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JP2021032559A - Applied load detection unit - Google Patents

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JP2021032559A
JP2021032559A JP2019148382A JP2019148382A JP2021032559A JP 2021032559 A JP2021032559 A JP 2021032559A JP 2019148382 A JP2019148382 A JP 2019148382A JP 2019148382 A JP2019148382 A JP 2019148382A JP 2021032559 A JP2021032559 A JP 2021032559A
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佳宏 井原
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Abstract

To easily and accurately detect the applied load of an electric actuator.SOLUTION: Each of a first load sensor 541 and a second load sensor 542 is fixed inside of a housing 520 while being loaded with a preload so as to be sandwiched in the axial direction. Each of the first load sensor 541 and the second load sensor 542 is arranged so that the detection value of the first load sensor 541 decreases while the detection value of the second load sensor 542 increases when a load is applied to a shaft body 570 toward one in the axial direction and the detection value of the second load sensor 542 decreases while the detection value of the first load sensor 541 increases when a load is applied to the shaft body 570 toward the other in the axial direction.SELECTED DRAWING: Figure 8

Description

本発明は、負荷荷重検出ユニットに関する。 The present invention relates to a load-bearing detection unit.

軸方向の荷重を検出する荷重検出手段を備えた電動シリンダの構成を開示した先行文献として、特開2014−168373号公報(特許文献1)がある。特許文献1に記載された電動シリンダにおいては、荷重検出手段となる歪検出部は、外筒体を構成する第1の筒部と第2の筒部とに挟持される板状部材に設けられている。 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-168373 (Patent Document 1) discloses a configuration of an electric cylinder provided with a load detecting means for detecting a load in the axial direction. In the electric cylinder described in Patent Document 1, the strain detecting portion serving as the load detecting means is provided on a plate-shaped member sandwiched between the first cylinder portion and the second cylinder portion constituting the outer cylinder body. ing.

特開2014−168373号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-168373

電動シリンダなどの電動アクチュエータにおいては、精度よく荷重を負荷するために、実際に負荷されている荷重を定期的に測定して校正する必要がある。そのため、電動アクチュエータの負荷荷重を簡易に正確に検出できることが求められている。 In an electric actuator such as an electric cylinder, in order to apply a load with high accuracy, it is necessary to periodically measure and calibrate the actually applied load. Therefore, it is required that the load of the electric actuator can be detected easily and accurately.

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであって、電動アクチュエータの負荷荷重を簡易に正確に検出できる負荷荷重検出ユニットを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a load load detection unit capable of easily and accurately detecting the load load of an electric actuator.

本発明の第1局面に基づく負荷荷重検出ユニットは、電動アクチュエータの直線可動部の先端部に着脱可能に取り付けられて電動アクチュエータの負荷荷重を検出する負荷荷重検出ユニットである。負荷荷重検出ユニットは、筐体と、軸体と、第1荷重センサおよび第2荷重センサとを備える。筐体は、上記先端部と接続される接続部が設けられている。軸体は、軸方向に延在し、筐体の内側に上記軸方向の一方側の一部が収容されている。第1荷重センサおよび第2荷重センサの各々は、環状であり、軸体が挿通された状態で筐体内に配置されている。第1荷重センサおよび第2荷重センサの各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体内に固定されている。軸体に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサの検出値が増加しつつ第1荷重センサの検出値が減少するように、かつ、軸体に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサの検出値が増加しつつ第2荷重センサの検出値が減少するように、第1荷重センサおよび第2荷重センサの各々が配置されている。 The load load detection unit based on the first aspect of the present invention is a load load detection unit that is detachably attached to the tip of a linearly movable portion of the electric actuator to detect the load load of the electric actuator. The load load detection unit includes a housing, a shaft body, a first load sensor, and a second load sensor. The housing is provided with a connecting portion connected to the tip portion. The shaft body extends in the axial direction, and a part of one side in the axial direction is housed inside the housing. Each of the first load sensor and the second load sensor is annular and is arranged in the housing with the shaft body inserted. Each of the first load sensor and the second load sensor is fixed in the housing in a state where a preload is applied so as to be sandwiched in the axial direction. When a load is applied to the shaft body in one of the axial directions, the detection value of the second load sensor increases and the detection value of the first load sensor decreases, and with respect to the shaft body. The first load sensor and the second load sensor so that the detection value of the first load sensor increases and the detection value of the second load sensor decreases when a load is applied toward the other in the axial direction. Each is arranged.

本発明の一形態においては、筐体は、上記軸方向において第1荷重センサが配置されている位置と第2荷重センサが配置されている位置との間に、筐体の内径が部分的に小さくなっている縮径部を有している。軸体は、軸体の一部が筐体に収容された状態において、上記軸方向における縮径部の位置より一方側の位置に雄ねじ部を有し、かつ、上記軸方向における縮径部の位置より他方側の位置に、軸体の直径が部分的に大きくなっている拡径部を有している。負荷荷重検出ユニットは、軸体の雄ねじ部と螺合するロックナットをさらに備える。筐体内において、縮径部に対して上記軸方向の上記一方側に位置する第1荷重センサ、および、縮径部に対して上記軸方向の上記他方側に位置する第2荷重センサを、上記軸方向の上記一方側に向けて挿通した軸体の雄ねじ部と、ロックナットとが螺合することにより、第1荷重センサが縮径部とロックナットとの間に挟み込まれており、第2荷重センサが縮径部と拡径部との間に挟み込まれている。 In one embodiment of the present invention, the inner diameter of the housing is partially formed between the position where the first load sensor is arranged and the position where the second load sensor is arranged in the axial direction. It has a reduced diameter portion that is smaller. The shaft body has a male screw portion at a position on one side of the position of the diameter-reduced portion in the axial direction in a state where a part of the shaft body is housed in the housing, and the shaft body has a reduced diameter portion in the axial direction. At a position on the other side of the position, there is a diameter-expanded portion in which the diameter of the shaft body is partially increased. The load load detection unit further includes a locknut that is screwed with the male thread portion of the shaft body. In the housing, the first load sensor located on the one side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion and the second load sensor located on the other side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion are described. The first load sensor is sandwiched between the reduced diameter portion and the locknut by screwing the male threaded portion of the shaft body inserted toward the one side in the axial direction and the locknut, and the second load sensor is sandwiched between the reduced diameter portion and the locknut. The load sensor is sandwiched between the reduced diameter portion and the expanded diameter portion.

本発明の第2局面に基づく負荷荷重検出ユニットは、電動アクチュエータの直線可動部の先端部に着脱可能に取り付けられて電動アクチュエータの負荷荷重を検出する負荷荷重検出ユニットである。負荷荷重検出ユニットは、第1筐体と、第2筐体と、軸体と、荷重センサとを備える。第1筐体は、上記先端部と接続される接続部が設けられている。第2筐体は、第1筐体と同軸状に位置しつつ、端部が第1筐体の内側に入り込んだ状態で第1筐体に固定されている。軸体は、軸方向に延在し、第1筐体および第2筐体の内側に上記軸方向の一方側の一部が収容されている。荷重センサは、環状であり、軸体が挿通された状態で第1筐体内に配置されている。荷重センサは、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で第1筐体内に固定されている。軸体に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に荷重センサの検出値が増加するように、かつ、軸体に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に荷重センサの検出値が増加するように、荷重センサが配置されている。 The load load detection unit based on the second aspect of the present invention is a load load detection unit that is detachably attached to the tip of a linearly movable portion of the electric actuator to detect the load load of the electric actuator. The load load detection unit includes a first housing, a second housing, a shaft body, and a load sensor. The first housing is provided with a connecting portion connected to the tip portion. The second housing is fixed to the first housing in a state where the end portion is inserted inside the first housing while being positioned coaxially with the first housing. The shaft body extends in the axial direction, and a part of one side in the axial direction is housed inside the first housing and the second housing. The load sensor is annular and is arranged in the first housing with the shaft body inserted. The load sensor is fixed in the first housing in a state where a preload is applied so as to be sandwiched in the axial direction. When a load is applied to the shaft body in one direction in the axial direction, the detection value of the load sensor increases, and a load is applied to the shaft body in the other direction in the axial direction. The load sensor is arranged so that the detected value of the load sensor increases at that time.

本発明の一形態においては、第1筐体は、荷重センサが配置されている位置に対して上記軸方向における上記一方側の位置に、第1筐体の内径が部分的に小さくなっている縮径部を有し、かつ、荷重センサが配置されている位置に対して上記軸方向における他方側の位置の内周面に雌ねじ部を有している。第2筐体は、第1筐体の内側に入り込んでいる上記端部の外周面に雌ねじ部と螺合する雄ねじ部、および、第1筐体の上記軸方向の他方側の端面と当接するフランジ部を有している。軸体は、上記軸方向において第1筐体の縮径部の上記他方側の端の位置より一方側に雄ねじ部を有し、かつ、上記軸方向において第1筐体の縮径部が配置されている位置より他方側に、軸体の直径が部分的に大きくなっている拡径部を有している。負荷荷重検出ユニットは、軸体の雄ねじ部と螺合するロックナットをさらに備える。第1筐体内において、縮径部に対して上記軸方向の上記他方側に位置する荷重センサを、上記軸方向の上記一方側に向けて挿通した軸体の雄ねじ部と、ロックナットとが螺合することにより、荷重センサがロックナットと拡径部との間に挟み込まれている。第2筐体の雄ねじ部と第1筐体の雌ねじ部とが螺合することにより、第1筐体の上記端面と第2筐体のフランジ部とが当接するとともに、荷重センサが縮径部と第2筐体の上記端部との間に挟み込まれている。 In one embodiment of the present invention, in the first housing, the inner diameter of the first housing is partially reduced at a position on one side in the axial direction with respect to the position where the load sensor is arranged. It has a reduced diameter portion and has a female screw portion on the inner peripheral surface of the position on the other side in the axial direction with respect to the position where the load sensor is arranged. The second housing abuts on the outer peripheral surface of the end portion that has entered the inside of the first housing, the male screw portion that is screwed with the female screw portion, and the other end surface of the first housing in the axial direction. It has a flange part. The shaft body has a male screw portion on one side of the position of the other end of the diameter-reduced portion of the first housing in the axial direction, and the diameter-reduced portion of the first housing is arranged in the axial direction. On the other side of the position, there is a diameter-expanded portion in which the diameter of the shaft body is partially increased. The load load detection unit further includes a locknut that is screwed with the male thread portion of the shaft body. In the first housing, the male screw portion of the shaft body into which the load sensor located on the other side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion is inserted toward the one side in the axial direction, and the locknut are screwed. By fitting, the load sensor is sandwiched between the locknut and the enlarged diameter portion. By screwing the male screw portion of the second housing and the female screw portion of the first housing, the end surface of the first housing and the flange portion of the second housing come into contact with each other, and the load sensor has a reduced diameter portion. It is sandwiched between the second housing and the end portion of the second housing.

本発明によれば、電動アクチュエータの負荷荷重を簡易に正確に検出できる。 According to the present invention, the load of the electric actuator can be detected easily and accurately.

本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。It is a partial cross-sectional view which shows the structure of the electric actuator which concerns on Embodiment 1 of this invention. 可動筒に荷重が負荷されていない状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state which the load is not applied to the movable cylinder. 可動筒に予圧荷重より低い荷重が負荷されている状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state which the load lower than the preload is applied to the movable cylinder. 可動筒に予圧荷重より高い荷重が負荷されている状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the state which the load higher than the preload is applied to the movable cylinder. 本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。It is a partial cross-sectional view which shows the structure of the electric actuator which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。It is a partial cross-sectional view which shows the structure of the electric actuator which concerns on Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。It is a partial cross-sectional view which shows the structure of the electric actuator which concerns on Embodiment 4 of this invention. 本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニットの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the load load detection unit which concerns on Embodiment 5 of this invention. 本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニットを、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータに取り付けた状態を示す部分断面図である。FIG. 5 is a partial cross-sectional view showing a state in which the load load detection unit according to the fifth embodiment of the present invention is attached to the electric actuator according to the first embodiment of the present invention. 本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニットの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the load load detection unit which concerns on Embodiment 6 of this invention. 本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニットを、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータに取り付けた状態を示す部分断面図である。FIG. 5 is a partial cross-sectional view showing a state in which the load load detection unit according to the sixth embodiment of the present invention is attached to the electric actuator according to the first embodiment of the present invention.

以下、本発明の各実施形態に係る電動アクチュエータについて図を参照して説明する。以下の実施形態の説明においては、図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰り返さない。 Hereinafter, the electric actuator according to each embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description of the embodiment, the same or corresponding parts in the drawings are designated by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated.

(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。図1に示すように、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100は、駆動機構と、軸体110と、移動可能なナット160と、筐体120と、第1軸受131および第2軸受132と、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142とを備える。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing the configuration of the electric actuator according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the electric actuator 100 according to the first embodiment of the present invention includes a drive mechanism, a shaft body 110, a movable nut 160, a housing 120, a first bearing 131, and a second bearing 132. And a first load sensor 141 and a second load sensor 142.

駆動機構は、モータ10、および、モータ10の出力軸部11に接続された減速機構部12を含む。減速機構部12は、軸体110における軸方向の一方側の端部に位置する回転軸部115に接続されている。本実施形態においては、モータ10と軸体110とが、互いに並列に配置されているが、これに限られず、モータ10と軸体110とが、同一直線状に配置されていてもよい。 The drive mechanism includes a motor 10 and a speed reduction mechanism unit 12 connected to the output shaft unit 11 of the motor 10. The speed reduction mechanism portion 12 is connected to a rotating shaft portion 115 located at one end of the shaft body 110 in the axial direction. In the present embodiment, the motor 10 and the shaft body 110 are arranged in parallel with each other, but the present invention is not limited to this, and the motor 10 and the shaft body 110 may be arranged in the same linear shape.

軸体110は、軸方向に延在している。軸体110には、上記軸方向の一方側から順に、回転軸部115、雄ねじ部114、円柱部113、拡径部112、および、ねじ軸部111が設けられている。拡径部112においては、軸体110の直径が部分的に大きくなっている。ねじ軸部111は、いわゆるボールねじのねじ軸として機能する部分である。 The shaft body 110 extends in the axial direction. The shaft body 110 is provided with a rotating shaft portion 115, a male screw portion 114, a cylindrical portion 113, a diameter-expanded portion 112, and a screw shaft portion 111 in this order from one side in the axial direction. In the enlarged diameter portion 112, the diameter of the shaft body 110 is partially increased. The screw shaft portion 111 is a portion that functions as a screw shaft of a so-called ball screw.

