JP2022155322A

JP2022155322A - Packaging method of sputtering target and package of sputtering target

Info

Publication number: JP2022155322A
Application number: JP2021058762A
Authority: JP
Inventors: 栞里河村; Shiori KAWAMURA; 慎司加藤; Shinji Kato
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 2021-03-30
Filing date: 2021-03-30
Publication date: 2022-10-13

Abstract

To provide a packaging method of a sputtering target capable of preventing a generation of stain in the sputtering target, and a package of the sputtering target.SOLUTION: A packaging method of a sputtering target according to the invention includes a first encapsulation process where a sputtering target and an oxidation inhibitor are accommodated in a first packaging bag made of a resin film and the first packaging bag is encapsulated with an inert gas supplied inside, and may further include a second packaging process where the sputtering target accommodated in the first packaging bag is accommodated in a second packaging bag and the second packaging bag is encapsulated with an air inside evacuated.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、スパッタリングターゲットの梱包方法及びスパッタリングターゲットの梱包体に関する。 The present invention relates to a sputtering target packaging method and a sputtering target packaging.

従来、スパッタリングターゲットは、半導体デバイス等の産業分野において、スパッタリング法による薄膜形成用の材料として用いられている。このスパッタリングターゲットは、スパッタリング中に発生する異常放電が少ないことが求められている。この異常放電は、例えば、ターゲット表面に付着した異物や水分に起因している。このようなターゲット表面に異物や水分が付着することを抑制するため、例えば、スパッタリングターゲットを容器又はフィルム状のシールの中に入れて真空封止する特許文献１に記載のスパッタリングターゲットの梱包体の作成方法が知られている。 BACKGROUND ART Conventionally, sputtering targets have been used as materials for thin film formation by a sputtering method in industrial fields such as semiconductor devices. This sputtering target is required to generate less abnormal discharge during sputtering. This abnormal discharge is caused, for example, by foreign matter or moisture adhering to the target surface. In order to suppress the adhesion of foreign substances and moisture to such a target surface, for example, the sputtering target package is described in Patent Document 1, in which the sputtering target is placed in a container or a film-shaped seal and vacuum sealed. How to make is known.

特許文献１に記載のスパッタリングターゲットの梱包体の作成方法では、水蒸気透過度が１ｇ／（ｍ^２・２４ｈ）以下のフィルムでできた第一梱包袋の中にスパッタリングターゲットを収納した後に、第一梱包袋の開口部を真空封止する第１工程と、水蒸気透過度が１ｇ／（ｍ^２・２４ｈ）以下のフィルムでできた第二梱包袋の中に第１工程で真空封止された第一梱包袋を収納した後に、第二梱包袋の中に空気及び不活性ガスよりなる群から選択される一種又は二種以上のクッションガスを封入し、第二梱包袋の開口部を封止する第２工程と、を備えている。また、第１工程では、第１梱包袋の中にスパッタリングターゲットとともに、乾燥剤を収納することが開示されている。 In the method for producing a sputtering target package described in Patent Document 1, after the sputtering target is housed in a first packing bag made of a film having a water vapor permeability of 1 g / (m ² · 24 h) or less, the first A first step of vacuum sealing the opening of the packaging bag, and a second packaging bag made of a film with a water vapor permeability of 1 g / (m ² 24 h) or less Vacuum sealed in the first step After housing one packing bag, the second packing bag is filled with one or more cushion gases selected from the group consisting of air and inert gas, and the opening of the second packing bag is sealed. and a second step. Further, it is disclosed that in the first step, a desiccant is placed in the first packing bag together with the sputtering target.

特開２０２０－１６４９７３号公報JP 2020-164973 A

しかしながら、特許文献１に記載の方法では、第一梱包袋内を真空封止しているので、スパッタリングターゲットの形状によっては、梱包袋にシワがより易く、このシワの部分に水蒸気が溜まることによって、スパッタリングターゲットにおいてこのシワの部分に近い部分にシミが生じる。この点、特許文献１に記載の方法では、乾燥剤をスパッタリングターゲットの上に乾燥剤を配置しているものの、真空状態で封止されるため、乾燥剤とシワが発生する部位とがつながっていない場合、結局シワ部分に発生した水蒸気を適切に除去することができない。このため、スパッタリングターゲットにシミが生じることを抑制できるスパッタリングターゲットの梱包方法が望まれている。 However, in the method described in Patent Document 1, since the inside of the first packing bag is vacuum-sealed, depending on the shape of the sputtering target, the packing bag is more likely to wrinkle. , a stain is generated in a portion of the sputtering target close to the wrinkle portion. In this regard, in the method described in Patent Document 1, although the desiccant is placed on the sputtering target, the desiccant is sealed in a vacuum state, so the desiccant and the wrinkled portion are connected. Otherwise, the water vapor generated in the crease cannot be properly removed. Therefore, there is a demand for a sputtering target packing method capable of suppressing stains on the sputtering target.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、スパッタリングターゲットにシミが発生することを抑制できるスパッタリングターゲットの梱包方法及びスパッタリングターゲットの梱包体を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a sputtering target packing method and a sputtering target package that can suppress the occurrence of stains on the sputtering target.

