JP2023161487A - resin composition - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、樹脂組成物に関する。さらには、当該樹脂組成物を用いて得られる、樹脂シート、プリント配線板、及び半導体装置に関する。 The present invention relates to a resin composition. Furthermore, the present invention relates to resin sheets, printed wiring boards, and semiconductor devices obtained using the resin composition.
プリント配線板の製造技術として、絶縁層と導体層を交互に積み重ねるビルドアップ方式による製造方法が知られている。 As a manufacturing technique for printed wiring boards, a manufacturing method using a build-up method in which insulating layers and conductive layers are alternately stacked is known.
このような絶縁層に用いられるプリント配線板の絶縁材料として、例えば、特許文献1に樹脂組成物が開示されている。 As an insulating material for a printed wiring board used for such an insulating layer, for example, a resin composition is disclosed in Patent Document 1.
ところで、近年、例えば埋め込み型の配線層を備える配線板に使用される絶縁層は、歩留まりを向上させるためにクラック耐性(クラックの発生の抑制)に優れることが求められる。 Incidentally, in recent years, for example, insulating layers used in wiring boards having embedded wiring layers are required to have excellent crack resistance (suppression of crack generation) in order to improve yield.
本発明の課題は、クラック耐性に優れた硬化物を得ることができる樹脂組成物;当該樹脂組成物を含む樹脂シート;当該樹脂組成物を用いて形成された絶縁層を備えるプリント配線板、及び半導体装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a resin composition from which a cured product with excellent crack resistance can be obtained; a resin sheet containing the resin composition; a printed wiring board having an insulating layer formed using the resin composition; The purpose of the present invention is to provide semiconductor devices.
本発明者らは、上記課題につき鋭意検討した結果、エポキシ樹脂、硬化剤、及びハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂組み合わせて含有させることで、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies on the above-mentioned problems, the present inventors discovered that the above-mentioned problems could be solved by containing a combination of an epoxy resin, a curing agent, and a thermoplastic resin having a hyperbranched structure, and completed the present invention. I ended up doing it.
すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1] (A)エポキシ樹脂、
(B)硬化剤、及び
(C)ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂、を含む樹脂組成物。
[2] (C)成分が、環状構造を有する、[1]に記載の樹脂組成物。
[3] (C)成分が、フェニレンエーテル骨格を有する、[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4] (C)成分が、シロキサン構造を有する、[1]~[3]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[5] (C)成分が、トリアジン環を有する、[1]~[4]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[6] (C)成分の重量平均分子量が、1000以上40000以下である、[1]~[5]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[7] (C)成分は、3官能以上の化合物由来の構造と、2官能化合物由来の構造とが交互に結合した多分枝構造を有し、末端が1官能化合物由来の構造を有する、[1]~[6]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[8] (C)成分が、50℃以上150℃以下にガラス転移温度を持つ樹脂である、[1]~[7]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[9] (C)成分の末端が、アルコキシシリル基、及びアリールアルコキシ基のいずれかを含む、[1]~[8]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[10] (D)無機充填材を含む、[1]~[9]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[11] (D)成分の含有量が、樹脂組成物中の樹脂成分を100質量%とした場合、50質量%以上である、[10]に記載の樹脂組成物。
[12] (B)成分が、活性エステル系硬化剤を含む、[1]~[11]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[13] 支持体と、該支持体上に設けられた、[1]~[12]のいずれかに記載の樹脂組成物を含む樹脂組成物層とを含む、樹脂シート。
[14] [1]~[12]のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む、プリント配線板。
[15] [14]に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。
That is, the present invention includes the following contents.
[1] (A) Epoxy resin,
A resin composition comprising (B) a curing agent and (C) a thermoplastic resin having a hyperbranched structure.
[2] The resin composition according to [1], wherein the component (C) has a cyclic structure.
[3] The resin composition according to [1] or [2], wherein the component (C) has a phenylene ether skeleton.
[4] The resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the component (C) has a siloxane structure.
[5] The resin composition according to any one of [1] to [4], wherein component (C) has a triazine ring.
[6] The resin composition according to any one of [1] to [5], wherein the weight average molecular weight of component (C) is 1,000 or more and 40,000 or less.
[7] Component (C) has a multi-branched structure in which a structure derived from a trifunctional or higher functional compound and a structure derived from a bifunctional compound are alternately bonded, and the terminal has a structure derived from a monofunctional compound, [ The resin composition according to any one of [1] to [6].
[8] The resin composition according to any one of [1] to [7], wherein component (C) is a resin having a glass transition temperature of 50° C. or higher and 150° C. or lower.
[9] The resin composition according to any one of [1] to [8], wherein the terminal of component (C) contains either an alkoxysilyl group or an arylalkoxy group.
[10] (D) The resin composition according to any one of [1] to [9], which contains an inorganic filler.
[11] The resin composition according to [10], wherein the content of component (D) is 50% by mass or more when the resin component in the resin composition is 100% by mass.
[12] The resin composition according to any one of [1] to [11], wherein component (B) contains an active ester curing agent.
[13] A resin sheet comprising a support and a resin composition layer provided on the support and containing the resin composition according to any one of [1] to [12].
[14] A printed wiring board comprising an insulating layer formed from a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [12].
[15] A semiconductor device comprising the printed wiring board according to [14].
本発明によれば、クラック耐性に優れた硬化物を得ることができる樹脂組成物;当該樹脂組成物を含む樹脂シート;当該樹脂組成物を用いて形成された絶縁層を備えるプリント配線板、及び半導体装置を提供することができる。 According to the present invention, a resin composition from which a cured product with excellent crack resistance can be obtained; a resin sheet containing the resin composition; a printed wiring board having an insulating layer formed using the resin composition; A semiconductor device can be provided.
以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。ただし、本発明は、下記実施形態及び例示物に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲及びその均等の範囲を逸脱しない範囲において任意に変更して実施され得る。なお、本発明において、樹脂組成物中の各成分の含有量は、別途明示のない限り、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたときの値である。 Hereinafter, the present invention will be explained in detail based on its preferred embodiments. However, the present invention is not limited to the following embodiments and examples, and may be implemented with arbitrary changes within the scope of the claims of the present invention and equivalents thereof. In the present invention, the content of each component in the resin composition is a value based on 100% by mass of nonvolatile components in the resin composition, unless otherwise specified.
[樹脂組成物]
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂を含む。本発明では、(A)~(C)成分を組み合わせて樹脂組成物に含有させることで、クラック耐性に優れた硬化物を得ることができる。また、本発明の樹脂組成物の硬化物によれば、通常、誘電正接及びめっき密着性に優れた硬化物を得ることもできる。
[Resin composition]
The resin composition of the present invention includes (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, and (C) a thermoplastic resin having a hyperbranched structure. In the present invention, by including components (A) to (C) in combination in a resin composition, a cured product with excellent crack resistance can be obtained. Moreover, according to the cured product of the resin composition of the present invention, a cured product that is generally excellent in dielectric loss tangent and plating adhesion can also be obtained.
樹脂組成物は、(A)~(C)成分に組み合わせて、さらに任意の成分を含んでいてもよい。任意の成分としては、例えば、(D)無機充填材、(E)ラジカル重合性化合物、(F)硬化促進剤、(G)熱可塑性樹脂、及び(H)その他の添加剤等が挙げられる。以下、樹脂組成物に含まれる各成分について詳細に説明する。 The resin composition may further contain arbitrary components in combination with components (A) to (C). Examples of the optional components include (D) an inorganic filler, (E) a radically polymerizable compound, (F) a curing accelerator, (G) a thermoplastic resin, and (H) other additives. Each component contained in the resin composition will be explained in detail below.
<(A)エポキシ樹脂>
樹脂組成物は、(A)成分として(A)エポキシ樹脂を含有する。(A)エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂及びトリメチロール型エポキシ樹脂等が挙げられる。(A)エポキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<(A) Epoxy resin>
The resin composition contains (A) an epoxy resin as the (A) component. (A) Epoxy resins include, for example, bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, bisphenol AF epoxy resin, dicyclopentadiene epoxy resin, trisphenol epoxy resin, naphthol novolak type Epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin , biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having a butadiene structure, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiro ring-containing epoxy resin, cyclohexanedimethanol type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy Examples include resins and trimethylol-type epoxy resins. (A) Epoxy resins may be used alone or in combination of two or more.
エポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、エポキシ樹脂の不揮発成分100質量%に対して、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂の割合は、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、特に好ましくは70質量%以上である。 The epoxy resin preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. From the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention, the proportion of the epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule is preferably 50% by mass or more, based on 100% by mass of the nonvolatile components of the epoxy resin. It is more preferably 60% by mass or more, particularly preferably 70% by mass or more.
エポキシ樹脂は、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」という。)と、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」という。)に分類される。樹脂組成物は、エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、固体状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよいが、本発明の効果を顕著に得る観点から、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて含むことが好ましい。 Epoxy resins are classified into epoxy resins that are liquid at a temperature of 20°C (hereinafter referred to as "liquid epoxy resins") and epoxy resins that are solid at a temperature of 20°C (hereinafter referred to as "solid epoxy resins"). The resin composition may contain only liquid epoxy resin or only solid epoxy resin as the epoxy resin, but from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention, liquid epoxy resin and solid epoxy resin may be used. It is preferable to include it in combination with an epoxy resin.
液状エポキシ樹脂としては、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂が好ましい。 As the liquid epoxy resin, a liquid epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule is preferable.
液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂がより好ましい。 Liquid epoxy resins include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, and ester skeleton. Alicyclic epoxy resins, cyclohexane-type epoxy resins, cyclohexanedimethanol-type epoxy resins, glycidylamine-type epoxy resins, and epoxy resins having a butadiene structure are preferred, and bisphenol A-type epoxy resins and bisphenol F-type epoxy resins are more preferred.
液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「828US」、「jER828EL」、「825」、「エピコート828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER807」、「1750」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「630」、「630LSD」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品);ナガセケムテックス社製の「EX-721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂);ダイセル社製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂);ダイセル社製の「PB-3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ZX1658」、「ZX1658GS」(液状1,4-グリシジルシクロヘキサン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of liquid epoxy resins include "HP4032", "HP4032D", "HP4032SS" (naphthalene type epoxy resin) manufactured by DIC; "828US", "jER828EL", "825", and "Epicoat" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. 828EL" (bisphenol A type epoxy resin); "jER807", "1750" (bisphenol F type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; "jER152" (phenol novolac type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; manufactured by Mitsubishi Chemical “630” and “630LSD” (glycidylamine type epoxy resin); “ZX1059” manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials (mixture of bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin); manufactured by Nagase ChemteX Co., Ltd. "EX-721" (glycidyl ester type epoxy resin); Daicel's "Celoxide 2021P" (alicyclic epoxy resin with ester skeleton); Daicel's "PB-3600" (epoxy resin with butadiene structure) Examples include "ZX1658" and "ZX1658GS" (liquid 1,4-glycidylcyclohexane type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials. These may be used alone or in combination of two or more.
固体状エポキシ樹脂としては、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する固体状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する芳香族系の固体状エポキシ樹脂がより好ましい。 As the solid epoxy resin, a solid epoxy resin having three or more epoxy groups in one molecule is preferable, and an aromatic solid epoxy resin having three or more epoxy groups in one molecule is more preferable.
固体状エポキシ樹脂としては、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましく、ビフェニル型エポキシ樹脂がより好ましい。 Solid epoxy resins include bixylenol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, and naphthol. Type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resins, anthracene type epoxy resins, bisphenol A type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, and tetraphenylethane type epoxy resins are preferred, and biphenyl type epoxy resins are more preferred.
固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「HP-4700」、「HP-4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂)、「N-690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「N-695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「HP-7200」、「HP-7200HH」、「HP-7200H」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂)、「EXA-7311」、「EXA-7311-G3」、「EXA-7311-G4」、「EXA-7311-G4S」、「HP6000」、「HP6000L」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「EPPN-502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂)、「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ESN475V」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX4000H」、「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂)、「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂)、「157S70」(ノボラック型エポキシ樹脂);大阪ガスケミカル社製の「PG-100」、「CG-500」、三菱ケミカル社製の「YX7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂)、「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂)、「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of solid epoxy resins include "HP4032H" (naphthalene type epoxy resin), "HP-4700", "HP-4710" (naphthalene type tetrafunctional epoxy resin), and "N-690" (manufactured by DIC). Cresol novolac type epoxy resin), "N-695" (Cresol novolac type epoxy resin), "HP-7200", "HP-7200HH", "HP-7200H" (dicyclopentadiene type epoxy resin), "EXA-7311" ”, “EXA-7311-G3”, “EXA-7311-G4”, “EXA-7311-G4S”, “HP6000”, “HP6000L” (naphthylene ether type epoxy resin); “EPPN” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. -502H” (trisphenol type epoxy resin), “NC7000L” (naphthol novolak type epoxy resin), “NC3000H”, “NC3000”, “NC3000L”, “NC3100” (biphenyl type epoxy resin); Nippon Steel Chemical & Materials Co., Ltd. "ESN475V" (naphthalene type epoxy resin), "ESN485" (naphthol novolac type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; "YX4000H", "YL6121" (biphenyl type epoxy resin), "YX4000HK" (bixylenol type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. resin), "YX8800" (anthracene type epoxy resin), "157S70" (novolac type epoxy resin); "PG-100", "CG-500" manufactured by Osaka Gas Chemical Co., "YX7760" manufactured by Mitsubishi Chemical Company ( Bisphenol AF type epoxy resin), "YL7800" (fluorene type epoxy resin), "jER1010" (solid bisphenol A type epoxy resin), "jER1031S" (tetraphenylethane type epoxy resin), and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
エポキシ樹脂として、固体状エポキシ樹脂と液状エポキシ樹脂とを組み合わせて用いる場合、それらの質量比(固体状エポキシ樹脂:液状エポキシ樹脂)は、好ましくは1:0.01~1:50、より好ましくは1:0.05~1:20、特に好ましくは1:0.1~1:10である。液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との量比を斯かる範囲とすることにより、1)樹脂シートの形態で使用する場合に適度な粘着性がもたらされる、2)樹脂シートの形態で使用する場合に十分な可撓性が得られ、取り扱い性が向上する、並びに3)十分な破断強度を有する硬化物を得ることができるなどの効果が得られる。 When a solid epoxy resin and a liquid epoxy resin are used in combination as the epoxy resin, their mass ratio (solid epoxy resin: liquid epoxy resin) is preferably 1:0.01 to 1:50, more preferably The ratio is 1:0.05 to 1:20, particularly preferably 1:0.1 to 1:10. By setting the ratio of the liquid epoxy resin to the solid epoxy resin within such a range, 1) appropriate tackiness is provided when used in the form of a resin sheet, and 2) when used in the form of a resin sheet. The following effects can be obtained: 3) sufficient flexibility can be obtained, handling properties are improved, and 3) a cured product having sufficient breaking strength can be obtained.
エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50g/eq.~5000g/eq.、より好ましくは50g/eq.~3000g/eq.、さらに好ましくは80g/eq.~2000g/eq.、さらにより好ましくは110g/eq.~1000g/eq.である。この範囲となることで、架橋密度が十分な樹脂組成物の硬化物をもたらすことができる。エポキシ当量は、1当量のエポキシ基を含むエポキシ樹脂の質量である。このエポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができる。 The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 50 g/eq. ~5000g/eq. , more preferably 50g/eq. ~3000g/eq. , more preferably 80g/eq. ~2000g/eq. , even more preferably 110 g/eq. ~1000g/eq. It is. Within this range, a cured product of the resin composition with sufficient crosslinking density can be obtained. Epoxy equivalent is the mass of epoxy resin containing one equivalent of epoxy groups. This epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236.
エポキシ樹脂の重量平均分子量(Mw)は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは100~5000、より好ましくは250~3000、さらに好ましくは400~1500である。エポキシ樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。 The weight average molecular weight (Mw) of the epoxy resin is preferably from 100 to 5,000, more preferably from 250 to 3,000, even more preferably from 400 to 1,500, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. The weight average molecular weight of the epoxy resin is the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).
エポキシ樹脂の含有量は、良好な機械強度、絶縁信頼性を示す硬化物を得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは1質量%以上、より好ましくは3質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上である。エポキシ樹脂の含有量の上限は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは25質量%以下、より好ましくは20質量%以下、さらに好ましくは15質量%以下である。 From the viewpoint of obtaining a cured product exhibiting good mechanical strength and insulation reliability, the content of the epoxy resin is preferably 1% by mass or more, more preferably 3% by mass when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. It is at least 5% by mass, more preferably at least 5% by mass. The upper limit of the content of the epoxy resin is preferably 25% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, still more preferably 15% by mass or less, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention.
<(B)硬化剤>
樹脂組成物は、(B)成分として、(B)硬化剤を含有する。この(B)成分としての(B)硬化剤には、上述した(A)成分に該当するものは含めない。(B)硬化剤は、(A)エポキシ樹脂を硬化させる機能を有する。(B)硬化剤は1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
<(B) Curing agent>
The resin composition contains a (B) curing agent as the (B) component. The curing agent (B) as the component (B) does not include those corresponding to the above-mentioned component (A). (B) The curing agent has the function of curing the (A) epoxy resin. (B) The curing agent may be used alone or in combination of two or more.
(B)硬化剤としては、(A)エポキシ樹脂を硬化する機能を有する限り特に限定されず、例えば、活性エステル系硬化剤、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、及びカルボジイミド系硬化剤が挙げられる。中でも、硬化剤としては、本発明の効果を顕著に得る観点から、フェノール系硬化剤、活性エステル系硬化剤、及びカルボジイミド系硬化剤から選択される1種以上を含むことが好ましく、活性エステル系硬化剤を含むことがより好ましい。 (B) The curing agent is not particularly limited as long as it has the function of curing the epoxy resin (A), and examples include active ester curing agents, phenol curing agents, naphthol curing agents, benzoxazine curing agents, and cyanates. Examples include ester-based curing agents and carbodiimide-based curing agents. Among these, the curing agent preferably contains one or more selected from phenolic curing agents, active ester curing agents, and carbodiimide curing agents, from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention. It is more preferable to include a curing agent.
フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するフェノール系硬化剤、又はノボラック構造を有するナフトール系硬化剤が好ましい。また、導体層との密着強度の観点から、含窒素フェノール系硬化剤又は含窒素ナフトール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤又はトリアジン骨格含有ナフトール系硬化剤がより好ましい。中でも、耐熱性、耐水性、及び導体層との密着強度を高度に満足させる観点から、トリアジン骨格含有フェノールノボラック樹脂が好ましい。これらは1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 As the phenol curing agent and the naphthol curing agent, from the viewpoint of heat resistance and water resistance, a phenol curing agent having a novolak structure or a naphthol curing agent having a novolak structure is preferable. Further, from the viewpoint of adhesion strength with the conductor layer, a nitrogen-containing phenol curing agent or a nitrogen-containing naphthol curing agent is preferable, and a triazine skeleton-containing phenol curing agent or a triazine skeleton-containing naphthol curing agent is more preferable. Among these, triazine skeleton-containing phenol novolac resins are preferred from the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesion strength with the conductor layer. These may be used alone or in combination of two or more.
活性エステル系硬化剤としては、特に制限はないが、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N-ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の、反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。当該活性エステル化合物は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル化合物が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル化合物がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、カテコール、α-ナフトール、β-ナフトール、1,5-ジヒドロキシナフタレン、1,6-ジヒドロキシナフタレン、2,6-ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物、フェノールノボラック等が挙げられる。ここで、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物」とは、ジシクロペンタジエン1分子にフェノール2分子が縮合して得られるジフェノール化合物をいう。 The active ester curing agent is not particularly limited, but generally one molecule of an ester group with high reaction activity, such as phenol esters, thiophenol esters, N-hydroxyamine esters, and esters of heterocyclic hydroxy compounds, is used. Compounds having two or more in them are preferably used. The active ester compound is preferably one obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and/or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and/or a thiol compound. Particularly from the viewpoint of improving heat resistance, active ester compounds obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound are preferred, and active ester compounds obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and/or a naphthol compound are more preferred. Examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of phenolic compounds or naphthol compounds include hydroquinone, resorcinol, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthalin, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m- Cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, Examples include benzenetriol, dicyclopentadiene type diphenol compounds, and phenol novolacs. Here, the term "dicyclopentadiene type diphenol compound" refers to a diphenol compound obtained by condensing two molecules of phenol with one molecule of dicyclopentadiene.
活性エステル系硬化剤としては、具体的には、ジシクロペンタジエン型活性エステル化合物、ナフタレン構造を含むナフタレン型活性エステル化合物、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物が好ましく、中でもジシクロペンタジエン型活性エステル化合物、及びナフタレン型活性エステル化合物から選ばれる少なくとも1種であることがより好ましい。ジシクロペンタジエン型活性エステル化合物としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物が好ましい。 Examples of active ester curing agents include dicyclopentadiene-type active ester compounds, naphthalene-type active ester compounds containing a naphthalene structure, active ester compounds containing acetylated products of phenol novolak, and active ester compounds containing benzoylated products of phenol novolak. Ester compounds are preferred, and at least one selected from dicyclopentadiene-type active ester compounds and naphthalene-type active ester compounds is more preferred. As the dicyclopentadiene type active ester compound, an active ester compound containing a dicyclopentadiene type diphenol structure is preferable.
