JP2022015867A5 - - Google Patents
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- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Description
図１５は、高性能な電力制御器を用いてハロゲンランプ１０３の入力電力を制御した場合の、半導体基板Ｗ１の主面Ｗ１ａの温度の時間変化の一例を示すグラフである。図１５に示すように、上述のような制御をした場合でもオーバーシュートは生じるため、点灯を 開始してから温度が安定するまでには時間Ｔ２を要する。図１５は、比較のために、図１４に示すグラフが破線で併記されている。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020118998A JP7501177B2 (ja) | 2020-07-10 | 2020-07-10 | 光加熱装置及び加熱処理方法 |
| TW110116695A TWI849313B (zh) | 2020-07-10 | 2021-05-10 | 光加熱裝置及加熱處理方法 |
| US17/349,792 US20220015213A1 (en) | 2020-07-10 | 2021-06-16 | Optical heating device and method of heating treatment |
| CN202110733073.1A CN113921419A (zh) | 2020-07-10 | 2021-06-28 | 光加热装置及加热处理方法 |
| KR1020210085416A KR20220007520A (ko) | 2020-07-10 | 2021-06-30 | 광 가열 장치 및 가열 처리 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020118998A JP7501177B2 (ja) | 2020-07-10 | 2020-07-10 | 光加熱装置及び加熱処理方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2022015867A JP2022015867A (ja) | 2022-01-21 |
| JP2022015867A5 true JP2022015867A5 (ja) | 2023-05-01 |
| JP7501177B2 JP7501177B2 (ja) | 2024-06-18 |
Family
ID=79173377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020118998A Active JP7501177B2 (ja) | 2020-07-10 | 2020-07-10 | 光加熱装置及び加熱処理方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20220015213A1 (ja) |
| JP (1) | JP7501177B2 (ja) |
| KR (1) | KR20220007520A (ja) |
| CN (1) | CN113921419A (ja) |
| TW (1) | TWI849313B (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102401862B1 (ko) * | 2018-06-25 | 2022-05-25 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 열처리 방법 및 열처리 장치 |
| US20210043478A1 (en) * | 2019-08-07 | 2021-02-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Pressure heating apparatus |
| JP7445571B2 (ja) * | 2020-09-24 | 2024-03-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 加熱装置及び加熱方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002261038A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-13 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置 |
| JP4029613B2 (ja) * | 2001-12-25 | 2008-01-09 | ウシオ電機株式会社 | 閃光放射装置および光加熱装置 |
| US7102141B2 (en) * | 2004-09-28 | 2006-09-05 | Intel Corporation | Flash lamp annealing apparatus to generate electromagnetic radiation having selective wavelengths |
| US9498845B2 (en) * | 2007-11-08 | 2016-11-22 | Applied Materials, Inc. | Pulse train annealing method and apparatus |
| EP3573092B1 (en) * | 2008-05-02 | 2021-12-22 | Applied Materials, Inc. | System for non radial temperature control for rotating substrates |
| US8404499B2 (en) * | 2009-04-20 | 2013-03-26 | Applied Materials, Inc. | LED substrate processing |
| JP6770915B2 (ja) * | 2017-03-08 | 2020-10-21 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 熱処理装置 |
| JP7461214B2 (ja) * | 2020-05-19 | 2024-04-03 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 熱処理装置 |
| JP2022106561A (ja) * | 2021-01-07 | 2022-07-20 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 熱処理装置および熱処理方法 |
| JP2024046797A (ja) * | 2022-09-26 | 2024-04-05 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 熱処理装置 |
| JP2024116492A (ja) * | 2023-02-16 | 2024-08-28 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 熱処理方法および熱処理装置 |
-
2020
- 2020-07-10 JP JP2020118998A patent/JP7501177B2/ja active Active
-
2021
- 2021-05-10 TW TW110116695A patent/TWI849313B/zh active
- 2021-06-16 US US17/349,792 patent/US20220015213A1/en active Pending
- 2021-06-28 CN CN202110733073.1A patent/CN113921419A/zh active Pending
- 2021-06-30 KR KR1020210085416A patent/KR20220007520A/ko not_active Application Discontinuation
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