JP2020012552A - 電動駆動式流量制御弁 - Google Patents

Abstract

【課題】電動モータに接続された副弁体に流体の高い圧力がかかることを抑止しながら、２つの入出口間を流れる流体の流量を制御することが可能な電動駆動式流量制御弁を提供する。【解決手段】流量制御弁１は、ケーシング２と、昇降駆動装置３と、供給切替弁４と、主弁体５と、閉弁ばね６と、を備える。昇降駆動装置３の電動モータ３１によって副弁体３３が上方に移動すると、背圧室２０の油が副弁体連通口３３Ｔおよび副弁体油路３３Ｓを通じて排出油路２７から排出される。また、第１油室２１の油が第１オリフィス２３Ｓにおいて流量調整されながら背圧室２０に流入する。主弁体５に対する背圧室２０および第１油室２１および第２油室２２の圧力、閉弁ばね６の付勢力のバランスが変化し、主弁体５が開弁する。一方、主弁体５の閉弁時には、背圧室２０の圧力が、副弁体３３の下端面に直接付与されることが阻止される。【選択図】図１

Description

本発明は、２つの入出口間を流れる流体の流量を制御することが可能な電動駆動式流量制御弁に関する。

従来、作動油や冷媒などの作動流体の流路において当該作動流体の流量を制御するものとして、電動駆動式流量制御弁が知られている。電動駆動式流量制御弁は、ケーシングと、ケーシング内で移動可能な主弁体と、主弁体を移動させる駆動力を発生する駆動源と、当該駆動源の駆動力を受けて当該主弁体に移動力を伝達する副弁体と、を備える。ケーシングには、第１入出口と、第２入出口とが形成されており、これらの入出口は連通流路によって連通されている。主弁体は、連通流路を遮断する遮断位置と、連通流路を開放する開放位置との間で移動可能とされている。

特許文献１には、上記のような電動駆動式流量制御弁としての電動弁が開示されている。当該電動弁は、弁本体と、弁体と、昇降駆動機構と、閉弁ばねと、を備える。弁本体は、弁室と、該弁室に開口する横向きの第１入出口と、前記弁室に開口する縦向きの弁座付き弁口と、及び該弁口に連なる第２入出口と、を有する。弁体は、前記弁口を開閉すべく前記弁室に昇降可能に配在されている。昇降駆動機構は、該弁体を昇降させるための電動モータを有する。閉弁ばねは、前記弁体を開弁方向に付勢する。前記弁口の口径と前記弁体の上方に画成される背圧室の室径とが略同一に設定されるとともに、前記弁体内に、前記弁口と前記背圧室とを連通させるべく下端面が開口した均圧通路が設けられている。そして、前記均圧通路の下端開口面積を前記弁口面積で除した値が０.５以上で１.０未満となるように各部の寸法が設定されている。

また、特許文献２には、パイロット動作型バルブが開示されている。当該バルブは、本体と、主ポペット弁と、パイロットピストンと、第１ディスクバネと、パイロットバルブ素子と、アクチュエータと、を備える。本体は、第１ポートと、第２ポートと、前記第１ポートと前記第２ ポートと間に配設されるバルブシートとを有する。主ポペット弁は、前記バルブシートと選択的に係合し制御チャンバーを形成する。前記制御チャンバーの圧力が主ポペット弁の動きを制御する。主ポペット弁は、前記第２ポートと前記制御チャンバーとを連通する開口部を有する。パイロットピストンは、前記主ポペット弁の前記開口部に可動的に受け入れられ、内部にパイロット通路を有する。第１ディスクバネは、前記主ポペット弁に対して前記パイロットピストンを偏倚する。パイロットバルブ素子は、記パイロット通路を開閉するように動作する。アクチュエータは、前記パイロットバルブ素子を動かすために動作可能に結合される。

特開２０１３−１３０２７１号公報 特開２００７−２３９９９６号公報

特許文献１に記載された電動弁では、電動機が発生する駆動力によって弁体を所定の位置に保持する必要がある。このため、第１入出口と第２入出口との間を流れる流体の圧力が上昇すると、当該圧力に比例して弁体を保持する駆動力が増大する。この結果、弁体の保持に大きな電力が必要になるという問題があった。一方、特許文献２に記載されたパイロット動作型バルブでは、第１ディスクバネおよびアクチュエータによってパイロットバルブ素子の位置が制御される。このため、バネやアクチュエータなどの機器のヒステリシスによってバルブ素子の位置精度が変動しやすい。更に、油の流れの方向によっては閉弁時にパイロットバルブ素子に第１入出口または第２入出口の油の圧力が直接作用する。このため、パイロットバルブ素子を閉弁状態に保持するために、アクチュエータに大きな駆動力が必要となり消費電力が増大するという問題があった。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、電動モータに接続された副弁体に流体の高い圧力がかかることを抑止しながら、２つの入出口間を流れる流体の流量を制御することが可能な電動駆動式流量制御弁を提供することを目的とする。

本発明の一の局面に係る電動駆動式流量制御弁は、第１流体室と、第２流体室と、前記第１流体室および前記第２流体室を連通する流体室連通口と、シリンダ部と、を有するケーシングであって、前記ケーシングには、当該ケーシングの外部と前記第１流体室との間で流体の入出を可能とする第１入出口と、前記ケーシングの外部と前記第２流体室との間で流体の入出を可能とする第２入出口とが形成されている、ケーシングと、電動モータと、前記流体室連通口を封止可能な主弁体先端部を有し、所定の軸方向に沿って主弁体開放位置と主弁体封止位置との間で移動可能なように前記シリンダ部に収容され、流体が入出可能な背圧室を前記シリンダ部との間で形成する主弁体であって、当該主弁体が前記主弁体開放位置に配置されると前記主弁体先端部が前記流体室連通口を開放することで前記第１流体室と前記第２流体室との間での流体の流通を許容し、前記主弁体が前記主弁体封止位置に配置されると前記主弁体先端部が前記流体室連通口を封止することで前記第１流体室と前記第２流体室との間における流体の流通を遮断する、主弁体と、前記主弁体を前記主弁体封止位置に向かって付勢する付勢機構と、前記第１流体室と前記背圧室とを互いに連通可能な第１連通路と、前記第２流体室と前記背圧室とを互いに連通可能な第２連通路と、前記第１流体室における流体の圧力が前記第２流体室における流体の圧力よりも高い場合に前記第１連通路における流体の流通を可能とするとともに前記第２連通路における流体の流通を遮断する第１連通状態と、前記第１流体室における流体の圧力が前記第２流体室における流体の圧力よりも低い場合に前記第２連通路における流体の流通を可能とするとともに前記第１連通路における流体の流通を遮断する第２連通状態との間で状態変更が可能な切換機構と、前記第１連通路に配置され、前記第１流体室から前記背圧室に向かって流れる流体の流量を低下させるように前記流体の流量を調整する第１流量調整機構と、前記第２連通路に配置され、前記第２流体室から前記背圧室に向かって流れる流体の流量を低下させるように前記流体の流量を調整する第２流量調整機構と、前記背圧室に収容される副弁体であって、当該副弁体は、前記ケーシングの外部に連通する副弁体流路と、前記背圧室と前記副弁体流路とを連通する副弁体連通口とを有しており、前記電動モータが発生する駆動力を受けて副弁体開放位置と副弁体封止位置との間で前記主弁体に対して前記軸方向に沿って相対移動可能であり、前記副弁体が前記副弁体開放位置に配置されると前記副弁体連通口を開放し前記背圧室の流体が前記副弁体流路を通じて前記ケーシングの外部に排出されることを許容し、前記副弁体が前記副弁体封止位置に配置されると前記副弁体連通口を封止し前記背圧室と前記副弁体流路との間における流体の流通を遮断するとともに前記主弁体が前記付勢機構の付勢力を受けて前記主弁体封止位置に配置されることを許容する、副弁体と、を備える。

