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JP2021127412A - Thermosetting resin composition for LDS - Google Patents

Thermosetting resin composition for LDS Download PDF

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JP2021127412A
JP2021127412A JP2020023769A JP2020023769A JP2021127412A JP 2021127412 A JP2021127412 A JP 2021127412A JP 2020023769 A JP2020023769 A JP 2020023769A JP 2020023769 A JP2020023769 A JP 2020023769A JP 2021127412 A JP2021127412 A JP 2021127412A
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JP
Japan
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resin composition
thermosetting resin
lds
meth
epoxy resin
Prior art date
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Pending
Application number
JP2020023769A
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Japanese (ja)
Inventor
昌也 光田
Masaya Mitsuta
昌也 光田
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Sumitomo Bakelite Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Bakelite Co Ltd
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Publication date
Application filed by Sumitomo Bakelite Co Ltd filed Critical Sumitomo Bakelite Co Ltd
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Abstract

To provide a sheet-like resin composition that prevents cracking and chipping in a sheet and has excellent processing stability for LDS.SOLUTION: A sheet-like thermosetting resin composition for use in laser direct structuring (LDS) comprises an epoxy resin, a (meth)acryl compound, an inorganic filler, a non-conductive metal compound that forms a metal core by irradiation with an active energy ray.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、LDS用熱硬化性樹脂組成物に関する。 The present invention relates to a thermosetting resin composition for LDS.

LASER DIRECT STRUCTURING(LDS)に用いられる樹脂材料に関する技術として、特許文献1(特開2015−134903号公報)に記載のものがある。同文献には、LDS添加剤を含む熱可塑性樹脂組成物を連続繊維に含浸させてなる繊維強化樹脂材料について記載されており、熱可塑性樹脂としてポリアミド樹脂が使用されている。 As a technique relating to a resin material used for LASER DIRECT STRUCTURING (LDS), there is one described in Patent Document 1 (Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-134903). The document describes a fiber-reinforced resin material obtained by impregnating continuous fibers with a thermoplastic resin composition containing an LDS additive, and a polyamide resin is used as the thermoplastic resin.

特開2015−134903号公報JP-A-2015-134903

本発明者は、LDSによる加工安定性に優れるシート状の樹脂組成物を提供することを新たに考えた。すると、シート状の樹脂組成物においては、シートの割れや欠けを抑制することが重要であることが新たに見出された。 The present inventor has newly considered to provide a sheet-shaped resin composition having excellent processing stability by LDS. Then, it was newly found that it is important to suppress cracking and chipping of the sheet in the sheet-shaped resin composition.

そこで、本発明は、シートの割れや欠けが抑制されるとともに、LDSによる加工安定性に優れる、シート状の樹脂組成物を提供する。 Therefore, the present invention provides a sheet-shaped resin composition in which cracking and chipping of the sheet are suppressed and processing stability by LDS is excellent.

本発明によれば、
LASER DIRECT STRUCTURING(LDS)に用いるシート状のLDS用熱硬化性樹脂組成物であって、
エポキシ樹脂と、
(メタ)アクリル化合物と、
無機充填材と、
活性エネルギー線の照射により金属核を形成する非導電性金属化合物と、
を含む、LDS用熱硬化性樹脂組成物が提供される。
According to the present invention
A sheet-shaped thermosetting resin composition for LDS used for LASER DIRECT STRUCTURING (LDS).
Epoxy resin and
(Meta) acrylic compounds and
Inorganic filler and
Non-conductive metal compounds that form metal nuclei by irradiation with active energy rays,
A thermosetting resin composition for LDS is provided.

なお、これらの各構成の任意の組み合わせや、本発明の表現を方法、装置などの間で変換したものもまた本発明の態様として有効である。
たとえば、本発明によれば、前記本発明におけるLDS用熱硬化性樹脂組成物の硬化物を備える、樹脂成形品を得ることもできる。
It should be noted that any combination of these configurations and the conversion of the expression of the present invention between methods, devices and the like are also effective as aspects of the present invention.
For example, according to the present invention, it is possible to obtain a resin molded product comprising a cured product of the thermosetting resin composition for LDS according to the present invention.

また、本発明によれば、
三次元構造を有する前記本発明における樹脂成形品と、
前記樹脂成形品の表面に形成された三次元回路と、を備える、三次元成形回路部品を得ることもできる。
Further, according to the present invention.
The resin molded product of the present invention having a three-dimensional structure and
It is also possible to obtain a three-dimensional molded circuit component including a three-dimensional circuit formed on the surface of the resin molded product.

また、本発明によれば、
基板と、
前記基板に搭載された半導体素子または半導体チップと、
前記半導体素子または前記半導体チップを封止する封止材と、
を有し、
前記封止材が前記本発明におけるLDS用熱硬化性樹脂組成物の硬化物により構成された封止層を有する、封止体を得ることもできる。
Further, according to the present invention.
With the board
With the semiconductor element or semiconductor chip mounted on the substrate,
With a sealing material for sealing the semiconductor element or the semiconductor chip,
Have,
It is also possible to obtain a sealed body in which the sealing material has a sealing layer composed of a cured product of the thermosetting resin composition for LDS according to the present invention.

本発明によれば、シートの割れや欠けが抑制されるとともに、LDSによる加工安定性に優れる、シート状の樹脂組成物を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a sheet-shaped resin composition in which cracking or chipping of a sheet is suppressed and processing stability by LDS is excellent.

本実施形態における封止体の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structural example of the sealing body in this embodiment.

以下、本発明の実施形態について、各成分の具体例を挙げて説明する。なお、本実施形態において、組成物は、各成分をいずれも単独でまたは2種以上を組み合わせて含むことができる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to specific examples of each component. In addition, in this embodiment, the composition may contain each component individually or in combination of two or more kinds.

(LDS用熱硬化性樹脂組成物)
本実施形態において、熱硬化性樹脂組成物は、レーザーダイレクトストラクチャリング(LASER DIRECT STRUCTURING:LDS)に用いるLDS用熱硬化性樹脂組成物である。LDSとは、三次元成形回路部品(Molded Interconnect Device:MID)の製造方法の一つである。LDSにおいては、具体的には、LDS添加剤を含有する樹脂成形品の表面に活性エネルギー線を照射して金属核を生成し、その金属核をシードとして、無電解めっき等のめっき処理により、エネルギー線照射領域にめっきパターンを形成する。このめっきパターンに基づき配線、回路等の導電性部材を形成することができる。
(Thermosetting resin composition for LDS)
In the present embodiment, the thermosetting resin composition is a thermosetting resin composition for LDS used for laser direct structuring (LASER DIRECT STRUCTURING: LDS). LDS is one of the methods for manufacturing a three-dimensional molded circuit component (MID). In LDS, specifically, the surface of a resin molded product containing an LDS additive is irradiated with active energy rays to generate metal nuclei, and the metal nuclei are used as seeds by plating treatment such as electroless plating. A plating pattern is formed in the energy ray irradiation region. Conductive members such as wirings and circuits can be formed based on this plating pattern.

本実施形態において、LDS用熱硬化性樹脂組成物(以下、単に「熱硬化性樹脂組成物」ともよぶ。)は、シート状であって、エポキシ樹脂と、(メタ)アクリル化合物と、無機充填材と、活性エネルギー線の照射により金属核を形成する非導電性金属化合物と、を含む。 In the present embodiment, the thermosetting resin composition for LDS (hereinafter, also simply referred to as “thermosetting resin composition”) is in the form of a sheet, and is filled with an epoxy resin, a (meth) acrylic compound, and an inorganic substance. It contains a material and a non-conductive metal compound that forms a metal nucleus by irradiation with active energy rays.

本実施形態においては、LDS用の樹脂組成物として、熱硬化性樹脂組成物を用い、その構成成分を適切に選択するとともに、熱硬化性樹脂組成物をシート状とすることにより、シートの割れ欠けが好適に抑制されるとともに、LDSによる加工安定性に優れる樹脂組成物を得ることができる。このため、本実施形態におけるLDS用の樹脂組成物を用いることにより、たとえば製造安定性およびLDSによる加工安定性に優れる封止体を得ることができる。 In the present embodiment, a thermosetting resin composition is used as the resin composition for LDS, its constituent components are appropriately selected, and the thermosetting resin composition is formed into a sheet to crack the sheet. It is possible to obtain a resin composition in which chipping is suitably suppressed and processing stability by LDS is excellent. Therefore, by using the resin composition for LDS in the present embodiment, for example, a sealed body having excellent production stability and processing stability by LDS can be obtained.

