JP2019122922A

JP2019122922A - Cleaning device and inkjet application device

Info

Publication number: JP2019122922A
Application number: JP2018005578A
Authority: JP
Inventors: 大霜　征彦; Masahiko Oshimo; 征彦大霜; 雄悟福島; Yugo Fukushima; 鯉樹村上; Riki Murakami
Original assignee: Toray Engineering Co Ltd
Current assignee: Toray Engineering Co Ltd
Priority date: 2018-01-17
Filing date: 2018-01-17
Publication date: 2019-07-25
Anticipated expiration: 2038-01-17
Also published as: JP6821272B2

Abstract

To provide a cleaning device that can remove even quick-dry ink adhering to a nozzle surface and remove cleaning fluid adhering to the nozzle surface while suppressing the nozzle surface from being damaged by wiping, and an inkjet application device.SOLUTION: The cleaning device, which cleans an inkjet head having a nozzle surface having a plurality of nozzle holes through which ink is discharged formed therein, comprises a cleaning fluid jetting part for jetting cleaning fluid, and a waste fluid tray for receiving cleaning fluid jetted from the cleaning fluid jetting part. The cleaning fluid jetting part has a plurality of jetting ports formed therein, and is configured so that the cleaning fluid is jetted directly from the jetting ports toward the nozzle surface.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、複数のノズルからインクを着弾させるインクジェット塗布装置において、インクを吐出するインクジェットヘッドを洗浄する洗浄装置に関するものである。 The present invention relates to a cleaning apparatus that cleans an ink jet head that discharges ink in an ink jet coating apparatus that causes ink to land from a plurality of nozzles.

ガラスやフィルム等の基材上に線分、矩形状等、様々な形状の塗布膜（膜パターン）、例えば、プリント基板やパッケージ基板のような配線基板（基材）における配線パターン、パワー半導体の絶縁膜パターンがインクジェット塗布装置により形成されている。 Coating films (film patterns) of various shapes such as line segments and rectangular shapes on a substrate such as glass or film, for example, wiring patterns on a wiring substrate (substrate) such as a printed circuit board or a package substrate, power semiconductor The insulating film pattern is formed by the inkjet coating device.

インクジェット塗布装置は、図９に示すように、基材Ｗを載置するステージ１００と、液滴（インク）を吐出するインクジェットヘッド１０１を備えており、基材Ｗとインクジェットヘッド１０１を相対的に移動させつつ基材Ｗ上の所定位置に液滴を吐出することにより精度のよい膜パターンが形成される。 As shown in FIG. 9, the inkjet coating apparatus includes a stage 100 for mounting the substrate W, and an inkjet head 101 for discharging droplets (ink), and the substrate W and the inkjet head 101 are relative to each other. By moving the droplets to a predetermined position on the substrate W while moving, a film pattern with high accuracy is formed.

また、インクジェット塗布装置は、洗浄装置１１０を備えており、インクジェットヘッド１０１を定期的に洗浄することによりインクを精度よく着弾させることができる。すなわち、インクジェットヘッド１０１には、図１０（ａ）に示すように、インクを吐出するヘッドモジュール１０２が複数設けられており、このヘッドモジュール１０２のノズル面１０３にインクを吐出するノズル孔１０４が多数形成されている。そして、上述の塗布動作、インクの乾燥防止や不吐出防止のために実施されるフラッシング動作、ブリード動作を行うと、ノズル面１０３にインクが付着する。このノズル面１０３にインクが付着すると、吐出不良が発生したり、吐出されるインクが影響を受けて飛行曲がり等が発生することにより膜の品質に影響が出る。そのため、洗浄装置１１０により定期的にインクジェットヘッドを洗浄することにより、ノズル面１０３に付着したインクの除去が行われる。 In addition, the inkjet coating apparatus includes the cleaning apparatus 110, and by periodically cleaning the inkjet head 101, the ink can be landed with high accuracy. That is, as shown in FIG. 10A, the ink jet head 101 is provided with a plurality of head modules 102 for ejecting ink, and a large number of nozzle holes 104 for ejecting ink to the nozzle surface 103 of the head module 102. It is formed. Then, the ink adheres to the nozzle surface 103 when the application operation described above, the flushing operation performed for preventing the drying of the ink and the ejection failure, and the bleeding operation are performed. When the ink adheres to the nozzle surface 103, a discharge failure occurs, or the discharged ink is affected to generate a flying curve or the like, which affects the quality of the film. Therefore, by periodically cleaning the inkjet head with the cleaning device 110, the ink attached to the nozzle surface 103 is removed.

洗浄装置１１０は、付着したインクを布部材１０５で拭き取るように構成されている。具体的には、洗浄装置１１０は、ステージ１００の下流側に配置されており、図１０（ｂ）に示すように、布部材１０５がロール１０６間に掛け渡されて繰り出されるように構成されており、ロール１０６同士の間には押し当て部材１０７が設けられている。そして、洗浄動作時には、布部材１０５上に配置されたインクジェットヘッド１０１が下降し、各ヘッドモジュール１０２が布部材１０５を介して押し当て部材１０７に押し付けられる。すなわち、各ヘッドモジュール１０２のノズル面１０３が布部材１０５に押し当てられる。この状態で布部材１０５がロール１０６間を走行することによりノズル面１０３に付着したインクが布部材１０５により拭き取られる（例えば、下記特許文献１参照）。 The cleaning device 110 is configured to wipe the attached ink with the cloth member 105. Specifically, the cleaning device 110 is disposed on the downstream side of the stage 100, and as shown in FIG. 10B, the cloth member 105 is configured to be stretched between the rolls 106 and fed out. Between the rolls 106, a pressing member 107 is provided. Then, at the time of the cleaning operation, the ink jet head 101 disposed on the cloth member 105 is lowered, and each head module 102 is pressed against the pressing member 107 via the cloth member 105. That is, the nozzle surface 103 of each head module 102 is pressed against the cloth member 105. In this state, when the cloth member 105 travels between the rolls 106, the ink attached to the nozzle surface 103 is wiped off by the cloth member 105 (for example, see Patent Document 1 below).

特開２０１４−７３６２７号公報JP, 2014-73627, A

上述の洗浄装置１１０における拭き取りは、インクの溶剤成分に依存したインクを布部材１０５に転写させている。ところが近年では、インクの種類が様々であり、無溶剤タイプのインクが使用されたり、溶剤の乾燥が速く溶剤以外の成分がノズル面に固着しやすいインクが使用されており、上記洗浄装置１１０で洗浄（拭き取り）してもノズル面１０３に付着したインクを完全に除去することが困難になっている。 The wiping in the cleaning device 110 described above transfers the ink dependent on the solvent component of the ink to the cloth member 105. However, in recent years, there are various types of ink, and a non-solvent type ink is used, or an ink in which the drying of the solvent is fast and components other than the solvent are easily fixed to the nozzle surface is used. Even when the cleaning (wipe) is performed, it is difficult to completely remove the ink adhering to the nozzle surface 103.

また、ノズル面１０３にはインクの付着を防止するため、撥液性材料がコーティングされているが、長期間に亘ってこのノズル面１０３を布部材１０５で拭き取り続けると摩擦による撥液性のコーティング層が損傷を受け、撥液性能が低下するという問題もあった。 The nozzle surface 103 is coated with a liquid repellent material to prevent the adhesion of the ink, but if the nozzle surface 103 is continuously wiped off with the cloth member 105 for a long period of time, the liquid repellent coating by friction There is also a problem that the layer is damaged and the liquid repellant performance is lowered.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、ノズル面に乾燥の早いインクが付着した場合でも除去することができ、拭き取りによるノズル面の損傷を抑えることができる洗浄装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above problems, and can provide a cleaning device capable of removing even if the ink with quick drying adheres to the nozzle surface and preventing damage to the nozzle surface due to wiping. The purpose is to

上記課題を解決するために本発明の洗浄装置は、インクが吐出されるノズル孔が複数形成されたノズル面を有するインクジェットヘッドを洗浄する洗浄装置であって、
洗浄液を噴出する洗浄液噴射部と、前記洗浄液噴射部から噴出された洗浄液を受ける廃液トレイと、を備えており、前記洗浄液噴射部は、複数の噴射口が形成されており、この噴射口から前記ノズル面に向かって洗浄液が直接に噴射されることを特徴としている。 In order to solve the above problems, the cleaning device of the present invention is a cleaning device for cleaning an inkjet head having a nozzle surface in which a plurality of nozzle holes from which ink is ejected is formed.
And a waste liquid tray for receiving the washing liquid jetted from the washing liquid jet unit, wherein the washing liquid jet unit is formed with a plurality of jet openings, and from the jet openings, the washing liquid jet unit is provided. It is characterized in that the cleaning liquid is directly jetted toward the nozzle surface.

