JP2592877Y2 - 流体圧シリンダの位置検出装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は流体圧シリンダ等の流体
作動機器におけるピストン等の移動部材の位置を検出す
る流体圧シリンダの位置検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】流体圧シリンダ内に往復動自在に装着さ
れて流体により作動するピストンの位置を検出するため
に、流体圧シリンダのシリンダ本体に形成された装着溝
にセンサを取り付けるようにした位置検出装置が用いら
れている。

【０００３】従来の位置検出装置としては、実開平2-87
104 号公報に示されるようなものがあり、図６（Ａ）は
この位置検出装置を示し、図６（Ｂ）はこの位置検出装
置を流体圧シリンダのシリンダ本体に装着した状態を示
す。

【０００４】図示するように、センサケース１は横断面
が四辺形となっており、樹脂により成形され内部に図示
しない磁気検出素子が組み込まれている。このセンサケ
ース１をシリンダ本体２に装着するために、シリンダ２
には幅寸法Ｄとなった断面四辺形の装着溝３が形成され
ており、この装着溝３はリブ４の間に幅寸法ｄとなって
形成されたスリット５を介して外部に開口されている。

【０００５】センサケース１は幅寸法ｄよりも小さい幅
に形成され、装着溝３の中に収容されるようになってい
る。このセンサケース１の先端部にはここに上部片１ａ
と下部片１ｂとを設けることによりクランプ板収容孔６
が形成されており、この収容孔６の中に切り欠き７部を
通してクランプ板８が挿入されるようになっている。

【０００６】このクランプ板８には、先端が下部片１ｂ
に当接するねじ部材９がねじ結合されており、クランプ
板８の先端部をリブ４に締結することによりセンサケー
ス１が装着溝３内で固定されるようになっている。

【０００７】ところで、近年では半導体の製造工程を始
めとする種々の自動生産装置にあっては、小型化された
流体圧シリンダを使用することが要望されているが、図
６に示すような従来の位置検出装置を設けた流体圧シリ
ンダでは、小型化に限度があった。なぜならば、シリン
ダ本体を小型化すると、センサケース１自体も小型化せ
ざるを得ない、たとえば幅および上下寸法が３〜４mm程
度となったセンサケース１の先端に上部片１ａと下部片
１ｂとを形成することが困難となるか、形成できたとし
ても強度が十分とならないという問題点が発生した。

【０００８】しかも、装着溝３の底面の両側部分は、デ
ッドスペースとなってしまい、シリンダ本体の角部に装
着溝３を形成するタイプでは、その部分とシリンダ内の
中空孔との干渉を避けるためにシリンダを小型化するこ
とが困難となる。

【０００９】図６に示された位置検出装置の改良を示す
と図７の通りであり、この図に示す位置検出装置は実開
平3-46005 号公報に記載されている。なお、図７におい
ては、図６に示された部材と共通する部材には同一の符
号が付されている。

【００１０】この位置検出装置にあっては、センサケー
ス１の端部に幅方向の収容孔６ａを形成し、この中に収
容孔６ａの断面形状と同様の断面形状のクランプ板８を
貫通させるようにしており、このクランプ板８にねじ結
合されるねじ部材９の先端を装着溝３の底面に当接させ
るようにしている。

【００１１】この場合には、図６の場合と相違してねじ
部材９によりセンサケース１の下部片１ａには締め付け
による応力が作用しない構造となっているので、クラン
プ板８とセンサケース１とにガタが存在すると、センサ
ケース１を止め付けた状態でもセンサケース１がガタ付
くことになる。また、この場合には、このガタを防止す
るために、ねじ部材９としてタッピングねじを用いて上
部片１ａを締結することが困難である。なぜならば、こ
の場合には、図６に示す場合と同様に、センサケース１
の先端部に上部片１ａと下部片１ｂとを設けているの
で、上部片１ａの厚みが薄くなり、ねじ部材９を締め付
ける際にいわゆるタッピングねじを用いて上部片１ａに
ねじ孔を形成すると、上部片１ａに亀裂が発生する恐れ
があるからである。

