JP2023007843A - コンタクトプローブ及びその組立方法 - Google Patents

Abstract

【課題】端子の一部を変形させることなく組み立てられるコンタクトプローブ及びその組立方法を提供する。【解決手段】第１電子デバイスに接触する第１端子１１０と、第２電子デバイスに接触する第２端子１２０と、第１端子１１０及び第２端子１２０が軸線Ｘ方向において互いに離間するようにそれらを付勢しているばね１３０と、を備え、第１端子１１０は、第１接触部１１１と、第１延在部１１３と、第１直交部１１４と、第１返し部１１５と、を有し、第２端子１２０は、第２接触部１２１と、第２延在部１２３と、第２直交部１２４と、第２返し部１２５と、を有し、第１直交部１１４と第２直交部１２４とは、軸線Ｘ方向から見たときに交差して、第１直交部１１４は、第２延在部１２３に隣接する領域で軸線Ｘ方向に沿って摺動可能とされ、第２直交部１２４は、第１延在部１１３に隣接する領域で軸線Ｘ方向に沿って摺動可能とされている。【選択図】図２

Description

本発明は、コンタクトプローブ及びその組立方法に関する。

電子機器などに実装されるＩＣパッケージ等の電子デバイスは、一般に、配線基板に実装される前の段階でその潜在的欠陥を除去するための試験が検査用ソケットを用いて行われる。検査用ソケットは、電子デバイスの半田ボールや半田バンプ等の電極部とテストボード又は実装基板とされたプリント配線基板（基板）との間を電気的に接続するコンタクトプローブを備えている。

コンタクトプローブとしては、例えば特許文献１に開示されているものが例示される。
特許文献１に記載のコンタクトは、２つのコンタクトピンに設けられたＨ型のフック部を弾性変形させて互いに引っ掛ける構成とされている。

特表２００８－５１６３９８号公報

しかしながら、特許文献１のような構成を採用した場合、フック部には高い寸法精度が要求される。なぜなら、フック間の寸法が狭い場合は組立時にフック部に過剰な負荷が生じてフック部が損傷する可能性があり、フック間の寸法が広い場合は組立後に一のコンタクトピンが他のコンタクトピンから脱落する可能性があるからである。また、フック間の寸法が狭い場合はコンタクトピン同士の接触は良好であるが摺動しづらくなり、フック間の寸法が広い場合はコンタクトピン同士の摺動は良好であるが接触が悪くなるからである。
また、フック部の弾性変形を利用して組み立てるので、組立時にフック部同士が押し当てられてコンタクトピンが損傷する可能性がある。

そこで、本発明は、端子の一部を変形させることなく組み立てられるコンタクトプローブ及びその組立方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明のコンタクトプローブ及びその組立方法は以下の手段を採用する。
すなわち、本発明の第１の態様に係るコンタクトプローブは、２つの電子デバイスを電気的に接続するとともに軸線方向に延びたコンタクトプローブであって、第１電子デバイスに接触する第１端子と、第２電子デバイスに接触する第２端子と、前記第１端子及び前記第２端子が前記軸線方向において互いに離間するようにそれらを付勢している付勢部材と、を備え、前記第１端子は、前記第１電子デバイスに接触する第１接触部と、該第１接触部から前記軸線方向に沿って延びている第１延在部と、該第１延在部から前記軸線方向と直交する方向に延びている第１直交部と、該第１直交部から前記第１接触部に向かって延びている第１返し部と、を有し、前記第２端子は、前記第２電子デバイスに接触する第２接触部と、該第２接触部から前記軸線方向に沿って延びている第２延在部と、該第２延在部から前記軸線方向と直交する方向に延びている第２直交部と、該第２直交部から前記第２接触部に向かって延びている第２返し部と、を有し、前記第１直交部と前記第２直交部とは、前記軸線方向から見たときに交差して、前記第１直交部は、前記第２延在部に隣接する領域で前記軸線方向に沿って摺動可能とされ、前記第２直交部は、前記第１延在部に隣接する領域で前記軸線方向に沿って摺動可能とされている。

本態様に係るコンタクトプローブによれば、第１直交部と第２直交部とは、軸線方向から見たときに交差して、第１直交部は、第２延在部に隣接する領域で軸線方向に沿って摺動可能とされ、第２直交部は、第１延在部に隣接する領域で軸線方向に沿って摺動可能とされているので、直交部同士が互いに引っ掛かることで付勢部材によって付勢された端子同士の離間を規制することができる。これにより、直交部同士が互いに引っ掛かった位置を端子同士が最も離間した位置として、端子同士が互いに摺動可能なコンタクトプローブが構成される。
また、返し部によって直交部を保持することができる。これによって、直交部が延在部に隣接する領域から脱落することを回避できる。また、端子の直進性を向上させることができる。
また、延在部、直交部及び返し部からなる略Ｊ型のフック部を互いに掛けることでコンタクトプローブを組み立てることができるので、例えはＨ型のコンタクトプローブのように端子の一部を変形させる必要がない。このため、Ｈ型のコンタクトプローブ程の寸法精度が要求されない。また、組立時における端子の損傷を回避できる。また、Ｈ型のコンタクトプローブに比べて、摺動抵抗を低減することができる。

また、本発明の第１の態様に係るコンタクトプローブにおいて、前記第１端子は、前記軸線方向に沿って前記第１接触部から前記第１返し部の先端に向かって延びている第１補助延在部を有し、及び／又は、前記第２端子は、前記軸線方向に沿って前記第２接触部から前記第２返し部の先端に向かって延びている第２補助延在部を有している。

本態様に係るコンタクトプローブによれば、第１補助延在部及び／又は第２補助延在部を有しているので、補助延在部で直交部を保持することができる。これにより、延在部に隣接する領域であって返し部が存在しない領域から各直交部が脱落することを回避できる。また、端子の直進性を向上させることができる。また、端子同士の接触箇所が増えるので、導電性を向上させることができる。

また、本発明の第１の態様に係るコンタクトプローブにおいて、前記第１補助延在部は、前記第１返し部と接続されている。

本態様に係るコンタクトプローブによれば、一方の補助延在部（ここでは第１補助延在部）が第１返し部と接続されている、すなわちＪ型ではなくＯ型のフック部となっているので、第２直交部が第１延在部に隣接する領域から脱落する可能性を更に低減できる。

また、本発明の第１の態様に係るコンタクトプローブにおいて、前記第２直交部からの前記第２返し部の突出量は、前記第１直交部の厚さ寸法をｔ、ストローク量をＳとしたとき、０．５ｔ以上かつＳ以下とされている。