(エポキシ樹脂)
エポキシ樹脂として、1分子内にエポキシ基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を使用することが可能である。このようなエポキシ樹脂の具体例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールM型エポキシ樹脂(4,4'−(1,3−フェニレンジイソプリジエン)ビスフェノール型エポキシ樹脂)、ビスフェノールP型エポキシ樹脂(4,4'−(1,4−フェニレンジイソプリジエン)ビスフェノール型エポキシ樹脂)、ビスフェノールZ型エポキシ樹脂(4,4'−シクロヘキシジエンビスフェノール型エポキシ樹脂)などのビスフェノール型エポキシ樹脂;フェノールノボラック型エポキシ樹脂、臭素化フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェノール基エタン型ノボラック型エポキシ樹脂、縮合環芳香族炭化水素構造を有するノボラック型エポキシ樹脂などのノボラック型エポキシ樹脂;ビフェニル型エポキシ樹脂;キシリレン型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂などのアラルキル型エポキシ樹脂;ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレンジオール型エポキシ樹脂、2官能ないし4官能エポキシ型ナフタレン樹脂、ビナフチル型エポキシ樹脂、ナフタレンアラルキル型エポキシ樹脂などのナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂;アントラセン型エポキシ樹脂;フェノキシ型エポキシ樹脂;ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂;ノルボルネン型エポキシ樹脂;アダマンタン型エポキシ樹脂;フルオレン型エポキシ樹脂、リン含有エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレートなどの複素環式エポキシ樹脂、N,N,N',N'−テトラグリシジルメタキシレンジアミン、N,N,N',N'−テトラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサン、N,N−ジグリシジルアニリンなどのグリシジルアミン類や、グリシジル(メタ)アクリレートとエチレン性不飽和二重結合を有する化合物との共重合物、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、ビスフェノールのジグリシジルエーテル化物、ナフタレンジオールのジグリシジルエーテル化物、フェノール類のグリシジルエーテル化物からなる群から選択される1種または2種以上が挙げられる。
(Epoxy resin)
As the epoxy resin, it is possible to use a monomer, an oligomer, or a polymer having two or more epoxy groups in one molecule. Specific examples of such epoxy resins include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol E type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, and bisphenol M type epoxy resin (4). , 4'-(1,3-phenylenediisopridiene) bisphenol type epoxy resin), bisphenol P type epoxy resin (4,4'-(1,4-phenylenediisopridiene) bisphenol type epoxy resin), bisphenol Bisphenol type epoxy resin such as Z type epoxy resin (4,4'-cyclohexidiene bisphenol type epoxy resin); phenol novolac type epoxy resin, brominated phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, tetraphenol group ethane type Novolak type epoxy resin such as novolak type epoxy resin and novolak type epoxy resin having a fused ring aromatic hydrocarbon structure; biphenyl type epoxy resin; aralkyl type epoxy resin such as xylylene type epoxy resin and biphenyl aralkyl type epoxy resin; naphthylene ether Epoxy resin having a naphthalene skeleton such as type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthalenediol type epoxy resin, bifunctional to tetrafunctional epoxy type naphthalene resin, binaphthyl type epoxy resin, naphthalene aralkyl type epoxy resin; Type epoxy resin; Phenoxy type epoxy resin; Dicyclopentadiene type epoxy resin; Norbornen type epoxy resin; Adamantane type epoxy resin; Fluorene type epoxy resin, phosphorus-containing epoxy resin, alicyclic epoxy resin, aliphatic chain epoxy resin, bisphenol A Novolak type epoxy resin, bixilenol type epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, tetraphenylol ethane type epoxy resin, heterocyclic epoxy resin such as triglycidyl isocyanurate, N, N, N', N'- Epoxy unsaturated double bonds with glycidyl amines such as tetraglycidyl metaxylene diamine, N, N, N', N'-tetraglycidyl bisaminomethylcyclohexane, N, N-diglycidyl aniline, and glycidyl (meth) acrylate. Copolymer with a compound having, epoxy resin having a butadiene structure, diglycidyl etherified product of bisphenol, naphthaleneide One or more selected from the group consisting of all diglycidyl ethers and phenolic glycidyl ethers can be mentioned.

これらの中でも、封止体に含まれる金属パターンや導体部との密着性を向上させる観点から、エポキシ樹脂は、好ましくはビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂およびトリス(ヒドロキシフェニル)メタン型エポキシ樹脂からなる群から選択される1種または2種以上を含み、より好ましくはビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂およびトリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂からなる群から選択される1種または2種以上を含む。これにより、封止体の低線膨張化および高弾性率化を図ることもできる。 Among these, from the viewpoint of improving the adhesion to the metal pattern and the conductor portion contained in the encapsulant, the epoxy resin is preferably a phenol aralkyl type epoxy resin having a biphenylene skeleton, a biphenyl type epoxy resin, and a tris (hydroxyphenyl). ) One or more selected from the group consisting of methane type epoxy resin, more preferably selected from the group consisting of biphenyl aralkyl type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin and trihydroxyphenylmethane type epoxy resin 1 Includes species or two or more. As a result, it is possible to increase the linear expansion and the elastic modulus of the sealed body.

熱硬化性樹脂組成物中のエポキシ樹脂の含有量は、シート状封止材の柔軟性向上の観点から、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは1質量%以上であり、より好ましくは3質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上である。
また、半導体パッケージ等の封止体の信頼性向上の観点から、エポキシ樹脂の含有量は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは30質量%以下であり、より好ましくは20質量%以下、さらに好ましくは15質量%以下である。
The content of the epoxy resin in the thermosetting resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, based on the entire thermosetting resin composition, from the viewpoint of improving the flexibility of the sheet-shaped encapsulant. Is 3% by mass or more, more preferably 5% by mass or more.
Further, from the viewpoint of improving the reliability of the encapsulant such as a semiconductor package, the content of the epoxy resin is preferably 30% by mass or less, more preferably 20% by mass, based on the entire thermosetting resin composition. Hereinafter, it is more preferably 15% by mass or less.

((メタ)アクリル化合物)
(メタ)アクリル化合物として、(メタ)アクリル樹脂、(メタ)アクリルオリゴマー、(メタ)アクリルモノマー等が挙げられる。
シートの割れや欠けを抑制する観点から、(メタ)アクリル化合物は、好ましくは(メタ)アクリルモノマーを含む。
(メタ)アクリルモノマーは、好ましくは、本実施形態におけるシート状の熱硬化性樹脂組成物の製造において使用される溶剤よりも沸点の高いモノマーである。
また、シート状の熱硬化性樹脂組成物の製造工程における(メタ)アクリルモノマーの揮発を抑制し、また、(メタ)アクリルモノマーと溶剤および樹脂組成物との間の化学的な反応により相互作用させを生じさせる観点から、(メタ)アクリルモノマーの沸点は、好ましくは100℃超であり、より好ましくは110℃以上、さらに好ましくは150℃以上である。こうすることで、シート状の熱硬化性樹脂組成物を、使用時の作業性を向上させることができる程度に柔軟性に優れたものとすることができる。
((Meta) acrylic compound)
Examples of the (meth) acrylic compound include (meth) acrylic resin, (meth) acrylic oligomer, and (meth) acrylic monomer.
From the viewpoint of suppressing cracking and chipping of the sheet, the (meth) acrylic compound preferably contains a (meth) acrylic monomer.
The (meth) acrylic monomer is preferably a monomer having a boiling point higher than that of the solvent used in the production of the sheet-shaped thermosetting resin composition in the present embodiment.
In addition, it suppresses the volatilization of the (meth) acrylic monomer in the manufacturing process of the sheet-shaped thermosetting resin composition, and also interacts by the chemical reaction between the (meth) acrylic monomer and the solvent and the resin composition. From the viewpoint of causing a squeeze, the boiling point of the (meth) acrylic monomer is preferably more than 100 ° C., more preferably 110 ° C. or higher, still more preferably 150 ° C. or higher. By doing so, the sheet-shaped thermosetting resin composition can be made excellent in flexibility to the extent that workability at the time of use can be improved.

(メタ)アクリルモノマーとしては、2−(メタ)アクリロイロキシエチルコハク酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルコハク酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルヘキサヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルメチルヘキサヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルメチルヘキサヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイルキシエチルフタル酸、2−(メタ)アクリロイルキシプロピルフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルテトラヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルテトラヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルメチルテトラヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシプロピルメチルテトラヒドロフタル酸、2−ヒドロキシ−1,3−ジ(メタ)アクリロキシプロパン、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロイロキシプロピル(メタ)アクリレート、1,4―シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、エチル−α−(ヒドロキシメチル)(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ターシャルブチル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、トリデシル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレート、イソステアリル(メタ)アクリレート、ベヘニル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、その他のアルキル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ターシャルブチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジンクモノ(メタ)アクリレート、ジンクジ(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール(メタ)アクリレート、トリフロロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフロロプロピル(メタ)アクリレート、2,2,3,3,4,4−ヘキサフロロブチル(メタ)アクリレート、パーフロロオクチル(メタ)アクリレート、パーフロロオクチルエチル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、メトキシエチル(メタ)アクリレート、ブトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、オクトキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ラウロキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ステアロキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、アリロキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、N,N'−メチレンビス(メタ)アクリルアミド、N,N'−エチレンビス(メタ)アクリルアミド、1,2−ジ(メタ)アクリルアミドエチレングリコール、ジ(メタ)アクリロイロキシメチルトリシクロデカン、2−(メタ)アクリロイロキシエチル、N−(メタ)アクリロイロキシエチルマレイミド、N−(メタ)アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタルイミド、N−(メタ)アクリロイロキシエチルフタルイミド、N−ビニル−2−ピロリドン、エトキシ化ビスフェノールA(メタ)アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールA(メタ)アクリレート等の多官能モノマー等が挙げられる。 Examples of the (meth) acrylic monomer include 2- (meth) acryloyloxyethyl succinic acid, 2- (meth) acryloyloxypropyl succinic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid, and 2- (meth). ) Acryloyloxypropylhexahydrophthalic acid, 2- (meth) acryloyloxyethylmethylhexahydrophthalic acid, 2- (meth) acryloyloxypropylmethylhexahydrophthalic acid, 2- (meth) acryloylxyethylphthalic acid , 2- (meth) acryloyloxypropylphthalic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl tetrahydrophthalic acid, 2- (meth) acryloyloxypropyltetrahydrophthalic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl methyltetrahydrophthalic acid Acid, 2- (meth) acryloyloxypropylmethyltetrahydrophthalic acid, 2-hydroxy-1,3-di (meth) acryloxypropane, tetramethylol methanetri (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-Hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, glycerindi (meth) acrylate, 2-hydroxy-3- (meth) acryloyloxypropyl (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol Mono (meth) acrylate, ethyl-α- (hydroxymethyl) (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, isobutyl ( Meta) acrylate, Tarsal butyl (meth) acrylate, Isodecyl (meth) acrylate, Lauryl (meth) acrylate, Tridecyl (meth) acrylate, Cetyl (meth) acrylate, Stearyl (meth) acrylate, Isoamyl (meth) acrylate, Isostearyl (Meta) acrylate, behenyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, other alkyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, tarsalbutylcyclohexyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, Benzyl (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, trimethylpropantri (meth) acrylate, zincmo No (meth) acrylate, zinc di (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, diethylaminoethyl (meth) acrylate, neopentyl glycol (meth) acrylate, trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3 -Tetrafluoropropyl (meth) acrylate, 2,2,3,3,4,4-hexafluorobutyl (meth) acrylate, perfluorooctyl (meth) acrylate, perfluorooctylethyl (meth) acrylate, ethylene glycol di ( Meta) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, 1, 3-Butandiol di (meth) acrylate, 1,10-decanediol di (meth) acrylate, tetramethylene glycol di (meth) acrylate, methoxyethyl (meth) acrylate, butoxyethyl (meth) acrylate, ethoxydiethylene glycol (meth) Acrylate, methoxypolyalkylene glycol mono (meth) acrylate, octoxypolyalkylene glycol mono (meth) acrylate, lauroxypolyalkylene glycol mono (meth) acrylate, stearoxypolyalkylene glycol mono (meth) acrylate, allyloxypolyalkylene glycol Mono (meth) acrylate, nonylphenoxypolyalkylene glycol mono (meth) acrylate, N, N'-methylenebis (meth) acrylamide, N, N'-ethylenebis (meth) acrylamide, 1,2-di (meth) acrylamide ethylene Glycol, di (meth) acryloyloxymethyltricyclodecane, 2- (meth) acryloyloxyethyl, N- (meth) acryloyloxyethyl maleimide, N- (meth) acryloyloxyethyl hexahydrophthalimide, N- Examples thereof include polyfunctional monomers such as (meth) acryloyloxyethyl phthalimide, N-vinyl-2-pyrrolidone, ethoxylated bisphenol A (meth) acrylate, and propoxylated bisphenol A (meth) acrylate.

