JP2022013670A - Ceramic electronic component - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 52
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 42
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 19
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 25
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 41
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 39
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 37
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 37
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 37
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 37
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 25
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 10
- 238000010405 reoxidation reaction Methods 0.000 description 9
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 6
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 4
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 4
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 3
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L barium carbonate Chemical compound [Ba+2].[O-]C([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 2-(n-methyl-4-nitroanilino)acetonitrile Chemical compound N#CCN(C)C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N dysprosium atom Chemical compound [Dy] KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 1
- KJZYNXUDTRRSPN-UHFFFAOYSA-N holmium atom Chemical compound [Ho] KJZYNXUDTRRSPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001027 hydrothermal synthesis Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N samarium atom Chemical compound [Sm] KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical class [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 238000010532 solid phase synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 tetragonal compound Chemical class 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
Description
本発明は、セラミック電子部品に関する。 The present invention relates to ceramic electronic components.
積層セラミックコンデンサなどのセラミック電子部品において、絶縁劣化機構は、誘電体層中の酸素欠陥が電界によってカソードへ堆積し、カソードと誘電体層との界面における電気抵抗を引き下げることで起こり、この堆積までの時間が寿命を決定する趣旨の報告がある(例えば、非特許文献1参照)。 In ceramic electronic components such as multilayer ceramic capacitors, the insulation degradation mechanism occurs when oxygen defects in the dielectric layer are deposited on the cathode by an electric field, reducing the electrical resistance at the interface between the cathode and the dielectric layer, until this deposition. There is a report to the effect that the life of the capacitor is determined (see, for example, Non-Patent Document 1).
このモデルに従って、酸素欠陥量を低減することで寿命や耐電圧といった信頼性を改善できることが知られている(例えば、特許文献1,2参照)。特許文献1,2では、酸素欠陥濃度の定量に、熱刺激脱分極電流(TSDC)を用いている。 According to this model, it is known that reliability such as life and withstand voltage can be improved by reducing the amount of oxygen defects (see, for example, Patent Documents 1 and 2). In Patent Documents 1 and 2, a heat-stimulated depolarization current (TSDC) is used to quantify the oxygen defect concentration.
特許文献1,2では、TSDCデータの電流の積分値から酸素欠陥量を見積もっている。しかしながら、TSDCデータのうち、セラミック電子部品の寿命に大きい影響を及ぼすのは、誘電体層の結晶粒界を跨いでカソードまで移動する酸素欠陥に相当する部分である。特許文献1,2では、このことについて開示がない。 In Patent Documents 1 and 2, the amount of oxygen defects is estimated from the integrated value of the current of the TSDC data. However, in the TSDC data, the part that greatly affects the life of the ceramic electronic component is the portion corresponding to the oxygen defect that moves to the cathode across the crystal grain boundaries of the dielectric layer. Patent Documents 1 and 2 do not disclose this.
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、信頼性を向上させることができるセラミック電子部品を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a ceramic electronic component capable of improving reliability.
本発明に係るセラミック電子部品は、セラミックを主成分とする誘電体層と、内部電極層と、が交互に積層された積層構造を備え、前記誘電体層に対して、分極温度を150℃とし、分極電界を15V/μm~20V/μmとし、分極時間を60minとし、昇温速度を10℃/minとするTSDCにおいて、160℃以上230℃未満の低温側ピーク電流値をIAとし、230℃以上350℃以下の高温側ピーク電流値をIBとした場合に、IA/IB>0.30の関係が成立し、かつ、IBが100pA/mm2以下であることを特徴とする。 The ceramic electronic component according to the present invention has a laminated structure in which a dielectric layer containing ceramic as a main component and an internal electrode layer are alternately laminated, and the polarization temperature of the dielectric layer is set to 150 ° C. In TSDC with a polarization electric field of 15 V / μm to 20 V / μm, a polarization time of 60 min, and a temperature rise rate of 10 ° C / min, the low temperature side peak current value of 160 ° C or higher and lower than 230 ° C is IA , 230. When the peak current value on the high temperature side of ° C. or higher and 350 ° C. or lower is set to IB, the relationship of IA / IB > 0.30 is established, and IB is 100 pA / mm 2 or less. do.
上記セラミック電子部品において、IA/IB≧0.50であってもよい。 In the ceramic electronic component, IA / IB ≧ 0.50 may be satisfied.
上記セラミック電子部品において、IA/IB≧0.70であってもよい。 In the ceramic electronic component, IA / IB ≧ 0.70 may be satisfied.
上記セラミック電子部品において、IA/IB≧2.00であってもよい。 In the ceramic electronic component, IA / IB ≧ 2.00 may be satisfied.
上記セラミック電子部品において、前記IBが95pA/mm2以下であってもよい。 In the ceramic electronic component, the IB may be 95 pA / mm 2 or less.
上記セラミック電子部品において、前記IBが90pA/mm2以下であってもよい。 In the ceramic electronic component, the IB may be 90 pA / mm 2 or less.
上記セラミック電子部品において、前記IBが80pA/mm2以下であってもよい。 In the ceramic electronic component, the IB may be 80 pA / mm 2 or less.
本発明に係る他のセラミック電子部品は、セラミックを主成分とする誘電体層と、内部電極層と、が交互に積層された積層構造を備え、前記誘電体層に対して、分極時間を60minとし、分極電界を10V/μmとし、分極温度を150℃から210℃の範囲で変化させて分極させ、130℃に冷却した後に昇温速度を10℃/minとするTSDCにおいて、350℃まで昇温した際のピーク電流のうち、最も低温側に生じるピークのピーク電流値について、150℃で分極した場合のピーク電流値をJ150とし、170℃で分極した場合のピーク電流値をJ170とした場合に、(J170-J150)/J150≧0の関係が成立することを特徴とする。 The other ceramic electronic component according to the present invention has a laminated structure in which a dielectric layer containing ceramic as a main component and an internal electrode layer are alternately laminated, and has a polarization time of 60 min with respect to the dielectric layer. In TSDC where the polarization current is 10 V / μm, the polarization temperature is changed in the range of 150 ° C to 210 ° C to polarize, the temperature is cooled to 130 ° C, and the temperature rise rate is 10 ° C / min, the temperature rises to 350 ° C. Regarding the peak current value of the peak that occurs on the lowest temperature side among the peak currents when warmed, the peak current value when polarized at 150 ° C. is J150, and the peak current value when polarized at 170 ° C. is J170. In addition, it is characterized in that the relationship of (J170-J150) / J150 ≧ 0 is established.
上記セラミック電子部品において、前記誘電体層の平均厚みは、1μm以上としてもよい。 In the ceramic electronic component, the average thickness of the dielectric layer may be 1 μm or more.
上記セラミック電子部品において、前記誘電体層の平均厚みは、3.5μm以上としてもよい。 In the ceramic electronic component, the average thickness of the dielectric layer may be 3.5 μm or more.
上記セラミック電子部品において、前記誘電体層の厚み方向における結晶粒の平均数は、3以上としてもよい。 In the ceramic electronic component, the average number of crystal grains in the thickness direction of the dielectric layer may be 3 or more.
上記セラミック電子部品において、前記誘電体層の積層数は、1000層以上としてもよい。 In the ceramic electronic component, the number of laminated dielectric layers may be 1000 or more.
上記セラミック電子部品において、前記誘電体層の主成分は、BaTiO3としてもよい。 In the ceramic electronic component, the main component of the dielectric layer may be BaTiO 3 .
上記セラミック電子部品において、130℃以上350℃以下の温度範囲で生じるTSDCピークは、2個以上であってもよい。 In the ceramic electronic component, the number of TSDC peaks generated in the temperature range of 130 ° C. or higher and 350 ° C. or lower may be two or more.