【００１２】図８は実開平3-69703 号公報に示された位
置検出装置を示す図であり、この場合には、樹脂製のセ
ンサケース１自体に装着溝３のリブ４に当接する突起部
１ｃを形成し、センサケース１の内部にナット８ａを埋
め込むようにしている。この位置検出装置にあっては、
ねじ部材９をナット８ａにねじ結合して締結した場合に
は、締結力はセンサケース１自体を介してリブ４に伝達
されることになるので、強い締結力を加えると、センサ
ケース１の突起部１ｃが折損する恐れがある。

【００１３】そして、前述したそれぞれの従来技術にあ
っては、センサケース１を装着溝３内の中心位置に正確
に位置決めすることが容易ではなかった。なぜならば、
装着溝３内にセンサケース１を挿入し易くするために、
センサケース１の幅寸法を装着溝３の幅寸法よりも小さ
く設定しなければならないので、センサケース１を装着
溝３内に挿入したときには、センサケース１と装着溝３
との間にはガタが発生しており、ねじ部材９を用いてセ
ンサケース１を締結する際に、所定の位置にセンサケー
ス１を位置決めすることが容易でない。

【００１４】このため、装着溝３内の中心位置にセンサ
ケース１を締結する作業には慎重を要することになり、
センサケースの装着作業の作業性が良好とならなかっ
た。

【００１５】実開平3-93607 号公報には、センサケース
１の断面形状を円形とした位置検出装置が示されてい
る。この位置検出装置を示すと図９の通りである。

【００１６】図示するように、流体圧シリンダ１には断
面が円形となった装着溝３を形成し、センサケース１の
断面形状を装着溝３の断面形状よりもやや小径の円形断
面としている。センサケース１を締結するために、セン
サケース１には形成されたねじ孔１ｄにねじ部材９を結
合するようにしている。

【００１７】この場合には、センサケース１を装着溝３
内に挿入する際に、図９において矢印で示す方向のセン
サケース１の姿勢を所定の姿勢に設定することが困難で
あり、センサケース１内に組み込まれたセンサ素子の姿
勢をシリンダ本体内のピストンに対して所望の状態に設
定することが困難となるという問題点があった。

【００１８】

【考案が解決しようとする課題】本考案の目的は、セン
サケースを装着溝内に挿入した後にねじ部材を用いてセ
ンサケースを締結すると、センサケース自体が装着溝内
の所定の位置に位置決めされるようにした中心出しの機
能を有する位置検出装置を提供することにある。

【００１９】また、本考案の他の目的は、小型の流体圧
シリンダに適用し得る位置検出装置を提供することにあ
る。

【００２０】本考案のさらに他の目的は、小型の流体圧
シリンダに対応させてセンサケースを小型にしても、こ
れを装着溝内に締結するためのねじ部材としてタッピン
グねじを用いてセンサケース自体にねじ孔を形成しつつ
ねじ部材を取り付けることができる位置検出装置を提供
することにある。

【００２１】本考案の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本考案の流体圧シリンダ
の位置検出装置は、流体圧シリンダのシリンダ本体に長
手方向に沿って延びる装着溝を形成し、内部にセンサ素
子が組み込まれたセンサケースを前記装着溝内に装着す
るようにした流体圧シリンダの位置検出装置において、
前記装着溝の幅方向に突出して相互間に前記装着溝を外
部に連通させるスリットを形成するリブを前記シリンダ
本体に設け、半円形の底面と、当該底面から前記シリン
ダ本体の外面に向けて真っ直ぐに延びる両側面と、これ
らの両側面に連なって前記スリットに向けて上向きに傾
斜して前記リブに形成された両傾斜面とにより前記装着
溝を形成し、前記センサケースの横断面の形状を前記装
着溝に対応した形状に形成し、前記センサケースの先端
部の半円形側の部分に切り欠き部を形成して前記リブの
傾斜面に対応した傾斜面を有する締結部を前記センサケ
ースの先端部に設け、前記切り欠き部に配置される固定
部材にねじ結合するとともに前記底面に当接するねじ部
材を前記締結部を貫通して取り付け、前記固定部材と前
記リブの傾斜面との間で前記センサケースの締結部を締
め付けることにより前記センサケースが前記装着溝の中
心に位置決めされて固定されるようにしたことを特徴と
する。また、本発明の流体圧シリンダの位置検出装置
は、流体圧シリンダのシリンダ本体に長手方向に沿って
延びる装着溝を形成し、内部にセンサ素子が組み込まれ
たセンサケースを前記装着溝内に装着するようにした流
体圧シリンダの位置検出装置において、前記装着溝の幅
方向に突出して相互間に前記装着溝を外部に連通させる
スリットを形成するリブを前記シリンダ本体に設け、半
円形の凹形状の底面と、当該底面から前記シリンダ本体
の外面に向けて真っ直ぐに延びる両側面と、これらの両
側面に連なって前記スリットに向けて上向きに傾斜して
前記リブに形成された両傾斜面とにより前記装着溝を形
成し、前記センサケースの横断面の形状を前記装着溝に
対応した形状に形成し、前記凹形状の底面に当接するね
じ部材を前記センサケースに取り付け、前記ねじ部材を
締結することにより前記センサケースが前記装着溝の中
心に位置決めされて固定されるようにしたことを特徴と
する。