上記洗浄装置によれば、洗浄液噴射部により直接ノズル面に洗浄液が噴射されるため、ノズル面に付着したインクに噴射の勢いと洗浄液成分を直接作用させることができる。したがって、従来のように布部材で拭き取る場合に比べて、ノズル面が擦られることが抑えられ、乾燥したインクであっても分解して落としやすい状態にすることができるため、ノズル面の損傷を抑えてインクを除去することができる。 According to the above-described cleaning apparatus, since the cleaning liquid is directly jetted to the nozzle surface by the cleaning liquid jetting unit, the momentum of the jet and the cleaning liquid component can be made to directly act on the ink attached to the nozzle surface. Therefore, as compared with the conventional wiping with a cloth member, rubbing of the nozzle surface is suppressed, and even dried ink can be disassembled and easily dropped, so damage to the nozzle surface can be reduced. It can be suppressed to remove the ink.

また、前記洗浄液噴射部は、前記廃液トレイ内に配置される洗浄フレームトレイ内に設けられており、前記インクジェットヘッドが前記洗浄フレームトレイ上に配置された状態では、前記インクジェットヘッドの長手方向に亘って所定間隔で前記洗浄液噴射部が配置されている構成にしてもよい。 Further, the cleaning liquid jet unit is provided in a cleaning frame tray disposed in the waste liquid tray, and in a state in which the inkjet head is disposed on the cleaning frame tray, it extends over the longitudinal direction of the inkjet head. The cleaning solution injection unit may be disposed at a predetermined interval.

この構成によれば、インクジェットヘッドの長手方向にわたってノズル面に付着したインクを除去することができる。 According to this configuration, it is possible to remove the ink attached to the nozzle surface in the longitudinal direction of the ink jet head.

また、前記洗浄フレームトレイには、洗浄液の飛散を防止するシール部が設けられており、前記インクジェットヘッドが前記洗浄フレームトレイ上に配置された状態で、前記シール部が前記インクジェットヘッドに当接することにより、前記洗浄液が洗浄フレームトレイの外側に飛散することが防止される構成にしてもよい。 Further, the cleaning frame tray is provided with a seal portion for preventing scattering of the cleaning solution, and the seal portion abuts on the ink jet head in a state where the ink jet head is disposed on the cleaning frame tray. The cleaning solution may be prevented from scattering to the outside of the cleaning frame tray.

この構成によれば、洗浄液噴射部から噴出された洗浄液が洗浄フレームトレイの外側に飛散するのを抑えることができるため、塗布装置の構成部品や設置フロアが洗浄液で汚れるのを抑えることができる。 According to this configuration, the cleaning liquid ejected from the cleaning liquid ejecting unit can be prevented from scattering to the outside of the cleaning frame tray, so that the components of the coating apparatus and the installation floor can be suppressed from being soiled by the cleaning liquid.

また、上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置は、上記の洗浄装置と、洗浄後の前記インクジェットヘッドに付着した洗浄液を拭き取る拭き取り装置と、を備えるインクジェット塗布装置であって、前記拭き取り装置は、インクジェットヘッドのノズル面と多孔質部材とが対向した状態で対向する方向に相対的に移動させて洗浄液を拭き取る拭き取りユニットと、前記拭き取りユニットとは別に、前記ノズル面と布部材とを摺接させて洗浄液を拭き取る拭き取りユニットと、を備えることを特徴としている。 In order to solve the above-mentioned subject, the ink jet coating device of the present invention is an ink jet coating device provided with the above-mentioned washing device and a wiping device which wipes off the washing fluid adhering to the above-mentioned ink jet head after washing. The apparatus moves the nozzle surface and the cloth member separately from the wiping unit, which moves the nozzle surface of the inkjet head and the porous member relatively in the opposing direction to wipe the cleaning liquid, and separately from the wiping unit. And a wiping unit that wipes the cleaning liquid by sliding contact.

このインクジェット塗布装置によれば、洗浄装置による洗浄後のインクジェットヘッドに付着する洗浄液を確実に除去することができるため、付着した洗浄液が意図しないところで落下するのを抑えることができ、残留した洗浄液による製品の品質を低下させる問題を回避することができる。 According to this inkjet coating apparatus, the cleaning liquid adhering to the inkjet head after cleaning by the cleaning apparatus can be reliably removed, so that the adhering cleaning liquid can be prevented from falling where it was not intended, and the residual cleaning liquid The problem of reducing the quality of the product can be avoided.

本発明の洗浄装置、及びインクジェット塗布装置によれば、ノズル面に乾燥の早いインクが付着した場合でも除去することができ、拭き取りによるノズル面の損傷を抑えつつ、ノズル面に付着した洗浄液を除去することができる。 According to the cleaning apparatus and the inkjet coating apparatus of the present invention, even when the ink with quick drying adheres to the nozzle surface can be removed, the cleaning liquid attached to the nozzle surface can be removed while suppressing damage to the nozzle surface due to wiping. can do.

本発明の一実施形態における洗浄装置を備えたインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。It is a side view showing roughly an ink jet coating device provided with a cleaning device in one embodiment of the present invention. 上記インクジェット塗布装置を概略的に示す正面図である。It is a front view which shows the said inkjet coating device roughly. 上記インクジェット塗布装置を概略的に示す上面図である。It is a top view which shows the said inkjet coating device roughly. 上記インクジェットヘッドを示す図であり、（ａ）はノズル面側から見た図、（ｂ）はヘッドモジュールの拡大図である。It is a figure which shows the said inkjet head, (a) is the figure seen from the nozzle surface side, (b) is an enlarged view of a head module. 洗浄装置をＹ軸方向から見た図である。It is the figure which looked at the washing | cleaning apparatus from the Y-axis direction. 洗浄ユニットをＸ軸方向から見た図である。It is the figure which looked at the washing | cleaning unit from the X-axis direction. キャップユニットを示す図であり、（ａ）は、Ｚ軸方向から見た図、（ｂ）はインクジェットヘッドにキャップユニットが装着された状態を示す図である。It is a figure which shows a cap unit, (a) is the figure seen from Z-axis direction, (b) is a figure which shows the state in which the cap unit was mounted | worn with the inkjet head. 一連の洗浄工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows a series of washing processes. 従来のインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。It is a side view which shows the conventional inkjet coating device roughly. 従来のインクジェット塗布装置の要部を示す図であり、（ａ）はインクジェットヘッドをノズル面側から見た図、（ｂ）は従来の洗浄装置を示す図である。It is a figure which shows the principal part of the conventional inkjet coating apparatus, (a) is the figure which looked at the inkjet head from the nozzle surface side, (b) is a figure which shows the conventional washing | cleaning apparatus.

本発明の洗浄装置に係る実施の形態を図面を用いて説明する。 An embodiment according to a cleaning apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、洗浄装置を備えたインクジェット塗布装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は、インクジェット塗布装置の正面図、図３は、インクジェット塗布装置の上面図、図４は、インクジェットヘッドをノズル面側から見た図である。なお、本実施形態のインクジェット塗布装置に用いられるインクは、カラーフィルタに用いられるインクや、有機ＥＬ、配線パターンの導電性インク、保護膜等、インクジェット形式で吐出できるものであれば、あらゆるものを対象とすることができる。 FIG. 1 is a side view showing an embodiment of an inkjet coating apparatus provided with a cleaning device, FIG. 2 is a front view of the inkjet coating apparatus, FIG. 3 is a top view of the inkjet coating apparatus, and FIG. It is the figure which looked at the head from the nozzle surface side. The ink used in the ink jet coating apparatus according to this embodiment may be any ink used for color filters, organic EL, conductive ink of wiring pattern, protective film, etc., as long as it can be ejected by the ink jet method. It can be targeted.

