JP2602801Y2 - 紫外線発生装置 - Google Patents
紫外線発生装置Info
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- JP2602801Y2 JP2602801Y2 JP1993073327U JP7332793U JP2602801Y2 JP 2602801 Y2 JP2602801 Y2 JP 2602801Y2 JP 1993073327 U JP1993073327 U JP 1993073327U JP 7332793 U JP7332793 U JP 7332793U JP 2602801 Y2 JP2602801 Y2 JP 2602801Y2
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- Japan
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- discharge tube
- microwave
- electrodeless discharge
- cooling
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- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、発光材料（ガス）が封
入された無電極放電管の当該発光材料をマイクロ波照射
で励起させて紫外線を発光させる装置に関するものであ
る。
入された無電極放電管の当該発光材料をマイクロ波照射
で励起させて紫外線を発光させる装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】紫外線は、近年では紫外線硬化接着剤や
インキ類の硬化、乾燥、特殊塗料の硬化、その他塗面処
理プロセス、および化学物質の光化学反応等に広く利用
されている。
インキ類の硬化、乾燥、特殊塗料の硬化、その他塗面処
理プロセス、および化学物質の光化学反応等に広く利用
されている。
【０００３】このような紫外線のうち、特に波長が短い
（ほぼ２００ｎｍ〜３００ｎｍ）紫外線（以下では「深
紫外線」と呼ぶ。）は、直接的に物質の分子結合を切っ
て原子を遊離させたり、他の原子や分子と結合させるこ
とができるなど、従来にはない特徴があるため、基本的
に熱を伴わない低温プロセスである光化学反応を起こさ
せることができ、加工分野、半導体製造分野、医療分野
などの各方面において応用研究、開発が進められてい
る。
（ほぼ２００ｎｍ〜３００ｎｍ）紫外線（以下では「深
紫外線」と呼ぶ。）は、直接的に物質の分子結合を切っ
て原子を遊離させたり、他の原子や分子と結合させるこ
とができるなど、従来にはない特徴があるため、基本的
に熱を伴わない低温プロセスである光化学反応を起こさ
せることができ、加工分野、半導体製造分野、医療分野
などの各方面において応用研究、開発が進められてい
る。
【０００４】これらの深紫外線を発光する装置として、
最近では、エキシマを生成する混合ガスを放電管内に封
入し、該混合ガスを放電することでエキシマ分子を生成
し、自然放出光を取り出すことを特徴とするエキシマ放
電ランプが実用化された。
最近では、エキシマを生成する混合ガスを放電管内に封
入し、該混合ガスを放電することでエキシマ分子を生成
し、自然放出光を取り出すことを特徴とするエキシマ放
電ランプが実用化された。
【０００５】エキシマ放電ランプは、その発光種である
エキシマを生成する混合ガスとして、希ガス（アルゴ
ン、クリプトン、キセノン等）、ハロゲンガス（フッ
素、塩素等）、希釈ガス（ヘリウム、ネオン、アルゴン
等）を使用し、各々ガスの組み合わせを変えることで、
ガス組成に特有でシャープな発光スペクトルが得られ、
低圧水銀等や重水素ランプ等この帯域における従来の一
般的なインコヒーレント光源と比較して、波長の選択性
に優れていることが有用視されている。
エキシマを生成する混合ガスとして、希ガス（アルゴ
ン、クリプトン、キセノン等）、ハロゲンガス（フッ
素、塩素等）、希釈ガス（ヘリウム、ネオン、アルゴン