本発明のスパッタリングターゲットの梱包方法は、樹脂フィルム製の第１梱包袋内にスパッタリングターゲット及び酸化防止剤を収納するとともに、内部に不活性ガスを供給した状態で前記第１梱包袋を封止する第１封止工程を備える。 In the sputtering target packing method of the present invention, the sputtering target and the antioxidant are housed in a first packing bag made of a resin film, and the first packing bag is sealed while an inert gas is supplied to the inside. A first sealing step is provided.

本発明では、スパッタリングターゲットが第１梱包袋内に酸化防止剤が収納され、不活性ガスが供給された状態で封止されているので、樹脂フィルムを介して水分が第１梱包袋内に入り込んだとしても、該水分は酸化防止剤により吸収されるので、スパッタリングターゲットに水分に基づくシミが発生することを抑制できる。 In the present invention, since the sputtering target is sealed with the antioxidant contained in the first packaging bag and the inert gas supplied, moisture enters the first packaging bag through the resin film. Even so, since the moisture is absorbed by the antioxidant, it is possible to suppress the occurrence of moisture-based stains on the sputtering target.

本発明のスパッタリングターゲットの梱包方法の好ましい態様としては、前記第１梱包袋に収納された前記スパッタリングターゲットを第２梱包袋内に収容し、内部の空気を脱気した状態で前記第２梱包袋を封止する第２封止工程をさらに備えるとよい。
上記態様では、スパッタリングターゲットが第１梱包袋及び第２梱包袋の２層構造で保護されるので、スパッタリングターゲットをより確実に保護できる。 As a preferred embodiment of the sputtering target packing method of the present invention, the sputtering target housed in the first packing bag is housed in a second packing bag, and the second packing bag is degassed from the inside air. It is preferable to further include a second sealing step of sealing the .
In the above aspect, since the sputtering target is protected by the two-layer structure of the first packing bag and the second packing bag, the sputtering target can be protected more reliably.

本発明のスパッタリングターゲットの梱包方法の好ましい態様としては、前記第１封止工程では、前記酸化防止剤を前記スパッタリングターゲットの表面積１ｃｍ^２当たり０．００５ｇ以上収納するとよい。
上記態様では、スパッタリングターゲットの表面に付着する可能性がある水分量を十分に吸収し、かつ酸化を防止できる十分な量の酸化防止剤を第１梱包袋内に収納するので、スパッタリングターゲットにシミが生じることをより確実に抑制できる。 As a preferred aspect of the sputtering target packing method of the present invention, in the first sealing step, the antioxidant is contained in an amount of 0.005 g or more per 1 cm ² of surface area of the sputtering target.
In the above-described aspect, since a sufficient amount of antioxidant capable of absorbing a sufficient amount of water that may adhere to the surface of the sputtering target and preventing oxidation is contained in the first packing bag, the sputtering target is free from stains. can be suppressed more reliably.

本発明のスパッタリングターゲットの梱包方法の好ましい態様としては、前記第１封止工程では、周囲がフィルムで覆われた状態の前記酸化防止剤を収納するとよい。
上記態様では、酸化防止剤が直接スパッタリングターゲットに触れないようにフィルムで覆われているので、酸化防止剤が接触することにより生じるシミの発生を抑制できる。 As a preferred aspect of the sputtering target packing method of the present invention, in the first sealing step, the antioxidant is housed in a state where the periphery is covered with a film.
In the above aspect, since the antioxidant is covered with a film so as not to come into direct contact with the sputtering target, it is possible to suppress the occurrence of stains caused by the contact of the antioxidant.

本発明のスパッタリングターゲットの梱包方法の好ましい態様としては、前記第１封止工程では、前記第１梱包袋に前記スパッタリングターゲットを収納した後、前記酸化防止剤を前記スパッタリングターゲットの側面に対向する位置に収納して前記第１梱包袋に該酸化防止剤を固定するとよい。
上記態様では、スパッタリングターゲットの上面や下面に酸化防止剤が直接接触することがないので、酸化防止剤が接触することにより生じるシミの発生を抑制できる。 As a preferred aspect of the sputtering target packing method of the present invention, in the first sealing step, after the sputtering target is accommodated in the first packing bag, the antioxidant is placed at a position facing the side surface of the sputtering target. , and the antioxidant is preferably fixed to the first packing bag.
In the above aspect, the antioxidant does not come into direct contact with the upper and lower surfaces of the sputtering target, so stains caused by the contact of the antioxidant can be suppressed.

本発明のスパッタリングターゲットの梱包体は、樹脂フィルム製の第１梱包袋内に不活性ガス及び酸化防止剤とともにスパッタリングターゲットが収容されてなる。
本発明では、スパッタリングターゲットとともに不活性ガス及び酸化防止剤が収容されているので、スパッタリングターゲットの酸化を抑制するとともに、水分に基づくシミの発生を抑制できる。 In the sputtering target package of the present invention, a sputtering target is accommodated together with an inert gas and an antioxidant in a first packing bag made of a resin film.
In the present invention, since the inert gas and the antioxidant are contained together with the sputtering target, it is possible to suppress the oxidation of the sputtering target and suppress the occurrence of stains due to moisture.