図１〜図４に示すように、インクジェット塗布装置１は、基材Ｗを載置するステージ２と、基材Ｗにインクを吐出する液滴ユニット３とを有しており、液滴ユニット３がステージ２に載置された基材Ｗ上を移動しつつ、インクを所定の位置に吐出することにより、基材Ｗ上に所定のパターンが形成される。 As shown in FIGS. 1 to 4, the inkjet coating apparatus 1 has a stage 2 for mounting the substrate W, and a droplet unit 3 for discharging the ink onto the substrate W. A predetermined pattern is formed on the substrate W by discharging the ink to a predetermined position while moving on the substrate W placed on the stage 2.

なお、以下の説明では、この液滴ユニット３が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。 In the following description, the direction in which the droplet unit 3 moves is the X-axis direction, the direction orthogonal to this in the horizontal plane is the Y-axis direction, and the direction orthogonal to both the X-axis and Y-axis directions is the Z-axis direction I will proceed with the explanation.

液滴ユニット３は、本実施形態では、基材Ｗ上にインク（液滴）を塗布するものであり、インクを吐出するインクジェットヘッド３１と、このインクジェットヘッド３１を支持するガントリ３２とを有している。ガントリ３２は、ステージ２のＹ軸方向両端部分に設けられる支持部材３２ａと、これら２つの支持部材３２ａを連結するビーム部３２ｂとを有しており、支持部材３２ａとビーム部３２ｂによって略門型形状を有している。また、ステージ２に隣接する位置には、Ｘ軸方向に延びるレール２１が設けられており、支持部材３２ａは、それぞれレール２１上に沿ってスライド自在に設けられている。そして、支持部材３２ａには、リニアモータなどの駆動手段が設けられており、リニアモータを駆動制御することにより、支持部材３２ａがＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。すなわち、液滴ユニット３がステージ２上を跨ぐ状態でＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止することができる。なお、レール２１は、洗浄装置４まで延びており、リニアモータを駆動制御することにより、液滴ユニット３が洗浄装置４で停止することができる。 In the present embodiment, the droplet unit 3 applies an ink (droplet) onto the substrate W, and includes an inkjet head 31 that discharges the ink, and a gantry 32 that supports the inkjet head 31. ing. The gantry 32 has support members 32a provided on both ends of the stage 2 in the Y-axis direction, and beam portions 32b connecting the two support members 32a. The support member 32a and the beam portions 32b substantially form a gate It has a shape. Further, rails 21 extending in the X-axis direction are provided at positions adjacent to the stage 2, and the support members 32 a are provided slidably along the rails 21. The support member 32a is provided with drive means such as a linear motor, and by driving and controlling the linear motor, the support member 32a moves in the X-axis direction and can stop at an arbitrary position. There is. That is, the droplet unit 3 can move in the X-axis direction while straddling the stage 2 and can stop at an arbitrary position. The rail 21 extends to the cleaning device 4, and the droplet unit 3 can be stopped by the cleaning device 4 by controlling the driving of the linear motor.

また、ビーム部３２ｂには、インクを吐出するインクジェットヘッド３１が設けられている。インクジェットヘッド３１は、ビーム部３２ｂが支持部材３２ａに対して昇降動作することにより、基材Ｗに対して昇降動作できるようになっている。これにより基材Ｗにインクを吐出する塗布動作の際には、基材Ｗとインクジェットヘッド３１との距離が適切になるように調節される。また、インクジェットヘッド３１は、ビーム部３２ｂに沿ってＹ軸方向に移動可能に取付けられている。すなわち、Ｘ軸方向の所定位置で基材Ｗと対向するインクジェットヘッド３１は、Ｙ軸方向に移動することにより、そのＸ軸方向所定位置における基材ＷのすべてのＹ軸方向領域と対向できるようになっている。すなわち、支持部材３２ａがレール２１に沿って移動することによりＸ軸方向に移動し、さらにインクジェットヘッド３１がビーム部３２ｂに沿ってＹ軸方向に移動することにより、基材Ｗの所定位置にインクジェットヘッド３１が移動しインクを着弾させることができるようになっている。 In addition, the beam portion 32 b is provided with an inkjet head 31 that discharges ink. The inkjet head 31 can move up and down with respect to the substrate W by moving the beam unit 32b up and down with respect to the support member 32a. Thus, in the application operation of discharging the ink onto the substrate W, the distance between the substrate W and the inkjet head 31 is adjusted to be appropriate. Further, the inkjet head 31 is attached so as to be movable in the Y-axis direction along the beam portion 32b. That is, the inkjet head 31 facing the substrate W at a predetermined position in the X-axis direction can face all the Y-axis direction regions of the substrate W at the predetermined position in the X-axis direction by moving in the Y-axis direction. It has become. That is, the support member 32a moves in the X axis direction by moving along the rails 21, and the ink jet head 31 further moves in the Y axis direction along the beam portion 32b, whereby an ink jet is carried out at a predetermined position on the substrate W. The head 31 moves so as to land the ink.

また、インクジェットヘッド３１は、基材Ｗに対向する基材対向面３０ａ（図４（ａ）参照）に、複数のヘッドモジュール５を搭載しており、このヘッドモジュール５からインクが吐出される。ヘッドモジュール５は、ピエゾ素子を駆動源としたインク吐出装置である。ヘッドモジュール５は、インクを吐出するノズル孔５１を有しており、基材Ｗに対向するノズル面５１ａ（図４（ｂ）参照）に複数のノズル孔５１がヘッドモジュール５の長手方向に一方向に並んで配置されている。図４の例では、ノズル孔５１がＹ軸方向に配列されている。 Further, the inkjet head 31 has a plurality of head modules 5 mounted on the base material facing surface 30 a (see FIG. 4A) facing the base material W, and the ink is discharged from the head modules 5. The head module 5 is an ink ejection device using a piezo element as a drive source. The head module 5 has a nozzle hole 51 for discharging ink, and a plurality of nozzle holes 51 are provided in the longitudinal direction of the head module 5 on the nozzle surface 51 a (see FIG. 4B) facing the substrate W. They are arranged side by side in the direction. In the example of FIG. 4, the nozzle holes 51 are arranged in the Y-axis direction.

そして、ヘッドモジュール５は、Ｙ軸方向において、それぞれが互いに重複する部分を有し、かつ、Ｘ軸方向に隣接して配置されており、複数のヘッドモジュール５が、いわゆる階段状に配置されている。すなわち、ヘッドモジュール５は、ノズル配置間隔とヘッドモジュール５の両端部分とでは寸法が異なっているため、この両端部分の寸法分を相殺できるようにＸ軸方向にずらしつつＹ軸方向に配列される。そして、この階段状に配置された３つのヘッドモジュール５の集合体をヘッドモジュール５の両端部分の寸法分を相殺できるように繰り返しＹ軸方向に配置することにより、インクジェットヘッド３１全体としてＸ軸方向に見て、すべてのノズル孔５１がＹ軸方向に沿って配列され、Ｘ軸方向から見てＹ軸方向に亘って等間隔で配置される。 The head modules 5 each have a portion overlapping each other in the Y-axis direction, and are arranged adjacent to each other in the X-axis direction, and the plurality of head modules 5 are arranged in a so-called step shape There is. That is, since the dimensions of the head module 5 are different between the nozzle arrangement interval and the both end portions of the head module 5, the head modules 5 are arranged in the Y axis direction while being shifted in the X axis direction so as to offset the dimensions of the both end portions. . Then, the assembly of the three head modules 5 arranged in a step-like manner is repeatedly arranged in the Y-axis direction so as to offset the dimensions of both end portions of the head module 5, whereby the ink jet head 31 as a whole is in the X-axis direction. All the nozzle holes 51 are arrayed along the Y-axis direction, and are equally spaced across the Y-axis direction as viewed from the X-axis direction.

