JP2024142599A

JP2024142599A - Thermally conductive sheet

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Publication number: JP2024142599A
Application number: JP2023054806A
Authority: JP
Inventors: 憲太郎荒; Kentaro Ara; 寛樹内藤; Hiroki Naito; 祐希細川; Yuki Hosokawa
Original assignee: Bando Chemical Industries Ltd
Current assignee: Bando Chemical Industries Ltd
Priority date: 2023-03-30
Filing date: 2023-03-30
Publication date: 2024-10-11

Abstract

To provide a thermally conductive sheet having reworkability.SOLUTION: A thermally conductive sheet comprises: a sheet body made of a resin composition containing a resin and a first thermally conductive filler; and a plurality of protrusions which have an adhesive property, provided on one side or both sides of the sheet body, wherein the protrusion contains a second thermally conductive filler.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、熱伝導性シートに関する。 The present invention relates to a thermally conductive sheet.

ＩＣチップ等の発熱部材には、通常、熱伝導材（ＴＩＭ：ＴｈｅｒｍａｌＩｎｔｅｒｆａｃｅＭａｔｅｒｉａｌ）を介してヒートシンク等の放熱部材が取り付けられ、発熱部材で発生した熱は、上記熱伝導材を介して放熱部材に伝導される。 A heat-generating component such as an IC chip is usually attached to a heat-dissipating component such as a heat sink via a thermal interface material (TIM), and the heat generated by the heat-generating component is conducted to the heat-dissipating component via the thermal interface material.

上記熱伝導材として、例えば、樹脂マトリックス中に、熱伝導性フィラーが配合された熱伝導性シートが提案されている。
また、上記熱伝導性シートとして、発熱部材に貼り付けて使用するために、熱伝導性シートの片面側に、粘着剤層が設けられたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。 As the above-mentioned thermally conductive material, for example, a thermally conductive sheet in which a thermally conductive filler is mixed in a resin matrix has been proposed.
Furthermore, as the above-mentioned thermally conductive sheet, one having an adhesive layer provided on one side thereof so that it can be attached to a heat-generating component has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

国際公開第２０１４／１０３３２７号International Publication No. 2014/103327

上記熱伝導性シートは、形状等を損なうことなく、剥離紙等からはく離できる性能（以下、本明細書においては、はく離性ともいう）ことが求められている。また、発熱部材に一旦貼り付けた後、発熱部材から剥がして、再度、貼り付け直すことができる性能（以下、本明細書においては、リワーク性ともいう）が求められることがある。リワーク性を有する熱伝導性シートは、貼り損ねたり、貼り間違えたりしても、破棄することなく、再度、貼り直すことができる。
一方、熱伝導性シートの片面側全体に粘着層が設けられた熱伝導性シートは、発熱部材に一旦貼り付けた後、発熱部材から剥がして、再度、貼り付け直そうとすると、熱伝導性シートが伸長したり、更には、熱伝導性シートが破損したりすることがあり、リワーク性を確保することが容易ではなかった。 The thermally conductive sheet is required to have the ability to be peeled off from the release paper without losing its shape (hereinafter, also referred to as peelability in this specification). In addition, the thermally conductive sheet may be required to have the ability to be peeled off from the heat-generating member and re-applied after being applied to the heat-generating member (hereinafter, also referred to as reworkability in this specification). A thermally conductive sheet having reworkability can be re-applied without being discarded even if it is applied incorrectly or incorrectly.
On the other hand, when a thermally conductive sheet having an adhesive layer provided over the entirety of one side of the sheet is attached to a heat-generating component, if the sheet is peeled off from the heat-generating component and then reattached, the thermally conductive sheet may stretch or even be damaged, making it difficult to ensure reworkability.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものである。本発明の目的は、リワーク性を有する熱伝導性シートを提供することにある。 The present invention was made in consideration of these circumstances. The object of the present invention is to provide a thermally conductive sheet that has reworkability.

（１）本発明の熱伝導性シートは、樹脂と第１の熱伝導性フィラーとを含有する樹脂組成物からなるシート本体と、
上記シート本体の片面又は両面に設けられた、粘着性を有する複数の凸部と、を有し、
上記凸部は、第２の熱伝導性フィラーを含有する。 (1) The thermally conductive sheet of the present invention comprises a sheet body made of a resin composition containing a resin and a first thermally conductive filler;
A plurality of protrusions having adhesive properties are provided on one or both sides of the sheet body,
The protrusions contain a second thermally conductive filler.

上記熱伝導性シートは、シート本体に粘着性を有する複数の凸部が設けられているため、良好なリワーク性を有する。 The thermally conductive sheet has good reworkability because the sheet body has multiple adhesive protrusions.

（２）上記（１）の熱伝導性シートは、上記シート本体の上記凸部が設けられた面において、上記凸部が上記シート本体の面全体の１２．４％以上７６．２％以下の領域に設けられている、ことが好ましい。
この場合、上記熱伝導性シートは、熱伝導性を維持しつつ、熱伝導性シートを貼り付けるための粘着力を確保するのに適している。 (2) In the thermally conductive sheet of (1) above, it is preferable that on the surface of the sheet body on which the protrusions are provided, the protrusions are provided over an area of 12.4% or more and 76.2% or less of the entire surface of the sheet body.
In this case, the thermally conductive sheet is suitable for ensuring adhesive strength for attaching the thermally conductive sheet while maintaining thermal conductivity.

（３）上記（１）又は（２）の熱伝導性シートにおいて、上記凸部は、シリコーンと第２の熱伝導性フィラーとを含有する樹脂組成物からなる、ことが好ましい。
（４）上記（３）の熱伝導性シートにおいて、上記第２の熱伝導性フィラーは、酸化アルミニウム粒子である、ことが好ましい。
（５）上記（３）又は（４）の熱伝導性シートにおいて、上記第２の熱伝導性フィラーの含有量は、上記シリコーン１００重量部に対して、２００重量部以上４００重量部以下である、ことが好ましい。
これらの場合、上記熱伝導性シートは、熱伝導性を維持したまま、粘着性を確保するのに適している。 (3) In the thermally conductive sheet of (1) or (2) above, the protrusions are preferably made of a resin composition containing silicone and a second thermally conductive filler.
(4) In the thermally conductive sheet of (3) above, the second thermally conductive filler is preferably aluminum oxide particles.
(5) In the thermally conductive sheet of (3) or (4) above, the content of the second thermally conductive filler is preferably 200 parts by weight or more and 400 parts by weight or less per 100 parts by weight of the silicone.
In these cases, the thermally conductive sheet is suitable for ensuring adhesiveness while maintaining thermal conductivity.

（６）上記（１）～（５）のいずれかの熱伝導性シートにおいて、上記凸部の形状は、柱状であり、上記凸部は、上面の最大径が０．５～２ｍｍで、高さが１０～３０μｍである、ことが好ましい。
この場合、上記熱伝導性シートは、粘着性とリワーク性の両立に適している。 (6) In the thermally conductive sheet of any of (1) to (5) above, it is preferable that the shape of the protrusions is columnar, and the maximum diameter of the upper surface of the protrusions is 0.5 to 2 mm, and the height is 10 to 30 μm.
In this case, the thermally conductive sheet is suitable for achieving both adhesiveness and reworkability.

（７）上記（１）～（６）のいずれかの熱伝導性シートにおいて、
上記第１の熱伝導性フィラーは、異方性の有するフィラーであり、
上記第１の熱伝導性フィラーは、上記シート本体の厚さ方向に配向している、ことが好ましい。
このような構成の熱伝導性シートは、面方向に引っ張られた際に破損しやすいため、凸部を設けることによってリワーク性を確保する熱伝導性シートとして適している。 (7) In any one of the thermally conductive sheets (1) to (6),
The first thermally conductive filler is an anisotropic filler,
The first thermally conductive filler is preferably oriented in the thickness direction of the sheet body.
A thermally conductive sheet having such a configuration is easily damaged when pulled in the planar direction, and therefore is suitable as a thermally conductive sheet that ensures reworkability by providing protrusions.

本発明の熱伝導性シートは、良好なリワーク性を有する。 The thermally conductive sheet of the present invention has good reworkability.

本発明の実施形態に係る熱伝導性シートを介してヒートシンクが取り付けられた発熱部材を模式的に示す断面図である。1 is a cross-sectional view showing a heat-generating component to which a heat sink is attached via a thermally conductive sheet according to an embodiment of the present invention. （ａ）は本発明の実施形態に係る熱伝導性シートの一例を模式的に示す斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ－Ａ線断面における部分拡大端面図である。FIG. 1A is a perspective view showing a schematic diagram of an example of a thermally conductive sheet according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a partially enlarged end view of the cross section taken along line AA of FIG. 本発明の実施形態に係る熱伝導性シートを発熱部材に密着させる際の変形の様子を示す図である。4A to 4C are diagrams illustrating deformation of a thermally conductive sheet according to an embodiment of the present invention when the thermally conductive sheet is brought into close contact with a heat-generating component. 本発明の実施形態に係る熱伝導性シートを発熱部材から引き剥がす際の変形の様子を示す図である。4A to 4C are diagrams showing deformation when the thermally conductive sheet according to the embodiment of the present invention is peeled off from a heat-generating component. 本発明の実施形態に係るシート本体の製造で使用する押出機の先端部分及びＴダイの断面概略図を示す。1 is a schematic cross-sectional view of a tip portion of an extruder and a T-die used in the production of a sheet body according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るシート本体の製造方法の別の一例を説明する図である。6A to 6C are diagrams illustrating another example of the method for manufacturing a sheet body according to an embodiment of the present invention. 実施例１で使用したスクリーン印刷用のパターンの一部を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a part of a screen printing pattern used in Example 1.

以下、本発明の実施形態について説明する。本発明の実施形態は、下記の実施形態に限定されるものではない。 The following describes an embodiment of the present invention. The embodiment of the present invention is not limited to the following embodiment.

（第１実施形態）
本実施形態に係る熱伝導性シートは、ＩＣチップ等の発熱部材とヒートシンクとの間に設けられる部材である。
図１は、本実施形態に係る熱伝導性シートを介してヒートシンクが取り付けられた発熱部材を模式的に示す断面図である。図２は、（ａ）が本発明の実施形態に係る熱伝導性シートの一例を模式的に示す斜視図であり、（ｂ）が（ａ）のＡ－Ａ線断面における部分拡大端面図である。
なお、本願図面において、図１～７はいずれも模式図であり、各部材の実寸法を正確に反映したものではない。 First Embodiment
The thermally conductive sheet according to this embodiment is a member provided between a heat generating component such as an IC chip and a heat sink.
Fig. 1 is a cross-sectional view showing a heat-generating member to which a heat sink is attached via a thermally conductive sheet according to the present embodiment. Fig. 2 is a perspective view showing an example of a thermally conductive sheet according to an embodiment of the present invention, in which (a) is a schematic perspective view, and (b) is a partially enlarged end view of the cross section taken along line A-A in (a).
In the drawings of the present application, FIGS. 1 to 7 are all schematic diagrams and do not accurately reflect the actual dimensions of each member.

熱伝導性シート１０は、図１に示すように、ＩＣチップ等の発熱部材１とヒートシンク２との間に配置される。熱伝導性シート１０は、一方の面を発熱部材１に接触させ、他方の面をヒートシンク２に接触させて使用する。これにより、ヒートシンク２は熱伝導性シート１０を介して発熱部材１に取り付けられる。そのため、発熱部材１が発する熱はヒートシンク２によって筐体（図示せず）の外部へ放熱される。 As shown in FIG. 1, the thermally conductive sheet 10 is placed between a heat generating component 1, such as an IC chip, and a heat sink 2. The thermally conductive sheet 10 is used by contacting one side with the heat generating component 1 and the other side with the heat sink 2. In this way, the heat sink 2 is attached to the heat generating component 1 via the thermally conductive sheet 10. Therefore, the heat generated by the heat generating component 1 is dissipated by the heat sink 2 to the outside of the housing (not shown).

