[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP2021131318A - Air conditioner and aging method - Google Patents

Air conditioner and aging method Download PDF

Info

Publication number
JP2021131318A
JP2021131318A JP2020027150A JP2020027150A JP2021131318A JP 2021131318 A JP2021131318 A JP 2021131318A JP 2020027150 A JP2020027150 A JP 2020027150A JP 2020027150 A JP2020027150 A JP 2020027150A JP 2021131318 A JP2021131318 A JP 2021131318A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rack
storage chamber
gas
exhaust
vertical direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020027150A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP7341921B2 (en
Inventor
公紀 戸谷
Kiminori Totani
公紀 戸谷
真吾 佐藤
Shingo Sato
真吾 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2020027150A priority Critical patent/JP7341921B2/en
Publication of JP2021131318A publication Critical patent/JP2021131318A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7341921B2 publication Critical patent/JP7341921B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Abstract

To provide an air conditioner for reducing a temperature difference in an area of a storeroom where workpieces are arranged, irrespective of the dimensions of the storeroom in the vertical direction, and an aging method.SOLUTION: According to an embodiment, the air conditioner comprises a storeroom, a rack, a supply unit, an exhaust unit, a blower and a temperature adjuster. Workpieces are kept in the storeroom. The rack is arranged in the storeroom in a state where a space is formed on both lateral sides. The supply unit has an ejection port in each of spaces on both sides of the rack, and ejects a gas vertically downward from the ejection port. The exhaust unit has an exhaust port vertically downward of the ejection port in each of the spaces. The blower sends out the gas exhausted from the storeroom from the exhaust port to the ejection port, and the temperature adjuster adjusts the temperature of the gas sent from the exhaust port to the ejection port.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明の実施形態は、空調装置及びエージング方法に関する。 Embodiments of the present invention relate to air conditioners and aging methods.

電池、電子機器及び半導体等の製造工程においては、電池、電子機器及び半導体等のワークを加熱した後にワークを高温の雰囲気で長時間エージングする。高温の雰囲気でのエージングでは、ワークを保管室に配置し、保管室を高温にする。 In the manufacturing process of batteries, electronic devices, semiconductors, etc., the workpieces such as batteries, electronic devices, and semiconductors are heated and then the workpieces are aged in a high temperature atmosphere for a long time. In aging in a hot atmosphere, the work is placed in a storage room and the storage room is heated to a high temperature.

前述のような高温の雰囲気でのワークのエージングでは、鉛直方向についての保管室の寸法（保管室の底から天井までの高さ）に関係なく、保管室においてワークが配置される領域内での温度差が低減されることが、求められている。そして、ワークが配置される領域内での温度差を低減することにより、ワークが配置される領域の温度の均一化を実現することが、求められている。 In the aging of the work in a high temperature atmosphere as described above, regardless of the dimensions of the storage room in the vertical direction (height from the bottom of the storage room to the ceiling), the work is placed in the area where the work is placed in the storage room. It is required that the temperature difference is reduced. Then, it is required to realize uniform temperature in the region where the work is arranged by reducing the temperature difference in the region where the work is arranged.

特開２００８−２４９３４７号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-249347

本発明が解決しようとする課題は、鉛直方向についての保管室の寸法に関係なく、保管室においてワークが配置される領域内の温度差を低減する空調装置及びエージング方法を提供することにある。 An object to be solved by the present invention is to provide an air conditioner and an aging method for reducing a temperature difference in a region where a work is arranged in a storage chamber regardless of the dimensions of the storage chamber in the vertical direction.

実施形態によれば、空調装置は、保管室、ラック、供給部、排気部、ブロア及び温度調整器を備える。保管室には、ワークが保管される。ラックは、横方向の両側に空間が形成される状態で保管室に配置され、ラックには、ワークを配置可能である。供給部は、ラックの両側の空間のそれぞれに噴出口を有し、鉛直下側へ向かって噴出口から気体を噴出する。排気部は、空間のそれぞれにおいて噴出口より鉛直下側に排気口を有し、排気口から保管室の気体を排気する。ブロアが駆動されることにより、保管室から排気された気体は、排気口から噴出口へ送られる。温度調整器は、排気口から噴出口へ送られる気体の温度を調整する。
また、実施形態によれば、エージング方法は、横方向の両側に空間が形成される状態に保管室内に配置されたラックにワークを収納することと、ラックの両側の空間のそれぞれに設けられた噴出口から鉛直下側へ向かって気体を噴出させることと、を備える。そして、エージング方法は、空間のそれぞれにおいて噴出口より鉛直下側に設けられた排気口から保管室の気体を排気することと、保管室の排気口から排気された気体の温度を調整して噴出口へ送ることと、を備える。 According to the embodiment, the air conditioner includes a storage room, a rack, a supply unit, an exhaust unit, a blower, and a temperature controller. Work is stored in the storage room. The rack is arranged in the storage chamber with spaces formed on both sides in the lateral direction, and the work can be arranged in the rack. The supply unit has spouts in each of the spaces on both sides of the rack, and ejects gas from the spouts toward the vertically downward side. The exhaust section has an exhaust port vertically below the spout in each of the spaces, and exhausts the gas in the storage chamber from the exhaust port. By driving the blower, the gas exhausted from the storage chamber is sent from the exhaust port to the spout. The temperature controller regulates the temperature of the gas sent from the exhaust port to the spout.
Further, according to the embodiment, the aging method is provided in the racks arranged in the storage chamber in a state where spaces are formed on both sides in the lateral direction, and in the spaces on both sides of the rack. It is provided with the gas being ejected vertically downward from the ejection port. The aging method is to exhaust the gas in the storage chamber from the exhaust port provided vertically below the ejection port in each space, and to adjust the temperature of the gas exhausted from the exhaust port of the storage chamber to inject. Prepare to send to the exit.

図１は、第１の実施形態に係る空調装置を、ラック（第１のラック）を縦方向についてラック（第２のラック）が位置する側から視た状態で示す概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing the air conditioner according to the first embodiment in a state in which the rack (first rack) is viewed in the vertical direction from the side where the rack (second rack) is located. 図２は、第１の実施形態に係る保管室を、ラック（第２のラック）を縦方向についてラック（第１のラック）が位置する側から視た状態で示す概略図である。FIG. 2 is a schematic view showing the storage chamber according to the first embodiment in a state in which the rack (second rack) is viewed in the vertical direction from the side where the rack (first rack) is located. 図３は、第１の実施形態に係る保管室を、横方向の一方側から視た状態を示す概略図である。FIG. 3 is a schematic view showing a state in which the storage chamber according to the first embodiment is viewed from one side in the lateral direction. 図４は、第１の実施形態に係る保管室を、鉛直上側から視た状態で示す概略図である。FIG. 4 is a schematic view showing the storage chamber according to the first embodiment as viewed from above vertically. 図５は、第１の実施形態に係る保管室の内部を、ラックを省略して概略的に示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view schematically showing the inside of the storage chamber according to the first embodiment, omitting the rack.

以下、実施形態について、図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings.

（第１の実施形態）
図１は、空調装置１を示す。図１に示すように、空調装置１は、保管室２を形成する壁部３を備える。図２乃至図５は、保管室２を示す。ここで、保管室２では、鉛直方向（矢印Ｚ１及び矢印Ｚ２で示す方向）、鉛直方向に対して交差する（垂直又は略垂直な）横方向（矢印Ｘ１及び矢印Ｘ２で示す方向）、及び、鉛直方向及び横方向の両方に対して交差する（垂直又は略垂直な）縦方向（矢印Ｙ１及び矢印Ｙ２で示す方向）が、規定される。 (First Embodiment)
FIG. 1 shows an air conditioner 1. As shown in FIG. 1, the air conditioner 1 includes a wall portion 3 forming a storage chamber 2. 2 to 5 show the storage chamber 2. Here, in the storage chamber 2, the vertical direction (direction indicated by arrow Z1 and arrow Z2), the lateral direction (vertical or substantially vertical) intersecting the vertical direction (direction indicated by arrow X1 and arrow X2), and The vertical direction (direction indicated by arrow Y1 and arrow Y2) that intersects (vertically or substantially vertical) with respect to both the vertical direction and the horizontal direction is defined.

壁部３は、天壁５、底壁６、及び、二対の側壁７Ａ，７Ｂ，８Ａ，８Ｂを備える。天壁５及び底壁６は、保管室２を挟んで、互いに対して鉛直方向（高さ方向）に離れて配置される。一対の側壁７Ａ，７Ｂは、保管室２を挟んで、互いに対して横方向（第１の水平方向）に離れて配置され、一対の側壁８Ａ，８Ｂは、保管室２を挟んで、互いに対して縦方向（第２の水平方向）に離れて配置される。側壁７Ａ，７Ｂ，８Ａ，８Ｂのそれぞれは、底壁６から天壁５まで、鉛直方向に沿って延設される。また、側壁７Ａ，７Ｂのそれぞれは、側壁８Ａ，８Ｂの間に、縦方向に沿って延設され、側壁８Ａ，８Ｂのそれぞれは、側壁７Ａ，７Ｂの間に、横方向に沿って延設される。なお、ある一例では、天壁５と底壁６との間の距離（底から天井までの高さ）、すなわち、鉛直方向についての保管室２の寸法（高さ）は、１０ｍ以上になる。 The wall portion 3 includes a top wall 5, a bottom wall 6, and two pairs of side walls 7A, 7B, 8A, and 8B. The top wall 5 and the bottom wall 6 are arranged apart from each other in the vertical direction (height direction) with the storage chamber 2 interposed therebetween. The pair of side walls 7A and 7B are arranged laterally (first horizontal direction) with respect to each other with the storage chamber 2 in between, and the pair of side walls 8A and 8B are arranged with respect to each other with the storage chamber 2 in between. Are arranged vertically (second horizontal direction) apart. Each of the side walls 7A, 7B, 8A, and 8B extends from the bottom wall 6 to the top wall 5 along the vertical direction. Further, each of the side walls 7A and 7B is extended along the vertical direction between the side walls 8A and 8B, and each of the side walls 8A and 8B is extended along the horizontal direction between the side walls 7A and 7B. Will be done. In one example, the distance between the top wall 5 and the bottom wall 6 (height from the bottom to the ceiling), that is, the dimension (height) of the storage chamber 2 in the vertical direction is 10 m or more.

