JP2022135644A - 撮像装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被撮像物の表面状態によらず、欠陥の見逃し又は虚報のおそれを抑制できる画像が得られる撮像装置を提供する。【解決手段】撮像装置は、被撮像物１を撮像して画像データを得る撮像部３と、被撮像物１に照射する正反射白色光源４ａと、被撮像物１に正反射ＲＧＢ光源と、拡散反射ＲＧＢ光源と、を備える照明部と、被撮像物１、又は、撮像部３及び照明部を搬送し、被撮像物１上の撮像部の撮像領域を変更する搬送部と、搬送部により撮像部３に対して相対的に移動される被撮像物の所定の領域が撮像部の撮像領域内にある時間内に、撮像部３が複数回の撮像が可能となるように、搬送部の搬送速度又は撮像部３の転送速度を制御する撮像制御部と、照明部の各光源の点灯タイミングを前記撮像部の撮像タイミングと同期させるように制御する照明制御部と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、主にプリント基板等の欠陥検査を行う基板外観検査装置に用いる光学系である撮像装置及びこれを用いた検査装置に関する。

従来、被検査物を撮像して得られた画像に基づいて、被検査物の表面の傷や異物混入の有無などを検査する撮像光学検査装置としては様々な構成が知られている。本出願人は、すでに撮像光学検査装置として、特定の光学系を有する検査装置（例えば、特許文献１参照。）を提案している。

特許第５８０６８０８号公報

上記撮像光学検査装置によれば、白色光で撮像された集積画像データによって主に凹凸欠陥を検査することができ、それぞれの単色光で撮像された集積画像データによってカラー印刷のそれぞれの原色成分の欠陥を示すことができる。

ところで、一般的に検査対象としてプリント基板等の欠陥検査を行う場合、外観検査装置でＮＧと判定された基板は、その後ベリファイ検査といわれる再検査工程に送られ、最終的なＯＫ／ＮＧ判定を行うことが多い。通常、ベリファイ検査では人の目で見た状態に近いカラー画像（ＲＧＢ画像）を用いて、検査員が目視判定を行う。そのため、本出願人は、例えば、電極の金めっき等のように、その表面状態によって反射特性が変わりカラー画像における明るさが変化する部分において、欠陥の見逃し又は虚報のおそれがあるという課題を見出した。

そこで、本発明は、被撮像物の表面状態によらず、欠陥の見逃し又は虚報のおそれを抑制できる画像が得られる撮像装置を提供することを目的とする。

本発明に係る撮像装置は、被撮像物を撮像して画像データを得る撮像部と、被撮像物に白色光を照射し被撮像物からの反射光が正反射光として撮像部に入射する位置に配置された正反射白色光源と、被撮像物にＲＧＢの各光を照射し被撮像物からの反射光が正反射光として撮像部に入射する位置に配置された正反射ＲＧＢ光源と、被撮像物にＲＧＢの各光を照射し被撮像物からの反射光が拡散反射光として撮像部に入射する位置に配置された拡散反射ＲＧＢ光源と、を備える照明部と、被撮像物、又は、撮像部及び照明部を搬送し、被撮像物と撮像部との位置を相対的に移動させ、被撮像物上の撮像部の撮像領域を変更する搬送部と、搬送部により撮像部に対して相対的に移動される被撮像物の所定の領域が撮像部の撮像領域内にある時間内に、撮像部が複数回の撮像が可能となるように、搬送部の搬送速度又は撮像部の転送速度を制御する撮像制御部と、照明部の各光源の点灯タイミングを撮像部の撮像タイミングと同期させるように制御する照明制御部と、を備える。

本発明に係る撮像装置によれば、めっきの表面状態によらず、欠陥の見逃し又は虚報のおそれを抑制できる画像が得られる。

実施の形態１に係る撮像装置の構成を示す概略図である。 実施の形態１に係る撮像装置の構成及びこの撮像装置を含む検査装置の構成を示すブロック図である。 実施の形態１に係る撮像方法のフローチャートである。 実施例１に係る撮像装置によって撮像された基板の表面状態のＲＧＢ光源による画像及び白色光源による画像を示す概略図である。