本態様に係るコンタクトプローブによれば、第２直交部からの第２返し部の突出量は、第１直交部の厚さ寸法をｔ、ストローク量をＳとしたとき、０．５ｔ以上かつＳ以下とされているので、第１直交部が保持される第２返し部の最低限の突出量を確保しつつ、第１端子のフック部を第２端子のフック部に掛ける際に第１端子を第２端子側に押し込む量を最低限に抑えることができる。このため、付勢部材の伸縮を最小限に抑えることで、付勢部材の性能低下（弾性力の低下）を低減できる。

また、本発明の第１の態様に係るコンタクトプローブにおいて、前記第２補助延在部の先端と前記第２返し部の先端との間隔は、前記第１直交部の厚さ寸法をｔとしたとき、ｔ以上かつ２ｔ以下とされている。

また、第２補助延在部の先端と第２返し部の先端との間隔は、第１直交部の厚さ寸法をｔとしたとき、ｔ以上かつ２ｔ以下とされているので、第２補助延在部の先端と第２返し部の先端と間の隙間が第１直交部を入れ込むことができる間隔を確保しつつ、組み立てられた端子同士のフック部が外れにくいような隙間を設定できる。

また、本発明の第１の態様に係るコンタクトプローブにおいて、前記第１端子は、前記軸線方向に沿って前記第１直交部から前記第２接触部に向かって延びている第１突出部を有し、及び／又は、前記第２端子は、前記軸線方向に沿って前記第２直交部から前記第１接触部に向かって延びている第２突出部を有している。

本態様に係るコンタクトプローブによれば、第１突出部及び／又は第２突出部を有しているので、突出部が延在部や補助延在部に沿って摺動可能となる。これにより、端子の直進性を向上させることができる。

また、本発明の第１の態様に係るコンタクトプローブにおいて、前記第１端子は、前記第１接触部と前記第１直交部との間において、前記第１延在部から前記第１直交部と平行に延びている第１中間直交部を有し、前記第２端子は、前記第２接触部と前記第２直交部との間において、前記第２延在部から前記第２直交部と平行に延びている第２中間直交部を有している。

本態様に係るコンタクトプローブによれば、第１中間直交部及び第２中間直交部を有しているので、フック部を２段とすることができる。

また、本発明の第１の態様に係るコンタクトプローブの組立方法は、２つの電子デバイスを電気的に接続するとともに軸線方向に延びたコンタクトプローブであって、第１電子デバイスに接触する第１端子と、第２電子デバイスに接触する第２端子と、前記第１端子及び前記第２端子が前記軸線方向において互いに離間するようにそれらを付勢している付勢部材と、を備え、前記第１端子は、前記第１電子デバイスに接触する第１接触部と、該第１接触部から前記軸線方向に沿って延びている第１延在部と、該第１延在部から前記軸線方向と直交する方向に延びている第１直交部と、該第１直交部から前記第１接触部に向かって延びている第１返し部と、を有し、前記第２端子は、前記第２電子デバイスに接触する第２接触部と、該第２接触部から前記軸線方向に沿って延びている第２延在部と、該第２延在部から前記軸線方向と直交する方向に延びている第２直交部と、該第２直交部から前記第２接触部に向かって延びている第２返し部と、を有しているコンタクトプローブの組立方法であって、前記軸線の方向から見たとき、前記第１直交部と前記第２直交部とを平行に並べる工程と、前記第１直交部と前記第２直交部とを直交させる工程と、を含む。

また、本発明の第２の態様に係るコンタクトプローブは、２つの電子デバイスを電気的に接続するとともに軸線方向に延びたコンタクトプローブであって、第３電子デバイスに接触する第３端子と、第４電子デバイスに接触する第４端子と、前記第３端子及び前記第４端子が前記軸線方向において互いに離間するようにそれらを付勢している付勢部材と、を備え、前記第３端子は、前記第３電子デバイスに接触する第３接触部と、該第３接触部から前記軸線方向に沿って延びている第３延在部と、該第３延在部から前記軸線方向と直交する方向に延びている第３直交部と、を有し、前記第４端子は、前記第４電子デバイスに接触する第４接触部と、該第４接触部から前記軸線方向に沿って延びている筒状部と、を有し、前記筒状部は、前記軸線方向に沿って形成されているスリット部を有し、前記第３直交部は、前記スリット部で前記軸線方向に沿って摺動可能とされている。

本態様に係るコンタクトプローブによれば、第３直交部は、スリット部で軸線方向に沿って摺動可能とされているので、第３直交部とスリット部とが引っ掛かることで付勢部材によって付勢された端子同士の離間を規制することができる。これにより、第３直交部とスリット部とが引っ掛かった位置を端子同士が最も離間した位置されるとともに端子同士が互いに摺動可能なコンタクトプローブが構成される。
また、第３直交部をスリット部に掛けるだけの簡易な方法でコンタクトプローブを組み立てることができる。

また、本発明の第２の態様に係るコンタクトプローブにおいて、前記筒状部には、縁と前記スリット部とを連通するガイドスリット部が形成されている。

本態様に係るコンタクトプローブによれば、筒状部には、縁とスリット部とを連通するガイドスリット部が形成されているので、筒状部の縁から第３直交部をスリット部に導くことができる。すなわち、第３端子を変形させることなく第３直交部をスリット部に導くことができる。

また、本発明の第２位の態様に係るコンタクトプローブにおいて、前記ガイドスリット部は、前記筒状部の前記縁に連通して前記軸線方向に沿った縦スリットと、前記スリット部に連通して前記軸線方向と直交する方向に沿った横スリットと、を有している。

本態様に係るコンタクトプローブによれば、ガイドスリット部は、軸線方向に沿った縦スリットと、軸線方向と直交する方向に沿った横スリットと、を有しているので、第３直交部が縦スリットに沿うように第３端子を縁から押し込んだ後、第３直交部が横スリットに沿うように第３端子を軸線周りに回転させることで、コンタクトプローブを組み立てることができる。

また、本発明の第２位の態様に係るコンタクトプローブにおいて、前記ガイドスリット部は、前記軸線方向に対して傾斜した傾斜スリットを有している。

本態様に係るコンタクトプローブによれば、ガイドスリット部は、軸線方向に対して傾斜した傾斜スリットを有しているので、第３端子の押込みと回転を同時に行うことができる。

また、本発明の第２位の態様に係るコンタクトプローブにおいて、前記ガイドスリット部は、前記スリット部における前記筒状部の前記縁側の端部よりも前記第４接触部側の部分に接続されている。

本態様に係るコンタクトプローブによれば、ガイドスリット部は、スリット部における筒状部の縁側の端部よりも第４接触部側の部分に接続されているので、ガイドスリット部との接続箇所よりも筒状部の縁側の領域に第３直交部を保持させることができる。これにより、端子同士が最も離間した位置（無負荷状態の位置）において第３直交部が安定的にスリット部に保持されることになる。

