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JP2521216B2 - Roll stamper for molding information recording medium substrate sheet and apparatus for manufacturing information recording medium substrate using the same - Google Patents

Roll stamper for molding information recording medium substrate sheet and apparatus for manufacturing information recording medium substrate using the same

Info

Publication number
JP2521216B2
JP2521216B2 JP17891992A JP17891992A JP2521216B2 JP 2521216 B2 JP2521216 B2 JP 2521216B2 JP 17891992 A JP17891992 A JP 17891992A JP 17891992 A JP17891992 A JP 17891992A JP 2521216 B2 JP2521216 B2 JP 2521216B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
roll
stamper
filler
roll stamper
peripheral surface
Prior art date
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JP17891992A
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JPH05205322A (en
Inventor
修 鹿目
弘文 上高原
斉 芳野
久範 林
哲也 佐藤
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C43/44Compression means for making articles of indefinite length
    • B29C43/46Rollers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/22Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of indefinite length
    • B29C43/222Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of indefinite length characterised by the shape of the surface

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、表面に凹凸プリフォー
マットパターンを転写して光ディスク、光カード等の高
密度情報記録媒体用基板を連続的に製造する時に用いら
れるロールスタンパー及びそれを用いた情報記録媒体用
基板の製造装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention uses a roll stamper used when continuously manufacturing a substrate for a high density information recording medium such as an optical disc or an optical card by transferring a concavo-convex preformat pattern on the surface and the roll stamper. The present invention relates to an apparatus for manufacturing an information recording medium substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ディスク、光カード等の高密度光情報
記憶媒体用基板の製造は、インジェクション成形、コン
プレッション成形あるいは押出成形により可能である。
ところで、前記インジェクション成形あるいはコンプレ
ッション成形では、基板の平面度、平滑度、反りおよび
基板への気泡の混入防止等のために、溶融樹脂の温度お
よび圧力、金型の精度等に厳しい条件が要求され、また
成形機が大がかりなものとなり、製造コストが高く、ま
た前記インジェクション成形では、光カードの基板のよ
うな厚さ0.4mm以下の薄い低複屈折の基板の製造が
困難である。更に、前記コンプレッション成形において
は、枚葉処理であるため、生産性が悪い。
2. Description of the Related Art A substrate for a high density optical information storage medium such as an optical disk and an optical card can be manufactured by injection molding, compression molding or extrusion molding.
By the way, in the injection molding or the compression molding, strict conditions are required for the temperature and pressure of the molten resin, the precision of the mold, etc. in order to prevent the flatness, smoothness, warpage and prevention of air bubbles from entering the substrate. In addition, the molding machine becomes large-scaled, the manufacturing cost is high, and it is difficult to manufacture a thin low birefringence substrate having a thickness of 0.4 mm or less like the substrate of the optical card by the injection molding. Further, since the compression molding is a single-wafer processing, the productivity is poor.

【0003】一方、押し出し成形機を使用する押出成形
は、スタンパーを備える情報記録媒体用基板の成形用ロ
ールスタンパーを、押出機により押出されたシート状の
樹脂の表面に圧接することにより、プリフォーマット信
号やトラッキング信号等を与えるプリフォーマットパタ
ーンを前記基板に形成できるため、基板の量産性に優れ
ており、情報記録媒体用基板の成形方法として近年研究
が進められている。
On the other hand, in extrusion molding using an extrusion molding machine, a roll stamper for forming a substrate for an information recording medium provided with a stamper is pressed against the surface of a sheet-shaped resin extruded by the extruder to pre-format. Since a pre-format pattern for giving a signal or a tracking signal can be formed on the substrate, the substrate is excellent in mass productivity, and research has recently been advanced as a method for molding a substrate for an information recording medium.

【0004】ところで上記押出成形に用いられる情報記
録媒体用基板の成形用ロールスタンパーは、従来下記の
様な方法で製造されている。 (1)周面が鏡面に研磨されたロール基材(以下、鏡面
ロール基材と記す)の周面に直接プリフォーマットパタ
ーンを形成する方法。 (2)表面にプリフォーマットパターンが予め形成され
たフレキシブルなスタンパーを、鏡面ロール基材の周面
に接着剤により一様に固着する方法。 (3)表面にプリフォーマットパターンが予め形成され
たフレキシブルなスタンパーを鏡面ロール基材の周面に
ねじにより固定する方法。
By the way, a roll stamper for molding a substrate for an information recording medium used in the above-mentioned extrusion molding is conventionally manufactured by the following method. (1) A method of directly forming a preformat pattern on the peripheral surface of a roll base material whose peripheral surface is polished to a mirror surface (hereinafter referred to as a mirror surface roll base material). (2) A method in which a flexible stamper having a pre-formatted pattern formed in advance on its surface is uniformly adhered to the peripheral surface of the mirror roll base material with an adhesive. (3) A method in which a flexible stamper having a pre-format pattern formed in advance on the surface is fixed to the peripheral surface of the mirror roll base material with screws.

【0005】しかしながら、上記した従来のスタンパー
を固定する技術のうち、(1)はプリフォーマットパタ
ーンの1ヶ所に欠陥が発生した場合でもロールスタンパ
ー全体を交換する必要があり、成形効率が悪く、又
(2)を用いたロールスタンパーは押出し成形された樹
脂シートの熱やロールスタンパー自体の熱によって接着
剤が経時的に変化して接着力が低下し、スタンパーが鏡
面ロールからはがれ易く、ロールスタンパーの寿命が非
常に短かいという問題があり、また接着剤中に気泡が発
生し易く、この該気泡により発生するスタンパーの凹凸
が基板に不要に転写され、パターンの克明な転写が困難
となり、転写不良が発生するという問題点がある。
However, among the above-mentioned conventional techniques for fixing a stamper, (1) requires replacement of the entire roll stamper even if a defect occurs at one location of the preformat pattern, resulting in poor molding efficiency and In the roll stamper using (2), the adhesive changes with time due to the heat of the resin sheet extruded and the heat of the roll stamper itself, and the adhesive force is reduced, and the stamper is easily peeled off from the mirror-finished roll. There is a problem that the life is very short, and bubbles easily occur in the adhesive, and the unevenness of the stamper generated by these bubbles is unnecessarily transferred to the substrate, making it difficult to transfer the pattern clearly, resulting in poor transfer. There is a problem that occurs.

【0006】また、(3)の技術を用いたロールスタン
パーは、フレキシブルスタンパーとロール基材との間の
空隙を抑えることが困難で、スタンパー表面に温度ムラ
が生じ易く、ひいては成形不良となるという問題点があ
った。
Further, in the roll stamper using the technique (3), it is difficult to suppress the gap between the flexible stamper and the roll base material, temperature unevenness is likely to occur on the stamper surface, and eventually molding failure occurs. There was a problem.

【0007】そこで、フレキシブルなスタンパーに歪を
生じさせず、且つ該スタンパーのプリフォーマットパタ
ーンが形成されていない側の面(裏面)が鏡面ロール基
材周面と密着する様に、該スタンパーを鏡面ロール基材
に確実に固定する方法として本願出願人は特願平3−2
45330号に於て、フレキシブルスタンパー裏面に固
定具を設けると共に、ロール基材周面に該固定具が嵌挿
可能な係止溝を設け、該固定具を該係止溝に嵌挿せしめ
て固定する方法を開示している。
Therefore, the stamper is mirror-finished so that the flexible stamper is not distorted and the surface (back surface) of the stamper on which the pre-format pattern is not formed is in close contact with the peripheral surface of the mirror-roll base material. As a method for surely fixing to a roll base material, the applicant of the present application filed Japanese Patent Application No. 3-2.
No. 45330, a fixing tool is provided on the back surface of the flexible stamper, and a locking groove into which the fixing tool can be fitted is provided on the peripheral surface of the roll base material, and the fixing tool is fitted into the locking groove and fixed. A method is disclosed.

【0008】しかしながら、この固定方法に於て、図6
(a)に示す様に固定具61−1と固定具61−2の
間、又は図6(b)に示す様に固定具61−3と係止溝
62の壁63の間にロールスタンパー周面に対して凹部
64が生じてしまう。
However, in this fixing method, as shown in FIG.
The roll stamper circumference is provided between the fixture 61-1 and the fixture 61-2 as shown in FIG. 6A or between the fixture 61-3 and the wall 63 of the locking groove 62 as shown in FIG. 6B. A recess 64 is formed on the surface.

【0009】特に、フレキシブルスタンパーにくさびを
用いて張力が印加可能に形成してなるロールスタンパー
の場合、固定具と係止溝の間隔が、フレキシブルスタン
パーに張力を印加する為のマージンとして比較的大きく
設定されるため、ロールスタンパー周面に対して大きな
凹部が生じていた。
Particularly, in the case of a roll stamper in which a tension is applied to a flexible stamper by using a wedge, the distance between the fixing tool and the engaging groove is relatively large as a margin for applying the tension to the flexible stamper. Since it is set, a large recess is formed on the peripheral surface of the roll stamper.