上記セラミック電子部品において、130℃以上350℃以下の温度範囲で生じるTSDCピークは、3個以上であってもよい。 In the ceramic electronic component, the number of TSDC peaks generated in the temperature range of 130 ° C. or higher and 350 ° C. or lower may be three or more.
本発明によれば、信頼性を向上させることができるセラミック電子部品を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a ceramic electronic component capable of improving reliability.
以下、図面を参照しつつ、実施形態について説明する。 Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings.
(第1実施形態)
まず、積層セラミックコンデンサの概要について説明する。図1は、第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサ100の部分断面斜視図である。図1で例示するように、積層セラミックコンデンサ100は、直方体形状を有する積層チップ10と、積層チップ10のいずれかの対向する2端面に設けられた外部電極20a,20bとを備える。なお、積層チップ10の当該2端面以外の4面のうち、積層方向の上面および下面以外の2面を側面と称する。外部電極20a,20bは、積層チップ10の積層方向の上面、下面および2側面に延在している。ただし、外部電極20a,20bは、互いに離間している。
(First Embodiment)
First, the outline of the monolithic ceramic capacitor will be described. FIG. 1 is a partial cross-sectional perspective view of the multilayer
積層チップ10は、誘電体として機能するセラミック材料を含む誘電体層11と、卑金属材料を含む内部電極層12とが、交互に積層された構成を有する。各内部電極層12の端縁は、積層チップ10の外部電極20aが設けられた端面と、外部電極20bが設けられた端面とに、交互に露出している。それにより、各内部電極層12は、外部電極20aと外部電極20bとに、交互に導通している。その結果、積層セラミックコンデンサ100は、複数の誘電体層11が内部電極層12を介して積層された構成を有する。また、誘電体層11と内部電極層12との積層体において、積層方向の最外層には内部電極層12が配置され、当該積層体の上面および下面は、カバー層13によって覆われている。カバー層13は、セラミック材料を主成分とする。例えば、カバー層13の材料は、誘電体層11とセラミック材料の主成分が同じである。
The laminated
積層セラミックコンデンサ100のサイズは、例えば、長さ0.25mm、幅0.125mm、高さ0.125mmであり、または長さ0.4mm、幅0.2mm、高さ0.2mm、または長さ0.6mm、幅0.3mm、高さ0.3mmであり、または長さ1.0mm、幅0.5mm、高さ0.5mmであり、または長さ1.6mm、幅0.8mm、高さ0.8mmであり、または長さ3.2mm、幅1.6mm、高さ1.6mmであり、または長さ4.5mm、幅3.2mm、高さ2.5mmであるが、これらのサイズに限定されるものではない。
The size of the monolithic
内部電極層12は、Ni(ニッケル),Cu(銅),Sn(スズ)等の卑金属を主成分とする。内部電極層12として、Pt(白金),Pd(パラジウム),Ag(銀),Au(金)などの貴金属やこれらを含む合金を用いてもよい。
The
誘電体層11は、例えば、一般式ABO3で表されるペロブスカイト構造を主相とするセラミック材料を主成分とする。なお、当該ペロブスカイト構造は、化学量論組成から外れたABO3-αを含む。例えば、当該セラミック材料として、BaTiO3(チタン酸バリウム)、CaZrO3(ジルコン酸カルシウム)、CaTiO3(チタン酸カルシウム)、SrTiO3(チタン酸ストロンチウム)、ペロブスカイト構造を形成するBa1-x-yCaxSryTi1-zZrzO3(0≦x≦1,0≦y≦1,0≦z≦1)等を用いることができる。誘電体層11は、例えば、ペロブスカイト構造を有するセラミック材料を主成分とするセラミック原材料粉末を焼成することによって得られる。
The
このような積層セラミックコンデンサ100においては、絶縁劣化機構は、誘電体層11中の酸素欠陥が、カソードとして働く内部電極層12へ電界によって当該内部電極層12と誘電体層11との界面に堆積し、当該界面における電気抵抗を引き下げることで起こり、この堆積までの時間が寿命を決定する趣旨の報告があり、広く受け入れられている。このモデルに従い、酸素欠陥量を低減することで寿命や耐電圧といった信頼性を改善できることが知られている。例えば、熱刺激脱分極電流(TSDC)によって酸素欠陥移動量を見積もることができる。
In such a multilayer
例えば、図2(a)~図2(e)は、TSDCを利用して酸素欠陥移動量を見積もる手順を例示する図である。図2(a)は、一方の外部電極に接続された内部電極層12と他方の外部電極に接続された内部電極層12とによって挟まれた誘電体層11を例示する断面図である。図2(a)で例示するように、誘電体層11内には、酸素欠陥14が存在し、例えば誘電体層11中においてほぼ均等に分布している。
For example, FIGS. 2A to 2E are diagrams illustrating a procedure for estimating the amount of oxygen defect transfer using TSDC. FIG. 2A is a cross-sectional view illustrating the
図2(b)は、積層セラミックコンデンサ100を、加温した所定温度下に置き、隣り合う2つの内部電極層12間に直流電圧を印加した状態を部分的に示したものである。無負荷状態の積層セラミックコンデンサ100を加熱し、隣り合う2つの内部電極層12間に直流電圧を印加すると、誘電体層11中に分布していた酸素欠陥14が一方の電極側(ここでは-極側)に偏在してくる。この場合、温度は、例えば、200℃である。誘電体層11に印加される電界強度は、例えば、10V/μmである。
FIG. 2B partially shows a state in which the multilayer
図2(c)は、高温負荷状態にした積層セラミックコンデンサ100を、室温(25℃)下、無負荷の状態に戻したときの状態を示したものである。温度を室温(25℃)に戻した後、電圧を解除しても、酸素欠陥14は一方の内部電極層12(-極側)の方に偏在したままである。
FIG. 2C shows a state when the monolithic
この状態から図2(d)で例示するように、積層セラミックコンデンサ100に電流計を取り付けて、積層セラミックコンデンサ100を再び加熱すると、誘電体層11中で一方の内部電極層12側(ここでは-極側)に偏在していた酸素欠陥14が、徐々に、対向する内部電極層12側へ移動する。この酸素欠陥14がキャリアとなり電流が流れる。この電流のことを、熱刺激電流と称する。加熱する温度は300℃程度とする。熱刺激電流は、図2(e)で例示するように酸素欠陥14による分極が解除されるまで発生するため、分極が解除されるまでの電流値の時間積分値が誘電体層11内のキャリアの電荷の総量Qとなる。
From this state, as illustrated in FIG. 2D, when an ammeter is attached to the laminated
上記測定によって求めた電荷Qを酸素欠陥14の1個当たりの電荷(2×1.6×10-19クーロン:負の固定電荷としてV0
+2で表されるため、絶対値は電気素量の2倍となる。)と誘電体層11の体積で除して積層セラミックコンデンサ100中に存在する酸素欠陥濃度を求める。このように、電流値の積分値から、酸素欠陥量を見積もることができる。
Since the charge Q obtained by the above measurement is expressed as the charge per oxygen defect 14 (2 × 1.6 × 10-19 coulombs: V 0 + 2 as a negative fixed charge, the absolute value is the elementary charge. The concentration of oxygen defects present in the laminated
ここで、熱刺激電流が発生する際の酸素欠陥の移動について説明する。図3(a)は、酸素欠陥の移動を例示する図である。図3(a)で例示するように、誘電体層11は、複数の結晶粒15を含んでいる。2つの結晶粒15の間には、結晶粒界16が形成されている。図3(a)の上段で例示するように、酸素欠陥14は、結晶粒15内を移動する。また、図3(a)の中段で例示するように、酸素欠陥14は、結晶粒界16を跨いで移動する。積層セラミックコンデンサ100の寿命に大きい影響を及ぼすのは、誘電体層11内の結晶粒界16を跨いで移動する酸素欠陥14である。
Here, the movement of oxygen defects when a thermal stimulation current is generated will be described. FIG. 3A is a diagram illustrating the movement of oxygen defects. As illustrated in FIG. 3A, the
