JP2699927B2 - Taping equipment for semiconductor devices - Google Patents
Taping equipment for semiconductor devicesInfo
- Publication number
- JP2699927B2 JP2699927B2 JP7124051A JP12405195A JP2699927B2 JP 2699927 B2 JP2699927 B2 JP 2699927B2 JP 7124051 A JP7124051 A JP 7124051A JP 12405195 A JP12405195 A JP 12405195A JP 2699927 B2 JP2699927 B2 JP 2699927B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- taping
- paper tape
- hole
- tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Chain Conveyers (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置のテーピン
グ装置に関し、特に多数の半導体装置を紙テープに等間
隔に貼付けを行う半導体装置のテーピング装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device taping device, and more particularly to a semiconductor device taping device for attaching a large number of semiconductor devices to a paper tape at equal intervals.
【0002】[0002]
【従来の技術】図11に半導体装置の外観を示す。一般
的に、半導体装置1は樹脂封止部(半導体装置本体)
2、リード線3から成る。半導体装置1が使用者に出荷
される際の形態の一つとして、ラジアルテーピングがあ
る。これは、図11に示すような1方向にリード線3が
出ている半導体装置において、図12に示すようにリー
ド線3の先端を帯状の紙テープ4に貼付けた形態であ
る。リード線3の紙テープ4への貼付けは、カバーテー
プ5により行われている。また、紙テープ4には等間隔
で送り穴6が設けられている。2. Description of the Related Art FIG. 11 shows an appearance of a semiconductor device. Generally, the semiconductor device 1 has a resin sealing portion (semiconductor device body).
2, consisting of lead wires 3. One form of shipping the semiconductor device 1 to a user is radial taping. This is a form in which the tip of the lead wire 3 is affixed to a belt-shaped paper tape 4 as shown in FIG. 12 in a semiconductor device in which the lead wire 3 extends in one direction as shown in FIG. The attachment of the lead wire 3 to the paper tape 4 is performed by a cover tape 5. The paper tape 4 is provided with feed holes 6 at equal intervals.
【0003】従来、このようなラジアルテーピングを行
う半導体装置のテーピング装置は、図13に示す回転ド
ラム15を用いていた。回転ドラム15の上部の外周に
は半導体装置1の樹脂封止部2の入る凹部9が等間隔で
設けられており、紙テープ4は回転ドラム15の下部外
周に巻き付く構造となっている。水平フィーダ17によ
り供給される半導体装置1は、図14に示す様に回転ド
ラム15の凹部9に樹脂封止部2が入り込み、リード線
3は回転ドラム15の下部に巻き付いている紙テープ4
の上に位置する。回転ドラム15に供給された半導体装
置1は回転ドラムの回転に伴って、リード曲げユニット
18でリード線3が曲げられる。Conventionally, a taping device for a semiconductor device that performs such radial taping uses a rotary drum 15 shown in FIG. Recesses 9 in which the resin sealing portion 2 of the semiconductor device 1 is inserted are provided at equal intervals on the outer periphery of the upper portion of the rotating drum 15, and the paper tape 4 is wound around the lower periphery of the rotating drum 15. As shown in FIG. 14, the semiconductor device 1 supplied by the horizontal feeder 17 has the resin sealing portion 2 inserted into the concave portion 9 of the rotating drum 15, and the lead wire 3 is a paper tape 4 wound around the lower portion of the rotating drum 15.
Located above. The lead wire 3 of the semiconductor device 1 supplied to the rotating drum 15 is bent by the lead bending unit 18 as the rotating drum rotates.
【0004】次に、カバーテープ5がリード線3の上に
供給され、テープ熱圧着ユニット16でカバーテープ5
を紙テープ4に接着させることにより、リード線3を紙
テープ4に貼付ける。カバーテープ5には粘着材がはい
っており、加熱・加圧することにより粘着材が溶け出し
て、カバーテープ5の下にあるリード線3と紙テープ4
とを接着させるのである。[0004] Next, the cover tape 5 is supplied onto the lead wire 3, and the cover tape 5 is supplied by the tape thermocompression unit 16.
Is adhered to the paper tape 4 to attach the lead wire 3 to the paper tape 4. The cover tape 5 contains an adhesive, and the adhesive is melted by heating and pressing, and the lead wire 3 and the paper tape 4 under the cover tape 5 are melted.