ナット160は、ねじ軸部111にボールを介して螺合し、駆動機構が駆動することにより軸体110に対して相対的に上記軸方向に移動可能である。ナット160は、いわゆるボールねじのナットである。電動アクチュエータ100においては、軸体110とナット160とを含むボールねじが構成されている。 The nut 160 is screwed into the screw shaft portion 111 via a ball, and is movable in the axial direction relative to the shaft body 110 by driving the drive mechanism. The nut 160 is a so-called ball screw nut. In the electric actuator 100, a ball screw including a shaft body 110 and a nut 160 is configured.

ナット160には、可動筒170が接続されている。可動筒170の内側に、軸体110のねじ軸部111が位置している。可動筒170は、ナット160とともに軸体110に対して相対的に上記軸方向に移動可能である。可動筒170の上記軸方向の他方側の端部には、先端金具171が取り付けられている。本実施形態に係る電動アクチュエータ100においては、可動筒170および先端金具171が直線可動部となり、先端金具171が直線可動部の先端部となる。 A movable cylinder 170 is connected to the nut 160. The screw shaft portion 111 of the shaft body 110 is located inside the movable cylinder 170. The movable cylinder 170 can move together with the nut 160 in the axial direction relative to the shaft body 110. A tip metal fitting 171 is attached to the other end of the movable cylinder 170 in the axial direction. In the electric actuator 100 according to the present embodiment, the movable cylinder 170 and the tip fitting 171 serve as a linearly movable portion, and the tip fitting 171 serves as a tip portion of the linearly movable portion.

筐体120は、軸体110の一部を収容する。本実施形態においては、筐体120は、略円筒状の外形を有している。筐体120は、軸体110と同軸状に配置されている。筐体120の内部に、軸体110の円柱部113および拡径部112が位置している。筐体120には、筐体120の径方向に延在する2つの貫通孔123が設けられている。2つの貫通孔123のうちの一方から、第1荷重センサ141に接続された引出配線が筐体120の外側に引き出される。2つの貫通孔123のうちの他方から、第2荷重センサ142に接続された引出配線が筐体120の外側に引き出される。 The housing 120 accommodates a part of the shaft body 110. In this embodiment, the housing 120 has a substantially cylindrical outer shape. The housing 120 is arranged coaxially with the shaft body 110. A cylindrical portion 113 and a diameter-expanded portion 112 of the shaft body 110 are located inside the housing 120. The housing 120 is provided with two through holes 123 extending in the radial direction of the housing 120. From one of the two through holes 123, the lead wiring connected to the first load sensor 141 is pulled out to the outside of the housing 120. From the other of the two through holes 123, the lead wiring connected to the second load sensor 142 is pulled out to the outside of the housing 120.

筐体120の上記軸方向の一方側に、ハウジング20が配置されており、筐体120の上記軸方向の他方側に、外筒22が配置されている。筐体120は、ハウジング20と外筒22との間に挟まれた状態で、ハウジング20および外筒22の各々と接続されている。 The housing 20 is arranged on one side of the housing 120 in the axial direction, and the outer cylinder 22 is arranged on the other side of the housing 120 in the axial direction. The housing 120 is connected to each of the housing 20 and the outer cylinder 22 in a state of being sandwiched between the housing 20 and the outer cylinder 22.

ハウジング20は、モータ10のモータハウジングと接続されている。ハウジング20の内部に、出力軸部11、減速機構部12、並びに、軸体110の回転軸部115および雄ねじ部114が位置している。軸体110の上記軸方向の一方側の端面と対向するように配置されたベースプレート21が、ハウジング20に取り付けられている。ベースプレート21は、上記軸方向に突出した突出部を有し、突出部には開口部21hが設けられている。 The housing 20 is connected to the motor housing of the motor 10. Inside the housing 20, the output shaft portion 11, the speed reduction mechanism portion 12, the rotating shaft portion 115 of the shaft body 110, and the male screw portion 114 are located. A base plate 21 arranged so as to face one end surface of the shaft body 110 in the axial direction is attached to the housing 20. The base plate 21 has a protruding portion protruding in the axial direction, and the protruding portion is provided with an opening 21h.

外筒22の上記軸方向の他方側の端部に、外筒22と可動筒170との間を塞ぐブッシュ23が取り付けられている。ブッシュ23の内周面には、可動筒170の外周面と摺接する潤滑部材が設けられている。 A bush 23 that closes between the outer cylinder 22 and the movable cylinder 170 is attached to the other end of the outer cylinder 22 in the axial direction. A lubricating member that is in sliding contact with the outer peripheral surface of the movable cylinder 170 is provided on the inner peripheral surface of the bush 23.

ハウジング20、筐体120、外筒22およびブッシュ23によって囲まれた空間は、閉鎖空間となっている。なお、筐体120の2つの貫通孔123は、後述するように、筐体120に端子箱180などが取り付けられることにより閉塞される。 The space surrounded by the housing 20, the housing 120, the outer cylinder 22, and the bush 23 is a closed space. The two through holes 123 of the housing 120 are closed by attaching the terminal box 180 or the like to the housing 120, as will be described later.

第1軸受131および第2軸受132の各々の少なくとも一部は、軸体110が挿通された状態で筐体120内に配置されている。第1軸受131および第2軸受132の各々の内側に、軸体110の円柱部113が位置している。第1軸受131および第2軸受132の各々は、たとえば、転がり軸受またはすべり軸受である。具体的には、第1軸受131および第2軸受132の各々は、円すいころ軸受でもよい。 At least a part of each of the first bearing 131 and the second bearing 132 is arranged in the housing 120 with the shaft body 110 inserted. A cylindrical portion 113 of the shaft body 110 is located inside each of the first bearing 131 and the second bearing 132. Each of the first bearing 131 and the second bearing 132 is, for example, a rolling bearing or a plain bearing. Specifically, each of the first bearing 131 and the second bearing 132 may be a tapered roller bearing.

第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、環状であり、軸体110が挿通された状態で筐体120内に配置されている。第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々の内側に、軸体110の円柱部113が位置している。第1荷重センサ141は、第1軸受131と並んで配置されている。第2荷重センサ142は、第2軸受132と並んで配置されている。本実施形態においては、第1荷重センサ141は、第1軸受131と直接的に接しているが、たとえば、ワシャなどを介して第1軸受131と間接的に接していてもよい。第2荷重センサ142は、第2軸受132と直接的に接しているが、たとえば、ワシャなどを介して第2軸受132と間接的に接していてもよい。また、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々の形状は、環状に限られない。 Each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is annular and is arranged in the housing 120 with the shaft body 110 inserted. A cylindrical portion 113 of the shaft body 110 is located inside each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142. The first load sensor 141 is arranged side by side with the first bearing 131. The second load sensor 142 is arranged side by side with the second bearing 132. In the present embodiment, the first load sensor 141 is in direct contact with the first bearing 131, but may be indirectly in contact with the first bearing 131 via, for example, a washer or the like. The second load sensor 142 is in direct contact with the second bearing 132, but may be indirectly in contact with the second bearing 132, for example, via a washer or the like. Further, the shapes of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 are not limited to the annular shape.

第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、たとえば、ひずみゲージ式、圧電式、磁歪式、静電容量式、ジャイロ式、ばね式または音叉式の荷重センサである。第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、いわゆるロードセルで構成されていてもよい。 Each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is, for example, a strain gauge type, a piezoelectric type, a magnetostrictive type, a capacitance type, a gyro type, a spring type or a sound fork type load sensor. Each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 may be composed of a so-called load cell.

筐体120は、上記軸方向において第1荷重センサ141が配置されている位置と第2荷重センサ142が配置されている位置との間に、筐体120の内径が部分的に小さくなっている縮径部122を有している。 In the housing 120, the inner diameter of the housing 120 is partially reduced between the position where the first load sensor 141 is arranged and the position where the second load sensor 142 is arranged in the axial direction. It has a reduced diameter portion 122.

具体的には、筐体120において、第1軸受131および第1荷重センサ141を囲んでいる内周面121と、第2軸受132および第2荷重センサ142を囲んでいる内周面121との間に、内周面121より内径の小さい縮径部122が設けられている。第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において縮径部122と並んで配置されている。 Specifically, in the housing 120, the inner peripheral surface 121 surrounding the first bearing 131 and the first load sensor 141 and the inner peripheral surface 121 surrounding the second bearing 132 and the second load sensor 142. A reduced diameter portion 122 having an inner diameter smaller than that of the inner peripheral surface 121 is provided between them. Each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is arranged side by side with the reduced diameter portion 122 in the axial direction.

軸体110は、軸体110の円柱部113および拡径部112が筐体120に収容された状態において、上記軸方向における縮径部122の位置より一方側の位置に雄ねじ部114を有し、かつ、上記軸方向における縮径部122の位置より他方側の位置に拡径部112を有している。 The shaft body 110 has a male screw portion 114 at a position on one side of the position of the diameter reduction portion 122 in the axial direction in a state where the cylindrical portion 113 and the diameter expansion portion 112 of the shaft body 110 are housed in the housing 120. In addition, the diameter-expanded portion 112 is provided at a position on the opposite side of the position of the diameter-reduced portion 122 in the axial direction.

電動アクチュエータ100は、軸体110の雄ねじ部114と螺合するロックナット150をさらに備える。縮径部122に対して上記軸方向の一方側に位置する第1荷重センサ141および第1軸受131、並びに、縮径部122に対して上記軸方向の他方側に位置する第2荷重センサ142および第2軸受132を、上記軸方向の一方側に向けて挿通した軸体110の雄ねじ部114と、ロックナット150とが螺合することにより、第1荷重センサ141および第1軸受131が縮径部122とロックナット150との間に挟み込まれ、第2荷重センサ142および第2軸受132が縮径部122と拡径部112との間に挟み込まれている。その結果、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体120内に固定されている。すなわち、予圧荷重は、ロックナット150を雄ねじ部114に締め込んだときの軸力によって発生している。 The electric actuator 100 further includes a locknut 150 that is screwed with the male threaded portion 114 of the shaft body 110. The first load sensor 141 and the first bearing 131 located on one side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 122, and the second load sensor 142 located on the other side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 122. The first load sensor 141 and the first bearing 131 are contracted by screwing the male screw portion 114 of the shaft body 110 into which the second bearing 132 is inserted toward one side in the axial direction and the locknut 150. It is sandwiched between the diameter portion 122 and the locknut 150, and the second load sensor 142 and the second bearing 132 are sandwiched between the diameter reduction portion 122 and the diameter expansion portion 112. As a result, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is fixed in the housing 120 in a state where a preload is applied so as to be sandwiched in the axial direction. That is, the preload is generated by the axial force when the locknut 150 is tightened to the male screw portion 114.

端子箱180は、本体部181、蓋部182、パッキン183およびシール部184を含む。本体部181の底面は、シール部184を介して筐体120の外周面と接している。シール部184によって、筐体120と端子箱180とが、気密に接続されている。 The terminal box 180 includes a main body portion 181, a lid portion 182, a packing 183, and a seal portion 184. The bottom surface of the main body 181 is in contact with the outer peripheral surface of the housing 120 via the seal 184. The housing 120 and the terminal box 180 are airtightly connected by the seal portion 184.

本体部181の底面には、筐体120の2つの貫通孔123に対応する開口が設けられている。この開口および貫通孔123を通じて、第1荷重センサ141に接続された引出配線および第2荷重センサ142に接続された引出配線の各々が、端子箱180の内部に引き込まれている。 The bottom surface of the main body 181 is provided with openings corresponding to the two through holes 123 of the housing 120. Through the opening and the through hole 123, each of the drawer wiring connected to the first load sensor 141 and the drawer wiring connected to the second load sensor 142 is drawn into the terminal box 180.

本体部181の内部に、基板を保持する基板台186、および、アンプを保持するアンプ台187が設けられている。本体部181は、パッキン183を介して蓋部182によって気密に閉鎖されている。 Inside the main body 181 is provided a board stand 186 for holding a board and an amplifier stand 187 for holding an amplifier. The main body portion 181 is airtightly closed by the lid portion 182 via the packing 183.

上記のように、筐体120に端子箱180などが取り付けられて、筐体120の2つの貫通孔123が閉塞されることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142が筐体120の外部に露出しないようにすることができる。 As described above, the terminal box 180 and the like are attached to the housing 120, and the two through holes 123 of the housing 120 are closed, so that the first load sensor 141 and the second load sensor 142 are attached to the housing 120. It can be prevented from being exposed to the outside.

モータ10が正転駆動して先端金具171が物体を上記軸方向の他方に向けて押したとき、先端金具171には、上記軸方向の一方に向けて荷重F1が負荷される。先端金具171に負荷された荷重F1は、可動筒170を介してナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F1は、ボールを介して軸体110のねじ軸部111に伝播する。軸体110に伝播した荷重F1は、軸体110の拡径部112から第2軸受132を介して第2荷重センサ142に伝播する。その結果、第2荷重センサ142が荷重F1を検出する。 When the motor 10 is driven in the forward direction and the tip fitting 171 pushes the object toward the other in the axial direction, the tip fitting 171 is loaded with the load F1 toward one of the axial directions. The load F1 applied to the tip metal fitting 171 propagates to the nut 160 via the movable cylinder 170. The load F1 propagated to the nut 160 propagates to the screw shaft portion 111 of the shaft body 110 via the ball. The load F1 propagated to the shaft body 110 propagates from the enlarged diameter portion 112 of the shaft body 110 to the second load sensor 142 via the second bearing 132. As a result, the second load sensor 142 detects the load F1.

