JP2024029591A - Sheet sticking device and sheet sticking method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。 The present invention relates to a sheet pasting device and a sheet pasting method.
接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 BACKGROUND ART A sheet pasting device for pasting an adhesive sheet onto an adherend is known (for example, see Patent Document 1).
特許文献1に記載されたテープ貼り付けシステム(シート貼付装置)では、ウェハW(被着体)の外周側面(外周面)に貼付された保護テープ(接着シート)は、被着体のノッチ(切欠部)周辺における被着体への接着面積が少なくなるため、当該被着体に各種の処理が施される次工程等において、当該切欠部周辺からめっき液やエッチング剤等の不純物が入り込み易くなり、接着シートで保護した被着体の保護領域が不純物で汚染されるという不都合を発生する。 In the tape pasting system (sheet pasting device) described in Patent Document 1, the protective tape (adhesive sheet) pasted on the outer peripheral side surface (outer peripheral surface) of the wafer W (adherent) is attached to the notch ( Since the adhesion area to the adherend is reduced around the notch, impurities such as plating solution and etching agent can easily enter from around the notch in the next process where the adherend is subjected to various treatments. This results in the inconvenience that the protected area of the adherend protected by the adhesive sheet is contaminated with impurities.
本発明の目的は、切欠部周辺から不純物が入り込み難くすることができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a sheet pasting device and a sheet pasting method that can make it difficult for impurities to enter from around the notch.
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。 The present invention employs the configuration described in the claims.
本発明によれば、被着体に貼付された接着シートの接着面を切欠の位置で相互に接着させるので、切欠部周辺から不純物が入り込み難くすることができる。 According to the present invention, the adhesive surfaces of the adhesive sheets affixed to the adherend are bonded to each other at the position of the notch, making it difficult for impurities to enter from around the notch.
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な矢印DR方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図1(C)は、図1(A)のAA矢視図、図1(D)は、図1(A)のBB矢視図。
Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described based on the drawings.
Note that the X-axis, Y-axis, and Z-axis in this embodiment are orthogonal to each other, and the X-axis and Y-axis are axes within a predetermined plane, and the Z-axis is an axis perpendicular to the predetermined plane. do. Furthermore, in this embodiment, when viewing from the arrow DR direction parallel to the Y-axis as a reference, and when directions are indicated without specifying a figure, "up" is the direction of the Z-axis arrow and "down" is the direction of the arrow. In the opposite direction, "left" is the direction of the arrow on the X-axis, "right" is the opposite direction, "front" is the front direction in FIG. 1 parallel to the Y-axis, and "rear" is the opposite direction. Note that FIG. 1(C) is a view taken in the direction of the AA arrow in FIG. 1(A), and FIG. 1(D) is a view taken in the direction of the BB arrow in FIG. 1(A).
本発明のシート貼付装置EAは、接着シートASを所定の供給方向SDに沿って供給する供給工程を実施する供給手段10と、被着体WKの一方の面WK1の外縁部と他方の面WK2の外縁部と外周面WK3とに接着シートASを貼付する貼付工程を実施する貼付手段20と、被着体WKに貼付された接着シートASの接着面ASSを切欠としてのVノッチVNの形成部で相互に接着させる相互接着工程を実施する相互接着手段30とを備え、被着体WKとシート貼付装置EAとを相対移動させる移動工程を実施する移動手段40と、被着体WKに設けられたVノッチVNを検知する切欠検知手段50との近傍に配置されている。
なお、本実施形態の接着シートは、所定のエネルギーとしての熱によって変形するものが採用されている。
また、本実施形態の被着体WKは、被着体中心WKCを中心とする円形形状のものが採用され、当該被着体WKの外周面WK3には、一方の面WK1から他方の面WK2へ抜けるVノッチVNが形成されている。
The sheet pasting apparatus EA of the present invention includes a supply means 10 that performs a supply process of supplying an adhesive sheet AS along a predetermined supply direction SD, an outer edge of one surface WK1 of an adherend WK, and an outer edge portion of the other surface WK2 of an adherend WK. an adhering means 20 for performing an adhering step of adhering the adhesive sheet AS to the outer edge and the outer circumferential surface WK3 of the adherend WK; a mutual adhesion means 30 for performing a mutual adhesion step of adhering the adherend WK and the sheet pasting device EA to each other; It is arranged near the notch detection means 50 for detecting the V-notch VN.
Note that the adhesive sheet of this embodiment is one that is deformed by heat as predetermined energy.
Further, the adherend WK of this embodiment has a circular shape centered on the adherend center WKC, and the outer circumferential surface WK3 of the adherend WK has one surface WK1 to the other surface WK2. A V-notch VN is formed to pass through.
供給手段10は、当該供給手段10を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材11と、接着シートASが帯状の剥離シートRLに仮着された原反RSを支持する支持ローラ12と、原反RSを案内するガイドローラ13と、剥離縁14Aで剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板14と、駆動機器としての回動モータ15Aの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ15Bとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ15と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置EAの自動運転が行われている間、ピンチローラ15Bとの間に存在する剥離シートRLに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートRLを回収する回収手段としての回収ローラ16と、被着体WKに貼付される接着シートASに張力を付与する張力付与手段17とを備えている。
張力付与手段17は、トルク制御が可能な駆動機器としての回動モータ17Aと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ17Bとで原反RSを挟み込む駆動ローラ17Cとを備えている。
The supply means 10 includes a support member 11 that directly or indirectly supports each member constituting the supply means 10, and a support roller that supports the raw fabric RS on which the adhesive sheet AS is temporarily attached to the strip-shaped release sheet RL. 12, a guide roller 13 for guiding the raw fabric RS, a peeling plate 14 as a peeling means for folding back the release sheet RL at the peeling edge 14A and peeling the adhesive sheet AS from the release sheet RL, and a rotating drive device. The drive roller 15 is supported by the output shaft (not shown) of the motor 15A and pinches the release sheet RL with the pinch roller 15B, and the output shaft of a drive device (not shown) is supported while the sheet pasting apparatus EA is automatically operated. , the collection roller 16 as a collection means that constantly applies a predetermined tension to the release sheet RL existing between the pinch roller 15B and collects the release sheet RL, and the adhesive sheet AS attached to the adherend WK. A tension applying means 17 for applying tension is provided.
The tension applying means 17 includes a rotation motor 17A as a drive device capable of torque control, and a drive roller 17C supported by an output shaft (not shown) of the rotation motor 17A, which pinches the original fabric RS with a pinch roller 17B.