本発明のスパッタリングターゲットの梱包体の好ましい態様としては、前記スパッタリングターゲットは、ターゲットと、該ターゲットが固定されるバッキングプレートとからなり、前記バッキングプレートは、Ｃｕを含有しているとよい。
上記態様では、酸化しやすいＣｕを含有するバッキングプレートであっても、酸化を抑制できる。 In a preferred embodiment of the sputtering target package of the present invention, the sputtering target comprises a target and a backing plate to which the target is fixed, and the backing plate preferably contains Cu.
In the above aspect, even a backing plate containing Cu, which is easily oxidized, can be prevented from being oxidized.

本発明によれば、簡易な方法でスパッタリングターゲットにシミが発生することを抑制できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it can suppress that a stain generate|occur|produces in a sputtering target by a simple method.

本発明の一実施形態に係るスパッタリングターゲットを示す斜視図である。1 is a perspective view showing a sputtering target according to an embodiment of the invention; FIG. 上記実施形態のスパッタリングターゲットの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the sputtering target of the embodiment; 上記実施形態のスパッタリングターゲットの梱包体の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a package of sputtering targets according to the embodiment; 上記実施形態のスパッタリングターゲットの梱包方法を示すフローチャートである。4 is a flow chart showing a packing method for the sputtering target of the above embodiment. 上記実施形態のスパッタリングターゲットの梱包方法における第１梱包袋にスパッタリングターゲットを収納した状態を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a state in which a sputtering target is accommodated in a first packing bag in the sputtering target packing method of the embodiment; 上記実施形態のスパッタリングターゲットの梱包方法における第１梱包袋のスパッタリングターゲットの横に酸化防止剤を収納した状態を示す図である。FIG. 4 is a view showing a state in which an antioxidant is stored next to the sputtering target in the first packing bag in the sputtering target packing method of the embodiment. 上記実施形態のスパッタリングターゲットの梱包方法における第１梱包袋内に不活性ガスを供給する様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that inert gas is supplied in the 1st packing bag in the packing method of the sputtering target of the said embodiment. 上記実施形態のスパッタリングターゲットの梱包方法における第２梱包袋内に第１梱包袋に収容されたスパッタリングターゲットを収納する様子を示す概略図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing how the sputtering target accommodated in the first packing bag is accommodated in the second packing bag in the sputtering target packing method of the embodiment.

以下、本発明のスパッタリングターゲットの梱包方法及びスパッタリングターゲットの梱包体の位置実施形態について図面を用いて説明する。 Hereinafter, embodiments of the sputtering target packing method and the sputtering target package of the present invention will be described with reference to the drawings.

本実施形態のスパッタリングターゲット１００の梱包体２００（以下、梱包体２００という）は、図３に示すように、スパッタリングターゲット１００が樹脂フィルム製の第１梱包袋５１及び第２梱包袋５２に密封された梱包体である。このスパッタリングターゲット１００は、図１及び図２に示すように、スパッタ面１１を有するターゲット１０と、ターゲット１０のスパッタ面１１とは反対側の面が固定されるバッキングプレート２０とからなる。このターゲット１０は、例えば、Ｓｉ（シリコン）や金属間化合物、セラミックスにより形成されており、円板状に形成されている。また、バッキングプレート２０は、導電性を高めるため、Ｃｕを含んだ金属、例えば、ＣｕやＣｒ-Ｃｕにより形成され、ターゲット１０よりも大きいサイズの円板状に形成されている。 As shown in FIG. 3, in a package 200 (hereinafter referred to as package 200) of the sputtering target 100 of the present embodiment, the sputtering target 100 is sealed in a first packing bag 51 and a second packing bag 52 made of resin film. It is a package. As shown in FIGS. 1 and 2, this sputtering target 100 comprises a target 10 having a sputtering surface 11 and a backing plate 20 to which the surface of the target 10 opposite to the sputtering surface 11 is fixed. The target 10 is made of, for example, Si (silicon), an intermetallic compound, or ceramics, and is shaped like a disc. The backing plate 20 is made of a metal containing Cu, such as Cu or Cr--Cu, in order to improve electrical conductivity, and is shaped like a disk larger than the target 10 .

例えば、ターゲット１０は、直径が５０．８ｍｍ～５３０ｍｍ、厚さが３ｍｍ～１９ｍｍとされている。また、バッキングプレート２０は、直径が５０．８ｍｍ～６００ｍｍ、厚さが３ｍｍ～２０ｍｍとされている。 For example, the target 10 has a diameter of 50.8 mm to 530 mm and a thickness of 3 mm to 19 mm. The backing plate 20 has a diameter of 50.8 mm to 600 mm and a thickness of 3 mm to 20 mm.

第１梱包袋５１は、２枚の樹脂フィルムが重ねられた状態で、その外周縁がシールされることにより袋状とされている。この第１梱包袋５１は、図５～図７に示すように、平面視でスパッタリングターゲット１００よりも大きく形成され、内部にスパッタリングターゲット１００と、内部の酸素及び水分を吸収する酸化防止剤３０を収容し、内部空間Ａｒ１内に不活性ガス（例えば、Ａｒガス）を充填した状態で密封されている。このような第１梱包袋５１を構成する樹脂フィルムは、例えば、ポリエチレン等により構成される。この場合、酸化防止剤や滑剤等の添加剤を含まない無添加タイプの樹脂を用いるのが好ましい。また、第１梱包袋５１を構成する樹脂フィルムは、インフレーション成形等によってフィルム状に成形される。 The first packing bag 51 is made into a bag shape by sealing the outer peripheral edges of the two resin films stacked on top of each other. As shown in FIGS. 5 to 7, the first packing bag 51 is formed larger than the sputtering target 100 in plan view, and contains the sputtering target 100 and an antioxidant 30 that absorbs oxygen and moisture inside. The internal space Ar1 is sealed with an inert gas (for example, Ar gas) filled therein. The resin film forming such a first packing bag 51 is made of, for example, polyethylene. In this case, it is preferable to use an additive-free resin that does not contain additives such as antioxidants and lubricants. Also, the resin film forming the first packing bag 51 is formed into a film shape by inflation molding or the like.

