JP2023114731A - 液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体吐出装置の吐出特性を向上させる。【解決手段】液体吐出装置は、振動板の第１面の上に積層され、液体を吐出するノズルに連通する圧力室を区画する隔壁を有する圧力室基板と、振動板の第２面の上に積層され、振動板の厚さ方向にみて圧力室の中心に重なる第１能動部と第１能動部よりも圧力室の外縁に近い位置で圧力室に重なる第２能動部とを有する圧電素子と、第１能動部を駆動する第１駆動信号と、第２能動部を駆動する第２駆動信号と、を生成する駆動信号生成部と、を備え、第１駆動信号は、周期的な単位期間ごとに圧力室の容積を収縮させる第１収縮要素を含み、第２駆動信号は、単位期間ごとに圧力室の容積を収縮させる第２収縮要素を含み、第１収縮要素が第１能動部に供給される第１期間と、第２収縮要素が第２能動部に供給される第２期間と、が互いに重なる収縮工程を実行する。【選択図】図９

Description

本開示は、液体吐出装置に関する。

ピエゾ方式のインクジェットプリンターに代表される液体吐出装置は、一般に、ノズルに連通する圧力室の壁面の一部を構成する振動板上に圧電素子を配置した構成を採用する。ここで、圧力室には、インク等の液体が収容される。そして、圧電素子は、振動板を変形させることにより、圧力室の容積の膨張または収縮を伴って、ノズルから液体を吐出させる。

このような液体吐出装置の圧電素子は、例えば、特許文献１に開示されるように、振動板の厚さ方向にみて圧力室の中央部に重なる能動部と圧力室の端部に重なる能動部とに区分される場合がある。

特開２０００－２５２２５号公報

しかし、特許文献１には、前述の２つの能動部のそれぞれを駆動するための具体的な駆動信号に関する開示がない。このような状況のもと、吐出特性に優れる液体吐出装置の実現が望まれる。

以上の課題を解決するために、本開示に係る液体吐出装置の一態様は、第１面と前記第１面とは反対方向を向く第２面とを有する振動板と、前記第１面の上に積層され、液体を吐出するノズルに連通する圧力室を区画する隔壁を有する圧力室基板と、前記第２面の上に積層され、前記振動板の厚さ方向にみて前記圧力室の中心に重なる第１能動部と前記第１能動部よりも前記圧力室の外縁に近い位置で前記圧力室に重なる第２能動部とを有する圧電素子と、前記第１能動部を駆動する第１駆動信号と、前記第２能動部を駆動する第２駆動信号と、を生成する駆動信号生成部と、を備え、前記第１駆動信号は、前記圧力室の容積を収縮させる第１収縮要素を周期的な単位期間ごとに含み、前記第２駆動信号は、前記単位期間ごとに前記圧力室の容積を収縮させる第２収縮要素を前記単位期間ごとに含み、前記第１収縮要素が前記第１能動部に供給される第１期間と、前記第２収縮要素が前記第２能動部に供給される第２期間と、が互いに重なる収縮工程を実行する。

本開示に係る液体吐出装置の他の一態様は、第１面と前記第１面とは反対方向を向く第２面とを有する振動板と、前記第１面の上に積層され、液体を吐出するノズルに連通する圧力室を区画する隔壁を有する圧力室基板と、前記第２面の上に積層され、前記振動板の厚さ方向にみて前記圧力室の中心に重なる第１能動部と前記第１能動部よりも前記圧力室の外縁に近い位置で前記圧力室に重なる第２能動部とを有する圧電素子と、前記第１能動部を駆動する第１駆動信号と、前記第２能動部を駆動する第２駆動信号と、を生成する駆動信号生成部と、を備え、前記第１駆動信号は、第１電位から第２電位に変化する第１期間を周期的な単位期間ごとに含み、前記第２駆動信号は、第３電位から第４電位に変化する第２期間を前記単位期間ごとに含み、前記第１期間および前記第２期間が互いに重なる。

第１実施形態に係る液体吐出装置を模式的に示す構成図である。 第１実施形態に係る液体吐出装置の電気的構成を示す図である。 ヘッドチップの分解斜視図である。 図３中のＡ－Ａ線断面図である。 ヘッドチップの平面図である。 図５中のＢ－Ｂ線断面図である。 切替回路を説明するための図である。 第１実施形態での第１駆動信号および第２駆動信号を説明するための図である。 第１実施形態での収縮工程を説明するための図である。 第１駆動信号による振動板の変形を説明するための模式図である。 第２駆動信号による振動板の変形を説明するための模式図である。 第２実施形態での収縮工程を説明するための図である。 第３実施形態での第１駆動信号および第２駆動信号を説明するための図である。 第３実施形態での収縮工程および膨張工程を説明するための図である。 第４実施形態での収縮工程および膨張工程を説明するための図である。 第５実施形態での収縮工程、膨張工程および制振工程を説明するための図である。 第６実施形態での第１駆動信号および第２駆動信号を説明するための図である。 第６実施形態での収縮工程および膨張工程を説明するための図である。 第７実施形態での収縮工程および膨張工程を説明するための図である。 第８実施形態での第１駆動信号および第２駆動信号を説明するための図である。 第８実施形態での収縮工程、第１膨張工程および第２膨張工程を説明するための図である。 第９実施形態での収縮工程、第１膨張工程および第２膨張工程を説明するための図である。 第１０実施形態での収縮工程および膨張工程を説明するための図である。 変形例１での収縮工程および膨張工程を説明するための図である。

以下、添付図面を参照しながら本開示に係る好適な実施形態を説明する。なお、図面において各部の寸法および縮尺は実際と適宜に異なり、理解を容易にするために模式的に示している部分もある。また、本開示の範囲は、以下の説明において特に本開示を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られない。

なお、以下の説明は、便宜上、互いに交差するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を適宜に用いて行う。また、以下では、Ｘ軸に沿う一方向がＸ１方向であり、Ｘ１方向と反対の方向がＸ２方向である。同様に、Ｙ軸に沿って互いに反対の方向がＹ１方向およびＹ２方向である。また、Ｚ軸に沿って互いに反対の方向がＺ１方向およびＺ２方向である。また、Ｚ軸に沿う方向でみることを「平面視」という場合がある。

ここで、典型的には、Ｚ軸が鉛直な軸であり、Ｚ２方向が鉛直方向での下方向に相当する。ただし、Ｚ軸は、鉛直な軸でなくともよい。また、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、典型的には互いに直交するが、これに限定されず、例えば、８０°以上１００°以下の範囲内の角度で交差すればよい。

１．第１実施形態
１－１．液体吐出装置の全体構成
図１は、第１実施形態に係る液体吐出装置１００を模式的に示す構成図である。液体吐出装置１００は、液体の一例であるインクを液滴として媒体Ｍに吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体Ｍは、典型的には印刷用紙である。なお、媒体Ｍは、印刷用紙に限定されず、例えば、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象でもよい。

図１に示すように、液体吐出装置１００は、液体容器１０と制御ユニット２０と搬送機構３０と移動機構４０と液体吐出ヘッド５０とを有する。

液体容器１０は、インクを貯留する容器である。液体容器１０の具体的な態様としては、例えば、液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、および、インクを補充可能なインクタンクが挙げられる。なお、液体容器１０に貯留されるインクの種類は任意である。

制御ユニット２０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１００の各要素の動作を制御する。

搬送機構３０は、制御ユニット２０による制御のもとで、媒体ＭをＹ２方向に搬送する。移動機構４０は、制御ユニット２０による制御のもとで、液体吐出ヘッド５０をＸ１方向とＸ２方向とに往復させる。図１に示す例では、移動機構４０は、液体吐出ヘッド５０を収容する略箱型のキャリッジ４１と、キャリッジ４１が固定される無端状の搬送ベルト４２と、を有する。なお、キャリッジ４１に搭載される液体吐出ヘッド５０の数は、１個に限定されず、複数個でもよい。また、キャリッジ４１には、液体吐出ヘッド５０のほかに、前述の液体容器１０が搭載されてもよい。

液体吐出ヘッド５０は、制御ユニット２０による制御のもとで、液体容器１０から供給されるインクを複数のノズルのそれぞれから媒体Ｍに向けてＺ２方向に吐出する。この吐出が搬送機構３０による媒体Ｍの搬送と移動機構４０による液体吐出ヘッド５０の往復移動とに並行して行われることにより、媒体Ｍの表面にインクによる画像が形成される。

１－２．液体吐出装置の電気的構成
図２は、第１実施形態に係る液体吐出装置１００の電気的構成を示す図である。以下、図２に基づいて、制御ユニット２０について説明するが、これに先立ち、液体吐出ヘッド５０について簡単に説明する。

図２に示すように、液体吐出ヘッド５０は、ヘッドチップ５１と切替回路５２とを有する。

ヘッドチップ５１は、複数の圧電素子５１ｆを有しており、当該複数の圧電素子５１ｆの適宜の駆動により、インクをノズルから吐出する。ここで、各圧電素子５１ｆは、「第１能動部」の一例である能動部Ｐ１と、「第２能動部」の一例である能動部Ｐ２と、「第３能動部」の一例である能動部Ｐ３と、を有する。そして、能動部Ｐ１は、供給信号Ｖｉｎ－Ａの供給を受けて駆動する。一方、能動部Ｐ２および能動部Ｐ３のそれぞれは、供給信号Ｖｉｎ－Ｂの供給を受けて駆動する。なお、ヘッドチップ５１の詳細については、後に図３から図６に基づいて説明する。

切替回路５２は、制御ユニット２０による制御のもと、ヘッドチップ５１の有する複数の圧電素子５１ｆのそれぞれについて、制御ユニット２０から出力される第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂを各圧電素子５１ｆに供給するか否かを切り替える。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａは、供給信号Ｖｉｎ－Ａとして能動部Ｐ１に供給される。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、供給信号Ｖｉｎ－Ｂとして能動部Ｐ２、Ｐ３に供給される。なお、切替回路５２の詳細については、後に図７に基づいて説明する。

なお、図２に示す例では、液体吐出ヘッド５０の有するヘッドチップ５１の数が１個であるが、これに限定されず、液体吐出ヘッド５０の有するヘッドチップ５１の数が２個以上でもよい。

図２に示すように、制御ユニット２０は、制御回路２１と、記憶回路２２と、電源回路２３と、「駆動信号生成部」の一例である駆動信号生成回路２４と、を有する。

制御回路２１は、液体吐出装置１００の各部の動作を制御する機能と、各種データを処理する機能と、を有する。制御回路２１は、例えば、１個以上のＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサーを含む。なお、制御回路２１は、ＣＰＵに代えて、または、ＣＰＵに加えて、ＦＰＧＡ（field-programmable gate array）等のプログラマブルロジックデバイスを含んでもよい。また、制御回路２１が複数のプロセッサーで構成される場合、当該複数のプロセッサーが互いに異なる基板等に実装されてもよい。

記憶回路２２は、制御回路２１が実行する各種プログラムと、制御回路２１が処理する印刷データＩｍｇ等の各種データと、を記憶する。記憶回路２２は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の揮発性のメモリーとＲＯＭ（Read Only Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory）またはＰＲＯＭ（Programmable ROM）等の不揮発性メモリーとの一方または両方の半導体メモリーを含む。印刷データＩｍｇは、パーソナルコンピューターまたはデジタルカメラ等の外部装置２００から供給される。なお、記憶回路２２は、制御回路２１の一部として構成されてもよい。

電源回路２３は、図示しない商用電源から電力の供給を受け、所定の各種電位を生成する。生成した各種電位は、液体吐出装置１００の各部に適宜に供給される。例えば、電源回路２３は、電源電位ＶＨＶとオフセット電位ＶＢＳとを生成する。オフセット電位ＶＢＳは、液体吐出ヘッド５０に供給される。また、電源電位ＶＨＶは、駆動信号生成回路２４に供給される。