そこで、分極温度を150℃とし、分極電界を15V/μm~20V/μmとし、分極時間を60minとし、昇温速度10℃/minとするTSDCにおいて、350℃程度まで昇温した際の温度と熱刺激電流値との関係を図3(b)に例示する。図3(b)で例示するように、TSDCデータには、複数のピークが現れる。大きく分けると、160℃以上で典型的な二つの主たるピークが現れる。これらのピークは、160℃以上230℃未満の低温側ピーク(ピークA)と、230℃以上350℃以下の高温側ピーク(ピークB)である。図2(a)~図2(e)の手順では、これらの電流ピークの積分値から酸素欠陥量を見積もっていることになる。ここで、分極温度とは、誘電体層11を分極させる温度を指す。分極電界とは、誘電体層11を分極させる電界の強度を指す。分極時間とは、誘電体層11を分極させる時間を指す。また、ピークとは、電流値をグラフで表した時の極大値(上に凸である変曲点)のことを指す。
Therefore, in TSDC where the polarization temperature is 150 ° C., the polarization electric field is 15 V / μm to 20 V / μm, the polarization time is 60 min, and the temperature rise rate is 10 ° C./min, the temperature when the temperature is raised to about 350 ° C. The relationship with the thermal stimulation current value is illustrated in FIG. 3 (b). As illustrated in FIG. 3 (b), a plurality of peaks appear in the TSDC data. Broadly speaking, two typical peaks appear above 160 ° C. These peaks are a low temperature side peak (peak A) of 160 ° C. or higher and lower than 230 ° C. and a high temperature side peak (peak B) of 230 ° C. or higher and 350 ° C. or lower. In the procedure of FIGS. 2A to 2E, the amount of oxygen defects is estimated from the integrated value of these current peaks. Here, the polarization temperature refers to the temperature at which the
なお、図3(b)において、実線と点線との差は、誘電体層11中の酸素欠陥に起因して現れる。実線および点線のいずれにおいても、160℃以上230℃未満の低温側ピーク(ピークA)と、230℃以上350℃以下の高温側ピーク(ピークB)とが表れている。また、130℃以上350℃以下の温度範囲において、TSDCピークは、2個以上現れており、3個以上現れていることもある。
In FIG. 3B, the difference between the solid line and the dotted line appears due to the oxygen defect in the
積層セラミックコンデンサ100の実際の信頼性と、TSDCデータとの関係を結び付けるには、この積分値のみでは十分ではない。上述したように、積層セラミックコンデンサ100の信頼性に大きい影響を及ぼすのは、誘電体層11内の結晶粒界16を跨いで移動する酸素欠陥14であるからである。この酸素欠陥14の移動は、ピークBが表す電流である。これに対して、ピークAが表す電流は、結晶粒界16を跨がずに結晶粒15内の酸素欠陥移動である。ピークAが積層セラミックコンデンサの寿命に及ぼす影響は、ピークBが及ぼす影響と比較すると小さい。したがって、信頼性を向上させるためには、ピークBを小さくすることが求められる。
This integral value alone is not sufficient to link the actual reliability of the monolithic
本発明者は、鋭意研究により、ピークAのピーク電流値IAとピークBのピーク電流値IBとの比(IA/IB)が信頼性の制御に重要であることを見出した。具体的には、本発明者は、分極温度を150℃とし、分極電界を15V/μm~20V/μmとし、分極時間を60minとし、昇温速度10℃/minとするTSDCにおいて、IA/IB>0.30の関係が成立し、かつピーク電流IBが100pA/mm2以下である場合に、比較的高電界が負荷される場合でも高い寿命が得られることを見出した。また、この手法を用いれば、積層セラミックコンデンサ100の信頼性を短時間で推定できるようになる。
The present inventor has found through diligent research that the ratio of the peak current value IA of peak A to the peak current value IB of peak B ( IA / IB ) is important for controlling reliability. Specifically, the present inventor has an IA / in a TSDC having a polarization temperature of 150 ° C., a polarization electric field of 15 V / μm to 20 V / μm, a polarization time of 60 min, and a heating rate of 10 ° C./min. It has been found that when the relationship of IB > 0.30 is established and the peak current IB is 100 pA / mm 2 or less, a long life can be obtained even when a relatively high electric field is applied. Further, by using this method, the reliability of the monolithic
本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ100においては、複数の誘電体層11のうち、少なくともいずれか一層の誘電体層11は、IA/IBが0.30を上回り、かつIB≦100pA/mm2となる構成を有している。積層セラミックコンデンサ100に含まれる全ての誘電体層11が、IA/IBが0.30を上回りかつIB≦100pA/mm2となる構成を有していることが好ましい。
In the multilayer
例えば、誘電体層11の組成、結晶粒径、焼成条件などのパラメータを調整することによって、IA/IBが0.30を上回りかつIB≦100pA/mm2となる構成が得られる。信頼性向上の観点から、IA/IBは、0.50以上であることが好ましく、0.5を上回ることが好ましく、0.70以上であることが好ましく、1.0を上回ることが好ましく、2.00以上であることが好ましい。IBは、95pA/mm2以下であることが好ましく、90pA/mm2以下であることが好ましく、85pA/mm2以下であることが好ましく、80pA/mm2以下であることが好ましく、50pA/mm2以下であることが好ましい。なお、電流値の単位は、A/mm2であり、これは単位面積当たりの電流値を示すものである。この値は積層セラミックコンデンサ100で測定された電流値を積層セラミックコンデンサ100に含まれる内部電極が誘電体層を挟んで対向する領域の総面積で割って、得ることができる。
For example, by adjusting parameters such as the composition of the
例えば、電界を横切る結晶粒界数を増やしたり、結晶粒界を厚くすることで、IA/IBを大きくすることができる。また、IBが小さいほど製品の信頼性は向上し、好ましい。IBの値が0に近づくときIA/IBの値は非常に大きい値になることがある。
For example, IA / IB can be increased by increasing the number of grain boundaries across the electric field or by thickening the grain boundaries. Further, the smaller the IB , the higher the reliability of the product, which is preferable. When the value of IB
なお、誘電体層11において、厚み方向に複数の結晶粒が含まれる場合に、ピークAおよびピークBが顕著に表れる。したがって、誘電体層11において、厚み方向に複数の結晶粒が含まれることが好ましい。例えば、誘電体層11の1層あたりの結晶粒の平均数は、3から8であることが好ましい。このような誘電体層11の1層あたりの結晶粒の平均値は、積層方向に平行な切断面を電子顕微鏡で観察して、積層方向に平行に引いた任意の直線が横切る結晶粒の数を1層の誘電体層で求め、これを任意に選択した20箇所の誘電体層でおこない、得られた20個のデータの平均値として求めることができる。
When a plurality of crystal grains are contained in the
誘電体層11の平均厚みは、例えば、1μm以上であり、3.5μm以上である。誘電体層11の厚み方向に複数の結晶粒が含まれることが好ましいためである。誘電体層11の平均厚みは、積層方向に平行な切断面を電子顕微鏡で観察して、たとえば任意に選択した20箇所の厚みの平均値として求めることができる。
The average thickness of the
なお、IA、IB、(IA+IB)の各値自体は、積層セラミックコンデンサ100のサイズ、電極構成、誘電体層厚、分極条件、その他の条件に応じて変動するので、これらの個々の値だけで寿命を制御することは困難である。この観点に基づき、本実施形態においては、IAとIBとの比に着目している。