保管室２には、１つ以上のラック１０が配置され、本実施形態では、２つのラック１０（１０Ａ，１０Ｂ）が保管室２に配置される。そして、本実施形態では、保管室２において、ラック１０Ａ，１０Ｂが縦方向に沿って配列される。すなわち、本実施形態では、ラック１０Ａ，１０Ｂの配列方向が、保管室２の縦方向と一致又は略一致する。ここで、図１は、ラック（第１のラック）１０Ａを、縦方向についてラック（第２のラック）１０Ｂが位置する側から視た状態を示し、図２は、ラック（第２のラック）１０Ｂを、縦方向についてラック（第１のラック）１０Ａが位置する側から視た状態を示す。また、図３は、保管室２を横方向の一方側（矢印Ｘ２側）から視た状態を示し、図４は、保管室２を鉛直上側（矢印Ｚ１側）から視た状態を示す。そして、図５は、保管室２の内部を、ラック１０Ａ，１０Ｂを省略して示す。 One or more racks 10 are arranged in the storage room 2, and in the present embodiment, two racks 10 (10A, 10B) are arranged in the storage room 2. Then, in the present embodiment, the racks 10A and 10B are arranged along the vertical direction in the storage chamber 2. That is, in the present embodiment, the arrangement directions of the racks 10A and 10B coincide with or substantially coincide with the vertical direction of the storage chamber 2. Here, FIG. 1 shows a state in which the rack (first rack) 10A is viewed from the side in which the rack (second rack) 10B is located in the vertical direction, and FIG. 2 shows a rack (second rack). A state in which 10B is viewed from the side where the rack (first rack) 10A is located in the vertical direction is shown. Further, FIG. 3 shows a state in which the storage chamber 2 is viewed from one side (arrow X2 side) in the lateral direction, and FIG. 4 shows a state in which the storage chamber 2 is viewed from the vertically upper side (arrow Z1 side). Then, FIG. 5 shows the inside of the storage chamber 2 with the racks 10A and 10B omitted.

図１乃至図５等の一例では、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれは、鉛直方向について１０段に形成される。そして、ラック１０Ａは、ワーク１１が配置される配置位置Ａ１〜Ａ１０を有する。配置位置Ａ１〜Ａ１０は、鉛直方向について互いに対してずれる。そして、配置位置Ａ１〜Ａ１０の中では、配置位置Ａ１が最も鉛直下側に位置し、配置位置Ａ１０が最も鉛直上側に位置する。同様に、ラック１０Ｂは、ワーク１１が配置される配置位置Ｂ１〜Ｂ１０を有する。配置位置Ｂ１〜Ｂ１０は、鉛直方向について互いに対してずれる。そして、配置位置Ｂ１〜Ｂ１０の中では、配置位置Ｂ１が最も鉛直下側に位置し、配置位置Ｂ１０が最も鉛直上側に位置する。 In an example of FIGS. 1 to 5, each of the racks 10A and 10B is formed in 10 steps in the vertical direction. Then, the rack 10A has arrangement positions A1 to A10 in which the work 11 is arranged. The arrangement positions A1 to A10 are displaced from each other in the vertical direction. Then, among the arrangement positions A1 to A10, the arrangement position A1 is located on the most vertically lower side, and the arrangement position A10 is located on the most vertically upper side. Similarly, the rack 10B has arrangement positions B1 to B10 where the work 11 is arranged. The arrangement positions B1 to B10 are displaced from each other in the vertical direction. Then, among the arrangement positions B1 to B10, the arrangement position B1 is located on the most vertically lower side, and the arrangement position B10 is located on the most vertically upper side.

また、保管室２では、横方向についてラック１０のそれぞれの両側に、空間１２が形成される。すなわち、保管室２では、ラック１０Ａは、横方向について側壁７Ａ，７Ｂのそれぞれとの間に空間１２を形成し、ラック１０Ｂは、横方向について側壁７Ａ，７Ｂのそれぞれとの間に空間１２を形成する。 Further, in the storage chamber 2, spaces 12 are formed on both sides of the rack 10 in the lateral direction. That is, in the storage chamber 2, the rack 10A forms a space 12 between each of the side walls 7A and 7B in the lateral direction, and the rack 10B forms a space 12 between each of the side walls 7A and 7B in the lateral direction. Form.

また、保管室２には、入出庫機であるスタッカクレーン１３が配置される。スタッカクレーン１３は、縦方向（ラック１０の配列方向）について、ラック１０Ａ，１０Ｂの間に配置される。したがって、スタッカクレーン１３は、縦方向について、ラック１０Ａに対してラック１０Ｂが位置する側に隣り合って配置される。そして、スタッカクレーン１３は、縦方向について、ラック１０Ｂに対してラック１０Ａが位置する側に隣り合って配置される。スタッカクレーン１３は、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれにワーク１１を入庫可能であるとともに、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれからワーク１１を出庫可能である。 Further, in the storage room 2, a stacker crane 13 which is a warehousing / delivery machine is arranged. The stacker crane 13 is arranged between the racks 10A and 10B in the vertical direction (arrangement direction of the racks 10). Therefore, the stacker crane 13 is arranged adjacent to the rack 10A on the side where the rack 10B is located in the vertical direction. The stacker crane 13 is arranged adjacent to the rack 10B on the side where the rack 10A is located in the vertical direction. The stacker crane 13 can store the work 11 in each of the racks 10A and 10B, and can discharge the work 11 from each of the racks 10A and 10B.

壁部３の側壁８Ａは、縦方向についてスタッカクレーン１３及びラック１０Ｂとは反対側から、ラック１０Ａに隣接する。そして、壁部３の側壁８Ｂは、縦方向についてスタッカクレーン１３及びラック１０Ａとは反対側から、ラック１０Ｂに隣接する。ある一例では、空調装置１は、コンベヤ（図示しない）を備え、コンベヤによって、保管室２へのワーク１１の搬入、及び、保管室２からのワーク１１の搬出等が行われる。また、コンベヤの代わりに、又は、コンベヤに加えて、壁部３に扉（図示しない）が形成されてもよい。この場合、作業者等が、扉を介して、保管室２へのワーク１１の搬入、及び、保管室２からのワーク１１の搬出等を行う。 The side wall 8A of the wall portion 3 is adjacent to the rack 10A from the side opposite to the stacker crane 13 and the rack 10B in the vertical direction. The side wall 8B of the wall portion 3 is adjacent to the rack 10B from the side opposite to the stacker crane 13 and the rack 10A in the vertical direction. In one example, the air conditioner 1 includes a conveyor (not shown), and the conveyor carries the work 11 into and out of the storage room 2. Further, a door (not shown) may be formed on the wall portion 3 instead of the conveyor or in addition to the conveyor. In this case, the worker or the like carries the work 11 into the storage room 2 and carries out the work 11 from the storage room 2 through the door.

空調装置１は、保管室２へ気体を供給する供給部１５、及び、保管室２から気体を排気する排気部１６を備える。供給部１５は、供給ダクト２１、噴出部２２、及び、流入部２３を備える。本実施形態では、噴出部２２が、４つ設けられ、噴出部２２のそれぞれに、噴出口２５が形成される。前述のように、保管室２では、横方向についてラック１０のそれぞれの両側に、空間１２が形成される。そして、空間１２のそれぞれに、噴出口２５の対応する１つ（噴出部２２の対応する１つ）が配置される。図１乃至図５等の一例では、側壁７Ａ，８Ａの間の角部、側壁７Ａ，８Ｂの間の角部、側壁７Ｂ，８Ａの間の角部、及び、側壁７Ｂ，８Ｂの間の角部のそれぞれに、噴出口２５が配置される。 The air conditioner 1 includes a supply unit 15 that supplies gas to the storage chamber 2 and an exhaust unit 16 that exhausts gas from the storage chamber 2. The supply unit 15 includes a supply duct 21, an ejection unit 22, and an inflow unit 23. In the present embodiment, four ejection portions 22 are provided, and a ejection port 25 is formed in each of the ejection portions 22. As described above, in the storage chamber 2, spaces 12 are formed on both sides of the rack 10 in the lateral direction. Then, in each of the spaces 12, the corresponding one of the spouts 25 (the corresponding one of the spouting portions 22) is arranged. In an example of FIGS. 1 to 5, the corner between the side walls 7A and 8A, the corner between the side walls 7A and 8B, the corner between the side walls 7B and 8A, and the corner between the side walls 7B and 8B. A spout 25 is arranged in each of the portions.

また、空間１２のそれぞれでは、鉛直上側の領域に、噴出口２５が配置される。図１乃至図５等の一例では、噴出口２５のそれぞれは、ラック１０Ａの配置位置Ａ１０及びラック１０Ｂの配置位置Ｂ１０に対して、すなわち、ラック１０のそれぞれの最上段に対して、同一又は略同一の高さに配置される。なお、別のある一例では、噴出口２５のそれぞれは、ラック１０Ａの配置位置Ａ１０及びラック１０Ｂの配置位置Ｂ１０に対して、鉛直上側に配置されてもよい。前述のように噴出口２５が配置されるため、噴出口２５のそれぞれは、保管室２において、天壁５の近傍に配置される。また、流入部２３は、流入口２６を備える。供給部１５では、流入口２６から、供給ダクト２１の内部の供給流路に、気体が流入する。そして、供給ダクト２１の供給流路を通して、気体が、噴出口２５のそれぞれに供給される。噴出口２５のそれぞれは、空間１２の対応する１つにおいて、鉛直下側へ向かって（すなわち、鉛直下側への速度成分を有するように）気体を噴出する（例えば、図５の矢印Ｆ１）。なお、鉛直下側へ向かっての気体の噴出は、水平方向（横方向及び／又は縦方向）の速度成分を有することを妨げるものではない。 Further, in each of the spaces 12, the spout 25 is arranged in the vertically upper region. In an example of FIGS. 1 to 5, each of the spouts 25 is the same or abbreviated with respect to the arrangement position A10 of the rack 10A and the arrangement position B10 of the rack 10B, that is, with respect to the uppermost stage of each of the racks 10. They are placed at the same height. In another example, each of the spouts 25 may be arranged vertically above the arrangement position A10 of the rack 10A and the arrangement position B10 of the rack 10B. Since the spout 25 is arranged as described above, each of the spouts 25 is arranged in the vicinity of the top wall 5 in the storage chamber 2. Further, the inflow portion 23 includes an inflow port 26. In the supply unit 15, gas flows from the inflow port 26 into the supply flow path inside the supply duct 21. Then, gas is supplied to each of the ejection ports 25 through the supply flow path of the supply duct 21. Each of the spouts 25 ejects gas toward the vertically downward side (that is, having a velocity component toward the vertically downward side) in the corresponding one of the spaces 12 (for example, the arrow F1 in FIG. 5). .. The gas ejection toward the vertically downward side does not prevent the gas from having a velocity component in the horizontal direction (horizontal direction and / or vertical direction).