熱伝導性シート１０は、図２（ａ）及び（ｂ）に示されるように、平板状のシート本体１１と、シート本体１１の片面に設けられた複数の凸部１２とを有する。各凸部１２の形状は、円柱状である。
凸部１２は粘着性を有する。そのため、熱伝導性シート１０は、ＩＣチップ等の発熱部材１に貼り付けて使用するのに適している。 2(a) and 2(b), the thermally conductive sheet 10 has a flat sheet body 11 and a plurality of protrusions 12 provided on one side of the sheet body 11. Each of the protrusions 12 has a cylindrical shape.
The protrusions 12 have adhesive properties, so that the thermally conductive sheet 10 is suitable for use by being attached to a heat generating component 1 such as an IC chip.

シート本体１１は、第１のマトリックス成分１３と、第１の熱伝導性フィラー１４とを含有する。シート本体１１では、熱伝導性フィラー以外の成分をまとめてマトリックス成分と称する。 The sheet body 11 contains a first matrix component 13 and a first thermally conductive filler 14. In the sheet body 11, the components other than the thermally conductive filler are collectively referred to as the matrix components.

マトリックス成分１３は、少なくとも樹脂（ゴムを含む）を含有する。上記樹脂としては、例えば、シリコーンが挙げられる。本明細書において、シリコーンとは、シロキサン結合による主骨格を有する高分子化合物である。
本実施形態において、上記シリコーンは、シリコーンの架橋物（以下、架橋シリコーンともいう）でもよいし、未架橋シリコーンでもよいし、架橋シリコーンと未架橋シリコーンとの混合物でもよい。
マトリックス成分１３に含まれるシリコーンは、シート本体の柔軟性を確保しやすい観点から未架橋のシリコーンを主成分とすることが好ましい。
ここで、未架橋のシリコーンを主成分とするとは、シリコーン全体に占める未架橋のシリコーンの割合が５０質量％以上であることを意味する。 The matrix component 13 contains at least a resin (including rubber). An example of the resin is silicone. In this specification, silicone is a polymer compound having a main skeleton formed by siloxane bonds.
In this embodiment, the silicone may be a cross-linked product of silicone (hereinafter also referred to as cross-linked silicone), may be an uncross-linked silicone, or may be a mixture of a cross-linked silicone and an uncross-linked silicone.
The silicone contained in the matrix component 13 is preferably mainly composed of uncrosslinked silicone, from the viewpoint of easily ensuring the flexibility of the sheet body.
Here, containing uncrosslinked silicone as a main component means that the proportion of uncrosslinked silicone in the total silicone is 50 mass % or more.

上記未架橋のシリコーンとしては、側鎖が全てメチル基で不飽和基を含まないシリコーンであるポリジメチルシロキサンが好ましい。
上記ポリジメチルシロキサンは、反応性が乏しく、安定性に優れたポリマーである。そのため、シート本体の柔軟性を良好にするのに適している。 The above-mentioned uncrosslinked silicone is preferably polydimethylsiloxane, which is a silicone in which all side chains are methyl groups and which does not contain unsaturated groups.
The polydimethylsiloxane is a polymer that has low reactivity and excellent stability, and is therefore suitable for improving the flexibility of the sheet body.

上記ポリジメチルシロキサンは、オイルであってもよいし、ミラブルタイプであってもよいが、ミラブルタイプのポリジメチルシロキサンが好ましい。後述の方法によってシート本体１１を製造する際の成形性が良好だからである。 The polydimethylsiloxane may be oil or millable type, but millable type polydimethylsiloxane is preferred because it has good moldability when manufacturing the sheet body 11 by the method described below.

上記ポリジメチルシロキサンの分子量は、質量平均分子量ＭＷとして、６万以上７０万以下であることが好ましい。
上記ポリジメチルシロキサンの質量平均分子量ＭＷが６万未満では、シート本体１１からポリジメチルシロキサンがブリードしやすくなる。一方、ポリジメチルシロキサンの質量平均分子量ＭＷが７０万を超えると、シート本体１１を製造する際の成形性や加工性に劣る傾向にある。 The molecular weight of the polydimethylsiloxane is preferably 60,000 or more and 700,000 or less in terms of mass average molecular weight MW.
When the mass average molecular weight MW of the polydimethylsiloxane is less than 60,000, the polydimethylsiloxane tends to bleed out from the sheet body 11. On the other hand, when the mass average molecular weight MW of the polydimethylsiloxane exceeds 700,000, the moldability and processability during production of the sheet body 11 tend to be poor.

本発明においてポリジメチルシロキサンの質量平均分子量ＭＷは、ＪＩＳ－Ｋ７２５２－１：２００８年「プラスチック－サイズ排除クロマトグラフィーによる高分子の平均分子量及び分子量分布の求め方－第１部：通則」に準拠し、ポリスチレンを標準物質とするゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて測定した質量平均分子量である。 In the present invention, the mass average molecular weight MW of polydimethylsiloxane is the mass average molecular weight measured using gel permeation chromatography (GPC) with polystyrene as the standard substance in accordance with JIS-K7252-1:2008 "Plastics - Determination of average molecular weight and molecular weight distribution of polymers by size exclusion chromatography - Part 1: General rules."

上記ポリジメチルシロキサンの動粘度は、ウッベローデ粘度計で測定した２５℃の動粘度で、１００ｃｐｓ以上１０００００ｃｐｓ以下が好ましい。
上記動粘度が１００ｃｐｓ未満では、ポリジメチルシロキサンがシート本体１１からブリードし易くなる。一方、上記動粘度が１０００００ｃｐｓを超えると、シート本体１１の硬度が高くなり、発熱部材とヒートシンクとの間に配置した際に、発熱部材やヒートシンクとの接触面における密着性や追従性に劣る場合がある。 The kinetic viscosity of the polydimethylsiloxane is preferably 100 cps or more and 100,000 cps or less at 25° C. as measured with an Ubbelohde viscometer.
If the kinetic viscosity is less than 100 cps, polydimethylsiloxane will easily bleed from the sheet body 11. On the other hand, if the kinetic viscosity is more than 100,000 cps, the hardness of the sheet body 11 will be high, and when the sheet is disposed between a heat-generating member and a heat sink, the contact surface with the heat-generating member or the heat sink may be poor in adhesion and conformability.

上記架橋シリコーンは、過酸化物による架橋物でもよいし、付加反応型架橋による架橋物でもよい。上記架橋シリコーンは、シート本体の耐熱性確保に適している点から、過酸化物による架橋物が好ましい。 The crosslinked silicone may be a product crosslinked by peroxide or a product crosslinked by addition reaction type crosslinking. The crosslinked silicone is preferably a product crosslinked by peroxide, since it is suitable for ensuring the heat resistance of the sheet body.

上記架橋シリコーンとしては、例えば、側鎖（末端も含む）の一部にビニル基等の架橋性官能基を有するシリコーンを架橋させたものが挙げられる。
マトリックス成分１３は、ビニル基等の架橋性官能基を有するシリコーンが、未架橋の状態で含まれていてもよい。 The crosslinked silicone may be, for example, a crosslinked silicone having a crosslinkable functional group such as a vinyl group in part of the side chain (including the terminal).
The matrix component 13 may contain silicone having a crosslinkable functional group such as a vinyl group in an uncrosslinked state.

マトリックス成分１３は、シート本体１１の要求特性を損なわない範囲で、他のエラストマー成分等を含有していてもよい。 The matrix component 13 may contain other elastomer components, etc., to the extent that the required properties of the sheet body 11 are not impaired.

マトリックス成分１３は、難燃剤、補強剤、充填剤、軟化剤、可塑剤、老化防止剤、粘着付与剤、帯電防止剤、練り込み接着剤、カップリング剤等の一般的な添加剤を含有していてもよい。
上記難燃剤としては、例えば、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、白金系化合物、トリアゾール系化合物、べんがら、黒鉄などの酸化鉄等が挙げられる。これらは、単独で用いてもよいし、２種以上併用してもよい。 The matrix component 13 may contain general additives such as a flame retardant, a reinforcing agent, a filler, a softener, a plasticizer, an antioxidant, a tackifier, an antistatic agent, a kneading adhesive, and a coupling agent.
Examples of the flame retardant include magnesium hydroxide, aluminum hydroxide, platinum compounds, triazole compounds, iron oxides such as red iron oxide and black iron oxide, etc. These may be used alone or in combination of two or more kinds.

シート本体１１は、熱伝導性フィラー１４を含有する。
シート本体１１は、熱伝導性フィラー１４として、異方性の熱伝導性フィラー（以下、異方性フィラーともいう）と、非異方性の熱伝導性フィラー（以下、非異方性フィラーともいう）とを含有する。
そのため、異方性フィラーがシート本体１１の厚さ方向に配向しやすく、高い熱伝導性を確保しやすい。また、熱伝導性能を確保しつつ柔軟なシートを提供しやすい。 The sheet body 11 contains a thermally conductive filler 14 .
The sheet body 11 contains, as the thermally conductive filler 14, an anisotropic thermally conductive filler (hereinafter also referred to as an anisotropic filler) and a non-anisotropic thermally conductive filler (hereinafter also referred to as a non-anisotropic filler).
Therefore, the anisotropic filler is easily oriented in the thickness direction of the sheet body 11, and high thermal conductivity is easily ensured. In addition, it is easy to provide a flexible sheet while ensuring thermal conductivity.

熱伝導性フィラーにおいて、異方性フィラーとは、アスペクト比が２．０以上のフィラーをいい、非異方性フィラーとは、アスペクト比が２．０未満のフィラーをいう。
上記熱伝導性フィラーのアスペクト比とは、フィラーの短径に対するフィラーの長径の比、及び、フィラーの厚みに対するフィラーの長径の比のうち、大きい方の値をいう。
上述の長径、短径、厚みは、それぞれフィラーの外接直方体の縦、横、高さに相当する。 In the thermally conductive filler, an anisotropic filler refers to a filler having an aspect ratio of 2.0 or more, and a non-anisotropic filler refers to a filler having an aspect ratio of less than 2.0.
The aspect ratio of the thermally conductive filler refers to the larger of the ratio of the major axis of the filler to the minor axis of the filler and the ratio of the major axis of the filler to the thickness of the filler.
The above-mentioned major axis, minor axis, and thickness correspond to the length, width, and height, respectively, of the circumscribed rectangular parallelepiped of the filler.

上記異方性フィラーには、繊維状のフィラー、鱗片状のフィラー、板状のフィラー、薄片状のフィラー等が含まれる。
上記異方性フィラーのアスペクト比は５．０以上が好ましい。
上記非異方性フィラーには、球状のフィラーや、不定形のフィラー等が含まれる。 The anisotropic filler includes fibrous filler, scaly filler, plate-like filler, thin flake filler, and the like.
The aspect ratio of the anisotropic filler is preferably 5.0 or more.
The non-anisotropic filler includes spherical fillers, irregular fillers, and the like.

本実施形態における熱伝導性フィラー１４は、具体的には、異方性フィラーである炭素繊維１４Ａ、並びに、非異方性フィラーであるアルミナ粒子１４Ｂ、及び酸化亜鉛粒子１４Ｃである。
シート本体１１において、炭素繊維１４Ａは厚さ方向に配向している。
なお、シート本体１１は、ほぼ厚さ方向にウェルドラインが形成されることもある。 The thermally conductive filler 14 in this embodiment is specifically composed of carbon fibers 14A, which are anisotropic fillers, and alumina particles 14B and zinc oxide particles 14C, which are non-anisotropic fillers.
In the sheet body 11, the carbon fibers 14A are oriented in the thickness direction.
In addition, in the sheet body 11, a weld line may be formed substantially in the thickness direction.

炭素繊維１４Ａの繊維長は、２０μｍ以上が好ましい。上記繊維長が２０μｍ未満では、熱伝導パスが形成しにくく、シート本体１１の熱伝導性に劣る場合がある。
一方、炭素繊維１４Ａの繊維長の好ましい上限は、炭素繊維のシート本体１１への充填し易さの観点から５００μｍである。
炭素繊維１４Ａの繊維長は、５０μｍ以上３００μｍ以下がより好ましい。 The fiber length of the carbon fibers 14A is preferably 20 μm or more. If the fiber length is less than 20 μm, it is difficult to form a heat conduction path, and the heat conductivity of the sheet body 11 may be poor.
On the other hand, a preferable upper limit of the fiber length of the carbon fibers 14A is 500 μm from the viewpoint of ease of filling the sheet body 11 with the carbon fibers.
The fiber length of the carbon fibers 14A is more preferably 50 μm or more and 300 μm or less.