駆動信号生成回路２４は、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂを生成する回路である。具体的には、駆動信号生成回路２４は、例えば、ＤＡ変換回路と増幅回路とを有する。駆動信号生成回路２４では、当該ＤＡ変換回路が制御回路２１からの波形指定信号ｄＣｏｍをデジタル信号からアナログ信号に変換し、当該増幅回路が電源回路２３からの電源電位ＶＨＶを用いて当該アナログ信号を増幅することで第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂをそれぞれ生成する。ここで、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａに含まれる波形のうち、圧電素子５１ｆの能動部Ｐ１に実際に供給される波形の信号が前述の供給信号Ｖｉｎ－Ａである。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂに含まれる波形のうち、圧電素子５１ｆの能動部Ｐ２または能動部Ｐ３に実際に供給される波形の信号が前述の供給信号Ｖｉｎ－Ｂである。波形指定信号ｄＣｏｍは、第１駆動信号Ｃｏｍ－１および第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの波形を規定するためのデジタル信号である。

制御回路２１は、記憶回路２２に記憶されるプログラムを実行することで、液体吐出装置１００の各部の動作を制御する。ここで、制御回路２１は、当該プログラムの実行により、液体吐出装置１００の各部の動作を制御するための信号として、制御信号Ｓｋ１およびＳｋ２と印刷データ信号ＳＩと波形指定信号ｄＣｏｍとラッチ信号ＬＡＴとチェンジ信号ＣＮＧとクロック信号ＣＬＫとを生成する。

制御信号Ｓｋ１は、搬送機構３０の駆動を制御するための信号である。制御信号Ｓｋ２は、移動機構４０の駆動を制御するための信号である。印刷データ信号ＳＩは、圧電素子５１ｆの動作状態を指定するためのデジタルの信号である。ラッチ信号ＬＡＴおよびチェンジ信号ＣＮＧは、印刷データ信号ＳＩと併用され、ヘッドチップ５１の各ノズルからのインクの吐出タイミングを規定するタイミング信号である。これらのタイミング信号は、例えば、前述のキャリッジ４１の位置を検出するエンコーダーの出力に基づいて生成される。

１－３．液体吐出ヘッドの全体構成

図３は、ヘッドチップ５１の分解斜視図である。図４は、図３中のＡ－Ａ線断面図である。図３および図４に示すように、ヘッドチップ５１は、流路基板５１ａと圧力室基板５１ｂとノズル板５１ｃと吸振体５１ｄと振動板５１ｅと複数の圧電素子５１ｆとカバー５１ｇとケース５１ｈと配線基板５１ｉとを有する。

ここで、流路基板５１ａよりもＺ１方向に位置する領域には、圧力室基板５１ｂと振動板５１ｅと複数の圧電素子５１ｆとケース５１ｈとカバー５１ｇとが設置される。他方、流路基板５１ａよりもＺ２方向に位置する領域には、ノズル板５１ｃと吸振体５１ｄとが設置される。液体吐出ヘッド５０の各要素は、概略的にはＹ軸に沿う方向に長尺な板状部材であり、例えば接着剤により互いに接合される。

図３に示すように、ノズル板５１ｃは、Ｙ軸に沿う方向に配列される複数のノズルＮが設けられる板状部材である。各ノズルＮは、インクを通過させる貫通孔である。ノズル板５１ｃは、例えば、ドライエッチングまたはウェットエッチング等の加工技術を用いる半導体製造技術によりシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。ただし、ノズル板５１ｃの製造には、他の公知の方法および材料が適宜に用いられてもよい。

流路基板５１ａは、インクの流路を形成するための板状部材である。図２および図３に示すように、流路基板５１ａには、開口部Ｒ１と複数の供給流路Ｒａと複数の連通流路Ｎａとが設けられる。開口部Ｒ１は、複数のノズルＮにわたり連続するように、Ｚ軸に沿う方向でみた平面視で、Ｙ軸に沿う方向に延びる長尺状の貫通孔である。他方、供給流路Ｒａおよび連通流路Ｎａそれぞれは、ノズルＮごとに個別に設けられる貫通孔である。複数の供給流路Ｒａのそれぞれは、開口部Ｒ１に連通する。流路基板５１ａは、前述のノズル板５１ｃと同様に、例えば、半導体製造技術によりシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。ただし、流路基板５１ａの製造には、他の公知の方法および材料が適宜に用いられてもよい。なお、供給流路Ｒａの一部は、圧力室基板５１ｂに形成されてもよい。

圧力室基板５１ｂは、複数のノズルＮに対応する複数の圧力室Ｃが形成される板状部材である。圧力室Ｃは、流路基板５１ａと振動板５１ｅとの間に位置し、当該圧力室Ｃ内に充填されるインクに圧力を付与するためのキャビティと称される空間である。複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸に沿う方向に配列される。各圧力室Ｃは、圧力室基板５１ｂの両面に開口する孔で構成されており、Ｘ軸に沿う方向に延びる長尺状をなす。各圧力室ＣのＸ２方向での端は、対応する供給流路Ｒａに連通する。なお、供給流路Ｒａは圧力室Ｃに対して断面積が狭められており、この部分が流路抵抗として機能するため、インクに圧力が付与された際の逆流が抑制される。一方、各圧力室ＣのＸ１方向での端は、対応する連通流路Ｎａに連通する。圧力室基板５１ｂは、前述のノズル板５１ｃと同様に、例えば、半導体製造技術によりシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。ただし、圧力室基板５１ｂのそれぞれの製造には、他の公知の方法および材料が適宜に用いられてもよい。

圧力室基板５１ｂのＺ１方向を向く面には、振動板５１ｅが配置される。振動板５１ｅは、弾性的に変形可能な板状部材である。図４に示す例では、振動板５１ｅは、弾性膜である第１層５１ｅ１と、絶縁膜である第２層５１ｅ２と、を有し、これらがこの順でＺ１方向に積層される。なお、振動板５１ｅの詳細については、後述の図６に基づいて説明する。

振動板５１ｅのＺ１方向を向く面には、互いに異なるノズルＮまたは圧力室Ｃに対応する複数の圧電素子５１ｆが配置される。各圧電素子５１ｆは、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの供給により変形する受動素子であり、Ｘ軸に沿う方向に延びる長尺状をなす。複数の圧電素子５１ｆは、複数の圧力室Ｃに対応するようにＹ軸に沿う方向に配列される。圧電素子５１ｆの変形に連動して振動板５１ｅが振動すると、圧力室Ｃ内の圧力が変動することにより、インクがノズルＮから吐出される。なお、圧電素子５１ｆの詳細については、後述の図６に基づいて説明する。

ケース５１ｈは、複数の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留するためのケースであり、流路基板５１ａのＺ１方向を向く面に接着剤等により接合される。ケース５１ｈは、例えば、樹脂材料で構成されており、射出成形により製造される。ケース５１ｈには、収容部Ｒ２と導入口ＩＨとが設けられる。収容部Ｒ２は、流路基板５１ａの開口部Ｒ１に対応する外形の凹部である。導入口ＩＨは、収容部Ｒ２に連通する貫通孔である。開口部Ｒ１および収容部Ｒ２による空間は、インクを貯留するリザーバーである液体貯留室Ｒとして機能する。液体貯留室Ｒには、液体容器１０からのインクが導入口ＩＨを介して供給される。

吸振体５１ｄは、液体貯留室Ｒ内の圧力変動を吸収するための要素である。吸振体５１ｄは、例えば、弾性変形可能な可撓性のシート部材であるコンプライアンス基板である。ここで、吸振体５１ｄは、流路基板５１ａの開口部Ｒ１と複数の供給流路Ｒａとを閉塞して液体貯留室Ｒの底面を構成するように、流路基板５１ａのＺ２方向を向く面に配置される。

カバー５１ｇは、複数の圧電素子５１ｆを保護するとともに圧力室基板５１ｂおよび振動板５１ｅの機械的な強度を補強する構造体である。カバー５１ｇは、振動板５１ｅの表面に例えば接着剤により接合される。カバー５１ｇには、複数の圧電素子５１ｆを収容する凹部が設けられる。

圧力室基板５１ｂまたは振動板５１ｅのＺ１方向を向く面には、配線基板５１ｉが接合される。配線基板５１ｉは、制御ユニット２０と液体吐出ヘッド５０とを電気的に接続するための複数の配線が形成される実装部品である。配線基板５１ｉは、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）またはＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板である。配線基板５１ｉには、切替回路５２が実装される。

１－４．振動板および圧電素子の詳細
図５は、ヘッドチップ５１の平面図である。図６は、図５中のＢ－Ｂ線断面図である。図５では、圧力室Ｃの平面視形状が二点鎖線で示される。圧力室基板５１ｂの隣り合う２つの圧力室Ｃの間には、Ｘ方向に沿って延びる壁状の隔壁５１ｂ１が設けられる。隔壁５１ｂ１は、圧力室Ｃを区画する。

図５に示す例では、圧力室Ｃの平面視形状が平行四辺形である。このような平面視形状の圧力室Ｃは、例えば、面方位（１１０）のシリコン単結晶基板を異方性エッチングすることにより形成される。当該異方性エッチングのエッチング液には、例えば、水酸化カリウム水溶液（ＫＯＨ）等が用いられる。また、当該異方性エッチングでは、振動板５１ｅの第１層５１ｅ１がエッチング停止層として用いられる。なお、圧力室Ｃの平面視形状は、図５に示す例に限定されず、任意である。

図６に示すように、振動板５１ｅは、第１面Ｆ１と、第１面Ｆ１とは反対方向を向く第２面Ｆ２と、を有する。図６に示す例では、振動板５１ｅの厚さ方向がＺ軸に沿う方向である。したがって、第１面Ｆ１が振動板５１ｅのＺ２方向を向く面であり、第２面Ｆ２が振動板５１ｅのＺ１方向を向く面である。第２面Ｆ２の上には、圧電素子５１ｆが配置される。第１面Ｆ１の上には、圧力室基板５１ｂが配置される。

振動板５１ｅは、第１層５１ｅ１と第２層５１ｅ１とを有し、これらがこの順でＺ１方向に積層される。第１層５１ｅ１は、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ_２）で構成される弾性膜である。当該弾性膜は、例えば、シリコン単結晶基板の一方の面を熱酸化することにより形成される。第２層５１ｅ１は、例えば、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）で構成される絶縁膜である。当該絶縁膜は、例えば、スパッタ法によりジルコニウムの層を形成し、当該層を熱酸化することにより形成される。

なお、第１層５１ｅ１は、酸化シリコンに限定されず、例えば、シリコン単体等の他の弾性材料で構成されてもよい。第２層５１ｅ１の構成材料は、酸化ジルコニウムに限定されず、例えば、窒化シリコン等の他の絶縁材料でもよい。また、第１層５１ｅ１と第２層５１ｅ１との間には、金属酸化物等の他の層が介在してもよい。言い換えると、第１層５１ｅ１または第２層５１ｅ１が互いに同一または異なる複数の層で構成されてもよい。また、振動板５１ｅの一部または全部は、圧力室基板５１ｂと同一材料で一体に構成されてもよい。また、振動板５１ｅは、単一材料の層で構成されてもよい。

図５に示すように、圧電素子５１ｆは、平面視で圧力室Ｃに重なる。図６に示すように、圧電素子５１ｆは、第１電極層５１ｆ１と圧電体層５１ｆ２と第２電極層５１ｆ３とを有し、これらがこの順でＺ１方向に積層される。