活性エステル系硬化剤の市販品としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物として「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC-8000L-65TM」、「HPC-8000-65T」、「HPC-8000H」、「HPC-8000H-65TM」(DIC社製);ナフタレン構造を含む活性エステル化合物として「HP-B-8151-62T」、「EXB-8100L-65T」、「EXB-9416-70BK」、「HPC-8150-62T」、「EXB-8」(DIC社製);りん含有活性エステル化合物として、「EXB9401」(DIC社製)、フェノールノボラックのアセチル化物である活性エステル化合物として「DC808」(三菱ケミカル社製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物である活性エステル化合物として「YLH1026」、「YLH1030」、「YLH1048」(三菱ケミカル社製)、スチリル基及びナフタレン構造を含む活性エステル化合物として「PC1300-02-65MA」(エア・ウォーター社製)等が挙げられる。 Commercially available active ester curing agents include "EXB9451," "EXB9460," "EXB9460S," "HPC-8000L-65TM," and "HPC-8000-65T," which are active ester compounds containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure. ", "HPC-8000H", "HPC-8000H-65TM" (manufactured by DIC); "HP-B-8151-62T", "EXB-8100L-65T", "EXB- 9416-70BK", "HPC-8150-62T", "EXB-8" (manufactured by DIC); as a phosphorus-containing active ester compound, "EXB9401" (manufactured by DIC), an active ester compound that is an acetylated product of phenol novolak "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), "YLH1026", "YLH1030", "YLH1048" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as active ester compounds that are benzoylated products of phenol novolak, active ester compounds containing a styryl group and a naphthalene structure. Examples include "PC1300-02-65MA" (manufactured by Air Water).
フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤の具体例としては、例えば、明和化成社製の「MEH-7700」、「MEH-7810」、「MEH-7851」、日本化薬社製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、日鉄ケミカル&マテリアル社製の「SN170」、「SN180」、「SN190」、「SN475」、「SN485」、「SN495」、「SN-495V」「SN375」、「SN395」、DIC社製の「TD-2090」、「LA-7052」、「LA-7054」、「LA-1356」、「LA-3018-50P」、「EXB-9500」等が挙げられる。 Specific examples of phenolic curing agents and naphthol curing agents include "MEH-7700", "MEH-7810", and "MEH-7851" manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., "NHN" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. "CBN", "GPH", Nippon Steel Chemical & Materials' "SN170", "SN180", "SN190", "SN475", "SN485", "SN495", "SN-495V", "SN375", " Examples include "SN395", "TD-2090", "LA-7052", "LA-7054", "LA-1356", "LA-3018-50P", and "EXB-9500" manufactured by DIC Corporation.
ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、昭和高分子社製の「HFB2006M」、四国化成工業社製の「P-d」、「F-a」が挙げられる。 Specific examples of benzoxazine curing agents include "HFB2006M" manufactured by Showa Kobunshi Co., Ltd., and "Pd" and "Fa" manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.
シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート、オリゴ(3-メチレン-1,5-フェニレンシアネート)、4,4’-メチレンビス(2,6-ジメチルフェニルシアネート)、4,4’-エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2-ビス(4-シアネート)フェニルプロパン、1,1-ビス(4-シアネートフェニルメタン)、ビス(4-シアネート-3,5-ジメチルフェニル)メタン、1,3-ビス(4-シアネートフェニル-1-(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4-シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4-シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の具体例としては、ロンザジャパン社製の「PT30」及び「PT60」(フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「ULL-950S」(多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」、「BA230S75」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。 Examples of cyanate ester curing agents include bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate, oligo(3-methylene-1,5-phenylene cyanate), 4,4'-methylenebis(2,6-dimethylphenyl cyanate), 4,4 '-Ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis(4-cyanate) phenylpropane, 1,1-bis(4-cyanate phenylmethane), bis(4-cyanate-3,5-dimethyl Bifunctional cyanate resins such as phenyl)methane, 1,3-bis(4-cyanatophenyl-1-(methylethylidene))benzene, bis(4-cyanatophenyl)thioether, and bis(4-cyanatophenyl)ether, phenol Examples include polyfunctional cyanate resins derived from novolacs and cresol novolaks, and prepolymers in which these cyanate resins are partially triazinized. Specific examples of cyanate ester curing agents include "PT30" and "PT60" (phenol novolak type polyfunctional cyanate ester resin), "ULL-950S" (polyfunctional cyanate ester resin), and "BA230" manufactured by Lonza Japan. , "BA230S75" (a prepolymer in which part or all of bisphenol A dicyanate is triazinized to form a trimer), and the like.
カルボジイミド系硬化剤は、1分子中にカルボジイミド基(-N=C=N-)を1個以上有する化合物であり、カルボジイミド系硬化剤は、1分子中にカルボジイミド基を2個以上有する化合物が好ましい。 The carbodiimide curing agent is a compound having one or more carbodiimide groups (-N=C=N-) in one molecule, and the carbodiimide curing agent is preferably a compound having two or more carbodiimide groups in one molecule. .
カルボジイミド系硬化剤の具体例としては、市販のカルボジイミド系硬化剤としては、例えば、日清紡ケミカル社製のカルボジライトV-03(カルボジイミド基当量:216、V-05(カルボジイミド基当量:262)、V-07(カルボジイミド基当量:200);V-09(カルボジイミド基当量:200);ラインケミー社製のスタバクゾールP(カルボジイミド基当量:302)が挙げられる。 As specific examples of carbodiimide curing agents, commercially available carbodiimide curing agents include Carbodilite V-03 (carbodiimide group equivalent: 216), V-05 (carbodiimide group equivalent: 262), manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd. 07 (carbodiimide group equivalent: 200); V-09 (carbodiimide group equivalent: 200); Stabaxol P (carbodiimide group equivalent: 302) manufactured by Rhein Chemie.
エポキシ樹脂と硬化剤との量比は、[エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数]:[硬化剤の活性基の合計数]の比率で、1:0.01~1:10の範囲が好ましく、1:0.3~1:5がより好ましく、1:0.5~1:3がさらに好ましい。ここで、「エポキシ樹脂のエポキシ基数」とは、樹脂組成物中に存在するエポキシ樹脂の不揮発成分の質量をエポキシ当量で除した値を全て合計した値である。また、「硬化剤の活性基数」とは、樹脂組成物中に存在する硬化剤の不揮発成分の質量を活性基当量で除した値を全て合計した値である。硬化剤として、エポキシ樹脂との量比をかかる範囲内とすることにより、本発明の効果を顕著に得ることができる。 The quantitative ratio of the epoxy resin to the curing agent is the ratio of [total number of epoxy groups in the epoxy resin]:[total number of active groups in the curing agent], and is preferably in the range of 1:0.01 to 1:10. The ratio is more preferably 1:0.3 to 1:5, and even more preferably 1:0.5 to 1:3. Here, "the number of epoxy groups in the epoxy resin" is the sum of all the values obtained by dividing the mass of nonvolatile components of the epoxy resin present in the resin composition by the epoxy equivalent. Moreover, "the number of active groups of a curing agent" is the total value of all the values obtained by dividing the mass of nonvolatile components of the curing agent present in the resin composition by the active group equivalent. By setting the amount ratio of the curing agent to the epoxy resin within this range, the effects of the present invention can be significantly obtained.
硬化剤の含有量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは1質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上である。上限は、好ましくは30質量%以下、より好ましくは25質量%以下、さらに好ましくは20質量%以下である。 From the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention, the content of the curing agent is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. More preferably, it is 10% by mass or more. The upper limit is preferably 30% by mass or less, more preferably 25% by mass or less, even more preferably 20% by mass or less.
<(C)ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂>
樹脂組成物は、(C)成分として(C)ハイパーブランチ構造を有する熱可塑樹脂を含有する。(C)成分を樹脂組成物に含有させることでクラック耐性に優れる硬化物を得ることが可能となる。(C)成分は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
<(C) Thermoplastic resin having hyperbranched structure>
The resin composition contains (C) a thermoplastic resin having a hyperbranched structure as the (C) component. By incorporating component (C) into the resin composition, it becomes possible to obtain a cured product with excellent crack resistance. Component (C) may be used alone or in combination of two or more.
(A)ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂とは、複数の分枝を有する多分枝構造を有する熱可塑性樹脂をいう。ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂は、その分枝鎖が好ましくは2以上、より好ましくは3以上、さらに好ましくは4以上、5以上、6以上、8以上であることが好ましい。(C)ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂は、好ましくは、3官能以上の化合物由来の構造と、2官能化合物由来の構造とが交互に結合した多分枝構造を有し、末端に1官能化合物由来の構造を有する樹脂をいう。 (A) Thermoplastic resin having a hyperbranched structure refers to a thermoplastic resin having a multi-branched structure having a plurality of branches. The thermoplastic resin having a hyperbranched structure preferably has two or more branched chains, more preferably three or more branches, still more preferably four or more, five or more, six or more, and eight or more. (C) The thermoplastic resin having a hyperbranched structure preferably has a multi-branched structure in which a structure derived from a trifunctional or higher functional compound and a structure derived from a bifunctional compound are alternately bonded, and a monofunctional compound at the terminal. Refers to a resin with a structure derived from
このように好ましいハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂は、分子構造の中心になる3官能以上の化合物、2官能化合物、及び分子の末端になる1官能化合物を反応させて得ることができる。ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂は多分枝構造を有することから分枝部分の周りに自由空間を有しうる。自由空間を有することで、樹脂組成物が硬化しても収縮しにくくなり応力が生じにくいので、その結果クラックの発生が抑制されると考えられる。 A thermoplastic resin having such a preferred hyperbranched structure can be obtained by reacting a trifunctional or higher functional compound, a bifunctional compound, which forms the center of the molecular structure, and a monofunctional compound, which forms the terminal end of the molecule. Since the thermoplastic resin having a hyperbranched structure has a multi-branched structure, it can have free space around the branched portions. By having a free space, even when the resin composition is cured, it is difficult to shrink and stress is not easily generated, and as a result, it is thought that the occurrence of cracks is suppressed.
(C)成分の末端は、クラック耐性を向上させる観点から、ビニル(-CH=CH2)基等のエチレン性不飽和結合を有さない基であることが好ましい。すなわち(C)成分は末端がエチレン性不飽和結合を有する場合は除かれる。(C)成分の末端がエチレン性不飽和結合を有する場合は除かれるので、(C)成分は熱可塑性樹脂として機能する。これにより、(C)成分を含む樹脂組成物の硬化物の応力が緩和されることでクラック耐性が向上すると考えられる。(C)成分の末端としては、アルコキシシリル基、アリールオキシ基のいずれかであることが好ましく、末端のすべてがアルコキシシリル基であることがより好ましい。 The terminal end of component (C) is preferably a group having no ethylenically unsaturated bond, such as a vinyl (-CH=CH 2 ) group, from the viewpoint of improving crack resistance. That is, component (C) is excluded if the terminal has an ethylenically unsaturated bond. If the terminal of component (C) has an ethylenically unsaturated bond, it is excluded, so component (C) functions as a thermoplastic resin. It is thought that this alleviates stress in the cured product of the resin composition containing component (C), thereby improving crack resistance. The terminals of component (C) are preferably either alkoxysilyl groups or aryloxy groups, and more preferably all terminals are alkoxysilyl groups.
アルコキシシリル基としては、例えば、トリメトキシシリル基、トリエトキシシリル基、ジメトキシメチルシリル基、メトキシジメチルシリル基、ジエトキシメチルシリル基、エトキシジメチルシリル基、ジメトキシフェニルシリル基、ジエトキシフェニルシリル基、等が挙げられる。 Examples of the alkoxysilyl group include trimethoxysilyl group, triethoxysilyl group, dimethoxymethylsilyl group, methoxydimethylsilyl group, diethoxymethylsilyl group, ethoxydimethylsilyl group, dimethoxyphenylsilyl group, diethoxyphenylsilyl group, etc.
アリールオキシ基としては、例えば、フェノキシ基、ナフチルオキシ基、アントラセニルオキシ基等が挙げられる。 Examples of the aryloxy group include a phenoxy group, a naphthyloxy group, an anthracenyloxy group, and the like.
(C)成分は、本発明の効果を顕著に得る観点から、環状構造を含むことが好ましく、環状構造は芳香族構造を含むことが好ましい。芳香族構造とは、一般に芳香族と定義される化学構造であり、多環芳香族及び芳香族複素環をも含む。 Component (C) preferably contains a cyclic structure, and the cyclic structure preferably contains an aromatic structure, from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention. The aromatic structure is a chemical structure that is generally defined as aromatic, and also includes polycyclic aromatics and aromatic heterocycles.
環状構造としては、例えば、複素環骨格、ビスフェノール骨格、フェニレンエーテル骨格、フェニレン骨格、ナフチレン骨格、ジメチルメチレンビスシクロヘキシレン骨格、アントラセン骨格等が挙げられ、複素環骨格、ビスフェノール骨格が好ましい。複素環骨格としては、トリアジン環、ピリジン環等の窒素原子を含む複素環骨格等が挙げられ、トリアジン環が好ましい。ビスフェノール骨格としては、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールAP骨格、ビスフェノールAF骨格、ビスフェノールB骨格、ビスフェノールBP骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールZ骨格、ビスフェノールC骨格、ビスフェノールTMC骨格、ビスフェノールAF骨格、ビスフェノールE骨格、ビスフェノールG骨格、ビスフェノールM骨格、ビスフェノールPH骨格等が挙げられ、ビスフェノールTMC、ビスフェノールAF骨格が好ましい。中でも、(C)成分は、複素環骨格、及びフェニレンエーテル骨格のいずれかの環状構造を含むことが好ましく、トリアジン環及びフェニレンエーテル骨格のいずれかを含むことがより好ましく、トリアジン環及びフェニレンエーテル骨格の2種の環状構造を有することがさらに好ましい。 Examples of the cyclic structure include a heterocyclic skeleton, a bisphenol skeleton, a phenylene ether skeleton, a phenylene skeleton, a naphthylene skeleton, a dimethylmethylenebiscyclohexylene skeleton, an anthracene skeleton, and the like, with a heterocyclic skeleton and a bisphenol skeleton being preferred. Examples of the heterocyclic skeleton include nitrogen atom-containing heterocyclic skeletons such as a triazine ring and a pyridine ring, with a triazine ring being preferred. Bisphenol skeletons include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol AP skeleton, bisphenol AF skeleton, bisphenol B skeleton, bisphenol BP skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenol Z skeleton, bisphenol C skeleton, bisphenol TMC skeleton, bisphenol AF skeleton, and bisphenol. Examples include E skeleton, bisphenol G skeleton, bisphenol M skeleton, bisphenol PH skeleton, and bisphenol TMC and bisphenol AF skeletons are preferred. Among these, component (C) preferably contains a cyclic structure of either a heterocyclic skeleton or a phenylene ether skeleton, more preferably a cyclic structure of a triazine ring or a phenylene ether skeleton, and a triazine ring or a phenylene ether skeleton. It is more preferable to have two types of cyclic structures.
環状構造は、3官能以上の化合物由来の構造、2官能化合物由来の構造、及び1官能化合物由来の構造のいずれかに含まれることが好ましく、3官能以上の化合物由来の構造、及び2官能化合物由来の構造に含まれることがより好ましい。 The cyclic structure is preferably included in any one of a structure derived from a trifunctional or higher functional compound, a bifunctional compound derived structure, and a monofunctional compound derived structure, and a structure derived from a trifunctional or higher functional compound, and a bifunctional compound. More preferably, it is included in the original structure.
環状構造における環は、置換基を有していてもよい。このような置換基としては、例えば、ハロゲン原子、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、アリール基、炭素数7~12のアリールアルキル基、シリル基、アシル基、アシルオキシ基、カルボキシ基、スルホ基、シアノ基、ニトロ基、ヒドロキシ基、メルカプト基、オキソ基等が挙げられる。 The ring in the cyclic structure may have a substituent. Examples of such substituents include halogen atoms, alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms, alkoxy groups having 1 to 6 carbon atoms, aryl groups, arylalkyl groups having 7 to 12 carbon atoms, silyl groups, acyl groups, Examples include acyloxy group, carboxy group, sulfo group, cyano group, nitro group, hydroxy group, mercapto group, and oxo group.
(C)成分は、本発明の効果を顕著に得る観点から、シロキサン構造(-Si-O-Si-)を有することが好ましい。シロキサン構造は、3官能以上の化合物由来の構造、2官能化合物由来の構造、及び1官能化合物由来の構造のいずれかに含まれることが好ましく、2官能の化合物由来の構造、及び1官能化合物由来の構造に含まれることがより好ましい。2官能の化合物由来の構造は、1分子中に、シロキサン構造を有する2官能の化合物由来の構造及びシロキサン構造を有さない2官能の化合物由来の構造を含むことが好ましい。 Component (C) preferably has a siloxane structure (-Si-O-Si-) from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention. The siloxane structure is preferably included in any of a structure derived from a trifunctional or higher functional compound, a structure derived from a bifunctional compound, and a structure derived from a monofunctional compound, and a structure derived from a bifunctional compound and a structure derived from a monofunctional compound. More preferably, it is included in the structure of The structure derived from a bifunctional compound preferably includes a structure derived from a bifunctional compound having a siloxane structure and a structure derived from a bifunctional compound not having a siloxane structure in one molecule.
シロキサン構造を有する2官能の化合物由来の構造及びシロキサン構造を有さない2官能の化合物由来の構造の、(C)成分1分子中の含有比率(シロキサン構造を有する2官能の化合物由来の構造/シロキサン構造を有さない2官能の化合物由来の構造)は、本発明の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.05以上、より好ましくは0.1以上、さらに好ましくは0.2以上であり、好ましくは2以下、さらに好ましくは1.5以下、より好ましくは1以下である。含有比率は、反応原料の仕込み量のモル比から算出される値である。 Content ratio of a structure derived from a bifunctional compound having a siloxane structure and a structure derived from a bifunctional compound not having a siloxane structure in one molecule of component (C) (Structure derived from a bifunctional compound having a siloxane structure/ From the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention, the structure derived from a bifunctional compound that does not have a siloxane structure is preferably 0.05 or more, more preferably 0.1 or more, and even more preferably 0.2 or more. Yes, preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less, and even more preferably 1 or less. The content ratio is a value calculated from the molar ratio of the charged amounts of reaction raw materials.
3官能以上の化合物は、3官能以上の化合物由来の構造となり得る化合物であり、ハイパーブランチ構造のコアとなり得る。また、3官能以上の化合物は2官能化合物及び1官能化合物と反応し得る官能基を有する。3官能以上の化合物は、ハイパーブランチ構造における3官能以上の化合物由来の構造となる。3官能以上の化合物としては、3官能化合物又は4官能化合物であることが好ましく、3官能化合物がより好ましい。 The trifunctional or higher functional compound is a compound that can have a structure derived from a trifunctional or higher functional compound, and can serve as the core of a hyperbranched structure. Further, the trifunctional or higher functional compound has a functional group that can react with a bifunctional compound and a monofunctional compound. The trifunctional or higher functional compound has a structure derived from the trifunctional or higher functional compound in a hyperbranched structure. The trifunctional or higher functional compound is preferably a trifunctional compound or a tetrafunctional compound, more preferably a trifunctional compound.
3官能以上の化合物が有する官能基としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン原子;OH基(フェノール性水酸基を含む);アミノ基;エポキシ基;グリシジルエーテル基等が挙げられ、ハロゲン原子が好ましい。 Examples of functional groups possessed by trifunctional or higher functional compounds include halogen atoms such as fluorine atoms, chlorine atoms, bromine atoms, and iodine atoms; OH groups (including phenolic hydroxyl groups); amino groups; epoxy groups; glycidyl ether groups, etc. are mentioned, with halogen atoms being preferred.
3官能以上の化合物は、本発明の効果を顕著に得る観点から、環状構造を含むことが好ましい。環状構造は芳香族構造を含むことが好ましく、複素環骨格を含むことが好ましく、芳香族複素環を含むことがより好ましく、窒素原子を含む芳香族複素環がさらに好ましく、トリアジン環が特に好ましい。窒素原子を含む芳香族複素環に含まれる窒素原子は、好ましくは1個以上、より好ましくは2個以上であり、好ましくは6個以下、より好ましくは5個以下であり、特に好ましくは3個である。 The trifunctional or higher functional compound preferably contains a cyclic structure from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention. The cyclic structure preferably includes an aromatic structure, preferably a heterocyclic skeleton, more preferably an aromatic heterocycle, further preferably an aromatic heterocycle containing a nitrogen atom, and particularly preferably a triazine ring. The number of nitrogen atoms contained in the aromatic heterocycle containing a nitrogen atom is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, preferably 6 or less, more preferably 5 or less, particularly preferably 3 It is.
3官能以上の化合物の具体例としては、例えば、シアヌル酸クロリド、2,4,6―トリクロロピリミジン、2,4,6―トリクロロピリジン等が挙げられる。中でも、3官能以上の化合物としては、シアヌル酸クロリドが好ましい。 Specific examples of trifunctional or higher functional compounds include cyanuric acid chloride, 2,4,6-trichloropyrimidine, 2,4,6-trichloropyridine, and the like. Among these, cyanuric acid chloride is preferred as the trifunctional or higher functional compound.