第１の態様に係る撮像装置は、被撮像物を撮像して画像データを得る撮像部と、被撮像物に白色光を照射し被撮像物からの反射光が正反射光として撮像部に入射する位置に配置された正反射白色光源と、被撮像物にＲＧＢの各光を照射し被撮像物からの反射光が正反射光として撮像部に入射する位置に配置された正反射ＲＧＢ光源と、被撮像物にＲＧＢの各光を照射し被撮像物からの反射光が拡散反射光として撮像部に入射する位置に配置された拡散反射ＲＧＢ光源と、を備える照明部と、被撮像物、又は、撮像部及び照明部を搬送し、被撮像物と撮像部との位置を相対的に移動させ、被撮像物上の撮像部の撮像領域を変更する搬送部と、搬送部により撮像部に対して相対的に移動される被撮像物の所定の領域が撮像部の撮像領域内にある時間内に、撮像部が複数回の撮像が可能となるように、搬送部の搬送速度又は撮像部の転送速度を制御する撮像制御部と、照明部の各光源の点灯タイミングを撮像部の撮像タイミングと同期させるように制御する照明制御部と、を備える。

第２の態様に係る撮像装置は、上記第１の態様において、撮像部から得られた画像データに基づき、正反射白色光源による画像データを集積した正反射白色画像データと、正反射ＲＧＢ光源及び拡散反射ＲＧＢ光源による画像データを集積したＲＧＢ画像データとを作成する画像処理部をさらに備えてもよい。

第３の態様に係る撮像装置は、上記第１又は第２の態様において、照明制御部によって、正反射ＲＧＢ光源と拡散反射ＲＧＢ光源とを同じタイミングで点灯させ、画像処理部によって、正反射ＲＧＢ光源と拡散反射ＲＧＢ光源が同時に照射された状態で撮像された画像データを集積したＲＧＢ画像データを作成してもよい。

第４の態様に係る撮像装置は、上記第１から第３のいずれかの態様において、正反射白色光源と前記正反射ＲＧＢ光源とは一台の照明装置で構成されてもよい。

第５の態様に係る検査装置は、上記第１から第４のいずれかの態様に係る撮像装置と、撮像装置において得られた正反射白色画像データと、正反射ＲＧＢ光源及び拡散反射ＲＧＢ光源による画像データを集積したＲＧＢ画像データとに基づいて、被撮像物の表面状態を検査する検査部と、を備える。

以下、実施の形態に係る撮像装置及びこの撮像装置を用いた検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。なお、図面において実質的に同一の部材については同一の符号を付している。

（実施の形態１）
＜撮像装置＞
図１は、実施の形態１に係る撮像装置１０の構成を示す概略図である。図２は、実施の形態１に係る撮像装置１０の構成及びこの撮像装置１０を含む検査装置２０の構成を示すブロック図である。
実施の形態１に係る撮像装置１０は、被撮像物１を撮像する撮像部３と、被撮像物１を搬送する搬送部２と、被撮像物１を照射する照明部４ａ～４ｇと、撮像制御部５と、照明制御部６、画像処理部７と、同期信号発生部８と、を備える。照明部４ａ～４ｇは、正反射白色光源４ａと、正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄと、拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇと、を備える。ここでＲＧＢ光源とは、典型的には色の三原色である赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の単色光をそれぞれ発光する３つの光源を組み合わせたものであり、ＲＧＢ各色の発光素子ごとに点灯制御が可能な光源である。しかしこれに限らず、同様の照明条件を実現可能なものであればよい。
この撮像装置１０では、ＲＧＢ光源が正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄと、拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇと、を有する。そこで、これらを合わせた画像とすることで、めっきの表面状態が鏡面に近い状態で正反射光が強い場合も、表面状態が拡散面で拡散反射光が強い場合もそれぞれ画像を得ることができる。また、段差等の凹凸欠陥はＲＧＢ光源によるカラー画像では検出しにくく、白色光源によるモノクロ画像によるほうが検出しやすい。さらに、白色光源であっても、段差は拡散反射光源ではほとんど検出できず、正反射光源でなければ検出できない。この撮像装置１０では、正反射白色光源４ａを有するので、パターンの段差やレジスト上の段差などの凹凸欠陥を高精度に検出できる。
なお、画像処理部７は必須のものではない。また、撮像制御部５によって、同期信号発生部の機能を兼ねてもよい。

