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JP2024092800A - Resin material, cured article, and multilayer printed wiring board - Google Patents

Resin material, cured article, and multilayer printed wiring board Download PDF

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JP2024092800A
JP2024092800A JP2022208972A JP2022208972A JP2024092800A JP 2024092800 A JP2024092800 A JP 2024092800A JP 2022208972 A JP2022208972 A JP 2022208972A JP 2022208972 A JP2022208972 A JP 2022208972A JP 2024092800 A JP2024092800 A JP 2024092800A
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resin material
weight
less
cured
configuration
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JP2022208972A
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Japanese (ja)
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悠太 大當
Yuta Daito
奨 馬場
Susumu Baba
さやか 脇岡
Sayaka Wakioka
良平 増井
Ryohei Masui
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
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Abstract

To provide a resin material capable of lowering the dielectric constant and dielectric loss tangent of a cured article and improving the insulation reliability after the HAST test.SOLUTION: There is provided a resin material which comprises a radical polymerizable compound (A), hollow aluminosilicate particles (B) and a curing accelerator (C) and has the following first configuration or the following second configuration. The first configuration: the content of the radical polymerizable compound (A) in 100 wt.% of components excluding the solvent in the resin material is 20 wt.% or more. The second configuration: after the resin material is heated at 180°C for 30 minutes, and then when the dielectric loss tangent of a cured article (1) of the resin material obtained by heating at 200°C for 60 minutes and the dielectric loss tangent of a cured article (2) of the resin material after the cured article (1) is left to stand at 130°C and 85%RH for 100 hours are measured, respectively, the rate of change in the dielectric loss tangent calculated by the specific expression (Df) is 225% or less.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、ラジカル重合性化合物を含む樹脂材料に関する。また、本発明は、上記樹脂材料の硬化物に関する。さらに、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板に関する。 The present invention relates to a resin material containing a radically polymerizable compound. The present invention also relates to a cured product of the resin material. Furthermore, the present invention also relates to a multilayer printed wiring board using the resin material.

従来、半導体装置、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂材料が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂材料が用いられている。上記絶縁層の表面には、一般に金属である配線が積層される。また、上記絶縁層を形成するために、フィルム状の樹脂材料(樹脂フィルム)が用いられることがある。上記樹脂材料は、ビルドアップフィルムを含む多層プリント配線板用の絶縁材料等として用いられている。 Conventionally, various resin materials have been used to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminates, and printed wiring boards. For example, in multilayer printed wiring boards, resin materials are used to form insulating layers for insulating between internal layers and to form insulating layers located on the surface. Wiring, which is generally metal, is laminated on the surface of the insulating layer. Also, film-like resin materials (resin films) may be used to form the insulating layers. The resin materials are used as insulating materials for multilayer printed wiring boards, including build-up films.

下記の特許文献1には、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)中空無機粒子を含み、(C)中空無機粒子が特定の構成を満たす樹脂組成物が開示されている。 The following Patent Document 1 discloses a resin composition that contains (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, and (C) hollow inorganic particles, in which the (C) hollow inorganic particles satisfy a specific configuration.

特開2020-083966号公報JP 2020-083966 A

上記特許文献1に記載のように、エポキシ化合物と中空無機粒子とを含む樹脂材料が知られている。中空無機粒子を用いることにより、樹脂材料の硬化物の誘電率及び誘電正接をある程度低くすることができる。 As described in Patent Document 1, a resin material containing an epoxy compound and hollow inorganic particles is known. By using hollow inorganic particles, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured resin material can be lowered to a certain degree.

また、プリント配線板等の電子部品では、HAST試験(High Accelerated Stress Test)が行われることがある。しかしながら、上記特許文献1に記載のような中空無機粒子を含む従来の樹脂材料では、HAST試験後に絶縁信頼性が低下することがある。 In addition, electronic components such as printed wiring boards may undergo a High Accelerated Stress Test (HAST test). However, with conventional resin materials containing hollow inorganic particles as described in Patent Document 1, the insulation reliability may decrease after the HAST test.

本発明の目的は、硬化物の誘電率及び誘電正接を低くすることができ、かつ、HAST試験後の絶縁信頼性を高めることができる樹脂材料を提供することである。また、本発明は、上記樹脂材料の硬化物を提供することも目的とする。さらに、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板を提供することも目的とする。 The object of the present invention is to provide a resin material that can reduce the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product and can increase the insulation reliability after HAST testing. Another object of the present invention is to provide a cured product of the above resin material. Furthermore, the present invention is also to provide a multilayer printed wiring board using the above resin material.

本明細書において、以下の樹脂材料、硬化物及び多層プリント配線板を開示する。 This specification discloses the following resin material, cured product, and multilayer printed wiring board.

項1.ラジカル重合性化合物(A)と、中空アルミノシリケート粒子(B)と、硬化促進剤(C)とを含み、下記の第1の構成又は下記の第2の構成を備える、樹脂材料。 Item 1. A resin material containing a radically polymerizable compound (A), hollow aluminosilicate particles (B), and a curing accelerator (C), and having the following first configuration or the following second configuration.

第1の構成:樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記ラジカル重合性化合物(A)の含有量が、20重量%以上である。 First configuration: The content of the radical polymerizable compound (A) is 20% by weight or more out of 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.

第2の構成:樹脂材料を180℃で30分間加熱した後、200℃で60分間加熱して
得られた樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接と、前記樹脂材料の硬化物(1)を130℃及び85%RHで100時間静置した後の樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接とをそれぞれ測定したときに、下記式(Df)で算出される誘電正接の変化率が225%以下である。
Second configuration: When the dielectric tangent of a cured product (1) of the resin material obtained by heating a resin material at 180° C. for 30 minutes and then at 200° C. for 60 minutes and the dielectric tangent of a cured product (2) of the resin material obtained by leaving the cured product (1) of the resin material at rest for 100 hours at 130° C. and 85% RH are measured, the rate of change in the dielectric tangent calculated by the following formula (Df) is 225% or less.

誘電正接の変化率(%)=(|Df1-Df2|/Df1)×100 ・・・(Df) Change in dielectric tangent (%) = (|Df1-Df2|/Df1) x 100 ... (Df)

Df1:前記樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接
Df2:前記樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接
Df1: Dielectric tangent of the cured resin material (1) Df2: Dielectric tangent of the cured resin material (2)

項2.前記第1の構成を備える、項1に記載の樹脂材料。 Item 2. The resin material according to item 1, which has the first configuration.

項3.前記第2の構成を備える、項1に記載の樹脂材料。 Item 3. The resin material according to item 1, which has the second configuration.

項4.前記第1の構成と前記第2の構成とを備える、項1に記載の樹脂材料。 Item 4. The resin material according to item 1, comprising the first configuration and the second configuration.

項5.樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記中空アルミノシリケート粒子(B)の含有量が、55重量%以下である、項1~4のいずれか1項に記載の樹脂材料。 Item 5. The resin material according to any one of items 1 to 4, in which the content of the hollow aluminosilicate particles (B) is 55% by weight or less in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.

項6.前記中空アルミノシリケート粒子(B)が、表面処理された中空アルミノシリケート粒子である、項1~5のいずれか1項に記載の樹脂材料。 Item 6. The resin material according to any one of items 1 to 5, wherein the hollow aluminosilicate particles (B) are surface-treated hollow aluminosilicate particles.

項7.樹脂フィルムである、項1~6のいずれか1項に記載の樹脂材料。 Item 7. The resin material according to any one of items 1 to 6, which is a resin film.

項8.多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために用いられる、項1~7のいずれか1項に記載の樹脂材料。 Item 8. The resin material according to any one of items 1 to 7, which is used to form an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

項9.樹脂材料の硬化物であって、前記樹脂材料が、項1~8のいずれか1項に記載の樹脂材料である、硬化物。 Item 9. A cured product of a resin material, the resin material being the resin material described in any one of items 1 to 8.

項10.回路基板と、前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、項1~8のいずれか1項に記載の樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板。 Item 10. A multilayer printed wiring board comprising a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on a surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the plurality of insulating layers, at least one of the plurality of insulating layers being a cured product of the resin material described in any one of items 1 to 8.

本発明に係る樹脂材料は、ラジカル重合性化合物(A)と、中空アルミノシリケート粒子(B)と、硬化促進剤(C)とを含み、特定の第1の構成又は特定の第2の構成を備える。本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、硬化物の誘電率及び誘電正接を低くすることができ、かつ、HAST試験後の絶縁信頼性を高めることができる。 The resin material according to the present invention contains a radically polymerizable compound (A), hollow aluminosilicate particles (B), and a curing accelerator (C), and has a specific first configuration or a specific second configuration. Since the resin material according to the present invention has the above configuration, it is possible to reduce the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product, and to increase the insulation reliability after the HAST test.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to one embodiment of the present invention.

以下、本発明の詳細を説明する。 The details of the present invention are explained below.

(樹脂材料)
本発明に係る樹脂材料は、ラジカル重合性化合物(A)と、中空アルミノシリケート粒子(B)と、硬化促進剤(C)とを含み、下記の第1の構成又は下記の第2の構成を備える。
(Resin material)
The resin material according to the present invention contains a radically polymerizable compound (A), hollow aluminosilicate particles (B), and a curing accelerator (C), and has the following first configuration or the following second configuration.

第1の構成:樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記ラジカル重合性化合物(A)の含有量が、20重量%以上である。 First configuration: The content of the radical polymerizable compound (A) is 20% by weight or more out of 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.

第2の構成:樹脂材料を180℃で30分間加熱した後、200℃で60分間加熱して得られた樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接と、上記樹脂材料の硬化物(1)を130℃及び85%RHで100時間静置した後の樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接とをそれぞれ測定したときに、下記式(Df)で算出される誘電正接の変化率が225%以下である。 Second configuration: When the dielectric tangent of the cured resin material (1) obtained by heating the resin material at 180°C for 30 minutes and then at 200°C for 60 minutes and the dielectric tangent of the cured resin material (2) obtained after leaving the cured resin material (1) at 130°C and 85% RH for 100 hours are measured, the rate of change in the dielectric tangent calculated by the following formula (Df) is 225% or less.

誘電正接の変化率(%)=(|Df1-Df2|/Df1)×100 ・・・(Df) Change in dielectric tangent (%) = (|Df1-Df2|/Df1) x 100 ... (Df)

Df1:上記樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接
Df2:上記樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接
Df1: Dielectric tangent of the cured resin material (1) Df2: Dielectric tangent of the cured resin material (2)

本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、硬化物の誘電率及び誘電正接を低くすることができ、かつ、HAST試験後の絶縁信頼性を高めることができる。本発明に係る樹脂材料では、ラジカル重合性化合物(A)と、中空無機粒子である中空アルミノシリケート粒子(B)と、硬化促進剤(C)とが組み合わせ用いられており、かつ、特定の第1の構成又は特定の第2の構成が備えられているので、上記の効果を発揮することができる。 The resin material according to the present invention has the above-mentioned configuration, and therefore the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be reduced, and the insulation reliability after the HAST test can be improved. The resin material according to the present invention uses a combination of a radical polymerizable compound (A), hollow aluminosilicate particles (B), which are hollow inorganic particles, and a curing accelerator (C), and has a specific first configuration or a specific second configuration, and therefore can exert the above-mentioned effects.

また、本発明に係る樹脂材料では、吸湿後のメッキピール強度の低下を抑えることができる。さらに、本発明に係る樹脂材料では、吸湿後の誘電正接の低下を抑えることができる。 In addition, the resin material according to the present invention can suppress the decrease in plating peel strength after moisture absorption. Furthermore, the resin material according to the present invention can suppress the decrease in dielectric tangent after moisture absorption.

従って、本発明に係る樹脂材料は、これらの性能が求められる用途(例えばプリント配線板用途等)に好適に用いることができる。 Therefore, the resin material according to the present invention can be suitably used in applications where these properties are required (e.g., printed wiring board applications, etc.).

本発明に係る樹脂材料は、上記第1の構成を備えていてもよく、上記第2の構成を備えていてもよく、上記第1の構成と上記第2の構成とを備えていてもよい。本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点並びに吸湿後のメッキピール強度及び誘電正接の低下をより一層抑える観点からは、本発明に係る樹脂材料は、上記第1の構成と上記第2の構成とを備えることが好ましい。 The resin material according to the present invention may have the first configuration, the second configuration, or both the first and second configurations. From the viewpoint of more effectively exerting the effects of the present invention and more effectively suppressing the decrease in plating peel strength and dielectric tangent after moisture absorption, it is preferable that the resin material according to the present invention has both the first and second configurations.

以下、上記第2の構成について、より詳細に説明する。 The second configuration is described in more detail below.