炭素繊維１４Ａの繊維径は、５μｍ以上が好ましい。上記繊維径が５μｍ未満では、熱伝導パスが形成されにくく、シート本体１１の熱伝導性に劣る場合がある。
炭素繊維１４Ａの繊維径の好ましい上限は、シート本体１１を作製する際の加工性の観点から２０μｍである。 The fiber diameter of the carbon fibers 14A is preferably 5 μm or more. If the fiber diameter is less than 5 μm, a heat conduction path is difficult to form, and the heat conductivity of the sheet body 11 may be poor.
A preferred upper limit of the fiber diameter of the carbon fibers 14A is 20 μm from the viewpoint of processability when the sheet body 11 is produced.

本発明の実施形態において、炭素繊維１４Ａ等の繊維状のフィラーの「繊維長」とは、繊維状のフィラーの顕微鏡画像を用いて求めた繊維方向の長さの算術平均値をいう。
炭素繊維１４Ａ等の繊維状のフィラーの「繊維径」とは、繊維状のフィラーの顕微鏡画像を用いて求めた径方向の寸法の算術平均値をいう。
上記繊維長及び上記繊維径は、繊維状のフィラーの顕微鏡画像を取得した後、その画像から無作為に２０本の繊維状のフィラーを選択し、選択した繊維状のフィラーの繊維方向の長さ及び径方向の寸法を測定し、その測定結果に基づいて求められる。 In the embodiment of the present invention, the "fiber length" of a fibrous filler such as the carbon fiber 14A refers to the arithmetic average value of the length in the fiber direction obtained using a microscope image of the fibrous filler.
The "fiber diameter" of a fibrous filler such as the carbon fiber 14A refers to the arithmetic average value of the radial dimension determined using a microscope image of the fibrous filler.
The fiber length and fiber diameter are determined by obtaining a microscopic image of the fibrous filler, randomly selecting 20 fibrous fillers from the image, measuring the length in the fiber direction and the dimensions in the radial direction of the selected fibrous fillers, and then based on the measurement results.

アルミナ粒子１４Ｂ、及び酸化亜鉛粒子１４Ｃの形状は、球状が好ましい。
この場合、シート本体１１に充填し易く、また、粒子が製造装置の構成部材にダメージを与えにくい。 The alumina particles 14B and zinc oxide particles 14C are preferably spherical in shape.
In this case, the particles are easily filled into the sheet body 11, and the particles are less likely to damage components of the manufacturing equipment.

アルミナ粒子１４Ｂの粒径は、１μｍ以上１０μｍ以下が好ましい。アルミナ粒子１４Ｂの粒径が１μｍ未満では、熱伝導パスが形成されにくい。一方、アルミナ粒子１４Ｂの粒径が１０μｍを超えると、炭素繊維１４Ａの配向を阻害しやすくなる。また、アルミナ粒子１４Ｂが製造装置の鋼製部材にダメージを与えやすくなる。 The particle size of the alumina particles 14B is preferably 1 μm or more and 10 μm or less. If the particle size of the alumina particles 14B is less than 1 μm, it is difficult to form a heat conduction path. On the other hand, if the particle size of the alumina particles 14B exceeds 10 μm, the orientation of the carbon fibers 14A is easily hindered. In addition, the alumina particles 14B are more likely to damage the steel components of the manufacturing equipment.

酸化亜鉛粒子１４Ｃの粒径は、０．１μｍ以上１０μｍ以下が好ましい。酸化亜鉛粒子１４Ｃの粒径が０．１μｍ未満では、熱伝導パスが形成されにくい。一方、酸化亜鉛粒子１４Ｃの粒径が１０μｍを超えると、炭素繊維１４Ａの配向を阻害しやすくなる。また、酸化亜鉛粒子１４Ｃが製造装置の鋼製部材にダメージを与えやすくなる。 The particle size of the zinc oxide particles 14C is preferably 0.1 μm or more and 10 μm or less. If the particle size of the zinc oxide particles 14C is less than 0.1 μm, it is difficult to form a heat conduction path. On the other hand, if the particle size of the zinc oxide particles 14C exceeds 10 μm, the orientation of the carbon fibers 14A is easily hindered. In addition, the zinc oxide particles 14C are more likely to damage the steel components of the manufacturing equipment.

本発明の実施形態において、繊維状のフィラー以外の熱伝導性フィラーの粒径とは、レーザ回折・散乱法を用いて測定したメジアン径（ｄ５０）の値をいう。 In an embodiment of the present invention, the particle size of a thermally conductive filler other than a fibrous filler refers to the median diameter (d50) measured using a laser diffraction/scattering method.

シート本体１１における熱伝導性フィラー１４の合計含有量は、５０体積％以上８０体積％以下が好ましい。
上記合計含有量が５０体積％未満では、充分な熱伝導性を確保できないことがある。一方、上記合計含有量が８０体積％を超えると、柔軟性が損なわれる。また、シート本体１１を作製する際の加工が困難になることがある。
上記合計含有量は、５５体積％以上７７体積％以下が好ましい。良好な柔軟性と熱伝導性とを両立するのにより適している。 The total content of the thermally conductive filler 14 in the sheet body 11 is preferably 50 volume % or more and 80 volume % or less.
If the total content is less than 50% by volume, sufficient thermal conductivity may not be ensured. On the other hand, if the total content is more than 80% by volume, flexibility may be impaired. In addition, processing may become difficult when producing the sheet body 11.
The total content is preferably 55% by volume or more and 77% by volume or less, which is more suitable for achieving both good flexibility and thermal conductivity.

シート本体１１の厚さは特に限定されないが、例えば、０．０５ｍｍ以上３．０ｍｍ以下である。この場合、シート本体１１を備える熱伝導性シート１０は、発熱部材１とヒートシンク２との間で熱を効率良く伝達する部材として好適に使用することができる。
シート本体１１の厚さは、０．０５ｍｍ以上２．５ｍｍ以下が好ましい。 The thickness of the sheet body 11 is not particularly limited, but is, for example, 0.05 mm or more and 3.0 mm or less. In this case, the thermally conductive sheet 10 including the sheet body 11 can be suitably used as a member that efficiently transfers heat between the heat generating member 1 and the heat sink 2.
The thickness of the sheet body 11 is preferably 0.05 mm or more and 2.5 mm or less.

シート本体１１の平面視形状は、例えば、矩形である。
この場合、シート本体１１の縦寸法及び横寸法は、ＩＣチップ等の熱伝導性シート１０を貼り付ける発熱部材１の寸法を考慮して決定すればよい。
シート本体１１の平面視形状は、矩形に限定されず、円形や楕円形など、矩形以外の形状であってもよい。この際もＩＣチップ等の熱伝導性シート１０を貼り付ける発熱部材１の寸法を考慮して決定すればよい。 The shape of the sheet body 11 in a plan view is, for example, rectangular.
In this case, the vertical and horizontal dimensions of the sheet body 11 may be determined taking into consideration the dimensions of the heat generating member 1, such as an IC chip, to which the thermally conductive sheet 10 is attached.
The planar shape of the sheet body 11 is not limited to a rectangle, and may be a shape other than a rectangle, such as a circle or an ellipse. In this case, too, the shape may be determined taking into consideration the dimensions of the heat generating member 1 to which the thermal conductive sheet 10, such as an IC chip, is attached.

熱伝導性シート１０は、凸部１２を有する。
凸部１２は、第２のマトリックス成分１５と、第２の熱伝導性フィラー１６とを含有する。凸部１２では、熱伝導性フィラー以外の成分をまとめてマトリックス成分と称する。
凸部１２は粘着性を有する。そのため、第２のマトリックス成分１５は、粘着性を有する樹脂成分を含有する。粘着性を有する樹脂成分の具体例としては、例えば、架橋シリコーンが挙げられる。 The thermally conductive sheet 10 has protrusions 12 .
The protrusions 12 contain a second matrix component 15 and a second thermally conductive filler 16. In the protrusions 12, the components other than the thermally conductive filler are collectively referred to as matrix components.
The protrusions 12 have adhesive properties. Therefore, the second matrix component 15 contains an adhesive resin component. A specific example of the adhesive resin component is crosslinked silicone.

マトリックス成分１５を構成する粘着性を有する樹脂成分は、架橋シリコーンに限定されず、例えば、未架橋シリコーン、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂等が挙げられる。
これらの粘着性を有する樹脂成分は、２種類以上を併用してもよい。 The adhesive resin component constituting the matrix component 15 is not limited to crosslinked silicone, but may be, for example, uncrosslinked silicone, epoxy resin, phenol resin, polyimide resin, unsaturated polyester resin, diallyl phthalate resin, or the like.
These adhesive resin components may be used in combination of two or more kinds.

熱伝導性シート１０は、シート本体１１のマトリックス成分が樹脂成分としてシリコーンを主成分とし、かつ凸部１２のマトリックス成分もシリコーンを主成分とすることが好ましい。
この場合、シート本体１１と凸部１２との親和性が高く、例えば、熱伝導性シート１０をリワークする際に、シート本体１から凸部１２が外れてしまうことを避けるのに適している。
ここで、樹脂成分としてシリコーンを主成分とするとは、樹脂成分中に含まれるシリコーンが５０質量％以上であることを意味する。 In the thermally conductive sheet 10, the matrix component of the sheet body 11 contains silicone as a resin component as a main component, and the matrix component of the projections 12 also preferably contains silicone as a main component.
In this case, the affinity between the sheet body 11 and the protrusions 12 is high, which is suitable for preventing the protrusions 12 from coming off the sheet body 1 when, for example, the thermally conductive sheet 10 is reworked.
Here, the resin component containing silicone as a main component means that the silicone content in the resin component is 50 mass % or more.

マトリックス成分１５は、難燃剤、補強剤、充填剤、軟化剤、可塑剤、老化防止剤、粘着付与剤、帯電防止剤、練り込み接着剤、カップリング剤等の一般的な添加剤を含有していてもよい。 The matrix component 15 may contain common additives such as flame retardants, reinforcing agents, fillers, softeners, plasticizers, antioxidants, tackifiers, antistatic agents, kneading adhesives, and coupling agents.

第２の熱伝導性フィラー１６としては、例えば、アルミナ（酸化アルミニウム）粒子、が用いられる。アルミナ粒子は、熱伝導が等方性であり、樹脂成分に対する充填性がよく、安価であり、かつ安定性が高いという点で好ましい。 For example, alumina (aluminum oxide) particles are used as the second thermally conductive filler 16. Alumina particles are preferred because they have isotropic thermal conductivity, good filling properties with resin components, are inexpensive, and are highly stable.

第２の熱伝導性フィラー１６は、アルミナ粒子に限定されず、他の熱伝導性フィラーとして、例えば、酸化ケイ素粒子、酸化亜鉛粒子、酸化マグネシウム粒子、窒化アルミニウム粒子、窒化ホウ素フィラー、雲母、炭化珪素フィラー、二硫化モリブデンフィラー等が例示できる。
これらの第２の熱伝導性フィラーは、２種類以上を併用してもよい。 The second thermally conductive filler 16 is not limited to alumina particles, and other thermally conductive fillers include, for example, silicon oxide particles, zinc oxide particles, magnesium oxide particles, aluminum nitride particles, boron nitride filler, mica, silicon carbide filler, molybdenum disulfide filler, etc.
Two or more kinds of these second thermally conductive fillers may be used in combination.

第２の熱伝導性フィラー１６の形状としては、球状以外に、不定形や繊維状、板状等が例示できる。
第２の熱伝導性フィラー１６の形状は、充填性がよく、混錬しても低い粘度を保つことができ、粘着性を確保しやすく、異方性がないために成型が容易である、点から球状が好ましい。 The shape of the second thermally conductive filler 16 may be, other than spherical, amorphous, fibrous, or plate-like.
The shape of the second thermally conductive filler 16 is preferably spherical, since it has good filling properties, can maintain low viscosity even when kneaded, is easy to ensure adhesiveness, and is easy to mold due to the lack of anisotropy.