図１乃至図５等の一例では、供給ダクト２１は、配管部３１〜３４を備える。配管部３１〜３４のそれぞれは、保管室２の内部に配置される。このため、供給ダクト２１の少なくとも一部は、保管室２の内部に配置され、図１乃至図５の一例では、供給ダクト２１の大部分が、保管室２の内部に配置される。また、図１乃至図５の一例では、流入部２３の流入口２６は、保管室２の外部に配置される。供給ダクト２１では、流入口２６から配管部３１の内部を通して、配管部３２，３３のそれぞれの内部に、気体が供給される。そして、配管部３２の内部を通して、配管部３４の内部に、気体が供給される。保管室２では、側壁７Ａ，８Ａの間の角部に、配管部３１が鉛直方向に沿って延設される。そして、配管部３１は、流入部２３側（流入口２６側）の端部から天壁５の近傍まで、鉛直上側に向かって延設される。 In an example such as FIGS. 1 to 5, the supply duct 21 includes piping portions 31 to 34. Each of the piping portions 31 to 34 is arranged inside the storage chamber 2. Therefore, at least a part of the supply duct 21 is arranged inside the storage chamber 2, and in the example of FIGS. 1 to 5, most of the supply duct 21 is arranged inside the storage chamber 2. Further, in the example of FIGS. 1 to 5, the inflow port 26 of the inflow portion 23 is arranged outside the storage chamber 2. In the supply duct 21, gas is supplied from the inflow port 26 through the inside of the piping portion 31 to the inside of each of the piping portions 32 and 33. Then, gas is supplied to the inside of the piping portion 34 through the inside of the piping portion 32. In the storage chamber 2, a piping portion 31 is extended along the vertical direction at a corner portion between the side walls 7A and 8A. Then, the piping portion 31 extends vertically upward from the end of the inflow portion 23 side (inflow port 26 side) to the vicinity of the top wall 5.

また、保管室２では、配管部３２〜３４は、天壁５の近傍に配置される。配管部３２は、側壁７Ａと天壁５との間の角部に縦方向に沿って延設され、配管部３１，３３との接続位置から側壁８Ｂの近傍の位置まで縦方向に沿って延設される。配管部３３は、側壁８Ａと天壁５との間の角部に横方向に沿って延設され、配管部３１，３２との接続位置から側壁７Ｂの近傍の位置まで横方向に沿って延設される。配管部３４は、側壁８Ｂと天壁５との間の角部に横方向に沿って延設され、配管部３２との接続位置から側壁７Ｂの近傍の位置まで横方向に沿って延設される。また、供給ダクト２１では、配管部３１，３２，３３の接続位置の近傍、配管部３２，３４の接続位置の近傍、配管部３３において配管部３１，３２とは反対側の端部、及び、配管部３４において配管部３２とは反対側の端部のそれぞれに、噴出部２２（噴出口２５）が形成される。 Further, in the storage chamber 2, the piping portions 32 to 34 are arranged in the vicinity of the top wall 5. The piping portion 32 extends vertically along the corner between the side wall 7A and the top wall 5, and extends along the vertical direction from the connection position with the piping portions 31 and 33 to the position near the side wall 8B. Will be set up. The piping portion 33 extends laterally along the corner between the side wall 8A and the top wall 5, and extends along the lateral direction from the connection position with the piping portions 31 and 32 to the position near the side wall 7B. Will be set up. The piping portion 34 extends laterally along the corner between the side wall 8B and the top wall 5, and extends along the lateral direction from the connection position with the piping portion 32 to the position near the side wall 7B. NS. Further, in the supply duct 21, the vicinity of the connection position of the piping portions 31, 32, 33, the vicinity of the connection position of the piping portions 32, 34, the end portion of the piping portion 33 opposite to the piping portions 31, 32, and A ejection portion 22 (spout outlet 25) is formed at each end of the piping portion 34 on the opposite side of the piping portion 32.

排気部１６は、排気ダクト３６及び排出部３７を備える。排気ダクト３６には、排気口３８が形成される。本実施形態では、排気ダクト３６に、排気口３８が１０個形成され、排気口３８は、４つの排気口３８Ａ、及び、６つの排気口３８Ｂから構成される。前述のように、保管室２では、横方向についてラック１０のそれぞれの両側に、空間１２が形成される。そして、空間１２のそれぞれに、排気口３８Ａの対応する１つが配置される。図１乃至図５等の一例では、側壁７Ａ，８Ａの間の角部、側壁７Ａ，８Ｂの間の角部、側壁７Ｂ，８Ａの間の角部、及び、側壁７Ｂ，８Ｂの間の角部のそれぞれに、排気口３８Ａが配置される。また、側壁８Ａの近傍では、横方向についてラック１０Ａが配置される領域に、すなわち、横方向について中央部に、排気口３８Ｂの中の３つが配置される。そして、側壁８Ｂの近傍では、横方向についてラック１０Ｂが配置される領域に、すなわち、横方向について中央部に、排気口３８Ｂの中の残りの３つが配置される。 The exhaust unit 16 includes an exhaust duct 36 and an exhaust unit 37. An exhaust port 38 is formed in the exhaust duct 36. In the present embodiment, 10 exhaust ports 38 are formed in the exhaust duct 36, and the exhaust ports 38 are composed of four exhaust ports 38A and six exhaust ports 38B. As described above, in the storage chamber 2, spaces 12 are formed on both sides of the rack 10 in the lateral direction. Then, a corresponding one of the exhaust ports 38A is arranged in each of the spaces 12. In an example of FIGS. 1 to 5, the corner portion between the side walls 7A and 8A, the corner portion between the side walls 7A and 8B, the corner portion between the side walls 7B and 8A, and the corner between the side walls 7B and 8B. Exhaust ports 38A are arranged in each of the portions. Further, in the vicinity of the side wall 8A, three of the exhaust ports 38B are arranged in the region where the rack 10A is arranged in the lateral direction, that is, in the central portion in the lateral direction. Then, in the vicinity of the side wall 8B, the remaining three in the exhaust port 38B are arranged in the region where the rack 10B is arranged in the lateral direction, that is, in the central portion in the lateral direction.

保管室２では、排気口３８（３８Ａ，３８Ｂ）は、鉛直下側の領域に配置され、底壁６の近傍に配置される。このため、空間１２のそれぞれでは、鉛直下側の領域に、排気口３８Ａが配置される。そして、空間１２のそれぞれでは、排気口３８Ａは、噴出口２５より鉛直下側に、配置される。図１乃至図５等の一例では、排気口３８（３８Ａ,３８Ｂ）のそれぞれは、ラック１０Ａの配置位置Ａ１及びラック１０Ｂの配置位置Ｂ１に対して、すなわち、ラック１０のそれぞれの最下段に対して、鉛直下側に位置する。したがって、排気口３８は、ラック１０においてワーク１１を配置される配置位置Ａ１〜Ａ１０，Ｂ１〜Ｂ１０の中で最も鉛直下側の配置位置Ａ１，Ｂ１に対して、鉛直下側に位置する。 In the storage chamber 2, the exhaust ports 38 (38A, 38B) are arranged in the area on the vertically lower side and are arranged in the vicinity of the bottom wall 6. Therefore, in each of the spaces 12, the exhaust port 38A is arranged in the region on the vertically lower side. Then, in each of the spaces 12, the exhaust port 38A is arranged vertically below the injection port 25. In an example of FIGS. 1 to 5, each of the exhaust ports 38 (38A, 38B) is relative to the arrangement position A1 of the rack 10A and the arrangement position B1 of the rack 10B, that is, to the lowest stage of each of the racks 10. It is located vertically below. Therefore, the exhaust port 38 is located vertically below the arrangement positions A1 and B1 which are the most vertically below the arrangement positions A1 to A10 and B1 to B10 where the work 11 is arranged in the rack 10.

また、排出部３７は、排出口３９を備える。排気部１６では、排気口３８のそれぞれから、保管室２の気体が排気される。このため、保管室２から、排気口３８を通して、排気ダクト３６の内部の排気流路に、気体が流出する。排気口３８のそれぞれでは、鉛直下側から、保管室２の気体が排気ダクト３６の内部へ流出する。そして、気体は、排気ダクト３６の排気流路から、排出部３７の排出口３９を通して排出される。 Further, the discharge unit 37 includes a discharge port 39. In the exhaust unit 16, the gas in the storage chamber 2 is exhausted from each of the exhaust ports 38. Therefore, gas flows out from the storage chamber 2 through the exhaust port 38 to the exhaust flow path inside the exhaust duct 36. At each of the exhaust ports 38, the gas in the storage chamber 2 flows out to the inside of the exhaust duct 36 from the vertically lower side. Then, the gas is discharged from the exhaust flow path of the exhaust duct 36 through the discharge port 39 of the discharge unit 37.

図１乃至図５等の一例では、排気ダクト３６は、配管部４１〜４４を備える。配管部４１〜４４のそれぞれは、保管室２の内部に配置される。また、図１乃至図５の一例では、排出部３７の排出口３９は、保管室２の外部に配置される。排気ダクト３６では、配管部４１，４２の接続位置に、排出部３７が接続される。そして、配管部４２において、配管部４１及び排出部３７の接続位置とは反対側の端部に、配管部４３が接続される。そして、配管部４３において、配管部４２の接続位置とは反対側の端部に、配管部４４が接続される。排気口３８のそれぞれを通して排気ダクト３６の内部に流入した気体は、配管部４１，４２のいずれかの内部を通して、排出部３７へ排出される。保管室２では、配管部４１〜４４は、鉛直下側の領域に配置され、底壁６の近傍に配置される。 In an example such as FIGS. 1 to 5, the exhaust duct 36 includes piping portions 41 to 44. Each of the piping portions 41 to 44 is arranged inside the storage chamber 2. Further, in the example of FIGS. 1 to 5, the discharge port 39 of the discharge unit 37 is arranged outside the storage chamber 2. In the exhaust duct 36, the exhaust portion 37 is connected to the connection position of the piping portions 41 and 42. Then, in the piping portion 42, the piping portion 43 is connected to the end portion on the side opposite to the connection position of the piping portion 41 and the discharge portion 37. Then, in the piping portion 43, the piping portion 44 is connected to the end portion on the side opposite to the connection position of the piping portion 42. The gas that has flowed into the inside of the exhaust duct 36 through each of the exhaust ports 38 is discharged to the discharge section 37 through the inside of any of the piping sections 41 and 42. In the storage chamber 2, the piping portions 41 to 44 are arranged in the area on the vertically lower side and are arranged in the vicinity of the bottom wall 6.