And glue them together.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】この従来の半導体装置
のテーピング装置では回転ドラム15を用いているの
で、回転ドラム15の外周に配置するリード曲げユニッ
ト18、テープ熱圧着ユニット16等の各種機能ユニッ
トを回転ドラム15の外周接線方向に対し垂直に位置合
わせする必要があり、位置調整が難しいという問題があ
った。In this conventional semiconductor device taping device, since the rotary drum 15 is used, various functional units such as a lead bending unit 18 and a tape thermocompression unit 16 arranged on the outer periphery of the rotary drum 15 are used. Needs to be aligned perpendicular to the direction of the tangent to the outer periphery of the rotating drum 15, and there has been a problem that position adjustment is difficult.
【0006】また、回転ドラム15の外周上で半導体装
置1に対して各種作業を行うため回転ドラム15の大き
さは極力大きくする必要があり(例えば、紙テープ4が
回転ドラム15に巻き付いている構造のため、回転ドラ
ム15を小さくした場合、紙テープ4に貼り付いている
半導体装置1のリード線3が曲がってしまう)、テーピ
ング装置が大型化するという問題もあった。In order to perform various operations on the semiconductor device 1 on the outer periphery of the rotating drum 15, the size of the rotating drum 15 needs to be as large as possible (for example, a structure in which the paper tape 4 is wound around the rotating drum 15). Therefore, when the rotating drum 15 is made small, the lead wire 3 of the semiconductor device 1 stuck to the paper tape 4 is bent), and there is a problem that the taping device becomes large.
【0007】さらに、現在半導体装置のテーピング工程
の合理化のため設備の複合化が進められているが、テー
ピングを行う工程とその前工程である特性分類工程の複
合化を行う場合には、テーピングを行う部分で、複数に
分類された半導体装置に対してそれぞれ別々のテーピン
グを行わなくてはならない。しかしながら、従来の半導
体装置のテーピング装置では回転ドラムを用いているの
で、装置は大きなものとなり、また、複数に分かれる半
導体装置をそれぞれに対応する回転ドラムに供給するこ
とは非常に困難であり、実現不可能であった。[0007] Further, at present, facilities are being combined to streamline the taping process of semiconductor devices. However, in the case of combining the process of performing taping and the characteristic classification process which is the preceding process, taping is performed. In the part to be performed, separate taping must be performed on each of the semiconductor devices classified into a plurality. However, since a conventional semiconductor device taping device uses a rotating drum, the device becomes large, and it is very difficult to supply a plurality of divided semiconductor devices to the corresponding rotating drums. It was impossible.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置のテ
ーピング装置は、リードが一方向に導出された半導体装
置の前記リードに紙テープ貼付けを行う半導体装置のテ
ーピング装置であり、前記半導体装置の樹脂封止部を保
持して前記半導体装置を直線的に搬送するためのチェイ
ン構造の搬送系と、前記リードの上にカバーテープを供
給する機構と、前記リードを前記紙テープと前記カバー
テープとの間に熱圧着する機構とを有することを特徴と
する。前記搬送系は金属製ブロックが複数個連結された
チェイン構造を持ち、定ピッチで半導体装置を直線的に
搬送する。また、前記ブロックには、半導体装置本体が
挿入される凹部と位置決めのための穴とを有する。前記
搬送系のチェイン構造を構成している前記ブロックは、
前記穴にスプロケットローラの送り爪が嵌入することに
より定ピッチで間欠駆動される。前記半導体装置本体が
挿入される位置には、この位置で間欠停止状態にある前
記ブロックの前記穴に出没自在に第1の位置決めピンが
設けられていることが好ましい。一方、前記紙テープの
貼付けを行う位置には、この位置で間欠停止状態にある
前記ブロックの前記穴に出没自在に第2の位置決めピン
が設けられていることが好ましい。更に、前記紙テープ
の貼付けを行う位置には、前記凹部に挿入された前記半
導体装置本体の移動に伴ってその一部に係合して該半導
体装置本体を前記凹部内の所定位置に押しやるばね部材
が配置されている。A semiconductor device taping device according to the present invention is a semiconductor device taping device for attaching a paper tape to the leads of a semiconductor device from which leads are led out in one direction. A transport system having a chain structure for linearly transporting the semiconductor device while holding a sealing portion, a mechanism for supplying a cover tape over the lead, and a mechanism for moving the lead between the paper tape and the cover tape. And a thermocompression bonding mechanism. The transfer system has a chain structure in which a plurality of metal blocks are connected, and transfers a semiconductor device linearly at a constant pitch. The block has a concave portion into which the semiconductor device body is inserted and a hole for positioning. The block constituting the chain structure of the transport system,
When the feed pawl of the sprocket roller is fitted into the hole, it is intermittently driven at a constant pitch. It is preferable that a first positioning pin is provided at a position where the semiconductor device main body is inserted so as to be able to protrude and retract into the hole of the block that is intermittently stopped at this position. On the other hand, it is preferable that a second positioning pin is provided at a position where the paper tape is attached so as to be able to protrude and retract into the hole of the block that is intermittently stopped at this position. Further, a spring member is provided at a position where the paper tape is to be attached, to engage with a part of the semiconductor device main body inserted into the concave portion as the semiconductor device main body moves and to push the semiconductor device main body to a predetermined position in the concave portion. Is arranged.