なお、圧電素子５１ｆの層間、または圧電素子５１ｆと振動板５１ｅとの間には、密着性を高めるための層等の他の層が適宜介在してもよい。また、第１電極層５１ｆ１と圧電体層５１ｆ２との間には、シード層が設けられてもよい。当該シード層は、圧電体層５１ｆ２を形成する際に、圧電体層５１ｆ２の配向性を向上させる機能を有する。当該シード層は、例えば、チタン（Ｔｉ）で構成されるか、または、Ｐｂ（Ｆｅ，Ｔｉ）Ｏ_３等のペロブスカイト構造を有する複合酸化物で構成される。当該シード層がチタンで構成される場合、圧電体層５１ｆ２を形成する際に、島状のＴｉが結晶核となって圧電体層５１ｆ２の配向性を向上させる。この場合、シード層は、例えば、スパッタ法等の公知の成膜技術、およびフォトリソグラフィおよびエッチング等を用いる公知の加工技術により３ｎｍ以上２０ｎｍ以下程度の厚さで形成される。また、当該シード層が当該複合酸化物で構成される場合、圧電体層５１ｆ２を形成する際に、圧電体層５１ｆ２がシード層の結晶構造の影響を受けることにより、圧電体層５１ｆ２の配向性が向上する。この場合、シード層は、例えば、ゾルゲル法またはＭＯＤ（metal organic decomposition）法により複合酸化物の前駆体層を形成し、その前駆体層を焼成して結晶化することにより形成される。

第１電極層５１ｆ１は、圧電素子５１ｆごとに、個別電極５１ｆ１ａ、５１ｆ１ｂ、５１ｆ１ｃを有する。個別電極５１ｆ１ａ、５１ｆ１ｂ、５１ｆ１ｃのそれぞれは、Ｘ軸に沿う方向に延びる。個別電極５１ｆ１ａ、５１ｆ１ｂ、５１ｆ１ｃは、互いに間隔を隔ててＹ軸に沿う方向に配列される。

ここで、個別電極５１ｆ１ａは、平面視で、圧力室Ｃの幅方向での中央部に配置されており、圧力室Ｃの中心に重なる。個別電極５１ｆ１ａには、配線を介して、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａが供給される。一方、個別電極５１ｆ１ｂおよび個別電極５１ｆ１ｃのそれぞれは、平面視で、圧力室Ｃの幅方向での端部に配置されており、個別電極５１ｆ１ａよりも圧力室Ｃの外縁ＢＤに近い位置で圧力室Ｃに重なる。個別電極５１ｆ１ｂおよび個別電極５１ｆ１ｃのそれぞれには、配線を介して、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂが供給される。

第１電極層５１ｆ１は、例えば、チタン（Ｔｉ）で構成される第１層と、白金（Ｐｔ）で構成される第２層と、イリジウム（Ｉｒ）で構成される第３層と、を有し、これらがこの順でＺ１方向に積層される。第１電極層５１ｆ１は、例えば、スパッタ法等の公知の成膜技術、およびフォトリソグラフィおよびエッチング等を用いる公知の加工技術により形成される。

ここで、第１電極層５１ｆ１の前述の第１層は、振動板５１ｅに対する第１電極層５１ｆ１の密着性を向上させる密着層として機能する。当該第１層の厚さは、特に限定されないが、例えば、３ｎｍ以上５０ｎｍ以下程度である。なお、第１層の構成材料は、チタンに限定されず、例えば、チタンに代えて、クロムを用いてもよい。

また、第１電極層５１ｆ１の前述の第２層を構成する白金と第３層を構成するイリジウムとは、ともに導電性に優れた電極材料であり、かつ、互いに化学的性質が近い。このため、第１電極層５１ｆ１の電極としての特性を優れたものとすることができる。第２層の厚さは、特に限定されないが、例えば、５０ｎｍ以上２００ｎｍ以下程度である。第３層の厚さは、特に限定されないが、例えば、４ｎｍ以上２０ｎｍ以下程度である。

なお、第１電極層５１ｆ１の構成は、前述の例に限定されない。例えば、前述の第２層または第３層のいずれかが省略されてもよいし、前述の第１層と第２層との間に、イリジウムで構成された層がさらに設けられてもよい。また、第２層および第３層に代えて、または、第２層および第３層に加えて、イリジウムおよび白金以外の電極材料で構成された層が用いられてもよい。当該電極材料としては、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）等の金属材料が挙げられ、これらのうち、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を積層または合金等の形態で組み合わせて用いてもよい。

圧電体層５１ｆ２は、第１電極層５１ｆ１と第２電極層５１ｆ３との間に配置される。圧電体層５１ｆ２は、複数の圧電素子５１ｆにわたり連続するようにＹ軸に沿う方向に延びる帯状をなす。なお、圧電体層５１ｆ２は、圧電素子５１ｆごと、または、能動部Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３ごとに、個別に設けられてもよい。

圧電体層５１ｆ２は、一般組成式ＡＢＯ_３で表されるペロブスカイト型結晶構造を有する圧電材料で構成される。当該圧電材料としては、例えば、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ_３）、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３）、ジルコニウム酸鉛（ＰｂＺｒＯ_３）、チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ），ＴｉＯ_３）、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン（（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３）、ニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎｂ）Ｏ_３）、マグネシウムニオブ酸ジルコニウムチタン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）（Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ_３）等が挙げられる。中でも、圧電体層５１ｆ２の構成材料には、チタン酸ジルコン酸鉛が好適に用いられる。なお、圧電体層５１ｆ２には、不純物等の他の元素が少量含まれてもよい。また、圧電体層５１ｆ２を構成する圧電材料は、チタン酸バリウム等の非鉛材料でもよい。

圧電体層５１ｆ２は、例えば、ゾルゲル法またはＭＯＤ（metal organic decomposition）法等の液相法により圧電体の前駆体層を形成し、その前駆体層を焼成して結晶化することにより形成される。ここで、圧電体層５１ｆ２は、単層で構成されてもよいが、複数層で構成される場合、圧電体層５１ｆ２の厚さを厚くしても、圧電体層５１ｆ２の特性を高めやすいという利点がある。

第２電極層５１ｆ３は、複数の圧電素子５１ｆにわたり連続するようにＹ軸に沿う方向に延びる帯状の共通電極である。第２電極層５１ｆ３には、所定の基準電圧としてオフセット電位ＶＢＳが供給される。

第２電極層５１ｆ３は、例えば、イリジウム（Ｉｒ）で構成される層と、チタン（Ｔｉ）で構成される層と、を有し、これらがこの順でＺ１方向に積層される。第２電極層５１ｆ３は、例えば、スパッタ法等の公知の成膜技術、およびフォトリソグラフィおよびエッチング等を用いる公知の加工技術により形成される。

なお、第２電極層５１ｆ３の構成材料は、イリジウムおよびチタンに限定されず、例えば、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）または銅（Ｃｕ）等の金属材料でもよい。また、第２電極層５１ｆ３は、これらの金属材料のうち、１種を単独で用いて構成されてもよいし、２種以上を積層または合金等の形態で組み合わせて用いて構成されてもよい。また、第２電極層５１ｆ３が単層で構成されてもよい。

以上の圧電素子５１ｆは、能動部Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を有する。能動部Ｐ１は、振動板５１ｅの厚さ方向にみて個別電極５１ｆ１ａと圧電体層５１ｆ２と第２電極層５１ｆ３とのすべてが重なる圧電素子５１ｆの部分である。能動部Ｐ２は、振動板５１ｅの厚さ方向にみて個別電極５１ｆ１ｂと圧電体層５１ｆ２と第２電極層５１ｆ３とのすべてが重なる圧電素子５１ｆの部分である。能動部Ｐ３は、振動板５１ｅの厚さ方向にみて個別電極５１ｆ１ｃと圧電体層５１ｆ２と第２電極層５１ｆ３とのすべてが重なる圧電素子５１ｆの部分である。

能動部Ｐ１は、能動部Ｐ２と能動部Ｐ３との間に配置される。図６に示す例では、能動部Ｐ２、能動部Ｐ１、能動部Ｐ３がこの順でＹ１方向に並ぶ。また、能動部Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３のそれぞれは、Ｘ軸に沿う方向に延びる。

ここで、能動部Ｐ１は、振動板５１ｅの厚さ方向にみて、圧力室Ｃの中心に重なり、かつ、圧力室Ｃの外縁ＢＤに重ならない。一方、能動部Ｐ２および能動部Ｐ３のそれぞれは、振動板５１ｅの厚さ方向にみて、能動部Ｐ１よりも圧力室Ｃの外縁ＢＤに近い位置で圧力室Ｃに重なる。図６に示す例では、能動部Ｐ２および能動部Ｐ３のそれぞれは、振動板５１ｅの厚さ方向にみて、圧力室Ｃと隔壁５１ｂ１とに跨って配置されており、外縁ＢＤに重なる。

能動部Ｐ１のＹ軸に沿う幅Ｗ１は、圧力室ＣのＹ軸に沿う幅よりも小さく、好ましくは、圧力室ＣのＹ軸に沿う幅よりも小さく、かつ、圧力室ＣのＹ軸に沿う幅の１／２以上である。また、能動部Ｐ２のＹ軸に沿う幅Ｗ２は、圧力室ＣのＹ軸に沿う幅よりも小さく、好ましくは、圧力室ＣのＹ軸に沿う幅の１／２以下である。同様に、能動部Ｐ３のＹ軸に沿う幅Ｗ３は、圧力室ＣのＹ軸に沿う幅よりも小さく、好ましくは、圧力室ＣのＹ軸に沿う幅の１／２以下である。ここで、幅Ｗ２および幅Ｗ３は、互いに等しくてもよいし異なってもよい。

１－５．切替回路の構成
図７は、切替回路５２を説明するための図である。以下、図７に基づいて、切替回路５２について説明する。

図７に示すように、切替回路５２には、配線ＬＨａおよび配線ＬＨｂのそれぞれが接続される。配線ＬＨａは、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａを伝送する信号線である。配線ＬＨｂは、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂを伝送する信号線である。また、圧電素子５１ｆの第２電極層５１ｆ３には、配線ＬＨｄが接続される。配線ＬＨｄは、オフセット電位ＶＢＳが供給される給電線である。

切替回路５２は、複数の圧電素子５１ｆに一対一で対応する複数のスイッチＳＷａおよび複数のスイッチＳＷｂと、これらのスイッチの接続状態を指定する接続状態指定回路５２ａと、を有する。

スイッチＳＷａは、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの伝送のための配線ＬＨａと圧電素子５１ｆの個別電極５１ｆ１ａとの間の導通（オン）と非導通（オフ）とを切り替えるスイッチである。スイッチＳＷｂは、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの伝送のための配線ＬＨａと圧電素子５１ｆの個別電極５１ｆ１ｂおよび個別電極５１ｆ１ｃとの間の導通（オン）と非導通（オフ）とを切り替えるスイッチである。これらのスイッチのそれぞれは、例えば、トランスミッションゲートである。

接続状態指定回路５２ａは、制御回路２１から供給されるクロック信号ＣＬＫ、印刷データ信号ＳＩ、ラッチ信号ＬＡＴおよびチェンジ信号ＣＮＧに基づいて、複数のスイッチＳＷａおよび複数のスイッチＳＷｂのオンオフを指定する接続状態指定信号ＳＬａを生成する。

例えば、図示しないが、接続状態指定回路５２ａは、複数の圧電素子５１ｆと一対一で対応するように、複数の転送回路と複数のラッチ回路と複数のデコーダーとを有する。これらのうち、転送回路には、印刷データ信号ＳＩが供給される。ここで、印刷データ信号ＳＩには、圧電素子５１ｆごとの個別指定信号が含まれており、個別指定信号がシリアルで供給され、例えば、個別指定信号がクロック信号ＣＬＫに同期して複数の転送回路に順番に転送される。また、ラッチ回路は、ラッチ信号ＬＡＴに基づいて、転送回路に供給された個別指定信号をラッチする。また、デコーダーは、個別指定信号、ラッチ信号ＬＡＴおよびチェンジ信号ＣＮＧに基づいて、接続状態指定信号ＳＬａを生成する。

