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JP2670865B2 - Method and apparatus for continuously producing substrate for optical recording medium - Google Patents

Method and apparatus for continuously producing substrate for optical recording medium

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Publication number
JP2670865B2
JP2670865B2 JP1243386A JP24338689A JP2670865B2 JP 2670865 B2 JP2670865 B2 JP 2670865B2 JP 1243386 A JP1243386 A JP 1243386A JP 24338689 A JP24338689 A JP 24338689A JP 2670865 B2 JP2670865 B2 JP 2670865B2
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JP
Japan
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stamper
roll
substrate
optical recording
recording medium
Prior art date
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剛 三東
美樹 田村
裕之 菅田
修 鹿目
正孝 八島
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Canon Inc
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Canon Inc
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C39/00Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor
    • B29C39/14Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor for making articles of indefinite length
    • B29C39/148Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor for making articles of indefinite length characterised by the shape of the surface

Landscapes

  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、レーザ等による光学的書き込み記録に適し
た光学的記録媒体用基板を連続的に製造する方法および
その装置に関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method and an apparatus for continuously manufacturing a substrate for an optical recording medium suitable for optical writing and recording with a laser or the like.

[従来の技術] 従来、光ディスク或いは光カード等の光学的情報記録
媒体は、基体の上に設けた薄い記録層に光学的に検出可
能な数μm程度の微小なピットをトラック状に形成する
ことにより、情報の高密度な記録をすることができる。
このような光学的情報記録媒体においては、情報を記録
及び再生する際にトラックに沿ってレーザー光を走査す
る必要があり、そのため一般にトラッキング用の案内溝
の付いた基板が用いられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in an optical information recording medium such as an optical disk or an optical card, minute pits of about several μm that can be optically detected are formed in a track shape on a thin recording layer provided on a base. Thereby, high-density recording of information can be performed.
In such an optical information recording medium, when recording and reproducing information, it is necessary to scan a laser beam along a track. Therefore, a substrate provided with a guide groove for tracking is generally used.

この様な案内溝、あるいは案内溝の付いた基板の作製
法としては、軟化したプラスチック材料をスタンパにて
プレスした後に固化させる圧縮成形(Compression Mol
d)法、スタンパを配設した金型内に溶融したプラスチ
ック材料を射出して固化させる射出成形(Injection Mo
ld)法や紫外線硬化樹脂(Photo Polymer)を用いてス
タンパから案内溝を転写する2P(Photo Polymerizatio
n)法等が知られているが、案内溝の転写性、基板の耐
溶剤性という点では2P法によるものが最も優れている。
基板の耐溶剤性が優れているということは、特に記録材
として有機系材料を用いて、塗布によって記録層を形成
する場合に有利である。この場合、基板を侵すという理
由から、使用できない溶剤を使用することができること
から、記録材の選択の幅を大きく拡げることが可能とな
る。また、2P法では、他の方法に比べ、設備投資が非常
に少なくてすむという大きな利点がある。
As a method for producing such a guide groove or a substrate having a guide groove, compression molding (Compression Mol) in which a softened plastic material is pressed with a stamper and then solidified.
d) method, injection molding in which molten plastic material is injected and solidified in a mold equipped with a stamper (Injection Mo
2P (Photo Polymerizatio) that transfers guide grooves from a stamper using the ld) method or an ultraviolet curable resin (Photo Polymer)
Although the n) method is known, the 2P method is the most excellent in terms of the transferability of the guide groove and the solvent resistance of the substrate.
The excellent solvent resistance of the substrate is particularly advantageous when a recording layer is formed by application using an organic material as a recording material. In this case, since a solvent that cannot be used can be used because it damages the substrate, it is possible to greatly extend the range of selection of the recording material. In addition, the 2P method has a great advantage that the capital investment is very small compared to other methods.