【0009】[0009]
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図1は本発明による半導体装置のテーピング装置の
概略構成を示す図である。図1において、キャリアベル
ト7は、2つのスプロケットローラ8a、8bで定ピッ
チに間欠回転する。キャリアベルト7には等間隔で凹部
9が設けられており、この凹部9に半導体装置1の樹脂
封止部2が納まる構造となっている。キャリアベルト7
は、図2、図3に示すキャリアコマ10が複数個ベルト
状に連結された構造を持つ。キャリアコマ10の中央に
は半導体装置1の樹脂封止部2が入る凹部9がある。ま
た、隣り合うキャリアコマ10を連結するために、連結
方向の一端には凸部を有し、他端には隣のキャリアコマ
の凸部の嵌入可能な凹部を有する。これらの凸部と凹部
を形成している部分にはそれぞれ、連結用穴11が設け
られている。キャリアコマ10は更に、連結方向に直角
な方向の一端側が低くなるような段部にされ、この低く
なった段部にはキャリアコマ10の位置を決めるための
位置決め用穴12が設けられている。このような段部を
設ける理由は後述する。Next, the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a taping device for a semiconductor device according to the present invention. In FIG. 1, the carrier belt 7 is intermittently rotated at a constant pitch by two sprocket rollers 8a and 8b. The carrier belt 7 is provided with concave portions 9 at equal intervals, and has a structure in which the resin sealing portion 2 of the semiconductor device 1 is accommodated in the concave portion 9. Carrier belt 7
Has a structure in which a plurality of carrier pieces 10 shown in FIGS. 2 and 3 are connected in a belt shape. At the center of the carrier piece 10, there is a concave portion 9 in which the resin sealing portion 2 of the semiconductor device 1 enters. Further, in order to connect adjacent carrier pieces 10, one end in the connection direction has a convex portion, and the other end has a concave portion into which the convex portion of the adjacent carrier piece can be fitted. A connection hole 11 is provided in each of the portions forming these convex portions and concave portions. The carrier piece 10 is further formed with a stepped portion such that one end side in a direction perpendicular to the connecting direction is lowered, and the lowered stepped portion is provided with a positioning hole 12 for determining the position of the carrier piece 10. . The reason for providing such a step will be described later.
【0010】複数のキャリアコマ10は、図4に示すよ
うに、凸部を凹部に嵌め込んだ後、連結用穴11にピン
を挿入することによりチェーン構造に連結され、キャリ
アベルト7を構成する。キャリアベルト7は、図5に示
されるように、2つのスプロケットローラ8a、8bに
より定ピッチで間欠回転する。スプロケットローラ8
a、8bは複数の送り爪13を有するローラであり、送
り爪13がキャリアコマ10の位置決め用穴12に入り
込んでいることにより、スプロケットローラ8a、8b
の回転でキャリアベルト7が駆動される。As shown in FIG. 4, a plurality of carrier pieces 10 are connected to a chain structure by inserting a pin into a connecting hole 11 after fitting a convex portion into a concave portion, thereby forming a carrier belt 7. . As shown in FIG. 5, the carrier belt 7 is intermittently rotated at a constant pitch by two sprocket rollers 8a and 8b. Sprocket roller 8
Reference numerals a and 8b denote rollers having a plurality of feed claws 13, and the sprocket rollers 8a and 8b are provided when the feed claws 13 enter the positioning holes 12 of the carrier piece 10.
