JP2582015B2 - クリーンルームにおける緊急停止装置 - Google Patents
クリーンルームにおける緊急停止装置Info
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- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
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- 239000007789 gas Substances 0.000 description 79
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Landscapes
- Air Conditioning Control Device (AREA)
- Fire-Extinguishing By Fire Departments, And Fire-Extinguishing Equipment And Control Thereof (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームに設置
され、かつ発熱、発火などの伴う装置類を緊急時に自動
的に停止させるためのクリーンルームにおける緊急停止
装置に関するものである。
され、かつ発熱、発火などの伴う装置類を緊急時に自動
的に停止させるためのクリーンルームにおける緊急停止
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造においては、種々の工
程があるが、使用する製造装置（処理または加工を含
む）によっては発熱や発火を発生し、あるいは危険なガ
スを用いるものがある。例えば、シボラン、ホスフィ
ン、シランなどのプロセスガスを用いるＣＶＤ装置、エ
ッチング装置などがあり、これら製造装置は、通常、ク
リーンルーム内に設置されている。
程があるが、使用する製造装置（処理または加工を含
む）によっては発熱や発火を発生し、あるいは危険なガ
スを用いるものがある。例えば、シボラン、ホスフィ
ン、シランなどのプロセスガスを用いるＣＶＤ装置、エ
ッチング装置などがあり、これら製造装置は、通常、ク
リーンルーム内に設置されている。
【０００３】これら製造装置においては、火災、地震、
緊急時発生などに起因して製造装置が停止し、未処理の
プロセスガスがクリーンルーム内や大気へ拡散され、人
的な害を及ぼしたり、火災発生が生じたりするのを防止
し、さらには大気中の環境保全を図るため、高圧ガス保
安協会などの指針に則ってガス源のバルブ及び装置出側
のバルブを直ちに閉めることが要求される。
緊急時発生などに起因して製造装置が停止し、未処理の
プロセスガスがクリーンルーム内や大気へ拡散され、人
的な害を及ぼしたり、火災発生が生じたりするのを防止
し、さらには大気中の環境保全を図るため、高圧ガス保
安協会などの指針に則ってガス源のバルブ及び装置出側
のバルブを直ちに閉めることが要求される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来において
は、各バルブの操作は現場作業者の判断あるいは緊急停
止信号（ガス漏れセンサの検出信号に基づいて発せられ
る）に基づいて手作業により行っている。このため、個
人差が出やすく、装置設置台数が多くなると、作業完了
までに多大な時間（例えば、１時間程度）を要し、更に
はバルブの閉め忘れをすることもあり、事故や被害の拡
大が懸念されている。
は、各バルブの操作は現場作業者の判断あるいは緊急停
止信号（ガス漏れセンサの検出信号に基づいて発せられ
る）に基づいて手作業により行っている。このため、個
人差が出やすく、装置設置台数が多くなると、作業完了
までに多大な時間（例えば、１時間程度）を要し、更に
はバルブの閉め忘れをすることもあり、事故や被害の拡
大が懸念されている。
【０００５】本発明の目的は、緊急時にガス供給源及び
製造装置の排気系を直ちに自動的に停止・切換できるよ
うにするクリーンルームにおける緊急停止装置を提供す
ることにある。
製造装置の排気系を直ちに自動的に停止・切換できるよ
うにするクリーンルームにおける緊急停止装置を提供す
ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明は、ガス源からプロセスガスの供給を受
けて発熱、発火を伴う処理を行い或いは前記ガス源から
危険性ガスの供給を受けて所定の処理を行う製造装置が
設置されるクリーンルームにおいて、操業続行を不能に
する緊急事態の発生を検知する異常検出部と、有害ガス
を含む排気に対し無害化の処理を行う排気除害装置と、
前記クリーンルームから供給される排気を大気中または
前記排気除害装置の一方へ供給するバルブと、前記異常
検出部が異常を検出したときに前記バルブを前記排気除
害装置側へ切り換えると共に前記ガス源からのガス供給
を停止させる制御部とを設けるようにしている。
めに、この発明は、ガス源からプロセスガスの供給を受
けて発熱、発火を伴う処理を行い或いは前記ガス源から
危険性ガスの供給を受けて所定の処理を行う製造装置が