モータ10が逆転駆動して先端金具171が物体を上記軸方向の一方に向けて引いたとき、先端金具171には、上記軸方向の他方に向けて荷重F2が負荷される。先端金具171に負荷された荷重F2は、可動筒170を介してナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F2は、ボールを介して軸体110のねじ軸部111に伝播する。軸体110に伝播した荷重F2は、軸体110の雄ねじ部114からロックナット150および第1軸受131を介して第1荷重センサ141に伝播する。その結果、第1荷重センサ141が荷重F2を検出する。 When the motor 10 reversely drives and the tip fitting 171 pulls the object toward one of the axial directions, the tip fitting 171 is loaded with the load F2 toward the other in the axial direction. The load F2 applied to the tip metal fitting 171 propagates to the nut 160 via the movable cylinder 170. The load F2 propagated to the nut 160 propagates to the screw shaft portion 111 of the shaft body 110 via the ball. The load F2 propagated to the shaft body 110 propagates from the male screw portion 114 of the shaft body 110 to the first load sensor 141 via the locknut 150 and the first bearing 131. As a result, the first load sensor 141 detects the load F2.

ここで、予圧荷重が負荷されている、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々の検出値から負荷荷重を算出する方法について説明する。 Here, a method of calculating the load from the detected values of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 to which the preload is applied will be described.

図2は、可動筒に荷重が負荷されていない状態を示す模式図である。図2においては、電動アクチュエータ100において第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の周囲の構成のみ図示しており、先端金具171は図示していない。 FIG. 2 is a schematic view showing a state in which a load is not applied to the movable cylinder. In FIG. 2, only the configuration around the first load sensor 141 and the second load sensor 142 in the electric actuator 100 is shown, and the tip metal fitting 171 is not shown.

可動筒170に荷重が負荷されていない状態においては、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に予圧荷重F0のみ負荷される。この状態においては、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々の検出値はF0となる。たとえば、予圧荷重F0=80kgである場合、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々の検出値は80kgとなる。 When no load is applied to the movable cylinder 170, only the preload F0 is applied to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142. In this state, the detected values of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 are F0. For example, when the preload load F0 = 80 kg, the detected values of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 are 80 kg, respectively.

すなわち、可動筒170に負荷されている荷重は、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引いて、80kg−80kg=0kgであると算出することができる。 That is, the load applied to the movable cylinder 170 can be calculated to be 80 kg-80 kg = 0 kg by subtracting the detected value of the first load sensor 141 from the detected value of the second load sensor 142.

図3は、可動筒に予圧荷重より低い荷重が負荷されている状態を示す模式図である。図3に示すように、可動筒170が予圧荷重より低い荷重Faで物体を押しているとき、可動筒170に上記軸方向の一方に向けて荷重Faが負荷される。この状態において、第1荷重センサ141には予圧荷重F’0が負荷され、第2荷重センサ142には予圧荷重F’0および荷重Faが負荷される。たとえば、予圧荷重F0=80kg、荷重Fa=20kgである場合、第1荷重センサ141の検出値は70kgとなり、第2荷重センサ142の検出値は90kgとなる。 FIG. 3 is a schematic view showing a state in which a load lower than the preload is applied to the movable cylinder. As shown in FIG. 3, when the movable cylinder 170 pushes an object with a load Fa lower than the preload, the movable cylinder 170 is loaded with the load Fa toward one of the axial directions. In this state, the first load sensor 141 is loaded with the preload load F'0, and the second load sensor 142 is loaded with the preload load F'0 and the load Fa. For example, when the preload load F0 = 80 kg and the load Fa = 20 kg, the detection value of the first load sensor 141 is 70 kg, and the detection value of the second load sensor 142 is 90 kg.

すなわち、可動筒170に負荷されている荷重は、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引いて、90kg−70kg=20kgであると算出することができる。 That is, the load applied to the movable cylinder 170 can be calculated to be 90 kg-70 kg = 20 kg by subtracting the detected value of the first load sensor 141 from the detected value of the second load sensor 142.

図4は、可動筒に予圧荷重より高い荷重が負荷されている状態を示す模式図である。図4に示すように、可動筒170が予圧荷重より高い荷重Fbで物体を押しているとき、可動筒170に上記軸方向の一方に向けて荷重Fbが負荷される。たとえば、予圧荷重F0=80kg、荷重Fb=200kgである場合、第1荷重センサ141の検出値は0kgとなり、第2荷重センサ142の検出値は200kgとなる。 FIG. 4 is a schematic view showing a state in which a load higher than the preload is applied to the movable cylinder. As shown in FIG. 4, when the movable cylinder 170 pushes an object with a load Fb higher than the preload, the movable cylinder 170 is loaded with the load Fb in one of the axial directions. For example, when the preload load F0 = 80 kg and the load Fb = 200 kg, the detection value of the first load sensor 141 is 0 kg, and the detection value of the second load sensor 142 is 200 kg.

すなわち、可動筒170に負荷されている荷重は、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引いて、200kg−0kg=200kgであると算出することができる。 That is, the load applied to the movable cylinder 170 can be calculated to be 200 kg-0 kg = 200 kg by subtracting the detected value of the first load sensor 141 from the detected value of the second load sensor 142.

上記のように、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引くことにより、可動筒170に負荷されている荷重を算出することができる。算出された荷重の値が正である場合は、可動筒170に上記軸方向の一方に向いた荷重が負荷されており、算出された荷重の値が負である場合は、可動筒170に上記軸方向の他方に向いた荷重が負荷されている。 As described above, the load applied to the movable cylinder 170 can be calculated by subtracting the detected value of the first load sensor 141 from the detected value of the second load sensor 142. If the calculated load value is positive, the movable cylinder 170 is loaded with a load directed in one direction in the axial direction, and if the calculated load value is negative, the movable cylinder 170 is loaded with the above. A load directed to the other in the axial direction is applied.

上記のように、本実施形態に係る電動アクチュエータ100においては、軸体110に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ142の検出値が増加しつつ第1荷重センサ141の検出値が減少するように、かつ、軸体110に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ141の検出値が増加しつつ第2荷重センサ142の検出値が減少するように、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々が配置されている。 As described above, in the electric actuator 100 according to the present embodiment, when a load is applied to the shaft body 110 in one of the axial directions, the detection value of the second load sensor 142 is increasing. 1 The detection value of the first load sensor 141 decreases while the detection value of the first load sensor 141 increases when a load is applied to the shaft body 110 toward the other side in the axial direction. Each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is arranged so that the detected value of the load sensor 142 is reduced.

本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100においては、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体120内に固定されている。また、軸体110に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ142の検出値が増加しつつ第1荷重センサ141の検出値が減少するように、かつ、軸体110に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ141の検出値が増加しつつ第2荷重センサ142の検出値が減少するように、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々が配置されている。 In the electric actuator 100 according to the first embodiment of the present invention, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is placed in the housing 120 in a state where a preload is applied so as to be sandwiched in the axial direction. It is fixed. Further, when a load is applied to the shaft body 110 in one of the axial directions, the detected value of the second load sensor 142 increases and the detected value of the first load sensor 141 decreases. When a load is applied to the shaft body 110 toward the other side in the axial direction, the detection value of the first load sensor 141 increases and the detection value of the second load sensor 142 decreases. Each of the load sensor 141 and the second load sensor 142 is arranged.

可動筒170に荷重が負荷されていない無負荷状態のときから、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に予圧荷重を負荷していることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々における微少荷重検出時の検出誤差を低減することができる。その結果、電動アクチュエータ100において、無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができる。 Since no load is applied to the movable cylinder 170, the preload is applied to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142, so that the first load sensor 141 and the second load are applied. It is possible to reduce the detection error at the time of detecting a minute load in each of the sensors 142. As a result, the electric actuator 100 can detect the load of both pushing and pulling from the no-load state with high accuracy.

また、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142が筐体120の外部に露出しないようにすることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に水およびダストなどが付着することを抑制して、電動アクチュエータ100の信頼性を高めることができる。 Further, by preventing the first load sensor 141 and the second load sensor 142 from being exposed to the outside of the housing 120, water, dust, etc. adhere to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142. Can be suppressed to increase the reliability of the electric actuator 100.

さらに、軸体110を支持する第1軸受131および第2軸受132とは別に1対の軸受を設ける必要がないため、電動アクチュエータ100が大型化することを抑制することができる。 Further, since it is not necessary to provide a pair of bearings separately from the first bearing 131 and the second bearing 132 that support the shaft body 110, it is possible to suppress the increase in size of the electric actuator 100.

(実施形態2)
以下、本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータについて図を参照して説明する。本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータ200は、駆動機構および予圧荷重を負荷するための構成が主に、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100と異なるため、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100と同様である構成については説明を繰り返さない。
(Embodiment 2)
Hereinafter, the electric actuator according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The electric actuator 200 according to the second embodiment of the present invention is different from the electric actuator 100 according to the first embodiment of the present invention mainly in a configuration for applying a drive mechanism and a preload, and therefore, according to the first embodiment of the present invention. The description of the configuration similar to that of the electric actuator 100 will not be repeated.

図5は、本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。図5に示すように、本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータ200は、駆動機構と、軸体110と、移動可能なナット160と、筐体と、第1軸受131および第2軸受132と、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142とを備える。 FIG. 5 is a partial cross-sectional view showing the configuration of the electric actuator according to the second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 5, the electric actuator 200 according to the second embodiment of the present invention includes a drive mechanism, a shaft body 110, a movable nut 160, a housing, a first bearing 131, and a second bearing 132. , A first load sensor 141 and a second load sensor 142 are provided.

電動アクチュエータ200は、駆動機構が駆動することにより、軸体110の周方向に回転する回転ホイール40をさらに備える。具体的には、駆動機構は、モータ、および、モータの出力軸部に接続された円筒ウォーム30を含む。円筒ウォーム30は、ウォームホイールである回転ホイール40と係合している。円筒ウォーム30および回転ホイール40は、ウォームギヤを構成している。 The electric actuator 200 further includes a rotary wheel 40 that rotates in the circumferential direction of the shaft body 110 when the drive mechanism is driven. Specifically, the drive mechanism includes a motor and a cylindrical worm 30 connected to the output shaft portion of the motor. The cylindrical worm 30 is engaged with a rotating wheel 40, which is a worm wheel. The cylindrical worm 30 and the rotary wheel 40 form a worm gear.

軸体110には、上記軸方向の一方側から順に、雄ねじ部114、円柱部113、および、ねじ軸部111が設けられている。ねじ軸部111の最小直径は、円柱部113の直径より大きい。 The shaft body 110 is provided with a male screw portion 114, a cylindrical portion 113, and a screw shaft portion 111 in this order from one side in the axial direction. The minimum diameter of the screw shaft portion 111 is larger than the diameter of the cylindrical portion 113.

筐体は、互いに接続される第1筐体230および第2筐体220を含む。第1筐体230は、第2筐体220と同軸状に位置しつつ、第1筐体230の上記軸方向の一方側の端部233が第2筐体220の上記軸方向の他方側の端部223の内側に入り込んだ状態で第2筐体220に固定されている。第2筐体220の内周面221における上記軸方向の他方側の端部と、第1筐体230の端部233の外周面とが互いに接している。 The housing includes a first housing 230 and a second housing 220 connected to each other. The first housing 230 is located coaxially with the second housing 220, and the end 233 on one side of the first housing 230 in the axial direction is located on the other side of the second housing 220 in the axial direction. It is fixed to the second housing 220 in a state where it is inserted inside the end portion 223. The other end of the inner peripheral surface 221 of the second housing 220 in the axial direction and the outer peripheral surface of the end 233 of the first housing 230 are in contact with each other.

第2筐体220の端部223と、第1筐体230のフランジ部232とが上記軸方向において互いに当接するように、第1筐体230と第2筐体220とが、図示しないボルトによって締結固定されている。 The first housing 230 and the second housing 220 are provided by bolts (not shown) so that the end portion 223 of the second housing 220 and the flange portion 232 of the first housing 230 abut each other in the axial direction. It is fastened and fixed.

円筒ウォーム30および回転ホイール40は、第2筐体220の内側に収容されている。第1荷重センサ141および第1軸受131は、回転ホイール40に対して上記軸方向の上記他方側に位置しつつ筐体の内側に収容されている。第2荷重センサ142および第2軸受132は、回転ホイール40に対して上記軸方向の一方側に位置しつつ筐体の内側に収容されている。 The cylindrical worm 30 and the rotary wheel 40 are housed inside the second housing 220. The first load sensor 141 and the first bearing 131 are housed inside the housing while being located on the other side of the rotary wheel 40 in the axial direction. The second load sensor 142 and the second bearing 132 are housed inside the housing while being located on one side in the axial direction with respect to the rotary wheel 40.

第1筐体230は、第1荷重センサ141および第1軸受131が配置されている位置に対して上記軸方向における他方側の位置に、第1筐体230の内径が部分的に小さくなっている第1縮径部234を有している。第1筐体230において、第1縮径部234は、第1荷重センサ141および第1軸受131を囲んでいる内周面231と隣り合っている。 In the first housing 230, the inner diameter of the first housing 230 is partially reduced at a position on the other side in the axial direction with respect to the position where the first load sensor 141 and the first bearing 131 are arranged. It has a first reduced diameter portion 234. In the first housing 230, the first reduced diameter portion 234 is adjacent to the inner peripheral surface 231 surrounding the first load sensor 141 and the first bearing 131.

第2筐体220は、第2荷重センサ142および第2軸受132が配置されている位置に対して上記軸方向における一方側の位置に、第2筐体220の内径が部分的に小さくなっている第2縮径部222を有している。第2筐体220において、第2縮径部222は、第2荷重センサ142および第2軸受132を囲んでいる内周面と隣り合っている。 In the second housing 220, the inner diameter of the second housing 220 is partially reduced at a position on one side in the axial direction with respect to the position where the second load sensor 142 and the second bearing 132 are arranged. It has a second reduced diameter portion 222. In the second housing 220, the second reduced diameter portion 222 is adjacent to the inner peripheral surface surrounding the second load sensor 142 and the second bearing 132.

第1荷重センサ141は、上記軸方向において第1縮径部234と並んで配置されている。第2荷重センサ142は、上記軸方向において第2縮径部222と並んで配置されている。 The first load sensor 141 is arranged side by side with the first reduced diameter portion 234 in the axial direction. The second load sensor 142 is arranged side by side with the second reduced diameter portion 222 in the axial direction.