The values of I A , IB , and ( IA + IB ) themselves vary depending on the size of the monolithic
続いて、積層セラミックコンデンサ100の製造方法について説明する。図4は、積層セラミックコンデンサ100の製造方法のフローを例示する図である。
Subsequently, a method for manufacturing the monolithic
(原料粉末作製工程)
まず、誘電体層11を形成するための誘電体材料を用意する。誘電体層11に含まれるAサイト元素およびBサイト元素は、通常はABO3の粒子の焼結体の形で誘電体層11に含まれる。例えば、BaTiO3は、ペロブスカイト構造を有する正方晶化合物であって、高い誘電率を示す。このBaTiO3は、一般的に、二酸化チタンなどのチタン原料と炭酸バリウムなどのバリウム原料とを反応させてチタン酸バリウムを合成することで得ることができる。誘電体層11の主成分セラミックの合成方法としては、従来種々の方法が知られており、例えば固相法、ゾル-ゲル法、水熱法等が知られている。本実施形態においては、これらのいずれも採用することができる。
(Raw material powder preparation process)
First, a dielectric material for forming the
得られたセラミック粉末に、目的に応じて所定の添加化合物を添加する。添加化合物としては、Mg(マグネシウム),Mn(マンガン),V(バナジウム),Cr(クロム),希土類元素(Y(イットリウム),Sm(サマリウム),Eu(ユウロピウム),Gd(ガドリニウム),Tb(テルビウム),Dy(ジスプロシウム),Ho(ホロミウム),Er(エルビウム),Tm(ツリウム)およびYb(イッテルビウム))の酸化物、並びに、Co(コバルト),Ni,Li(リチウム),B(ホウ素),Na(ナトリウム),K(カリウム)およびSi(シリコン)の酸化物もしくはガラスが挙げられる。 A predetermined additive compound is added to the obtained ceramic powder according to the purpose. Additive compounds include Mg (magnesium), Mn (manganese), V (vanadium), Cr (chromium), rare earth elements (Y (yttrium), Sm (samarium), Eu (europium), Gd (gadrinium), Tb ( Oxides of terbium), Dy (dysprosium), Ho (holmium), Er (erbium), Tm (thulium) and Yb (yttrium)), as well as Co (cobalt), Ni, Li (lithium), B (boron). , Na (sodium), K (potassium) and Si (silicon) oxides or glass.
例えば、セラミック原料粉末に添加化合物を含む化合物を湿式混合し、乾燥および粉砕してセラミック材料を調製する。例えば、上記のようにして得られたセラミック材料について、必要に応じて粉砕処理して粒径を調節し、あるいは分級処理と組み合わせることで粒径を整えてもよい。以上の工程により、誘電体材料が得られる。 For example, a compound containing an additive compound is wet-mixed with a ceramic raw material powder, dried and pulverized to prepare a ceramic material. For example, the ceramic material obtained as described above may be pulverized to adjust the particle size, or may be combined with a classification process to adjust the particle size, if necessary. By the above steps, a dielectric material can be obtained.
(積層工程)
次に、得られた誘電体材料に、ポリビニルブチラール(PVB)樹脂等のバインダと、エタノール、トルエン等の有機溶剤と、可塑剤とを加えて湿式混合する。得られたスラリを使用して、例えばダイコータ法やドクターブレード法により、基材上に例えば厚み1μm以上の帯状の誘電体グリーンシートを塗工して乾燥させる。
(Laminating process)
Next, a binder such as polyvinyl butyral (PVB) resin, an organic solvent such as ethanol and toluene, and a plasticizer are added to the obtained dielectric material and wet-mixed. Using the obtained slurry, for example, a strip-shaped dielectric green sheet having a thickness of 1 μm or more is applied onto a substrate by, for example, a die coater method or a doctor blade method, and dried.
次に、誘電体グリーンシートの表面に、有機バインダを含む内部電極形成用の金属導電ペーストをスクリーン印刷、グラビア印刷等により印刷することで、極性の異なる一対の外部電極に交互に引き出される内部電極層パターンを配置する。金属導電ペーストには、共材としてセラミック粒子を添加する。セラミック粒子の主成分は、特に限定するものではないが、誘電体層11の主成分セラミックと同じであることが好ましい。例えば、平均粒子径が50nm以下のBaTiO3を均一に分散させてもよい。
Next, by printing a metal conductive paste containing an organic binder for forming an internal electrode on the surface of the dielectric green sheet by screen printing, gravure printing, etc., the internal electrodes are alternately drawn out to a pair of external electrodes having different polarities. Place a layer pattern. Ceramic particles are added as a co-material to the metal conductive paste. The main component of the ceramic particles is not particularly limited, but is preferably the same as the main component ceramic of the
その後、内部電極層パターンが印刷された誘電体グリーンシートを所定の大きさに打ち抜いて、打ち抜かれた誘電体グリーンシートを、基材を剥離した状態で、内部電極層12と誘電体層11とが互い違いになるように、かつ内部電極層12が誘電体層11の長さ方向両端面に端縁が交互に露出して極性の異なる一対の外部電極20a,20bに交互に引き出されるように、所定層数(例えば100~1000層)だけ積層する。積層した誘電体グリーンシートの上下に、カバー層13を形成するためのカバーシートを圧着させ、所定チップ寸法(例えば1.0mm×0.5mm)にカットする。
After that, the dielectric green sheet on which the internal electrode layer pattern is printed is punched out to a predetermined size, and the punched out dielectric green sheet is formed into the
得られたセラミック積層体をN2雰囲気中で脱バインダした後に、セラミック積層体の両端面から各側面にかけて、外部電極20a,20bの主成分金属を含む金属フィラー、共材、バインダ、溶剤などを含み、外部電極20a,20bの下地層となる金属ペーストを塗布し、乾燥させる。
After removing the binder from the obtained ceramic laminate in an N2 atmosphere, a metal filler containing the main component metal of the
(焼成工程)
このようにして得られた成型体を、250~500℃のN2雰囲気中で脱バインダ処理した後に、酸素分圧10-8~10-13atmの還元雰囲気中で1100~1300℃で10分~2時間焼成することで、成型体の各粒子が焼結する。このようにして、セラミック積層体が得られる。
(Baking process)
The molded product thus obtained is subjected to a binder removal treatment in an N2 atmosphere at 250 to 500 ° C., and then in a reducing atmosphere with an oxygen partial pressure of 10-8 to 10-13 atm at 1100-1300 ° C. for 10 minutes. By firing for ~ 2 hours, each particle of the molded body is sintered. In this way, a ceramic laminate is obtained.