貼付手段20は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第1押圧ローラ21と、接着シートASに所定のエネルギーである熱としての熱風HAを付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段であって、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した熱風HAを吹き付ける熱風送風機22と、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第2押圧ローラ23、第3押圧ローラ24とを備え、接着シートASの供給方向先端縁ASAをVノッチVNの形成部に位置させて当該接着シートASを被着体WKに貼付するようになっている(図2(A)、(B)参照)。
なお、本実施形態の第1押圧ローラ21は、図1(A)中二点鎖線で示すように、被着体WKの被着体中心WKCが基準位置RPに配置された際、供給手段10から供給された接着シートASを当該被着体WKの外周面WK3に押圧可能な位置に配置されている。
また、熱風送風機22は、図1(A)中二点鎖線で示すように、被着体WKの被着体中心WKCが基準位置RPに配置された際、当該被着体WKの外周面WK3に貼付された接着シートASのはみ出し領域ASHに熱風HAを吹き付け可能な位置に配置されている(図1(C)参照)。
さらに、第2、第3押圧ローラ23、24は、図1(D)、(E)に示すように、それぞれ上下一対とされ、図1(A)に示すように、被着体WKの被着体中心WKCが基準位置RPに配置された際、当該被着体WKの外周面WK3に貼付された接着シートASのはみ出し領域ASHを、それぞれ一方の面WK1方向および他方の面WK2方向に折り曲げ可能な位置に配設されている。本実施形態では、第2、第3押圧ローラ23、24は、Z軸に対してそれぞれ45度、90度基準位置RP方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっている。
The pasting means 20 includes a first pressing roller 21 as a pressing member that is rotatably supported by a bracket (not shown), and an energy supplying step for applying hot air HA as heat, which is predetermined energy, to the adhesive sheet AS. A hot air blower 22, which is an application means and blows hot air HA heated by a heating device (not shown) such as a coil heater or a heating side of a heat pipe, and a second pressing roller as a pressing member rotatably supported by a bracket (not shown). 23 and a third pressing roller 24, the adhesive sheet AS is attached to the adherend WK by positioning the leading edge ASA of the adhesive sheet AS in the feeding direction at the forming part of the V-notch VN (Fig. (See 2(A) and (B)).
Note that the first pressing roller 21 of the present embodiment is configured to press the supply means 10 when the adherend center WKC of the adherend WK is placed at the reference position RP, as shown by the two-dot chain line in FIG. 1(A). The adhesive sheet AS supplied from the adhesive sheet AS is placed at a position where it can be pressed against the outer circumferential surface WK3 of the adherend WK.
In addition, as shown by the two-dot chain line in FIG. The hot air HA is placed at a position where the hot air HA can be blown onto the protruding area ASH of the adhesive sheet AS attached to the adhesive sheet AS (see FIG. 1(C)).
Furthermore, as shown in FIGS. 1(D) and (E), the second and third pressing rollers 23 and 24 are arranged as an upper and lower pair, respectively, and as shown in FIG. When the center WKC of the adherend is placed at the reference position RP, the protruding area ASH of the adhesive sheet AS attached to the outer peripheral surface WK3 of the adherend WK is bent in the direction of one surface WK1 and the direction of the other surface WK2, respectively. placed in a possible location. In this embodiment, the second and third pressing rollers 23 and 24 are configured to rotate around rotating shafts that are inclined at 45 degrees and 90 degrees toward the reference position RP with respect to the Z axis, respectively.
相互接着手段30は、加圧ポンプやタービン等の送気手段31と、送気手段31から送られてきた大気や単体ガス等の気体AR(図2(D)参照)を吹き付けるノズル32を備えている。
ノズル32は、それぞれ上下一対とされ、図1(A)に示すように、被着体WKの被着体中心WKCが基準位置RPに配置された際、当該被着体WKに貼付された接着シートASに上下から気体ARを吹き付け可能な位置に配設されている。
The mutual adhesion means 30 includes an air supply means 31 such as a pressure pump or a turbine, and a nozzle 32 that sprays a gas AR (see FIG. 2(D)) such as the atmosphere or a single gas sent from the air supply means 31. ing.
The nozzles 32 are arranged as a pair of upper and lower parts, respectively, and as shown in FIG. It is arranged at a position where gas AR can be sprayed onto the sheet AS from above and below.
移動手段40は、駆動機器としてのリニアモータ41と、そのスライダ41Aに支持された駆動機器としての回動モータ42と、その出力軸42Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能な支持面43Aを有する支持テーブル43とを備えている。
なお、本実施形態の支持テーブル43は、回動モータ42によってテーブル中心43Cを中心に回転する構成となっている。
The moving means 40 includes a linear motor 41 as a driving device, a rotary motor 42 as a driving device supported by a slider 41A thereof, and a decompression device (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector supported by an output shaft 42A thereof. The support table 43 has a support surface 43A that can be held by suction (holding means).
Note that the support table 43 of this embodiment is configured to rotate around a table center 43C by a rotation motor 42.
切欠検知手段50は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された検知機器51を備えている。検知機器51は、VノッチVNを検知した位置を回動モータ42から出力されるパルス信号に紐づけ、当該VノッチVNの位置を検知したり記憶したりするようになっている。 The notch detection means 50 includes a detection device 51 including an imaging means such as a camera and a projector, and various sensors such as an optical sensor and an ultrasonic sensor. The detection device 51 associates the detected position of the V-notch VN with the pulse signal output from the rotation motor 42, and detects and stores the position of the V-notch VN.
以上のシート貼付装置EAの動作を説明する。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EAに対し、当該シート貼付装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段10が回動モータ15A、17Aを駆動し、原反RSを繰り出して図1(A)に示すように、先頭の接着シートASの供給方向先端部ASFが、剥離板14の剥離縁14Aによって折り返された剥離シートRLの折返し部で当該剥離シートRLから所定長さ剥離されると、回動モータ15A、17Aの駆動を停止する。
The operation of the above sheet pasting device EA will be explained.
First, a user of the sheet applicator EA (hereinafter simply referred to as "user") sets the sheet applicator EA in which each member is placed at the initial position shown by the solid line in FIG. After setting the original fabric RS, a signal to start automatic operation is inputted via an operation means (not shown) such as an operation panel or a personal computer. Then, the supply means 10 drives the rotary motors 15A and 17A to feed out the original fabric RS, and as shown in FIG. When a predetermined length of the release sheet RL is peeled off from the folded portion of the release sheet RL by the edge 14A, the driving of the rotation motors 15A and 17A is stopped.