第２梱包袋５２は、２枚の樹脂フィルムが重ねられた状態で、その外周縁がシールされることにより袋状とされている。この第２梱包袋５２は、図３に示すように、内部にスパッタリングターゲット１００及び酸化防止剤３０が収容され、不活性ガスで充たされた第第１梱包袋５１を収容可能な大きさとされている。このような第２梱包袋５２を構成する樹脂フィルムは、例えば、第１梱包袋５１と同様に、ポリエチレン等により構成される。この場合、酸化防止剤や滑剤等の添加剤を含まない無添加タイプの樹脂を用いるのが好ましい。また、第２梱包袋５２を構成する樹脂フィルムは、インフレーション成形等によってフィルム状に成形される。 The second packing bag 52 is made into a bag-like shape by sealing the outer peripheral edges of the two resin films stacked on top of each other. As shown in FIG. 3, the second packaging bag 52 contains the sputtering target 100 and the antioxidant 30 inside, and has a size capable of accommodating the first packaging bag 51 filled with an inert gas. ing. The resin film forming the second packing bag 52 is made of polyethylene or the like, for example, like the first packing bag 51 . In this case, it is preferable to use an additive-free resin that does not contain additives such as antioxidants and lubricants. Also, the resin film forming the second packing bag 52 is formed into a film shape by inflation molding or the like.

例えば、第１梱包袋５１は、その平面サイズが１００ｍｍ～７００ｍｍ×１５０ｍｍ～８００ｍｍ、厚さが７０μｍ～１３０μｍとされている。また、第２梱包袋５２は、その平面サイズが１５０ｍｍ～８２０ｍｍ×２５０ｍｍ～８１０ｍｍ、厚さが７０μｍ～１３０μｍとされている。 For example, the first packing bag 51 has a planar size of 100 mm to 700 mm×150 mm to 800 mm and a thickness of 70 μm to 130 μm. The second packing bag 52 has a planar size of 150 mm to 820 mm×250 mm to 810 mm and a thickness of 70 μm to 130 μm.

酸化防止剤３０は、金属の酸化・錆・腐食をもたらす酸素・水分各種の腐食性ガスを化学反応によって取り除く機能を有しており、例えば、三菱ガス化学株式会社製のＲＰ剤からなり、内部空間Ａｒ１内の酸素及び水分を吸収する。この酸化防止剤３０は、スパッタリングターゲット１００の表面に付着する可能性がある水分を十分に吸収し、かつ酸化を防止できる十分な量を収納されることが好ましく、例えば、スパッタリングターゲット１００の表面積１ｃｍ^２当たり０．００５ｇ以上収納されている。また、酸化防止剤３０は、第１梱包袋５１内に収納されたスパッタリングターゲット１００に直接接触することを防止するため、周囲がフィルム３１で覆われている。このフィルム３１は、例えば、ポリエチレン等により形成されているとよい。 The antioxidant 30 has the function of removing various corrosive gases such as oxygen and moisture that cause metal oxidation, rust, and corrosion by chemical reaction. It absorbs oxygen and moisture in the space Ar1. The antioxidant 30 preferably absorbs moisture that may adhere to the surface of the sputtering target 100 and is contained in a sufficient amount to prevent oxidation. 0.005 g or more is stored per ² . In order to prevent the antioxidant 30 from coming into direct contact with the sputtering target 100 housed in the first packing bag 51, the periphery thereof is covered with a film 31. As shown in FIG. This film 31 is preferably made of polyethylene or the like, for example.

［スパッタリングターゲットの梱包方法］
ここで、スパッタリングターゲットの梱包方法としては、樹脂フィルム製の梱包袋を開口させ、該開口からスパッタリングターゲットを収納し、真空梱包装置によって梱包袋内の空気を真空引きして、袋体を封止して密封状態にするのが一般的な方法である。この点、上述した特許文献１の梱包方法では、スパッタリングターゲットの上に乾燥剤を配置し、真空状態で封止しているため、乾燥剤と梱包袋のシワが発生する部位（シワ部分）とが空間的につながっていない場合又は乾燥剤とシワ部分とが空間的に狭くつながっている場合、シワ部分に発生した水蒸気を適切に除去することができず、スパッタリングターゲットにシミが生じることを抑制できない。このため、本実施形態では、スパッタリングターゲットにシミが生じることを抑制するため、以下に示した梱包方法でスパッタリングターゲットの梱包体を形成している。 [Method of packing the sputtering target]
Here, as a method for packing the sputtering target, a packing bag made of a resin film is opened, the sputtering target is accommodated from the opening, the air in the packing bag is evacuated by a vacuum packing device, and the bag is sealed. It is a common method to seal the In this regard, in the packing method of Patent Document 1 described above, since the desiccant is placed on the sputtering target and sealed in a vacuum state, the desiccant and the portion where wrinkles occur between the packing bag (wrinkled portion) and If the desiccant is not spatially connected or if the desiccant and the wrinkled portion are narrowly connected spatially, the water vapor generated in the wrinkled portion cannot be properly removed, suppressing the occurrence of stains on the sputtering target. Can not. For this reason, in the present embodiment, in order to suppress the occurrence of stains on the sputtering target, the package of the sputtering target is formed by the following packing method.