【００２３】

【００２４】

【作用】ねじ部材をねじ止めすると、装着溝の傾斜面に
センサケースの傾斜面が圧接することになり、センサケ
ースはこの傾斜面の作用により装着溝の中心に向けて位
置決めがなされる。したがって、センサケースを装着溝
に取り付ける作業にあっては、ねじ部材によりセンサケ
ースを止め付ける作業を行うのみで、センサケースを所
定の姿勢ないし位置となるように固定させることがで
き、シリンダ本体内のピストンに設けられた磁石とセン
サケース内に組み込まれたセンサ素子との距離ないし位
置関係を所望の状態に設定することができる。

【００２５】装着溝の底面が凹形状の半円形となってい
るので、シリンダ本体の角部に装着溝を形成した場合に
装着溝自体をシリンダ本体内の中空孔に接近させること
ができ、シリンダ本体を小型化することができる。そし
て、小型化しつつ、センサケースの厚みを大きくするこ
とができるので、センサ素子を収容するための内部容積
を十分に確保することができる。

【００２６】ねじ部材は切り欠き部に配置された固定部
材と締結部とにねじ結合することになるので、ねじ結合
する雌ねじの長さを十分に確保することができ、樹脂製
のセンサケースにねじ部材を取り付けるようにしても、
センサケースが破損することがなく、タッピングねじを
用いることが可能となる。

【００２７】

【実施例】以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。 （実施例１） 図１（Ａ）および図１（Ｂ）は本考案の一実施例に係る
流体圧シリンダの位置検出装置を示す正面図および側面
図であり、図２はセンサケースの先端部を示す斜視図で
あり、図３（Ａ）は図２の正面図であり、図３（Ｂ）は
一部切り欠き側面図である。

【００２８】流体圧シリンダ１０は、図１に示すよう
に、全体的にほぼ直方体となったシリンダ本体１１を有
しており、このシリンダ本体１１は、たとえば押し出し
成形等によって形成されている。この成形時に、シリン
ダ本体１１にはセンサケースを取り付けるための装着溝
１２が形成される。図示する場合には３つの装着溝１２
が形成されており、それぞれの装着溝１２はシリンダ本
体１１の長手方向に沿って延びている。

【００２９】シリンダ本体１１内には、図示しないピス
トンを軸方向に往復動自在に収容する中空孔が形成され
ており、このピストンを先端に有するピストンロッド１
３がシリンダ本体１１の一端部から突出している。

【００３０】センサケース１４は装着溝１２の断面形状
にほぼ対応し僅かに小さい寸法の横断面形状を有する棒
状となっており、その先端部が図２および図３に示され
ている。このセンサケース１４内には、中央部分にリー
ドスイッチ等の有接点式のセンサ素子ないしＩＣスイッ
チ等の無接点式のセンサ素子が組み込まれており、ピス
トンロッド１３の先端の図示しないピストンに取り付け
られた磁石の磁力によりオンオフ信号を発するようにな
っている。この信号は図１（Ｂ）に示すケーブル１５に
より図示しない制御部に送られる。

