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JP2022020802A - Liquid crystal display - Google Patents

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JP2022020802A
JP2022020802A JP2021186773A JP2021186773A JP2022020802A JP 2022020802 A JP2022020802 A JP 2022020802A JP 2021186773 A JP2021186773 A JP 2021186773A JP 2021186773 A JP2021186773 A JP 2021186773A JP 2022020802 A JP2022020802 A JP 2022020802A
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video signal
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common electrode
hole
pixel
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素明 宮本
Motoaki Miyamoto
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Japan Display Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve a high-definition liquid crystal display with a reduced pixel size.
SOLUTION: A liquid crystal display comprises: a TFT substrate in which scanning lines 10 extend in a first direction and are arranged in a second direction, video signal lines 20 extend in the second direction and are arranged in the first direction, pixel electrodes are formed in areas surrounded by the scanning lines 10 and the video signal lines 20, and common electrodes are formed with respect to the pixel electrodes with insulating films therebetween; an opposing substrate that is arranged opposite to the TFT substrate; and liquid crystal that is sandwiched between the TFT substrate and the opposing substrate. The first common electrode 109 extends in the first direction between the first scanning line and the second scanning line. The second common electrode 109 extends in the first direction between the second scanning line and the third scanning line. The first common electrode 109 and the second common electrode 109 are electrically connected with each other by a bridge 1091. The bridge 1091 covers the first video signal line 20 when seen in plan view. The bridge does not cover the second video signal line 20 when seen in plan view.
SELECTED DRAWING: Figure 6
COPYRIGHT: (C)2022,JPO&INPIT

Description

本発明は表示装置に係り、特に高精細の液晶表示装置に関する。 The present invention relates to a display device, and more particularly to a high-definition liquid crystal display device.

液晶表示装置では画素電極および薄膜トランジスタ(TFT)等を有する画素がマトリクス状に形成されたTFT基板と、TFT基板に対向して対向基板が配置され、TFT基板と対向基板との間に液晶が挟持されている。そして液晶分子による光の透過率を画素毎に制御することによって画像を形成している。 In a liquid crystal display device, a TFT substrate in which pixels having pixel electrodes and thin film transistors (TFTs) are formed in a matrix, and a facing substrate are arranged facing the TFT substrate, and the liquid crystal is sandwiched between the TFT substrate and the facing substrate. Has been done. Then, the image is formed by controlling the transmittance of light by the liquid crystal molecules for each pixel.

液晶表示装置は視野角特性が問題である。IPS(In Plane Swiching)方式の液晶表示装置は液晶分子を基板と平行な方向の電界によって回転させることによって液晶の光透過率を制御するものであり、優れた視野角特性を有している。一方、液晶表示装置は、特に中小型液晶表示装置では、高精細化が進んでいる。 The viewing angle characteristic of the liquid crystal display device is a problem. The IPS (In Plane Switching) type liquid crystal display device controls the light transmittance of the liquid crystal by rotating the liquid crystal molecules by an electric field in a direction parallel to the substrate, and has excellent viewing angle characteristics. On the other hand, liquid crystal display devices, especially small and medium-sized liquid crystal display devices, are becoming higher in definition.

高精細化が進むと、TFT基板側に形成された、画素電極とTFTのソース電極とをコンタクトするためのスルーホールの径の面積が画素内において占める面積の割合が大きくなる。特許文献1には、IPS方式の液晶表示装置におけるスルーホールの構成について記載されている。 As the definition becomes higher, the ratio of the area of the diameter of the through hole formed on the TFT substrate side for contacting the pixel electrode and the source electrode of the TFT in the pixel increases. Patent Document 1 describes a configuration of a through hole in an IPS type liquid crystal display device.

特開2014-146039号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-146039

スマートフォンやタブレットタイプ等に使用される液晶表示パネルは、高精細であることが求められている。このような製品では、1画素あたりの水平方向ピッチが30μm以下となっている。なお、1画素は赤画素、緑画素、青画素等の組を指すこともあるが、本明細書では、赤画素、緑画素、青画素等の各々を画素と称する。 Liquid crystal display panels used in smartphones, tablet types, etc. are required to have high definition. In such a product, the horizontal pitch per pixel is 30 μm or less. Note that one pixel may refer to a set of red pixels, green pixels, blue pixels, etc., but in the present specification, each of the red pixels, green pixels, blue pixels, and the like is referred to as a pixel.

一方、視野角特性を向上させるために、IPS方式の液晶表示装置が使用される。IPS方式は、平面状に形成したコモン電極の上に絶縁膜を挟んで、ストライプ状、あるいは櫛歯状の画素電極を配置する構造が最も多く用いられている。このようなIPSでは、画素毎にTFTと画素電極とを接続するために、膜厚の大きな絶縁膜にスルーホールを形成する必要があるので、このスルーホールの径が大きくなる。 On the other hand, in order to improve the viewing angle characteristic, an IPS type liquid crystal display device is used. In the IPS system, a structure in which an insulating film is sandwiched between a common electrode formed in a plane and a striped or comb-shaped pixel electrode is arranged is most often used. In such an IPS, in order to connect the TFT and the pixel electrode for each pixel, it is necessary to form a through hole in an insulating film having a large film thickness, so that the diameter of the through hole becomes large.

一方、平面状に形成するコモン電極には、各画素共通の電位を印加する必要がある。画素ピッチが小さくなると、各画素におけるスルーホールの占める割合が大きくなる。一方、コモン電極はスルーホールを避けて形成する必要があり、コモン電極は、水平方向に隣接するスルーホール間は、ブリッジ状になる。このブリッジとスルーホールの存在によって、画素ピッチの縮小化に限界が生じていた。さらに、コモン電極はITO(Indium Tin Oxide)によって形成するが、ITOは比較的比抵抗が大きいので、大画面化するにしたがって、コモン電極の抵抗が問題となる。 On the other hand, it is necessary to apply a potential common to each pixel to the common electrode formed in a planar shape. As the pixel pitch becomes smaller, the proportion of through holes in each pixel increases. On the other hand, the common electrode needs to be formed so as to avoid through holes, and the common electrode has a bridge shape between horizontally adjacent through holes. Due to the existence of these bridges and through holes, there is a limit to the reduction of the pixel pitch. Further, the common electrode is formed by ITO (Indium Tin Oxide), but since ITO has a relatively large specific resistance, the resistance of the common electrode becomes a problem as the screen becomes larger.

本発明の課題は、大きな画面の液晶表示装置において、高精細の画素ピッチに対応可能であり、また、コモン電極の抵抗の増加を抑えた液晶表示装置を実現することである。 An object of the present invention is to realize a liquid crystal display device capable of supporting a high-definition pixel pitch in a liquid crystal display device having a large screen and suppressing an increase in resistance of a common electrode.

(1)走査線が第1の方向に延在して第2の方向に配列し、映像信号線が第2の方向に延在して第1の方向に配列し、前記走査線と前記映像信号線に囲まれた領域に画素電極が形成され、前記画素電極に対して絶縁膜を介してコモン電極が形成されたTFT基板と、前記TFT基板と対向して対向基板が配置され、前記TFT基板と前記対向基板の間に液晶が挟持された液晶表示装置であって、第1のコモン電極が第1の走査線と第2の走査線の間に前記第1の方向に延在し、第2のコモン電極が第2の走査線と第3の走査線の間に前記第1の方向に延在し、前記第1のコモン電極と前記第2のコモン電極は、ブリッジによって電気的に接続され、前記ブリッジは、平面で視て、第1の映像信号線を覆っており、前記ブリッジは、平面で視て、第2の映像信号線を覆っていないことを特徴とする液晶表示装置。 (1) The scanning lines extend in the first direction and are arranged in the second direction, and the video signal lines extend in the second direction and are arranged in the first direction, and the scanning lines and the image are arranged. A TFT substrate in which a pixel electrode is formed in a region surrounded by a signal line and a common electrode is formed with respect to the pixel electrode via an insulating film, and a facing substrate facing the TFT substrate are arranged, and the TFT is arranged. In a liquid crystal display device in which a liquid crystal display is sandwiched between a substrate and the facing substrate, a first common electrode extends in the first direction between the first scanning line and the second scanning line. The second common electrode extends in the first direction between the second scanning line and the third scanning line, and the first common electrode and the second common electrode are electrically connected by a bridge. A liquid crystal display device connected, wherein the bridge covers the first video-signal line when viewed in a plane, and the bridge does not cover the second video-signal line when viewed in a plane. ..