以上のように生成される接続状態指定信号ＳＬａに応じて、スイッチＳＷａおよびスイッチＳＷｂのオンオフが切り替えられる。例えば、スイッチＳＷａおよびスイッチＳＷｂは、接続状態指定信号ＳＬａがハイレベルの場合にオン状態となり、ローレベルの場合にオフ状態となる。以上のように、切替回路５２は、複数の圧電素子５１ｆから選択される１以上の圧電素子５１ｆに対して、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａに含まれる波形の一部または全部を供給信号Ｖｉｎ－Ａとして供給するとともに、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂに含まれる波形の一部または全部を供給信号Ｖｉｎ－Ｂとして供給する。

１－６．第１駆動信号および第２駆動信号
図８は、第１実施形態での第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂを説明するための図である。図８中上段の縦軸「電圧」は、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａとオフセット電位ＶＢＳとの電位差であり、図８中下段の縦軸「電圧」は、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂとオフセット電位ＶＢＳとの電位差である。なお、図８中上段の縦軸「電圧」は、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの電位であってもよいし、図８中下段の縦軸「電圧」は、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの電位であってもよい。

図８に示すように、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂのそれぞれは、所定周期の単位期間Ｔｕごとに変化する波形を有する。単位期間Ｔｕは、前述のラッチ信号ＬＡＴ等により規定され、媒体ＭにノズルＮからのインクによるドットを形成する印刷周期に相当する。

図８に示す例では、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａは、中間電位Ｖｃａを基準電位として、単位期間Ｔｕ内において、中間電位Ｖｃａから電位ＶＨａを経由して中間電位Ｖｃａに戻る波形を有する。ここで、中間電位Ｖｃａは、「第１電位」および「第５電位」の一例であり、例えば、オフセット電位ＶＢＳ以下の電位である。電位ＶＨａは、「第２電位」の一例であり、オフセット電位ＶＢＳよりも高い電位であり、かつ、中間電位Ｖｃａよりも高い電位である。

ここで、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの電位は、期間Ｐ１ａにわたり中間電位Ｖｃａに維持された後、期間Ｐ２ａにわたり中間電位Ｖｃａから電位ＶＨａまで上昇し、期間Ｐ３ａにわたり電位ＶＨａに維持された後、期間Ｐ４ａにわたり電位ＶＨａから中間電位Ｖｃａに下降し、期間Ｐ５ａにわたり中間電位Ｖｃａに維持される。期間Ｐ２ａは、「第１期間」の一例である。期間Ｐ３ａは、「第１保持期間」の一例である。期間Ｐ４ａは、「第３期間」の一例である。なお、期間Ｐ１ａ、期間Ｐ２ａ、期間Ｐ３ａ、期間Ｐ４ａ、期間Ｐ５ａは、この順で、単位期間Ｔｕの開始点から終了点までの間に含まれる。

以上の第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ２ａの波形部分は、圧力室Ｃの容積を収縮させる収縮要素ＥＳａである。収縮要素ＥＳａは、「第１収縮要素」の一例である。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ３ａの波形部分は、「第１保持要素」の一例である保持要素ＥＲａである。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ４ａの波形部分は、圧力室Ｃの容積を膨張させる膨張要素ＥＥａである。

一方、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、中間電位Ｖｃｂを基準電位として、単位期間Ｔｕ内において、中間電位Ｖｃｂから電位ＶＨｂを経由して中間電位Ｖｃｂに戻る波形を有する。ここで、中間電位Ｖｃｂは、「第３電位」および「第６電位」の一例であり、例えば、オフセット電位ＶＢＳ以下の電位である。電位ＶＨｂは、「第４電位」の一例であり、オフセット電位ＶＢＳよりも高い電位であり、かつ、中間電位Ｖｃｂよりも高い電位である。

ここで、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの電位は、期間Ｐ１ｂにわたり中間電位Ｖｃｂに維持された後、期間Ｐ２ｂにわたり中間電位Ｖｃｂから電位ＶＨｂまで上昇し、期間Ｐ３ｂにわたり電位ＶＨｂに維持された後、期間Ｐ４ｂにわたり電位ＶＨｂから中間電位Ｖｃｂに下降し、期間Ｐ５ｂにわたり中間電位Ｖｃｂに維持される。期間Ｐ４ｂは、「第２期間」の一例である。期間Ｐ３ｂは、「第２保持期間」の一例である。期間Ｐ２ｂは、「第４期間」の一例である。なお、期間Ｐ１ｂ、期間Ｐ２ｂ、期間Ｐ３ｂ、期間Ｐ４ｂ、期間Ｐ５ｂは、この順で、単位期間Ｔｕの開始点から終了点までの間に含まれる。

以上の第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ２ｂの波形部分は、圧力室Ｃの容積を膨張させる膨張要素ＥＥｂである。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ３ｂの波形部分は、「第２保持要素」の一例である保持要素ＥＲｂである。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ４ｂの波形部分は、圧力室Ｃの容積を収縮させる収縮要素ＥＳｂである。収縮要素ＥＳｂは、「第２収縮要素」の一例である。

本実施形態では、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、互いの波形が実質的に同一である。ただし、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、波形が供給される位相が互いにずれている。なお、「波形が実質的に同一」とは、電気的なノイズおよび誤差に基づく波形を除去した場合にパターンが一致することをいう。

つまり、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ１ａの長さは、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ１ｂの長さよりも長い。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ２ａの長さと第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ２ｂの長さとは、互いに等しい。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ３ａの長さと第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ３ｂの長さとは、互いに等しい。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ４ａの長さと第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ４ｂの長さとは、互いに等しい。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ５ａの長さは、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ５ｂの長さよりも短い。

なお、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの波形は、互いに異なってもよい。ただし、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの波形が実質的に同一であると、駆動信号生成回路２４は、１つの波形を生成して、位相をずらして供給すればよくなる場合がある。このため、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの波形が互いに異なる場合に比べて、駆動信号生成回路２４の構成を簡単化することができるという利点がある。

第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ３ａの開始タイミングは、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ３ｂの終了タイミングよりも後である。

ここで、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ２ａの少なくとも一部と第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ４ｂの少なくとも一部とが期間ＰＳで時間的に互いに重なる。

図８に示す例では、単位期間Ｔｕ内において、期間Ｐ２ａの開始タイミングが期間Ｐ４ｂの開始タイミングよりも後である。これに伴い、単位期間Ｔｕ内において、期間Ｐ２ａの終了タイミングが期間Ｐ４ｂの終了タイミングよりも後である。

１－７．収縮工程
図９は、第１実施形態での収縮工程ＳＳを説明するための図である。図９では、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａが実線で示され、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂが破線で示される。図９に示す例では、電位ＶＨａおよび電位ＶＨｂが互いに等しく、かつ、中間電位Ｖｃａおよび中間電位Ｖｃｂが互いに等しい。

なお、電位ＶＨａおよび電位ＶＨｂが互いに異なってもよいし、中間電位Ｖｃａおよび中間電位Ｖｃｂが互いに異なってもよい。ただし、電位ＶＨａおよび電位ＶＨｂが互いに等しく、かつ、中間電位Ｖｃａおよび中間電位Ｖｃｂが互いに等しい場合、そうでない場合に比べて、駆動信号生成回路２４の構成を簡単化することができるという利点がある。

前述のように、能動部Ｐ２、Ｐ３への第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの保持要素ＥＲｂの供給を完了した後、期間ＰＳを経て、能動部Ｐ１への第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの保持要素ＥＲａの供給が開始される。ここで、期間ＰＳでは、収縮工程ＳＳが実行される。

図１０は、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａによる振動板５１ｅの変形を説明するための模式図である。図１１は、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂによる振動板の変形を説明するための模式図である。これらの図では、説明の便宜上、圧電素子５１Ｆの図示が省略されるとともに、振動板５１ｅが模式的に示される。また、図１０および図１１では、基準状態である自然状態の振動板５１ｅが二点鎖線で示される。なお、「振動板５１ｅの自然状態」とは、圧電素子５１ｆに電圧が印加されないときの振動板５１ｅの状態をいう。

能動部Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３は、いずれも、Ｚ軸に沿う方向で電圧の印加を受けると、Ｚ軸に沿う方向での伸長に伴ってＺ軸に直交する方向に収縮しようとする。このとき、能動部Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３のそれぞれのＺ２方向を向く面が振動板５１ｅに固定されるため、能動部Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３のＺ２方向を向く面の収縮量が能動部Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３のＺ１方向を向く面の収縮量よりも小さい。このため、能動部Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３がＺ軸に沿う方向に反るように変形し、これに伴い、振動板５１ｅも変形する。

ここで、能動部Ｐ２、Ｐ３のそれぞれのＹ軸に沿う方向での両端のうち、圧力室Ｃの隔壁５１１に近い側の端は、隔壁５１１により変位の制限を受けるのに対し、圧力室Ｃの隔壁５１１に遠い側の端は、そのような変位の制限を受け難い。このため、能動部Ｐ２、Ｐ３がＹ軸に沿う方向に収縮しようとすると、当該遠い側の端がＺ１方向に変位する。この結果、第１面Ｆ１が凹状となるように、振動板５１ｅが変形する。したがって、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの保持要素ＥＲｂが能動部Ｐ２、Ｐ３に供給されると、図１０に示すように、第１面Ｆ１が凹状となるように、振動板５１ｅが変形する。これにより、圧力室Ｃの容積が膨張する。

一方、能動部Ｐ１のＹ軸に沿う方向での両端は、いずれも、圧力室Ｃの隔壁５１１から比較的遠い位置にあり、変位の隔壁５１１による制限を受け難い。このため、能動部Ｐ１がＹ軸に沿う方向に収縮しようとすると、第１面Ｆ１が凸状となるように、振動板５１ｅが変形する。したがって、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの保持要素ＥＲａが能動部Ｐ１に供給されると、図１１に示すように、第１面Ｆ１が凸状となるように、振動板５１ｅが変形する。これにより、圧力室Ｃの容積が収縮する。

ここで、能動部Ｐ２、Ｐ３は、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの収縮要素ＥＳｂの供給を受ける期間中に、振動板５１ｅを図１０中の実線で示す状態から二点鎖線で示す状態へ戻そうとする。また、能動部Ｐ１は、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの収縮要素ＥＳａの供給を受ける期間中に、振動板５１ｅを図１１中の二点鎖線で示す状態から実線で示す状態へ変形させようとする。

収縮工程ＳＳでは、振動板５１ｅを図１１中の二点鎖線で示す状態から実線で示す状態へ変形させる際に、振動板５１ｅを図１０中の実線で示す状態から二点鎖線で示す状態へ戻そうとする力を利用することができる。すなわち、収縮工程ＳＳでは、能動部Ｐ１が振動板５１ｅを基準状態から圧力室Ｃの容積を収縮させる状態に変形させる際、能動部Ｐ２、Ｐ３が圧力室Ｃの容積を膨張させた状態から振動板５１ｅを基準状態に戻そうとする力を利用することができる。このため、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａによる能動部Ｐ１の駆動のみを行う構成に比べて、振動板５１ｅの変形量を大きくすることができる。この結果、効率的にノズルＮからインクを吐出することができる。

これに対し、能動部Ｐ１への第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの収縮要素ＥＳａの供給の開始タイミングが能動部Ｐ２、Ｐ３への供給の終了タイミングと一致またはそれ以降である場合、振動板５１ｅを図１１中の二点鎖線で示す状態から実線で示す状態へ変形させる際に、振動板５１ｅを図１０中の実線で示す状態から二点鎖線で示す状態へ戻そうとする力を利用することができず、前述の効果が得られない。

