[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP2502483B2 - Optical head device - Google Patents

Optical head device

Info

Publication number
JP2502483B2
JP2502483B2 JP7038424A JP3842495A JP2502483B2 JP 2502483 B2 JP2502483 B2 JP 2502483B2 JP 7038424 A JP7038424 A JP 7038424A JP 3842495 A JP3842495 A JP 3842495A JP 2502483 B2 JP2502483 B2 JP 2502483B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
diffraction grating
recording surface
information recording
photodetector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP7038424A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH07262601A (en
Inventor
哲郎 桑山
尚郷 谷口
清伸 遠藤
宏明 星
保夫 中村
大 大沢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Canon Electronics Inc
Original Assignee
Canon Inc
Canon Electronics Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc, Canon Electronics Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP7038424A priority Critical patent/JP2502483B2/en
Publication of JPH07262601A publication Critical patent/JPH07262601A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2502483B2 publication Critical patent/JP2502483B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Head (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、情報担体の情報記録面
に光を照射し、情報の検出又は記録を行なう光ヘッド装
置に関し、特に小型・軽量で量産に適した光ヘッド装置
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical head device for irradiating an information recording surface of an information carrier with light to detect or record information, and more particularly to an optical head device which is compact and lightweight and suitable for mass production. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光ヘッド装置は例えば図22に示
すように構成されていた。ここで、レーザ光源1から射
出した発散光束は、コリメータレンズ2に入射して平行
光束となり、偏光ビームスプリッタ3に入射する。ここ
で偏光ビームスプリッタ3は、特定の方向に振動面を有
する直線偏光をほぼ100%透過し、これに直交する方
向に振動面を有している。この偏光ビームスプリッタ3
を透過した直線偏光はλ/4板4を通過して円偏光とな
り、対物レンズ5によって情報担体の基板6上に設けら
れた情報記録面7に集光され、スポット径1μm前後の
スポットを形成する。また、この情報記録面7によって
反射された光束は、対物レンズ5を通って平行光束とな
り、λ/4板4を通過して入射時とは振動面の方向が直
交する直線偏光となり、偏光ビームスプリッタ3に再び
入射する。ここで、偏光ビームスプリッタ3は、前述の
様な特性により光分割器として働き、情報記録面7から
の反射光を反射して入射光と分離せしめ、センサーレン
ズ8及びシリンドリカルレンズ9を介して収束光束とし
て光検出器10に導く。
2. Description of the Related Art Conventionally, an optical head device has been constructed, for example, as shown in FIG. Here, the divergent light beam emitted from the laser light source 1 enters the collimator lens 2 to become a parallel light beam, and enters the polarization beam splitter 3. Here, the polarization beam splitter 3 transmits almost 100% of linearly polarized light having a vibration surface in a specific direction, and has a vibration surface in a direction orthogonal to this. This polarization beam splitter 3
Transmitted through the λ / 4 plate 4 to become circularly polarized light, and is condensed by the objective lens 5 on the information recording surface 7 provided on the information carrier substrate 6 to form a spot having a spot diameter of about 1 μm. I do. The light beam reflected by the information recording surface 7 passes through the objective lens 5 to become a parallel light beam, passes through the λ / 4 plate 4, becomes linearly polarized light whose direction of the vibrating surface is orthogonal to that at the time of incidence, and becomes a polarized light beam. The light enters the splitter 3 again. Here, the polarizing beam splitter 3 functions as a light splitter due to the above-described characteristics, reflects the light reflected from the information recording surface 7 and separates it from the incident light, and converges via the sensor lens 8 and the cylindrical lens 9. The light is guided to the photodetector 10 as a light beam.

【0003】この様な光ヘッド装置を用いて情報を記録
する場合には、情報信号に従ってレーザ光源1を駆動
し、情報記録面7への入射光を変調せしめる事によって
行なう。また情報を検出する場合には、無変調の光を凹
凸のピット或いは反射率の変化等によって情報が記録さ
れた情報記録面7に照射し、この記録情報によって変調
を受けた反射光を光検出器10で検出し、情報を再生す
る。
When recording information using such an optical head device, the laser light source 1 is driven in accordance with an information signal to modulate the light incident on the information recording surface 7. When detecting information, unmodulated light is applied to the information recording surface 7 on which information is recorded by uneven pits or changes in reflectance, and reflected light modulated by the recorded information is subjected to light detection. The information is detected by the detector 10 and the information is reproduced.

【0004】また、光ヘッド装置においては、情報記録
面に高密度に情報を記録し、高密度に記録された情報を
検出する為に、光源からの光を常に情報記録面に合焦さ
せるオートフォーカシングが行なわれている。図22の
装置は公知の非点収差法を用いた例を示す。シリンドリ
カルレンズ9は、反射光に非点収差を生じさせる。又、
光検出器10はその受光面が4つに分割されていて、情
報記録面9が対物レンズ5の合焦位置にあるとき、即ち
光スポットが情報記録面7上で1μm程度の所定の大き
さに絞り込まれているときには、光検出器10上で円形
の光量分布を生じる様に配置されている。この結果情報
記録面7が対物レンズ5の焦点位置から前後に移動する
と、光検出器10上の光量分布は夫々長軸方向が直交し
た長円形に変化する。従って光検出器10の各々の受光
面の出力を比較して前記光量分布の変化を検出する事に
より、フォーカスエラー信号が得られ、このフォーカス
エラー信号に従って不図示のアクチュエータで対物レン
ズ5を光軸方向に移動せしめることによってオートフォ
ーカシングが行なわれる。
In an optical head device, information is recorded at a high density on an information recording surface, and in order to detect the information recorded at a high density, an automatic light source for constantly focusing light from a light source on the information recording surface. Focusing is taking place. The apparatus of FIG. 22 shows an example using a known astigmatism method. The cylindrical lens 9 causes astigmatism in the reflected light. or,
The light detector 10 has its light receiving surface divided into four parts, and when the information recording surface 9 is at the in-focus position of the objective lens 5, that is, when the light spot has a predetermined size of about 1 μm on the information recording surface 7. Are arranged so as to produce a circular light amount distribution on the photodetector 10 when the aperture is narrowed down to As a result, when the information recording surface 7 moves back and forth from the focal position of the objective lens 5, the light amount distribution on the photodetector 10 changes into an oval shape whose major axis directions are orthogonal to each other. Therefore, a focus error signal is obtained by comparing the output of each light receiving surface of the photodetector 10 and detecting a change in the light amount distribution. Auto-focusing is performed by moving in the direction.