2官能化合物は、3官能以上の化合物の官能基及び1官能化合物の官能基のいずれかと結合し得る化合物であり、3官能以上の化合物の官能基及び1官能化合物の官能基と反応し得る官能基を有する。2官能化合物は、ハイパーブランチ構造における2官能化合物由来の構造となる。 A bifunctional compound is a compound that can bond with either a functional group of a trifunctional or higher functional compound or a functional group of a monofunctional compound, and a functional group that can react with a functional group of a trifunctional or higher functional compound and a functional group of a monofunctional compound. It has a group. A bifunctional compound has a structure derived from a bifunctional compound in a hyperbranched structure.
2官能化合物が有する官能基としては、例えば、OH基(フェノール性水酸基を含む)、エポキシ基、グリシジルエーテル基、アミノ基等が挙げられ、OH基及びアミノ基のいずれかが好ましい。 Examples of the functional group that the bifunctional compound has include an OH group (including a phenolic hydroxyl group), an epoxy group, a glycidyl ether group, and an amino group, with either the OH group or the amino group being preferred.
2官能化合物は、クラック耐性を向上させる観点から、シロキサン構造(-Si-O-Si-)を含む2官能化合物と、シロキサン構造を含まない2官能化合物とを組み合わせて含有させることが好ましい。シロキサン構造を含む2官能化合物とシロキサン構造を含まない2官能化合物との1分子中の含有比率は、シロキサン構造を有する2官能の化合物由来の構造及びシロキサン構造を有さない2官能の化合物由来の構造の含有比率と同じである。 From the viewpoint of improving crack resistance, the bifunctional compound preferably contains a combination of a bifunctional compound containing a siloxane structure (-Si-O-Si-) and a bifunctional compound not containing a siloxane structure. The content ratio in one molecule of a bifunctional compound containing a siloxane structure and a bifunctional compound not containing a siloxane structure is determined by the content ratio of a bifunctional compound containing a siloxane structure and a bifunctional compound originating from a bifunctional compound not having a siloxane structure. It is the same as the content ratio of the structure.
2官能化合物は、本発明の効果を顕著に得る観点から、環状構造を含んでいてもよく、環状構造は芳香族構造を含むことが好ましく、フェニレン骨格、フェニレンエーテル骨格を含むことがより好ましく、フェニレンエーテル骨格を含むことがさらに好ましい。フェニレンエーテル骨格は、本発明の効果を顕著に得る観点から、シロキサン構造を含まない2官能化合物に含まれることが好ましい。 From the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention, the bifunctional compound may contain a cyclic structure, and the cyclic structure preferably contains an aromatic structure, and more preferably contains a phenylene skeleton or a phenylene ether skeleton. It is more preferable that it contains a phenylene ether skeleton. The phenylene ether skeleton is preferably contained in a bifunctional compound that does not contain a siloxane structure, from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention.
2官能化合物の具体例としては、例えば、以下の式(1)~(50)で表される化合物等が挙げられる。式(32)中、Xはフェニル基を表し、Yはメチル基を表す。式(33)~(38)中、nは1~300の整数を表し、式(37)~(42)中、mは1~300の整数を表す。式(38)中、Yは酸素原子、メチレン基、又はジメチルメチレン基を表す。式(39)~(42)中、Rはメチレン基又はフェニレン基を表す。式(40)中、Raはメチル基又はフェニル基を表す。 Specific examples of the bifunctional compound include compounds represented by the following formulas (1) to (50). In formula (32), X represents a phenyl group and Y represents a methyl group. In formulas (33) to (38), n represents an integer of 1 to 300, and in formulas (37) to (42), m represents an integer of 1 to 300. In formula (38), Y represents an oxygen atom, a methylene group, or a dimethylmethylene group. In formulas (39) to (42), R represents a methylene group or a phenylene group. In formula (40), R a represents a methyl group or a phenyl group.
2官能化合物としては、3官能化合物に、後述する1官能化合物を反応させた化合物を用いてもよい。このような2官能化合物としては、例えば、以下の式(43)~(50)で表される化合物等が挙げられる。式(43)中、Rは、イソプロピル基を表す。
中でも、2官能化合物としては、式(24)、(25)、(38)~(42)で表される化合物が好ましい。 Among these, as the bifunctional compound, compounds represented by formulas (24), (25), and (38) to (42) are preferred.
2官能化合物は、市販品を用いてもよい。市販品としては、例えば、信越シリコーン社製の「KF-2201」、「KF-8010」、信越化学工業社製の「KF-8010」、「X-22-9409」、「KF-2201」、SABICイノベーティブプラスチックス社製の「SA90」等が挙げられる。 A commercially available product may be used as the bifunctional compound. Commercially available products include, for example, "KF-2201" and "KF-8010" manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd., "KF-8010", "X-22-9409", and "KF-2201" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Examples include "SA90" manufactured by SABIC Innovative Plastics.
1官能化合物は、3官能以上の化合物の官能基及び2官能の化合物の官能基のいずれかと結合し得る化合物であり、3官能以上の化合物の官能基及び2官能化合物の官能基のいずれかと反応し得る官能基を有する。また、1官能化合物は、1官能化合物由来の構造として、(C)成分の末端になりうる。 A monofunctional compound is a compound that can bond with either the functional group of a trifunctional or higher functional compound or the functional group of a bifunctional compound, and reacts with either the functional group of a trifunctional or higher functional compound or the functional group of a bifunctional compound. It has a functional group that can Further, the monofunctional compound can be the terminal of the component (C) as a structure derived from the monofunctional compound.
1官能化合物が有する官能基としては、例えば、アミノ基;フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン原子;OH基(フェノール性水酸基を含む);チオール基;アミノ基;エポキシ基;グリシジルエーテル基等が挙げられ、アミノ基、チオール基、OH基が好ましい。 Examples of the functional groups that the monofunctional compound has include: amino group; halogen atoms such as fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, and iodine atom; OH group (including phenolic hydroxyl group); thiol group; amino group; epoxy group; Examples include glycidyl ether groups, and amino groups, thiol groups, and OH groups are preferred.
1官能化合物は、本発明の効果を顕著に得る観点から、シロキサン結合(-Si-O-)を含んでいることが好ましく、上記官能基を有するアルコキシシラン化合物であることがより好ましい。 From the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention, the monofunctional compound preferably contains a siloxane bond (-Si-O-), and is more preferably an alkoxysilane compound having the above-mentioned functional group.
1官能化合物の具体例としては、例えば、以下の式(1-1)~(1-24)で表される化合物が挙げられる。下記式中、Rはイソプロピル基を表す。式(1-13)~(1-16)中、nは1~300の整数を表す。
中でも、1官能化合物としては、式(1-10)で表される化合物、式(1-22)で表される化合物、式(1-23)で表される化合物、及び式(1-24)で表される化合物が好ましい。 Among these, monofunctional compounds include compounds represented by formula (1-10), compounds represented by formula (1-22), compounds represented by formula (1-23), and compounds represented by formula (1-24). ) are preferred.
1官能化合物は、市販品を用いてもよい。市販品としては、例えば信越シリコーン社製の「X-22-170BX」、「X-22-170DX」、信越化学工業社製の「KBM903」、「KBE903」、「KBM603」、「KBM573」、「KBM802」等が挙げられる。 A commercially available monofunctional compound may be used. Commercially available products include, for example, "X-22-170BX" and "X-22-170DX" manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd., and "KBM903", "KBE903", "KBM603", "KBM573", and "KBM573" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. KBM802'', etc.
(C)ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂は、3官能以上の化合物、2官能化合物、及び1官能化合物を反応させることで調製することができる。また、2官能化合物は、シロキサン構造を有するを含む2官能化合物と、シロキサン構造を含まない2官能化合物とを組み合わせて調製することが好ましい。 (C) A thermoplastic resin having a hyperbranched structure can be prepared by reacting a trifunctional or higher functional compound, a bifunctional compound, and a monofunctional compound. Further, the bifunctional compound is preferably prepared by combining a bifunctional compound having a siloxane structure and a bifunctional compound not containing a siloxane structure.
反応温度としては、好ましくは10℃以上、より好ましくは30℃以上、さらに好ましくは40℃以上であり、好ましくは100℃以下、より好ましくは80℃以下、さらに好ましくは60℃以下である。特に好ましくは50℃である。 The reaction temperature is preferably 10°C or higher, more preferably 30°C or higher, even more preferably 40°C or higher, and preferably 100°C or lower, more preferably 80°C or lower, and still more preferably 60°C or lower. Particularly preferred is 50°C.
反応時間としては、好ましくは1時間以上、より好ましくは5時間以上、さらに好ましくは10時間以上であり、好ましくは50時間以下、より好ましくは24時間以下、さらに好ましくは15時間以下である。特に好ましくは一晩(12時間)である。 The reaction time is preferably 1 hour or more, more preferably 5 hours or more, even more preferably 10 hours or more, and preferably 50 hours or less, more preferably 24 hours or less, and still more preferably 15 hours or less. Particularly preferred is overnight (12 hours).
(C)ハイパーブランチ構造を有する熱可塑樹脂の具体例としては、以下のものが挙げられるが、本発明はこれに限定されるものではない。下記式中、破線は、3官能以上の化合物由来の構造と、2官能化合物由来の構造とが交互に結合した多分枝構造がさらに結合していることを意味する。Rはメチレン基又はフェニレン基を表す。
(C)成分の重量平均分子量としては、本発明の効果を顕著に得る観点から、好ましくは1000以上、より好ましくは1200以上、さらに好ましくは1400以上であり、好ましくは40000以下、より好ましくは30000以下、さらに好ましくは20000以下、10000以下、6000以下である。樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により、ポリスチレン換算の値として測定できる。 The weight average molecular weight of component (C) is preferably 1,000 or more, more preferably 1,200 or more, even more preferably 1,400 or more, and preferably 40,000 or less, more preferably 30,000 or more, from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention. Below, it is more preferably 20,000 or less, 10,000 or less, and 6,000 or less. The weight average molecular weight of the resin can be measured as a value in terms of polystyrene by gel permeation chromatography (GPC).
(C)成分のガラス転移温度(Tg)としては、本発明の効果を顕著に得る観点から、好ましくは50℃以上、より好ましくは60℃以上、さらに好ましくは70℃以上であり、好ましくは150℃以下、より好ましくは140℃以下、さらに好ましくは130℃以下である。ガラス転移温度は、示差走査熱量測定(DSC)法により測定することができる。(C)成分はガラス転移温度を複数有していてもよい。その場合、複数のガラス転移温度は斯かる範囲内にあることが好ましい。 The glass transition temperature (Tg) of component (C) is preferably 50°C or higher, more preferably 60°C or higher, still more preferably 70°C or higher, and preferably 150°C or higher, from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention. The temperature is preferably 140°C or lower, more preferably 130°C or lower. Glass transition temperature can be measured by differential scanning calorimetry (DSC). Component (C) may have multiple glass transition temperatures. In that case, the plurality of glass transition temperatures are preferably within such ranges.
(C)成分の含有量としては、クラック耐性に優れる硬化物を得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.3質量%以上、さらに好ましくは0.5質量%以上であり、好ましくは15質量%以下、より好ましくは10質量%以下、さらに好ましくは8質量%以下、5質量%以下、3質量%以下である。 From the viewpoint of obtaining a cured product with excellent crack resistance, the content of component (C) is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.1% by mass or more when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. 3% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, preferably 15% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, still more preferably 8% by mass or less, 5% by mass or less, 3% by mass or less. be.
<(D)無機充填材>
樹脂組成物は、(D)成分として、任意の成分である(D)無機充填材を含有していてもよい。(D)無機充填材を樹脂組成物に含有させることで、誘電正接が低い硬化物を得ることが可能となる。
<(D) Inorganic filler>
The resin composition may contain an optional component (D) inorganic filler as the component (D). (D) By incorporating the inorganic filler into the resin composition, it is possible to obtain a cured product with a low dielectric loss tangent.
無機充填材の材料としては、無機化合物を用いる。無機充填材の材料の例としては、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられる。これらの中でもシリカが特に好適である。シリカとしては、例えば、無定形シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ等が挙げられる。また、シリカとしては、球状シリカが好ましい。(D)無機充填材は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 An inorganic compound is used as the material for the inorganic filler. Examples of inorganic filler materials include silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, aluminum hydroxide, Magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, zirconium oxide , barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. Among these, silica is particularly suitable. Examples of silica include amorphous silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, and hollow silica. Further, as the silica, spherical silica is preferable. (D) Inorganic fillers may be used alone or in combination of two or more.
(D)無機充填材の市販品としては、例えば、電化化学工業社製の「UFP-30」;新日鉄住金マテリアルズ社製の「SP60-05」、「SP507-05」;アドマテックス社製の「YC100C」、「YA050C」、「YA050C-MJE」、「YA010C」;デンカ社製の「UFP-30」;トクヤマ社製の「シルフィルNSS-3N」、「シルフィルNSS-4N」、「シルフィルNSS-5N」;アドマテックス社製の「SC2500SQ」、「SO-C4」、「SO-C2」、「SO-C1」、「SC2050-SXF」;などが挙げられる。 (D) Commercially available inorganic fillers include, for example, "UFP-30" manufactured by Denka Kagaku Kogyo Co., Ltd.; "SP60-05" and "SP507-05" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Materials; “YC100C”, “YA050C”, “YA050C-MJE”, “YA010C”; “UFP-30” manufactured by Denka; “Silfill NSS-3N”, “Silfill NSS-4N”, “Silfill NSS-” manufactured by Tokuyama Examples include "SC2500SQ", "SO-C4", "SO-C2", "SO-C1", and "SC2050-SXF" manufactured by Admatex.
(D)無機充填材の平均粒径は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.05μm以上、特に好ましくは0.1μm以上であり、好ましくは5μm以下、より好ましくは2μm以下、さらに好ましくは1μm以下である。 (D) The average particle size of the inorganic filler is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.05 μm or more, and particularly preferably 0.1 μm or more, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. Preferably it is 5 μm or less, more preferably 2 μm or less, and still more preferably 1 μm or less.
(D)無機充填材の平均粒径は、ミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的には、レーザー回折散乱式粒径分布測定装置により、無機充填材の粒径分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材100mg、メチルエチルケトン10g、及び分散剤(サンノプコ社製「SN9228」)0.1gをバイアル瓶に秤取り、超音波にて10分間分散させたものを使用することができる。測定サンプルを、レーザー回折式粒径分布測定装置を使用して、使用光源波長を青色及び赤色とし、フローセル方式で無機充填材の体積基準の粒径分布を測定し、得られた粒径分布からメディアン径として平均粒径を算出する。レーザー回折式粒径分布測定装置としては、例えば堀場製作所社製「LA-960」、島津製作所社製「SALD-2200」等が挙げられる。 (D) The average particle size of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction/scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, it can be measured by creating the particle size distribution of the inorganic filler on a volume basis using a laser diffraction scattering type particle size distribution measuring device, and using the median diameter as the average particle size. The measurement sample can be obtained by weighing 100 mg of an inorganic filler, 10 g of methyl ethyl ketone, and 0.1 g of a dispersant ("SN9228" manufactured by San Nopco Co., Ltd.) into a vial, and dispersing them using ultrasonic waves for 10 minutes. The measurement sample was measured using a laser diffraction particle size distribution measuring device using a light source wavelength of blue and red, and the volume-based particle size distribution of the inorganic filler was measured using a flow cell method. The average particle size is calculated as the median diameter. Examples of the laser diffraction particle size distribution measuring device include "LA-960" manufactured by Horiba, "SALD-2200" manufactured by Shimadzu Corporation, and the like.
(D)無機充填材の比表面積は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは1m2/g以上、より好ましくは2m2/g以上、特に好ましくは3m2/g以上である。上限に特段の制限は無いが、好ましくは60m2/g以下、50m2/g以下又は40m2/g以下である。比表面積は、BET全自動比表面積測定装置(マウンテック社製Macsorb HM-1210)を使用して、試料表面に窒素ガスを吸着させ、BET多点法を用いて比表面積を算出することで無機充填材の比表面積を測定することで得られる。 (D) The specific surface area of the inorganic filler is preferably 1 m 2 /g or more, more preferably 2 m 2 /g or more, particularly preferably 3 m 2 /g or more, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. be. Although there is no particular limit to the upper limit, it is preferably 60 m 2 /g or less, 50 m 2 /g or less, or 40 m 2 /g or less. The specific surface area is determined by adsorbing nitrogen gas onto the sample surface using a BET fully automatic specific surface area measuring device (Macsorb HM-1210 manufactured by Mountech), and calculating the specific surface area using the BET multi-point method. It can be obtained by measuring the specific surface area of the material.
(D)無機充填材は、耐湿性及び分散性を高める観点から、表面処理剤で処理されていることが好ましい。表面処理剤としては、例えば、3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン等のフッ素含有シランカップリング剤;3-アミノプロピルトリエトキシシラン、N-フェニル-8-アミノオクチル-トリメトキシシラン、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラン系カップリング剤;3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のエポキシシラン系カップリング剤;3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプトシラン系カップリング剤;シラン系カップリング剤;フェニルトリメトキシシラン等のアルコキシシラン;ヘキサメチルジシラザン等のオルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等が挙げられる。また、表面処理剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を任意に組み合わせて用いてもよい。 (D) The inorganic filler is preferably treated with a surface treatment agent from the viewpoint of improving moisture resistance and dispersibility. Examples of the surface treatment agent include fluorine-containing silane coupling agents such as 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane; 3-aminopropyltriethoxysilane, N-phenyl-8-aminooctyl-trimethoxysilane, Aminosilane coupling agents such as N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane; Epoxysilane coupling agents such as 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane; Mercaptosilane cups such as 3-mercaptopropyltrimethoxysilane Ring agents; silane coupling agents; alkoxysilanes such as phenyltrimethoxysilane; organosilazane compounds such as hexamethyldisilazane; titanate coupling agents; and the like. Moreover, one type of surface treatment agent may be used alone, or two or more types may be used in any combination.
表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業社製「KBM403」(3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM803」(3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBE903」(3-アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM573」(N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「SZ-31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業社製「KBM103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM-4803」(長鎖エポキシ型シランカップリング剤)、信越化学工業社製「KBM-7103」(3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン)等が挙げられる。 Commercially available surface treatment agents include, for example, "KBM403" (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM803" (3-mercaptopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane) manufactured by Kagaku Kogyo, "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical, "SZ-31" manufactured by Shin-Etsu Chemical ( hexamethyldisilazane), "KBM103" (phenyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical, "KBM-4803" (long chain epoxy type silane coupling agent) manufactured by Shin-Etsu Chemical, "KBM-" manufactured by Shin-Etsu Chemical 7103'' (3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane).
表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の分散性向上の観点から、所定の範囲に収まることが好ましい。具体的には、無機充填材100質量部は、0.2質量部~5質量部の表面処理剤で表面処理されていることが好ましく、0.2質量部~3質量部で表面処理されていることが好ましく、0.3質量部~2質量部で表面処理されていることが好ましい。 The degree of surface treatment with the surface treatment agent is preferably within a predetermined range from the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler. Specifically, 100 parts by mass of the inorganic filler is preferably surface-treated with 0.2 parts by mass to 5 parts by mass of a surface treatment agent, and preferably 0.2 parts by mass to 3 parts by mass. Preferably, the surface treatment is carried out in an amount of 0.3 parts by mass to 2 parts by mass.
表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m2以上が好ましく、0.1mg/m2以上がより好ましく、0.2mg/m2以上が更に好ましい。一方、樹脂ワニスの溶融粘度及びシート形態での溶融粘度の上昇を抑制する観点から、1mg/m2以下が好ましく、0.8mg/m2以下がより好ましく、0.5mg/m2以下が更に好ましい。 The degree of surface treatment by the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler is preferably 0.02 mg/m 2 or more, more preferably 0.1 mg/m 2 or more, and 0.2 mg/m 2 from the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler. The above is more preferable. On the other hand, from the viewpoint of suppressing an increase in the melt viscosity of the resin varnish and the melt viscosity in sheet form, it is preferably 1 mg/m 2 or less, more preferably 0.8 mg/m 2 or less, and even more preferably 0.5 mg/m 2 or less. preferable.
(D)無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、堀場製作所社製「EMIA-320V」等を使用することができる。 (D) The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured after the surface-treated inorganic filler is washed with a solvent (for example, methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler whose surface has been treated with a surface treatment agent, and the mixture is subjected to ultrasonic cleaning at 25° C. for 5 minutes. After removing the supernatant liquid and drying the solid content, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. As the carbon analyzer, "EMIA-320V" manufactured by Horiba, Ltd., etc. can be used.
(D)無機充填材の含有量としては、誘電正接の低い硬化物を得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、さらに好ましくは70質量%以上であり、好ましくは90質量%以下、より好ましくは80質量%以下、さらに好ましくは75質量%以下である。 (D) From the viewpoint of obtaining a cured product with a low dielectric loss tangent, the content of the inorganic filler is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. % or more, more preferably 70% by mass or more, preferably 90% by mass or less, more preferably 80% by mass or less, still more preferably 75% by mass or less.
<(E)ラジカル重合性化合物>
樹脂組成物は、上述した(A)~(C)成分に組み合わせて、任意の成分として、更に(E)ラジカル重合性化合物を含んでいてもよい。この(E)成分としての(E)ラジカル重合性化合物には、上述した(A)~(D)成分に該当するものは含めない。(E)ラジカル重合性化合物は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
<(E) Radical polymerizable compound>
The resin composition may further contain (E) a radically polymerizable compound as an optional component in combination with the above-mentioned components (A) to (C). The radically polymerizable compound (E) as the component (E) does not include those corresponding to the components (A) to (D) described above. (E) The radically polymerizable compound may be used alone or in combination of two or more.
