method is provided by providing a water cooling chamber or cooling fins on the outer periphery of a frame in which a stator is inserted, and radiating heat generated from a motor stator and a rotor to the outside for cooling.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記のようにポンプと
軸を共用し、且つポンプに直結される真空ポンプ駆動用
キャンドモータにおいては、固定子や回転子で発生する
熱に加え、キャンで発熱する熱(渦流損による熱)及び
真空ポンプより伝導される熱によってモータの温度が上
昇する。そのためその対策として、モータの絶縁層を厚
くしたり絶縁性能の優れた材料を用いる等して絶縁性能
の向上を図ったり、モータの大型化(大容量化)を図る
必要があった。そのためコストアップ、寸法の増大及び
重量増大等の問題が存在する。
As described above, in a canned motor for driving a vacuum pump which shares a shaft with a pump and is directly connected to the pump, in addition to the heat generated in the stator and the rotor, the canned heat is generated. The heat of the motor (heat due to eddy current loss) and the heat conducted from the vacuum pump raise the temperature of the motor. Therefore, as a countermeasure, it is necessary to improve the insulation performance by increasing the thickness of the insulation layer of the motor or to use a material having excellent insulation performance, or to increase the size (increase in capacity) of the motor. Therefore, there are problems such as an increase in cost, an increase in size, and an increase in weight.

【0004】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、モータで発生した熱や真空ポンプより伝導される熱
を効率良く除去できる真空ポンプ駆動用キャンドモータ
を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a canned motor for driving a vacuum pump which can efficiently remove heat generated by the motor and heat transmitted from the vacuum pump.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、図1に示すよう筒状のモータフレーム1
の一端に取付けたポンプ取付フランジ3を介して該モー
タフレーム1とポンプフレーム20が連結され、且つモ
ータフレーム1の他端に反負荷側フランジ4が取付けら
れると共に、モータ軸12と真空ポンプ軸(図示せず)
とが一体的に連結され、更にモータ固定子2がモータ
レーム1とポンプ取付フランジ3と反負荷側フランジ4
とキャン7で密封された構造の真空ポンプ駆動用キャン
ドモータにおいて、モータフレーム1のポンプ取付フラ
ンジ3側の端部に絞り部1aを設け該絞り部1aの先端
をポンプ取付フランジ3の内径部に嵌合させ、且つ該絞
り部1aの外側面と該ポンプ取付フランジ3側面との間
に空隙Bを設け、モータフレームの外周に外周面との間
に空隙Aを隔てて一端が反負荷側フランジ4に密着され
他端がポンプ取付フランジ3に密着される筒状のジャケ
ット5を設け、更にキャン7の一端をモータフレーム1
の紋り部1a内周面に密着させ、モータフレーム1とジ
ャケット5絞り部1aの外側面とポンプ取付フランジ
3の側面及び反負荷側フランジ4の側面で囲まれた空隙
を水冷室としたことを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a cylindrical motor frame 1 as shown in FIG.
The motor frame 1 and the pump frame 20 is connected via a pump mounting flange 3 mounted on the one end, and mode
Anti-load side flange 4 is attached to the other end of the motor frame 1.
And a motor shaft 12 and a vacuum pump shaft (not shown).
: It is integrally connected, non-load-side flange 4 further motor stator 2 has a motor off <br/> frame 1 and the pump mounting flange 3
In a canned motor for driving a vacuum pump having a structure hermetically sealed with a can 7, a pump mounting flange of the motor frame 1 is provided.
A throttle portion 1a is provided at an end on the side of the flange 3 so that the tip of the throttle portion 1a is fitted to the inner diameter of the pump mounting flange 3 and between the outer surface of the throttle portion 1a and the side surface of the pump mounting flange 3. A gap B is provided, one end of which is in close contact with the non-load side flange 4 with a gap A between the outer periphery of the motor frame and the outer peripheral surface.
A cylindrical jacket 5 whose other end is in close contact with the pump mounting flange 3 is provided, and one end of the can 7 is further connected to the motor frame 1.
The gap surrounded by the motor frame 1, the jacket 5 , the outer surface of the throttle portion 1 a, the side surface of the pump mounting flange 3, and the side surface of the non-load side flange 4 is defined as a water cooling chamber. It is characterized by the following.