本実施形態では、樹脂フィルム製の第１梱包袋５１内にスパッタリングターゲット１００及び酸化防止剤３０を収納するとともに、内部に不活性ガスを供給した状態で第１梱包袋５１を封止する第１封止工程と、第１梱包袋５１に収納されたスパッタリングターゲット１００を第２梱包袋５２内に収容し、内部の空気を脱気した状態で第２梱包袋５２を封止する第２封止工程と、を備えている。具体的には、図４に示すように、第１封止工程は、ステップＳ１１～Ｓ１４からなり、第２封止工程は、ステップＳ１５～Ｓ１７からなる。以下、工程順に詳しく説明する。 In this embodiment, the sputtering target 100 and the antioxidant 30 are contained in the first packing bag 51 made of a resin film, and the first packaging bag 51 is sealed while an inert gas is supplied to the inside. A sealing process, and a second sealing process in which the sputtering target 100 stored in the first packaging bag 51 is stored in the second packaging bag 52 and the second packaging bag 52 is sealed in a state in which the internal air is removed. A process and a. Specifically, as shown in FIG. 4, the first sealing process consists of steps S11 to S14, and the second sealing process consists of steps S15 to S17. The steps will be described in detail below.

（第１封止工程）
まず、図５に示すように、第１梱包袋５１内にスパッタリングターゲット１００を収納する（ステップＳ１１）。この第１梱包袋５１には、スパッタリングターゲット１００の他、酸化防止剤３０も収納する必要があるので、スパッタリングターゲット１００をできるだけ第１梱包袋５１の奥側（図５では左側）に配置する。次に、図６に示すように、スパッタリングターゲット１００が収納された第１梱包袋５１内に酸化防止剤３０を収納する（ステップＳ１２）。この酸化防止剤３０は、予めフィルム３１をフィルム３１で覆った状態とし、スパッタリングターゲット１００の側面に対向する位置（例、スパッタリングターゲット１００の側面の近傍）に配置する。この場合、酸化防止剤３０が第１梱包袋５１内で移動すると、酸化防止剤３０がスパッタリングターゲット１００に接触したり、スパッタリングターゲット１００の上側に位置したりする可能性があるため、酸化防止剤３０を第１梱包袋５１に固定する。これにより、スパッタリングターゲット１００の側面に対向する位置に酸化防止剤３０を固定して配置することが可能となる。 (First sealing step)
First, as shown in FIG. 5, the sputtering target 100 is accommodated in the first packing bag 51 (step S11). Since the first packaging bag 51 must contain the antioxidant 30 in addition to the sputtering target 100, the sputtering target 100 is placed as far back as possible (on the left side in FIG. 5) of the first packaging bag 51. Next, as shown in FIG. 6, the antioxidant 30 is contained in the first packing bag 51 containing the sputtering target 100 (step S12). The antioxidant 30 is placed in a state in which the film 31 is covered with the film 31 in advance, and placed at a position facing the side surface of the sputtering target 100 (for example, near the side surface of the sputtering target 100). In this case, when the antioxidant 30 moves within the first packing bag 51, the antioxidant 30 may come into contact with the sputtering target 100 or may be positioned above the sputtering target 100. 30 is fixed to the first packing bag 51 . This makes it possible to fix and arrange the antioxidant 30 at a position facing the side surface of the sputtering target 100 .

そして、スパッタリングターゲット１００及び酸化防止剤３０が収納された第１梱包袋５１内に不活性ガス（例えば、Ａｒガス）を供給する（ステップＳ１３）。具体的には、図７に示すように、不活性ガス供給装置５５のパイプを第１梱包袋５１の開口内に挿入し、不活性ガスを供給する。これにより、第１梱包袋５１の内部空間Ａｒ１内に不活性ガスが充満する状態となる。そして、梱包袋５１の開口が形成された部分に加熱したヒーター棒を押し当てて溶着する等してシールして封止する（ステップＳ１４）。これにより、スパッタリングターゲット１００及び酸化防止剤３０が第１梱包袋５１により梱包され、第１梱包体６０が形成される。 Then, an inert gas (for example, Ar gas) is supplied into the first packing bag 51 containing the sputtering target 100 and the antioxidant 30 (step S13). Specifically, as shown in FIG. 7, the pipe of the inert gas supply device 55 is inserted into the opening of the first packing bag 51 to supply the inert gas. As a result, the inner space Ar1 of the first packing bag 51 is filled with the inert gas. Then, a heated heater rod is pressed against the portion of the packing bag 51 where the opening is formed, and the opening is sealed by welding or the like (step S14). Thereby, the sputtering target 100 and the antioxidant 30 are packed in the first packing bag 51 to form the first packing body 60 .