(再酸化処理工程)
その後、N2ガス雰囲気中で600℃~1000℃で再酸化処理を行う。例えば、950℃で1hr再酸化処理を行う。その後、N2ガス雰囲気のまま500℃まで冷却し、雰囲気を大気に切り替え、500℃で24hr保持し、その後に室温まで冷却する。このような処理を行うことにより、誘電体層11の結晶粒界16の酸素濃度を高めることができる。それにより、TSDCのピーク電流値を大きく低下させることができ、酸素欠陥14が結晶粒界16を超えてあるいは結晶粒界16に沿って移動することを抑制することができる。その結果、IAに対してIBを相対的に低下させることができる。また、500℃での長時間保持により、4532サイズ(長さ4.5mm、幅3.2mm、高さ2.5mm)のような大型かつ1000層以上の多積層の積層セラミックコンデンサの再酸化も十分に可能となる。
(Reoxidation process)
Then, the reoxidation treatment is performed at 600 ° C. to 1000 ° C. in an N2 gas atmosphere. For example, 1 hr reoxidation treatment is performed at 950 ° C. Then, the atmosphere is cooled to 500 ° C. with the N 2 gas atmosphere, the atmosphere is switched to the atmosphere, the temperature is maintained at 500 ° C. for 24 hours, and then the mixture is cooled to room temperature. By performing such a treatment, the oxygen concentration at the
(めっき処理工程)
その後、外部電極20a,20bの下地層上に、めっき処理により、Cu,Ni,Sn等の金属コーティングを行う。以上の行程により、積層セラミックコンデンサ100が完成する。
(Plating process)
After that, a metal coating such as Cu, Ni, Sn is applied on the base layer of the
本実施形態に係る製造方法によれば、複数の誘電体層11のうち、少なくともいずれか一層の誘電体層11は、IA/IBが0.30を上回りかつIB≦100pA/mm2となる構成を有するようになる。それにより、比較的高電界が負荷される場合にも、高い寿命が得られ、信頼性が向上する。
According to the manufacturing method according to the present embodiment, the
(第2実施形態)
続いて、第2実施形態について説明する。第2実施形態では、図1で説明した積層セラミックコンデンサ100において、TSDCの条件を変更してある。
(Second Embodiment)
Subsequently, the second embodiment will be described. In the second embodiment, the TSDC conditions are changed in the monolithic
本発明者は、鋭意研究により、誘電体層11に対して、分極時間を60minとし、分極電界を10V/μmとし、分極温度を150℃~210℃の範囲で変化させて分極させ、130℃に冷却した後に昇温速度10℃/minとするTSDCにおいて、350℃程度まで昇温した際に生じるピーク電流の内、最も低温側(150℃近辺)に生じるピークのピーク電流値に、分極温度の上昇に対して減少傾向が見られないことで、高い寿命が得られることを見出した。
The present inventor has conducted diligent research to polarize the
最も低温側(150℃付近)に生じるピークは、欠陥双極子(酸素欠陥とカチオン欠陥・金属欠陥等のクラスター)由来のピークと考えられている。本ピークが分極温度の上昇に対して減少傾向にないということは、本クラスターが解離せず、酸素欠陥がマイグレーションしにくいと解釈できる。そのため、積層セラミックコンデンサの信頼性に大きな影響を与えると考えられている高温側に生じるピークの上昇が抑制されると考えられる。 The peak that occurs on the lowest temperature side (around 150 ° C.) is considered to be a peak derived from defective dipoles (clusters of oxygen defects, cationic defects, metal defects, etc.). The fact that this peak does not tend to decrease with increasing polarization temperature can be interpreted as the fact that this cluster does not dissociate and oxygen defects are difficult to migrate. Therefore, it is considered that the rise of the peak generated on the high temperature side, which is considered to have a great influence on the reliability of the monolithic ceramic capacitor, is suppressed.
具体的には、分極温度150℃で分極した際に150℃付近で生じるTSDCピークのピーク電流値をJ150とし、分極温度170℃で分極した際に150℃付近で生じるTSDCピークのピーク電流値をJ170とした場合に、ΔJ=(J170-J150)/J150≧0の関係が成立することで、高い寿命が得られる。なお、通常のTSDCでは350℃以上まで昇温することが求められるが、本実施形態では350℃程度まで昇温すればよいため、簡易的に積層セラミックコンデンサ100の信頼性を評価することができる。
Specifically, the peak current value of the TSDC peak that occurs near 150 ° C. when polarized at a polarization temperature of 150 ° C. is set to J150, and the peak current value of the TSDC peak that occurs near 150 ° C. when polarized at a polarization temperature of 170 ° C. is defined as J150. When J170 is set, a high life can be obtained by establishing the relationship of ΔJ = (J170-J150) / J150 ≧ 0. In a normal TSDC, it is required to raise the temperature to 350 ° C. or higher, but in the present embodiment, the temperature may be raised to about 350 ° C., so that the reliability of the monolithic
図5は、J170およびJ150を例示する図である。図5において、実線が170℃で分極した際のTSDCを表し、点線が150℃で分極した際のTSDCを表している。図5で例示するように、J170およびJ150のいずれも、150℃近辺にピークが見られている。また、J170がJ150よりも大きくなっている。なお、J170およびJ150のピークが見られる温度は、例えば、130℃~160℃の範囲内に観察される。 FIG. 5 is a diagram illustrating J170 and J150. In FIG. 5, the solid line represents the TSDC when polarized at 170 ° C., and the dotted line represents the TSDC when polarized at 150 ° C. As illustrated in FIG. 5, both J170 and J150 have a peak near 150 ° C. Also, J170 is larger than J150. The temperature at which the peaks of J170 and J150 are observed is observed in the range of, for example, 130 ° C to 160 ° C.
本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ100においては、複数の誘電体層11のうち、少なくともいずれか一層の誘電体層11は、ΔJ=(J170-J150)/J150≧0の関係が成立する構成を有している。積層セラミックコンデンサ100に含まれる全ての誘電体層11が、ΔJ=(J170-J150)/J150≧0の関係が成立する構成を有していることが好ましい。
In the multilayer
例えば、誘電体層11の組成、結晶粒径、焼成条件などのパラメータを調整することによって、ΔJ=(J170-J150)/J150≧0の関係が成立するようになる。信頼性向上の観点から、ΔJ=(J170-J150)/J150≧0.5の関係が成立することが好ましく、ΔJ=(J170-J150)/J150≧1.0の関係が成立することがより好ましい。
For example, by adjusting parameters such as the composition of the
例えば、電界を横切る結晶粒界数を増やしたり、結晶粒界を厚くすることで、ΔJ=(J170-J150)/J150を大きくすることができる。しかしながら、ΔJ=(J170-J150)/J150を大きくし過ぎると、製品の静電容量が落ちるおそれがある。したがって、容量確保および高信頼性の観点からは、ΔJ=(J170-J150)/J150に上限を設けることが好ましい。例えば、ΔJ=(J170-J150)/J150は、2.0以下であることが好ましく、1.5以下であることがより好ましく、1.25以下であることがさらに好ましい。 For example, ΔJ = (J170-J150) / J150 can be increased by increasing the number of crystal grain boundaries that cross the electric field or by thickening the crystal grain boundaries. However, if ΔJ = (J170-J150) / J150 is made too large, the capacitance of the product may decrease. Therefore, from the viewpoint of securing capacity and high reliability, it is preferable to set an upper limit on ΔJ = (J170-J150) / J150. For example, ΔJ = (J170-J150) / J150 is preferably 2.0 or less, more preferably 1.5 or less, and even more preferably 1.25 or less.
なお、上記のTSDCにおいて、150℃から210℃の分極温度のいずれに着目した場合であっても、130℃に冷却した後に昇温速度10℃/minとするTSDCにおいて、350℃程度まで昇温した際に生じるピーク電流の内、最も低温側(150℃近辺)に生じるピークのピーク電流値に、分極温度の上昇に対して減少傾向が見られないことが好ましい。 Regardless of which of the polarization temperatures from 150 ° C. to 210 ° C. is focused on in the above TSDC, the temperature rises to about 350 ° C. in the TSDC having a temperature rise rate of 10 ° C./min after cooling to 130 ° C. It is preferable that the peak current value of the peak generated on the lowest temperature side (around 150 ° C.) among the peak currents generated at the same time does not show a decreasing tendency with respect to the increase in the polarization temperature.