本発明によれば、端子の一部を変形させることなく組み立てられるコンタクトプローブ及びその組立方法を提供できる。

本発明の第１実施形態に係るコンタクトプローブを備えたソケットの正面図及び断面図である。 実施例１に係るコンタクトプローブの斜視図である。 実施例１に係るコンタクトプローブの分解図（正面）である。 実施例１に係るコンタクトプローブの分解図（側面）である。 実施例１に係るコンタクトプローブの組立方法を示す図である。 実施例１に係るコンタクトプローブの組立方法を示す図である。 実施例１に係るコンタクトプローブの組立方法を示す図である。 実施例１に係るコンタクトプローブの組立方法を示す図である。 実施例２に係るコンタクトプローブの分解図（正面）である。 実施例３に係るコンタクトプローブの斜視図である（ばね省略）。 実施例３に係るコンタクトプローブの分解図（正面）である。 実施例３に係るコンタクトプローブの他の例の分解図（正面）である。 実施例４に係るコンタクトプローブの斜視図である（ばね省略）。 実施例４に係るコンタクトプローブの他の例の分解図（正面）である。 実施例４に係るコンタクトプローブの他の例斜視図である（ばね省略）。 実施例４に係るコンタクトプローブの他の例の分解図（正面）である。 実施例５に係るコンタクトプローブの斜視図である（ばね省略）。 実施例５に係るコンタクトプローブの他の例の分解図（正面）である。 変形例に係るコンタクトプローブの斜視図である（ばね省略）。 変形例に係るコンタクトプローブの他の例の分解図（正面）である。 変形例に係るコンタクトプローブの斜視図である（ばね省略）。 変形例に係るコンタクトプローブの他の例の分解図（正面）である。 変形例に係るコンタクトプローブの斜視図である（ばね省略）。 変形例に係るコンタクトプローブの他の例の分解図（正面）である。 変形例に係るコンタクトプローブの斜視図である（ばね省略）。 変形例に係るコンタクトプローブの他の例の分解図（正面）である。 比較例に係るコンタクトプローブの他の例の分解図（正面）である。 本発明の第２実施形態に係るコンタクトプローブを備えたソケットの正面図及び断面図である。 実施例１に係るコンタクトプローブの斜視図である。 実施例１に係るコンタクトプローブの第３端子の正面図である。 実施例１に係るコンタクトプローブの第３端子の側面図である。 実施例１に係るコンタクトプローブの第４端子を軸全周りに展開した図である。 実施例２に係るコンタクトプローブの斜視図である。 実施例２に係るコンタクトプローブの第４端子を軸全周りに展開した図である。 実施例３に係るコンタクトプローブの斜視図である。 実施例３に係るコンタクトプローブの第４端子を軸全周りに展開した図である。 変形例に係るコンタクトプローブの斜視図である。 変形例に係るコンタクトプローブの第４端子を軸全周りに展開した図である。 変形例に係る第３端子の正面図である。

［第１実施形態］
以下に、本発明の第１実施形態に係る検査用ソケットについて、図面を参照して説明する。

［ソケットの概要］
図１には、検査用ソケット１０（以下、単に「ソケット１０」という。）の正面図及び縦断面図が示されている。
ソケット１０は、ＩＣパッケージ３０の試験において、プリント配線基板２０（第１電子デバイス）とＩＣパッケージ３０（第２電子デバイス）とを導通させる部品である。ソケット１０は、例えばテスト基板としてのプリント配線基板２０の上面に実装される。また、プリント配線基板２０に実装されたソケット１０の凹所１２ａには、例えば検査デバイスとしてのＩＣパッケージ３０が装着される。
ＩＣパッケージ３０としては、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）型のものが例示される。また、ＬＧＡ（Ｌａｎｄ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）型やＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）型のものでもよい。

ソケット１０は、コンタクトプローブ１００と、ハウジング１１と、可動台座１２と、を備えている。ソケット１０において、ハウジング１１はプリント配線基板２０側に配置されており、その上に積層されるように可動台座１２が配置されている。

ハウジング１１と可動台座１２との間には台座用ばね１３が介設されており、両部材を互いに離間する方向に付勢している。これによって、可動台座１２は、ハウジング１１に対して弾性的に近接及び離間可能となる。
詳細には、無負荷とすることで可動台座１２はハウジング１１から離間して、可動台座１２をハウジング１１側に押し込むことで可動台座１２はハウジング１１に近接する。

このようにして構成されたハウジング１１と可動台座１２との間には、多数のコンタクトプローブ１００が例えば０．３ｍｍ～０．８ｍｍピッチで立設されて収容されている。
このコンタクトプローブ１００によって、ソケット１０に装着されたＩＣパッケージ３０とソケット１０が実装されたプリント配線基板２０との導通を行う。

［コンタクトプローブの詳細］
以下、コンタクトプローブ１００の詳細な構造について、複数の実施例を挙げて説明する。

［実施例１］
図２に示すように、コンタクトプローブ１００は軸線Ｘの方向に延びた部品であって、第１端子１１０、第２端子１２０及びばね（付勢部材）１３０を有している。
コンタクトプローブ１００の軸線Ｘ方向に沿った寸法（伸長時の全長）は、例えば２ｍｍ～６ｍｍ程度である。

図３及び図４に示すように、第１端子１１０は、第１接触部１１１及び第１フック部１１２を有している。
第１端子１１０の軸線Ｘ方向に沿った寸法（全長）は、例えば１ｍｍ～３ｍｍ程度である。

第１接触部１１１は、プリント配線基板２０に接触する部分である。
第１接触部１１１の先端には、尖鋭部分が形成されている。同図の場合、尖鋭部分は１つ山であるが、いわゆるクラウンカットのような形状でもよい。
第１接触部１１１の基端（先端の反対側）には、第１フック部１１２が一体的に接続されている。

第１フック部１１２は、後述する第２端子１２０の第２フック部１２２に引っ掛かるように構成された部分である。
第１フック部１１２は、第１延在部１１３、第１直交部１１４及び第１返し部１１５を有している。

第１延在部１１３は、第１接触部１１１の基端から軸線Ｘの方向に沿って延びた角柱状の部分である。

第１直交部１１４は、第１延在部１１３の先端（同図において上端）から軸線Ｘと直交する方向に延びた角柱状の部分である。
このとき、第１直交部１１４は、厚さ寸法がｔ１（以下、「厚さｔ１」ともいう。）とされている。なお、ここでいう厚さとは、図示の通り、軸線Ｘの方向に沿った寸法のことである。

第１返し部１１５は、第１直交部１１４の先端（同図において右端）から軸線Ｘの方向に沿って、かつ、第１接触部１１１に向かって延びた角柱状の部分である。
このとき、第１返し部１１５は、第１接触部１１１に接触することがない寸法とされている（突出量ｐ１とする）。また、第１返し部１１５は、第１直交部１１４の延在方向において第１延在部１１３に対して距離ｄ１だけ離間している。距離ｄ１は軸線Ｘに沿って一定である。