ヘッドモジュール５は、ノズル面５１ａには複数のノズル孔５１が形成されており、ノズル孔５１の先端とノズル面５１ａとがほぼ一致している。このノズル面５１ａは平坦な形状を有しており、ノズル孔５１がノズル面５１ａと面位置になっている。そして、インクジェットヘッド３１には、一体化されたすべてのヘッドモジュール５のノズル面５１ａが基材Ｗ側に向く状態で配置されており、全てのノズル面５１ａが基材Ｗと平行になっている。そして、ピエゾ素子を駆動させることにより、ノズル面５１ａに配列された各ノズル孔５１から一滴ずつインクを吐出できるようになっている。これにより、基材Ｗ上の塗布領域の所定位置に所定のインクが吐出され、吐出パターンを形成することができる。すなわち、ガントリ３２をＸ軸方向（＋方向）に走行させつつ、基材Ｗ上の所定位置に位置するノズル孔５１からインクを吐出させる。次いで、基材ＷのＸ軸方向端部でガントリ３２を停止させた状態でインクジェットヘッド３１をビーム部３２ｂのＹ軸方向端部まで移動させ、今度はガントリ３２をＸ軸方向（−方向）に走行させつつ、基材Ｗ上の所定位置に位置するノズル孔５１からインクを吐出させることにより、基材Ｗ全体に所定パターンを形成することができる。なお、このノズル面５１ａは、撥液性材料がコーティングされており、ノズル孔５１からインクが吐出された際に、余分なインクがノズル面５１ａに付着するのを抑え、仮に付着した場合でも拭き取り等の清掃作業により容易にインクを除去できるようになっている。 The head module 5 has a plurality of nozzle holes 51 formed in the nozzle surface 51a, and the tip of the nozzle hole 51 and the nozzle surface 51a substantially coincide with each other. The nozzle surface 51a has a flat shape, and the nozzle hole 51 is in a surface position with the nozzle surface 51a. The nozzle faces 51a of all the integrated head modules 5 are disposed on the ink jet head 31 so as to face the substrate W, and all the nozzle faces 51a are parallel to the substrate W. . Then, by driving the piezo element, it is possible to eject ink one by one from each of the nozzle holes 51 arranged on the nozzle surface 51a. Thereby, a predetermined ink can be discharged to a predetermined position of the application area on the substrate W, and a discharge pattern can be formed. That is, the ink is discharged from the nozzle hole 51 located at the predetermined position on the base material W while the gantry 32 is caused to travel in the X axis direction (+ direction). Next, with the gantry 32 stopped at the X-axis direction end of the substrate W, the ink jet head 31 is moved to the Y-axis direction end of the beam portion 32b, and this time the gantry 32 is moved in the X-axis direction (-direction). A predetermined pattern can be formed on the entire substrate W by discharging ink from the nozzle holes 51 located at the predetermined position on the substrate W while running. The nozzle surface 51a is coated with a liquid repellent material, and when the ink is ejected from the nozzle holes 51, excess ink is prevented from adhering to the nozzle surface 51a, and even if it is temporarily adhered, it is wiped off. It is possible to easily remove the ink by the cleaning work such as.

また、Ｘ軸方向端部には、待機ゾーン６が設けられており、この待機ゾーン６でブリード動作、フラッシング動作が行われる。すなわち、ブリード動作は、インクジェットヘッド３１の吐出不良が生じた場合に、一定量のインクを吐出する動作であり、フラッシング動作は、基材交換などで待機する場合に、ノズル孔５１でインクが乾燥しないように完結的にインクを吐出する動作である。待機ゾーン６には、排液トレイ６１が設けられており、インクジェットヘッド３１が排液トレイ６１上に配置された状態で、排液トレイ６１にインクを吐出することによりブリード動作、フラッシング動作が行われる。 In addition, a standby zone 6 is provided at the end in the X-axis direction, in which a bleeding operation and a flushing operation are performed. That is, the bleeding operation is an operation of discharging a certain amount of ink when the ejection failure of the ink jet head 31 occurs, and the flushing operation is drying of the ink in the nozzle hole 51 when waiting for substrate replacement or the like. It is an operation of discharging ink completely so as not to In the standby zone 6, a drainage tray 61 is provided, and in a state where the ink jet head 31 is disposed on the drainage tray 61, the bleeding operation and the flushing operation are performed by discharging the ink to the drainage tray 61. It will be.

また、待機ゾーン６からステージ２を挟んでＸ軸方向反対側端部には、洗浄装置４が配置されている。この洗浄装置４は、ヘッドモジュール５のノズル面５１ａに付着したインクを除去するためのものである。洗浄装置４は、図５、図６に示すように、廃棄する洗浄液等（洗浄液、及び、除去されたインクの混合物）を受ける廃液トレイ４１と、洗浄液を噴出する洗浄ユニット４２とを有している。洗浄動作時には、インクジェットヘッド３１が廃液トレイ４１上に配置された状態で洗浄ユニット４２から噴出された洗浄液をノズル面５１ａに噴出することによりインクの除去が行われる。 Further, the cleaning device 4 is disposed at an end on the opposite side in the X-axis direction with respect to the standby zone 6 and the stage 2 interposed therebetween. The cleaning device 4 is for removing the ink attached to the nozzle surface 51 a of the head module 5. As shown in FIGS. 5 and 6, the cleaning apparatus 4 has a waste liquid tray 41 for receiving the cleaning liquid to be disposed of (a cleaning liquid and a mixture of removed ink), and a cleaning unit 42 for spouting the cleaning liquid. There is. At the time of the cleaning operation, the ink is removed by ejecting the cleaning liquid ejected from the cleaning unit 42 to the nozzle surface 51 a in a state where the inkjet head 31 is disposed on the waste liquid tray 41.

廃液トレイ４１は、上方に開放された器形状を有しており、廃棄すべき洗浄液等を貯めることができる。廃液トレイ４１は、インクジェットヘッド３１全体よりも大きく形成されており、廃液トレイ４１上に停止したインクジェットヘッド３１に洗浄液が噴射されても、重力により落下する洗浄液が廃液トレイ４１内に落とすことができるようになっている。また、廃液トレイ４１の底部４１ａには、廃液トレイ４１に貯められた洗浄液を廃液タンク（不図示）に排出する排出口４１ｂが設けられている。そして、底部４１ａ全体が排出口４１ｂ側に傾斜されて形成されており、廃液トレイ４１内に貯められた洗浄液等が排出口４１ｂに向かって排液されやすいようになっている。 The waste liquid tray 41 has a container shape opened upward, and can store cleaning liquid and the like to be discarded. The waste liquid tray 41 is formed larger than the entire inkjet head 31, and even if the washing liquid is jetted to the inkjet head 31 stopped on the waste liquid tray 41, the washing liquid falling by gravity can be dropped into the waste liquid tray 41. It is supposed to be. The bottom 41a of the waste tray 41 is provided with a discharge port 41b for discharging the cleaning liquid stored in the waste tray 41 to a waste tank (not shown). The entire bottom portion 41a is formed to be inclined toward the discharge port 41b, so that the cleaning liquid or the like stored in the waste liquid tray 41 is easily drained toward the discharge port 41b.

また、廃液トレイ４１内には、洗浄ユニット４２が設けられている。この洗浄ユニット４２は、洗浄液を噴出する洗浄液噴射部４３と、洗浄液噴射部４３が取り付けられる洗浄フレームトレイ４４とを有しており、洗浄フレームトレイ４４がインクジェットヘッド３１に当接した状態で洗浄液噴射部４３から洗浄液を噴出させることによりノズル面５１ａを洗浄することができる。 Further, in the waste liquid tray 41, a cleaning unit 42 is provided. The cleaning unit 42 includes a cleaning solution ejecting unit 43 that ejects the cleaning solution, and a cleaning frame tray 44 to which the cleaning solution ejecting unit 43 is attached. The cleaning solution ejection is performed with the cleaning frame tray 44 in contact with the inkjet head 31. The nozzle surface 51 a can be cleaned by ejecting the cleaning liquid from the portion 43.