設置されるクリーンルームにおいて、操業続行を不能に
する緊急事態の発生を検知する異常検出部と、有害ガス
を含む排気に対し無害化の処理を行う排気除害装置と、
前記クリーンルームから供給される排気を大気中または
前記排気除害装置の一方へ供給するバルブと、前記異常
検出部が異常を検出したときに前記バルブを前記排気除
害装置側へ切り換えると共に前記ガス源からのガス供給
を停止させる制御部とを設けるようにしている。
【０００７】
【作用】上記した手段によれば、火災、地震、ガス漏
れ、異常信号発生時などの操業続行を不能にする緊急事
態が発生したとき、制御部はガス源からのガス供給を停
止する制御を行うと共に、クリーンルーム側からの雰囲
気排気を排気除害装置に導き、無害化の処理を行ってか
ら大気中に放出する。したがって、発火や発熱を招くガ
ス、或いは有害ガスを迅速にクリーンルーム内から排除
し、クリーンルーム内に災害が広まるのを防止すると共
に、大気中に有害ガスが放出されるのを防止することが
できる。
れ、異常信号発生時などの操業続行を不能にする緊急事
態が発生したとき、制御部はガス源からのガス供給を停
止する制御を行うと共に、クリーンルーム側からの雰囲
気排気を排気除害装置に導き、無害化の処理を行ってか
ら大気中に放出する。したがって、発火や発熱を招くガ
ス、或いは有害ガスを迅速にクリーンルーム内から排除
し、クリーンルーム内に災害が広まるのを防止すると共
に、大気中に有害ガスが放出されるのを防止することが
できる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明によるクリーンルームにおける
緊急停止装置の一実施例を示すブロック図である。な
お、実際には、クリーンルーム内に設置される装置類は
数十台に及ぶが、ここでは説明の便宜上、４台のみを図
示している。
緊急停止装置の一実施例を示すブロック図である。な
お、実際には、クリーンルーム内に設置される装置類は
数十台に及ぶが、ここでは説明の便宜上、４台のみを図
示している。
【０００９】本発明の中枢部分を成し、マイクロコンピ
ュータを用いて各種の制御を実行する制御部１には、異
常検出部２が接続されている。異常検出部２は、火災や
地震の発生を検知して異常信号を発生し、あるいはガス
漏れセンサの検知信号に基づいて異常信号を発生し、さ
らには監視員（または作業者）が異常を発見したときに
操作される押しボタンのオン動作に基づいて異常信号を
発生する。
ュータを用いて各種の制御を実行する制御部１には、異
常検出部２が接続されている。異常検出部２は、火災や
地震の発生を検知して異常信号を発生し、あるいはガス
漏れセンサの検知信号に基づいて異常信号を発生し、さ
らには監視員（または作業者）が異常を発見したときに
操作される押しボタンのオン動作に基づいて異常信号を
発生する。
【００１０】一方、クリーンルーム３内には、製造装置
４，５（ここではＣＶＤ装置）、及び製造装置６，７
（ここではエッチング装置）が設置されている。同種の
装置のガス入力口は共通接続され、製造装置４，５にお
いてはガス配管８、バルブ９（例えば、電磁バルブ）を
順次介してガス源（Ａ）１０に接続されている。同様
に、製造装置６，７においてはガス配管１１、バルブ１
２（例えば、電磁バルブ）を順次介してガス源（Ｂ）１
３に接続されている。
４，５（ここではＣＶＤ装置）、及び製造装置６，７
（ここではエッチング装置）が設置されている。同種の
装置のガス入力口は共通接続され、製造装置４，５にお
いてはガス配管８、バルブ９（例えば、電磁バルブ）を
順次介してガス源（Ａ）１０に接続されている。同様
に、製造装置６，７においてはガス配管１１、バルブ１
２（例えば、電磁バルブ）を順次介してガス源（Ｂ）１
３に接続されている。
【００１１】また、製造装置４〜７の出側の各々には、
装置筐体内雰囲気排気配管１４〜１７の各々が接続さ
れ、その端部にはバルブ１８〜２１の各々が接続されて
いる。バルブ１８〜２１はいずれも同一仕様のものが用
いられ、そして制御部１によって制御可能で且つ切替弁
の機能を有する構造になっている。バルブ１８〜２１の
通常時の出口である第１ポートは排気配管２２によって
共通接続され、緊急時の出口である第２ポートは同種処
理装置ごとに共通接続されている。すなわち、バルブ１
８，１９においては排気配管２３によって共通接続さ
れ、排気除害装置２４に接続され、バルブ２０，２１に
おいては排気配管２５によって共通接続され、排気除害
装置２６に接続されている。また、排気除害装置２４，
２６の出口は大気に開放されている。プロセスガスを通
常処理した排ガスの無害化処理のために、排ガス配管３
１、および排ガス処理装置３２が製造装置に接続されて
いる。
装置筐体内雰囲気排気配管１４〜１７の各々が接続さ
れ、その端部にはバルブ１８〜２１の各々が接続されて
いる。バルブ１８〜２１はいずれも同一仕様のものが用
いられ、そして制御部１によって制御可能で且つ切替弁
の機能を有する構造になっている。バルブ１８〜２１の
通常時の出口である第１ポートは排気配管２２によって
共通接続され、緊急時の出口である第２ポートは同種処
理装置ごとに共通接続されている。すなわち、バルブ１
８，１９においては排気配管２３によって共通接続さ