樹脂材料を180℃で30分間加熱した後、200℃で60分間加熱して得られた樹脂材料の硬化物(1)を得る。より具体的には、厚み40μmの樹脂材料(樹脂フィルム)を180℃で30分間加熱した後、200℃で60分間加熱して、樹脂材料の硬化物(1)を得る。得られた樹脂材料の硬化物(1)を130℃及び85%RHで100時間静置して、樹脂材料の硬化物(2)を得る。樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接と樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接とをそれぞれ測定する。 The resin material is heated at 180°C for 30 minutes, then heated at 200°C for 60 minutes to obtain a cured resin material (1). More specifically, a 40 μm thick resin material (resin film) is heated at 180°C for 30 minutes, then heated at 200°C for 60 minutes to obtain a cured resin material (1). The obtained cured resin material (1) is left to stand at 130°C and 85% RH for 100 hours to obtain a cured resin material (2). The dielectric tangent of the cured resin material (1) and the dielectric tangent of the cured resin material (2) are measured.

樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接及び樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接は、例えば、関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)及び周波数10GHzの条件で測定される。 The dielectric tangent of the cured resin material (1) and the dielectric tangent of the cured resin material (2) are measured by the cavity resonance method at room temperature (23°C) and a frequency of 10 GHz using, for example, a "Cavity Resonance Perturbation Method Dielectric Constant Measuring Device CP521" manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. and a "Network Analyzer N5224A PNA" manufactured by Keysight Technologies, Inc.

上記第2の構成を備える上記樹脂材料では、上記式(Df)で算出される誘電正接の変化率が225%以下である。上記式(Df)で算出される誘電正接の変化率は、好ましくは225%以下、より好ましくは200%以下、更に好ましくは180%以下、特に好ましくは150%以下である。上記誘電正接の変化率が上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 In the resin material having the second configuration, the rate of change of the dielectric tangent calculated by the formula (Df) is 225% or less. The rate of change of the dielectric tangent calculated by the formula (Df) is preferably 225% or less, more preferably 200% or less, even more preferably 180% or less, and particularly preferably 150% or less. When the rate of change of the dielectric tangent is equal to or less than the upper limit, the effect of the present invention can be exhibited even more effectively.

上記誘電正接の変化率を効果的に小さくする方法としては、表面処理された中空アルミノシリケート粒子(B)を用いる方法、及びラジカル重合性化合物を用いる方法等が挙げられる。 Methods for effectively reducing the rate of change in the dielectric tangent include a method using surface-treated hollow aluminosilicate particles (B) and a method using a radically polymerizable compound.

樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接(Df1)は、好ましくは0.007以下、より好ましくは0.005以下、更に好ましくは0.003以下である。 The dielectric loss tangent (Df1) of the cured resin material (1) is preferably 0.007 or less, more preferably 0.005 or less, and even more preferably 0.003 or less.

樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接(Df1)は、樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接(Df2)よりも、大きくてもよく、小さくてもよい。樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接(Df1)は、樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接(Df2)と同じであってもよい。ただし、通常、樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接(Df1)は、樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接(Df2)よりも小さい。 The dielectric tangent (Df1) of the cured resin material (1) may be greater or smaller than the dielectric tangent (Df2) of the cured resin material (2). The dielectric tangent (Df1) of the cured resin material (1) may be the same as the dielectric tangent (Df2) of the cured resin material (2). However, the dielectric tangent (Df1) of the cured resin material (1) is usually smaller than the dielectric tangent (Df2) of the cured resin material (2).

本発明に係る樹脂材料は、樹脂組成物であってもよく、樹脂フィルムであってもよい。上記樹脂組成物は、流動性を有する。上記樹脂組成物は、ペースト状であってもよい。上記ペースト状には液状が含まれる。取扱性に優れることから、本発明に係る樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention may be a resin composition or a resin film. The resin composition has fluidity. The resin composition may be in a paste form. The paste form includes a liquid form. Since the resin material according to the present invention has excellent handleability, it is preferable that the resin material is a resin film.

本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性樹脂材料であることが好ましい。上記樹脂材料が樹脂フィルムである場合には、該樹脂フィルムは、熱硬化性樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention is preferably a thermosetting resin material. When the resin material is a resin film, the resin film is preferably a thermosetting resin film.

なお、以下の説明において、「上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%」は、上記樹脂材料が溶剤を含む場合には、上記樹脂材料中の上記溶剤を除く成分100重量%を意味し、上記樹脂材料が溶剤を含まない場合には、上記樹脂材料100重量%を意味する。「上記樹脂材料中の中空アルミノシリケート粒子(B)及び溶剤を除く成分100重量%」は、上記樹脂材料が中空アルミノシリケート粒子(B)及び溶剤を含む場合には、上記樹脂材料中の上記中空アルミノシリケート粒子(B)及び上記溶剤を除く成分100重量%を意味する。「上記樹脂材料中の中空アルミノシリケート粒子(B)及び溶剤を除く成分100重量%」は、上記樹脂材料が中空アルミノシリケート粒子(B)を含みかつ溶剤を含まない場合には、上記樹脂材料中の上記中空アルミノシリケート粒子(B)を除く成分100重量%を意味する。 In the following description, "100% by weight of the components in the resin material excluding the solvent" means 100% by weight of the components in the resin material excluding the solvent when the resin material contains a solvent, and means 100% by weight of the resin material when the resin material does not contain a solvent. "100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow aluminosilicate particles (B) and the solvent" means 100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow aluminosilicate particles (B) and the solvent when the resin material contains hollow aluminosilicate particles (B) and a solvent. "100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow aluminosilicate particles (B) and the solvent" means 100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow aluminosilicate particles (B) and the solvent when the resin material contains hollow aluminosilicate particles (B) and does not contain a solvent.

以下、本発明に係る樹脂材料に用いられる各成分の詳細、及び本発明に係る樹脂材料の用途などを説明する。 Below, we will explain the details of each component used in the resin material of the present invention, as well as the uses of the resin material of the present invention.

[ラジカル重合性化合物(A)]
上記樹脂材料は、ラジカル重合性化合物(ラジカル重合性化合物(A))を含む。ラジカル重合性化合物は、熱硬化性化合物であることが好ましい。ラジカル重合性化合物(A)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Radically polymerizable compound (A)]
The resin material contains a radical polymerizable compound (radical polymerizable compound (A)). The radical polymerizable compound is preferably a thermosetting compound. The radical polymerizable compound (A) may be used alone or in combination of two or more kinds.

ラジカル重合性化合物(A)は、ラジカル重合性不飽和基を有することが好ましい。上記ラジカル重合性不飽和基としては、マレイミド基、ビニル基、アリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、及びスチリル基等が挙げられる。ラジカル重合性化合物(A)は、ラジカル重合性不飽和基を1種のみ有していてもよく、2種以上有していてもよい。 The radically polymerizable compound (A) preferably has a radically polymerizable unsaturated group. Examples of the radically polymerizable unsaturated group include a maleimide group, a vinyl group, an allyl group, an acryloyl group, a methacryloyl group, and a styryl group. The radically polymerizable compound (A) may have only one type of radically polymerizable unsaturated group, or may have two or more types.

ラジカル重合性化合物(A)は、マレイミド基、ビニル基、スチリル基、又はアリル基を有することが好ましく、マレイミド基、ビニル基、又はスチリル基を有することがより好ましい。ラジカル重合性化合物(A)は、マレイミド化合物、ビニル化合物、スチリル化合物又はアリル化合物であることが好ましく、マレイミド化合物、ビニル化合物又はスチリル化合物であることがより好ましい。この場合には、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The radical polymerizable compound (A) preferably has a maleimide group, a vinyl group, a styryl group, or an allyl group, and more preferably has a maleimide group, a vinyl group, or a styryl group. The radical polymerizable compound (A) is preferably a maleimide compound, a vinyl compound, a styryl compound, or an allyl compound, and more preferably a maleimide compound, a vinyl compound, or a styryl compound. In this case, the effects of the present invention can be exerted even more effectively.

ラジカル重合性化合物(A)の分子量は、好ましくは100以上、より好ましくは200以上、更に好ましくは300以上、好ましくは20万以下、より好ましくは10万以下、更に好ましくは5万以下である。上記分子量が上記下限以上及び上記上限以下であると、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られやすく、ラミネート性を良好にすることができる。また、ラミネート性を良好にすることができるので、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることができる。 The molecular weight of the radically polymerizable compound (A) is preferably 100 or more, more preferably 200 or more, even more preferably 300 or more, and preferably 200,000 or less, more preferably 100,000 or less, even more preferably 50,000 or less. When the molecular weight is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, a resin material with high fluidity is easily obtained when forming an insulating layer, and good lamination properties can be obtained. In addition, good lamination properties can be obtained, so that the plating peel strength of the cured product can be further increased.

ラジカル重合性化合物(A)の分子量は、ラジカル重合性化合物(A)が重合体ではない場合、及びラジカル重合性化合物(A)の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、ラジカル重合性化合物(A)が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を意味する。 When the radical polymerizable compound (A) is not a polymer, and when the structural formula of the radical polymerizable compound (A) can be specified, the molecular weight means the molecular weight that can be calculated from the structural formula. When the radical polymerizable compound (A) is a polymer, the molecular weight means the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).

上記第1の構成を備える上記樹脂材料では、上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、ラジカル重合性化合物(A)の含有量が、20重量%以上である。上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、ラジカル重合性化合物(A)の含有量は、好ましくは20重量%以上、より好ましくは30重量%以上、更に好ましくは40重量%以上、好ましくは70重量%以下、より好ましくは65重量%以下である。ラジカル重合性化合物(A)の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。また、ラミネート性をより一層良好にすることができる。さらに、粗化処理後の表面粗度をより一層小さくすることができ、またさらに、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることもできる。 In the resin material having the first configuration, the content of the radical polymerizable compound (A) is 20% by weight or more in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. The content of the radical polymerizable compound (A) is preferably 20% by weight or more, more preferably 30% by weight or more, even more preferably 40% by weight or more, preferably 70% by weight or less, and more preferably 65% by weight or less in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. When the content of the radical polymerizable compound (A) is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited. In addition, the lamination property can be further improved. Furthermore, the surface roughness after the roughening treatment can be further reduced, and the plating peel strength of the cured product can be further increased.

上記樹脂材料中の中空アルミノシリケート粒子(B)及び溶剤を除く成分100重量%中、ラジカル重合性化合物(A)の含有量は、好ましくは20重量%以上、より好ましくは30重量%以上、好ましくは100重量%未満、より好ましくは98重量%以下である。ラジカル重合性化合物(A)の含有量が上記下限以上及び上記上限未満(又は上記上限以下)であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。また、ラミネート性をより一層良好にすることができる。さらに、粗化処理後の表面粗度をより一層小さくすることができ、またさらに、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることもできる。 The content of the radical polymerizable compound (A) in 100% by weight of the components excluding the hollow aluminosilicate particles (B) and the solvent in the resin material is preferably 20% by weight or more, more preferably 30% by weight or more, preferably less than 100% by weight, more preferably 98% by weight or less. When the content of the radical polymerizable compound (A) is equal to or more than the above lower limit and less than the above upper limit (or equal to or less than the above upper limit), the effects of the present invention can be more effectively exhibited. In addition, the lamination properties can be further improved. Furthermore, the surface roughness after the roughening treatment can be further reduced, and the plating peel strength of the cured product can be further increased.

以下、ラジカル重合性化合物(A)について、更に説明する。 The radical polymerizable compound (A) is further described below.

<マレイミド化合物>
ラジカル重合性化合物(A)は、マレイミド化合物を含むことが好ましい。ラジカル重合性化合物(A)である上記マレイミド化合物は、マレイミド基を1個有していてもよく、2個有していてもよく、2個以上有していてもよく、3個以上有していてもよく、4個以上有していてもよく、800個以下有していてもよく、500個以下有していてもよく
、300個以下有していてもよい。上記マレイミド化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Maleimide Compound>
The radical polymerizable compound (A) preferably contains a maleimide compound. The maleimide compound that is the radical polymerizable compound (A) may have one maleimide group, two maleimide groups, two or more maleimide groups, three or more maleimide groups, four or more maleimide groups, 800 or less maleimide groups, 500 or less maleimide groups, or 300 or less maleimide groups. The maleimide compound may be used alone or in combination of two or more maleimide compounds.

樹脂材料の硬化性をより一層高くする観点からは、ラジカル重合性化合物(A)は、マレイミド基を2個以上有するマレイミド化合物を含むことが好ましい。 From the viewpoint of further increasing the curability of the resin material, it is preferable that the radically polymerizable compound (A) contains a maleimide compound having two or more maleimide groups.

上記マレイミド化合物は、脂肪族骨格又は脂環式骨格を有することが好ましく、脂肪族骨格と脂環式骨格とを有することがより好ましい。この場合には、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。また、デスミア性及びメッキピール強度も良好にすることができる。 The maleimide compound preferably has an aliphatic skeleton or an alicyclic skeleton, and more preferably has an aliphatic skeleton and an alicyclic skeleton. In this case, the effects of the present invention can be more effectively exhibited. In addition, the desmear property and plating peel strength can be improved.