（第２封止工程）
次に、図８に示すように、第１梱包袋５１に収納されたスパッタリングターゲット１００（第１梱包体６０）を第２梱包袋５２に収納する（ステップＳ１５）。次に、第２梱包袋５２の開口部に真空引き装置（図示省略）のパイプを挿入し、第２梱包袋５２内の空気を真空引きして（ステップＳ１６）、第２梱包袋５２の開口部位をシールして封止する（ステップＳ１７）。これにより、第１梱包体６０が第２梱包袋５２により梱包され、図３に示すスパッタリングターゲット１００の梱包体２００となる。 (Second sealing step)
Next, as shown in FIG. 8, the sputtering target 100 (first package 60) housed in the first packaging bag 51 is housed in the second packaging bag 52 (step S15). Next, a pipe of a vacuum device (not shown) is inserted into the opening of the second packaging bag 52 to evacuate the air inside the second packaging bag 52 (step S16), and the opening of the second packaging bag 52 is The site is sealed to seal (step S17). As a result, the first package 60 is packed in the second packing bag 52 to form the package 200 of the sputtering target 100 shown in FIG.

本実施形態のスパッタリングターゲットの梱包方法では、スパッタリングターゲット１００が第１梱包袋５１内に酸化防止剤３０が収納され、内部空間Ａｒ１内に不活性ガスが供給された状態（不活性ガス封入状態）で封止されているので、樹脂フィルムを介して水分が第１梱包袋５１内に入り込んだとしても、酸化防止剤３０により吸収されるので、スパッタリングターゲット１００に水分に基づくシミが発生することを抑制できる。このように、該水分が入り込んだ位置と酸化防止剤３０とが第１梱包袋５１内において空間的に十分につながっているので、該水分は酸化防止剤３０により吸収できる。また、スパッタリングターゲット１００が第１梱包袋５１及び第２梱包袋５２の２層構造で保護されるので、スパッタリングターゲット１００をより確実に保護できる。さらに、スパッタリングターゲット１００の表面に付着する可能性がある水分量を十分に吸収し、かつ酸化を防止できる十分な量の酸化防止剤３０を第１梱包袋５１内に収納するので、スパッタリングターゲット１００にシミが生じることをより確実に抑制できる。 In the sputtering target packing method of the present embodiment, the sputtering target 100 is in a state in which the antioxidant 30 is stored in the first packing bag 51 and an inert gas is supplied to the inner space Ar1 (inert gas sealed state). Therefore, even if moisture enters the first packing bag 51 through the resin film, it is absorbed by the antioxidant 30, so that the sputtering target 100 is prevented from staining due to moisture. can be suppressed. In this way, the position where the water enters and the antioxidant 30 are sufficiently connected spatially in the first packing bag 51 , so the water can be absorbed by the antioxidant 30 . Moreover, since the sputtering target 100 is protected by the two-layer structure of the first packing bag 51 and the second packing bag 52, the sputtering target 100 can be protected more reliably. Furthermore, since a sufficient amount of antioxidant 30 capable of absorbing a sufficient amount of water that may adhere to the surface of the sputtering target 100 and preventing oxidation is contained in the first packing bag 51, the sputtering target 100 It is possible to more reliably suppress the occurrence of stains on the skin.

また、酸化防止剤３０が直接スパッタリングターゲット１００に触れないようにフィルム３１で覆われているので、酸化防止剤３０が直接接触することにより生じるシミの発生を抑制できる。さらに、酸化防止剤３０が第１梱包袋５１に固定されるので、スパッタリングターゲット１００の上面や下面に酸化防止剤３０が直接接触することがないので、酸化防止剤３０が接触することにより生じるシミの発生を確実に抑制できる。 In addition, since the antioxidant 30 is covered with the film 31 so as not to come into direct contact with the sputtering target 100, it is possible to suppress the occurrence of stains caused by direct contact of the antioxidant 30. FIG. Furthermore, since the antioxidant 30 is fixed to the first packing bag 51, the antioxidant 30 does not come into direct contact with the upper surface or the lower surface of the sputtering target 100, so stains caused by the contact of the antioxidant 30 are eliminated. can be reliably suppressed.

以上説明した本実施形態のスパッタリングターゲットの梱包方法により梱包されたスパッタリングターゲット１００の梱包体は、第１梱包袋５１内に不活性ガス及び酸化防止剤３０とともにスパッタリングターゲット１００が収容されてなる。このため、スパッタリングターゲット１００の酸化を抑制するとともに、水分に基づくシミの発生を抑制できる。また、スパッタリングターゲット１００のバッキングプレート２０が酸化しやすいＣｕを含有していても、酸化を抑制でき有用である。 The sputtering target 100 packed by the sputtering target packing method of the present embodiment described above contains the sputtering target 100 together with the inert gas and the antioxidant 30 in the first packing bag 51 . Therefore, it is possible to suppress the oxidation of the sputtering target 100 and suppress the occurrence of stains due to moisture. Moreover, even if the backing plate 20 of the sputtering target 100 contains Cu, which is easily oxidized, oxidation can be suppressed, which is useful.