しかしながら、2P法は他の方法に比べ、基板一枚あた
りの製造時間が長く、大量生産に向かないという問題が
あった。そこで、例えばWO88/03311(特願昭62−506504
号)に開示されているように、凹凸パターンが形成され
たスタンパーを用いて、このスタンパーの凹凸パターン
をフィルム基材に転写形成することにより、フィルム状
の光学的情報記録媒体用基板を連続的に製造する技術が
提案されている。具体的には、例えば、凹凸パターンが
形成されたロール状スタンパに紫外線硬化樹脂を塗布し
た後、必要に応じてアンカー材層を設けたフィルム基材
と重ね合わせ、紫外線を照射して上記紫外線硬化樹脂を
硬化し、次いでフィルム基板とその上に硬化した紫外線
硬化樹脂とをスタンパより剥離するという技術が提案さ
れている。
However, the 2P method has a problem that the manufacturing time per substrate is longer than other methods, and it is not suitable for mass production. Therefore, for example, WO88 / 03311 (Japanese Patent Application No. 62-506504)
No.), a stamper having a concavo-convex pattern formed thereon is used to transfer the concavo-convex pattern of the stamper to a film base material to continuously form a film-like substrate for optical information recording media. Have been proposed. Specifically, for example, after applying an ultraviolet curable resin to a roll-shaped stamper on which a concavo-convex pattern has been formed, if necessary, overlap the film with a film base material provided with an anchor material layer, and irradiate ultraviolet light to cure the ultraviolet curable resin. A technique has been proposed in which a resin is cured, and then a film substrate and an ultraviolet curable resin cured thereon are separated from a stamper.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上記の方法で紫外線硬化樹脂と基材を
重ね合わせる場合、樹脂の塗布面と基材との接触が液体
面と固体面の接触となり、接触の際に気泡が混入しやす
いという問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, when the ultraviolet curable resin and the base material are superposed by the above method, the contact between the resin-coated surface and the base material becomes the contact between the liquid surface and the solid surface. There was a problem that air bubbles were easily mixed.

さらに、ロール状スタンパの案内溝や情報に対応した
凹凸はサブミクロンの精度が要求されるが、ロール状ス
タンパーを駆動するDCモーターの回転ムラおよびギアに
よる回転ムラをそれ以上の精度でなくすことは、あまり
容易なことではなかった。このことは記録媒体の偏心,
欠陥,記録エラーの原因の1つになっていた。
Furthermore, the guide grooves of the roll-shaped stamper and the irregularities corresponding to the information require submicron accuracy, but it is not possible to eliminate the rotation unevenness of the DC motor that drives the roll-shaped stamper and the rotation unevenness due to the gear with higher accuracy. It wasn't that easy. This is due to the eccentricity of the recording medium,
It was one of the causes of defects and recording errors.

本発明は、上記の問題点に鑑みなされてものであり、
ロール状スタンパとして弾性変形するロール状スタンパ
を用いることにより、紫外線硬化樹脂中への気泡の混入
を防止し、かつロール状スタンパとシート基板の追随を
良くしてエラレートを向上させた光学的記録媒体用基板
を連続的に生産性良く製造する方法およびその装置を提
供することを目的とするものである。
The present invention is made in view of the above problems,
An optical recording medium that uses a roll-shaped stamper that elastically deforms as a roll-shaped stamper to prevent air bubbles from being mixed into the ultraviolet curable resin and to improve the follow-up between the roll-shaped stamper and the sheet substrate to improve the eralate rate. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for continuously manufacturing a substrate for manufacturing with high productivity.

[課題を解決するための手段] 即ち、本発明は、案内溝および/または情報に対応し
た微細な凹凸パターンを有するロール状スタンパを用
い、該スタンパの凹凸パターンをシート基板上に紫外線
硬化樹脂を用いて転写形成することにより光学的記録媒
体用基板を連続的に製造する方法において、弾性変形す
るロール状スタンパを用いて、該スタンパの凹凸パター
ンをシート基板上に転写することを特徴とする光学的記
録媒体用基板の連続製造方法である。
[Means for Solving the Problem] That is, the present invention uses a roll-shaped stamper having a guide groove and / or a fine concave-convex pattern corresponding to information, and the concave-convex pattern of the stamper is coated with an ultraviolet curable resin on a sheet substrate. In a method for continuously manufacturing a substrate for an optical recording medium by transferring and forming by using a roll-shaped stamper that elastically deforms, an uneven pattern of the stamper is transferred onto a sheet substrate. It is a continuous manufacturing method of a substrate for a recording medium.