以上のように、液体吐出装置１００は、振動板５１ｅと、圧力室基板５１ｂと、圧電素子５１ｆと、「駆動信号生成部」の一例である駆動信号生成回路２４と、を備える。ここで、前述のように、振動板５１ｅは、第１面Ｆ１と前記第１面Ｆ１とは反対方向を向く第２面Ｆ２とを有する。圧力室基板５１ｂは、第１面Ｆ１の上に積層され、「液体」の一例であるインクを吐出するノズルＮに連通する圧力室Ｃを区画する隔壁５１ｂ１を有する。圧電素子５１ｆは、第２面Ｆ２の上に積層され、「第１能動部」の一例である能動部Ｐ１と「第２能動部」の一例である能動部Ｐ２とを有する。能動部Ｐ１は、振動板５１ｅの厚さ方向にみて圧力室Ｃの中心に重なる。能動部Ｐ２は、振動板５１ｅの厚さ方向にみて能動部Ｐ１よりも圧力室Ｃの外縁に近い位置で圧力室Ｃに重なる。駆動信号生成回路２４は、能動部Ｐ１を駆動する第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａと、能動部Ｐ２を駆動する第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂと、を生成する。

第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａは、周期的な単位期間Ｔｕごとに、「第１収縮要素」の一例である収縮要素ＥＳａを含む。一方、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、単位期間Ｔｕごとに、「第２収縮要素」の一例である収縮要素ＥＳｂを含む。収縮要素ＥＳａおよび収縮要素ＥＳｂのそれぞれは、圧力室Ｃの容積を収縮させる。そして、液体吐出装置１００は、収縮工程ＳＳを実行する。収縮工程ＳＳは、「第１期間」の一例である期間Ｐ２ａと「第２期間」の一例である期間Ｐ４ｂとが互いに重なる期間である。期間Ｐ２ａでは、収縮要素ＥＳａが能動部Ｐ１に供給される。期間Ｐ４ｂでは、収縮要素ＥＳｂが能動部Ｐ２に供給される。

ここで、期間Ｐ２ａは、単位期間Ｔｕごとに、「第１電位」の一例である中間電位Ｖｃａから、「第２電位」の一例である電位ＶＨａに変化する期間である。また、期間Ｐ４ｂは、単位期間Ｔｕごとに、「第３電位」の一例である中間電位Ｖｃｂから、「第４電位」の一例である電位ＶＨｂに変化する期間である。

以上の液体吐出装置１００では、収縮工程ＳＳにおいて期間Ｐ２ａおよび期間Ｐ４ｂが互いに重なるので、これらの期間が互いに重ならない構成に比べて、振動板５１ｅの変位量を大きくしたり、振動板５１ｅの変位速度を速くしたりすることができる。このため、ノズルＮからのインクの吐出速度を速くしたり、ノズルＮから吐出されるインクの１回の吐出あたりの量を多くしたりすることができる。また、振動板５１ｅの変位速度を速くすることにより、ノズルＮからのインクの吐出周期を短くすることもできる。以上のように、液体吐出装置１００の吐出特性を向上させることができる。

ここで、前述のように、収縮工程ＳＳの実行中では、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの互いの電位の大小関係が逆転する。すなわち、期間Ｐ２ａおよび期間Ｐ４ｂが互いに重なる期間において、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの互いの電圧の大小関係が逆転する。

さらに、前述のように、単位期間Ｔｕにおいて、収縮要素ＥＳａの開始タイミングは、収縮要素ＥＳｂの開始タイミングよりも後である。すなわち、単位期間Ｔｕにおいて、期間Ｐ２ａの開始タイミングは、期間Ｐ４ｂの開始タイミングよりも後である。このため、能動部Ｐ１により変形する振動板５１ｅの部分と能動部Ｐ２により変形する振動板５１ｅの部分との間に過大な応力が生じることが防止される。この結果、振動板５１ｅのクラック等の損傷を低減することができる。

また、前述のように、単位期間Ｔｕにおいて、収縮要素ＥＳａの終了タイミングは、収縮要素ＥＳｂの終了タイミングよりも後である。このため、単位期間Ｔｕにおいて、収縮要素ＥＳａの開始タイミングを収縮要素ＥＳｂの開始タイミングよりも後にすることができる。

さらに、前述のように、圧電素子５１ｆは、「第３能動部」の一例である能動部Ｐ３をさらに有する。能動部Ｐ３は、振動板５１ｅの厚さ方向にみて能動部Ｐ１よりも圧力室Ｃの外縁に近い位置で圧力室Ｃに重なる。そして、能動部Ｐ１は、振動板５１ｅの厚さ方向にみて能動部Ｐ２と能動部Ｐ３との間に位置する。このため、能動部Ｐ３を能動部Ｐ２と同様に機能させることができる。

また、前述のように、圧電素子５１ｆは、振動板５１ｅから離れる方向に向かって第１電極層５１ｆ１、圧電体層５１ｆ２および第２電極層５１ｆ３をこの順に有する。圧電体層５１ｆ２および第２電極層５１ｆ３は、能動部Ｐ１、能動部Ｐ２および能動部Ｐ３にわたって共通に設けられる。これに対し、第１電極層５１ｆ１は、能動部Ｐ１、能動部Ｐ２および能動部Ｐ３に個別に設けられる複数の個別電極５１ｆ１ａ、５１ｆ１ｂ、５１ｆ１ｃを含む。このため、第２電極層５１ｆ３に能動部ごとの個別電極を設ける構成に比べて、配線の引き回しを簡単化することができる。また、圧電体層５１ｆ２を能動部ごとに区分する構成に比べて、圧電体層５１ｆ２の製造を簡単化することもできる。

２．第２実施形態
以下、本開示の第２実施形態について説明する。以下では、第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図１２は、第２実施形態での収縮工程ＳＳを説明するための図である。本実施形態は、図１２に示すように、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの中間電位Ｖｃｂが第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの中間電位Ｖｃａよりも高いこと以外は、前述の第１実施形態と同様である。

以上の第２実施形態によっても、液体吐出装置１００の吐出特性を向上させることができる。本実施形態では、前述のように、中間電位Ｖｃｂが中間電位Ｖｃａよりも高い。このため、これらの電位の差を適宜に設定することにより、振動板５１ｅの硬さ等を調整することができる。この結果、製造バラつき等があっても、複数のヘッドチップ５１間での吐出特性を揃えることができる。

３．第３実施形態
以下、本開示の第３実施形態について説明する。以下では、第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図１３は、第３実施形態での第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂを説明するための図である。図１３に示す例では、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａは、中間電位Ｖｃａを基準電位として、単位期間Ｔｕ内において、中間電位Ｖｃａから電位ＶＬａ、電位ＶＨａをこの順に経由して中間電位Ｖｃａに戻る波形を有する。電位ＶＬａは、中間電位Ｖｃａよりも低い電位である。

ここで、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの電位は、期間Ｐ１ｃにわたり中間電位Ｖｃａに維持された後、期間Ｐ２ｃにわたり中間電位Ｖｃａから電位ＶＬａに下降し、期間Ｐ３ｃにわたり電位ＶＬａに維持された後、期間Ｐ４ｃにわたり電位ＶＬａから電位ＶＨａまで上昇し、期間Ｐ５ｃにわたり電位ＶＨａに維持された後、期間Ｐ６ｃにわたり電位ＶＨａから中間電位Ｖｃａに下降し、期間Ｐ７ｃにわたり中間電位Ｖｃａに維持される。期間Ｐ２ｃは、「第３期間」の一例である。期間Ｐ４ｃは、「第１期間」の一例である。なお、期間Ｐ１ｃ、期間Ｐ２ｃ、期間Ｐ３ｃ、期間Ｐ４ｃ、期間Ｐ５ｃ、期間Ｐ６ｃ、期間Ｐ７ｃは、この順で、単位期間Ｔｕの開始点から終了点までの間に含まれる。

以上の第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ２ｃの波形部分は、圧力室Ｃの容積を膨張させる膨張要素ＥＥａ１である。膨張要素ＥＥａ１は、「第１膨張要素」の一例である。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ３ｃの波形部分は、保持要素ＥＲａ１である。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ４ｃの波形部分は、圧力室Ｃの容積を収縮させる収縮要素ＥＳａである。収縮要素ＥＳａは、「第１収縮要素」の一例である。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ５ｃの波形部分は、保持要素ＥＲａ２である。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ６ｃの波形部分は、圧力室Ｃの容積を膨張させる膨張要素ＥＥａ２である。

一方、図１３に示す第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、中間電位Ｖｃｂを基準電位として、単位期間Ｔｕ内において、中間電位Ｖｃｂから電位ＶＬｂ、電位ＶＨｂをこの順に経由して中間電位Ｖｃｂに戻る波形を有する。電位ＶＬｂは、中間電位Ｖｃｂよりも低い電位である。

ここで、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの電位は、期間Ｐ１ｄにわたり中間電位Ｖｃｂに維持された後、期間Ｐ２ｄにわたり中間電位Ｖｃｂから電位ＶＬｂに下降し、期間Ｐ３ｄにわたり電位ＶＬｂに維持された後、期間Ｐ４ｄにわたり電位ＶＬｂから電位ＶＨｂまで上昇し、期間Ｐ５ｄにわたり電位ＶＨｂに維持された後、期間Ｐ６ｄにわたり電位ＶＨｂから中間電位Ｖｃｂに下降し、期間Ｐ７ｄにわたり中間電位Ｖｃｂに維持される。期間Ｐ４ｄは、「第４期間」の一例である。期間Ｐ６ｄは、「第２期間」の一例である。なお、期間Ｐ１ｄ、期間Ｐ２ｄ、期間Ｐ３ｄ、期間Ｐ４ｄ、期間Ｐ５ｄ、期間Ｐ６ｄ、期間Ｐ７ｄは、この順で、単位期間Ｔｕの開始点から終了点までの間に含まれる。

以上の第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ２ｄの波形部分は、圧力室Ｃの容積を収縮させる収縮要素ＥＳｂ１である。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ３ｄの波形部分は、保持要素ＥＲｂ１である。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ４ｄの波形部分は、圧力室Ｃの容積を膨張させる膨張要素ＥＥｂである。膨張要素ＥＥｂは、「第２膨張要素」の一例である。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ５ｄの波形部分は、保持要素ＥＲｂ２である。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ６ｄの波形部分は、圧力室Ｃの容積を収縮させる収縮要素ＥＳｂ２である。収縮要素ＥＳｂ２は、「第２収縮要素」の一例である。

本実施形態では、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、互いの波形が実質的に同一である。ただし、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、波形が供給される位相が互いにずれている。

ここで、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ１ｃの長さは、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ１ｄの長さよりも長い。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ２ｃの長さと第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ２ｄの長さとは、互いに等しい。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ３ｃの長さと第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ３ｄの長さとは、互いに等しい。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ４ｃの長さと第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ４ｄの長さとは、互いに等しい。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ５ｃの長さと第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ５ｄの長さとは、互いに等しい。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ６ｃの長さと第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ６ｄの長さとは、互いに等しい。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ７ｃの長さは、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ７ｄの長さよりも短い。

なお、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの波形は、互いに異なってもよい。ただし、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの波形が互いに同一であると、駆動信号生成回路２４は、１つの波形を生成して、位相をずらして供給すればよくなる場合がある。このため、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの波形が互いに異なる場合に比べて、駆動信号生成回路２４の構成を簡単化することができるという利点がある。

第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ３ｃの開始タイミングは、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ３ｄの終了タイミングよりも後である。同様に、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ５ｃの開始タイミングは、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ５ｄの終了タイミングよりも後である。

ここで、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ２ｃの少なくとも一部と第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ４ｄの少なくとも一部とが期間ＰＥで時間的に互いに重なる。