【0010】そして、かかる凹部を有するロールスタン
パーを用いて、図7に示す装置で情報記録媒体用基板の
連続成形を行なった場合、該ロールスタンパー71及び
該ロールスタンパーに対向配置されてなる鏡面ロール7
2とで形成される熔融樹脂シートの加圧成形部73にお
ける熔融樹脂のバンク量に変動が生じ、成形される情報
記録媒体用基板シートの厚さが不均一となったり、該凹
部に熔融樹脂が入り込み、プリフォーマットの転写され
た情報記録媒体用基板シートのロールスタンパーからの
スムースな剥離を妨げ、情報記録媒体用基板シートの光
学性能に悪影響を与えることがあり、又情報記録媒体用
基板シートのプリフォーマットパターンが転写された側
の面に該凹部に対応する凸部が形成され、該情報記録媒
体用基板シートを用いて連続的に情報記録媒体の製造を
行なう場合、例えば連続的に記録層の塗布を行なう場合
の障害となっていた。
When a substrate for an information recording medium is continuously molded by the apparatus shown in FIG. 7 using the roll stamper having such a concave portion, the roll stamper 71 and a mirror surface roll arranged to face the roll stamper. 7
2, the amount of the molten resin bank in the pressure molding portion 73 of the molten resin sheet formed by 2 and 3 is varied, the thickness of the information recording medium substrate sheet to be molded becomes uneven, and the molten resin is formed in the concave portion. May interfere with smooth separation of the preformat-transferred substrate sheet for information recording medium from the roll stamper, which may adversely affect the optical performance of the substrate sheet for information recording medium. When a convex portion corresponding to the concave portion is formed on the surface on the side where the preformat pattern is transferred, and when the information recording medium is continuously manufactured using the information recording medium substrate sheet, for example, continuous recording is performed. It has been an obstacle when applying layers.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点に
鑑みなされたものであって、均一な厚さを有し、複屈折
等の光学性能に優れ、且つ光記録媒体の連続製造工程に
適した情報記録媒体用基板シートを製造することができ
るロールスタンパーを提供することを目的とするもので
ある。
The present invention has been made in view of the above problems, and has a uniform thickness, excellent optical performance such as birefringence, and a continuous manufacturing process of an optical recording medium. An object of the present invention is to provide a roll stamper capable of manufacturing a suitable substrate sheet for information recording medium.

【0012】又、本発明は、均一な厚さを有し、光学性
能に優れると共に光記録媒体の連続製造工程に適した情
報記録媒体用基板シートを連続的に製造することのでき
る製造装置を提供することを他の目的とする。
Further, the present invention provides a manufacturing apparatus capable of continuously manufacturing an information recording medium substrate sheet having a uniform thickness, excellent optical performance and suitable for a continuous manufacturing process of an optical recording medium. The other purpose is to provide.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】即ち、本発明の情報記録
媒体用基板シートの成形用ロールスタンパーは、情報記
録媒体のプリフォーマットパターンに対応するパターン
を表面に有するスタンパーがロール基材周面に固定され
てなるロールスタンパーに於て、該ロールスタンパーの
周面に対する凹部に充填材を充填して、該ロールスタン
パー周面を実質的に平滑化せしめてなることを特徴とす
る。
That is, a roll stamper for forming a substrate sheet for information recording medium of the present invention has a stamper having a pattern corresponding to the preformat pattern of the information recording medium on the surface of the roll base material. A fixed roll stamper is characterized in that a concave portion with respect to the peripheral surface of the roll stamper is filled with a filler so that the peripheral surface of the roll stamper is substantially smoothed.

【0014】又、本発明の情報記録媒体用基板シートの
成形用ロールスタンパーは、情報記録媒体のプリフォー
マットに対応するパターンを表面に有するスタンパーの
両端部裏面に該スタンパーと一体となる様に固定具が固
着され、鏡面ロール基材の周面には該固定具を各々嵌挿
可能な複数の係止溝が該鏡面ロールの軸方向と平行に形
成されてなると共に、該固定具が該係止溝に各々嵌挿さ
れてなり、該スタンパーが該鏡面ロール基材の周面に沿
う様に固定されてなるロールスタンパーに於て、該固定
具と該係止溝の間隙を含む、該ロールスタンパーの周面
に対する凹部に充填材を充填して、該ロールスタンパー
周面を実質的に平滑化せしめてなることを特徴とする。
Further, the roll stamper for molding a substrate sheet for information recording medium of the present invention is fixed to both rear surfaces of both ends of the stamper having a pattern corresponding to the preformat of the information recording medium on the front surface so as to be integrated with the stamper. And a plurality of locking grooves into which the fixtures can be inserted respectively are formed parallel to the axial direction of the mirror roll, and the fixtures are fixed to each other. A roll stamper, which is inserted into each of the stop grooves, and in which the stamper is fixed along the peripheral surface of the mirror-like roll base material, including a gap between the fixture and the locking groove. It is characterized in that a concave portion with respect to the peripheral surface of the stamper is filled with a filler so that the peripheral surface of the roll stamper is substantially smoothed.

【0015】更に本発明の情報記録媒体用基板シートの
製造装置は、樹脂を熔融して押し出し樹脂シートを成形
する手段、プリフォーマットパターンに対応するパター
ンを表面に有するロールスタンパー及び該ロールスタン
パーに対向配置されてなる鏡面ロールを有する情報記録
媒体用基板を連続的に製造する装置に於て、該ロールス
タンパーとして、該ロールスタンパーの周面に対する凹
部が充填材で充填され、該ロールスタンパーの周面が実
質的に平滑化されてなるロールスタンパーを用いること
を特徴とする。
Further, the apparatus for producing a substrate sheet for information recording medium of the present invention comprises a means for molding a resin sheet by melting a resin, a roll stamper having a pattern corresponding to a preformat pattern on the surface, and a roll stamper facing the roll stamper. In an apparatus for continuously producing a substrate for information recording medium having a mirror surface roll arranged, as the roll stamper, a concave portion with respect to the peripheral surface of the roll stamper is filled with a filler, and the peripheral surface of the roll stamper is Is characterized by using a roll stamper which is substantially smoothed.

【0016】以下、本発明を図面を用いて詳細に説明す
る。図1は本発明に係る情報記録媒体用基板シートの成
形用ロールスタンパーの一実施態様を示す模式的断面図
であり、11は表面にトラック溝やプリピット等のプリ
フォーマットに対応する微細なプリフォーマットパター
ンを備えたフレキシブルスタンパーであり、12−1及
び12−2は該スタンパー11の両端部裏面に固着され
てなる固定具である。そして、13は該スタンパー11
によって周面が被覆されてなるロール基材であって、1
4は該ロール基材周面に該固定具12が嵌挿可能に形成
されてなる係止溝である。そして、15は該固定具12
及び該係止溝14の間隙に生じる該ロールスタンパー周
面に対する凹部を充填し、該ロールスタンパー10の周
面を実質的に平滑化する充填材である。
The present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a roll stamper for molding a substrate sheet for information recording media according to the present invention, and 11 is a fine preformat corresponding to preformat such as track grooves and prepits on the surface. A flexible stamper provided with a pattern, and 12-1 and 12-2 are fixtures fixed to the back surfaces of both ends of the stamper 11. And 13 is the stamper 11
A roll base material whose peripheral surface is covered with
Reference numeral 4 is a locking groove formed so that the fixing tool 12 can be fitted into the peripheral surface of the roll base material. 15 is the fixture 12
Also, it is a filling material that fills the concave portion with respect to the peripheral surface of the roll stamper generated in the gap of the locking groove 14 and substantially smoothes the peripheral surface of the roll stamper 10.

【0017】本発明に於て、該充填材としては、ロール
基材13を構成する材料と熱膨張率が等しいか或いは大
きい材料を用いた場合、情報記録媒体用基板シートを成
形する際にロールスタンパーを加熱した時にロール基材
の熱膨張によっても充填材とロール基材との間に凹部が
形成されることがなく好ましい。そしてまたロールスタ
ンパーの加熱時の充填材の熱膨張によるロールスタンパ
ー周面からのはみ出しを防止するために、その熱膨張率
は1×10-3/℃以下、特に3×10-4/℃以下が好ま
しい。
In the present invention, when a material having a thermal expansion coefficient equal to or larger than that of the material forming the roll base material 13 is used as the filler, the roll is used when forming the substrate sheet for information recording medium. When the stamper is heated, thermal expansion of the roll base material does not form a recess between the filler and the roll base material, which is preferable. Further, in order to prevent the roll stamper from protruding from the peripheral surface due to the thermal expansion of the filler when the roll stamper is heated, the coefficient of thermal expansion thereof is 1 × 10 -3 / ° C or less, particularly 3 × 10 -4 / ° C or less. Is preferred.