(E)ラジカル重合性化合物は、エチレン性不飽和結合を有しうる。(E)ラジカル重合性化合物は、例えば、アリル基、3-シクロヘキセニル基、3-シクロペンテニル基、p-ビニルフェニル基、m-ビニルフェニル基、o-ビニルフェニル基等の不飽和炭化水素基;アクリロイル基、メタクリロイル基、マレイミド基(2,5-ジヒドロ-2,5-ジオキソ-1H-ピロール-1-イル基)等の、α,β-不飽和カルボニル基;等のラジカル重合性基を有していてもよい。(E)ラジカル重合性化合物は、ラジカル重合性基を2個以上有することが好ましい。 (E) The radically polymerizable compound may have an ethylenically unsaturated bond. (E) The radically polymerizable compound is an unsaturated hydrocarbon group such as an allyl group, a 3-cyclohexenyl group, a 3-cyclopentenyl group, a p-vinylphenyl group, an m-vinylphenyl group, an o-vinylphenyl group, etc. ; a radically polymerizable group such as an α,β-unsaturated carbonyl group such as an acryloyl group, a methacryloyl group, a maleimide group (2,5-dihydro-2,5-dioxo-1H-pyrrol-1-yl group); may have. (E) The radically polymerizable compound preferably has two or more radically polymerizable groups.
(E)ラジカル重合性化合物としては、例えば、(メタ)アクリル系ラジカル重合性化合物、スチレン系ラジカル重合性化合物、アリル系ラジカル重合性化合物、マレイミド系ラジカル重合性化合物等が挙げられる。 (E) Examples of the radically polymerizable compound include (meth)acrylic radically polymerizable compounds, styrene radically polymerizable compounds, allyl radically polymerizable compounds, maleimide radically polymerizable compounds, and the like.
(メタ)アクリル系ラジカル重合性化合物は、例えば、1個以上、好ましくは2個以上のアクリロイル基及び/又はメタクリロイル基を有する化合物である。(メタ)アクリル系ラジカル重合性化合物としては、例えば、シクロヘキサン-1,4-ジメタノールジ(メタ)アクリレート、シクロヘキサン-1,3-ジメタノールジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,8-オクタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9-ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10-デカンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート等の低分子量(分子量1000未満)の脂肪族(メタ)アクリル酸エステル化合物;ジオキサングリコールジ(メタ)アクリレート、3,6-ジオキサ-1,8-オクタンジオールジ(メタ)アクリレート、3,6,9-トリオキサウンデカン-1,11-ジオールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、9,9-ビス[4-(2-アクリロイルオキシエトキシ)フェニル]フルオレン、エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート等の低分子量(分子量1000未満)のエーテル含有(メタ)アクリル酸エステル化合物;トリス(3-ヒドロキシプロピル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート等の低分子量(分子量1000未満)のイソシアヌレート含有(メタ)アクリル酸エステル化合物;(メタ)アクリル変性ポリフェニレンエーテル樹脂等の高分子量(分子量1000以上)のアクリル酸エステル化合物等が挙げられる。(メタ)アクリル系ラジカル重合性化合物の市販品としては、例えば、新中村化学工業社製の「A-DOG」(ジオキサングリコールジアクリレート)、共栄社化学社製の「DCP-A」(トリシクロデカンジメタノールジアクリレート)、「DCP」(トリシクロデカンジメタノールジメタクリレート)、日本化薬株式会社の「KAYARAD R-684」(トリシクロデカンジメタノールジアクリレート)、「KAYARAD R-604」(ジオキサングリコールジアクリレート)、SABICイノベーティブプラスチックス社製の「SA-9000」、「SA-9000-111」(メタクリル変性ポリフェニレンエーテル)等が挙げられる。 The (meth)acrylic radically polymerizable compound is, for example, a compound having one or more, preferably two or more, acryloyl groups and/or methacryloyl groups. Examples of (meth)acrylic radically polymerizable compounds include cyclohexane-1,4-dimethanol di(meth)acrylate, cyclohexane-1,3-dimethanol di(meth)acrylate, tricyclodecane dimethanol di(meth)acrylate, neo Pentyl glycol di(meth)acrylate, 1,4-butanediol di(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, 1,8-octanediol di(meth)acrylate, 1,9-nonanediol Di(meth)acrylate, 1,10-decanediol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, trimethylolethane tri(meth)acrylate, glycerin tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate Low molecular weight (molecular weight less than 1000) aliphatic (meth)acrylic ester compounds such as dioxane glycol di(meth)acrylate, 3,6-dioxa-1,8-octanediol di(meth)acrylate, 3,6, 9-Trioxaundecane-1,11-diol di(meth)acrylate, polyethylene glycol di(meth)acrylate, polypropylene glycol di(meth)acrylate, 9,9-bis[4-(2-acryloyloxyethoxy)phenyl]fluorene , ethoxylated bisphenol A di(meth)acrylate, propoxylated bisphenol A di(meth)acrylate, and other low molecular weight (molecular weight less than 1000) ether-containing (meth)acrylic acid ester compounds; tris(3-hydroxypropyl)isocyanurate tris Low molecular weight (molecular weight less than 1000) isocyanurate-containing (meth)acrylic acid ester compounds such as (meth)acrylate, tris(2-hydroxyethyl)isocyanurate tri(meth)acrylate, and ethoxylated isocyanurate tri(meth)acrylate; Examples include high molecular weight (molecular weight 1000 or more) acrylic ester compounds such as (meth)acrylic modified polyphenylene ether resin. Commercially available (meth)acrylic radically polymerizable compounds include, for example, "A-DOG" (dioxane glycol diacrylate) manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. and "DCP-A" (tricyclodextrin diacrylate) manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd. Candimethanol diacrylate), "DCP" (tricyclodecane dimethanol dimethacrylate), Nippon Kayaku Co., Ltd.'s "KAYARAD R-684" (tricyclodecane dimethanol diacrylate), "KAYARAD R-604" (dioxane glycol) diacrylate), "SA-9000" and "SA-9000-111" (methacrylic modified polyphenylene ether) manufactured by SABIC Innovative Plastics.
スチレン系ラジカル重合性化合物は、例えば、芳香族炭素原子に直接結合した1個以上、好ましくは2個以上のビニル基を有する化合物である。スチレン系ラジカル重合性化合物としては、例えば、ジビニルベンゼン、2,4-ジビニルトルエン、2,6-ジビニルナフタレン、1,4-ジビニルナフタレン、4,4’-ジビニルビフェニル、1,2-ビス(4-ビニルフェニル)エタン、2,2-ビス(4-ビニルフェニル)プロパン、ビス(4-ビニルフェニル)エーテル等の低分子量(分子量1000未満)のスチレン系化合物;ビニルベンジル変性ポリフェニレンエーテル樹脂、スチレン-ジビニルベンゼン共重合体等の高分子量(分子量1000以上)のスチレン系化合物等が挙げられる。スチレン系ラジカル重合性化合物の市販品としては、例えば、日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ODV-XET(X03)」、「ODV-XET(X04)」、「ODV-XET(X05)」(スチレン-ジビニルベンゼン共重合体)、三菱ガス化学社製の「OPE-2St 1200」、「OPE-2St 2200」(ビニルベンジル変性ポリフェニレンエーテル樹脂)が挙げられる。 The styrenic radically polymerizable compound is, for example, a compound having one or more, preferably two or more, vinyl groups directly bonded to an aromatic carbon atom. Examples of styrenic radically polymerizable compounds include divinylbenzene, 2,4-divinyltoluene, 2,6-divinylnaphthalene, 1,4-divinylnaphthalene, 4,4'-divinylbiphenyl, 1,2-bis(4 -Low molecular weight (molecular weight less than 1000) styrenic compounds such as vinylphenyl)ethane, 2,2-bis(4-vinylphenyl)propane, and bis(4-vinylphenyl)ether; vinylbenzyl-modified polyphenylene ether resin, styrene- Examples include high molecular weight (molecular weight 1000 or more) styrene compounds such as divinylbenzene copolymers. Commercially available styrene-based radically polymerizable compounds include, for example, "ODV-XET (X03)," "ODV-XET (X04)," and "ODV-XET (X05)" manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials (styrene -divinylbenzene copolymer), "OPE-2St 1200" and "OPE-2St 2200" (vinylbenzyl-modified polyphenylene ether resin) manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.
アリル系ラジカル重合性化合物は、例えば、1個以上、好ましくは2個以上のアリル基を有する化合物である。アリル系ラジカル重合性化合物としては、例えば、ジフェン酸ジアリル、トリメリット酸トリアリル、フタル酸ジアリル、イソフタル酸ジアリル、テレフタル酸ジアリル、2,6-ナフタレンジカルボン酸ジアリル、2,3-ナフタレンカルボン酸ジアリル等の芳香族カルボン酸アリルエステル化合物;1,3,5-トリアリルイソシアヌレート、1,3-ジアリル-5-グリシジルイソシアヌレート等のイソシアヌル酸アリルエステル化合物;2,2-ビス[3-アリル-4-(グリシジルオキシ)フェニル]プロパン等のエポキシ含有芳香族アリル化合物;ビス[3-アリル-4-(3,4-ジヒドロ-2H-1,3-ベンゾオキサジン-3-イル)フェニル]メタン等のベンゾオキサジン含有芳香族アリル化合物;1,3,5-トリアリルエーテルベンゼン等のエーテル含有芳香族アリル化合物;ジアリルジフェニルシラン等のアリルシラン化合物等が挙げられる。アリル系ラジカル重合性化合物の市販品としては、例えば、日本化成社製の「TAIC」(1,3,5-トリアリルイソシアヌレート)、日触テクノファインケミカル社製の「DAD」(ジフェン酸ジアリル)、和光純薬工業社製の「TRIAM-705」(トリメリット酸トリアリル)、日本蒸留工業社製の商品名「DAND」(2,3-ナフタレンカルボン酸ジアリル)、四国化成工業社製「ALP-d」(ビス[3-アリル-4-(3,4-ジヒドロ-2H-1,3-ベンゾオキサジン-3-イル)フェニル]メタン)、日本化薬社製の「RE-810NM」(2,2-ビス[3-アリル-4-(グリシジルオキシ)フェニル]プロパン)、四国化成社製の「DA-MGIC」(1,3-ジアリル-5-グリシジルイソシアヌレート)等が挙げられる。 The allyl radically polymerizable compound is, for example, a compound having one or more allyl groups, preferably two or more allyl groups. Examples of allyl-based radically polymerizable compounds include diallyl diphenate, triallyl trimellitate, diallyl phthalate, diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, diallyl 2,6-naphthalenedicarboxylate, diallyl 2,3-naphthalenecarboxylate, etc. Aromatic carboxylic acid allyl ester compounds; Isocyanuric acid allyl ester compounds such as 1,3,5-triallylisocyanurate and 1,3-diallyl-5-glycidyl isocyanurate; 2,2-bis[3-allyl-4 Epoxy-containing aromatic allyl compounds such as -(glycidyloxy)phenyl]propane; bis[3-allyl-4-(3,4-dihydro-2H-1,3-benzoxazin-3-yl)phenyl]methane, etc. Examples thereof include benzoxazine-containing aromatic allyl compounds; ether-containing aromatic allyl compounds such as 1,3,5-triallyl ether benzene; and allylsilane compounds such as diallyldiphenylsilane. Commercially available allyl-based radically polymerizable compounds include, for example, "TAIC" (1,3,5-triallylisocyanurate) manufactured by Nippon Kasei Co., Ltd., and "DAD" (diallyl diphenate) manufactured by Nippon Kasei Co., Ltd. , “TRIAM-705” (triallyl trimellitate) manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., “DAND” (diallyl 2,3-naphthalenecarboxylate) manufactured by Nippon Distilling Industry Co., Ltd., “ALP-” manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd. d” (bis[3-allyl-4-(3,4-dihydro-2H-1,3-benzoxazin-3-yl)phenyl]methane), “RE-810NM” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (2, 2-bis[3-allyl-4-(glycidyloxy)phenyl]propane), "DA-MGIC" (1,3-diallyl-5-glycidyl isocyanurate) manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd., and the like.
マレイミド系ラジカル重合性化合物は、例えば、1個以上、好ましくは2個以上のマレイミド基を有する化合物である。マレイミド系ラジカル重合性化合物は、脂肪族アミン骨格を含む脂肪族マレイミド化合物であっても、芳香族アミン骨格を含む芳香族マレイミド化合物であってもよい。マレイミド系ラジカル重合性化合物の市販品としては、例えば、信越化学工業社製の「SLK-2600」、デザイナーモレキュールズ社製の「BMI-1500」、「BMI-1700」、「BMI-3000J」、「BMI-689」、「BMI-2500」(ダイマージアミン構造含有マレイミド化合物)、デザイナーモレキュールズ社製の「BMI-6100」(芳香族マレイミド化合物)、日本化薬社製の「MIR-5000-60T」、「MIR-3000-70MT」(ビフェニルアラルキル型マレイミド化合物)、ケイ・アイ化成社製の「BMI-70」、「BMI-80」、大和化成工業社製「BMI-2300」、「BMI-TMH」等が挙げられる。また、マレイミド系ラジカル重合性化合物として、発明協会公開技報公技番号2020-500211号に開示されているマレイミド樹脂(インダン環骨格含有マレイミド化合物)を用いてもよい。 The maleimide-based radically polymerizable compound is, for example, a compound having one or more, preferably two or more maleimide groups. The maleimide-based radically polymerizable compound may be an aliphatic maleimide compound containing an aliphatic amine skeleton or an aromatic maleimide compound containing an aromatic amine skeleton. Commercial products of maleimide-based radically polymerizable compounds include, for example, "SLK-2600" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and "BMI-1500", "BMI-1700", and "BMI-3000J" manufactured by Designer Molecules. , "BMI-689", "BMI-2500" (maleimide compound containing dimer diamine structure), "BMI-6100" (aromatic maleimide compound) manufactured by Designer Molecules, "MIR-5000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. -60T", "MIR-3000-70MT" (biphenylaralkyl maleimide compound), "BMI-70", "BMI-80" manufactured by K.I. Kasei Co., Ltd., "BMI-2300" manufactured by Daiwa Kasei Co., Ltd., " BMI-TMH" etc. Furthermore, as the maleimide-based radically polymerizable compound, a maleimide resin (maleimide compound containing an indane ring skeleton) disclosed in Japan Institute of Invention and Innovation Publication No. 2020-500211 may be used.
(E)ラジカル重合性化合物のエチレン性不飽和結合当量は、好ましくは20g/eq.~3000g/eq.、より好ましくは50g/eq.~2500g/eq.、さらに好ましくは70g/eq.~2000g/eq.、特に好ましくは90g/eq.~1500g/eq.である。エチレン性不飽和結合当量は、エチレン性不飽和結合1当量あたりのラジカル重合性化合物の質量を表す。 (E) The ethylenically unsaturated bond equivalent of the radically polymerizable compound is preferably 20 g/eq. ~3000g/eq. , more preferably 50g/eq. ~2500g/eq. , more preferably 70g/eq. ~2000g/eq. , particularly preferably 90 g/eq. ~1500g/eq. It is. The ethylenically unsaturated bond equivalent represents the mass of the radically polymerizable compound per equivalent of ethylenically unsaturated bond.
(E)ラジカル重合性化合物の重量平均分子量(Mw)は、好ましくは40000以下、より好ましくは10000以下、さらに好ましくは5000以下、特に好ましくは3000以下である。下限は、特に限定されるものではないが、例えば、150以上等としうる。 The weight average molecular weight (Mw) of the radically polymerizable compound (E) is preferably 40,000 or less, more preferably 10,000 or less, still more preferably 5,000 or less, particularly preferably 3,000 or less. The lower limit is not particularly limited, but may be, for example, 150 or more.
(E)ラジカル重合性化合物の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、0質量%であってもよく、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上であり、好ましくは20質量%以下、より好ましくは10質量%以下、特に好ましくは5質量%以下である。 (E) The content of the radically polymerizable compound may be 0% by mass, preferably 0.01% by mass or more, and more preferably 0.01% by mass or more, when the nonvolatile components in the resin composition are 100% by mass. The content is 5% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, preferably 20% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, particularly preferably 5% by mass or less.
<(F)硬化促進剤>
樹脂組成物は、上述した(A)~(D)成分に組み合わせて、任意の成分として、更に(F)硬化促進剤を含んでいてもよい。この(F)成分としての(F)硬化促進剤には、上述した(A)~(E)成分に該当するものは含めない。(F)硬化促進剤は、(A)エポキシ樹脂の硬化を促進させる硬化触媒としての機能を有する。
<(F) Curing accelerator>
The resin composition may further contain (F) a curing accelerator as an optional component in combination with the above-mentioned components (A) to (D). The (F) curing accelerator as the (F) component does not include those corresponding to the above-mentioned components (A) to (E). (F) The curing accelerator has a function as a curing catalyst that promotes curing of the epoxy resin (A).
(F)硬化促進剤としては、(A)エポキシ樹脂の効果を促進させる化合物を用いることができる。このような(F)硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、ウレア系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、金属系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤等が挙げられる。(F)硬化促進剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 As the curing accelerator (F), a compound that accelerates the effect of the epoxy resin (A) can be used. Examples of such curing accelerators (F) include phosphorus-based curing accelerators, urea-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, metal-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, etc. can be mentioned. (F) The curing accelerator may be used alone or in combination of two or more.
リン系硬化促進剤としては、例えば、テトラブチルホスホニウムブロマイド、テトラブチルホスホニウムクロライド、テトラブチルホスホニウムアセテート、テトラブチルホスホニウムデカノエート、テトラブチルホスホニウムラウレート、ビス(テトラブチルホスホニウム)ピロメリテート、テトラブチルホスホニウムハイドロジェンヘキサヒドロフタレート、テトラブチルホスホニウム2,6-ビス[(2-ヒドロキシ-5-メチルフェニル)メチル]-4-メチルフェノラート、ジ-tert-ブチルジメチルホスホニウムテトラフェニルボレート等の脂肪族ホスホニウム塩;メチルトリフェニルホスホニウムブロマイド、エチルトリフェニルホスホニウムブロマイド、プロピルトリフェニルホスホニウムブロマイド、ブチルトリフェニルホスホニウムブロマイド、ベンジルトリフェニルホスホニウムクロライド、テトラフェニルホスホニウムブロマイド、p-トリルトリフェニルホスホニウムテトラ-p-トリルボレート、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラフェニルホスホニウムテトラp-トリルボレート、トリフェニルエチルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリス(3-メチルフェニル)エチルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリス(2-メトキシフェニル)エチルホスホニウムテトラフェニルボレート、(4-メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等の芳香族ホスホニウム塩;トリフェニルホスフィン・トリフェニルボラン等の芳香族ホスフィン・ボラン複合体;トリフェニルホスフィン・p-ベンゾキノン付加反応物等の芳香族ホスフィン・キノン付加反応物;トリブチルホスフィン、トリ-tert-ブチルホスフィン、トリオクチルホスフィン、ジ-tert-ブチル(2-ブテニル)ホスフィン、ジ-tert-ブチル(3-メチル-2-ブテニル)ホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン等の脂肪族ホスフィン;ジブチルフェニルホスフィン、ジ-tert-ブチルフェニルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、エチルジフェニルホスフィン、ブチルジフェニルホスフィン、ジフェニルシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリ-o-トリルホスフィン、トリ-m-トリルホスフィン、トリ-p-トリルホスフィン、トリス(4-エチルフェニル)ホスフィン、トリス(4-プロピルフェニル)ホスフィン、トリス(4-イソプロピルフェニル)ホスフィン、トリス(4-ブチルフェニル)ホスフィン、トリス(4-tert-ブチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,4-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,5-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,6-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(3,5-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,4,6-トリメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,6-ジメチル-4-エトキシフェニル)ホスフィン、トリス(2-メトキシフェニル)ホスフィン、トリス(4-メトキシフェニル)ホスフィン、トリス(4-エトキシフェニル)ホスフィン、トリス(4-tert-ブトキシフェニル)ホスフィン、ジフェニル-2-ピリジルホスフィン、1,2-ビス(ジフェニルホスフィノ)エタン、1,3-ビス(ジフェニルホスフィノ)プロパン、1,4-ビス(ジフェニルホスフィノ)ブタン、1,2-ビス(ジフェニルホスフィノ)アセチレン、2,2’-ビス(ジフェニルホスフィノ)ジフェニルエーテル等の芳香族ホスフィン等が挙げられる。 Examples of the phosphorus curing accelerator include tetrabutylphosphonium bromide, tetrabutylphosphonium chloride, tetrabutylphosphonium acetate, tetrabutylphosphonium decanoate, tetrabutylphosphonium laurate, bis(tetrabutylphosphonium)pyromellitate, and tetrabutylphosphonium hydro Aliphatic phosphonium salts such as denhexahydrophthalate, tetrabutylphosphonium 2,6-bis[(2-hydroxy-5-methylphenyl)methyl]-4-methylphenolate, di-tert-butyldimethylphosphonium tetraphenylborate; Methyltriphenylphosphonium bromide, ethyltriphenylphosphonium bromide, propyltriphenylphosphonium bromide, butyltriphenylphosphonium bromide, benzyltriphenylphosphonium chloride, tetraphenylphosphonium bromide, p-tolyltriphenylphosphonium tetra-p-tolylborate, tetraphenyl Phosphonium tetraphenylborate, tetraphenylphosphonium tetrap-tolylborate, triphenylethylphosphonium tetraphenylborate, tris(3-methylphenyl)ethylphosphonium tetraphenylborate, tris(2-methoxyphenyl)ethylphosphonium tetraphenylborate, (4 - Aromatic phosphonium salts such as methylphenyl)triphenylphosphonium thiocyanate, tetraphenylphosphonium thiocyanate, and butyltriphenylphosphonium thiocyanate; Aromatic phosphine/borane complexes such as triphenylphosphine/triphenylborane; triphenylphosphine/p-benzoquinone Aromatic phosphine/quinone addition reaction products such as addition reaction products; tributylphosphine, tri-tert-butylphosphine, trioctylphosphine, di-tert-butyl (2-butenyl) phosphine, di-tert-butyl (3-methyl- Aliphatic phosphine such as 2-butenyl)phosphine, tricyclohexylphosphine; dibutylphenylphosphine, di-tert-butylphenylphosphine, methyldiphenylphosphine, ethyldiphenylphosphine, butyldiphenylphosphine, diphenylcyclohexylphosphine, triphenylphosphine, tri-o -Tolylphosphine, tri-m-tolylphosphine, tri-p-tolylphosphine, tris(4-ethylphenyl)phosphine, tris(4-propylphenyl)phosphine, tris(4-isopropylphenyl)phosphine, tris(4-butyl) phenyl)phosphine, tris(4-tert-butylphenyl)phosphine, tris(2,4-dimethylphenyl)phosphine, tris(2,5-dimethylphenyl)phosphine, tris(2,6-dimethylphenyl)phosphine, tris( 3,5-dimethylphenyl)phosphine, tris(2,4,6-trimethylphenyl)phosphine, tris(2,6-dimethyl-4-ethoxyphenyl)phosphine, tris(2-methoxyphenyl)phosphine, tris(4- methoxyphenyl)phosphine, tris(4-ethoxyphenyl)phosphine, tris(4-tert-butoxyphenyl)phosphine, diphenyl-2-pyridylphosphine, 1,2-bis(diphenylphosphino)ethane, 1,3-bis( Examples include aromatic phosphines such as diphenylphosphino)propane, 1,4-bis(diphenylphosphino)butane, 1,2-bis(diphenylphosphino)acetylene, and 2,2'-bis(diphenylphosphino)diphenyl ether. It will be done.