洗浄フレームトレイ４４は、上方に開放された器形状を有しており、その底面部４４ａには洗浄液噴射部４３が取り付けられている。この洗浄フレームトレイ４４は、インクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａとほぼ同じ大きさに形成されている。すなわち、底面部４４ａは、インクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａとほぼ同じ長方形に形成されており、この底面部４４ａの周囲に位置する端部から垂直に延びる側壁部４４ｂが形成されている。この側壁部４４ｂは、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された際に、基材対向面３０ａと対向するようになっており、基材対向面３０ａに対向する対向面４４ｂ１にはシール部４６が設けられている。すなわち、側壁部４４ｂの対向面４４ｂ１には、シール溝が環状に形成されており、シール部４６がこのシール溝にシール部４６の一部が突出するように配置されている。 The cleaning frame tray 44 has a container shape opened upward, and the cleaning solution ejecting portion 43 is attached to the bottom surface portion 44 a thereof. The cleaning frame tray 44 is formed to have substantially the same size as the substrate facing surface 30 a of the ink jet head 31. That is, the bottom surface portion 44a is formed in substantially the same rectangular shape as the base material facing surface 30a of the ink jet head 31, and a side wall portion 44b extending vertically from an end portion located around the bottom surface portion 44a is formed. The side wall portion 44b is configured to face the base material facing surface 30a when the ink jet head 31 is disposed above the cleaning frame tray 44, and the side surface 44b1 faces the base material facing surface 30a. A seal 46 is provided. That is, a seal groove is annularly formed on the facing surface 44b1 of the side wall portion 44b, and the seal portion 46 is disposed such that a part of the seal portion 46 protrudes in the seal groove.

また、洗浄フレームトレイ４４には、鉛直方向に昇降する昇降機構４９が設けられており、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態で、インクジェットヘッド３１に対して近接、離間できるように構成されている。そのため、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態で、昇降機構４９により洗浄フレームトレイ４４を上昇させると、側壁部４４ｂに設けられたシール部４６がインクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａに当接し、インクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａと洗浄フレームトレイ４４とで形成された領域が外部に対して密封されるようになっている。これにより、洗浄液噴射部４３から洗浄液を噴出させても洗浄液が外部に飛散するのを防止できるようになっている。 Further, the cleaning frame tray 44 is provided with a lifting and lowering mechanism 49 that moves up and down in the vertical direction, and can be moved closer to and away from the inkjet head 31 in a state where the inkjet head 31 is disposed above the cleaning frame tray 44 Is configured as. Therefore, when the cleaning frame tray 44 is raised by the raising and lowering mechanism 49 in a state where the inkjet head 31 is disposed above the cleaning frame tray 44, the seal portion 46 provided on the side wall portion 44b faces the base of the inkjet head 31. An area formed by the substrate facing surface 30a of the ink jet head 31 and the cleaning frame tray 44 is sealed against the outside while being in contact with the surface 30a. Thus, even if the cleaning liquid is ejected from the cleaning liquid injection unit 43, the cleaning liquid can be prevented from scattering to the outside.

なお、洗浄フレームトレイ４４の底面部４４ａには、貫通孔（不図示）が設けられており、洗浄フレームトレイ４４に貯留された洗浄液等の廃液を貫通孔から廃液トレイ４１に排出できるようになっている。 A through hole (not shown) is provided in the bottom surface portion 44 a of the cleaning frame tray 44 so that waste liquid such as cleaning fluid stored in the cleaning frame tray 44 can be discharged from the through hole to the waste tray 41. ing.

洗浄液噴射部４３は、洗浄液をインクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａに直接噴出するものである。洗浄液噴射部４３は、シャワー型のノズル（シャワーノズル４７）であり、本実施形態では２つのシャワーノズル４７が一方向に沿って配置されている。具体的には、洗浄フレームトレイ４４の幅方向（短手方向）中央位置に２つのシャワーノズル４７が設けられており、この２つのシャワーノズル４７が長手方向に所定間隔で複数箇所に設けられている。すなわち、シャワーノズル４７は、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態でインクジェットヘッド３１の長手方向にわたって洗浄液を噴出できる位置に配置されている。 The cleaning liquid jet unit 43 directly jets the cleaning liquid to the base material facing surface 30 a of the ink jet head 31. The cleaning liquid jet unit 43 is a shower-type nozzle (shower nozzle 47), and in the present embodiment, two shower nozzles 47 are arranged along one direction. Specifically, two shower nozzles 47 are provided at a central position in the width direction (short direction) of the cleaning frame tray 44, and the two shower nozzles 47 are provided at a plurality of locations at predetermined intervals in the longitudinal direction. There is. That is, the shower nozzle 47 is disposed at a position where the cleaning liquid can be ejected in the longitudinal direction of the inkjet head 31 in a state where the inkjet head 31 is disposed above the cleaning frame tray 44.

シャワーノズル４７は、洗浄液が噴出される部分であり、本体部分に洗浄液が噴射される噴射口が多数形成されている。これらの噴射口は、洗浄フレームトレイ４４の上方にインクジェットヘッド３１が配置された状態で、インクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａに向かって直接噴射される向きに設定されている。本実施形態では、シャワーノズル４７は、本体部分から扇型に噴射されるように設定されており、基材対向面３０ａに配置されるすべてのヘッドモジュール５のノズル面５１ａに向かって吹き付けるように洗浄液が噴射される。これにより、ノズル面５１ａに付着したインクは、洗浄液の成分により軟化されつつ、洗浄液の噴射力により、ノズル面５１ａから引き剥がされて除去される。なお、シャワーノズル４７は、扇型に噴射されるものでなくても、すべてのノズル面５１ａに洗浄液を噴射できれば、本体部から上方に（柱状に）噴射されるものであってもよい。 The shower nozzle 47 is a portion from which the cleaning liquid is ejected, and a large number of injection ports from which the cleaning liquid is ejected are formed in the main body portion. These jet ports are set in a direction in which the jet head 31 is directly jetted toward the substrate facing surface 30 a of the ink jet head 31 in a state where the ink jet head 31 is disposed above the cleaning frame tray 44. In the present embodiment, the shower nozzle 47 is set so as to be jetted in a fan shape from the main body portion so as to spray toward the nozzle surface 51 a of all the head modules 5 disposed on the substrate facing surface 30 a Cleaning fluid is injected. As a result, the ink adhering to the nozzle surface 51a is softened by the components of the cleaning liquid, and peeled off from the nozzle surface 51a by the jet force of the cleaning liquid and removed. Note that the shower nozzle 47 may be jetted upward (in a columnar shape) from the main body as long as the cleaning liquid can be jetted to all the nozzle surfaces 51a, instead of being jetted in a fan shape.

また、本実施形態の洗浄装置４は、ディップ槽７１を有している。このディップ槽７１は、インクジェットヘッド３１のヘッドモジュール５を洗浄液に浸漬させてノズル面５１ａに付着したインクを溶解させるためのものである。すなわち、ノズル面５１ａに付着したインクが除去しにくい種類のインクである場合、また、インクの乾燥状態が進行している場合は、ヘッドモジュール５のノズル面５１ａをディップ槽７１に所定時間浸漬させることにより、ノズル面５１ａに付着したインクをシャワーノズル４７で除去しやすくすることができる。このディップ槽７１には、洗浄液が所定量貯留されており、インクジェットヘッド３１を下降させることにより、すべてのヘッドモジュール５のノズル面５１ａを洗浄液に浸漬させることができる。 Further, the cleaning device 4 of the present embodiment has a dip tank 71. The dip tank 71 is for immersing the head module 5 of the ink jet head 31 in the cleaning liquid to dissolve the ink attached to the nozzle surface 51 a. That is, if the ink attached to the nozzle surface 51a is a type of ink which is difficult to remove, or if the drying state of the ink is progressing, the nozzle surface 51a of the head module 5 is dipped in the dip tank 71 for a predetermined time Thus, the ink attached to the nozzle surface 51 a can be easily removed by the shower nozzle 47. A predetermined amount of cleaning liquid is stored in the dip tank 71, and by lowering the ink jet head 31, the nozzle surfaces 51a of all the head modules 5 can be immersed in the cleaning liquid.