(2)前記ブリッジは金属配線によって形成されていることを特徴とする(1)に記載の液晶表示装置。 (2) The liquid crystal display device according to (1), wherein the bridge is formed of metal wiring.

(3)前記第1の映像信号線と前記第2の映像信号線の間に第1の画素が形成され、前記第1の映像信号線と前記第1の映像信号線の間に第2の画素が形成され、前記第1の画素の前記第1の方向の幅は、前記第2の画素の前記第1の方向の幅よりも大きいことを特徴とする(1)に記載の液晶表示装置。 (3) A first pixel is formed between the first video signal line and the second video signal line, and a second pixel is formed between the first video signal line and the first video signal line. The liquid crystal display device according to (1), wherein the pixels are formed, and the width of the first pixel in the first direction is larger than the width of the second pixel in the first direction. ..

(4)柱状スペーサが前記対向基板に形成され、前記柱状スペーサは、前記第2の映像信号線の上方において、前記TFT基板側に接することを特徴とする(1)に記載の液晶表示装置。 (4) The liquid crystal display device according to (1), wherein the columnar spacer is formed on the facing substrate, and the columnar spacer is in contact with the TFT substrate side above the second video signal line.

(5)走査線が第1の方向に延在して第2の方向に配列し、映像信号線が第2の方向に延在して第1の方向に配列し、前記走査線と前記映像信号線に囲まれた領域に画素電極が形成され、前記画素電極に対して第2の絶縁膜を介してコモン電極が形成されたTFT基板と、前記TFT基板と対向して柱状スペーサを有する対向基板が配置され、前記TFT基板と前記対向基板の間に液晶が挟持された液晶表示装置であって、第1のコモン電極が第1の走査線と第2の走査線の間に前記第1の方向に延在し、第2のコモン電極が第2の走査線と第3の走査線の間に前記第1の方向に延在し、前記第1のコモン電極と前記第2のコモン電極は、ブリッジによって電気的に接続され、前記ブリッジは、平面で視て、第1の映像信号線を覆っており、前記ブリッジは、平面で視て、第2の映像信号線を覆っておらず、前記コモン電極は第1の絶縁膜の上に形成され、前記第1の絶縁膜の下には、第1の電極が形成され、前記第1の絶縁膜には、前記第1の電極に対応する部分に第1のスルーホールが形成され、前記コモン電極と同時に形成された接続ITOが前記第1のスルーホールを覆い、かつ、前記コモン電極と絶縁されて形成され、前記接続ITOに対応して前記第2の絶縁膜に第2のスルーホールが形成され、前記画素電極は前記第1の電極と電気的に接続され、前記接続ITOは、前記第1の方向に幅を持っており、前記接続ITOの前記第1の方向の中心は、前記第1の映像信号線と前記第2の映像信号線の間隔の中心よりも、前記第2の映像信号線の側に存在することを特徴とする液晶表示装置。 (5) The scanning lines extend in the first direction and are arranged in the second direction, the video signal lines extend in the second direction and are arranged in the first direction, and the scanning lines and the image are arranged. A TFT substrate in which a pixel electrode is formed in a region surrounded by a signal line and a common electrode is formed with respect to the pixel electrode via a second insulating film, and a facing surface having a columnar spacer facing the TFT substrate. A liquid crystal display device in which a substrate is arranged and a liquid crystal display is sandwiched between the TFT substrate and the facing substrate, wherein the first common electrode is located between the first scanning line and the second scanning line. The second common electrode extends in the first direction between the second scanning line and the third scanning line, and the first common electrode and the second common electrode extend in the above direction. Is electrically connected by a bridge, the bridge is viewed in a plane and covers the first video signal line, and the bridge is viewed in a plane and does not cover the second video signal line. The common electrode is formed on the first insulating film, the first electrode is formed under the first insulating film, and the first insulating film is formed on the first electrode. A first through hole is formed in the corresponding portion, and the connection ITO formed at the same time as the common electrode covers the first through hole and is formed so as to be insulated from the common electrode, corresponding to the connection ITO. A second through hole is formed in the second insulating film, the pixel electrode is electrically connected to the first electrode, and the connecting ITO has a width in the first direction. The center of the connection ITO in the first direction is closer to the second video signal line than the center of the distance between the first video signal line and the second video signal line. A characteristic liquid crystal display device.

(6)前記ブリッジは金属配線によって形成されていることを特徴とする(5)に記載の液晶表示装置。 (6) The liquid crystal display device according to (5), wherein the bridge is formed of metal wiring.

(7)前記第1の映像信号線と前記第2の映像信号線の間に第1の画素が形成され、前記第1の映像信号線と前記第1の映像信号線の間に第2の画素が形成され、前記第1の画素の前記第1の方向の幅は、前記第2の画素の前記第1の方向の幅よりも大きいことを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置。 (7) A first pixel is formed between the first video signal line and the second video signal line, and a second pixel is formed between the first video signal line and the first video signal line. The liquid crystal display device according to claim 9, wherein the pixels are formed, and the width of the first pixel in the first direction is larger than the width of the second pixel in the first direction. ..

本発明が適用される液晶表示装置の平面図である。It is a top view of the liquid crystal display device to which this invention is applied. 図1のA-A断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 図1のスルーホール部付近の平面図である。It is a top view near the through hole part of FIG. 実施例1の液晶表示装置の平面図である。It is a top view of the liquid crystal display device of Example 1. FIG. 図4のB-B断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 実施例1の特徴を示す平面図である。It is a top view which shows the feature of Example 1. FIG. 実施例1の他の形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other embodiment of Example 1. FIG. 実施例2の特徴を示す平面図である。It is a top view which shows the feature of Example 2. FIG. 図8のC-C断面図である。FIG. 8 is a sectional view taken along the line CC of FIG. 実施例2の特徴を示す平面図である。It is a top view which shows the feature of Example 2. FIG. 実施例3の特徴を示す平面図である。It is a top view which shows the feature of Example 3. FIG. 実施例4の断面図である。It is sectional drawing of Example 4. FIG. 配向膜削れの発生の原因の例を示す模式断面図である。It is a schematic cross-sectional view which shows the example of the cause of occurrence of alignment film scraping. 実施例4の特徴を示す平面図である。It is a top view which shows the feature of Example 4. FIG.

以下に実施例を用いて本発明を詳細に説明する。 The present invention will be described in detail below with reference to examples.

図1は、本発明で使用されるIPS方式の液晶表示装置の画素構造を示す平面図である。IPS方式も種々存在するが、コモン電極を平面状に形成し、その上に、絶縁膜を挟んで櫛歯状の画素電極を配置し、画素電極とコモン電極の間に発生する電界によって液晶分子を回転させる方式が、比較的透過率を大きくすることが出来るので、現在主流となっている。 FIG. 1 is a plan view showing a pixel structure of an IPS type liquid crystal display device used in the present invention. There are various IPS methods, but a common electrode is formed in a planar shape, a comb-shaped pixel electrode is placed on it with an insulating film sandwiched between them, and a liquid crystal molecule is generated by an electric field generated between the pixel electrode and the common electrode. The method of rotating the is currently the mainstream because it can increase the transmittance relatively.

図1において、走査線10が横方向に延在し、縦方向に所定のピッチで配列している。走査線10の縦ピッチが画素の縦方向の大きさとなっている。また、映像信号線20が縦方向に延在し、横方向に所定のピッチで配列している。映像信号線20の横ピッチが画素の横方向の大きさになっている。 In FIG. 1, the scanning lines 10 extend in the horizontal direction and are arranged in the vertical direction at a predetermined pitch. The vertical pitch of the scanning lines 10 is the size of the pixels in the vertical direction. Further, the video signal lines 20 extend in the vertical direction and are arranged in the horizontal direction at a predetermined pitch. The horizontal pitch of the video signal line 20 is the size in the horizontal direction of the pixels.