ウレア系硬化促進剤としては、例えば、1,1-ジメチル尿素;1,1,3-トリメチル尿素、3-エチル-1,1-ジメチル尿素、3-シクロヘキシル-1,1-ジメチル尿素、3-シクロオクチル-1,1-ジメチル尿素等の脂肪族ジメチルウレア;3-フェニル-1,1-ジメチル尿素、3-(4-クロロフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(3,4-ジクロロフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(3-クロロ-4-メチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(2-メチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-メチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(3,4-ジメチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-イソプロピルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-メトキシフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-ニトロフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-[4-(4-メトキシフェノキシ)フェニル]-1,1-ジメチル尿素、3-[4-(4-クロロフェノキシ)フェニル]-1,1-ジメチル尿素、3-[3-(トリフルオロメチル)フェニル]-1,1-ジメチル尿素、N,N-(1,4-フェニレン)ビス(N’,N’-ジメチル尿素)、N,N-(4-メチル-1,3-フェニレン)ビス(N’,N’-ジメチル尿素)〔トルエンビスジメチルウレア〕等の芳香族ジメチルウレア等が挙げられる。 Examples of the urea-based curing accelerator include 1,1-dimethylurea; 1,1,3-trimethylurea, 3-ethyl-1,1-dimethylurea, 3-cyclohexyl-1,1-dimethylurea, 3- Aliphatic dimethylurea such as cyclooctyl-1,1-dimethylurea; 3-phenyl-1,1-dimethylurea, 3-(4-chlorophenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(3,4-dichlorophenyl) )-1,1-dimethylurea, 3-(3-chloro-4-methylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(2-methylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(4- methylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(3,4-dimethylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(4-isopropylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(4- methoxyphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(4-nitrophenyl)-1,1-dimethylurea, 3-[4-(4-methoxyphenoxy)phenyl]-1,1-dimethylurea, 3- [4-(4-chlorophenoxy)phenyl]-1,1-dimethylurea, 3-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-1,1-dimethylurea, N,N-(1,4-phenylene) Aromatic dimethylurea such as bis(N',N'-dimethylurea), N,N-(4-methyl-1,3-phenylene)bis(N',N'-dimethylurea) [toluene bisdimethylurea] etc.
グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1-メチルグアニジン、1-エチルグアニジン、1-シクロヘキシルグアニジン、1-フェニルグアニジン、1-(o-トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、1-メチルビグアニド、1-エチルビグアニド、1-n-ブチルビグアニド、1-n-オクタデシルビグアニド、1,1-ジメチルビグアニド、1,1-ジエチルビグアニド、1-シクロヘキシルビグアニド、1-アリルビグアニド、1-フェニルビグアニド、1-(o-トリル)ビグアニド等が挙げられる。 Examples of the guanidine-based curing accelerator include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1-(o-tolyl)guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, Tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo[4.4.0] Dec-5-ene, 1-methylbiguanide, 1-ethylbiguanide, 1-n-butylbiguanide, 1-n-octadecylbiguanide, 1,1-dimethylbiguanide, 1,1-diethylbiguanide, 1-cyclohexylbiguanide, 1 -allyl biguanide, 1-phenyl biguanide, 1-(o-tolyl) biguanide and the like.
イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2-メチルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3-ジヒドロ-1H-ピロロ[1,2-a]ベンズイミダゾール、1-ドデシル-2-メチル-3-ベンジルイミダゾリウムクロライド、2-メチルイミダゾリン、2-フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられる。イミダゾール系硬化促進剤の市販品としては、例えば、四国化成工業社製の「1B2PZ」、「2E4MZ」、「2MZA-PW」、「2MZ-OK」、「2MA-OK」、「2MA-OK-PW」、「2PHZ」、「2PHZ-PW」、「Cl1Z」、「Cl1Z-CN」、「Cl1Z-CNS」、「C11Z-A」;三菱ケミカル社製の「P200-H50」等が挙げられる。 Examples of imidazole-based curing accelerators include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl- 2-Phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecyl imidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4- Diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2- Phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo[1,2-a]benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline , imidazole compounds such as 2-phenylimidazoline, and adducts of imidazole compounds and epoxy resins. Commercially available imidazole curing accelerators include, for example, "1B2PZ", "2E4MZ", "2MZA-PW", "2MZ-OK", "2MA-OK", and "2MA-OK-" manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd. PW", "2PHZ", "2PHZ-PW", "Cl1Z", "Cl1Z-CN", "Cl1Z-CNS", "C11Z-A"; "P200-H50" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, and the like.
金属系硬化促進剤としては、例えば、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体の具体例としては、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体、銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅錯体、亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体、鉄(III)アセチルアセトナート等の有機鉄錯体、ニッケル(II)アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体、マンガン(II)アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体等が挙げられる。有機金属塩としては、例えば、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛等が挙げられる。 Examples of the metal hardening accelerator include organometallic complexes or organometallic salts of metals such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, and tin. Specific examples of organometallic complexes include organic cobalt complexes such as cobalt (II) acetylacetonate and cobalt (III) acetylacetonate, organic copper complexes such as copper (II) acetylacetonate, and zinc (II) acetylacetonate. Examples include organic zinc complexes such as , organic iron complexes such as iron (III) acetylacetonate, organic nickel complexes such as nickel (II) acetylacetonate, and organic manganese complexes such as manganese (II) acetylacetonate. Examples of the organic metal salt include zinc octylate, tin octylate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate, and zinc stearate.
アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、4-ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,-トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8-ジアザビシクロ(5,4,0)-ウンデセン等が挙げられる。アミン系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、味の素ファインテクノ社製の「MY-25」等が挙げられる。 Examples of the amine curing accelerator include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6-tris(dimethylaminomethyl)phenol, and 1,8-diazabicyclo. Examples include (5,4,0)-undecene and the like. As the amine curing accelerator, commercially available products may be used, such as "MY-25" manufactured by Ajinomoto Fine Techno.
(F)硬化促進剤の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.05質量%以上、さらに好ましくは0.1質量%以上であり、好ましくは1質量%以下、より好ましくは0.5質量%以下、さらに好ましくは0.3質量%以下である。 (F) The content of the curing accelerator is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more, and even more preferably 0.01% by mass or more, when the nonvolatile components in the resin composition are 100% by mass. The content is 1% by mass or more, preferably 1% by mass or less, more preferably 0.5% by mass or less, even more preferably 0.3% by mass or less.
<(G)熱可塑性樹脂>
樹脂組成物は、上述した(A)~(C)成分に組み合わせて、任意の成分として、更に(G)熱可塑性樹脂(但し、(C)成分に該当するものは除く。)を含んでいてもよい。この(G)成分としての(G)熱可塑性樹脂には、上述した(A)~(F)成分に該当するものは含めない。
<(G) Thermoplastic resin>
The resin composition further contains (G) a thermoplastic resin (excluding those corresponding to component (C)) as an optional component in combination with the above-mentioned components (A) to (C). Good too. The thermoplastic resin (G) as the component (G) does not include those corresponding to the components (A) to (F) described above.
(G)熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂等が挙げられる。(G)熱可塑性樹脂は、1種類単独で用いてもよく、又は2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 (G) Thermoplastic resins include, for example, phenoxy resins, polyimide resins, polyvinyl acetal resins, polyolefin resins, polybutadiene resins, polyamideimide resins, polyetherimide resins, polysulfone resins, polyethersulfone resins, polyphenylene ether resins, and polycarbonate resins. , polyetheretherketone resin, polyester resin, and the like. (G) The thermoplastic resin may be used alone or in combination of two or more.
フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種類以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱ケミカル社製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「FX280」及び「FX293」;三菱ケミカル社製の「YL7500BH30」、「YX6954BH30」、「YX7553」、「YX7553BH30」、「YL7769BH30」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」、「YL7482」及び「YL7891BH30」;等が挙げられる。 Examples of phenoxy resins include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenolacetophenone skeleton, novolac skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, and terpene. Examples include phenoxy resins having one or more types of skeletons selected from the group consisting of a skeleton and a trimethylcyclohexane skeleton. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group. Specific examples of phenoxy resins include "1256" and "4250" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (both phenoxy resins containing bisphenol A skeleton); "YX8100" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (phenoxy resin containing bisphenol S skeleton); "YX6954" (phenoxy resin containing bisphenolacetophenone skeleton) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.; "FX280" and "FX293" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical; "YL7500BH30", "YX6954BH30", "YX7553", "YX7553BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, Examples include "YL7769BH30," "YL6794," "YL7213," "YL7290," "YL7482," and "YL7891BH30."
ポリイミド樹脂の具体例としては、信越化学工業社製「SLK-6100」、新日本理化社製の「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」等が挙げられる。 Specific examples of polyimide resins include "SLK-6100" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "Ricacoat SN20" and "Ricacoat PN20" manufactured by Shinnihon Rika Co., Ltd., and the like.
ポリビニルアセタール樹脂としては、例えば、ポリビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂が挙げられ、ポリビニルブチラール樹脂が好ましい。ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、電気化学工業社製の「電化ブチラール4000-2」、「電化ブチラール5000-A」、「電化ブチラール6000-C」、「電化ブチラール6000-EP」;積水化学工業社製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ(例えばBX-5Z)、KSシリーズ(例えばKS-1)、BLシリーズ、BMシリーズ;等が挙げられる。 Examples of the polyvinyl acetal resin include polyvinyl formal resin and polyvinyl butyral resin, with polyvinyl butyral resin being preferred. Specific examples of polyvinyl acetal resin include Denka Butyral 4000-2, Denka Butyral 5000-A, Denka Butyral 6000-C, and Denka Butyral 6000-EP manufactured by Denki Kagaku Kogyo; Sekisui Chemical Co., Ltd. Examples include the S-LEC BH series, BX series (for example, BX-5Z), KS series (for example, KS-1), BL series, and BM series manufactured by the company.
ポリオレフィン樹脂としては、例えば低密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、エチレン-酢酸ビニル共重合体、エチレン-アクリル酸エチル共重合体、エチレン-アクリル酸メチル共重合体等のエチレン系共重合樹脂;ポリプロピレン、エチレン-プロピレンブロック共重合体等のポリオレフィン系重合体等が挙げられる。 Examples of polyolefin resins include ethylene copolymers such as low density polyethylene, ultra-low density polyethylene, high density polyethylene, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-ethyl acrylate copolymer, and ethylene-methyl acrylate copolymer. Resin; Examples include polyolefin polymers such as polypropylene and ethylene-propylene block copolymers.
ポリブタジエン樹脂としては、例えば、水素化ポリブタジエン骨格含有樹脂、ヒドロキシ基含有ポリブタジエン樹脂、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン樹脂、カルボキシ基含有ポリブタジエン樹脂、酸無水物基含有ポリブタジエン樹脂、エポキシ基含有ポリブタジエン樹脂、イソシアネート基含有ポリブタジエン樹脂、ウレタン基含有ポリブタジエン樹脂、ポリフェニレンエーテル-ポリブタジエン樹脂等が挙げられる。 Examples of polybutadiene resins include hydrogenated polybutadiene skeleton-containing resins, hydroxy group-containing polybutadiene resins, phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene resins, carboxy group-containing polybutadiene resins, acid anhydride group-containing polybutadiene resins, epoxy group-containing polybutadiene resins, and isocyanate group-containing polybutadiene resins. Examples include polybutadiene resin, urethane group-containing polybutadiene resin, polyphenylene ether-polybutadiene resin, and the like.
ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡社製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成社製の「KS9100」、「KS9300」(ポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド)等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。 Specific examples of the polyamide-imide resin include "Viromax HR11NN" and "Viromax HR16NN" manufactured by Toyobo. Specific examples of polyamide-imide resins include modified polyamide-imides such as "KS9100" and "KS9300" (polysiloxane skeleton-containing polyamide-imide) manufactured by Hitachi Chemical.
ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学社製の「PES5003P」等が挙げられる。 A specific example of the polyether sulfone resin includes "PES5003P" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.
ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ社製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。 Specific examples of the polysulfone resin include polysulfone "P1700" and "P3500" manufactured by Solvay Advanced Polymers.
ポリフェニレンエーテル樹脂の具体例としては、SABIC製「NORYL SA90」等が挙げられる。ポリエーテルイミド樹脂の具体例としては、GE社製の「ウルテム」等が挙げられる。 A specific example of the polyphenylene ether resin includes "NORYL SA90" manufactured by SABIC. A specific example of the polyetherimide resin includes "Ultem" manufactured by GE.
ポリカーボネート樹脂としては、例えば、ヒドロキシ基含有カーボネート樹脂、フェノール性水酸基含有カーボネート樹脂、カルボキシ基含有カーボネート樹脂、酸無水物基含有カーボネート樹脂、イソシアネート基含有カーボネート樹脂、ウレタン基含有カーボネート樹脂等が挙げられる。ポリカーボネート樹脂の具体例としては、三菱瓦斯化学社製の「FPC0220」、旭化成ケミカルズ社製の「T6002」、「T6001」(ポリカーボネートジオール)、クラレ社製の「C-1090」、「C-2090」、「C-3090」(ポリカーボネートジオール)等が挙げられる。ポリエーテルエーテルケトン樹脂の具体例としては、住友化学社製の「スミプロイK」等が挙げられる。 Examples of the polycarbonate resin include hydroxy group-containing carbonate resins, phenolic hydroxyl group-containing carbonate resins, carboxy group-containing carbonate resins, acid anhydride group-containing carbonate resins, isocyanate group-containing carbonate resins, urethane group-containing carbonate resins, and the like. Specific examples of polycarbonate resins include "FPC0220" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., "T6002" and "T6001" (polycarbonate diol) manufactured by Asahi Kasei Chemicals, and "C-1090" and "C-2090" manufactured by Kuraray Corporation. , "C-3090" (polycarbonate diol), and the like. Specific examples of polyetheretherketone resins include "Sumiploy K" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., and the like.
ポリエステル樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリブチレンナフタレート樹脂、ポリトリメチレンテレフタレート樹脂、ポリトリメチレンナフタレート樹脂、ポリシクロヘキサンジメチルテレフタレート樹脂等が挙げられる。 Examples of the polyester resin include polyethylene terephthalate resin, polyethylene naphthalate resin, polybutylene terephthalate resin, polybutylene naphthalate resin, polytrimethylene terephthalate resin, polytrimethylene naphthalate resin, polycyclohexane dimethyl terephthalate resin, and the like.
(G)熱可塑性樹脂の重量平均分子量(Mw)は、好ましくは5,000より大きく、より好ましくは8,000以上、さらに好ましくは10,000以上、特に好ましくは20,000以上であり、好ましくは100,000以下、より好ましくは70,000以下、さらに好ましくは60,000以下、特に好ましくは50,000以下である。 The weight average molecular weight (Mw) of the thermoplastic resin (G) is preferably larger than 5,000, more preferably 8,000 or more, even more preferably 10,000 or more, particularly preferably 20,000 or more, and preferably is 100,000 or less, more preferably 70,000 or less, even more preferably 60,000 or less, particularly preferably 50,000 or less.
(G)熱可塑性樹脂の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、0質量%であってもよく、0質量%より大きくてもよく、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.10質量%以上、より好ましくは0.2質量%以上であり、好ましくは5質量%以下、より好ましくは3質量%以下、特に好ましくは2質量%以下である。 (G) The content of the thermoplastic resin may be 0% by mass or greater than 0% by mass, preferably 0.01% by mass when the nonvolatile components in the resin composition are 100% by mass. % or more, more preferably 0.10% by mass or more, more preferably 0.2% by mass or more, preferably 5% by mass or less, more preferably 3% by mass or less, particularly preferably 2% by mass or less.
<(H)任意の添加剤>
樹脂組成物は、上述した(A)~(C)成分に組み合わせて、更に任意の不揮発成分として、(H)任意の添加剤を含んでいてもよい。(H)任意の添加剤としては、例えば、重合開始剤;有機銅化合物、有機亜鉛化合物、有機コバルト化合物等の有機金属化合物;フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、アイオディングリーン、ジアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック等の着色剤;ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、フェノチアジン等の重合禁止剤;シリコーン系レベリング剤、アクリルポリマー系レベリング剤等のレベリング剤;ベントン、モンモリロナイト等の増粘剤;シリコーン系消泡剤、アクリル系消泡剤、フッ素系消泡剤、ビニル樹脂系消泡剤等の消泡剤;ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤等の紫外線吸収剤;尿素シラン等の接着性向上剤;トリアゾール系密着性付与剤、テトラゾール系密着性付与剤、トリアジン系密着性付与剤等の密着性付与剤;ヒンダードフェノール系酸化防止剤等の酸化防止剤;スチルベン誘導体等の蛍光増白剤;フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤;リン系難燃剤(例えばリン酸エステル化合物、ホスファゼン化合物、ホスフィン酸化合物、赤リン)、窒素系難燃剤(例えば硫酸メラミン)、ハロゲン系難燃剤、無機系難燃剤(例えば三酸化アンチモン)等の難燃剤;リン酸エステル系分散剤、ポリオキシアルキレン系分散剤、アセチレン系分散剤、シリコーン系分散剤、アニオン性分散剤、カチオン性分散剤等の分散剤;ボレート系安定剤、チタネート系安定剤、アルミネート系安定剤、ジルコネート系安定剤、イソシアネート系安定剤、カルボン酸系安定剤、カルボン酸無水物系安定剤等の安定剤;第三級アミン類等の光重合開始助剤;ピラリゾン類、アントラセン類、クマリン類、キサントン類、チオキサントン類等の光増感剤;が挙げられる。(H)任意の添加剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<(H) Optional additive>
In combination with the above-mentioned components (A) to (C), the resin composition may further contain (H) any additive as any non-volatile component. (H) Optional additives include, for example, polymerization initiators; organic metal compounds such as organic copper compounds, organic zinc compounds, and organic cobalt compounds; phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodine green, diazo yellow, crystal violet, oxidation Coloring agents such as titanium and carbon black; Polymerization inhibitors such as hydroquinone, catechol, pyrogallol, and phenothiazine; Leveling agents such as silicone leveling agents and acrylic polymer leveling agents; Thickeners such as bentone and montmorillonite; Silicone antifoaming agents Antifoaming agents such as acrylic antifoaming agents, fluorine antifoaming agents, and vinyl resin antifoaming agents; Ultraviolet absorbers such as benzotriazole ultraviolet absorbers; Adhesion improvers such as urea silane; Triazole adhesion Adhesion-imparting agents such as adhesion-imparting agents, tetrazole-based adhesion-imparting agents, and triazine-based adhesion-imparting agents; Antioxidants such as hindered phenol-based antioxidants; Fluorescent brighteners such as stilbene derivatives; Fluorine-based surfactants Surfactants such as silicone surfactants; phosphorus flame retardants (e.g. phosphoric acid ester compounds, phosphazene compounds, phosphinic acid compounds, red phosphorus), nitrogen flame retardants (e.g. melamine sulfate), halogen flame retardants, Flame retardants such as inorganic flame retardants (e.g. antimony trioxide); phosphate ester dispersants, polyoxyalkylene dispersants, acetylene dispersants, silicone dispersants, anionic dispersants, cationic dispersants, etc. Dispersants; Stabilizers such as borate stabilizers, titanate stabilizers, aluminate stabilizers, zirconate stabilizers, isocyanate stabilizers, carboxylic acid stabilizers, carboxylic acid anhydride stabilizers; tertiary Examples include photopolymerization initiation aids such as amines; photosensitizers such as pyrarizones, anthracenes, coumarins, xanthones, and thioxanthones. (H) The optional additives may be used alone or in combination of two or more.