また、本発明は、案内溝および/または情報に対応し
た微細な凹凸パターンを有するロール状スタンパを用
い、該スタンパの凹凸パターンをシート基板上に紫外線
硬化樹脂を用いて転写形成することにより光学的記録媒
体用基板を連続的に製造する装置において、ロール状ス
タンパが弾性変形するロール状スタンパから構成されて
いることを特徴とする光学的記録媒体用基板の連続製造
装置である。
Further, according to the present invention, a roll-shaped stamper having a guide groove and / or a fine uneven pattern corresponding to information is used, and the uneven pattern of the stamper is optically transferred onto a sheet substrate by using an ultraviolet curable resin to optically form. An apparatus for continuously producing a substrate for a recording medium, wherein the roll stamper is composed of a roll stamper that is elastically deformed.

以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明は、ロール状スタンパとして弾性変形可能なロ
ール状スタンパを用いることにより、シート基板とロー
ル状スタンパとの接触性を高め、その間にはさまれた紫
外線硬化樹脂中への気泡の混入の防止を容易にしたもの
である。さらに、ロール状スタンパのこまかい回転ムラ
や電動に対してシート基板の追随性を良好として媒体エ
ラーを簡単に減少させたものである。
The present invention enhances the contact between the sheet substrate and the roll-shaped stamper by using an elastically deformable roll-shaped stamper as the roll-shaped stamper, and prevents air bubbles from being mixed into the ultraviolet curable resin sandwiched therebetween. Is made easy. Further, the medium error can be easily reduced by improving the followability of the sheet substrate against the irregular rotation of the roll stamper and the electric power.

第1図は本発明の光学的記録媒体用基板の連続製造方
法に使用する装置の一例を示す構造図である。同第1図
において、シート基板1は送給ローラー2で繰出される
ように構成されている。シート基板1としては、フレキ
シブルなものであればなんら制限されることはなく、例
えばポリカーボネート、アクリル樹脂、ポリオレフィン
樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂などのプラスチ
ックシートを好適に用いることができる。なお、シート
基板1の表面には紫外線硬化樹脂5との密着性を高める
為にプライマー層を形成しておいてもよい。
FIG. 1 is a structural diagram showing an example of an apparatus used in the method for continuously producing a substrate for an optical recording medium of the present invention. In FIG. 1, the sheet substrate 1 is configured to be fed out by the feeding roller 2. The sheet substrate 1 is not limited as long as it is flexible, and for example, a plastic sheet such as polycarbonate, acrylic resin, polyolefin resin, polyester resin, or epoxy resin can be preferably used. Note that a primer layer may be formed on the surface of the sheet substrate 1 in order to enhance the adhesion with the ultraviolet curable resin 5.

ロール状スタンパ3の表面には案内溝や情報に応じた
凹凸が形成されており、送給ローラー2から送り出され
たシート基板1はロール状スタンパ3の円周に沿って搬
送される。ロール状スタンパ3の径はシート基板1の厚
みと材質によっても異なるが、例えば1.2mm厚のポリカ
ーボネートを用いた光ディスクを考慮するとφ300mm以
上が好ましい。また、0.4mm厚ポリカーボネート製光カ
ードを考慮してもφ150mm以上が好ましい。
A guide groove and irregularities corresponding to information are formed on the surface of the roll stamper 3, and the sheet substrate 1 sent from the feeding roller 2 is conveyed along the circumference of the roll stamper 3. Although the diameter of the roll stamper 3 varies depending on the thickness and material of the sheet substrate 1, for example, φ300 mm or more is preferable in consideration of an optical disk using 1.2 mm thick polycarbonate. Also, φ150 mm or more is preferable even when considering a 0.4 mm thick polycarbonate optical card.