配管部４１は、側壁８Ａと底壁６との間の角部に横方向に沿って延設され、配管部４２及び排出部３７との接続位置から横方向に沿って側壁７Ｂが位置する側へ向かって延設される。配管部４１には、排気口３８Ｂの中の３つが形成される。配管部４２は、側壁７Ａと底壁６との間の角部に縦方向に沿って延設され、配管部４１及び排出部３７との接続位置から側壁８Ｂの近傍の位置まで縦方向に沿って延設される。配管部４３は、側壁８Ｂと底壁６との間の角部に横方向に沿って延設され、配管部４２との接続位置から側壁７Ｂの近傍の位置まで横方向に沿って延設される。配管部４３には、排気口３８Ｂの中の配管部４１に形成される３つとは別の３つが形成される。配管部４４は、側壁７Ｂと底壁６との間の角部に縦方向に沿って延設され、配管部４３との接続位置から縦方向に沿って側壁８Ａが位置する側へ向かって延設される。また、排気ダクト３６では、配管部４１，４２及び排出部３７の接続位置の近傍、配管部４２，４３の接続位置の近傍、配管部４３，４４の接続位置の近傍、及び、配管部４４において配管部４３とは反対側の端部のそれぞれに、排気口３８Ａが形成される。 The piping portion 41 extends laterally along the corner between the side wall 8A and the bottom wall 6, and the side wall 7B is located along the lateral direction from the connection position between the piping portion 42 and the discharge portion 37. It is extended toward. Three of the exhaust ports 38B are formed in the piping portion 41. The piping portion 42 extends in the vertical direction at the corner between the side wall 7A and the bottom wall 6, and extends along the vertical direction from the connection position with the piping portion 41 and the discharge portion 37 to a position near the side wall 8B. Will be extended. The piping portion 43 extends laterally along the corner between the side wall 8B and the bottom wall 6, and extends along the lateral direction from the connection position with the piping portion 42 to the position near the side wall 7B. NS. In the piping portion 43, three other than the three formed in the piping portion 41 in the exhaust port 38B are formed. The piping portion 44 extends vertically along the corner between the side wall 7B and the bottom wall 6, and extends along the vertical direction from the connection position with the piping portion 43 toward the side where the side wall 8A is located. Will be set up. Further, in the exhaust duct 36, in the vicinity of the connection position of the piping portions 41, 42 and the discharge portion 37, the vicinity of the connection position of the piping portions 42, 43, the vicinity of the connection position of the piping portions 43, 44, and the piping portion 44. Exhaust ports 38A are formed at each of the ends opposite to the piping portion 43.

また、空調装置１には、排気部１６の排出口３９（排出部３７）と供給部１５の流入口２６（流入部２３）との間を中継する中継流路４６が、形成される。中継流路４６には、ブロア４７、及び、温度調整器であるヒータ４８が配置される。ブロア４７及びヒータ４８は、保管室２の外部に配置される。ブロア４７を駆動することにより、保管室２から排気ダクト３６の内部に排気された気体は、排気口３８のそれぞれから、排気ダクト３６の排気流路、中継流路４６、及び、供給ダクト２１の供給流路を順に通って、噴出口２５のそれぞれに送られる。これにより、排気口３８のそれぞれから排気された気体が、噴出口２５のそれぞれに送られる。また、ブロア４７を駆動することにより、保管室２では、排気口３８のそれぞれに向かう吸引力が、作用する。したがって、空間１２のそれぞれでは、排気口３８Ａに向かう吸引力が作用する。 Further, the air conditioner 1 is formed with a relay flow path 46 that relays between the exhaust port 39 (exhaust unit 37) of the exhaust unit 16 and the inflow port 26 (inflow unit 23) of the supply unit 15. A blower 47 and a heater 48, which is a temperature controller, are arranged in the relay flow path 46. The blower 47 and the heater 48 are arranged outside the storage chamber 2. By driving the blower 47, the gas exhausted from the storage chamber 2 into the exhaust duct 36 is discharged from each of the exhaust ports 38 to the exhaust flow path, the relay flow path 46, and the supply duct 21 of the exhaust duct 36. It passes through the supply flow path in order and is sent to each of the spouts 25. As a result, the gas exhausted from each of the exhaust ports 38 is sent to each of the ejection ports 25. Further, by driving the blower 47, the suction force toward each of the exhaust ports 38 acts in the storage chamber 2. Therefore, a suction force toward the exhaust port 38A acts in each of the spaces 12.

また、ヒータ４８は、作動されることにより、中継流路４６において、排気口３８のそれぞれから噴出口２５のそれぞれへ送られる気体の温度を調整する。本実施形態では、ヒータ４８は、中継流路４６において気体を加熱する。そして、中継流路４６において、気体は、例えば、５０℃以上９０℃以下のいずれかの温度範囲に、ヒータ４８によって調整され、噴出口２５のそれぞれに供給される。そして、供給部１５は、ヒータ４８によって温度が調整された気体を、噴出口２５のそれぞれから前述のように噴出する。 Further, when the heater 48 is operated, the temperature of the gas sent from each of the exhaust ports 38 to each of the ejection ports 25 is adjusted in the relay flow path 46. In this embodiment, the heater 48 heats the gas in the relay flow path 46. Then, in the relay flow path 46, the gas is adjusted by the heater 48 in any temperature range of, for example, 50 ° C. or higher and 90 ° C. or lower, and is supplied to each of the ejection ports 25. Then, the supply unit 15 ejects the gas whose temperature has been adjusted by the heater 48 from each of the ejection ports 25 as described above.

また、保管室２では、ラック１０のそれぞれにファン５１が配置される。図１乃至図５等の一例では、ラック１０のそれぞれに、ファン５１が複数配置される。そして、ラック１０のそれぞれでは、１段目の下端、３段目と４段目との間、及び、６段目と７段目との間のそれぞれにファン５１が配置される。このため、ラック１０のそれぞれでは、ファン５１の配置は、鉛直方向について３段構成になる。ファン５１の中では、ラック１０のそれぞれにおいて６段目と７段目との間に位置するファン５１Ａが、最も鉛直上側に位置する。本実施形態では、供給部１５の噴出口２５のそれぞれは、ファン５１の中で最も鉛直上側に位置するファン５１Ａよりも、鉛直上側に位置する。また、ファン５１の中では、ラック１０のそれぞれにおいて１段目の下端に位置するファン５１Ｂが、最も鉛直下側に位置する。本実施形態では、排気部１６の排気口３８のそれぞれは、ファン５１の中で最も鉛直下側に位置するファン５１Ｂよりも、鉛直下側に位置する。 Further, in the storage room 2, fans 51 are arranged in each of the racks 10. In one example of FIGS. 1 to 5, a plurality of fans 51 are arranged in each of the racks 10. Then, in each of the racks 10, fans 51 are arranged at the lower end of the first stage, between the third stage and the fourth stage, and between the sixth stage and the seventh stage, respectively. Therefore, in each of the racks 10, the fan 51 is arranged in three stages in the vertical direction. Among the fans 51, the fan 51A located between the 6th stage and the 7th stage in each of the racks 10 is located on the most vertically upper side. In the present embodiment, each of the spouts 25 of the supply unit 15 is located vertically above the fan 51A, which is located most vertically above the fan 51. Further, among the fans 51, the fan 51B located at the lower end of the first stage in each of the racks 10 is located on the most vertically lower side. In the present embodiment, each of the exhaust ports 38 of the exhaust unit 16 is located vertically below the fan 51B, which is located most vertically below the fan 51.

また、図１乃至図５の一例では、ラック１０のそれぞれにおいて、ファン５１の配置は、縦方向について３列構成になる。なお、図５では、ラック１０それぞれにおいて、縦方向についてのファン５１の配置である３列構成の中の１列のみ示し、３列構成の中の他の２列は省略する。また、図１乃至図５の一例では、ラック１０Ａにおいて、ファン５１の配置は、横方向について３列構成になり、ラック１０Ｂにおいて、ファン５１の配置は、横方向について４列構成になる。 Further, in the example of FIGS. 1 to 5, in each of the racks 10, the fans 51 are arranged in three rows in the vertical direction. Note that, in FIG. 5, in each of the racks 10, only one row in the three-row configuration in which the fans 51 are arranged in the vertical direction is shown, and the other two rows in the three-row configuration are omitted. Further, in an example of FIGS. 1 to 5, in the rack 10A, the arrangement of the fans 51 has a three-row configuration in the horizontal direction, and in the rack 10B, the arrangement of the fans 51 has a four-row configuration in the horizontal direction.

ファン５１のそれぞれは、駆動されることにより、保管室２において気体を鉛直上側に向かって（すなわち、鉛直上側の速度成分を有するように）送風する（例えば、図５の矢印Ｆ２）。このため、保管室２において、ラック１０（１０Ａ，１０Ｂ）が配置される領域では、ファン５１によって、鉛直上側への気体の流れが生じる。ファン５１による鉛直上側へ向かっての気体の送風は、水平方向（横方向及び／又は縦方向）の速度成分を持たせることを妨げるものではない。ラック１０Ａでは、ファン５１のそれぞれは、送風方向が鉛直方向に対して壁部３の側壁８Ａが位置する側へ傾斜する状態に、配置される。そして、ラック１０Ｂでは、ファン５１のそれぞれは、送風方向が鉛直方向に対して壁部３の側壁８Ｂが位置する側へ傾斜する状態に、配置される。したがって、ファン５１のそれぞれの送風方向は、鉛直方向に対して、縦方向の外側へ傾斜する。すなわち、本実施形態において、ファン５１により送風される気体は、鉛直上側の速度成分のほかに縦方向の速度成分を有する。さらに、横方向の速度成分を有していても構わない。 Each of the fans 51 is driven to blow gas toward the vertically upper side (that is, having a velocity component on the vertically upper side) in the storage chamber 2 (for example, arrow F2 in FIG. 5). Therefore, in the storage chamber 2, in the region where the racks 10 (10A, 10B) are arranged, the fan 51 causes the gas to flow vertically upward. The blowing of gas vertically upward by the fan 51 does not prevent the velocity component in the horizontal direction (horizontal direction and / or vertical direction) from being provided. In the rack 10A, each of the fans 51 is arranged so that the blowing direction is inclined toward the side where the side wall 8A of the wall portion 3 is located with respect to the vertical direction. Then, in the rack 10B, each of the fans 51 is arranged in a state in which the blowing direction is inclined toward the side where the side wall 8B of the wall portion 3 is located with respect to the vertical direction. Therefore, each of the blowing directions of the fan 51 is inclined outward in the vertical direction with respect to the vertical direction. That is, in the present embodiment, the gas blown by the fan 51 has a velocity component in the vertical direction in addition to the velocity component on the vertically upper side. Further, it may have a lateral velocity component.

