JP2564543Y2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- Japan
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- rotor
- molecular pump
- turbo
- bearing
- ball
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0442—Active magnetic bearings with devices affected by abnormal, undesired or non-standard conditions such as shock-load, power outage, start-up or touchdown
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/52—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with devices affected by abnormal or undesired conditions
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- F16C35/00—Rigid support of bearing units; Housings, e.g. caps, covers
- F16C35/04—Rigid support of bearing units; Housings, e.g. caps, covers in the case of ball or roller bearings
- F16C35/06—Mounting or dismounting of ball or roller bearings; Fixing them onto shaft or in housing
- F16C35/067—Fixing them in a housing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16C39/00—Relieving load on bearings
- F16C39/02—Relieving load on bearings using mechanical means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/02—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows
- F16C19/04—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly
- F16C19/06—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly with a single row or balls
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、ターボ分子ポンプに
係り、特に、ロータを支持する軸受機構を改良したター
ボ分子ポンプに関する。
係り、特に、ロータを支持する軸受機構を改良したター
ボ分子ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、電子顕微鏡，分析機器等の真
空装置として、ターボ分子ポンプが用いられている。
空装置として、ターボ分子ポンプが用いられている。
【０００３】このターボ分子ポンプは、略円筒状に形成
されたケーシングの内壁面に複数のステータ翼がその円
筒の軸方向に配設されており、上記ケーシング内に配置
されたロータの外壁面に複数のロータ翼がステータ翼と
交互に配設されているとともに、このロータがモータの
回転子として作用するモータ機構とから構成されてい
る。
されたケーシングの内壁面に複数のステータ翼がその円
筒の軸方向に配設されており、上記ケーシング内に配置
されたロータの外壁面に複数のロータ翼がステータ翼と
交互に配設されているとともに、このロータがモータの
回転子として作用するモータ機構とから構成されてい
る。
【０００４】そして、このモータ機構によりロータが高
速回転し、ステータ翼とロータ翼との間に分子流を誘起
して、吸気口側のガスを排気口側へ排出して、吸気口側
に高真空が形成されるというものである。
速回転し、ステータ翼とロータ翼との間に分子流を誘起
して、吸気口側のガスを排気口側へ排出して、吸気口側
に高真空が形成されるというものである。
【０００５】ところで、ロータはいわゆる超高速回転す
るため、最近では、磁気軸受が一般に使用されている。
るため、最近では、磁気軸受が一般に使用されている。