画素内には、ストライプ状の画素電極111が縦方向に延在している。図1は画素ピッチが30μm以下と小さいので、画素は1本のストライプ状となっているが、画素ピッチが大きくなれば、画素電極はスリットを有する櫛歯状電極となる。 Striped pixel electrodes 111 extend in the vertical direction in the pixels. In FIG. 1, since the pixel pitch is as small as 30 μm or less, the pixels have a single stripe shape, but when the pixel pitch is large, the pixel electrode becomes a comb-shaped electrode having a slit.

画素電極111には、映像信号線20からスルーホール及びTFTを介して映像信号が供給される。図1において、スルーホール120を介して映像信号線と半導体層103が接続している。半導体層103は映像信号線20の下を延在して走査線10の下を通過し、屈曲して、再び走査線10の下を通過し、スルーホール140を介してコンタクト電極107と接続する。コンタクト電極107はスルーホール130および131を介して画素電極と接続する。半導体層103が走査線10の下を通過するときにTFTが形成される。この場合、走査線10がゲート電極を兼ねる。したがって、図1では、映像信号線20から画素電極11まで2個のTFTが形成され、いわゆるダブルゲート方式となっている。 A video signal is supplied from the video signal line 20 to the pixel electrode 111 via a through hole and a TFT. In FIG. 1, the video signal line and the semiconductor layer 103 are connected to each other via a through hole 120. The semiconductor layer 103 extends under the video signal line 20 and passes under the scanning line 10, bends, passes under the scanning line 10 again, and is connected to the contact electrode 107 via the through hole 140. .. The contact electrode 107 is connected to the pixel electrode via through holes 130 and 131. A TFT is formed when the semiconductor layer 103 passes under the scanning line 10. In this case, the scanning line 10 also serves as a gate electrode. Therefore, in FIG. 1, two TFTs are formed from the video signal line 20 to the pixel electrode 11, which is a so-called double gate system.

図1において、配向膜に形成される配向軸115の方向は、画素電極111の延在方向と角度θをなしている。角度θを形成する理由は、画素電極111に電界が印加されたときに、液晶分子の回転の方向を規定するためである。θは、5度から15度程度であり、好ましくは7度から10度である。なお、配向軸114の方向を図1の縦方向とし、画素電極111の延在方向をθ傾ける場合もある。図1は、液晶分子の誘電率異方性が正の場合である。液晶の誘電率異方性が負の場合の配向軸の角度は、図1と90度回転した方向となる。 In FIG. 1, the direction of the alignment axis 115 formed on the alignment film forms an angle θ with the extending direction of the pixel electrode 111. The reason for forming the angle θ is to define the direction of rotation of the liquid crystal molecules when an electric field is applied to the pixel electrode 111. θ is about 5 to 15 degrees, preferably 7 to 10 degrees. In some cases, the direction of the orientation axis 114 is the vertical direction in FIG. 1, and the extending direction of the pixel electrode 111 is tilted by θ. FIG. 1 shows a case where the dielectric anisotropy of the liquid crystal molecule is positive. When the dielectric anisotropy of the liquid crystal is negative, the angle of the orientation axis is the direction rotated by 90 degrees from FIG.

図1において、コモン電極はスルーホールの周辺を除き、全面に形成されている。図1において、走査線を挟んで上方向と下方向のコモン電極109は、コモン電極ブリッジ1091を介して接続している。高精細化して画素ピッチを小さくしようとすると、コモン電極ブリッジ1091の存在が問題となる。 In FIG. 1, the common electrode is formed on the entire surface except the periphery of the through hole. In FIG. 1, the common electrodes 109 in the upward and downward directions across the scanning line are connected via a common electrode bridge 1091. When trying to increase the definition and reduce the pixel pitch, the existence of the common electrode bridge 1091 becomes a problem.

図2は図1のA-A断面図である。図2におけるTFTは、いわゆるトップゲートタイプのTFTであり、使用される半導体としては、LTPS(Low Temperature Poli-Si)が使用されている。一方、a-Si半導体を使用した場合は、いわゆるボトムゲート方式のTFTが多く用いられる。以後の説明では、トップゲート方式のTFTを用いた場合を例にして説明するが、ボトムゲート方式のTFTを用いた場合についても、本発明を適用することが出来る。 FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. The TFT in FIG. 2 is a so-called top gate type TFT, and LTPS (Low Temperature Poly-Si) is used as the semiconductor used. On the other hand, when an a-Si semiconductor is used, a so-called bottom gate type TFT is often used. In the following description, a case where a top gate type TFT is used will be described as an example, but the present invention can also be applied to a case where a bottom gate type TFT is used.

図2において、ガラス基板100の上にSiNからなる第1下地膜101およびSiOからなる第2下地膜102がCVD(Chemical Vapor Deposition)によって形成される。第1下地膜101および第2下地膜102の役割はガラス基板100からの不純物が半導体層103を汚染することを防止することである。 In FIG. 2, a first base film 101 made of SiN and a second base film 102 made of SiO 2 are formed on a glass substrate 100 by CVD (Chemical Vapor Deposition). The role of the first base film 101 and the second base film 102 is to prevent impurities from the glass substrate 100 from contaminating the semiconductor layer 103.

第2下地膜102の上には半導体層103が形成される。この半導体層103は、第2下地膜102に上にCVDによってa-Si膜を形成し、これをレーザアニールすることによってpoly-Si膜に変換したものである。このpoly-Si膜をフォトリソグラフィによってパターニングする。 A semiconductor layer 103 is formed on the second base film 102. The semiconductor layer 103 is formed by forming an a—Si film on the second base film 102 by CVD and converting it into a poly—Si film by laser annealing. This poly-Si film is patterned by photolithography.

半導体膜103の上にはゲート絶縁膜104が形成される。このゲート絶縁膜104はTEOS(テトラエトキシシラン)によるSiO膜である。この膜もCVDによって形成される。その上にゲート電極105が形成される。ゲート電極105は走査線10が兼ねている。ゲート電極105は例えば、MoW膜によって形成される。ゲート電極105あるいは走査線10の抵抗を小さくする必要があるときはAl合金が使用される。 A gate insulating film 104 is formed on the semiconductor film 103. The gate insulating film 104 is a SiO 2 film made of TEOS (tetraethoxysilane). This film is also formed by CVD. A gate electrode 105 is formed on the gate electrode 105. The gate electrode 105 also serves as a scanning line 10. The gate electrode 105 is formed by, for example, a MoW film. When it is necessary to reduce the resistance of the gate electrode 105 or the scanning line 10, an Al alloy is used.

その後、ゲート電極105を覆って層間絶縁膜106をSiOあるいはSiNによって形成する。層間絶縁膜106はゲート配線105とコンタクト電極107を絶縁するためである。半導体層103は、ゲート絶縁膜104および層間絶縁膜間106に形成されたスルーホール120を介して映像信号線20と接続している。また、層間絶縁膜106およびゲート絶縁膜104には、TFTのソース部Sをコンタクト電極107と接続するためのコンタクトホール140が形成される。層間絶縁膜106とゲート絶縁膜104に形成されるコンタクトホール120とコンタクトホール140は同時に形成される。 After that, the interlayer insulating film 106 is formed by SiO 2 or SiN so as to cover the gate electrode 105. This is because the interlayer insulating film 106 insulates the gate wiring 105 and the contact electrode 107. The semiconductor layer 103 is connected to the video signal line 20 via a through hole 120 formed in the gate insulating film 104 and the interlayer insulating film 106. Further, a contact hole 140 for connecting the source portion S of the TFT to the contact electrode 107 is formed in the interlayer insulating film 106 and the gate insulating film 104. The contact holes 120 and the contact holes 140 formed in the interlayer insulating film 106 and the gate insulating film 104 are formed at the same time.