以下に、この撮像装置１０を構成する各部材について説明する。

＜被撮像物＞
被撮像物１は、例えば、プリント基板であり、例えば、銅の上に金めっき等のめっきを有するプリント基板である。

＜搬送部＞
搬送部２は、例えば、被撮像物１を一方向に搬送するものであってもよい。搬送部２としては、例えば、汎用の単軸ロボットによる搬送ステージを用いればよい。搬送部２によって被撮像物１を搬送し、被撮像物１と撮像部３との位置を相対的に移動させ、被撮像物１上の撮像部３の撮像領域を変更する。
なお、この撮像装置１０において、搬送部２は被撮像部を搬送するものでなくてもよい。例えば、撮像部及び照明部を一体的な撮像ユニットとして構成し、これを搬送部２によって被撮像物１に対して一方向に搬送して被撮像物の全体を撮像することができる。この場合にも被撮像物１と撮像部３との位置を相対的に移動させ、被撮像物１上の撮像部３の撮像領域を変更することができる。

＜撮像部＞
撮像部３は、被撮像物を撮像して画像データを得るためのＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子３ａを有する。また、撮像部３は、ラインセンサあるいはエリアセンサのいずれであってもよい。搬送方向に沿って高速に走査するために、ラインセンサを用いてもよい。ラインセンサは単一のモノクロラインセンサであってもよい。撮像部３は、図１では水平面から８３°の角度、法線とのなす角では７°とほぼ法線方向であり、非常に高角度に配置されているが、このような場合に限られない。
なお、図２では、レンズ３ｂを撮像部３とは分離して示しているが、これは、単に略真上から撮像している撮像状態を示すために便宜的にレンズ３ｂを撮像部３から分離して示しているにすぎない。なお、レンズ３ｂは、撮像部３に含まれてもよい。また、図２では撮像部３と後段の画像処理部７等を分離して示すいわゆるヘッド分離型として示しているが、一体型であってもよい。後段の撮像制御部５、画像処理部７等は、制御部としてまとまっていてもよい。
また、画像信号を低階調化して外部に出力する出力手段を備えてもよい。

＜照明部＞
照明部４ａ～４ｇとしては、正反射白色光源４ａと、正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄと、拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇと、を備える。正反射白色光源４ａは、被撮像物１に白色光を照射し被撮像物１からの反射光が正反射光として撮像部３に入射する位置に配置されている。正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄは、被撮像物１にＲＧＢの各光を照射し被撮像物１からの反射光が正反射光として撮像部３に入射する位置に配置されている。したがって、正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄは、正反射白色光源４ａと実質的に同方向から照射するように配置されている。そのため、正反射白色光源４ａと正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄとは一台の照明装置で構成されてもよい。また、正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄは、正反射Ｒ光源４ｂと、正反射Ｇ光源４ｃと、正反射Ｂ光源４ｄと、からなる。拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇは、被撮像物１にＲＧＢの各光を照射し被撮像物１からの反射光が拡散反射光として撮像部３に入射する位置に配置されている。拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇは、拡散反射Ｒ光源４ｅと、拡散反射Ｇ光源４ｆと、拡散反射Ｂ光源４ｇと、からなる。したがって、照明部４ａ～４ｇは、７チャンネルの光源を有している。

また、正反射白色光源４ａ及び正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄは、図１では水平面から８３°の角度、法線とのなす角では７°とほぼ法線方向であり、非常に高角度に配置されている。高角度に配置することで、低角度の場合に比べて反射光がより明るくなるので、欠陥を検出しやすくなる。なお、配置はこのような高角度の場合に限られない。一方、拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇは、図１では水平面から６２°の角度、法線とのなす角では２８°に配置されている。一般的に拡散反射光源は水平面から４５°、法線からも４５°の角度で配置されることが多いが、正反射光源が高角度に配置されているので、拡散反射光源による画像が正反射光による反射光に比べて暗くなりすぎないように通常の４５°よりもやや高角度に配置している。なお、配置はこのような場合に限られない。
なお、正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄは、入射方向と被撮像物１の面の法線とのなす入射角が拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇの入射角より小さい、つまり、より高角度に配置している。
また、拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇは、図１では正反射白色光源４ａ及び正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄと逆側に配置されているが、これに限られず、同じ側に配置してもよい。図１では物理的な衝突を避けるために、正反射白色光源４ａ及び正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄと、拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇとは、それぞれ逆側に配置している。