The carrier belt 7 is driven by the rotation of.
【0011】半導体装置1は、図6に示すように、樹脂
封止部2の上面を吸着ノズル20で真空吸着された状態
でキャリアベルト7上に移動され、凹部9の上で吸着ノ
ズル20が下降することにより、半導体装置1の樹脂封
止部2はキャリアベルト7の凹部9内に、リード線3は
紙テープ4の上にそれぞれ置かれる。As shown in FIG. 6, the semiconductor device 1 is moved onto the carrier belt 7 in a state where the upper surface of the resin sealing portion 2 is vacuum-sucked by the suction nozzle 20. By descending, the resin sealing portion 2 of the semiconductor device 1 is placed in the concave portion 9 of the carrier belt 7, and the lead wire 3 is placed on the paper tape 4.
【0012】図1に戻って、図6に示された吸着ノズル
20によりキャリアベルト7の凹部9に挿入された半導
体装置1は、キャリアベルト7の回転に伴って水平に間
欠的に搬送される。そして、リード線3の上にカバーテ
ープ5が供給され、テープ熱圧着ユニット16により半
導体装置1のリード線3が紙テープ4とカバーテープ5
との間に熱圧着される。なお、キャリアベルト7の送り
と紙テープ4の送りは、同一ピッチで同期して行われ
る。半導体装置1を凹部9に置く時とカバーテープ5を
熱圧着する時にはそれぞれ、吸着ノズル20に対する凹
部9の位置と紙テープ4と半導体装置1の相対位置とを
正確に出す必要がある。Returning to FIG. 1, the semiconductor device 1 inserted into the concave portion 9 of the carrier belt 7 by the suction nozzle 20 shown in FIG. 6 is horizontally and intermittently conveyed as the carrier belt 7 rotates. . Then, the cover tape 5 is supplied onto the lead wire 3, and the lead wire 3 of the semiconductor device 1 is connected to the paper tape 4 and the cover tape 5 by the tape thermocompression unit 16.
Is thermocompression-bonded. The feed of the carrier belt 7 and the feed of the paper tape 4 are performed synchronously at the same pitch. When the semiconductor device 1 is placed in the concave portion 9 and when the cover tape 5 is thermocompression-bonded, the position of the concave portion 9 with respect to the suction nozzle 20 and the relative position of the paper tape 4 and the semiconductor device 1 must be accurately determined.
【0013】半導体装置1を凹部9に置く場合について
言えば、図1において吸着ノズル20により半導体装置
1が置かれる位置には、この位置で間欠停止状態にある
キャリアコマ10の位置決め用穴12に出没自在に第1
の位置決めピン(図示せず)が設けられる。すなわち、
空き状態の凹部9が半導体装置1の置かれる位置に到達
して停止すると、すぐに第1の位置決めピンが空き状態
の凹部9を持つキャリアコマ10の位置決め用穴12に
嵌入してキャリアコマ10の位置決めを行い、この状態
で吸着ノズル20により空き状態の凹部9に半導体装置
1が置かれる。その直後、第1の位置決めピンは位置決
め用穴12から抜かれ、続いてキャリアベルト7が定ピ
ッチだけ再駆動される。Referring to the case where the semiconductor device 1 is placed in the concave portion 9, the position where the semiconductor device 1 is placed by the suction nozzle 20 in FIG. 1 is inserted into the positioning hole 12 of the carrier piece 10 which is intermittently stopped at this position. First in and out
(Not shown) are provided. That is,
As soon as the empty concave portion 9 reaches the position where the semiconductor device 1 is placed and stops, the first positioning pin is immediately fitted into the positioning hole 12 of the carrier top 10 having the empty concave portion 9 and the carrier top 10 is inserted. The semiconductor device 1 is placed in the empty recess 9 by the suction nozzle 20 in this state. Immediately thereafter, the first positioning pin is pulled out of the positioning hole 12, and then the carrier belt 7 is driven again by a constant pitch.