【0006】[0006]

【作用】本発明は真空ポンプ駆動用キャンドモータを上
記の如く構成することにより、ポンプ取付フランジ3に
伝えられた真空ポンプからの熱及びキャン7に発生しポ
ンプ取付フランジ3に伝えられた熱をフレーム1の絞り
部1aの外側面とポンプ取付フランジ3の側面との間の
空隙Bに流れる冷水により効率良く外部に放出できるか
ら、モータ全体の温度上昇を低く抑えることが可能とな
る。
According to the present invention, by constructing the canned motor for driving the vacuum pump as described above, the heat from the vacuum pump transferred to the pump mounting flange 3 and the heat generated in the can 7 and transferred to the pump mounting flange 3 are transferred. Since the cold water flowing in the space B between the outer surface of the throttle portion 1a of the frame 1 and the side surface of the pump mounting flange 3 can be efficiently discharged to the outside, it is possible to suppress the temperature rise of the entire motor to a low level.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図1は本発明の真空ポンプ駆動用キャンドモー
タの構造を示す断面図である。図1において、1はモー
タフレームであり、該モータフレーム1はプレス加工で
成形された円筒状で、且つその一端部に外径を小さくし
た絞り部1aが形成されている。モータフレーム1の絞
り部1aの先端はポンプ取付用フランジ3の内径部に嵌
合(圧入)して溶着し、他端は反負荷側フランジ4に嵌
合(圧入)して溶着している。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a canned motor for driving a vacuum pump according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a motor frame. The motor frame 1 has a cylindrical shape formed by press working, and has a narrowed portion 1a having a small outer diameter formed at one end thereof. The tip of the throttle portion 1a of the motor frame 1 is fitted (press-fitted) to the inner diameter of the pump mounting flange 3 and welded, and the other end is fitted (press-fitted) to the non-load side flange 4 and welded.

【0008】5はジャケットで、該ジャケット5は円筒
状でモータフレーム1の外周に位置し該モータフレーム
1の外周面との間に空隙Aを隔てて配置される。ジャケ
ット5の一端はポンプ取付用フランジ3に嵌合(圧入)
して溶着し、他端は反負荷側フランジ4に嵌合(圧入)
して溶着している。ジャケット5にはネジ加工され空隙
Aに連通するソケット6が2個溶着されている。ポンプ
取付用フランジ3のモータ側の側面は凹状に形成されて
おり、該側面とモータフレーム1の絞り部1aの外側面
との間に空隙Bが形成されている。前記2個のソケット
の内、一方が冷却水の入口配管に接続され、もう一方は
冷却水の出口配管に接続されている。即ち、モータフレ
ーム1の外周とジャケット5の内周の間の空隙Aと絞り
部1aの外側面とポンプ取付用フランジ3の側面の間の
空隙Bとで水冷室を形成している。
Reference numeral 5 denotes a jacket. The jacket 5 has a cylindrical shape and is located on the outer periphery of the motor frame 1 and is arranged with a gap A between the jacket and the outer peripheral surface of the motor frame 1. One end of the jacket 5 is fitted (press-fit) to the pump mounting flange 3.
And the other end is fitted (press-fit) to the non-load side flange 4
And welded. Two sockets 6 that are threaded and communicate with the gap A are welded to the jacket 5. The side surface of the pump mounting flange 3 on the motor side is formed in a concave shape, and a gap B is formed between the side surface and the outer surface of the throttle portion 1 a of the motor frame 1. One of the two sockets is connected to a cooling water inlet pipe, and the other is connected to a cooling water outlet pipe. That is, a water cooling chamber is formed by the gap A between the outer periphery of the motor frame 1 and the inner periphery of the jacket 5 and the gap B between the outer surface of the throttle portion 1a and the side surface of the pump mounting flange 3.