この様なロール状スタンパ3は、第1図に示す様に、
金属性コア4の外周面にポリウレタン,天然ゴム,イソ
プレンゴム,クロロプレンゴム,シリコーンゴム等のエ
ラストマー類5を設けて弾性ロールを形成し、さらにそ
の弾性ロールの外周面に、厚さ0.1〜0.3mmのNi製平板ス
タンパ6をロール面に沿って接着剤等により接着する方
法、又はねじなどにより機械的に固定する方法などによ
り作製することができる。
Such a roll stamper 3 is, as shown in FIG.
An elastic roll is formed by providing an elastomer 5 such as polyurethane, natural rubber, isoprene rubber, chloroprene rubber, or silicone rubber on the outer peripheral surface of the metal core 4, and further has a thickness of 0.1 to 0.3 mm on the outer peripheral surface of the elastic roll. The Ni flat plate stamper 6 can be prepared by a method of adhering the Ni flat plate stamper 6 along the roll surface with an adhesive or the like, or a method of mechanically fixing it with a screw or the like.

第2図は本発明の光学的記録媒体用基板の連続製造方
法に使用する他の装置を示す構造図である。同第2図に
おいて、ロール状スタンパ3は金属性コア4のまわり
に、シリコーン樹脂,フッ素樹脂等の弾性樹脂製スタン
パ7を金属性コア4のロールの外周面に沿って接着ある
いはロール上で直接固化成形することにより作製するこ
とができる。
FIG. 2 is a structural diagram showing another apparatus used in the continuous method for producing a substrate for an optical recording medium of the present invention. In FIG. 2, the roll-shaped stamper 3 has a metallic core 4 and an elastic resin stamper 7 such as a silicone resin or a fluororesin bonded around the metallic core 4 along the outer peripheral surface of the roll or directly on the roll. It can be produced by solidification molding.

ニップローラ8はシート基板1をロール状スタンパ3
の表面に押圧する機能を有する。ロール状スタンパ3の
下方には紫外線照射により硬化する液状の紫外線硬化樹
脂9が収容された樹脂槽10が配設されている。この樹脂
槽10内には、ロール状スタンパ3の表面に圧接しながら
回転する塗布ローラ11によって液状の紫外線硬化樹脂9
がロール状スタンパ3の表面に塗布される。この様にし
て塗布された樹脂液はブレード12により厚みを均一に調
整した後、ニップローラー8によってシート基板1とロ
ール状スタンパ3との間に充填される。塗布の厚みは0.
1μm〜50μmの間で泡の混入がなくなるように調整す
る。
The nip roller 8 transfers the sheet substrate 1 to the roll stamper 3
Has the function of pressing against the surface of. Below the roll stamper 3, a resin tank 10 containing a liquid ultraviolet curable resin 9 which is cured by ultraviolet irradiation is arranged. In the resin tank 10, a liquid ultraviolet curable resin 9 is applied by a coating roller 11 which rotates while being pressed against the surface of the roll stamper 3.
Is applied to the surface of the roll stamper 3. The resin liquid thus applied is adjusted to have a uniform thickness by the blade 12 and then filled between the sheet substrate 1 and the roll stamper 3 by the nip roller 8. The coating thickness is 0.
Adjust so that bubbles do not get mixed between 1 μm and 50 μm.