【0005】しかしながら、上述のような従来の光ヘッ
ド装置においてはセンサーレンズ等が必要であり、装置
の小型化,低価格化の障害となっていた。また、光検出
器によって良好な信号を得る為には、前記センサーレン
ズ等の光学素子を検出光の光軸に対して正確な位置及び
角度に置かねばならず、組立調整を繁雑にしていた。
However, the above-described conventional optical head device requires a sensor lens and the like, which has been an obstacle to miniaturization and cost reduction of the device. Also, in order to obtain a good signal by the photodetector, the optical element such as the sensor lens must be placed at an accurate position and angle with respect to the optical axis of the detection light, which complicates assembly adjustment.

【0006】また、上記センサーレンズ等が不要な光ヘ
ッド装置が特開昭59−8145号に提案されている。
この装置は前述のようなプリズムタイプのビームスプリ
ッタの接合面を曲面とし、凹面鏡として集光作用を持た
せたものである。しかし、この装置においては、ビーム
スプリッタを作製する際に、凸面或いは凹面を有するプ
リズムを個々に研磨して組み立てねばならず、量産に適
していない欠点があった。更に、ビームスプリッタの接
合面には偏光依存性の反射膜を設けるが、接合面を球面
或いは円筒面とした場合には、この反射膜への光の入射
角が場所によって異なり、偏光特性が変化してしまう。
従って、このような構成では厳密な偏光依存性は望めな
い。
An optical head device that does not require the sensor lens and the like is proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 59-8145.
In this device, the junction surface of the prism type beam splitter as described above is a curved surface, and a concave mirror has a condensing function. However, this device has a drawback that it is not suitable for mass production because the prisms having the convex surface or the concave surface must be individually polished and assembled when the beam splitter is manufactured. Furthermore, a polarization-dependent reflective film is provided on the joint surface of the beam splitter. If the joint surface is a spherical surface or a cylindrical surface, the angle of incidence of light on this reflective film differs depending on the location, and the polarization characteristics change. Resulting in.
Therefore, strict polarization dependence cannot be expected in such a configuration.

【0007】一方、特開昭56−57013号には、光
源と対物レンズとの間の光路中に回折格子を設け、この
回折格子で情報担体から反射された光を入射光と分離し
て光検出器に導く光ヘッド装置が提案されている。この
回折格子はレンズ作用を有し、光検出器に向かう光束に
非点収差を発生させ、所謂非点収差法を用いて光検出器
でフォーカシングエラーを検出する。
On the other hand, JP-A-56-57013 discloses a method in which a diffraction grating is provided in an optical path between a light source and an objective lens, and the light reflected from the information carrier by the diffraction grating is separated from the incident light. An optical head device leading to a detector has been proposed. This diffraction grating has a lens function, generates astigmatism in a light beam going to the photodetector, and detects a focusing error with the photodetector using a so-called astigmatism method.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
回折を用いた光ヘッド装置を更に改良し、小型化,薄型
化を達成しようとするものである。また、光を効率よく
利用しようとするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to further improve the optical head device using the above-mentioned diffraction to achieve miniaturization and thinning. Moreover, it is intended to use light efficiently.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、光
源から発した光束を情報記録面に照射するとともに、前
記光源より前記情報記録面に至る光路中に配設された光
分割器により前記情報記録面からの反射光束を光検出器
に導き、情報の検出又は記録を行なう光ヘッド装置にお
いて、前記光分割器は、平行平板と回折格子とから構成
され、前記光源から発した光束を前記回折格子に対して
P偏光となるように設定し、前記回折格子と前記情報記
録面との間の光路中にλ/4板を設けることにより、前
記情報記録面からの反射光束はS偏光となって前記回折
格子に入射し、このS偏光は前記回折格子によって回折
されて回折光となり前記平行平板中を導波し、前記光検
出器に入射する、事によって達成される。
SUMMARY OF THE INVENTION The above object of the present invention is to irradiate an information recording surface with a light beam emitted from a light source and to provide an optical splitter disposed in an optical path from the light source to the information recording surface. In the optical head device that guides the reflected light flux from the information recording surface to the photodetector to detect or record information, the light splitter is composed of a parallel plate and a diffraction grating, By setting the diffraction grating to be P-polarized and providing a λ / 4 plate in the optical path between the diffraction grating and the information recording surface, the reflected light beam from the information recording surface is S-polarized. Is incident on the diffraction grating, and the S-polarized light is diffracted by the diffraction grating to become diffracted light which is guided through the parallel plate and enters the photodetector.