【0018】そして本発明に用いられる充填材として
は、例えば、Pb,Sn,Zn,ハンダのような融点が
500℃以下150℃以上、特に450℃以下200℃
以上の低融点金属や低融点の合金や、予め凹部の形状に
あわせて成形した金属片やセラミックス片、或いはシリ
コーン系樹脂、エポキシ樹脂、シアノアクリレート系樹
脂、ポリイミド樹脂、フッ素樹脂等の耐熱性樹脂が挙げ
られ、これらの中からロール基材の材質、ロールスタン
パーの加熱温度等を考慮して前記した熱膨張率の範囲内
で且つロールスタンパーの加熱温度に於て耐熱性を有す
る材料を適宜選択して用いれば良い。
As the filler used in the present invention, for example, Pb, Sn, Zn, and solder having a melting point of 500 ° C. or lower and 150 ° C. or higher, particularly 450 ° C. or lower and 200 ° C.
The above-mentioned low melting point metal or low melting point alloy, metal piece or ceramic piece previously molded according to the shape of the recess, or heat resistant resin such as silicone resin, epoxy resin, cyanoacrylate resin, polyimide resin, or fluororesin Among these, in consideration of the material of the roll base material, the heating temperature of the roll stamper, etc., a material having heat resistance within the range of the coefficient of thermal expansion described above and having a heating temperature of the roll stamper is appropriately selected. And use it.

【0019】なお、本発明に於て、耐熱性とはロールス
タンパーの加熱温度に於て熔融,変形,分解その他機械
的物性変化を少なくとも2時間、好ましくは50時間以
上生じないものである。
In the present invention, the term "heat resistance" means that melting, deformation, decomposition and other mechanical property changes at the heating temperature of the roll stamper do not occur for at least 2 hours, preferably 50 hours or more.

【0020】また、上記した種々の材料のうち特にシリ
コーン系樹脂やフッ素系樹脂は、ロールスタンパーとし
て用いた場合に、ロールスタンパー周面からの成形樹脂
シートの剥離を円滑に行なうことができ、又シリコーン
系樹脂やエポキシ樹脂は凹部への充填作業に於て比較的
低粘度の未硬化物を用いることによって凹部の微細な間
隙にまで確実に充填されるため、この間隙に入り込んだ
樹脂がロールスタンパーに対する充填材のアンカーとし
て機能し、このロールスタンパーを用いて熔融樹脂シー
トの成形を行なった時に充填材がロールスタンパーから
剥離することがなく、更に耐熱性にも優れるため好まし
い材料である。
Further, among the above-mentioned various materials, particularly when used as a roll stamper, a silicone-based resin or a fluorine-based resin can smoothly separate the molded resin sheet from the peripheral surface of the roll stamper, and Silicone resin and epoxy resin are used to fill the recesses by using an uncured material with a relatively low viscosity, so that even minute gaps in the recesses are reliably filled. It is a preferable material because it functions as an anchor for the filler, and the filler does not peel off from the roll stamper when a molten resin sheet is molded using this roll stamper, and also has excellent heat resistance.

【0021】そして、本発明に於て、シリコーン系樹脂
としては例えば下記一般式(1)の構造を有する樹脂を
一般式(2)の構造を有する硬化剤と共に重合して形成
した高度に架橋した重合体である。
In the present invention, as the silicone-based resin, for example, a resin having a structure of the following general formula (1) is polymerized with a curing agent having a structure of the general formula (2) to form a highly crosslinked structure. It is a polymer.

【0022】[0022]

【化1】 (但し、x,yは整数、RはH,CH3 又はC25Embedded image (However, x and y are integers, R is H, CH 3 or C 2 H 5 )

【0023】或いは、下記一般式(3)の構造を有する
もので、ジメチルシロキサンを重合して形成することが
できるものである。
Alternatively, it has a structure represented by the following general formula (3) and can be formed by polymerizing dimethylsiloxane.

【0024】[0024]

【化2】 (但し、Zは整数)Embedded image (However, Z is an integer)

【0025】又本発明の充填材として、例えば下記式
(4)〜(6)に示すメカニズムで硬化するシリコーン
樹脂も用いることができ、かかる樹脂は紫外線や電子線
の照射によって硬化させることができると共に凹部への
充填時の粘度も予めキュアーさせることで任意に選択で
き、作業性が良好な点で好適な材料である。
As the filler of the present invention, for example, a silicone resin which is cured by the mechanism represented by the following formulas (4) to (6) can be used, and such resin can be cured by irradiation of ultraviolet rays or electron beams. At the same time, the viscosity at the time of filling the concave portion can be arbitrarily selected by pre-curing, and it is a suitable material in terms of good workability.

【0026】[0026]

【化3】 (但し、nは整数)Embedded image (However, n is an integer)

【0027】そして、本発明に於てロールスタンパー凹
部への充填は未硬化のシリコーン樹脂を該凹部に注入し
た後、加熱する事によって行なわれる。なお、この時未
硬化のシリコーン樹脂は通常の手段、例えば稀釈剤の添
加によってその粘度を100〜100,000cps、
特に1,000〜10,000cpsとした場合、凹部
への注入時の不要な流れを防止できると共に凹部の微細
な間隙にも樹脂を注入でき好ましい。そして、次に該凹
部からはみ出した、硬化したシリコーン樹脂を、該ロー
ルスタンパー周面が実質的に平滑となる様に削り取るこ
とによって本発明のロールスタンパーを得ることができ
る。
In the present invention, the roll stamper recess is filled by injecting an uncured silicone resin into the recess and then heating it. At this time, the uncured silicone resin has a viscosity of 100 to 100,000 cps, which can be obtained by a conventional means such as addition of a diluent.
Particularly, when it is set to 1,000 to 10,000 cps, it is preferable that unnecessary flow at the time of injection into the recess can be prevented and the resin can be injected into the fine gap of the recess. Then, the cured silicone resin protruding from the recess is then scraped off so that the peripheral surface of the roll stamper becomes substantially smooth, whereby the roll stamper of the present invention can be obtained.

【0028】又本発明に於て用いられるエポキシ樹脂と
しては、例えば多価フェノール化合物(例えば、ビスフ
ェノールA)とエピクロルヒドリンから得られるビスエ
ポキシ化合物の硬化物が用いられ、特に本発明に於ては
ビスエポキシ化合物の様なエポキシ樹脂前駆体でその粘
度が100〜100,000cps、好ましくは1,0
00〜10,000cpsの物が、凹部への流入時の流
れを防止できると共に凹部内の微細な間隙をも充填する
ため、硬化後のロールスタンパーからのエポキシ樹脂の
充填材の脱落を防止することができるものである。
As the epoxy resin used in the present invention, for example, a cured product of a bisepoxy compound obtained from a polyhydric phenol compound (for example, bisphenol A) and epichlorohydrin is used. An epoxy resin precursor such as an epoxy compound having a viscosity of 100 to 100,000 cps, preferably 1.0
An object of 100 to 10,000 cps can prevent the flow at the time of flowing into the concave portion and also fill the minute gap in the concave portion, so that the epoxy resin filler is prevented from falling off from the roll stamper after curing. Is something that can be done.

【0029】なお、充填材としてのエポキシ樹脂は硬化
時の収縮が少ない点で好ましい材料の1つであるが、エ
ポキシ樹脂は一般に硬いため凹部からはみ出した場合の
加工が困難である。そこで、本発明に於て充填材として
エポキシ樹脂を用いる場合、図8に示す様にロールスタ
ンパー周面に密着する様な曲率に加工された被覆部材8
1で該凹部を被覆した後、該凹部及び被覆部材81で形
成される空間に被覆部材の注入孔部82よりエポキシ樹
脂前駆体及び硬化剤の混合物を注入・硬化せしめる、所
謂注型成形技術を応用することによって周面の平滑なロ
ールスタンパーを容易に製造することができる。なおこ
の方法はシリコーン樹脂や低融点金属を充填材として用
いる場合にも有効である。
Epoxy resin as a filler is one of the preferable materials in that the shrinkage at the time of curing is small, but since the epoxy resin is generally hard, it is difficult to process it when it protrudes from the recess. Therefore, when an epoxy resin is used as the filler in the present invention, as shown in FIG. 8, the covering member 8 processed into a curvature so as to be in close contact with the peripheral surface of the roll stamper.
After coating the concave portion with 1, the mixture of the epoxy resin precursor and the curing agent is injected into the space formed by the concave portion and the covering member 81 from the injection hole portion 82 of the covering member, and the mixture is cured. By applying it, a roll stamper having a smooth peripheral surface can be easily manufactured. This method is also effective when a silicone resin or a low melting point metal is used as the filler.