【０００６】すなわち、磁気軸受機構により、ロータを
浮上保持し、ケーシング内のステータコラムに対してロ
ータを非接触で高速回転させるというものであり、この
磁気軸受機構は、ロータ軸の半径方向および軸方向を保
持するラジアルおよびアキシャル電磁石を設けるととも
に、これら両方向位置を検出する位置センサを設け、こ
の位置センサの検出信号をフィードバックしてロータが
目標の浮上位置となるように電磁石の励磁電流が制御さ
れるというのが一般的な構成である。
浮上保持し、ケーシング内のステータコラムに対してロ
ータを非接触で高速回転させるというものであり、この
磁気軸受機構は、ロータ軸の半径方向および軸方向を保
持するラジアルおよびアキシャル電磁石を設けるととも
に、これら両方向位置を検出する位置センサを設け、こ
の位置センサの検出信号をフィードバックしてロータが
目標の浮上位置となるように電磁石の励磁電流が制御さ
れるというのが一般的な構成である。
【０００７】さらに、磁気軸受になんらかの異常が生じ
た場合、例えば停電により磁気軸受によるロータの制御
ができなくなった場合（通常タッチダウンと呼ばれ
る）、ロータを回転支持しているステータコラムとの間
にボールベアリングを使用した保護ベアリングが通常設
置されており、タッチダウン時におけるロータの支持を
円滑に行ない、ターボ分子ポンプの高信頼性を確保して
いる。
た場合、例えば停電により磁気軸受によるロータの制御
ができなくなった場合（通常タッチダウンと呼ばれ
る）、ロータを回転支持しているステータコラムとの間
にボールベアリングを使用した保護ベアリングが通常設
置されており、タッチダウン時におけるロータの支持を
円滑に行ない、ターボ分子ポンプの高信頼性を確保して
いる。
【０００８】
【考案が解決しようとする課題】このように、従来の磁
気軸受式のターボ分子ポンプにおいては、タッチダウン
時、ロータの支持を保護用ベアリングを介して行なうと
いう構成であり、また、真空中のため、固体潤滑を使用
している。したがって、タッチダウン等により保護用ベ
アリングに負荷が加わった場合、保護用ベアリングの内
輪，外輪およびボールに生じる摩耗が激しく、ベアリン
グの内外輪のガタが大きくなり、また、摩耗によりボー
ルの径が小径となる。
気軸受式のターボ分子ポンプにおいては、タッチダウン
時、ロータの支持を保護用ベアリングを介して行なうと
いう構成であり、また、真空中のため、固体潤滑を使用
している。したがって、タッチダウン等により保護用ベ
アリングに負荷が加わった場合、保護用ベアリングの内
輪，外輪およびボールに生じる摩耗が激しく、ベアリン
グの内外輪のガタが大きくなり、また、摩耗によりボー
ルの径が小径となる。
【０００９】そして、入れ溝付フルボール型の保護用ベ
アリングの入れ溝が重力方向と一致していた場合、タッ
チダウンにより、保護用ベアリングが摩耗をうけるとボ
ールが抜けやすくなる。ボールが抜け落ちた場合、保護
用ベアリングの内・外輪の間にボールがはさまるため、
ベアリングが急停止し、保護用ベアリングとしての機能
を果たさず、ロータの焼き付き等の不具合を誘発すると
いう問題点が指摘されている。
アリングの入れ溝が重力方向と一致していた場合、タッ
チダウンにより、保護用ベアリングが摩耗をうけるとボ
ールが抜けやすくなる。ボールが抜け落ちた場合、保護
用ベアリングの内・外輪の間にボールがはさまるため、
ベアリングが急停止し、保護用ベアリングとしての機能
を果たさず、ロータの焼き付き等の不具合を誘発すると
いう問題点が指摘されている。
【００１０】更に、保護用ベアリングの耐久性に問題が
あるため、ボールの抜け落ちを見越して、ターボ分子ポ
ンプの取付姿勢に制約を受け、例えば、倒立姿勢等はボ
ールの抜け落ちを誘発しやすく、この状態で使用する
と、大きなトラブルを招く可能性があり、ターボ分子ポ
ンプの取付姿勢においても大きな制約を受けているとい
うのが実情である。
あるため、ボールの抜け落ちを見越して、ターボ分子ポ
ンプの取付姿勢に制約を受け、例えば、倒立姿勢等はボ
ールの抜け落ちを誘発しやすく、この状態で使用する
と、大きなトラブルを招く可能性があり、ターボ分子ポ
ンプの取付姿勢においても大きな制約を受けているとい
うのが実情である。
【００１１】この考案は、このような事情に鑑みてなさ
れたもので、本考案の目的とするところは、磁気軸受式
ターボ分子ポンプに使用する保護用ベアリングの耐久性
を向上させることにより、タッチダウン時におけるロー
タの保護を確実に行ない、ターボ分子ポンプの高信頼性
を確保するとともに、ターボ分子ポンプの取付姿勢にお
いても自由な取付を可能としたターボ分子ポンプを提供
することにある。
れたもので、本考案の目的とするところは、磁気軸受式
ターボ分子ポンプに使用する保護用ベアリングの耐久性
を向上させることにより、タッチダウン時におけるロー