回転ホイール40の内周面41には、軸体110の上記軸方向の上記一方側の端部の外周面に設けられた雄ねじ部114と螺合する雌ねじ部が設けられている。軸体110の上記軸方向の一方側の端部の外周面に設けられた雄ねじ部114と、回転ホイール40の雌ねじ部とが螺合することにより、軸体110と回転ホイール40とが互いに接続される。軸体110の雄ねじ部114と回転ホイール40の雌ねじ部とが螺合した状態において、回転ホイール40の上記軸方向の他方側の端部と、軸体110のねじ軸部111の上記軸方向の一方側の端部とが、上記軸方向において互いに当接している。 The inner peripheral surface 41 of the rotary wheel 40 is provided with a female threaded portion that is screwed with a male threaded portion 114 provided on the outer peripheral surface of the one-sided end of the shaft body 110 in the axial direction. The shaft body 110 and the rotary wheel 40 are connected to each other by screwing the male screw portion 114 provided on the outer peripheral surface of one end of the shaft body 110 in the axial direction and the female screw portion of the rotary wheel 40. Will be done. In a state where the male screw portion 114 of the shaft body 110 and the female screw portion of the rotary wheel 40 are screwed together, the other end portion of the rotary wheel 40 in the axial direction and the screw shaft portion 111 of the shaft body 110 in the axial direction. The ends on one side are in contact with each other in the axial direction.

回転ホイール40には、円筒ウォーム30と係合する歯部、歯部に対して上記軸方向の他方側に並んで位置する第1肩部43、および、歯部に対して上記軸方向の一方側に並んで位置する第2肩部42が設けられている。 The rotary wheel 40 has a tooth portion that engages with the cylindrical worm 30, a first shoulder portion 43 that is located side by side with respect to the tooth portion in the axial direction, and one of the axial directions with respect to the tooth portion. A second shoulder portion 42 located side by side is provided.

第1荷重センサ141および第1軸受131は、第1縮径部234と第1肩部43との間に挟み込まれている。第2荷重センサ142および第2軸受132は、第2縮径部222と第2肩部42との間に挟み込まれている。その結果、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体内に固定されている。すなわち、予圧荷重は、第1筐体230と第2筐体220とを締結固定する図示しないボルトの軸力によって発生している。 The first load sensor 141 and the first bearing 131 are sandwiched between the first reduced diameter portion 234 and the first shoulder portion 43. The second load sensor 142 and the second bearing 132 are sandwiched between the second reduced diameter portion 222 and the second shoulder portion 42. As a result, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is fixed in the housing in a state where the preload is applied so as to be sandwiched in the axial direction. That is, the preload is generated by the axial force of a bolt (not shown) that fastens and fixes the first housing 230 and the second housing 220.

モータが正転駆動して先端金具171が物体を上記軸方向の他方に向けて押したとき、先端金具171には、上記軸方向の一方に向けて荷重F1が負荷される。先端金具171に負荷された荷重F1は、可動筒170を介してナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F1は、ボールを介して軸体110のねじ軸部111に伝播する。軸体110に伝播した荷重F1は、軸体110のねじ軸部111から回転ホイール40に伝播する。回転ホイール40に伝播した荷重F1は、回転ホイール40の第2肩部42から第2軸受132を介して第2荷重センサ142に伝播する。その結果、第2荷重センサ142が荷重F1を検出する。 When the motor is driven in the forward direction and the tip fitting 171 pushes the object toward the other in the axial direction, the tip fitting 171 is loaded with the load F1 toward one of the axial directions. The load F1 applied to the tip metal fitting 171 propagates to the nut 160 via the movable cylinder 170. The load F1 propagated to the nut 160 propagates to the screw shaft portion 111 of the shaft body 110 via the ball. The load F1 propagated to the shaft body 110 propagates from the screw shaft portion 111 of the shaft body 110 to the rotary wheel 40. The load F1 propagated to the rotary wheel 40 propagates from the second shoulder portion 42 of the rotary wheel 40 to the second load sensor 142 via the second bearing 132. As a result, the second load sensor 142 detects the load F1.

モータが逆転駆動して先端金具171が物体を上記軸方向の一方に向けて引いたとき、先端金具171には、上記軸方向の他方に向けて荷重F2が負荷される。先端金具171に負荷された荷重F2は、可動筒170を介してナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F2は、ボールを介して軸体110のねじ軸部111に伝播する。軸体110に伝播した荷重F2は、軸体110の雄ねじ部114から回転ホイール40および第1軸受131を介して第1荷重センサ141に伝播する。その結果、第1荷重センサ141が荷重F2を検出する。 When the motor is driven in reverse and the tip fitting 171 pulls the object toward one of the axial directions, the tip fitting 171 is loaded with the load F2 toward the other in the axial direction. The load F2 applied to the tip metal fitting 171 propagates to the nut 160 via the movable cylinder 170. The load F2 propagated to the nut 160 propagates to the screw shaft portion 111 of the shaft body 110 via the ball. The load F2 propagated to the shaft body 110 propagates from the male screw portion 114 of the shaft body 110 to the first load sensor 141 via the rotary wheel 40 and the first bearing 131. As a result, the first load sensor 141 detects the load F2.

本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータ200においても、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引くことにより、可動筒170に負荷されている荷重を算出することができる。 Also in the electric actuator 200 according to the second embodiment of the present invention, the load applied to the movable cylinder 170 can be calculated by subtracting the detected value of the first load sensor 141 from the detected value of the second load sensor 142. it can.

本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータ200においては、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体内に固定されている。また、軸体110に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ142の検出値が増加しつつ第1荷重センサ141の検出値が減少するように、かつ、軸体110に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ141の検出値が増加しつつ第2荷重センサ142の検出値が減少するように、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々が配置されている。 In the electric actuator 200 according to the second embodiment of the present invention, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is fixed in the housing in a state where a preload is applied so as to be sandwiched in the axial direction. ing. Further, when a load is applied to the shaft body 110 in one of the axial directions, the detected value of the second load sensor 142 increases and the detected value of the first load sensor 141 decreases. When a load is applied to the shaft body 110 toward the other side in the axial direction, the detection value of the first load sensor 141 increases and the detection value of the second load sensor 142 decreases. Each of the load sensor 141 and the second load sensor 142 is arranged.

可動筒170に荷重が負荷されていない無負荷状態のときから、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に予圧荷重を負荷していることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々における微少荷重検出時の検出誤差を低減することができる。その結果、電動アクチュエータ200において、無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができる。 Since no load is applied to the movable cylinder 170, the preload is applied to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142, so that the first load sensor 141 and the second load are applied. It is possible to reduce the detection error at the time of detecting a minute load in each of the sensors 142. As a result, the electric actuator 200 can detect the load of both pushing and pulling from the no-load state with high accuracy.

また、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142が筐体の外部に露出しないようにすることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に水およびダストなどが付着することを抑制して、電動アクチュエータ200の信頼性を高めることができる。 Further, by preventing the first load sensor 141 and the second load sensor 142 from being exposed to the outside of the housing, water and dust may adhere to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142. It can be suppressed and the reliability of the electric actuator 200 can be improved.

さらに、軸体110を支持する第1軸受131および第2軸受132とは別に1対の軸受を設ける必要がないため、電動アクチュエータ200が大型化することを抑制することができる。 Further, since it is not necessary to provide a pair of bearings separately from the first bearing 131 and the second bearing 132 that support the shaft body 110, it is possible to suppress the increase in size of the electric actuator 200.

(実施形態3)
以下、本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータについて図を参照して説明する。本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータ300は、回転ホイールがナットと接続されている点が主に、本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータ200と異なるため、本発明の実施形態2に係る電動アクチュエータ200と同様である構成については説明を繰り返さない。
(Embodiment 3)
Hereinafter, the electric actuator according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The electric actuator 300 according to the third embodiment of the present invention is different from the electric actuator 200 according to the second embodiment of the present invention mainly in that the rotary wheel is connected to the nut. The description of the configuration similar to that of the electric actuator 200 will not be repeated.

図6は、本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。図6に示すように、本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータ300は、駆動機構と、軸体110と、ナット360と、筐体と、第1軸受131および第2軸受132と、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142とを備える。 FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing the configuration of the electric actuator according to the third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, the electric actuator 300 according to the third embodiment of the present invention includes a drive mechanism, a shaft body 110, a nut 360, a housing, a first bearing 131 and a second bearing 132, and a first bearing. It includes a load sensor 141 and a second load sensor 142.

電動アクチュエータ300は、駆動機構が駆動することにより、軸体110の周方向に回転する回転ホイール40をさらに備える。具体的には、駆動機構は、モータ、および、モータの出力軸部に接続された円筒ウォーム30を含む。円筒ウォーム30は、ウォームホイールである回転ホイール40と係合している。円筒ウォーム30および回転ホイール40は、ウォームギヤを構成している。軸体110には、ねじ軸部111が設けられている。 The electric actuator 300 further includes a rotary wheel 40 that rotates in the circumferential direction of the shaft body 110 when the drive mechanism is driven. Specifically, the drive mechanism includes a motor and a cylindrical worm 30 connected to the output shaft portion of the motor. The cylindrical worm 30 is engaged with a rotating wheel 40, which is a worm wheel. The cylindrical worm 30 and the rotary wheel 40 form a worm gear. The shaft body 110 is provided with a screw shaft portion 111.

筐体は、互いに接続される第1筐体330および第2筐体220を含む。第1筐体330は、第2筐体220と同軸状に位置しつつ、第1筐体330の上記軸方向の一方側の端部333が第2筐体220の上記軸方向の他方側の端部223の内側に入り込んだ状態で第2筐体220に固定されている。第2筐体220の内周面221における上記軸方向の他方側の端部と、第1筐体330の端部333の外周面とが互いに接している。回転ホイール40の外周面における上記軸方向の他方側の端部と、第1筐体330の端部333の内周面335とが互いに接している。 The housing includes a first housing 330 and a second housing 220 connected to each other. The first housing 330 is located coaxially with the second housing 220, and the end portion 333 on one side of the first housing 330 in the axial direction is located on the other side of the second housing 220 in the axial direction. It is fixed to the second housing 220 in a state where it is inserted inside the end portion 223. The other end of the inner peripheral surface 221 of the second housing 220 in the axial direction and the outer peripheral surface of the end 333 of the first housing 330 are in contact with each other. The other end in the axial direction on the outer peripheral surface of the rotary wheel 40 and the inner peripheral surface 335 of the end 333 of the first housing 330 are in contact with each other.

第2筐体220の端部223と、第1筐体330のフランジ部332とが上記軸方向において互いに当接するように、第1筐体330と第2筐体220とが、ボルト240によって締結固定されている。 The first housing 330 and the second housing 220 are fastened by bolts 240 so that the end portion 223 of the second housing 220 and the flange portion 332 of the first housing 330 abut each other in the axial direction. It is fixed.

円筒ウォーム30および回転ホイール40は、第2筐体220の内側に収容されている。第1荷重センサ141および第1軸受131は、回転ホイール40に対して上記軸方向の上記他方側に位置しつつ筐体の内側に収容されている。第2荷重センサ142および第2軸受132は、回転ホイール40に対して上記軸方向の一方側に位置しつつ筐体の内側に収容されている。 The cylindrical worm 30 and the rotary wheel 40 are housed inside the second housing 220. The first load sensor 141 and the first bearing 131 are housed inside the housing while being located on the other side of the rotary wheel 40 in the axial direction. The second load sensor 142 and the second bearing 132 are housed inside the housing while being located on one side in the axial direction with respect to the rotary wheel 40.

第1筐体330は、第1荷重センサ141および第1軸受131が配置されている位置に対して上記軸方向における他方側の位置に、第1筐体330の内径が部分的に小さくなっている第1縮径部334を有している。第1筐体330において、第1縮径部334は、第1荷重センサ141および第1軸受131を囲んでいる内周面331と隣り合っている。 In the first housing 330, the inner diameter of the first housing 330 is partially reduced at a position on the other side in the axial direction with respect to the position where the first load sensor 141 and the first bearing 131 are arranged. It has a first reduced diameter portion 334. In the first housing 330, the first reduced diameter portion 334 is adjacent to the inner peripheral surface 331 surrounding the first load sensor 141 and the first bearing 131.

第2筐体220は、第2荷重センサ142および第2軸受132が配置されている位置に対して上記軸方向における一方側の位置に、第2筐体220の内径が部分的に小さくなっている第2縮径部222を有している。第2筐体220において、第2縮径部222は、第2荷重センサ142および第2軸受132を囲んでいる内周面と隣り合っている。 In the second housing 220, the inner diameter of the second housing 220 is partially reduced at a position on one side in the axial direction with respect to the position where the second load sensor 142 and the second bearing 132 are arranged. It has a second reduced diameter portion 222. In the second housing 220, the second reduced diameter portion 222 is adjacent to the inner peripheral surface surrounding the second load sensor 142 and the second bearing 132.

第1荷重センサ141は、上記軸方向において第1縮径部334と並んで配置されている。第2荷重センサ142は、上記軸方向において第2縮径部222と並んで配置されている。 The first load sensor 141 is arranged side by side with the first reduced diameter portion 334 in the axial direction. The second load sensor 142 is arranged side by side with the second reduced diameter portion 222 in the axial direction.

回転ホイール40の内周面には、ナット360の上記軸方向の一方側の端部の外周面に設けられた雄ねじ部と螺合する雌ねじ部が設けられている。ナット360の上記軸方向の上記一方側の端部の外周面に設けられた雄ねじ部と、回転ホイール40の雌ねじ部とが螺合することにより、軸体110と回転ホイール40とが互いに接続される。 The inner peripheral surface of the rotary wheel 40 is provided with a female threaded portion that is screwed with a male threaded portion provided on the outer peripheral surface of one end of the nut 360 in the axial direction. The shaft body 110 and the rotary wheel 40 are connected to each other by screwing the male screw portion provided on the outer peripheral surface of the one end portion of the nut 360 in the axial direction and the female screw portion of the rotary wheel 40. Wheel.

第1荷重センサ141および第1軸受131は、第1縮径部334とナット360との間に挟み込まれている。第2荷重センサ142および第2軸受132は、第2縮径部222と回転ホイール40との間に挟み込まれている。その結果、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体内に固定されている。すなわち、予圧荷重は、第1筐体330と第2筐体220とを締結固定するボルト240の軸力によって発生している。 The first load sensor 141 and the first bearing 131 are sandwiched between the first reduced diameter portion 334 and the nut 360. The second load sensor 142 and the second bearing 132 are sandwiched between the second reduced diameter portion 222 and the rotary wheel 40. As a result, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is fixed in the housing in a state where the preload is applied so as to be sandwiched in the axial direction. That is, the preload is generated by the axial force of the bolt 240 that fastens and fixes the first housing 330 and the second housing 220.