【0014】一方、カバーテープ5を熱圧着する場合に
ついて言えば、この位置にも間欠停止状態にあるキャリ
アコマ10の位置決め用穴12に出没自在に第2の位置
決めピン13´(図8参照)が設けられる。また、カバ
ーテープ5を熱圧着する位置には、凹部9に挿入された
半導体装置1の移動に伴ってその一部に係合してこの半
導体装置1を凹部9内の一方向に押しやる板ばね14
(図7参照)が配置されている。これは、キャリアコマ
10に段部が設けられて半導体装置1の一部、すなわち
樹脂封止部2の上面が露出するようにされていることで
可能になる。すなわち、板ばね14はキャリアベルト7
とは別に固定状態にて設けられ、凹部9に置かれた半導
体装置1が移動してきてカバーテープ5を熱圧着する位
置に近付くと、樹脂封止部2の上面が板ばね14に接触
する。その結果、板ばね14は半導体装置1を図7の右
方に押しやって、凹部9内での半導体装置1の位置決め
が行われる。その後、キャリアコマ10が熱圧着位置で
停止すると、すぐに第2の位置決めピン13´がキャリ
アコマ10の位置決め用穴12に嵌入してキャリアコマ
10の位置決めを行い、この状態でカバーテープ5を紙
テープ4に熱圧着する。熱圧着が終了すると、第2の位
置決めピン13´は位置決め用穴12から抜かれ、続い
てキャリアベルト7が定ピッチだけ再駆動される。On the other hand, in the case where the cover tape 5 is thermocompression-bonded, the second positioning pin 13 '(see FIG. 8) is also provided at this position so as to be able to protrude and retract into the positioning hole 12 of the carrier piece 10 which is intermittently stopped. Is provided. At the position where the cover tape 5 is thermocompression-bonded, a leaf spring which engages with a part of the semiconductor device 1 inserted into the concave portion 9 and pushes the semiconductor device 1 in one direction in the concave portion 9 with the movement of the semiconductor device 1. 14
(See FIG. 7). This is possible because the carrier top 10 is provided with a step so that a part of the semiconductor device 1, that is, the upper surface of the resin sealing portion 2 is exposed. That is, the leaf spring 14 is connected to the carrier belt 7.
When the semiconductor device 1 placed in the recess 9 moves and approaches the position where the cover tape 5 is thermocompression-bonded, the upper surface of the resin sealing portion 2 comes into contact with the leaf spring 14. As a result, the leaf spring 14 pushes the semiconductor device 1 to the right in FIG. 7 to position the semiconductor device 1 in the recess 9. Thereafter, when the carrier top 10 stops at the thermocompression bonding position, the second positioning pins 13 'are immediately fitted into the positioning holes 12 of the carrier top 10 to position the carrier top 10, and in this state, the cover tape 5 is removed. Thermocompression bonding to paper tape 4. When the thermocompression bonding is completed, the second positioning pin 13 'is pulled out of the positioning hole 12, and the carrier belt 7 is driven again by a constant pitch.
【0015】このようにして、図7、図8に示すよう
に、熱圧着の位置では、キャリアコマ10の位置決め用
穴12に位置決めピン13´を挿入してキャリアコマ1
0の位置を固定すると共に、半導体装置1の樹脂封止部
2の上面を板ばね14で押えて、樹脂封止部2をキャリ
アコマ10の片側に押し付けることにより半導体装置1
と紙テープ4の相対位置精度を確保する。In this manner, as shown in FIGS. 7 and 8, at the thermocompression bonding position, the positioning pins 13 'are inserted into the positioning holes 12 of the carrier piece 10 so that the carrier piece 1 is inserted.
0 is fixed, the upper surface of the resin sealing portion 2 of the semiconductor device 1 is pressed by a leaf spring 14, and the resin sealing portion 2 is pressed against one side of the carrier piece 10.
And the relative positional accuracy of the paper tape 4 is ensured.
【0016】図9は本発明による半導体装置のテーピン
グ装置において、複数の搬送系を並列配置した例での平
面図である。本実施例では、キャリアベルト7a,7
b,7cのそれぞれの駆動用モータ21a,21b,2
1cがそれぞれ干渉しないように位置をずらしてある。
図10は、図9の配列を紙テープの進行方向から見た図
である。ここでは、吸着ノズル20を3台のキャリアベ
ルト7a,7b,7cで兼用するようにしている。キャ
リアベルト7a,7b,7cに保持される半導体装置
は、同じタイプのものでも良いし、異なるタイプでも良
い。FIG. 9 is a plan view showing an example in which a plurality of transfer systems are arranged in parallel in a taping device for a semiconductor device according to the present invention. In this embodiment, the carrier belts 7a, 7
b, 7c drive motors 21a, 21b, 2
1c are shifted so that they do not interfere with each other.