【0010】[0010]

【実施例】図1は、回折格子を用いた本発明の光ヘッド
装置の実施例を示す概略構成図である。半導体レーザ1
1から出射した光は、コリメータレンズ12により平行
光束となり、光分割器13に入射する。この光分割器1
3は、2枚の平行平板14,16と、その間に挟持され
た回折格子15とから構成されている。この回折格子
は、その回折効率がS偏光に対してはほぼ100%、P
偏光に対してはほぼ0%となるように形成されている。
また、半導体レーザ11からの光は光分割器13に対し
てP偏光となるように設定されている。従って、この入
射光はほとんど回折されずに透過しλ/4板17に向か
う。λ/4板17を通過した光は、円偏光となり、対物
レンズ18によって情報担体の基板19を介して情報記
録面20に径1μm前後のスポットに集光される。情報
記録面20で反射された光束は、対物レンズ18を通っ
て平行光束となり、再び、λ/4板17を透過して入射
時とは直交する方向に振動するS偏光となって光分割器
13に入射する。この反射光21は光分割器13中の回
折格子15によって回折されて回折光22となり平行平
板中を全反射を繰り返しながら導波し、光検出器23に
入射する。このように、回折格子15の偏光特性を利用
して、光の利用効率を高めることができる。ここで、情
報を記録する場合には、情報信号に従って半導体レーザ
11を駆動し、情報記録面20への入射光を変調せしめ
る事によって行なう。また情報を検出する場合には、無
変調の光を情報記録面20に照射し、そこに記録された
情報に従って変調を受けた反射光を光検出器23で検出
し、情報を再生する。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of an optical head device of the present invention using a diffraction grating. Semiconductor laser 1
The light emitted from 1 is converted into a parallel light beam by the collimator lens 12 and enters the light splitter 13. This light splitter 1
Reference numeral 3 is composed of two parallel flat plates 14 and 16 and a diffraction grating 15 sandwiched therebetween. This diffraction grating has a diffraction efficiency of almost 100% for S-polarized light,
It is formed to be almost 0% for polarized light.
The light from the semiconductor laser 11 is set to be P-polarized light with respect to the light splitter 13. Therefore, this incident light is transmitted almost without being diffracted and goes to the λ / 4 plate 17. The light passing through the λ / 4 plate 17 becomes circularly polarized light, and is condensed by the objective lens 18 onto the information recording surface 20 via the information carrier substrate 19 to a spot having a diameter of about 1 μm. The light beam reflected by the information recording surface 20 passes through the objective lens 18 to become a parallel light beam, and again passes through the λ / 4 plate 17 to become S-polarized light which vibrates in a direction orthogonal to the time of incidence and becomes a light splitter. It is incident on 13. The reflected light 21 is diffracted by the diffraction grating 15 in the light splitter 13 to become a diffracted light 22, propagates through the parallel plate while repeating total reflection, and enters the photodetector 23. In this way, by utilizing the polarization characteristics of the diffraction grating 15, it is possible to improve the light utilization efficiency. Here, information is recorded by driving the semiconductor laser 11 in accordance with the information signal and modulating the light incident on the information recording surface 20. When detecting information, the information recording surface 20 is irradiated with unmodulated light, and the photodetector 23 detects the reflected light that has been modulated according to the information recorded therein to reproduce the information.

【0011】図1の光分割器13を半導体レーザ側から
見た図を図2に示す。本実施例の回折格子は図2の紙面
内にパワーを持つレンズ作用を有しており、回折光22
は集光されて光検出器23に導かれる。
FIG. 2 shows the light splitter 13 of FIG. 1 as viewed from the semiconductor laser side. The diffraction grating of this embodiment has a lens function having power in the plane of FIG.
Are condensed and guided to the photodetector 23.

【0012】本発明において、レンズ作用とは、回折格
子に入射する光の波面形状を変化させて回折し、回折光
を発散或いは収束せしめる事を指し、回折格子にセンサ
ーレンズ、シリンドリカルレンズなどの働きを合わせ持
たせるものである。光検出器23は、図の様に、その受
光面が4つに分割されている。また、この受光面におけ
る光量分布は、前述の情報記録面上のスポットの合焦状
態に応じて変化する。例えば、対物レンズ18の焦点位
置が記録面20に一致しているときには、反射光21は
平行光となり、回折光22は図2の実線のようになっ
て、光検出器23に22bに示す形状で入射する。ま
た、対物レンズ18が記録面に近ずきすぎた或いは遠ざ
かりすぎた場合には、反射光21は発散光或いは集束光
となり、回折光22は図2において夫々一点鎖線或いは
破線のようになって、光検出器23上で夫々22c或い
は22aに示す形状となる。このような光束形状の変化
を利用してフォーカスエラー信号を検出する原理を以下
に詳しく説明する。
In the present invention, the lens action refers to changing the wavefront shape of light incident on the diffraction grating and diffracting the light to diverge or converge the diffracted light, and the function of the diffraction grating such as a sensor lens or a cylindrical lens. Are to be held together. The light detector 23 has a light receiving surface divided into four as shown in the figure. Further, the light amount distribution on the light receiving surface changes according to the focused state of the spot on the information recording surface. For example, when the focal position of the objective lens 18 coincides with the recording surface 20, the reflected light 21 becomes parallel light, and the diffracted light 22 becomes a solid line in FIG. Incident. Further, when the objective lens 18 is too close to or far from the recording surface, the reflected light 21 becomes divergent light or focused light, and the diffracted light 22 becomes like a dashed line or a broken line in FIG. 2, respectively. , 22c or 22a on the photodetector 23, respectively. The principle of detecting a focus error signal using such a change in the light beam shape will be described in detail below.

【0013】図3、図4及び図5は4分割光検出器23
を光の入射側から見た図で図4は合焦状態、図3及び図
5は焦点外れ状態を示す。ここで、23a,23b,2
3c,23dは夫々分割された受光面を示し、入射光束
の形状は上述のように、22a,22b,22cと変化
する。受光面23a,23b,23c,23dからの出
力を夫々Ia,Ib,Ic,Idとすると、図6に示す
ような電気系で (Ib+Ic)−(Ia+Id) なる演算を行なう事によって、差動増幅器24の出力端
子25には、図7に示す様なフォーカスエラー信号が得
られる。図7において横軸は合焦位置を零としたときの
対物レンズと記録面との距離(フォーカス誤差)を示
し、縦軸は信号出力を示す。得られたフォーカスエラー
信号に従い、不図示のアクチュエータを介して対物レン
ズ18或いは光ヘッド全体を入射光の光軸に沿ってディ
スクに対して動かすことにより、オートフォーカスが可
能となる。
FIGS. 3, 4 and 5 show a quadrant photodetector 23.
FIG. 4 shows the in-focus state, and FIGS. 3 and 5 show the out-of-focus state. Here, 23a, 23b, 2
Reference numerals 3c and 23d denote divided light receiving surfaces, respectively, and the shape of the incident light beam changes to 22a, 22b, and 22c as described above. When the outputs from the light-receiving surfaces 23a, 23b, 23c, and 23d are Ia, Ib, Ic, and Id, respectively, a differential amplifier is obtained by performing an operation of (Ib + Ic)-(Ia + Id) in the electrical system shown in FIG. A focus error signal as shown in FIG. 7 is obtained at the output terminal 25 of 24. In FIG. 7, the horizontal axis indicates the distance (focus error) between the objective lens and the recording surface when the focus position is set to zero, and the vertical axis indicates the signal output. According to the obtained focus error signal, the objective lens 18 or the entire optical head is moved with respect to the disk along the optical axis of the incident light through an actuator (not shown), whereby autofocusing becomes possible.