本構成によれば、電動モータによる副弁体の位置制御によって、主弁体の位置（開閉動作）を高い精度で制御することができる。そして、第１連通路および第２連通路には第１流量調整機構および第２流量調整機構が配設されている。このため、第１流体室および第２流体室の高い圧力が副弁体に直接付与されることが抑止され、主弁体の駆動に必要な圧力が背圧室に供給される。この結果、これらの高い圧力に抗して副弁体を駆動する必要がなく、電動モータは副弁体を主弁体に対して相対的に移動させるための駆動力を発生すればよい。このため、電動駆動式流量制御弁の省電力化、小出力化および小型化が実現される。更に、切換機構は、第１流体室および第２流体室のうちの高圧側を自動的に選択し、主弁体の開閉動作のために背圧室に流体を供給することができる。このため、背圧室に対する流体の供給のために、複数の方向切換弁を設ける必要がなく、第１入出口と第２入出口との間の双方向における流体の流れを容易に制御することが可能となる。

上記の構成において、前記流体室連通口は、前記軸方向に沿って見た場合、円形形状を有し、前記主弁体先端部は、前記軸方向に沿って前記流体室連通口を封止可能な円錐形状を有することが望ましい。

本構成によれば、主弁体先端部が流体室連通口に進入するように主弁体を駆動することで、主弁体先端部の周方向全体において、流体の流出入を安定して阻止することができる。

上記の構成において、前記主弁体は、前記主弁体先端部とは反対側で前記背圧室に連通し前記軸方向に沿って筒状に形成され前記副弁体が進入可能な内部空間と前記内部空間の前記主弁体先端部側を画定する先端内壁部とを有し、前記副弁体は、少なくとも前記先端内壁部側の端部に配置された円筒部を有するとともに、当該円筒部に前記副弁体連通口が開口されており、前記先端内壁部は、前記副弁体の前記円筒部が進入ことを許容するとともに周方向全体に亘って前記円筒部に密接する凹部を有することが望ましい。

本構成によれば、主弁体の凹部に副弁体の円筒部を進入させることで、背圧室から副弁体流路への流体の排出を阻止することができる。また、副弁体の円筒部に副弁体連通口が開口されているため、背圧室の圧力が副弁体連通口に付与されにくい。このため、閉弁時に副弁体の位置を保持するために大きな電力を消費することが抑止される。

上記の構成において、前記副弁体連通口は、前記副弁体の前記円筒部の前記軸方向と交差する端面に開口されていることが望ましい。

本構成によれば、主弁体の凹部に副弁体の円筒部の下端部を押し付けることで、背圧室から副弁体流路への流体の排出を安定して阻止することができる。

上記の構成において、前記先端内壁部の前記凹部は円錐状に形成されており、前記副弁体が前記副弁体封止位置に配置されると前記凹部の斜面が前記円筒部の前記端面の周縁に周方向全体に亘って密接することが望ましい。

本構成によれば、主弁体の凹部に副弁体の円筒部の下端部を押し付けることで、背圧室から副弁体流路への流体の排出を更に安定して阻止することができる。

上記の構成において、前記副弁体連通口は、前記副弁体の前記円筒部の前記軸方向に沿って延びる側面に開口されており、前記凹部は、前記円筒部が進入可能なように円筒状に形成されており、前記副弁体連通口は、前記円筒部のうち、前記副弁体の移動に応じて前記円筒部が前記凹部に進入すると前記副弁体連通口が封止され前記副弁体の移動に応じて前記円筒部が前記凹部から脱離すると前記副弁体連通口が前記背圧室に連通する位置に配置されていることが望ましい。

本構成によれば、主弁体の凹部に副弁体の円筒部を進入させることで、背圧室から副弁体流路への流体の排出を阻止することができる。また、主弁体に対する副弁体の相対移動に応じて、副弁体連通口の開口面積が調整され、主弁体の開閉動作を高い精度で制御することができる。

上記の構成において、前記第１流量調整機構および前記第２流量調整機構は、それぞれ前記第１連通路および前記第２連通路に配置されたオリフィスであることが望ましい。

本構成によれば、各連通路に形成された簡易なオリフィス構造によって、第１流体室および第２流体室の高い圧力が背圧室、副弁体に付与されることが抑止される。この結果、電動モータの消費電力を低減することができる。

上記の構成において、前記第１流量調整機構および前記第２流量調整機構は、それぞれ、前記第１流体室と前記切換機構との間および前記第２流体室と前記切換機構との間に配置されていることが望ましい。

本構成によれば、各連通路に必要な流量をそれぞれ個別に設定することができる。

本発明によれば、電動モータに接続された副弁体に流体の高い圧力がかかることを抑止しながら、２つの入出口間を流れる流体の流量を制御することが可能な電動駆動式流量制御弁が提供される。