熱硬化性樹脂組成物中の(メタ)アクリルモノマーの含有量は、シートの割れや欠けを抑制する観点から、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは0.01質量%以上であり、より好ましくは0.05質量%以上、さらに好ましくは0.5質量%以上である。
また、同様の観点から、(メタ)アクリルモノマーの含有量は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは3質量%以下であり、より好ましくは2質量%以下、さらに好ましくは1質量%以下である。
The content of the (meth) acrylic monomer in the thermosetting resin composition is preferably 0.01% by mass or more with respect to the entire thermosetting resin composition from the viewpoint of suppressing cracking or chipping of the sheet. , More preferably 0.05% by mass or more, still more preferably 0.5% by mass or more.
From the same viewpoint, the content of the (meth) acrylic monomer is preferably 3% by mass or less, more preferably 2% by mass or less, still more preferably 1% by mass, based on the entire thermosetting resin composition. % Or less.

(無機充填材)
無機充填材は、たとえば半導体封止材料に用いられているものとすることができる。具体的には、無機充填剤として、溶融破砕シリカ、溶融球状シリカ、結晶シリカ、2次凝集シリカ等のシリカ;アルミナ;チタンホワイト;水酸化アルミニウム;タルク;クレー;マイカ;ガラス繊維等が挙げられる。これらの中でも、シリカが好ましく、溶融球状シリカがより好ましい。また、粒子形状は限りなく真球状であることが好ましい。また、粒子の大きさの異なるものを混合することにより無機充填量を多くすることができるが、その平均粒子径d50は、狭小領域への充填性向上の観点から、好ましくは0.01μm以上であり、より好ましくは0.1μm以上、さらに好ましくは1μm以上であり、また、好ましくは150μm以下であり、より好ましくは100μm以下、さらに好ましくは50μm以下、さらにより好ましくは20μm以下、よりいっそう好ましくは10μm以下である。
なお、無機充填材の平均粒子径d50は、たとえばレーザー回折式粒度分布測定装置(HORIBA社製、LA−500)を用いて測定することが可能である。
(Inorganic filler)
The inorganic filler can be used, for example, as a semiconductor encapsulating material. Specific examples of the inorganic filler include fused crushed silica, fused spherical silica, crystalline silica, secondary agglomerated silica and other silica; alumina; titanium white; aluminum hydroxide; talc; clay; mica; glass fiber and the like. .. Among these, silica is preferable, and molten spherical silica is more preferable. Moreover, it is preferable that the particle shape is infinitely spherical. Further, the inorganic filling amount can be increased by mixing particles having different particle sizes, but the average particle size d 50 is preferably 0.01 μm or more from the viewpoint of improving the filling property in a narrow region. It is more preferably 0.1 μm or more, still more preferably 1 μm or more, and preferably 150 μm or less, more preferably 100 μm or less, still more preferably 50 μm or less, still more preferably 20 μm or less, and even more preferably. Is 10 μm or less.
The average particle size d 50 of the inorganic filler can be measured using, for example, a laser diffraction type particle size distribution measuring device (LA-500, manufactured by HORIBA).

熱硬化性樹脂組成物中の無機充填材の含有量は、シートの割れや欠けを抑制する観点から、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは50質量%以上であり、より好ましくは55質量%以上、さらに好ましくは62質量%以上である。
また、封止材の充填性向上の観点から、無機充填材の含有量は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは93質量%以下であり、より好ましくは90質量%以下、さらに好ましくは85質量%以下である。
The content of the inorganic filler in the thermosetting resin composition is preferably 50% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, based on the entire thermosetting resin composition from the viewpoint of suppressing cracking or chipping of the sheet. It is 55% by mass or more, more preferably 62% by mass or more.
Further, from the viewpoint of improving the filling property of the sealing material, the content of the inorganic filler is preferably 93% by mass or less, more preferably 90% by mass or less, and further, with respect to the entire thermosetting resin composition. It is preferably 85% by mass or less.

(活性エネルギー線の照射により金属核を形成する非導電性金属化合物)
活性エネルギー線の照射により金属核を形成する非導電性金属化合物(以下、単に「非導電性金属化合物」とも呼ぶ。)は、活性エネルギー線の照射により金属核を形成する非導電性金属化合物である。かかる化合物は、LDS添加剤として作用する。非導電性金属化合物は、活性エネルギー線の照射により金属核を形成できるものであれば限定されない。詳細なメカニズムは定かでないが、このような非導電性金属化合物は、吸収可能な波長領域を有するYAGレーザー等の活性エネルギー線が照射されると、金属核が活性化して(たとえば、還元されて)、金属めっきが可能な金属核が生成される、と考えられる。そして、非導電性金属化合物が分散された熱硬化性樹脂組成物の硬化物の表面に対して活性エネルギー線を照射すると、その照射面に、金属めっきが可能な金属核を有するシード領域が形成される。得られたシード領域を利用することにより、熱硬化性樹脂組成物の硬化物の表面に、回路などのめっきパターンを形成することが可能になる。
(Non-conductive metal compound that forms metal nuclei by irradiation with active energy rays)
A non-conductive metal compound that forms a metal nucleus by irradiation with active energy rays (hereinafter, also simply referred to as “non-conductive metal compound”) is a non-conductive metal compound that forms a metal nucleus by irradiation with active energy rays. be. Such compounds act as LDS additives. The non-conductive metal compound is not limited as long as it can form a metal nucleus by irradiation with active energy rays. Although the detailed mechanism is not clear, such non-conductive metal compounds are activated (for example, reduced) when irradiated with active energy rays such as a YAG laser having an absorbable wavelength region. ), It is considered that a metal nucleus capable of metal plating is generated. Then, when the surface of the cured product of the thermosetting resin composition in which the non-conductive metal compound is dispersed is irradiated with active energy rays, a seed region having a metal core capable of metal plating is formed on the irradiated surface. Will be done. By utilizing the obtained seed region, it becomes possible to form a plating pattern such as a circuit on the surface of the cured product of the thermosetting resin composition.

非導電性金属化合物は、たとえば、(i)スピネル型の金属酸化物、(ii)周期表第3族〜第12族の中から選択されており、かつ当該族が隣接する2以上の遷移金属元素を有する金属酸化物、および、(iii)錫含有酸化物からなる群から選択される1種以上を含む。 The non-conductive metal compound is selected from, for example, (i) a spinel-type metal oxide, and (ii) groups 3 to 12 of the periodic table, and two or more transition metals having the group adjacent to each other. Includes one or more selected from the group consisting of elemental metal oxides and (iii) tin-containing oxides.

上記(i)において、スピネル型の構造とは、複酸化物でAB24型の化合物(AとBは金属元素である。)にみられる代表的結晶構造型の一つである。スピネル構造は、順スピネル構造、(AとBが一部入れ替わった)逆スピネル構造(B(AB)O4)のいずれでもよいが、順スピネル構造がより好ましく使用できる。この場合、順スピネル構造のAが銅であってもよい。 In the above (i), the spinel type structure is one of the typical crystal structure types found in compound AB 2 O 4 type compounds (A and B are metal elements). The spinel structure may be either a forward spinel structure or an inverted spinel structure (B (AB) O 4 ) in which A and B are partially exchanged, but the forward spinel structure can be used more preferably. In this case, A of the forward spinel structure may be copper.

スピネル型の金属酸化物を構成する金属原子としては、たとえば、銅やクロムを用いることができる。つまり、非導電性金属化合物は、銅またはクロムを含むスピネル型の金属酸化物を含有することができる。たとえば、銅メッキパターンとの密着性を高める観点から、金属原子として銅を用いることができる。 As the metal atom constituting the spinel-type metal oxide, for example, copper or chromium can be used. That is, the non-conductive metal compound can contain a spinel-type metal oxide containing copper or chromium. For example, copper can be used as the metal atom from the viewpoint of enhancing the adhesion to the copper plating pattern.

また、金属原子として、銅やクロムの他に、アンチモン、スズ、鉛、インジウム、鉄、コバルト、ニッケル、亜鉛、カドミウム、銀、ビスマス、ヒ素、マンガン、マグネシウム、カルシウムなどの金属原子を微量含有していてもよい。これらの微量金属原子は酸化物として存在していてもよい。また、微量金属原子の含有量は、それぞれ、金属酸化物中の金属原子全体に対して、0.001質量%以下とすることができる。 In addition to copper and chromium, it contains trace amounts of metal atoms such as antimony, tin, lead, indium, iron, cobalt, nickel, zinc, cadmium, silver, bismuth, arsenic, manganese, magnesium, and calcium. May be. These trace metal atoms may exist as oxides. Further, the content of trace metal atoms can be 0.001% by mass or less with respect to the total amount of metal atoms in the metal oxide.

スピネル型の金属酸化物は、熱的に高安定性があり、酸性またはアルカリ性の水性金属化浴において耐久性を有することができる。スピネル型の金属酸化物は、たとえば、熱硬化性樹脂組成物の分散性を適切に制御することにより、高酸化物の状態で、熱硬化性樹脂組成物の硬化物の表面における未照射領域に存在することができる。以上のようなスピネル型の金属酸化物の一例として、たとえば、特表2004−534408号公報に記載されているものが挙げられる。 Spinel-type metal oxides are thermally stable and can be durable in acidic or alkaline aqueous metallization baths. The spinel-type metal oxide, for example, by appropriately controlling the dispersibility of the thermosetting resin composition, in a high oxide state, forms an unirradiated region on the surface of the cured product of the thermosetting resin composition. Can exist. As an example of the spinel-type metal oxide as described above, for example, those described in JP-A-2004-534408 can be mentioned.

