JP2024135911A - ワーク外観検査装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】正確に且つ効率良くワークの外観検査を実施可能なワーク外観検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】ワーク外観検査装置１は、ワークＷを載置するチャックテーブル２と、ワークＷの被加工面Ｗａを撮像するカメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃと、チャックテーブル２及びカメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させて、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃを平面から視て矩形状に走査する第１のスライド機構２３及び第２のスライド機構４４と、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃが撮像した複数の撮像画像に基づいて、ワークＷの良否を判定する判定部５２と、を備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は、研削又は研磨後のワークの良否を判定するワーク外観検査装置及び方法に関する。

半導体シリコンウェハ等（以下、「ワーク」という）の裏面を研削又は研磨した後に行うワークの外観検査は、ワークの被加工面にスクラッチ、クラック、微細なパーティクル、面焼け又は異常な条痕等の有無を確認する。

特許文献１には、視野（撮像範囲）や倍率が異なるマクロカメラ、ミクロカメラを備え、マクロカメラが撮像した撮像画像からウェーハの外周の少なくとも３点の座標を認識し、これら３点の座標からウェーハの中心座標を算出し、保持テーブルの中心座標とウェーハの中心座標との距離を考慮して、ミクロカメラの撮像範囲がウェーハの外周位置に追従するようにミクロカメラをＸ軸方向に走査させるウェーハ検査装置が開示されている。

また、特許文献２には、ラインセンサの撮像部を保持テーブルの中心及びウェーハの直上に位置づけた後に、保持テーブルを回転させながらラインセンサを保持テーブルの中心側から外側に向けて一定の速度で移動させることにより、ウェーハの被研削面全体が渦巻状に撮像される検査装置が開示されている。

特開２０２１－１５８５０号公報 特開２０１９－３２２６０号公報

しかしながら、特許文献１記載のウェーハ検査装置では、ミクロカメラによるウェーハの外周の撮像に先行して、マクロカメラが撮像したウェーハ表面の撮像画像からウェーハの中心座標を算出する必要があるところ、マクロカメラをＸ軸方向に走査しながらウェーハ表面を撮像する都合上、ウェーハの外周以外の不必要な範囲も撮像するため、スループットが悪化するという問題があった。

また、特許文献２記載の検査装置では、ウェーハの中心側から外側に向かって周速が早く露光時間が短くなるため、撮像部が撮像した撮像画像は、ウェーハの中心側から外側に向かって徐々に暗くなりがちで、特に暗い撮像画像を用いた外観検査では面焼けや研削痕等の検出に支障をきたす虞があった。また、ウェーハを渦巻状に撮像した場合、複数の画像を１枚の検査画像に合成する際に極座標変換等の煩雑な画像処理を行う必要があり、スループットが悪化する虞があった。さらに、ウェーハに割断予定ラインに沿って格子状の溝が形成されている、いわゆる先ダイシングウェーハの外観検査では、溝をクラックやスクラッチ等と誤検出しないように溝に対してマスク処理するのが一般的である。しかしながら、渦巻状に撮像した複数の撮像画像を合成して成る検査画像に映る格子状の溝に対して正確にマスク処理するのは現実的には困難であるという問題があった。

そこで、正確に且つ効率良くワークの外観検査を行うために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係るワーク外観検査装置は、裏面加工後のワークの良否を判定するワーク外観検査装置であって、前記ワークを載置するチャックテーブルと、前記ワークの被加工面を撮像する撮像部と、前記チャックテーブル及び前記撮像部の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させて、前記撮像部を平面から視て矩形状に走査する駆動機構と、前記撮像部が撮像した複数の撮像画像に基づいて、前記ワークの良否を判定する判定部と、を備えている。

また、本発明に係るワーク外観検査方法は、裏面加工後のワークの良否を判定するワーク外観検査方法であって、前記ワークをチャックテーブルに載置する工程と、前記チャックテーブル及び撮像部の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させて、前記撮像部を平面から視て矩形状に走査し、前記撮像部が前記ワークの被加工面を撮像する工程と、前記撮像部が撮像した複数の撮像画像に基づいて、前記ワークの良否を判定する工程と、を含む。