【0014】次に、図1の実施例におけるオートトラッ
キングの原理を説明する。図8、図9及び図10のよう
に情報担体の基板19に溝19aが形成されているとす
ると、対物レンズ18により、入射光束はこの溝19a
の近傍に集光される。ここで図9は、目的の溝の上にス
ポットが生じている状態、図8及び図10は夫々溝に対
してスポットが右または左に生じている状態を示す。こ
の基板19上の記録面20で反射される光束は溝19a
での回折或いは散乱によるトラッキング情報を含む。図
1の光検出器23で、前記反射光を受けると、受光面2
3a,23b,23c,23dで受ける光量は、前述の
図8、図9及び図10の状態に応じて、夫々図11、図
12及び図13のように変化する。従って図14に示す
ように電気系で、 (Ia+Ib)−(Ic+Id) なる演算を行なう事によって、差動増幅器26の出力端
子27には、図15に示す様なトラッキングエラー信号
が得られる。図15において、横軸はトラッキング誤
差、縦軸は信号出力を示す。得られたトラッキングエラ
ー信号に従い、不図示のトラッキングアクチュエータを
駆動し、対物レンズを光軸に垂直に移動させる等の方法
で、オートトラッキングが可能となる。尚、ここで基板
19に予め案内トラックとしての溝が形成されている場
合を説明したが、記録面20に記録された情報を検出す
る場合には、このような溝がなくても、記録された信号
列(記録トラック)とスポットとの位置関係に応じて、
光検出器23上の光量分布にアンバランスが生じる。従
って、このような場合でも、図14のように光検出器2
3の各受光面の出力を演算することにより、同様にトラ
ッキング信号が得られる。
Next, the principle of auto tracking in the embodiment of FIG. 1 will be described. Assuming that a groove 19a is formed in the substrate 19 of the information carrier as shown in FIGS. 8, 9 and 10, the incident light beam is
Is collected in the vicinity of. Here, FIG. 9 shows a state in which a spot is formed on a target groove, and FIGS. 8 and 10 show a state in which a spot is formed on the right or left side of the groove, respectively. The luminous flux reflected by the recording surface 20 on the substrate 19 is formed by a groove 19a.
Includes tracking information due to diffraction or scattering at When the reflected light is received by the photodetector 23 in FIG.
The amounts of light received by 3a, 23b, 23c, and 23d change as shown in FIGS. 11, 12, and 13, respectively, according to the states of FIGS. 8, 9, and 10 described above. Therefore, by performing the operation of (Ia + Ib)-(Ic + Id) in the electric system as shown in FIG. 14, a tracking error signal as shown in FIG. 15 is obtained at the output terminal 27 of the differential amplifier 26. In FIG. 15, the horizontal axis represents tracking error and the vertical axis represents signal output. According to the obtained tracking error signal, a tracking actuator (not shown) is driven, and the objective lens is moved vertically to the optical axis. Although the case where the groove as the guide track is formed in advance on the substrate 19 has been described here, when the information recorded on the recording surface 20 is detected, the information is recorded even if such a groove is not provided. Depending on the positional relationship between the signal sequence (recording track) and the spot,
An imbalance occurs in the light amount distribution on the photodetector 23. Therefore, even in such a case, as shown in FIG.
A tracking signal is similarly obtained by calculating the output of each light receiving surface of No. 3.

【0015】上記の実施例でもわかるように、本発明に
おいては、光分割器自体がレンズ作用を有している為、
センサーレンズ等が不要で、光ヘッド装置を小型に構成
できる。また、光学調整は光分割器と光検出器の間のみ
で行なえば良い為、非常に簡単になる。
As can be seen from the above-mentioned embodiments, in the present invention, since the light splitter itself has a lens function,
The optical head device can be configured in a small size without using a sensor lens or the like. In addition, since the optical adjustment only needs to be performed between the light splitter and the photodetector, it is very simple.

【0016】図16及び図17は、本発明に用いる回折
格子の構造を模式的にあらわしたものである。図16は
体積型回折格子を用いた光分割器31の部分断面図であ
る。回折格子33は、平行平板から成る基板32及び3
4の間に挟まれ、屈折率の低い層35と屈折率の高い層
36とから構成されている。情報記録面からの入射光3
7は、この回折格子33により回折されて回折光38と
なる。回折格子33が入射光37に対してブラッグ条件
を大略満足している場合には、回折光38は特定の回折
方向に大半のエネルギーが集中する。また、入射光37
と回折光38のなす角が直角に近いときには、この回折
効率は光束の偏光状態の影響を大きく受け、P偏光には
100%の透過率を有し、S偏光には100%近い回折
効率を有する。
16 and 17 schematically show the structure of the diffraction grating used in the present invention. FIG. 16 is a partial sectional view of a light splitter 31 using a volume diffraction grating. The diffraction grating 33 is composed of substrates 32 and 3 made of parallel plates.
It is sandwiched between 4 and is composed of a layer 35 having a low refractive index and a layer 36 having a high refractive index. Incident light from information recording surface 3
7 is diffracted by the diffraction grating 33 to become a diffracted light 38. When the diffraction grating 33 substantially satisfies the Bragg condition with respect to the incident light 37, most of the energy of the diffracted light 38 is concentrated in a specific diffraction direction. In addition, the incident light 37
When the angle formed by and the diffracted light 38 is close to a right angle, the diffraction efficiency is greatly affected by the polarization state of the light beam, and the P-polarized light has a transmittance of 100% and the S-polarized light has a diffraction efficiency close to 100%. Have.