上記(ii)の遷移金属元素を有する金属酸化物としては、周期表第3族〜第12族の中から選択されており、かつ当該族が隣接する2以上の遷移金属元素を有する金属酸化物である。ここで、上記遷移金属元素に属する金属は、周期表のn族の金属と、n+1族の金属とを含有すると表すことができる。上記遷移金属元素を有する金属酸化物は、これら金属の酸化物を単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。 The metal oxide having the transition metal element of (ii) is selected from the groups 3 to 12 of the periodic table, and the metal oxide having two or more transition metal elements adjacent to the group is selected. Is. Here, the metal belonging to the transition metal element can be expressed as containing a metal of group n in the periodic table and a metal of group n + 1. As the metal oxide having the transition metal element, the oxides of these metals may be used alone or in combination of two or more.

周期表のn族に属する金属としては、たとえば、3族(スカンジウム、イットリウム)、4族(チタン、ジルコニウムなど)、5族(バナジウム、ニオブなど)、6族(クロム、モリブテンなど)、7族(マンガンなど)、8族(鉄、ルテニウムなど)、9族(コバルト、ロジウム、イリジウムなど)、10族(ニッケル、パラジウム、白金)、11族(銅、銀、金など)、12族(亜鉛、カドミウムなど)、13族(アルミニウム、ガリウム、インジウムなど)が挙げられる。 Metals belonging to Group n of the periodic table include, for example, Group 3 (scandium, ittrium), Group 4 (titanium, zirconium, etc.), Group 5 (vanadium, niobium, etc.), Group 6 (chromium, molybdenum, etc.), Group 7. Group 8 (iron, ruthenium, etc.), Group 9 (cobalt, rhodium, iridium, etc.), Group 10 (nickel, palladium, platinum), Group 11 (copper, silver, gold, etc.), Group 12 (zinc) , Cadmium, etc.), Group 13 (aluminum, gallium, indium, etc.).

周期表のn+1族の金属としては、たとえば、4族(チタン、ジルコニウムなど)、5族(バナジウム、ニオブなど)、6族(クロム、モリブテンなど)、7族(マンガンなど)、8族(鉄、ルテニウムなど)、9族(コバルト、ロジウム、イリジウムなど)、10族(ニッケル、パラジウム、白金)、11族(銅、銀、金など)、12族(亜鉛、カドミウムなど)、13族(アルミニウム、ガリウム、インジウムなど)が挙げられる。
以上のような遷移金属元素を有する金属酸化物の一例として、たとえば、特表2004−534408号公報に記載されているものが挙げられる。
Group n + 1 metals in the periodic table include, for example, Group 4 (titanium, zirconium, etc.), Group 5 (vanadium, niobium, etc.), Group 6 (chromium, molybdenum, etc.), Group 7 (manganese, etc.), Group 8 (iron, etc.). , Ruthenium, etc.), Group 9 (cobalt, rhodium, iridium, etc.), Group 10 (nickel, palladium, platinum), Group 11 (copper, silver, gold, etc.), Group 12 (zinc, cadmium, etc.), Group 13 (aluminum) , Gallium, indium, etc.).
As an example of the metal oxide having the transition metal element as described above, for example, those described in JP-A-2004-534408 can be mentioned.

また、上記(iii)の錫含有酸化物としては、少なくとも錫を含有する金属酸化物である。錫含有酸化物を構成する金属原子が、錫のほかにアンチモンを含んでもよい。このような錫含有酸化物は、酸化錫、酸化アンチモンを含有することができる。さらに具体的には、錫含有酸化物に含まれる金属成分中、90質量%以上が錫であり、5質量%以上がアンチモンであってもよい。この錫含有酸化物は、金属成分として、鉛および/または銅をさらに含有してもよい。具体的には、錫含有酸化物に含まれる金属成分においては、たとえば、90質量%以上が錫であり、5〜9質量%がアンチモンであり、0.01〜0.1質量%の範囲で鉛を含み、0.001〜0.01質量%の範囲で銅を含むことができる。このような錫含有酸化物は、たとえば、酸化錫および酸化アンチモンと、酸化鉛および酸化銅の1種以上とを含有することができる。なお、錫含有酸化物は、スピネル型の金属酸化物で例示された微量金属原子を含有してもよい。
また、錫含有酸化物は、上記(i)のスピネル型の金属酸化物または上記(ii)の遷移金属元素を有する金属酸化物と併用して使用してもよい。
The tin-containing oxide of (iii) is a metal oxide containing at least tin. The metal atom constituting the tin-containing oxide may contain antimony in addition to tin. Such tin-containing oxides can contain tin oxide and antimony oxide. More specifically, 90% by mass or more of the metal components contained in the tin-containing oxide may be tin, and 5% by mass or more may be antimony. The tin-containing oxide may further contain lead and / or copper as a metal component. Specifically, in the metal component contained in the tin-containing oxide, for example, 90% by mass or more is tin, 5 to 9% by mass is antimony, and the range is 0.01 to 0.1% by mass. It contains lead and can contain copper in the range of 0.001 to 0.01% by mass. Such tin-containing oxides can contain, for example, tin oxide and antimony oxide, and one or more of lead oxide and copper oxide. The tin-containing oxide may contain trace metal atoms exemplified by the spinel-type metal oxide.
Further, the tin-containing oxide may be used in combination with the spinel-type metal oxide of the above (i) or the metal oxide having the transition metal element of the above (ii).

熱硬化性樹脂組成物中の非導電性金属化合物の含有量は、熱硬化性樹脂組成物の硬化物において、めっき付き特性を良好なものとする観点から、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、たとえば2質量%以上であり、好ましくは4質量%以上、さらに好ましくは8質量%以上である。また、熱硬化性樹脂組成物の硬化物において、絶縁性の低下や誘電正接の増加を抑制する観点、および、非導電性金属化合物の形状が非球形の場合において、熱硬化性樹脂組成物の流動性を良好なものとする観点から、非導電性金属化合物の含有量は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、たとえば20質量%以下であり、好ましくは18質量%以下、さらに好ましくは15質量%以下である。 The content of the non-conductive metal compound in the thermosetting resin composition is adjusted with respect to the entire thermosetting resin composition from the viewpoint of improving the plating characteristics in the cured product of the thermosetting resin composition. For example, it is 2% by mass or more, preferably 4% by mass or more, and more preferably 8% by mass or more. Further, in the cured product of the thermosetting resin composition, from the viewpoint of suppressing a decrease in insulating property and an increase in dielectric tangent, and when the shape of the non-conductive metal compound is non-spherical, the thermosetting resin composition From the viewpoint of improving the fluidity, the content of the non-conductive metal compound is, for example, 20% by mass or less, preferably 18% by mass or less, more preferably 18% by mass or less, based on the entire thermosetting resin composition. It is 15% by mass or less.

また、熱硬化性樹脂組成物中の無機充填材および非導電性金属化合物の含有量の合計は、樹脂機械特性、樹脂強度の向上の観点から、熱硬化性樹脂組成物全体に対して好ましくは60質量%以上であり、より好ましくは70質量%以上、さらに好ましくは75質量%以上である。
また、成形性を向上する観点から、無機充填材および非導電性金属化合物の含有量の合計は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して好ましくは98質量%以下であり、より好ましくは95質量%以下、さらに好ましくは90質量%以下である。
Further, the total content of the inorganic filler and the non-conductive metal compound in the thermosetting resin composition is preferable with respect to the entire thermosetting resin composition from the viewpoint of improving the resin mechanical properties and the resin strength. It is 60% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, and further preferably 75% by mass or more.
From the viewpoint of improving moldability, the total content of the inorganic filler and the non-conductive metal compound is preferably 98% by mass or less, more preferably 95% by mass, based on the entire thermosetting resin composition. % Or less, more preferably 90% by mass or less.

(その他の成分)
本実施形態において、熱硬化性樹脂組成物は、上述の成分以外の成分を含んでもよい。
たとえば、熱硬化性樹脂組成物は、硬化剤および硬化促進剤の少なくとも一方をさらに含んでもよい。
(Other ingredients)
In the present embodiment, the thermosetting resin composition may contain components other than the above-mentioned components.
For example, the thermosetting resin composition may further contain at least one of a curing agent and a curing accelerator.

(硬化剤)
熱硬化性樹脂組成物は、硬化剤をさらに含んでもよい。硬化剤としては、たとえば重付加型の硬化剤、触媒型の硬化剤、および縮合型の硬化剤の3タイプに大別することができる。これらを単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(Hardener)
The thermosetting resin composition may further contain a curing agent. The curing agent can be roughly classified into three types, for example, a polyaddition type curing agent, a catalytic type curing agent, and a condensation type curing agent. These may be used alone or in combination of two or more.

重付加型の硬化剤は、たとえば、ジエチレントリアミン(DETA)、トリエチレンテトラミン(TETA)、メタキシレリレンジアミン(MXDA)などの脂肪族ポリアミン、ジアミノジフェニルメタン(DDM)、m−フェニレンジアミン(MPDA)、ジアミノジフェニルスルホン(DDS)などの芳香族ポリアミンのほか、ジシアンジアミド(DICY)、有機酸ジヒドラジドなどを含むポリアミン化合物;ヘキサヒドロ無水フタル酸(HHPA)、メチルテトラヒドロ無水フタル酸(MTHPA)などの脂環族酸無水物、無水トリメリット酸(TMA)、無水ピロメリット酸(PMDA)、ベンゾフェノンテトラカルボン酸(BTDA)などの芳香族酸無水物などを含む酸無水物;トリヒドロキシフェニルメタン型フェノール樹脂、ビフェニルアラルキル型等のアラルキル型フェノール樹脂、ノボラック型フェノール樹脂、ポリビニルフェノール、などのフェノール樹脂硬化剤;ポリサルファイド、チオエステル、チオエーテルなどのポリメルカプタン化合物;イソシアネートプレポリマー、ブロック化イソシアネートなどのイソシアネート化合物;カルボン酸含有ポリエステル樹脂などの有機酸類からなる群から選択される1種または2種以上を含む。 Heavy addition hardeners include, for example, aliphatic polyamines such as diethylenetriamine (DETA), triethylenetetramine (TETA), metaxylerylene diamine (MXDA), diaminodiphenylmethane (DDM), m-phenylenediamine (MPDA), In addition to aromatic polyamines such as diaminodiphenylsulfone (DDS), polyamine compounds containing dicyandiamide (DICY), organic acid dihydrazide and the like; alicyclic acids such as hexahydrophthalic anhydride (HHPA) and methyltetrahydrophthalic anhydride (MTHPA). Acid anhydrides containing anhydrides, aromatic acid anhydrides such as trimellitic anhydride (TMA), pyromellitic anhydride (PMDA), benzophenone tetracarboxylic acid (BTDA); trihydroxyphenylmethane type phenolic resin, biphenyl aralkyl Aralkyl type phenol resin such as mold, novolak type phenol resin, polyvinyl phenol, etc. Phenolic resin curing agent; polymercaptan compound such as polysulfide, thioester, thioether; isocyanate compound such as isocyanate prepolymer, blocked isocyanate; carboxylic acid-containing polyester Includes one or more selected from the group consisting of organic acids such as resins.