本発明の一実施形態に係る電動駆動式流量制御弁の断面図である。 図１の電動駆動式流量制御弁の油圧回路図である。 図１の電動駆動式流量制御弁の主弁体が開弁する様子を示す断面図である。 図１の電動駆動式流量制御弁の主弁体にかかる力を説明するための模式図である。 図１の電動駆動式流量制御弁における主弁体と副弁体との相対距離Ｘｉに対する副弁体の開口面積の関係を示したグラフである。 本発明の変形実施形態に係る電動駆動式流量制御弁の断面図である。 図６の電動駆動式流量制御弁の主弁体が開弁する様子を示す断面図である。 本発明の他の変形実施形態に係る電動駆動式流量制御弁の断面図である。 本発明の他の変形実施形態に係る電動駆動式流量制御弁の断面図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の一実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る流量制御弁１（電動駆動式流量制御弁）の断面図である。図２は、図１の流量制御弁１の油圧回路図である。なお、以後、各図には、「上」、「下」、「左」および「右」の方向が示されているが、当該方向は、本実施形態に係る流量制御弁１の構造を説明するために便宜上示すものであり、本発明に係る電動駆動式流量制御弁の使用態様などを限定するものではない。本実施形態に係る流量制御弁１は、２方向において作動油の流れを制御するものであって、一例として、建設機械の油圧回路に使用される。

図１を参照して、流量制御弁１は、ケーシング２と、昇降駆動装置３と、供給切替弁４（切換機構）と、主弁体５と、閉弁ばね６（付勢機構）と、を備える。昇降駆動装置３は、電動モータ３１と、回転昇降機３２と、副弁体３３と、を有する。流量制御弁１では、昇降駆動装置３を駆動させることで主弁体５が移動し、ケーシング２に形成された第１ポート２Ａと第２ポート２Ｂとを連通させることで作動油の流量制御を行う。

ケーシング２は、流量制御弁１の各部材を収容または保持する。本実施形態では、ケーシング２は、略直方体形状を有する。ケーシング２は、第１油室２１（第１流体室）と、第２油室２２（第２流体室）と、油室連通口２Ｃ（流体室連通口）と、シリンダ部２Ｓと、を有する。第１油室２１および第２油室２２は、内部に作動油（流体）が収容されることを許容する。第１油室２１は、ケーシング２の底部に形成されている。本実施形態では、第１油室２１は、上下方向に延びる中心軸ＣＬを中心とした円筒状（円柱状）に形成されている。第２油室２２は、第１油室２１の上方に配置されている。第２油室２２は、水平方向に延びるような直方体形状を有する。なお、図１では、第２油室２２が主弁体５の左側部分と右側部分とに分かれているが、これらの部分は、前後方向（図１の紙面と直交する方向）において主弁体５に隣接する部分を通じて互いに連通している。

油室連通口２Ｃは、第１油室２１の上端部、換言すれば、第２油室２２の下端部（底部）に形成されており、第１油室２１と第２油室２２とを互いに連通する。油室連通口２Ｃは、中心軸ＣＬに沿って見た場合、円形形状を有する。また、ケーシング２の下面部および右側面部にはそれぞれ第１ポート２Ａ（第１入出口）および第２ポート２Ｂ（第２入出口）が形成されている。第１ポート２Ａは、ケーシング２の外部と第１油室２１との間で作動油の入出を可能とする。同様に、第２ポート２Ｂは、ケーシング２の外部と第２油室２２との間で作動油の入出を可能とする。

電動モータ３１は、制御部７によって制御されるものであって、本実施形態では、中心軸ＣＬ回りに第１回転方向および当該第１回転方向とは反対の第２回転方向に回転可能とされる。

回転昇降機３２は、電動モータ３１の出力軸に蝶合されているとともに副弁体３３に連結されており、電動モータ３１が発生する回転力を軸方向の移動力に変換する。この結果、電動モータ３１が回転すると、副弁体３３が上下方向に沿って移動する（昇降する）。一例として、回転昇降機３２は、公知のボールねじ機構を有するとともに、高精度な減速ギアを内部に有している。

主弁体５は、上端部が開放された円筒形状を有する。主弁体５は、主弁体先端部５Ａと、円筒空間５Ｓ（内部空間）と、先端内壁部５Ｓ１と、を有する。主弁体先端部５Ａは、下方に向かって先細の円錐形状を有し、油室連通口２Ｃを前記軸方向に沿って上方から封止可能とされている。円筒空間５Ｓは、主弁体先端部５Ａとは軸方向の反対側で背圧室２０に連通しており、前記軸方向に沿って筒状に形成されている。図１に示すように、円筒空間５Ｓには副弁体３３が進入可能とされている。先端内壁部５Ｓ１は、主弁体５の内壁部の一部であって、円筒空間５Ｓの主弁体先端部５Ａ側の端面（円筒空間５Ｓの底面）を画定する。本実施形態では、先端内壁部５Ｓ１は、先端凹部５Ｂを有する。凹部５Ｂは、後記のように、副弁体３３の円筒部３３Ｒが進入することを許容するとともに周方向全体に亘って円筒部３３Ｒに密接する。特に、本実施形態では、凹部５Ｂは、図１に示すように、中心軸ＣＬを中心とした円錐状に形成されており、凹部５Ｂの斜面が副弁体３３の円筒部３３Ｒの端面（周縁）に周方向全体に亘って密接する。

主弁体５は、中心軸ＣＬ（所定の軸方向）に沿って主弁体開放位置（図３）と主弁体封止位置（図１）との間で移動可能なようにシリンダ部２Ｓに収容されている。また、図１に示すように、主弁体５は、作動油が入出可能な背圧室２０をシリンダ部２Ｓとの間で形成している。当該主弁体５は前記主弁体開放位置に配置されると主弁体先端部５Ａが油室連通口２Ｃを開放することで、第１油室２１と第２油室２２との間での作動油の流通を許容する。また、主弁体５は前記主弁体封止位置に配置されると主弁体先端部５Ａが油室連通口２Ｃを上から封止することで、第１油室２１と第２油室２２との間における作動油の流通を遮断する。

更に、ケーシング２には、第１油路２３（第１連通路）と、第２油路２４（第２連通路）と、排出油路２７とが形成されている。第１油路２３は、第１油室２１と背圧室２０とを互いに連通可能な油路である。同様に、第２油路２４は、第２油室２２と背圧室２０とを互いに連通可能な油路である。なお、本実施形態では、第１油路２３の背圧室２０側と第２油路２４の背圧室２０側とは合流油路２６において互いに合流している。排出油路２７は、後記のように、副弁体３３を介して背圧室２０から排出された作動油をケーシング２の外部に導く。ケーシング２のうち排出油路２７の末端部分には、排出ポート２７Ｓが配置されている。