本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ100は、第1実施形態と同様の製造方法によって製造することができる。当該製造方法によれば、複数の誘電体層11のうち、少なくともいずれか一層の誘電体層11は、ΔJ=(J170-J150)/J150≧0の関係が成立するようになる。それにより、比較的高温環境下で使用される場合においても、高い寿命が得られ、信頼性が向上する。
The monolithic
なお、上記各実施形態においては、セラミック電子部品の一例として積層セラミックコンデンサについて説明したが、それに限られない。例えば、バリスタやサーミスタなどの、他の電子部品を用いてもよい。 In each of the above embodiments, the multilayer ceramic capacitor has been described as an example of the ceramic electronic component, but the present invention is not limited thereto. For example, other electronic components such as varistor and thermistor may be used.
以下、実施形態に係る積層セラミックコンデンサを作製し、特性について調べた。 Hereinafter, the monolithic ceramic capacitor according to the embodiment was produced and its characteristics were investigated.
(実施例1)
チタン酸バリウム粉末を、誘電体材料として用意した。チタン酸バリウム粉末に必要な添加物を添加し、ボールミルで十分に湿式混合粉砕して誘電体材料を得た。誘電体材料に有機バインダおよび溶剤を加えてドクターブレード法にて誘電体グリーンシートを作製した。有機バインダとしてポリビニルブチラール(PVB)等を用い、溶剤としてエタノール、トルエン等を加えた。その他、可塑剤などを加えた。
(Example 1)
Barium titanate powder was prepared as a dielectric material. The necessary additives were added to the barium titanate powder, and the mixture was sufficiently wet-mixed and pulverized with a ball mill to obtain a dielectric material. An organic binder and a solvent were added to the dielectric material to prepare a dielectric green sheet by the doctor blade method. Polyvinyl butyral (PVB) or the like was used as the organic binder, and ethanol, toluene or the like was added as the solvent. In addition, a plasticizer was added.
次に、内部電極層12の主成分金属と、共材と、バインダ(エチルセルロース)と、溶剤と、必要に応じてその他助剤を含んでいる内部電極形成用の金属導電ペーストを遊星ボールミルで作製した。
Next, a metal conductive paste for forming an internal electrode containing the main component metal of the
誘電体グリーンシートに内部電極形成用の金属導電ペーストをスクリーン印刷した。誘電体グリーンシート上に金属導電ペーストが印刷されたシート部材を301枚重ね、その上下にカバーシートをそれぞれ積層した。その後、熱圧着により積層体を得て、所定の形状に切断した。 A metallic conductive paste for forming an internal electrode was screen-printed on a dielectric green sheet. 301 sheet members on which the metal conductive paste was printed were stacked on the dielectric green sheet, and cover sheets were laminated above and below the sheet members. Then, a laminated body was obtained by thermocompression bonding and cut into a predetermined shape.
得られた積層体をN2雰囲気中で脱バインダした後に、積層体の両端面から各側面にかけて、Niを主成分とする金属フィラー、共材、バインダ、溶剤などを含む金属導電ペーストを下地層用に塗布し、乾燥させた。その後、還元雰囲気中で1100℃~1300℃で10分~2時間、下地層用の金属導電ペーストを積層体と同時に焼成して焼結体を得た。得られた焼結体の形状寸法は、長さ3.2mm、幅1.6mm、高さ1.6mmであった。 After removing the binder from the obtained laminate in an N2 atmosphere, a metal conductive paste containing a metal filler containing Ni as a main component, a co-material, a binder, a solvent, etc. is applied as a base layer from both end faces to each side surface of the laminate. Was applied and dried. Then, the metal conductive paste for the base layer was fired at the same time as the laminated body at 1100 ° C. to 1300 ° C. for 10 minutes to 2 hours in a reducing atmosphere to obtain a sintered body. The shape and dimensions of the obtained sintered body were 3.2 mm in length, 1.6 mm in width, and 1.6 mm in height.
その後、再酸化処理を行なった。まず、N2ガス雰囲気中、950℃で1h保持した。その後、N2ガス雰囲気のまま500℃まで冷却し、雰囲気を大気に切り替え、500℃で24hr保持し、その後に室温まで冷却した。その後、メッキ処理して下地層の表面にCuめっき層、Niめっき層およびSnめっき層を形成し、積層セラミックコンデンサ100を得た。製品の断面から確認した誘電体層11の平均厚さが1.2μmとなるように誘電体グリーンシートの厚さを調整した。
Then, a reoxidation treatment was performed. First, it was held at 950 ° C. for 1 hour in an N2 gas atmosphere. Then, the atmosphere was cooled to 500 ° C. with the N 2 gas atmosphere, the atmosphere was switched to the atmosphere, the temperature was maintained at 500 ° C. for 24 hours, and then the mixture was cooled to room temperature. Then, the plating treatment was performed to form a Cu plating layer, a Ni plating layer and a Sn plating layer on the surface of the base layer, and a laminated
(実施例2)
実施例2では、実施例1と比較して、雰囲気を大気に切り替えた後の温度保持の条件を、500℃で20hr保持するように変更した。その他の条件は、実施例1と同様とした。
(Example 2)
In Example 2, as compared with Example 1, the condition for maintaining the temperature after switching the atmosphere to the atmosphere was changed to maintain the temperature at 500 ° C. for 20 hours. Other conditions were the same as in Example 1.
(実施例3)
実施例3では、実施例1と比較して、雰囲気を大気に切り替えた後の温度保持の条件を、500℃で30hr保持するように変更した。その他の条件は、実施例1と同様とした。
(Example 3)
In Example 3, as compared with Example 1, the condition for maintaining the temperature after switching the atmosphere to the atmosphere was changed to maintain the temperature at 500 ° C. for 30 hours. Other conditions were the same as in Example 1.
(実施例4)
実施例4では、実施例1と比較して、誘電体層11の積層数を1100層とし、製品の断面から確認した誘電体層11の平均厚さが0.7μmとなるように変更した。その他の条件は、実施例1と同様とした。
(Example 4)
In Example 4, the number of laminated
(実施例5)
実施例5では、実施例1と比較して、誘電体層11の積層数を100層とし、製品の断面から確認した誘電体層11の平均厚さが3.6μmとなるように変更した。その他の条件は、実施例1と同様とした。
(Example 5)
In Example 5, the number of laminated
(比較例1)
比較例1では、再酸化処理において、N2ガス雰囲気中、950℃で1hr保持し、その後、N2ガス雰囲気のまま500℃まで冷却し、雰囲気を大気に切り替えて室温まで冷却した。すなわち、500℃での保持を行なわなかった。その他の条件は、実施例1と同様とした。
(Comparative Example 1)
In Comparative Example 1, in the reoxidation treatment, the temperature was maintained at 950 ° C. for 1 hr in the N 2 gas atmosphere, then cooled to 500 ° C. in the N 2 gas atmosphere, and the atmosphere was switched to the atmosphere to cool to room temperature. That is, it was not held at 500 ° C. Other conditions were the same as in Example 1.
(比較例2)
比較例2では、再酸化処理において、N2ガス雰囲気中、950℃で1hr保持し、N2ガス雰囲気のまま500℃まで冷却し、雰囲気を大気に切り替え、500℃で5hr保持し、その後に室温まで冷却した。すなわち、実施例1と比較して、500℃での保持時間を短くした。その他の条件は、実施例1と同様とした。
(Comparative Example 2)
In Comparative Example 2, in the reoxidation treatment, the temperature was maintained at 950 ° C. for 1 hr in the N 2 gas atmosphere, cooled to 500 ° C. in the N 2 gas atmosphere, the atmosphere was switched to the atmosphere, and the atmosphere was maintained at 500 ° C. for 5 hr. Cooled to room temperature. That is, the holding time at 500 ° C. was shortened as compared with Example 1. Other conditions were the same as in Example 1.