第１返し部１１５の突出量ｐ１は、第２直交部１２４の厚さｔ２（後述）及びコンタクトプローブ１００のストローク量Ｓに対して、０．５ｔ２≦ｐ１≦Ｓとなるように設定されている。なお、ここでいうストローク量Ｓとは、通常の使用において想定し得るコンタクトプローブ１００の伸縮量のことであり、例えば０．２ｍｍ～１．０ｍｍ程度の範囲で適宜設定されている。
これによって、無負荷時のコンタクトプローブ１００において第１直交部１１４が第２返し部１２５から外れることを回避するとともに、コンタクトプローブ１００の組立時における第１端子１１０及び第２端子１２０の押し込み量（すなわち、ばね１３０の圧縮量）を可能な限り小さくすることができる。

このように構成された第１延在部１１３、第１直交部１１４及び第１返し部１１５によって、第１フック部１１２は略Ｊ型に形成されている。
図４に示すように、第１フック部１１２は、幅寸法がｗ１（以下、「幅ｗ１」ともいう。）とされている。幅ｗ１は、距離ｄ１と略一致あるいは距離ｄ１よりもわずかに小さくされている。

図３及び図４に示すように、第２端子１２０は、第２接触部１２１及び第２フック部１２２を有している。
第２端子１２０の軸線Ｘ方向に沿った寸法（全長）は、例えば１ｍｍ～３ｍｍ程度である。

第２接触部１２１は、ＩＣパッケージ３０に接触する部分である。
第２接触部１２１の先端には、尖鋭部分が形成されている。同図の場合、尖鋭部分は１つ山であるが、いわゆるクラウンカットのような形状でもよい。
第２接触部１２１の基端（先端の反対側）には、第２フック部１２２が一体的に接続されている。

第２フック部１２２は、前述の第１端子１１０の第１フック部１１２に引っ掛かるように構成された部分である。
第２フック部１２２は、第２延在部１２３、第２直交部１２４及び第２返し部１２５を有している。

第２延在部１２３は、第２接触部１２１の基端から軸線Ｘの方向に沿って延びた角柱状の部分である。

第２直交部１２４は、第２延在部１２３の先端（同図において下端）から軸線Ｘと直交する方向に延びた角柱状の部分である。
このとき、第２直交部１２４は、厚さ寸法がｔ２（以下、「厚さｔ２」ともいう。）とされている。なお、ここでいう厚さとは、図示の通り、軸線Ｘの方向に沿った寸法のことである。

第２返し部１２５は、第２直交部１２４の先端（同図において右端）から軸線Ｘの方向に沿って、かつ、第２接触部１２１に向かって延びた角柱状の部分である。
このとき、第２返し部１２５は、第２接触部１２１に接触することがない寸法とされている（突出量ｐ２とする）。また、第２返し部１２５は、第２直交部１２４の延在方向において第２延在部１２３に対して距離ｄ２だけ離間している。距離ｄ２は軸線Ｘに沿って一定である。

第２返し部１２５の突出量ｐ２は、第１直交部１１４の厚さｔ１及びコンタクトプローブ１００のストローク量Ｓに対して、０．５ｔ１≦ｐ２≦Ｓとなるように設定されている。
これによって、無負荷時のコンタクトプローブ１００において第２直交部１２４が第１返し部１１５から外れることを回避するとともに、コンタクトプローブ１００の組立時における第１端子１１０及び第２端子１２０の押し込み量（すなわち、ばね１３０の圧縮量）を可能な限り小さくすることができる。

このように構成された第２延在部１２３、第２直交部１２４及び第２返し部１２５によって、第２フック部１２２は略Ｊ型に形成されている。
図４に示すように、第２フック部１２２は、幅寸法がｗ２（以下、「幅ｗ２」ともいう。）とされている。幅ｗ２は、距離ｄ２と略一致あるいは距離ｄ２よりもわずかに小さくされている。

以上のように構成された第１端子１１０及び第２端子１２０は、図２に示すように、第１フック部１１２と第２フック部１２２とが交差して引っ掛かることで互いに連結している。
このとき、第１フック部１１２及び第２フック部１２２は、ばね１３０の内側に収容されている。また、ばね１３０は、第１接触部１１１及び第２接触部１２１に弾性力をもって接触している。
これによって、第１端子１１０及び第２端子１２０が互いに離間する方向に付勢されつつ、第１フック部１１２と第２フック部１２２との引っ掛かりによって互いに外れることのないコンタクトプローブ１００が構成されることになる。すなわち、第１フック部１１２の第１直交部１１４が第２延在部１２３に隣り合う領域で軸線Ｘの方向に摺動するとともに、第２フック部１２２の第２直交部１２４が第１延在部１１３に隣り合う領域で軸線Ｘの方向に摺動するコンタクトプローブ１００が構成されることになる。

［コンタクトプローブの組立方法］
コンタクトプローブ１００は、次のように組み立てられる。
まず、図５に示すように、ばね１３０の一端からばね１３０の内側に第１フック部１１２を挿入する。また、ばね１３０の他端からばね１３０の内側に第２フック部１２２を挿入する。

このとき、第１フック部１１２と第２フック部１２２とは並列した状態、すなわち第１直交部１１４と第２直交部１２４とが平行な状態である。また、ばね１３０には負荷がかかっていない状態、すなわちばね１３０の長さが自然長とされた状態である。

次に、図６に示すように、第１端子１１０と第２端子１２０とが互いに近接するように、第１端子１１０及び第２端子１２０を軸線Ｘの方向に沿って押し込む。
このとき、第１直交部１１４と第２直交部１２４とは平行な状態、すなわち第１フック部１１２と第２フック部１２２とが重なり合った状態である。また、ばね１３０は圧縮された状態である。

次に、図７に示すように、例えば第１端子１１０を軸線Ｘの周りに略９０度だけ回転させる。
これによって、第１直交部１１４と第２直交部１２４とが交差（直交）した状態となる。
このとき、ばね１３０は依然として圧縮された状態である。

なお、平行な状態にあった第１直交部１１４と第２直交部１２４とが交差するのであれば、回転させる端子は第２端子１２０であってもよいし両方の端子であってもよい。

次に、図８に示すように、第１端子１１０及び／又は第２端子１２０を解放する。
これによって、ばね１３０が伸長して第１端子１１０と第２端子１２０とが互いに離間するとともに第１フック部１１２の第１直交部１１４と第２フック部１２２の第２直交部１２４とが引っ掛かり、軸線Ｘの方向に伸縮可能なコンタクトプローブ１００の組立が完了する。