また、本実施形態のインクジェット塗布装置１は、図１０（ｂ）に示す従来の拭き取り装置と同様の構成の拭き取り装置（拭き取りユニット７２）を有している。この拭き取りユニット７２は、シャワーノズル４７による洗浄後、ノズル面５１ａに残留する洗浄液を拭き取るためのものである。具体的には、図１０（ｂ）を参考に、Ｙ軸方向に離れて配置されたロール１０６間に布部材１０５が掛け渡されており、一方のロール１０６から布部材１０５が繰り出され、もう一方のロール１０６で布部材１０５が巻き取られるように形成されている。すなわち、ノズル面５１ａに洗浄液が付着したインクジェットヘッド３１（図１０（ｂ）では１０２）が布部材１０５上に載置された状態で、布部材１０５を走行させることにより、ノズル面５１ａに布部材１０５を摺接させてノズル面５１ａに付着した洗浄液が拭き取られる（本拭き取り動作）。洗浄液が付着した布部材１０５は、ロール１０６により巻き取られ、操り出し側の布部材１０５がなくなると、新しい布部材１０５が巻回されたロール１０６が供給される。すなわち、ノズル面５１ａを拭き取る布部材１０５は、常に新しい布部材１０５が供給されるようになっており、拭き取られた洗浄液が再度、ノズル面５１ａに付着するのを防止できるようになっている。 Moreover, the inkjet coating device 1 of this embodiment has a wiping device (wipe unit 72) of the structure similar to the conventional wiping device shown in FIG.10 (b). The wiping unit 72 is for wiping away the cleaning liquid remaining on the nozzle surface 51 a after cleaning by the shower nozzle 47. Specifically, referring to FIG. 10 (b), the cloth member 105 is stretched between the rolls 106 disposed apart in the Y-axis direction, and the cloth member 105 is fed out from one of the rolls 106, The cloth member 105 is formed to be wound up by one roll 106. That is, by moving the cloth member 105 in a state where the ink jet head 31 (102 in FIG. 10B) having the cleaning liquid attached to the nozzle surface 51a is mounted on the cloth member 105, the cloth member is moved to the nozzle surface 51a. The cleaning solution 105 attached to the nozzle surface 51a is wiped off by sliding the nozzle 105 (main wiping operation). The cloth member 105 to which the cleaning liquid is attached is taken up by the roll 106, and when the cloth member 105 on the take-off side disappears, the roll 106 around which the new cloth member 105 is wound is supplied. That is, the cloth member 105 for wiping the nozzle surface 51a is always supplied with a new cloth member 105, and can prevent the wiped cleaning liquid from adhering to the nozzle surface 51a again. .

また、インクジェット塗布装置１には、図７に示すキャップユニット８が備えられている。このキャップユニット８は、一定時間インクジェット塗布装置１を稼働させない場合に、ノズル孔５１内のインクが乾燥するのを防止し、ノズル孔５１内に埃等が入らないように保護するためのものである。このキャップユニット８は、洗浄装置４の隣に設けられており、一定時間使用しない場合は、インクジェットヘッド３１がキャップユニット８上に位置するようにガントリ３２を移動させ、インクジェットヘッド３１を下降させることにより、インクジェット３１をキャップユニット８に当接させてインクジェットヘッド３１を保護することができる。 Further, the inkjet coating apparatus 1 is provided with a cap unit 8 shown in FIG. The cap unit 8 prevents the ink in the nozzle hole 51 from being dried when the ink jet coating apparatus 1 is not operated for a predetermined time, and protects the nozzle hole 51 from dust and the like. is there. The cap unit 8 is provided next to the cleaning device 4 and moves the gantry 32 so that the ink jet head 31 is positioned on the cap unit 8 and lowers the ink jet head 31 when not used for a certain period of time. Thus, the ink jet head 31 can be protected by bringing the ink jet head 31 into contact with the cap unit 8.

キャップユニット８は、ケース部８５と、このケース部８５内にヘッドモジュール５の形状に沿う形状のキャップ本体部８１を有している。このキャップ本体部８１は、ヘッドモジュール５を保護するものであり、３つのヘッドモジュール５が１つのキャップ本体部８１で保護されるように形成されている。そして、キャップ本体部８１は、Ｙ軸方向に並んで配置されており、インクジェットヘッド３１が下降してケース部８５に当接した場合に、それぞれのヘッドモジュール５がキャップ本体部８１に当接し保護されるようになっている。ここで、図７（ａ）において、２点鎖線がインクジェットヘッド３１を示し、実践がキャップユニット８を示している。すなわち、インクジェットヘッド３１が下降した状態では、図７（ｂ）に示すように、キャップ本体部８１の側壁部８２が基材対向面３０ａに当接し、インクジェットヘッド３１とキャップ本体部８１とで形成される空間が密封されることにより、インクの乾燥が抑制され、埃等が侵入するのを防止できるようになっている。 The cap unit 8 has a case portion 85 and a cap main portion 81 shaped to conform to the shape of the head module 5 in the case portion 85. The cap body portion 81 protects the head module 5 and is formed such that the three head modules 5 are protected by one cap body portion 81. The cap main portions 81 are arranged side by side in the Y-axis direction, and when the ink jet head 31 descends and abuts on the case 85, the respective head modules 5 abut on the cap main portion 81 to protect them. It is supposed to be Here, in FIG. 7A, a two-dot chain line indicates the ink jet head 31 and a practice indicates the cap unit 8. That is, in the state where the ink jet head 31 is lowered, as shown in FIG. 7B, the side wall 82 of the cap main body 81 abuts on the base material facing surface 30 a and is formed by the ink jet head 31 and the cap main body 81 By sealing the space to be sealed, drying of the ink is suppressed, and dust and the like can be prevented from entering.

キャップ本体部８１は、洗浄液と、キャップ本体部８１内に吸水性のある多孔質部材であるスポンジ８３とが備えられており、スポンジ８３が洗浄液に浸漬された状態で設けられている。そして、スポンジ８３は、インクジェットヘッド３１がケース部８５に当接した状態では、ヘッドモジュール５のノズル面５１ａがスポンジ８３の表面の高さ位置とほぼ一致するように設定されている。したがって、インクジェットヘッド３１が下降した状態では、インクジェットヘッド３１とキャップ本体部８１とで形成される空間が密封されることに加え、スポンジ８３表面から蒸発した洗浄液の溶剤により、ノズル孔５１の乾燥が効果的に抑制される。 The cap main body 81 is provided with a cleaning liquid and a sponge 83 which is a porous member having a water absorbing property in the cap main body 81, and is provided in a state where the sponge 83 is immersed in the cleaning liquid. The sponge 83 is set such that the nozzle surface 51 a of the head module 5 substantially coincides with the height position of the surface of the sponge 83 when the ink jet head 31 abuts on the case 85. Therefore, in the state where the ink jet head 31 is lowered, in addition to the space formed by the ink jet head 31 and the cap main body 81 being sealed, the solvent of the cleaning liquid evaporated from the surface of the sponge 83 dries the nozzle hole 51. Effectively suppressed.