第２の熱伝導性フィラー１６の粒径（フィラーの形状が繊維状の場合は、繊維長）は、１μｍ以上１００μｍ以下が好ましい。第２の熱伝導性フィラー１６の粒径が１μｍ未満では、充填時に凸部の硬度が上昇し、粘着性を失い熱伝導性と粘着性の両立が困難となる。一方、第２の熱伝導性フィラー１６の粒径が１００μｍを超えると、意図する形状に成型することが困難となる場合がある。
第２の熱伝導性フィラー１６の粒径は、１μｍ以上１０μｍ以下がより好ましい。 The particle size of the second thermally conductive filler 16 (fiber length when the filler is fibrous) is preferably 1 μm or more and 100 μm or less. If the particle size of the second thermally conductive filler 16 is less than 1 μm, the hardness of the protrusions increases during filling, losing adhesion, making it difficult to achieve both thermal conductivity and adhesion. On the other hand, if the particle size of the second thermally conductive filler 16 exceeds 100 μm, it may be difficult to mold it into the intended shape.
The particle diameter of the second thermally conductive filler 16 is more preferably 1 μm or more and 10 μm or less.

第２の熱伝導性フィラー１６の好ましい含有量は、シリコーン等の粘着性を有する樹脂成分１００重量部に対して、２００重量部以上４００重量部以下である。
第２の熱伝導性フィラー１６の含有量が４００重量部を超えると、凸部１２に含有される熱伝導性フィラーの量が増えて凸部１２の熱伝導率は良くなる。しかしながら、凸部１２の硬度が高くなって発熱部材に貼り付けた際の追従性に劣り、接触熱抵抗値が増大する。その結果、熱伝導性シート１０の粘着力低下による密着不良、及び接触熱抵抗値の増大が生じ、放熱性能は劣るものとなる。
一方、第２の熱伝導性フィラー１６の含有量が２００重量部未満では、凸部１２は、柔らかく、発熱部材への追従性は良好である。しかし、熱伝導フィラーの含有量が少ないため、この場合も放熱性能は劣るものとなる。 The content of the second thermally conductive filler 16 is preferably 200 parts by weight or more and 400 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the adhesive resin component such as silicone.
When the content of the second thermally conductive filler 16 exceeds 400 parts by weight, the amount of the thermally conductive filler contained in the protrusions 12 increases, improving the thermal conductivity of the protrusions 12. However, the hardness of the protrusions 12 increases, making them less flexible when attached to a heat-generating component, and increasing the contact thermal resistance. As a result, poor adhesion occurs due to a decrease in the adhesive strength of the thermally conductive sheet 10, and the contact thermal resistance increases, resulting in poor heat dissipation performance.
On the other hand, when the content of the second thermally conductive filler 16 is less than 200 parts by weight, the protrusions 12 are soft and have good conformity to the heat-generating member. However, since the content of the thermally conductive filler is small, the heat dissipation performance is also poor in this case.

凸部１２の形状は円柱状に限定されず、四角柱状等、他の形状であってもよい。凸部１２の形状は円柱状が好ましい。
上記凸部の形状が柱状の場合、上記凸部の寸法は、上面の最大径が０．５ｍｍ以上２ｍｍ以下で、高さが１０μｍ以上３０μｍ以下であることが好ましい。この場合、粘着性とリワーク性の両立に適している。 The shape of the protrusions 12 is not limited to a cylindrical shape, and may be another shape such as a square prism shape, etc. The shape of the protrusions 12 is preferably a cylindrical shape.
When the convex portion has a columnar shape, the dimensions of the convex portion are preferably such that the maximum diameter of the upper surface is 0.5 mm to 2 mm and the height is 10 μm to 30 μm, which is suitable for achieving both adhesion and reworkability.

シート本体１１の上面には、複数の凸部１２が設けられている。各凸部１２の形状は同一でなくてもよいが、同一であることが好ましい。
複数の凸部１２は、シート本体１１の上面のおいて均一に分布するように設けられていることが好ましい。
これらの場合、熱伝導性シート１０の面方向において、粘着性の均一化を図ることができる。 A plurality of protrusions 12 are provided on the upper surface of the sheet body 11. The shapes of the protrusions 12 do not have to be the same, but it is preferable that they are the same.
It is preferable that the multiple protrusions 12 are provided so as to be uniformly distributed on the upper surface of the sheet body 11.
In these cases, the adhesiveness can be made uniform in the planar direction of the thermally conductive sheet 10 .

熱伝導性シート１０において、複数の凸部１２の繰り返し単位は、５ｍｍ以下が好ましい。熱伝導性シート１０の寸法及び形状は、熱伝導性シート１０が貼り付けられるＩＣチップ等の発熱部材の寸法に依存するが、小さい場合、１辺が１０ｍｍ程度の矩形状になることがある。このように熱伝導性シート１０の寸法が小さい場合でも、上記繰り返し単位が５ｍｍ以下であれば、熱伝導性シート１０の面方向における粘着性のバラツキを回避することができる。上記繰り返し単位が２ｍｍ以下であることがより好ましい。
本発明の実施形態において、複数の凸部１２の繰り返し単位とは、凸部のパターンを形成するために繰り返す単位のうち、最小の面積となるものをいう。 In the thermally conductive sheet 10, the repeating unit of the multiple protrusions 12 is preferably 5 mm or less. The dimensions and shape of the thermally conductive sheet 10 depend on the dimensions of the heat generating component, such as an IC chip, to which the thermally conductive sheet 10 is attached, but if it is small, it may be a rectangle with one side of about 10 mm. Even if the dimensions of the thermally conductive sheet 10 are small in this way, if the repeating unit is 5 mm or less, it is possible to avoid variations in adhesion in the surface direction of the thermally conductive sheet 10. It is more preferable that the repeating unit is 2 mm or less.
In the embodiment of the present invention, the repeating unit of the multiple convex portions 12 refers to the unit with the smallest area among the units repeated to form the convex portion pattern.

熱伝導性シート１０において、シート本体１１の上面全体の面積に対する、凸部１２が設けられた領域の面積は、１２．４％以上７６．２％以下であることが好ましい。
凸部１２が設けられた領域の割合が、１２．４％未満では、熱伝導性シート１０の粘着力が不十分になることがある。ここで、熱伝導性シート１０の粘着力が不十分とは、熱伝導性シート１０を金属板に貼り付けて、熱伝導性シート１０を下側にした状態で金属板を振動された場合に、自重を支えることができず、熱伝導性シート１０が金属板から剥がれてしまう状態をいう。
凸部１２が設けられた領域の割合が、７６．２％を超えると、熱伝導性が大きく低下することがある。
凸部１２が設けられた領域の面積は、２５％以上５５％以下がより好ましい。 In the thermally conductive sheet 10, the area of the region where the protrusions 12 are provided relative to the area of the entire upper surface of the sheet body 11 is preferably 12.4% or more and 76.2% or less.
If the ratio of the area where the protrusions 12 are provided is less than 12.4%, the adhesive strength of the thermally conductive sheet 10 may be insufficient. Here, "insufficient adhesive strength of the thermally conductive sheet 10" refers to a state in which, when the thermally conductive sheet 10 is attached to a metal plate and the metal plate is vibrated with the thermally conductive sheet 10 facing down, the thermally conductive sheet 10 cannot support its own weight and peels off from the metal plate.
If the ratio of the area where the protrusions 12 are provided exceeds 76.2%, the thermal conductivity may decrease significantly.
The area of the region where the protrusions 12 are provided is more preferably 25% or more and 55% or less.

熱伝導性シート１０は、剥離紙（剥離フィルムを含む、以下、本明細書において同じ）からの剥離性、及びリワーク性に優れる。その理由について、熱伝導性シート１０の使用方法と合わせて、図３、４を参照しながら説明する。
図３は、熱伝導性シートを発熱部材に密着させる際の変形の様子を示す図である。
図４は、熱伝導性シートを発熱部材から引き剥がす際の変形の様子を示す図である。 The thermally conductive sheet 10 has excellent releasability from a release paper (including a release film, the same applies hereinafter in this specification) and excellent reworkability. The reasons for this will be described with reference to FIGS. 3 and 4 together with a method of using the thermally conductive sheet 10.
FIG. 3 is a diagram showing deformation of the thermally conductive sheet when it is brought into close contact with a heat-generating member.
FIG. 4 is a diagram showing deformation of the thermally conductive sheet when it is peeled off from the heat generating member.

熱伝導シート１０を発熱部材１に貼り付ける場合、まず、位置合わせを行いながら発熱部材１に熱伝導シート１０の凸部１２が貼り付けられた状態にする（図３（ａ）、図４（ａ）参照）。その後、位置ずれや貼り間違いなどの不具合が無ければ、熱伝導シート１０を厚さ方向に変形させて発熱部材１に密着させる。熱伝導シート１０は、発熱部材１側に向かう荷重（実装圧力）が掛けられると、主に凸部１２が薄くなるように変形して、熱伝導シート１０全体が発熱部材１に密着する（図３（ｂ）参照）。 When attaching the thermally conductive sheet 10 to the heat-generating member 1, first, the convex portions 12 of the thermally conductive sheet 10 are attached to the heat-generating member 1 while aligning them (see Figs. 3(a) and 4(a)). Then, if there are no defects such as misalignment or incorrect attachment, the thermally conductive sheet 10 is deformed in the thickness direction to adhere to the heat-generating member 1. When a load (mounting pressure) is applied toward the heat-generating member 1, the thermally conductive sheet 10 deforms mainly so that the convex portions 12 become thinner, and the entire thermally conductive sheet 10 adheres to the heat-generating member 1 (see Fig. 3(b)).

一方、発熱部材１に熱伝導シート１０の凸部１２を貼り付けた際に、位置ずれなどの不具合が生じた場合は、熱伝導性シート１０を発熱部材１から剥がす必要がある。熱伝導性シート１０を発熱部材１から剥がす際には、通常、熱伝導性シートの端部１０ａを把持して発熱部材１から離れる方向（図４（ａ）中、上方向）に引っ張る力を加えて、熱伝導性シート１０を端から順に発熱部材１から剥がしていく（図４（ｂ）参照）。このとき、熱伝導性シート１０は、凸部１２のみが発熱部材１に貼り付いているので、面全体に粘着層が設けられている熱伝導性シートに比べて、弱い力で熱伝導性シート１０を発熱部材１から剥がすことができる。そのため、剥がされる際の熱伝導性シート１０が伸びたり、破損したりすることを回避することができる。
熱伝導シート１０は、面方向に引っ張られる力で破損しやすく、特に、熱伝導性フィラーが厚さ方向に配向している熱伝導性シートでその傾向が顕著である。
そのため、炭素繊維１４Ａなどの異方性フィラーが厚さ方向に配向した熱伝導性シート１０は、面方向に引っ張られる力で破損しやすく、本発明の実施形態に係る熱伝導性シートとして好適である。 On the other hand, when the convex portion 12 of the thermally conductive sheet 10 is attached to the heat generating member 1, if a problem such as misalignment occurs, it is necessary to peel off the thermally conductive sheet 10 from the heat generating member 1. When peeling off the thermally conductive sheet 10 from the heat generating member 1, the end 10a of the thermally conductive sheet is usually grasped and a pulling force is applied in a direction away from the heat generating member 1 (upward in FIG. 4(a)), and the thermally conductive sheet 10 is peeled off from the heat generating member 1 in order from the end (see FIG. 4(b)). At this time, since only the convex portion 12 of the thermally conductive sheet 10 is attached to the heat generating member 1, the thermally conductive sheet 10 can be peeled off from the heat generating member 1 with a weaker force than a thermally conductive sheet having an adhesive layer on the entire surface. Therefore, it is possible to avoid the thermally conductive sheet 10 from being stretched or damaged when peeled off.
The thermally conductive sheet 10 is easily damaged by a force pulled in the planar direction, and this tendency is particularly noticeable in a thermally conductive sheet in which the thermally conductive filler is oriented in the thickness direction.
Therefore, a thermally conductive sheet 10 in which anisotropic fillers such as carbon fibers 14A are oriented in the thickness direction is easily damaged by a force pulled in the planar direction, and is suitable as a thermally conductive sheet according to an embodiment of the present invention.