層間絶縁膜106の上にコンタクト電極107が形成される。半導体層103は、映像信号線20の下を延在し、図1、および図2に示すように、走査線10すなわちゲート電極105の下を2回通過する。この時、TFTが形成される。すなわち、平面で視て、ゲート電極105を挟んでTFTのソースSとドレインDが形成されている。コンタクト電極107は、層間絶縁膜106およびゲート絶縁膜104に形成されたスルーホール140を介して半導体層103と接続する。 The contact electrode 107 is formed on the interlayer insulating film 106. The semiconductor layer 103 extends under the video signal line 20 and passes under the scanning line 10 or the gate electrode 105 twice, as shown in FIGS. 1 and 2. At this time, the TFT is formed. That is, when viewed in a plane, the source S and drain D of the TFT are formed with the gate electrode 105 interposed therebetween. The contact electrode 107 is connected to the semiconductor layer 103 via a through hole 140 formed in the interlayer insulating film 106 and the gate insulating film 104.

コンタクト電極107および映像信号線20は、同層で、同時に形成される。コンタクト電極107および映像信号線20は、抵抗を小さくするために、例えば、AlSi合金が使用される。AlSi合金はヒロックを発生したり、Alが他の層に拡散したりするので、例えば、MoWによるバリア層、およびキャップ層によってAlSiをサンドイッチする構造がとられている。 The contact electrode 107 and the video signal line 20 are formed in the same layer at the same time. For the contact electrode 107 and the video signal line 20, for example, an AlSi alloy is used in order to reduce the resistance. Since the AlSi alloy generates hillocks and Al diffuses into other layers, for example, a barrier layer made of MoW and a cap layer sandwich AlSi.

コンタクト電極107、映像信号線20、層間絶縁膜106を覆って有機パッシベーション膜108が形成される。有機パッシベーション膜108は感光性のアクリル樹脂で形成される。有機パッシベーション膜108は、アクリル樹脂の他、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂等でも形成することが出来る。有機パッシベーション膜108は平坦化膜としての役割を持っているので、厚く形成される。有機パッシベーション膜108の膜厚は1~4μmであるが、多くの場合は2~3μm程度である。 The organic passivation film 108 is formed so as to cover the contact electrode 107, the video signal line 20, and the interlayer insulating film 106. The organic passivation film 108 is formed of a photosensitive acrylic resin. The organic passivation film 108 can be formed of a silicone resin, an epoxy resin, a polyimide resin, or the like, in addition to the acrylic resin. Since the organic passivation film 108 has a role as a flattening film, it is formed thick. The film thickness of the organic passivation film 108 is 1 to 4 μm, but in most cases it is about 2 to 3 μm.

画素電極111とコンタクト電極107との導通を取るために、有機パッシベーション膜108にコンタクトホール130、および、後で述べる容量絶縁膜110にコンタクトホール131が形成される。有機パッシベーション膜108は感光性の樹脂を使用している。感光性の樹脂を塗付後、この樹脂を露光すると、光が当たった部分のみが特定の現像液に溶解する。すなわち、感光性樹脂を用いることによって、フォトレジストの形成を省略することが出来る。有機パッシベーション膜108にコンタクトホール130を形成したあと、230℃程度で焼成することによって有機パッシベーション膜108が完成する。 In order to establish continuity between the pixel electrode 111 and the contact electrode 107, a contact hole 130 is formed in the organic passivation film 108, and a contact hole 131 is formed in the capacitive insulating film 110 described later. The organic passivation film 108 uses a photosensitive resin. When the photosensitive resin is applied and then exposed to the resin, only the portion exposed to the light is dissolved in the specific developer. That is, by using the photosensitive resin, the formation of the photoresist can be omitted. After forming the contact hole 130 in the organic passivation film 108, the organic passivation film 108 is completed by firing at about 230 ° C.

その後コモン電極109となる透明導電膜、例えばITO(Indium Tin Oxide)をスパッタリングによって形成し、コンタクトホール130およびその周辺からITOを除去するようにパターニングする。コモン電極109は各画素共通に平面状に形成することが出来る。しかし、スルーホール130を避けて形成する必要があるので、画素ピッチを小さくする場合は、図1のおけるコモン電極ブリッジ1091が問題になる。 After that, a transparent conductive film to be a common electrode 109, for example, ITO (Indium Tin Oxide) is formed by sputtering and patterned so as to remove ITO from the contact hole 130 and its periphery. The common electrode 109 can be formed in a plane shape common to each pixel. However, since it is necessary to avoid the through holes 130, the common electrode bridge 1091 in FIG. 1 becomes a problem when the pixel pitch is reduced.

なお、本発明の実施例2では、コモン電極109の形成と同時に、図9に示すように、スルーホール130を覆って接続ITO40を形成する。コンタクト電極107と画素電極を接触させるための裕度をとるためである。この場合、接続ITO40とコモン電極109は絶縁する必要がある。 In the second embodiment of the present invention, at the same time as the formation of the common electrode 109, the connected ITO 40 is formed by covering the through hole 130 as shown in FIG. This is to allow a margin for contacting the contact electrode 107 and the pixel electrode. In this case, the connection ITO40 and the common electrode 109 need to be insulated.

図2に戻り、容量絶縁膜110となるSiNをCVDによって全面に形成する。その後、コンタクトホール130内において、コンタクト電極107と画素電極111の導通をとるためのコンタクトホール131を容量絶縁膜110に形成する。 Returning to FIG. 2, SiN to be the capacitive insulating film 110 is formed on the entire surface by CVD. After that, in the contact hole 130, a contact hole 131 for making the contact electrode 107 and the pixel electrode 111 conductive is formed in the capacitive insulating film 110.

その後、ITOをスパッタリングによって形成し、パターニングして画素電極111を形成する。図1に画素電極111の平面形状の例を示す。画素電極111の上に配向膜材料をフレキソ印刷あるいはインクジェット等によって塗布し、焼成して配向膜112を形成する。配向膜112の配向処理にはラビング法のほか偏光紫外線による光配向が用いられる。 After that, ITO is formed by sputtering and patterned to form the pixel electrode 111. FIG. 1 shows an example of the planar shape of the pixel electrode 111. The alignment film material is applied onto the pixel electrode 111 by flexographic printing, inkjet, or the like, and fired to form the alignment film 112. In addition to the rubbing method, photo-alignment with polarized ultraviolet rays is used for the alignment treatment of the alignment film 112.

画素電極111とコモン電極109の間に電圧が印加されると図2に示すような電気力線が発生する。この電界によって液晶分子301を回転させ、液晶層300を通過する光の量を画素毎に制御することによって画像を形成する。 When a voltage is applied between the pixel electrode 111 and the common electrode 109, electric lines of force as shown in FIG. 2 are generated. The liquid crystal molecule 301 is rotated by this electric field, and an image is formed by controlling the amount of light passing through the liquid crystal layer 300 for each pixel.

図2において、液晶層300を挟んで対向基板200が配置されている。対向基板200の内側には、カラーフィルタ201が形成されている。カラーフィルタ201は画素毎に、赤、緑、青のカラーフィルタが形成されており、これによってカラー画像が形成される。カラーフィルタ201とカラーフィルタ201の間にはブラックマトリクス202が形成され、画像のコントラストを向上させている。なお、ブラックマトリクス202はTFTの遮光膜としての役割も有し、TFTに光電流が流れることを防止している。 In FIG. 2, the facing substrate 200 is arranged with the liquid crystal layer 300 interposed therebetween. A color filter 201 is formed inside the facing substrate 200. The color filter 201 is formed with red, green, and blue color filters for each pixel, whereby a color image is formed. A black matrix 202 is formed between the color filter 201 and the color filter 201 to improve the contrast of the image. The black matrix 202 also serves as a light-shielding film for the TFT, and prevents photocurrent from flowing through the TFT.