上記脂肪族骨格としては、鎖状脂肪族骨格等が挙げられ、例えば、飽和炭化水素基及び不飽和炭化水素基等が挙げられる。上記脂肪族骨格は、炭素数4以上の脂肪族骨格であることが好ましい。炭素数4以上の脂肪族骨格が有する炭素数は、好ましくは5以上、より好ましくは6以上、更に好ましくは7以上、好ましくは60以下、より好ましくは50以下、更に好ましくは40以下である。上記脂肪族骨格としては、より具体的には、炭素数4以上60以下のアルキル基(好ましくは炭素数6以上40以下のアルキル基)等が挙げられる。上記マレイミド化合物は、上記脂肪族骨格を1種のみ有していてもよく、2種以上有していてもよい。 The aliphatic skeleton may be a chain aliphatic skeleton, for example, a saturated hydrocarbon group and an unsaturated hydrocarbon group. The aliphatic skeleton is preferably an aliphatic skeleton having 4 or more carbon atoms. The number of carbon atoms in the aliphatic skeleton having 4 or more carbon atoms is preferably 5 or more, more preferably 6 or more, even more preferably 7 or more, preferably 60 or less, more preferably 50 or less, and even more preferably 40 or less. More specifically, the aliphatic skeleton may be an alkyl group having 4 to 60 carbon atoms (preferably an alkyl group having 6 to 40 carbon atoms). The maleimide compound may have only one type of the aliphatic skeleton, or may have two or more types.

上記脂環式骨格としては、モノシクロアルカン環、ビシクロアルカン環、トリシクロアルカン環、テトラシクロアルカン環、及びジシクロペンタジエン環等が挙げられる。上記マレイミド化合物は、上記脂環式骨格を1種のみ有していてもよく、2種以上有していてもよい。 The alicyclic skeleton may include a monocycloalkane ring, a bicycloalkane ring, a tricycloalkane ring, a tetracycloalkane ring, and a dicyclopentadiene ring. The maleimide compound may have only one type of alicyclic skeleton, or two or more types.

硬化物のガラス転移温度をより一層大きくする観点からは、上記マレイミド化合物は、芳香族骨格を有することが好ましい。 From the viewpoint of further increasing the glass transition temperature of the cured product, it is preferable that the maleimide compound has an aromatic skeleton.

上記芳香族骨格としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、テトラセン環、クリセン環、トリフェニレン環、テトラフェン環、ピレン環、ペンタセン環、ピセン環及びペリレン環等が挙げられる。上記マレイミド化合物は、上記芳香族骨格を1種のみ有していてもよく、2種以上有していてもよい。 The aromatic skeleton includes a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a tetracene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, a tetraphene ring, a pyrene ring, a pentacene ring, a picene ring, and a perylene ring. The maleimide compound may have only one type of aromatic skeleton, or two or more types.

上記マレイミド化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格を有することが好ましい。ダイマージアミンに由来する骨格を有するマレイミド化合物(A)は脂肪族骨格及び脂環式骨格を有するため、該マレイミド化合物(A)を用いることにより、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができる。 The maleimide compound preferably has a skeleton derived from dimer diamine. Since the maleimide compound (A) having a skeleton derived from dimer diamine has an aliphatic skeleton and an alicyclic skeleton, the use of the maleimide compound (A) can further reduce the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product.

上記ダイマージアミン(上記ダイマージアミンの市販品)としては、BASFジャパン社製「バーサミン551」(3,4-ビス(1-アミノヘプチル)-6-ヘキシル-5-(1-オクテニル)シクロヘキセン)、コグニクスジャパン社製「バーサミン552」(バーサミン551の水添物)、並びに、クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」及び「PRIAMINE1074」等が挙げられる。上記ダイマージアミンは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Examples of the above dimer diamines (commercially available dimer diamines) include "VERSAMINE 551" (3,4-bis(1-aminoheptyl)-6-hexyl-5-(1-octenyl)cyclohexene) manufactured by BASF Japan, "VERSAMINE 552" (hydrogenated product of VERSAMINE 551) manufactured by Cognix Japan, and "PRIAMINE 1075" and "PRIAMINE 1074" manufactured by Croda Japan. Only one type of the above dimer diamines may be used, or two or more types may be used in combination.

上記マレイミド化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格と、ダイマージアミン以外の第2のジアミン化合物に由来する骨格とを有することが好ましい。この場合には、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 It is preferable that the maleimide compound has a skeleton derived from a dimer diamine and a skeleton derived from a second diamine compound other than the dimer diamine. In this case, the effect of the present invention can be more effectively exerted.

上記第2のジアミン化合物としては、トリシクロデカンジアミン、ノルボルナンジアミ
ン、イソホロンジアミン、1,3-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,4-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、ビス(アミノメチル)ノルボルナン、3(4),8(9)-ビス(アミノメチル)トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、1,3-シクロヘキサンジアミン、1,4-シクロヘキサンジアミン、4,4’-メチレンビス(シクロヘキシルアミン)、4,4’-メチレンビス(2-メチルシクロヘキシルアミン)、1,4-ジアミノブタン、1,10-ジアミノデカン、1,12-ジアミノドデカン、1,7-ジアミノヘプタン、1,6-ジアミノヘキサン、1,5-ジアミノペンタン、1,8-ジアミノオクタン、1,3-ジアミノプロパン、1,11-ジアミノウンデカン、2-メチル-1,5-ジアミノペンタン、1,1-ビス(4-アミノフェニル)シクロヘキサン、2,7-ジアミノフルオレン、4,4’-エチレンジアニリン、4,4’-メチレンビス(2,6-ジエチルアニリン)、及び4,4’-メチレンビス(2-エチル-6-メチルアニリン)等が挙げられる。上記第2のジアミン化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
Examples of the second diamine compound include tricyclodecane diamine, norbornane diamine, isophorone diamine, 1,3-bis(aminomethyl)cyclohexane, 1,4-bis(aminomethyl)cyclohexane, bis(aminomethyl)norbornane, 3(4),8(9)-bis(aminomethyl)tricyclo[5.2.1.02,6]decane, 1,3-cyclohexane diamine, 1,4-cyclohexane diamine, 4,4'-methylenebis(cyclohexylamine), 4,4'-methylenebis(2-methylcyclohexylamine), 1,4-diaminobutane diamine, Examples of the second diamine compound include benzene, 1,10-diaminodecane, 1,12-diaminododecane, 1,7-diaminoheptane, 1,6-diaminohexane, 1,5-diaminopentane, 1,8-diaminooctane, 1,3-diaminopropane, 1,11-diaminoundecane, 2-methyl-1,5-diaminopentane, 1,1-bis(4-aminophenyl)cyclohexane, 2,7-diaminofluorene, 4,4'-ethylenedianiline, 4,4'-methylenebis(2,6-diethylaniline), and 4,4'-methylenebis(2-ethyl-6-methylaniline). Only one type of the second diamine compound may be used, or two or more types may be used in combination.

上記第2のジアミン化合物は、脂肪族骨格を有していてもよく、有していなくてもよい。上記第2のジアミン化合物は、脂環式骨格を有していてもよく、有していなくてもよい。上記第2のジアミン化合物は、芳香族骨格を有していてもよく、有していなくてもよい。 The second diamine compound may or may not have an aliphatic skeleton. The second diamine compound may or may not have an alicyclic skeleton. The second diamine compound may or may not have an aromatic skeleton.

上記第2のジアミン化合物は、ダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物を含むことが好ましい。上記マレイミド化合物は、ダイマージアミンに由来する骨格と、ダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格とを有することが好ましい。この場合には、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The second diamine compound preferably contains a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine. The maleimide compound preferably has a skeleton derived from dimer diamine and a skeleton derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine. In this case, the effect of the present invention can be more effectively achieved.

上記ダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物は、トリシクロデカンジアミン、ノルボルナンジアミン又はイソホロンジアミンであることが好ましい。この場合には、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The diamine compound having an alicyclic skeleton other than the dimer diamine is preferably tricyclodecane diamine, norbornane diamine, or isophorone diamine. In this case, the effects of the present invention can be more effectively achieved.

上記マレイミド化合物は、酸二無水物に由来する骨格を有することが好ましく、ジアミン化合物と酸二無水物との反応物に由来する骨格を有することがより好ましく、ダイマージアミンと酸二無水物との反応物に由来する骨格を有することが更に好ましい。 The maleimide compound preferably has a skeleton derived from an acid dianhydride, more preferably has a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound and an acid dianhydride, and even more preferably has a skeleton derived from a reaction product of a dimer diamine and an acid dianhydride.

上記酸二無水物としては、テトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。上記テトラカルボン酸二無水物としては、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’-パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。上記酸二無水物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Examples of the acid dianhydride include tetracarboxylic dianhydrides. Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-tetraphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furan tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylsulfonate, and 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylsulfonate. Examples of the dianhydride include 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylsulfone dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylpropane dianhydride, 3,3',4,4'-perfluoroisopropylidenediphthalic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis(phthalic acid)phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenylether dianhydride, and bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenylmethane dianhydride. The above dianhydrides may be used alone or in combination of two or more.

上記マレイミド化合物の分子量は、好ましくは200以上、より好ましくは500以上、更に好ましくは1000以上、好ましくは20万以下、より好ましくは10万以下、更に好ましくは5万以下である。上記分子量が上記下限以上及び上記上限以下であると、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られやすく、ラミネート性を良好にすることができる。また、ラミネート性を良好にすることができるので、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることができる。 The molecular weight of the maleimide compound is preferably 200 or more, more preferably 500 or more, even more preferably 1,000 or more, and preferably 200,000 or less, more preferably 100,000 or less, even more preferably 50,000 or less. When the molecular weight is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, a resin material with high fluidity is easily obtained when forming an insulating layer, and good lamination properties can be obtained. In addition, since good lamination properties can be obtained, the plating peel strength of the cured product can be further increased.

上記マレイミド化合物の分子量は、上記マレイミド化合物が重合体ではない場合、及び上記マレイミド化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記マレイミド化合物が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を意味する。 The molecular weight of the maleimide compound means the molecular weight that can be calculated from the structural formula when the maleimide compound is not a polymer and when the structural formula of the maleimide compound can be specified. When the maleimide compound is a polymer, it means the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).

上記マレイミド化合物の市販品としては、日本化薬社製「MIR-5000-60T」及び「MIR-3000-70MT」、DIC社製「NE-X-9470S」、Designer Molecules Inc.製「BMI-3000J」、「BMI-2500」、「BMI-1500」及び「BMI-689」、並びに、ケイ・アイ化成社製「BMI」、「BMI-70」及び「BMI-80」等が挙げられる。 Commercially available maleimide compounds include "MIR-5000-60T" and "MIR-3000-70MT" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., "NE-X-9470S" manufactured by DIC Corporation, "BMI-3000J", "BMI-2500", "BMI-1500" and "BMI-689" manufactured by Designer Molecules Inc., and "BMI", "BMI-70" and "BMI-80" manufactured by Kei-I Chemicals Co., Ltd.

また、上記マレイミド化合物は、例えば、テトラカルボン酸二無水物等の酸二無水物と、ジアミン化合物とを反応させて反応物を得た後、該反応物と無水マレイン酸とを反応させて得ることもできる。 The maleimide compound can also be obtained by reacting an acid dianhydride, such as a tetracarboxylic dianhydride, with a diamine compound to obtain a reaction product, and then reacting the reaction product with maleic anhydride.

上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、更に好ましくは15重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは80重量%以下、更に好ましくは70重量%以下である。上記マレイミド化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。また、ラミネート性をより一層良好にすることができる。さらに、粗化処理後の表面粗度をより一層小さくすることができ、またさらに、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることもできる。 The content of the maleimide compound in the resin material (100% by weight, excluding the solvent) is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, even more preferably 15% by weight or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 80% by weight or less, and even more preferably 70% by weight or less. When the content of the maleimide compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited. In addition, the lamination properties can be further improved. Furthermore, the surface roughness after the roughening treatment can be further reduced, and the plating peel strength of the cured product can be further increased.

上記樹脂材料中の中空アルミノシリケート粒子(B)及び溶剤を除く成分100重量%中、上記マレイミド化合物の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは20重量%以上、好ましくは100重量%未満、より好ましくは90重量%以下である。上記マレイミド化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限未満(又は上記上限以下)であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。また、ラミネート性をより一層良好にすることができる。さらに、粗化処理後の表面粗度をより一層小さくすることができ、またさらに、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることもできる。 The content of the maleimide compound in 100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow aluminosilicate particles (B) and the solvent is preferably 10% by weight or more, more preferably 20% by weight or more, preferably less than 100% by weight, more preferably 90% by weight or less. When the content of the maleimide compound is equal to or more than the lower limit and less than the upper limit (or equal to or less than the upper limit), the effects of the present invention can be more effectively exhibited. In addition, the lamination properties can be further improved. Furthermore, the surface roughness after the roughening treatment can be further reduced, and the plating peel strength of the cured product can be further increased.

<ビニル化合物>
ラジカル重合性化合物(A)は、ビニル化合物を含むことが好ましい。ラジカル重合性化合物(A)である上記ビニル化合物は、ビニル基を1個有していてもよく、2個有していてもよく、2個以上有していてもよく、3個以上有していてもよく、5個以上有していてもよく、800個以下有していてもよく、500個以下有していてもよく、300個以下有していてもよい。上記ビニル化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Vinyl Compounds>
The radical polymerizable compound (A) preferably contains a vinyl compound.The vinyl compound, which is the radical polymerizable compound (A), may have one vinyl group, may have two, may have two or more, may have three or more, may have five or more, may have 800 or less, may have 500 or less, or may have 300 or less.The vinyl compound may be used alone or in combination of two or more.