熱伝導シート１０は、発熱部材１から剥がす際に伸びたり、破損したりすることを回避できるのと同様の理由で、剥離紙から剥がす際にも伸びたり、破損したりすることを回避できる。そのため、熱伝導シート１０は、剥離性にも優れる。 For the same reason that the thermally conductive sheet 10 is prevented from stretching or breaking when peeled off from the heat-generating component 1, it is also prevented from stretching or breaking when peeled off from the release paper. Therefore, the thermally conductive sheet 10 also has excellent releasability.

次に、熱伝導性シート１０を製造する方法について説明する。
熱伝導性シート１０は、例えば、シート本体１１と凸部１２とを別々に作製し、その後、凸部１２をシート本体１１に転写することによって製造することができる。 Next, a method for producing the thermally conductive sheet 10 will be described.
The thermally conductive sheet 10 can be manufactured, for example, by separately preparing the sheet body 11 and the protrusions 12 and then transferring the protrusions 12 to the sheet body 11 .

（１）シート本体の作製
シート本体１１は、例えば、下記（ａ）～（ｃ）の工程を行う第１の製造方法により作製することができる。
（ａ）未架橋のシリコーンと、炭素繊維と、アルミナ粒子と、酸化亜鉛粒子と、難燃剤等の任意成分とを含有するシリコーン系組成物Ａを調製する工程、
（ｂ）調製したシリコーン系組成物Ａを成形する工程、及び、
（ｃ）成形されたシリコーン系組成物Ａをシート状にスライス加工する工程。 (1) Production of Sheet Body The sheet body 11 can be produced by, for example, a first production method including the following steps (a) to (c).
(a) preparing a silicone-based composition A containing uncrosslinked silicone, carbon fiber, alumina particles, zinc oxide particles, and optional components such as a flame retardant;
(b) molding the prepared silicone-based composition A; and
(c) A step of slicing the molded silicone composition A into sheets.

まず、シリコーン系組成物Ａを調製する工程（ａ）を行う。
ここでは、例えば、未架橋のシリコーン、熱伝導性フィラー（炭素繊維、アルミナ粒子、及び酸化亜鉛粒子）、更には、必要に応じて添加する各種添加剤を２本ロールで練り込む等によってシリコーン系組成物Ａを調製する。
このとき、成分の一部又は全部はコンパウンドにして供給してもよい。 First, step (a) of preparing a silicone-based composition A is carried out.
Here, for example, uncrosslinked silicone, thermally conductive filler (carbon fiber, alumina particles, and zinc oxide particles), and further various additives added as necessary are kneaded together using a twin roll to prepare silicone composition A.
In this case, some or all of the components may be supplied in the form of a compound.

次に、調製したシリコーン系組成物Ａを成形する工程（ｂ）と、成形物をシート状にスライス加工する工程（ｃ）とを行う。
上記シリコーン系組成物Ａの成形は、例えば、押出機を用いて行えばよい。
図５は、本実施形態において、シート本体の作製で使用する押出機の先端部分及びＴダイの断面概略図を示す。
押出機３０に投入された上記シリコーン系組成物Ａは、スクリュー３４によって撹拌・混練され、流路３１に沿ってＴダイの第１ギャップ３２に導入される。 Next, the prepared silicone composition A is molded in a step (b) and the molded product is sliced into sheets in a step (c).
The silicone composition A may be molded, for example, using an extruder.
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of the tip portion of an extruder and a T-die used in producing the sheet body in this embodiment.
The silicone composition A introduced into the extruder 30 is stirred and kneaded by the screw 34 and introduced into the first gap 32 of the T-die along the flow path 31 .

押出機３０で攪拌・混錬されたシリコーン系組成物Ａは、まず、第１ギャップ３２によって上下方向（厚さ方向）にしぼり込まれて薄い帯状となる。
このとき、シリコーン系組成物Ａ中に混合されている異方性の熱伝導性フィラーがシリコーン系組成物Ａの流れ方向（押出方向）に配向する。従って、第１ギャップ３２を通過して成形された厚さの薄い樹脂シート４０は、異方性の熱伝導性フィラーが樹脂シート４０の面方向に配向している。
本実施形態では、例えば炭素繊維が異方性の熱伝導性フィラーに相当する。 Silicone-based composition A that has been stirred and kneaded in extruder 30 is first squeezed in the vertical direction (thickness direction) by first gap 32 into a thin strip shape.
At this time, the anisotropic thermally conductive filler mixed in the silicone-based composition A is oriented in the flow direction (extrusion direction) of the silicone-based composition A. Therefore, in the thin resin sheet 40 molded by passing through the first gap 32, the anisotropic thermally conductive filler is oriented in the plane direction of the resin sheet 40.
In this embodiment, for example, carbon fibers correspond to the anisotropic thermally conductive filler.

熱伝導性フィラーが配向した厚さの薄い樹脂シート４０が第１ギャップ３２を完全に通過すると、押出方向に限定されていたシートの流れ方向が解放されて、当該流れ方向が押出方向に対してほぼ垂直な方向に変化する。
シートの流れ方向が押出方向に対してほぼ垂直となる方向に変化した樹脂シート４０は、第１ギャップ３２を完全に通過した後、更に第２ギャップ３３に向かって押し出される。その結果、第２ギャップ３３内には、押出方向に対してほぼ垂直となった樹脂シート４０が折り畳まれるように積層される。その際に異方性の熱伝導性フィラー（炭素繊維）の多くは樹脂シート４０の面方向に配向しているので、第２ギャップ３３内で積層された状態の樹脂シート４０における異方性の熱伝導性フィラーは、厚さ方向（図５中、上下方向）に沿って配向させられる。 When the thin resin sheet 40 in which the thermally conductive filler is oriented passes completely through the first gap 32, the flow direction of the sheet, which was limited to the extrusion direction, is released and the flow direction changes to a direction approximately perpendicular to the extrusion direction.
The resin sheet 40, whose flow direction has changed to a direction approximately perpendicular to the extrusion direction, passes completely through the first gap 32, and is then further extruded toward the second gap 33. As a result, the resin sheet 40, now approximately perpendicular to the extrusion direction, is folded and stacked in the second gap 33. At this time, most of the anisotropic thermally conductive filler (carbon fiber) is oriented in the plane direction of the resin sheet 40, so that the anisotropic thermally conductive filler in the resin sheet 40 stacked in the second gap 33 is oriented along the thickness direction (the vertical direction in FIG. 5).

このように、工程（ｂ）では、シリコーン系組成物Ａを押出成形し、押出方向に異方性の熱伝導性フィラーが配向した樹脂シート４０を成形した後、この樹脂シート４０を折り畳みながら積層させ、ブロックを作製する。 Thus, in step (b), silicone composition A is extruded to form a resin sheet 40 in which the anisotropic thermally conductive filler is oriented in the extrusion direction, and the resin sheet 40 is then folded and laminated to produce a block.

その後、工程（ｃ）に進み、厚さの薄い樹脂シート４０が積層されたブロックを厚さ方向に垂直な方向にスライス加工する。その結果、所定の厚さを有し、異方性の熱伝導性フィラーが厚さ方向にほぼ配向したシートを得ることができる。
なお、工程（ｂ）で作製した樹脂シート４０のブロック自体もシート本体として用いることができる。 Then, in step (c), the block in which the thin resin sheets 40 are laminated is sliced in a direction perpendicular to the thickness direction, resulting in a sheet having a predetermined thickness in which the anisotropic thermally conductive filler is substantially oriented in the thickness direction.
The block of resin sheet 40 produced in step (b) itself can also be used as the sheet body.

上記Ｔダイにおいて、第１ギャップ３２及び第２ギャップ３３の奥行（即ち、図５において紙面に垂直な方向における第１ギャップ３２及び第２ギャップ３３の寸法）は、Ｔダイの全体にわたってほぼ同一である。また、上記第１ギャップ及び上記第２ギャップの奥行の寸法は特に限定されず、シート本体の幅に応じて種々の設計変更が可能である。 In the T-die, the depths of the first gap 32 and the second gap 33 (i.e., the dimensions of the first gap 32 and the second gap 33 in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 5) are substantially the same throughout the T-die. In addition, the depths of the first gap and the second gap are not particularly limited, and various design changes are possible depending on the width of the sheet body.

シート本体１１は、例えば、下記（ｄ）～（ｆ）の工程を行う第２の製造方法で作製してもよい。
図６は、本実施形態に係るシート本体の製造方法の別の一例（第２の製造方法）を説明する図である。 The sheet body 11 may be produced by, for example, a second production method including the following steps (d) to (f).
FIG. 6 is a diagram illustrating another example (second manufacturing method) of the method for manufacturing the sheet main body according to the present embodiment.

（ｄ）未架橋のシリコーンと、炭素繊維と、アルミナ粒子と、酸化亜鉛粒子と、難燃剤等の任意成分とを含有するシリコーン系組成物Ａを調製する工程、
（ｅ）調製したシリコーン系組成物Ａを成形する工程、及び、
（ｆ）成形されたシリコーン系組成物Ａをシート状にスライス加工する工程。 (d) preparing a silicone-based composition A containing uncrosslinked silicone, carbon fiber, alumina particles, zinc oxide particles, and optional components such as a flame retardant;
(e) molding the prepared silicone-based composition A; and
(f) A step of slicing the molded silicone composition A into sheets.

まず、シリコーン系組成物Ａを調製する工程（ｄ）を行う。
ここでは、例えば、未架橋のシリコーン、熱伝導性フィラー（炭素繊維、アルミナ粒子、及び酸化亜鉛粒子）、更には、必要に応じて添加する各種添加剤を２本ロール５１で混錬する。その後、シート出しを行い、樹脂シート５０を作製する（図６（ａ）参照）。
このとき、成分の一部又は全部はコンパウンドにして供給してもよい。 First, step (d) of preparing a silicone-based composition A is carried out.
Here, for example, uncrosslinked silicone, thermally conductive filler (carbon fiber, alumina particles, and zinc oxide particles), and various additives added as necessary are kneaded with two rolls 51. After that, a sheet is formed to prepare a resin sheet 50 (see FIG. 6(a)).
In this case, some or all of the components may be supplied in the form of a compound.

次に、シリコーン系組成物を成形する工程（ｅ）を行う。
この工程（ｅ）では、シリコーン系組成物Ａからなる樹脂シート５０を折り畳みながら、樹脂シート５０同士が密着するように積層する（図６（ａ）参照）。例えば、周期的な往復運動を繰り返すテーブル５３上に樹脂シート５０を連続的に供給することにより、樹脂シート５０が折り畳まれながら積層された積層体を得ることができる。
このとき、異方性の熱伝導性フィラーは、樹脂シート５０の面方向に配向している。 Next, step (e) is carried out to mold the silicone composition.
In this step (e), the resin sheets 50 made of the silicone composition A are folded and laminated so that the resin sheets 50 are in close contact with each other (see FIG. 6(a)). For example, by continuously supplying the resin sheets 50 onto a table 53 that repeats a periodic reciprocating motion, a laminate in which the resin sheets 50 are laminated while being folded can be obtained.
At this time, the anisotropic thermally conductive filler is oriented in the plane direction of the resin sheet 50 .

その後、樹脂シート５０の折り返し部分をカッター５４を用いて切断し、除去する（図６（ｂ）参照）。
その結果、互いに繋がっていない複数枚の樹脂シート５０の積層体５５が得られる。 Thereafter, the folded-back portion of the resin sheet 50 is cut and removed using a cutter 54 (see FIG. 6B).
As a result, a laminate 55 of a plurality of resin sheets 50 that are not connected to one another is obtained.

次に、得られた積層体５５を樹脂シート５０の面方向に垂直な方向にカッター５７を用いてスライス加工する工程（ｆ）を行う（図６（ｃ）参照）。これにより、シート本体１１を得ることができる（図６（ｄ）参照）。
このような工程を経ることによっても、シート本体１１を作製することができる。 Next, a step (f) is performed in which the obtained laminate 55 is sliced in a direction perpendicular to the surface direction of the resin sheet 50 using a cutter 57 (see FIG. 6(c)). As a result, the sheet body 11 can be obtained (see FIG. 6(d)).
The sheet body 11 can also be produced through such steps.