閉弁ばね６は、主弁体５を中心軸ＣＬに沿って前記主弁体封止位置に向かって付勢している。本実施形態では、図１に示すように、閉弁ばね６は、背圧室２０および主弁体５の円筒空間５Ｓにおいて、副弁体３３に外嵌されるように配置されている。閉弁ばね６の上端部は、ケーシング２の内壁部（背圧室２０の上面部）に固定され、閉弁ばね６の下端部は、主弁体５の先端内壁部５Ｓ１に固定されている。

供給切替弁４は、方向切換弁であって、第１油路２３および第２油路２４のうち合流油路２６の入口付近に配置されている。供給切替弁４は、第１連通状態と、第２連通状態との間で状態変更が可能とされている。具体的に、第１油室２１における作動油の圧力が第２油室２２における作動油の圧力よりも高い場合、供給切替弁４は、第１油路２３における作動油の流通を可能とするとともに第２油路２４における作動油の流通を遮断する（第１連通状態）。一方、第１油室２１における作動油の圧力が第２油室２２における作動油の圧力よりも低い場合には、供給切替弁４は、第２油路２４における流体の流通を可能とするとともに第１油路２３における流体の流通を遮断する（第２連通状態）。供給切替弁４によって、第１油室２１および第２油室２２のうち高圧側から背圧室２０に自動的に作動油を供給することができる。

また、図１に示すように、第１油路２３は第１オリフィス２３Ｓ（第１流量調整機構）を有し、第２油路２４は第２オリフィス２４Ｓ（第２流量調整機構）を有する。第１オリフィス２３Ｓは、第１油室２１と供給切替弁４との間に配置される。第１オリフィス２３Ｓは、第１油路２３に圧力損失を発生させるものであって、第１油室２１から背圧室２０に向かって流れる作動油の流量を低下させるように前記作動油の流量を調整する。同様に、第２オリフィス２４Ｓは、第２油路２４に圧力損失を発生させるものであって、第２油室２２と供給切替弁４との間に配置される。第２オリフィス２４Ｓは、第２油室２２から背圧室２０に向かって流れる作動油の流量を低下させるように前記作動油の流量を調整する。第１オリフィス２３Ｓおよび第２オリフィス２４Ｓによって主弁体５を駆動するために必要な流体の圧力を背圧室２０に供給することができるとともに、過剰な圧力が背圧室２０に供給されることが抑止される。

副弁体３３は、背圧室２０および主弁体５の円筒空間５Ｓ内に収容されている。本実施形態では、副弁体３３は、中心軸ＣＬ上において直線的に延びる円管部材からなる。換言すれば、副弁体３３は、少なくともその先端部（下端部、先端内壁部５Ｓ１側の端部）に配置された円筒部３３Ｒを有する。副弁体３３の上端部は、回転昇降機３２に接続されている。副弁体３３は、副弁体油路３３Ｓ（副弁体流路）と、副弁体連通口３３Ｔと、を有する。副弁体油路３３Ｓは、副弁体３３の内部に上下方向に沿って延びる油路である。副弁体油路３３Ｓの上端部は、排出油路２７に連通している。副弁体連通口３３Ｔは、副弁体３３の円筒部３３Ｒの下端面（端面）に開口されている。副弁体連通口３３Ｔは、背圧室２０と副弁体油路３３Ｓとを連通する。

副弁体３３は、電動モータ３１が発生する駆動力を受けて副弁体開放位置と副弁体封止位置との間で主弁体５に対して前記軸方向に沿って相対移動可能である。副弁体３３が前記副弁体開放位置に配置されると、副弁体３３の下端部（円筒部３３Ｒ）が主弁体５の先端内壁部５Ｓ１から上方に離間する。この結果、副弁体３３は、副弁体連通口３３Ｔを開放し、背圧室２０の作動油が副弁体油路３３Ｓおよび排出油路２７を通じてケーシング２の外部に排出されることを許容する。一方、副弁体３３が前記副弁体封止位置に配置されると、副弁体３３の下端部が主弁体５の凹部５Ｂの斜面部分に周方向全体に亘って当接する。この結果、副弁体３３は、副弁体連通口３３Ｔを封止し、背圧室２０と副弁体油路３３Ｓとの間における作動油の流通を遮断する。なお、後記のように、副弁体封止位置に配置された副弁体３３は、主弁体５が閉弁ばね６の付勢力を受けて前記主弁体封止位置に配置されることを許容する。

図３は、図１の流量制御弁１の主弁体５が開弁する様子を示す断面図である。図４は、図１の流量制御弁１の主弁体５にかかる力を説明するための模式図である。図５は、図１の流量制御弁１における主弁体５と副弁体３３との相対距離Ｘｉに対する副弁体３３と主弁体５との間の開口面積の関係を示したグラフである。

本実施形態では、制御部７によって制御される電動モータ３１が、駆動源として回転駆動する。回転昇降機３２は、回転運動と並進運動とを変換することが可能であり、電動モータ３１の回転運動を並進運動（図１の上下方向）に変換し、回転昇降機３２に連結された副弁体３３と共に並進移動する。そして、副弁体３３の動きに連動して主弁体５が並進運動することで、油室連通口２Ｃにおいて第１油室２１と第２油室２２との間の開口面積が変化し、作動油の流量が調整される。以下では、第１ポート２Ａから第２ポート２Ｂに作動油が流れる場合を例にして、流量制御弁１の動作原理を説明する。