図１３に示す例では、単位期間Ｔｕ内において、期間Ｐ２ｃの開始タイミングが期間Ｐ４ｄの開始タイミングよりも前である。また、単位期間Ｔｕ内において、期間Ｐ２ｃの終了タイミングが期間Ｐ４ｄの終了タイミングよりも前である。なお、単位期間Ｔｕ内において、期間Ｐ２ｃの開始タイミングが期間Ｐ４ｄの開始タイミング以後であってもよいし、期間Ｐ２ｃの終了タイミングが期間Ｐ４ｄの終了タイミング以後であってもよい。

また、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ４ｃの少なくとも一部と第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ６ｄの少なくとも一部とが期間ＰＳで時間的に互いに重なる。

図１３に示す例では、単位期間Ｔｕ内において、期間Ｐ４ｃの開始タイミングが期間Ｐ６ｄの開始タイミングよりも前である。また、単位期間Ｔｕ内において、期間Ｐ２ｃの終了タイミングが期間Ｐ４ｄの終了タイミングよりも前である。なお、単位期間Ｔｕ内において、期間Ｐ４ｃの開始タイミングが期間Ｐ６ｄの開始タイミング以後であってもよいし、期間Ｐ２ｃの終了タイミングが期間Ｐ４ｄの終了タイミング以後であってもよい。

図１４は、第３実施形態での収縮工程ＳＳおよび膨張工程ＳＥを説明するための図である。図１４では、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａが実線で示され、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂが破線で示される。図１４に示す例では、電位ＶＬａおよび電位ＶＬｂが互いに等しく、電位ＶＨａおよび電位ＶＨｂが互いに等しく、かつ、中間電位Ｖｃａおよび中間電位Ｖｃｂが互いに等しい。

なお、電位ＶＬａおよび電位ＶＬｂが互いに異なってもよいし、電位ＶＨａおよび電位ＶＨｂが互いに異なってもよいし、中間電位Ｖｃａおよび中間電位Ｖｃｂが互いに異なってもよい。ただし、電位ＶＬａおよび電位ＶＬｂが互いに等しく、電位ＶＨａおよび電位ＶＨｂが互いに等しく、かつ、中間電位Ｖｃａおよび中間電位Ｖｃｂが互いに等しい場合、そうでない場合に比べて、駆動信号生成回路２４の構成を簡単化することができるという利点がある。

前述のように、能動部Ｐ２、Ｐ３への第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの保持要素ＥＲｂ１の供給を完了した後、期間ＰＥを経て、能動部Ｐ１への第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの保持要素ＥＲａ１の供給が開始される。ここで、期間ＰＥでは、膨張工程ＳＥが実行される。なお、収縮工程ＳＳは、前述の第１実施形態と同様である。

第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの保持要素ＥＲｂ１が能動部Ｐ２、Ｐ３に供給されている期間においては、第１面Ｆ１が凸状となるように、振動板５１ｅが変形する。これにより、圧力室Ｃの容積が収縮した状態となる。一方、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの保持要素ＥＲａ１が能動部Ｐ１に供給されている期間においては、第１面Ｆ１が凹状となるように、振動板５１ｅが変形する。これにより、圧力室Ｃの容積が膨張した状態となる。

前述のように圧力室Ｃの容積が収縮した状態から、膨張した状態へと変化する膨張工程ＳＥでは、能動部Ｐ１が振動板５１ｅを基準状態から圧力室Ｃの容積を膨張させる状態に変形させる際、能動部Ｐ２、Ｐ３が圧力室Ｃの容積を収縮させた状態から振動板５１ｅを基準状態に戻そうとする力を利用することができる。このため、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａによる能動部Ｐ１の駆動のみを行う構成に比べて、振動板５１ｅの変形量を大きくすることができる。この結果、効率的にノズルＮからインクを吐出することができる。

以上の第３実施形態によっても、液体吐出装置１００の吐出特性を向上させることができる。本実施形態では、前述のように、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａは、「第１膨張要素」の一例である膨張要素ＥＥａ１を含む。また、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、「第２膨張要素」の一例である膨張要素ＥＥｂを含む。膨張要素ＥＥａ１および膨張要素ＥＥｂのそれぞれは、単位期間Ｔｕごとに圧力室Ｃの容積を膨張させる。そして、液体吐出装置１００は、膨張工程ＳＥを実行する。膨張工程ＳＥは、「第３期間」の一例である期間Ｐ２ｃと「第４期間」の一例である期間Ｐ４ｄとが互いに重なる期間である。期間Ｐ２ｃでは、膨張要素ＥＥａ１が能動部Ｐ１に供給される。期間Ｐ４ｄでは、膨張要素ＥＥｂが能動部Ｐ２、Ｐ３に供給される。

膨張工程ＳＥでは、期間Ｐ２ｃおよび期間Ｐ４ｄが互いに重なるので、これらの期間が重ならない構成に比べて、圧力室Ｃに導入されるインクの勢いを増加させることができる。また、これらの期間が重ならない構成に比べて、ノズルＮからのインクの吐出周期を短くすることもできる。

ここで、前述のように、単位期間Ｔｕにおいて、膨張工程ＳＥは、収縮工程ＳＳよりも先に実行される。このため、ノズルＮから吐出される１回の吐出あたりの量を多くすることができる。

さらに、前述のように、期間Ｐ４ｃおよび期間Ｐ４ｄは、互いに重ならず、かつ、期間Ｐ２ｃおよび期間Ｐ６ｄは、互いに重ならない。このため、能動部Ｐ１により変形する振動板５１ｅの部分と能動部Ｐ２により変形する振動板５１ｅの部分との間に過大な応力が生じることが防止される。この結果、振動板５１ｅのクラック等の損傷を低減することができる。

４．第４実施形態
以下、本開示の第４実施形態について説明する。以下では、第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図１５は、第４実施形態での収縮工程ＳＳおよび膨張工程ＳＥを説明するための図である。本実施形態は、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの収縮要素ＥＳｂ１および保持要素ＥＲｂ１を省略したこと以外は、前述の第３実施形態と同様である。したがって、本実施形態の第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、第１実施形態の第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂと同様である。

以上の第４実施形態によっても、液体吐出装置１００の吐出特性を向上させることができる。

５．第５実施形態
以下、本開示の第５実施形態について説明する。以下では、第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図１６は、第５実施形態での収縮工程ＳＳ、膨張工程ＳＥおよび制振工程ＳＣを説明するための図である。本実施形態は、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの位相が異なること以外は、前述の第３実施形態と同様である。

本実施形態では、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの収縮要素ＥＳａの期間と第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの収縮要素ＥＳｂ１の期間とが期間ＰＳで重なることにより、収縮工程ＳＳが実行される。また、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの膨張要素ＥＥａ２の期間と第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの膨張要素ＥＥｂの期間とが期間ＰＥで重なることにより、膨張工程ＳＥが実行される。さらに、膨張工程ＳＥの後、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの保持要素ＥＲｂ２により、振動板５１ｅに制振力を加える制振工程ＳＣが実行される。なお、制振工程ＳＣのタイミングや制振工程ＳＣの電位ＶＨｂは、膨張工程ＳＥ以前の工程によって生じる振動板５１ｅの振動周期や振幅に応じて適宜要請することが好ましい。

以上の第５実施形態によっても、液体吐出装置１００の吐出特性を向上させることができる。本実施形態では、前述のように、単位期間Ｔｕにおいて、膨張工程ＳＥは、収縮工程ＳＳよりも後に実行される。このため、収縮工程ＳＳの実行によりインクの減少した圧力室Ｃ内に膨張工程ＳＥの実行によりインクを供給することができる。また、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａによる能動部Ｐ１の駆動後に、制振工程ＳＣの実行により、振動板５１ｅを制振させることができる。この結果、印刷品質を高めつつ、吐出周期を短くすることができる。

６．第６実施形態
以下、本開示の第６実施形態について説明する。以下では、第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図１７は、第６実施形態での第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂを説明するための図である。図１７に示す例では、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａは、第１実施形態の第１駆動信号ＣＯＭ－Ａと同様である。

一方、図１７に示す第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの逆位相の信号である。すなわち、図１７に示す第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、中間電位Ｖｃｂを基準電位として、単位期間Ｔｕ内において、中間電位Ｖｃｂから電位ＶＬｂを経由して中間電位Ｖｃｂに戻る波形を有する。中間電位Ｖｃｂは、「第３電位」および「第６電位」の一例である。電位ＶＬｂは、「第４電位」の一例である。

ここで、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの電位は、期間Ｐ１ｂにわたり中間電位Ｖｃｂに維持された後、期間Ｐ２ｂにわたり中間電位Ｖｃｂから電位ＶＬｂに下降し、期間Ｐ３ｂにわたり電位ＶＬｂに維持された後、期間Ｐ４ｂにわたり電位ＶＬｂから中間電位Ｖｃｂまで上昇し、期間Ｐ５ｂにわたり中間電位Ｖｃｂに維持される。期間Ｐ２ｂは、「第２期間」の一例である。期間Ｐ４ｂは、「第４期間」の一例である。

以上の第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ２ｂの波形部分は、「第２収縮要素」の一例であり、圧力室Ｃの容積を収縮させる収縮要素ＥＳｂである。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ３ｂの波形部分は、「第２保持要素」の一例である保持要素ＥＲｂである。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ４ｂの波形部分は、「第２膨張要素」の一例であり、圧力室Ｃの容積を膨張させる膨張要素ＥＥｂである。

ここで、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ２ａの少なくとも一部と第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ２ｂの少なくとも一部とが期間ＰＳで時間的に互いに重なる。また、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ４ａの少なくとも一部と第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ４ｂの少なくとも一部とが期間ＰＥで時間的に互いに重なる。このような期間ＰＳや期間ＰＥを設けることで、他の実施形態と同様に吐出特性の向上が可能となる。

図１７に示す例では、期間Ｐ１ａの長さと期間Ｐ１ｂの長さとは、互いに等しい。期間Ｐ２ａの長さと期間Ｐ２ｂの長さとは、互いに等しい。期間Ｐ３ａの長さと期間Ｐ３ｂの長さとは、互いに等しい。期間Ｐ４ａの長さと期間Ｐ４ｂの長さとは、互いに等しい。期間Ｐ５ａの長さと期間Ｐ５ｂの長さとは、互いに等しい。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの波形が互いに逆位相である場合、そうでない場合に比べて、駆動信号生成回路２４の構成を簡単化することができるという利点がある。

図１７の例では、期間Ｐ３ａの長さと期間Ｐ３ｂの長さとは同一であるが、これらの長さを互いに異ならせてもよい。すなわち、期間Ｐ３ａの長さは、期間Ｐ３ｂの長さと比べて、長くてもよいし、短くてもよい。この場合、何らかの理由で第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの位相に誤差が生じた場合であっても、吐出特性の変動を低減しやすいという利点がある。

図１８は、第６実施形態での収縮工程ＳＳおよび膨張工程ＳＥを説明するための図である。図１８では、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａが実線で示され、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂが破線で示される。図１８に示す例では、電位ＶＨａおよび中間電位Ｖｃｂが互いに等しく、かつ、中間電位Ｖｃａおよび電位ＶＬｂが互いに等しい。

なお、電位ＶＨａおよび中間電位Ｖｃｂが互いに異なってもよいし、中間電位Ｖｃａおよび電位ＶＬｂが互いに異なってもよい。ただし、電位ＶＨａおよび中間電位Ｖｃｂが互いに等しく、かつ、中間電位Ｖｃａおよび電位ＶＬｂが互いに等しい場合、そうでない場合に比べて、駆動信号生成回路２４の構成を簡単化することができるという利点がある。