［実施例２］
図９に示すように、第１端子１１０に第１補助延在部１１６を設けてもよい。
第１補助延在部１１６は、第１接触部１１１の基端から軸線Ｘの方向に沿って、かつ、第１返し部１１５の先端に向かって延びた角柱状の部分である。

第１補助延在部１１６によって、第１返し部１１５よりも第１接触部１１１側（同図において下方）の部分において、第２端子１２０の直進性を向上させることができる。また、第１端子１１０と第２直交部１２４との接触箇所が増えるので、導電性を向上させることができる。

第１補助延在部１１６の先端と第１返し部１１５の先端との間には隙間が設けられている（距離ｇ１とする）。
距離ｇ１は、第２直交部１２４の厚さｔ２に対して、ｔ２≦ｇ１≦２ｔ２となるように設定されている。
これによって、第２直交部１２４を当該隙間から第１延在部１１３に隣り合う領域に入れ込むことができる間隔を確保しつつ、組み立てられた第１端子１１０の第１フック部１１２と第２端子１２０の第２フック部１２２とが外れにくいような隙間を設定できる。

また、この実施例では、第１返し部１１５の突出量ｐ１を、第２直交部１２４の厚さｔ２に対して、ｐ１＝０．５ｔ２とすることが好ましい。
これによって、無負荷時のコンタクトプローブ１００において第２直交部１２４が第１返し部１１５から外れることを回避するとともに、コンタクトプローブ１００の組立時における第１端子１１０及び第２端子１２０の押し込み量（すなわち、ばね１３０の圧縮量）を可能な限り小さくすることができる。

また、第２端子１２０に第２補助延在部１２６を設けてもよい。この場合、各部分の構成は第１端子１１０と同様である。
なお、第２補助延在部１２６の先端と第２返し部１２５の先端との間には距離ｇ２の隙間が設けられている。距離ｇ２は、第１直交部１１４の厚さｔ１に対して、ｔ１≦ｇ２≦２ｔ１となるように設定されている。
これによって、第１直交部１１４を当該隙間から第２延在部１２３に隣り合う領域に入れ込むことができる間隔を確保しつつ、組み立てられた第１端子１１０の第１フック部１１２と第２端子１２０の第２フック部１２２とが外れにくいような隙間を設定できる。

また、第１補助延在部１１６の先端の角部及び／又は第１返し部１１５の先端の角部をテーパ状（図９において破線で図示）やラウンド状に形成してもよい。
これによって、第２直交部１２４を当該隙間から第１延在部１１３に隣り合う領域に円滑に入れ込むことができる。
なお、第２補助延在部１２６の先端角部及び／又は第２返し部１２５の先端の角部についても同様の構成を採用できる。

［実施例３］
図１０及び図１１に示すように、例えば第１端子１１０の第１補助延在部１１６を第１返し部１１５と接続して一体化してもよい。すなわち、第１フック部１１２をＯ型としてもよい。
なお、相手方のフック部（第２フック部１２２）に第１直交部１１４を入れ込む隙間が設けられていれば、コンタクトプローブ１００を組み立てることができる。

このように、第１フック部１１２をＯ型、第２フック部１２２をＪ型とすることで、第１フック部１１２と第２フック部１２２とが外れてしまう可能性のある箇所（隙間）を少なくすることができる。

なお、図１２に示すように、第２端子１２０に第２補助延在部１２６（実施例２参照）を設けてもよい。また、フック部の形状をＯ型とする端子は、第１端子１１０ではなく第２端子１２０であってもよい。

［実施例４］
図１３及び図１４に示すように、第１端子１１０に第１突出部１１７を設けてもよい。また、第２端子１２０に第２突出部１２７を設けてもよい。

第１突出部１１７は、第１直交部１１４の中央部分から軸線Ｘの方向に沿って、かつ、第１接触部１１１とは反対側に向かって延びた角柱状の部分である。

第２突出部１２７は、第２直交部１２４の中央部分から軸線Ｘの方向に沿って、かつ、第２接触部１２１とは反対側に向かって延びた角柱状の部分である。

図１３に示すように、第１突出部１１７は、第２延在部１２３に隣り合う領域において第２延在部１２３及び第２返し部１２５に接触している。また、第２突出部１２７は、第１延在部１１３に隣り合う領域において第１延在部１１３及び第１返し部１１５に接触している。
これによって、第１端子１１０及び第２端子１２０の直進性を向上させることができる。また、第１端子１１０と第２端子１２０との接触箇所が増えるので、導電性を向上させることができる。

なお、突出部は必ずしも両方の端子に設ける必要はなく、例えば図１５及び図１６に示すように、第１突出部１１７だけに設けてもよい。

［実施例５］
図１７及び図１８に示すように、第１端子１１０に第１中間直交部１１８を設けてもよい。また、第２端子１２０に第２中間直交部１２８を設けてもよい。

第１中間直交部１１８は、第１接触部１１１と第１直交部１１４との間（例えば中間位置）にある第１延在部１１３から、軸線Ｘと直交する方向（第１直交部１１４と平行な方向）に沿って延びた角柱状の部分である。
第１中間直交部１１８は、第１直交部１１４と同じ方向に延出している。つまり、軸線Ｘの方向から第１端子１１０を見たとき、第１直交部１１４と第１中間直交部１１８とは重なり合っている。

第２中間直交部１２８は、第１接触部１１１と第１直交部１１４との間（例えば中間位置）にある第２延在部１２３から、軸線Ｘと直交する方向（第２直交部１２４と平行な方向）に沿って延びた角柱状の部分である。
第２中間直交部１２８は、第２直交部１２４と同じ方向に延出している。つまり、軸線Ｘの方向から第２端子１２０を見たとき、第２直交部１２４と第２中間直交部１２８とは重なり合っている。

第１中間直交部１１８及び第２中間直交部１２８には、第１直交部１１４及び第２直交部１２４と同様の返し部を設けてもよい。

第１中間直交部１１８及び第２中間直交部１２８を設けることによって、第１直交部１１４は第２中間直交部１２８に引っ掛かり、第２直交部１２４は第１中間直交部１１８に引っ掛かることになる。
これによって、第１端子１１０及び第２端子１２０の直進性を向上させることができる。また、第１端子１１０と第２端子１２０との接触箇所が増えるので、導電性を向上させることができる。

［変形例］
図１９及び図２０に示すように、例えば第１端子１１０のフック部を２段のＯ型としてもよい。
また、図２１及び図２２に示すように、例えば第２端子１２０の第２中間直交部１２８に対して補助延在部を設けてもよい。
また、図２３及び図２４に示すように、第１中間直交部１１８及び第２中間直交部１２８の返し部は省略できる。
また、図２５及び図２６に示すように、第１中間直交部１１８及び第２中間直交部１２８は、第１突出部１１７及び第２突出部１２７を設けることを妨げるものではない。