上記ビニル化合物としては、ジビニルベンジルエーテル化合物が挙げられる。 The vinyl compound may be a divinylbenzyl ether compound.

上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記ビニル化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは80重量%以下である。上記ビニル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the vinyl compound is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, and preferably 90% by weight or less, more preferably 80% by weight or less, based on 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. When the content of the vinyl compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.

<スチリル化合物>
ラジカル重合性化合物(A)は、スチリル化合物を含むことが好ましい。ラジカル重合性化合物(A)である上記スチリル化合物は、スチリル基を1個有していてもよく、2個有していてもよく、2個以上有していてもよく、3個以上有していてもよく、5個以上有していてもよく、800個以下有していてもよく、500個以下有していてもよく、300個以下有していてもよい。上記スチリル化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Styryl compounds>
The radical polymerizable compound (A) preferably contains a styryl compound.The styryl compound, which is the radical polymerizable compound (A), may have one styryl group, may have two, may have two or more, may have three or more, may have five or more, may have 800 or less, may have 500 or less, or may have 300 or less.The styryl compound may be used alone or in combination of two or more.

上記スチリル化合物の市販品としては、三菱ガス化学社製「OPE-2St」及び「OPE-1200」等が挙げられる。 Commercially available products of the above styryl compounds include "OPE-2St" and "OPE-1200" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.

上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記スチリル化合物の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは80重量%以下である。上記スチリル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the styryl compound is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, and preferably 90% by weight or less, more preferably 80% by weight or less, based on 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. When the content of the styryl compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.

[中空アルミノシリケート粒子(B)]
上記樹脂材料は、中空アルミノシリケート粒子(中空アルミノシリケート粒子(B))を含む。中空アルミノシリケート粒子(B)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Hollow aluminosilicate particles (B)]
The resin material contains hollow aluminosilicate particles (hollow aluminosilicate particles (B)). The hollow aluminosilicate particles (B) may be used alone or in combination of two or more kinds.

中空アルミノシリケート粒子(B)は、中空を有するアルミノシリケート粒子である。中空アルミノシリケート粒子(B)は、中空と、該中空を囲む外殻とを有する。上記外殻で囲まれた上記中空の個数は、1個であることが好ましいが、2個以上であってもよい。 The hollow aluminosilicate particles (B) are aluminosilicate particles having a hollow space. The hollow aluminosilicate particles (B) have a hollow space and an outer shell surrounding the hollow space. The number of the hollow spaces surrounded by the outer shell is preferably one, but may be two or more.

中空アルミノシリケート粒子(B)は、アルミノシリケートにより形成されている。より具体的には、中空アルミノシリケート粒子(B)の上記外殻は、アルミノシリケートにより形成されている。 The hollow aluminosilicate particles (B) are formed from an aluminosilicate. More specifically, the outer shell of the hollow aluminosilicate particles (B) is formed from an aluminosilicate.

中空アルミノシリケート粒子(B)100重量%中、アルミノシリケートの含有量は、好ましくは90重量%以上、より好ましくは95重量%以上、更に好ましくは98重量%以上、特に好ましくは99重量%以上である。なお、中空アルミノシリケート粒子(B)100重量%中、アルミノシリケートの含有量は、100重量%以下であってもよく、100重量%未満であってもよく、99重量%以下であってもよい。 In 100% by weight of hollow aluminosilicate particles (B), the content of aluminosilicate is preferably 90% by weight or more, more preferably 95% by weight or more, even more preferably 98% by weight or more, and particularly preferably 99% by weight or more. In 100% by weight of hollow aluminosilicate particles (B), the content of aluminosilicate may be 100% by weight or less, may be less than 100% by weight, or may be 99% by weight or less.

中空アルミノシリケート粒子(B)の平均粒径は、好ましくは50nm以上、より好ましくは75nm以上、更に好ましくは100nm以上、好ましくは10μm以下、より好ましくは5μm以下、更に好ましくは2μm以下である。上記平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高くすることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。 The average particle size of the hollow aluminosilicate particles (B) is preferably 50 nm or more, more preferably 75 nm or more, even more preferably 100 nm or more, and preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less, and even more preferably 2 μm or less. When the average particle size is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the surface roughness after etching can be reduced and the plating peel strength can be increased, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved.

中空アルミノシリケート粒子(B)の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を
用いて測定可能である。なお、中空アルミノシリケート粒子(B)が凝集粒子の場合には、中空アルミノシリケート粒子(B)の平均粒径は、一次粒子径を意味する。
The value of the 50% median diameter (d50) is adopted as the average particle diameter of the hollow aluminosilicate particles (B). The average particle diameter can be measured using a particle size distribution measuring device of a laser diffraction scattering method. In addition, when the hollow aluminosilicate particles (B) are agglomerated particles, the average particle diameter of the hollow aluminosilicate particles (B) means the primary particle diameter.

中空アルミノシリケート粒子(B)の形状は特に限定されないが、中空アルミノシリケート粒子(B)は、球状であることが好ましい。この場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、更に硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。中空アルミノシリケート粒子(B)が球状である場合には、中空アルミノシリケート粒子(B)のアスペクト比は、好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。 The shape of the hollow aluminosilicate particles (B) is not particularly limited, but it is preferable that the hollow aluminosilicate particles (B) are spherical. In this case, the surface roughness of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. When the hollow aluminosilicate particles (B) are spherical, the aspect ratio of the hollow aluminosilicate particles (B) is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less.

中空アルミノシリケート粒子(B)の空孔率は、好ましくは20体積%以上、より好ましくは30体積%以上、更に好ましくは50体積%以上、好ましくは90体積%以下、より好ましくは85体積%以下、更に好ましくは80体積%以下である。上記空孔率が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができる。 The porosity of the hollow aluminosilicate particles (B) is preferably 20% by volume or more, more preferably 30% by volume or more, even more preferably 50% by volume or more, and preferably 90% by volume or less, more preferably 85% by volume or less, and even more preferably 80% by volume or less. When the porosity is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product of the resin material can be further reduced.

中空アルミノシリケート粒子(B)の内部に含まれる空孔の数(中空の数)が1個の場合の上記空孔率は以下のようにして算出することができる。透過電子顕微鏡(TEM)を用いて、中空アルミノシリケート粒子(B)を撮影する。得られた顕微鏡写真から、任意の中空アルミノシリケート粒子(B)50個の粒子径をそれぞれ測定し、その平均値を平均粒子径(X)とする。また、中空アルミノシリケート粒子(B)を半分に切断し、透過電子顕微鏡(TEM)を用いて、切断された中空アルミノシリケート粒子(B)を撮影する。得られた顕微鏡写真から、任意の切断された中空アルミノシリケート粒子(B)50個の切断面の空洞部の直径を測定し、その平均値を空洞部の平均直径(Y)とする。下記式により、空孔率を算出する。 The porosity when the number of holes (number of hollows) contained inside the hollow aluminosilicate particles (B) is one can be calculated as follows. The hollow aluminosilicate particles (B) are photographed using a transmission electron microscope (TEM). From the obtained micrograph, the particle diameters of 50 arbitrary hollow aluminosilicate particles (B) are measured, and the average value is taken as the average particle diameter (X). In addition, the hollow aluminosilicate particles (B) are cut in half, and the cut hollow aluminosilicate particles (B) are photographed using a transmission electron microscope (TEM). From the obtained micrograph, the diameters of the cavities of the cut surfaces of 50 arbitrary cut hollow aluminosilicate particles (B) are measured, and the average value is taken as the average diameter of the cavities (Y). The porosity is calculated using the following formula.

空孔率(体積%)=(Y/X)×100
X:平均粒子径(X)
Y:空洞部の平均直径(Y)
Porosity (volume %)=(Y 3 /X 3 )×100
X: average particle size (X)
Y: average diameter of the cavity (Y)

中空アルミノシリケート粒子(B)の内部に含まれる空孔の数(中空の数)が2個以上の場合の上記空孔率も、透過電子顕微鏡(TEM)を用いて、中空アルミノシリケート粒子(B)の粒子径から求められる中空アルミノシリケート粒子(B)の体積と、空洞部の直径から求められる空洞部の体積とから求めることができる。 When the number of holes (number of hollows) contained inside the hollow aluminosilicate particles (B) is 2 or more, the above porosity can also be determined using a transmission electron microscope (TEM) from the volume of the hollow aluminosilicate particles (B) calculated from the particle diameter of the hollow aluminosilicate particles (B) and the volume of the hollow portion calculated from the diameter of the hollow portion.

中空アルミノシリケート粒子(B)は、表面処理された中空アルミノシリケート粒子であることが好ましく、カップリング剤により表面処理された中空アルミノシリケート粒子であることがより好ましい。中空アルミノシリケート粒子(B)が表面処理されていることにより、上記誘電正接の変化率をより一層小さくすることができ、また、HAST試験後の絶縁信頼性をより一層高めることができる。また、中空アルミノシリケート粒子(B)が表面処理されていることにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。また、中空アルミノシリケート粒子(B)が表面処理されていることにより、硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができ、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。 The hollow aluminosilicate particles (B) are preferably surface-treated hollow aluminosilicate particles, and more preferably surface-treated with a coupling agent. By surface-treating the hollow aluminosilicate particles (B), the rate of change in the dielectric tangent can be further reduced, and the insulation reliability after the HAST test can be further improved. In addition, by surface-treating the hollow aluminosilicate particles (B), the surface roughness of the roughened cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased. In addition, by surface-treating the hollow aluminosilicate particles (B), finer wiring can be formed on the surface of the cured product, and better inter-wiring insulation reliability and inter-layer insulation reliability can be imparted to the cured product.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、フェニルアミノシラン、フェニルシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン、及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include methacrylsilane, acrylic silane, phenylaminosilane, phenylsilane, imidazole silane, vinyl silane, and epoxy silane.

中空アルミノシリケート粒子(B)は、シランカップリング剤により表面処理された中空アルミノシリケート粒子であることが好ましく、ビニルシラン、フェニルアミノシラン又はフェニルシランにより表面処理された中空アルミノシリケート粒子であることがより好ましい。この場合には、上記誘電正接の変化率をより一層小さくすることができ、また、HAST試験後の絶縁信頼性をより一層高めることができる。また、ラミネート性をより一層良好にすることができる。また、ラミネート性を良好にすることができるので、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることができる。 The hollow aluminosilicate particles (B) are preferably hollow aluminosilicate particles surface-treated with a silane coupling agent, and more preferably hollow aluminosilicate particles surface-treated with vinylsilane, phenylaminosilane, or phenylsilane. In this case, the rate of change of the dielectric tangent can be further reduced, and the insulation reliability after the HAST test can be further improved. In addition, the lamination property can be further improved. In addition, since the lamination property can be improved, the plating peel strength of the cured product can be further improved.

中空アルミノシリケート粒子(B)の市販品としては、太平洋セメント社製「セルスフィアーズ」及び「セルスフィアーズNF」等が挙げられる。 Commercially available hollow aluminosilicate particles (B) include "CellSpheres" and "CellSpheres NF" manufactured by Taiheiyo Cement Corporation.

上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、中空アルミノシリケート粒子(B)の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは15重量%以上、好ましくは60重量%以下、より好ましくは55重量%以下である。中空アルミノシリケート粒子(B)の含有量が上記下限以上であると、樹脂材料の硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができる。中空アルミノシリケート粒子(B)の含有量が上記下限以上であると、熱寸法安定性を高め、硬化物の反りを効果的に抑えることができる。中空アルミノシリケート粒子(B)の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。さらに、この中空アルミノシリケート粒子(B)の含有量であれば、硬化物の熱膨張率を低くすることと同時に、スミア除去性を良好にすることも可能である。 The content of hollow aluminosilicate particles (B) in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material is preferably 10% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, preferably 60% by weight or less, more preferably 55% by weight or less. When the content of hollow aluminosilicate particles (B) is equal to or more than the lower limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product of the resin material can be further reduced. When the content of hollow aluminosilicate particles (B) is equal to or more than the lower limit, the thermal dimensional stability can be improved and the warping of the cured product can be effectively suppressed. When the content of hollow aluminosilicate particles (B) is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the surface roughness of the cured product can be further reduced and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. Furthermore, with this content of hollow aluminosilicate particles (B), it is possible to lower the thermal expansion coefficient of the cured product and at the same time improve the smear removal properties.

上記樹脂材料において、中空アルミノシリケート粒子(B)の含有量の、ラジカル重合性化合物(A)の含有量に対する重量比(中空アルミノシリケート粒子(B)の含有量/ラジカル重合性化合物(A)の含有量)は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.2以上、好ましくは3以下、より好ましくは2.5以下である。上記重量比(中空アルミノシリケート粒子(B)の含有量/ラジカル重合性化合物(A)の含有量)が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 In the above resin material, the weight ratio of the content of hollow aluminosilicate particles (B) to the content of radically polymerizable compound (A) (content of hollow aluminosilicate particles (B)/content of radically polymerizable compound (A)) is preferably 0.1 or more, more preferably 0.2 or more, and preferably 3 or less, more preferably 2.5 or less. When the weight ratio (content of hollow aluminosilicate particles (B)/content of radically polymerizable compound (A)) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited.