本発明の樹脂組成物の調製方法は、特に限定されるものではなく、例えば、配合成分を、必要により溶媒等を添加し、回転ミキサーなどを用いて混合・分散する方法などが挙げられる。 The method for preparing the resin composition of the present invention is not particularly limited, and includes, for example, a method in which the ingredients are mixed and dispersed using a rotary mixer or the like, adding a solvent or the like if necessary.
<樹脂組成物の物性、用途>
樹脂組成物は(A)~(C)成分を組み合わせて含むので、クラックの発生が抑制され、さらには、通常、誘電正接及びめっき密着性に優れた硬化物を得ることができる。
<Physical properties and uses of resin composition>
Since the resin composition contains a combination of components (A) to (C), the occurrence of cracks is suppressed, and furthermore, it is usually possible to obtain a cured product with excellent dielectric loss tangent and plating adhesion.
樹脂組成物を130℃、30分間、次いで180℃で30分間熱硬化させた硬化物は、クラックの発生が抑制されるという特性を示す。よって、前記の硬化物は、クラック耐性に優れる絶縁層をもたらす。具体的に、回路導体を両面に有する内層基板に樹脂組成物をラミネートし樹脂組成物層を得る。樹脂組成物層がラミネートされた内層基板を、130℃で30分間、次いで180℃で30分熱硬化させることで硬化基板を得る。硬化基板にデスミア処理を実施しサンプルを得、サンプルのデスミア処理後の絶縁層表面を観察する。100個のサンプルのうち、クラックが発生している割合は、好ましくは50%以上、より好ましくは60%以上、さらに好ましくは70%以上、80%以上である。上限は特に制限はないが、100%以下、95%以下等とし得る。クラックの測定の詳細は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 A cured product obtained by thermally curing the resin composition at 130° C. for 30 minutes and then at 180° C. for 30 minutes exhibits the characteristic that the generation of cracks is suppressed. Therefore, the cured product provides an insulating layer with excellent crack resistance. Specifically, a resin composition layer is obtained by laminating a resin composition on an inner layer substrate having circuit conductors on both sides. A cured substrate is obtained by thermally curing the inner layer substrate on which the resin composition layer is laminated at 130° C. for 30 minutes and then at 180° C. for 30 minutes. A sample is obtained by desmearing a cured substrate, and the surface of the insulating layer of the sample after desmearing is observed. Out of 100 samples, the percentage of cracks occurring is preferably 50% or more, more preferably 60% or more, even more preferably 70% or more, and 80% or more. The upper limit is not particularly limited, but may be 100% or less, 95% or less, etc. The cracks can be measured in detail according to the method described in the Examples below.
樹脂組成物を130℃、30分間、次いで180℃で30分間熱硬化させた硬化物は、通常、めっきとの間の密着性に優れるという特性を示す。よって、前記硬化物は、めっき導体層との間の密着性に優れる絶縁層をもたらす。めっき密着性(ピール強度)は、好ましくは0.30kgf/cm以上、より好ましくは0.35kgf/cm以上、さらに好ましくは0.40kgf/cm以上である。めっき密着性の上限値は、10kgf/cm以下等とし得る。めっき密着性の測定は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 A cured product obtained by thermally curing a resin composition at 130° C. for 30 minutes and then at 180° C. for 30 minutes usually exhibits excellent adhesion to the plating. Therefore, the cured product provides an insulating layer with excellent adhesion to the plated conductor layer. Plating adhesion (peel strength) is preferably 0.30 kgf/cm or more, more preferably 0.35 kgf/cm or more, still more preferably 0.40 kgf/cm or more. The upper limit of plating adhesion may be 10 kgf/cm or less. Plating adhesion can be measured according to the method described in the Examples below.
樹脂組成物を200℃で90分間熱硬化させた硬化物は、通常、誘電正接が低いという特性を示す。よって、前記の硬化物は、誘電正接が低い絶縁層をもたらす。誘電正接は、好ましくは0.004以下、より好ましくは0.0035以下、さらに好ましくは0.003以下である。一方、誘電正接の下限値は0.0001以上等とし得る。誘電正接の測定は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 A cured product obtained by thermally curing a resin composition at 200° C. for 90 minutes usually exhibits a low dielectric loss tangent. Therefore, the cured product provides an insulating layer with a low dielectric loss tangent. The dielectric loss tangent is preferably 0.004 or less, more preferably 0.0035 or less, and still more preferably 0.003 or less. On the other hand, the lower limit of the dielectric loss tangent may be 0.0001 or more. The dielectric loss tangent can be measured according to the method described in Examples described later.
樹脂組成物は、クラック耐性に優れた硬化物を得ることができる。したがって、本発明の樹脂組成物は、絶縁用途の樹脂組成物として好適に使用することができる。具体的には、絶縁層上に形成される導体層(再配線層を含む)を形成するための当該絶縁層を形成するための樹脂組成物(導体層を形成するための絶縁層形成用樹脂組成物)として好適に使用することができる。 A cured product having excellent crack resistance can be obtained from the resin composition. Therefore, the resin composition of the present invention can be suitably used as a resin composition for insulation purposes. Specifically, a resin composition for forming an insulating layer (including a rewiring layer) formed on an insulating layer (a resin for forming an insulating layer for forming a conductor layer) is used. composition).
また、後述する多層プリント配線板において、多層プリント配線板の絶縁層を形成するための樹脂組成物(多層プリント配線板の絶縁層形成用樹脂組成物)、プリント配線板の層間絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の層間絶縁層形成用樹脂組成物)として好適に使用することができる。 In addition, in the multilayer printed wiring board described below, a resin composition for forming an insulating layer of a multilayer printed wiring board (resin composition for forming an insulating layer of a multilayer printed wiring board), and an interlayer insulating layer of a printed wiring board are used. It can be suitably used as a resin composition for forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board.
また、例えば、以下の(1)~(6)工程を経て半導体チップパッケージが製造される場合、本発明の樹脂組成物は、再配線層を形成するための絶縁層としての再配線形成層用の樹脂組成物(再配線形成層形成用の樹脂組成物)、及び半導体チップを封止するための樹脂組成物(半導体チップ封止用の樹脂組成物)としても好適に使用することができる。半導体チップパッケージが製造される際、封止層上に更に再配線層を形成してもよい。
(1)基材に仮固定フィルムを積層する工程、
(2)半導体チップを、仮固定フィルム上に仮固定する工程、
(3)半導体チップ上に封止層を形成する工程、
(4)基材及び仮固定フィルムを半導体チップから剥離する工程、
(5)半導体チップの基材及び仮固定フィルムを剥離した面に、絶縁層としての再配線形成層を形成する工程、及び
(6)再配線形成層上に、導体層としての再配線層を形成する工程
Further, for example, when a semiconductor chip package is manufactured through the following steps (1) to (6), the resin composition of the present invention can be used as a rewiring formation layer as an insulating layer for forming a rewiring layer. It can also be suitably used as a resin composition (resin composition for forming a rewiring formation layer) and a resin composition for sealing a semiconductor chip (resin composition for semiconductor chip sealing). When the semiconductor chip package is manufactured, a rewiring layer may be further formed on the sealing layer.
(1) The step of laminating a temporary fixing film on the base material,
(2) Temporarily fixing the semiconductor chip on the temporary fixing film,
(3) forming a sealing layer on the semiconductor chip;
(4) Peeling the base material and temporary fixing film from the semiconductor chip,
(5) Forming a rewiring layer as an insulating layer on the surface of the semiconductor chip from which the base material and the temporary fixing film have been peeled; and (6) Forming a rewiring layer as a conductive layer on the rewiring layer. Forming process
[樹脂シート]
本発明の樹脂シートは、支持体と、該支持体上に設けられた、本発明の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層を含む。
[Resin sheet]
The resin sheet of the present invention includes a support and a resin composition layer formed of the resin composition of the present invention provided on the support.
樹脂組成物層の厚さは、プリント配線板の薄型化、及び当該樹脂組成物の硬化物が薄膜であっても絶縁性に優れた硬化物を提供できるという観点から、好ましくは50μm以下、より好ましくは40μm以下、さらに好ましくは30μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、通常、5μm以上等とし得る。 The thickness of the resin composition layer is preferably 50 μm or less, more preferably 50 μm or less, from the viewpoint of making the printed wiring board thinner and providing a cured product with excellent insulation even if the cured product of the resin composition is a thin film. Preferably it is 40 μm or less, more preferably 30 μm or less. The lower limit of the thickness of the resin composition layer is not particularly limited, but can usually be 5 μm or more.
支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。 Examples of the support include a film made of a plastic material, a metal foil, and a release paper, and a film made of a plastic material and a metal foil are preferred.
支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミド等が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。 When using a film made of a plastic material as a support, examples of the plastic material include polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PET") and polyethylene naphthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PEN"). ), polyesters such as polycarbonate (hereinafter sometimes abbreviated as "PC"), acrylics such as polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic polyolefins, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether Examples include ketones and polyimides. Among these, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferred, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferred.
支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。 When using metal foil as the support, examples of the metal foil include copper foil, aluminum foil, etc., with copper foil being preferred. As the copper foil, a foil made of a single metal such as copper may be used, or a foil made of an alloy of copper and other metals (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.) may be used. May be used.
支持体は、樹脂組成物層と接合する面にマット処理、コロナ処理、帯電防止処理を施してあってもよい。 The surface of the support to be bonded to the resin composition layer may be subjected to matte treatment, corona treatment, or antistatic treatment.
また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型層付き支持体は、市販品を用いてもよく、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、リンテック社製の「SK-1」、「AL-5」、「AL-7」、東レ社製の「ルミラーT60」、帝人社製の「ピューレックス」、ユニチカ社製の「ユニピール」等が挙げられる。 Further, as the support, a support with a release layer having a release layer on the surface to be bonded to the resin composition layer may be used. Examples of the release agent used in the release layer of the support with a release layer include one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, urethane resins, and silicone resins. . The support with a release layer may be a commercially available product, such as "SK-1" manufactured by Lintec Corporation, which is a PET film having a release layer containing an alkyd resin mold release agent as a main component. Examples include "AL-5", "AL-7", "Lumirror T60" manufactured by Toray Industries, "Purex" manufactured by Teijin, and "Unipeel" manufactured by Unitika.
支持体の厚みとしては、特に限定されないが、5μm~75μmの範囲が好ましく、10μm~60μmの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。 The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, more preferably in the range of 10 μm to 60 μm. In addition, when using the support body with a mold release layer, it is preferable that the thickness of the whole support body with a mold release layer is in the said range.
一実施形態において、樹脂シートは、さらに必要に応じて、その他の層を含んでいてもよい。斯かるその他の層としては、例えば、樹脂組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)に設けられた、支持体に準じた保護フィルム等が挙げられる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、1μm~40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを抑制することができる。 In one embodiment, the resin sheet may further include other layers as necessary. Examples of such other layers include, for example, a protective film similar to the support provided on the surface of the resin composition layer that is not bonded to the support (i.e., the surface opposite to the support). It will be done. The thickness of the protective film is not particularly limited, but is, for example, 1 μm to 40 μm. By laminating the protective film, adhesion of dust and the like to the surface of the resin composition layer and scratches can be suppressed.
樹脂シートは、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーター等を用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。 For the resin sheet, for example, a resin varnish is prepared by dissolving a resin composition in an organic solvent, and this resin varnish is applied onto a support using a die coater or the like, and further dried to form a resin composition layer. It can be manufactured by
有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)及びシクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類;セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類;トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN-メチルピロリドン等のアミド系溶剤等を挙げることができる。有機溶剤は1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 Examples of organic solvents include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK), and cyclohexanone; acetate esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and carbitol acetate; cellosolve and butyl carbitol, etc. carbitols; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; and amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc) and N-methylpyrrolidone. One type of organic solvent may be used alone, or two or more types may be used in combination.
乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施してよい。乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層中の有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。樹脂ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%~60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを用いる場合、50℃~150℃で3分間~10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。 Drying may be performed by a known method such as heating or blowing hot air. Although drying conditions are not particularly limited, drying is performed so that the content of organic solvent in the resin composition layer is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Although it varies depending on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when using a resin varnish containing 30% to 60% by mass of organic solvent, the resin composition can be adjusted by drying at 50°C to 150°C for 3 to 10 minutes. A material layer can be formed.
樹脂シートは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。樹脂シートが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。 The resin sheet can be stored by winding it up into a roll. When the resin sheet has a protective film, it can be used by peeling off the protective film.
[プリント配線板]
本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む。
[Printed wiring board]
The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer formed of a cured product of the resin composition of the present invention.
プリント配線板は、例えば、上述の樹脂シートを用いて、下記(I)及び(II)の工程を含む方法により製造することができる。
(I)内層基板上に、樹脂シートの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程
(II)樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する工程
A printed wiring board can be manufactured, for example, using the above-mentioned resin sheet by a method including the following steps (I) and (II).
(I) Step of laminating the resin composition layer of the resin sheet on the inner layer substrate so as to bond with the inner layer substrate. (II) Step of thermosetting the resin composition layer to form an insulating layer.
工程(I)で用いる「内層基板」とは、プリント配線板の基板となる部材であって、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。また、該基板は、その片面又は両面に導体層を有していてもよく、この導体層はパターン加工されていてもよい。基板の片面または両面に導体層(回路)が形成された内層基板は「内層回路基板」ということがある。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物も本発明でいう「内層基板」に含まれる。プリント配線板が部品内蔵回路板である場合、部品を内蔵した内層基板を使用し得る。 The "inner layer substrate" used in step (I) is a member that becomes a substrate of a printed wiring board, and includes, for example, a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, and a thermosetting polyphenylene ether substrate. etc. Further, the substrate may have a conductor layer on one or both sides, and this conductor layer may be patterned. An inner layer board in which a conductor layer (circuit) is formed on one or both sides of the board is sometimes referred to as an "inner layer circuit board." Further, when manufacturing a printed wiring board, an intermediate product on which an insulating layer and/or a conductive layer is further formed is also included in the "inner layer substrate" as referred to in the present invention. When the printed wiring board is a circuit board with built-in components, an inner layer board with built-in components can be used.
内層基板と樹脂シートの積層は、例えば、支持体側から樹脂シートを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。樹脂シートを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を樹脂シートに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に樹脂シートが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。 The inner layer substrate and the resin sheet can be laminated, for example, by heat-pressing the resin sheet to the inner layer substrate from the support side. Examples of the member for hot-pressing the resin sheet to the inner layer substrate (hereinafter also referred to as "heat-pressing member") include a heated metal plate (SUS mirror plate, etc.), a metal roll (SUS roll), and the like. Note that, instead of pressing the thermocompression bonding member directly onto the resin sheet, it is preferable to press the resin sheet through an elastic material such as heat-resistant rubber so that the resin sheet sufficiently follows the surface irregularities of the inner layer substrate.
内層基板と樹脂シートの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃~160℃、より好ましくは80℃~140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa~1.77MPa、より好ましくは0.29MPa~1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間~400秒間、より好ましくは30秒間~300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。 The inner layer substrate and the resin sheet may be laminated by a vacuum lamination method. In the vacuum lamination method, the heat-pressing temperature is preferably in the range of 60°C to 160°C, more preferably 80°C to 140°C, and the heat-pressing pressure is preferably in the range of 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0. The pressure is in the range of .29 MPa to 1.47 MPa, and the heat-pressing time is preferably in the range of 20 seconds to 400 seconds, more preferably 30 seconds to 300 seconds. Lamination is preferably carried out under reduced pressure conditions of 26.7 hPa or less.
積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、名機製作所社製の真空加圧式ラミネーター、ニッコー・マテリアルズ社製のバキュームアップリケーター、バッチ式真空加圧ラミネーター等が挙げられる。 Lamination can be performed using a commercially available vacuum laminator. Examples of commercially available vacuum laminators include a vacuum pressure laminator manufactured by Meiki Seisakusho, a vacuum applicator manufactured by Nikko Materials, and a batch vacuum pressure laminator.
積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された樹脂シートの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。 After lamination, the laminated resin sheets may be smoothed under normal pressure (atmospheric pressure), for example, by pressing a thermocompression bonding member from the support side. The pressing conditions for the smoothing treatment can be the same as the conditions for the heat-pressing of the lamination described above. The smoothing process can be performed using a commercially available laminator. Note that the lamination and smoothing treatment may be performed continuously using the above-mentioned commercially available vacuum laminator.
支持体は、工程(I)と工程(II)の間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。 The support may be removed between step (I) and step (II) or after step (II).
工程(II)において、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。樹脂組成物層の熱硬化条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。 In step (II), the resin composition layer is thermally cured to form an insulating layer. The thermosetting conditions for the resin composition layer are not particularly limited, and conditions that are normally employed when forming an insulating layer of a printed wiring board may be used.
例えば、樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類等によっても異なるが、硬化温度は好ましくは120℃~240℃、より好ましくは150℃~220℃、さらに好ましくは170℃~210℃である。硬化時間は好ましくは5分間~120分間、より好ましくは10分間~100分間、さらに好ましくは15分間~100分間とすることができる。 For example, the thermosetting conditions for the resin composition layer vary depending on the type of resin composition, etc., but the curing temperature is preferably 120°C to 240°C, more preferably 150°C to 220°C, and even more preferably 170°C to 210°C. It is ℃. The curing time can be preferably 5 minutes to 120 minutes, more preferably 10 minutes to 100 minutes, even more preferably 15 minutes to 100 minutes.
樹脂組成物層を熱硬化させる前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、50℃以上120℃未満(好ましくは60℃以上115℃以下、より好ましくは70℃以上110℃以下)の温度にて、樹脂組成物層を5分間以上(好ましくは5分間~150分間、より好ましくは15分間~120分間、さらに好ましくは15分間~100分間)予備加熱してもよい。 Before thermally curing the resin composition layer, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer is cured at a temperature of 50°C or higher and lower than 120°C (preferably 60°C or higher and 115°C or lower, more preferably 70°C or higher and 110°C or lower). Preheating may be performed for 5 minutes or more (preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes, even more preferably 15 minutes to 100 minutes).
プリント配線板を製造するに際しては、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層を粗化処理する工程、(V)導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(III)乃至工程(V)は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)の間、又は工程(IV)と工程(V)との間に実施してよい。また、必要に応じて、工程(II)~工程(V)の絶縁層及び導体層の形成を繰り返して実施し、多層配線板を形成してもよい。 When manufacturing a printed wiring board, the steps of (III) drilling holes in the insulating layer, (IV) roughening the insulating layer, and (V) forming a conductor layer may be further carried out. These steps (III) to (V) may be performed according to various methods known to those skilled in the art that are used in the manufacture of printed wiring boards. Note that when the support is removed after step (II), the support may be removed between step (II) and step (III), between step (III) and step (IV), or during step (IV). IV) and step (V). Further, if necessary, the formation of the insulating layer and the conductive layer in steps (II) to (V) may be repeated to form a multilayer wiring board.
工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。 Step (III) is a step of drilling a hole in the insulating layer, whereby holes such as via holes and through holes can be formed in the insulating layer. Step (III) may be carried out using, for example, a drill, laser, plasma, etc., depending on the composition of the resin composition used to form the insulating layer. The size and shape of the hole may be determined as appropriate depending on the design of the printed wiring board.
工程(IV)は、絶縁層を粗化処理する工程である。通常、この工程(IV)において、スミアの除去も行われる。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。粗化処理に用いる膨潤液としては特に限定されないが、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン社製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」、「スウェリングディップ・セキュリガントP」等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されないが、例えば、30℃~90℃の膨潤液に絶縁層を1分間~20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40℃~80℃の膨潤液に絶縁層を5分間~15分間浸漬させることが好ましい。粗化処理に用いる酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃~100℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間~30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%~10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン社製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。また、粗化処理に用いる中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン社製の「リダクションソリューション・セキュリガントP」が挙げられる。中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた処理面を30℃~80℃の中和液に1分間~30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた対象物を、40℃~70℃の中和液に5分間~20分間浸漬する方法が好ましい。 Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. Usually, in this step (IV), smear is also removed. The procedure and conditions for the roughening treatment are not particularly limited, and known procedures and conditions commonly used in forming an insulating layer of a printed wiring board can be adopted. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment using a swelling liquid, a roughening treatment using an oxidizing agent, and a neutralization treatment using a neutralizing liquid in this order. The swelling liquid used in the roughening treatment is not particularly limited, but includes alkaline solutions, surfactant solutions, etc., preferably alkaline solutions, and more preferably sodium hydroxide solutions and potassium hydroxide solutions. preferable. Examples of commercially available swelling liquids include "Swelling Dip Securigance P", "Swelling Dip Securigance SBU", and "Swelling Dip Securigant P" manufactured by Atotech Japan. It will be done. Swelling treatment with a swelling liquid is not particularly limited, but can be carried out, for example, by immersing the insulating layer in a swelling liquid at 30° C. to 90° C. for 1 minute to 20 minutes. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin in the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the insulating layer in a swelling liquid at 40° C. to 80° C. for 5 minutes to 15 minutes. The oxidizing agent used in the roughening treatment is not particularly limited, but includes, for example, an alkaline permanganate solution in which potassium permanganate or sodium permanganate is dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide. The roughening treatment with an oxidizing agent such as an alkaline permanganic acid solution is preferably performed by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60° C. to 100° C. for 10 minutes to 30 minutes. Further, the concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganate solutions such as "Concentrate Compact CP" and "Dosing Solution Securigance P" manufactured by Atotech Japan. Further, as the neutralizing liquid used for the roughening treatment, an acidic aqueous solution is preferable, and a commercially available product includes, for example, "Reduction Solution Securigant P" manufactured by Atotech Japan. The treatment with the neutralizing liquid can be carried out by immersing the treated surface, which has been roughened with an oxidizing agent, in the neutralizing liquid at 30° C. to 80° C. for 1 minute to 30 minutes. From the viewpoint of workability, etc., it is preferable to immerse the object that has been roughened with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 40° C. to 70° C. for 5 minutes to 20 minutes.