等）を使用し、各々ガスの組み合わせを変えることで、
ガス組成に特有でシャープな発光スペクトルが得られ、
低圧水銀等や重水素ランプ等この帯域における従来の一
般的なインコヒーレント光源と比較して、波長の選択性
に優れていることが有用視されている。
【０００６】一方、エキシマ放電ランプの励起方式とし
て、従来の水銀灯の技術を改良したマイクロ波励起放電
による無電極発光装置が注目されている。マイクロ波無
電極発光装置の特徴は、マイクロ波電界により放電灯全
域を直接励起するため発光効率が高い、電極の劣化が無
いので長寿命、装置の構成が簡単であり、小型・安価
で、保守・取り扱いも容易、等であり、エキシマ放電ラ
ンプ励起用として、装置の実用化に向けて最適である。
て、従来の水銀灯の技術を改良したマイクロ波励起放電
による無電極発光装置が注目されている。マイクロ波無
電極発光装置の特徴は、マイクロ波電界により放電灯全
域を直接励起するため発光効率が高い、電極の劣化が無
いので長寿命、装置の構成が簡単であり、小型・安価
で、保守・取り扱いも容易、等であり、エキシマ放電ラ
ンプ励起用として、装置の実用化に向けて最適である。
【０００７】この種のマイクロ波無電極発光装置を利用
した紫外線発生装置を図４、図５に示す。図４は要部断
面図、図５は図４のＡ−Ａ線に沿った断面図である。１
は無電極放電管であり、棒状のガラス管とその内部に、
発光材料として、希ガス、ハロゲンガス、および希釈ガ
ス等の混合ガスを封入している。２はマイクロ波空洞、
３、４はそのマイクロ波空洞２を形成するための空洞
壁、５は筐体である。６は紫外線を反射させる誘電体ミ
ラーであり、無電極放電管１の放射光を照射方向（矢印
Ｂ方向）に集光させるよう内面が楕円又は放射線の凹面
形状となっている。この誘電体ミラー６は、厚さ２ｍｍ
程度のパイレックス（商品名）または石英ガラス等の透
光基材に対して、その内面に金属酸化物等の誘電体の蒸
着膜を数層乃至数十層にわたり形成したものである。
した紫外線発生装置を図４、図５に示す。図４は要部断
面図、図５は図４のＡ−Ａ線に沿った断面図である。１
は無電極放電管であり、棒状のガラス管とその内部に、
発光材料として、希ガス、ハロゲンガス、および希釈ガ
ス等の混合ガスを封入している。２はマイクロ波空洞、
３、４はそのマイクロ波空洞２を形成するための空洞
壁、５は筐体である。６は紫外線を反射させる誘電体ミ
ラーであり、無電極放電管１の放射光を照射方向（矢印
Ｂ方向）に集光させるよう内面が楕円又は放射線の凹面
形状となっている。この誘電体ミラー６は、厚さ２ｍｍ
程度のパイレックス（商品名）または石英ガラス等の透
光基材に対して、その内面に金属酸化物等の誘電体の蒸
着膜を数層乃至数十層にわたり形成したものである。
【０００８】７はマイクロ波空洞２にマイクロ波を供給
するための結合手段としてのアンテナで、マイクロ波発
生手段としてのマグネトロン８で発生され導波管９で供
給されたマイクロ波電力を、空洞２内に配置された無電
極放電管１の上面（奥面）に結合している。空洞壁４に
は無電極放電管１の近傍の電界を高めるための突起４ａ
が形成されている。
するための結合手段としてのアンテナで、マイクロ波発
生手段としてのマグネトロン８で発生され導波管９で供
給されたマイクロ波電力を、空洞２内に配置された無電
極放電管１の上面（奥面）に結合している。空洞壁４に
は無電極放電管１の近傍の電界を高めるための突起４ａ
が形成されている。
【０００９】１０はマイクロ波空洞２の一壁を形成する
と共に発生した紫外線を透過させるメッシュである。即
ち、このメッシュ１０は紫外線は透過させるがマイクロ
波に対しては短絡板として働く。１１は無電極放電管１
の発光により発生する熱を冷却するための送風装置であ
る。
と共に発生した紫外線を透過させるメッシュである。即
ち、このメッシュ１０は紫外線は透過させるがマイクロ
波に対しては短絡板として働く。１１は無電極放電管１
の発光により発生する熱を冷却するための送風装置であ
る。
【００１０】４ｂ、５ａ、６ａ、９ａは各々空洞壁４、
筐体５、誘電体ミラー６、導波管９に形成したエアー通