また、空調装置１は、コントローラ５０を備える。コントローラ５０は、例えば、コンピュータ等である。コントローラ５０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）又はＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等を含むプロセッサ又は集積回路（制御回路）、及び、メモリ等の記憶媒体を備える。コントローラ５０は、集積回路等を１つのみ備えてもよく、集積回路等を複数備えてもよい。コントローラ５０は、記憶媒体等に記憶されるプログラム等を実行することにより、処理を行う。コントローラ５０は、ブロア４７の駆動、ヒータ４８の作動、及び、ファン５１のそれぞれの駆動等を制御する。また、ある一例では、中継流路４６において気体の温度を検知する温度センサ等が、設けられる。この場合、コントローラ５０は、温度センサでの検知結果に基づいて、ヒータ４８の作動を制御する。これにより、中継流路４６において、気体の温度がより適切に調整される。
また、本実施形態において、鉛直方向に生じる温度差が小さくなるように、コントローラ５０により、ブロア４７及びファン５１のそれぞれの流量を調整することができる。具体的には、噴出口２５から保管室２の鉛直下側に向かって噴出する気体の流量と、ファン５１により保管室２の鉛直上側に向かって送風される気体の流量とのバランスを調整することにより、保管室２の鉛直上側の部位と鉛直下側の部位との温度差を調整することができる。噴出口２５から噴出する気体の流量は、ブロア４７の回転数を調整することにより、調節可能である。ファン５１のそれぞれでは、回転数を調整することにより、送風される気体の流量を調節可能である。このため、コントローラ５０によってブロア４７の回転数及びファン５１のそれぞれの回転数を調整することにより、噴出口２５から鉛直下側に向かって噴出する気体の流量とファン５１により鉛直上側に向かって送風される気体の流量とのバランスが、制御される。 Further, the air conditioner 1 includes a controller 50. The controller 50 is, for example, a computer or the like. The controller 50 includes a processor or integrated circuit (control circuit) including a CPU (Central Processing Unit), an ASIC (Application Specific Integrated Circuit), an FPGA (Field Programmable Gate Array), and a storage medium such as a memory. The controller 50 may include only one integrated circuit or the like, or may include a plurality of integrated circuits or the like. The controller 50 performs processing by executing a program or the like stored in a storage medium or the like. The controller 50 controls the drive of the blower 47, the operation of the heater 48, the drive of the fan 51, and the like. Further, in one example, a temperature sensor or the like for detecting the temperature of the gas in the relay flow path 46 is provided. In this case, the controller 50 controls the operation of the heater 48 based on the detection result of the temperature sensor. As a result, the temperature of the gas is adjusted more appropriately in the relay flow path 46.
Further, in the present embodiment, the flow rates of the blower 47 and the fan 51 can be adjusted by the controller 50 so that the temperature difference generated in the vertical direction becomes small. Specifically, the balance between the flow rate of the gas ejected from the ejection port 25 toward the vertically lower side of the storage chamber 2 and the flow rate of the gas blown toward the vertically upper side of the storage chamber 2 by the fan 51 is adjusted. Thereby, the temperature difference between the vertically upper portion and the vertically lower portion of the storage chamber 2 can be adjusted. The flow rate of the gas ejected from the ejection port 25 can be adjusted by adjusting the rotation speed of the blower 47. In each of the fans 51, the flow rate of the blown gas can be adjusted by adjusting the rotation speed. Therefore, by adjusting the rotation speed of the blower 47 and the rotation speed of the fan 51 by the controller 50, the flow rate of the gas ejected from the ejection port 25 toward the vertically downward side and the fan 51 blow air toward the vertically upper side. The balance with the flow rate of the gas to be produced is controlled.

本実施形態の空調装置１は、ワーク１１を加熱した後に、ワーク１１を高温の雰囲気で長時間エージングする際に、用いられる。ある一例では、空調装置１は、二次電池等の電池の製造において、製品化前の電池をワーク１１として高温の雰囲気でエージングする際に、用いられる。別のある一例では、空調装置１は、半導体の製造において、製品化前の半導体をワーク１１として高温の雰囲気でエージングする際に、用いられる。また、半導体及び電池以外に、ワーク１１を電子機器とすることも可能である。 The air conditioner 1 of the present embodiment is used when the work 11 is aged in a high temperature atmosphere for a long time after the work 11 is heated. In one example, the air conditioner 1 is used in the manufacture of a battery such as a secondary battery when the uncommercialized battery is used as the work 11 for aging in a high temperature atmosphere. In another example, the air conditioner 1 is used in the manufacture of a semiconductor when the semiconductor before commercialization is used as a work 11 for aging in a high temperature atmosphere. Further, in addition to the semiconductor and the battery, the work 11 can be used as an electronic device.

ワーク１１を高温の雰囲気でエージングする際には、まず、コンベヤによって、又は、扉を介して、ワーク１１を、保管室２に搬入する。そして、スタッカクレーン１３によって、ワーク１１を、ラック１０（１０Ａ，１０Ｂ）のそれぞれに入庫する。そして、コントローラ５０は、ブロア４７を駆動するとともに、ヒータ４８を作動する。また、コントローラ５０は、ファン５１のそれぞれを駆動する。なお、保管室２へのワーク１１の搬入、及び、ラック１０のそれぞれへのワーク１１の入庫は、ブロア４７、ヒータ４８及びファン５１が駆動された状態で行われてもよい。 When aging the work 11 in a high temperature atmosphere, the work 11 is first carried into the storage chamber 2 by a conveyor or through a door. Then, the work 11 is stored in each of the racks 10 (10A, 10B) by the stacker crane 13. Then, the controller 50 drives the blower 47 and operates the heater 48. Further, the controller 50 drives each of the fans 51. The work 11 may be carried into the storage chamber 2 and the work 11 may be stored in each of the racks 10 with the blower 47, the heater 48, and the fan 51 being driven.

ブロア４７及びヒータ４８が駆動されることにより、ヒータ４８によって加熱された気体、すなわち、温度が調整された気体が、供給部１５の噴出口２５のそれぞれに供給される。噴出口２５のそれぞれには、例えば、５０℃以上９０℃以下のいずれかの温度範囲に温度調整された気体が、供給される。また、本実施形態の保管室２では、横方向についてラック１０のそれぞれの両側に、空間１２が形成される。そして、空間１２のそれぞれでは、鉛直上側の領域に、噴出口２５が配置される。そして、空間１２のそれぞれでは、噴出口２５に供給された気体が、噴出口２５から鉛直下側へ向かって噴出される。空間１２のそれぞれでは、ラック１０等の干渉物が配置されないため、噴出口２５から噴出された気体が、底壁６の近傍まで到達し易い。 By driving the blower 47 and the heater 48, the gas heated by the heater 48, that is, the gas whose temperature has been adjusted, is supplied to each of the ejection ports 25 of the supply unit 15. A gas whose temperature has been adjusted to any temperature range of 50 ° C. or higher and 90 ° C. or lower is supplied to each of the spouts 25, for example. Further, in the storage chamber 2 of the present embodiment, spaces 12 are formed on both sides of the rack 10 in the lateral direction. Then, in each of the spaces 12, the spout 25 is arranged in the vertically upper region. Then, in each of the spaces 12, the gas supplied to the spout 25 is ejected from the spout 25 toward the vertically downward side. Since no interfering object such as a rack 10 is arranged in each of the spaces 12, the gas ejected from the ejection port 25 easily reaches the vicinity of the bottom wall 6.

また、空間１２のそれぞれには、噴出口２５より鉛直下側に、排気口３８Ａが配置される。本実施形態の空調装置１では、排気口３８Ａを含む排気口３８のそれぞれから、保管室２の気体を排気する。そして、ブロア４７を駆動することにより、保管室２では、排気口３８のそれぞれに向かう吸引力が、作用する。このため、空間１２のそれぞれでは、排気口３８Ａに向かう吸引力が作用する。排気口３８Ａに向かう吸引力によって、空間１２のそれぞれでは、噴出口２５から噴出された気体が、底壁６の近傍までさらに到達し易くなる。 Further, in each of the spaces 12, an exhaust port 38A is arranged vertically below the injection port 25. In the air conditioner 1 of the present embodiment, the gas in the storage chamber 2 is exhausted from each of the exhaust ports 38 including the exhaust port 38A. Then, by driving the blower 47, the suction force toward each of the exhaust ports 38 acts in the storage chamber 2. Therefore, a suction force toward the exhaust port 38A acts in each of the spaces 12. The suction force toward the exhaust port 38A makes it easier for the gas ejected from the ejection port 25 to reach the vicinity of the bottom wall 6 in each of the spaces 12.

前述のように、本実施形態では、鉛直方向についての保管室２の寸法（高さ）が、例えば１０ｍ以上等の大きい寸法になっても、空間１２のそれぞれにおいて、噴出口２５から噴出された気体が、底壁６の近傍まで到達し易くなる。すなわち、鉛直方向についての保管室２の寸法に関係なく、温度が調整された気体が、底壁６の近傍まで到達し易くなる。したがって、保管室２では、鉛直方向について天壁５の近傍から底壁６の近傍までの全体に渡って、ラック１０のそれぞれが配置される領域の気体が、噴出口２５の対応するいずれかから噴出される気体、すなわち、温度が調整された気体と混合する。 As described above, in the present embodiment, even if the dimension (height) of the storage chamber 2 in the vertical direction becomes a large dimension such as 10 m or more, the gas is ejected from the ejection port 25 in each of the spaces 12. The gas easily reaches the vicinity of the bottom wall 6. That is, regardless of the size of the storage chamber 2 in the vertical direction, the temperature-adjusted gas easily reaches the vicinity of the bottom wall 6. Therefore, in the storage chamber 2, the gas in the region where each of the racks 10 is arranged extends from the vicinity of the top wall 5 to the vicinity of the bottom wall 6 in the vertical direction from any of the corresponding outlets 25. It mixes with the ejected gas, that is, the temperature-controlled gas.