カラーフィルタ201およびブラックマトリクス202を覆ってオーバーコート膜203が形成されている。カラーフィルタ201およびブラックマトリクス202の表面は凹凸となっているために、オーバーコート膜203によって表面を平らにしている。オーバーコート膜203の上には、液晶の初期配向を決めるための配向膜112が形成される。配向膜112の配向処理はTFT基板100側の配向膜112と同様、ラビング法あるいは光配向法が用いられる。 The overcoat film 203 is formed so as to cover the color filter 201 and the black matrix 202. Since the surfaces of the color filter 201 and the black matrix 202 are uneven, the surfaces are flattened by the overcoat film 203. An alignment film 112 for determining the initial orientation of the liquid crystal is formed on the overcoat film 203. As for the alignment treatment of the alignment film 112, a rubbing method or a photoalignment method is used as in the alignment film 112 on the TFT substrate 100 side.

なお、以上の構成は例であり、例えば、品種によってはTFT基板100において、コンタクト電極107あるいは映像信号線20との間にSiN等による無機パッシベーション膜が形成されている場合もある。 The above configuration is an example. For example, depending on the product type, an inorganic passivation film made of SiN or the like may be formed between the TFT substrate 100 and the contact electrode 107 or the video signal line 20.

図3は、図1のスルーホール130付近の拡大平面図である。図3では、画素電極は省略されている。図3において、スルーホール130の周辺に、コモン電極109が形成されていない領域が四角いホール状に存在し、その結果、スルーホール130を挟んで上側のコモン電極109と下側のコモン電極109はコモン電極ブリッジ1091によって接続されている。画素ピッチを小さくしようとした場合、このコモン電極ブリッジ1091の存在が問題になる。すなわち、コモン電極109を構成するITOは抵抗率が大きいため、コモン電極ブリッジ1091の幅は、映像信号線20や半導体層103の幅よりも大きくする必要があるので、特に水平方向の画素ピッチを小さくしようとした場合に問題となる。 FIG. 3 is an enlarged plan view of the vicinity of the through hole 130 of FIG. In FIG. 3, the pixel electrodes are omitted. In FIG. 3, a region in which the common electrode 109 is not formed exists around the through hole 130 in the shape of a square hole, and as a result, the upper common electrode 109 and the lower common electrode 109 sandwich the through hole 130. It is connected by a common electrode bridge 1091. When trying to reduce the pixel pitch, the existence of this common electrode bridge 1091 becomes a problem. That is, since the ITO constituting the common electrode 109 has a large resistivity, the width of the common electrode bridge 1091 needs to be larger than the width of the video signal line 20 and the semiconductor layer 103, so that the pixel pitch in the horizontal direction is particularly high. It becomes a problem when trying to make it smaller.

図4は本実施例を適用した場合の画素の平面図である。図4が図1と異なる点は、図4の上側のコモン電極109と下側のコモン電極109の接続方法である。図4において、コモン電極109は、スルーホール130の上側と下側において、横方向にストライプ状に延在している。コモン電極109の上には、映像信号線20を覆うようにしてコモン金属配線20が縦方向に延在している。コモン金属配線30は、コモン電極109の抵抗を小さくするために使用される。 FIG. 4 is a plan view of pixels when this embodiment is applied. The difference between FIG. 4 and FIG. 1 is the connection method between the upper common electrode 109 and the lower common electrode 109 in FIG. In FIG. 4, the common electrode 109 extends laterally in a stripe shape on the upper side and the lower side of the through hole 130. On the common electrode 109, a common metal wiring 20 extends in the vertical direction so as to cover the video signal line 20. The common metal wiring 30 is used to reduce the resistance of the common electrode 109.

図4において、上側のコモン電極109と下側のコモン電極109は、コモン金属配線30によって電気的に接続されている。すなわち、コモン金属配線30は、上側コモン電極109と下側コモン電極109のブリッジ1091となっている。コモン金属配線40は、MoCr、MoW、あるいは、Al合金等の金属で形成されているので、ITOに比べて抵抗が小さいため、配線幅を小さくすることが出来る。つまり、上側のコモン電極109と下側のコモン接続109を幅の小さいコモン金属配線30によって接続することができる。図4におけるさらに大きな特徴は、ブリッジ1091のためのコモン金属配線30は、映像信号線20に対して1本置きに形成されている点である。これによって、画素の水平方向のピッチをさらに小さくすることが出来る。図4のその他の構成は図1と同様であるので、説明を省略する。 In FIG. 4, the upper common electrode 109 and the lower common electrode 109 are electrically connected by a common metal wiring 30. That is, the common metal wiring 30 is a bridge 1091 between the upper common electrode 109 and the lower common electrode 109. Since the common metal wiring 40 is made of a metal such as MoCr, MoW, or an Al alloy, the resistance is smaller than that of ITO, so that the wiring width can be reduced. That is, the upper common electrode 109 and the lower common connection 109 can be connected by a common metal wiring 30 having a small width. An even greater feature in FIG. 4 is that the common metal wiring 30 for the bridge 1091 is formed every other line with respect to the video signal line 20. This makes it possible to further reduce the horizontal pitch of the pixels. Since the other configurations of FIG. 4 are the same as those of FIG. 1, the description thereof will be omitted.

図5は図4のB-B断面図であり、図4において、コモン金属配線30がコモン電極109間のブリッジ1091として役割を持っている部分の断面図を含んでいる。図5が図2と異なる点は、左側の有機パッシベーション膜108の上で、映像信号線20を覆う部分は、コモン金属配線30が延在し、コモン電極109と接続する点である。図5のその他の点は、図2と同様なので、説明を省略する。 FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 4, which includes a cross-sectional view of a portion where the common metal wiring 30 serves as a bridge 1091 between the common electrodes 109. The difference between FIG. 5 and FIG. 2 is that the common metal wiring 30 extends on the left organic passivation film 108 and covers the video signal line 20, and is connected to the common electrode 109. Since the other points of FIG. 5 are the same as those of FIG. 2, the description thereof will be omitted.

図6は図4のスルーホール130付近を拡大した平面図である。図6では画素電極は省略されている。図6において、スルーホール130の上側のコモン電極109とスルーホール130の下側のコモン電極109はコモン金属配線30によって接続されている。また、コモン金属配線30は、映像信号線20を1本おきに覆うように形成されている。その結果、図6における画素のピッチd2は図3における画素のピッチd1に比べて小さくなっている。つまり、図6の構成では、より高精細画面に対応することが出来る。 FIG. 6 is an enlarged plan view of the vicinity of the through hole 130 of FIG. In FIG. 6, the pixel electrode is omitted. In FIG. 6, the common electrode 109 on the upper side of the through hole 130 and the common electrode 109 on the lower side of the through hole 130 are connected by a common metal wiring 30. Further, the common metal wiring 30 is formed so as to cover every other video signal line 20. As a result, the pixel pitch d2 in FIG. 6 is smaller than the pixel pitch d1 in FIG. That is, the configuration of FIG. 6 can correspond to a higher definition screen.

図7は、本発明の他の態様を示す断面図である。図7は、図4のB-B断面に対応する断面図である。図7が図5と異なる点は、映像信号線20を覆う部分において、コモン電極109間を接続するブリッジ1091は、コモン電極を形成するITO109とコモン金属配線30の積層構造となっていることである。積層となっていることによって、ブリッジ1091の抵抗を図5の場合よりも若干小さくすることが出来る。また、積層構造であることによって、ブリッジ1091の断線に対する裕度を向上させることが出来る。なお、コモン電極109のパターニングはフォトリソグラフィで行うので、プロセス負荷となることはない。 FIG. 7 is a cross-sectional view showing another aspect of the present invention. FIG. 7 is a cross-sectional view corresponding to the BB cross section of FIG. FIG. 7 differs from FIG. 5 in that the bridge 1091 connecting the common electrodes 109 in the portion covering the video signal line 20 has a laminated structure of ITO 109 forming the common electrode and the common metal wiring 30. be. Due to the stacking, the resistance of the bridge 1091 can be made slightly smaller than that in the case of FIG. Further, the laminated structure can improve the margin for disconnection of the bridge 1091. Since the patterning of the common electrode 109 is performed by photolithography, it does not impose a process load.