【0017】図16のような回折格子33は、重クロム
酸ゼラチン等の体積型ホログラム感材を用いて作製され
る。例えば、基板上に前述の感材を一様な厚さに形成
し、これに、同一レーザからの光束を分割した後、所定
の角度で重ね合せる事によって生ずる干渉縞を露光し、
更に現像処理する事によって回折格子が形成される。
The diffraction grating 33 as shown in FIG. 16 is manufactured using a volume hologram photosensitive material such as dichromated gelatin. For example, the above-mentioned light-sensitive material is formed on a substrate to have a uniform thickness, a light beam from the same laser is split, and then an interference fringe generated by overlapping at a predetermined angle is exposed,
Further development processing forms a diffraction grating.

【0018】図17は、本発明に用いられる光分割器4
1の他の構成例を示す部分断面図である。平行平板4
2,43に挟持された回折格子44は、適当な反射特
性、例えば偏光ビームスプリッタ特性を有する反射膜6
0を、凹凸を挟んだ形状をしている。従って、P偏光と
して入射する直線偏光56に対しては、この回折格子4
4は何の作用もせずに、単なる平行平板としてふるま
い、またS偏光として入射する直線偏光57に対しては
反射鏡として働き、回折光58を生ずる。
FIG. 17 shows an optical splitter 4 used in the present invention.
It is a fragmentary sectional view showing other examples of composition of 1. Parallel plate 4
The diffraction grating 44 sandwiched between the reflection films 6 and 43 has an appropriate reflection characteristic, for example, a reflection film 6 having a polarization beam splitter characteristic.
0 has a shape sandwiching unevenness. Therefore, for linearly polarized light 56 incident as P-polarized light, the diffraction grating 4
4 acts as a mere parallel plate without any function, and acts as a reflecting mirror for linearly polarized light 57 incident as S-polarized light to generate diffracted light 58.

【0019】図17のような回折格子44は、フォトレ
ジスト等のレリーフ型の感光材料に適当な光学系を介し
て格子パターンを露光し、現像する事によって作製でき
る。また他に機械的に金型を加工し、インジェクショ
ン、コンプレッション、薄層コピー等の方法で基板とな
る層に転写する方法や、基板を直接切削する方法等によ
っても作製可能である。
The diffraction grating 44 as shown in FIG. 17 can be manufactured by exposing a relief type photosensitive material such as a photoresist to a grating pattern through an appropriate optical system and developing the same. In addition, it can also be manufactured by mechanically processing a mold and transferring it to a layer serving as a substrate by injection, compression, thin layer copying, or the like, or by directly cutting the substrate.

【0020】本発明に用いる回折格子は光を発散或いは
収束させながら回折するものであるが、このようなレン
ズ作用を有する回折格子は、一般にホログラムレンズ等
で良く知られているように簡単に得る事が出来る。例え
ば、図18のように回折格子の各々の傾斜面を所定の軸
を中心とした円錐形に形成する事により、格子の配列方
向を含む面内においてパワーを有する回折格子が得られ
る。また、格子のピッチを徐々に変化させて形成する
と、回折角が場所によって異なり、入射光と回折光を含
む面内においてパワーを有する回折格子が得られる。当
然、これらを組み合せて、2次元的なレンズ作用を持た
せても良い。
Although the diffraction grating used in the present invention diffracts while diverging or converging light, a diffraction grating having such a lens function can be easily obtained as generally known in hologram lenses and the like. I can do things. For example, as shown in FIG. 18, by forming each inclined surface of the diffraction grating into a conical shape centered on a predetermined axis, it is possible to obtain a diffraction grating having power in the plane including the array direction of the grating. When the grating is formed by gradually changing the pitch, the diffraction angle varies depending on the location, and a diffraction grating having power in a plane including incident light and diffracted light can be obtained. Naturally, these may be combined to give a two-dimensional lens effect.

【0021】図19は、図18のような回折格子を光学
的な手段を用いて作製する方法を説明する図である。図
19において、同一のレーザ光源から発し、不図示の光
学系によって分割された平行光束61と62は、夫々回
転軸65を共有する円錐ミラー63,64に回転軸65
に平行に入射する。各々の円錐ミラーで反射された2つ
の光束は、回転軸65上に焦線を有する円錐波面とな
り、基板66上のホログラム感材67に入射する。この
ときに、感材面上の領域68に生ずる干渉縞は、三次元
的に円転軸65を回転中心とした円錐形となる。従っ
て、このように露光された干渉縞を現像処理することに
より、図18に示したような集束作用を持つ解析格子が
形成される。
FIG. 19 is a view for explaining a method of manufacturing a diffraction grating as shown in FIG. 18 by using optical means. In FIG. 19, parallel light fluxes 61 and 62 emitted from the same laser light source and divided by an optical system (not shown) are provided on conical mirrors 63 and 64 sharing a rotation axis 65, respectively.
Incident parallel to. The two light beams reflected by each of the conical mirrors become a conical wavefront having a focal line on the rotation axis 65 and enter the hologram sensitive material 67 on the substrate 66. At this time, the interference fringes generated in the region 68 on the photosensitive material surface are three-dimensionally conical with the rotation axis 65 as the center of rotation. Therefore, by developing the exposed interference fringes in this manner, an analysis grating having a focusing action as shown in FIG. 18 is formed.