図４を参照して、主弁体５が受ける力について説明する。主弁体５の主弁体先端部５Ａが油室連通口２Ｃを封止している状態において、主弁体先端部５Ａの第１油室２１側の受圧面積（中心軸ＣＬと平行な方向に投影した面積）がＡ１、主弁体先端部５Ａの第２油室２２側の受圧面積がＡ２と定義される。なお、Ａ１＜Ａ３が満たされるように、主弁体５の形状が設定されている。また、主弁体５の上端部、すなわち、背圧室２０側における受圧面積がＡ３と定義される。更に、第１油室２１の圧力がＰ１、第２油室２２の圧力がＰ２、背圧室２０の圧力がＰ３と定義される。また、中心軸ＣＬと平行な軸方向における主弁体５のストローク（変位量）がＸ、副弁体３３のストロークがＸｒ、主弁体５に対する副弁体３３の相対ストローク（相対変位量）がＸｉ（＝Ｘ−Ｘｒ）と定義される。また、油室連通口２Ｃを開放する主弁体５の開口面積がＧ（Ｘ）、副弁体３３の下端部に形成される、副弁体３３と主弁体５との間の開口面積がＨ（Ｘｉ）と定義される。開口面積Ｇ（Ｘ）、Ｈ（Ｘｉ）は、それぞれストロークＸ、Ｘｉの関数である。また、予め設定された第１オリフィス２３Ｓおよび第２オリフィス２４Ｓの開口面積がＡｍと定義される。更に、油室連通口２Ｃを通じた第１油室２１から第２油室２２への作動油の通過流量がＱ１、副弁体連通口３３Ｔを通じた背圧室２０から排出ポート２７Ｓへの作動油の通過流量がＱ２と定義される。また、閉弁ばね６のばね係数がｋｓ、閉弁ばね６のばね設定力（初期状態において主弁体５を付勢する力）が、Ｆｓ０と定義される。

軸方向における主弁体５に作用する力のバランスを考慮すると、作動油によって主弁体５に対して開弁方向（図１の上方向）に付与される力Ｆａ、Ｆｂは、以下の式１、式２で表すことができる。
Ｆａ＝Ｐ１×Ａ１ ・・・（式１）
Ｆｂ＝Ｐ２×Ａ２ ・・・（式２）
同様に、作動油によって主弁体５に対して閉弁方向（図１の下方向）に付与される力Ｆｃは、以下の式３で表すことができる。
Ｆｃ＝Ｐ３×Ａ３ ・・・（式３）
また、閉弁ばね６が主弁体５に付与するばね力Ｆｓは、以下の式４で表すことができる。
Ｆｓ＝Ｆｓ０＋ｋｓ×Ｘ ・・・（式４）
そして、主弁体５に作用する力Ｆは、以下の式５で表すことができる。
Ｆ＝Ｆａ＋Ｆｂ−（Ｆｃ＋Ｆｓ） ・・・（式５）
式５から、Ｆ＝０の場合、主弁体５は静止する。また、Ｆ＞０の場合、主弁体５は開弁方向に移動し、Ｆ＜０の場合、主弁体５は閉弁方向に移動する。

第１油室２１の圧力が第２油室２２の圧力よりも高い場合に、主弁体５を開弁する動作について、説明する。
＜初期状態（Ｘ＝０）の場合＞
主弁体５が油室連通口２Ｃを封止している閉弁状態の場合、主弁体５および副弁体３３のストロークは、いずれも０である。すなわち、以下の関係式６が成立する。
Ｘ＝０、Ｘｒ＝０、Ｘｉ＝Ｘ−Ｘｒ＝０ ・・・（式６）
この場合、図５に示すように、副弁体３３の開口面積Ｈ（Ｘ）は０であるため、排出ポート２７Ｓから排出される作動油の流量Ｑ２も０である。ここで、排出ポート２７Ｓから排出される作動油の流量Ｑ２は、第１油室２１から背圧室２０に流入する作動油の流量と等しい。そして、第１オリフィス２３Ｓを通過する作動油の流量も０であるため、第１油室２１の圧力と背圧室２０の圧力とは等しくなる（Ｐ１＝Ｐ３）。したがって、式５を以下の式７に置き換えることができる。
Ｆ＝Ｐ１×Ａ１＋Ｐ２×Ａ２−（Ｐ３×Ａ３＋Ｆｓ）＜０ ・・・（式７）
すなわち、第１油室２１および第２油室２２の圧力に関わらず、主弁体５は常に油室連通口２Ｃに押し付けられており、第１油室２１から第２油室２２への作動油の流れを遮断することができる。この際、副弁体３３を主弁体５に対して押し付け、両者の相対位置を一定に保持するだけで良いため、電動モータ３１は電力を消費することなく、第１油室２１と第２油室２２との間の流れを遮断することができる。

＜開弁動作について＞
上記の初期状態から、制御部７によって電動モータ３１を回転させ、副弁体３３を上方に移動させると、主弁体５と副弁体３３との相対位置が変化する。この結果、副弁体３３の下端部と主弁体５の凹部５Ｂとの間に隙間が生じ、副弁体連通口３３Ｔから副弁体油路３３Ｓ、排出油路２７を通じて背圧室２０の作動油が排出される。すなわち、排出油路２７を通過する流量Ｑ２が発生する。この結果、第１油室２１から背圧室２０に、流量Ｑ２の作動油が流入する。この際、流量Ｑ２の作動油が第１オリフィス２３Ｓを通過するため、以下の式８が満たされる。
Ｑ２＝Ｃ×Ａｍ×√（Ｐ１−Ｐ３）＝Ｃ×Ｈ（Ｘｉ）√（Ｐ３） ・・・（式８）
なお、Ｃは第１オリフィス２３Ｓの形状や流体諸元から決定される流量係数である。式８から、以下の式９が導かれる。
Ｐ３＝Ａｍ^２／（Ｈ（Ｘｉ）^２＋Ａｍ^２）×Ｐ１ ・・・（式９）
一方、式５は、式１乃至式４から、以下の式１０のように表すことができる。
Ｆ＝Ｐ１×Ａ１＋Ｐ２×Ａ２−（Ｐ３×Ａ３＋（Ｆｓ０＋ｋｓ×Ｘ）） ・・・（式１０）
式９、式１０から、副弁体３３のストロークＸｉが大きくなるにつれて、背圧室２０の圧力Ｐ３は小さくなる。この結果、主弁体５に付与される力Ｆが大きくなり、主弁体５は差圧によって開弁方向に押し上げられる。そして、油室連通口２Ｃを通じて第１油室２１と第２油室２２とが連通し、作動油の流通が可能となる。この際、式９から、Ｆ＝０となるような背圧室２０の圧力Ｐ３、換言すれば、Ｆ＝０となるような副弁体３３の開口面積Ｈ（Ｘｉ）の状態で、主弁体５の位置が保持される。