なお、本発明は上記実施形態の構成のものに限定されるものではなく、細部構成においては、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、第１梱包袋５１にスパッタリングターゲット１００及び酸化防止剤３０を収容し、不活性ガスを供給して封止した第１梱包体６１を第２梱包袋５２に収納する例を示したが、これに限らず、第２梱包袋５２により第１梱包袋５１をさらに梱包しなくてもよい。つまり、スパッタリングターゲット１００の梱包方法は、第１封止工程（ステップＳ１１～Ｓ１４）のみからなる構成としても構わない。 It should be noted that the present invention is not limited to the configurations of the above-described embodiments, and various modifications can be made to the detailed configurations without departing from the gist of the present invention.
For example, in the above-described embodiment, the sputtering target 100 and the antioxidant 30 are contained in the first packing bag 51, and the first packing body 61 sealed by supplying an inert gas is contained in the second packing bag 52. , the first packing bag 51 need not be further packed in the second packing bag 52 . That is, the packing method of the sputtering target 100 may be configured to include only the first sealing step (steps S11 to S14).

上記実施形態では、第１梱包袋５１内に収納された酸化防止剤３０は、スパッタリングターゲット１００の側面に対向する位置に固定することとしたが、これに限らず、固定しなくてもかまわない。この場合においても、酸化防止剤３０をフィルム３１により覆っているため、仮に、スパッタリングターゲット１００に酸化防止剤３０が接触しても、酸化防止剤３０に基づくシミが発生することを抑制できる。また、第１梱包袋５１内において、スパッタリングターゲット１００の上側又は下側に酸化防止剤３０を配置して梱包してもかまわない。 In the above-described embodiment, the antioxidant 30 contained in the first packing bag 51 is fixed at a position facing the side surface of the sputtering target 100, but this is not a limitation, and the antioxidant 30 may not be fixed. . In this case as well, since the antioxidant 30 is covered with the film 31 , even if the antioxidant 30 comes into contact with the sputtering target 100 , it is possible to suppress the occurrence of stains due to the antioxidant 30 . In addition, the antioxidant 30 may be placed above or below the sputtering target 100 in the first packing bag 51 for packing.

上記実施形態では、第１梱包袋５１及び第２梱包袋５２、並びにこれらを構成する樹脂フィルムは、平面視矩形状であることとしたが、これに限らず、例えば、平面視円形状であってもよい。 In the above embodiment, the first packing bag 51, the second packing bag 52, and the resin film that constitutes them are rectangular in plan view. may

実施例１～３及び比較例１～５の試料（スパッタリングターゲット）として、直径１００ｍｍ、厚さ６ｍｍのスズターゲット（Ｓｎターゲット）を直径：１５０ｍｍ、厚さ：６ｍｍの銅製（Ｃｕ含有率１００％）バッキングプレートに固定したものを用意した。これら各試料を、１７０ｍｍ×２５０ｍｍの樹脂フィルム（みさき化成社製：テックバリアＬ）の３辺が接合されてなる第１梱包袋に収納して第１梱包体とし、この第１梱包体を第２梱包袋に収納した。この場合、実施例１～３及び比較例１～５の試料ごとに、第１梱包袋に供給するガス、第１梱包袋への酸化防止剤（三菱ガス化学製：ＲＰ-３ＡＮ）や乾燥剤（シリカゲル）の供給の有無、及び酸化防止剤や乾燥剤の第１梱包袋内の位置等については、表１に示すようにした。なお、比較例２、３、５及び実施例１、３については、各試料に酸化防止剤又は乾燥剤を試料の側面に配置するとともに、各試料に接触しないように樹脂フィルムに酸化防止剤又は乾燥剤を固定した。一方、実施例２では、酸化防止剤を試料の上下に配置した。また、これら酸化防止剤又は乾燥剤を第１梱包袋内に収納する場合には、その量を各試料の表面積１ｃｍ^２当たり０．００５ｇ以上（本実施例及び比較例では、８．７ｇ）収納した。そして、実施例１、２及び比較例１～５では、各種条件を異ならせて第１梱包袋に収納したスパッタリングターゲット（第１梱包体）を、１９０ｍｍ×２７０ｍｍの樹脂フィルム（みさき化成社製：テックバリアＬ）の３辺が接合されてなる第２梱包袋に収納し、脱気圧１０００Ｐａで脱気しながら最後の１辺をシールして封止し（二重梱包）、各試料とした。一方、実施例３は、第１梱包袋に梱包した状態のまま（一重梱包）にした。 As samples (sputtering targets) of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 5, a tin target (Sn target) with a diameter of 100 mm and a thickness of 6 mm was made of copper (Cu content: 100%) with a diameter of 150 mm and a thickness of 6 mm. One fixed to a backing plate was prepared. Each of these samples is housed in a first packaging bag formed by bonding three sides of a 170 mm × 250 mm resin film (manufactured by Misaki Kasei Co., Ltd.: Techbarrier L) to form a first package, and this first package is the first package. 2 packed in a bag. In this case, for each sample of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 5, gas supplied to the first packing bag, antioxidant (Mitsubishi Gas Chemical: RP-3AN) and desiccant to the first packing bag Table 1 shows the presence or absence of supply of (silica gel) and the positions of antioxidants and desiccants in the first packing bag. In addition, for Comparative Examples 2, 3, 5 and Examples 1, 3, an antioxidant or desiccant was placed on the side of each sample, and the antioxidant or desiccant was placed on the resin film so as not to contact each sample. A desiccant was fixed. On the other hand, in Example 2, antioxidants were placed above and below the sample. In addition, when storing these antioxidants or desiccants in the first packing bag, the amount is 0.005 g or more (8.7 g in this example and comparative example) per 1 cm ² of surface area of each sample. did. In Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 5, the sputtering targets (first package) stored in the first packing bag under different conditions were coated with a 190 mm × 270 mm resin film (manufactured by Misaki Kasei Co., Ltd.: It was put in a second packing bag in which three sides of Techbarrier L) were joined, and while degassing at a degassing pressure of 1000 Pa, the last side was sealed (double packing) to obtain each sample. On the other hand, Example 3 was kept in the state of being packed in the first packing bag (single packing).