（２）凸部の作製
凸部１２は、例えば、下記（ｇ）～（ｉ）の工程を行うことで作製することができる。
（ｇ）架橋性官能基を有するシリコーンと架橋剤と、アルミナ粒子とを含有する架橋性のシリコーン系組成物Ｂを調製する工程、
（ｈ）調製したシリコーン系組成物Ｂを剥離紙に印刷する工程、及び
（ｉ）シリコーン系組成物Ｂを架橋させる工程。 (2) Formation of Convex Portion The convex portion 12 can be formed, for example, by carrying out the following steps (g) to (i).
(g) preparing a crosslinkable silicone-based composition B containing a silicone having a crosslinkable functional group, a crosslinking agent, and alumina particles;
(h) printing the prepared silicone-based composition B onto a release paper; and (i) crosslinking the silicone-based composition B.

まず、架橋性のシリコーン系組成物Ｂを調製する工程（ｇ）を行う。
ここでは、例えば、架橋性官能基を有するシリコーン、架橋剤、及び熱伝導性フィラー（アルミナ粒子）を、ミキサーで混錬する。
このとき、成分の一部又は全部はコンパウンドにして供給してもよい。 First, step (g) of preparing a crosslinkable silicone-based composition B is carried out.
Here, for example, silicone having a crosslinkable functional group, a crosslinking agent, and a thermally conductive filler (alumina particles) are kneaded in a mixer.
In this case, some or all of the components may be supplied in the form of a compound.

次に、調製したシリコーン系組成物Ｂを剥離紙に印刷する工程（ｈ）を行う。
この工程（ｈ）では、剥離紙を準備し、この剥離紙上に、複数の円柱が面方向に分布するように、シリコーン系組成物Ｂを印刷する。
ここで、印刷方法は、シリコーン系組成物Ｂを円柱状に印刷できる手法であれば限定されず、例えば、スクリーン印刷、インクジェット印刷、グラビア印刷等の印刷方法を採用できる。 Next, step (h) is carried out in which the prepared silicone composition B is printed onto a release paper.
In this step (h), a release paper is prepared, and the silicone-based composition B is printed on the release paper so that a plurality of cylinders are distributed in the planar direction.
The printing method is not limited as long as it is a method that can print the silicone composition B in a cylindrical shape, and for example, printing methods such as screen printing, inkjet printing, and gravure printing can be used.

本発明の実施形態では、工程（ｇ）で調製するシリコーン系組成物Ｂの粘度を調整したり、工程（ｈ）の印刷条件を変更したりすることによって、形成される凸部１２の高さを調整することができる。 In an embodiment of the present invention, the height of the convex portion 12 formed can be adjusted by adjusting the viscosity of the silicone-based composition B prepared in step (g) or by changing the printing conditions in step (h).

次に、印刷されたシリコーン系組成物Ｂの円柱状物を架橋させる。
架橋条件は、シリコーン系組成物Ｂの組成に応じて、適切な条件を選択すればよい。
このような、（ｇ）～（ｉ）の工程を行うことにより、複数の凸部１２を剥離紙上に作製することができる。 The printed cylinder of silicone composition B is then crosslinked.
The crosslinking conditions may be appropriately selected depending on the composition of the silicone-based composition B.
By carrying out steps (g) to (i) in this manner, a plurality of protrusions 12 can be formed on the release paper.

（３）熱伝導性シートの製造
上記（２）で製造した複数の凸部１２の上に、上記（１）で作製したシート本体１１を載置する。次に、剥離紙とシート本体１１の上下を反転させ、剥離紙側からローラを押し当てて、複数の凸部１２をシート本体１１に転写させる。最後に、剥離紙を除去して、熱伝導性シート１０を完成する。 (3) Manufacturing of Thermally Conductive Sheet The sheet body 11 produced in (1) above is placed on the multiple protrusions 12 manufactured in (2) above. Next, the release paper and the sheet body 11 are turned upside down, and a roller is pressed against the release paper side to transfer the multiple protrusions 12 to the sheet body 11. Finally, the release paper is removed to complete the thermally conductive sheet 10.

（その他の実施形態）
本発明の実施形態に係る熱伝導性シートは、シート本体の両面に凸部が形成されていてもよい。
この場合、凸部の形状、凸部の分布状態、凸部の配置位置、凸部が面全体に占める割合等は、両面で同一であってもよいし、それぞれの面で異なっていてもよい。
また、シート本体の両面に凸部が形成されている場合、凸部の組成や硬さは、両面で同一であってもよいし、それぞれの面で異なっていてもよい。 Other Embodiments
The thermally conductive sheet according to the embodiment of the present invention may have protrusions formed on both sides of the sheet body.
In this case, the shape of the protrusions, the distribution state of the protrusions, the arrangement positions of the protrusions, the proportion of the entire surface that the protrusions occupy, etc. may be the same on both sides or may be different on each side.
Furthermore, when protrusions are formed on both sides of the sheet body, the composition and hardness of the protrusions may be the same on both sides or may be different on each side.

本発明の実施形態において、シート本体は、第１のマトリックス成分中に第１の熱伝導性フィラーが分布したものであればよい。
シート本体のマトリックス成分を構成する樹脂（ゴムを含む）としては、シリコーン以外の樹脂も例示できる。
具体的には、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン－プロピレン共重合体等のエチレン－α－オレフィン共重合体、ポリメチルペンテン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、エチレン－酢酸ビニル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリアセタール、ポリフッ化ビニリデンやポリテトラフルオロエチレン等のフッ素系樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、スチレン－アクリロニトリル共重合体、アクリロニトリル－ブタジエン－スチレン共重合体（ＡＢＳ）樹脂、ポリフェニレンエーテル、変性ポリフェニレンエーテル、脂肪族ポリアミド類、芳香族ポリアミド類、ポリアミドイミド、ポリメタクリル酸又はそのエステル、ポリアクリル酸又はそのエステル、ポリカーボネート、ポリフェニレンスルフィド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルニトリル、ポリエーテルケトン、ポリケトン、液晶ポリマー、アイオノマーなどを用いることができる。 In an embodiment of the present invention, the sheet body may have a first thermally conductive filler distributed in a first matrix component.
Resins (including rubber) constituting the matrix component of the sheet body can be exemplified by resins other than silicone.
Specifically, for example, polyethylene, polypropylene, ethylene-α-olefin copolymers such as ethylene-propylene copolymers, polymethylpentene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl acetate, ethylene-vinyl acetate copolymers, polyvinyl alcohol, polyacetal, fluorine-based resins such as polyvinylidene fluoride and polytetrafluoroethylene, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polystyrene, polyacrylonitrile, styrene-acrylonitrile copolymers, acrylonitrile-butadiene-styrene copolymers (ABS) resins, polyphenylene ether, modified polyphenylene ether, aliphatic polyamides, aromatic polyamides, polyamideimide, polymethacrylic acid or esters thereof, polyacrylic acid or esters thereof, polycarbonate, polyphenylene sulfide, polysulfone, polyethersulfone, polyethernitrile, polyetherketone, polyketone, liquid crystal polymers, ionomers, and the like can be used.

また、例えば、スチレン－ブタジエン共重合体又はその水添ポリマー、スチレン－イソプレンブロック共重合体又はその水添ポリマー等のスチレン系熱可塑性エラストマー、オレフィン系熱可塑性エラストマー、塩化ビニル系熱可塑性エラストマー、ポリエステル系熱可塑性エラストマー、ポリウレタン系熱可塑性エラストマー、ポリアミド系熱可塑性エラストマーなどを用いることができる。
更には、例えば、アクリルゴム、ブチルゴム、フッ素ゴム、ニトリルゴム、水素化ニトリルゴム等を用いることもできる。
これらは単独で用いても良いし、２種以上を併用しても良い。 Further, for example, styrene-based thermoplastic elastomers such as styrene-butadiene copolymers or hydrogenated polymers thereof, and styrene-isoprene block copolymers or hydrogenated polymers thereof, olefin-based thermoplastic elastomers, vinyl chloride-based thermoplastic elastomers, polyester-based thermoplastic elastomers, polyurethane-based thermoplastic elastomers, and polyamide-based thermoplastic elastomers can be used.
Furthermore, for example, acrylic rubber, butyl rubber, fluororubber, nitrile rubber, hydrogenated nitrile rubber, etc. can also be used.
These may be used alone or in combination of two or more.

本発明の実施形態において、シート本体に含まれる第１の熱伝導性フィラーは、炭素繊維、アルミナ粒子、酸化亜鉛粒子に限定されず、従来公知の他の熱伝導性フィラーであってもよい。 In an embodiment of the present invention, the first thermally conductive filler contained in the sheet body is not limited to carbon fibers, alumina particles, or zinc oxide particles, and may be any other thermally conductive filler that is conventionally known.

第１の熱伝導性フィラーの他の具体例としては、グラファイト、窒化ホウ素、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）、雲母、窒化アルミニウム、炭化珪素、シリカ、酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、二硫化モリブデン、銅、アルミニウム等からなるフィラーが挙げられる。 Other specific examples of the first thermally conductive filler include fillers made of graphite, boron nitride, carbon nanotubes (CNT), mica, aluminum nitride, silicon carbide, silica, magnesium oxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, molybdenum disulfide, copper, aluminum, etc.

以下、実施例によって本発明を更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。 The present invention will be explained in more detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples.

実施例及び比較例で使用した原材料は、以下の通りである。
（マトリックス成分）
・シリコーンＡ：質量平均分子量１４万のポリジメチルシロキサン
・シリコーンＢ：一液硬化型シリコーン（信越化学社製、ＫＥ－１０５６）
・シランカップリング剤：オクチルトリメトキシシラン The raw materials used in the examples and comparative examples are as follows.
(Matrix component)
Silicone A: polydimethylsiloxane with a mass average molecular weight of 140,000 Silicone B: one-component curing silicone (KE-1056, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
・Silane coupling agent: octyltrimethoxysilane

（熱伝導性フィラー）
・炭素繊維：三菱ケミカル株式会社製、Ｋ２２３ＨＭ（繊維状、繊維長：２００μｍ／繊維径：１１μｍ）
・酸化亜鉛粒子：堺化学工業株式会社製、酸化亜鉛１種（球状、粒径：０．８μｍ）
・アルミナ粒子Ａ：デンカ株式会社製、ＡＳＦＰ－０９Ｓ（球状、粒径：１μｍ） (Thermal conductive filler)
Carbon fiber: Mitsubishi Chemical Corporation, K223HM (fibrous, fiber length: 200 μm / fiber diameter: 11 μm)
Zinc oxide particles: Zinc oxide type 1 (spherical, particle size: 0.8 μm), manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.
Alumina particles A: ASFP-09S (spherical, particle size: 1 μm), manufactured by Denka Co., Ltd.

（実施例１）
（１）シート本体の作製
シート本体は、第２の製造方法によって製造した。
シリコーンＡ（質量平均分子量１４万のポリジメチルシロキサン）１００質量部、炭素繊維４０９質量部、アルミナ粒子Ａ１５７質量部、酸化亜鉛粒子４７３重量部、及びシランカップリング剤５．９４質量部、を２本ロール５１で練り込んだ後、シート出しすることで、厚さ約１．０～１．２ｍｍのシリコーン系組成物Ａからなる樹脂シート５０を作製した。
本実施例において、樹脂シート５０全体に対するジメチルシロキサンの体積分率は２４．３体積％、炭素繊維の体積分率は４４．３体積％、アルミナ粉末の体積分率は９．６体積％、酸化亜鉛粒子の体積分率は２０．１体積％、シランカップリング剤は１．６体積％であり、熱伝導性フィラーの体積分率の合計は７４．１体積％である。 Example 1
(1) Preparation of Sheet Body The sheet body was produced by the second production method.
100 parts by mass of silicone A (polydimethylsiloxane having a mass average molecular weight of 140,000), 409 parts by mass of carbon fiber, 157 parts by mass of alumina particles A, 473 parts by weight of zinc oxide particles, and 5.94 parts by mass of a silane coupling agent were kneaded using two rolls 51 and then sheeted out to produce a resin sheet 50 made of silicone-based composition A and having a thickness of approximately 1.0 to 1.2 mm.
In this embodiment, the volume fraction of dimethylsiloxane relative to the entire resin sheet 50 is 24.3 volume%, the volume fraction of carbon fiber is 44.3 volume%, the volume fraction of alumina powder is 9.6 volume%, the volume fraction of zinc oxide particles is 20.1 volume%, the silane coupling agent is 1.6 volume%, and the total volume fraction of the thermally conductive filler is 74.1 volume%.