れ、排気除害装置２４に接続され、バルブ２０，２１に
おいては排気配管２５によって共通接続され、排気除害
装置２６に接続されている。また、排気除害装置２４，
２６の出口は大気に開放されている。プロセスガスを通
常処理した排ガスの無害化処理のために、排ガス配管３
１、および排ガス処理装置３２が製造装置に接続されて
いる。
【００１２】制御部１は、バルブ９，１２、製造装置
４，５，６，７、バルブ１８〜２１、及び排気除害装置
２４，２６の各々を信号線２７，２８，２９，３０の各
々を介して制御する。
４，５，６，７、バルブ１８〜２１、及び排気除害装置
２４，２６の各々を信号線２７，２８，２９，３０の各
々を介して制御する。
【００１３】次に、上記実施例について、製造装置４〜
７の稼働中における緊急停止動作について説明する。
７の稼働中における緊急停止動作について説明する。
【００１４】製造装置４〜７が通常稼働のときには、バ
ルブ９，１２が開けられ、バルブ１８〜２１は排気配管
２２側（第１ポート）に切替られている。ガス源（Ａ）
１０及びガス源（Ｂ）１３から製造装置４〜７の各々に
プロセスガスが供給され、ＣＶＤ処理及びエッチング処
理が行われ、反応後のガスが排ガス配管３１、及び排ガ
ス処理装置３２を介して大気中に放出される。また、ク
リーンルーム３および製造装置４，５，６，７の雰囲気
（ガスが漏れていない時は無害）は、排気配管１４〜１
７、バルブ１８〜２１及び排気配管２２を介して大気中
に放出される。
ルブ９，１２が開けられ、バルブ１８〜２１は排気配管
２２側（第１ポート）に切替られている。ガス源（Ａ）
１０及びガス源（Ｂ）１３から製造装置４〜７の各々に
プロセスガスが供給され、ＣＶＤ処理及びエッチング処
理が行われ、反応後のガスが排ガス配管３１、及び排ガ
ス処理装置３２を介して大気中に放出される。また、ク
リーンルーム３および製造装置４，５，６，７の雰囲気
（ガスが漏れていない時は無害）は、排気配管１４〜１
７、バルブ１８〜２１及び排気配管２２を介して大気中
に放出される。
【００１５】一方、火災、地震、ガス漏れの発生、非常
ボタンの操作のいずれか１つでも発生し、操業の続行が
できない状態になると、異常検出部２は制御部１に対し
て異常信号を送出する。この異常信号を受信した制御部
１は、バルブ９，１２を閉めるように指令を発すると共
に、バルブ１８〜２１を第１ポートから第２ポートに切
り換えるように指令を発する。同時に製造装置４〜７を
停止させる制御及び排気除害装置２４，２６を始動させ
る制御を行う。これにより、クリーンルーム３に対して
はガス源（Ａ）１０及びガス源（Ｂ）１３からの新たな
ガス供給は行われず、バルブ９，１２以後の各配管内に
残留するガスが排ガス処理装置３２に吸引される。排ガ
ス処理装置３２では、導入したガスに対しガス処理を施
した後、大気中に放出する。また、クリーンルーム３内
及び排気配管１４〜１７に残留する雰囲気排気は、排気
除害装置２４，２６に吸引される。排気除害装置２４，
２６では導入した排気に対して無害化処理を施した後、
大気中に放出する。
ボタンの操作のいずれか１つでも発生し、操業の続行が
できない状態になると、異常検出部２は制御部１に対し
て異常信号を送出する。この異常信号を受信した制御部
１は、バルブ９，１２を閉めるように指令を発すると共
に、バルブ１８〜２１を第１ポートから第２ポートに切
り換えるように指令を発する。同時に製造装置４〜７を
停止させる制御及び排気除害装置２４，２６を始動させ
る制御を行う。これにより、クリーンルーム３に対して
はガス源（Ａ）１０及びガス源（Ｂ）１３からの新たな
ガス供給は行われず、バルブ９，１２以後の各配管内に
残留するガスが排ガス処理装置３２に吸引される。排ガ
ス処理装置３２では、導入したガスに対しガス処理を施
した後、大気中に放出する。また、クリーンルーム３内
及び排気配管１４〜１７に残留する雰囲気排気は、排気
除害装置２４，２６に吸引される。排気除害装置２４，
２６では導入した排気に対して無害化処理を施した後、
大気中に放出する。
【００１６】以上のように、上記した実施例によれば、
各バルブの閉塞動作及び切替動作が自動的に行われるの
で、全ての操作が終了するのに必要な時間を１分以下に
することができ、緊急事態に迅速に対処できるようにな
り、安全性の向上が図られると共に環境保全が可能にな
る。
各バルブの閉塞動作及び切替動作が自動的に行われるの
で、全ての操作が終了するのに必要な時間を１分以下に
することができ、緊急事態に迅速に対処できるようにな
り、安全性の向上が図られると共に環境保全が可能にな
る。
【００１７】
【発明の効果】以上説明した通り、この発明は、ガス源
からプロセスガスの供給を受けて発熱、発火を伴う処理
を行い或いは前記ガス源から危険性ガスの供給を受けて
所定の処理を行う製造装置が設置されるクリーンルーム
において、操業続行を不能にする緊急事態の発生を検知
する異常検出部と、有害ガスを含む排気に対し無害化の
処理を行う排気除害装置と、前記クリーンルームから供
給される排気を大気中または前記排気除害装置の一方へ
と供給するバルブと、前記異常検出部が異常を検出した
ときに前記バルブを排気除害装置側へ切り換えると共に