次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図1(A)に示すように、被着体中心WKCがテーブル中心43Cと重なるように、被着体WKを支持面43A上に載置すると、移動手段40が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面43Aでの吸着保持を開始する。この際、被着体WKは、外周面WK3が検知機器51の検知領域に位置する。その後、移動手段40および切欠検知手段50が回動モータ42および検知機器51を駆動し、上方から見下ろした上面視で被着体WKを反時計回転方向RDに回転させ、検知機器51にVノッチVNの位置を記憶させる。次に、移動手段40が検知機器51の記憶を基にして、図1(A)中二点鎖線で示すように、VノッチVNの形成位置の中央部から接着シートASの貼付が開始されるように、被着体WKの位置決めをして回動モータ42の駆動を停止する。 Next, as shown in FIG. 1(A), a user or a transport means (not shown) such as an articulated robot or a belt conveyor moves the adherend WK onto the support surface so that the center WKC of the adherend overlaps the center 43C of the table. When placed on the supporting surface 43A, the moving means 40 drives a pressure reducing means (not shown) to start suction and holding on the supporting surface 43A. At this time, the outer peripheral surface WK3 of the adherend WK is located in the detection area of the detection device 51. Thereafter, the moving means 40 and the notch detecting means 50 drive the rotary motor 42 and the detecting device 51 to rotate the adherend WK in the counterclockwise direction RD in a top view looking down from above, so that the detecting device 51 has a V notch. Memorize the VN position. Next, based on the memory of the detection device 51, the moving means 40 starts pasting the adhesive sheet AS from the center of the V-notch VN formation position, as shown by the two-dot chain line in FIG. 1(A). After positioning the adherend WK, the rotation motor 42 is stopped.
そして、移動手段40がリニアモータ41を駆動し、支持テーブル43を左方へ移動させ、図1(A)中二点鎖線で示すように、テーブル中心43C(被着体中心WKC)が基準位置RPと一致すると、リニアモータ41の駆動を停止する。次いで、供給手段10および移動手段40が回動モータモータ15A、17A、42を駆動し、上方から見下ろした上面視で被着体WKを反時計回転方向RDに回転させつつ接着シートASを供給するとともに、貼付手段20が熱風送風機22を駆動し、被着体WKに向けて熱風HAを吹き付ける。これにより、接着シートASが剥離シートRLの折返し部で当該剥離シートRLから剥離され、当該離シートRLから剥離された接着シートASは、図1(A)中二点鎖線および図1(B)に示すように、はみ出し領域ASHが形成された状態で、第1押圧ローラ21によって被着体WKの外周面WK3に押圧されて貼付される。その後、外周面WK3に貼付された接着シートASが熱風送風機22の熱風送風領域を通過すると、当該接着シートASに熱風HAが吹き付けられ、はみ出し領域ASHが熱風HAによって変形し、図1(C)に示すように、被着体WKの一方の面WK1方向および他方の面WK2方向に折れ曲がっていく。その後も回動モータモータ15A、17A、42の駆動および熱風送風機22の駆動が続行されると、接着シートASは、図1(D)、(E)、図2(A)に示すように、第2、第3押圧ローラ23、24によってはみ出し領域ASHが段階的に折り曲げられ、被着体WKの一方の面WK1および他方の面WK2に貼付されていく。 Then, the moving means 40 drives the linear motor 41 to move the support table 43 to the left, so that the table center 43C (adherent center WKC) is at the reference position, as shown by the two-dot chain line in FIG. 1(A). When it matches RP, driving of the linear motor 41 is stopped. Next, the supplying means 10 and the moving means 40 drive the rotary motors 15A, 17A, and 42 to supply the adhesive sheet AS while rotating the adherend WK in the counterclockwise rotation direction RD when viewed from above. At the same time, the pasting means 20 drives the hot air blower 22 to blow hot air HA toward the adherend WK. As a result, the adhesive sheet AS is peeled off from the release sheet RL at the folded part of the release sheet RL, and the adhesive sheet AS peeled off from the release sheet RL is separated by the two-dot chain line in FIG. As shown in FIG. 2, the adhesive is pressed and attached to the outer circumferential surface WK3 of the adherend WK by the first pressing roller 21 in a state in which the protruding area ASH is formed. After that, when the adhesive sheet AS attached to the outer peripheral surface WK3 passes through the hot air blowing area of the hot air blower 22, the hot air HA is blown onto the adhesive sheet AS, and the protruding area ASH is deformed by the hot air HA, as shown in FIG. 1(C). As shown in the figure, one surface of the adherend WK is bent in the direction of WK1 and the other surface of the adherend WK is bent in the direction of WK2. After that, when the rotation motors 15A, 17A, and 42 and the hot air blower 22 continue to be driven, the adhesive sheet AS becomes as shown in FIGS. 1(D), (E), and 2(A). The protruding area ASH is bent in stages by the second and third pressing rollers 23 and 24, and is attached to one surface WK1 and the other surface WK2 of the adherend WK.
次に、先頭の接着シートASに続く次の接着シートASの供給方向先端部ASFが、剥離シートRLの折返し部で当該剥離シートRLから所定長さ剥離されると、供給手段10が回動モータ15A、17Aの駆動を停止し、接着シートASの供給を停止する。そして、先頭の接着シートASの供給方向後端部ASRのはみ出し領域ASHが、熱風送風機22の熱風送風領域を通過すると、貼付手段20が熱風送風機22の駆動を停止し、同供給方向後端部ASRのはみ出し領域ASHが、第3押圧ローラ24によって被着体WKの一方の面WK1および他方の面WK2に貼付されると、図2(B)に示すように、被着体WKの一方の面WK1の外縁部と他方の面WK2の外縁部と外周面WK3とに接着シートASが貼付された一体物UPが形成される。次いで、移動手段40が検知機器51の記憶を基にして、図2(B)中二点鎖線および、図2(C)に示すように、VノッチVNがノズル32の気体吹き付け位置に到達すると、移動手段40が回動モータ42の駆動を停止する。 Next, when the leading end ASF in the supply direction of the next adhesive sheet AS following the first adhesive sheet AS is peeled off from the release sheet RL by a predetermined length at the folded part of the release sheet RL, the supply means 10 is activated by the rotating motor. The driving of 15A and 17A is stopped, and the supply of the adhesive sheet AS is stopped. Then, when the protruding area ASH of the rear end ASR in the supply direction of the first adhesive sheet AS passes through the hot air blowing area of the hot air blower 22, the pasting means 20 stops driving the hot air blower 22, and the rear end in the supply direction When the protruding area ASH of the ASR is pasted on one surface WK1 and the other surface WK2 of the adherend WK by the third pressing roller 24, as shown in FIG. An integral body UP is formed in which the adhesive sheet AS is attached to the outer edge of the surface WK1, the outer edge of the other surface WK2, and the outer peripheral surface WK3. Next, based on the memory of the detection device 51, the moving means 40 detects when the V notch VN reaches the gas spraying position of the nozzle 32, as shown by the two-dot chain line in FIG. 2(B) and in FIG. 2(C). , the moving means 40 stops driving the rotation motor 42.