上記の作動油の流れを図１、図３に基づいて説明すると、図１の状態から、制御部７によって電動モータ３１が駆動されると、図３の矢印Ｄ１に示すように、副弁体３３が上方に移動する。この結果、副弁体連通口３３Ｔが凹部５Ｂ（図１）から抜け出し、背圧室２０と副弁体油路３３Ｓとが副弁体連通口３３Ｔを通じて連通し、背圧室２０から作動油が排出される（矢印Ｄ２、Ｄ３）。副弁体連通口３３Ｔの開口面積は、副弁体３３の移動量に応じて増大し、やがて一定となる（図５参照）。この結果、第１油室２１（図１）から第１油路２３を通じて背圧室２０に作動油が流入する（矢印Ｄ４）。そして、背圧室２０と第１油室２１との間の差圧、ならびに閉弁ばね６の付勢力のバランスが変化し、主弁体５が上方に移動する（矢印Ｄ５）。この結果、第１油室２１から第２油室２２に作動油が流入する（矢印Ｄ６）。

以上のように、本実施形態では、主弁体５を開弁する場合に、第１油室２１の作動油の高い圧力が副弁体３３に直接作用することがない。したがって、電動モータ３１は、副弁体３３の慣性や摩擦抵抗を含む、副弁体３３を移動させるための駆動力を発生させればよい。したがって、第１油室２１の圧力に抗して副弁体３３を保持するために電動モータ３１に大きな電力が必要とされることがない。なお、上記では、主弁体５の自重をゼロとみなしている。主弁体５に作用する作動油の圧力が、たとえば６５０Ｎ（６６ｋｇ）である一方、主弁体５の自重が０．２ｋｇであるため、主弁体５の自重をゼロとみなすことができる。また、主弁体５の自重が更に大きい場合、受圧面積Ａ１、Ａ２が増大するため、上記と同様の効果が奏される。

＜閉弁動作について＞
上記の開弁状態において、制御部７によって電動モータ３１を第２回転方向に回転させ、副弁体３３を下方に移動させると、副弁体３３のストローク量Ｘｉが小さくなり、背圧室２０から排出油路２７に排出される作動油の流量Ｑ２が減少する。この結果、背圧室２０の圧力Ｐ３が上昇し、やがて式１０においてＦ＜０になると、主弁体５は差圧によって下方向に押圧され、閉弁方向に移動する。なお、前述の開弁動作と同様に、式１０においてＦ＝０なるような相対位置Ｘｉに至ると、主弁体５が停止する。更に、電動モータ３１によって副弁体３３が下降し、最も下方の位置まで移動すると、主弁体５は油室連通口２Ｃに押し付けられ、第１油室２１と第２油室２２との間における作動油の流通が遮断される。なお、主弁体５が主弁体封止位置（図１）に配置されると、背圧室２０の圧力が副弁体３３の下端面（副弁体連通口３３Ｔ）に直接作用しない。この結果、背圧室２０の圧力によって副弁体３３が上方に押し上げられることが抑止される。したがって、閉弁時に背圧室２０の圧力に抗して副弁体３３を保持する必要がなく、電動モータ３１の消費電力が低減される。

なお、第２油室２２の圧力が第１油室２１よりも大きい場合であって、油室連通口２Ｃを通じて第２油室２２から第１油室２１に作動油を流通させる場合には、供給切替弁４によって第２油室２２から背圧室２０に作動油が供給される。この際、作動油が、第２オリフィス２４Ｓを通過することで、副弁体３３に高圧が付与されることが抑止される。なお、第１オリフィス２３Ｓの開口面積と第２オリフィス２４Ｓの開口面積とは同じ面積に設定される必要はなく、任意の面積に設定してもよい。すなわち、第１ポート２Ａから第２ポート２Ｂに作動油が流通する場合と、第２ポート２Ｂから第１ポート２Ａに作動油が流通する場合とで、主弁体５の開弁条件を異なるように設定することができる。また、この場合、受圧面積Ａ２に対して第２油室２２の圧力Ｐ２が作用することで、主弁体５を開弁方向に移動させる。したがって、上記の式１〜式１０において、受圧面積Ａ１をＡ２に置き換え、圧力Ｐ１をＰ２に置き換えることで、同様に、開弁動作および閉弁動作を制御することができる。

以上のように、本実施形態では、電動モータ３１による副弁体３３の位置制御によって、主弁体５の位置（開閉動作）を高い精度で制御することができる。特に、電動モータ３１自体が有する高精度な回転制御に加えて、回転昇降機３２の減速比に応じて、副弁体３３（主弁体５）の制御バラつきを低減することが可能となる。そして、第１油路２３および第２油路２４には第１オリフィス２３Ｓおよび第２オリフィス２４Ｓが配設されている。このため、第１油室２１および第２油室２２の高い圧力が副弁体３３に直接付与されることが抑止され、主弁体５の駆動に必要な圧力が背圧室２０に供給される。この結果、これらの高い圧力に抗して副弁体３３を駆動する必要がなく、電動モータ３１は副弁体３３を主弁体５に対して相対的に移動させるための駆動力を発生すればよい。このため、流量制御弁１の省電力化、小出力化および小型化が実現される。なお、上記のような主弁体５の開弁、閉弁動作を安定して実現するためには、主弁体５の受圧面積がＡ１＜Ａ３の関係を満たしていることが望ましい。

更に、本実施形態では、供給切替弁４が、第１油室２１（第１ポート２Ａ）および第２油室２２（第２ポート２Ｂ）のうちの高圧側を自動的に選択し、主弁体５の開閉動作のために背圧室２０に対して作動油を供給することができる。このため、背圧室２０に対する作動油の供給のために、複数の方向切換弁を設ける必要がなく、第１ポート２Ａおよび第２ポート２Ｂ間の双方向における作動油の流れを制御することが可能となる。

また、本実施形態では、ケーシング２の油室連通口２Ｃは、中心軸ＣＬの軸方向と直交する方向から見て円形形状を有し、主弁体５の主弁体先端部５Ａは、油室連通口２Ｃを封止可能な円錐形状を有する。このため、主弁体先端部５Ａが油室連通口２Ｃに進入するように主弁体５を駆動することで、主弁体先端部５Ａの中心軸ＣＬ周りの周方向全体において、作動油の流出入を安定して阻止することができる。