前述のように気体が混合するため、ラック１０のそれぞれが配置される領域内では、鉛直方向についての位置に起因する温度差が、低減される。すなわち、ラック１０Ａが配置される領域では、最も鉛直下側の配置位置Ａ１と最も鉛直上側の配置位置Ａ１０との間の温度差が低減され、ラック１０Ｂが配置される領域では、最も鉛直下側の配置位置Ｂ１と最も鉛直上側の配置位置Ｂ１０との間の温度差が低減される。したがって、本実施形態では、鉛直方向についての保管室２の寸法が大きくなっても、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差が低減される。これにより、ワーク１１が配置される領域における温度の均一化を、実現し易くなる。また、ワーク１１が配置される領域内での温度差が低減されることにより、生産性の高い保管室２が実現される。 Since the gases are mixed as described above, the temperature difference due to the position in the vertical direction is reduced in the region where each of the racks 10 is arranged. That is, in the area where the rack 10A is arranged, the temperature difference between the arrangement position A1 on the most vertically lower side and the arrangement position A10 on the most vertically upper side is reduced, and in the area where the rack 10B is arranged, the most vertically lower side. The temperature difference between the arrangement position B1 and the arrangement position B10 on the most vertical side is reduced. Therefore, in the present embodiment, even if the size of the storage chamber 2 in the vertical direction is increased, the temperature difference is reduced in the area where the work 11 is arranged, that is, in the area where each of the racks 10 is arranged. NS. As a result, it becomes easy to realize uniform temperature in the region where the work 11 is arranged. Further, by reducing the temperature difference in the region where the work 11 is arranged, a highly productive storage chamber 2 is realized.

また、本実施形態では、排気口３８は、ラック１０においてワーク１１を配置される配置位置Ａ１〜Ａ１０，Ｂ１〜Ｂ１０の中で最も鉛直下側の配置位置Ａ１，Ｂ１に対して、鉛直下側に位置する。このため、配置位置Ａ１，Ｂ１及びこれらの近傍の気体は、噴出口２５のそれぞれから噴出される気体と、さらに混合し易くなる。これにより、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差がさらに低減される。 Further, in the present embodiment, the exhaust port 38 is vertically lower than the most vertically lower arrangement positions A1 and B1 among the arrangement positions A1 to A10 and B1 to B10 where the work 11 is arranged in the rack 10. Located in. Therefore, the arrangement positions A1 and B1 and the gas in the vicinity thereof are more easily mixed with the gas ejected from each of the ejection ports 25. As a result, the temperature difference is further reduced in the area where the work 11 is arranged, that is, in the area where each of the racks 10 is arranged.

また、本実施形態では、空間１２のそれぞれにおいて排気口３８Ａから排気されるとともに、ラック１０のそれぞれの鉛直下側の領域においても、排気口３８Ｂから排気される。このため、ラック１０のそれぞれが配置される領域の気体が、噴出口２５のそれぞれから噴出される気体、すなわち、温度が調整された気体とさらに混合し易くなる。 Further, in the present embodiment, the air is exhausted from the exhaust port 38A in each of the spaces 12, and is also exhausted from the exhaust port 38B in each vertically lower region of the rack 10. Therefore, the gas in the region where each of the racks 10 is arranged is more easily mixed with the gas ejected from each of the ejection ports 25, that is, the gas whose temperature has been adjusted.

また、本実施形態では、噴出口２５は、ラック１０Ａの配置位置Ａ１０及びラック１０Ｂの配置位置Ｂ１０に対して同一又は略同一の高さに配置される、又は、配置位置Ａ１０，Ｂ１０に対して鉛直上側に配置される。これにより、ワーク１１を配置される配置位置Ａ１〜Ａ１０，Ｂ１〜Ｂ１０の中で最も鉛直上側の配置位置Ａ１０，Ｂ１０及びこれらの近傍の気体は、噴出口２５のそれぞれから噴出される気体と、適切に混合する。これにより、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差がさらに低減される。 Further, in the present embodiment, the spout 25 is arranged at the same or substantially the same height as the arrangement position A10 of the rack 10A and the arrangement position B10 of the rack 10B, or with respect to the arrangement positions A10 and B10. It is placed vertically above. As a result, among the arrangement positions A1 to A10 and B1 to B10 where the work 11 is arranged, the vertically upper arrangement positions A10 and B10 and the gas in the vicinity thereof are the gas ejected from each of the ejection ports 25 and the gas ejected from each of the ejection ports 25. Mix properly. As a result, the temperature difference is further reduced in the area where the work 11 is arranged, that is, in the area where each of the racks 10 is arranged.

また、本実施形態では、ラック１０のそれぞれに、複数のファン５１が配置される。そして、ファン５１は、保管室２において気体を鉛直上側に送る。このため、保管室２において、ラック１０（１０Ａ，１０Ｂ）が配置される領域では、ファン５１によって、鉛直上側への気体の流れが生じる。これにより、ラック１０のそれぞれが配置される領域内では、配置位置Ａ１，Ｂ１等の鉛直下側の範囲の気体と配置位置Ａ１０，Ｂ１０等の鉛直上側の範囲の気体とが混合し易くなる。したがって、ラック１０のそれぞれが配置される領域内では、温度差がさらに低減され、ワーク１１が配置される領域における温度の均一化を、さらに実現し易くなる。 Further, in the present embodiment, a plurality of fans 51 are arranged in each of the racks 10. Then, the fan 51 sends the gas vertically upward in the storage chamber 2. Therefore, in the storage chamber 2, in the region where the racks 10 (10A, 10B) are arranged, the fan 51 causes the gas to flow vertically upward. As a result, in the region where each of the racks 10 is arranged, the gas in the vertically lower range such as the arrangement positions A1 and B1 and the gas in the vertically upper range such as the arrangement positions A10 and B10 are easily mixed. Therefore, in the region where each of the racks 10 is arranged, the temperature difference is further reduced, and it becomes easier to realize uniform temperature in the region where the work 11 is arranged.

また、ファン５１のそれぞれの送風方向は、鉛直方向に対して、縦方向の壁部３が位置する側（外側）へ傾斜する。ここで、ラック１０のそれぞれが配置される領域では、壁部３の近傍の範囲が、壁部３によって冷却され易い。すなわち、ラック１０Ａが配置される領域では、縦方向について側壁８Ａの近傍の範囲が冷却され易く、ラック１０Ｂが配置される領域では、縦方向について側壁８Ｂの近傍の範囲が冷却され易い。本実施形態では、ファン５１のそれぞれの送風方向を前述のようにすることにより、ラック１０のそれぞれが配置される領域において、壁部３の近傍の範囲での温度の低下が有効に防止される。これにより、ラック１０のそれぞれが配置される領域内では、温度差がさらに低減される。 Further, each of the blowing directions of the fan 51 is inclined toward the side (outside) where the wall portion 3 in the vertical direction is located with respect to the vertical direction. Here, in the region where each of the racks 10 is arranged, the area in the vicinity of the wall portion 3 is likely to be cooled by the wall portion 3. That is, in the region where the rack 10A is arranged, the area near the side wall 8A is likely to be cooled in the vertical direction, and in the region where the rack 10B is arranged, the area near the side wall 8B is likely to be cooled in the vertical direction. In the present embodiment, by setting the blowing direction of each of the fans 51 as described above, the temperature drop in the vicinity of the wall portion 3 is effectively prevented in the region where each of the racks 10 is arranged. .. As a result, the temperature difference is further reduced in the region where each of the racks 10 is arranged.

また、本実施形態では、排気部１６の排気口３８のそれぞれは、ファン５１の中で最も鉛直下側に位置するファン５１Ｂよりも、鉛直下側に位置する。このため、ラック１０のそれぞれが配置される領域の気体は、噴出口２５から噴出された気体と適切に混合された状態で、ファン５１によって鉛直上側へ送られる。これにより、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差がさらに低減される。 Further, in the present embodiment, each of the exhaust ports 38 of the exhaust unit 16 is located on the vertically lower side of the fan 51B, which is located on the most vertically lower side of the fan 51. Therefore, the gas in the region where each of the racks 10 is arranged is sent vertically upward by the fan 51 in a state of being appropriately mixed with the gas ejected from the ejection port 25. As a result, the temperature difference is further reduced in the area where the work 11 is arranged, that is, in the area where each of the racks 10 is arranged.

また、本実施形態では、供給部１５において流入部２３から噴出口２５のそれぞれまで、供給ダクト２１が延設される。そして、供給ダクト２１の大部分が、保管室２の内部に配置される。すなわち、供給ダクト２１の大部分は、外部より温度の高い保管室２内に配置される。このため、ヒータ４８から噴出口２５のそれぞれまでの間での気体の温度低下が、有効に防止される。 Further, in the present embodiment, the supply duct 21 is extended from the inflow section 23 to each of the spout 25 in the supply section 15. Then, most of the supply duct 21 is arranged inside the storage chamber 2. That is, most of the supply duct 21 is arranged in the storage chamber 2 having a higher temperature than the outside. Therefore, the temperature drop of the gas between each of the heater 48 and the ejection port 25 is effectively prevented.

また、本実施形態では、スタッカクレーン１３は、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれに対して縦方向に隣り合って配置される。このため、スタッカクレーン１３を用いて、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれにワーク１１を入庫し易い。同様に、スタッカクレーン１３を用いて、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれからワーク１１を出庫し易い。 Further, in the present embodiment, the stacker cranes 13 are arranged adjacent to each of the racks 10A and 10B in the vertical direction. Therefore, it is easy to store the work 11 in each of the racks 10A and 10B by using the stacker crane 13. Similarly, using the stacker crane 13, it is easy to take out the work 11 from each of the racks 10A and 10B.

（変形例）
なお、ある変形例では、噴出口２５は、ラック１０においてワーク１１の配置位置の中で最も鉛直上側の配置位置（例えばＡ１０，Ｂ１０）に対して、鉛直下側に位置してもよい。また、噴出口２５は、ファン５１の中で最も鉛直上側のファン５１Ａに対して、鉛直下側に位置してもよい。ただし、この場合も、空間１２のそれぞれにおいて、噴出口２５より鉛直下側に排気口３８Ａが配置される。そして、排気口３８Ａを含む排気口３８は、ワーク１１の配置位置の中で最も鉛直下側の配置位置（例えばＡ１，Ｂ１）に対して、鉛直下側に位置し、ファン５１の中で最も鉛直下側のファン５１Ｂに対して、鉛直下側に位置する。 (Modification example)
In a modified example, the ejection port 25 may be located on the vertically lower side of the rack 10 with respect to the most vertically upper arrangement position (for example, A10, B10) of the arrangement positions of the work 11. Further, the spout 25 may be located vertically below the fan 51A, which is the most vertically above the fan 51. However, also in this case, the exhaust port 38A is arranged vertically below the injection port 25 in each of the spaces 12. The exhaust port 38 including the exhaust port 38A is located on the vertically lower side with respect to the most vertically lower side arrangement position (for example, A1 and B1) in the arrangement position of the work 11, and is the most vertically lower side among the fans 51. It is located vertically below the fan 51B on the vertically below side.