【００３１】図示するシリンダ本体１１には３つの装着
溝１２が形成されており、そのうちの２つにセンサケー
ス１４が装着されている。それぞれの装着溝１２を拡大
して示すと、図３（Ａ）の通りである。

【００３２】図示するように、装着溝１２の外部側に位
置させてシリンダ本体１１には２つのリブ１６が形成さ
れており、これらのリブ１６は相互に幅方向に突出して
相互間にスリット１７が形成されている。そして、この
スリット１７を介して装着溝１２は外部に連通される。
装着溝１２の幅をＤとし、スリット１７の幅をｄとする
と、幅ｄは幅Ｄよりも小さく設定されている。

【００３３】装着溝１２は、半円形の底面１８と、この
底面１８の端部からシリンダ本体１１の外面に向けて真
っ直ぐに延びる左右の両側面１９と、それぞれのリブ１
６に形成された傾斜面２０とにより形成されている。そ
して、２つの傾斜面２０はスリット１７に向けて上向き
に傾斜するとともに相互に対向し合っている。

【００３４】センサケース１４は装着溝１２の断面形状
に対応した断面形状となっている。つまり、半円形状の
底面２１と真っ直ぐな左右両側面２２とリブ１６の傾斜
面２０に対応して傾斜した傾斜面２３とを有し、上面に
はスリット１７に対応した突起部２４が形成されてい
る。

【００３５】このセンサケース１４の先端部には、図３
（Ｂ）に示すように、半円形の底部側の部分に切り欠き
部２５を形成することにより、傾斜面２３側に締結部２
６が設けられている。

【００３６】この締結部２６にはねじ部材２７がねじ結
合しており、さらにこのねじ部材２７には固定部材２８
がねじ結合している。この固定部材２８はセンサケース
１４の両側面２２相互間の幅寸法と同一かそれよりも小
さく設定され、しかもセンサケース１４の先端面から突
出しない寸法に設定されている。さらに、固定部材２８
には、ねじ部材２７とのねじ結合部分を長くするため
に、下部に小径突起部２９が設けられている。

【００３７】ねじ部材２７の上端部には、図３（Ｂ）に
示すように、ドライバー等の工具３０を係合させるスリ
割り３１が形成されている。図示する場合には、ねじ部
材２７は外径が２mmのセルフタッピングねじを用いてお
り、汎用性を考慮して2.５mm用のマイナスドライバーで
も使用できるように、内径が2.８mm程度のざぐり穴３２
がセンサケース１４に形成されている。

【００３８】上述した構造のセンサケース１４をシリン
ダ本体１１の装着溝１２に取り付けるには、装着溝１２
内にセンサケース１４を滑り込ませる。このときには、
センサケース１４の横断面の形状が装着溝１２の横断面
よりも僅かに小さい寸法に設定されているので、容易に
滑り込ませることができる。

【００３９】その後、ドライバー等の工具３０を用いて
ねじ部材２７を回転させると、ねじ部材２７の先端が装
着溝１２の底面に当接し、センサケース１４の傾斜面つ
まり押圧面２３がリブ１６の傾斜面２０に圧接する。こ
のとき、リブ１６の両傾斜面２０とセンサケース１４の
傾斜面２３との圧接により、センサケース１４にはその
幅方向中心部に向かう位置決め力が加えられることにな
り、自動的にセンサケース１４は所定の姿勢となって装
着溝１２に取り付けられる。したがって、センサケース
１４を取り付けた状態におけるセンサ素子と磁石との距
離を設定値通りに一定とすることができ、位置調整作業
が不要となる。

【００４０】装着溝１２の底面は半円形となっているの
で、装着溝１２の断面形状をほぼ四辺形とした場合に比
して装着溝のデットスペースがなくなることになる。し
かも、シリンダ本体１１を押し出し成形するための金型
に角部がなくなることから、その金型の寿命が長くな
る。そして、センサケース１４には半円形の底面１８か
ら真っ直ぐに延びる両側面１９を形成したことから、セ
ンサケース１４の断面積をシリンダ本体１１を小型化し
つつ大きくすることができ、センサケース１４内のセン
サ素子のためのスペースを十分に確保することができ
る。