本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータ300においては、モータが正転駆動してナット360が回転ホイール40とともに回転することにより、軸体110が上記軸方向の他方側に移動する。モータが逆転駆動してナット360が回転ホイール40とともに回転することにより、軸体110が上記軸方向の一方側に移動する。本実施形態に係る電動アクチュエータ300においては、軸体110が直線可動部となる。 In the electric actuator 300 according to the third embodiment of the present invention, the shaft body 110 moves to the other side in the axial direction when the motor is driven to rotate in the forward direction and the nut 360 rotates together with the rotating wheel 40. When the motor is driven in reverse and the nut 360 rotates together with the rotary wheel 40, the shaft body 110 moves to one side in the axial direction. In the electric actuator 300 according to the present embodiment, the shaft body 110 is a linearly movable portion.

モータが正転駆動して軸体110が物体を上記軸方向の他方に向けて押したとき、軸体110には、上記軸方向の一方に向けて荷重F1が負荷される。軸体110に負荷された荷重F1は、ボールを介してナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F1は、回転ホイール40に伝播する。回転ホイール40に伝播した荷重F1は、第2軸受132を介して第2荷重センサ142に伝播する。その結果、第2荷重センサ142が荷重F1を検出する。 When the motor is driven in the normal direction and the shaft body 110 pushes the object toward the other in the axial direction, the load F1 is applied to the shaft body 110 toward the other in the axial direction. The load F1 applied to the shaft body 110 propagates to the nut 160 via the ball. The load F1 propagated to the nut 160 propagates to the rotary wheel 40. The load F1 propagated to the rotary wheel 40 propagates to the second load sensor 142 via the second bearing 132. As a result, the second load sensor 142 detects the load F1.

モータが逆転駆動して軸体110が物体を上記軸方向の一方に向けて引いたとき、軸体110には、上記軸方向の他方に向けて荷重F2が負荷される。軸体110に負荷された荷重F2は、ボールを介してナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F2は、第1軸受131を介して第1荷重センサ141に伝播する。その結果、第1荷重センサ141が荷重F2を検出する。 When the motor reversely drives and the shaft body 110 pulls the object toward one of the axial directions, the shaft body 110 is loaded with the load F2 toward the other of the axial directions. The load F2 applied to the shaft body 110 propagates to the nut 160 via the ball. The load F2 propagated to the nut 160 propagates to the first load sensor 141 via the first bearing 131. As a result, the first load sensor 141 detects the load F2.

本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータ300においても、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引くことにより、軸体110に負荷されている荷重を算出することができる。 Also in the electric actuator 300 according to the third embodiment of the present invention, the load applied to the shaft body 110 can be calculated by subtracting the detected value of the first load sensor 141 from the detected value of the second load sensor 142. it can.

本発明の実施形態3に係る電動アクチュエータ300においては、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体内に固定されている。また、軸体110に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ142の検出値が増加しつつ第1荷重センサ141の検出値が減少するように、かつ、軸体110に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ141の検出値が増加しつつ第2荷重センサ142の検出値が減少するように、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々が配置されている。 In the electric actuator 300 according to the third embodiment of the present invention, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is fixed in the housing in a state where a preload is applied so as to be sandwiched in the axial direction. ing. Further, when a load is applied to the shaft body 110 in one of the axial directions, the detected value of the second load sensor 142 increases and the detected value of the first load sensor 141 decreases. When a load is applied to the shaft body 110 toward the other side in the axial direction, the detection value of the first load sensor 141 increases and the detection value of the second load sensor 142 decreases. Each of the load sensor 141 and the second load sensor 142 is arranged.

軸体110に荷重が負荷されていない無負荷状態のときから、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に予圧荷重を負荷していることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々における微少荷重検出時の検出誤差を低減することができる。その結果、電動アクチュエータ300において、無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができる。 Since no load is applied to the shaft body 110, the preload is applied to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142, so that the first load sensor 141 and the second load are applied. It is possible to reduce the detection error at the time of detecting a minute load in each of the sensors 142. As a result, the electric actuator 300 can detect the load of both pushing and pulling from the no-load state with high accuracy.

また、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142が筐体の外部に露出しないようにすることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に水およびダストなどが付着することを抑制して、電動アクチュエータ300の信頼性を高めることができる。 Further, by preventing the first load sensor 141 and the second load sensor 142 from being exposed to the outside of the housing, water and dust may adhere to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142. It can be suppressed and the reliability of the electric actuator 300 can be improved.

さらに、軸体110を支持する第1軸受131および第2軸受132とは別に1対の軸受を設ける必要がないため、電動アクチュエータ300が大型化することを抑制することができる。 Further, since it is not necessary to provide a pair of bearings separately from the first bearing 131 and the second bearing 132 that support the shaft body 110, it is possible to suppress the increase in size of the electric actuator 300.

(実施形態4)
以下、本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータについて図を参照して説明する。本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータ400は、直線可動部の構成が主に、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100と異なるため、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100と同様である構成については説明を繰り返さない。
(Embodiment 4)
Hereinafter, the electric actuator according to the fourth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The electric actuator 400 according to the fourth embodiment of the present invention is the same as the electric actuator 100 according to the first embodiment of the present invention because the configuration of the linearly movable portion is mainly different from the electric actuator 100 according to the first embodiment of the present invention. The description of the configuration is not repeated.

図7は、本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータの構成を示す部分断面図である。図7に示すように、本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータ400は、駆動機構と、軸体110と、移動可能なナット160と、筐体420と、第1軸受131および第2軸受132と、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142とを備える。 FIG. 7 is a partial cross-sectional view showing the configuration of the electric actuator according to the fourth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 7, the electric actuator 400 according to the fourth embodiment of the present invention includes a drive mechanism, a shaft body 110, a movable nut 160, a housing 420, a first bearing 131, and a second bearing 132. And a first load sensor 141 and a second load sensor 142.

駆動機構は、モータ10、および、モータ10の出力軸部に接続された減速機構部12を含む。減速機構部12は、軸体110における軸方向の一方側の端部に位置する回転軸部115に接続されている。本実施形態においては、モータ10と軸体110とが、互いに直交するように配置されているが、これに限られず、モータ10と軸体110とが、同一直線状に配置されていてもよい。 The drive mechanism includes a motor 10 and a speed reduction mechanism unit 12 connected to an output shaft portion of the motor 10. The speed reduction mechanism portion 12 is connected to a rotating shaft portion 115 located at one end of the shaft body 110 in the axial direction. In the present embodiment, the motor 10 and the shaft body 110 are arranged so as to be orthogonal to each other, but the present invention is not limited to this, and the motor 10 and the shaft body 110 may be arranged in the same linear shape. ..

ナット160には、先端金具470が取り付けられている。先端金具470は、ナット160とともに軸体110に対して相対的に上記軸方向に移動可能である。本実施形態に係る電動アクチュエータ400においては、先端金具470が直線可動部となる。 A tip metal fitting 470 is attached to the nut 160. The tip metal fitting 470 can move together with the nut 160 in the axial direction relative to the shaft body 110. In the electric actuator 400 according to the present embodiment, the tip metal fitting 470 serves as a linear movable portion.

筐体420は、軸体110の一部を収容する。本実施形態においては、筐体420は、略円筒状の外形を有している。筐体420は、軸体110と同軸状に配置されている。筐体420の内部に、軸体110の円柱部113および雄ねじ部114が位置している。 The housing 420 accommodates a part of the shaft body 110. In the present embodiment, the housing 420 has a substantially cylindrical outer shape. The housing 420 is arranged coaxially with the shaft body 110. A cylindrical portion 113 and a male screw portion 114 of the shaft body 110 are located inside the housing 420.

筐体420の上記軸方向の一方側に、ハウジング20が配置されており、筐体420の上記軸方向の他方側に、外筒22が配置されている。筐体420は、ハウジング20と外筒22との間に挟まれた状態で、ハウジング20および外筒22の各々と接続されている。 The housing 20 is arranged on one side of the housing 420 in the axial direction, and the outer cylinder 22 is arranged on the other side of the housing 420 in the axial direction. The housing 420 is connected to each of the housing 20 and the outer cylinder 22 in a state of being sandwiched between the housing 20 and the outer cylinder 22.

第1軸受131および第2軸受132は、軸体110が挿通された状態で筐体420内に配置されている。第1軸受131および第2軸受132の各々の内側に、軸体110の円柱部113が位置している。 The first bearing 131 and the second bearing 132 are arranged in the housing 420 with the shaft body 110 inserted. A cylindrical portion 113 of the shaft body 110 is located inside each of the first bearing 131 and the second bearing 132.

第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、環状であり、軸体110が挿通された状態で筐体420内に配置されている。第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々の内側に、軸体110の円柱部113が位置している。第1荷重センサ141は、第1軸受131と並んで配置されている。第2荷重センサ142は、第2軸受132と並んで配置されている。 Each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is annular and is arranged in the housing 420 with the shaft body 110 inserted. A cylindrical portion 113 of the shaft body 110 is located inside each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142. The first load sensor 141 is arranged side by side with the first bearing 131. The second load sensor 142 is arranged side by side with the second bearing 132.

筐体420は、上記軸方向において第1荷重センサ141が配置されている位置と第2荷重センサ142が配置されている位置との間に、筐体420の内径が部分的に小さくなっている縮径部422を有している。具体的には、筐体420において、第1軸受131および第1荷重センサ141を囲んでいる内周面と、第2軸受132および第2荷重センサ142を囲んでいる内周面との間に、内径の小さい縮径部422が設けられている。第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において縮径部422と並んで配置されている。 In the housing 420, the inner diameter of the housing 420 is partially reduced between the position where the first load sensor 141 is arranged and the position where the second load sensor 142 is arranged in the axial direction. It has a reduced diameter portion 422. Specifically, in the housing 420, between the inner peripheral surface surrounding the first bearing 131 and the first load sensor 141 and the inner peripheral surface surrounding the second bearing 132 and the second load sensor 142. A reduced diameter portion 422 having a small inner diameter is provided. Each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is arranged side by side with the reduced diameter portion 422 in the axial direction.

軸体110は、軸体110の円柱部113が筐体420に収容された状態において、上記軸方向における縮径部422の位置より一方側の位置に雄ねじ部114を有し、かつ、上記軸方向における縮径部422の位置より他方側の位置に拡径部112を有している。 The shaft body 110 has a male screw portion 114 at a position on one side of the position of the diameter-reduced portion 422 in the axial direction in a state where the cylindrical portion 113 of the shaft body 110 is housed in the housing 420, and the shaft body 110 has the male screw portion 114. The diameter-expanded portion 112 is provided at a position on the opposite side of the position of the diameter-reduced portion 422 in the direction.

電動アクチュエータ400は、軸体110の雄ねじ部114と螺合するロックナット150をさらに備える。筐体420内において、縮径部422に対して上記軸方向の一方側に位置する第1荷重センサ141および第1軸受131、並びに、縮径部422に対して上記軸方向の他方側に位置する第2荷重センサ142および第2軸受132を、上記軸方向の一方側に向けて挿通した軸体110の雄ねじ部114と、ロックナット150とが螺合することにより、第1荷重センサ141および第1軸受131が縮径部422とロックナット150との間に挟み込まれ、第2荷重センサ142および第2軸受132が縮径部422と拡径部112との間に挟み込まれている。その結果、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体420内に固定されている。すなわち、予圧荷重は、ロックナット150を雄ねじ部114に締め込んだときの軸力によって発生している。 The electric actuator 400 further includes a locknut 150 that is screwed with the male threaded portion 114 of the shaft body 110. In the housing 420, the first load sensor 141 and the first bearing 131 located on one side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 422, and the position on the other side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 422. The male screw portion 114 of the shaft body 110 inserted through the second load sensor 142 and the second bearing 132 toward one side in the axial direction and the locknut 150 are screwed together to form the first load sensor 141 and The first bearing 131 is sandwiched between the reduced diameter portion 422 and the locknut 150, and the second load sensor 142 and the second bearing 132 are sandwiched between the reduced diameter portion 422 and the enlarged diameter portion 112. As a result, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is fixed in the housing 420 with a preload applied so as to be sandwiched in the axial direction. That is, the preload is generated by the axial force when the locknut 150 is tightened to the male screw portion 114.

本実施形態に係る電動アクチュエータ400においては、モータ10が正転駆動して軸体110のねじ軸部111が回転することにより、先端金具470がナット160とともに上記軸方向の他方側に移動する。モータ10が逆転駆動して軸体110のねじ軸部111が回転することにより、先端金具470がナット160とともに上記軸方向の一方側に移動する。 In the electric actuator 400 according to the present embodiment, the motor 10 is driven in the normal direction to rotate the screw shaft portion 111 of the shaft body 110, so that the tip metal fitting 470 moves to the other side in the axial direction together with the nut 160. As the motor 10 reversely drives and the screw shaft portion 111 of the shaft body 110 rotates, the tip metal fitting 470 moves to one side in the axial direction together with the nut 160.

モータ10が正転駆動して先端金具470が搬送物を上記軸方向の他方に向けて押し上げたとき、先端金具470には、上記軸方向の一方に向けて荷重F1が負荷される。先端金具470に負荷された荷重F1は、ナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F1は、ボールを介して軸体110のねじ軸部111に伝播する。軸体110に伝播した荷重F1は、軸体110の拡径部112から第2軸受132を介して第2荷重センサ142に伝播する。その結果、第2荷重センサ142が荷重F1を検出する。 When the motor 10 is driven in the forward direction and the tip fitting 470 pushes up the conveyed object toward the other in the axial direction, the tip fitting 470 is loaded with the load F1 toward one of the axial directions. The load F1 applied to the tip metal fitting 470 propagates to the nut 160. The load F1 propagated to the nut 160 propagates to the screw shaft portion 111 of the shaft body 110 via the ball. The load F1 propagated to the shaft body 110 propagates from the enlarged diameter portion 112 of the shaft body 110 to the second load sensor 142 via the second bearing 132. As a result, the second load sensor 142 detects the load F1.