更に、本実施形態では、主弁体５の凹部５Ｂに副弁体３３の円筒部３３Ｒの下端部を押し付ける（進入させる）ことで、背圧室２０から排出油路２７への作動油の排出を阻止することができる。したがって、副弁体３３内には背圧室２０の圧力が作用しないため、電動モータ３１の電力を抑制することができる。また、副弁体連通口３３Ｔが副弁体３３の円筒部３３Ｒの下端面（軸方向と交差する端面）に配設されているため、円筒部３３Ｒが凹部５Ｂに押し付けられることで、上記の作動油の排出を安定して阻止することができる。更に、円筒部３３Ｒの下端部が円筒形状（直管形状）を有し、円錐状の凹部５Ｂに当接することで、中心軸ＣＬ周りの周方向全体において、シール機能が維持され、作動油の流出入を防止することができる。この結果、上記の作動油の排出を更に安定して阻止することができる。また、副弁体３３の円筒部３３Ｒに副弁体連通口３３Ｔが開口されているため、背圧室２０の圧力が副弁体連通口３３Ｔに付与されにくい。特に、副弁体３３の円筒部３３Ｒの下端面は主弁体５の円筒空間５Ｓの底部に配置されているため、副弁体３３の円筒部３３Ｒの下端面に背圧室２０の圧力がかかりにくい。このため、閉弁時に副弁体３３の位置を保持するために大きな電力を消費することが抑止される。

また、本実施形態では、第１油路２３および第２油路２４にそれぞれ第１オリフィス２３Ｓおよび第２オリフィス２４Ｓが配置される。このため、各油路に形成された簡易なオリフィス構造によって、第１油室２１および第２油室２２の高い圧力が背圧室２０、副弁体３３に直接付与されることが抑止される。この結果、電動モータ３１の消費電力を低減することができる。また、各油路に固有のオリフィスが設けられているため、各油路に必要な流量をそれぞれ個別に設定することができる。なお、各油路に必要な流量が同じ場合、換言すれば、第１オリフィス２３Ｓおよび第２オリフィス２４Ｓの開口径を同じにする場合、供給切替弁４と背圧室２０との間に共通のオリフィス（流量調整機構）を一つ設けてもよい。

以上、本発明の一実施形態に係る流量制御弁１（電動駆動式流量制御弁）について説明した。なお、本発明はこれらの形態に限定されるものではない。本発明に係る電動駆動式流量制御弁として、以下のような変形実施形態が可能である。

（１）上記の実施形態では、副弁体３３の円筒部３３Ｒの下端面に副弁体連通口３３Ｔが開口されるとともに、主弁体５の先端内壁部５Ｓ１に円錐状の凹部５Ｂが設けられる態様にて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。図１の凹部５Ｂは、円筒部３３Ｒの下端部と同様に円筒状に形成されるものでもよい。この場合も、円筒状の凹部５Ｂに円筒部３３Ｒの下端部が進入することで、副弁体連通口３３Ｔを封止することができる。また、副弁体連通口３３Ｔは、円筒部３３Ｒの下端面に開口される態様に限定されるものではない。図６は、本発明の変形実施形態に係る電動駆動式流量制御弁１Ａの断面図である。図７は、図６の電動駆動式流量制御弁１Ａの主弁体５が開弁する様子を示す断面図である。

本変形実施形態では、上記の実施形態と比較して、副弁体連通口３３Ｐの配置および主弁体５の凹部５Ｂの形状において相違するため、当該相違点を中心に説明する。主弁体５の先端内壁部５Ｓ１は、前記副弁体３３の前記円筒部３３Ｒが進入するとともに周方向全体に亘って密接することを許容する凹部５Ｂを有する。凹部５Ｂは、円筒形状を有しており、凹部５Ｂの内径は、円筒部３３Ｒの外径よりも僅かに大きく設定されている。一方、左右一対の副弁体連通口３３Ｐが、円筒部３３Ｒの側面（周面）に円形に開口されている。一対の副弁体連通口３３Ｐは、副弁体油路３３Ｓに連通している。なお、副弁体連通口３３Ｐの開口形状は、その他の形状でもよい。

副弁体３３の下方向への移動に応じて円筒部３３Ｒが凹部５Ｂに進入すると副弁体連通口３３Ｐが凹部５Ｂの内周面によって封止される。一方、副弁体３３の上方向への移動に応じて円筒部３３Ｒが凹部５Ｂから脱離すると一対の副弁体連通口３３Ｐが背圧室２０に連通する。このような機能が発現される円筒部３３Ｒの位置に、副弁体連通口３３Ｐが配置されている。

具体的に、図６の状態から、制御部７によって電動モータ３１が駆動されると、図７の矢印Ｄ１１に示すように、副弁体３３が上方に移動する。この結果、副弁体連通口３３Ｐが凹部５Ｂ（図６）から抜け出し、背圧室２０と副弁体油路３３Ｓとが副弁体連通口３３Ｐを通じて連通し、背圧室２０から作動油が排出される（矢印Ｄ１２、Ｄ１３）。副弁体連通口３３Ｐの開口面積は、副弁体３３の移動量に応じて増大し、やがて一定となる（図５参照）。この結果、第１油室２１（図６）から第１油路２３を通じて背圧室２０に作動油が流入する（矢印Ｄ１４）。そして、先の実施形態と同様に、背圧室２０と第１油室２１との間の差圧、ならびに閉弁ばね６の付勢力のバランスが変化し、主弁体５が上方に移動する（矢印Ｄ１５）。この結果、第１油室２１から第２油室２２に作動油が流入する（矢印Ｄ１６）。

以上のように、本変形実施形態においても、主弁体５の凹部５Ｂに副弁体３３の円筒部３３Ｒを進入させることで、背圧室２０から副弁体油路３３Ｓへの作動油の排出を阻止することができる。また、主弁体５に対する副弁体３３の相対移動に応じて、副弁体連通口３３Ｐの開口面積が調整され、主弁体５の開閉動作を高い精度で制御することができる。また、本変形実施形態では、副弁体連通口３３Ｐが円筒部３３Ｒの側面に設けられている。このため、副弁体連通口３３Ｐの開口ゲイン（Ｘｉに対するＨ（Ｘｉ）の変化量）における自由度を増すことができる。例えば、副弁体連通口３３Ｐの開口ゲインを下げることで副弁体３３の移動量に対する主弁体５の移動量を小さくすることができるため、開弁動作の精度向上と安定性の向上を図ることができる。更に、本変形実施形態においても、副弁体３３の下端面に背圧室２０の圧力が付与されにくく、電動モータ３１の消費電力が低減される。

本発明は、上述したものに限られない。例えば、図８および図９に示すものでは、副弁体３３の上昇または下降に関わらず、副弁体油路３３Ｓと排出油路２７の連通が保たれるよう、排出油路２７の入口が上方に延びる形状を有している。