過用の通孔である。５ｂ、６ｂはそれぞれ筐体５、誘電
体ミラー６に形成したアンテナ７貫通用の通孔である。
筐体５、誘電体ミラー６、導波管９に形成したエアー通
過用の通孔である。５ｂ、６ｂはそれぞれ筐体５、誘電
体ミラー６に形成したアンテナ７貫通用の通孔である。
【００１１】この紫外線発生装置は、マグネトロン８を
励起させてマイクロ波電力をマイクロ波空洞２に導波管
９、アンテナ７を介して結合させると、そのマイクロ波
電力が無電極放電管１に封入した発光材料を励起し、そ
こでプラズマ放電が開始して光が発生するように動作す
る。
励起させてマイクロ波電力をマイクロ波空洞２に導波管
９、アンテナ７を介して結合させると、そのマイクロ波
電力が無電極放電管１に封入した発光材料を励起し、そ
こでプラズマ放電が開始して光が発生するように動作す
る。
【００１２】ところで、エキシマ放電ランプの発光出力
の経時変化（ランプ寿命）については、そのランプ管壁
の温度に強く起因することが判っており、プラズマ発生
に伴うランプ表面温度上昇の冷却をいかに効果的に行な
うかが装置の設計に際し重要なポイントである。上記図
４、図５に示す装置において、送風装置１１の冷却風量
を変化させた場合の、ＸｅＣｌエキシマ放電ランプ（発
光スペクトル波長３０８ｎｍ）におけるランプ表面温度
と発光出力半減時間の関係の一例を図６に示す。図６に
示す如く、ランプ発生出力の経時変化（ランプ寿命）
は、ランプ管壁の表面温度に大きく依存し、ランプ表面
温度が８００℃以上では急激に短くなることが判る。
の経時変化（ランプ寿命）については、そのランプ管壁
の温度に強く起因することが判っており、プラズマ発生
に伴うランプ表面温度上昇の冷却をいかに効果的に行な
うかが装置の設計に際し重要なポイントである。上記図
４、図５に示す装置において、送風装置１１の冷却風量
を変化させた場合の、ＸｅＣｌエキシマ放電ランプ（発
光スペクトル波長３０８ｎｍ）におけるランプ表面温度
と発光出力半減時間の関係の一例を図６に示す。図６に
示す如く、ランプ発生出力の経時変化（ランプ寿命）
は、ランプ管壁の表面温度に大きく依存し、ランプ表面
温度が８００℃以上では急激に短くなることが判る。
【００１３】
【考案が解決しようとする課題】ところが、上記図４、
図５に示すような従来の紫外線発生装置では、送風装置
１１より発生した風量（風速）が導波管９や空洞壁によ
り、大幅な抵抗を受け、無電極放電管１に到達する間に
大幅に減衰し、ランプ表面を効率よく、十分に冷却する
ことができないという問題があった。
図５に示すような従来の紫外線発生装置では、送風装置
１１より発生した風量（風速）が導波管９や空洞壁によ
り、大幅な抵抗を受け、無電極放電管１に到達する間に
大幅に減衰し、ランプ表面を効率よく、十分に冷却する
ことができないという問題があった。
【００１４】他問えば、図６におけるＸｅＣｌエキシマ
放電ランプの寿命（出力半減時間）を１６０時間得るた
めには、ランプ表面温度を７００℃以下にコントロール
しなくてはならない。このために必要な冷却風量（風
速）は約８ｍ／ｓｅｃであった。現状ではこの風速を確
保するために、送風装置１１として電気容量４００Ｗの
ブロワーが必要とされた。実用面を考慮すると、これ以
上の電気容量を持つブロワーを使用することは、形状寸
法、コストの面から事実上難しい。また、従来装置の冷
却構造では、マグネトロンと放電管を共に冷却する方式
のため大出力のブロワーを用いても空気抵抗が大きく、
風速が上がりにくい。このため、より高い発光出力を得
る目的でエキシマ放電ランプに供給するマイクロ波入力
電力を約２ｋＷ以上にすると、冷却風量を相当量増して
も、ランプ表面温度が１０００℃を超過し、ランプ管材
である石英の軟化点を越えるために、ランプ破損が発生
してしまう。今後、より高い発光出力を得るためには、
冷却構造の改善が不可欠である。
放電ランプの寿命（出力半減時間）を１６０時間得るた
めには、ランプ表面温度を７００℃以下にコントロール
しなくてはならない。このために必要な冷却風量（風
速）は約８ｍ／ｓｅｃであった。現状ではこの風速を確