タの保護を確実に行ない、ターボ分子ポンプの高信頼性
を確保するとともに、ターボ分子ポンプの取付姿勢にお
いても自由な取付を可能としたターボ分子ポンプを提供
することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本考案は、ケーシングの内壁面に取付けられたステ
ータ翼と、前記ケーシングの内部のステータコラムに磁
気軸受を介して回転可能に軸受されるロータの外壁面に
取付けられたロータ翼とを、上記ロータの軸方向に交互
に配置するとともに、ロータを回転させてロータ軸の一
方向から吸気し他方向へ排気するターボ分子ポンプにお
いて、前記ロータとステータコラムとの間に設置される
とともに、入れ溝付フルボール型の保護用ベアリング
と、上記保護用ベアリングの入れ溝内に臨み、かつその
保護用ベアリングからボールが抜け落ちるのを規制する
突起とを設けたことを特徴とする。
に、本考案は、ケーシングの内壁面に取付けられたステ
ータ翼と、前記ケーシングの内部のステータコラムに磁
気軸受を介して回転可能に軸受されるロータの外壁面に
取付けられたロータ翼とを、上記ロータの軸方向に交互
に配置するとともに、ロータを回転させてロータ軸の一
方向から吸気し他方向へ排気するターボ分子ポンプにお
いて、前記ロータとステータコラムとの間に設置される
とともに、入れ溝付フルボール型の保護用ベアリング
と、上記保護用ベアリングの入れ溝内に臨み、かつその
保護用ベアリングからボールが抜け落ちるのを規制する
突起とを設けたことを特徴とする。
【００１３】
【作用】以上の構成から明らかなように、入れ溝付フル
ボール型のボールベアリングを使用した保護用ベアリン
グの入れ溝には、ボールの抜け落ちを規制する突起が設
けられているため、タッチダウンを何回も行ない、ベア
リングの摩耗が進んでも、この突起によりボールの抜け
落ちが確実に防止できるため、保護用ベアリングの機能
が低下することがない。
ボール型のボールベアリングを使用した保護用ベアリン
グの入れ溝には、ボールの抜け落ちを規制する突起が設
けられているため、タッチダウンを何回も行ない、ベア
リングの摩耗が進んでも、この突起によりボールの抜け
落ちが確実に防止できるため、保護用ベアリングの機能
が低下することがない。
【００１４】
【実施例】以下、本考案によるターボ分子ポンプへの実
施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。
施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１５】図１において、本考案によるターボ分子ポ
ンプ１は、略円筒状に形成されたケーシング２の内壁面
に、その軸方向に沿って複数のステータ翼３が配設され
ており、ケーシング２の内部に設置されたステータコラ
ム４に磁気軸受を介して回転可能にロータ５が支持され
ており、このロータ５には、ステータコラム４の外周に
位置するようにロータ翼６が配設され、ケーシング２の
軸方向に沿って、ステータ翼３とロータ翼６とが交互に
配設されている。
ンプ１は、略円筒状に形成されたケーシング２の内壁面
に、その軸方向に沿って複数のステータ翼３が配設され
ており、ケーシング２の内部に設置されたステータコラ
ム４に磁気軸受を介して回転可能にロータ５が支持され
ており、このロータ５には、ステータコラム４の外周に
位置するようにロータ翼６が配設され、ケーシング２の
軸方向に沿って、ステータ翼３とロータ翼６とが交互に
配設されている。
【００１６】さらに、高周波モータ７により、ロータ５
は回転駆動されるが、このロータ５の回転駆動に伴う軸
受構造としては、半径方向センサ８によりロータ５の径
方向の位置調整を半径方向電磁石９に励磁して行ない、
また、軸方向センサ１０によりロータ５の軸方向の浮揚
を軸方向電磁石１１に励磁して行なうというものであ
る。
は回転駆動されるが、このロータ５の回転駆動に伴う軸
受構造としては、半径方向センサ８によりロータ５の径
方向の位置調整を半径方向電磁石９に励磁して行ない、
また、軸方向センサ１０によりロータ５の軸方向の浮揚
を軸方向電磁石１１に励磁して行なうというものであ
る。
【００１７】さらに、停電等の磁気軸受機構の非常時
（タッチダウン時）には、ロータ５とステータコラム４
との間に、ボールベアリングからなる保護用ベアリング
１２，１３が機能して、ロータ５は円滑に回転支持され
るようになっている。
（タッチダウン時）には、ロータ５とステータコラム４
との間に、ボールベアリングからなる保護用ベアリング
１２，１３が機能して、ロータ５は円滑に回転支持され
るようになっている。
【００１８】ところで、本考案の特徴は、ロータ５の上
部に設置される保護用ベアリング１２の耐久性を高める
ことにより、ターボ分子ポンプ１の信頼性を高めたこと
にある。
部に設置される保護用ベアリング１２の耐久性を高める