触媒型の硬化剤は、たとえば、ベンジルジメチルアミン(BDMA)、2,4,6−トリスジメチルアミノメチルフェノール(DMP−30)などの3級アミン化合物;2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール(EMI24)などのイミダゾール化合物;BF3錯体などのルイス酸からなる群から選択される1種または2種以上を含む。 Catalytic curing agents are tertiary amine compounds such as, for example, benzyldimethylamine (BDMA), 2,4,6-trisdimethylaminomethylphenol (DMP-30); 2-methylimidazole, 2-ethyl-4- Includes one or more selected from the group consisting of imidazole compounds such as methylimidazole (EMI24); Lewis acids such as the BF 3 complex.

縮合型の硬化剤は、たとえば、レゾール型フェノール樹脂;メチロール基含有尿素樹脂などの尿素樹脂;メチロール基含有メラミン樹脂などのメラミン樹脂からなる群から選択される1種または2種以上を含む。 The condensation type curing agent includes, for example, one or more selected from the group consisting of a resol type phenol resin; a urea resin such as a methylol group-containing urea resin; and a melamine resin such as a methylol group-containing melamine resin.

これらの中でも、半導体パッケージ等の封止体の信頼性向上の観点から、熱硬化性樹脂組成物は、好ましくはフェノール樹脂硬化剤を含む。 Among these, the thermosetting resin composition preferably contains a phenol resin curing agent from the viewpoint of improving the reliability of the encapsulant such as a semiconductor package.

熱硬化性樹脂組成物中の硬化剤の含有量は、成形時において、優れた流動性を実現し、充填性や成形性の向上を図る観点から、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは0.5質量%以上であり、より好ましくは1質量%以上、さらに好ましくは2質量%以上、さらにより好ましくは3質量%以上である。
また、封止体中に含まれる電子部品の耐湿信頼性や耐リフロー性を向上させる観点、および、封止体の反りを抑制する観点から、硬化剤の含有量は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、好ましくは15質量%以下であり、より好ましくは12質量%以下、さらに好ましくは8質量%以下である。
The content of the curing agent in the thermosetting resin composition is higher than that of the entire thermosetting resin composition from the viewpoint of realizing excellent fluidity at the time of molding and improving the filling property and moldability. It is preferably 0.5% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, still more preferably 2% by mass or more, and even more preferably 3% by mass or more.
Further, from the viewpoint of improving the moisture resistance reliability and reflow resistance of the electronic components contained in the encapsulant and from the viewpoint of suppressing the warp of the encapsulant, the content of the curing agent is the thermosetting resin composition. It is preferably 15% by mass or less, more preferably 12% by mass or less, and further preferably 8% by mass or less with respect to the whole.

(硬化促進剤)
熱硬化性樹脂組成物は、硬化促進剤をさらに含んでもよい。硬化促進剤は、熱硬化性樹脂と硬化剤との架橋反応を促進させるものであればよく、一般の熱硬化性樹脂組成物に使用するものを用いることができる。
(Curing accelerator)
The thermosetting resin composition may further contain a curing accelerator. The curing accelerator may be any as long as it promotes the cross-linking reaction between the thermosetting resin and the curing agent, and those used in general thermosetting resin compositions can be used.

硬化促進剤は、たとえば有機ホスフィン、テトラ置換ホスホニウム化合物、ホスホベタイン化合物、ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物、ホスホニウム化合物とシラン化合物との付加物等のリン原子含有化合物;1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセン−7、ベンジルジメチルアミン、2−メチルイミダゾール等が例示されるアミジンや3級アミン、上記アミジンやアミンの4級塩等の窒素原子含有化合物から選択される1種類または2種類以上を含むことができる。これらの中でも、硬化性を向上させる観点からはリン原子含有化合物を含むことがより好ましい。また、成形性と硬化性のバランスを向上させる観点からは、テトラ置換ホスホニウム化合物、ホスホベタイン化合物、ホスフィン化合物とキノン化合物との付加物、ホスホニウム化合物とシラン化合物との付加物等の潜伏性を有するものを含むことがより好ましい。 The curing accelerator is a phosphorus atom-containing compound such as an organic phosphine, a tetra-substituted phosphonium compound, a phosphobetaine compound, an adduct of a phosphine compound and a quinone compound, an adduct of a phosphonium compound and a silane compound; 5.4.0] One selected from nitrogen atom-containing compounds such as amidines and tertiary amines such as undecene-7, benzyldimethylamine and 2-methylimidazole, and quaternary salts of the above amidines and amines, or Two or more types can be included. Among these, it is more preferable to contain a phosphorus atom-containing compound from the viewpoint of improving curability. Further, from the viewpoint of improving the balance between moldability and curability, it has latent properties such as a tetra-substituted phosphonium compound, a phosphobetaine compound, an adduct of a phosphine compound and a quinone compound, and an adduct of a phosphonium compound and a silane compound. It is more preferable to include one.

熱硬化性樹脂組成物の硬化特性をより好ましいものとする観点から、硬化促進剤は好ましくは有機ホスフィンを含み、より好ましくは有機ホスフィンである。有機ホスフィンとしては、たとえばエチルホスフィン、フェニルホスフィン等の第1ホスフィン;ジメチルホスフィン、ジフェニルホスフィン等の第2ホスフィン;トリメチルホスフィン、トリエチルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン等の第3ホスフィンが挙げられる。有機ホスフィンは好ましくは第3ホスフィンであり、より好ましくはトリフェニルホスフィンである。 From the viewpoint of making the curing characteristics of the thermosetting resin composition more preferable, the curing accelerator preferably contains organic phosphine, and more preferably organic phosphine. Examples of the organic phosphine include a first phosphine such as ethylphosphine and phenylphosphine; a second phosphine such as dimethylphosphine and diphenylphosphine; and a third phosphine such as trimethylphosphine, triethylphosphine, tributylphosphine and triphenylphosphine. The organic phosphine is preferably a third phosphine, more preferably triphenylphosphine.

熱硬化性樹脂組成物が硬化促進剤を含むとき、硬化促進剤の含有量は、成形時における硬化性を効果的に向上させる観点から、熱硬化性樹脂組成物の全体に対して好ましくは0.05質量%以上であり、より好ましくは0.1質量%以上であり、さらに好ましくは0.15質量%以上である。
また、成形時における流動性の向上を図る観点から、硬化促進剤の含有量は、熱硬化性樹脂組成物の全体に対して好ましくは1質量%以下であり、より好ましくは0.8質量%以下、さらに好ましくは0.5質量%以下である。
When the thermosetting resin composition contains a curing accelerator, the content of the curing accelerator is preferably 0 with respect to the entire thermosetting resin composition from the viewpoint of effectively improving the curability during molding. It is 0.05% by mass or more, more preferably 0.1% by mass or more, and further preferably 0.15% by mass or more.
Further, from the viewpoint of improving the fluidity during molding, the content of the curing accelerator is preferably 1% by mass or less, more preferably 0.8% by mass, based on the entire thermosetting resin composition. Hereinafter, it is more preferably 0.5% by mass or less.

また、熱硬化性樹脂組成物は、上述の非導電性金属化合物のほかに、少なくとも1種類の有機性の熱安定性金属キレート錯塩を含有していてもよい。 Further, the thermosetting resin composition may contain at least one kind of organic thermostable metal chelate complex salt in addition to the above-mentioned non-conductive metal compound.

また、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物には、必要に応じて、たとえば、離型剤、難燃剤、イオン捕捉剤、着色剤、低応力材、シリコーン、カップリング剤および酸化防止剤等の添加剤を含有することができる。これらを単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。
熱硬化性樹脂組成物中のこれら各成分の量は、熱硬化性樹脂組成物全体に対して、それぞれ、0.01〜2質量%程度の量とすることができる。
Further, the thermosetting resin composition of the present embodiment may contain, for example, a mold release agent, a flame retardant, an ion scavenger, a colorant, a low stress material, a silicone, a coupling agent, an antioxidant and the like, if necessary. Can contain the additives of. These may be used alone or in combination of two or more.
The amount of each of these components in the thermosetting resin composition can be about 0.01 to 2% by mass, respectively, with respect to the entire thermosetting resin composition.

また、熱硬化性樹脂組成物は、めっき付き特性を向上させる観点から、好ましくは、上記着色剤として用いるカーボンブラックなどのカーボンを含有しない。 Further, the thermosetting resin composition preferably does not contain carbon such as carbon black used as the colorant from the viewpoint of improving the plating characteristics.

本実施形態において、シート状の熱硬化性樹脂組成物の製造方法としては、たとえば、各成分、添加剤などを事前に溶融混合、溶解混合することで得られる溶液を、コーターを用いて、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム等の下地材の上に塗布し、シート化する方法が挙げられる。 In the present embodiment, as a method for producing a sheet-shaped thermosetting resin composition, for example, a solution obtained by previously melt-mixing and dissolving-mixing each component, additive, etc. is prepared by using a coater to prepare polyethylene. Examples thereof include a method of applying the film on a base material such as a terephthalate (PET) film to form a sheet.

熱硬化性樹脂組成物のシート厚さは、シートの割れや欠けの抑制の観点、およびLDSによる加工安定性向上の観点から、好ましくは10μm以上であり、より好ましくは30μm以上、さらに好ましくは50μm以上である。
また、溶剤等の揮発時にボイドが生じるのを抑制する観点から、熱硬化性樹脂組成物のシート厚さは、好ましくは300μm以下であり、より好ましくは200μm以下、さらに好ましくは150μm以下である。
The sheet thickness of the thermosetting resin composition is preferably 10 μm or more, more preferably 30 μm or more, still more preferably 50 μm, from the viewpoint of suppressing cracking or chipping of the sheet and improving the processing stability by LDS. That is all.
Further, from the viewpoint of suppressing the formation of voids when the solvent or the like is volatilized, the sheet thickness of the thermosetting resin composition is preferably 300 μm or less, more preferably 200 μm or less, still more preferably 150 μm or less.