一実施形態において、粗化処理後の絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)は、好ましくは300nm以下、より好ましくは250nm以下、さらに好ましくは200nm以下である。下限については特に限定されないが、好ましくは30nm以上、より好ましくは40nm以上、さらに好ましくは50nm以上である。絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)は、非接触型表面粗さ計を用いて測定することができる。 In one embodiment, the arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the insulating layer after the roughening treatment is preferably 300 nm or less, more preferably 250 nm or less, and still more preferably 200 nm or less. The lower limit is not particularly limited, but is preferably 30 nm or more, more preferably 40 nm or more, and still more preferably 50 nm or more. The arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the insulating layer can be measured using a non-contact surface roughness meter.
工程(V)は、導体層を形成する工程であり、絶縁層上に導体層を形成する。導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。 Step (V) is a step of forming a conductor layer, and the conductor layer is formed on the insulating layer. The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer includes one or more selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin, and indium. Contains metal. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer, and the alloy layer may be, for example, an alloy of two or more metals selected from the above group (for example, a nickel-chromium alloy, a copper-chromium alloy, a copper-chromium alloy, etc.). nickel alloys and copper-titanium alloys). Among these, from the viewpoint of versatility in forming conductor layers, cost, ease of patterning, etc., monometallic layers of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver, or copper, nickel-chromium alloys, copper, etc. An alloy layer of nickel alloy or copper/titanium alloy is preferable, a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or an alloy layer of nickel/chromium alloy is more preferable, and a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper is more preferable. A metal layer is more preferred.
導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。 The conductor layer may have a single layer structure or a multilayer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different types of metals or alloys are laminated. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc, or titanium, or an alloy layer of nickel-chromium alloy.
導体層の厚さは、所望のプリント配線板のデザインによるが、一般に3μm~35μm、好ましくは5μm~30μmである。 The thickness of the conductor layer depends on the desired printed wiring board design, but is generally between 3 μm and 35 μm, preferably between 5 μm and 30 μm.
一実施形態において、導体層は、めっきにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にめっきして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができ、製造の簡便性の観点から、セミアディティブ法により形成することが好ましい。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。 In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed by plating the surface of an insulating layer using a conventionally known technique such as a semi-additive method or a fully additive method. It is preferable to form by a method. An example of forming a conductor layer by a semi-additive method will be shown below.
まず、絶縁層の表面に、無電解めっきによりめっきシード層を形成する。次いで、形成されためっきシード層上に、所望の配線パターンに対応してめっきシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出しためっきシード層上に、電解めっきにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なめっきシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。 First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern is formed on the formed plating seed layer to expose a portion of the plating seed layer corresponding to a desired wiring pattern. After forming a metal layer on the exposed plating seed layer by electrolytic plating, the mask pattern is removed. Thereafter, unnecessary plating seed layers can be removed by etching or the like to form a conductor layer having a desired wiring pattern.
[半導体装置]
本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を含む。本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を用いて製造することができる。
[Semiconductor device]
The semiconductor device of the present invention includes the printed wiring board of the present invention. The semiconductor device of the present invention can be manufactured using the printed wiring board of the present invention.
半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。 Examples of semiconductor devices include various semiconductor devices used in electrical products (eg, computers, mobile phones, digital cameras, televisions, etc.), vehicles (eg, motorcycles, automobiles, trains, ships, aircraft, etc.), and the like.
本発明の半導体装置は、プリント配線板の導通箇所に、部品(半導体チップ)を実装することにより製造することができる。「導通箇所」とは、「プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。 The semiconductor device of the present invention can be manufactured by mounting components (semiconductor chips) on conductive parts of a printed wiring board. A "conducting location" is a "location on a printed wiring board that transmits electrical signals," and the location may be on the surface or embedded. Further, the semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.
半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、等が挙げられる。ここで、「バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法」とは、「半導体チップをプリント配線板の凹部に直接埋め込み、半導体チップとプリント配線板上の配線とを接続させる実装方法」のことである。 The mounting method for semiconductor chips when manufacturing semiconductor devices is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively, but specifically, wire bonding mounting method, flip chip mounting method, bumpless buildup layer, etc. Examples include a mounting method using (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), a mounting method using a non-conductive film (NCF), and the like. Here, "a mounting method using a bumpless buildup layer (BBUL)" refers to a "mounting method in which a semiconductor chip is directly embedded in a recess of a printed wiring board and the semiconductor chip and wiring on the printed wiring board are connected." It is.
以下、実施例を用いて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下の記載において、別途明示のない限り、「部」及び「%」は「質量部」及び「質量%」をそれぞれ意味する。 EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be explained in more detail using Examples, but the present invention is not limited to these Examples. In the following description, unless otherwise specified, "parts" and "%" mean "parts by mass" and "% by mass," respectively.
<合成例1:ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Aの合成>
反応容器に1,1-ビス(4-ヒドロキシフェニル)-3,3,5-トリメチルシクロヘキサン1.94gにアセトンを加え溶解させたのち、シアヌル酸クロリド0.922g、両末端アミン変性シリコーンオイル(信越化学工業社製「KF-8010」)0.946g、及びN-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製「KBE-903」)0.553gを加えて50℃で一晩反応させた。その後酢酸エチルを加えて抽出を行い、ろ過により不溶物を除いた。次に、そのろ液を水で洗浄したのち無水硫酸マグネシウムによる脱水を行い、溶媒の濃縮留去を行った。その残渣をメタノール晶析することで下記構造のハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Aを得た(Rはメチレン基又はフェニレン基を表す。)。熱可塑性樹脂Aの重量平均分子量は測定したところ21600であった。また、熱可塑性樹脂Aのガラス転移温度を測定したところ80℃であった。
After adding acetone to 1.94 g of 1,1-bis(4-hydroxyphenyl)-3,3,5-trimethylcyclohexane and dissolving it in a reaction container, add 0.922 g of cyanuric acid chloride, both terminal amine-modified silicone oil (Shin-Etsu Co., Ltd.) Add 0.946 g of "KF-8010" manufactured by Kagaku Kogyo Co., Ltd. and 0.553 g of N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane ("KBE-903" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and react overnight at 50 ° C. I let it happen. Thereafter, ethyl acetate was added to perform extraction, and insoluble materials were removed by filtration. Next, the filtrate was washed with water, dehydrated with anhydrous magnesium sulfate, and the solvent was concentrated and distilled off. The residue was crystallized with methanol to obtain a thermoplastic resin A having a hyperbranched structure as shown below (R represents a methylene group or a phenylene group). The weight average molecular weight of thermoplastic resin A was measured to be 21,600. Further, the glass transition temperature of thermoplastic resin A was measured and found to be 80°C.
<合成例2:ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Bの合成>
合成例1において、
1,1-ビス(4-ヒドロキシフェニル)-3,3,5-トリメチルシクロヘキサン1.94gを、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)フルオレン2.37gに変更した。
以上の事項以外は合成例1と同様にして、下記構造のハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Bを得た。熱可塑性樹脂Bの重量平均分子量は測定したところ10200であった。また、熱可塑性樹脂Bのガラス転移温度を測定したところ86℃であった。
<Synthesis Example 2: Synthesis of thermoplastic resin B having hyperbranched structure>
In Synthesis Example 1,
1.94 g of 1,1-bis(4-hydroxyphenyl)-3,3,5-trimethylcyclohexane was changed to 2.37 g of 9,9-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)fluorene.
A thermoplastic resin B having a hyperbranched structure having the following structure was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except for the above matters. The weight average molecular weight of thermoplastic resin B was measured to be 10,200. Further, the glass transition temperature of thermoplastic resin B was measured and found to be 86°C.
<合成例3:ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Cの合成>
合成例2において、
9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)フルオレンの量を2.37gから2.65gに変え、
両末端アミン変性シリコーンオイル(信越化学工業社製「KF-8010」)の量を0.946gから0.301gに変えた。
以上の事項以外は合成例2と同様にして、ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Cを得た。熱可塑性樹脂Cの重量平均分子量は測定したところ8800であった。また、熱可塑性樹脂Cのガラス転移温度を測定したところ92℃であった。
<Synthesis Example 3: Synthesis of thermoplastic resin C having hyperbranched structure>
In Synthesis Example 2,
The amount of 9,9-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)fluorene was changed from 2.37g to 2.65g,
The amount of silicone oil modified with amines at both ends (KF-8010, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was changed from 0.946 g to 0.301 g.
A thermoplastic resin C having a hyperbranched structure was obtained in the same manner as in Synthesis Example 2 except for the above matters. The weight average molecular weight of the thermoplastic resin C was measured to be 8,800. Further, the glass transition temperature of the thermoplastic resin C was measured and found to be 92°C.
<合成例4:ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Dの合成>
反応容器に1,1-ビス(4-ヒドロキシフェニル)-3,3,5-トリメチルシクロヘキサン1.24g、及びフェニレンエーテル構造を有するビスフェノール(SABICイノベーティブプラスチックス社製「SA90」)3.83gをテトラヒドロフランを加え溶解させたのち、シアヌル酸クロリド0.922g、両末端アミン変性シリコーンオイル(信越化学工業社製「KF-8010」)0.946g、及びN-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製「KBE-903」)0.553gを加えて50℃で一晩反応させた。その後酢酸エチルを加えて抽出を行い、ろ過により不溶物を除いた。次に、そのろ液を水で洗浄したのち無水硫酸マグネシウムによる脱水を行い、溶媒の濃縮留去を行った。その残渣をメタノール晶析することでハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Dを得た。熱可塑性樹脂Dの重量平均分子量は測定したところ14200であった。また、熱可塑性樹脂Dのガラス転移温度を測定したところ76℃であった。
<Synthesis Example 4: Synthesis of thermoplastic resin D having hyperbranched structure>
In a reaction vessel, 1.24 g of 1,1-bis(4-hydroxyphenyl)-3,3,5-trimethylcyclohexane and 3.83 g of bisphenol having a phenylene ether structure (SA90 manufactured by SABIC Innovative Plastics) were added to tetrahydrofuran. After adding and dissolving 0.922 g of cyanuric acid chloride, 0.946 g of silicone oil modified with amine at both ends (KF-8010, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), 0.553 g of "KBE-903" (manufactured by Kagaku Kogyo Co., Ltd.) was added and reacted overnight at 50°C. Thereafter, ethyl acetate was added to perform extraction, and insoluble materials were removed by filtration. Next, the filtrate was washed with water, dehydrated with anhydrous magnesium sulfate, and the solvent was concentrated and distilled off. Thermoplastic resin D having a hyperbranched structure was obtained by crystallizing the residue with methanol. The weight average molecular weight of thermoplastic resin D was measured to be 14,200. Furthermore, the glass transition temperature of thermoplastic resin D was measured and was 76°C.
<合成例5:ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Eの合成>
合成例1において、
1,1-ビス(4-ヒドロキシフェニル)-3,3,5-トリメチルシクロヘキサンの量を、1.94gから1.24gに変え、
両末端アミン変性シリコーンオイル(信越化学工業社製「KF-8010」)の量を0.946gから2.88gに変えた。
以上の事項以外は合成例1と同様にして、ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Eを得た。熱可塑性樹脂Eの重量平均分子量は測定したところ20200であった。また、熱可塑性樹脂Eのガラス転移温度を測定したところ78℃であった。
<Synthesis Example 5: Synthesis of thermoplastic resin E having hyperbranched structure>
In Synthesis Example 1,
The amount of 1,1-bis(4-hydroxyphenyl)-3,3,5-trimethylcyclohexane was changed from 1.94 g to 1.24 g,
The amount of silicone oil modified with amines at both ends (“KF-8010” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was changed from 0.946 g to 2.88 g.
A thermoplastic resin E having a hyperbranched structure was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except for the above matters. The weight average molecular weight of thermoplastic resin E was measured to be 20,200. Further, the glass transition temperature of thermoplastic resin E was measured and found to be 78°C.
<合成例6:ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Fの合成>
合成例1において、
N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製「KBE-903」)0.553gを、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製「KBM-573」)0.638gに変えた。
以上の事項以外は合成例1と同様にして、ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Fを得た。熱可塑性樹脂Fの重量平均分子量は測定したところ24500であった。また、熱可塑性樹脂Fのガラス転移温度を測定したところ76℃であった。
<Synthesis Example 6: Synthesis of thermoplastic resin F having hyperbranched structure>
In Synthesis Example 1,
0.553 g of N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane (“KBE-903” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was mixed with N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane (“KBM-573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) ) 0.638g.
A thermoplastic resin F having a hyperbranched structure was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except for the above matters. The weight average molecular weight of thermoplastic resin F was measured to be 24,500. Further, the glass transition temperature of the thermoplastic resin F was measured and was 76°C.
<合成例7:ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Gの合成>
合成例1において、
N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製「KBE-903」)0.553gを、3-メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン(信越化学工業社製「KBM-802」)0.451gに変えた。
以上の事項以外は合成例1と同様にして、ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Gを得た。熱可塑性樹脂Gの重量平均分子量は測定したところ18900であった。また、熱可塑性樹脂Gのガラス転移温度を測定したところ76℃であった。
<Synthesis Example 7: Synthesis of thermoplastic resin G having hyperbranched structure>
In Synthesis Example 1,
0.553 g of N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane (“KBE-903” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and 0.451 g of 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane (“KBM-802” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) changed to
A thermoplastic resin G having a hyperbranched structure was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except for the above matters. The weight average molecular weight of the thermoplastic resin G was measured to be 18,900. Further, the glass transition temperature of the thermoplastic resin G was measured and found to be 76°C.
<合成例8:ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Hの合成>
反応容器に1,1-ビス(4-ヒドロキシフェニル)-3,3,5-トリメチルシクロヘキサン1.94g、及び1-ナフトール0.36gをテトラヒドロフランに加え溶解させたのち、シアヌル酸クロリド0.922g、両末端アミン変性シリコーンオイル(信越化学工業社製「KF-8010」)0.946gを加えて50℃で一晩反応させた。その後酢酸エチルを加えて抽出を行い、ろ過により不溶物を除いた。次に、そのろ液を水で洗浄したのち無水硫酸マグネシウムによる脱水を行い、溶媒の濃縮留去を行った。その残渣をメタノール晶析することでハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Hを得た。熱可塑性樹脂Hの重量平均分子量は測定したところ14500であった。また、熱可塑性樹脂Hのガラス転移温度を測定したところ94℃であった。
<Synthesis Example 8: Synthesis of thermoplastic resin H having hyperbranched structure>
After adding and dissolving 1.94 g of 1,1-bis(4-hydroxyphenyl)-3,3,5-trimethylcyclohexane and 0.36 g of 1-naphthol in tetrahydrofuran in a reaction vessel, 0.922 g of cyanuric acid chloride, 0.946 g of silicone oil modified with amines at both ends (KF-8010, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was added, and the mixture was reacted at 50° C. overnight. Thereafter, ethyl acetate was added to perform extraction, and insoluble materials were removed by filtration. Next, the filtrate was washed with water, dehydrated with anhydrous magnesium sulfate, and the solvent was concentrated and distilled off. A thermoplastic resin H having a hyperbranched structure was obtained by crystallizing the residue with methanol. The weight average molecular weight of the thermoplastic resin H was measured to be 14,500. Further, the glass transition temperature of the thermoplastic resin H was measured and found to be 94°C.
<合成例9:ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Iの合成>
合成例1において、
両末端アミン変性シリコーンオイル(信越化学工業社製「KF-8010」)0.946gを、両末端アミン変性シリコーンオイル(信越化学工業社製「X-22-9409」)1.47gに変更した。
以上の事項以外は合成例1と同様にして、ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Iを得た。熱可塑性樹脂Iの重量平均分子量は測定したところ19200であった。また、熱可塑性樹脂Iのガラス転移温度を測定したところ78℃であった。
<Synthesis Example 9: Synthesis of thermoplastic resin I having hyperbranched structure>
In Synthesis Example 1,
0.946 g of silicone oil modified with amines at both ends (“KF-8010” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was changed to 1.47 g of silicone oil modified with amines at both ends (“X-22-9409” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).
A thermoplastic resin I having a hyperbranched structure was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except for the above matters. The weight average molecular weight of thermoplastic resin I was measured to be 19,200. Further, the glass transition temperature of the thermoplastic resin I was measured and found to be 78°C.
<合成例10:ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Jの合成>
合成例8において、
両末端アミン変性シリコーンオイル(信越化学工業社製「KF-8010」)0.946gを、両末端フェノール変性シリコーンオイル(信越化学工業社製「KF-2201」)3.24gに変えた。
以上の事項以外は合成例8と同様にして、ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Jを得た。熱可塑性樹脂Jの重量平均分子量は測定したところ28400であった。また、熱可塑性樹脂Jのガラス転移温度を測定したところ95℃であった。
<Synthesis Example 10: Synthesis of thermoplastic resin J having hyperbranched structure>
In Synthesis Example 8,
0.946 g of silicone oil modified with amine at both ends (KF-8010, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was replaced with 3.24 g of silicone oil modified with phenol at both ends (KF-2201, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).
A thermoplastic resin J having a hyperbranched structure was obtained in the same manner as in Synthesis Example 8 except for the above matters. The weight average molecular weight of thermoplastic resin J was measured to be 28,400. Furthermore, the glass transition temperature of the thermoplastic resin J was measured and found to be 95°C.
<合成例11:ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Kの合成>
合成例6において、
両末端アミン変性シリコーンオイル(信越化学工業社製「KF-8010」)0.946gを、両末端カルビノール変性シリコーンオイル(信越化学工業社製「KF-6000」)1.03gに変えた。
以上の事項以外は合成例6と同様にして、ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Kを得た。熱可塑性樹脂Kの重量平均分子量は測定したところ9800であった。また、熱可塑性樹脂Kのガラス転移温度を測定したところ81℃であった。
<Synthesis Example 11: Synthesis of thermoplastic resin K having hyperbranched structure>
In Synthesis Example 6,
0.946 g of silicone oil modified with amine at both ends (KF-8010, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was replaced with 1.03 g of silicone oil modified with carbinol at both ends (KF-6000, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).
A thermoplastic resin K having a hyperbranched structure was obtained in the same manner as in Synthesis Example 6 except for the above matters. The weight average molecular weight of thermoplastic resin K was measured to be 9,800. Further, the glass transition temperature of thermoplastic resin K was measured and was found to be 81°C.
[実施例1.樹脂組成物1の調製]
液状エポキシ樹脂(日鉄ケミカル&マテリアル社製「ZX1059」、ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂との1:1混合品(質量比)、エポキシ当量:169g/eq)5部、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬社製「NC3000H」、エポキシ当量約290)15部、合成例1にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂A 2部をトルエン20部、MEK20部に撹拌しながら加熱溶解させた。得られた溶液を室温にまで冷却した後、活性エステル系硬化剤(DIC社製「HP-B-8151-62T」、活性基当量238、固形分62%のトルエン溶液)42部、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC社製「LA-3018-50P」、水酸基当量約151g/eq、固形分50%の2-メトキシプロパノール溶液)4部、フェノキシ樹脂(三菱化学社製「YX7553BH30」、不揮発分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)10部、硬化促進剤(四国化成工業社製「1B2PZ」、固形分10質量%のMEK溶液)3部、無機充填材(アミン系シランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm))150部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して樹脂組成物1を得た。
[Example 1. Preparation of resin composition 1]
Liquid epoxy resin (Nippon Steel Chemical & Materials "ZX1059", 1:1 mixture of bisphenol A epoxy resin and bisphenol F epoxy resin (mass ratio), epoxy equivalent: 169 g/eq) 5 parts, biphenyl type Heat 15 parts of epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC3000H", epoxy equivalent: approx. 290) and 2 parts of thermoplastic resin A with a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 1 to 20 parts of toluene and 20 parts of MEK with stirring. Dissolved. After cooling the obtained solution to room temperature, 42 parts of an active ester curing agent ("HP-B-8151-62T" manufactured by DIC Corporation, active group equivalent: 238, solid content 62% toluene solution), containing a triazine skeleton. 4 parts of phenolic curing agent (“LA-3018-50P” manufactured by DIC, 2-methoxypropanol solution with a hydroxyl equivalent of approximately 151 g/eq, solid content 50%), phenoxy resin (“YX7553BH30” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, non-volatile content) 10 parts of a 1:1 solution of MEK and cyclohexanone (30% by mass), 3 parts of a curing accelerator ("1B2PZ" manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., MEK solution with a solid content of 10% by mass), an inorganic filler (amine-based silane coupling) Mix 150 parts of spherical silica (“SO-C2” manufactured by Admatex, average particle size 0.5 μm) surface-treated with a chemical agent (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and disperse uniformly with a high-speed rotating mixer. Resin composition 1 was obtained.