本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
第１直交部１１４と第２直交部１２４とは、軸線Ｘの方向から見たときに交差して、第１直交部１１４は、第２延在部１２３に隣接する領域で軸線Ｘの方向に沿って摺動可能とされ、第２直交部１２４は、第１延在部１１３に隣接する領域で軸線Ｘの方向に沿って摺動可能とされているので、第１直交部１１４と第２直交部１２４とが互いに引っ掛かることでばね１３０によって付勢された端子同士の離間を規制することができる。これにより、第１直交部１１４と第２直交部１２４とが互いに引っ掛かった位置を端子同士が最も離間した位置として、端子同士が互いに摺動可能なコンタクトプローブ１００が構成される。

また、第１返し部１１５によって第２直交部１２４を保持することができる。これによって、第１直交部１１４が第２延在部１２３に隣接する領域から脱落することを回避できる。また、第２返し部１２５によって第１直交部１１４を保持することができる。これによって、第２直交部１２４が第１延在部１１３に隣接する領域から脱落することを回避できる。更に、第１返し部１１５及び第２返し部１２５によって、第１端子１１０及び第２端子１２０の直進性を向上させることができる。

また、第１フック部１１２と第２フック部１２２とを互いに掛けることでコンタクトプローブ１００を組み立てることができるので、例えはＨ型のコンタクトプローブのように端子の一部を変形させる必要がない。このため、Ｈ型のコンタクトプローブ程の寸法精度が要求されない。また、組立時における端子の損傷を回避できる。また、Ｈ型のコンタクトプローブに比べて、摺動抵抗を低減することができる。

また、第１補助延在部１１６及び／又は第２補助延在部１２６によって、第１延在部１１３及び又は第２延在部１２３に隣接する領域から第２直交部１２４及び／又は第１直交部１１４が脱落することを回避できる。また、第１端子１１０及び第２端子１２０の直進性を向上させることができる。また、第１端子１１０及び第２端子１２０の接触箇所が増えるので、導電性を向上させることができる。

また、第２返し部１２５の突出量ｐ２を、第１直交部１１４の厚さｔ１及びコンタクトプローブ１００のストローク量Ｓに対して、０．５ｔ１≦ｐ２≦Ｓとすることで、第１直交部１１４が保持される第２返し部１２５の最低限の突出量ｐ２を確保しつつ、コンタクトプローブ１００の組立時における第１端子１１０及び第２端子１２０の押し込み量（すなわち、ばね１３０の圧縮量）を可能な限り小さくすることができる。このため、ばね１３０の性能低下（弾性力の低下）を抑制できる。

また、第２補助延在部１２６の先端と第２返し部１２５の先端との隙間の距離ｇ２を、第１直交部１１４の厚さｔ１に対して、ｔ１≦ｇ２≦２ｔ１とすることで、第１直交部１１４を当該隙間から第２延在部１２３に隣り合う領域に入れ込むことができる間隔を確保しつつ、組み立てられた第１端子１１０の第１フック部１１２と第２端子１２０の第２フック部１２２とが外れにくいような隙間を設定できる。

なお、図２７に示すように、第１端子１１０に第１返し部１１５が設けられていれば、第２端子１２０の第２返し部１２５を省略することもできる。
この場合、第１端子１１０と第２端子１２０とが最も離間したとき、第１直交部１１４は第２返し部１２５によって保持されないが、第２直交部１２４が第１返し部１１５によって保持される。また、第１補助延在部１１６等によって、第１端子１１０及び第２端子１２０の直進性は確保される。

［第２実施形態］
以下に、本発明の第２実施形態に係る検査用ソケットについて、図面を参照して説明する。

図２８に示すように、ソケット１０の構成は第１実施形態と同様である。ただし、例えば０．８ｍｍ～１．２ｍｍピッチで立設されて収容されているコンタクトプローブ２００の形態が異なる。このため、以下では、コンタクトプローブ２００の詳細な構造について、複数の実施例を挙げて説明する。

［実施例１］
図２９に示すように、コンタクトプローブ２００は軸線Ｘの方向に延びた部品であって、第３端子２１０、第４端子２２０及びばね（付勢部材）２３０を有している。

図３０及び図３１に示すように、第３端子２１０は、第３接触部２１１及び第３フック部２１２を有している。

第３接触部２１１は、プリント配線基板２０（第３電子デバイス）に接触する部分である。
第３接触部２１１の先端には、尖鋭部分が形成されている。同図の場合、尖鋭部分は１つ山であるが、いわゆるクラウンカットのような形状でもよい。
第３接触部２１１の基端（先端の反対側）には、２本の第３フック部２１２が一体的に接続されている。

第３フック部２１２は、後述する第４端子２２０のスリット部２２３に引っ掛かるように構成された部分である。
第３フック部２１２は、第３延在部２１３及び第３直交部２１４を有している。

第３延在部２１３は、第３接触部２１１の基端から軸線Ｘの方向に沿って延びた部分である。第３延在部２１３は、例えば板状とされている。
第３延在部２１３は、第３接触部２１１の両端に１本ずつ設けられている。このため、第３接触部２１１は、第３接触部２１１及び２本の第３延在部２１３によって略Ｕ状に形成されることになる。

第３直交部２１４は、各第３延在部２１３の先端（同図において上端）から軸線Ｘと直交する方向において外側に向かって突出した部分である。

なお、一方の第３延在部２１３と他方の第３延在部２１３との間に臍部２１５を設けてもよい。
臍部２１５は、第３接触部２１１の基端から第３延在部２１３と同じ方向に延びた部分である。この臍部２１５には、ばね２３０が嵌め込まれて、ばね２３０の抜止め機構や保持機構として機能する。

図２９及び図３２に示すように、第４端子２２０は、いわゆるバレル形状であり、第４接触部２２１及び筒状部２２２を有している。

第４接触部２２１は、ＩＣパッケージ３０（第４電子デバイス）に接触する部分である。
第４接触部２２１の先端には、尖鋭部分が形成されている。同図の場合、尖鋭部分は、いわゆるクラウンカットとされている。
第４接触部２２１の基端（先端の反対側）には、筒状部２２２が一体的に接続されている。

筒状部２２２は、第４接触部２２１から軸線Ｘの方向に沿って延びた筒状の部分である。
筒状部２２２の内部は、第３端子２１０及びばね２３０が収容される空間とされている。
筒状部２２２には、スリット部２２３及びガイドスリット部２２４が形成されている。

スリット部２２３は、筒状部２２２の周壁において軸線Ｘの方向に沿って形成された長方形状の開口である。
スリット部２２３は、軸線Ｘを挟んで対称的に２本形成されている。