【００４１】（実施例２） 図４（Ａ）は本考案の他の実施例に係るシリンダ本体１
１の断面図であり、図４（Ｂ）は同図（Ａ）に示された
何れかの装着溝１２に取り付けられたセンサケース１４
を示す断面図である。

【００４２】この場合には、前述した実施例にあっては
装着溝１２の中心を中空孔の径方向中心線と一致させて
装着溝１２を形成したのに対して、装着溝１２の中心を
中空孔の径方向中心線からずらし、装着溝１２をシリン
ダ本体１１の角部側に寄せて配置している。図４におい
て符号３３はシリンダ本体１１内に形成された中空孔を
示し、符号Ｅは凹形状の底面１８と、ねじ部材２７の幅
方向先端との接触部を示す。

【００４３】図４に示す位置検出装置にあっては、装着
溝１２の半円形の底面１８と中空孔３３との間を所定の
肉厚とすることができ、二点鎖線で示すように、装着溝
１２を四辺形とした場合に比して、装着溝１２を中空孔
３３に近づけることが可能となるので、シリンダ本体１
１を小型化することが可能となる。装着溝１２とセンサ
ケース１４の形状は前記実施例と同様である。

【００４４】（実施例３） 図５（Ａ),（Ｂ）はそれぞれ本考案のさらに他の実施例
に係る流体圧シリンダの位置検出装置を示す図である。
この場合には、シリンダ本体１１に形成された装着溝１
２の形状は前述した実施例と同様となっているが、セン
サケース１４の先端部には前記実施例における切り欠き
部２５は形成されていない。したがって、ねじ部材２７
はセンサケース１４にこれを径方向に貫通してねじ結合
されるとともに、このねじ部材２７の先端は装着溝１２
の底面１８に当接するようになっている。

【００４５】この場合には、ねじ部材２７がねじ結合す
る雌ねじの長さをセンサケース１４に十分に確保するこ
とができ、ねじ部材２７を締め付ける際に、センサケー
ス１４の破損ないし折損が防止される。しかも、前記実
施例と同様に自動的にセンサケース１４の姿勢を調整す
るという中心位置決めの機能が得られる。

【００４６】

【００４７】

【００４８】

【００４９】

【００５０】以上、本考案者によってなされた考案を実
施例に基づき具体的に説明したが、本考案は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００５１】

【考案の効果】本願において開示される考案のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００５２】(1).センサケースを収容する装着溝はリブ
により形成される傾斜面を有しているので、センサケー
スをねじ部材により締結すると、傾斜面の作用によりセ
ンサケースは自動的に装着溝の中心位置に位置決め固定
され、センサケースの装着作業を容易に行うことができ
る。

【００５３】(2).センサケースはその深さ方向に厚みを
持たせることができるので、センサ素子を収容するため
の容積を十分に確保することができる。

【００５４】(3).装着溝の底面は半円形となっており、
これに対応させてセンサケースの底面も半円形となって
いるので、装着溝のデットスペースを無くすことがで
き、装着溝をシリンダ本体内の中空孔内に接近させるこ
とができる。

【００５５】(4).装着溝を中空孔内に接近させることが
できるので、装着溝を含めたシリンダ本体の形状を小型
化することができる。

【００５６】(5).センサケースを装着溝内に固定するた
めのねじ部材は、センサケースに形成された長いねじ孔
にねじ結合されるので、センサケース全体の厚みを大き
くすることなく、ねじ結合部の強度を高めることがで
き、ねじ孔部の折損や破損が防止される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係る流体圧シリンダの位置
検出装置を示す正面図（Ａ）および側面図（Ｂ）であ
る。