照明部４ａ～４ｇは、７つのチャンネルを適宜切り替えて異なる照明条件で被撮像物１を照射できる。また、７つのチャンネルのうち複数のチャンネルを同時に点灯して照射してもよい。例えば、正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄと拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇとを同じタイミングで点灯して照射してもよい。この場合には、正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄ及び拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇによる画像データを集積したＲＧＢ画像データを取得することができる。
なお、照明部は、上記７つのチャンネルに限られない。さらに複数のチャンネルを設けてもよい。

＜撮像制御部＞
撮像制御部５によって、搬送部２により搬送される被撮像物１の所定の領域が撮像部３の撮像領域内にある時間内に、撮像部３によって複数回の撮像ができるように、つまり、撮像部３から複数回のデータ転送が可能となるように、搬送部２の搬送速度又は撮像部３の転送速度を制御する。

＜照明制御部＞
照明制御部６によって、照明部の各光源４ａ～４ｇの点灯タイミングを撮像部３の撮像タイミングと同期させる、つまり、データ転送と同期させるように制御する。照明制御部６によって、上記同期信号に基づいて各光源４ａ～４ｇを順次切り替える。なお、スイッチング撮像における照明条件の制御は、複数の照明を順次切り替えることだけに限られず、例えば、２つ以上の照明を組み合わせて同時に照射してもよく、また、１つの照明を、波長や明るさを切り替えながら複数回照射してもよい。
なお、照明制御部６は、撮像制御部５又は同期信号発生部８のいずれに設けられていてもよい。また、これらと機能を兼ねていてもよい。あるいは、別体として設けられていてもよい。

＜同期信号発生部＞
同期信号発生手段８は、特開２０１２－４２２９７号公報に記載のように、撮像部３と、照明制御部６と、に同期信号を送り、各光源４ａ～４ｇによる照明条件の切り替えと、撮像のタイミングと、を同期させる、いわゆるスイッチング撮像方式で駆動させることができる。また、撮像の終了後、次の照明条件への切り替えと、１つ前の照明条件によって撮像された画像信号についての出力とを、同期させる。したがって、各光源４ａ～４ｇの切り替えと、１つ前の照明条件に対応する出力とを同期させることとなる。
なお、同期信号発生部８は、撮像制御部５又は照明制御部６のいずれに設けられていてもよい。また、これらと機能を兼ねていてもよい。あるいは、別体として設けられていてもよい。

＜画像処理部＞
画像処理部７は、撮像部３から転送された画像データに基づき、正反射白色光源４ａによる画像データを集積した正反射白色画像データを作成する。また、正反射ＲＧＢ光源４ａ、４ｂ、４ｃ及び拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇによる画像データを集積したＲＧＢ画像データを作成する。

＜撮像方法＞
図３は、実施の形態１に係る撮像装置において、ｍ_ｍａｘ個の照明を順次切り替えて撮像を行うスイッチング撮像において、画像データを得る撮像方法のフローチャートである。
（１）初期設定として、ｎ＝１、ｍ＝１に設定する（Ｓ０１）。
（２）ｎライン目の撮像を開始する（Ｓ０２）。
（３）ｍ番目の照明を点灯する（Ｓ０３）。
（４）露光して撮像し、画像信号を得る（Ｓ０４）。
（５）ｍ番目の照明を消灯する（Ｓ０５）。
（６）ｍ番目の照明に対応する画像信号を出力する（Ｓ０６）。
（７）照明の番号ｍがｍ_ｍａｘか否か判断（Ｓ０７）し、ｍ_ｍａｘである場合には照明の番号ｍを１にリセット（Ｓ０８）し、ｍ_ｍａｘでない場合にはｍをインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）（Ｓ０９）し、ステップＳ０３に戻る。なお、照明の番号ｍのリセット（Ｓ０８）は、この段階で行う場合に限られない。例えば、ｎライン目の撮像を開始する（Ｓ０２）際に同時に照明の番号ｍをリセットしてもよい。
（８）照明の番号ｍを１にリセットした後、ラインの番号ｎがｎ_ｍａｘであるか判断（Ｓ１０）し、ｎ_ｍａｘである場合には撮像を終了する。ラインの番号ｎがｎ_ｍａｘでない場合、ｎをインクリメント（ｎ＝ｎ＋１）（Ｓ１１）し、ステップＳ０２に戻る。
以上によって、ｍ_ｍａｘ個の照明を順次切り替えて撮像を行うスイッチング撮像において、照明ごとに対応する画像データを得ることができる。