紫外線硬化樹脂9としては、分子中に不飽和結合を有
するプレポリマー,オリゴマー,モノマー等を用いるこ
とができる。たとえば、不飽和ポリエステル類,エポキ
シアクリレート,ウレタンアクリレート,ポリエーテル
アクリレートなどのアクリレート類、エポキシメタクリ
レート,ウレタンメタクリレート,ポリエーテルメタク
リレート,ポリエステルメタクリレートなどのメタクリ
レート類を一種または二種以上と、分子中に不飽和結合
を有する光重合性モノマー、例えばジシクロペンテニル
アクリレート,1,3−ブタンジオールアクリレート,ポリ
エチレングリコールジアクリレート,ペンタエリスリト
ールトリアクリレートなどの官能性モノマーを混合した
もの、さらに重合開始剤としてハロゲン化アセトフェノ
ン類,ベンゾフェノン,ベンゾイン,ベンゾインエーテ
ル,ミヒラーケトン,ベンジル,ベンジルジメチルケタ
ール,テトラメチルチウラムモノサルファイド、チオキ
サンソン類などのラジカル発生化合物が用いられ、硬化
した状態でスタンパから剥離しやすく、かつ記録層との
マッチングの良いものであれば良い。なお、ロール状ス
タンパ3への液状の紫外線硬化樹脂9の塗布は、特に限
定されるものではなく、塗布ローラー11の代りにデイス
ペンサーノズルやその他印刷で用いられる公知の塗布方
法の中から粘度、塗布膜厚に応じて選択することができ
る。また、紫外線硬化樹脂9は塗布ロール11′によって
直接シート基板に塗布してもかまわない。
As the ultraviolet curable resin 9, a prepolymer, an oligomer, a monomer or the like having an unsaturated bond in the molecule can be used. For example, unsaturated polyesters, acrylates such as epoxy acrylate, urethane acrylate, and polyether acrylate, and one or more methacrylates such as epoxy methacrylate, urethane methacrylate, polyether methacrylate, and polyester methacrylate, which are unsaturated in the molecule. Photopolymerizable monomers having a bond, for example, a mixture of functional monomers such as dicyclopentenyl acrylate, 1,3-butanediol acrylate, polyethylene glycol diacrylate, and pentaerythritol triacrylate, and halogenated acetophenones as a polymerization initiator , Benzophenone, benzoin, benzoin ether, Michler's ketone, benzyl, benzyl dimethyl ketal, tetramethyl thiuram mono A radical-generating compound such as sulfide or thioxanthone is used, and it is sufficient if it can be easily peeled from the stamper in the cured state and has good matching with the recording layer. The application of the liquid UV-curable resin 9 to the roll-shaped stamper 3 is not particularly limited, and may be performed by using a dispenser nozzle or other known coating methods used in printing instead of the application roller 11. It can be selected according to the coating film thickness. Further, the ultraviolet curable resin 9 may be directly applied to the sheet substrate by the application roll 11 '.

ニップローラー8を通過したシート基板1にはロール
状スタンパ3の上方に設けられた紫外線ランプ13によ
り、シート基板1とロール状スタンパ3との間に充填さ
れた紫外線硬化樹脂液全幅に亘って紫外線を照射し、紫
外線硬化樹脂9を硬化させる。送出ローラー14は、シー
ト基板1とこれに固着した状態で硬化した紫外線硬化樹
脂9の層をロール状スタンパ3から剥離する機能を持
つ。
The ultraviolet light is applied to the sheet substrate 1 passing through the nip roller 8 by an ultraviolet lamp 13 provided above the roll stamper 3 over the entire width of the ultraviolet curing resin liquid filled between the sheet substrate 1 and the roll stamper 3. Is irradiated to cure the ultraviolet curable resin 9. The delivery roller 14 has a function of separating the sheet substrate 1 and the layer of the ultraviolet curable resin 9 which is cured in a state of being fixed to the sheet substrate 1 from the roll stamper 3.

この様にして、光ディスクの情報に応じた凹凸パター
ンが基板上に転写され、光学的情報記録媒体用基板を連
続的に製造することができる。なお、必要に応じて、紫
外線硬化樹脂9の層を剥離後、さらに紫外線照射する工
程を設けてもよい。
In this way, the concavo-convex pattern corresponding to the information on the optical disk is transferred onto the substrate, and the substrate for the optical information recording medium can be manufactured continuously. If necessary, a step of further irradiating with ultraviolet light may be provided after peeling off the layer of the ultraviolet curable resin 9.

また、シート基板1の送り速度は、0.05〜5m/min、好
ましくは0.05〜2.5m/minの範囲にあるのが望ましい。0.
05m/min未満の速度では生産性が上げられず、また5m/mi
nをこえる速度ては気泡が混入しやすくなる。
Further, it is desirable that the feeding speed of the sheet substrate 1 is in the range of 0.05 to 5 m / min, preferably 0.05 to 2.5 m / min. 0.
If the speed is less than 05m / min, productivity cannot be increased, and 5m / mi
At a speed exceeding n, bubbles tend to be mixed.