ことにより、ターボ分子ポンプ１の信頼性を高めたこと
にある。
【００１９】すなわち、図２に示すように、この保護用
ベアリング１２は、ステータコラム４側に取付けられる
外輪１４と、ロータ５をタッチダウン時に回転支持する
ために接触する内輪１５と、外輪１４と内輪１５との間
に複数のボール１６とから構成されており、外輪１４と
内輪１５との間には、ボール１６を挿入させるための入
れ溝１７が設置されている入れ溝付ボールベアリングか
らなる。尚、通常はロータ５が磁気浮上しているため
に、ロータ５と内輪１５は接触しておらず、タッチダウ
ン時にロータ５を回転支持するためにロータ５と内輪１
５が接触する。
ベアリング１２は、ステータコラム４側に取付けられる
外輪１４と、ロータ５をタッチダウン時に回転支持する
ために接触する内輪１５と、外輪１４と内輪１５との間
に複数のボール１６とから構成されており、外輪１４と
内輪１５との間には、ボール１６を挿入させるための入
れ溝１７が設置されている入れ溝付ボールベアリングか
らなる。尚、通常はロータ５が磁気浮上しているため
に、ロータ５と内輪１５は接触しておらず、タッチダウ
ン時にロータ５を回転支持するためにロータ５と内輪１
５が接触する。
【００２０】そして、ステータコラム４の上端に、この
保護用ベアリング１２を支持する支持部材２０がビス止
めされており、この支持部材２０先端に設けた突起２１
が保護用ベアリング１２の入れ溝１７内に臨むように設
定されている。
保護用ベアリング１２を支持する支持部材２０がビス止
めされており、この支持部材２０先端に設けた突起２１
が保護用ベアリング１２の入れ溝１７内に臨むように設
定されている。
【００２１】したがって、ターボ分子ポンプ１のタッチ
ダウン時、磁気軸受機構によりロータ５の磁気軸受が制
御できない場合、保護用ベアリング１２に高負荷が加わ
り、外輪１４，内輪１５およびボール１６が摩耗して
も、入れ溝１７内にボール１６の抜け落ちを規制する突
起２１が臨んでいるため、ボール１６の脱落が確実に防
止できる。
ダウン時、磁気軸受機構によりロータ５の磁気軸受が制
御できない場合、保護用ベアリング１２に高負荷が加わ
り、外輪１４，内輪１５およびボール１６が摩耗して
も、入れ溝１７内にボール１６の抜け落ちを規制する突
起２１が臨んでいるため、ボール１６の脱落が確実に防
止できる。
【００２２】したがって、タッチダウンが何回も起こっ
た場合、ボールの脱落により、保護用ベアリングの機能
が損われ、ターボ分子ポンプの信頼性が低下するという
従来不具合を、本考案は有効に解決することができる。
た場合、ボールの脱落により、保護用ベアリングの機能
が損われ、ターボ分子ポンプの信頼性が低下するという
従来不具合を、本考案は有効に解決することができる。
【００２３】このように、本考案は、ボール１６の抜け
落ちを規制する突起２１を保護用ベアリング１２に設置
することで、ターボ分子ポンプ１の高信頼性を確保する
とともに、従来、ターボ分子ポンプの取付姿勢に制約を
受けるという問題点も解決でき、どのような姿勢にも取
付けることができ、ターボ分子ポンプ１の設定自由度を
飛躍的に増大させることができるという利点もある。
落ちを規制する突起２１を保護用ベアリング１２に設置
することで、ターボ分子ポンプ１の高信頼性を確保する
とともに、従来、ターボ分子ポンプの取付姿勢に制約を
受けるという問題点も解決でき、どのような姿勢にも取
付けることができ、ターボ分子ポンプ１の設定自由度を
飛躍的に増大させることができるという利点もある。
【００２４】次いで、図３，図４は本考案の変形実施例
を示すもので、図３に示すように、保護用ベアリング１
２の入れ溝１７に相当する箇所のステータコラム４の上
端を上方に延長し、この延長部４ａにボール抜け落ち防
止片２２をビス止め固定し、このボール抜け落ち防止片
２２の先端に設けた突起２３を入れ溝１７内に臨ませ、
ボール１６の抜け落ちを規制してもよい。
を示すもので、図３に示すように、保護用ベアリング１
２の入れ溝１７に相当する箇所のステータコラム４の上
端を上方に延長し、この延長部４ａにボール抜け落ち防
止片２２をビス止め固定し、このボール抜け落ち防止片
２２の先端に設けた突起２３を入れ溝１７内に臨ませ、
ボール１６の抜け落ちを規制してもよい。
【００２５】更に、図４に示すように、保護用ベアリン
グ１２の入れ溝１７を下方に向くように保護用ベアリン
グ１２をステータコラム４，ロータ５間に設置するとと
もに、ステータコラム４と一体に設けた突起２４を保護
用ベアリング１２の入れ溝１７内に臨むように設定して
もよい。
グ１２の入れ溝１７を下方に向くように保護用ベアリン
グ１２をステータコラム４，ロータ５間に設置するとと
もに、ステータコラム４と一体に設けた突起２４を保護
用ベアリング１２の入れ溝１７内に臨むように設定して
もよい。
【００２６】なお、この場合、別部材の取付工数が廃止