FIG. 10 is a view of the arrangement of FIG. 9 as viewed from the traveling direction of the paper tape. Here, the suction nozzle 20 is shared by the three carrier belts 7a, 7b, 7c. The semiconductor devices held by the carrier belts 7a, 7b, 7c may be of the same type or different types.
【0017】[0017]
【発明の効果】以上説明したように本発明は、半導体装
置を直線的に搬送するためのチェイン構造をした搬送系
を有しており、その搬送系は金属製のチェイン構造を持
ち、定ピッチで半導体装置を直線的に搬送するものであ
り、また、搬送系の金属製チェインは、半導体装置の挿
入される凹部と位置決めのための穴を有する構造とした
ので、テープ熱圧着ユニットやテーピング後の特性測定
ユニット等の各種機構機能ユニットを垂直方向に位置合
わせすればよく、調整が非常に容易となる。As described above, the present invention has a transport system having a chain structure for linearly transporting a semiconductor device. The transport system has a metal chain structure and has a constant pitch. In addition, the metal chain of the transfer system has a concave portion into which the semiconductor device is inserted and a hole for positioning. What is necessary is just to position the various mechanism function units such as the characteristic measurement unit in the vertical direction, and the adjustment becomes very easy.
【0018】また、紙テープ、半導体装置とも水平に直
線的に搬送されるので、搬送系の大きさは半導体装置へ
の物理的ストレスと無関係となり、搬送系を小型にし、
装置全体を小型にすることができる。Further, since the paper tape and the semiconductor device are also transported horizontally and linearly, the size of the transport system is independent of the physical stress on the semiconductor device.
The entire device can be made compact.
【0019】さらに、キャリアベルト駆動用のスプロケ
ットローラ位置を変更することにより本搬送系を小スペ
ース内に複数並べることができ、一台の装置で複数に分
けられた半導体装置をそれぞれにテーピングすることが
できるため、前工程(特性選別、捺印等)の作業を本装
置内に取り込むことができ、TATの短縮、異品種の混
入防止ができるという利点がある。Further, by changing the position of the sprocket roller for driving the carrier belt, a plurality of the present transport systems can be arranged in a small space, and the plurality of divided semiconductor devices can be taped by one device. Therefore, there is an advantage that the work of the previous process (characteristic selection, stamping, etc.) can be taken into the present apparatus, and the TAT can be shortened and the mixing of different types can be prevented.
【図1】本発明の概略構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of the present invention.
【図2】図1のキャリアベルトを構成するキャリアコマ
の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a carrier piece constituting the carrier belt of FIG.
【図3】図2のキャリアコマの3面図である。FIG. 3 is a three-sided view of the carrier piece of FIG. 2;
【図4】図1のキャリアベルトの構造を示す図である。FIG. 4 is a view showing a structure of the carrier belt of FIG. 1;
【図5】図1のキャリアベルトの駆動方法を示す図であ
る。FIG. 5 is a diagram illustrating a driving method of the carrier belt of FIG. 1;
【図6】本発明においてキャリアベルトに半導体装置を
挿入する動作を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram illustrating an operation of inserting a semiconductor device into a carrier belt in the present invention.
【図7】キャリアコマの位置決め及びキャリアコマ内の
半導体装置の位置決め方法を説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for describing a method of positioning a carrier frame and a method of positioning a semiconductor device in the carrier frame.
【図8】キャリアコマの位置決め及びキャリアコマ内の
半導体装置の位置決め方法を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a method of positioning a carrier frame and a method of positioning a semiconductor device in the carrier frame.
【図9】複数のキャリアベルトを配置した本発明の第2
実施例を示す図である。FIG. 9 shows a second embodiment of the present invention in which a plurality of carrier belts are arranged.
It is a figure showing an example.
【図10】本発明の第2実施例において、複数のキャリ
アベルトに半導体装置を挿入する動作を説明するための
図である。FIG. 10 is a diagram illustrating an operation of inserting a semiconductor device into a plurality of carrier belts in a second embodiment of the present invention.