本発明は、正確に且つ効率良くワークの外観検査を行うことができる。

本発明の一実施形態に係るワーク外観検査装置を模式的に示す斜視図。 チャックテーブル及びワークに対するカメラの撮像位置の位置関係を示す平面図。 カメラが撮像した撮像画像を示す図。 図３の撮像画像から生成されたワークのエッジ位置に関するエッジトレンド線を示す模式図。 チャックテーブル及びワークの相対的な位置関係を示す平面図。 図５の要部を示す模式図。 ワークに対するカメラの走査軌跡を示す平面図。

本発明の一実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。

図１は、本発明の一実施形態に係るワーク外観検査装置１を模式的に示す斜視図である。ワーク外観検査装置１は、裏面研削後のワークＷの外観検査を行う。ワークＷは、例えば、シリコンウェハであるがこれに限定されるものではない。ワーク外観検査装置１は、チャックテーブル２と、基台３と、カメラ４と、を備えている。

チャックテーブル２は、上面（吸着面）にワークＷを保持可能に構成されている。チャックテーブル２の吸着面には、図示しない真空源又は圧縮空気源に接続されている。真空源が起動すると、吸着面に載置されたワークＷが吸着面に吸着保持される。また、圧縮空気源が起動すると、ワークＷと吸着面との吸着が解除される。

チャックテーブル２は、チャックスピンドル２１によってチャックテーブル２の回転中心を通りＺ軸に平行な回転軸回りに回転可能に構成されている。チャックスピンドル２１は、チャックステージ２２に載置されている。チャックステージ２２は、基台３に対してＹ軸方向に相対的にスライド可能な第１のスライド機構２３を介して基台３上に設けられている。第１のスライド機構２３は、例えばボールネジアクチュエータ等である。

基台３の上面には、チャックテーブル２及び第１のスライド機構２３の上方を跨ぐようにしてコラム３１が設けられている。

カメラ４が、Ｘ軸方向に沿って３台設けられている。なお、カメラ４の個数は、３台に限定されず、２台以下でも４台以上であっても構わない。カメラ４は、ラインスキャンカメラ４１と、ラインスキャンカメラ４１に接続されたコリメートレンズ４２と、を備えている。また、カメラ４は、ラインスキャンカメラ４１の撮像位置を照らす図示しない照明を備えている。照明は、照明の照明光の光軸とコリメートレンズ４２の光軸とが図示しないビームスプリッタを介して略一致する同軸落射照明を構成している。なお、カメラ４がワークＷを撮像する際の照明光は、同軸落射照明に限定されるものではなく、例えば側射照明等であっても構わない。

ラインスキャンカメラ４１の端部は、カメラステージ４３に片持ち支持されている。カメラステージ４３は、コラム３１に対してＸ軸方向に相対的にスライド可能な第２のスライド機構４４を介してコラム３１上に設けられている。第２のスライド機構４４は、例えばボールネジアクチュエータ等である。第２のスライド機構４４を駆動することにより、チャックテーブル２に対するカメラ４の位置を調整することができる。

ラインスキャンカメラ４１は、ライントリガとしてチャックスピンドル２１のモータに連動するエンコーダ信号を受信する。ラインスキャンカメラ４１は、チャックスピンドル２１のエンコーダ信号に基づき、チャックテーブル２が１回転する間に亘ってワークＷの被加工面Ｗａを撮像可能である。

ワーク外観検査装置１の動作は、コントローラ５によって制御される。コントローラ５は、ワーク外観検査装置１を構成する構成要素をそれぞれ制御するものである。コントローラ５は、例えばコンピュータであり、ＣＰＵ、メモリ等により構成される。なお、コントローラ５の機能は、ソフトウェアを用いて制御することにより実現されても良く、ハードウェアを用いて動作するものにより実現されても良い。

コントローラ５は、誤差検出部５１、判定部５２と、を備えている。

誤差検出部５１は、ラインスキャンカメラ４１が撮像した撮像画像に基づいて、チャックテーブル２の回転中心に対するワークＷの中心の相対的な位置関係（配置誤差）を検出する。