モータ10が逆転駆動して先端金具470が搬送物を上記軸方向の一方に向けて引いたとき、先端金具470には、上記軸方向の他方に向けて荷重F2が負荷される。先端金具470に負荷された荷重F2は、ナット160に伝播する。ナット160に伝播した荷重F2は、ボールを介して軸体110のねじ軸部111に伝播する。軸体110に伝播した荷重F2は、軸体110の雄ねじ部114からロックナット150および第1軸受131を介して第1荷重センサ141に伝播する。その結果、第1荷重センサ141が荷重F2を検出する。 When the motor 10 is driven in reverse and the tip fitting 470 pulls the conveyed object toward one of the axial directions, the tip fitting 470 is loaded with the load F2 toward the other in the axial direction. The load F2 applied to the tip metal fitting 470 propagates to the nut 160. The load F2 propagated to the nut 160 propagates to the screw shaft portion 111 of the shaft body 110 via the ball. The load F2 propagated to the shaft body 110 propagates from the male screw portion 114 of the shaft body 110 to the first load sensor 141 via the locknut 150 and the first bearing 131. As a result, the first load sensor 141 detects the load F2.

本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータ400においても、第2荷重センサ142の検出値から第1荷重センサ141の検出値を差し引くことにより、先端金具470に負荷されている荷重を算出することができる。 Also in the electric actuator 400 according to the fourth embodiment of the present invention, the load applied to the tip metal fitting 470 can be calculated by subtracting the detected value of the first load sensor 141 from the detected value of the second load sensor 142. it can.

本発明の実施形態4に係る電動アクチュエータ400においては、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体420内に固定されている。また、軸体110に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ142の検出値が増加しつつ第1荷重センサ141の検出値が減少するように、かつ、軸体110に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ141の検出値が増加しつつ第2荷重センサ142の検出値が減少するように、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々が配置されている。 In the electric actuator 400 according to the fourth embodiment of the present invention, each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142 is inside the housing 420 with a preload applied so as to be sandwiched in the axial direction. It is fixed. Further, when a load is applied to the shaft body 110 in one of the axial directions, the detected value of the second load sensor 142 increases and the detected value of the first load sensor 141 decreases. When a load is applied to the shaft body 110 toward the other side in the axial direction, the detection value of the first load sensor 141 increases and the detection value of the second load sensor 142 decreases. Each of the load sensor 141 and the second load sensor 142 is arranged.

先端金具470に荷重が負荷されていない無負荷状態のときから、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に予圧荷重を負荷していることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々における微少荷重検出時の検出誤差を低減することができる。その結果、電動アクチュエータ400において、無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができる。 Since no load is applied to the tip metal fitting 470, the preload is applied to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142, so that the first load sensor 141 and the second load are applied. It is possible to reduce the detection error at the time of detecting a minute load in each of the sensors 142. As a result, the electric actuator 400 can detect the load of both pushing and pulling from the no-load state with high accuracy.

また、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142が筐体420の外部に露出しないようにすることにより、第1荷重センサ141および第2荷重センサ142の各々に水およびダストなどが付着することを抑制して、電動アクチュエータ400の信頼性を高めることができる。 Further, by preventing the first load sensor 141 and the second load sensor 142 from being exposed to the outside of the housing 420, water, dust, etc. adhere to each of the first load sensor 141 and the second load sensor 142. Can be suppressed to increase the reliability of the electric actuator 400.

さらに、軸体110を支持する第1軸受131および第2軸受132とは別に1対の軸受を設ける必要がないため、電動アクチュエータ400が大型化することを抑制することができる。 Further, since it is not necessary to provide a pair of bearings separately from the first bearing 131 and the second bearing 132 that support the shaft body 110, it is possible to suppress the increase in size of the electric actuator 400.

(実施形態5)
以下、本発明の実施形態5に係る、電動アクチュエータの直線可動部の先端部に着脱可能に取り付けられて電動アクチュエータの負荷荷重を検出する負荷荷重検出ユニットについて図を参照して説明する。
(Embodiment 5)
Hereinafter, the load load detecting unit according to the fifth embodiment of the present invention, which is detachably attached to the tip of the linearly movable portion of the electric actuator and detects the load load of the electric actuator, will be described with reference to the drawings.

図8は、本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニットの構成を示す断面図である。図9は、本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニットを、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータに取り付けた状態を示す部分断面図である。 FIG. 8 is a cross-sectional view showing the configuration of the load-bearing detection unit according to the fifth embodiment of the present invention. FIG. 9 is a partial cross-sectional view showing a state in which the load load detection unit according to the fifth embodiment of the present invention is attached to the electric actuator according to the first embodiment of the present invention.

図8および図9に示すように、本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニット500は、電動アクチュエータの直線可動部の先端部に着脱可能に取り付けられて電動アクチュエータの負荷荷重を検出する負荷荷重検出ユニットである。 As shown in FIGS. 8 and 9, the load load detecting unit 500 according to the fifth embodiment of the present invention is detachably attached to the tip of the linearly movable portion of the electric actuator to detect the load of the electric actuator. It is a load detection unit.

負荷荷重検出ユニット500は、筐体520と、軸体570と、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542とを備える。 The load load detection unit 500 includes a housing 520, a shaft body 570, and a first load sensor 541 and a second load sensor 542.

筐体520は、電動アクチュエータ100の直線可動部の先端部である可動筒170の先端部と接続可能に設けられている。 The housing 520 is provided so as to be connectable to the tip of the movable cylinder 170, which is the tip of the linearly movable portion of the electric actuator 100.

軸体570は、軸方向に延在している。軸体570には、上記軸方向の一方側から順に、雄ねじ部573、円柱部572、および、拡径部571が設けられている。拡径部571においては、軸体570の直径が部分的に大きくなっている。拡径部571には、上記軸方向と直交する方向に貫通した貫通孔571hが設けられている。軸体570は、筐体520の内側に上記軸方向の一方側の一部が収容されている。 The shaft body 570 extends in the axial direction. The shaft body 570 is provided with a male screw portion 573, a cylindrical portion 572, and a diameter-expanded portion 571 in this order from one side in the axial direction. In the enlarged diameter portion 571, the diameter of the shaft body 570 is partially increased. The enlarged diameter portion 571 is provided with a through hole 571h penetrating in a direction orthogonal to the axial direction. A part of the shaft body 570 on one side in the axial direction is housed inside the housing 520.

本実施形態においては、筐体520は、略円筒状の外形を有している。筐体520は、軸体570と同軸状に配置されている。筐体520の内部に、軸体570の円柱部572および雄ねじ部573が位置している。 In the present embodiment, the housing 520 has a substantially cylindrical outer shape. The housing 520 is arranged coaxially with the shaft body 570. A cylindrical portion 572 and a male screw portion 573 of the shaft body 570 are located inside the housing 520.

第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々は、環状であり、軸体570が挿通された状態で筐体520内に配置されている。第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々の内側に、軸体570の円柱部572が位置している。なお、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々の形状は、環状に限られない。 Each of the first load sensor 541 and the second load sensor 542 is annular and is arranged in the housing 520 with the shaft body 570 inserted. A cylindrical portion 572 of the shaft body 570 is located inside each of the first load sensor 541 and the second load sensor 542. The shapes of the first load sensor 541 and the second load sensor 542 are not limited to the annular shape.

筐体520は、上記軸方向において第1荷重センサ541が配置されている位置と第2荷重センサ542が配置されている位置との間に、筐体520の内径が部分的に小さくなっている縮径部522を有している。 In the housing 520, the inner diameter of the housing 520 is partially reduced between the position where the first load sensor 541 is arranged and the position where the second load sensor 542 is arranged in the axial direction. It has a reduced diameter portion 522.

具体的には、筐体520において、第1荷重センサ541を囲んでいる内周面521と、第2荷重センサ542を囲んでいる内周面521との間に、内周面521より内径の小さい縮径部522が設けられている。第1荷重センサ541は、上記軸方向において縮径部122と並んで配置されている。第2荷重センサ542上記軸方向において縮径部122と並んで配置されている。本実施形態においては、第1荷重センサ541は、縮径部122と直接的に接しているが、たとえば、ワシャなどを介して縮径部122と間接的に接していてもよい。第2荷重センサ542は、縮径部122と直接的に接しているが、たとえば、ワシャなどを介して縮径部122と間接的に接していてもよい。 Specifically, in the housing 520, between the inner peripheral surface 521 surrounding the first load sensor 541 and the inner peripheral surface 521 surrounding the second load sensor 542, the inner diameter is larger than the inner peripheral surface 521. A small diameter reduction portion 522 is provided. The first load sensor 541 is arranged side by side with the reduced diameter portion 122 in the axial direction. Second load sensor 542 The second load sensor 542 is arranged side by side with the reduced diameter portion 122 in the axial direction. In the present embodiment, the first load sensor 541 is in direct contact with the reduced diameter portion 122, but may be indirectly in contact with the reduced diameter portion 122 via, for example, a washer or the like. The second load sensor 542 is in direct contact with the reduced diameter portion 122, but may be indirectly in contact with the reduced diameter portion 122 via, for example, a washer or the like.

軸体570は、軸体570の円柱部572および雄ねじ部573が筐体520に収容された状態において、上記軸方向における縮径部522の位置より一方側の位置に雄ねじ部573を有し、かつ、上記軸方向における縮径部522の位置より他方側の位置に、軸体570の直径が部分的に大きくなっている拡径部571を有している。 The shaft body 570 has a male screw portion 573 at a position on one side of the position of the diameter reduction portion 522 in the axial direction in a state where the cylindrical portion 572 and the male screw portion 573 of the shaft body 570 are housed in the housing 520. Moreover, a diameter-expanded portion 571 in which the diameter of the shaft body 570 is partially increased is provided at a position on the opposite side of the position of the diameter-reduced portion 522 in the axial direction.

負荷荷重検出ユニット500は、軸体570の雄ねじ部573と螺合するロックナット550をさらに備える。筐体520内において、縮径部522に対して上記軸方向の上記一方側に位置する第1荷重センサ541、および、縮径部522に対して上記軸方向の上記他方側に位置する第2荷重センサ542を上記軸方向の上記一方側に向けて挿通した軸体570の雄ねじ部573と、ロックナット550とが螺合することにより、第1荷重センサ541が縮径部522とロックナット550との間に挟み込まれており、第2荷重センサ542が縮径部522と拡径部571との間に挟み込まれている。その結果、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体520内に固定されている。すなわち、予圧荷重は、ロックナット550を雄ねじ部573に締め込んだときの軸力によって発生している。 The load load detection unit 500 further includes a lock nut 550 that is screwed with the male thread portion 573 of the shaft body 570. In the housing 520, the first load sensor 541 located on the one side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 522, and the second load sensor 541 located on the other side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 522. The first load sensor 541 has a reduced diameter portion 522 and a locknut 550 by screwing the male screw portion 573 of the shaft body 570 into which the load sensor 542 is inserted toward the one side in the axial direction and the locknut 550. The second load sensor 542 is sandwiched between the reduced diameter portion 522 and the enlarged diameter portion 571. As a result, each of the first load sensor 541 and the second load sensor 542 is fixed in the housing 520 with a preload applied so as to be sandwiched in the axial direction. That is, the preload is generated by the axial force when the locknut 550 is tightened to the male screw portion 573.

筐体520の内周面521における上記軸方向の一方側の端部に、電動アクチュエータ100の可動筒170の先端部と負荷荷重検出ユニット500とを接続するための雌ねじ部523が設けられている。 A female screw portion 523 for connecting the tip of the movable cylinder 170 of the electric actuator 100 and the load load detecting unit 500 is provided at one end of the inner peripheral surface 521 of the housing 520 in the axial direction. ..

モータ10が正転駆動して軸体570が物体を上記軸方向の他方に向けて押したとき、軸体570には、上記軸方向の一方に向けて荷重F1が負荷される。軸体570に負荷された荷重F1は、第2荷重センサ542に伝播する。その結果、第2荷重センサ542が荷重F1を検出する。 When the motor 10 is driven in the normal direction and the shaft body 570 pushes the object toward the other in the axial direction, the load F1 is applied to the shaft body 570 toward the other in the axial direction. The load F1 loaded on the shaft body 570 propagates to the second load sensor 542. As a result, the second load sensor 542 detects the load F1.

電動アクチュエータ100の第2荷重センサ142の検出値と、負荷荷重検出ユニット500の第2荷重センサ542の検出値とを比較することにより、荷重F1に対する電動アクチュエータ100の第2荷重センサ142のキャリブレーションを行なうことができる。 By comparing the detected value of the second load sensor 142 of the electric actuator 100 with the detected value of the second load sensor 542 of the load load detection unit 500, the second load sensor 142 of the electric actuator 100 is calibrated with respect to the load F1. Can be done.

モータ10が逆転駆動して軸体570が物体を上記軸方向の一方に向けて引いたとき、軸体570には、上記軸方向の他方に向けて荷重F2が負荷される。軸体570に負荷された荷重F2は、軸体570の雄ねじ部573からロックナット550を介して第1荷重センサ541に伝播する。その結果、第1荷重センサ541が荷重F1を検出する。 When the motor 10 reversely drives and the shaft body 570 pulls the object toward one of the axial directions, the shaft body 570 is loaded with the load F2 toward the other of the axial directions. The load F2 loaded on the shaft body 570 propagates from the male screw portion 573 of the shaft body 570 to the first load sensor 541 via the locknut 550. As a result, the first load sensor 541 detects the load F1.

電動アクチュエータ100の第1荷重センサ141の検出値と、負荷荷重検出ユニット500の第1荷重センサ541の検出値とを比較することにより、荷重F2に対する電動アクチュエータ100の第1荷重センサ141のキャリブレーションを行なうことができる。 By comparing the detected value of the first load sensor 141 of the electric actuator 100 with the detected value of the first load sensor 541 of the load load detection unit 500, the calibration of the first load sensor 141 of the electric actuator 100 with respect to the load F2. Can be done.

上記のように、本実施形態に係る負荷荷重検出ユニット500においては、軸体570に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ542の検出値が増加しつつ第1荷重センサ541の検出値が減少するように、かつ、軸体570に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ541の検出値が増加しつつ第2荷重センサ542の検出値が減少するように、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々が配置されている。 As described above, in the load load detection unit 500 according to the present embodiment, the detection value of the second load sensor 542 increases when a load is applied to the shaft body 570 in one of the axial directions. While decreasing the detected value of the first load sensor 541 and increasing the detected value of the first load sensor 541 when a load is applied to the shaft body 570 toward the other in the axial direction. Each of the first load sensor 541 and the second load sensor 542 is arranged so that the detected value of the second load sensor 542 is reduced.