【図11】本発明の対象となる半導体装置の外観図であ
る。FIG. 11 is an external view of a semiconductor device to which the present invention is applied.
【図12】図11の半導体装置のラジアルテーピングの
外観図である。FIG. 12 is an external view of a radial taping of the semiconductor device of FIG. 11;
【図13】従来の半導体装置のテーピング装置の構成図
である。FIG. 13 is a configuration diagram of a conventional taping device for a semiconductor device.
【図14】従来の半導体装置のテーピング装置の回転ド
ラムの断面図である。FIG. 14 is a sectional view of a rotary drum of a conventional semiconductor device taping device.
1 半導体装置 2 樹脂封止部 3 リード線 4 紙テープ 5 カバーテープ 6 送り穴 7 キャリアベルト 8a,8b スプロケットローラ 9 凹部 10 キャリアコマ 11 連結用穴 12 位置決め用穴 13 送り爪 14 板バネ 15 回転ドラム 16 テープ熱圧着ユニット 17 水平フィーダ 18 リード曲げユニット 19 回転ローラ 20 吸着ノズル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor device 2 Resin sealing part 3 Lead wire 4 Paper tape 5 Cover tape 6 Feed hole 7 Carrier belt 8a, 8b Sprocket roller 9 Depression 10 Carrier frame 11 Connecting hole 12 Positioning hole 13 Feeding claw 14 Plate spring 15 Rotating drum 16 Tape thermocompression unit 17 Horizontal feeder 18 Lead bending unit 19 Rotary roller 20 Suction nozzle
Claims (7)
の前記リードに紙テープ貼付けを行う半導体装置のテー
ピング装置において、前記半導体装置の樹脂封止部を保
持して前記半導体装置を直線的に搬送するためのチェイ
ン構造の搬送系と、前記リードの上にカバーテープを供
給する機構と、前記リードを前記紙テープと前記カバー
テープとの間に熱圧着する機構とを有することを特徴と
した半導体装置のテーピング装置。1. A semiconductor device in which leads are led out in one direction.
Wherein the taping device leads to a semiconductor device that performs pasting paper tape, holding the resin sealing portion of the semiconductor device
A transport system having a chain structure for linearly transporting the semiconductor device while holding the semiconductor device, and a cover tape provided on the leads.
Supply mechanism, and the lead is connected to the paper tape and the cover.
A taping device for a semiconductor device having a mechanism for thermocompression bonding with a tape .
装置において、前記搬送系は金属製ブロックが複数個連
結されたチェイン構造を持ち、定ピッチで半導体装置を
直線的に搬送することを特徴とする半導体装置のテーピ
ング装置。2. The taping device for a semiconductor device according to claim 1, wherein said transport system includes a plurality of metal blocks.
A taping device for a semiconductor device, wherein the taping device has a connected chain structure and linearly transports the semiconductor device at a constant pitch.
装置において、前記ブロックには、半導体装置本体が挿
入される凹部と位置決めのための穴とを有することを特
徴とする半導体装置のテーピング装置。3. A taping device for a semiconductor device according to claim 2, wherein the block is characterized and Turkey which semiconductor device main body having a the hole for positioning the recess are inserted <br/> input And a taping device for a semiconductor device.
装置において、前記搬送系のチェイン構造を構成してい
る前記ブロックは、前記穴にスプロケットローラの送り
爪が嵌入することにより定ピッチで間欠駆動されること
を特徴とする半導体装置のテーピング装置。4. The taping device for a semiconductor device according to claim 3, wherein the block constituting the chain structure of the transfer system is intermittently driven at a constant pitch by fitting a feed claw of a sprocket roller into the hole. A taping device for a semiconductor device.
装置において、前記半導体装置本体が挿入される位置に
は、この位置で間欠停止状態にある前記ブロックの前記
穴に出没自在に第1の位置決めピンが設けられているこ
とを特徴とする半導体装置のテーピング装置。 Te 5. A taping device odor of a semiconductor device according to claim 4, before SL in a position where the semiconductor device main body is inserted, first retractably into the hole of the block in the intermittent stop state at this position A taping device for a semiconductor device, wherein the positioning pin is provided.