期間ＰＳでは、収縮工程ＳＳが実行される。その後、期間ＰＥでは、膨張工程ＳＥが実行される。

以上の第６実施形態によっても、前述の第１実施形態と同様、液体吐出装置１００の吐出特性を向上させることができる。本実施形態では、前述のように、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａは、収縮要素ＥＳａの後に電圧を保持する期間Ｐ３ａを「第１保持期間」の一例として含む。一方、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、収縮要素ＥＳｂの後に電圧を保持する期間Ｐ３ｂを「第２保持期間」の一例として含む。ここで、期間Ｐ３ａおよび期間Ｐ３ｂの長さが互いに異なる場合、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの位相に多少の誤差が生じても、期間Ｐ３ａと期間Ｐ３ｂとが重なる期間の長さが変動し難い。このため、当該誤差によるノズルＮからのインクの吐出量のバラつきを低減することができる。これに対し、期間Ｐ３ａおよび期間Ｐ３ｂの長さがが互いに等しい場合、当該誤差により期間Ｐ３ａと期間Ｐ３ｂとが重なる期間の長さが変動し易い。このため、ノズルＮからのインクの吐出量のバラつきが生じやすい。ただし、この場合、駆動信号生成回路２４の簡単化できるという利点がある。

また、前述のように、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、互いに逆位相の信号である。このため、互いに隣り合う２つの吐出要素間の電気的なノイズによる影響（エレキクロストーク）を低減することができる。また、この場合は、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａと第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂとに含まれる各要素を同時に実行するため、第１実施形態から第５実施形態などに比べて、単位期間Ｔｕに要する時間を全体として短縮することができる。

さらに、前述のように、中間電位Ｖｃｂが中間電位Ｖｃａよりも高い。したがって、ノズルＮからインクを吐出しない待機状態において、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、圧力室Ｃの容積を膨張させた状態を維持する。このため、振動板５１ｅに張力が加わるため、振動板５１ｅのバネ定数を高めることができる。この結果、振動板５１ｅの固有振動周期を短くすることにより、ノズルＮからのインクの吐出周期を短くすることができる。

また、前述のように、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａは、単位期間Ｔｕごとに、「第１保持期間」の一例である期間Ｐ３ａと、「第３期間」の一例である期間Ｐ４ａと、を含む。期間Ｐ３ａは、「第１期間」の一例である期間Ｐ２ａに後続し、「第２電位」の一例である電位ＶＨａを保持する。期間Ｐ４ａは、期間Ｐ３ａに後続し、電位ＶＨａから、「第５電位」の一例である中間電位Ｖｃａに変化する。一方、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、単位期間Ｔｕごとに、「第２保持期間」の一例である期間Ｐ３ｂと、「第４期間」の一例である期間Ｐ４ｂと、を含む。期間Ｐ３ｂは、「第２期間」の一例である期間Ｐ２ｂに後続し、「第４電位」の一例である電位ＶＬｂを保持する。期間Ｐ４ｂは、期間Ｐ３ｂに後続し、電位ＶＬｂから、「第６電位」の一例である中間電位Ｖｃｂに変化する。そして、期間Ｐ４ａおよび期間Ｐ４ｂが互いに重なる。すなわち、膨張工程ＳＥが実行される。このため、圧力室Ｃに導入されるインクの勢いを増加させることができる。また、ノズルＮからのインクの吐出周期を短くすることもできる。

ここで、前述のように、期間Ｐ４ａおよび期間Ｐ４ｂが互いに重なる期間ＰＥにおいて、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａおよび第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの互いの電位の大小関係が逆転する。

７．第７実施形態
以下、本開示の第７実施形態について説明する。以下では、第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図１９は、第７実施形態での収縮工程および膨張工程を説明するための図である。本実施形態は、図１９に示すように、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの中間電位Ｖｃｂが第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの電位ＶＨａとは異なること以外は、前述の第６実施形態と同様である。

以上の第７実施形態によっても、液体吐出装置１００の吐出特性を向上させることができる。本実施形態では、前述のように、中間電位Ｖｃｂが電位ＶＨａとは異なる。このため、中間電位Ｖｃｂを適宜に設定することにより、振動板５１ｅの硬さ等を調整することができる。この結果、製造バラつき等があっても、複数のヘッドチップ５１の間や複数の圧力室Ｃの間での吐出特性を揃えることができる。

８．第８実施形態
以下、本開示の第８実施形態について説明する。以下では、第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図２０は、第８実施形態での第１駆動信号および第２駆動信号を説明するための図である。図２０に示す例では、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａは、第６実施形態の第１駆動信号ＣＯＭ－Ａと同様である。

一方、図２０に示す第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの逆位相の信号である。すなわち、図２０に示す第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂは、中間電位Ｖｃｂを基準電位として、単位期間Ｔｕ内において、中間電位Ｖｃｂから電位ＶＨｂ、電位ＶＬｂをこの順で経由して中間電位Ｖｃｂに戻る波形を有する。

ここで、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの電位は、期間Ｐ１ｄにわたり中間電位Ｖｃｂに維持された後、期間Ｐ２ｄにわたり中間電位Ｖｃｂから電位ＶＨｂまで上昇し、期間Ｐ３ｄにわたり電位ＶＨｂに維持された後、期間Ｐ４ｄにわたり電位ＶＨｂから電位ＶＬｂに下降し、期間Ｐ５ｄにわたり電位ＶＬｂに維持された後、期間Ｐ６ｄにわたり電位ＶＬｂから中間電位Ｖｃｂまで上昇し、期間Ｐ７ｄにわたり中間電位Ｖｃｂに維持される。期間Ｐ４ｄは、「第２期間」の一例である。期間Ｐ６ｄは、「第４期間」の一例である。

以上の第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ２ｄの波形部分は、「第２膨張要素」の一例であり、圧力室Ｃの容積を膨張させる膨張要素ＥＥｂ１である。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ３ｄの波形部分は、「第２保持要素」の一例である保持要素ＥＲｂ１である。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ４ｄの波形部分は、「第２収縮要素」の一例であり、圧力室Ｃの容積を収縮させる収縮要素ＥＳｂである。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ５ｄの波形部分は、「第２保持要素」の一例である保持要素ＥＲｂ２である。第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ６ｄの波形部分は、「第２膨張要素」の一例であり、圧力室Ｃの容積を膨張させる膨張要素ＥＥｂ２である。

なお、本実施形態では、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ２ｃの波形部分は、「第１膨張要素」の一例であり、圧力室Ｃの容積を膨張させる膨張要素ＥＥａ１である。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ３ｃの波形部分は、「第１保持要素」の一例である保持要素ＥＲａ１である。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ４ｃの波形部分は、「第１収縮要素」の一例であり、圧力室Ｃの容積を収縮させる収縮要素ＥＳａである。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ５ｃの波形部分は、「第１保持要素」の一例である保持要素ＥＲａ２である。第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ６ｃの波形部分は、「第１膨張要素」の一例であり、圧力室Ｃの容積を膨張させる膨張要素ＥＥａ２である。

ここで、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ２ｃの少なくとも一部と第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ２ｄの少なくとも一部とが期間ＰＥ１で時間的に互いに重なる。また、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ４ｃの少なくとも一部と第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ４ｄの少なくとも一部とが期間ＰＳで時間的に互いに重なる。さらに、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａの期間Ｐ６ｃの少なくとも一部と第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの期間Ｐ６ｄの少なくとも一部とが期間ＰＥ２で時間的に互いに重なる。

図２１は、第８実施形態での収縮工程ＳＳ、第１膨張工程ＳＥ１および第２膨張工程ＳＥ２を説明するための図である。図２１では、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａが実線で示され、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂが破線で示される。図２１に示す例では、電位ＶＨａおよび電位ＶＨｂが互いに等しく、かつ、電位ＶＬａおよび電位ＶＬｂが互いに等しい。また、中間電位Ｖｃｂが中間電位Ｖｃａよりも高い。

なお、電位ＶＨａおよび電位ＶＨｂが互いに異なってもよいし、電位ＶＬａおよび電位ＶＬｂが互いに異なってもよい。

期間ＰＥ１では、第１膨張工程ＳＥ１が実行される。その後、期間ＰＳでは、収縮工程ＳＳが実行される。次いで、期間ＰＥ２では、第２膨張工程ＳＥ２が実行される。第１膨張工程ＳＥ１および第２膨張工程ＳＥ２のそれぞれは、前述の膨張工程ＳＥと同様の効果を奏する。すなわち、第１膨張工程ＳＥ１および第２膨張工程ＳＥ２は、膨張工程ＳＥに含まれるといえる。

以上の第８実施形態によっても、液体吐出装置１００の吐出特性を向上させることができる。本実施形態では、前述のように、膨張工程ＳＥは、第１膨張工程ＳＥ１および第２膨張工程ＳＥ２を含む。そして、単位期間Ｔｕにおいて、収縮工程ＳＳは、第１膨張工程ＳＥ１と第２膨張工程ＳＥ２との間に実行される。このため、他の実施形態と同様にノズルＮからのインクの１回の吐出あたりの量を多くすることができる。加えて、第１駆動信号Ｃｏｍ－Ａと第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂとに含まれる各要素を同時に実行するため、第１実施形態から第５実施形態などに比べて、単位期間Ｔｕに要する時間を全体として短縮することができる。つまり、吐出量を多くすることと、ノズルＮからの液体の吐出周期を短くすることと、の両立を図ることができる。

９．第９実施形態
以下、本開示の第９実施形態について説明する。以下では、第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図２２は、第９実施形態での収縮工程ＳＳ、第１膨張工程ＳＥ１および第２膨張工程ＳＥ２を説明するための図である。本実施形態は、中間電位Ｖｃａと中間電位Ｖｃｂとの電位差が異なること以外は、前述の第８実施形態と同様である。

本実施形態では、中間電位Ｖｃａと中間電位Ｖｃｂとの電位差が第８実施形態に比べて小さい。図２２に示す例では、中間電位Ｖｃｂが中間電位Ｖｃａよりも若干高いものの、中間電位Ｖｃａと中間電位Ｖｃｂとの電位差が極めて小さい。なお、中間電位Ｖｃａと中間電位Ｖｃｂとが互いに等しくてもよいし、中間電位Ｖｃｂが中間電位Ｖｃａよりも低くてもよい。

以上の第９実施形態によっても、第８実施形態と同様に液体吐出装置１００の吐出特性を向上させることができる。

１０．第１０実施形態
以下、本開示の第１０実施形態について説明する。以下では、第１実施形態との相違点を中心に説明する。

図２３は、第１０実施形態での収縮工程ＳＳおよび膨張工程ＳＥを説明するための図である。本実施形態では、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂに制振工程ＳＣのための波形を追加したこと以外は、前述の第６実施形態と同様である。

本実施形態では、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの電位が膨張工程ＳＥの後に中間電位Ｖｃｂから電位ＶＬｂ１まで降下することにより、制振工程ＳＣが実行される。電位ＶＬｂ１は、中間電位Ｖｃｂと電位ＶＬｂとの間の電位である。

以上の第１０実施形態によっても、液体吐出装置１００の吐出特性を向上させることができる。本実施形態では、第６実施形態と同様の効果に加えて、制振工程ＳＣによる効果が得られる。

１１．変形例
以上の例示における各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。なお、以下の例示から任意に選択される２以上の態様は、互いに矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

１１－１．変形例１
図２４は、変形例１での収縮工程ＳＳおよび膨張工程ＳＥを説明するための図である。
変形例１は、収縮工程ＳＳの前に工程ＳＸを追加したこと以外は、前述の第６実施形態と同様である。