【0030】又凹部に樹脂を注入した後、図8に示す被
覆部材で該凹部を被覆して樹脂を硬化せしめてもよい。
なお、本発明に於てロールスタンパーの周面に対する凹
部とはロール基材周面にフレキシブルスタンパーを固定
した状態に於て、該フレキシブルスタンパー周面を基準
として深さ100μmより大なる凹部を意味し、スタン
パー表面に形成されてなるプリフォーマットパターンの
凹部を本発明に於る凹部とみなさないことはいうまでも
ない。
After the resin is injected into the recess, the recess may be covered with a covering member shown in FIG. 8 to cure the resin.
In the present invention, the concave portion with respect to the peripheral surface of the roll stamper means a concave portion having a depth of more than 100 μm based on the peripheral surface of the flexible stamper when the flexible stamper is fixed to the peripheral surface of the roll base material. It goes without saying that the concave portion of the preformat pattern formed on the stamper surface is not regarded as the concave portion in the present invention.

【0031】そして又本発明に於て「実質的に平滑」と
は、充填材を充填した後に、ロールスタンパー周面に対
する凹部の深さもしくは凸部の高さが100μm以下、
特に50μm以下の場合をいう。
Further, in the present invention, "substantially smooth" means that the depth of the concave portion or the height of the convex portion with respect to the peripheral surface of the roll stamper is 100 μm or less after filling the filler.
Especially, it means a case of 50 μm or less.

【0032】次に、本発明に於て固定具12−1,12
−2の側面16及び17の少なくとも一方を、表面粗さ
10μm以上、特に100μm以上1mm以下の粗さと
する事によって充填材15のロールスタンパーからの脱
落を確実に防止できる。
Next, in the present invention, the fixing tools 12-1 and 12
-By setting at least one of the side surfaces 16 and 17 of -2 to have a surface roughness of 10 μm or more, particularly 100 μm or more and 1 mm or less, it is possible to reliably prevent the filler 15 from falling off the roll stamper.

【0033】また、この時、固定具12−1,12−2
の少なくとも一方の側面に、図2(a),(b)及び
(c)に示す様なボイド18を形成しても充填材の脱落
を防止でき、更には両方の固定具12−1及び12−2
の側面の形状を図2(d)の傾斜面19−1,19−2
に示した様に、凹部の形状が充填材を保持可能となる様
な形状としてもよく、又図2(e)に示す様に固定具1
2−1及び係止溝14の壁面19−3を凹部の形状が充
填材を保持可能な形状としても充填材の脱落を防止でき
る。更に図2(f)に示す様に固定具とロール基材の間
に間隙を設けることも充填材の脱落防止に有効である。
そしてかかる固定具側面の加工は充填材として耐熱性樹
脂を用いる場合に特に好ましい。
At this time, the fixtures 12-1 and 12-2
Even if a void 18 as shown in FIGS. 2 (a), (b) and (c) is formed on at least one side face of the filler, the filler can be prevented from falling off. -2
The shape of the side surface of the inclined surface 19-1 and 19-2 of FIG.
As shown in FIG. 2, the shape of the recess may be a shape capable of holding the filler, and as shown in FIG.
Even if the recess 2-1 and the wall surface 19-3 of the locking groove 14 have a shape capable of holding the filler, the filler can be prevented from falling off. Further, as shown in FIG. 2 (f), it is also effective to prevent the filler from falling off by providing a gap between the fixture and the roll base material.
The processing of the side surface of the fixture is particularly preferable when a heat resistant resin is used as the filler.

【0034】次に本発明に係るロールスタンパーの第2
の実施態様について図3及び図4を用いて説明する。図
3は本発明のロールスタンパーの第2の実施態様の断面
図であって、図4は図3のロールスタンパーの充填部近
傍の拡大平面図である。図3及び図4に於て、21−1
及び21−2は表面に情報記録媒体のプリフォーマット
に対応するパターン24が形成されてなるフレキシブル
スタンパー11の両端部裏面に固着されてなる固定具で
ある。
Next, the second roll stamper according to the present invention
The embodiment will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 3 is a sectional view of a second embodiment of the roll stamper of the present invention, and FIG. 4 is an enlarged plan view of the vicinity of the filling portion of the roll stamper of FIG. In FIG. 3 and FIG. 4, 21-1
Numerals 21-2 are fixing tools which are fixed to the rear surfaces of both ends of the flexible stamper 11 having a pattern 24 corresponding to the preformat of the information recording medium formed on the surface.

【0035】そして該固定具21−1,21−2をロー
ル基材13に固定するネジ23−1,23−2が貫通す
る孔部25−1,25−2は該固定具21−1,21−
2を完全にロール基材14に固定しない状態に於ては、
該スタンパー11の長さ方向に該固定具21−1,21
−2が移動可能な様に長孔に形成されていると共に、該
ネジ23−1,23−2の頭部がロールスタンパー周面
に突き出さない様に座ぐりされている。そして各固定具
のテーパー面21−1a,21−2aと係止溝の壁面1
4a,14bの間にくさび22−1,22−2が配置さ
れ、該くさびはロール基材13の側面に固定された固定
部材26に螺合し、且つくさび22−1,22−2に当
接する押圧ネジによってロールスタンパーの中心軸線c
に向かって前進させることによって該スタンパー11に
張力を加えることができ、該スタンパーがロール基材周
面に確実に密着可能に構成されている。そして、該スタ
ンパーに所定の張力を加えた後に固定具21−1,21
−2の間の凹部に充填材15を充填せしめることによっ
て本発明のロールスタンパーを得ることができる。
The holes 25-1, 25-2, through which the screws 23-1, 23-2 for fixing the fixing members 21-1, 21-2 to the roll base material 13 pass, are the fixing members 21-1, 21-
2 is not completely fixed to the roll base material 14,
The fixing members 21-1 and 21-21 are arranged in the longitudinal direction of the stamper 11.
-2 is formed in a long hole so as to be movable, and the heads of the screws 23-1, 23-2 are countersunk so as not to project to the peripheral surface of the roll stamper. And the taper surfaces 21-1a and 21-2a of each fixture and the wall surface 1 of the locking groove
Wedges 22-1 and 22-2 are arranged between 4a and 14b, and the wedges are screwed to a fixing member 26 fixed to the side surface of the roll base material 13 and contact the wedges 22-1 and 22-2. The central axis c of the roll stamper by the contacting pressing screw
The stamper 11 can be tensioned by advancing toward, and the stamper is configured so as to be surely in close contact with the peripheral surface of the roll base material. Then, after applying a predetermined tension to the stamper, the fixtures 21-1 and 21
The roll stamper of the present invention can be obtained by filling the filling material 15 in the concave portion between −2.

【0036】次に本発明に用いられるフレキシブルスタ
ンパー11は通常の手法、例えば電鋳法によって製造さ
れ、その厚さとしては充分な腰の強さを確保およびロー
ルスタンパーの大径化阻止等を考慮すると、20μm〜
500μmの範囲が好ましい。
Next, the flexible stamper 11 used in the present invention is manufactured by a usual method, for example, an electroforming method, and as its thickness, sufficient rigidity of the waist is ensured and the roll stamper is prevented from increasing in diameter. Then, from 20 μm
The range of 500 μm is preferable.

【0037】又本発明のスタンパーに形成される情報記
録媒体用のプリフォーマットパターン24としては、具
体的には例えば幅0.5μm〜2μm、ピッチ1.0μ
m〜5μm、深さ200Å〜5000Å程度のスパイラ
ルや同心円或いは平行の光ディスクや光カード用トラッ
キンググルーブや幅2μm〜5μm、ピッチ8μm〜1
5μm程度、深さ200Å〜5000Å程度のスパイラ
ルや同心円或いは平行な光ディスクや光カード用トラッ
キンググルーブに対応するパターンである。
As the preformat pattern 24 for the information recording medium formed on the stamper of the present invention, specifically, the width is 0.5 μm to 2 μm and the pitch is 1.0 μm.
m-5 μm, depth 200 Å-5000 Å spiral or concentric circles or parallel optical discs or tracking grooves for optical cards, width 2 μm-5 μm, pitch 8 μm-1
The pattern corresponds to a spiral or concentric circle or parallel optical disc or optical card tracking groove having a depth of about 5 μm and a depth of about 200 Å to 5000 Å.

【0038】又このスタンパーの裏面、特にプリフォー
マットパターン24が表面に設けられている領域の裏面
は表面粗さ0.1μm以下の鏡面状態に研磨されている
ことが好ましい。
Further, it is preferable that the back surface of this stamper, particularly the back surface of the region where the preformat pattern 24 is provided on the front surface, is polished to a mirror surface state with a surface roughness of 0.1 μm or less.

【0039】更に本発明に用いられるロール基材13と
しては、その周面が表面粗さが0.1μm以下に研磨さ
れているのが好ましく、ロール基材13に用い得る材料
として炭素鋼、Al、超硬合金、金型用鋼(例えばマル
エージング鋼)等の鏡面加工が可能な材料が好ましい。
特に鏡面加工の容易なクロム鋼は好適に用いられる。
Further, as the roll base material 13 used in the present invention, it is preferable that the peripheral surface of the roll base material 13 is polished to have a surface roughness of 0.1 μm or less. , A cemented carbide, a die steel (for example, maraging steel), and the like, which are capable of mirror finishing, are preferable.
Particularly, chrome steel, which can be easily mirror-finished, is preferably used.