装置において、前記紙テープの貼付けを行う位置には、
この位置で間欠停止状態にある前記ブロックの前記穴に
出没自在に第2の位置決めピンが設けられていることを
特徴とする半導体装置のテーピング装置。6. The taping apparatus odor of a semiconductor device according to claim 4, wherein Te, the joining is carried out position before Symbol paper tape,
A taping device for a semiconductor device, wherein a second positioning pin is provided so as to be able to protrude and retract into the hole of the block in the intermittent stop state at this position.
装置において、前記紙テープの貼付けを行う位置には、
前記凹部に挿入された前記半導体装置本体の移動に伴っ
てその一部に係合して該半導体装置本体を前記凹部内の
所定位置に押しやるばね部材が配置されていることを特
徴とする半導体装置のテーピング装置。7. The taping apparatus odor of a semiconductor device according to claim 3, wherein Te, the joining is carried out position before Symbol paper tape,
A semiconductor device, wherein a spring member that engages with a part of the semiconductor device main body inserted into the concave portion and moves the semiconductor device main body to a predetermined position in the concave portion is arranged. Taping equipment.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7124051A JP2699927B2 (en) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | Taping equipment for semiconductor devices |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7124051A JP2699927B2 (en) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | Taping equipment for semiconductor devices |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08316691A JPH08316691A (en) | 1996-11-29 |
JP2699927B2 true JP2699927B2 (en) | 1998-01-19 |
Family
ID=14875768
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7124051A Expired - Lifetime JP2699927B2 (en) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | Taping equipment for semiconductor devices |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2699927B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100442701B1 (en) * | 1997-08-19 | 2004-09-18 | 삼성전자주식회사 | Tape/reel typed semiconductor ic sealing apparatus to maintain balanced contact state between heating blade and cover tape |
CN103662169B (en) * | 2012-09-11 | 2016-06-01 | 上海耐普微电子有限公司 | Chip turning-over device |
CN110510330B (en) * | 2019-07-31 | 2022-03-08 | 灏云(张家港)智能设备有限公司 | Novel discharging device |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61130512U (en) * | 1985-02-04 | 1986-08-15 | ||
JPH0496899U (en) * | 1991-01-30 | 1992-08-21 | ||
JP3223637B2 (en) * | 1993-04-28 | 2001-10-29 | 株式会社村田製作所 | Electronic component storage and supply magazine |
-
1995
- 1995-05-23 JP JP7124051A patent/JP2699927B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08316691A (en) | 1996-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4053496B2 (en) | Method for connecting a microchip module to an antenna arranged on a first carrier tape for the production of a transponder | |
US7595219B2 (en) | IC chip mounting method for mounting two or more IC chips by sequentially transferring the IC chips sucked onto a first roller to a second roller and mounting the IC chips transferred to the second roller on a traveling base | |
JP2699927B2 (en) | Taping equipment for semiconductor devices | |
JP3969066B2 (en) | Carrier tape connecting member and carrier tape connecting method using the same | |
JPH10129639A (en) | Method and device for sticking data carrier and sticking label of data carrier | |
JP3554781B2 (en) | Electronic device peeling apparatus and peeling method | |
JP3757852B2 (en) | TCP handler and TCP tape running method | |
JPS5919465B2 (en) | Film carrier type semiconductor mounting equipment | |
KR100252317B1 (en) | Die bonding apparatus of lead frame | |
JPS62140669A (en) | Resin coater for sealing electronic parts | |
JPH0194967A (en) | Manufacturing device of hoop for an assembly of parts | |
JPH1134557A (en) | Production of ic module, and apparatus for producing ic module assembly used therefor | |
JP3701132B2 (en) | Adhesive tape affixing method to substrate | |
JPH01145915A (en) | Ic base board transport device | |
JP3013213B2 (en) | Apparatus and method for marking electronic components | |
US4762267A (en) | Wire bonding method | |
JPH0715517U (en) | Labeling device | |
JPH06239426A (en) | Semiconductor device and method for conveying the same | |
JP2751550B2 (en) | Semiconductor chip bonding equipment | |
JPH0786072A (en) | Rotary drum type adhesive agent coating equipment and bonding method for core using the same | |
JPH0531227U (en) | Mounter | |
JPS62219999A (en) | Parts feeder | |
JPH04275444A (en) | Tape carrier transfer sprocket or roller | |
JPH054318Y2 (en) | ||
JP3173909B2 (en) | How to assemble electronic components |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970826 |