また、本実施形態では、このキャップユニット８が拭き取り装置（第２の拭き取りユニット）としても機能する。すなわち、洗浄ユニット４２でインクジェットヘッド３１が洗浄されると、ノズル面５１ａ及び基材対向面３０ａに洗浄液が大量に付着する。この状態でインクジェットヘッド３１を拭き取りユニット７２まで移動させると、ノズル面５１ａ及び基材対向面３０ａに付着した洗浄液がステージ２、又は、ステージ２上の基材Ｗに落下する虞がある。また、大量に付着した状態で、拭き取りユニット７２で拭き取り動作を行うと、拭き取りユニット７２の布部材１０５だけでは吸収しきれず、ノズル面５１ａ及び基材対向面３０ａに洗浄液が残ったままになり、製品の品質を低下させる要因ともなる。そのため、予め、このキャップユニット８により、残留する洗浄液の拭き取り（予備拭き取り動作）が行われる。 Further, in the present embodiment, the cap unit 8 also functions as a wiping device (second wiping unit). That is, when the inkjet head 31 is cleaned by the cleaning unit 42, a large amount of cleaning liquid adheres to the nozzle surface 51a and the base material facing surface 30a. If the ink jet head 31 is moved to the wiping unit 72 in this state, the cleaning liquid attached to the nozzle surface 51 a and the substrate facing surface 30 a may fall onto the stage 2 or the substrate W on the stage 2. When the wiping operation is performed by the wiping unit 72 in a large amount of adhering state, the cloth member 105 of the wiping unit 72 can not absorb only the absorption, and the cleaning liquid remains on the nozzle surface 51a and the substrate facing surface 30a. It also causes the quality of the product to deteriorate. Therefore, wiping off of the remaining cleaning liquid (preliminary wiping operation) is performed in advance by the cap unit 8.

具体的には、洗浄ユニット４２による洗浄動作の後、ガントリ３２を移動させてキャップユニット８上にインクジェットヘッド３１を位置させる。そして、インクジェットヘッド３１を下降させて、図７（ｂ）に示すように、残留した洗浄液をスポンジ８３に吸収させる。すなわち、インクジェットヘッド３１のノズル面５１ａとスポンジ８３とが対向する状態で対向する方向に相対的に移動させ、インクジェットヘッド３１をスポンジ８３に対して僅かに押圧することにより吸収させる。 Specifically, after the cleaning operation by the cleaning unit 42, the gantry 32 is moved to position the ink jet head 31 on the cap unit 8. Then, the ink jet head 31 is lowered to allow the sponge 83 to absorb the remaining cleaning liquid as shown in FIG. 7B. That is, the nozzle surface 51a of the ink jet head 31 and the sponge 83 are relatively moved in the opposing direction so as to face each other, and the ink jet head 31 is absorbed by being slightly pressed against the sponge 83.

なお、インクジェットヘッド３１の高さ位置は、ノズル面５１ａがスポンジ８３に必ずしも接触している必要はなく、少なくともノズル面５１ａ及び基材対向面３０ａに付着した洗浄液の液滴がスポンジ８３に接する程度に設定されていればよい。これにより、スポンジ８３に接触した液滴がスポンジ８３に吸収されることにより、後工程の洗浄ユニット７２による拭き取り動作の拭き取り精度を向上させることができる。 The height position of the inkjet head 31 does not have to be such that the nozzle surface 51a is necessarily in contact with the sponge 83, but at least the degree to which droplets of cleaning liquid attached to the nozzle surface 51a and the substrate facing surface 30a contact the sponge 83. It should just be set to. As a result, since the droplets in contact with the sponge 83 are absorbed by the sponge 83, it is possible to improve the wiping accuracy of the wiping operation by the cleaning unit 72 in the subsequent process.

このように、キャップユニット８による拭き取りにより、ノズル面５１ａ及び基材対向面３０ａに残留した洗浄液の液滴が除去されるため、残留した洗浄液がステージ２、又は、ステージ２上の基材Ｗに落下する虞、残留した洗浄液による製品の品質を低下させる問題を回避することができる。 As described above, since the droplets of the cleaning liquid remaining on the nozzle surface 51 a and the substrate facing surface 30 a are removed by wiping with the cap unit 8, the remaining cleaning liquid is applied to the stage 2 or the substrate W on the stage 2. It is possible to avoid the risk of falling and the problem of lowering the quality of the product due to the remaining cleaning liquid.

次に、洗浄装置４の動作について図８のフローチャートに基づいて説明する。この洗浄装置４による動作は、先の塗布動作が行われた後、次の新たな塗布動作を行う際に、インクジェットヘッド３１の吐出状態を保全するために行われる。 Next, the operation of the cleaning device 4 will be described based on the flowchart of FIG. The operation by the cleaning device 4 is performed to maintain the discharge state of the ink jet head 31 when performing the next new coating operation after the previous coating operation is performed.

まず、所定の塗布動作が行われた後、ディップ槽浸漬工程が行われる（ステップＳ１）。具体的には、インクジェットヘッド３１をディップ槽７１に移動させて、基材対向面３０ａがディップ槽７１に対向した状態でインクジェットヘッド３１を下降させることによりノズル面５１ａ及び基材対向面３０ａ（単にノズル面５１ａ等と称す）を浸漬させる。この状態を所定時間保持させることにより、ノズル面５１ａ等に付着したインクを溶解させて除去させる。仮に、溶剤の乾燥速度が速くノズル面５１ａ等にインクが固着した場合でも、後工程のシャワー洗浄工程で除去されやすくなり洗浄を容易にすることができる。なお、このディップ槽浸漬工程は、ノズル面５１ａ等の汚れが軽微である場合は、省略してもよい。 First, after a predetermined application operation is performed, a dip tank immersion process is performed (step S1). Specifically, the ink jet head 31 is moved to the dip tank 71, and the nozzle surface 51a and the base material facing surface 30a (simply, simply by lowering the ink jet head 31 with the base material facing surface 30a facing the dip tank 71). The nozzle surface 51a and the like are immersed. By holding this state for a predetermined time, the ink adhering to the nozzle surface 51 a and the like is dissolved and removed. Even if the drying speed of the solvent is high and the ink is fixed to the nozzle surface 51a or the like, it is easy to be removed in the shower cleaning step in the subsequent step, and the cleaning can be facilitated. In addition, when the contamination of the nozzle surface 51 a and the like is slight, this dip tank immersion step may be omitted.

次に、シャワー洗浄工程が行われる（ステップＳ２）。具体的には、インクジェットヘッド３１を廃液トレイ４１上に移動させて、基材対向面３０ａが廃液トレイ４１内の洗浄フレームトレイ４４上に配置させる。そして、インクジェットヘッド３１を所定位置まで下降させた後、洗浄フレームトレイ４４を上昇させて洗浄フレームトレイ４４の側壁部４４ｂをインクジェットヘッド３１に当接させる。すなわち、側壁部４４ｂのシール部４６が基材対向面３０ａに当接することにより、基材対向面３０ａと洗浄フレームトレイ４４とで形成される領域が密封される。この状態を維持しつつ、洗浄液噴射部４３（シャワーノズル４７）から洗浄液を噴射させることにより、ヘッドモジュール５のノズル面５１ａ等に直接洗浄液を吹き付ける。これにより、洗浄液の洗浄力、及び、噴射力により、ノズル面５１ａ等に付着したインクが除去される。 Next, a shower cleaning step is performed (step S2). Specifically, the ink jet head 31 is moved onto the waste liquid tray 41, and the substrate facing surface 30 a is disposed on the cleaning frame tray 44 in the waste liquid tray 41. Then, after the ink jet head 31 is lowered to a predetermined position, the cleaning frame tray 44 is raised to bring the side wall portion 44 b of the cleaning frame tray 44 into contact with the ink jet head 31. That is, when the seal portion 46 of the side wall portion 44b abuts on the base material facing surface 30a, the area formed by the base material facing surface 30a and the cleaning frame tray 44 is sealed. While maintaining this state, the cleaning liquid is sprayed directly from the cleaning liquid ejecting section 43 (the shower nozzle 47) to spray the cleaning liquid directly on the nozzle surface 51a or the like of the head module 5. As a result, the ink adhering to the nozzle surface 51 a and the like is removed by the cleaning power of the cleaning liquid and the jetting force.