[実施例] 以下、実施例を示し本発明をさらに具体的に説明す
る。
[Example] Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples.

実施例1 ガラス原盤上に膜厚1000Åのフォトレジスト(商品
名、AZ−1300ヘキスト社製)膜を形成した後、レーザー
カッティング装置を用いて露光し、次いで現像を行ない
凹凸パターンを形成した。次に、形成された凹凸パター
ン上にスパッタリングによりNi薄膜を形成して表面を導
電化した後、電鋳により厚さ0.1mmのNi体を被着した。
次いで、ガラス原盤から剥離し、溝幅0.6μm、ピッチ
1.6μm、溝深さ900Åのスパイラル形状の凹凸パターン
を有する3.5インチ光ディスク用Ni製平板スタンパを得
た。
Example 1 After forming a photoresist film (trade name, manufactured by AZ-1300 Hoechst Co.) with a thickness of 1000 mm on a glass master disk, exposure was performed using a laser cutting device, followed by development to form a concavo-convex pattern. Next, after a Ni thin film was formed on the formed concavo-convex pattern by sputtering to make the surface conductive, a Ni body having a thickness of 0.1 mm was applied by electroforming.
Then, peel off from the glass master, groove width 0.6μm, pitch
A Ni flat plate stamper for a 3.5-inch optical disc having a spiral-shaped concavo-convex pattern of 1.6 μm and a groove depth of 900Å was obtained.

得られたNi製平板スタンパを、外径350mm,幅150mmの
ステンレス製コアロールの回りに外径が400mmとなる様
に50mm厚でクロロプレンゴムを成形したゴムローラの回
りに、エポキシ径接着剤(商品名:EP−17C、セメダイン
社製)を用いて、12個を一列に接着し、ロール状スタン
パを作製した。
The resulting Ni flat plate stamper was wrapped around a stainless steel core roll with an outer diameter of 350 mm and a width of 150 mm with a 50 mm thick chloroprene rubber so that the outer diameter was 400 mm. : EP-17C, manufactured by Cemedine Co., Ltd.) were used to adhere 12 pieces in a row to form a roll stamper.

基板には厚さ1.2mm、幅130mmのポリカーボネートシー
ト基板を用い、ロール状スタンパの凹凸面にエポキシア
クリレート系紫外線硬化樹脂(三菱レーヨン製、MRA−5
000)を厚さ25μmに塗布し、シート基板を速度2.5m/mi
nで供給し、ロール状スタンパとシート基板とをニップ
ロールにより密着させた後、押し広げられた紫外線硬化
樹脂に基板の全面に渡って紫外線(4Kw高圧水銀ラン
プ、300mW/cm2)を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させ
た。
A 1.2 mm thick and 130 mm wide polycarbonate sheet substrate is used as the substrate, and an epoxy acrylate UV curable resin (MRA-5, manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) is used on the uneven surface of the roll stamper.
000) is applied to a thickness of 25 μm and the speed of the sheet substrate is 2.5 m / mi
n, the roll-shaped stamper and the sheet substrate are brought into close contact with each other by a nip roll, and then the spread ultraviolet curing resin is irradiated with ultraviolet rays (4 Kw high-pressure mercury lamp, 300 mW / cm 2 ) over the entire surface of the substrate, The UV curable resin was cured.

次に、シート基板とその上に硬化した紫外線硬化樹脂
をロール状スタンパより剥離して、溝幅0.6μm、ピッ
チ1.6μm、溝深さ900Åの凹凸パターンを有するシート
基板を得た。このようにして得られた基板には気泡によ
る欠陥は認められず、またこのシート基板からマスクを
したうえでCO2レーザー切断機によりディスク基板を切
断し、基板のエラーレート測定を行ったところ、10枚の
平均値が5×10-6であった。
Next, the sheet substrate and the ultraviolet curable resin cured thereon were peeled off from the roll stamper to obtain a sheet substrate having a concavo-convex pattern with a groove width of 0.6 μm, a pitch of 1.6 μm and a groove depth of 900Å. No defects due to air bubbles were observed in the substrate thus obtained, and the disk substrate was cut with a CO 2 laser cutting machine after masking from this sheet substrate, and the error rate of the substrate was measured, The average value of 10 sheets was 5 × 10 −6 .