熱硬化性樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度は、耐熱性向上の観点から、好ましくは100℃以上であり、より好ましくは110℃以上、さらに好ましくは120℃以上である。
また、半導体パッケージ等の封止体の信頼性向上の観点から、熱硬化性樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度は、好ましくは200℃以下であり、より好ましくは190℃以下、さらに好ましくは180℃以下である。
The glass transition temperature of the cured product of the thermosetting resin composition is preferably 100 ° C. or higher, more preferably 110 ° C. or higher, still more preferably 120 ° C. or higher, from the viewpoint of improving heat resistance.
Further, from the viewpoint of improving the reliability of the encapsulant such as a semiconductor package, the glass transition temperature of the cured product of the thermosetting resin composition is preferably 200 ° C. or lower, more preferably 190 ° C. or lower, and further preferably 190 ° C. or lower. It is 180 ° C. or lower.

熱硬化性樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度未満の温度領域の線膨張係数は、封止体の寸法安定性向上の観点から、好ましくは5ppm/℃以上であり、より好ましくは7ppm/℃以上、さらに好ましくは10ppm/℃以上である。
また、同様の観点から、熱硬化性樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度未満の温度領域の線膨張係数は、好ましくは30ppm/℃以下であり、より好ましくは25ppm/℃以下、さらに好ましくは20ppm/℃以下である。
The coefficient of linear expansion of the cured product of the thermosetting resin composition in a temperature range lower than the glass transition temperature is preferably 5 ppm / ° C. or higher, more preferably 7 ppm / ° C. from the viewpoint of improving the dimensional stability of the sealed body. Above, more preferably 10 ppm / ° C. or more.
From the same viewpoint, the coefficient of linear expansion of the cured product of the thermosetting resin composition in a temperature region lower than the glass transition temperature is preferably 30 ppm / ° C. or less, more preferably 25 ppm / ° C. or less, still more preferably. It is 20 ppm / ° C or less.

ここで、ガラス転移温度および線膨張係数の測定には、成形温度175℃、3分、ポストモールドキュア(PMC)175℃、4時間にて得られた熱硬化性樹脂組成物の硬化物を用いる。
そして、ガラス転移温度および線膨張係数は、熱機械分析(TMA、具体的には、日立ハイテクノロジーズ社製、TMA6100)にて、昇温速度:10℃/minにより測定される。
Here, for the measurement of the glass transition temperature and the coefficient of linear expansion, a cured product of the thermosetting resin composition obtained at a molding temperature of 175 ° C. for 3 minutes and a post-mold cure (PMC) of 175 ° C. for 4 hours is used. ..
The glass transition temperature and the coefficient of linear expansion are measured by thermomechanical analysis (TMA, specifically, TMA6100 manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation) at a heating rate of 10 ° C./min.

熱硬化性樹脂組成物の硬化物の曲げ弾性率は、封止材の機械強度向上の観点から、好ましくは5GPa以上であり、より好ましくは8GPa以上、さらに好ましくは12GPa以上である。
また、半導体パッケージ等の封止体の反りの抑制の観点から、熱硬化性樹脂組成物の硬化物の曲げ弾性率は、好ましくは30GPa以下であり、より好ましくは25GPa以下、さらに好ましくは20GPa以下である。
ここで、熱硬化性樹脂組成物の硬化物の曲げ弾性率の測定には、成形温度175℃、3分、PMC175℃、4時間にて得られた熱硬化性樹脂組成物の硬化物を用いる。
そして、曲げ弾性率は、万能試験機(具体的には、AND社製、テンシロン万能材料試験機)を用いて室温(25℃)の条件で測定される。
The flexural modulus of the cured product of the thermosetting resin composition is preferably 5 GPa or more, more preferably 8 GPa or more, still more preferably 12 GPa or more, from the viewpoint of improving the mechanical strength of the encapsulant.
Further, from the viewpoint of suppressing warpage of a sealed body such as a semiconductor package, the flexural modulus of the cured product of the thermosetting resin composition is preferably 30 GPa or less, more preferably 25 GPa or less, still more preferably 20 GPa or less. Is.
Here, for the measurement of the flexural modulus of the cured product of the thermosetting resin composition, the cured product of the thermosetting resin composition obtained at a molding temperature of 175 ° C. for 3 minutes and PMC 175 ° C. for 4 hours is used. ..
The flexural modulus is measured at room temperature (25 ° C.) using a universal tester (specifically, a Tensilon universal material tester manufactured by AND).

熱硬化性樹脂組成物の最低溶融粘度は、巻き込みボイド抑制の観点から、好ましくは5Pa・s以上であり、より好ましくは10Pa・s以上、さらに好ましくは20Pa・s以上である。
また、チップ充填性等の狭部への充填性向上の観点から、熱硬化性樹脂組成物の最低溶融粘度は、好ましくは80Pa・s以下であり、より好ましくは70a・s以下、さらに好ましくは60Pa・s以下である。
ここで、熱硬化性樹脂組成物の最低溶融粘度は、粘度・粘弾性測定装置(HAAKE社製 MARS)を用いて周波数10Hz、ひずみ制御0.1%、サンプルサイズ20mmφ×厚み0.1mmの条件により測定される。
The minimum melt viscosity of the thermosetting resin composition is preferably 5 Pa · s or more, more preferably 10 Pa · s or more, still more preferably 20 Pa · s or more, from the viewpoint of suppressing entrainment voids.
Further, from the viewpoint of improving the filling property into a narrow portion such as chip filling property, the minimum melt viscosity of the thermosetting resin composition is preferably 80 Pa · s or less, more preferably 70 a · s or less, and further preferably 70 a · s or less. It is 60 Pa · s or less.
Here, the minimum melt viscosity of the thermosetting resin composition is a condition of a frequency of 10 Hz, a strain control of 0.1%, and a sample size of 20 mmφ × thickness of 0.1 mm using a viscosity / viscoelasticity measuring device (MARS manufactured by HAAKE). Measured by.

(樹脂成形品)
本実施形態において、樹脂成形品は、LDS添加剤を含有する熱硬化性樹脂組成物の硬化物であり、具体的には、三次元構造の樹脂成形品である。三次元構造を有していれば樹脂成形品の形状は限定されず、たとえば一部に曲面を有していてもよい。
また、熱硬化性樹脂組成物の硬化物から構成される樹脂成形品は、最終製品に限らず、複合材料や各種部品も含むことができる。樹脂成形品は、携帯電子機器、車両および医療機器の部品や、その他の電気回路を含む電子部品、半導体封止材ならびに、これらを形成するための複合材料として用いることができる。以下、かかる材料の一例として封止体について説明する。
(Resin molded product)
In the present embodiment, the resin molded product is a cured product of a thermosetting resin composition containing an LDS additive, and specifically, is a resin molded product having a three-dimensional structure. The shape of the resin molded product is not limited as long as it has a three-dimensional structure, and may have a curved surface in part, for example.
Further, the resin molded product composed of the cured product of the thermosetting resin composition is not limited to the final product, but may also include composite materials and various parts. The resin molded product can be used as a component of a portable electronic device, a vehicle and a medical device, an electronic component including other electric circuits, a semiconductor encapsulant, and a composite material for forming the same. Hereinafter, a sealed body will be described as an example of such a material.

(封止体)
図1は、本実施形態における封止体の構成例を示す断面図である。図1に示した封止体110は、基板101、基板101に搭載された半導体素子103、半導体素子103を封止する封止材(封止層111)を有する。封止層111は、LDS添加剤を含有する熱硬化性樹脂組成物の硬化物により構成されている。
封止体110においては、封止層111が封止材の表面の所定の領域に露出するため、以下に説明するMIDに封止体110を好適に用いることができる。
(Encapsulant)
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration example of a sealed body according to the present embodiment. The sealing body 110 shown in FIG. 1 has a substrate 101, a semiconductor element 103 mounted on the substrate 101, and a sealing material (sealing layer 111) for sealing the semiconductor element 103. The sealing layer 111 is composed of a cured product of a thermosetting resin composition containing an LDS additive.
In the sealing body 110, since the sealing layer 111 is exposed in a predetermined region on the surface of the sealing material, the sealing body 110 can be preferably used for the MID described below.

封止体110の具体例として、半導体装置が挙げられ、さらに具体的には成形回路部品、各種半導体パッケージが挙げられる。
成形回路部品の具体例として、自動車用の部材に用いられるものなどが挙げられる。
また、半導体パッケージの具体例として、MAP(Mold Array Package)、QFP(Quad Flat Package)、SOP(Small Outline Package)、CSP(Chip Size Package)、QFN(Quad Flat Non-leaded Package)、SON(Small Outline Non-leaded Package)、BGA(Ball Grid Array)、LF−BGA(Lead Flame BGA)、FCBGA(Flip Chip BGA)、MAPBGA(Molded Array Process BGA)、eWLB(Embedded Wafer-Level BGA)、Fan−In型eWLB、Fan−Out型eWLBなどの半導体パッケージ;SIP(System In package)などが挙げられる。
Specific examples of the sealing body 110 include a semiconductor device, and more specifically, a molded circuit component and various semiconductor packages.
Specific examples of molded circuit parts include those used for automobile members.
Further, as specific examples of semiconductor packages, MAP (Mold Array Package), QFP (Quad Flat Package), SOP (Small Outline Package), CSP (Chip Size Package), QFN (Quad Flat Non-leaded Package), SON (Small) Outline Non-leaded Package), BGA (Ball Grid Array), LF-BGA (Lead Flame BGA), FCBGA (Flip Chip BGA), MAPBGA (Molded Array Process BGA), eWLB (Embedded Wafer-Level BGA), Fan-In Semiconductor packages such as type eWLB and Fan-Out type eWLB; SIP (System In package) and the like can be mentioned.

基板101は、たとえば、インターポーザ等の配線基板、またはリードフレームである。半導体素子103は、たとえばワイヤボンディングまたはフリップチップ接続等により、基板101に電気的に接続される。半導体素子103は、半導体パッケージの形態で基板101に搭載されていてもよい。 The board 101 is, for example, a wiring board such as an interposer, or a lead frame. The semiconductor element 103 is electrically connected to the substrate 101 by, for example, wire bonding or flip chip connection. The semiconductor element 103 may be mounted on the substrate 101 in the form of a semiconductor package.