保するために、送風装置１１として電気容量４００Ｗの
ブロワーが必要とされた。実用面を考慮すると、これ以
上の電気容量を持つブロワーを使用することは、形状寸
法、コストの面から事実上難しい。また、従来装置の冷
却構造では、マグネトロンと放電管を共に冷却する方式
のため大出力のブロワーを用いても空気抵抗が大きく、
風速が上がりにくい。このため、より高い発光出力を得
る目的でエキシマ放電ランプに供給するマイクロ波入力
電力を約２ｋＷ以上にすると、冷却風量を相当量増して
も、ランプ表面温度が１０００℃を超過し、ランプ管材
である石英の軟化点を越えるために、ランプ破損が発生
してしまう。今後、より高い発光出力を得るためには、
冷却構造の改善が不可欠である。
【００１５】
【課題を解決するための手段】このため本考案は、無電
極放電管を内包するようにマイクロ波空洞壁を貫いて配
設された冷却ガイド管を具備し、該冷却ガイド管の開放
端より上記送風装置の冷却風を導入して放電管のみを効
率的に冷却するように構成した。また、冷却ガイド管内
に水素、ヘリウム、ネオンガス等の比熱又は熱伝導率の
大きい媒質を使用することにより、より一層の冷却効果
が得られる。上記媒質は定圧比熱２（Ｊ・ｇ-1・ｋ-1）
以上、又は熱伝導率４×１０-2（ｗ・ｍ-1・ｋ-1）以上
のガスであって良い。
極放電管を内包するようにマイクロ波空洞壁を貫いて配
設された冷却ガイド管を具備し、該冷却ガイド管の開放
端より上記送風装置の冷却風を導入して放電管のみを効
率的に冷却するように構成した。また、冷却ガイド管内
に水素、ヘリウム、ネオンガス等の比熱又は熱伝導率の
大きい媒質を使用することにより、より一層の冷却効果
が得られる。上記媒質は定圧比熱２（Ｊ・ｇ-1・ｋ-1）
以上、又は熱伝導率４×１０-2（ｗ・ｍ-1・ｋ-1）以上
のガスであって良い。
【００１６】
【作用】このように構成することにより、無電極放電管
のみを集中的に冷却することが可能となり、冷却効果を
上げることで、加熱によるランプ破損を防ぎ、より高出
力、長寿命である紫外線発生装置が実現できる。
のみを集中的に冷却することが可能となり、冷却効果を
上げることで、加熱によるランプ破損を防ぎ、より高出
力、長寿命である紫外線発生装置が実現できる。
【００１７】
【実施例】以下に本考案の実施例について図面に沿って
説明する。図１は本考案の実施例を示す要部断面図であ
る。本図において図４および図５と同一の符号は同一又
は相当するものを示す。本図に示すようにマイクロ波空
洞２の空洞壁３を貫いて冷却ガイド管１２が無電極放電
管１を内包するように配設されている。この冷却ガイド
管１２には石英管を使用している。石英管は、無電極放
電管１より発光される紫外線を透過し、且つ、１０００
℃以上の耐熱を有し、本考案における冷却ガイド管とし
て最適である。なお、実験において冷却ガイド管は全長
３００ｍｍ内経２０ｍｍのものを使用し、無電極放電管
１は全長２５０ｍｍ管経８ｍｍとした。冷却ガイド管１
２内には無電極放電管１の両端の突設部１ａ、１ｂを支
持する支持体１３、１３が設けられている。この支持体
１３は金属メッシュや多数透孔を穿設した金属板等で構
成し、冷却ガイド管内壁に固着する。
説明する。図１は本考案の実施例を示す要部断面図であ
る。本図において図４および図５と同一の符号は同一又
は相当するものを示す。本図に示すようにマイクロ波空
洞２の空洞壁３を貫いて冷却ガイド管１２が無電極放電
管１を内包するように配設されている。この冷却ガイド
管１２には石英管を使用している。石英管は、無電極放
電管１より発光される紫外線を透過し、且つ、１０００
℃以上の耐熱を有し、本考案における冷却ガイド管とし
て最適である。なお、実験において冷却ガイド管は全長
３００ｍｍ内経２０ｍｍのものを使用し、無電極放電管
１は全長２５０ｍｍ管経８ｍｍとした。冷却ガイド管１
２内には無電極放電管１の両端の突設部１ａ、１ｂを支
持する支持体１３、１３が設けられている。この支持体
１３は金属メッシュや多数透孔を穿設した金属板等で構
成し、冷却ガイド管内壁に固着する。
【００１８】冷却ガイド管１２の開放端には送風装置１