その後、相互接着手段30が送気手段31を駆動し、図2(D)に示すように、被着体WKに貼付された接着シートASに各ノズル32から気体ARを吹き付け、VノッチVNの形成部で接着シートASの接着面ASSを相互に接着させる。次に、接着シートASの接着面ASSの相互接着が完了すると、相互接着手段30が送気手段31の駆動を停止した後、移動手段40がリニアモータ41を駆動し、支持テーブル43を初期位置に復帰させ、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面43Aでの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が一体物UPを支持面43A上から取り去り、当該一体物UPを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。 After that, the mutual adhesion means 30 drives the air supply means 31, and as shown in FIG. 2(D), gas AR is sprayed from each nozzle 32 onto the adhesive sheet AS attached to the adherend WK, and the V-notch VN is The adhesive surfaces ASS of the adhesive sheet AS are adhered to each other in the forming section. Next, when mutual adhesion of the adhesive surfaces ASS of the adhesive sheet AS is completed, the mutual adhesion means 30 stops driving the air supply means 31, and then the moving means 40 drives the linear motor 41 to move the support table 43 to the initial position. , the drive of the pressure reducing means (not shown) is stopped, and the adsorption and holding on the support surface 43A is released. Then, the user or a conveying means (not shown) removes the integral object UP from the support surface 43A and conveys the integral object UP to the next process, and thereafter the same operation as described above is repeated.
以上のような実施形態によれば、被着体WKに貼付された接着シートASの接着面ASSをVノッチVNの形成部で相互に接着させるので、VノッチVN周辺から不純物が入り込み難くすることができる。 According to the above-described embodiment, the adhesive surfaces ASS of the adhesive sheet AS attached to the adherend WK are bonded to each other at the forming portion of the V-notch VN, making it difficult for impurities to enter from around the V-notch VN. I can do it.
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、被着体の一方の面の外縁部と他方の面の外縁部と外周面とに接着シートを貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(その他の手段および工程も同じ)。 The means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions, or steps described with respect to the means and steps; It is not limited at all to the process. For example, the attachment means may be of any type as long as it is capable of attaching an adhesive sheet to the outer edge of one surface, the outer edge of the other surface, and the outer peripheral surface of the adherend, and in light of the common general knowledge at the time of filing. There is no limitation at all as long as it falls within the technical scope (the same applies to other means and processes).
供給手段10は、帯状の剥離シートRLに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートASとされた原反RSから当該接着シートASを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートRLに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートASとされた原反RSから当該接着シートASを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートRLに帯状の接着シートASが仮着された原反RSから当該帯状の接着シートASを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反RSから接着シートASを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートRLを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートRLに仮着されていない接着シートASを繰り出して供給してもよいし、被着体WKに貼付した接着シートASを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよいし、本発明のシート貼付装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置EAに備わっていない場合、他の装置や使用者が接着シートASを供給すればよい。 The supply means 10 is provided by forming a closed loop cut or a notch in the entire width direction of the short dimension in the band-shaped adhesive sheet base material temporarily attached to the band-shaped release sheet RL, thereby supplying a predetermined area partitioned by the cut. The adhesive sheet AS may be peeled off and supplied from the original fabric RS which has been made into the adhesive sheet AS, or a band-shaped adhesive sheet original fabric in which a band-shaped adhesive sheet base material is temporarily attached to a band-shaped release sheet RL is used. Then, in the middle of feeding out the strip-shaped adhesive sheet material, a cut in the adhesive sheet base material in a closed loop shape or across the entire short dimension width direction is formed using a cutting blade as a cutting means, and a predetermined area partitioned by the cut is formed in the adhesive sheet base material. The adhesive sheet AS may be peeled off and supplied from the original fabric RS on which the adhesive sheet AS is made, or the adhesive sheet AS may be peeled off and supplied from the original fabric RS on which the adhesive sheet AS is temporarily attached to the release sheet RL. The sheet AS may be peeled off and supplied, or the adhesive sheet AS may be peeled off and fed from the fan-folded original fabric RS without being wound, for example, or without being wound. For example, a collection means for collecting the release sheet RL by fan-folding it, cutting it into pieces with a shredder, etc., or randomly accumulating it, or it is not necessary to adopt a collection means, or the release sheet RL The adhesive sheet AS that is not temporarily attached to the RL may be fed out, or a cutting means may be provided to cut the adhesive sheet AS attached to the adherend WK into a predetermined length. The adhesive sheet AS may or may not be included in the sheet applicator EA of the present invention, and if the sheet applicator EA of the present invention is not provided with the adhesive sheet AS, another device or a user may supply the adhesive sheet AS.