封止体110は、たとえば以下の工程を含む製造方法により得ることができる。
(工程1)半導体素子103が搭載された基板101を準備する工程
(工程2)半導体素子103の表面を覆うように半導体素子103を封止層111で封止する工程
The sealing body 110 can be obtained, for example, by a manufacturing method including the following steps.
(Step 1) A step of preparing a substrate 101 on which the semiconductor element 103 is mounted (Step 2) A step of sealing the semiconductor element 103 with a sealing layer 111 so as to cover the surface of the semiconductor element 103.

ここで、工程1については、常法に従っておこなうことができる。
また、工程2における封止方法として、たとえば圧縮成形、ベクレルプレスが挙げられる。
本実施形態においては、封止材が封止層111を含むため、封止層111の割れや欠けが抑制されるとともに、LDSによる加工安定性に優れる。このため、封止体110は、製造安定性およびLDSによる加工安定性に優れる。
Here, step 1 can be performed according to a conventional method.
Further, examples of the sealing method in step 2 include compression molding and becquerel pressing.
In the present embodiment, since the sealing material contains the sealing layer 111, cracking and chipping of the sealing layer 111 are suppressed, and the processing stability by LDS is excellent. Therefore, the sealing body 110 is excellent in manufacturing stability and processing stability by LDS.

なお、図1には、封止材が1つの封止層111から構成される構成を例示したが、封止材が複数の封止層を有する構成としてもよい。このとき、たとえば、封止体の最外層を構成する封止層がLDS用熱硬化性樹脂組成物の硬化物である構成とすることができる。また、複数の封止体全体をLDS用熱硬化性樹脂組成物の硬化物により構成することもできる。 Although FIG. 1 illustrates a configuration in which the sealing material is composed of one sealing layer 111, the sealing material may be configured to have a plurality of sealing layers. At this time, for example, the sealing layer forming the outermost layer of the sealing body may be a cured product of the thermosetting resin composition for LDS. Further, the entire plurality of sealed bodies can be composed of a cured product of a thermosetting resin composition for LDS.

(MID)
MIDは、三次元形状、上記樹脂成形品、三次元回路の3要素を有するものであり、たとえば、三次元構造の樹脂成形品の表面に金属膜で回路形成された部品である。MIDは、具体的には、三次元構造を有する樹脂成形品と、この樹脂成形品の表面に形成された三次元回路と、を備えることができる。このようなMIDを使用することにより、空間を有効活用でき、部品点数の削減や軽薄短小化が可能である。MIDとしては、携帯電話やスマートフォンと内臓アンテナ、センサー、半導体装置に適用することもできる。
(MID)
The MID has three elements of a three-dimensional shape, the resin molded product, and a three-dimensional circuit. For example, the MID is a component in which a circuit is formed of a metal film on the surface of a resin molded product having a three-dimensional structure. Specifically, the MID can include a resin molded product having a three-dimensional structure and a three-dimensional circuit formed on the surface of the resin molded product. By using such an MID, the space can be effectively utilized, the number of parts can be reduced, and the size can be reduced. The MID can also be applied to mobile phones, smartphones, built-in antennas, sensors, and semiconductor devices.

MIDは、たとえば前述の樹脂成形品をLDSに供することにより得ることができる。
本実施形態において、MIDの製造工程は、LDSに用いる熱硬化性樹脂組成物の作製、この熱硬化性樹脂組成物の成形、得られた樹脂成形品に対する活性エネルギー線の照射、およびめっき処理による回路形成、の各工程を含むことができる。また、めっき処理前に表面洗浄工程を追加してもよい。
The MID can be obtained, for example, by subjecting the above-mentioned resin molded product to the LDS.
In the present embodiment, the manufacturing process of MID is carried out by producing a thermosetting resin composition used for LDS, molding the thermosetting resin composition, irradiating the obtained resin molded product with active energy rays, and plating treatment. Each step of circuit formation can be included. Further, a surface cleaning step may be added before the plating process.

樹脂成形品に照射する活性エネルギー線としては、たとえば、レーザーを用いることができる。レーザーは、たとえば、YAGレーザー、エキシマレーザー、電磁線等の公知のレーザーから適宜選択することができ、YGAレーザーが好ましい。また、レーザーの波長も定めるものではないが、たとえば、200nm〜12000nmである。この中でも、好ましくは248nm、308nm、355nm、532nm、1064nmまたは10600nmを使用してもよい。 As the active energy ray to irradiate the resin molded product, for example, a laser can be used. The laser can be appropriately selected from known lasers such as a YAG laser, an excimer laser, and an electromagnetic ray, and a YGA laser is preferable. Further, the wavelength of the laser is not defined, but is, for example, 200 nm to 12000 nm. Of these, preferably 248 nm, 308 nm, 355 nm, 532 nm, 1064 nm or 10600 nm may be used.

めっき処理としては、電界めっきまたは無電解めっきのいずれを用いてもよい。上述のレーザーが照射された領域に、めっき処理を施すことにより、回路(めっき層)を形成することができる。めっき液としては、定めるものではなく、公知のめっき液を広く採用することができ、金属成分として銅、ニッケル、金、銀、パラジウムが混合されているめっき液を用いてもよい。 As the plating treatment, either electroplating or electroless plating may be used. A circuit (plating layer) can be formed by subjecting the above-mentioned laser-irradiated region to a plating treatment. As the plating solution, a known plating solution can be widely used, and a plating solution in which copper, nickel, gold, silver, and palladium are mixed as metal components may be used.

以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。 Although the embodiments of the present invention have been described above, these are examples of the present invention, and various configurations other than the above can be adopted.

以下、実施例を参照して実施形態を詳細に説明するが、本発明は、これらの実施例の記載に何ら限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to the description of these Examples.

(実施例1〜3)
表1に記載の配合にて各例のLDS用熱硬化性樹脂組成物を調製し、評価した。各例で用いた成分は以下のとおりである。
(Examples 1 to 3)
The thermosetting resin compositions for LDS of each example were prepared and evaluated according to the formulations shown in Table 1. The components used in each example are as follows.

(原材料)
(エポキシ樹脂)
エポキシ樹脂1:ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、NC−3000L、日本化薬社製
エポキシ樹脂2:ビフェニル型エポキシ樹脂、YX4000HK、三菱ケミカル社製
エポキシ樹脂3:トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、1032H−60、三菱ケミカル社製
(硬化剤)
硬化剤1:トリヒドロキシフェニルメタン型フェノール樹脂、HE910−20、エアウォーターケミカル社製
硬化剤2:ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂、MEH−7851SS、昭和化成
(硬化促進剤)
硬化促進剤1:トリフェニルフォスフィン
(無機充填材)
無機充填材1:溶融球状シリカ、MUF−046、龍森社製、平均粒子径4.1μm
((メタ)アクリルモノマー)
(メタ)アクリルモノマー1:トリメチロールプロパントリメタクリレート、ライトエステルTMP、共栄社化学社製、沸点200℃以上
(添加剤)
添加剤1(LDS添加剤):無機複合酸化物、Black3702、アサヒ化成工業社製
(raw materials)
(Epoxy resin)
Epoxy resin 1: Biphenyl aralkyl type epoxy resin, NC-3000L, Nippon Kayaku company epoxy resin 2: Biphenyl type epoxy resin, YX4000HK, Mitsubishi Chemical company epoxy resin 3: Trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, 1032H-60, Made by Mitsubishi Chemical Corporation (hardener)
Curing agent 1: Trihydroxyphenylmethane type phenol resin, HE910-20, Air Water Chemical Inc. curing agent 2: Biphenyl aralkyl type phenol resin, MEH-7851SS, Showa Kasei (curing accelerator)
Curing Accelerator 1: Triphenylphosphine (inorganic filler)
Inorganic filler 1: Fused spherical silica, MUF-046, manufactured by Ryumori Co., Ltd., average particle size 4.1 μm
((Meta) acrylic monomer)
(Meta) Acrylic Monomer 1: Trimethylolpropane Trimethacrylate, Light Ester TMP, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., boiling point 200 ° C or higher (additive)
Additive 1 (LDS additive): Inorganic composite oxide, Black3702, manufactured by Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd.

(熱硬化性樹脂組成物の調製)
まず、溶剤およびアクリルモノマーを除く各原料成分を下記表1に示す配合量に従って
混練して得られた樹脂混合物を所定量のプロピレングリコールモノメチルエーテルと表1に記載の量のアクリルモノマーに溶解させてワニスを調製した。
次いで、PETフィルム(ユニチカ社製、TR1)の上面に、調製したワニスをダイコーターにより塗布し、その後、プロピレングリコールモノメチルエーテルが揮発するまで乾燥させた。こうすることにより、実施例1〜3の各樹脂シートを作製した。なお、得られた樹脂シートの厚みはいずれも100μmであり、幅はいずれも500mmであった。
(Preparation of thermosetting resin composition)
First, the resin mixture obtained by kneading each raw material component excluding the solvent and the acrylic monomer according to the blending amounts shown in Table 1 below is dissolved in a predetermined amount of propylene glycol monomethyl ether and the amount of acrylic monomer shown in Table 1. A varnish was prepared.
Next, the prepared varnish was applied to the upper surface of a PET film (TR1 manufactured by Unitika Ltd.) with a die coater, and then dried until the propylene glycol monomethyl ether volatilized. By doing so, each resin sheet of Examples 1 to 3 was prepared. The thickness of each of the obtained resin sheets was 100 μm, and the width was 500 mm.

(ガラス転移温度、線膨張係数)
各例で得られた熱硬化性樹脂組成物を、成形温度175℃、3分、PMC175℃、4時間の条件で圧縮成形し、硬化物を得た。
TMA(日立ハイテクノロジーズ社製、TMA6100)にて、昇温速度:10℃/minにより硬化物のガラス転移温度およびガラス転移温度未満の温度領域の線膨張係数を測定した。
(Glass transition temperature, coefficient of linear expansion)
The thermosetting resin composition obtained in each example was compression molded at a molding temperature of 175 ° C. for 3 minutes and PMC 175 ° C. for 4 hours to obtain a cured product.
With TMA (TMA6100, manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation), the glass transition temperature of the cured product and the linear expansion coefficient in the temperature range below the glass transition temperature were measured at a heating rate of 10 ° C./min.

(曲げ弾性率)
各例で得られた熱硬化性樹脂組成物を、成形温度175℃、3分、PMC175℃、4時間の条件で圧縮成形し、硬化物を得た。
万能試験機(AND社製、テンシロン万能材料試験機)を用いて、室温(25℃)の条件で硬化物の曲げ弾性率を測定した。
(Flexural modulus)
The thermosetting resin composition obtained in each example was compression molded at a molding temperature of 175 ° C. for 3 minutes and PMC 175 ° C. for 4 hours to obtain a cured product.
The flexural modulus of the cured product was measured at room temperature (25 ° C.) using a universal testing machine (Tensilon universal material testing machine manufactured by AND).