比較例1 ロール状スタンパとして、外径φ400mmのステンレス
製ロールの側面にNi製平板スタンパをエポキシ系接着剤
で貼り合わせたものを使用した以外は実施例1と同様な
操作を行い、凹凸パターンを有するディスク基板を得
た。このようにして得られた基板は気泡による欠陥が若
干認められ、また10枚のエラレートの平均値は6×10-5
であった。
Comparative Example 1 The same operation as in Example 1 was performed except that a Ni flat stamper was attached to the side surface of a stainless steel roll having an outer diameter of 400 mm with an epoxy-based adhesive as a roll-shaped stamper. A disk substrate having the above was obtained. In the thus obtained substrate, some defects due to bubbles were recognized, and the average value of 10 elalates was 6 × 10 −5.
Met.

実施例2 ガラス原盤上に膜厚3000Åのフォトレジスト(商品
名:AZ1300、ヘキスト製)膜を形成した後、レーザーカ
ッティング装置を用いて露光、次いで現像を行い凹凸パ
ターンを形成した。次に、形成した凹凸パターン上にシ
リコーン系樹脂(商品名:KE10、信越シリコーン製)を5
mm厚で塗工し、60℃で3時間硬化させた後、ガラス原盤
から剥離して、溝面3μm,ピッチ12μm,溝深さ3000Åの
ストライプ状凹凸パターンを有する光カード用シリコー
ン樹脂製スタンパを作製した。
Example 2 After forming a photoresist (trade name: AZ1300, manufactured by Hoechst) film having a film thickness of 3000 Å on a glass master, it was exposed using a laser cutting device and then developed to form an uneven pattern. Next, apply a silicone resin (product name: KE10, made by Shin-Etsu Silicone) 5 on the formed uneven pattern.
After coating at a thickness of 3 mm and curing at 60 ° C. for 3 hours, it was peeled off from the glass master to obtain a silicone resin stamper for optical cards having a stripe-shaped uneven pattern with a groove surface of 3 μm, a pitch of 12 μm and a groove depth of 3000 mm. It was made.

このスタンパを外径200mm、幅130mmのステンレス製コ
アロールの側面に、シリコーン系接着剤(商品名:KE4
1、信越シリコーン製)を用いて10個分一列に接着し、
ロール状スタンパを作製した。
Attach this stamper to the side surface of a stainless steel core roll with an outer diameter of 200 mm and a width of 130 mm, using a silicone adhesive (trade name: KE4
1) made by Shin-Etsu Silicone)
A roll stamper was produced.

基板には厚さ0.4mm、幅120mmのポリカーボネートシー
ト基板を用い、シート基板を速度3m/minで供給し、実施
例1と同様な操作を行って、溝幅3μm,ピッチ12μm,溝
深さ3000Åの凹凸パターンを有する光カード用基板を得
た。このようにして得られた基板は気泡による欠陥は認
められず、10枚のカード基板のエラーレートの平均値は
7×10-6であった。
A polycarbonate sheet substrate having a thickness of 0.4 mm and a width of 120 mm was used as the substrate, and the sheet substrate was supplied at a speed of 3 m / min. The same operation as in Example 1 was performed to obtain a groove width of 3 μm, a pitch of 12 μm, and a groove depth of 3000 mm. An optical card substrate having a concavo-convex pattern was obtained. No defects due to air bubbles were observed in the thus obtained substrate, and the average error rate of 10 card substrates was 7 × 10 −6 .