【0022】本発明に用いる光分割器は、大きな基板上
に複数個まとめて加工し、これを切り出す事によって簡
単に作製する事が出来る。また、前述のように母型から
の転写によって作製する場合には、特に量産に適し、作
製コストも低減できる。また、本発明のような回折格子
は様々に設定される回折光の集束或いは発散作用を、作
製上の困難さを生ずる事なく実現できるので、安価に非
球面レンズと同様の作用を得ることも出来る。更に、本
発明の光分割器は、入射光が回折格子の傾斜面に場所よ
らず一定の角度で入射する為、プリズムの接合面に曲率
を持たせた従来例のように、光線の入射位置によって偏
光特性が異なるという事もない。
The optical splitter used in the present invention can be easily manufactured by collectively processing a plurality of substrates on a large substrate and cutting them out. Also, as described above, in the case of manufacturing by transfer from a matrix, it is particularly suitable for mass production and the manufacturing cost can be reduced. Further, since the diffraction grating according to the present invention can realize variously set focusing or diverging actions of diffracted light without causing difficulty in manufacturing, it is possible to obtain the same action as an aspherical lens at low cost. I can. Further, in the light splitter of the present invention, since the incident light is incident on the inclined surface of the diffraction grating at a constant angle regardless of the location, the incident position of the light beam is different from that of the conventional example in which the joint surface of the prism has a curvature. There is no difference in polarization characteristics depending on the type.

【0023】次に、本発明の光ヘッド装置の他の実施例
を説明する。本発明では、ここまで説明した実施例に対
し、光源からコリメータレンズに向かう発散光束の光路
中に回折格子を配置し、且つ、回折格子を情報記録面か
らの反射光に対し凹レンズの働きを示すものとしている
点に特徴を有する。この特徴によって、本発明は、高感
度にフォーカスエラーまたはトラッキングエラーが検出
できるものである。
Next, another embodiment of the optical head device of the present invention will be described. In the present invention, a diffraction grating is arranged in the optical path of a divergent light beam directed from a light source to a collimator lens, and the diffraction grating functions as a concave lens for reflected light from an information recording surface with respect to the embodiments described above. It is characterized by the fact that it is assumed. With this feature, the present invention can detect a focus error or a tracking error with high sensitivity.

【0024】図20は、本発明の実施例を示す概略構成
図である。半導体レーザ71からのP偏光光束は、光分
割器72をそのまま透過し、コリメータレンズ76によ
って平行光束となる。光分割器72は、平行平板73及
び75とその間に挾持された回折格子74から成り、こ
の回折格子74は、第1実施例と同様にS偏光に対しほ
ぼ100%の回折効率を示し、P偏光に対してはほぼ0
%の回折効率を示す。コリメータレンズ76からの光束
はλ/4板77で円偏光となり、対物レンズ78によっ
て情報担体の基板79を介して情報記録面80に集光さ
れる。情報記録面80で反射された光束は、入射光路を
逆進し、λ/4板77を通過してS偏光となり、光分割
器72の回折格子74で回折されて光検出器81に導か
れる。本実施例においても、情報の記録、再生は先の実
施例と同様にして成される。
FIG. 20 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of the present invention. The P-polarized light beam from the semiconductor laser 71 passes through the light splitter 72 as it is, and becomes a parallel light beam by the collimator lens 76. The light splitter 72 comprises parallel plates 73 and 75 and a diffraction grating 74 sandwiched between them. This diffraction grating 74 exhibits almost 100% diffraction efficiency with respect to S-polarized light as in the first embodiment. Nearly zero for polarized light
% Diffraction efficiency is shown. The light beam from the collimator lens 76 is circularly polarized by the λ / 4 plate 77, and is condensed on the information recording surface 80 via the information carrier substrate 79 by the objective lens 78. The light beam reflected by the information recording surface 80 travels backward in the incident optical path, passes through the λ / 4 plate 77, becomes S-polarized light, is diffracted by the diffraction grating 74 of the light splitter 72, and is guided to the photodetector 81. . Also in this embodiment, recording and reproduction of information are performed in the same manner as in the previous embodiment.

【0025】ここで、回折格子74は反射光束に対し強
い凹レンズの働きを示し、コリメータレンズ76の焦点
距離をのばして、回折光を光検出器81に導いている。
本実施例は、この構成によって、光検出器81上に情報
記録面上のスポットを拡大した形で投影し、記録担体の
フォーカスずれ或いはトラッキングずれに対して光検出
器81上の光量分布が大きく変化する様にしている。即
ち、コリメータレンズ76と回折格子74のレンズ作用
とで、凸凹レンズを組み合せた所謂テレタイプのセンサ
ーレンズ系を形成し、全長をコンパクトに形成した上
で、高感度なフォーカスエラー検出或いはトラッキング
エラー検出を可能にしている。本実施例において、フォ
ーカスエラー検出には、公知のどのような方法を用いる
ことも出来るが、例えば従来技術として説明した非点収
差法を用いる場合には、光検出器81に4分割光検出器
を用い、回折格子74に前述の凹レンズに加えて、シリ
ンドリカルレンズの働きも合わせて持たせる事により、
構成を簡略化できる。
Here, the diffraction grating 74 exhibits the function of a concave lens which is strong against the reflected light flux, and extends the focal length of the collimator lens 76 to guide the diffracted light to the photodetector 81.
According to the present embodiment, with this configuration, the spot on the information recording surface is projected on the photodetector 81 in an enlarged form, and the light quantity distribution on the photodetector 81 is large with respect to the focus shift or tracking shift of the record carrier. I am trying to change. That is, a so-called tele-type sensor lens system combining concave and convex lenses is formed by the collimator lens 76 and the lens action of the diffraction grating 74, and the entire length is made compact. Then, a highly sensitive focus error detection or tracking error detection is performed. Is possible. In the present embodiment, any known method can be used for focus error detection. For example, when the astigmatism method described as the related art is used, the four-divided photodetector By making the diffraction grating 74 also have the function of a cylindrical lens in addition to the concave lens described above,
The configuration can be simplified.