本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニット500においては、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で筐体520内に固定されている。また、軸体570に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に第2荷重センサ542の検出値が増加しつつ第1荷重センサ541の検出値が減少するように、かつ、軸体570に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に第1荷重センサ541の検出値が増加しつつ第2荷重センサ542の検出値が減少するように、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々が配置されている。 In the load load detection unit 500 according to the fifth embodiment of the present invention, each of the first load sensor 541 and the second load sensor 542 is loaded with a preload so as to be sandwiched in the axial direction of the housing 520. It is fixed inside. Further, when a load is applied to the shaft body 570 in one of the axial directions, the detection value of the second load sensor 542 increases and the detection value of the first load sensor 541 decreases. When a load is applied to the shaft body 570 toward the other side in the axial direction, the detection value of the first load sensor 541 increases and the detection value of the second load sensor 542 decreases. Each of the load sensor 541 and the second load sensor 542 is arranged.

軸体570に荷重が負荷されていない無負荷状態のときから、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々に予圧荷重を負荷していることにより、第1荷重センサ541および第2荷重センサ542の各々における微少荷重検出時の検出誤差を低減することができる。その結果、負荷荷重検出ユニット500において、無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができる。 Since no load is applied to the shaft body 570, the preload is applied to each of the first load sensor 541 and the second load sensor 542, so that the first load sensor 541 and the second load are loaded. It is possible to reduce the detection error at the time of detecting a minute load in each of the sensors 542. As a result, the load load detection unit 500 can detect the load load of both pushing and pulling from the no-load state with high accuracy.

本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニット500においては、電動アクチュエータ100の直線可動部の先端部に負荷荷重検出ユニット500を取り付けた状態で電動アクチュエータ100を動作させるのみで、電動アクチュエータ100の負荷荷重を簡易に正確に検出することができる。 In the load load detection unit 500 according to the fifth embodiment of the present invention, the electric actuator 100 is simply operated with the load load detection unit 500 attached to the tip of the linearly movable portion of the electric actuator 100. Load Load can be detected easily and accurately.

なお、本実施形態においては、負荷荷重検出ユニット500を、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100に取り付けたが、これに限られず、負荷荷重検出ユニット500を、本発明の実施形態2〜4のいずれかに係る電動アクチュエータに取り付けてもよいし、荷重センサを内蔵していない電動アクチュエータに取り付けてもよい。本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニット500を、荷重センサを内蔵していない電動アクチュエータに取り付けた場合、負荷荷重検出ユニット500によって検出された荷重を確認することにより、電動アクチュエータに実際に負荷されている荷重を知ることができる。これにより、モータ10の出力値と電動アクチュエータに負荷される荷重との関係を知ることができる。 In the present embodiment, the load load detection unit 500 is attached to the electric actuator 100 according to the first embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and the load load detection unit 500 is attached to the second embodiment of the present invention. It may be attached to the electric actuator according to any one of 4 or may be attached to an electric actuator that does not have a built-in load sensor. When the load load detection unit 500 according to the fifth embodiment of the present invention is attached to an electric actuator that does not have a built-in load sensor, the load detected by the load load detection unit 500 is confirmed to actually attach the load sensor to the electric actuator. You can know the load that is being loaded. This makes it possible to know the relationship between the output value of the motor 10 and the load applied to the electric actuator.

(実施形態6)
以下、本発明の実施形態6に係る、電動アクチュエータの直線可動部の先端部に着脱可能に取り付けられて電動アクチュエータの負荷荷重を検出する負荷荷重検出ユニットについて図を参照して説明する。
(Embodiment 6)
Hereinafter, a load load detecting unit according to the sixth embodiment of the present invention, which is detachably attached to the tip of a linearly movable portion of the electric actuator and detects the load load of the electric actuator, will be described with reference to the drawings.

図10は、本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニットの構成を示す断面図である。図11は、本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニットを、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータに取り付けた状態を示す部分断面図である。 FIG. 10 is a cross-sectional view showing the configuration of the load-bearing detection unit according to the sixth embodiment of the present invention. FIG. 11 is a partial cross-sectional view showing a state in which the load load detection unit according to the sixth embodiment of the present invention is attached to the electric actuator according to the first embodiment of the present invention.

図10および図11に示すように、本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニット600は、電動アクチュエータの直線可動部の先端部に着脱可能に取り付けられて電動アクチュエータの負荷荷重を検出する負荷荷重検出ユニットである。 As shown in FIGS. 10 and 11, the load load detecting unit 600 according to the sixth embodiment of the present invention is detachably attached to the tip of the linearly movable portion of the electric actuator to detect the load of the electric actuator. It is a load detection unit.

負荷荷重検出ユニット600は、第1筐体620と、第2筐体690と、軸体670と、荷重センサ641とを備える。荷重センサ641は、環状であり、軸体670が挿通された状態で第1筐体620内に配置されている。なお、荷重センサ641の形状は、環状に限られない。 The load load detection unit 600 includes a first housing 620, a second housing 690, a shaft body 670, and a load sensor 641. The load sensor 641 is annular and is arranged in the first housing 620 with the shaft body 670 inserted. The shape of the load sensor 641 is not limited to the annular shape.

第1筐体620は、荷重センサ641が配置されている位置に対して上記軸方向における一方側の位置に、第1筐体620の内径が部分的に小さくなっている縮径部622を有し、かつ、荷重センサ641が配置されている位置に対して上記軸方向における他方側の位置の内周面621に雌ねじ部623を有している。第1筐体620は、電動アクチュエータ100の直線可動部の先端部である可動筒170の先端部と接続可能に設けられている。 The first housing 620 has a reduced diameter portion 622 in which the inner diameter of the first housing 620 is partially reduced at a position on one side in the axial direction with respect to the position where the load sensor 641 is arranged. Moreover, the female screw portion 623 is provided on the inner peripheral surface 621 at the position on the other side in the axial direction with respect to the position where the load sensor 641 is arranged. The first housing 620 is provided so as to be connectable to the tip of the movable cylinder 170, which is the tip of the linearly movable portion of the electric actuator 100.

第2筐体690は、第1筐体620の内側に入り込んでいる端部693の外周面に雌ねじ部623と螺合する雄ねじ部692、および、第1筐体620の上記軸方向の他方側の端面と当接するフランジ部691を有している。 The second housing 690 includes a male screw portion 692 that is screwed with the female screw portion 623 on the outer peripheral surface of the end portion 693 that is inserted inside the first housing 620, and the other side of the first housing 620 in the axial direction. It has a flange portion 691 that comes into contact with the end face of the.

第2筐体690は、第1筐体620と同軸状に位置しつつ、第2筐体690の上記軸方向の一方側の端部693が第1筐体620の上記軸方向の他方側の端部624の内側に入り込んだ状態で第1筐体620に固定されている。 The second housing 690 is located coaxially with the first housing 620, and the end portion 693 on one side of the second housing 690 in the axial direction is located on the other side of the first housing 620 in the axial direction. It is fixed to the first housing 620 in a state of being inserted inside the end portion 624.

具体的には、第1筐体620の雌ねじ部623と第2筐体690の雄ねじ部692とが螺合することにより、第1筐体620の端部624と第2筐体690のフランジ部691とが当接した状態で、第1筐体620と第2筐体690とが互いに接続されている。 Specifically, the female threaded portion 623 of the first housing 620 and the male threaded portion 692 of the second housing 690 are screwed together to form an end portion 624 of the first housing 620 and a flange portion of the second housing 690. The first housing 620 and the second housing 690 are connected to each other in a state where the 691 is in contact with the second housing.

軸体670は、軸方向に延在している。軸体670には、上記軸方向の一方側から順に、雄ねじ部673、円柱部672、および、拡径部671が設けられている。拡径部671においては、軸体670の直径が部分的に大きくなっている。軸体670においては、第1筐体620の内側に円柱部672および雄ねじ部673が収容されている。 The shaft body 670 extends in the axial direction. The shaft body 670 is provided with a male screw portion 673, a cylindrical portion 672, and a diameter-expanded portion 671 in this order from one side in the axial direction. In the enlarged diameter portion 671, the diameter of the shaft body 670 is partially increased. In the shaft body 670, a cylindrical portion 672 and a male screw portion 673 are housed inside the first housing 620.

軸体670は、上記軸方向において第1筐体620の縮径部622の他方側の端の位置より一方側に雄ねじ部673を有し、かつ、上記軸方向において第1筐体620の縮径部622が配置されている位置より他方側に、軸体670の直径が部分的に大きくなっている拡径部671を有している。 The shaft body 670 has a male screw portion 673 on one side of the position of the other end of the diameter-reduced portion 622 of the first housing 620 in the axial direction, and the contraction of the first housing 620 in the axial direction. On the other side of the position where the diameter portion 622 is arranged, there is a diameter expansion portion 671 in which the diameter of the shaft body 670 is partially increased.

負荷荷重検出ユニット600は、軸体670の雄ねじ部673と螺合するロックナット650をさらに備える。第1筐体620内において、縮径部622に対して上記軸方向の他方側に位置する荷重センサ641を上記軸方向の一方側に向けて挿通した軸体670の雄ねじ部673と、ロックナット650とが螺合することにより、荷重センサ641がロックナット650と拡径部671との間に挟み込まれている。 The load load detection unit 600 further includes a lock nut 650 that is screwed with the male thread portion 673 of the shaft body 670. In the first housing 620, the male screw portion 673 of the shaft body 670 and the locknut, in which the load sensor 641 located on the other side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion 622 is inserted toward one side in the axial direction. By screwing the 650, the load sensor 641 is sandwiched between the locknut 650 and the enlarged diameter portion 671.

第2筐体690の雄ねじ部692と第1筐体620の雌ねじ部623とが螺合することにより、第1筐体620の上記端面と第2筐体690のフランジ部691とが当接するとともに、荷重センサ641が縮径部622と第2筐体690の端部693との間に挟み込まれている。 By screwing the male screw portion 692 of the second housing 690 and the female screw portion 623 of the first housing 620, the end surface of the first housing 620 and the flange portion 691 of the second housing 690 come into contact with each other. , The load sensor 641 is sandwiched between the reduced diameter portion 622 and the end portion 693 of the second housing 690.

その結果、荷重センサ641は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で第1筐体620内に固定されている。すなわち、予圧荷重は、ロックナット650を雄ねじ部673に締め込んだときの軸力、および、第2筐体690の雄ねじ部692を第1筐体620の雌ねじ部623に締め込んだときの軸力によって発生している。 As a result, the load sensor 641 is fixed in the first housing 620 in a state where a preload is applied so as to be sandwiched in the axial direction. That is, the preload is the axial force when the locknut 650 is tightened to the male screw portion 673 and the shaft when the male screw portion 692 of the second housing 690 is tightened to the female screw portion 623 of the first housing 620. It is generated by force.

モータ10が正転駆動して軸体670が物体を上記軸方向の他方に向けて押したとき、軸体670には、上記軸方向の一方に向けて荷重F1が負荷される。軸体670に負荷された荷重F1は、荷重センサ641に伝播する。その結果、荷重センサ641が荷重F1を検出する。 When the motor 10 is driven in the normal direction and the shaft body 670 pushes the object toward the other in the axial direction, the load F1 is applied to the shaft body 670 toward the other in the axial direction. The load F1 loaded on the shaft body 670 propagates to the load sensor 641. As a result, the load sensor 641 detects the load F1.

電動アクチュエータ100の第2荷重センサ142の検出値と、負荷荷重検出ユニット600の荷重センサ641の検出値とを比較することにより、荷重F1に対する電動アクチュエータ100の第2荷重センサ142のキャリブレーションを行なうことができる。 By comparing the detected value of the second load sensor 142 of the electric actuator 100 with the detected value of the load sensor 641 of the load load detection unit 600, the second load sensor 142 of the electric actuator 100 is calibrated with respect to the load F1. be able to.

モータ10が逆転駆動して軸体670が物体を上記軸方向の一方に向けて引いたとき、軸体670には、上記軸方向の他方に向けて荷重F2が負荷される。軸体670に負荷された荷重F2は、軸体670の雄ねじ部673からロックナット650を介して荷重センサ641に伝播する。その結果、荷重センサ641が荷重F1を検出する。 When the motor 10 reversely drives and the shaft body 670 pulls the object toward one of the axial directions, the shaft body 670 is loaded with the load F2 toward the other of the axial directions. The load F2 loaded on the shaft body 670 propagates from the male screw portion 673 of the shaft body 670 to the load sensor 641 via the locknut 650. As a result, the load sensor 641 detects the load F1.

電動アクチュエータ100の第1荷重センサ141の検出値と、負荷荷重検出ユニット600の荷重センサ641の検出値とを比較することにより、荷重F2に対する電動アクチュエータ100の第1荷重センサ141のキャリブレーションを行なうことができる。 By comparing the detected value of the first load sensor 141 of the electric actuator 100 with the detected value of the load sensor 641 of the load load detection unit 600, the first load sensor 141 of the electric actuator 100 is calibrated with respect to the load F2. be able to.

上記のように、本実施形態に係る負荷荷重検出ユニット600においては、軸体670に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に荷重センサ641の検出値が増加するように、かつ、軸体670に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に荷重センサ641の検出値が増加するように、荷重センサ641が配置されている。 As described above, in the load load detection unit 600 according to the present embodiment, the detection value of the load sensor 641 is increased when a load is applied to the shaft body 670 in one of the axial directions. In addition, the load sensor 641 is arranged so that the detected value of the load sensor 641 increases when a load is applied to the shaft body 670 toward the other side in the axial direction.

本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニット600においては、荷重センサ641は、上記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で第1筐体620内に固定されている。また、軸体670に対して上記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に荷重センサ641の検出値が増加するように、かつ、軸体670に対して上記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に荷重センサ641の検出値が増加するように、荷重センサ641が配置されている。 In the load load detection unit 600 according to the fifth embodiment of the present invention, the load sensor 641 is fixed in the first housing 620 in a state where a preload is applied so as to be sandwiched in the axial direction. Further, when a load is applied to the shaft body 670 in one direction in the axial direction, the detected value of the load sensor 641 increases, and the detection value is directed toward the other side in the axial direction with respect to the shaft body 670. The load sensor 641 is arranged so that the detected value of the load sensor 641 increases when the load is applied.