＜検査装置＞
検査装置２０は、上記撮像装置１０と、検査部１２とを備える。検査部１２によって、撮像装置１０において得られた正反射白色画像データと、正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄ及び拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇによる画像データを集積したＲＧＢ画像データとに基づいて、被撮像物１の表面状態を検査する。検査部１２は、例えば、画像データについてパターンマッチングの手法を用いて被撮像物１の形状、模様、色彩等を検査してもよい。また、種々の画像処理フィルタを用いて被撮像物１の欠陥を抽出してもよい。なお、複数の画像の組み合わせは上記のＲＧＢ全ての画像の組み合わせに限定されない。例えば、Ｒ画像のみ、Ｇ画像のみ等の組み合わせを用いてもよい。

検査部１２では、得られた画像データに基づいて被撮像物１の検査を行う。例えば、欠陥検査では合格品（ＯＫ品）と色の見え方が異なる欠陥を検出する場合と、凹凸欠陥を検出する場合のおよそ２種類の検査がある。

一つ目の、合格品（ＯＫ品）と色の見え方が異なる欠陥としては、例えば、ＰＡＤ形状、キズ、異物、金パッド上の銅見え（金めっきの金が欠けて下地の銅が見えている）などの欠陥がある。これらの欠陥は、カラー画像で検査することで目視検査と同等の条件で検出できる。この検査装置２０においては、カラー画像としては、正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄによる画像データと、拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇによる画像データとがある。金めっき等のめっきの表面が鏡面に近い場合には正反射光が強くなり拡散反射光が弱くなる。これに対して、めっきの表面が拡散面の場合には正反射光が弱くなり拡散反射光が強くなる。実施の形態１に係る撮像装置及び検査装置によれば、めっきの表面が鏡面でも拡散面でもどちらの状態でも、正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄによる画像データと、拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇによる画像データとを集積することで、全方位からの照明である、いわゆるドーム照明のような効果が得られ、十分な明るさのカラー画像が得られる。これによって、めっきの表面状態による欠陥の見逃し又は虚報のおそれを抑制でき、欠陥検出の精度を向上させることができる。

二つ目の、凹凸欠陥としては、パターン段差、ＰＡＤ凹凸、レジスト下の異物（異物による段差）、キズや異物（による凹凸）などがある。なお、パターンの段差はそれ自体では欠陥とならない場合もあるが、異物等の存在などの条件で欠陥となる場合がある。これらの欠陥は、カラー画像では見にくいが、正反射白色光源による画像データであれば、凹凸における角度や反射率の違いで検出できる。実施の形態１に係る撮像装置及び検査装置によれば、正反射白色光源４ａによる画像データによって凹凸欠陥を検出できる。

図４は、実施例１に係る撮像装置によって撮像された基板の表面状態のＲＧＢ光源による画像及び白色光源による画像を示す概略図である。
図４において、ＯＳＰとは水溶性プリフラックスである。正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄによる画像データと、拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇによる画像データとを集積したカラー画像において、ＯＳＰはオレンジ色であった。また、金パッドは、金色であった。金パッド上の銅見えも金色の中に銅色がのぞいていた。なお、図４に示されるように、カラー画像では、パターンの段差、金パッド凸凹、レジスト上の段差はいずれも検出しにくいことがわかる。
一方、正反射白色光源４ａによるモノクロ画像では、ＯＳＰが灰色となり、金パッドは白色となる。これに対して、パターンの段差、レジスト上の段差は、やや暗い画像ながら、模式図に示したような縞状構造や濃淡を有する島状段差の存在がわかる。また、金パッド上の銅は周囲の白色の中に黒く見えている。金パッドの凹凸も周囲の白色の中に凹凸部分が黒く映っている。