[硬化促進剤(C)]
上記樹脂材料は、硬化促進剤(硬化促進剤(C))を含む。硬化促進剤(C)の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂材料を速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になるとともに、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる。また、硬化促進剤(C)の使用により、樹脂材料を比較的低い温度でも良好に硬化させることができる。硬化促進剤(C)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing Accelerator (C)]
The resin material contains a curing accelerator (curing accelerator (C)). The use of the curing accelerator (C) further accelerates the curing speed. By quickly curing the resin material, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, and the number of unreacted functional groups is reduced, resulting in a high crosslink density. In addition, the use of the curing accelerator (C) allows the resin material to be cured well even at a relatively low temperature. Only one type of curing accelerator (C) may be used, or two or more types may be used in combination.

硬化促進剤(C)としては、イミダゾール化合物等のアニオン性硬化促進剤;アミン化合物等のカチオン性硬化促進剤;有機リン化合物及び有機金属化合物等のアニオン性及びカチオン性硬化促進剤以外の硬化促進剤;過酸化物等のラジカル性硬化促進剤等が挙げられる。 Examples of the curing accelerator (C) include anionic curing accelerators such as imidazole compounds; cationic curing accelerators such as amine compounds; curing accelerators other than anionic and cationic curing accelerators such as organophosphorus compounds and organometallic compounds; and radical curing accelerators such as peroxides.

上記イミダゾール化合物としては、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリ
メリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2-フェニル-4-メチル-5-ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。
Examples of the imidazole compound include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, and 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimethylolate. Limellitate, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole.

上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン、ジエチレントリアミン、エチレンジアミン、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、ベンジルジメチルアミン、m-キシリレンジ(ジメチルアミン)、N,N’-ジメチルピペラジン、N-メチルピロリジン、N-メチルハイドロオキシピペリジン、m-キシリレンジアミン、イソホロンジアミン、N-アミノエチルピペラジン、ポリオキシプロピレンポリアミン、及び4,4-ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。また、アミン化合物は、これらのアミン化合物の変性品であってもよい。 Examples of the amine compounds include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine, diethylenetriamine, ethylenediamine, tris(dimethylaminomethyl)phenol, benzyldimethylamine, m-xylylenedi(dimethylamine), N,N'-dimethylpiperazine, N-methylpyrrolidine, N-methylhydroxypiperidine, m-xylylenediamine, isophoronediamine, N-aminoethylpiperazine, polyoxypropylenepolyamine, and 4,4-dimethylaminopyridine. The amine compounds may also be modified versions of these amine compounds.

上記有機リン化合物としては、トリフェニルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリベンジルホスフィン、ジフェニル(アルキルフェニル)ホスフィン、トリス(アルキルフェニル)ホスフィン、トリス(アルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(アルキルアルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(ジアルキルフェニル)ホスフィン、トリス(トリアルキルフェニル)ホスフィン、トリス(テトラアルキルフェニル)ホスフィン、トリス(ジアルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(トリアルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(テトラアルコキシフェニル)ホスフィン、トリアルキルホスフィン、ジアルキルアリールホスフィン、及びアルキルジアリールホスフィン等の有機ホスフィン化合物、並びに、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート等のホスホニウム塩化合物等が挙げられる。 The above-mentioned organic phosphorus compounds include organic phosphine compounds such as triphenylphosphine, tricyclohexylphosphine, tribenzylphosphine, diphenyl(alkylphenyl)phosphine, tris(alkylphenyl)phosphine, tris(alkoxyphenyl)phosphine, tris(alkylalkoxyphenyl)phosphine, tris(dialkylphenyl)phosphine, tris(trialkylphenyl)phosphine, tris(tetraalkylphenyl)phosphine, tris(dialkoxyphenyl)phosphine, tris(trialkoxyphenyl)phosphine, tris(tetraalkoxyphenyl)phosphine, trialkylphosphine, dialkylarylphosphine, and alkyldiarylphosphine, as well as phosphonium salt compounds such as tetraphenylphosphonium and tetraphenylborate.

上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。 The organometallic compounds include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octoate, cobalt octoate, cobalt bisacetylacetonate (II), and cobalt trisacetylacetonate (III).

上記過酸化物としては、ジアシルパーオキサイド、パーオキシエステル、パーオキシジカボネート、モノパーオキシカーボネート、パーオキシケタール、ジアルキルパーオキサイド、ジベンジルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、ハイドロパーオキサイド、及びケトンパーオキサイド等が挙げられる。 Examples of the peroxides include diacyl peroxides, peroxy esters, peroxy dicarbonates, monoperoxy carbonates, peroxy ketals, dialkyl peroxides, dibenzyl peroxide, dicumyl peroxide, hydroperoxides, and ketone peroxides.

硬化促進剤(C)は、アミン化合物、イミダゾール化合物、過酸化物又は有機リン化合物を含むことが好ましく、イミダゾール化合物又は過酸化物を含むことがより好ましい。この場合には、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The curing accelerator (C) preferably contains an amine compound, an imidazole compound, a peroxide, or an organic phosphorus compound, and more preferably contains an imidazole compound or a peroxide. In this case, the effect of the present invention can be exerted even more effectively.

上記樹脂材料において、ラジカル重合性化合物(A)100重量部に対する、硬化促進剤(C)の含有量は、好ましくは0.01重量部以上、より好ましくは0.05重量部以上、好ましくは10重量部以下、より好ましくは5重量部以下である。硬化促進剤(C)の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 In the above resin material, the content of the curing accelerator (C) relative to 100 parts by weight of the radical polymerizable compound (A) is preferably 0.01 parts by weight or more, more preferably 0.05 parts by weight or more, preferably 10 parts by weight or less, more preferably 5 parts by weight or less. When the content of the curing accelerator (C) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited.

[溶剤]
上記樹脂材料は、溶剤を含まないか又は含む。上記樹脂材料は、溶剤を含んでいてもよ
く、含んでいなくてもよい。上記溶剤の使用により、樹脂材料の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂材料の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、中空アルミノシリケート粒子(B)を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin material does not contain or contains a solvent. The resin material may or may not contain a solvent. By using the solvent, the viscosity of the resin material can be controlled within a suitable range, and the coatability of the resin material can be improved. The solvent may be used to obtain a slurry containing hollow aluminosilicate particles (B). Only one type of the solvent may be used, or two or more types may be used in combination.

なお、上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%は、上記樹脂材料が溶剤を含む場合には、上記樹脂材料中の上記溶剤を除く成分100重量%を意味し、上記樹脂材料が溶剤を含まない場合には、上記樹脂材料100重量%を意味する。 Note that 100% by weight of the components in the resin material excluding the solvent means 100% by weight of the components in the resin material excluding the solvent if the resin material contains a solvent, and means 100% by weight of the resin material if the resin material does not contain a solvent.

上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2-プロパノール、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、1-メトキシ-2-プロパノール、2-アセトキシ-1-メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N-ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N-メチル-ピロリドン、n-ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。 The above-mentioned solvents include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, N,N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone, and naphtha, which is a mixture.

上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は、好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物中の上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。 It is preferable that most of the solvent is removed when the resin composition is molded into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200°C or less, more preferably 180°C or less. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be changed as appropriate, taking into account the coatability of the resin composition, etc.

上記樹脂材料がBステージフィルムである場合には、上記Bステージフィルム100重量%中、上記溶剤の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは10重量%以下、より好ましくは5重量%以下である。 When the resin material is a B-stage film, the content of the solvent in 100% by weight of the B-stage film is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, preferably 10% by weight or less, more preferably 5% by weight or less.

[他の成分]
耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂材料は、上述した成分(ラジカル重合性化合物(A)、中空アルミノシリケート粒子(B)、硬化促進剤(C)及び溶剤)以外の他の成分を含んでいてもよい。上記他の成分としては、アニオン重合性化合物;アニオン重合性化合物の硬化剤;熱可塑性樹脂;有機充填材及び無機充填材等の充填材;レベリング剤;難燃剤;カップリング剤;着色剤;酸化防止剤;紫外線劣化防止剤;消泡剤;増粘剤;揺変性付与剤等が挙げられる。上記他の成分は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, etc., the resin material may contain other components other than the above-mentioned components (radical polymerizable compound (A), hollow aluminosilicate particles (B), curing accelerator (C) and solvent). The other components include anionically polymerizable compounds; curing agents for anionically polymerizable compounds; thermoplastic resins; fillers such as organic fillers and inorganic fillers; leveling agents; flame retardants; coupling agents; colorants; antioxidants; ultraviolet degradation inhibitors; defoamers; thickeners; thixotropy-imparting agents, etc. The other components may be used alone or in combination of two or more.

上記アニオン重合性化合物としては、エポキシ化合物、ラクトン化合物及び炭酸エステル化合物等が挙げられる。上記アニオン重合性化合物の硬化剤としては、活性エステル硬化剤、シアネート硬化剤、カルボジイミド硬化剤、フェノール硬化剤、チオール硬化剤及びアミン硬化剤等が挙げられる。 The anionically polymerizable compound may include an epoxy compound, a lactone compound, a carbonate ester compound, etc. The curing agent for the anionically polymerizable compound may include an active ester curing agent, a cyanate curing agent, a carbodiimide curing agent, a phenol curing agent, a thiol curing agent, an amine curing agent, etc.

上記熱可塑性樹脂としては、ポリイミド樹脂、フェノキシ樹脂及びポリビニルアセタール樹脂等が挙げられる。 Examples of the thermoplastic resin include polyimide resin, phenoxy resin, and polyvinyl acetal resin.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include vinyl silane, amino silane, imidazole silane, and epoxy silane.

上記充填材としては、中実シリカ、中空シリカ、中実有機粒子及び中空有機粒子等が挙げられる。 The above-mentioned fillers include solid silica, hollow silica, solid organic particles, and hollow organic particles.

上記樹脂材料は、ガラスクロスを含んでいてもよく、含んでいなくてもよい。上記樹脂
材料は、ガラスクロスを含まないことが好ましい。上記樹脂材料は、プリプレグではないことが好ましい。
The resin material may or may not contain glass cloth. The resin material preferably does not contain glass cloth. The resin material is preferably not a prepreg.

(樹脂フィルム)
上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより樹脂フィルム(Bステージ化物/Bステージフィルム)が得られる。上記樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂フィルムは、Bステージフィルムであることが好ましい。
(Resin film)
The above-mentioned resin composition is molded into a film to obtain a resin film (B-stage product/B-stage film). The above-mentioned resin material is preferably a resin film. The resin film is preferably a B-stage film.

樹脂組成物をフィルム状に成形して、樹脂フィルムを得る方法としては、以下の方法が挙げられる。押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法。溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法。従来公知のその他のフィルム成形法。薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。 Methods for forming a resin composition into a film to obtain a resin film include the following: Extrusion molding, in which the resin composition is melt-kneaded and extruded using an extruder, and then molded into a film using a T-die or circular die. Casting molding, in which a resin composition containing a solvent is cast into a film. Other conventionally known film molding methods. Extrusion molding and casting molding are preferred because they can be made thinner. Films include sheets.

樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば50℃~150℃で1分間~10分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。 The resin composition is molded into a film and dried by heating at, for example, 50°C to 150°C for 1 to 10 minutes to a degree that does not cause excessive curing due to heat, to obtain a resin film that is a B-stage film.

上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。 The film-like resin composition that can be obtained by the drying process described above is called a B-stage film. The B-stage film is in a semi-cured state. A semi-cured product is not completely cured, and curing can continue.

上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロス等に沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。 The resin film does not have to be a prepreg. If the resin film is not a prepreg, migration will not occur along the glass cloth or the like. In addition, when the resin film is laminated or precured, irregularities caused by the glass cloth will not occur on the surface.

上記樹脂フィルムは、金属箔又は基材フィルムと、該金属箔又は基材フィルムの表面に積層された樹脂フィルムとを備える積層フィルムの形態で用いることができる。上記金属箔は銅箔であることが好ましい。 The resin film can be used in the form of a laminated film comprising a metal foil or a base film and a resin film laminated on the surface of the metal foil or base film. The metal foil is preferably a copper foil.

上記積層フィルムの上記基材フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルム等のオレフィン樹脂フィルム、並びにポリイミド樹脂フィルム等が挙げられる。上記基材フィルムの表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。 Examples of the base film of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, and polyimide resin films. The surface of the base film may be subjected to a release treatment, if necessary.

樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。 From the viewpoint of controlling the degree of cure of the resin film more uniformly, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more and preferably 200 μm or less. When the resin film is used as an insulating layer of a circuit, the thickness of the insulating layer formed by the resin film is preferably equal to or greater than the thickness of the conductor layer (metal layer) that forms the circuit. The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more and preferably 200 μm or less.