【0009】モータフレーム1の内部には固定子2が固
定され、該固定子2の内側円筒面には、薄い円筒状のキ
ャン7が挿入され、その一端部はポンプ取付用フランジ
3の内径部に溶着されたモータフレーム1の絞り部1a
の先端部内面に密着され、他端は反負荷側フランジ4に
密着されている。さらにキャン7はその両端で絞り部1
a及び反負荷側フランジ4に溶着される。
A stator 2 is fixed inside the motor frame 1, and a thin cylindrical can 7 is inserted into an inner cylindrical surface of the stator 2. Throttle section 1a of motor frame 1 welded to
, And the other end is in close contact with the non-load side flange 4. Further, the can 7 has a narrowed portion 1 at both ends.
a and welded to the non-load side flange 4.

【0010】反負荷側フランジ4の外側面には、Oリン
グ8を介在させて円板状の反負荷側カバー9がボルト1
0により固定されていて、真空ポンプ取付け時にポンプ
室(図示せず)及びキャン7の内側の室内の密封を確保
している。回転子11は真空ポンプの回転軸に直結した
回転軸12に圧入されている。
On the outer surface of the non-load side flange 4, a disk-shaped non-load side cover 9 is provided with a bolt 1 with an O-ring 8 interposed.
The inside of the pump chamber (not shown) and the inside of the can 7 is sealed when the vacuum pump is mounted. The rotor 11 is press-fitted into a rotating shaft 12 directly connected to the rotating shaft of the vacuum pump.

【0011】真空ポンプ駆動用キャンドモータを図1に
示すような構造とすることにより、ポンプ取付フランジ
3に伝えられた真空ポンプ(図示せず)からの熱及びキ
ャン7に発生しポンプ取付フランジ3に伝えられた渦流
損による熱は、フレーム1の絞り部1aの外側面とポン
プ取付フランジ3の側面との間の空隙Bに流れ込む冷水
により効果的に外部に放出することができ、モータ全体
の温度上昇を低く抑えることが可能となる。
When the canned motor for driving the vacuum pump is constructed as shown in FIG. 1, heat from the vacuum pump (not shown) transmitted to the pump mounting flange 3 and heat generated in the can 7 are generated. Due to the eddy flow loss transmitted to the motor, the cold water flowing into the gap B between the outer surface of the throttle portion 1a of the frame 1 and the side surface of the pump mounting flange 3 can be effectively released to the outside by the cold water. The temperature rise can be kept low.

【0012】[0012]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、下
記のような優れた効果が得られる。 (1)モータフレーム外周とジャケットと絞り部外側面
とポンプ取付フランジ側面及び反負荷側フランジ側面
囲まれた空隙を水冷室とし、該水冷室に冷却水を流すの
で、ポンプ取付フランジに接触している真空ポンプから
伝導する熱及びモータフレームに密着したキャンから伝
導する熱を外部に効率良く放出でき、モータ全体の温度
上昇を低く抑えることができ、構造が簡単でモータ自体
の小型化、軽量化が図れる。
As described above, according to the present invention, the following excellent effects can be obtained. (1) The space surrounded by the outer periphery of the motor frame, the jacket, the outer surface of the throttle portion, the side surface of the pump mounting flange, and the side surface of the non-load side flange is used as a water cooling chamber. The heat transmitted from the vacuum pump and the heat transmitted from the can closely attached to the motor frame can be efficiently released to the outside, the temperature rise of the entire motor can be suppressed low, the structure is simple, the motor itself is small, and the weight is low. Can be achieved.