貼付手段20は、図2(E)に示すように、接着シートの供給方向先端縁ASAおよび供給方向端縁ASBをVノッチVNの形成部に位置させて当該接着シートASを被着体WKに貼付してもよいし、接着シートの供給方向先端縁ASAをVノッチVNの形成部に位置させることなく、供給方向後端縁ASBをVノッチVNの形成部に位置させて当該接着シートASを被着体WKに貼付してもよいし(不図示)、図2(F)、(G)に示すように、接着シートの供給方向先端縁ASAおよび供給方向後端縁ASBをVノッチVNの形成部に位置させることなく、当該接着シートASを被着体WKに貼付してもよいし、VノッチVNの形成部以外の位置で、接着シートASの供給方向先端部ASFと供給方向後端部ASRとが重なり合うようにして当該接着シートASを被着体WKに貼付したり、接着シートASの供給方向先端縁ASAと、供給方向後端縁ASBとが接触するように突き合わせ、当該接着シートASを被着体WKに貼付したり、接着シートASの供給方向先端縁ASAと、供給方向後端縁ASBとの間に隙間ができるように突き合わせ、当該接着シートASを被着体WKに貼付したりしてもよいし、VノッチVN全体を覆うようにして接着シートASを被着体WKに貼付したり、VノッチVNの一部が表出するようにして接着シートASを被着体WKに貼付したりしてもよいし、第2、第3押圧ローラ23、24が、Z軸に対してそれぞれ60度、89度といった角度で基準位置RP方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっていてもよいし、はみ出し領域が形成されるように接着シートASを一方の面WK1に貼付した後、当該はみ出し領域を外周面WK3方向に折り曲げて当該はみ出し領域を外周面WK3に貼付し、さらに、当該はみ出し領域を他方の面WK2方向に折り曲げて当該はみ出し領域を他方の面WK2に貼付してもよいし、前記実施形態では、第1、第2、第3押圧ローラ21、23、24の3体の押圧部材を採用し、接着シートASを3段階で被着体WKに貼付したが、4体以上の押圧部材を採用し、接着シートASを4段階以上で被着体WKに貼付したり、2体以下の押圧部材を採用し、接着シートASを2段階以下で被着体WKに貼付したりしてもよいし、押圧部材として第1、第2、第3押圧ローラ21、23、24に代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルトまたはエアの吹付け等を採用し、接着シートASを被着体WKに貼付してもよいし、接着シートASを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよいし、例えば、第1押圧ローラ21の代わりに、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能な保持部材を採用し、この保持部材で保持した接着シートASを一方の面WK1に貼付する構成としてもよいし、押圧部材およびエネルギー付与手段のうち少なくとも一方のみで、一方の面WK1の外縁部と他方の面WK2の外縁部と外周面WK3とに接着シートASを貼付してもよい。
貼付手段20に採用されるエネルギー付与手段は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、X線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートASの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、外周面WK3に貼付された接着シートASのはみ出し領域ASHに所定のエネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよいし、第2、第3押圧ローラ23、24や他の押圧部材等を介さずに、はみ出し領域ASHを被着体WKの一方の面WK1や他方の面WK2方向に折り曲げて貼付してもよいし、はみ出し領域ASHに一括で所定のエネルギーを付与することで、当該はみ出し領域ASHを一括で一方の面WK1や他方の面WK2方向に折り曲げて貼付してもよいし、本発明のシート貼付装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
As shown in FIG. 2(E), the pasting means 20 positions the leading edge ASA and the leading edge ASB of the adhesive sheet in the supply direction at the forming part of the V-notch VN, and applies the adhesive sheet AS to the adherend WK. Alternatively, the adhesive sheet AS may be attached by positioning the leading edge ASA in the supply direction of the adhesive sheet in the forming part of the V-notch VN, but by positioning the trailing edge ASB in the feeding direction in the forming part of the V-notch VN. It may be attached to the adherend WK (not shown), or as shown in FIGS. The adhesive sheet AS may be attached to the adherend WK without being located at the forming part, or the leading end ASF in the feeding direction and the trailing end in the feeding direction of the adhesive sheet AS may be attached at a position other than the forming part of the V notch VN. The adhesive sheet AS is attached to the adherend WK so that the parts ASR overlap, or the adhesive sheet AS is butted so that the leading edge ASA in the feeding direction and the trailing edge ASB in the feeding direction are in contact with each other. Attach AS to the adherend WK, or butt the adhesive sheet AS so that there is a gap between the leading edge ASA in the supply direction and the trailing edge ASB in the supply direction, and attach the adhesive sheet AS to the adherend WK. Alternatively, the adhesive sheet AS may be attached to the adherend WK so as to cover the entire V-notch VN, or the adhesive sheet AS may be attached to the adherend WK so that a part of the V-notch VN is exposed. The second and third pressing rollers 23 and 24 may be attached to the WK, and the second and third pressing rollers 23 and 24 may be rotated around rotating shafts that are inclined in the direction of the reference position RP at angles of 60 degrees and 89 degrees with respect to the Z axis, respectively. Alternatively, the adhesive sheet AS may be attached to one surface WK1 so as to form a protruding area, and then the protruding area may be bent in the direction of the outer circumferential surface WK3, and the protruding area may be attached to the outer circumferential surface WK3. Then, the protruding area may be bent in the direction of the other surface WK2 and the protruding area may be attached to the other surface WK2. In the embodiment, the first, second, and third pressing rollers 21, Three pressing members No. 23 and 24 were used to apply the adhesive sheet AS to the adherend WK in three stages. The adhesive sheet AS may be attached to the adherend WK in two or less steps by employing two or fewer pressing members, or the first, second, and third pressing members may be used as pressing members. Instead of or in combination with the rollers 21, 23, and 24, a guide plate, a circulating belt, or air blowing may be used to apply the adhesive sheet AS to the adherend WK. For example, instead of the first pressing roller 21, it may be provided with a cutting means for cutting into a predetermined length. It is also possible to adopt a structure in which a holding member that can be held by suction by a decompression means (holding means) that does not hold the pressure is applied, and the adhesive sheet AS held by this holding member is attached to one surface WK1. The adhesive sheet AS may be attached to at least one of the outer edges of one surface WK1, the outer edge of the other surface WK2, and the outer circumferential surface WK3.
The energy applying means employed in the pasting means 20 may be one that applies electromagnetic waves such as ultraviolet rays, infrared rays, visible light, sound waves, X-rays, or gamma rays, or heat such as hot water or hot air as predetermined energy. Any type of energy may be applied as long as it can deform the adhesive sheet in consideration of the characteristics, properties, properties, materials, composition, structure, etc. of the sheet AS, and It may be provided at a position other than the position shown in , and may be provided at any position where a predetermined energy can be applied to the protruding area ASH of the adhesive sheet AS attached to the outer circumferential surface WK3. , the protruding area ASH may be bent and pasted in the direction of one surface WK1 or the other surface WK2 of the adherend WK without using the second and third pressing rollers 23, 24 or other pressing members. By applying a predetermined energy to the protruding area ASH all at once, the protruding area ASH may be bent and pasted in the direction of one surface WK1 or the other surface WK2, or the sheet pasting apparatus EA of the present invention may be used. It may or may not be provided.