(樹脂材料の他の詳細)
上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、ラジカル重合性化合物(A)と中空アルミノシリケート粒子(B)との合計含有量は、好ましくは60重量%以上、より好ましくは70重量%以上、更に好ましくは80重量%以上、特に好ましくは90重量%以上、好ましくは100重量%未満、より好ましくは99重量%以下である。上記合計含有量が上記下限以上及び上記上限未満(又は上記上限以下)であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。
(Other details of resin material)
In 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material, the total content of the radical polymerizable compound (A) and the hollow aluminosilicate particles (B) is preferably 60% by weight or more, more preferably 70% by weight or more, even more preferably 80% by weight or more, particularly preferably 90% by weight or more, preferably less than 100% by weight, more preferably 99% by weight or less. When the total content is equal to or more than the lower limit and less than the upper limit (or equal to or less than the upper limit), the effects of the present invention can be more effectively exhibited.

上記樹脂材料を180℃で30分間加熱した後、200℃で60分間加熱して得られた樹脂材料の硬化物(1)の10GHzでの誘電率(Dk)は、好ましくは2.8以下、より好ましくは2.5以下、更に好ましくは2.2以下である。 The resin material is heated at 180°C for 30 minutes and then at 200°C for 60 minutes to obtain a cured resin material (1). The dielectric constant (Dk) at 10 GHz of the cured resin material (1) is preferably 2.8 or less, more preferably 2.5 or less, and even more preferably 2.2 or less.

樹脂材料の硬化物(1)の10GHzでの誘電率(Dk)は、以下のようにして測定することができる。樹脂材料を180℃で30分間加熱した後、200℃で60分間加熱して樹脂材料の硬化物(1)を得る。得られた硬化物(1)の誘電率(Dk)を、誘電率測定装置(例えば、関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」)を用いて、空洞共振法で常温(23℃)及び周波数10GHzの条件で測定する。 The dielectric constant (Dk) of the cured resin material (1) at 10 GHz can be measured as follows. The resin material is heated at 180°C for 30 minutes, and then heated at 200°C for 60 minutes to obtain the cured resin material (1). The dielectric constant (Dk) of the obtained cured resin material (1) is measured by the cavity resonance method using a dielectric constant measuring device (for example, the "Cavity Resonance Perturbation Method Dielectric Constant Measuring Device CP521" manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd.) at room temperature (23°C) and a frequency of 10 GHz.

なお、上記樹脂材料を用いて多層基板等の部品等を製造する際には、180℃で30分間加熱した後、200℃で60分間加熱して硬化物を得てもよく、この加熱条件以外の加熱条件で樹脂材料を加熱して硬化物を得てもよい。 When using the above resin material to manufacture components such as multilayer boards, the resin material may be heated at 180°C for 30 minutes and then at 200°C for 60 minutes to obtain a cured product, or the resin material may be heated under other heating conditions to obtain a cured product.

上記樹脂材料は、様々な用途に用いることができる。上記樹脂材料は、例えば、半導体装置において半導体チップを埋め込むモールド樹脂を形成するために好適に用いられる。また、上記樹脂材料は、液晶ポリマー(LCP)の代替用途、ミリ波アンテナ用途、再配線層用途に好適に用いられる。上記樹脂材料は、上記用途に限られず、配線形成用途全般に好適に用いられる。 The resin material can be used for various purposes. For example, the resin material is suitable for use in forming a mold resin for embedding a semiconductor chip in a semiconductor device. The resin material is also suitable for use as an alternative to liquid crystal polymer (LCP), for use as a millimeter wave antenna, and for use as a rewiring layer. The resin material is not limited to the above uses, and is suitable for use in wiring formation in general.

上記樹脂材料は、接着材料として好適に用いられる。上記樹脂材料は、例えば、パワーオーバーレイパッケージ用接着材料、プリント配線基板用接着材料、フレキシブルプリント回路基板のカバーレイ用接着材料、半導体接合用接着材料として好適に用いられる。上記樹脂材料は、接着材料であることが好ましい。 The resin material is preferably used as an adhesive material. The resin material is preferably used as, for example, an adhesive material for power overlay packages, an adhesive material for printed wiring boards, an adhesive material for coverlays of flexible printed circuit boards, and an adhesive material for semiconductor bonding. The resin material is preferably an adhesive material.

上記樹脂材料は、絶縁材料として好適に用いられる。上記樹脂材料は、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられ、多層プリント配線板において絶縁層を形成するためにより好適に用いられる。上記樹脂材料は、絶縁材料であることが好ましく、層間絶縁材料であることがより好ましい。上記絶縁材料は、接着材料としての役割も備え得る。 The resin material is preferably used as an insulating material. The resin material is preferably used to form an insulating layer in a printed wiring board, and more preferably used to form an insulating layer in a multilayer printed wiring board. The resin material is preferably an insulating material, and more preferably an interlayer insulating material. The insulating material may also function as an adhesive material.

本発明に係る硬化物は、上述した樹脂材料が硬化された樹脂材料の硬化物である。本発明に係る硬化物は、樹脂材料の硬化物であって、該樹脂材料が上述した樹脂材料である。本発明に係る硬化物は、上述した樹脂材料を硬化させることにより得ることができる。本発明に係る硬化物を得る際の、上記樹脂材料の加熱条件は、樹脂材料が硬化する限り、特に限定されない。 The cured product according to the present invention is a cured product of a resin material obtained by curing the resin material described above. The cured product according to the present invention is a cured product of a resin material, and the resin material is the resin material described above. The cured product according to the present invention can be obtained by curing the resin material described above. The heating conditions of the resin material when obtaining the cured product according to the present invention are not particularly limited, as long as the resin material is cured.

(積層構造体及び銅張積層板)
上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属層を表面に有する積層対象部材を積層することにより、積層構造体を得ることができる。上記積層構造体は、金属層を表面に有する積層対象部材と、上記金属層の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、上記樹脂フィルムが上述した樹脂材料である。上記樹脂フィルムと上記積層対象部材とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを、上記積層対象部材に積層可能である。
(Laminated structure and copper-clad laminate)
A laminated structure can be obtained by laminating a laminated target member having a metal layer on one or both sides of the resin film. The laminated structure includes a laminated target member having a metal layer on its surface and a resin film laminated on the surface of the metal layer, and the resin film is the above-mentioned resin material. The method of laminating the resin film and the laminated target member is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the resin film can be laminated on the laminated target member while applying pressure with or without heating using a device such as a parallel plate press or a roll laminator.

上記金属層の材料は銅であることが好ましい。 The material of the metal layer is preferably copper.

上記金属層を表面に有する積層対象部材は、銅箔等の金属箔であってもよい。 The lamination target component having the above-mentioned metal layer on its surface may be a metal foil such as copper foil.

上記樹脂材料は、銅張積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備え、上記樹脂フィルムが上述した樹脂材料である、銅張積層板が挙げられる。 The above resin material is preferably used to obtain a copper-clad laminate. One example of the above copper-clad laminate is a copper-clad laminate that includes a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil, the resin film being the above-mentioned resin material.

上記銅張積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1μm以上100μm以下であることが好ましい。また、上記樹脂材料の硬化物と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法、公知のプラズマ処理による形成方法、及び公知のUV処理による形成方法等が挙げられる。 The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably 1 μm or more and 100 μm or less. In addition, in order to increase the adhesive strength between the cured resin material and the copper foil, the copper foil preferably has fine irregularities on its surface. The method of forming the irregularities is not particularly limited. Examples of the method of forming the irregularities include a method of forming the irregularities by treatment using a known chemical solution, a method of forming the irregularities by known plasma treatment, and a method of forming the irregularities by known UV treatment.

(絶縁層付き回路基板)
上記樹脂材料は、絶縁層付き回路基板を得るために好適に用いられる。上記絶縁層付き回路基板の一例として、回路基板と、該回路基板の表面上に配置された絶縁層とを備え、上記絶縁層が、上述した樹脂材料の硬化物である絶縁層付き回路基板が挙げられる。
(Circuit board with insulating layer)
The resin material is preferably used to obtain a circuit board with an insulating layer. One example of the circuit board with an insulating layer is a circuit board with an insulating layer that includes a circuit board and an insulating layer disposed on a surface of the circuit board, the insulating layer being a cured product of the resin material described above.

上記絶縁層付き回路基板において、上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層付き回路基板において、上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。 In the circuit board with an insulating layer, the insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuits are provided. In the circuit board with an insulating layer, a portion of the insulating layer is preferably embedded between the circuits.

上記絶縁層付き回路基板は、従来公知の方法により得ることができる。 The above-mentioned circuit board with insulating layer can be obtained by a conventional method.

(多層基板及び多層プリント配線板)
上記樹脂材料は、多層基板を得るために好適に用いられる。上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記多層基板の絶縁層が、上述した樹脂材料の硬化物である。上記絶縁層は、回路基板の回路(金属層)が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。
(Multilayer boards and multilayer printed wiring boards)
The resin material is preferably used to obtain a multilayer board. An example of the multilayer board is a multilayer board including a circuit board and an insulating layer laminated on the circuit board. The insulating layer of the multilayer board is a cured product of the resin material. The insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuit (metal layer) is provided. A part of the insulating layer is preferably embedded between the circuits.

上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。 In the multilayer board, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite the surface on which the circuit board is laminated is roughened.

粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ、特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。 The roughening method can be a conventionally known roughening method, and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be subjected to a swelling treatment before the roughening treatment.

また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。 It is also preferable that the multilayer substrate further comprises a copper plating layer laminated on the roughened surface of the insulating layer.

上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。上記絶縁層が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。 Another example of the multilayer board is a multilayer board comprising a circuit board, an insulating layer laminated on a surface of the circuit board, and copper foil laminated on the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated. It is preferable that the insulating layer is formed by using a copper-clad laminate comprising copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil, and curing the resin film. Furthermore, it is preferable that the copper foil is etched and is a copper circuit.

上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料を用いて形成される。上記多層基板は、上記樹脂フ
ィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。
Another example of the multilayer board is a multilayer board including a circuit board and a plurality of insulating layers laminated on a surface of the circuit board. At least one of the insulating layers arranged on the circuit board is formed using the resin material. The multilayer board preferably further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed using the resin film.

上記樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The above resin materials are suitable for use in forming insulating layers in multilayer printed wiring boards.

上記多層プリント配線板は、例えば、回路基板と、上記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の上記絶縁層間に配置された金属層とを備える。上記多層プリント配線板では、上記絶縁層の内の少なくとも1層が、上述した樹脂材料の硬化物である。 The multilayer printed wiring board includes, for example, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the insulating layers. In the multilayer printed wiring board, at least one of the insulating layers is a cured product of the resin material described above.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。 Figure 1 is a cross-sectional view showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to one embodiment of the present invention.

図1に示す多層プリント配線板11では、回路基板12の上面12aに、複数の絶縁層13~16が積層されている。絶縁層13~16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数の絶縁層13~16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13~15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13~16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。 In the multilayer printed wiring board 11 shown in FIG. 1, a plurality of insulating layers 13-16 are laminated on the upper surface 12a of the circuit board 12. The insulating layers 13-16 are cured layers. A metal layer 17 is formed on a partial region of the upper surface 12a of the circuit board 12. Of the plurality of insulating layers 13-16, the insulating layers 13-15 other than the insulating layer 16 located on the outer surface opposite the circuit board 12 side have a metal layer 17 formed on a partial region of the upper surface. The metal layer 17 is a circuit. The metal layer 17 is disposed between the circuit board 12 and the insulating layer 13, and between each of the laminated insulating layers 13-16. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of via hole connection and through hole connection not shown.

多層プリント配線板11では、絶縁層13~16が、上記樹脂材料の硬化物により形成されている。本実施形態では、絶縁層13~16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13~16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層プリント配線板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層プリント配線板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。 In the multilayer printed wiring board 11, the insulating layers 13 to 16 are formed from the cured product of the resin material. In this embodiment, the surfaces of the insulating layers 13 to 16 are roughened, so that fine holes (not shown) are formed in the surfaces of the insulating layers 13 to 16. The metal layer 17 extends into the fine holes. In the multilayer printed wiring board 11, the width dimension (L) of the metal layer 17 and the width dimension (S) of the portion where the metal layer 17 is not formed can be reduced. In the multilayer printed wiring board 11, good insulation reliability is provided between the upper metal layer and the lower metal layer that are not connected by via hole connections and through hole connections (not shown).

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。 The present invention will be specifically described below by giving examples and comparative examples. The present invention is not limited to the following examples.

以下の材料を用意した。 The following materials were prepared:

(ラジカル重合性化合物(A))
マレイミド化合物(A1)(Designer Molecules Inc.製「BMI3000J」、重量平均分子量:3000)
マレイミド化合物(A2)(DIC社製「NE-X-9470S」)
マレイミド化合物(A3)(日本化薬社製「MIR-3000-70MT」)
オリゴフェニレンエーテル・スチレン化合物(スチリル化合物、三菱ガス化学社製「OPE-2St」)
(Radically Polymerizable Compound (A))
Maleimide compound (A1) ("BMI3000J" manufactured by Designer Molecules Inc., weight average molecular weight: 3000)
Maleimide compound (A2) (DIC Corporation "NE-X-9470S")
Maleimide compound (A3) ("MIR-3000-70MT" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Oligophenylene ether-styrene compound (styryl compound, "OPE-2St" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.)