判定部５２は、カメラ４が撮像した撮像画像に基づいて、ワークＷの良否を判定する。

次に、ワーク外観検査装置１を用いた外観検査の手順について説明する。なお、以下の説明では、３台のカメラ４、ラインスキャンカメラ４１等を区別する場合には、符号の末尾に「Ａ」、「Ｂ」、「Ｃ」を付す。

＜ワークチャック＞
図示しない搬送ロボット等が、ワークＷをチャックテーブル２に受け渡し、チャックテーブル２が、吸着面上に載置されたワークＷを吸着保持する。

＜アライメント＞
図２に示すように、搬送ロボットの位置決め精度によっては、チャックテーブル２の回転中心Ｏ１とワークＷの中心Ｏ２が一致しない場合があるため、ワークＷの外観検査に先行して、チャックテーブル２に対するワークＷの配置誤差を検出する。

まず、第１のスライド機構２３及び第２のスライド機構４４を駆動して、図２に示すように、カメラ４Ａの撮像位置４ａが、チャックテーブル２及びワークＷのエッジを少なくとも含むように設定されている。なお、撮像位置４ａのサイズは、例えば約２μｍ×約２０ｍｍに設定される。

次に、カメラ４Ａが、チャックテーブル２及びワークＷが回転した状態で、ワークＷのエッジを撮像する。図３は、ラインスキャンカメラ４１が撮像したワークＷのエッジ全周を映す撮像画像Ｉ１の一例である。撮像画像Ｉ１では、ワークＷが照明光の反射で明るく映り、チャックテーブル２が相対的に暗く映るため、撮像画像Ｉ１における明暗境界がワークＷのエッジに対応する。

次に、誤差検出部５１は、撮像画像Ｉ１からワークＷ全周に亘るエッジ位置を検出することにより、図４に示すワークＷのエッジ位置のエッジトレンド線Ｌ１を生成する。

次に、誤差検出部５１は、エッジトレンド線Ｌ１に基づいて、チャックスピンドル２１の回転角度θの所定間隔おきにワークＷ内のエッジ位置をサンプリングする。図４に示すエッジトレンド線Ｌ１は、始端がチャックスピンドル２１の回転角度０度に対応し、終端がチャックスピンドル２１の回転角度３６０度に対応する。したがって、エッジトレンド線Ｌ１上の任意の点とエッジトレンド線Ｌ１の始端との距離を計測することにより、任意の点におけるチャックスピンドル２１の回転角度θを算出できる。なお、サンプリングするエッジ位置の数は、演算処理が過度に複雑にならない範囲で任意に設定可能である。

続いて、誤差検出部５１は、サンプリングした複数のエッジ位置とチャックスピンドル２１の回転角度との関係を示すエッジトレンド線Ｌ１の座標関数を導出する。エッジトレンド線Ｌ１の座標関数を数式１に示す。なお、数式１において、ＲはワークＷの半径であり、θはＹ軸からのチャックスピンドル２１の回転角度である。

数式１において、ΔｒがワークＷの半径Ｒより極めて小さいと仮定すると、数式１の第２項は定数Ｒに近似できる。そして、数式１の座標関数を高速フーリエ変換して周波数ごとに分解して定数成分を除外すると、チャックテーブル２が１回転する間に１度振動する波形の振幅及び位相が得られる。なお、高速フーリエ変換は、データ数をＮとすると、時間計算量ＯがＮｌｏｇＮであることが知られており、エッジ位置のサンプリング数が増加した場合であっても演算処理が過度に煩雑にならない点で好適である。

ここで、図５及び図６に示すように、チャックテーブル２の回転中心Ｏ１と略円形状のワークＷの中心Ｏ２との配置誤差は、チャックテーブル２の回転中心Ｏ１を原点としたＸＹ座標系において、チャックテーブル２の回転中心Ｏ１とワークＷの中心Ｏ２との距離Δｒ、及びチャックテーブル２の回転中心Ｏ１とワークＷの中心Ｏ２とを結ぶ線分とＸ軸とのなす角度（向き）Δωから成る。そして、チャックテーブル２が１回転する間に１度振動する波形の振幅が距離Δｒに相当し、位相が向きΔωに相当する。