【0040】またこのロール基材はロールスタンパーを
加熱するための熱媒体、例えば油等を循環可能とするよ
うに中空部を有していてもよく、この場合ロール基材1
3の肉厚は、ロールスタンパーの強度および大径化阻止
を考慮すると、10cm〜15cmの範囲が好ましい。
更にまた上記ロール基材13への係止溝14等の形成は
放電加工、バイト加工やドレス加工等の方法によって加
工する事ができる。
Further, this roll base material may have a hollow portion so that a heat medium for heating the roll stamper, such as oil, can be circulated. In this case, the roll base material 1
The thickness of 3 is preferably in the range of 10 cm to 15 cm in consideration of strength of the roll stamper and prevention of enlargement of the diameter.
Furthermore, the locking groove 14 and the like can be formed in the roll base material 13 by a method such as electric discharge machining, bite machining and dressing.

【0041】次に図1のロールスタンパーを用いた情報
記録媒体用基板の連続的な製造方法について図5に基い
て説明する。先ず、押出機53に投入された樹脂ペレッ
トが押出機53のバレルの中で加熱熔融され、スクリュ
ーによって加圧されてT−ダイ54によってシート状に
成形される。
Next, a continuous manufacturing method of the information recording medium substrate using the roll stamper of FIG. 1 will be described with reference to FIG. First, the resin pellets charged into the extruder 53 are heated and melted in the barrel of the extruder 53, pressed by a screw, and molded into a sheet by the T-die 54.

【0042】この時の樹脂の温度は例えばポリカーボネ
ート樹脂の場合260℃〜330℃、好ましくは280
℃〜320℃であり、T−ダイからは透明な実質的に溶
融状態の樹脂シート55として連続的に押し出されてく
る。T−ダイはこの溶融樹脂シートが鏡面ロール52と
ロールスタンパー10の間に押し出される様に配置され
る。
The temperature of the resin at this time is, for example, 260 ° C. to 330 ° C. in the case of polycarbonate resin, preferably 280.
C. to 320.degree. C., and is continuously extruded from the T-die as a transparent and substantially molten resin sheet 55. The T-die is arranged so that this molten resin sheet is extruded between the mirror surface roll 52 and the roll stamper 10.

【0043】次いで該熔融樹脂シートはロールスタンパ
ー10と鏡面ロール52及びロールスタンパー10と鏡
面ロール51とで挾圧され、フレキシブルスタンパー1
1の表面のプリフォーマットパターン24が転写されて
情報記録媒体用基板シート56が成形される。
Next, the molten resin sheet is pinched by the roll stamper 10 and the mirror surface roll 52, and between the roll stamper 10 and the mirror surface roll 51, and the flexible stamper 1 is pressed.
The preformat pattern 24 on the surface of No. 1 is transferred to form the information recording medium substrate sheet 56.

【0044】そしてこの時、本発明のロールスタンパー
10は熔融樹脂シートがロールスタンパー上で固化する
ことのない温度に保たれる。即ち、ロールスタンパー1
0の温度は用いる樹脂の熱変形温度の+20〜−20℃
の範囲に加熱されるのが好ましく、例えばポリカーボネ
ート樹脂を成形する場合、ロールスタンパーの表面温度
は100℃〜160℃に加熱されるのが好ましい。即
ち、上記の温度範囲とすることにより溶融樹脂シートが
急冷されないため樹脂シートに収縮等も歪みが生じにく
い。又、該ロールスタンパーに対向配置されてなる鏡面
ロール51,52の温度はロールスタンパー10と同じ
か若干低めに設定されるのが好ましい。これらのロール
の温度の調節は、例えばロールに鋳込まれたヒーターに
より電気的に加熱されたり、ロールの中心部に熱媒を循
環させることにより制御される。
At this time, the roll stamper 10 of the present invention is kept at a temperature at which the molten resin sheet does not solidify on the roll stamper. That is, roll stamper 1
The temperature of 0 is +20 to -20 ° C of the heat distortion temperature of the resin used.
It is preferable that the surface temperature of the roll stamper is heated to 100 ° C. to 160 ° C. when molding a polycarbonate resin, for example. That is, when the temperature is within the above range, the molten resin sheet is not rapidly cooled, so that the resin sheet is less likely to be distorted by shrinkage or the like. Further, it is preferable that the temperature of the mirror-finished rolls 51 and 52 arranged to face the roll stamper is set to be the same as or slightly lower than that of the roll stamper 10. The adjustment of the temperature of these rolls is controlled, for example, by being electrically heated by a heater cast in the roll or by circulating a heat medium in the center of the roll.

【0045】以上説明した様に、本発明のロールスタン
パーによれば、ローラーグルービング法に用いるロール
スタンパーにおいて、固定具と固定用溝とを用いてスタ
ンパーを固定する際に生じる隙間に充填材を充填し、ロ
ールスタンパー周面を実質的に平滑化せしめることによ
って平坦性に優れた情報記録媒体用基板シートの連続成
形を行なうことができる。又本発明によれば、ロールス
タンパーへの充填材の密着力に優れたロールスタンパー
を得ることができる。
As described above, according to the roll stamper of the present invention, in the roll stamper used in the roller grooving method, the filler is filled in the gap generated when the stamper is fixed by using the fixing tool and the fixing groove. Then, by substantially smoothing the peripheral surface of the roll stamper, it is possible to continuously form a substrate sheet for an information recording medium having excellent flatness. Further, according to the present invention, it is possible to obtain a roll stamper having excellent adhesion of the filler to the roll stamper.

【0046】[0046]

【実施例】次に実施例を用いて本発明を更に詳細に説明
する。
EXAMPLES Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples.

【0047】実施例1 下記の方法に従ってフレキシブルスタンパー11を作製
した。先ず、縦34cm×横30cm×厚さ10mmの
大きさの青板ガラスの表面を鏡面研磨した後、フォトレ
ジスト(商品名:Az−1370;ヘキストジャパン
(株)製)をスピンコートして厚さ3000Åのフォト
レジスト層を形成し、次いで90℃で30分間プレペー
クを行なった。
Example 1 A flexible stamper 11 was manufactured according to the following method. First, after mirror-polishing the surface of soda lime glass having a size of length 34 cm x width 30 cm x thickness 10 mm, a photoresist (trade name: Az-1370; Hoechst Japan KK) was spin-coated to a thickness of 3000 Å. Was formed, and then prepaked at 90 ° C. for 30 minutes.

【0048】次に、レーザー露光装置を用い、光のプリ
フォーマットパターンを露光し、現像液(商品名:Az
312MIF;ヘキスト・ジャパン(株)製)で現像す
ることにより、レジストパターンを形成し、光カード用
のガラス原盤152を製作した。なお上記プリフォーマ
ットパターンは、直径130mmの領域内に形成された
幅0.6μm、ピッチ1.6μm、深さ1000Åの光
ディスク用トラック溝に対応するパターンであって、1
枚のガラス原盤上に光ディスク2枚相当のプリフォーマ
ットパターンを形成した。
Next, using a laser exposure device, a preformat pattern of light is exposed to light and a developing solution (trade name: Az
By developing with 312 MIF; Hoechst Japan Co., Ltd., a resist pattern was formed and a glass master disk 152 for an optical card was manufactured. The preformat pattern is a pattern corresponding to an optical disk track groove having a width of 0.6 μm, a pitch of 1.6 μm, and a depth of 1000 Å formed in a region of 130 mm in diameter.
A preformat pattern corresponding to two optical disks was formed on one glass master.

【0049】次に、電鋳法により金属膜を形成するため
の前処理として、膜厚1000Å〜2000Åのニッケ
ル膜をスパッター装置により成膜することで、導電化膜
をガラス原盤の上に形成した。次に、導電化膜の設けら
れたガラス原盤に電鋳法により厚さ250μmのニッケ
ル金属膜を形成した。
Next, as a pretreatment for forming a metal film by electroforming, a nickel film having a film thickness of 1000Å to 2000Å is formed by a sputtering device to form a conductive film on the glass master. . Next, a nickel metal film having a thickness of 250 μm was formed on the glass master having the conductive film by electroforming.

【0050】最後に導電化膜及び金属膜を一体として同
時にガラス原盤より剥離させ、表面に付着しているフォ
トレジストを除去し、トリミングを行なうと共に裏面を
鏡面研磨して表面粗さを0.1μmに仕上げて表面に光
ディスク用プリフォーマットパターンを2個有する縦3
00mm×横150mm、厚さ200μmのフレキシブ
ルスタンパーを作製した。
Finally, the conductive film and the metal film are integrally peeled from the glass master at the same time, the photoresist adhering to the surface is removed, trimming is performed, and the back surface is mirror-polished to have a surface roughness of 0.1 μm. Vertically with 2 pre-format patterns for the optical disk finished on the surface
A flexible stamper having a size of 00 mm × width 150 mm and a thickness of 200 μm was manufactured.