１の冷却風吐出口がダクト１４により連結している。送
風装置１１ａは市販のブロワーやシロッコファン等であ
って良い。ダクト１４は耐熱性樹脂や熱放散の良いアル
ミ性が良く、フレキシブルなものが望ましい。
１の冷却風吐出口がダクト１４により連結している。送
風装置１１ａは市販のブロワーやシロッコファン等であ
って良い。ダクト１４は耐熱性樹脂や熱放散の良いアル
ミ性が良く、フレキシブルなものが望ましい。
【００１９】従来装置例図４、図５においては、送風装
置１１からのエアーが導波管９に設けられた通風孔９ａ
を経由し、空洞３内に通風孔５ａ、５ｂ、４ｂ、６ａ、
６ｂを介して吹き込まれ、この結果、エアーが無電極放
電管１を指向し、冷却を行なっている。例えば、マイク
ロ波入力電力が３ｋＷであるとき、無電極放電管１の表
面温度が７００〜８００℃になる様にコントロールされ
ている。このとき、空洞３内の風速は、約８ｍ／ｓｅｃ
であり、送風装置１１には市販の４００Ｗブロワーが使
用されている。本考案における冷却ガイドを使用する
と、冷却ガイド管内に同様の風速を得るためには、送風
装置１１ａとして、市販の１００Ｗ程度のブロワーで十
分である。
置１１からのエアーが導波管９に設けられた通風孔９ａ
を経由し、空洞３内に通風孔５ａ、５ｂ、４ｂ、６ａ、
６ｂを介して吹き込まれ、この結果、エアーが無電極放
電管１を指向し、冷却を行なっている。例えば、マイク
ロ波入力電力が３ｋＷであるとき、無電極放電管１の表
面温度が７００〜８００℃になる様にコントロールされ
ている。このとき、空洞３内の風速は、約８ｍ／ｓｅｃ
であり、送風装置１１には市販の４００Ｗブロワーが使
用されている。本考案における冷却ガイドを使用する
と、冷却ガイド管内に同様の風速を得るためには、送風
装置１１ａとして、市販の１００Ｗ程度のブロワーで十
分である。
【００２０】図２に従来装置と本考案による装置の場合
の送風装置電気容量と無電極放電管１の表面温度との関
係を示す。図２より、本考案を使用することで、電気容
量の小さい送風装置においても、無電極放電管１を十分
に冷却しうることが判る。なお、冷却ガイド管形状は図
１のものに限定されるものではない。例えば、図３に示
すように、ガイド管の左右双方より冷却風を入れて、中
央部付近より排気する構造にして、より均一な温度分布
で管内冷却を図るとか、逆に中央から冷却風を入れて、
両端部より排気するものでもよいことは言うまでもな
い。
の送風装置電気容量と無電極放電管１の表面温度との関
係を示す。図２より、本考案を使用することで、電気容
量の小さい送風装置においても、無電極放電管１を十分
に冷却しうることが判る。なお、冷却ガイド管形状は図
１のものに限定されるものではない。例えば、図３に示
すように、ガイド管の左右双方より冷却風を入れて、中
央部付近より排気する構造にして、より均一な温度分布
で管内冷却を図るとか、逆に中央から冷却風を入れて、
両端部より排気するものでもよいことは言うまでもな
い。
【００２１】また、ガイド管内の冷却風として、水素、
ヘリウム、ネオン等、比熱又は熱伝導率の大きな媒体ガ
スを使用することで、更に冷却効果が増強できる。媒質
ガスは、好ましくは定圧比熱２（Ｊ・ｇ-1・ｋ-1）以
上、又は熱伝導率４×１０-2（ｗ・ｍ-1・ｋ-1）以上の
ものである。また、本考案については無電極放電管形状
として、棒状のものを実施例として取り上げたが、球状
その他の形状についても本考案が有効であることは言う
までもない。
ヘリウム、ネオン等、比熱又は熱伝導率の大きな媒体ガ
スを使用することで、更に冷却効果が増強できる。媒質
ガスは、好ましくは定圧比熱２（Ｊ・ｇ-1・ｋ-1）以
上、又は熱伝導率４×１０-2（ｗ・ｍ-1・ｋ-1）以上の
ものである。また、本考案については無電極放電管形状
として、棒状のものを実施例として取り上げたが、球状
その他の形状についても本考案が有効であることは言う
までもない。
【００２２】
【考案の効果】以上説明したように、大幅な冷却効果改
善のため、送風装置の小型化が実現され、十分に冷却を
行なえることから、長寿命、ハイパワーであるエキシマ
放電ランプの実用化に必要且つ有効な手段となる利点を