【0013】(2)また、上記のように熱を外部に効率
よく放出できるので、モータと高熱源である真空ポンプ
との熱伝受けを考慮した距離もより近接することが可能
となり、真空ポンプ装置全体の小型化が図れる。
(2) Further, since the heat can be efficiently released to the outside as described above, the distance in consideration of the heat transfer between the motor and the vacuum pump as a high heat source can be further reduced, and the vacuum pump The size of the entire device can be reduced.

【0014】(3)また、真空ポンプの高速化に対応し
てインバータ電源を用いた高周波数運転においては、高
周波運転特有のキャンの渦流損が増加するが、渦流損増
加による発熱も効率よく除去できるので、真空ポンプ駆
動用キャンドモータの高速運転が可能になる。
(3) In high-frequency operation using an inverter power supply in response to an increase in the speed of the vacuum pump, the eddy current loss of the can, which is characteristic of high-frequency operation, increases. Therefore, the canned motor for driving the vacuum pump can be operated at a high speed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の真空ポンプ駆動用キャンドモータの構
造を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the structure of a canned motor for driving a vacuum pump according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 モータフレーム 1a 絞り部 2 固定子 3 ポンプ取付フランジ 4 反負荷側フランジ 5 ジャケット 6 ソケット 7 キャン 8 Oリング 9 反負荷側カバー 10 ボルト 11 回転子 12 回転軸 1 Motor Frame 1a Throttling Part 2 Stator 3 Pump Mounting Flange 4 Anti-Load Side Flange 5 Jacket 6 Socket 7 Can 8 O-Ring 9 Anti-Load Side Cover 10 Bolt 11 Rotor 12 Rotating Shaft

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 筒状のモータフレームの一端に取付けた
ポンプ取付フランジを介して該モータフレームとポンプ
フレームが連結され、且つモータフレームの他端に反負
荷側フランジが取付けられると共に、モータ軸と真空ポ
ンプ軸とが一体的に連結され、更にモータ固定子が前記
モータフレームとポンプ取付フランジと反負荷側フラン
ジとキャンで密封された構造の真空ポンプ駆動用キャン
ドモータにおいて、 前記モータフレームの前記ポンプ取付フランジ側の端部
に絞り部を設け、該絞り部先端を前記ポンプ取付フラン
ジの内径部に嵌合させ、且つ該絞り部外側面と該ポンプ
取付フランジ側面との間に空隙を設け、前記モータフレ
ームの外周に外周面との間に空隙を隔てて一端が前記反
負荷側フランジに密着され他端が前記ポンプ取付フラン
ジに密着される筒状のジャケットを設け、更に前記キャ
ンの一端をモータフレーム紋り部内周に密着させ、
モータフレームと該ジャケット絞り部外側面と該ポン
プ取付フランジ側面及び前記反負荷側フランジ側面で囲
まれた空隙を水冷室としたことを特徴とする真空ポンプ
駆動用キャンドモータ。
A motor frame and a pump frame are connected via a pump mounting flange mounted on one end of a cylindrical motor frame , and the other end of the motor frame is connected to the other end of the motor frame.
With load-side flange is attached, et al, the motor shaft and the vacuum pump shaft and is integrally connected, is further motor stator the
Motor frame, pump mounting flange and anti-load side franc
In a canned motor for driving a vacuum pump having a structure sealed with a can and a can, a throttle portion is provided at an end of the motor frame on the pump mounting flange side, and a tip of the throttle portion is fitted to an inner diameter portion of the pump mounting flange. is allowed, and the gap between the the narrowed outer side surface and said pump mounting flange side surface provided, wherein one end at a gap between the outer peripheral surface on the outer periphery of the motor frame <br/> over arm counter
The other end of the pump mounting flange
A tubular jacket, which is in close contact with the di-provided, to further close contact with one end of the can to the motor frame Monri inner peripheral surface, the
A canned motor for driving a vacuum pump, wherein a gap surrounded by the motor frame, the jacket , the outer surface of the throttle portion, the side surface of the pump mounting flange, and the side surface of the non-load side flange is a water cooling chamber.
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