このようにして、エッジトレンド線Ｌ１の座標関数を高速フーリエ変換して得られる、チャックテーブル２が１回転する間に１度振動する波形の振幅及び位相が、配置誤差Δｒ、Δωにそれぞれ相当するため、ワークＷの外径公差に影響されることなく、チャックテーブル２とワークＷとの相対的な位置関係を簡便に検出することができる。なお、ワークＷの外周の撮像は、カメラ４Ａによるものに限定されず、カメラ４Ｂ、４Ｃの何れであっても構わない。また、チャックテーブル２に対するワークＷの配置誤差を検出する方法は、上述したものに限定されるものではない。

＜外観検査＞
次に、ワーク外観検査装置１は、ワークＷの被加工面Ｗａに、スクラッチ、クラック、微細なパーティクル、面焼け又は異常な条痕等が存在するか否かを確認する外観検査を行う。

＜外周検査＞
判定部５２は、カメラ４Ａが撮像した撮像画像Ｉ１に基づいて、ワークＷの外周で生じがちなエッジチッピング等の有無を検査する。

例えば、判定部５２は、撮像画像Ｉ１のコントラスト比に基づいて、撮像画像Ｉ１にエッジチッピング等の欠陥の有無を検査し、ワークＷの外周において良否を判定する。これにより、配置誤差Δｒ、Δωの検出と並行して、ワークＷの外周検査を行うことができる。

なお、配置誤差Δｒ、Δωの検出と並行して短時間で行うワークＷの外周検査は、後述するワークＷの被加工面Ｗａ全面の検査に包含されるため、外観検査において必ずしも必須ではない。

＜全面検査＞
判定部５２は、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃが撮像した被加工面Ｗａ全面を映す撮像画像に基づいて、ワークＷ全周においてスクラッチ、クラック、微細なパーティクル、面焼け又は異常な条痕等の欠陥の有無を検査し、ワークＷの全面検査を行う。

具体的には、まず、コントローラ５が、誤差検出部５１が検出した配置誤差Δｒ、Δωに基づいて、ワークＷの被加工面Ｗａ全面を３台のカメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃが分担して撮像するために、図７に示すようなカメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃを走査させる走査経路Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃを設定する。

図７に示す走査経路Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃは、ワークＷの被加工面Ｗａを内包する正方形を３等分した区画内を、カメラ４Ａの撮像位置４ａ、カメラ４Ｂの撮像位置４ｂ及びカメラ４Ｃの撮像位置４ｃがＸ軸又はＹ軸に沿って直線的に隙間なく移動可能に平面から視て矩形状に設定されている。なお、撮像位置４ｂ、４ｃのサイズは、撮像位置４ａと同様に、例えば約２μｍ×約２０ｍｍに設定される。

次に、撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃが、走査経路Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃの開始位置に位置するように、第１のスライド機構２３及び第２のスライド機構４４を駆動して、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃを移動させる。図７では、走査経路Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃの開始位置は、Ｘ座標が正側で且つＹ座標が負側の隅部に設定されている。

次に、第１のスライド機構２３を駆動して、チャックテーブル２がＹ軸の負方向に移動すると、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃは、撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃがＹ軸の正方向に撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃの縦寸法の分だけ移動する度に撮像を行う。

カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃが走査経路Ｌａ、Ｌｂ、ＬｃのうちＹ軸の正側の折り返し位置まで到達すると、第２のスライド機構４４を駆動して、カメラステージ４３がＸ軸の負方向に移動する。これにより、撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃは、Ｘ軸の負方向に撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃの幅寸法の分だけ移動する。

続いて、第１のスライド機構２３を駆動して、チャックテーブル２がＹ軸の正方向に移動すると、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃは、撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃがＹ軸の負方向に撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃの縦寸法の分だけ移動する度に撮像を行う。

カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃが走査経路Ｌａ、Ｌｂ、ＬｃのうちＹ軸の負側の折り返し位置まで到達すると、第２のスライド機構４４を駆動して、カメラステージ４３がＸ軸の負方向に移動する。これにより、撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃは、Ｘ軸の負方向に撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃの幅寸法の分だけ移動する。

以下同様にして、撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃを走査経路Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃに沿って図７に破線で示す終了位置まで矩形状に走査させることにより、ワークＷの被加工面Ｗａ全面を撮像含む連続した複数の撮像座像を得ることができる。また、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの撮像中に第１のスライド機構２３が定速で移動することにより、露光時間が一定に維持されて、ワークＷ全面を一様な明るさで撮像することができる。

次に、判定部５２は、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃが撮像した被加工面Ｗａを映す複数の撮像画像に基づいて、ワークＷ全面の外観検査を行う。

例えば、判定部５２は、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃが撮像した複数の撮像画像を被加工面Ｗａを映す１枚の検査画像に合成し、この検査画像のコントラスト比に基づいて、ワークＷ全周においてスクラッチ、クラック、微細なパーティクル、面焼け又は異常な条痕等の欠陥の有無を検査し、ワークＷの被加工面Ｗａ全面において良否を判定する。

また、ワークＷの被加工面Ｗａに格子状のダイシングストリートが形成されたウェハ（フルカットされたウェハ）、ダイシングストリートに沿って溝が形成された先ダイシングウェハ（ハーフカットされたウェハ）、又は表面に形成された回路（ストリートパターン）が被加工面Ｗａから透けて視える極薄のワークＷ等の外観検査では、判定部５２は、ダイシングストリート、溝又はストリートパターン（以下、総称して「ダイシングストリート等」という）をクラックやスクラッチ等と誤判定するおそれがある。そこで、判定部５２は、ダイシングストリート等の検査をスキップするマスク処理を実行可能である。

マスク処理は、予め記憶されたダイシングストリート等の２次元座標及びＸ軸又はＹ軸に対するダイシングストリート等の角度（ゼロ度以上９０度未満）に基づいて、検査画像に映るダイシングストリート等を特定し、欠陥検査においてダイシングストリート等を検査範囲から除外するものである。なお、Ｘ軸又はＹ軸に対するダイシングストリート等の角度とは、平面から視て格子状のダイシングストリート等とX軸又はY軸とのなす角度である。

従来のような渦巻状に撮像した複数の撮像画像を合成して成る検査画面に対してマスク処理を施す場合、ダイシングストリート等の２次元座標を極座標変換した上で検査画面にダイシングストリート等の座標を当てはめなければならず、煩雑な画像処理が行う必要ある。

一方、上述したワーク外観検査装置１では、撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃがＸ軸又はＹ軸に沿って直線的に移動して撮像を行うため、検査画像内のダイシングストリート等を容易に特定でき、正確なマスク処理を実行することができる。

このようにして、上述した本実施形態に係るワーク外観検査装置１は、裏面加工後のワークＷの良否を判定するワーク外観検査装置１であって、ワークＷを載置するチャックテーブル２と、ワークＷの被加工面Ｗａを撮像するカメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃと、チャックテーブル２及びカメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させて、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃを平面から視て矩形状に走査する第１のスライド機構２３及び第２のスライド機構４４と、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃが撮像した複数の撮像画像に基づいて、ワークＷの良否を判定する判定部５２と、を備えている構成とした。

この構成により、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃがワークＷに対して矩形状に走査されて、ワークＷの被加工面Ｗａが撮像されるため、ワークＷの良否を正確に且つ効率良く判定することができる。

また、本実施形態に係るワーク外観検査装置１は、第１のスライド機構２３及び第２のスライド機構４４は、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃが被加工面Ｗａ全面を含むようにチャックテーブル２及びカメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの少なくとも一方を移動させる構成とした。

この構成により、撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃが被加工面Ｗａ全面を含むように走査されるため、ワークＷの良否を正確に判定することができる。

また、本実施形態に係るワーク外観検査装置１は、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃが、被加工面Ｗａ内の異なる範囲を同時に撮像する構成とした。