（試料の変色評価）
このように各種条件を異ならせて梱包した実施例１～３及び比較例１～５の試料を８５℃で７０時間保存した後、第１梱包袋及び第２梱包袋又は第１梱包袋から各試料を取り出して、目視でその変色を評価した。このとき、目視で、濃く・全体的に変色が確認された場合を「不可」、目視で、薄く・全体または一部に変色が確認された場合を「可」、目視で、全体的に変色が確認されなかった場合を「良好」と判断した。 (Discoloration evaluation of sample)
After storing the samples of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 5 packed under different conditions in this way at 85 ° C. for 70 hours, each from the first packing bag and the second packing bag or the first packing bag A sample was removed and visually evaluated for its discoloration. At this time, if a dark or overall discoloration is visually observed, it is “impossible”; was judged to be "good" when no was confirmed.

表１に示すように、樹脂フィルム製の第１梱包袋内に試料（スパッタリングターゲット）及び酸化防止剤を収納するとともに、内部にＡｒガス（不活性ガス）を供給した状態で第１梱包袋を封止した実施例１～３では、試料の変色が少ないことから、評価が「可」以上となり、試料の酸化が防止できたことがわかる。特に、実施例１では、第１梱包袋を第２梱包袋で梱包した二重梱包であるとともに、酸化防止剤を試料の側面に配置していたことから、試料に全体的に変色が確認されず、評価が「良好」となり、試料の酸化を確実に防止できた。 As shown in Table 1, the sample (sputtering target) and antioxidant are placed in the first packing bag made of resin film, and the first packing bag is packed with Ar gas (inert gas) supplied to the inside. In the sealed Examples 1 to 3, since the discoloration of the samples was small, the evaluation was "good" or higher, indicating that the oxidation of the samples could be prevented. In particular, in Example 1, since the first packing bag was double packed with the second packing bag and the antioxidant was placed on the side of the sample, discoloration was confirmed on the entire sample. However, the evaluation was "good", and the oxidation of the sample could be reliably prevented.

一方、比較例１～５は、試料に全体的に変色が確認されたので、すべての比較例でその評価が「不可」となった。なお、比較例１～５では、比較例１の変色が最も濃く、比較例２、３、４、５に向かうに従って変色が少なくなり、比較例５の変色が最も薄かった。これらのことから、第１梱包袋内にＡｒガスを封入することが有効であるものの、Ａｒガスとともに酸化防止剤を封入する必要があることがわかった。 On the other hand, in Comparative Examples 1 to 5, since discoloration was confirmed on the entire sample, the evaluation was "improper" for all of the comparative examples. In Comparative Examples 1 to 5, the discoloration of Comparative Example 1 was the darkest, the discoloration decreased toward Comparative Examples 2, 3, 4 and 5, and the discoloration of Comparative Example 5 was the lightest. From these results, it was found that although it is effective to enclose Ar gas in the first packing bag, it is necessary to enclose an antioxidant together with Ar gas.

１０ターゲット
１１スパッタ面
２０バッキングプレート
３０酸化防止剤
３１フィルム
５１第１梱包袋
５２第２梱包袋
５５不活性ガス供給装置
６０第１梱包体
１００スパッタリングターゲット
２００スパッタリングターゲットの梱包体（梱包体）
REFERENCE SIGNS LIST 10 target 11 sputtering surface 20 backing plate 30 antioxidant 31 film 51 first packaging bag 52 second packaging bag 55 inert gas supply device 60 first package 100 sputtering target 200 sputtering target package (package)

Claims

It is characterized by comprising a first sealing step of storing the sputtering target and the antioxidant in a first packing bag made of resin film and sealing the first packing bag while supplying an inert gas to the inside. A packing method for a sputtering target.

Further comprising a second sealing step of storing the sputtering target stored in the first packaging bag in a second packaging bag and sealing the second packaging bag in a state in which the internal air is degassed. The method for packing a sputtering target according to claim 1.

3. The sputtering target packing method according to claim 1, wherein in the first sealing step, 0.005 g or more of the antioxidant is contained per 1 cm< ² > of surface area of the sputtering target.

The method of packing a sputtering target according to any one of claims 1 to 3, wherein in the first sealing step, the antioxidant is enclosed in a state in which the periphery thereof is covered with a film.

In the first sealing step, after the sputtering target is accommodated in the first packing bag, the antioxidant is accommodated in a position facing the side surface of the sputtering target, and the antioxidant is packed in the first packing bag. 5. The method for packing a sputtering target according to any one of claims 1 to 4, wherein the is fixed.

A package of sputtering targets, characterized in that the sputtering targets are contained together with an inert gas and an antioxidant in a first package bag.

7. The package of sputtering targets according to claim 6, wherein said sputtering target comprises a target and a backing plate to which said target is fixed, said backing plate containing Cu.