(比較例3)
比較例3では、再酸化処理において、N2ガス雰囲気中、950℃で1hr保持し、N2ガス雰囲気のまま500℃まで冷却し、雰囲気を大気に切り替え、500℃で15hr保持し、その後に室温まで冷却した。すなわち、実施例1と比較して、500℃での保持時間を短くした。その他の条件は、実施例1と同様とした。
(Comparative Example 3)
In Comparative Example 3, in the reoxidation treatment, the temperature was maintained at 950 ° C. for 1 hr in the N 2 gas atmosphere, cooled to 500 ° C. in the N 2 gas atmosphere, the atmosphere was switched to the atmosphere, the atmosphere was maintained at 500 ° C. for 15 hr, and then. Cooled to room temperature. That is, the holding time at 500 ° C. was shortened as compared with Example 1. Other conditions were the same as in Example 1.
(分析1)
実施例1~5および比較例1~3について、分極温度を150℃とし、分極時間を60minとし、分極電界を20V/μmとし、昇温速度を10℃/minとするTSDCにおいて、IA/IBを測定した。また、150℃、40V/μmという高温高電界の加速寿命試験(HALT)を行った。その結果を表1に示す。MTTF(Mean Time To Failure)は、実施例1~5および比較例1~3のそれぞれ20個について導通するまでの時間を測定し、得られた寿命時間の平均値をMTTFとした。
For Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 3, in a TSDC having a polarization temperature of 150 ° C., a polarization time of 60 min, a polarization electric field of 20 V / μm, and a heating rate of 10 ° C./min, IA /. IB was measured. In addition, an accelerated life test (HALT) was performed at a high temperature and high electric field of 150 ° C. and 40 V / μm. The results are shown in Table 1. MTTF (Mean Time To Failure) measured the time until conduction for each of 20 of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 3, and the average value of the obtained life times was taken as MTTF.
なお、実施例1~5および比較例1~3について、誘電体層の厚み方向において、結晶粒の平均数は、3~10個であった。 In Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 3, the average number of crystal grains was 3 to 10 in the thickness direction of the dielectric layer.
表1に示すように、実施例1では、IA/IBは0.35であり、IBが90pA/mm2であった。実施例2では、IA/IBは0.70であり、IBが95pA/mm2であった。実施例3では、IA/IBは2.00であり、IBが20pA/mm2であった。実施例4では、IA/IBは0.50であり、IBが80pA/mm2であった。実施例5では、IA/IBは3.00であり、IBが20pA/mm2であった。比較例1では、IA/IBは0.15であり、IBが500pA/mm2であった。比較例2では、IA/IBは0.35であり、IBが250pA/mm2であった。実施例3では、IA/IBは1.50であり、IBが105pA/mm2であった。 As shown in Table 1, in Example 1, the IA / IB was 0.35 and the IB was 90 pA / mm 2 . In Example 2, the IA / IB was 0.70 and the IB was 95 pA / mm 2 . In Example 3, IA / IB was 2.00 and IB was 20 pA / mm 2 . In Example 4, the IA / IB was 0.50 and the IB was 80 pA / mm 2 . In Example 5, the IA / IB was 3.00 and the IB was 20 pA / mm 2 . In Comparative Example 1, IA / IB was 0.15 and IB was 500 pA / mm 2 . In Comparative Example 2, IA / IB was 0.35 and IB was 250 pA / mm 2 . In Example 3, the IA / IB was 1.50 and the IB was 105 pA / mm 2 .
実施例1~実施例5では、MTTFが2000minを上回り、高い寿命が得られた。これは、IA/IB>0.30の関係が成立し、かつ最高温度で生じるピーク電流IBが100pA/mm2以下であったからであると考えられる。これに対して、比較例1では、MTTFが100minと短くなった。これは、IA/IBが0.15と低く、IBを十分に小さくすることができなかったからであると考えられる。比較例2では、MTTFが500minと短くなった。これは、IA/IBが0.35と大きくなったものの、IBが250pA/mm2と高く、IBを十分に小さくすることができなかったからであると考えられる。比較例3では、MTTFが2000minと短くなった。これは、IA/IBが1.50と大きくなったものの、IBが105pA/mm2と高く、IBを十分に小さくすることができなかったからであると考えられる。 In Examples 1 to 5, the MTTF exceeded 2000 min, and a high life was obtained. It is considered that this is because the relationship of IA / IB > 0.30 was established and the peak current IB generated at the maximum temperature was 100 pA / mm 2 or less. On the other hand, in Comparative Example 1, the MTTF was as short as 100 min. It is considered that this is because the IA / IB was as low as 0.15 and the IB could not be made sufficiently small. In Comparative Example 2, the MTTF was as short as 500 min. It is considered that this is because the IB was as high as 250 pA / mm 2 and the IB could not be made sufficiently small, although the IA / IB was as large as 0.35. In Comparative Example 3, the MTTF was as short as 2000 min. It is considered that this is because the IB was as high as 105 pA / mm 2 and the IB could not be made sufficiently small, although the IA / IB was as large as 1.50 .
(実施例6)
実施例6では、実施例1と同じ製造方法および同じ仕様とした。
(Example 6)
In Example 6, the same manufacturing method and specifications as those in Example 1 were used.
(実施例7)
実施例7では、実施例2と同じ製造方法および同じ仕様とした。
(Example 7)
In Example 7, the same manufacturing method and specifications as in Example 2 were used.
(実施例8)
実施例8では、実施例3と同じ製造方法および同じ仕様とした。
(Example 8)
In Example 8, the same manufacturing method and specifications as in Example 3 were used.
(実施例9)
実施例9では、実施例4と同じ製造方法および同じ仕様とした。
(Example 9)
In Example 9, the same manufacturing method and specifications as in Example 4 were used.
(実施例10)
実施例10では、実施例5と同じ製造方法および同じ仕様とした。
(Example 10)
In Example 10, the same manufacturing method and specifications as in Example 5 were used.
(比較例4)
比較例4では、再酸化処理において、N2ガス雰囲気中、950℃で1hr保持し、その後、N2ガス雰囲気のまま500℃まで冷却し、雰囲気を大気に切り替えて室温まで冷却した。すなわち、500℃での保持を行なわなかった。その他の条件は、実施例1と同様とした。
(Comparative Example 4)
In Comparative Example 4, in the reoxidation treatment, the temperature was maintained at 950 ° C. for 1 hr in the N 2 gas atmosphere, then cooled to 500 ° C. in the N 2 gas atmosphere, and the atmosphere was switched to the atmosphere to cool to room temperature. That is, it was not held at 500 ° C. Other conditions were the same as in Example 1.
(比較例5)
比較例5では、再酸化処理において、N2ガス雰囲気中、950℃で1hr保持し、N2ガス雰囲気のまま500℃まで冷却し、雰囲気を大気に切り替え、500℃で10hr保持し、その後に室温まで冷却した。すなわち、実施例1と比較して、500℃での保持時間を短くした。その他の条件は、実施例1と同様とした。
(Comparative Example 5)
In Comparative Example 5, in the reoxidation treatment, the temperature was maintained at 950 ° C. for 1 hr in the N 2 gas atmosphere, cooled to 500 ° C. in the N 2 gas atmosphere, the atmosphere was switched to the atmosphere, and the atmosphere was maintained at 500 ° C. for 10 hr. Cooled to room temperature. That is, the holding time at 500 ° C. was shortened as compared with Example 1. Other conditions were the same as in Example 1.