この構成により、短時間で被加工面Ｗａ全面を撮像可能なため、外観検査を効率良く行うことができる。

また、本実施形態に係るワーク外観検査方法は、裏面加工後のワークＷの良否を判定するワーク外観検査方法であって、ワークＷをチャックテーブル２に載置する工程と、チャックテーブル２及びカメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させて、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃを平面から視て矩形状に走査し、カメラ４Ａ、４Ｂ、４ＣがワークＷの被加工面Ｗａを撮像する工程と、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃが撮像した複数の撮像画像に基づいて、ワークＷの良否を判定する工程と、を含む構成とした。

この構成により、カメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃがワークＷに対して矩形状に走査されて、ワークＷの被加工面Ｗａが撮像されるため、ワークＷの良否を正確に且つ効率良く判定することができる。

また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り、上記以外にも種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

上述した実施形態では、研削後のワークＷの良否を判定する場合を例に説明したが、研磨後のワークＷの良否を判定する場合にも適用可能である。

例えば、上述した実施形態では、第１のスライド機構２３及び第２のスライド機構４４が協働してカメラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃを走査させる場合を例示したが、第１のスライド機構２３又は第２のスライド機構４４の何れか一方が撮像位置４ａ、４ｂ、４ｃをＸ軸又はＹ軸に走査可能に構成された場合には、他方は省略しても構わない。

１ ：外観検査装置
２ ：チャックテーブル
２１：チャックスピンドル
２２：チャックステージ
２３：第１のスライド機構（第１の駆動機構）
３ ：基台
３１：コラム
４、４Ａ、４Ｂ、４Ｃ：カメラ（撮像部）
４ａ、４ｂ、４ｃ：撮像位置
４１：ラインスキャンカメラ
４２：コリメートレンズ
４３：カメラステージ
４４：第２のスライド機構（第２の駆動機構）
５ ：コントローラ
５１：誤差検出部
５２：判定部
Ｎ ：ノッチ
Ｏ１：（チャックテーブルの）回転中心
Ｏ２：（ワークの）中心
Ｗ ：ワーク

Claims (7)

1. 裏面加工後のワークの良否を判定するワーク外観検査装置であって、
   前記ワークを載置するチャックテーブルと、
   前記ワークの被加工面を撮像する撮像部と、
   前記チャックテーブル及び前記撮像部の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させて、前記撮像部の撮像位置を平面から視て矩形状に走査する駆動機構と、
   前記撮像部が撮像した複数の撮像画像に基づいて、前記ワークの良否を判定する判定部と、
   を備えていることを特徴とするワーク外観検査装置。
2. 前記駆動機構は、前記撮像部の撮像位置が前記被加工面全面を含むように前記撮像部を走査することを特徴とする請求項１に記載のワーク外観検査装置。
3. 前記駆動機構は、
   前記チャックテーブルを第１の方向に移動させる第１の駆動機構と、
   前記撮像部を前記第１の方向と直交する第２の方向に移動させる第２の駆動機構と、
   であることを特徴とする請求項１に記載のワーク外観検査装置。
4. 前記ワークは、前記ワークに形成された格子状のダイシングストリートが前記第１の方向及び前記第２の方向に対して平行又は傾斜して前記チャックテーブル上に載置されていることを特徴とする請求項３に記載のワーク外観検査装置。
5. 前記ワークは、前記ダイシングストリートに沿って溝が形成されていることを特徴とする請求項４に記載のワーク外観検査装置。
6. 前記撮像部は、複数設けられて、
   複数の前記撮像部は、前記被加工面内の異なる範囲を同時に撮像することを特徴とする請求項１に記載のワーク外観検査装置。
7. 裏面加工後のワークの良否を判定するワーク外観検査方法であって、
   前記ワークをチャックテーブルに載置する工程と、
   前記チャックテーブル及び撮像部の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させて、前記撮像部の撮像位置を平面から視て矩形状に走査し、前記撮像部が前記ワークの被加工面を撮像する工程と、
   前記撮像部が撮像した複数の撮像画像に基づいて、前記ワークの良否を判定する工程と、
   を含むことを特徴とするワーク外観検査方法。

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