できるため、余分な取付工数が不要となるため、廉価
に、保護用ベアリングの機能を維持することができると
いう利点がある。
できるため、余分な取付工数が不要となるため、廉価
に、保護用ベアリングの機能を維持することができると
いう利点がある。
【００２７】
【考案の効果】以上説明した通り、本考案によるターボ
分子ポンプは、ターボ分子ポンプの非常時（タッチダウ
ン時）、ロータを回転支持する保護用ベアリングの構成
において、ボールの抜け落ちを規制する突起を設定する
ことにより、簡単かつ廉価な構成で、保護用ベアリング
の機能を長期にわたり良好に維持し、ターボ分子ポンプ
の高信頼性を確保できるという効果を有する。
分子ポンプは、ターボ分子ポンプの非常時（タッチダウ
ン時）、ロータを回転支持する保護用ベアリングの構成
において、ボールの抜け落ちを規制する突起を設定する
ことにより、簡単かつ廉価な構成で、保護用ベアリング
の機能を長期にわたり良好に維持し、ターボ分子ポンプ
の高信頼性を確保できるという効果を有する。
【００２８】さらに、保護用ベアリングの耐久性を向上
させることにより、ターボ分子ポンプを倒立姿勢に設置
した場合においても、保護用ベアリングのボールの抜け
落ちが確実に防止できるため、ターボ分子ポンプの取付
姿勢の自由度の信頼性が向上する。
させることにより、ターボ分子ポンプを倒立姿勢に設置
した場合においても、保護用ベアリングのボールの抜け
落ちが確実に防止できるため、ターボ分子ポンプの取付
姿勢の自由度の信頼性が向上する。
【図１】本考案に係るターボ分子ポンプの一実施例の構
成を示す断面図。
成を示す断面図。
【図２】図１に示すターボ分子ポンプの要部の構成を示
す断面図。
す断面図。
【図３】本考案によるターボ分子ポンプの別実施例の構
成を示す要部断面図。
成を示す要部断面図。
【図４】本考案によるターボ分子ポンプのさらに別実施
例の構成を示す要部断面図。
例の構成を示す要部断面図。
１ ターボ分子ポンプ ２ ケーシング ３ ステータ翼 ４ ステータコラム ５ ロータ ６ ロータ翼 ７ 高周波モータ ８ 半径方向センサ ９ 半径方向電磁石 １０ 軸方向センサ １１ 軸方向電磁石 １２，１３ 保護用ベアリング １４ 外輪 １５ 内輪 １６ ボール １７ 入れ溝 ２０ 支持部材 ２１，２３，２４ 突起 ２２ ボール抜け落ち防止片
Claims (1)
- 【請求項１】 ケーシングの内壁面に取付けられたステ
ータ翼と、前記ケーシングの内部のステータコラムに磁
気軸受を介して回転可能に軸受されるロータの外壁面に
取付けられたロータ翼とを、上記ロータの軸方向に交互
に配置するとともに、ロータを回転させてロータ軸の一
方向から吸気し他方向へ排気するターボ分子ポンプにお
いて、 前記ロータとステータコラムとの間に設置されるととも
に、入れ溝付フルボール型の保護用ベアリングと、上記
保護用ベアリングの入れ溝内に臨み、かつその保護用ベ
アリングからボールが抜け落ちるのを規制する突起とを
設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992044600U JP2564543Y2 (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992044600U JP2564543Y2 (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH064390U JPH064390U (ja) | 1994-01-21 |
| JP2564543Y2 true JP2564543Y2 (ja) | 1998-03-09 |
Family
ID=12695951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992044600U Expired - Lifetime JP2564543Y2 (ja) | 1992-06-26 | 1992-06-26 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2564543Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2567202A (en) | 2017-10-05 | 2019-04-10 | Edwards Ltd | Bearing cage retainer |
-
1992
- 1992-06-26 JP JP1992044600U patent/JP2564543Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH064390U (ja) | 1994-01-21 |
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