軸体670に荷重が負荷されていない無負荷状態のときから、荷重センサ641に予圧荷重を負荷していることにより、荷重センサ641における微少荷重検出時の検出誤差を低減することができる。その結果、負荷荷重検出ユニット600において、無負荷状態からの押し引き両方の負荷荷重を高精度に検出することができる。 By applying a preload to the load sensor 641 from the time when no load is applied to the shaft body 670, it is possible to reduce the detection error when the load sensor 641 detects a minute load. As a result, the load load detection unit 600 can detect the load load of both pushing and pulling from the no-load state with high accuracy.

本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニット600においては、電動アクチュエータ100の直線可動部の先端部に負荷荷重検出ユニット600を取り付けた状態で電動アクチュエータ100を動作させるのみで、電動アクチュエータ100の負荷荷重を簡易に正確に検出することができる。 In the load load detection unit 600 according to the sixth embodiment of the present invention, the electric actuator 100 is simply operated with the load load detection unit 600 attached to the tip of the linearly movable portion of the electric actuator 100. Load Load can be detected easily and accurately.

なお、本実施形態においては、負荷荷重検出ユニット600を、本発明の実施形態1に係る電動アクチュエータ100に取り付けたが、これに限られず、負荷荷重検出ユニット600を、本発明の実施形態2〜4のいずれかに係る電動アクチュエータに取り付けてもよいし、荷重センサを内蔵していない電動アクチュエータに取り付けてもよい。本発明の実施形態6に係る負荷荷重検出ユニット600を、荷重センサを内蔵していない電動アクチュエータに取り付けた場合、負荷荷重検出ユニット600によって検出された荷重を確認することにより、電動アクチュエータに実際に負荷されている荷重を知ることができる。これにより、モータ10の出力値と電動アクチュエータに負荷される荷重との関係を知ることができる。 In the present embodiment, the load load detection unit 600 is attached to the electric actuator 100 according to the first embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and the load load detection unit 600 is attached to the second embodiment of the present invention. It may be attached to the electric actuator according to any one of 4 or may be attached to an electric actuator that does not have a built-in load sensor. When the load load detection unit 600 according to the sixth embodiment of the present invention is attached to an electric actuator that does not have a built-in load sensor, the load detected by the load load detection unit 600 is confirmed to actually attach the load load detection unit 600 to the electric actuator. You can know the load that is being loaded. This makes it possible to know the relationship between the output value of the motor 10 and the load applied to the electric actuator.

本実施形態においては、負荷荷重検出ユニット600は、荷重センサを1つのみ備えているため、本発明の実施形態5に係る負荷荷重検出ユニット500に比較して、負荷荷重検出ユニットを廉価にすることができる。 In the present embodiment, since the load load detection unit 600 includes only one load sensor, the load load detection unit is cheaper than the load load detection unit 500 according to the fifth embodiment of the present invention. be able to.

上述した実施形態の説明において、組み合わせ可能な構成を相互に組み合わせてもよい。 In the description of the above-described embodiment, the configurations that can be combined may be combined with each other.

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 The embodiments disclosed this time should be considered to be exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is shown by the scope of claims rather than the above description, and it is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.

10 モータ、11 出力軸部、12 減速機構部、20 ハウジング、21 ベースプレート、21h 開口部、22 外筒、23 ブッシュ、30 円筒ウォーム、40 回転ホイール、41,121,221,231,331,335,521,621 内周面、42 第2肩部、43 第1肩部、100,200,300,400 電動アクチュエータ、110,570,670 軸体、111 ねじ軸部、112,571,671 拡径部、113,572,672 円柱部、114,573,673,692 雄ねじ部、115 回転軸部、120,420,520 筐体、122,422,522,622 縮径部、123,571h 貫通孔、131 第1軸受、132 第2軸受、141,541 第1荷重センサ、142,542 第2荷重センサ、150,550,650 ロックナット、160,360 ナット、170 可動筒、171,470 先端金具、180 端子箱、181 本体部、182 蓋部、183 パッキン、184 シール部、186 基板台、187 アンプ台、220,690 第2筐体、222 第2縮径部、223,233,333,624,693 端部、230,330,620 第1筐体、232,332,691 フランジ部、234,334 第1縮径部、240 ボルト、500,600 負荷荷重検出ユニット、523,623 雌ねじ部、641 荷重センサ。 10 motor, 11 output shaft, 12 reduction mechanism, 20 housing, 21 base plate, 21h opening, 22 outer cylinder, 23 bush, 30 cylindrical worm, 40 rotating wheel, 41,121,221,231,331,335, 521,621 Inner peripheral surface, 42 2nd shoulder, 43 1st shoulder, 100,200,300,400 Electric actuator, 110,570,670 Shaft, 111 Thread shaft, 112,571,671 Enlarged part , 113,572,672 Cylindrical part, 114,573,673,692 Male thread part, 115 Rotating shaft part, 120,420,520 Housing, 122,422,522,622 Reduced diameter part, 123,571h Through hole, 131 1st bearing, 132 2nd bearing, 141,541 1st load sensor, 142,542 2nd load sensor, 150,550,650 lock nut, 160,360 nut, 170 movable cylinder, 171,470 tip bracket, 180 terminals Box, 181 main body, 182 lid, 183 packing, 184 seal, 186 board stand, 187 amplifier stand, 220,690 2nd housing, 222 2nd reduced diameter part, 223, 233,333,624,693 end Unit, 230,330,620 1st housing, 232,332,691 Flange part, 234,334 1st reduced diameter part, 240 volts, 500,600 load load detection unit, 523,623 female thread part, 641 load sensor.

Claims (4)

電動アクチュエータの直線可動部の先端部に着脱可能に取り付けられて該電動アクチュエータの負荷荷重を検出する負荷荷重検出ユニットであって、
前記先端部と接続される接続部が設けられた筐体と、
軸方向に延在し、前記筐体の内側に前記軸方向の一方側の一部が収容された軸体と、
前記軸体が挿通された状態で前記筐体内に配置された環状の、第1荷重センサおよび第2荷重センサとを備え、
前記第1荷重センサおよび前記第2荷重センサの各々は、前記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で前記筐体内に固定されており、
前記軸体に対して前記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に前記第2荷重センサの検出値が増加しつつ前記第1荷重センサの検出値が減少するように、かつ、前記軸体に対して前記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に前記第1荷重センサの検出値が増加しつつ前記第2荷重センサの検出値が減少するように、前記第1荷重センサおよび前記第2荷重センサの各々が配置されている、負荷荷重検出ユニット。
A load load detection unit that is detachably attached to the tip of a linearly movable part of an electric actuator to detect the load of the electric actuator.
A housing provided with a connection portion connected to the tip portion, and
A shaft body extending in the axial direction and accommodating a part of one side in the axial direction inside the housing.
An annular first load sensor and a second load sensor arranged in the housing with the shaft body inserted are provided.
Each of the first load sensor and the second load sensor is fixed in the housing in a state where a preload is applied so as to be sandwiched in the axial direction.
When a load is applied to the shaft body in one direction in the axial direction, the detection value of the second load sensor increases while the detection value of the first load sensor decreases, and the above. The first load is increased so that the detected value of the first load sensor is increased and the detected value of the second load sensor is decreased when a load is applied to the shaft body toward the other side in the axial direction. A load-bearing detection unit in which each of the sensor and the second load sensor is arranged.
前記筐体は、前記軸方向において前記第1荷重センサが配置されている位置と前記第2荷重センサが配置されている位置との間に、前記筐体の内径が部分的に小さくなっている縮径部を有しており、
前記軸体は、前記軸体の前記一部が前記筐体に収容された状態において、前記軸方向における前記縮径部の位置より一方側の位置に雄ねじ部を有し、かつ、前記軸方向における前記縮径部の位置より他方側の位置に、前記軸体の直径が部分的に大きくなっている拡径部を有しており、
前記負荷荷重検出ユニットは、前記軸体の前記雄ねじ部と螺合するロックナットをさらに備え、
前記筐体内において、前記縮径部に対して前記軸方向の前記一方側に位置する前記第1荷重センサ、および、前記縮径部に対して前記軸方向の前記他方側に位置する前記第2荷重センサを、前記軸方向の前記一方側に向けて挿通した前記軸体の前記雄ねじ部と、前記ロックナットとが螺合することにより、前記第1荷重センサが前記縮径部と前記ロックナットとの間に挟み込まれており、前記第2荷重センサが前記縮径部と前記拡径部との間に挟み込まれている、請求項1に記載の負荷荷重検出ユニット。
In the housing, the inner diameter of the housing is partially reduced between the position where the first load sensor is arranged and the position where the second load sensor is arranged in the axial direction. It has a reduced diameter part and
The shaft body has a male screw portion at a position on one side of the position of the reduced diameter portion in the axial direction in a state where the part of the shaft body is housed in the housing, and the shaft body has a male screw portion in the axial direction. A diameter-expanded portion in which the diameter of the shaft body is partially increased is provided at a position on the opposite side of the position of the reduced-diameter portion in the above.
The load load detection unit further includes a locknut that is screwed with the male thread portion of the shaft body.
In the housing, the first load sensor located on the one side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion, and the second load sensor located on the other side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion. By screwing the male screw portion of the shaft body through which the load sensor is inserted toward the one side in the axial direction and the locknut, the first load sensor has the reduced diameter portion and the locknut. The load load detection unit according to claim 1, wherein the second load sensor is sandwiched between the reduced diameter portion and the enlarged diameter portion.
電動アクチュエータの直線可動部の先端部に着脱可能に取り付けられて該電動アクチュエータの負荷荷重を検出する負荷荷重検出ユニットであって、
前記先端部と接続される接続部が設けられた第1筐体と、
前記第1筐体と同軸状に位置しつつ、端部が前記第1筐体の内側に入り込んだ状態で前記第1筐体に固定された第2筐体と、
軸方向に延在し、前記第1筐体および前記第2筐体の内側に前記軸方向の一方側の一部が収容された軸体と、
前記軸体が挿通された状態で前記第1筐体内に配置された環状の荷重センサとを備え、
前記荷重センサは、前記軸方向において挟み込まれるように予圧荷重が負荷された状態で前記第1筐体内に固定されており、
前記軸体に対して前記軸方向の一方に向けて荷重が負荷された際に前記荷重センサの検出値が増加するように、かつ、前記軸体に対して前記軸方向の他方に向けて荷重が負荷された際に前記荷重センサの検出値が増加するように、前記荷重センサが配置されている、負荷荷重検出ユニット。
A load load detection unit that is detachably attached to the tip of a linearly movable part of an electric actuator to detect the load of the electric actuator.
A first housing provided with a connecting portion connected to the tip portion, and
A second housing fixed to the first housing with the end portion inside the first housing while being located coaxially with the first housing.
A shaft body extending in the axial direction and accommodating a part of one side in the axial direction inside the first housing and the second housing.
It is provided with an annular load sensor arranged in the first housing with the shaft body inserted.
The load sensor is fixed in the first housing in a state where a preload is applied so as to be sandwiched in the axial direction.
When a load is applied to the shaft body in one direction in the axial direction, the detection value of the load sensor increases, and the load is applied to the shaft body in the other direction in the axial direction. A load load detection unit in which the load sensor is arranged so that the detection value of the load sensor increases when the load sensor is loaded.
前記第1筐体は、前記荷重センサが配置されている位置に対して前記軸方向における前記一方側の位置に、前記第1筐体の内径が部分的に小さくなっている縮径部を有し、かつ、前記荷重センサが配置されている位置に対して前記軸方向における他方側の位置の内周面に雌ねじ部を有しており、
前記第2筐体は、前記第1筐体の内側に入り込んでいる前記端部の外周面に前記雌ねじ部と螺合する雄ねじ部、および、前記第1筐体の前記軸方向の他方側の端面と当接するフランジ部を有しており、
前記軸体は、前記軸方向において前記第1筐体の前記縮径部の前記他方側の端の位置より一方側に雄ねじ部を有し、かつ、前記軸方向において前記第1筐体の前記縮径部が配置されている位置より他方側に、前記軸体の直径が部分的に大きくなっている拡径部を有しており、
前記負荷荷重検出ユニットは、前記軸体の前記雄ねじ部と螺合するロックナットをさらに備え、
前記第1筐体内において、前記縮径部に対して前記軸方向の前記他方側に位置する前記荷重センサを、前記軸方向の前記一方側に向けて挿通した前記軸体の前記雄ねじ部と、前記ロックナットとが螺合することにより、前記荷重センサが前記ロックナットと前記拡径部との間に挟み込まれており、
前記第2筐体の前記雄ねじ部と前記第1筐体の前記雌ねじ部とが螺合することにより、前記第1筐体の前記端面と前記第2筐体の前記フランジ部とが当接するとともに、前記荷重センサが前記縮径部と前記第2筐体の前記端部との間に挟み込まれている、請求項3に記載の負荷荷重検出ユニット。
The first housing has a reduced diameter portion in which the inner diameter of the first housing is partially reduced at a position on one side of the axial direction with respect to the position where the load sensor is arranged. Moreover, it has a female threaded portion on the inner peripheral surface of the position on the other side in the axial direction with respect to the position where the load sensor is arranged.
The second housing has a male screw portion that is screwed with the female screw portion on the outer peripheral surface of the end portion that is inserted inside the first housing, and the other side of the first housing in the axial direction. It has a flange that comes into contact with the end face,
The shaft body has a male screw portion on one side of the position of the other end of the reduced diameter portion of the first housing in the axial direction, and the shaft body has the male screw portion in the axial direction of the first housing. On the other side of the position where the reduced diameter portion is arranged, there is an enlarged diameter portion in which the diameter of the shaft body is partially increased.
The load load detection unit further includes a locknut that is screwed with the male thread portion of the shaft body.
In the first housing, the male screw portion of the shaft body inserted with the load sensor located on the other side in the axial direction with respect to the reduced diameter portion toward the one side in the axial direction. By screwing the locknut, the load sensor is sandwiched between the locknut and the enlarged diameter portion.
By screwing the male screw portion of the second housing and the female screw portion of the first housing, the end face of the first housing and the flange portion of the second housing come into contact with each other. The load load detection unit according to claim 3, wherein the load sensor is sandwiched between the reduced diameter portion and the end portion of the second housing.
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