この撮像装置及びこれを備えた検査装置によれば、正反射白色光源４ａと、正反射ＲＧＢ光源４ｂ、４ｃ、４ｄと、拡散反射ＲＧＢ光源４ｅ、４ｆ、４ｇと、を備える。これによって、金めっき等のめっきの表面状態によらず、欠陥を検出することができる。

なお、本開示においては、前述した様々な実施の形態及び／又は実施例のうちの任意の実施の形態及び／又は実施例を適宜組み合わせることを含むものであり、それぞれの実施の形態及び／又は実施例が有する効果を奏することができる。

本発明に係る撮像装置及びこれを用いた検査装置によれば、被撮像物である金めっき等のめっきの表面状態によらず欠陥を検出することができる。

１ 被撮像物
２ 搬送部
３ 撮像部
３ａ 撮像素子
３ｂ レンズ
４ａ 正反射白色光源
４ｂ 正反射Ｒ光源
４ｃ 正反射Ｇ光源
４ｄ 正反射Ｂ光源
４ｅ 拡散反射Ｒ光源
４ｆ 拡散反射Ｇ光源
４ｇ 拡散反射Ｂ光源
５ 撮像制御手段
６ 照明制御手段
７ 画像処理部
８ 同期信号発生手段
１０ 撮像装置
１２ 検査部
２０ 検査装置

Claims (5)

1. 被撮像物を撮像して画像データを得る撮像部と、
   前記被撮像物に白色光を照射し前記被撮像物からの反射光が正反射光として前記撮像部に入射する位置に配置された正反射白色光源と、前記被撮像物にＲＧＢの各光を照射し前記被撮像物からの反射光が正反射光として前記撮像部に入射する位置に配置された正反射ＲＧＢ光源と、前記被撮像物にＲＧＢの各光を照射し前記被撮像物からの反射光が拡散反射光として前記撮像部に入射する位置に配置された拡散反射ＲＧＢ光源と、を備える照明部と、
   前記被撮像物、又は、前記撮像部及び前記照明部を搬送し、前記被撮像物と前記撮像部との位置を相対的に移動させ、前記被撮像物上の前記撮像部の撮像領域を変更する搬送部と、
   前記搬送部により前記撮像部に対して相対的に移動される前記被撮像物の所定の領域が前記撮像部の撮像領域内にある時間内に、前記撮像部が複数回の撮像が可能となるように、前記搬送部の搬送速度又は前記撮像部の転送速度を制御する撮像制御部と、
   前記照明部の前記各光源の点灯タイミングを前記撮像部の撮像タイミングと同期させるように制御する照明制御部と、
   を備える、撮像装置。
2. 前記撮像部から得られた画像データに基づき、前記正反射白色光源による画像データを集積した正反射白色画像データと、前記正反射ＲＧＢ光源及び前記拡散反射ＲＧＢ光源による画像データを集積したＲＧＢ画像データとを作成する画像処理部をさらに備える、請求項１に記載の撮像装置。
3. 前記照明制御部によって、前記正反射ＲＧＢ光源と前記拡散反射ＲＧＢ光源とを同じタイミングで点灯させ、
   前記画像処理部によって、前記正反射ＲＧＢ光源と前記拡散反射ＲＧＢ光源が同時に照射された状態で撮像された画像データを集積したＲＧＢ画像データを作成する、請求項２に記載の撮像装置。
4. 前記正反射白色光源と前記正反射ＲＧＢ光源とは一台の照明装置で構成される、請求項１から３のいずれか一項に記載の撮像装置。
5. 請求項１から４のいずれか一項に記載の前記撮像装置と、
   前記撮像装置において得られた前記正反射白色画像データと、前記正反射ＲＧＢ光源及び前記拡散反射ＲＧＢ光源による画像データを集積した前記ＲＧＢ画像データとに基づいて、前記被撮像物の表面状態を検査する検査部と、
   を備えた、検査装置。

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