有する。
善のため、送風装置の小型化が実現され、十分に冷却を
行なえることから、長寿命、ハイパワーであるエキシマ
放電ランプの実用化に必要且つ有効な手段となる利点を
有する。
【図１】本考案による紫外線発生装置の一実施例を示す
要部断面図である。
要部断面図である。
【図２】送風装置の電気容量と無電極放電管表面温度の
関係を示すグラフである。
関係を示すグラフである。
【図３】本考案に使用する冷却ガイド管の他の例を示す
図である。
図である。
【図４】従来使用したマイクロ波無電極発光装置を示す
要部断面図である。
要部断面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図６】ランプ表面温度と発光出力半減時間の関係を示
すグラフである。
すグラフである。
１、無電極放電管 １ａ、１ｂ、突設部 ２、マイクロ波空洞 ３、４、空洞壁 ５、筐体 ６、誘電体ミラー ７、アンテナ ８、マグネトロン ９、導波管 １０、メッシュ １１、送風装置 １２、冷却ガイド管 １３、支持体 １４、ダクト
Claims (2)
- 【請求項１】 ガスが封入された無電極放電管と、該無
電極放電管が配置されるマイクロ波空洞を形成する空洞
壁と、マイクロ波発生手段と、該マイクロ波発生手段で
発生したマイクロ波を上記無電極放電管に結合するマイ
クロ波結合手段と、上記無電極放電管に冷却風を吹き付
ける送風装置とを具備した紫外線発生装置において、上
記無電極放電管を内包するように上記空洞壁を貫いて配
設された冷却ガイド管を具備し、該冷却ガイド管の開放
端より上記送風装置の冷却風を導入していることを特徴
とする紫外線発生装置。 - 【請求項２】 請求項１の紫外線発生装置において、冷
却風として水素、ヘリウム、ネオンガス等の定圧比熱２
（Ｊ・ｇ-1・ｋ-1）以上、又は熱伝導率４×１０-2（ｗ
・ｍ-1・ｋ-1）以上のガスを使用することを特徴とする
請求項１に記載の紫外線発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993073327U JP2602801Y2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 紫外線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993073327U JP2602801Y2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 紫外線発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0741962U JPH0741962U (ja) | 1995-07-21 |
| JP2602801Y2 true JP2602801Y2 (ja) | 2000-01-31 |
Family
ID=13514973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993073327U Expired - Lifetime JP2602801Y2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 紫外線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2602801Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009289527A (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
-
1993
- 1993-12-24 JP JP1993073327U patent/JP2602801Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0741962U (ja) | 1995-07-21 |
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