[実施例2.樹脂組成物2の調製]
実施例1において、カルボジイミド系硬化剤(日清紡ケミカル社製「V-03」、活性基当量約216g/eq、固形分50%のトルエン溶液)6部を用いた。
以上の事項以外は実施例1と同様にして、樹脂組成物2を得た。
[Example 2. Preparation of resin composition 2]
In Example 1, 6 parts of a carbodiimide curing agent ("V-03" manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., active group equivalent: about 216 g/eq, toluene solution with solid content of 50%) was used.
Resin composition 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except for the above matters.
[実施例3.樹脂組成物3の調製]
実施例1において、フェニレンエーテル構造を有する熱硬化性樹脂(SABICイノベーティブプラスチックス社製「SA-9000」、固形分50%のトルエン溶液)6部を用いた。
以上の事項以外は実施例1と同様にして、樹脂組成物3を得た。
[Example 3. Preparation of resin composition 3]
In Example 1, 6 parts of a thermosetting resin having a phenylene ether structure ("SA-9000" manufactured by SABIC Innovative Plastics, a toluene solution with a solid content of 50%) was used.
Resin composition 3 was obtained in the same manner as in Example 1 except for the above matters.
[実施例4.樹脂組成物4の調製]
実施例1において、マレイミド化合物(デザイナーモレキュールズ社製「BMI689」、マレイミド基当量345)3部を用いた。
以上の事項以外は実施例1と同様にして、樹脂組成物4を得た。
[Example 4. Preparation of resin composition 4]
In Example 1, 3 parts of a maleimide compound ("BMI689" manufactured by Designer Molecules, maleimide group equivalent: 345) was used.
Resin composition 4 was obtained in the same manner as in Example 1 except for the above matters.
[実施例5.樹脂組成物5の調製]
実施例2において、活性エステル系硬化剤(DIC社製「HP-B-8151-62T」、活性基当量238、固形分62%のトルエン溶液)42部を、活性エステル系硬化剤(エア・ウォーター社製「PC1300-02-65MA」、活性基当量199g/eq、固形分65質量%のメチルアミルケトン溶液)40部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして、樹脂組成物5を得た。
[Example 5. Preparation of resin composition 5]
In Example 2, 42 parts of an active ester curing agent ("HP-B-8151-62T" manufactured by DIC Corporation, active group equivalent: 238, solid content 62% toluene solution) was mixed with an active ester curing agent (air water solution). The solution was changed to 40 parts of "PC1300-02-65MA" manufactured by Co., Ltd., a methyl amyl ketone solution with an active group equivalent of 199 g/eq and a solid content of 65% by mass.
Resin composition 5 was obtained in the same manner as in Example 2 except for the above matters.
[実施例6.樹脂組成物6の調製]
実施例1において、合成例1にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂Aの量を2部から12部に変えた。
以上の事項以外は実施例1と同様にして、樹脂組成物6を得た。
[Example 6. Preparation of resin composition 6]
In Example 1, the amount of thermoplastic resin A having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 1 was changed from 2 parts to 12 parts.
Resin composition 6 was obtained in the same manner as in Example 1 except for the above matters.
[実施例7.樹脂組成物7の調製]
実施例2において、合成例1にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂A 2部を、合成例2にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂B 2部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして、樹脂組成物7を得た。
[Example 7. Preparation of resin composition 7]
In Example 2, 2 parts of thermoplastic resin A having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 1 was replaced with 2 parts of thermoplastic resin B having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 2.
Resin composition 7 was obtained in the same manner as in Example 2 except for the above matters.
[実施例8.樹脂組成物8の調製]
実施例2において、合成例1にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂A 2部を、合成例3にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂C 2部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして、樹脂組成物8を得た。
[Example 8. Preparation of resin composition 8]
In Example 2, 2 parts of thermoplastic resin A having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 1 was replaced with 2 parts of thermoplastic resin C having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 3.
Resin composition 8 was obtained in the same manner as in Example 2 except for the above matters.
[実施例9.樹脂組成物9の調製]
実施例2において、合成例1にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂A 2部を、合成例4にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂D 2部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして、樹脂組成物9を得た。
[Example 9. Preparation of resin composition 9]
In Example 2, 2 parts of thermoplastic resin A having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 1 was replaced with 2 parts of thermoplastic resin D having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 4.
Resin composition 9 was obtained in the same manner as in Example 2 except for the above matters.
[実施例10.樹脂組成物10の調製]
実施例2において、合成例1にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂A 2部を、合成例5にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂E 2部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして、樹脂組成物10を得た。
[Example 10. Preparation of resin composition 10]
In Example 2, 2 parts of thermoplastic resin A having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 1 was replaced with 2 parts of thermoplastic resin E having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 5.
Resin composition 10 was obtained in the same manner as in Example 2 except for the above matters.
[実施例11.樹脂組成物11の調製]
実施例2において、合成例1にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂A 2部を、合成例6にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂F 2部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして、樹脂組成物11を得た。
[Example 11. Preparation of resin composition 11]
In Example 2, 2 parts of thermoplastic resin A having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 1 was replaced with 2 parts of thermoplastic resin F having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 6.
Resin composition 11 was obtained in the same manner as in Example 2 except for the above matters.
[実施例12.樹脂組成物12の調製]
実施例2において、合成例1にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂A 2部を、合成例7にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂G 2部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして、樹脂組成物12を得た。
[Example 12. Preparation of resin composition 12]
In Example 2, 2 parts of thermoplastic resin A having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 1 was replaced with 2 parts of thermoplastic resin G having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 7.
Resin composition 12 was obtained in the same manner as in Example 2 except for the above matters.
[実施例13.樹脂組成物13の調製]
実施例2において、合成例1にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂A 2部を、合成例8にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂H 2部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして、樹脂組成物13を得た。
[Example 13. Preparation of resin composition 13]
In Example 2, 2 parts of thermoplastic resin A having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 1 was replaced with 2 parts of thermoplastic resin H having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 8.
Resin composition 13 was obtained in the same manner as in Example 2 except for the above matters.
[実施例14.樹脂組成物14の調製]
実施例2において、合成例1にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂A 2部を、合成例9にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂I 2部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして、樹脂組成物14を得た。
[Example 14. Preparation of resin composition 14]
In Example 2, 2 parts of thermoplastic resin A having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 1 was replaced with 2 parts of thermoplastic resin I having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 9.
Resin composition 14 was obtained in the same manner as in Example 2 except for the above matters.
[実施例15.樹脂組成物15の調製]
実施例2において、合成例1にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂A 2部を、合成例10にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂J 2部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして、樹脂組成物15を得た。
[Example 15. Preparation of resin composition 15]
In Example 2, 2 parts of thermoplastic resin A having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 1 was replaced with 2 parts of thermoplastic resin J having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 10.
Resin composition 15 was obtained in the same manner as in Example 2 except for the above matters.
[実施例16.樹脂組成物16の調製]
実施例2において、合成例1にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂A 2部を、合成例11にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂K 2部に変えた。
以上の事項以外は実施例2と同様にして、樹脂組成物16を得た。
[Example 16. Preparation of resin composition 16]
In Example 2, 2 parts of thermoplastic resin A having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 1 was replaced with 2 parts of thermoplastic resin K having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 11.
Resin composition 16 was obtained in the same manner as in Example 2 except for the above matters.
[比較例1.樹脂組成物17の調製]
実施例1において、合成例1にて合成したハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂A 2部を用いなかった。
以上の事項以外は実施例1と同様にして樹脂組成物17を得た。
[Comparative Example 1. Preparation of resin composition 17]
In Example 1, 2 parts of thermoplastic resin A having a hyperbranched structure synthesized in Synthesis Example 1 was not used.
Resin composition 17 was obtained in the same manner as in Example 1 except for the above matters.
[樹脂シートの作製]
支持体として、アルキド樹脂系離型剤(リンテック社製「AL-5」)で離型処理を施したポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ社製「ルミラーR80」、厚み38μm、軟化点130℃)を用意した。
[Preparation of resin sheet]
As a support, a polyethylene terephthalate film ("Lumirror R80" manufactured by Toray Industries, Inc., thickness 38 μm, softening point 130° C.) that was subjected to mold release treatment with an alkyd resin mold release agent ("AL-5" manufactured by Lintec Corporation) was prepared. .
樹脂組成物1~17をそれぞれ支持体上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが30μmとなるよう、ダイコーターにて均一に塗布し、70℃から95℃で3分間乾燥することにより、支持体上に樹脂組成物層を形成した。次いで、樹脂組成物層の支持体と接合していない面に、保護フィルムとしてポリプロピレンフィルム(王子エフテックス社製「アルファンMA-411」、厚み15μm)の粗面を貼り合わせた。これにより、支持体、樹脂組成物層、及び保護フィルムをこの順に有する樹脂シートAを得た。 Resin compositions 1 to 17 were each applied uniformly onto a support using a die coater so that the thickness of the resin composition layer after drying was 30 μm, and by drying at 70° C. to 95° C. for 3 minutes, A resin composition layer was formed on the support. Next, a rough surface of a polypropylene film ("Alphan MA-411" manufactured by Oji F-Tex Co., Ltd., thickness 15 μm) was laminated as a protective film to the surface of the resin composition layer that was not bonded to the support. Thereby, a resin sheet A having a support, a resin composition layer, and a protective film in this order was obtained.
[めっき導体層との間の密着性(ピール強度)の測定]
(1)内層基板の用意
内層回路を形成したガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.4mm、パナソニック社製「R1515A」)の両面をマイクロエッチング剤(メック社製「CZ8101」)にて1μmエッチングして銅表面の粗化処理を行った。
[Measurement of adhesion (peel strength) with plated conductor layer]
(1) Preparation of inner layer board Both sides of the glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, board thickness 0.4 mm, "R1515A" manufactured by Panasonic Corporation) on which the inner layer circuit was formed are micro-coated. The copper surface was roughened by etching to a depth of 1 μm using an etching agent (“CZ8101” manufactured by MEC Corporation).
(2)樹脂シートのラミネート
樹脂シートAから保護フィルムを剥がして、樹脂組成物層を露出させた。バッチ式真空加圧ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ社製、2ステージビルドアップラミネーター「CVP700」)を用いて、樹脂組成物層が内層基板と接するように、内層基板の両面にラミネートした。ラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下に調整した後、120℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着させることにより実施した。次いで、100℃、圧力0.5MPaにて60秒間熱プレスを行った。
(2) Lamination of resin sheet The protective film was peeled off from resin sheet A to expose the resin composition layer. Using a batch vacuum pressure laminator (manufactured by Nikko Materials, 2-stage build-up laminator "CVP700"), the resin composition layer was laminated on both sides of the inner layer substrate so that it was in contact with the inner layer substrate. Lamination was carried out by reducing the pressure for 30 seconds to adjust the atmospheric pressure to 13 hPa or less, and then press-bonding at 120° C. and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds. Then, hot pressing was performed at 100° C. and a pressure of 0.5 MPa for 60 seconds.
(3)樹脂組成物層の熱硬化
その後、樹脂シートがラミネートされた内層基板を、130℃のオーブンに投入して30分間加熱し、次いで180℃のオーブンに移し替えて30分間加熱して、樹脂組成物層を熱硬化させて、絶縁層を形成した。その後、支持体を剥離して、絶縁層、内層基板及び絶縁層をこの順に有する硬化基板Bを得た。
(3) Thermal curing of the resin composition layer Thereafter, the inner layer substrate on which the resin sheet was laminated was placed in an oven at 130°C and heated for 30 minutes, then transferred to an oven at 180°C and heated for 30 minutes, The resin composition layer was thermally cured to form an insulating layer. Thereafter, the support was peeled off to obtain a cured substrate B having an insulating layer, an inner layer substrate, and an insulating layer in this order.
(4)粗化処理
硬化基板Bに、粗化処理としてのデスミア処理を行った。デスミア処理としては、下記の湿式デスミア処理を実施した。
(4) Roughening treatment The cured substrate B was subjected to a desmear treatment as a roughening treatment. As the desmear treatment, the following wet desmear treatment was performed.
(湿式デスミア処理)
硬化基板Bを、膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリング・ディップ・セキュリガントP」、ジエチレングリコールモノブチルエーテル及び水酸化ナトリウムの水溶液)に60℃で5分間浸漬し、次いで、酸化剤溶液(アトテックジャパン社製「コンセントレート・コンパクトCP」、過マンガン酸カリウム濃度約6%、水酸化ナトリウム濃度約4%の水溶液)に80℃で20分間浸漬し、次いで、中和液(アトテックジャパン社製「リダクションソリューション・セキュリガントP」、硫酸水溶液)に40℃で5分間浸漬した後、80℃で15分間乾燥した。
(Wet desmear treatment)
The cured substrate B was immersed in a swelling solution ("Swelling Dip Securigant P" manufactured by Atotech Japan Co., Ltd., an aqueous solution of diethylene glycol monobutyl ether and sodium hydroxide) at 60°C for 5 minutes, and then immersed in an oxidizing agent solution (Atotech Japan Co., Ltd.). ``Concentrate Compact CP'' manufactured by Atotech Japan, an aqueous solution with a potassium permanganate concentration of approximately 6% and a sodium hydroxide concentration of approximately 4%) at 80°C for 20 minutes, and then a neutralizing solution (Atotech Japan's ``Reduction''). Solution Securigant P" (sulfuric acid aqueous solution) was immersed at 40°C for 5 minutes, and then dried at 80°C for 15 minutes.
(5)導体層の形成
セミアディティブ法に従って、絶縁層の粗化面に導体層を形成した。すなわち、粗化処理後の硬化基板Bを、PdCl2を含む無電解メッキ液に40℃で5分間浸漬した後、無電解銅めっき液に25℃で20分間浸漬した。次いで、150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによりパターン形成した。その後、硫酸銅電解めっきを行い、厚さ30μmの導体層を形成し、アニール処理を200℃にて60分間行った。得られた基板を「評価基板C」と称する。
(5) Formation of conductor layer A conductor layer was formed on the roughened surface of the insulating layer according to a semi-additive method. That is, the cured substrate B after the roughening treatment was immersed in an electroless plating solution containing PdCl 2 at 40° C. for 5 minutes, and then in an electroless copper plating solution at 25° C. for 20 minutes. Next, after performing an annealing treatment by heating at 150° C. for 30 minutes, an etching resist was formed and a pattern was formed by etching. Thereafter, copper sulfate electrolytic plating was performed to form a conductor layer with a thickness of 30 μm, and annealing treatment was performed at 200° C. for 60 minutes. The obtained board is referred to as "evaluation board C."
(6)ピール強度の測定
絶縁層とめっき導体層のピール強度の測定は、日本工業規格(JIS C6481)に準拠して行った。具体的には、評価基板Cの導体層に、幅10mm、長さ100mmの部分の切込みをいれ、この一端を剥がしてつかみ具で掴み、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重(kgf/cm)を測定し、剥離強度を求めた。測定には、引っ張り試験機(TSE社製「AC-50C-SL」)を使用した。
(6) Measurement of peel strength The peel strength of the insulating layer and the plated conductor layer was measured in accordance with Japanese Industrial Standards (JIS C6481). Specifically, a cut with a width of 10 mm and a length of 100 mm is made in the conductor layer of the evaluation board C, one end of which is peeled off, gripped with a grip, and cut vertically at a speed of 50 mm/min at room temperature. The load (kgf/cm) when 35 mm was peeled off was measured to determine the peel strength. A tensile tester ("AC-50C-SL" manufactured by TSE) was used for the measurement.
[誘電正接の測定]
樹脂シートAから保護フィルムを剥がして、200℃にて90分間加熱して樹脂組成物層を熱硬化させた後、支持体を剥離した。得られた硬化物を「評価用硬化物D」と称する。評価用硬化物Dを、幅2mm、長さ80mmの試験片に切断した。該試験片について、アジレントテクノロジーズ社製「HP8362B」を用いて、空洞共振摂動法により測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて誘電正接を測定した。3本の試験片について測定を行い、平均値を算出した。
[Measurement of dielectric loss tangent]
The protective film was peeled off from resin sheet A, and the resin composition layer was thermally cured by heating at 200° C. for 90 minutes, and then the support was peeled off. The obtained cured product is referred to as "cured product D for evaluation." The cured product D for evaluation was cut into test pieces with a width of 2 mm and a length of 80 mm. Regarding the test piece, the dielectric loss tangent was measured by the cavity resonance perturbation method at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23° C. using "HP8362B" manufactured by Agilent Technologies. Measurements were performed on three test pieces, and the average value was calculated.
[クラック耐性の測定、評価]
(1)樹脂シートAのラミネート
L/S=8μm/8μmの配線パターンにて形成された回路導体(銅)を両面に有する内層基板(日立化成社製「MCL-E700G」、導体層の厚さ35μm、計0.4mm厚、残銅率40%)の両面に、樹脂組成物層が内層基板と接するように保護フィルムを剥がした樹脂シートAをラミネートした。斯かるラミネートは、真空加圧式ラミネーター(名機製作所社製「MVLP-500」)を用い、温度120℃にて30秒間真空吸引後、温度120℃、圧力0.7MPaの条件で、支持体上から、耐熱ゴムを介して30秒間プレスすることによりラミネートした。次に、大気圧下で、SUS鏡板を用いて、温度120℃、圧力0.55MPaの条件で60秒間プレスを行った。
[Measurement and evaluation of crack resistance]
(1) Lamination of resin sheet A Inner layer board (“MCL-E700G” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) having circuit conductors (copper) formed on both sides with a wiring pattern of L/S = 8 μm/8 μm, thickness of conductor layer Resin sheet A, with the protective film removed, was laminated on both sides of the 35 μm, total thickness of 0.4 mm, residual copper rate of 40% so that the resin composition layer was in contact with the inner layer substrate. Such lamination is performed using a vacuum pressure laminator ("MVLP-500" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.), and after vacuum suction at a temperature of 120°C for 30 seconds, the lamination is performed on a support under conditions of a temperature of 120°C and a pressure of 0.7 MPa. Then, it was laminated by pressing for 30 seconds through heat-resistant rubber. Next, pressing was performed for 60 seconds at a temperature of 120° C. and a pressure of 0.55 MPa using an SUS end plate under atmospheric pressure.
(2)樹脂組成物層の熱硬化
その後、樹脂シートがラミネートされた内層基板を、130℃のオーブンに投入して30分間加熱し、次いで180℃のオーブンに移し替えて30分間加熱して、樹脂組成物層を熱硬化させて、絶縁層を形成した。その後、支持体を剥離して、絶縁層、内層基板及び絶縁層をこの順に有する硬化基板Eを得た。
(2) Thermal curing of the resin composition layer Thereafter, the inner layer substrate on which the resin sheet was laminated was placed in an oven at 130°C and heated for 30 minutes, then transferred to an oven at 180°C and heated for 30 minutes, The resin composition layer was thermally cured to form an insulating layer. Thereafter, the support was peeled off to obtain a cured substrate E having an insulating layer, an inner layer substrate, and an insulating layer in this order.
(3)粗化処理
硬化基板Eに、粗化処理としてのデスミア処理を行った。デスミア処理は、上記[メッキ導体層との密着性]欄に記載の(湿式デスミア処理)と同様にして実施し、サンプルを得た。
(3) Roughening treatment The cured substrate E was subjected to a desmear treatment as a roughening treatment. The desmear treatment was carried out in the same manner as (wet desmear treatment) described in the above [Adhesion with plated conductor layer] column to obtain a sample.
(4)クラック耐性の評価
サンプルのデスミア処理後の絶縁層表面のうち、内層基板の配線パターン(L/S=8μm/8μm)の直上にある絶縁層表面を観察した。100個のサンプルについて、内層基板のパターン形状に沿って絶縁層表面にクラックが発生しているか否かを確認し、クラックの発生していないサンプルの割合を求めた。この割合を「歩留まり」として算出し、以下の基準で評価した。
〇:歩留まりが50%以上
×:歩留まりが50%未満
(4) Evaluation of crack resistance Of the insulating layer surfaces of the sample after desmear treatment, the insulating layer surface directly above the wiring pattern (L/S=8 μm/8 μm) of the inner layer substrate was observed. For 100 samples, it was confirmed whether or not cracks were generated on the surface of the insulating layer along the pattern shape of the inner layer substrate, and the percentage of samples with no cracks was determined. This ratio was calculated as "yield" and evaluated based on the following criteria.
〇: Yield is 50% or more ×: Yield is less than 50%
実施例1~16において、(D)成分~(G)成分を含有しない場合であっても、程度に差はあるものの、上記実施例と同様の結果に帰着することを確認している。 In Examples 1 to 16, it was confirmed that even when components (D) to (G) were not contained, the same results as in the above Examples were obtained, although there were differences in degree.
Claims (15)
(B)硬化剤、及び
(C)ハイパーブランチ構造を有する熱可塑性樹脂、を含む樹脂組成物。 (A) epoxy resin,
A resin composition comprising (B) a curing agent and (C) a thermoplastic resin having a hyperbranched structure.
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