１、１Ａ 流量制御弁
２ ケーシング
２０ 背圧室
２１ 第１油室（第１流体室）
２２ 第２油室（第２流体室）
２３ 第１油路（第１連通路）
２３Ｓ 第１オリフィス（第１流量調整機構）
２４ 第２油路（第２連通路）
２４Ｓ 第２オリフィス（第２流量調整機構）
２６ 合流油路
２７ 排出油路
２７Ｓ 排出ポート
２Ａ 第１ポート（第１入出口）
２Ｂ 第２ポート（第２入出口）
２Ｃ 油室連通口（流体室連通口）
２Ｓ シリンダ部
３ 昇降駆動装置
３１ 電動モータ
３２ 回転昇降機
３３ 副弁体
３３Ｐ 副弁体連通口
３３Ｒ 円筒部
３３Ｓ 副弁体油路
３３Ｔ 副弁体連通口
４ 供給切替弁（切換機構）
５ 主弁体
５Ａ 主弁体先端部
５Ｂ 凹部
５Ｓ 円筒空間（内部空間）
５Ｓ１ 先端内壁部
６ 閉弁ばね（付勢機構）
７ 制御部
ＣＬ 中心軸

Claims (8)

1. 第１流体室と、第２流体室と、前記第１流体室および前記第２流体室を連通する流体室連通口と、シリンダ部と、を有するケーシングであって、前記ケーシングには、当該ケーシングの外部と前記第１流体室との間で流体の入出を可能とする第１入出口と、前記ケーシングの外部と前記第２流体室との間で流体の入出を可能とする第２入出口とが形成されている、ケーシングと、
   電動モータと、
   前記流体室連通口を封止可能な主弁体先端部を有し、所定の軸方向に沿って主弁体開放位置と主弁体封止位置との間で移動可能なように前記シリンダ部に収容され、流体が入出可能な背圧室を前記シリンダ部との間で形成する主弁体であって、当該主弁体が前記主弁体開放位置に配置されると前記主弁体先端部が前記流体室連通口を開放することで前記第１流体室と前記第２流体室との間での流体の流通を許容し、前記主弁体が前記主弁体封止位置に配置されると前記主弁体先端部が前記流体室連通口を封止することで前記第１流体室と前記第２流体室との間における流体の流通を遮断する、主弁体と、
   前記主弁体を前記主弁体封止位置に向かって付勢する付勢機構と、
   前記第１流体室と前記背圧室とを互いに連通可能な第１連通路と、
   前記第２流体室と前記背圧室とを互いに連通可能な第２連通路と、
   前記第１流体室における流体の圧力が前記第２流体室における流体の圧力よりも高い場合に前記第１連通路における流体の流通を可能とするとともに前記第２連通路における流体の流通を遮断する第１連通状態と、前記第１流体室における流体の圧力が前記第２流体室における流体の圧力よりも低い場合に前記第２連通路における流体の流通を可能とするとともに前記第１連通路における流体の流通を遮断する第２連通状態との間で状態変更が可能な切換機構と、
   前記第１連通路に配置され、前記第１流体室から前記背圧室に向かって流れる流体の流量を低下させるように前記流体の流量を調整する第１流量調整機構と、
   前記第２連通路に配置され、前記第２流体室から前記背圧室に向かって流れる流体の流量を低下させるように前記流体の流量を調整する第２流量調整機構と、
   前記背圧室に収容される副弁体であって、当該副弁体は、前記ケーシングの外部に連通する副弁体流路と、前記背圧室と前記副弁体流路とを連通する副弁体連通口とを有しており、前記電動モータが発生する駆動力を受けて副弁体開放位置と副弁体封止位置との間で前記主弁体に対して前記軸方向に沿って相対移動可能であり、前記副弁体が前記副弁体開放位置に配置されると前記副弁体連通口を開放し前記背圧室の流体が前記副弁体流路を通じて前記ケーシングの外部に排出されることを許容し、前記副弁体が前記副弁体封止位置に配置されると前記副弁体連通口を封止し前記背圧室と前記副弁体流路との間における流体の流通を遮断するとともに前記主弁体が前記付勢機構の付勢力を受けて前記主弁体封止位置に配置されることを許容する、副弁体と、
   を備える、電動駆動式流量制御弁。
2. 前記流体室連通口は、前記軸方向に沿って見た場合、円形形状を有し、
   前記主弁体先端部は、前記軸方向に沿って前記流体室連通口を封止可能な円錐形状を有する、
   請求項１に記載の電動駆動式流量制御弁。
3. 前記主弁体は、前記主弁体先端部とは反対側で前記背圧室に連通し前記軸方向に沿って筒状に形成され前記副弁体が進入可能な内部空間と、前記内部空間の前記主弁体先端部側を画定する先端内壁部とを有し、
   前記副弁体は、少なくとも前記先端内壁部側の端部に配置された円筒部を有するとともに、当該円筒部に前記副弁体連通口が開口されており、
   前記先端内壁部は、前記副弁体の前記円筒部が進入することを許容するとともに周方向全体に亘って前記円筒部に密接する凹部を有する、請求項１または２に記載の電動駆動式流量制御弁。
4. 前記副弁体連通口は、前記副弁体の前記円筒部の前記軸方向と交差する端面に開口されている、請求項３に記載の電動駆動式流量制御弁。
5. 前記先端内壁部の前記凹部は円錐状に形成されており、前記副弁体が前記副弁体封止位置に配置されると前記凹部の斜面が前記円筒部の前記端面の周縁に周方向全体に亘って密接する、請求項４に記載の電動駆動式流量制御弁。
6. 前記副弁体連通口は、前記副弁体の前記円筒部の前記軸方向に沿って延びる側面に開口されており、
   前記凹部は、前記円筒部が進入可能なように円筒状に形成されており、
   前記副弁体連通口は、前記円筒部のうち、前記副弁体の移動に応じて前記円筒部が前記凹部に進入すると前記副弁体連通口が封止され前記副弁体の移動に応じて前記円筒部が前記凹部から脱離すると前記副弁体連通口が前記背圧室に連通する位置に配置されている、請求項３に記載の電動駆動式流量制御弁。
7. 前記第１流量調整機構および前記第２流量調整機構は、それぞれ前記第１連通路および前記第２連通路に配置されたオリフィスである、請求項１乃至６何れか１項に記載の電動駆動式流量制御弁。
8. 前記第１流量調整機構および前記第２流量調整機構は、それぞれ、前記第１流体室と前記切換機構との間および前記第２流体室と前記切換機構との間に配置されている、請求項１乃至７の何れか１項に記載の電動駆動式流量制御弁。

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