以上の本実施例では、コモン電極109のブリッジ1091はコモン金属配線30によって接続し、かつ、映像信号線20の1本おきに対応して形成する構成である。しかし、コモン電極109の抵抗が大きな問題にならないような品種では、コモン金属配線30を使用せずに、映像信号線20の1本おきにコモン電極109を形成するITOによってブリッジ1091を形成してもよい。この場合も、ブリッジ1091が無い部分が存在することによる画素ピッチの縮小は可能である。 In the above embodiment, the bridge 1091 of the common electrode 109 is connected by the common metal wiring 30 and is formed corresponding to every other video signal line 20. However, in a product type in which the resistance of the common electrode 109 does not become a big problem, the bridge 1091 is formed by ITO that forms the common electrode 109 every other video signal line 20 without using the common metal wiring 30. May be good. In this case as well, the pixel pitch can be reduced due to the existence of the portion without the bridge 1091.

図8は本発明が適用される、画素のスルーホール130付近の平面図である。図8では画素電極は省略されている。本実施例の画素全体の平面図は図1と同様であり、断面図は図2と同様である。図8が図3と異なる点は、スルーホール130の部分に接続ITO40が形成される点および容量絶縁膜110に形成されたスルーホール131の径と位置である。 FIG. 8 is a plan view of the vicinity of the through hole 130 of the pixel to which the present invention is applied. In FIG. 8, the pixel electrode is omitted. The plan view of the entire pixel of this embodiment is the same as that of FIG. 1, and the cross-sectional view is the same as that of FIG. FIG. 8 is different from FIG. 3 in that the connecting ITO 40 is formed in the portion of the through hole 130 and the diameter and position of the through hole 131 formed in the capacitive insulating film 110.

有機パッシベーション膜108に形成されたスルーホール130の底部のみに容量絶縁膜110のスルーホール131を形成しようとすると、スルーホール130の径を大きくする必要があり、画素ピッチの縮小化には不利である。本実施例では、コモン電極109と同時に形成される接続ITO40を用いることによって、容量電極110に形成されるスルーホール131の位置と形に自由度を持たせ、それによって、有機パッシベーション膜108に形成されるスルーホール130の径を小さくすることが出来る。 If it is attempted to form the through hole 131 of the capacitive insulating film 110 only at the bottom of the through hole 130 formed in the organic passivation film 108, it is necessary to increase the diameter of the through hole 130, which is disadvantageous for reducing the pixel pitch. be. In this embodiment, by using the connection ITO40 formed at the same time as the common electrode 109, the position and shape of the through hole 131 formed in the capacitive electrode 110 are given a degree of freedom, whereby the organic passivation film 108 is formed. The diameter of the through hole 130 to be formed can be reduced.

図8において、スルーホール130を覆って接続ITO40を形成する。接続ITO40は、コモン電極109と同時に形成される。したがって、プロセス負荷は生じない。しかし、接続ITO40はコモン電極109とは絶縁されていなければならない。接続ITO40は画素電極と接続するからである。接続ITO40およびコモン電極109を覆ってSiNによる容量絶縁膜110が形成され、容量絶縁膜110にスルーホール131を形成する。図8では、スルーホール131はスルーホール130の底部のみでなく、スルーホール130の側面および周辺上面の一部にも形成される。したがって、スルーホール130が小さい場合にも、スルーホール131を容易に形成することが出来る。 In FIG. 8, the connection ITO40 is formed by covering the through hole 130. The connection ITO40 is formed at the same time as the common electrode 109. Therefore, no process load is generated. However, the connection ITO40 must be insulated from the common electrode 109. This is because the connection ITO40 is connected to the pixel electrode. A capacitive insulating film 110 made of SiN is formed over the connection ITO 40 and the common electrode 109, and a through hole 131 is formed in the capacitive insulating film 110. In FIG. 8, the through hole 131 is formed not only on the bottom of the through hole 130 but also on a part of the side surface and the peripheral upper surface of the through hole 130. Therefore, even when the through hole 130 is small, the through hole 131 can be easily formed.

図9は、図8のC-C断面図である。図8において、接続ITO40が有機パッシベーション膜108のスルーホール130を覆って形成されている。接続ITO40覆って容量絶縁膜110が形成され、容量絶縁膜110にスルーホール131が形成される。このスルーホール131において、接続ITO40が露出し、画素電極と接続することになる。図9に示すように、本実施例では、たとえ、有機パッシベーション膜108に形成されるスルーホール130が小さくとも、容量絶縁膜110のスルーホール131を大きく形成することができるので、接続の信頼性を上げることが出来る。 FIG. 9 is a sectional view taken along the line CC of FIG. In FIG. 8, the connecting ITO 40 is formed so as to cover the through hole 130 of the organic passivation film 108. A capacitive insulating film 110 is formed over the connection ITO40, and a through hole 131 is formed in the capacitive insulating film 110. In this through hole 131, the connection ITO40 is exposed and is connected to the pixel electrode. As shown in FIG. 9, in this embodiment, even if the through hole 130 formed in the organic passivation film 108 is small, the through hole 131 of the capacitive insulating film 110 can be formed large, so that the connection reliability Can be raised.

しかし、接続ITO40はコモン電極109と絶縁されていなければならない。接続ITO40とコモン電極109は同層で形成されるので、図8に示す、上側のコモン電極109と下側のコモン電極109を結ぶブリッジ1091をコモン電極109と同じITOで形成すると、接続ITO40とコモン電極109との間隔g1を十分とる必要があるので、画素ピッチの縮小化には限界がある。 However, the connecting ITO40 must be insulated from the common electrode 109. Since the connecting ITO 40 and the common electrode 109 are formed in the same layer, when the bridge 1091 connecting the upper common electrode 109 and the lower common electrode 109 shown in FIG. 8 is formed by the same ITO as the common electrode 109, the connecting ITO 40 and the connecting ITO 40 are formed. Since it is necessary to have a sufficient distance g1 from the common electrode 109, there is a limit to reducing the pixel pitch.

本実施例では、図10に示すように、上側コモン電極109と下側コモン電極109の接続は、コモン金属配線30で行う。そして、コモン金属配線30は映像信号線対して1本置きに形成する。コモン金属配線30が存在しない側では、接続ITO40とコモン電極109あるいはコモン金属配線30との絶縁は問題なくなる。したがって、図10において、この側では、間隔g2のみに注意すればよい。 In this embodiment, as shown in FIG. 10, the upper common electrode 109 and the lower common electrode 109 are connected by the common metal wiring 30. Then, the common metal wiring 30 is formed every other line with respect to the video signal line. On the side where the common metal wiring 30 does not exist, there is no problem in insulating the connection ITO 40 from the common electrode 109 or the common metal wiring 30. Therefore, in FIG. 10, attention should be paid only to the interval g2 on this side.

一方、図10において、コモン金属配線30が存在する側では、接続ITO40とコモン金属配線30との間隔g1を確保する必要がある。したがって、接続ITO40の水平方向の中心位置を画素の中心位置に対してコモン金属配線30が無い側にずらすことによって、画素の横方向の径を小さくでき、したがって、画素ピッチを小さくすることが出来る。 On the other hand, in FIG. 10, on the side where the common metal wiring 30 exists, it is necessary to secure a distance g1 between the connection ITO 40 and the common metal wiring 30. Therefore, by shifting the horizontal center position of the connection ITO 40 to the side where the common metal wiring 30 is not present with respect to the center position of the pixel, the lateral diameter of the pixel can be reduced, and therefore the pixel pitch can be reduced. ..

つまり、本実施例では、有機パッシベーション膜108に形成するスルーホール130の径を小さくすることが出来るのに加えて、接続ITO40の中心を画素の中心、すなわち、映像信号線20間の中心からずらすことによって、さらに画素ピッチを小さくすることが出来る。 That is, in this embodiment, in addition to being able to reduce the diameter of the through hole 130 formed in the organic passivation film 108, the center of the connecting ITO 40 is shifted from the center of the pixel, that is, the center between the video signal lines 20. Thereby, the pixel pitch can be further reduced.