(アニオン重合性化合物)
エポキシ化合物(DIC社製「830」)
(Anionically polymerizable compound)
Epoxy compound (DIC Corporation "830")

(中空アルミノシリケート粒子(B))
中空アルミノシリケート粒子1(市販品(太平洋セメント社製「セルスフィアーズNF」粒子を下記の表面処理法Bに従って表面処理した粒子、ビニルシランによる表面処理物
、平均粒径:1μm、空孔率:75体積%)
中空アルミノシリケート粒子2(太平洋セメント社製「セルスフィアーズNF」、表面処理なし、平均粒径:1μm、空孔率:75体積%)
(Hollow Aluminosilicate Particles (B))
Hollow aluminosilicate particles 1 (commercially available product ("CellSpheres NF" particles manufactured by Pacific Cement Corporation) surface-treated according to the following surface treatment method B, surface-treated with vinylsilane, average particle size: 1 μm, porosity: 75% by volume)
Hollow aluminosilicate particles 2 ("CellSpheres NF" manufactured by Taiheiyo Cement Corporation, no surface treatment, average particle size: 1 μm, porosity: 75% by volume)

(中空アルミノシリケート粒子に相当しない無機粒子)
中空シリカ粒子(下記の作製方法Bに従って作製した粒子を下記の表面処理法Bに従って表面処理した粒子、ビニルシランによる表面処理物、平均粒径:1μm、空孔率:50体積%)
中実シリカ粒子(アドマテックス社製「SC2050-HNF」、ビニルシランによる表面処理物、平均粒径:0.5μm)
(Inorganic particles not corresponding to hollow aluminosilicate particles)
Hollow silica particles (particles prepared according to the preparation method B described below and surface-treated according to the surface treatment method B described below, surface-treated with vinylsilane, average particle size: 1 μm, porosity: 50% by volume)
Solid silica particles ("SC2050-HNF" manufactured by Admatechs Co., Ltd., surface treated with vinylsilane, average particle size: 0.5 μm)

<作製方法B>
純水965.5gにEO-PO-EO型ブロックコポリマー(EO80-PO30-EO80,ADEKA社製「プルロニックF68」)4.5gを添加し溶解するまで撹拌した。得られた水溶液にn-ドデカン30gを加えた後、シャフトジェネレータ(IKA社製「T50 digital ULTRA TURRAX」)を用いて予備乳化を行った。次いで、高圧乳化機(エスエムテー社製「LAB2000」)を用いて圧力40MPaで3回乳化作業を行い、微細エマルションを得た。得られた微細エマルションに、希釈したケイ酸ソーダ水溶液(SiO濃度10質量%、NaO濃度3.6質量%)30gを2Mの塩酸とともにpHが2となるようにゆっくりと加え、25℃に保持しながらよく撹拌した。次いで、1Mの水酸化ナトリウム水溶液をpHが6となるようゆっくりと滴下し、オイルコア-シリカシェル粒子分散液を得た。
<Production Method B>
4.5 g of EO-PO-EO type block copolymer (EO80-PO30-EO80, ADEKA "Pluronic F68") was added to 965.5 g of pure water and stirred until dissolved. 30 g of n-dodecane was added to the obtained aqueous solution, and then preliminary emulsification was performed using a shaft generator (IKA "T50 digital ULTRA TURRAX"). Next, emulsification was performed three times at a pressure of 40 MPa using a high-pressure emulsifier (SMT "LAB2000") to obtain a fine emulsion. 30 g of diluted sodium silicate aqueous solution ( SiO2 concentration 10 mass%, Na2O concentration 3.6 mass%) was slowly added to the obtained fine emulsion together with 2M hydrochloric acid so that the pH was 2, and the mixture was thoroughly stirred while maintaining the temperature at 25°C. Next, a 1M aqueous solution of sodium hydroxide was slowly added dropwise so that the pH became 6, to obtain an oil core-silica shell particle dispersion liquid.

得られたオイルコア-シリカシェル粒子分散液を70℃に加熱し、撹拌しながら1Mの水酸化ナトリウム水溶液をゆっくりと添加し、pHを9とした。次いで、希釈ケイ酸ソーダ水溶液を、pHが9前後で維持されるように0.5Mの塩酸とともに徐々に添加した。次いで、70℃で2日間保持した後、ゆっくりと室温まで冷却し、中空シリカ前駆体分散液を得た。 The resulting oil core-silica shell particle dispersion was heated to 70°C, and 1M aqueous sodium hydroxide solution was slowly added with stirring to adjust the pH to 9. Next, a diluted aqueous sodium silicate solution was gradually added together with 0.5M hydrochloric acid so that the pH was maintained at around 9. The mixture was then kept at 70°C for 2 days and then slowly cooled to room temperature to obtain a hollow silica precursor dispersion.

得られた中空シリカ前駆体分散液を、0.45μmの孔径を有する親水性ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)製メンブレンフィルターを用いて加圧ろ過した(圧力0.28MPa)。ろ過後の中空シリカケーキを窒素雰囲気下にて、60℃で1時間及び400℃で4時間か焼(昇温速度5℃/min)し、有機成分を除去することにより中空シリカ前駆体を得た。得られた中空シリカ前駆体を800℃で4時間焼成(昇温速度5℃/min)し、中空シリカ粒子を得た。 The obtained hollow silica precursor dispersion was filtered under pressure (pressure 0.28 MPa) using a hydrophilic polytetrafluoroethylene (PTFE) membrane filter with a pore size of 0.45 μm. The hollow silica cake after filtration was calcined in a nitrogen atmosphere at 60°C for 1 hour and at 400°C for 4 hours (heating rate 5°C/min) to remove organic components and obtain hollow silica precursor. The obtained hollow silica precursor was fired at 800°C for 4 hours (heating rate 5°C/min) to obtain hollow silica particles.

<表面処理法B>
作製方法Bで得られた中空無機粒子100重量部又は市販品(太平洋セメント社製「セルスフィアーズNF」)の中空無機粒子100重量部を、ヘンシェル型ミキサーに投入し、撹拌しながら100℃に加温した。撹拌中の中空無機粒子に、ビニルトリメトキシシラン(信越化学工業社製「KBM-1003」)1重量部を噴霧した。噴霧完了してから10分後に、表面処理された中空無機粒子を回収した。
<Surface treatment method B>
100 parts by weight of the hollow inorganic particles obtained by Preparation Method B or 100 parts by weight of a commercially available product ("CellSpheres NF" manufactured by Pacific Cement Corporation) hollow inorganic particles were charged into a Henschel type mixer and heated to 100° C. while stirring. 1 part by weight of vinyltrimethoxysilane ("KBM-1003" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed onto the hollow inorganic particles while stirring. 10 minutes after the completion of spraying, the surface-treated hollow inorganic particles were collected.

(硬化促進剤(C))
過酸化物(日油社製「パーブチルP」)
イミダゾール化合物(2-フェニル-4-メチルイミダゾール、四国化成工業社製「2P4MZ」、アニオン性硬化促進剤)
(Curing Accelerator (C))
Peroxide (NOF Corp. "Perbutyl P")
Imidazole compound (2-phenyl-4-methylimidazole, "2P4MZ" manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd., anionic curing accelerator)

(実施例1~9及び比較例1~4)
下記の表1~3に示す成分を下記の表1~3に示す配合量(単位は固形分重量部)で配
合し、均一な溶液となるまで常温で撹拌し、樹脂材料を得た。
(Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 4)
The components shown in Tables 1 to 3 below were mixed in the amounts (unit: parts by weight of solid content) shown in Tables 1 to 3 below, and stirred at room temperature until a homogeneous solution was obtained, to obtain a resin material.

樹脂フィルムの作製:
アプリケーターを用いて、離型処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム、東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂材料を塗工した後、100℃のギヤオーブン内で2分30秒間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmである樹脂フィルム(Bステージフィルム)が積層されている積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。
Preparation of resin film:
The obtained resin material was applied to the release-treated surface of a release-treated polyethylene terephthalate film (PET film, Toray Industries, Inc., "XG284", thickness 25 μm) using an applicator, and then dried for 2 minutes and 30 seconds in a gear oven at 100° C. to volatilize the solvent. In this way, a laminated film (a laminated film of a PET film and a resin film) was obtained in which a resin film (B-stage film) having a thickness of 40 μm was laminated on the PET film.

(評価)
(1)樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接(Df)及び誘電正接の変化率
得られた厚さ40μmの樹脂フィルムを180℃で30分間加熱して仮硬化させた後、200℃で60分間加熱して、樹脂材料の硬化物(1)を得た。得られた樹脂材料の硬化物(1)を、130℃及び85%RHで100時間静置して、樹脂材料の硬化物(2)を得た。樹脂材料の硬化物(1)を、幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して10枚を重ね合わせ、測定サンプルとした。同様に、樹脂材料の硬化物(2)を、幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して10枚を重ね合わせ、測定サンプルとした。関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)及び周波数10GHzにて、樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接及び樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接をそれぞれ測定した。
(evaluation)
(1) Dielectric loss tangent (Df) and rate of change of dielectric loss tangent of the cured resin material (1) The obtained 40 μm thick resin film was heated at 180 ° C for 30 minutes to be temporarily cured, and then heated at 200 ° C for 60 minutes to obtain a cured resin material (1). The obtained cured resin material (1) was left to stand at 130 ° C and 85% RH for 100 hours to obtain a cured resin material (2). The cured resin material (1) was cut into a size of 2 mm wide and 80 mm long, and 10 sheets were stacked together to obtain a measurement sample. Similarly, the cured resin material (2) was cut into a size of 2 mm wide and 80 mm long, and 10 sheets were stacked together to obtain a measurement sample. The dielectric loss tangent of the cured resin material (1) and the dielectric loss tangent of the cured resin material (2) were measured by the cavity resonance method at room temperature (23° C.) and a frequency of 10 GHz using a cavity resonance perturbation dielectric constant measuring device CP521 manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. and a network analyzer N5224A PNA manufactured by Keysight Technologies, Inc.

樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接と樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接とから、下記式(Df)により、誘電正接の変化率を算出した。 The rate of change in the dielectric tangent was calculated from the dielectric tangent of the cured resin material (1) and the dielectric tangent of the cured resin material (2) using the following formula (Df).

誘電正接の変化率(%)=(|Df1-Df2|/Df1)×100 ・・・(Df) Change in dielectric tangent (%) = (|Df1-Df2|/Df1) x 100 ... (Df)

Df1:樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接
Df2:樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接
Df1: Dielectric tangent of the cured resin material (1) Df2: Dielectric tangent of the cured resin material (2)

[樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接(Df)の判定基準]
○○:樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接が0.003以下
○:樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接が0.003を超え0.005以下
△:樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接が0.005を超え0.007以下
×:樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接が0.007を超える
[Criteria for determining dielectric tangent (Df) of cured resin material (1)]
○○: The dielectric loss tangent of the cured resin material (1) is 0.003 or less. ○: The dielectric loss tangent of the cured resin material (1) is greater than 0.003 and less than 0.005. △: The dielectric loss tangent of the cured resin material (1) is greater than 0.005 and less than 0.007. ×: The dielectric loss tangent of the cured resin material (1) is greater than 0.007.

[誘電正接の変化率の判定基準]
○:誘電正接の変化率が150%以下
△:誘電正接の変化率が150%を超え225%以下
×:誘電正接の変化率が225%を超える
[Criteria for the rate of change of dielectric tangent]
○: The rate of change in the dielectric tangent is 150% or less. △: The rate of change in the dielectric tangent is more than 150% and less than 225%. ×: The rate of change in the dielectric tangent is more than 225%.

(2)樹脂材料の硬化物(1)の誘電率(Dk)
上記「(1)樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接(Df)及び誘電正接の変化率」で得られた樹脂材料の硬化物(1)を、幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して10枚を重ね合わせ、測定サンプルとした。関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)及び周波数10GHzにて、樹脂材料の硬化物(1)の誘電率(Dk)を測定した。
(2) Dielectric constant (Dk) of the cured resin material (1)
The cured resin material (1) obtained in the above "(1) Dielectric loss tangent (Df) and rate of change of dielectric loss tangent of the cured resin material (1)" was cut into a size of 2 mm wide and 80 mm long, and 10 pieces were stacked to prepare a measurement sample. The dielectric constant (Dk) of the cured resin material (1) was measured by the cavity resonance method at room temperature (23°C) and a frequency of 10 GHz using a "Cavity Resonance Perturbation Dielectric Constant Measuring Device CP521" manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. and a "Network Analyzer N5224A PNA" manufactured by Keysight Technologies, Inc.

[樹脂材料の硬化物(1)の誘電率(Dk)の判定基準]
○○:樹脂材料の硬化物(1)の誘電率が2.2以下
○:樹脂材料の硬化物(1)の誘電率が2.2を超え2.5以下
△:樹脂材料の硬化物(1)の誘電率が2.5を超え2.8以下
×:樹脂材料の硬化物(1)の誘電率が2.8超える
[Criteria for dielectric constant (Dk) of cured resin material (1)]
○○: The dielectric constant of the cured resin material (1) is 2.2 or less. ○: The dielectric constant of the cured resin material (1) is greater than 2.2 and less than 2.5. △: The dielectric constant of the cured resin material (1) is greater than 2.5 and less than 2.8. ×: The dielectric constant of the cured resin material (1) is greater than 2.8.