【0051】こうして得たスタンパー2枚をその端部で
突き合せてYAGレーザーで溶着し、次いで裏面を表面
粗さ0.1μmに鏡面研磨して縦600mm×横150
mm、厚さ200μmで光ディスクのプリフォーマット
パターンを4個有する本発明に用いるフレキシブルスタ
ンパー11を作製した。
Two stampers thus obtained were butted at their end portions and welded with a YAG laser, and then the back surface was mirror-polished to have a surface roughness of 0.1 μm and length 600 mm × width 150.
A flexible stamper 11 used in the present invention having four preformat patterns for an optical disc having a thickness of 200 mm and a thickness of 200 μm was produced.

【0052】また、固定具12−1,12−2として厚
さ6mm、幅13mm、長さ250mmのステンレス角
棒(SUS304)に、ロール基材14の曲率にスタン
パーの厚み分を加えたR加工を施し、さらに端から5m
mの幅だけ0.2mmの深さだけ削り段差を設けると共
に固定用のビス穴を2ヶ所設けたものを一対作成した。
(図1参照)
Further, as the fixing tools 12-1 and 12-2, a stainless steel square bar (SUS304) having a thickness of 6 mm, a width of 13 mm and a length of 250 mm is subjected to R processing in which the thickness of the stamper is added to the curvature of the roll base material 14. 5m from the edge
A pair having a width difference of m and a depth difference of 0.2 mm and two fixing screw holes was prepared.
(See Fig. 1)

【0053】この固定具12−1,12−2の段差部分
に長さ600mmの上記フレキシブルスタンパー11の
両端部をのせ、スタンパーの端部をYAGレーザーによ
って溶接し、固定具付きスタンパーとした。YAGレー
ザー溶接は、ML−2220A(宮地レーザーシステム
(株)製)を用い、充電電圧350V、パルス幅1.0
mS、ディフォーカス5mm(REP−RATE(PP
S):20)、パワー50Wの条件で行なった。溶接時
にバリが出るため、バリの部分は研磨により10μm以
下の凹凸となるように加工し、又両固定具の側面16及
び17は表面粗さ15μmに加工した。
Both ends of the flexible stamper 11 having a length of 600 mm were placed on the stepped portions of the fixtures 12-1 and 12-2, and the ends of the stamper were welded by a YAG laser to obtain a stamper with a fixture. YAG laser welding uses ML-2220A (manufactured by Miyaji Laser System Co., Ltd.), charging voltage 350V, pulse width 1.0.
mS, defocus 5 mm (REP-RATE (PP
S): 20), and power was 50 W. Since burrs are generated during welding, the burrs are machined by polishing so as to have irregularities of 10 μm or less, and the side surfaces 16 and 17 of both fixtures are machined to have a surface roughness of 15 μm.

【0054】一方、直径200mm、幅300mmの炭
素鋼(熱膨張率11×10-6/℃)のロール材周面を表
面粗さ0.1μm以下に鏡面研磨した後、該ロール材周
面に図1に示す様に、深さ6mm,幅(W14)15mm
の係止溝を形成してロール基材11とした。
On the other hand, the peripheral surface of a roll material of carbon steel (thermal expansion coefficient: 11 × 10 −6 / ° C.) having a diameter of 200 mm and a width of 300 mm was mirror-polished to have a surface roughness of 0.1 μm or less, and then the peripheral surface of the roll material was As shown in FIG. 1, depth 6 mm, width (W 14 ) 15 mm
The locking groove was formed to obtain the roll base material 11.

【0055】次いで、該係止溝14に固定具12−1,
12−2を挿入してネジで固定し、固定具間に生じた凹
部に未硬化の粘度5000cpsのシリコーン樹脂(商
品名:KE1204;信越シリコーン(株)製)を注入
し、130℃で30分間ロールスタンパーを加熱して該
シリコーン樹脂を硬化させた後、凹部からはみ出した硬
化樹脂をカッターで削り取り、熱膨張率2×10-4/℃
の充填材として、周面の段差が最大で100μm以下の
実質的に平滑化されたロールスタンパーを作製した。
Next, in the locking groove 14, the fixing members 12-1,
12-2 is inserted and fixed with a screw, and an uncured silicone resin (trade name: KE1204; manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.) with a viscosity of 5000 cps is injected into the recess formed between the fixtures, and the temperature is 130 ° C. for 30 minutes. After heating the roll stamper to cure the silicone resin, the cured resin protruding from the recess is scraped off with a cutter to obtain a thermal expansion coefficient of 2 × 10 −4 / ° C.
As the filling material of (1), a substantially smoothed roll stamper having a maximum step difference of 100 μm or less was produced.

【0056】このロールスタンパーを図5に示す成形装
置に取り付けてポリカーボネート樹脂を押出機53より
押し出して厚さ1.2mmの光ディスク用基板シートを
製造した。
This roll stamper was attached to the molding apparatus shown in FIG. 5 and a polycarbonate resin was extruded from the extruder 53 to produce a 1.2 mm thick optical disk substrate sheet.

【0057】なお、成形条件はT−ダイの温度300
℃、ロールスタンパー5の表面温度145℃、樹脂シー
トの搬送速度3m/分として連続して成形を行なった。
こうして成形した光ディスク用基板シートの厚さは1.
2mmで、スタンパー面を精度良く転写していた。ま
た、固定具の隙間を埋めた部分は、基板シートが最も凸
になっている部分でも80μm以下であり、平坦性の良
い連続シートが得られた。
The molding conditions were a T-die temperature of 300.
C., the surface temperature of the roll stamper 5 was 145.degree. C., and the resin sheet conveying speed was 3 m / min.
The thickness of the optical disk substrate sheet thus molded is 1.
The stamper surface was accurately transferred with 2 mm. In addition, the portion of the fixture in which the gap was filled was 80 μm or less even at the most convex portion of the substrate sheet, and a continuous sheet with good flatness was obtained.

【0058】又成形中、充填材がロールスタンパーから
成形樹脂シートに移行することはなかった。なお本発明
に於て、熱膨張率の測定はASTM D646に準じて
行なった。又本発明に於て、未硬化の樹脂の粘度はAS
TM D445に準じて行なった。
During molding, the filler did not transfer from the roll stamper to the molded resin sheet. In the present invention, the coefficient of thermal expansion was measured according to ASTM D646. Further, in the present invention, the viscosity of the uncured resin is AS
Performed according to TM D445.

【0059】実施例2 実施例1と同様に、固定具付き長尺スタンパー11を作
成し、ねじを使用してロール基材13の係止溝14に固
定した固定具12−1と固定具12−2の間の約2mm
の隙間の凹部に、厚さ2mm、高さ6mm、長さ30c
mの鉛板を挿入し、上から圧縮して隙間を埋め、凸状に
なった部分をカッターで削り、ロールスタンパー周面の
段差を最大のところでも50μm以下とした。
Example 2 As in Example 1, a long stamper 11 with a fixing tool was prepared, and the fixing tool 12-1 and the fixing tool 12 were fixed to the locking groove 14 of the roll base material 13 using screws. About 2 mm between -2
2mm thick, 6mm high, 30c long
m lead plate was inserted, compressed from above to fill the gap, and the convex portion was cut with a cutter, and the step of the peripheral surface of the roll stamper was set to 50 μm or less even at the maximum.

【0060】この様にして作成したスタンパーロールを
用いて、実施例1と同様に、厚さ1.2mmの光ディス
ク基板シートを連続成形したところ、プリフォーマット
パターンを精度良く転写していた。また、基板シートの
凸状になっている部分の高さも最大で30μm以下であ
り、基板シートの平坦性は良好であり、ロールコーター
での有機色素記録層の連続塗布時にも問題は生じなかっ
た。
Using the stamper roll thus prepared, an optical disk substrate sheet having a thickness of 1.2 mm was continuously molded in the same manner as in Example 1, and the preformat pattern was transferred with high accuracy. Further, the height of the convex portion of the substrate sheet was 30 μm or less at the maximum, the flatness of the substrate sheet was good, and no problem occurred during continuous coating of the organic dye recording layer with a roll coater. .

【0061】実施例3 実施例1に於て、充填材として予め凹部の形状に適合す
る様に成形した長さ30cmのステンレス鋼(SUS4
30)の充填材を凹部にはめ込み、該充填材の両端に固
定用のネジ穴を設けロール基材13に固定した。なお、
充填材の上面はロールスタンパーの周面と面一となる曲
率に研磨し、ロールスタンパー周面の段差が10μm以
下となる様にしてロールスタンパーを形成した。
Example 3 In Example 1, as a filling material, a stainless steel (SUS4) having a length of 30 cm formed in advance so as to fit the shape of the recess was used.
The filling material of 30) was fitted in the concave portion, and screw holes for fixing were provided at both ends of the filling material and fixed to the roll base material 13. In addition,
The upper surface of the filler was polished to a curvature that was flush with the peripheral surface of the roll stamper, and the roll stamper was formed so that the step difference on the peripheral surface of the roll stamper was 10 μm or less.