なお、上側のコモン電極109と下側のコモン電極109とのブリッジ1091をコモン電極109を形成するITOとコモン金属配線30の積層にする構成、あるいは、コモン電極109を形成するITOのみとする構成にしてもよいことは実施例1で説明したのと同じである。 The bridge 1091 between the upper common electrode 109 and the lower common electrode 109 is configured to be a laminate of ITO forming the common electrode 109 and the common metal wiring 30, or only ITO forming the common electrode 109. It is the same as described in Example 1.

図11は、実施例3を示す画素のスルーホール130付近の平面図である。画素の基本的な構成および断面は、図1および図2の構成に準ずる。図11の特徴は、赤画素、緑画素、青画素の内の1色の水平方向の径が他の画素の径よりも大きいことである。顧客によって要求される白画面の色調が異なることに対応するため等である。図11では青画素の径が他の画素よりも大きい。つまり、図11において、B>R=Gである。しかし、場合によっては、赤画素、あるいは、緑画素が大きいこともある。 FIG. 11 is a plan view of the vicinity of the through hole 130 of the pixel showing the third embodiment. The basic configuration and cross section of the pixel conform to the configurations of FIGS. 1 and 2. The feature of FIG. 11 is that the horizontal diameter of one of the red pixel, the green pixel, and the blue pixel is larger than the diameter of the other pixel. This is to cope with the difference in the color tone of the white screen required by the customer. In FIG. 11, the diameter of the blue pixel is larger than that of the other pixels. That is, in FIG. 11, B> R = G. However, in some cases, the red pixel or the green pixel may be large.

図11において、スルーホール130を挟んで上側と下側にストライプ状にコモン電極109が水平方向に延在している。上側のコモン電極109と下側のコモン電極109のブリッジ1091をコモン金属配線30で接続しているが、ブリッジ1091用のコモン金属配線30は、主として、画素の幅が広い青画素のみにおいて行っている。図11のスルーホール130の構成は、図8乃至10で説明したのと同様である。図11において、コモン金属配線30の両側に配置されたスルーホール130においては、接続ITO40の水平方向の中心は、コモン電極配線30から遠ざかる方向に存在している。理由は、実施例2で述べたと同様である。 In FIG. 11, the common electrode 109 extends in the horizontal direction in a stripe shape on the upper side and the lower side of the through hole 130. The bridge 1091 of the upper common electrode 109 and the lower common electrode 109 is connected by the common metal wiring 30, but the common metal wiring 30 for the bridge 1091 is mainly performed only in the blue pixel having a wide pixel width. There is. The configuration of the through hole 130 of FIG. 11 is the same as that described with reference to FIGS. 8 to 10. In FIG. 11, in the through holes 130 arranged on both sides of the common metal wiring 30, the horizontal center of the connection ITO 40 exists in the direction away from the common electrode wiring 30. The reason is the same as described in Example 2.

図11の構成によれば、画素幅が大きい画素に対応する部分にブリッジ1091のコモン金属配線30を形成し、他の部分では、ブリッジ1091を形成せず、かつ、接続ITO40を形成することによってスルーホール130の径を小さくすることが出来るので、画素のピッチを小さくすることが出来る。 According to the configuration of FIG. 11, the common metal wiring 30 of the bridge 1091 is formed in the portion corresponding to the pixel having a large pixel width, and the bridge 1091 is not formed and the connection ITO40 is formed in the other portion. Since the diameter of the through hole 130 can be reduced, the pixel pitch can be reduced.

また、図11において、画素の広い部分に形成するブリッジ1091をコモン金属配線30のみでなく、コモン金属配線30とコモン電極109を形成するITOとの積層にしてもよいし、コモン電極109を形成するITOのみによって形成してもよいことは実施例1で説明したと同様である。 Further, in FIG. 11, the bridge 1091 formed in the wide portion of the pixel may be a laminate of not only the common metal wiring 30 but also the common metal wiring 30 and the ITO forming the common electrode 109, or the common electrode 109 may be formed. It is the same as described in Example 1 that it may be formed only by ITO.

なお、図11では、画素幅の大きい画素に対応する部分のみにブリッジ電極を形成したが、これに限らず、画素幅がRGB同じ場合であっても、映像信号線20あたり、2本置きにブリッジ接続のためのコモン金属配線30を形成してもよい。この場合も、接続ITO40の中心をブリッジ1091から遠ざけるように形成することによって、さらに、画素ピッチの縮小の効果を上げることが出来る。 In FIG. 11, the bridge electrode is formed only in the portion corresponding to the pixel having a large pixel width. Common metal wiring 30 for bridge connection may be formed. Also in this case, by forming the center of the connection ITO40 away from the bridge 1091, the effect of reducing the pixel pitch can be further enhanced.

以上の本実施例では、スルーホール130部分に接続ITO40が形成されている場合の構成について説明したが、本実施例は、接続ITO40を使用しない構成においても、幅の広い画素に主としてブリッジ1091を形成することによって、全体として画素ピッチを小さくすることが出来る。 In the above embodiment, the configuration in the case where the connection ITO40 is formed in the through hole 130 portion has been described. However, in this embodiment, even in the configuration in which the connection ITO40 is not used, the bridge 1091 is mainly provided for the wide pixel. By forming it, the pixel pitch can be reduced as a whole.

液晶表示装置では、TFT基板と対向電極の間隔を規定する必要がある。一般には、TFT基板100と対向基板200の間隔は柱状スペーサによって規定される。図12は、本実施例において、柱状スペーサ50によってTFT基板100と対向基板200の間隔を規定した例であり、対向基板200に形成された柱状スペーサ50がTFT基板100と対向基板200の間隔を規定している。柱状スペーサ50は、対向基板200において、オーバーコート膜203と同時に形成される。図12が図2と異なる他の点は、TFT基板100側において、柱状スペーサ50が接触する部分には、コモン電極109あるいはブリッジ1091が存在していない点である。図12のその他の構成は、図2と同様である。 In the liquid crystal display device, it is necessary to specify the distance between the TFT substrate and the counter electrode. Generally, the distance between the TFT substrate 100 and the facing substrate 200 is defined by a columnar spacer. FIG. 12 is an example in which the distance between the TFT substrate 100 and the facing substrate 200 is defined by the columnar spacer 50 in this embodiment, and the columnar spacer 50 formed on the facing substrate 200 determines the distance between the TFT substrate 100 and the facing substrate 200. It stipulates. The columnar spacer 50 is formed on the facing substrate 200 at the same time as the overcoat film 203. The other point that FIG. 12 differs from FIG. 2 is that the common electrode 109 or the bridge 1091 does not exist at the portion where the columnar spacer 50 contacts on the TFT substrate 100 side. Other configurations of FIG. 12 are the same as those of FIG.

柱状スペーサ50の先端は、TFT基板100に形成された配向膜112と接触するが、この接触によって配向膜112が削れると、この削り屑が輝点の原因になる。このような削れは、図13に示すように、柱状スペーサ50の先端が接する対向面が不均一な場合には、特に生じやすい。図13は、ブリッジ1091の端部に柱状スペーサ50の尖端が接触している場合を示し、ブリッジ1091の段差が存在する領域、すなわち、図13の領域Aにおいて、配向膜112の削れが生じやすい。このブリッジ1091は、コモン電極90と同時に形成されたITOの場合もあるし、コモン金属配線30の場合もある。 The tip of the columnar spacer 50 comes into contact with the alignment film 112 formed on the TFT substrate 100, and when the alignment film 112 is scraped by this contact, the shavings cause bright spots. As shown in FIG. 13, such scraping is particularly likely to occur when the facing surfaces in contact with the tips of the columnar spacers 50 are non-uniform. FIG. 13 shows a case where the tip of the columnar spacer 50 is in contact with the end of the bridge 1091, and the alignment film 112 is likely to be scraped in the region where the step of the bridge 1091 exists, that is, the region A of FIG. .. The bridge 1091 may be an ITO formed at the same time as the common electrode 90, or may be a common metal wiring 30.