次に、作製した樹脂シート５０を折り畳みながら、シート同士が密着するように積層する（図６（ａ）参照）。このとき、炭素繊維は、積層した樹脂シート５０の面方向に配向している。 Next, the prepared resin sheets 50 are folded and stacked so that the sheets are in close contact with each other (see FIG. 6(a)). At this time, the carbon fibers are oriented in the plane direction of the stacked resin sheets 50.

次に、得られた積層体における、樹脂シート５０の折り返し部分をカッター５４で切断除去する。これにより、互いに繋がっていない複数枚の樹脂シート５０の積層体５５となる（図６（ｂ）参照）。
その後、積層体５５を樹脂シート５０の面方向に垂直な方向にスライスして（図６（ｃ）参照）、炭素繊維が厚さ方向に配向した厚さ２ｍｍのシート本体１１を得た（図６（ｄ）参照）。 Next, in the obtained laminate, the folded-back portion of the resin sheet 50 is cut and removed with a cutter 54. This results in a laminate 55 of a plurality of resin sheets 50 that are not connected to one another (see FIG. 6(b)).
Thereafter, the laminate 55 was sliced in a direction perpendicular to the surface direction of the resin sheet 50 (see FIG. 6(c)) to obtain a sheet body 11 having a thickness of 2 mm and in which the carbon fibers were oriented in the thickness direction (see FIG. 6(d)).

（２）粘着性を有する凸部の作製
シリコーンＢ（一液硬化型シリコーン：ＫＥ－１０５６）１００質量部と、アルミナ粒子Ｂ２００質量部とを混錬して、凸部形成用のシリコーン系組成物Ｂを調製する。
このシリコーン系組成物Ｂを、片面が処理されたＰＥＴフィルム（アイム社製、ＳＷ）上にスクリーン印刷する。ここで、スクリーン印刷の版としては、下記の版Ａ１を使用した。 (2) Preparation of Adhesive Convex Portions Silicone composition B for forming convex portions is prepared by kneading 100 parts by mass of silicone B (one-component curing silicone: KE-1056) and 200 parts by mass of alumina particles B.
This silicone composition B was screen printed onto a PET film (SW, manufactured by AIM Co., Ltd.) with one side treated, using the following plate A1 as the screen printing plate.

＜版Ａ１＞
２００メッシュのスクリーンメッシュに、図７に示されるような、φ１．１３ｍｍの開口６１が正方格子状に配置されたパターンが設けられている。近接する開口同士の中心間距離Ｄが１．４１ｍｍである。 <A1 version>
A 200-mesh screen mesh is provided with a pattern in which openings 61 having a diameter of 1.13 mm are arranged in a square lattice shape as shown in Fig. 7. The center-to-center distance D between adjacent openings is 1.41 mm.

スクリーン印刷後、１３０℃、３０分間の加熱処理で、シリコーンを架橋させる。これによって、ＰＥＴフィルム上に複数の凸部を形成した。
加熱処理後、ＰＥＴフィルムを１５０ｍｍ×１５０ｍｍに裁断した。
上記凸部の高さは、下記の方法で測定した。 After screen printing, the silicone was crosslinked by heat treatment at 130° C. for 30 minutes, thereby forming a plurality of convex portions on the PET film.
After the heat treatment, the PET film was cut into a size of 150 mm x 150 mm.
The height of the convex portion was measured by the following method.

＜凸部の高さ＞
凸部の高さは直接測定できないため、ＰＥＴフィルムの厚さと凸部の高さの合計値と、ＰＥＴフィルムのみの厚さとを測定した。上記合計厚さとＰＥＴフィルムのみの厚さの差を凸部の高さとした。
測定は、ダイヤルシックネスゲージ（Ｇ－６Ｃ、尾崎製作所社製）を用いて行った。このとき、目量は０．００１ｍｍ、測定範囲は０～１ｍｍ、アンビルはφ５ｍｍフラットである。
測定は、３回行い、中央値を結果値として採用した。
結果を表１に示した。 <Height of protrusion>
Since the height of the protrusions cannot be measured directly, the total value of the thickness of the PET film and the height of the protrusions, and the thickness of the PET film alone were measured, and the difference between the total thickness and the thickness of the PET film alone was taken as the height of the protrusions.
The measurement was performed using a dial thickness gauge (G-6C, manufactured by Ozaki Seisakusho Co., Ltd.) with a graduation of 0.001 mm, a measurement range of 0 to 1 mm, and a flat anvil with a diameter of 5 mm.
The measurements were performed three times, and the median value was used as the result.
The results are shown in Table 1.

（３）熱伝導性シートの作製
ＰＥＴフィルム上に形成された複数の凸部１２の上に、上記（１）で作製したシート本体１１を載置する。その後、ＰＥＴフィルムとシート本体１１の上下を反転させ、ＰＥＴフィルム側からローラを押し当てて、複数の凸部１２をシート本体１１に転写させた。その後、凸部１２が転写されたシート本体１１を５０ｍｍ×１００ｍｍ×２ｍｍの寸法に裁断して、熱伝導性シート１０を完成した。 (3) Preparation of Thermally Conductive Sheet The sheet body 11 prepared in (1) above is placed on the multiple protrusions 12 formed on the PET film. Then, the PET film and the sheet body 11 are turned upside down, and a roller is pressed against the PET film side to transfer the multiple protrusions 12 to the sheet body 11. Then, the sheet body 11 to which the protrusions 12 were transferred was cut to dimensions of 50 mm x 100 mm x 2 mm to complete the thermally conductive sheet 10.

この熱伝導性シートにおいて、凸部１２は、シート本体１１の面全体の５０．１％の領域に設けられている。
凸部１２の上面の径は、版の開口径とほぼ同一であった。 In this thermally conductive sheet, the protrusions 12 are provided over an area of 50.1% of the entire surface of the sheet body 11 .
The diameter of the upper surface of the protrusion 12 was approximately the same as the diameter of the opening in the plate.

本実施例では、凸部１２を転写する前のシート本体１１の熱抵抗値と、凸部１２を転写して得られた熱伝導性シート１０の熱抵抗値とを測定し、凸部１２を形成することによる熱抵抗値の増加量（Ｋｃｍ^２／Ｗ）を算出した。結果を表１に示した。
熱抵抗値の測定は、測定器として、ＴＩＭｔｅｓｔｅｒ１４００（ＡｎａｌｙｓｉｓＴｅｃｈ社製）を使用し、測定対象のシートを１．６ｍｍまで圧縮し、その状態で熱抵抗を測定した。測定時のサンプル温度は２５℃とした。 In this example, the thermal resistance value of the sheet body 11 before the projections 12 were transferred and the thermal resistance value of the thermally conductive sheet 10 obtained by transferring the projections 12 were measured, and the increase in the thermal resistance value ( ^Kcm2 /W) due to the formation of the projections 12 was calculated. The results are shown in Table 1.
The thermal resistance was measured using a TIMtester 1400 (manufactured by AnalysisTech) by compressing the sheet to be measured to 1.6 mm and measuring the thermal resistance in that state. The sample temperature during the measurement was 25°C.

（実施例２）
下記の変更を行った以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを製造した。
シリコーンＢ（一液硬化型シリコーン：ＫＥ－１０５６）１００質量部と、アルミナ粒子Ｂ３００質量部とを混錬して、凸部形成用のシリコーン系組成物Ｂを調製する。 Example 2
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Example 1, except for the following changes.
Silicone composition B for forming convex portions is prepared by kneading 100 parts by mass of silicone B (one-component curing silicone: KE-1056) and 300 parts by mass of alumina particles B.

（実施例３）
スクリーン印刷用の版として、版Ａ２を使用する以外は、実施例２と同様にして熱伝導性シートを製造した。
＜版Ａ２＞
２５０メッシュのスクリーンメッシュに、版Ａ１と同様のパターンが設けられている。 Example 3
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Example 2, except that plate A2 was used as the screen printing plate.
<A2 version>
A 250 mesh screen is provided with a pattern similar to that of plate A1.

（実施例４）
下記の変更を行った以外は、実施例３と同様にして熱伝導性シートを製造した。
シリコーンＢ（一液硬化型シリコーン：ＫＥ－１０５６）１００質量部と、アルミナ粒子Ｂ４００質量部とを混錬して、凸部形成用のシリコーン系組成物Ｂを調製する。 Example 4
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Example 3, except for the following changes.
Silicone composition B for forming convex portions is prepared by kneading 100 parts by mass of silicone B (one-component curing silicone: KE-1056) and 400 parts by mass of alumina particles B.

（実施例５）
下記（１）及び（２）の変更を行った以外は、実施例１と同様にして熱伝導性シートを製造した。
（１）シリコーンＢ（一液硬化型シリコーン：ＫＥ－１０５６）１００質量部と、アルミナ粒子Ｂ３５０質量部とを混錬して、凸部形成用のシリコーン系組成物Ｂを調製する。
（２）スクリーン印刷用の版として、版Ｂを使用する。
＜版Ｂ＞
２００メッシュのスクリーンメッシュに、φ０．８５ｍｍの開口が正方格子状に配置されたパターンが設けられている。近接する開口同士の中心間距離Ｄが１．４１ｍｍである。 Example 5
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Example 1, except for the following changes (1) and (2).
(1) 100 parts by mass of silicone B (one-component curing silicone: KE-1056) and 350 parts by mass of alumina particles B are kneaded to prepare silicone composition B for forming convex portions.
(2) Plate B is used as a plate for screen printing.
<Version B>
A 200-mesh screen mesh has a pattern in which openings of φ0.85 mm are arranged in a square lattice shape. The center-to-center distance D between adjacent openings is 1.41 mm.

（実施例６）
スクリーン印刷用の版として、版Ｃを使用する以外は、実施例２と同様にして熱伝導性シートを製造した。
＜版Ｃ＞
２５０メッシュのスクリーンメッシュに、φ１．１３ｍｍの開口が正方格子状に配置されたパターンが設けられている。近接する開口同士の中心間距離Ｄが２．００ｍｍである。 Example 6
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Example 2, except that plate C was used as the screen printing plate.
<Version C>
A 250-mesh screen has a pattern in which openings having a diameter of 1.13 mm are arranged in a square lattice shape. The center-to-center distance D between adjacent openings is 2.00 mm.

（実施例７）
スクリーン印刷用の版として、版Ｄを使用する以外は、実施例２と同様にして熱伝導性シートを製造した。
＜版Ｄ＞
２５０メッシュのスクリーンメッシュに、φ１．１３ｍｍの開口が正方格子状に配置されたパターンが設けられている。近接する開口同士の中心間距離Ｄが２．４５ｍｍである。 (Example 7)
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Example 2, except that plate D was used as the screen printing plate.
<Version D>
A 250-mesh screen has a pattern in which openings of φ1.13 mm are arranged in a square lattice shape. The center-to-center distance D between adjacent openings is 2.45 mm.

（実施例８）
スクリーン印刷用の版として、版Ｅを使用する以外は、実施例２と同様にして熱伝導性シートを製造した。
＜版Ｅ＞
２５０メッシュのスクリーンメッシュに、φ１．１３ｍｍの開口が正方格子状に配置されたパターンが設けられている。近接する開口同士の中心間距離Ｄが２．８２ｍｍである。 (Example 8)
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Example 2, except that plate E was used as the screen printing plate.
<Version E>
A 250-mesh screen has a pattern in which openings of φ1.13 mm are arranged in a square lattice shape. The center-to-center distance D between adjacent openings is 2.82 mm.

（実施例９）
スクリーン印刷用の版として、版Ｆを使用する以外は、実施例２と同様にして熱伝導性シートを製造した。
＜版Ｆ＞
２５０メッシュのスクリーンメッシュに、φ１．１３ｍｍの開口が正方格子状に配置されたパターンが設けられている。近接する開口同士の中心間距離Ｄが３．４６ｍｍである。 Example 9
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Example 2, except that plate F was used as the screen printing plate.
<Version F>
The 250-mesh screen mesh has a square lattice pattern of φ1.13 mm openings, with the center-to-center distance D between adjacent openings being 3.46 mm.