図２４に示す例では、第２駆動信号Ｃｏｍ－Ｂの電位が収縮工程ＳＳの前に中間電位Ｖｃｂから電位ＶＬｂまで複数回繰返し降下することにより、工程ＳＸが実行される。以上の変形例１によっても、液体吐出装置１００の吐出特性を向上させることができる。なお、工程ＳＸに用いる波形は、図２４に示す例に限定されず、任意である。工程ＳＸによれば、例えば、インクが吐出されない程度に振動を発生させ、期間ＰＳの直前に圧力室Ｃが膨張した状態とし、吐出する際の振動を励振するように調整することができる。また、工程ＳＸによれば、液体を吐出しない待機状態において、高電位である中間電位Ｖｃｂが常に維持されないため、駆動信号生成回路２４の消費電力を抑制することができる。

１１－２．変形例２
前述の形態では、個別電極と共通電極との間に圧電体層が介在する構成が例示されるが、これに限定されず、個別電極と個別電極との間に圧電体層が介在する構成でもよい。

１１－３．変形例３
前述の各形態では、液体吐出ヘッド５０を搭載するキャリッジ４１を往復させるシリアル方式の液体吐出装置１００を例示するが、複数のノズルＮが媒体Ｍの全幅にわたり分布するライン方式の液体吐出装置にも本開示を適用することが可能である。

１１－４．変形例４
前述の各形態で例示する液体吐出装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本開示の液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。

１０…液体容器、２０…制御ユニット、２１…制御回路、２２…記憶回路、２３…電源回路、２４…駆動信号生成回路、３０…搬送機構、４０…移動機構、４１…キャリッジ、４２…搬送ベルト、５０…液体吐出ヘッド、５１…ヘッドチップ、５１Ｆ…圧電素子、５１ａ…流路基板、５１ｂ…圧力室基板、５１ｂ１…隔壁、５１ｃ…ノズル板、５１ｄ…吸振体、５１ｅ…振動板、５１ｆ…圧電素子、５１ｆ１…第１電極層、５１ｆ１ａ…個別電極、５１ｆ１ｂ…個別電極、５１ｆ１ｃ…個別電極、５１ｆ２…圧電体層、５１ｆ３…第２電極層、５１ｇ…カバー、５１ｈ…ケース、５１ｉ…配線基板、５２…切替回路、５２ａ…接続状態指定回路、１００…液体吐出装置、２００…外部装置、５１ｅ１…第１層、５１ｅ１…第２層、ＡＢＯ３…一般組成式、ＢＤ…外縁、Ｃ…圧力室、ＣＬＫ…クロック信号、ＣＮＧ…チェンジ信号、ＣＯＭ－Ａ…第１駆動信号、Ｃｏｍ－１…第１駆動信号、Ｃｏｍ－Ａ…第１駆動信号、Ｃｏｍ－Ｂ…第２駆動信号、ＥＥａ…膨張要素、ＥＥａ１…膨張要素、ＥＥａ２…膨張要素、ＥＥｂ…膨張要素、ＥＥｂ１…膨張要素、ＥＥｂ２…膨張要素、ＥＲａ…保持要素、ＥＲａ１…保持要素、ＥＲａ２…保持要素、ＥＲｂ…保持要素、ＥＲｂ１…保持要素、ＥＲｂ２…保持要素、ＥＳａ…収縮要素、ＥＳｂ…収縮要素、ＥＳｂ１…収縮要素、ＥＳｂ２…収縮要素、Ｆ１…第１面、Ｆ２…第２面、ＩＨ…導入口、Ｉｍｇ…印刷データ、ＬＡＴ…ラッチ信号、ＬＨａ…配線、ＬＨｂ…配線、ＬＨｄ…配線、Ｍ…媒体、Ｎ…ノズル、Ｎａ…連通流路、Ｐ１…能動部、Ｐ１ａ…期間、Ｐ１ｂ…期間、Ｐ１ｃ…期間、Ｐ１ｄ…期間、Ｐ２…能動部、Ｐ２ａ…期間、Ｐ２ｂ…期間、Ｐ２ｃ…期間、Ｐ２ｄ…期間、Ｐ３…能動部、Ｐ３ａ…期間、Ｐ３ｂ…期間、Ｐ３ｃ…期間、Ｐ３ｄ…期間、Ｐ４ａ…期間、Ｐ４ｂ…期間、Ｐ４ｃ…期間、Ｐ４ｄ…期間、Ｐ５ａ…期間、Ｐ５ｂ…期間、Ｐ５ｃ…期間、Ｐ５ｄ…期間、Ｐ６ｃ…期間、Ｐ６ｄ…期間、Ｐ７ｃ…期間、Ｐ７ｄ…期間、ＰＥ…期間、ＰＥ１…期間、ＰＥ２…期間、ＰＳ…期間、Ｒ…液体貯留室、Ｒ１…開口部、Ｒ２…収容部、Ｒａ…供給流路、ＳＣ…制振工程、ＳＥ…膨張工程、ＳＥ１…第１膨張工程、ＳＥ２…第２膨張工程、ＳＩ…印刷データ信号、ＳＬａ…接続状態指定信号、ＳＳ…収縮工程、ＳＷａ…スイッチ、ＳＷｂ…スイッチ、ＳＸ…工程、Ｓｋ１…制御信号、Ｓｋ２…制御信号、Ｔｕ…単位期間、ＶＢＳ…オフセット電位、ＶＨＶ…電源電位、ＶＨａ…電位、ＶＨｂ…電位、ＶＬａ…電位、ＶＬｂ…電位、ＶＬｂ１…電位、Ｖｃａ…中間電位、Ｖｃｂ…中間電位、Ｖｉｎ－Ａ…供給信号、Ｖｉｎ－Ｂ…供給信号、Ｗ１…幅、Ｗ２…幅、Ｗ３…幅、ｄＣｏｍ…波形指定信号。

Claims (20)

1. 第１面と前記第１面とは反対方向を向く第２面とを有する振動板と、
   前記第１面の上に積層され、液体を吐出するノズルに連通する圧力室を区画する隔壁を有する圧力室基板と、
   前記第２面の上に積層され、前記振動板の厚さ方向にみて前記圧力室の中心に重なる第１能動部と前記第１能動部よりも前記圧力室の外縁に近い位置で前記圧力室に重なる第２能動部とを有する圧電素子と、
   前記第１能動部を駆動する第１駆動信号と、前記第２能動部を駆動する第２駆動信号と、を生成する駆動信号生成部と、を備え、
   前記第１駆動信号は、前記圧力室の容積を収縮させる第１収縮要素を周期的な単位期間ごとに含み、
   前記第２駆動信号は、前記単位期間ごとに前記圧力室の容積を収縮させる第２収縮要素を前記単位期間ごとに含み、
   前記第１収縮要素が前記第１能動部に供給される第１期間と、前記第２収縮要素が前記第２能動部に供給される第２期間と、が互いに重なる収縮工程を実行する、
   ことを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記収縮工程の実行中では、前記第１駆動信号および前記第２駆動信号の互いの電位の大小関係が逆転する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記単位期間において、前記第１収縮要素の開始タイミングは、前記第２収縮要素の開始タイミングよりも後である、
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出装置。
4. 前記単位期間において、前記第１収縮要素の終了タイミングは、前記第２収縮要素の終了タイミングよりも後である、
   ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
5. 前記第１駆動信号は、前記単位期間ごとに前記圧力室の容積を膨張させる第１膨張要素を含み、
   前記第２駆動信号は、前記単位期間ごとに前記圧力室の容積を膨張させる第２膨張要素を含み、
   前記第１膨張要素が前記第１能動部に供給される第３期間と、前記第２膨張要素が前記第２能動部に供給される第４期間と、が重なる膨張工程を実行する、
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
6. 前記単位期間において、前記膨張工程は、前記収縮工程よりも先に実行される、
   ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出装置。
7. 前記単位期間において、前記膨張工程は、前記収縮工程よりも後に実行される、
   ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出装置。
8. 前記膨張工程は、第１膨張工程および第２膨張工程を含み、
   前記単位期間において、前記収縮工程は、前記第１膨張工程と前記第２膨張工程との間に実行される、
   ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出装置。
9. 前記第１駆動信号は、前記第１収縮要素の後に電圧を保持する第１保持期間を含み、
   前記第２駆動信号は、前記第２収縮要素の後に電圧を保持する第２保持期間を含み、
   前記第１保持期間および前記第２保持期間の長さが互いに異なる、
   ことを特徴とする請求項７または８に記載の液体吐出装置。
10. 前記第１駆動信号および前記第２駆動信号は、互いに逆位相の信号である、
    ことを特徴とする請求項７または８に記載の液体吐出装置。
11. 前記ノズルから液体を吐出しない待機状態において、前記第２駆動信号は、前記圧力室の容積を膨張させた状態を維持する、
    ことを特徴とする請求項７から９のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
12. 前記第１期間および前記第４期間は、互いに重ならず、
    前記第２期間および前記第３期間は、互いに重ならない、
    ことを特徴とする請求項５から１１のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
13. 第１面と前記第１面とは反対方向を向く第２面とを有する振動板と、
    前記第１面の上に積層され、液体を吐出するノズルに連通する圧力室を区画する隔壁を有する圧力室基板と、
    前記第２面の上に積層され、前記振動板の厚さ方向にみて前記圧力室の中心に重なる第１能動部と前記第１能動部よりも前記圧力室の外縁に近い位置で前記圧力室に重なる第２能動部とを有する圧電素子と、
    前記第１能動部を駆動する第１駆動信号と、前記第２能動部を駆動する第２駆動信号と、を生成する駆動信号生成部と、を備え、
    前記第１駆動信号は、第１電位から第２電位に変化する第１期間を周期的な単位期間ごとに含み、
    前記第２駆動信号は、第３電位から第４電位に変化する第２期間を前記単位期間ごとに含み、
    前記第１期間および前記第２期間が互いに重なる、
    ことを特徴とする液体吐出装置。
14. 前記第１期間および前記第２期間が互いに重なる期間において、前記第１駆動信号および前記第２駆動信号の互いの電圧の大小関係が逆転する、
    ことを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出装置。
15. 前記単位期間において、前記第１期間の開始タイミングは、前記第２期間の開始タイミングよりも後である、
    ことを特徴とする請求項１３または１４に記載の液体吐出装置。
16. 前記第１駆動信号は、前記単位期間ごとに、
    前記第１期間に後続し、前記第２電位を保持する第１保持期間と、
    前記第１保持期間に後続し、前記第２電位から第５電位に変化する第３期間と、を含み、
    前記第２駆動信号は、前記単位期間ごとに、
    前記第２期間に後続し、前記第４電位を保持する第２保持期間と、
    前記第２保持期間に後続し、前記第４電位から第６電位に変化する第４期間と、を含み、
    前記第３期間および前記第４期間が互いに重なる、
    ことを特徴とする請求項１３から１５のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
17. 前記第３期間および前記第４期間が互いに重なる期間において、前記第１駆動信号および前記第２駆動信号の互いの電位の大小関係が逆転する、
    ことを特徴とする請求項１６に記載の液体吐出装置。
18. 前記第１保持期間および前記第２保持期間の長さが互いに異なる、
    ことを特徴とする請求項１６または１７に記載の液体吐出装置。
19. 前記圧電素子は、前記振動板の厚さ方向にみて前記第１能動部よりも前記圧力室の外縁に近い位置で前記圧力室に重なる第３能動部を有し、
    前記第１能動部は、前記振動板の厚さ方向にみて前記第２能動部と前記第３能動部との間に位置する、
    ことを特徴とする請求項１から１８のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
20. 前記圧電素子は、前記振動板から離れる方向に向かって第１電極層、圧電体層および第２電極層をこの順に有し、
    前記圧電体層および前記第２電極層は、前記第１能動部、前記第２能動部および前記第３能動部にわたって共通に設けられ、
    前記第１電極層は、前記第１能動部、前記第２能動部および前記第３能動部に個別に設けられる複数の個別電極を含む、
    ことを特徴とする請求項１９に記載の液体吐出装置。

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