図14は、本実施例の特徴を示すスルーホール130付近の平面図である。図14において、画素電極は省略されている。図14において、柱状スペーサ50は上側のコモン電極109と下側のコモン電極109を結ぶブリッジ1091としてのコモン金属配線30あるいはコモン電極109と同時に形成されたITOが存在しない部分でTFT基板100側と接触している。このような構成とすることによって、柱状スペーサ50の先端において、図13に示すような段差を排除することが出来るので、配向膜112の削れを防止することが出来る。図14のその他の構成は図6と同様なので、説明は省略する。 FIG. 14 is a plan view of the vicinity of the through hole 130 showing the features of this embodiment. In FIG. 14, the pixel electrode is omitted. In FIG. 14, the columnar spacer 50 is the portion where the common metal wiring 30 as the bridge 1091 connecting the upper common electrode 109 and the lower common electrode 109 or the ITO formed at the same time as the common electrode 109 does not exist and is on the TFT substrate 100 side. Are in contact. With such a configuration, it is possible to eliminate a step as shown in FIG. 13 at the tip of the columnar spacer 50, so that it is possible to prevent the alignment film 112 from being scraped. Since the other configurations of FIG. 14 are the same as those of FIG. 6, the description thereof will be omitted.

本実施例の構成は、実施例2の図10の構成、実施例3の図11の構成等にも適用することが出来る。すなわち、柱状スペーサ50の先端はTFT基板100側の映像信号線20の上であって、コモン電極50と同時に形成されたITOあるいはコモン金属配線30が形成されていない部分に接触すればよい。 The configuration of this embodiment can also be applied to the configuration of FIG. 10 of the second embodiment, the configuration of FIG. 11 of the third embodiment, and the like. That is, the tip of the columnar spacer 50 may be on the video signal line 20 on the TFT substrate 100 side and may come into contact with the portion where the ITO or common metal wiring 30 formed at the same time as the common electrode 50 is not formed.

10…走査線10、 20…映像信号線、 30…コモン金属配線、 40…接続ITO、 50…柱状スペーサ、 100…TFT基板、 101…第1下地膜、 102…第2下地膜、 103…半導体層、 104…ゲート絶縁膜、 105…ゲート電極、 106…層間絶縁膜、 107…コンタクト電極、 108…有機パッシベーション膜、 109…コモン電極、 110…容量絶縁膜、 111…画素電極、 112…配向膜、 115…配向軸、 120…スルーホール、 130…有機パッシベーション膜のスルーホール、 131…容量絶縁膜のスルーホール、 140…スルーホール、 200…対向基板、 201…カラーフィルタ、 202…ブラックマトリクス、 203…オーバーコート膜、 300…液晶層、 301…液晶分子、 1091…コモン電極ブリッジ、 D…ドレイン部、S…ソース部 10 ... Scanning line 10, 20 ... Video signal line, 30 ... Common metal wiring, 40 ... Connection ITO, 50 ... Columnar spacer, 100 ... TFT substrate, 101 ... First base film, 102 ... Second base film, 103 ... Semiconductor Layer, 104 ... gate insulating film, 105 ... gate electrode, 106 ... interlayer insulating film, 107 ... contact electrode, 108 ... organic passivation film, 109 ... common electrode, 110 ... capacitive insulating film, 111 ... pixel electrode, 112 ... alignment film , 115 ... Orientation axis, 120 ... Through hole, 130 ... Organic passive film through hole, 131 ... Capacitive insulating film through hole, 140 ... Through hole, 200 ... Opposite substrate, 201 ... Color filter, 202 ... Black matrix, 203 ... Overcoat film, 300 ... Liquid crystal layer, 301 ... Liquid crystal molecule, 1091 ... Common electrode bridge, D ... Drain part, S ... Source part

Claims (5)

第1映像信号線と、
前記第1映像信号線と第1方向に隣り合う第2映像信号線と、
前記第2映像信号線と前記第1方向に隣り合う第3映像信号線と、
前記第1映像信号線と、前記第2映像信号線と、第3映像信号線と、を覆う有機絶縁膜と、
前記有機絶縁膜を覆う無機絶縁膜と、
前記有機絶縁膜と前記無機絶縁膜との間に設けられるコモン電極と、
前記有機絶縁膜と前記無機絶縁膜との間に設けられる第1金属配線と、を備え、
前記有機絶縁膜は、第1スルーホールと第2スルーホールを有し、
前記第1スルーホールは、前記第1方向において、前記第1映像信号線と前記第2映像信号線との間に位置し、
前記第2スルーホールは、前記第1方向において、前記第2映像信号線と前記第3映像信号線との間に位置し、
前記コモン電極は、第1端部と、前記第1方向に交差する第2方向において前記第1端部と対向する第2端部を有し、
前記コモン電極の前記第1端部と前記第2端部の間は、前記コモン電極の非形成領域であり、
前記第2方向において、前記第1スルーホール及び前記第2スルーホールの各々は、前記第1端部と前記第2端部との間に位置し、
前記第1金属配線は、前記コモン電極に接続されており、
前記第1金属配線は、前記第1端部及び前記第2端部の各々と交差し、
前記コモン電極の前記非形成領域において、前記第1金属配線は前記有機絶縁膜に接触する、液晶表示装置。
The first video signal line and
A second video signal line adjacent to the first video signal line in the first direction,
The second video signal line, the third video signal line adjacent to the first video signal line, and the third video signal line.
An organic insulating film covering the first video signal line, the second video signal line, and the third video signal line.
An inorganic insulating film that covers the organic insulating film and
A common electrode provided between the organic insulating film and the inorganic insulating film,
A first metal wiring provided between the organic insulating film and the inorganic insulating film is provided.
The organic insulating film has a first through hole and a second through hole.
The first through hole is located between the first video signal line and the second video signal line in the first direction.
The second through hole is located between the second video signal line and the third video signal line in the first direction.
The common electrode has a first end and a second end facing the first end in a second direction intersecting the first direction.
The area between the first end portion and the second end portion of the common electrode is a non-formed region of the common electrode.
In the second direction, each of the first through hole and the second through hole is located between the first end portion and the second end portion.
The first metal wiring is connected to the common electrode and is connected to the common electrode.
The first metal wiring intersects each of the first end and the second end.
A liquid crystal display device in which the first metal wiring is in contact with the organic insulating film in the non-formed region of the common electrode.
前記第1金属配線は、前記第1映像信号線、前記第2映像信号線、前記第3映像信号線のいずれか一つの映像信号線と平行に延出し、
前記第1金属配線は、前記第1映像信号線、前記第2映像信号線、前記第3映像信号線のいずれか一つの前記映像信号線と重なる、請求項1に記載の液晶表示装置。
The first metal wiring extends in parallel with any one of the first video signal line, the second video signal line, and the third video signal line.
The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the first metal wiring overlaps with any one of the first video signal line, the second video signal line, and the third video signal line.
前記第1金属配線は、前記第2映像信号線と平行に延出し、前記第2映像信号線と重なり、
前記第1金属配線及び前記第2映像信号線は、前記第1方向において、前記第1スルーホールと前記第2スルーホールとの間に設けられる、請求項1に記載の液晶表示装置。
The first metal wiring extends in parallel with the second video signal line and overlaps with the second video signal line.
The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the first metal wiring and the second video signal line are provided between the first through hole and the second through hole in the first direction.
前記第1端部及び前記第2端部の各々は、前記第2映像信号線と交差し、
前記コモン電極の前記非形成領域において、前記第1金属配線は前記無機絶縁膜と前記有機絶縁膜で挟持される、請求項3に記載の液晶表示装置。
Each of the first end and the second end intersects the second video signal line and
The liquid crystal display device according to claim 3, wherein in the non-formed region of the common electrode, the first metal wiring is sandwiched between the inorganic insulating film and the organic insulating film.
前記第1金属配線の線幅は、前記第2映像信号線の線幅よりも太い、請求項4に記載の液晶表示装置。 The liquid crystal display device according to claim 4, wherein the line width of the first metal wiring is thicker than the line width of the second video signal line.
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