ガイドスリット部２２４は、筒状部２２２の周壁に形成された開口であり、筒状部２２２の縁２２２ａとスリット部２２３とを連通している。

この実施例では、ガイドスリット部２２４は、縦スリット２２４ａ及び横スリット２２４ｂを有している。

縦スリット２２４ａは、筒状部２２２の縁２２２ａから軸線Ｘの方向に沿って形成された長方形状の開口である。

横スリット２２４ｂは、軸線Ｘと直交する方向に沿って形成された長方形状の開口である。
横スリット２２４ｂの一端は、縦スリット２２４ａの端部に接続されている。
横スリット２２４ｂの他端は、スリット部２２３の第４接触部２２１側の端部に接続されている。

以上のように構成された第３端子２１０及び第４端子２２０は、図２９に示すように、第３フック部２１２の第３直交部２１４がスリット部２２３に引っ掛かることで連結している。
このとき、ばね２３０は、第３端子２１０及び第４端子２２０に弾性力をもって接触している。

これによって、第３端子２１０及び第４端子２２０が互いに離間する方向に付勢されつつ、第３フック部２１２とスリット部２２３との引っ掛かりによって互いに外れることのないコンタクトプローブ２００が構成されることになる。すなわち、第３直交部２１４がスリット部２２３で軸線Ｘの方向に摺動するコンタクトプローブ２００が構成されることになる。

［コンタクトプローブの組立方法］
コンタクトプローブ２００は、次のように組み立てられる。
まず、ばね２３０を筒状部２２２の内部に収容した状態で、第３直交部２１４が筒状部２２２の縁２２２ａから縦スリット２２４ａに導かれるように第３フック部２１２を移動させる。

次に、第３直交部２１４が横スリット２２４ｂに到達するまで第３端子２１０を軸線Ｘの方向に沿って押し込む。このとき、ばね２３０は圧縮された状態である。

次に、第３直交部２１４がスリット部２２３に到達するまで第３端子２１０を軸線Ｘの周りに回転させる。このとき、ばね２３０は依然として圧縮された状態である。

次に、第３端子２１０を解放する。
これによって、ばね２３０が伸長して第３端子２１０と第４端子２２０とが互いに離間するとともに第３フック部２１２の第３直交部２１４がスリット部２２３の端部に引っ掛かり、軸線Ｘの方向に伸縮可能なコンタクトプローブ２００の組立が完了する。

［実施例２］
図３３及び図３４に示すように、横スリット２２４ｂの他端を、スリット部２２３の縁２２２ａ側の部分に接続してもよい。

ただし、スリット部２２３の縁２２２ａ側の端部ではなく、その縁２２２ａ側の端部よりも第４接触部２２１側に寄せた位置に横スリット２２４ｂを接続することが好ましい。
具体的には、第３直交部２１４の厚さｔ３（図３０参照）と同程度の距離だけ第４接触部２２１側に寄せた位置に接続することが好ましい。

これによって、第３端子２１０と第４端子２２０とが最も離間したときに、第３直交部２１４をスリット部２２３に保持して、第３直交部２１４が横スリット２２４ｂから抜けることを回避することができる。
また、縦スリット２２４ａの軸線Ｘの方向に沿った寸法を短縮できるので、コンタクトプローブ２００の組立時における第３端子２１０の押し込み量（すなわち、ばね２３０の圧縮量）を可能な限り小さくすることができる。このため、ばね２３０の性能低下（弾性力の低下）を抑制できる。

［実施例３］
図３５及び図３６に示すように、ガイドスリット部２２４を傾斜させて傾斜スリット２２４ｃとしもよい。
これによって、コンタクトプローブ２００の組立時において、第３端子２１０の押込みと同時に第３端子２１０を軸線Ｘの周りに回転させることができる。

この実施例においても、傾斜スリット２２４ｃをスリット部２２３の縁２２２ａ側の端部ではなく、縁２２２ａ側の端部よりも第４接触部２２１側に寄せた位置に接続することが好ましい（実施例２参照）。

［変形例］
図３７及び図３８に示すように、ガイドスリット部２２４を省略してもよい。
この場合、第３端子２１０の第３延在部２１３を内側に弾性変形させることで、第３端子２１０を第４端子２２０の筒状部２２２に挿入することになる。

本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
第３直交部２１４は、スリット部２２３で軸線Ｘの方向に沿って摺動可能とされているので、第３直交部２１４とスリット部２２３とが引っ掛かることでばね２３０によって付勢された第３端子２１０と第４端子２２０との離間を規制することができる。これにより、第３直交部２１４とスリット部２２３とが引っ掛かった位置を第３端子２１０と第４端子２２０とが最も離間した位置されるとともに第３端子２１０と第４端子２２０とが互いに摺動可能なコンタクトプローブ２００が構成される。

また、第３直交部２１４をスリット部２２３に掛けるだけの簡易な方法でコンタクトプローブ２００を組み立てることができる。

また、ガイドスリット部２２４が形成されていれば、筒状部２２２の縁２２２ａから第３直交部２１４をスリット部２２３に導くことができる。すなわち、第３端子２１０を変形させることなく第３直交部２１４をスリット部２２３に導くことができる。

また、ガイドスリット部２２４が縦スリット２２４ａ及び横スリット２２４ｂを有していれば、第３直交部２１４が縦スリット２２４ａに沿うように第３端子２１０を縁２２２ａから押し込んだ後、第３直交部２１４が横スリット２２４ｂに沿うように第３端子２１０を軸線Ｘの周りに回転させることで、コンタクトプローブ２００を組み立てることができる。

また、ガイドスリット部２２４が傾斜スリット２２４ｃを有していれば、第３端子２１０の押込みと回転を同時に行うことができる。

また、ガイドスリット部２２４がスリット部２２３における筒状部２２２の縁２２２ａ側の端部よりも第４接触部２２１側の部分に接続されていれば、ガイドスリット部２２４との接続箇所よりも筒状部２２２の縁２２２ａ側の領域に第３直交部２１４を保持させることができる。これにより、第３端子２１０と第４端子２２０とが最も離間した位置（無負荷状態の位置）において第３直交部２１４が安定的にスリット部２２３に保持されることになる。

なお、実施例１から実施例３においては、図３９に示すように、第３端子２１０の第３延在部２１３を筒状に形成してもよい。この場合、コンタクトプローブ２００の組立時において、ばね２３０は筒状の第３延在部２１３の内側に嵌め込まれる。