(最低溶融粘度)
粘度・粘弾性測定装置(HAAKE社製 MARS)を用いて周波数10Hz、ひずみ制御0.1%、サンプルサイズ20mmφ×厚み0.1mmの条件により測定した。
(Minimum melt viscosity)
The measurement was performed using a viscosity / viscoelasticity measuring device (MARS manufactured by HAAKE) under the conditions of frequency 10 Hz, strain control 0.1%, sample size 20 mmφ × thickness 0.1 mm.

(メッキ性)
各例で得られた樹脂組成物を175℃の条件で成形硬化し硬化物を得た。得られた硬化物の表面に、YAGレーザー(波長1064nm)を照射し、無電解銅メッキを実施して、そのレーザー照射領域におけるメッキ付き性について、以下の判断基準で評価した。
◎:めっき表面にムラなし
○:めっき表面に多少のムラが見えるがめっき未着部分はなし
△:めっき表面にムラが見えるがめっき未着部分はなし
×:めっき表面にひどいムラが見えめっき未着部あり
(Plating property)
The resin composition obtained in each example was molded and cured under the condition of 175 ° C. to obtain a cured product. The surface of the obtained cured product was irradiated with a YAG laser (wavelength 1064 nm), electroless copper plating was performed, and the plating property in the laser irradiation region was evaluated according to the following criteria.
◎: No unevenness on the plated surface ○: Some unevenness is visible on the plated surface but no unplated part △: Unevenness is visible on the plated surface but no unplated part ×: Severe unevenness is visible on the plated surface can be

(割れ欠けの有無)
(円筒に巻きつけ時)
PETフィルム(ユニチカ社製、TR1)上に、前述の方法に準じて幅300mm、長さ1mのサイズで形成した各例の樹脂シートを用いて、室温で直径3インチの円筒に一度巻き付けた後、樹脂シートを広げて割れ欠け(クラック)の有無を目視で確認した。
(Presence or absence of cracks)
(When wrapped around a cylinder)
After using the resin sheets of each example formed on a PET film (TR1 manufactured by Unitika Ltd.) in a size of 300 mm in width and 1 m in length according to the above method, once wound around a cylinder having a diameter of 3 inches at room temperature. , The resin sheet was spread out and the presence or absence of cracks was visually confirmed.

(切断時)
PETフィルム(ユニチカ社製、TR1)上に、前述の方法に準じて形成した各例の樹脂シート10cm×10cmを用いて、室温ではさみを用いて切断した後、切断箇所の割れ欠け(クラック)の有無を目視で確認した。
(At the time of disconnection)
Using the resin sheet 10 cm × 10 cm of each example formed on a PET film (TR1 manufactured by Unitika Ltd.) according to the above method, after cutting with scissors at room temperature, cracks (cracks) at the cut portion. The presence or absence of was visually confirmed.

(スリット部割れ欠け)
PETフィルム(ユニチカ社製、TR1)上に、前述の方法に準じて形成した各例の樹脂シート10cm×10cmの裁断部位(スリット部)を表1に示す温度に加熱しながら裁断(スリット)をおこなった。ここで、加熱は、表1に示す温度に加熱した熱板をスリット部に接触させることによりおこなった。裁断部位(スリット部)の割れや欠けの有無を目視で確認した。ここで、加熱温度は、スリット部の樹脂温度ではなく、熱板の設定温度を示す。
(Slit part cracked and chipped)
On the PET film (TR1 manufactured by Unitika Ltd.), the resin sheet 10 cm × 10 cm cut portion (slit portion) of each example formed according to the above method is cut (slit) while being heated to the temperature shown in Table 1. I did it. Here, the heating was performed by bringing a hot plate heated to the temperature shown in Table 1 into contact with the slit portion. The presence or absence of cracks or chips in the cut portion (slit portion) was visually confirmed. Here, the heating temperature indicates the set temperature of the hot plate, not the resin temperature of the slit portion.

Figure 2021127412
Figure 2021127412

表1より、各実施例で得られた樹脂組成物は、シートの割れ欠けが好適に抑制されるとともに、メッキ性に優れるものであった。 From Table 1, the resin compositions obtained in each example preferably suppressed cracking and chipping of the sheet and were excellent in plating property.

101 基板
103 半導体素子
110 封止体
111 封止層
101 Substrate 103 Semiconductor element 110 Encapsulant 111 Encapsulating layer

Claims (11)

LASER DIRECT STRUCTURING(LDS)に用いるシート状のLDS用熱硬化性樹脂組成物であって、
エポキシ樹脂と、
(メタ)アクリル化合物と、
無機充填材と、
活性エネルギー線の照射により金属核を形成する非導電性金属化合物と、
を含む、LDS用熱硬化性樹脂組成物。
A sheet-shaped thermosetting resin composition for LDS used for LASER DIRECT STRUCTURING (LDS).
Epoxy resin and
(Meta) acrylic compounds and
Inorganic filler and
Non-conductive metal compounds that form metal nuclei by irradiation with active energy rays,
A thermosetting resin composition for LDS.
前記(メタ)アクリル化合物が(メタ)アクリルモノマーである、請求項1に記載のLDS用熱硬化性樹脂組成物。 The thermosetting resin composition for LDS according to claim 1, wherein the (meth) acrylic compound is a (meth) acrylic monomer. 前記(メタ)アクリルモノマーの沸点が100℃よりも高い、請求項2に記載のLDS用熱硬化性樹脂組成物。 The thermosetting resin composition for LDS according to claim 2, wherein the (meth) acrylic monomer has a boiling point higher than 100 ° C. 前記エポキシ樹脂が、ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂およびトリス(ヒドロキシフェニル)メタン型エポキシ樹脂からなる群から選択される1種または2種以上を含む、請求項1乃至3いずれか1項に記載のLDS用熱硬化性樹脂組成物。 Claims 1 to 3 wherein the epoxy resin contains one or more selected from the group consisting of a phenol aralkyl type epoxy resin having a biphenylene skeleton, a biphenyl type epoxy resin, and a tris (hydroxyphenyl) methane type epoxy resin. The thermosetting resin composition for LDS according to any one item. 硬化剤をさらに含む、請求項1乃至4いずれか1項に記載のLDS用熱硬化性樹脂組成物。 The thermosetting resin composition for LDS according to any one of claims 1 to 4, further comprising a curing agent. 硬化促進剤をさらに含む、請求項1乃至5いずれか1項に記載のLDS用熱硬化性樹脂組成物。 The thermosetting resin composition for LDS according to any one of claims 1 to 5, further comprising a curing accelerator. 成形温度175℃、3分、ポストモールドキュア(PMC)175℃、4時間にて得られた当該LDS用熱硬化性樹脂組成物の硬化物の、熱機械分析(TMA)にて昇温速度:10℃/minにより測定されるガラス転移温度が100℃以上200℃以下である、請求項1乃至6いずれか1項に記載のLDS用熱硬化性樹脂組成物。 Thermomechanical analysis (TMA) of the cured product of the thermosetting resin composition for LDS obtained at a molding temperature of 175 ° C. for 3 minutes and a post-mold cure (PMC) of 175 ° C. for 4 hours. The thermosetting resin composition for LDS according to any one of claims 1 to 6, wherein the glass transition temperature measured at 10 ° C./min is 100 ° C. or higher and 200 ° C. or lower. 成形温度175℃、3分、ポストモールドキュア(PMC)175℃、4時間にて得られた当該LDS用熱硬化性樹脂組成物の硬化物の、熱機械分析(TMA)にて昇温速度:10℃/minにより測定される、ガラス転移温度未満の温度領域の線膨張係数が5ppm/℃以上30ppm/℃以下である、請求項1乃至7いずれか1項に記載のLDS用熱硬化性樹脂組成物。 Thermomechanical analysis (TMA) of the cured product of the thermosetting resin composition for LDS obtained at a molding temperature of 175 ° C. for 3 minutes and a post-mold cure (PMC) of 175 ° C. for 4 hours. The thermosetting resin for LDS according to any one of claims 1 to 7, wherein the linear expansion coefficient in the temperature region below the glass transition temperature measured at 10 ° C./min is 5 ppm / ° C. or higher and 30 ppm / ° C. or lower. Composition. 成形温度175℃/3分、ポストモールドキュア(PMC)175℃、4時間にて得られた当該LDS用熱硬化性樹脂組成物の硬化物の、万能試験機により測定される曲げ弾性率が5GPa以上30GPa以下である、請求項1乃至8いずれか1項に記載のLDS用熱硬化性樹脂組成物。 The flexural modulus of the cured product of the thermosetting resin composition for LDS obtained at a molding temperature of 175 ° C./3 minutes and a post-mold cure (PMC) of 175 ° C. for 4 hours is 5 GPa as measured by a universal tester. The thermosetting resin composition for LDS according to any one of claims 1 to 8, which is 30 GPa or less. 当該LDS用熱硬化性樹脂組成物の、粘度・粘弾性測定装置により測定される最低溶融粘度が5Pa・s以上80Pa・s以下である、請求項1乃至9いずれか1項に記載のLDS用熱硬化性樹脂組成物。 The LDS for LDS according to any one of claims 1 to 9, wherein the minimum melt viscosity of the thermosetting resin composition for LDS measured by a viscosity / viscoelasticity measuring device is 5 Pa · s or more and 80 Pa · s or less. Thermosetting resin composition. シート厚さが10μm以上300μm以下である、請求項1乃至10いずれか1項に記載のLDS用熱硬化性樹脂組成物。 The thermosetting resin composition for LDS according to any one of claims 1 to 10, wherein the sheet thickness is 10 μm or more and 300 μm or less.
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WO2017199639A1 (en) * 2016-05-18 2017-11-23 住友ベークライト株式会社 Thermosetting resin composition for lds, resin molded article and three-dimensional molded circuit component

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017088799A (en) * 2015-11-16 2017-05-25 住友ベークライト株式会社 Resin sheet for producing semiconductor device and method for producing semiconductor device
WO2017199639A1 (en) * 2016-05-18 2017-11-23 住友ベークライト株式会社 Thermosetting resin composition for lds, resin molded article and three-dimensional molded circuit component

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