【0062】この様にして作成したロールスタンパーを
用いて、実施例1と同様にして光ディスク基板シートを
作成したところ、パターンの転写性も良好で、固定具お
よびスタンパーと充填材とに起因するシート上の段差も
10μm以下であった。また、この基板シートに有機色
素記録層をロールコーターで湿式塗布したが、この段差
に起因する問題はなかった。
When an optical disk substrate sheet was produced in the same manner as in Example 1 using the roll stamper thus produced, the pattern transferability was also good, and the sheet resulted from the fixture and the stamper and the filler. The upper step was also 10 μm or less. Further, the organic dye recording layer was wet-coated on this substrate sheet with a roll coater, but there was no problem due to this step.

【0063】比較例1 実施例1と同様にして固定具付きスタンパーを作成し、
充填材をカッターで削り取る際に深く削り取り、ロール
スタンパー周面の段差を測定したところ、120μmで
あった。この様にして作成したロールスタンパーを用い
て、厚さ1.2mmの光ディスク基板シートを実施例1
と同様にして成形したところ、この溝に樹脂が食い込ん
で基板シートがロール状スタンパーからはがれる際に引
っ張られて、歪がシートに発生する場合があった。
Comparative Example 1 A stamper with a fixture was prepared in the same manner as in Example 1,
When the filler was scraped off with a cutter, it was deeply scraped off, and the step on the peripheral surface of the roll stamper was measured, and it was 120 μm. Using the roll stamper thus produced, an optical disk substrate sheet having a thickness of 1.2 mm was prepared in Example 1.
When molded in the same manner as in (1), the resin bite into the groove and the substrate sheet was pulled when it was peeled from the roll stamper, which sometimes caused strain in the sheet.

【0064】比較例2 実施例2と同様にして固定具付きスタンパーを作成し、
ロール基材にねじで固定後、鉛板を同様に圧入したが、
表面は約110μmほど凸状になったまま基板シート成
形に用いた。その結果、バンクムラが発生し、基板シー
ト上に流れムラのような歪が発生した。また、このシー
トの充填材の充填部分で成形された基板シートの厚さは
他の部分より100μmほど薄かった。この基板シート
にロールコーターで記録層を塗布したが、凹部でシート
が振動するため厚さムラが生じた。
Comparative Example 2 A stamper with a fixture was prepared in the same manner as in Example 2,
After fixing to the roll base material with screws, the lead plate was pressed in the same way,
The surface was used for forming a substrate sheet while having a convex shape of about 110 μm. As a result, bank unevenness was generated and strain such as flow unevenness was generated on the substrate sheet. In addition, the thickness of the substrate sheet formed in the filler-filled portion of this sheet was about 100 μm thinner than the other portions. A recording layer was applied to this substrate sheet with a roll coater, but the sheet vibrated in the recesses, resulting in uneven thickness.

【0065】実施例4 実施例1に於て、固定具12−1,12−2の側面16
及び17に図2(c)に示す小さなボイドを設けると共
に充填材としてシリコーン樹脂の代りに、未硬化時の粘
度が2500cpsのエポキシ樹脂前駆体(商品名:エ
ピコート828,シェル社製)を、図8に示した様にロ
ールスタンパーの周面に密着する様な曲率に成形された
ガラス製被覆部材81で被覆した凹部に注入し、次いで
該ロールスタンパーを120℃に加熱してエポキシ樹脂
前駆体を重合させ、熱膨張率7.2×10-5/℃の充填
材として周面の段差が最大で100μm以下の平滑化さ
れたロールスタンパーを作製した。
Example 4 In Example 1, the side surface 16 of the fixtures 12-1 and 12-2 was used.
2 and 17 are provided with small voids as shown in FIG. 2C, and an epoxy resin precursor (trade name: Epicoat 828, manufactured by Shell Co.) having an uncured viscosity of 2500 cps is used as a filler instead of the silicone resin. As shown in FIG. 8, the roll stamper is poured into a concave portion covered with a glass covering member 81 formed into a curvature so as to be in close contact with the peripheral surface of the roll stamper, and then the roll stamper is heated to 120 ° C. to obtain an epoxy resin precursor. As a filler having a coefficient of thermal expansion of 7.2 × 10 −5 / ° C., polymerization was performed to prepare a smoothed roll stamper having a maximum step difference of 100 μm or less on the peripheral surface.

【0066】こうして得たロールスタンパーを用いて実
施例1と同様にして光ディスク基板シートの成形を行な
ったところ、プリフォーマットパターンの転写性は良好
であって基板シートの平坦性も良好であった。又成形中
に充填材がロールスタンパーから脱落することもなかっ
た。
When an optical disk substrate sheet was molded using the roll stamper thus obtained in the same manner as in Example 1, the transferability of the preformat pattern was good and the flatness of the substrate sheet was also good. In addition, the filler did not fall off the roll stamper during molding.

【0067】参考例1 実施例1に於て、固定具12−1,12−2の側面16
及び17を表面粗さ1μm以下に加工した以外は実施例
1と同様にしてロールスタンパーを作成し、該ロールス
タンパーを用いて実施例1と同様にして光ディスク用基
板シートの成形したところ、プリフォーマットパターン
の転写性は良好で又基板シートの平坦性も最大で80μ
m以下と良好であったが、成形中に充填材がロールスタ
ンパーから脱落して基板シートの平坦性が悪化した。
Reference Example 1 In Example 1, the side surface 16 of the fixtures 12-1 and 12-2 was used.
A roll stamper was prepared in the same manner as in Example 1 except that the surface roughnesses of Nos. 17 and 17 were processed to 1 μm or less, and a substrate sheet for an optical disk was formed in the same manner as in Example 1 using the roll stamper. Good pattern transferability, and maximum flatness of the substrate sheet is 80μ.
However, the filler fell off from the roll stamper during the molding, and the flatness of the substrate sheet deteriorated.

【0068】[0068]

【発明の効果】以上説明した様に、本発明のロールスタ
ンパーによれば、均一な厚さを有し、複屈折等の光学性
能に優れ、且つ光記録媒体の連続製造工程に適した情報
記録媒体用基板シートを製造することができる。
As described above, according to the roll stamper of the present invention, information recording having a uniform thickness, excellent optical performance such as birefringence, and suitable for a continuous manufacturing process of an optical recording medium is carried out. A substrate sheet for media can be manufactured.

【0069】又、本発明の情報記録媒体用基板の製造装
置によれば、均一な厚さを有し、光学性能に優れると共
に光記録媒体の連続製造工程に適した情報記録媒体用基
板シートを連続的に製造することができる。
According to the apparatus for manufacturing a substrate for an information recording medium of the present invention, a substrate sheet for an information recording medium having a uniform thickness, excellent optical performance and suitable for a continuous manufacturing process of an optical recording medium is provided. It can be manufactured continuously.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のロールスタンパーの一実施態様の概略
断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view of an embodiment of a roll stamper of the present invention.

【図2】本発明のロールスタンパーに用いられる固定具
の概略断面図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a fixture used in the roll stamper of the present invention.

【図3】本発明のロールスタンパーの他の実施態様の概
略断面図である。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of another embodiment of the roll stamper of the present invention.

【図4】図3のロールスタンパーの部分拡大平面図であ
る。
FIG. 4 is a partially enlarged plan view of the roll stamper of FIG.

【図5】本発明の情報記録媒体用基板シートの製造装置
の概略図である。
FIG. 5 is a schematic view of an apparatus for manufacturing a substrate sheet for information recording medium of the present invention.

【図6】従来のロールスタンパーの概略断面図である。FIG. 6 is a schematic sectional view of a conventional roll stamper.

【図7】従来の情報記録媒体用基板の成形装置の概略断
面図である。
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a conventional apparatus for molding a substrate for information recording medium.