１０ ソケット（検査用ソケット）
１１ ハウジング
１２ 可動台座
１２ａ 凹所
１３ 台座用ばね
２０ プリント配線基板（テスト基板）
３０ ＩＣパッケージ（検査デバイス）
１００ コンタクトプローブ
１１０ 第１端子
１１１ 第１接触部
１１２ 第１フック部
１１３ 第１延在部
１１４ 第１直交部
１１５ 第１返し部
１１６ 第１補助延在部
１１７ 第１突出部
１１８ 第１中間直交部
１２０ 第２端子
１２１ 第２接触部
１２２ 第２フック部
１２３ 第２延在部
１２４ 第２直交部
１２５ 第２返し部
１２６ 第２補助延在部
１２７ 第２突出部
１２８ 第２中間直交部
１３０ ばね（付勢部材）
２００ コンタクトプローブ
２１０ 第３端子
２１１ 第３接触部
２１２ 第３フック部
２１３ 第３延在部
２１４ 第３直交部
２１５ 臍部
２２０ 第４端子（バレル）
２２１ 第４接触部
２２２ 筒状部
２２２ａ 縁
２２３ スリット部
２２４ ガイドスリット部
２２４ａ 縦スリット
２２４ｂ 横スリット
２２４ｃ 傾斜スリット
２３０ ばね（付勢部材）

Claims (13)

1. ２つの電子デバイスを電気的に接続するとともに軸線方向に延びたコンタクトプローブであって、
   第１電子デバイスに接触する第１端子と、
   第２電子デバイスに接触する第２端子と、
   前記第１端子及び前記第２端子が前記軸線方向において互いに離間するようにそれらを付勢している付勢部材と、
   を備え、
   前記第１端子は、
   前記第１電子デバイスに接触する第１接触部と、
   該第１接触部から前記軸線方向に沿って延びている第１延在部と、
   該第１延在部から前記軸線方向と直交する方向に延びている第１直交部と、
   該第１直交部から前記第１接触部に向かって延びている第１返し部と、
   を有し、
   前記第２端子は、
   前記第２電子デバイスに接触する第２接触部と、
   該第２接触部から前記軸線方向に沿って延びている第２延在部と、
   該第２延在部から前記軸線方向と直交する方向に延びている第２直交部と、
   該第２直交部から前記第２接触部に向かって延びている第２返し部と、
   を有し、
   前記第１直交部と前記第２直交部とは、前記軸線方向から見たときに交差して、
   前記第１直交部は、前記第２延在部に隣接する領域で前記軸線方向に沿って摺動可能とされ、
   前記第２直交部は、前記第１延在部に隣接する領域で前記軸線方向に沿って摺動可能とされているコンタクトプローブ。
2. 前記第１端子は、前記軸線方向に沿って前記第１接触部から前記第１返し部の先端に向かって延びている第１補助延在部を有し、
   及び／又は、
   前記第２端子は、前記軸線方向に沿って前記第２接触部から前記第２返し部の先端に向かって延びている第２補助延在部を有している請求項１に記載のコンタクトプローブ。
3. 前記第１補助延在部は、前記第１返し部と接続されている請求項２に記載のコンタクトプローブ。
4. 前記第２直交部からの前記第２返し部の突出量は、前記第１直交部の厚さ寸法をｔ、ストローク量をＳとしたとき、０．５ｔ以上かつＳ以下とされている請求項２又は３に記載のコンタクトプローブ。
5. 前記第２補助延在部の先端と前記第２返し部の先端との間隔は、前記第１直交部の厚さ寸法をｔとしたとき、ｔ以上かつ２ｔ以下とされている請求項２から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
6. 前記第１端子は、前記軸線方向に沿って前記第１直交部から前記第２接触部に向かって延びている第１突出部を有し、
   及び／又は、
   前記第２端子は、前記軸線方向に沿って前記第２直交部から前記第１接触部に向かって延びている第２突出部を有している請求項１から５のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
7. 前記第１端子は、前記第１接触部と前記第１直交部との間において、前記第１延在部から前記第１直交部と平行に延びている第１中間直交部を有し、
   前記第２端子は、前記第２接触部と前記第２直交部との間において、前記第２延在部から前記第２直交部と平行に延びている第２中間直交部を有している請求項１から６のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
8. ２つの電子デバイスを電気的に接続するとともに軸線方向に延びたコンタクトプローブであって、
   第１電子デバイスに接触する第１端子と、
   第２電子デバイスに接触する第２端子と、
   前記第１端子及び前記第２端子が前記軸線方向において互いに離間するようにそれらを付勢している付勢部材と、
   を備え、
   前記第１端子は、前記第１電子デバイスに接触する第１接触部と、該第１接触部から前記軸線方向に沿って延びている第１延在部と、該第１延在部から前記軸線方向と直交する方向に延びている第１直交部と、該第１直交部から前記第１接触部に向かって延びている第１返し部と、を有し、
   前記第２端子は、前記第２電子デバイスに接触する第２接触部と、該第２接触部から前記軸線方向に沿って延びている第２延在部と、該第２延在部から前記軸線方向と直交する方向に延びている第２直交部と、該第２直交部から前記第２接触部に向かって延びている第２返し部と、を有しているコンタクトプローブの組立方法であって、
   前記軸線の方向から見たとき、
   前記第１直交部と前記第２直交部とを平行に並べる工程と、
   前記第１直交部と前記第２直交部とを直交させる工程と、
   を含む組立方法。
9. ２つの電子デバイスを電気的に接続するとともに軸線方向に延びたコンタクトプローブであって、
   第３電子デバイスに接触する第３端子と、
   第４電子デバイスに接触する第４端子と、
   前記第３端子及び前記第４端子が前記軸線方向において互いに離間するようにそれらを付勢している付勢部材と、
   を備え、
   前記第３端子は、
   前記第３電子デバイスに接触する第３接触部と、
   該第３接触部から前記軸線方向に沿って延びている第３延在部と、
   該第３延在部から前記軸線方向と直交する方向に延びている第３直交部と、
   を有し、
   前記第４端子は、
   前記第４電子デバイスに接触する第４接触部と、
   該第４接触部から前記軸線方向に沿って延びている筒状部と、
   を有し、
   前記筒状部は、前記軸線方向に沿って形成されているスリット部を有し、
   前記第３直交部は、前記スリット部で前記軸線方向に沿って摺動可能とされているコンタクトプローブ。
10. 前記筒状部には、縁と前記スリット部とを連通するガイドスリット部が形成されている請求項９に記載のコンタクトプローブ。
11. 前記ガイドスリット部は、前記筒状部の前記縁に連通して前記軸線方向に沿った縦スリットと、前記スリット部に連通して前記軸線方向と直交する方向に沿った横スリットと、を有している請求項１０に記載のコンタクトプローブ。
12. 前記ガイドスリット部は、前記軸線方向に対して傾斜した傾斜スリットを有している請求項１０に記載のコンタクトプローブ。
13. 前記ガイドスリット部は、前記スリット部における前記筒状部の前記縁側の端部よりも前記第４接触部側の部分に接続されている請求項１０から１２のいずれかに記載のコンタクトプローブ。

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