相互接着手段30は、例えば、被着体WKの一方の面WK1側(他方の面WK2側)のみにノズル32が配置され、被着体WKの他方の面WK2側(一方の面WK1側)に受け板や受けローラ等の受け部材が配置されていてもよいし、駆動機器としてのチャックシリンダを用い、当該チャックシリンダの出力部で被着体WKに貼付された接着シートASを把持し、当該接着シートASの接着面ASSをVノッチVNの形成部で相互に接着させる構成としてもよいし、接着シートASに所定のエネルギーである熱としての熱風を付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段として熱風送風機22と同等のものを、送気手段31に代えて採用し、例えば、ノズル32から噴き出される気体ARを熱風にすることで、VノッチVNの形成部での接着面ASSの相互接着を容易に行えるようにしてもよいし、図2(H)に示すように、駆動機器としての直動モータ33と、その出力軸33Aに支持された押圧部材34とで構成され、被着体WKに貼付された接着シートASの接着面ASSをVノッチVNの形成部で相互に接着させる構成でもよい。この場合、押圧部材34の内部または外部に、接着シートASに所定のエネルギーとしての熱を付与するエネルギー付与手段が備わっていてもよい。この場合、例えば、押圧部材34の内部にエネルギー付与手段を配置してもよい。相互接着手段30に採用されるエネルギー付与手段も、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、X線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートASの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、VノッチVNの形成部での接着面ASSの相互接着を行う際に、当該相互接着部分に所定のエネルギーを付与可能な位置であれば、どこに設けられていてもよい。 In the mutual adhesion means 30, for example, the nozzle 32 is arranged only on one surface WK1 side (the other surface WK2 side) of the adherend WK, and the nozzle 32 is arranged only on the other surface WK2 side (one surface WK1 side) of the adherend WK. A receiving member such as a receiving plate or a receiving roller may be disposed on the holder, and a chuck cylinder is used as a driving device, and the output part of the chuck cylinder grips the adhesive sheet AS affixed to the adherend WK, The adhesive surfaces ASS of the adhesive sheet AS may be adhered to each other at the V-notch VN formation portion, or an energy application step may be performed in which hot air as heat, which is predetermined energy, is applied to the adhesive sheet AS. As a means, a device equivalent to the hot air blower 22 is adopted in place of the air blowing means 31, and, for example, by turning the gas AR spouted from the nozzle 32 into hot air, the adhesive surface ASS at the forming part of the V notch VN is Alternatively, as shown in FIG. 2(H), it may be made up of a direct-acting motor 33 as a driving device and a pressing member 34 supported by its output shaft 33A. A configuration may also be adopted in which the adhesive surfaces ASS of the adhesive sheet AS affixed to the wearer WK are adhered to each other at the forming portion of the V notch VN. In this case, the pressing member 34 may be provided with an energy applying means inside or outside thereof for applying heat as predetermined energy to the adhesive sheet AS. In this case, for example, energy applying means may be arranged inside the pressing member 34. The energy application means employed in the mutual adhesion means 30 may also apply electromagnetic waves such as ultraviolet rays, infrared rays, visible light, sound waves, X-rays, or gamma rays, or heat such as hot water or hot air as predetermined energy. Any type of energy can be applied as long as it can deform the adhesive sheet in consideration of the characteristics, properties, properties, materials, composition, structure, etc. of the adhesive sheet AS. It may be provided at a position other than the position shown in the form, and may be provided at a position where a predetermined energy can be applied to the mutually bonded portion when mutually bonding the bonding surfaces ASS at the forming part of the V notch VN. It may be located anywhere.
移送手段40は、保持面43Aでの吸着保持ができない支持テーブル43が採用されてもよいし、リニアモータ41、回動モータ42および支持テーブル43に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、被着体WKを移動させてもよいし、被着体WKに接着シートASを貼付する際、当該被着体WKを支持テーブル43とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、本発明のシート貼付装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。 The transfer means 40 may employ a support table 43 that cannot be held by suction on the holding surface 43A, or may be replaced with or used in combination with the linear motor 41, rotation motor 42, and support table 43, for example, by using other devices. The adherend WK may be moved by a driving device (not shown) or the like, and a holding means is provided to sandwich the adherend WK between the support table 43 when attaching the adhesive sheet AS to the adherend WK. The sheet pasting apparatus EA of the present invention may or may not be equipped with the sheet pasting apparatus EA of the present invention.
切欠検知手段50は、例えば、テーブル中心43C(被着体中心WKC)が基準位置RPと一致した状態で、VノッチVNを検知できる位置やその他の位置に設けられていてもよいし、被着体WKを一括で撮像したり一括でセンシングしたりしてVノッチVNを検知してもよいし、VノッチVNを検知した情報を、シート貼付装置EAを構成する各手段や移動手段40または他の装置等の他の手段に出力し、当該他の手段でVノッチVNの位置を記憶するようにしてもよいし、本発明のシート貼付装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置EAに切欠検知手段50が備わっていない場合、例えば、被着体WKに設けられた切欠が所定の位置となるようにして、当該被着体WKを支持面43A上に載置すればよい。 The notch detection means 50 may be provided, for example, at a position where the V-notch VN can be detected with the table center 43C (adherent center WKC) aligned with the reference position RP, or at another position. The V notch VN may be detected by collectively imaging the body WK or by collectively sensing the body WK, or the information obtained by detecting the V notch VN may be transmitted to each means constituting the sheet pasting device EA, the moving means 40, or other means. The position of the V notch VN may be outputted to other means such as a device, and the position of the V notch VN may be stored by the other means, and the sheet pasting apparatus EA of the present invention may or may not be provided with it. Alternatively, if the sheet applicator EA of the present invention is not equipped with the notch detection means 50, for example, the notch provided in the adherend WK is at a predetermined position, and the adherend WK is placed on the support surface. 43A.