また、本変形例では、ワーク１１の配置位置の中で最も鉛直上側の配置位置（例えばＡ１０，Ｂ１０）は、ファン５１のいずれかからの送風の到達範囲内に、位置する。前述のような構成にすることにより、本変形例でも、前述の実施形態等と同様に、鉛直方向についての保管室２の寸法に関係なく、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差が低減される。これにより、本変形例でも、ワーク１１が配置される領域における温度の均一化を、実現し易くなる。 Further, in this modification, the vertically upper arrangement position (for example, A10, B10) of the arrangement positions of the work 11 is located within the reachable range of the air blown from any of the fans 51. By adopting the above-described configuration, also in the present modification, the work 11 is arranged in the area where the work 11 is arranged, that is, the rack 10 regardless of the dimensions of the storage chamber 2 in the vertical direction, as in the above-described embodiment. The temperature difference is reduced in the region where each of the above is arranged. As a result, even in this modification, it becomes easy to realize uniform temperature in the region where the work 11 is arranged.

また、ある変形例では、排気口３８Ｂが設けられず、排気口３８は、排気口３８Ａのみから構成されてもよい。この場合も、空間１２のそれぞれにおいて、噴出口２５より鉛直下側に排気口３８Ａが配置される。したがって、前述の実施形態等と同様に、鉛直方向についての保管室２の寸法に関係なく、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差が低減される。また、ラック１０のそれぞれに配置されるファン５１の数、及び、ラック１０のそれぞれの段数等は、前述の実施形態等に限るものではない。また、保管室２に配置されるラック１０の数も２つに限るものではない。 Further, in a modification, the exhaust port 38B may not be provided, and the exhaust port 38 may be composed of only the exhaust port 38A. Also in this case, the exhaust port 38A is arranged vertically below the injection port 25 in each of the spaces 12. Therefore, as in the above-described embodiment, the temperature difference is different in the area where the work 11 is arranged, that is, in the area where each of the racks 10 is arranged, regardless of the dimensions of the storage chamber 2 in the vertical direction. It will be reduced. Further, the number of fans 51 arranged in each of the racks 10, the number of stages of each of the racks 10, and the like are not limited to the above-described embodiments and the like. Further, the number of racks 10 arranged in the storage room 2 is not limited to two.

ある変形例では、保管室２にラック１０が１つのみ配置される。この場合も、保管室２では、横方向についてラック１０の両側に、空間１２が形成される。そして、空間１２のそれぞれには、噴出口２５が配置されるとともに、噴出口２５より鉛直下側に排気口３８Ａが配置される。また、本変形例では、スタッカクレーン１３は、縦方向について、ラック１０の一方側に隣り合って配置される。そして、壁部３の側壁８Ａ，８Ｂの一方が、縦方向についてスタッカクレーン１３とは反対側から、ラック１０に隣接する。また、本変形例でも、ラック１０に１つ以上のファン５１が配置され、ファン５１のそれぞれは、気体を鉛直上側に送る。そして、ファン５１のそれぞれの送風方向は、鉛直方向に対して縦方向の壁部３が位置する側（外側）へ傾斜する。本変形例でも、前述の実施形態等と同様に、鉛直方向についての保管室２の寸法に関係なく、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差が低減される。そして、本変形例でも、前述の実施形態等と同様の作用及び効果を奏する。 In one modification, only one rack 10 is arranged in the storage chamber 2. Also in this case, in the storage chamber 2, spaces 12 are formed on both sides of the rack 10 in the lateral direction. A spout 25 is arranged in each of the spaces 12, and an exhaust port 38A is arranged vertically below the spout 25. Further, in this modification, the stacker crane 13 is arranged adjacent to one side of the rack 10 in the vertical direction. Then, one of the side walls 8A and 8B of the wall portion 3 is adjacent to the rack 10 from the side opposite to the stacker crane 13 in the vertical direction. Further, also in this modification, one or more fans 51 are arranged in the rack 10, and each of the fans 51 sends gas vertically upward. Then, each of the blowing directions of the fan 51 is inclined to the side (outside) where the wall portion 3 in the vertical direction is located with respect to the vertical direction. Also in this modification, as in the above-described embodiment, regardless of the dimensions of the storage chamber 2 in the vertical direction, in the area where the work 11 is arranged, that is, in the area where each of the racks 10 is arranged. The temperature difference is reduced. Further, also in this modified example, the same actions and effects as those in the above-described embodiment and the like are exhibited.

別のある変形例では、保管室２において、３つ以上のラック１０が縦方向に沿って配列される。以下、３つ以上のラック１０の中で、配列方向（縦方向）について両端に位置する２つをラック１０Ａ，１０Ｂとする。本変形例でも、横方向についてラック１０のそれぞれの両側に、空間１２が形成される。そして、空間１２のそれぞれには、噴出口２５が配置されるとともに、噴出口２５より鉛直下側に排気口３８Ａが配置される。また、本変形例では、保管室２に複数のスタッカクレーン（入出庫機）１３が配置される。そして、縦方向（配列方向）についてラック１０のそれぞれの少なくとも一方側には、スタッカクレーン１３が隣り合って配置される。ある一例では、互いに対して隣り合う２つのラック１０の間のそれぞれに、スタッカクレーン１３が配置される。 In another modification, in the storage chamber 2, three or more racks 10 are arranged along the vertical direction. Hereinafter, among the three or more racks 10, two racks 10A and 10B located at both ends in the arrangement direction (vertical direction) are referred to as racks 10A and 10B. Also in this modification, spaces 12 are formed on both sides of the rack 10 in the lateral direction. A spout 25 is arranged in each of the spaces 12, and an exhaust port 38A is arranged vertically below the spout 25. Further, in this modification, a plurality of stacker cranes (loading / unloading machines) 13 are arranged in the storage chamber 2. Then, stacker cranes 13 are arranged adjacent to each other on at least one side of each of the racks 10 in the vertical direction (arrangement direction). In one example, stacker cranes 13 are placed between two racks 10 adjacent to each other.

また、配列方向について両端のラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれに対しては、縦方向について一方側（内側）に、スタッカクレーン１３が隣り合って配置される。そして、壁部３の側壁８Ａは、縦方向についてスタッカクレーン１３とは反対側（外側）から、ラック１０Ａに隣接し、壁部３の側壁８Ｂは、縦方向についてスタッカクレーン１３とは反対側（外側）から、ラック１０Ａに隣接する。また、本変形例でも、ラック１０のそれぞれに１つ以上のファン５１が配置され、ファン５１のそれぞれは、気体を鉛直上側に送る。そして、ラック１０Ａ，１０Ｂのそれぞれでは、ファン５１のそれぞれの送風方向は、鉛直方向に対して縦方向の壁部３が位置する側（外側）へ傾斜する。本変形例でも、前述の実施形態等と同様に、鉛直方向についての保管室２の寸法に関係なく、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差が低減される。そして、本変形例でも、前述の実施形態等と同様の作用及び効果を奏する。 Further, the stacker cranes 13 are arranged adjacent to each other on one side (inside) in the vertical direction with respect to each of the racks 10A and 10B at both ends in the arrangement direction. The side wall 8A of the wall portion 3 is adjacent to the rack 10A from the side (outside) opposite to the stacker crane 13 in the vertical direction, and the side wall 8B of the wall portion 3 is adjacent to the rack 10A in the vertical direction (opposite side to the stacker crane 13 in the vertical direction). From the outside), it is adjacent to the rack 10A. Further, also in this modification, one or more fans 51 are arranged in each of the racks 10, and each of the fans 51 sends gas vertically upward. Then, in each of the racks 10A and 10B, the ventilation direction of the fan 51 is inclined to the side (outside) where the wall portion 3 in the vertical direction is located with respect to the vertical direction. Also in this modification, as in the above-described embodiment, regardless of the dimensions of the storage chamber 2 in the vertical direction, in the area where the work 11 is arranged, that is, in the area where each of the racks 10 is arranged. The temperature difference is reduced. Further, also in this modified example, the same actions and effects as those in the above-described embodiment and the like are exhibited.

また、ある変形例では、温度調整器として、ヒータ４８の代わりに冷凍機が設けられてもよい。この場合、冷凍機は、中継流路４６において気体を冷却することにより、排気口３８のそれぞれから噴出口２５のそれぞれへ送られる気体の温度を調整する。本変形例でも、保管室２におけるラック１０、噴出口２５及び排気口３８のそれぞれの配置は、前述の実施形態等のいずれかと同様になる。このため、本変形例でも、前述の実施形態等と同様に、鉛直方向についての保管室２の寸法に関係なく、ワーク１１が配置される領域内、すなわち、ラック１０のそれぞれが配置される領域内において、温度差が低減される。 Further, in a modified example, a refrigerator may be provided as the temperature controller instead of the heater 48. In this case, the refrigerator adjusts the temperature of the gas sent from each of the exhaust ports 38 to each of the ejection ports 25 by cooling the gas in the relay flow path 46. In this modified example as well, the arrangement of the rack 10, the spout 25, and the exhaust port 38 in the storage chamber 2 is the same as that of any of the above-described embodiments. Therefore, also in this modification, as in the above-described embodiment, the area where the work 11 is arranged, that is, the area where each of the racks 10 is arranged, regardless of the dimensions of the storage chamber 2 in the vertical direction. Within, the temperature difference is reduced.

これらの少なくとも一つの実施形態又は実施例の空調装置では、ラックは、横方向の両側に空間が形成される状態で保管室に配置され、供給部は、ラックの両側の空間のそれぞれに噴出口を有し、鉛直下側へ向かって噴出口から気体を噴出する。排気部は、空間のそれぞれにおいて噴出口より鉛直下側に排気口を有する。ブロアは、保管室から排気された気体を、排気口から噴出口へ送る。温度調整器は、排気口から噴出口へ送られる気体の温度を調整する。また、これらの少なくとも一つの実施形態又は実施例のエージング方法は、横方向の両側に空間が形成される状態に保管室内に配置されたラックにワークを収納することと、ラックの両側の空間のそれぞれに設けられた噴出口から鉛直下側へ向かって気体を噴出させることと、空間のそれぞれにおいて噴出口より鉛直下側に設けられた排気口から保管室の気体を排気することと、保管室の排気口から排気された気体の温度を調整して噴出口へ送ることと、を備える。これらにより、鉛直方向についての保管室の寸法に関係なく、保管室においてワークが配置される領域内の温度差を低減する空調装置及びエージング方法を提供することができる。 In the air conditioner of at least one of these embodiments or embodiments, the rack is placed in the storage chamber with spaces formed on both sides in the lateral direction, and the supply unit spouts into each of the spaces on both sides of the rack. The gas is ejected from the spout toward the vertically downward side. The exhaust section has an exhaust port vertically below the spout in each of the spaces. The blower sends the gas exhausted from the storage chamber from the exhaust port to the spout. The temperature controller regulates the temperature of the gas sent from the exhaust port to the spout. Further, the aging method of at least one of these embodiments or embodiments is to store the work in a rack arranged in the storage chamber in a state where spaces are formed on both sides in the lateral direction, and to store the work in a rack arranged on both sides of the rack. Gas is ejected from the spouts provided in each toward the vertically downward side, gas in the storage chamber is exhausted from the exhaust ports provided vertically below the spouts in each space, and the storage chamber is used. The temperature of the gas exhausted from the exhaust port of the above is adjusted and sent to the outlet. These can provide an air conditioner and an aging method that reduce the temperature difference in the region where the work is arranged in the storage chamber regardless of the dimensions of the storage chamber in the vertical direction.