(分析2)
実施例6~10および比較例4,5について、分極時間を60minとし、分極電界を10V/μmとし、分極温度を150℃から210℃の範囲で変化させて分極させ、130℃に冷却した後に昇温速度を10℃/minとするTSDCにおいて、J150およびJ170を測定することでΔJ=(J170-J150)/J150を測定した。また、150℃、40V/μmという高温高電界の加速寿命試験(HALT)を行った。その結果を表1に示す。MTTF(Mean Time To Failure)は、実施例6~10および比較例4,5のそれぞれ20個について導通するまでの時間を測定し、得られた寿命時間の平均値をMTTFとした。
(Analysis 2)
For Examples 6 to 10 and Comparative Examples 4 and 5, the polarization time was 60 min, the polarization electric field was 10 V / μm, the polarization temperature was changed in the range of 150 ° C. to 210 ° C. to polarize, and then cooled to 130 ° C. ΔJ = (J170-J150) / J150 was measured by measuring J150 and J170 in a TSDC having a heating rate of 10 ° C./min. In addition, an accelerated life test (HALT) was performed at a high temperature and high electric field of 150 ° C. and 40 V / μm. The results are shown in Table 1. MTTF (Mean Time To Failure) measured the time until conduction for each of 20 of Examples 6 to 10 and Comparative Examples 4 and 5, and the average value of the obtained life times was taken as MTTF.
なお、実施例6~10および比較例4,5について、誘電体層の厚み方向において、結晶粒の平均数は、3~10個であった。 In Examples 6 to 10 and Comparative Examples 4 and 5, the average number of crystal grains was 3 to 10 in the thickness direction of the dielectric layer.
図6に示すように、実施例6では、MTTFが15000minで、ΔJは0.07であった。実施例7では、MTTFが12500minで、ΔJは0.04であった。実施例8では、MTTFが23000で、ΔJは0.18であった。実施例9では、MTTFが12000で、ΔJは0.02であった。実施例10では、MTTFが30000で、ΔJは0.3であった。比較例4では、MTTFが100minで、ΔJは-0.2であった。比較例5では、MTTFが1200minで、ΔJは-0.05であった。 As shown in FIG. 6, in Example 6, MTTF was 15000 min and ΔJ was 0.07. In Example 7, MTTF was 12500 min and ΔJ was 0.04. In Example 8, MTTF was 23000 and ΔJ was 0.18. In Example 9, MTTF was 12000 and ΔJ was 0.02. In Example 10, MTTF was 30,000 and ΔJ was 0.3. In Comparative Example 4, MTTF was 100 min and ΔJ was −0.2. In Comparative Example 5, MTTF was 1200 min and ΔJ was −0.05.
実施例6~実施例10では、MTTFが2000minを上回り、高い寿命が得られた。これは、ΔJが0以上となったからであると考えられる。これに対して、比較例4,5では、MTTFが2000minを下回った。これは、ΔJが0を下回ったからであると考えられる。 In Examples 6 to 10, the MTTF exceeded 2000 min, and a high life was obtained. It is considered that this is because ΔJ becomes 0 or more. On the other hand, in Comparative Examples 4 and 5, MTTF was less than 2000 min. It is considered that this is because ΔJ is less than 0.
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。 Although the examples of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the specific examples thereof, and various modifications and variations are made within the scope of the gist of the present invention described in the claims. It can be changed.
10 積層チップ
11 誘電体層
12 内部電極層
13 カバー層
14 酸素欠陥
15 結晶粒
16 結晶粒界
20a,20b 外部電極
100 積層セラミックコンデンサ
10
Claims (15)
前記誘電体層に対して、分極温度を150℃とし、分極電界を15V/μm~20V/μmとし、分極時間を60minとし、昇温速度を10℃/minとするTSDCにおいて、160℃以上230℃未満の低温側ピーク電流値をIAとし、230℃以上350℃以下の高温側ピーク電流値をIBとした場合に、IA/IB>0.30の関係が成立し、かつ、IBが100pA/mm2以下であることを特徴とするセラミック電子部品。 It has a laminated structure in which a dielectric layer containing ceramic as a main component and an internal electrode layer are alternately laminated.
With respect to the dielectric layer, in a TSDC having a polarization temperature of 150 ° C., a polarization current of 15 V / μm to 20 V / μm, a polarization time of 60 min, and a temperature rise rate of 10 ° C./min, the temperature is 160 ° C. or higher and 230 ° C. When the peak current value on the low temperature side below ° C is IA and the peak current value on the high temperature side of 230 ° C or higher and 350 ° C or lower is IB, the relationship of IA / IB> 0.30 is established and A ceramic electronic component characterized by an IB of 100 pA / mm 2 or less.
前記誘電体層に対して、分極時間を60minとし、分極電界を10V/μmとし、分極温度を150℃または170℃として分極させ、130℃に冷却した後に昇温速度を10℃/minとするTSDCにおいて、350℃まで昇温した際のピーク電流のうち、最も低温側に生じるピークのピーク電流値について、150℃で分極した場合のピーク電流値をJ150とし、170℃で分極した場合のピーク電流値をJ170とした場合に、(J170-J150)/J150≧0の関係が成立することを特徴とするセラミック電子部品。 It has a laminated structure in which a dielectric layer containing ceramic as a main component and an internal electrode layer are alternately laminated.
The dielectric layer is polarized with a polarization time of 60 min, a polarization electric field of 10 V / μm, a polarization temperature of 150 ° C. or 170 ° C., and cooled to 130 ° C., and then a temperature rise rate of 10 ° C./min. In TSDC, regarding the peak current value of the peak that occurs on the lowest temperature side among the peak currents when the temperature is raised to 350 ° C., the peak current value when polarized at 150 ° C. is set to J150, and the peak when polarized at 170 ° C. A ceramic electronic component characterized in that the relationship (J170-J150) / J150 ≧ 0 is established when the current value is J170.
The ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 7, wherein the number of TSDC peaks generated in the temperature range of 130 ° C. or higher and 350 ° C. or lower is three or more.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US17/338,414 US11569035B2 (en) | 2020-06-29 | 2021-06-03 | Ceramic electronic device |
KR1020210080660A KR102766313B1 (en) | 2020-06-29 | 2021-06-22 | Ceramic electronic device |
CN202110727009.2A CN113936916B (en) | 2020-06-29 | 2021-06-29 | Ceramic electronic devices |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020111709 | 2020-06-29 | ||
JP2020111709 | 2020-06-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022013670A true JP2022013670A (en) | 2022-01-18 |
JP7617698B2 JP7617698B2 (en) | 2025-01-20 |
Family
ID=80169725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021064015A Active JP7617698B2 (en) | 2020-06-29 | 2021-04-05 | Ceramic Electronic Components |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7617698B2 (en) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007294886A (en) | 2006-03-27 | 2007-11-08 | Tdk Corp | Method of manufacturing stacked electronic component |
JP5655039B2 (en) | 2012-07-31 | 2015-01-14 | 太陽誘電株式会社 | Dielectric ceramics, multilayer ceramic capacitors and methods for producing them |
JP6105326B2 (en) | 2013-02-27 | 2017-03-29 | 京セラ株式会社 | Multilayer ceramic capacitor |
JP6795422B2 (en) | 2017-02-16 | 2020-12-02 | 太陽誘電株式会社 | Multilayer ceramic capacitors and their manufacturing methods |
-
2021
- 2021-04-05 JP JP2021064015A patent/JP7617698B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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