シート貼付装置EAは、1つまたは複数の被着体WKに1枚の接着シートASを貼付したり、1つまたは複数の被着体WKに複数の接着シートASを貼付したりしてもよいし、被着体WKの一方の面WK1側および他方の面WK2側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材を配置したり貼付したりして、接着シートASで当該被着体WKと支持部材とを一体化させてもよいし、貼付手段20によって接着シートASに付与する所定のエネルギーと、相互接着手段30によって接着シートASに付与する所定のエネルギーは、同種のエネルギーでもよいし、異種のエネルギーでもよい。
シート貼付装置EAは、接着シートASが弾性変形が可能なものとされた場合、張力付与手段17によって、駆動ローラ17Cを介して接着シートASから加わるトルクを検知して、当該トルクが常に所定の値となるようにしながら接着シートASを供給することで、内在する弾性復元力によってはみ出し領域ASHを一方の面WK1方向および他の面WK2方向に折れ曲がった折れ曲がり姿勢としてもよい。なお、弾性復元力によって折れ曲がり姿勢となったはみ出し領域ASHは、押圧部材およびエネルギー付与手段のうち少なくとも一方を介して、一方の面WK1の外縁部および他方の面WK2の外縁部に貼付されてもよいし、押圧部材およびエネルギー付与手段の両方を介さずに、一方の面WK1の外縁部および他方の面WK2の外縁部に貼付されてもよい。
張力付与手段17は、原反RSや接着シートASを摺動可能に把持し、この把持力を調整して被着体WKに貼付される接着シートASに張力を付与したり、トルク制御ができない回動モータ17Aが採用されたりしてもよいし、接着シートASの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートASに付与する所定の張力を使用者が任意に決定することができるし、本発明のシート貼付装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
なお、上記の実施形態では、張力付与手段17を供給手段10の構成物として説明したが、当該張力付与手段17は、供給手段10の構成物ではなく独立した構成されてもよく、例えば、剥離板14と第1押圧ローラ21との間に位置し、被着体WKに貼付される接着シートASに張力を付与してもよい。
次工程は、被着体WKや接着シートASを対象としためっき工程、エッチング工程、浸漬工程、切断工程、研削工程、研磨工程、塗装工程、積層工程、シート接着工程、表面処理工程、穴あけ工程、曲げ工程、検査工程、検証工程、照射工程等、どのような工程でもよい。
The sheet applying device EA may apply one adhesive sheet AS to one or more adherends WK, or apply a plurality of adhesive sheets AS to one or more adherends WK. Then, a supporting member such as metal, glass, resin, or other adhesive sheet is placed or attached to at least one of one surface WK1 side and the other surface WK2 side of the adherend WK, and an adhesive sheet is formed. The adherend WK and the support member may be integrated by AS, and the predetermined energy applied to the adhesive sheet AS by the pasting means 20 and the predetermined energy applied to the adhesive sheet AS by the mutual adhesion means 30 are , may be the same type of energy or may be different types of energy.
When the adhesive sheet AS is elastically deformable, the sheet pasting device EA uses the tension applying means 17 to detect the torque applied from the adhesive sheet AS via the drive roller 17C, and ensures that the torque is always at a predetermined level. By supplying the adhesive sheet AS while maintaining the same value, the protruding area ASH may be bent in the direction of one surface WK1 and the other surface WK2 due to the inherent elastic restoring force. Note that even if the protruding area ASH, which is in a bent position due to elastic restoring force, is attached to the outer edge of one surface WK1 and the outer edge of the other surface WK2 through at least one of the pressing member and the energy applying means, Alternatively, it may be attached to the outer edge of one surface WK1 and the outer edge of the other surface WK2 without using both the pressing member and the energy applying means.
The tension applying means 17 slidably grips the original fabric RS and the adhesive sheet AS, adjusts this gripping force to apply tension to the adhesive sheet AS attached to the adherend WK, and cannot perform torque control. The rotation motor 17A may be adopted, and various conditions such as the characteristics, properties, properties, material, composition, configuration, shape, dimensions, and weight of the adhesive sheet AS, atmospheric conditions, and other factors are taken into consideration. The user can arbitrarily determine the predetermined tension to be applied to the adhesive sheet AS, and the sheet pasting device EA of the present invention may or may not be provided with the tension.
In the above embodiment, the tension applying means 17 has been described as a component of the supply means 10, but the tension applying means 17 may be configured independently instead of being a component of the supply means 10. Tension may be applied to the adhesive sheet AS located between the plate 14 and the first pressing roller 21 and attached to the adherend WK.
The next process is a plating process, an etching process, a dipping process, a cutting process, a grinding process, a polishing process, a painting process, a laminating process, a sheet adhesion process, a surface treatment process, and a drilling process for the adherend WK and adhesive sheet AS. , a bending process, an inspection process, a verification process, an irradiation process, or any other process.
接着シートASは、所定のエネルギーによって変形しないものでもよいし、所定のエネルギーによって変形するものである場合、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよい。
被着体WKは、一方の面WK1側および他方の面WK2側のうち少なくとも一方に、環状または非環状の凸部が形成されていてもよいし、一方の面WK1側および他方の面WK2側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材が取り付けられていてもよいし、一方の面WK1および他方の面WK2が外周面WK3に隣接していてもよいし、隣接していなくてもよい。
切欠は、VノッチVN以外に、例えば、コ字状、U字状等、どのような形状の切欠でもよい。
The adhesive sheet AS may be one that does not deform with a predetermined energy, or if it deforms with a predetermined energy, it may deform with contraction, deform with expansion, or be deformed with neither contraction nor expansion. It may also be something that deforms.
The adherend WK may have an annular or non-annular convex portion formed on at least one of one surface WK1 side and the other surface WK2 side, or one surface WK1 side and the other surface WK2 side. A supporting member such as metal, glass, resin, or other adhesive sheet may be attached to at least one of them, or one surface WK1 and the other surface WK2 may be adjacent to the outer peripheral surface WK3. , may not be adjacent.
The notch may have any shape other than the V-notch VN, such as a U-shape or a U-shape.
本発明における接着シートAS、支持部材および被着体WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートAS、支持部材および被着体WKは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートASは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された2層のもの、基材と接着剤層との間に1または複数の中間層が積層された3層または3層以上のもの、基材の上面に1または複数のカバー層が積層された3層または3層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、1または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASや他の接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。 The materials, types, shapes, etc. of the adhesive sheet AS, the support member, and the adherend WK in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS, the supporting member, and the adherend WK may have a circular shape, an oval shape, a polygonal shape such as a triangle or a quadrangular shape, or other shapes, and the adhesive sheet AS may have a pressure-sensitive adhesive property, a heat-sensitive adhesive property, or a heat-sensitive adhesive property. If a heat-sensitive adhesive sheet AS is adopted, a suitable heating means such as a coil heater or a heating side of a heat pipe is provided to heat the adhesive sheet AS. It may be bonded by any suitable method. In addition, such adhesive sheets AS include, for example, a single-layer adhesive sheet with only an adhesive layer, a two-layer adhesive sheet with a base material and an adhesive layer laminated, and a single-layer adhesive sheet AS with an adhesive layer between the base material and the adhesive layer. Three layers or three or more layers in which multiple intermediate layers are laminated, three or more layers in which one or more cover layers are laminated on the top surface of a base material, a base material, an intermediate layer, or a cover layer. Any type of material may be used, such as a removable sheet, a single-layer double-sided adhesive sheet consisting only of an adhesive layer, or a double-sided adhesive sheet with adhesive layers laminated on both outermost surfaces of one or more intermediate layers. . Further, as the adherend WK, for example, food, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit boards, information recording substrates such as optical disks, glass plates, steel plates, ceramics, wooden plates, resins, etc. The object may be a single object or a composite formed of two or more of them, and members or articles of any form can also be targeted. Adhesive sheet AS and other adhesive sheets can be read in terms of functionality and usage, such as information writing labels, decorative labels, protective sheets, dicing tapes, die attach films, die bonding tapes, and recording layer formation. Any sheet such as a resin sheet, film, tape, etc. may be used.