前記ガス源からのガス供給を停止させる制御部とを設け
るようにしたので、発火や発熱を招くガス、或いは有害
ガスを迅速にクリーンルーム内から排除し、クリーンル
ーム内に災害が広まるのを防止すると共に、大気中に有
害ガスを放出するのを防止することができる。
からプロセスガスの供給を受けて発熱、発火を伴う処理
を行い或いは前記ガス源から危険性ガスの供給を受けて
所定の処理を行う製造装置が設置されるクリーンルーム
において、操業続行を不能にする緊急事態の発生を検知
する異常検出部と、有害ガスを含む排気に対し無害化の
処理を行う排気除害装置と、前記クリーンルームから供
給される排気を大気中または前記排気除害装置の一方へ
と供給するバルブと、前記異常検出部が異常を検出した
ときに前記バルブを排気除害装置側へ切り換えると共に
前記ガス源からのガス供給を停止させる制御部とを設け
るようにしたので、発火や発熱を招くガス、或いは有害
ガスを迅速にクリーンルーム内から排除し、クリーンル
ーム内に災害が広まるのを防止すると共に、大気中に有
害ガスを放出するのを防止することができる。
【図１】本発明によるクリーンルームにおける緊急停止
装置の一実施例を示すブロック図である。
装置の一実施例を示すブロック図である。
１ 制御部 ２ 異常検出部 ３ クリーンルーム ４，５，６，７ 製造装置 ８，１１，１４〜１７，２２，２３，２５ ガス配管 ９，１２，１８〜２１ バルブ １０ ガス源（Ａ） １３ ガス源（Ｂ） ２４，２６ 排気除害装置 ２７，２８，２９，３０ 信号線
Claims (1)
- 【請求項１】 ガス源からプロセスガスの供給をうけて
発熱、発火を供う処理を行い或いは前記ガス源から危険
性ガスの供給を受けて所定の処理を行う製造装置が設置
されるクリーンルームにおいて、操業続行を不能にする
緊急事態の発生を検知する異常検出部と、有害ガスを含
む排気に対し無害化の処理を行う排気除害装置と、前記
クリーンルームから供給される排気を大気中または前記
排気除害装置の一方へ供給するバルブと、前記異常検出
部が異常を検出したときに前記バルブを前記排気除害装
置側へ切り換えると共に前記ガス源からのガス供給を停
止させる制御部とを具備することを特徴とするクリーン
ルームの緊急停止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4121102A JP2582015B2 (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | クリーンルームにおける緊急停止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4121102A JP2582015B2 (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | クリーンルームにおける緊急停止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05293192A JPH05293192A (ja) | 1993-11-09 |
| JP2582015B2 true JP2582015B2 (ja) | 1997-02-19 |
Family
ID=14802932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4121102A Expired - Lifetime JP2582015B2 (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | クリーンルームにおける緊急停止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2582015B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8190277B2 (en) | 2007-11-30 | 2012-05-29 | Tokyo Electron Limited | Method for limiting expansion of earthquake damage and system for limiting expansion of earthquake damage for use in semiconductor manufacturing apparatus |
| JP4778546B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2011-09-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造装置における地震被害拡散低減方法及び地震被害拡散低減システム |
-
1992
- 1992-04-16 JP JP4121102A patent/JP2582015B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05293192A (ja) | 1993-11-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960903 |