[発明の効果] 以上説明した様に、本発明によれば、ロール状スタン
パとして弾性変形するロール状スタンパを用いることに
より、紫外線硬化樹脂中への気泡の混入を防止し、かつ
ロール状スタンパとシート基板の追随を良くしてエラレ
ートを向上させた光学的記録媒体用基板を連続的に生産
性良く製造することができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, by using a roll-shaped stamper that elastically deforms as the roll-shaped stamper, it is possible to prevent air bubbles from being mixed into the ultraviolet curable resin and to form a roll-shaped stamper. It is possible to continuously manufacture the substrate for an optical recording medium in which the followability of the sheet substrate is improved and the elalate is improved with high productivity.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の光学的記録媒体用基板の連続製造方法
に使用する装置の一例を示す構造図および第2図は本発
明の装置の他の例を示す構造図である。 1……シート基板、2……送給ローラー 3……ロール状スタンパ、4……金属性コア 5……エラストマー、6……Ni製スタンパ 7……弾性樹脂製スタンパ 8……ニップローラー 9……紫外線硬化樹脂、10……樹脂槽 11……塗布ローラー、12……ブレード 13……紫外線ランプ、14……送出ローラー
FIG. 1 is a structural diagram showing an example of an apparatus used in the method for continuously producing a substrate for an optical recording medium of the present invention, and FIG. 2 is a structural diagram showing another example of the apparatus of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Sheet board, 2 ... Feed roller 3 ... Roll stamper 4, ... Metal core 5 ... Elastomer, 6 ... Ni stamper 7 ... Elastic resin stamper 8 ... Nip roller 9 ... … UV curing resin, 10 …… Resin tank 11 …… Coating roller, 12 …… Blade 13 …… UV lamp, 14 …… Sending roller

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鹿目 修 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 八島 正孝 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平1−152044(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (72) Inventor Osamu Kaname 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Masataka Yashima 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Ki Within Canon Inc. (56) Reference Japanese Patent Laid-Open No. 1-152044 (JP, A)

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】案内溝および/または情報に対応した微細
な凹凸パターンを有するロール状スタンパを用い、該ス
タンパの凹凸パターンをシート基板上に紫外線硬化樹脂
を用いて転写形成することにより光学的記録媒体用基板
を連続的に製造する方法において、弾性変形するロール
状スタンパを用いて、該スタンパの凹凸パターンをシー
ト基板上に転写することを特徴とする光学的記録媒体用
基板の連続製造方法。
1. Optical recording by using a roll stamper having a guide groove and / or a fine concavo-convex pattern corresponding to information, and transferring the concavo-convex pattern of the stamper onto a sheet substrate using an ultraviolet curable resin. A method for continuously manufacturing a substrate for an optical recording medium, which comprises: using a roll-shaped stamper that elastically deforms and transferring the uneven pattern of the stamper onto a sheet substrate.
【請求項2】案内溝および/または情報に対応した微細
な凹凸パターンを有するロール状スタンパを用い、該ス
タンパの凹凸パターンをシート基板上に紫外線硬化樹脂
を用いて転写形成することにより光学的記録媒体用基板
を連続的に製造する装置において、ロール状スタンパが
弾性変形するロール状スタンパから構成されていること
を特徴とする光学的記録媒体用基板の連続製造装置。
2. Optical recording by using a roll-shaped stamper having a guide groove and / or a fine concave-convex pattern corresponding to information, and transferring the concave-convex pattern of the stamper onto a sheet substrate using an ultraviolet curable resin. An apparatus for continuously producing a medium substrate, wherein the roller stamper is composed of a roll stamper that is elastically deformed.
【請求項3】弾性変形するロール状スタンパが弾性体ロ
ール上に金属製スタンパを形成してなる請求項2記載の
光学的記録媒体用基板の連続製造装置。
3. An apparatus for continuously producing a substrate for an optical recording medium according to claim 2, wherein the elastically deformable roll-shaped stamper comprises a metal stamper formed on an elastic roll.
【請求項4】弾性変形するロール状スタンパが金属ロー
ル上に樹脂製スタンパを形成してなる請求項2記載の光
学的記録媒体用基板の連続製造装置。
4. An apparatus for continuously manufacturing a substrate for an optical recording medium according to claim 2, wherein the elastically deformable roll-shaped stamper is formed by forming a resin stamper on a metal roll.
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