(3)HAST試験後の絶縁信頼性
所定のダンベル状の配線パターンを有する銅張積層板の両面を、MEC社製「CZ-8101」により表面処理(粗化処理)した。名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP-500-IIA」を用いて、粗化処理された銅張積層板の両面に、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を銅張積層板上に重ねてラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.7MPaでラミネートし、更にプレス圧力0.8MPa及びプレス温度100℃で60秒間プレスする条件とした。その後、PETフィルムを剥がし、180℃ギアオーブン内で30分間加熱し、樹脂フィルムを半硬化させた。このようにして、銅張積層板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体を得た。
(3) Insulation reliability after HAST test Both sides of a copper-clad laminate having a predetermined dumbbell-shaped wiring pattern were surface-treated (roughened) with "CZ-8101" manufactured by MEC. Using "Batch-type vacuum laminator MVLP-500-IIA" manufactured by Meiki Seisakusho, the resin film (B stage film) side of the laminate film was laminated on the copper-clad laminate on both sides of the roughened copper-clad laminate to obtain a laminated structure. The lamination conditions were as follows: decompression for 30 seconds to make the air pressure 13 hPa or less, then lamination at 100 ° C and pressure 0.7 MPa for 30 seconds, and further pressing at a press pressure of 0.8 MPa and a press temperature of 100 ° C for 60 seconds. Thereafter, the PET film was peeled off, and the resin film was semi-cured by heating in a 180 ° C gear oven for 30 minutes. In this way, a laminate in which a semi-cured resin film was laminated on a copper-clad laminate was obtained.

粗化処理:
(a)膨潤処理:
60℃の膨潤液(スウェリングディップセキュリガントP、アトテックジャパン社製、水酸化ナトリウムを含む)に、得られた積層体を入れて、10分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
Roughening treatment:
(a) Swelling treatment:
The obtained laminate was placed in a swelling liquid (Swelling Dip Securigant P, manufactured by Atotech Japan, containing sodium hydroxide) at 60° C. and shaken for 10 minutes, and then washed with pure water.

(b)過マンガン酸塩処理:
80℃の過マンガン酸カリウム(コンセントレートコンパクトCP、アトテックジャパン社製、水酸化ナトリウムを含む)粗化液に、膨潤処理後の積層体を入れて、20分間揺動させた。次に、40℃の洗浄液(リダクションセキュリガントP、アトテックジャパン社製)により5分間洗浄した後、純水でさらに洗浄した。
(b) Permanganate Treatment:
The laminate after the swelling treatment was placed in a potassium permanganate (Concentrate Compact CP, manufactured by Atotech Japan, containing sodium hydroxide) roughening solution at 80° C. and swung for 20 minutes. Next, it was washed for 5 minutes with a cleaning solution (Reduction Securigant P, manufactured by Atotech Japan) at 40° C., and then further washed with pure water.

得られた粗化処理された積層体を、以下の手順で、無電解銅めっき及び電解銅めっき処理を行った。 The resulting roughened laminate was subjected to electroless copper plating and electrolytic copper plating in the following procedure.

(c)無電解めっき処理:
粗化処理された積層体における樹脂フィルムの硬化物(硬化物Aと称する)の表面を、60℃のアルカリクリーナ(クリーナーセキュリガント902、アトテックジャパン社製)で5分間処理し、脱脂洗浄した。洗浄後、上記硬化物Aを25℃のプリディップ液(プリディップネオガントB、アトテックジャパン社製)で2分間処理した。その後、上記硬化物Aを40℃のアクチベーター液(アクチベーターネオガント834、アトテックジャパン社製)で5分間処理し、パラジウム触媒を付けた。次に、30℃の還元液(リデューサーネオガントWA、アトテックジャパン社製)により、硬化物Aを5分間処理した。
(c) Electroless plating treatment:
The surface of the cured resin film in the roughened laminate (referred to as cured product A) was treated with an alkaline cleaner (Cleaner Securigant 902, manufactured by Atotech Japan) at 60°C for 5 minutes, followed by degreasing and cleaning. After cleaning, the cured product A was treated with a pre-dip liquid (Pre-dip Neoganth B, manufactured by Atotech Japan) at 25°C for 2 minutes. Thereafter, the cured product A was treated with an activator liquid (Activator Neoganth 834, manufactured by Atotech Japan) at 40°C for 5 minutes to attach a palladium catalyst. Next, the cured product A was treated with a reducing liquid (Reducer Neoganth WA, manufactured by Atotech Japan) at 30°C for 5 minutes.

次に、上記硬化物Aを化学銅液(アトテックジャパン社製「ベーシックプリントガントMSK-DK」、「カッパープリントガントMSK」、「スタビライザープリントガントMSK」、及び「リデューサーCu」)に入れ、無電解めっきをめっき厚さが1μm程度になるまで実施した。無電解めっき後に、残留している水素ガスを除去するため、120℃の温度で30分間アニールをかけ、粗化処理及び無電解めっき処理された硬化物Bを得た。無電解めっきの工程までのすべての工程は、ビーカースケールで処理液を2Lとし、硬化物を揺動させながら実施した。 Next, the cured material A was placed in a chemical copper solution (Atotech Japan's "Basic Printganth MSK-DK", "Copper Printganth MSK", "Stabilizer Printganth MSK", and "Reducer Cu") and electroless plating was performed until the plating thickness reached approximately 1 μm. After electroless plating, in order to remove any remaining hydrogen gas, annealing was performed at a temperature of 120°C for 30 minutes to obtain a cured material B that had been roughened and electrolessly plated. All steps up to the electroless plating step were performed using 2 L of treatment solution on a beaker scale while the cured material was rocked.

(d)電解めっき処理:
次に、電解めっき液として、硫酸銅溶液(和光純薬工業社製「硫酸銅五水和物」、和光純薬工業社製「硫酸」、アトテックジャパン社製「ベーシックレベラーカパラシド HL」、アトテックジャパン社製「補正剤カパラシド GS」)を用いて、0.6A/cmの電流を流し、電解めっきをめっき厚さが15μm程度になるまで実施した。
(d) Electrolytic plating treatment:
Next, a copper sulfate solution ("Copper Sulfate Pentahydrate" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., "Sulfuric Acid" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., "Basic Leveller Cupracid HL" manufactured by Atotech Japan, "Correction Agent Cupracid GS" manufactured by Atotech Japan) was used as the electrolytic plating solution, and a current of 0.6 A/ cm2 was passed to perform electrolytic plating until the plating thickness reached about 15 μm.

(e)外層銅配線パターン形成:
次に、ドライフィルムレジスト(サンフォートUFG-155、旭化成イーマテリアルズ社製)を、熱ロールラミネーターにより電解めっきの上にラミネートした。内層のダンベル状銅パターンの一方の円形の上部に、樹脂フィルムを挟んで外層のダンベル型銅配線の一方の円形が配置されるように、パターンフォトマスクを用いて、コンタクトUV露光した。次いで、23℃の1重量%炭酸水素ナトリウム水溶液を用いてUV未露光部を溶解除去し、電解めっきを露出させた。露出した電解めっきをエッチングにより除去し、UV露光したドライフィルムレジストを23℃の1重量%水酸化ナトリウム水溶液にて剥離除去し、電解めっきを露出させ、200℃60分間で最終硬化を行った。
(e) Formation of outer layer copper wiring pattern:
Next, a dry film resist (Sunfort UFG-155, manufactured by Asahi Kasei E-materials Corporation) was laminated on the electrolytic plating using a hot roll laminator. Contact UV exposure was performed using a pattern photomask so that one circle of the dumbbell-shaped copper wiring of the outer layer was placed on top of one circle of the dumbbell-shaped copper pattern of the inner layer, sandwiching a resin film. Next, the UV-unexposed portion was dissolved and removed using a 1 wt% aqueous solution of sodium bicarbonate at 23°C to expose the electrolytic plating. The exposed electrolytic plating was removed by etching, and the UV-exposed dry film resist was peeled and removed using a 1 wt% aqueous solution of sodium hydroxide at 23°C to expose the electrolytic plating, and final curing was performed at 200°C for 60 minutes.

このようにして得られた積層体に、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)被覆された電線CをSn-Pb共晶はんだにより接続した。上記積層体の外部領域において、カッターナイフにより硬化物を削って内層の回路基板の表面を露出させた。回路基板の露出した表面に、PTFE被覆された電線DをSn-Pb共晶はんだにより接続した。 A polytetrafluoroethylene (PTFE)-coated electric wire C was connected to the laminate obtained in this manner using Sn-Pb eutectic solder. In the outer region of the laminate, the cured material was scraped off with a utility knife to expose the surface of the inner layer circuit board. A PTFE-coated electric wire D was connected to the exposed surface of the circuit board using Sn-Pb eutectic solder.

電線Cと電線Dとを高加速寿命試験(HAST)装置に接続し、130℃及び85%RH環境下で直流電圧3.3Vを200時間印加した後の層内における抵抗値を測定した。 Wires C and D were connected to a highly accelerated life test (HAST) device, and the resistance value within the layer was measured after applying a DC voltage of 3.3 V for 200 hours in an environment of 130°C and 85% RH.

[HAST試験後の絶縁信頼性の判定基準]
○:抵抗値が1×10Ω以上
△:抵抗値が1×10Ω以上1×10Ω未満
×:抵抗値が1×10Ω未満
[Criteria for insulation reliability after HAST test]
◯: Resistance value is 1×10 8 Ω or more △: Resistance value is 1×10 7 Ω or more and less than 1×10 8 Ω ×: Resistance value is less than 1×10 7 Ω

組成及び結果を下記の表1~3に示す。 The compositions and results are shown in Tables 1 to 3 below.

Figure 2024092800000002
Figure 2024092800000002

Figure 2024092800000003
Figure 2024092800000003

Figure 2024092800000004
Figure 2024092800000004

11…多層プリント配線板
12…回路基板
12a…上面
13~16…絶縁層
17…金属層
11: multilayer printed wiring board 12: circuit board 12a: upper surface 13-16: insulating layers 17: metal layer

Claims (10)

ラジカル重合性化合物(A)と、
中空アルミノシリケート粒子(B)と、
硬化促進剤(C)とを含み、
下記の第1の構成又は下記の第2の構成を備える、樹脂材料。
第1の構成:樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記ラジカル重合性化合物(A)の含有量が、20重量%以上である。
第2の構成:樹脂材料を180℃で30分間加熱した後、200℃で60分間加熱して得られた樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接と、前記樹脂材料の硬化物(1)を130℃及び85%RHで100時間静置した後の樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接とをそれぞれ測定したときに、下記式(Df)で算出される誘電正接の変化率が225%以下である。
誘電正接の変化率(%)=(|Df1-Df2|/Df1)×100 ・・・(Df)
Df1:前記樹脂材料の硬化物(1)の誘電正接
Df2:前記樹脂材料の硬化物(2)の誘電正接
A radical polymerizable compound (A),
Hollow aluminosilicate particles (B);
and a curing accelerator (C),
A resin material having the following first configuration or the following second configuration.
First configuration: the content of the radically polymerizable compound (A) is 20% by weight or more based on 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.
Second configuration: When the dielectric tangent of a cured product (1) of the resin material obtained by heating a resin material at 180° C. for 30 minutes and then at 200° C. for 60 minutes and the dielectric tangent of a cured product (2) of the resin material obtained by leaving the cured product (1) of the resin material at rest for 100 hours at 130° C. and 85% RH are measured, the rate of change in the dielectric tangent calculated by the following formula (Df) is 225% or less.
Rate of change of dielectric tangent (%) = (|Df1-Df2|/Df1) x 100 ... (Df)
Df1: Dielectric tangent of the cured resin material (1) Df2: Dielectric tangent of the cured resin material (2)
前記第1の構成を備える、請求項1に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1, comprising the first configuration. 前記第2の構成を備える、請求項1に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1, which has the second configuration. 前記第1の構成と前記第2の構成とを備える、請求項1に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1, comprising the first configuration and the second configuration. 樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記中空アルミノシリケート粒子(B)の含有量が、55重量%以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 4, wherein the content of the hollow aluminosilicate particles (B) is 55% by weight or less in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. 前記中空アルミノシリケート粒子(B)が、表面処理された中空アルミノシリケート粒子である、請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 4, wherein the hollow aluminosilicate particles (B) are surface-treated hollow aluminosilicate particles. 樹脂フィルムである、請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 4, which is a resin film. 多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために用いられる、請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 4, which is used to form an insulating layer in a multilayer printed wiring board. 樹脂材料の硬化物であって、
前記樹脂材料が、請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂材料である、硬化物。
A cured product of a resin material,
A cured product, wherein the resin material is the resin material according to any one of claims 1 to 4.
回路基板と、
前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、
複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、
複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板。
A circuit board;
a plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board;
a metal layer disposed between a plurality of the insulating layers;
A multilayer printed wiring board, wherein at least one of the insulating layers is a cured product of the resin material according to any one of claims 1 to 4.
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