【図8】本発明のロールスタンパーの製造方法の一実施
態様の説明図である。
FIG. 8 is an explanatory view of an embodiment of a method for manufacturing a roll stamper of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ロールスタンパー 11 フレキシブルスタンパー 12−1,12−2 固定具 13 ロール基材 14 係止溝 14a,14b 壁面 15 充填材 16,17 側面 18 ボイド 19−1,19−2 傾斜面 21−1,21−2 固定具 21−1a,21−2a テーパー面 22−1,22−2 くさび 23−1,23−2 ネジ 24 プリフォーマットパターン 25−1,25−2 孔部 26 固定部材 51,52 鏡面ロール 53 押出機 54 T−ダイ 55 熔融樹脂シート 56 情報記録媒体用基板シート 61−1,61−2,61−3 固定具 62 係止溝 63 壁 64 凹部 71 ロールスタンパー 72 鏡面ロール 73 加圧成形部 81 被覆部材 82 注入孔部 10 Roll Stamper 11 Flexible Stamper 12-1, 12-2 Fixing Tool 13 Roll Base Material 14 Locking Groove 14a, 14b Wall Surface 15 Filling Material 16, 17 Side Surface 18 Void 19-1, 19-2 Inclined Surface 21-1, 21 -2 Fixture 21-1a, 21-2a Tapered surface 22-1, 22-2 Wedge 23-1, 23-2 Screw 24 Preformat pattern 25-1, 25-2 Hole 26 Fixing member 51, 52 Mirror roll 53 Extruder 54 T-die 55 Molten Resin Sheet 56 Substrate Sheet for Information Recording Medium 61-1, 61-2, 61-3 Fixing Tool 62 Locking Groove 63 Wall 64 Recess 71 Roll Stamper 72 Mirror Surface Roll 73 Pressure Forming Section 81 Covering member 82 Injection hole

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 久範 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 佐藤 哲也 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Hisanori Hayashi 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Tetsuya Sato 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Within the corporation

Claims (17)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 情報記録媒体のプリフォーマットパター
ンに対応するパターンを表面に有するスタンパーがロー
ル基材周面に固定されてなるロールスタンパーに於て、
該ロールスタンパーの周面に対する凹部に充填材を充填
して、該ロールスタンパー周面を実質的に平滑化せしめ
てなることを特徴とする情報記録媒体用基板シートの成
形用ロールスタンパー。
1. A roll stamper comprising a stamper having a pattern corresponding to a preformatted pattern of an information recording medium on the surface of a roll base material, the stamper being fixed to the peripheral surface of the roll base material.
A roll stamper for forming a substrate sheet for an information recording medium, characterized in that a recess is formed on the peripheral surface of the roll stamper with a filler to substantially smooth the peripheral surface of the roll stamper.
【請求項2】 情報記録媒体のプリフォーマットに対応
するパターンを表面に有するスタンパーの両端部裏面に
該スタンパーと一体となる様に固定具が固着され、鏡面
ロール基材の周面には該固定具を各々嵌挿可能な複数の
係止溝が該鏡面ロールの軸方向と平行に形成されてなる
と共に、該固定具が該係止溝に各々嵌挿されてなり、該
スタンパーが該鏡面ロール基材の周面に沿う様に固定さ
れてなるロールスタンパーに於て、該固定具と該係止溝
の間隙を含む、該ロールスタンパーの周面に対する凹部
に充填材を充填して、該ロールスタンパー周面を実質的
に平滑化せしめてなることを特徴とする情報記録媒体用
基板シートの成形用ロールスタンパー。
2. A fixing tool is fixed to the back surface of both ends of a stamper having a pattern corresponding to the preformat of the information recording medium on the front surface so as to be integrated with the stamper, and the fixing tool is fixed to the peripheral surface of the mirror surface roll base material. A plurality of locking grooves into which the tools can be inserted are formed in parallel to the axial direction of the mirror surface roll, the fixing tools are respectively inserted into the locking grooves, and the stamper is formed into the mirror surface roll. In a roll stamper fixed along the peripheral surface of a base material, a filler is filled in a recessed portion with respect to the peripheral surface of the roll stamper including a gap between the fixture and the locking groove, A roll stamper for forming a substrate sheet for an information recording medium, characterized in that a peripheral surface of the stamper is substantially smoothed.
【請求項3】 該固定具の側面が充填材を保持可能な形
状に形成されてなる請求項2記載のロールスタンパー。
3. The roll stamper according to claim 2, wherein a side surface of the fixture is formed in a shape capable of holding a filler.
【請求項4】 該固定具の側面が表面粗さ10μm以上
に形成されている請求項2記載のロールスタンパー。
4. The roll stamper according to claim 2, wherein a side surface of the fixture has a surface roughness of 10 μm or more.
【請求項5】 該固定具の側面に充填材を保持可能な凹
部が形成されてなる請求項2記載のロールスタンパー。
5. The roll stamper according to claim 2, wherein a concave portion capable of holding a filler is formed on a side surface of the fixture.
【請求項6】 該充填材が、その熱膨張率がロール基材
をなす材料の熱膨張率よりも大きい材料で形成されてい
る請求項2記載のロールスタンパー。
6. The roll stamper according to claim 2, wherein the filler has a coefficient of thermal expansion higher than that of the material forming the roll base material.
【請求項7】 該充填材が、その熱膨張率が1×10-3
/℃以下である材料で形成されている請求項2記載のロ
ールスタンパー。
7. The filler has a coefficient of thermal expansion of 1 × 10 −3.
The roll stamper according to claim 2, which is formed of a material having a temperature of / ° C or less.
【請求項8】 該充填材が耐熱性樹脂である請求項2記
載のロールスタンパー。
8. The roll stamper according to claim 2, wherein the filler is a heat resistant resin.
【請求項9】 該充填材が低融点金属である請求項2記
載のロールスタンパー。
9. The roll stamper according to claim 2, wherein the filler is a low melting point metal.
【請求項10】 該充填材がシリコーン樹脂である請求
項8記載のロールスタンパー。
10. The roll stamper according to claim 8, wherein the filler is a silicone resin.
【請求項11】 該充填材がエポキシ樹脂である請求項
8記載のロールスタンパー。
11. The roll stamper according to claim 8, wherein the filler is an epoxy resin.
【請求項12】 該充填材が未硬化の状態で粘度100
〜100,000cpsのシリコーン樹脂の硬化物であ
る請求項10記載のロールスタンパー。
12. The viscosity of the filler in the uncured state is 100.
The roll stamper according to claim 10, which is a cured product of a silicone resin of 100,000 cps.
【請求項13】 該充填材が未硬化の状態で1,000
〜10,000cpsの粘度を有するシリコーン樹脂の
硬化物である請求項12記載のロールスタンパー。
13. The filler in the uncured state is 1,000.
The roll stamper according to claim 12, which is a cured product of a silicone resin having a viscosity of about 10,000 cps.
【請求項14】 該充填材が未硬化の状態で100〜1
00,000cpsの粘度を有するエポキシ樹脂前駆体
の硬化物である請求項11記載のロールスタンパー。
14. 100 to 1 in the uncured state of the filler.
The roll stamper according to claim 11, which is a cured product of an epoxy resin precursor having a viscosity of 0,000 cps.
【請求項15】 該充填材が未硬化の状態で1,000
〜10,000cpsの粘度を有するエポキシ樹脂前駆
体の硬化物である請求項14記載のロールスタンパー。
15. The filler in the uncured state is 1,000.
The roll stamper according to claim 14, which is a cured product of an epoxy resin precursor having a viscosity of ˜10,000 cps.
【請求項16】 樹脂を熔融して押し出し樹脂シートを
成形する手段、プリフォーマットパターンに対応するパ
ターンを表面に有するロールスタンパー及び該ロールス
タンパーに対向配置されてなる鏡面ロールを有する情報
記録媒体用基板を連続的に製造する装置に於て、該ロー
ルスタンパーとして、該ロールスタンパーの周面に対す
る凹部が充填材で充填され、該ロールスタンパーの周面
が実質的に平滑化されてなるロールスタンパーを用いる
ことを特徴とする情報記録媒体用基板シートの製造装
置。
16. A substrate for an information recording medium having means for melting a resin to form an extruded resin sheet, a roll stamper having a pattern corresponding to a preformat pattern on its surface, and a mirror surface roll arranged to face the roll stamper. In a device for continuously manufacturing a roll stamper, a roll stamper in which a recessed portion with respect to a peripheral surface of the roll stamper is filled with a filler and the peripheral surface of the roll stamper is substantially smoothed is used. An apparatus for manufacturing a substrate sheet for an information recording medium, which is characterized in that:
【請求項17】 情報記録媒体のプリフォーマットに対
応するパターンを表面に有するスタンパーがロール基材
周面に固定されてなると共に該ロールスタンパーの周面
に対する凹部に充填材が充填されて、周面が実質的に平
滑化されてなるロールスタンパーの製造方法であって、
該周面に密着する様な曲率に成形されてなる、注入孔部
を有する被覆部材で該凹部を被覆した後、該凹部に充填
材を注入せしめることを特徴とするロールスタンパーの
製造方法。
17. A stamper having a pattern corresponding to a preformat of an information recording medium on a surface thereof is fixed to a peripheral surface of a roll base material, and a concave portion with respect to the peripheral surface of the roll stamper is filled with a filler to form a peripheral surface. A method for manufacturing a roll stamper in which is substantially smoothed,
A method for manufacturing a roll stamper, comprising: covering the concave portion with a covering member having an injection hole portion formed to have a curvature so as to be in close contact with the peripheral surface, and then injecting a filler into the concave portion.
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