【0026】図21は、上記実施例に用いられる回折格
子を作製する光学系の一例を説明する図である。アルゴ
ンレーザ等のレーザ光源82から出射した光束は、ミラ
ー83で反射された後、ビームスプリッタ84により2
分割される。ビームスプリッタ84により反射された光
束は、ミラー95で反射された後、顕微鏡対物レンズ9
6によって光束幅を広げられ、結像レンズ97によって
集束光となった後、傾けて置かれた平行平板98により
必要な球面収差、コマ収差を有する光束99となり、基
板100上のホログラム感材101に入射する。一方、
ビームスプリッタ84を透過した光束は、ミラー85で
反射された後、顕微鏡対物レンズ86、結像レンズ87
により収束光束となり、シリンドリカルレンズ88によ
って非点収差を与えられる。この光束89はホログラム
感材101に入射し、前述の光束99と干渉して、この
感材に干渉縞を露光する。この感材を現像することによ
って第2実施例のような回折格子が得られる。上記の様
に光束89及び99には、最適な収差が与えられている
為、得られた回折格子は、使用状態において全面に亙り
ブラッグ条件を満足したものとなり、所望の特性を示
す。
FIG. 21 is a diagram for explaining an example of an optical system for producing the diffraction grating used in the above embodiment. A light beam emitted from a laser light source 82 such as an argon laser is reflected by a mirror 83, and then reflected by a beam splitter 84.
Will be divided. The light beam reflected by the beam splitter 84 is reflected by a mirror 95 and then reflected by a microscope objective lens 9.
6, the light beam width is widened by the imaging lens 97, and the light beam is focused by the imaging lens 97. Then, the light beam 99 having the necessary spherical aberration and coma aberration is formed by the inclined parallel plate 98. Incident on. on the other hand,
The light beam transmitted through the beam splitter 84 is reflected by a mirror 85, and thereafter, is passed through a microscope objective lens 86 and an imaging lens 87.
, A convergent light flux, and astigmatism is given by the cylindrical lens 88. The light beam 89 is incident on the hologram photosensitive material 101 and interferes with the above-described light beam 99 to expose the photosensitive material to interference fringes. By developing this photosensitive material, a diffraction grating as in the second embodiment can be obtained. As described above, since the light beams 89 and 99 are provided with the optimal aberration, the obtained diffraction grating satisfies the Bragg condition over the entire surface in the use state and exhibits desired characteristics.

【0027】本発明は、前述の実施例に限らず種々の変
形が考えられる。例えば実施例では光分割器からの光束
を直接光検出器に導く構成としたが、回折格子のレンズ
作用と、光分割器の端面或いは外部に設けられたレンズ
との組み合せによって光検出器に光束を導くようにして
も良い。また、本発明は光磁気記録を読み取る場合にも
用いることが出来る。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are conceivable. For example, in the embodiment, the light beam from the light splitter is directly guided to the photodetector. However, the light beam is applied to the photodetector by the combination of the lens function of the diffraction grating and the lens provided at the end face or outside of the light splitter. May be led. The present invention can also be used for reading magneto-optical recording.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は従来の光
ヘッド装置において、光分割器を平行平板と回折格子と
から構成し、更に、光源から発した光束を前記回折格子
に対してP偏光となるように設定し、前記回折格子と情
報記録面との間の光路中にλ/4板を設けることによ
り、前記情報記録面からの反射光束はS偏光となって前
記回折格子に入射し、このS偏光は前記回折格子によっ
て回折されて回折光となり前記平行平板中を導波し、光
検出器に入射するようにしたので、 1)光ヘッド装置全体を小型,薄型に構成することが出
来る 2)光の利用効率を十分に向上させる等の効果を有する
ものである。
As described above, according to the present invention, in the conventional optical head device, the light splitter is composed of the parallel plate and the diffraction grating, and the light beam emitted from the light source is directed to the diffraction grating. It is set to be polarized light, and by providing a λ / 4 plate in the optical path between the diffraction grating and the information recording surface, the reflected light flux from the information recording surface becomes S-polarized light and enters the diffraction grating. The S-polarized light is diffracted by the diffraction grating to become diffracted light, which is guided through the parallel plate and is incident on the photodetector. 2) It has the effect of sufficiently improving the light utilization efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1の光分割器を半導体レーザ側から見た図で
ある。
FIG. 2 is a view of the light splitter of FIG. 1 as viewed from a semiconductor laser side.

【図3】フォーカス誤差による光検出器上の光量分布の
変化を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a change in a light amount distribution on a photodetector due to a focus error.

【図4】フォーカス誤差による光検出器上の光量分布の
変化を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a change in a light amount distribution on a photodetector due to a focus error.

【図5】フォーカス誤差による光検出器上の光量分布の
変化を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a change in a light amount distribution on a photodetector due to a focus error.

【図6】フォーカス誤差検知の電気系を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an electric system for focus error detection.

【図7】フォーカスエラー信号を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a focus error signal.

【図8】記録面における光スポットの位置変動を示す図
である。
FIG. 8 is a diagram showing a position variation of a light spot on a recording surface.

【図9】記録面における光スポットの位置変動を示す図
である。
FIG. 9 is a diagram showing a position variation of a light spot on a recording surface.

【図10】記録面における光スポットの位置変動を示す
図である。
FIG. 10 is a diagram showing a position variation of a light spot on a recording surface.

【図11】光スポットの位置変動による光検出器上の光
量変化を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing a change in light amount on a photodetector due to a position change of a light spot.

【図12】光スポットの位置変動による光検出器上の光
量変化を示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing changes in the amount of light on the photodetector due to changes in the position of the light spot.

【図13】光スポットの位置変動による光検出器上の光
量変化を示す図である。
FIG. 13 is a diagram showing a change in light amount on a photodetector due to a position change of a light spot.

【図14】トラッキング誤差検知の電気系を示す図であ
る。
FIG. 14 is a diagram showing an electric system for tracking error detection.

【図15】トラッキングエラー信号を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing a tracking error signal.