（実施例１０）
スクリーン印刷用の版として、版Ｇを使用する以外は、実施例２と同様にして熱伝導性シートを製造した。
＜版Ｇ＞
２５０メッシュのスクリーンメッシュに、φ１．４１ｍｍの開口が正方格子状に配置されたパターンが設けられている。近接する開口同士の中心間距離Ｄが１．４１ｍｍである。 Example 10
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Example 2, except that Plate G was used as the screen printing plate.
<Version G>
A 250-mesh screen has a pattern in which openings of φ1.41 mm are arranged in a square lattice shape. The center-to-center distance D between adjacent openings is 1.41 mm.

（比較例１）
（１）シート本体の作製
実施例１と同様にして、シート本体１１を作製した。 (Comparative Example 1)
(1) Preparation of Sheet Body A sheet body 11 was prepared in the same manner as in Example 1.

（２）粘着層の作製
シリコーンＢ（一液硬化型シリコーン：ＫＥ－１０５６）１００質量部と、アルミナ粒子Ｂ２００質量部とを混錬して、粘着層用のシリコーン系組成物を調製する。
このシリコーン系組成物を、片面が処理されたＰＥＴフィルム（アイム社製、ＳＷ）上にスクリーン印刷する。ここでは、スクリーン印刷の版として版Ｈ１を使用し、ＰＥＴの片面全体にシリコーン系組成物のベタ塗り層を形成する。
＜版Ｈ１＞
２００メッシュのスクリーンメッシュに版膜のパターンがなく、一面全体に印刷が可能な版である。
スクリーン印刷後、１３０℃、３０分間の加熱処理で、シリコーンを架橋させる。これによって、ＰＥＴフィルムの片面全体に厚さ２５μｍの粘着層が形成された。
加熱処理後、ＰＥＴフィルムを１５０ｍｍ×１５０ｍｍに裁断した。 (2) Preparation of Adhesive Layer A silicone composition for the adhesive layer is prepared by kneading 100 parts by mass of silicone B (one-component curing silicone: KE-1056) and 200 parts by mass of alumina particles B.
This silicone-based composition is screen-printed onto a PET film (SW, manufactured by AIM Co., Ltd.) with one side treated, using plate H1 as the screen printing plate to form a solid layer of the silicone-based composition over the entire surface of one side of the PET.
<Version H1>
The 200 mesh screen has no pattern on the printing film, making it possible to print on the entire surface.
After screen printing, the silicone was crosslinked by heat treatment at 130° C. for 30 minutes, forming an adhesive layer with a thickness of 25 μm on the entire surface of one side of the PET film.
After the heat treatment, the PET film was cut into a size of 150 mm x 150 mm.

（３）熱伝導性シートの作製
ＰＥＴフィルム上に形成された粘着層の上に、上記（１）で作製したシート本体を載置する。次に、ＰＥＴフィルムとシート本体１１の上下を反転させ、ＰＥＴフィルム側からローラを押し当てて、粘着層をシート本体１１に転写させた。その後、粘着層が転写されたシート本体１１を５０ｍｍ×１００ｍｍ×２ｍｍの寸法に裁断して、熱伝導性シートを完成した。
この熱伝導性シートにおいて、粘着層は、シート本体の面全体に設けられている。 (3) Preparation of a thermally conductive sheet The sheet body prepared in (1) above is placed on the adhesive layer formed on the PET film. Next, the PET film and the sheet body 11 are inverted upside down, and a roller is pressed against the PET film side to transfer the adhesive layer to the sheet body 11. After that, the sheet body 11 to which the adhesive layer was transferred was cut to a size of 50 mm x 100 mm x 2 mm to complete the thermally conductive sheet.
In this thermally conductive sheet, the adhesive layer is provided on the entire surface of the sheet body.

本比較例でも、粘着層を転写する前のシート本体の熱抵抗値と、粘着層を転写して得られた熱伝導性シートの熱抵抗値とを測定し、粘着層を形成することによる熱抵抗値の増加量（Ｋｃｍ^２／Ｗ）を算出した。結果を表１に示した。 In this comparative example, the thermal resistance of the sheet body before the adhesive layer was transferred and the thermal resistance of the thermally conductive sheet obtained by transferring the adhesive layer were measured, and the increase in thermal resistance ( ^Kcm2 /W) due to the formation of the adhesive layer was calculated. The results are shown in Table 1.

（比較例２）
下記（１）及び（２）の変更を行った以外は、比較例１と同様にして熱伝導性シートを製造した。
（１）シリコーンＢ（一液硬化型シリコーン：ＫＥ－１０５６）１００質量部と、アルミナ粒子Ｂ２５０質量部とを混錬して、粘着層用のシリコーン系組成物を調製する。
（２）スクリーン印刷用の版として、版Ｈ２を使用する。
＜版Ｈ２＞
２５０メッシュのスクリーンメッシュに版膜のパターンがなく、一面全体に印刷が可能な版である。 (Comparative Example 2)
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Comparative Example 1, except for the following changes (1) and (2).
(1) 100 parts by mass of silicone B (one-component curing silicone: KE-1056) and 250 parts by mass of alumina particles B are kneaded to prepare a silicone-based composition for the adhesive layer.
(2) Plate H2 is used as the screen printing plate.
<Version H2>
The 250 mesh screen has no pattern on the plate film, making it possible to print on the entire surface.

（比較例３）
下記の変更を行った以外は、比較例２と同様にして熱伝導性シートを製造した。
シリコーンＢ（一液硬化型シリコーン：ＫＥ－１０５６）１００質量部と、アルミナ粒子Ｂ３００質量部とを混錬して、粘着層用のシリコーン系組成物を調製する。 (Comparative Example 3)
A thermally conductive sheet was produced in the same manner as in Comparative Example 2, except for the following changes.
A silicone composition for the adhesive layer is prepared by kneading 100 parts by mass of silicone B (one-component curing silicone: KE-1056) and 300 parts by mass of alumina particles B.

［評価試験］
（１）タック力（粘着力）の測定
タック力は、デジタルフォースゲージ（イマダ社製、ＺＴＳ－５０Ｎ）を用いて測定した。
実施例１～１０、及び比較例１～３で製造した各熱伝導性シートを２０ｍｍ×２０ｍｍ×２ｍｍの寸法で切り出し、評価用サンプルとした。この評価用サンプルの中央部付近に直径１０ｍｍの治具を、１．２Ｎの力で１０秒間押し当て、３００ｍｍ／ｍｉｎの速度で持ち上げたときの応力を測定し、その測定値をタック力とした。
結果を表１に示した。 [Evaluation test]
(1) Measurement of Tack (Adhesive) Strength The tack strength was measured using a digital force gauge (manufactured by Imada Co., Ltd., ZTS-50N).
Each of the thermally conductive sheets produced in Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 3 was cut into a size of 20 mm x 20 mm x 2 mm to prepare an evaluation sample. A tool with a diameter of 10 mm was pressed against the center of the evaluation sample with a force of 1.2 N for 10 seconds, and the stress when the sample was lifted at a speed of 300 mm/min was measured, and the measured value was taken as the tack force.
The results are shown in Table 1.

（２）リワーク性の評価
実施例１～１０、及び比較例１～３で製造した各熱伝導シートを５０ｍｍ×１０ｍｍ×２ｍｍの寸法で切り出し、評価用サンプルとした。この評価用サンプルについて、ＳＵＳ板に貼り付け、その後、端部をつまんで引っ張って剥がすという工程を行った。この工程は最大４０回繰り返した。一方、熱伝導性シートが破断した場合は、その時点で終了した。
また、工程を１回行うごとに、熱伝導性シートの長手方向の伸長率（（伸びた長さ／初期長さ）×１００）を算出した。
結果を表１に示した。 (2) Evaluation of reworkability Each of the thermally conductive sheets manufactured in Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 3 was cut into samples with dimensions of 50 mm x 10 mm x 2 mm to be used as evaluation samples. The evaluation samples were attached to SUS plates, and then the end portions were pinched and pulled to peel them off. This process was repeated up to 40 times. On the other hand, if the thermally conductive sheet broke, the test was terminated at that point.
In addition, each time the process was performed, the elongation rate of the thermal conductive sheet in the longitudinal direction ((elongated length/initial length)×100) was calculated.
The results are shown in Table 1.

（３）保持力の評価
実施例１～１０、及び比較例１～３で製造した各熱伝導シートを５０ｍｍ×１０ｍｍ×２ｍｍの寸法で切り出し、評価用サンプルとした。この評価用サンプルを、６０ｍｍ×１００ｍｍのＳＵＳ板に貼り付け、熱伝導性シートがＳＵＳ板の下側になるように手に持った状態で、肘を支点に上から３０±５cmだけ下に、秒速１８０±５ｃｍ程度で、３回振った際の熱伝導性シートの状態を評価した。ここでは、下記の基準で「〇」、「×」を評価した。
〇：ＳＵＳ板に熱伝導性シートの全面が貼り付いたままであった。
×：熱伝導性シートの一部又は全部がＳＵＳ板から剥がれた。 (3) Evaluation of holding power Each thermally conductive sheet produced in Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 3 was cut into a size of 50 mm x 10 mm x 2 mm to prepare an evaluation sample. This evaluation sample was attached to a 60 mm x 100 mm SUS plate, and held in the hand with the thermally conductive sheet on the underside of the SUS plate, and swung 30 ± 5 cm downward from the top with the elbow as a fulcrum at a speed of about 180 ± 5 cm per second three times to evaluate the state of the thermally conductive sheet. Here, the following criteria were used to evaluate the condition of the thermally conductive sheet as "good" or "bad".
◯: The entire surface of the thermally conductive sheet remained attached to the SUS plate.
x: A part or the whole of the thermally conductive sheet was peeled off from the SUS plate.

本発明の実施形態に係る熱伝導性シートは、良好なリワーク性を有することが明らかとなった。 It has been revealed that the thermally conductive sheet according to the embodiment of the present invention has good reworkability.

１発熱部材
２ヒートシンク
１０熱伝導性シート
１３、１５マトリックス成分
１４、１６熱伝導性フィラー
１４Ａ炭素繊維
１４Ｂアルミナ粒子
１４Ｃ酸化亜鉛粒子
３０押出機
３１流路
３２第１ギャップ
３３第２ギャップ
３４スクリュー
４０、５０樹脂シート
５１、５２
５３テーブル
５４、５７カッター
５５積層体
６１開口
REFERENCE SIGNS LIST 1 heat generating member 2 heat sink 10 thermally conductive sheet 13, 15 matrix component 14, 16 thermally conductive filler 14A carbon fiber 14B alumina particles 14C zinc oxide particles 30 extruder 31 flow path 32 first gap 33 second gap 34 screw 40, 50 resin sheet 51, 52
53 table 54, 57 cutter 55 laminate 61 opening

Claims

A sheet body made of a resin composition containing a resin and a first thermally conductive filler;
A plurality of protrusions having adhesive properties are provided on one or both sides of the sheet body,
The thermally conductive sheet, wherein the protrusions contain a second thermally conductive filler.

The thermally conductive sheet according to claim 1, wherein the convex portions of the sheet body are provided on an area of 12.4% to 76.2% of the entire surface of the sheet body.

The thermally conductive sheet according to claim 1 or 2, wherein the convex portion is made of a resin composition containing silicone and a second thermally conductive filler.

The thermally conductive sheet according to claim 3, wherein the second thermally conductive filler is aluminum oxide particles.

The thermally conductive sheet according to claim 3, wherein the content of the second thermally conductive filler is 200 parts by weight or more and 400 parts by weight or less per 100 parts by weight of the silicone.

The shape of the protrusion is columnar,
3. The thermally conductive sheet according to claim 1, wherein the protrusions have a maximum diameter on the upper surface of 0.5 to 2 mm and a height of 10 to 30 μm.

the first thermally conductive filler is an anisotropic filler,
The thermally conductive sheet according to claim 1 , wherein the first thermally conductive filler is oriented in a thickness direction of the sheet body.