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。 Although some embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented as examples and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other embodiments, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the gist of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are also included in the scope of the invention described in the claims and the equivalent scope thereof.

１…空調装置、２…保管室、３…壁部、１０，１０Ａ，１０Ｂ…ラック、１１…ワーク、１２…空間、１３…スタッカクレーン、１５…供給部、１６…排気部、２１…供給ダクト、２２…噴出部、２５…噴出口、３６…排気ダクト、３８，３８Ａ，３８Ｂ…排気口、４７…ブロア、４８…ヒータ、５０…コントローラ、５１，５１Ａ，５１Ｂ…ファン、Ａ１〜Ａ１０，Ｂ１〜Ｂ１０…配置位置。 1 ... Air conditioner, 2 ... Storage room, 3 ... Wall part, 10,10A, 10B ... Rack, 11 ... Work, 12 ... Space, 13 ... Stacker crane, 15 ... Supply part, 16 ... Exhaust part, 21 ... Supply duct , 22 ... Ejection part, 25 ... Ejection outlet, 36 ... Exhaust duct, 38, 38A, 38B ... Exhaust port, 47 ... Blower, 48 ... Heater, 50 ... Controller, 51, 51A, 51B ... Fan, A1 to A10, B1 ~ B10 ... Placement position.

Claims (7)

ワークを保管する保管室と、
横方向の両側に空間が形成される状態で前記保管室に配置され、前記ワークを配置可能なラックと、
前記ラックの両側の前記空間のそれぞれに噴出口を有し、鉛直下側へ向かって前記噴出口から気体を噴出する供給部と、
前記空間のそれぞれにおいて前記噴出口より前記鉛直下側に排気口を有し、前記排気口から前記保管室の気体を排気する排気部と、
前記保管室から排気された気体を前記排気口から前記噴出口へ送るブロアと、
前記排気口から前記噴出口へ送られる気体の温度を調整する温度調整器と、
を具備する、空調装置。 A storage room for storing work and
A rack that is placed in the storage chamber with spaces formed on both sides in the lateral direction and on which the work can be placed,
A supply unit having a spout in each of the spaces on both sides of the rack and ejecting gas from the spout toward the vertically downward side.
An exhaust unit having an exhaust port vertically below the spout in each of the spaces and exhausting gas from the storage chamber from the exhaust port.
A blower that sends the gas exhausted from the storage chamber from the exhaust port to the spout.
A temperature controller that adjusts the temperature of the gas sent from the exhaust port to the outlet, and
An air conditioner equipped with. 前記横方向及び鉛直方向の両方に交差する縦方向について前記ラックに対して隣り合って前記保管室に配置され、前記ラックへ前記ワークを入庫可能、かつ、前記ラックから前記ワークを出庫可能な入出庫機をさらに具備する、請求項１の空調装置。 The work is placed in the storage chamber adjacent to the rack in the vertical direction intersecting both the horizontal direction and the vertical direction, and the work can be stored in the rack and can be discharged from the rack. The air conditioner according to claim 1, further comprising a delivery machine. 前記保管室において前記ラックに配置され、前記保管室において気体を鉛直上側に向かって送るファンをさらに具備する、請求項１又は２の空調装置。 The air conditioner according to claim 1 or 2, further comprising a fan arranged in the rack in the storage chamber and sending gas vertically upward in the storage chamber. 前記ファンは、送風方向が鉛直方向に対して前記保管室を形成する壁部が位置する側へ傾斜する状態に、配置される、請求項３の空調装置。 The air conditioner according to claim 3, wherein the fan is arranged so that the blowing direction is inclined toward the side where the wall portion forming the storage chamber is located with respect to the vertical direction. 前記排気部の前記排気口は、前記ラックにおいて前記ワークを配置される配置位置の中で最も前記鉛直下側の配置位置に対して、前記鉛直下側に位置する、請求項１乃至４のいずれか１項の空調装置。 Any of claims 1 to 4, wherein the exhaust port of the exhaust unit is located on the vertically lower side with respect to the most vertically lower arrangement position among the arrangement positions where the work is arranged in the rack. The air conditioner of item 1. 前記ラックを複数具備し、
複数の前記ラックは、前記保管室において、前記横方向及び鉛直方向の両方に交差する縦方向に沿って配列され、
複数の前記ラックのそれぞれは、前記横方向の両側に、前記空間を形成し、
前記空間のそれぞれでは、前記供給部が、前記噴出口から前記鉛直下側へ向かって気体を噴出するとともに、前記排気部が、前記噴出口より前記鉛直下側の前記排気口から気体を排気する、
請求項１乃至５のいずれか１項の空調装置。 Equipped with a plurality of the racks
The plurality of racks are arranged in the storage chamber along the vertical direction intersecting both the horizontal direction and the vertical direction.
Each of the plurality of racks forms the space on both sides in the lateral direction.
In each of the spaces, the supply unit ejects gas from the ejection port toward the vertically downward side, and the exhaust portion exhausts gas from the exhaust port on the vertically downward side from the ejection port. ,
The air conditioner according to any one of claims 1 to 5. 横方向の両側に空間が形成される状態に保管室内に配置されたラックにワークを収納することと、
前記ラックの両側の前記空間のそれぞれに設けられた噴出口から鉛直下側へ向かって気体を噴出させることと、
前記空間のそれぞれにおいて前記噴出口より前記鉛直下側に設けられた排気口から前記保管室の気体を排気することと、
前記保管室の前記排気口から排気された気体の温度を調整して前記噴出口へ送ることと、
を具備する、エージング方法。 To store the work in a rack placed in the storage room with spaces formed on both sides in the horizontal direction,
Gas is ejected vertically downward from the spouts provided in the spaces on both sides of the rack.
Exhaust the gas in the storage chamber from the exhaust port provided vertically below the spout in each of the spaces.
Adjusting the temperature of the gas exhausted from the exhaust port of the storage chamber and sending it to the outlet.
Aging method.
JP2020027150A 2020-02-20 2020-02-20 Air conditioning equipment and aging method Active JP7341921B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020027150A JP7341921B2 (en) 2020-02-20 2020-02-20 Air conditioning equipment and aging method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020027150A JP7341921B2 (en) 2020-02-20 2020-02-20 Air conditioning equipment and aging method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021131318A true JP2021131318A (en) 2021-09-09
JP7341921B2 JP7341921B2 (en) 2023-09-11

Family

ID=77550826

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020027150A Active JP7341921B2 (en) 2020-02-20 2020-02-20 Air conditioning equipment and aging method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7341921B2 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS619853U (en) * 1984-06-21 1986-01-21 株式会社 藤田製作所 Burn-in processing equipment
JPH10311865A (en) * 1997-05-09 1998-11-24 Nec Corp Burn-in test equipment
US20050125712A1 (en) * 2003-05-12 2005-06-09 Kingston Technology Corp. Manifold-Distributed Air Flow Over Removable Test Boards in a Memory-Module Burn-In System With Heat Chamber Isolated by Backplane
JP2006214918A (en) * 2005-02-04 2006-08-17 Daitron Technology Co Ltd Holder unit
US20100283475A1 (en) * 2009-05-07 2010-11-11 Aehr Test Systems Separate test electronics and blower modules in an apparatus for testing an integrated circuit
KR20110111867A (en) * 2010-04-06 2011-10-12 엘지이노텍 주식회사 Testing device maintaining constant temperature

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS619853U (en) * 1984-06-21 1986-01-21 株式会社 藤田製作所 Burn-in processing equipment
JPH10311865A (en) * 1997-05-09 1998-11-24 Nec Corp Burn-in test equipment
US20050125712A1 (en) * 2003-05-12 2005-06-09 Kingston Technology Corp. Manifold-Distributed Air Flow Over Removable Test Boards in a Memory-Module Burn-In System With Heat Chamber Isolated by Backplane
JP2006214918A (en) * 2005-02-04 2006-08-17 Daitron Technology Co Ltd Holder unit
US20100283475A1 (en) * 2009-05-07 2010-11-11 Aehr Test Systems Separate test electronics and blower modules in an apparatus for testing an integrated circuit
KR20110111867A (en) * 2010-04-06 2011-10-12 엘지이노텍 주식회사 Testing device maintaining constant temperature

Also Published As

Publication number Publication date
JP7341921B2 (en) 2023-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102053029B1 (en) Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and program
JP6347560B2 (en) Substrate processing equipment
JP5673480B2 (en) Substrate processing equipment
WO2015114981A1 (en) Purge device and method for diffusing gas containing purge gas
US20190043738A1 (en) Substrate transporting device, substrate treating apparatus, and substrate transporting method
TW201909324A (en) Efem and efem system, equipment front end module and equipment front end module system
WO2018146987A1 (en) Stocker
WO2006046317A1 (en) Continuous conveyance-type freezer
JP6005011B2 (en) Power storage device
JP2021131318A (en) Air conditioner and aging method
KR102124372B1 (en) EFEM SYSTEM, Equipment Front End Module SYSTEM
JP2017032233A (en) Hot blast drying furnace
JP2009186127A (en) Clean air circulation system and clean air circulation method
JP2014216092A (en) Electricity storage device
JP2011252683A (en) Refrigeration and cold storage warehouse of picking system
JP5306969B2 (en) Air conditioning system
JP6511991B2 (en) Cold storage
JP4262505B2 (en) Airflow control method
JP6357889B2 (en) Refrigerated warehouse
JP6424708B2 (en) Automatic cooling equipment
CN111591644B (en) Article conveying equipment
JP2002338007A (en) Stocker
JP2010109301A (en) Reflow device
TWI276583B (en) Automated storage and retrieval warehouse for clean room
JP2016054240A (en) Stocker

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20221012

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20230111

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230524

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230530

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230713

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230801

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230830

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7341921

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151