【図16】本発明に用いられる回折格子の構成例を示す
略断面図である。
FIG. 16 is a schematic sectional view showing a configuration example of a diffraction grating used in the present invention.

【図17】本発明に用いられる回折格子の構成例を示す
略断面図である。
FIG. 17 is a schematic cross-sectional view showing a configuration example of a diffraction grating used in the present invention.

【図18】回折格子の傾斜面の様子を示す斜視図であ
る。
FIG. 18 is a perspective view showing a state of an inclined surface of a diffraction grating.

【図19】回折格子の作製方法の一例を説明する図であ
る。
FIG. 19 illustrates an example of a method for manufacturing a diffraction grating.

【図20】本発明の光ヘッド装置の一実施例を示す概略
図である。
FIG. 20 is a schematic view showing an embodiment of the optical head device of the present invention.

【図21】図20の実施例に用いられる回折格子の作製
方法を説明する概略図である。
FIG. 21 is a schematic diagram illustrating a method for manufacturing a diffraction grating used in the example of FIG.

【図22】従来の光ヘッド装置の構成を示す概略図であ
る。
FIG. 22 is a schematic diagram showing a configuration of a conventional optical head device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 半導体レーザ 13 光分割器 14 平行平板 15 回折格子 16 平行平板 12 コリメータレンズ 17 λ/4板 18 対物レンズ 19 基板 20 情報記録面 23 光検出器 11 semiconductor laser 13 optical splitter 14 parallel plate 15 diffraction grating 16 parallel plate 12 collimator lens 17 λ / 4 plate 18 objective lens 19 substrate 20 information recording surface 23 photodetector

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 遠藤 清伸 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 星 宏明 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 中村 保夫 埼玉県秩父市大字下影森1248番地キヤノ ン電子株式会社内 (72)発明者 大沢 大 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤ ノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭53−100808(JP,A) 特開 昭56−57013(JP,A) 特開 昭57−155508(JP,A) 特開 昭58−72104(JP,A) 特開 昭58−130448(JP,A) 特開 昭58−220249(JP,A) 特開 昭59−58637(JP,A) 特開 昭59−231736(JP,A) 特開 昭59−33636(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Kiyonobu Endo 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Hiroaki Hoshi 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon (72) Inventor Yasuo Nakamura 1248 Shimokagemori, Chichibu, Saitama Prefecture Canon Electronics Inc. (72) Inventor Dai Osawa 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (56 ) Reference JP 53-100808 (JP, A) JP 56-57013 (JP, A) JP 57-155508 (JP, A) JP 58-72104 (JP, A) JP 58-130448 (JP, A) JP 58-220249 (JP, A) JP 59-58637 (JP, A) JP 59-231736 (JP, A) JP 59-33636 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光源から発した光束を情報記録面に照射
するとともに、前記光源より前記情報記録面に至る光路
中に配設された光分割器により前記情報記録面からの反
射光束を光検出器に導き、情報の検出又は記録を行なう
光ヘッド装置において、 前記光分割器は、平行平板と回折格子とから構成され、 前記光源から発した光束を前記回折格子に対してP偏光
となるように設定し、前記回折格子と前記情報記録面と
の間の光路中にλ/4板を設けることにより、前記情報
記録面からの反射光束はS偏光となって前記回折格子に
入射し、このS偏光は前記回折格子によって回折されて
回折光となり前記平行平板中を導波し、前記光検出器に
入射する事を特徴とする光ヘッド装置。
1. A light beam emitted from a light source is applied to an information recording surface, and a light beam reflected from the information recording surface is detected by an optical splitter arranged in an optical path from the light source to the information recording surface. In the optical head device for detecting or recording information by using a parallel plate and a diffraction grating, the light beam emitted from the light source is P-polarized with respect to the diffraction grating. And by providing a λ / 4 plate in the optical path between the diffraction grating and the information recording surface, the reflected light flux from the information recording surface becomes S-polarized light and enters the diffraction grating. An optical head device characterized in that S-polarized light is diffracted by the diffraction grating to become diffracted light, which is guided in the parallel plate and enters the photodetector.
JP7038424A 1995-02-27 1995-02-27 Optical head device Expired - Lifetime JP2502483B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7038424A JP2502483B2 (en) 1995-02-27 1995-02-27 Optical head device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7038424A JP2502483B2 (en) 1995-02-27 1995-02-27 Optical head device

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4312090A Division JP2660140B2 (en) 1992-11-20 1992-11-20 Optical head device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07262601A JPH07262601A (en) 1995-10-13
JP2502483B2 true JP2502483B2 (en) 1996-05-29

Family

ID=12524935

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7038424A Expired - Lifetime JP2502483B2 (en) 1995-02-27 1995-02-27 Optical head device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2502483B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07262601A (en) 1995-10-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4733065A (en) Optical head device with diffraction grating for separating a light beam incident on an optical recording medium from a light beam reflected therefrom
JPH0795372B2 (en) Optical head device
JP2726029B2 (en) Method and apparatus for forming double focus
JP2660140B2 (en) Optical head device
JPS6117103A (en) Polarizing beam splitter
JP2877044B2 (en) Optical head device
JP2502483B2 (en) Optical head device
JP2502482B2 (en) Optical head device
JP2502484B2 (en) Optical head device
JP2667962B2 (en) Optical head device
JP3471960B2 (en) Pickup device
JP2618957B2 (en) Polarizing optical element
JP3220347B2 (en) Optical pickup device
JP3607836B2 (en) Optical pickup device
JP2505984B2 (en) Optical head device
JPS6117232A (en) Optical head device
JP2660140C (en)
JP2667962C (en)
JP4161439B2 (en) Optical head
JP2531939B2 (en) Optical head device
JP2531938B2 (en) Optical head device
JPH0721866B2 (en) Optical head device
JP2537338B2 (en) Optical head device
JP2857258B2 (en) Optical pickup device
JP2542153B2 (en) Optical head device

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term