【図２】図１に示されたセンサケースの先端部を示す斜
視図である。

【図３】図１（Ａ）の要部を示す拡大断面図（Ａ）およ
び図（Ａ）における３Ｂ−３Ｂ線に沿う断面図（Ｂ）で
ある。

【図４】本考案の他の実施例に係る流体圧シリンダの位
置検出装置を示す断面図（Ａ）およびその要部を示す断
面図（Ｂ）である。

【図５】本考案のさらに他の実施例に係る流体圧シリン
ダの位置検出装置を示す拡大断面図（Ａ）および同図に
示されたセンサケースの側面図（Ｂ）である。

【図６】従来の位置検出装置を示す斜視図（Ａ）および
同図における６Ｂ−６Ｂ線に沿う断面図（Ｂ）である。

【図７】他の従来の位置検出装置を示す断面図（Ａ）お
よび同図における７Ｂ−７Ｂ線に沿う断面図（Ｂ）であ
る。

【図８】流体圧シリンダの位置検出装置のさらに他の従
来例を示す断面図である。

【図９】流体圧シリンダの位置検出装置のさらに他の従
来例を示す断面図である。

【符号の説明】

１ センサケース １ａ 上部片 １ｂ 下部片 １ｃ 突起部 ２ シリンダ本体 ３ 装着溝 ４ リブ ５ スリット ６ クランプ板収容孔 ６ａ 収容孔 ７ 切り欠き部 ８ クランプ板 ８ａ ナット ９ ねじ部材 １０ 流体圧シリンダ １１ シリンダ本体 １２ 装着溝 １３ ピストンロッド １４ センサケース １５ ケーブル １６ リブ １７ スリット １８ 底面 １９ 側面 ２０ 傾斜面 ２１ 底面 ２２ 側面 ２３ 傾斜面 ２３ａ 傾斜面 ２４ 突起部 ２５ 切り欠き部 ２６ 締結部 ２７ ねじ部材 ２８ 固定部材 ２８ａ 固定部材 ２９ 突起部 ３０ 工具 ３１ スリ割り ３２ ざぐり穴 ３３ 中空孔 ３４ 凹部

フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭61−59905（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−28401（ＪＰ，Ｕ) 実開 平５−23378（ＪＰ，Ｕ) 実開 平５−50113（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−93607（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−46005（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−69703（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−87104（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−63803（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−110205（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) F15B 15/28 F16J 10/02

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体圧シリンダのシリンダ本体に長手方
   向に沿って延びる装着溝を形成し、内部にセンサ素子が
   組み込まれたセンサケースを前記装着溝内に装着するよ
   うにした流体圧シリンダの位置検出装置において、 前記装着溝の幅方向に突出して相互間に前記装着溝を外
   部に連通させるスリットを形成するリブを前記シリンダ
   本体に設け、 半円形の底面と、当該底面から前記シリンダ本体の外面
   に向けて真っ直ぐに延びる両側面と、これらの両側面に
   連なって前記スリットに向けて上向きに傾斜して前記リ
   ブに形成された両傾斜面とにより前記装着溝を形成し、 前記センサケースの横断面の形状を前記装着溝に対応し
   た形状に形成し、前記センサケースの 先端部の半円形側の部分に切り欠き
   部を形成して前記リブの傾斜面に対応した傾斜面を有す
   る締結部を前記センサケースの先端部に設け、 前記切り欠き部に配置される固定部材にねじ結合すると
   ともに前記底面に当接するねじ部材を前記締結部を貫通
   して取り付け、 前記固定部材と前記リブの傾斜面との間で前記センサケ
   ースの締結部を締め付けることにより前記センサケース
   が前記装着溝の中心に位置決めされて固定されるように
   したことを特徴とする流体圧シリンダの位置検出装置。
2. 【請求項２】 流体圧シリンダのシリンダ本体に長手方
   向に沿って延びる装着溝を形成し、内部にセンサ素子が
   組み込まれたセンサケースを前記装着溝内に装着するよ
   うにした流体圧シリンダの位置検出装置において、 前記装着溝の幅方向に突出して相互間に前記装着溝を外
   部に連通させるスリットを形成するリブを前記シリンダ
   本体に設け、 半円形の凹形状の底面と、当該底面から前記シリンダ本
   体の外面に向けて真っ直ぐに延びる両側面と、これらの
   両側面に連なって前記スリットに向けて上向きに傾斜し
   て前記リブに形成された両傾斜面とにより前記装着溝を
   形成し、 前記センサケースの横断面の形状を前記装着溝に対応し
   た形状に形成し、 前記凹形状の底面に当接するねじ部材を前記センサケー
   スに取り付け、前記ねじ部材を締結することにより前記
   センサケースが前記装着溝の中心に位置決めされて固定
   されるようにしたことを特徴とする流体圧シリンダの位
   置検出装置。