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、2軸または3軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。 The drive devices in the embodiment include rotary motors, direct-acting motors, linear motors, single-axis robots, so-called multi-joint robots with two or more axes of joints, and other electric devices, air cylinders, hydraulic cylinders, and rods. Actuators such as non-resistance cylinders and rotary cylinders may be used alone, or a direct or indirect combination of these electric devices and actuators may be used, and these electric devices, actuators, etc. It is also possible to adopt a device that allows torque control, speed control, etc. for the output portion of the device, or a device that does not allow torque control or speed control.
前記実施形態において、何らかの物体(以下「物体A」という)および当該物体Aに対して移動する物体(以下「物体B」という)すなわち、相対移動する物体Aおよび物体Bは、移動することのない物体Aに対して物体Bが移動してもよいし、移動することのない物体Bに対して物体Aが移動してもよいし、物体Aおよび物体Bの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Aおよび物体Bの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。 In the above embodiments, some object (hereinafter referred to as "object A") and an object that moves with respect to the object A (hereinafter referred to as "object B"), that is, objects A and B that move relatively, do not move. Object B may move relative to object A, object A may move relative to object B that does not move, or both object A and object B may move. Either object A or object B may be moved as long as the result achieved by the movement is the same, and if a rotating member such as a roller is employed, a drive device that rotationally drives the rotating member may be provided. Alternatively, the surface of the rotating member and the rotating member itself may be made of a deformable member such as rubber or resin, or the surface of the rotating member and the rotating member itself may be made of a material that does not deform. Instead of the roller, other members such as rotating or non-rotating shafts or blades may be used, or pressing means such as a pressing roller or a pressing head, or a pressing member that presses the object to be pressed may be used. If so, in place of or in combination with the examples exemplified above, rollers, round bars, blade materials, brush-like members, as well as those that use air or gas, etc., may be used, or those that use pressure. The product may be made of a deformable member such as rubber, resin, or sponge, or may be made of a non-deformable member such as metal or glass, or may be made of a peeling means such as a peeling plate or a peeling roller, or a peeling member such as a peeling plate or a peeling roller. If a device that peels off the object to be peeled is used, a member such as a plate member, a round bar, or a roller may be used in place of or in combination with the above-mentioned examples. It may be composed of a deformable member such as rubber or resin, or it may be composed of a non-deformable member, and a supported member (held member) such as a supporting (holding) means or a supporting (holding) member may be used. If something to support (hold) is used, gripping means such as mechanical chuck or chuck cylinder, Coulomb force, adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), magnetic force, Bernoulli adsorption It is also possible to adopt a structure in which the supported member is supported (held) by a suction suction device, a driving device, etc., or by cutting the member to be cut using a cutting means or a cutting member, or by making a cut or cutting line in the member to be cut. If a forming device is used, instead of or in combination with the above examples, a cutter blade, laser cutter, ion beam, thermal power, heat, water pressure, heating wire, spraying of gas or liquid, etc. It is also possible to use a cutting device or to move the cutting object using a combination of suitable drive equipment.
EA…シート貼付装置
20…貼付手段
22…熱風送風機(エネルギー付与手段)
30…相互接着手段
AS…接着シート
ASA…供給方向先端縁
ASB…供給方向先後縁
ASS…接着面
HA…熱風(所定のエネルギー)
SD…供給方向
VN…Vノッチ(切欠)
WK…被着体
WK1…一方の面
WK2…他方の面
WK3…外周面
EA... Sheet pasting device 20... Pasting means 22... Hot air blower (energy imparting means)
30... Mutual adhesion means AS... Adhesive sheet ASA... Leading edge in supply direction ASB... Leading edge in supply direction ASS... Adhesive surface HA... Hot air (predetermined energy)
SD…Supply direction VN…V notch (notch)
WK...Adherend WK1...One surface WK2...Other surface WK3...Outer peripheral surface
Claims (5)
前記被着体の前記外周面には、前記一方の面から前記他方の面へ抜ける切欠が形成されており、
前記被着体に貼付された前記接着シートの接着面を前記切欠の形成部で相互に接着させる相互接着手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。 In a sheet pasting device equipped with a pasting means for pasting an adhesive sheet to an outer edge of one surface, an outer edge of the other surface, and an outer peripheral surface of an adherend,
A notch extending from the one surface to the other surface is formed in the outer peripheral surface of the adherend,
A sheet pasting device further comprising mutual adhesion means for mutually adhering the adhesive surfaces of the adhesive sheet pasted to the adherend at the notch formation portion.
前記貼付手段および前記相互接着手段のうち少なくとも一方は、前記接着シートに前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。 The adhesive sheet is provided to be deformable by a predetermined energy,
The sheet pasting device according to claim 1, wherein at least one of the pasting means and the mutual adhesion means includes an energy applying means for applying the predetermined energy to the adhesive sheet.
前記貼付手段は、前記接着シートの供給方向先端縁を前記切欠の形成部に位置させて当該接着シートを前記被着体に貼付することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。 The adhesive sheet is fed along a predetermined feeding direction,
The sheet according to claim 1 or claim 2, wherein the pasting means places the leading edge of the adhesive sheet in the feeding direction at the notch formation portion and pastes the adhesive sheet to the adherend. Pasting device.
前記貼付手段は、前記接着シートの供給方向後端縁を前記切欠の形成部に位置させて当該接着シートを前記被着体に貼付することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。 The adhesive sheet is fed along a predetermined feeding direction,
3. The adhesive sheet according to claim 1 or 2, wherein the pasting means places the trailing edge of the adhesive sheet in the feeding direction at the notch formation part and pastes the adhesive sheet onto the adherend. Sheet pasting device.
前記被着体の前記外周面には、前記一方の面から前記他方の面へ抜ける切欠が形成されており、
前記被着体に貼付された前記接着シートの接着面を前記切欠の形成部で相互に接着させる相互接着工程をさらに行うことを特徴とするシート貼付方法。 In a sheet pasting method that performs a pasting step of pasting an adhesive sheet to the outer edge of one surface, the outer edge of the other surface, and the outer peripheral surface of an adherend,
A notch extending from the one surface to the other surface is formed in the outer peripheral surface of the adherend,
A sheet pasting method characterized by further performing a mutual adhesion step of bonding the adhesive surfaces of the adhesive sheet pasted to the adherend to each other at the notch formation portion.
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