次に、拭き取り工程が行われる（ステップＳ３）。本実施形態では、ノズル面５１ａ等に付着する洗浄液の液滴を押圧により吸収除去する予備拭き取り動作と、ノズル面５１ａ等を拭き取り除去する本拭き取り動作とが行われる。 Next, a wiping process is performed (step S3). In the present embodiment, a preliminary wiping operation of absorbing and removing the cleaning liquid droplets adhering to the nozzle surface 51a and the like by pressing and a main wiping operation of wiping and removing the nozzle surface 51a and the like are performed.

まず、予備拭き取り動作が行われる。具体的には、インクジェットヘッド３１をキャップユニット８上に移動させ、インクジェットヘッド３１を下降させて、残留した洗浄液をスポンジ８３に吸収させる。すなわち、ノズル面５１ａ等に付着した洗浄液の液滴にスポンジ８３を接触させることにより、ノズル面５１ａ等に付着した液滴がスポンジ８３に吸収されて除去される。すなわち、ノズル面５１ａ等に付着した洗浄液の雫が除去される。 First, a preliminary wiping operation is performed. Specifically, the ink jet head 31 is moved onto the cap unit 8 and the ink jet head 31 is lowered to absorb the remaining cleaning liquid to the sponge 83. That is, by bringing the sponge 83 into contact with the droplets of the cleaning liquid attached to the nozzle surface 51 a and the like, the droplets attached to the nozzle surface 51 a and the like are absorbed by the sponge 83 and removed. That is, wrinkles of the cleaning liquid adhering to the nozzle surface 51a and the like are removed.

次に、本拭き取り動作が行われる。具体的には、インクジェットヘッド３１を拭き取りユニット７２の布部材上に移動させる。その際、インクジェットヘッド３１は、ステージ２上を通過するが、先の予備拭き取り動作を行っているため、ステージ２上に洗浄液の液滴が落下することはない。そして、インクジェットヘッド３１が布部材１０５上に移動した後、布部材１０５とノズル面５１ａ等とが接触した状態で布部材を走行させることにより、ノズル面５１ａ等に残留した洗浄液が拭き取られる。なお、この拭き取り工程では、残留した洗浄液を拭き取ればよく、従来のように、ノズル面５１ａ等に付着したインクを拭き取る必要はない。そのため、布部材１０５とノズル面５１ａ等とを接触する押圧力は、従来よりも小さく設定することができる。さらに、従来では、インクが乾燥する前に布部材１０５による拭き取りを行う必要があるため、ノズル面５１ａ等が布部材１０５で擦られる頻度が高くせざるを得なかったが、シャワーヘッドによる洗浄により、乾燥したインクであっても除去することができるため、布部材１０５による拭き取り頻度を従来に比べて抑えることができる。したがって、従来に比べて、布部材１０５の拭き取りによりノズル面５１ａ等の撥液性材料のコーティングが損傷を受けるのを抑えることができる。 Next, the wiping operation is performed. Specifically, the inkjet head 31 is moved onto the cloth member of the wiping unit 72. At this time, the ink jet head 31 passes over the stage 2, but since the preliminary wiping operation is performed, droplets of the cleaning liquid do not fall on the stage 2. Then, after the ink jet head 31 moves onto the cloth member 105, the cloth member is allowed to travel while the cloth member 105 and the nozzle surface 51a and the like are in contact with each other, whereby the cleaning liquid remaining on the nozzle surface 51a and the like is wiped off. In the wiping step, the remaining cleaning liquid may be wiped off, and it is not necessary to wipe off the ink adhering to the nozzle surface 51a and the like as in the prior art. Therefore, the pressing force for contacting the cloth member 105 with the nozzle surface 51a and the like can be set smaller than in the prior art. Furthermore, conventionally, since it is necessary to wipe the cloth member 105 before the ink is dried, the nozzle surface 51a and the like have to be frequently rubbed with the cloth member 105, but the cleaning by the shower head Since even dried ink can be removed, the frequency of wiping with the cloth member 105 can be suppressed compared to the prior art. Therefore, it is possible to suppress damage to the coating of the liquid repellent material such as the nozzle surface 51 a due to the wiping of the cloth member 105 as compared with the conventional case.

次に、ブリード工程が行われる（ステップＳ４）。すなわち、ブリード動作により塗布動作によりノズル孔５１内に詰まったインクを除去することにより吐出不良を改善させ、ノズルを回復させる。具体的には、インクジェットヘッド３１を待機ゾーン６に移動させて排液トレイ６１上にインクジェットヘッド３１を位置させる。すなわち、インクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａが排液トレイ６１に対向した状態で一定量のインクを吐出させることによりブリード動作が行われる。そして、次の塗布動作に備えて排液トレイ６１上でフラッシング動作が行われる。 Next, a bleed process is performed (step S4). That is, the ejection failure is improved by removing the ink clogged in the nozzle hole 51 by the application operation by the bleeding operation, and the nozzle is recovered. Specifically, the inkjet head 31 is moved to the standby zone 6 and the inkjet head 31 is positioned on the drainage tray 61. That is, the bleeding operation is performed by discharging a fixed amount of ink in a state where the base material facing surface 30 a of the inkjet head 31 faces the drainage tray 61. Then, the flushing operation is performed on the drainage tray 61 in preparation for the next application operation.

このように、上記実施形態における洗浄装置４によれば、洗浄液噴射部４３により直接ノズル面５１ａに洗浄液が噴射されるため、ノズル面５１ａに付着したインクに噴射の勢いと洗浄液成分を直接作用させることができる。したがって、従来のように布部材１０５で拭き取る場合に比べて、ノズル面５１ａが擦られることが抑えられ、乾燥したインクであっても分解して落としやすい状態にすることができるため、ノズル面５１ａの損傷を抑えてインクを除去することができる。 As described above, according to the cleaning device 4 in the above embodiment, since the cleaning liquid is directly jetted to the nozzle surface 51a by the cleaning liquid jetting unit 43, the momentum of the jet and the cleaning liquid component are directly acted on the ink attached to the nozzle surface 51a. be able to. Therefore, as compared with the conventional wiping with the cloth member 105, rubbing of the nozzle surface 51a is suppressed, and even a dried ink can be disassembled and easily dropped. The ink can be removed with less damage.

また、上記実施形態では、洗浄装置４にディップ槽７１、拭き取りユニット７２を有する例について説明したが、使用するインクが乾燥しにくい場合には、ディップ槽７１を省略したものであってもよい。また、ノズル面５１ａに残留する洗浄液の乾燥を他の手段（例えばブロー等）で行う場合には、拭き取りユニット７２を省略したものであってもよい。 Moreover, although the said embodiment demonstrated the example which has the dip tank 71 and the wiping unit 72 in the washing | cleaning apparatus 4, when the ink to be used does not dry easily, the dip tank 71 may be abbreviate | omitted. Moreover, when drying of the washing | cleaning liquid which remains on the nozzle surface 51a is performed by another means (for example, blowing etc.), the wiping off unit 72 may be abbreviate | omitted.

また、上記実施形態では、洗浄液噴射部４３であるシャワーノズル４７が、洗浄フレームトレイ４４内に所定間隔で固定されている例について説明したが、シャワーノズル４７を洗浄フレームトレイ４４内を移動できる構成にしてもよい。すなわち、シャワーノズル４７が洗浄フレームトレイ４４の長手方向に移動できる構成にすることにより、１つのシャワーノズル４７でインクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａ全体に洗浄液が噴射される構成にしてもよい。 In the above embodiment, the shower nozzle 47, which is the cleaning solution jetting unit 43, is fixed to the cleaning frame tray 44 at a predetermined interval, but the shower nozzle 47 can be moved in the cleaning frame tray 44. You may That is, the shower nozzle 47 may be moved in the longitudinal direction of the cleaning frame tray 44 so that the cleaning liquid may be jetted to the entire base material facing surface 30 a of the inkjet head 31 by one shower nozzle 47.

また、上記実施形態では、洗浄液の飛散を防止するためにシール部４６を設ける例について説明したが、飛散しても特に問題ない場合は、シール部４６を設けず、洗浄フレームトレイ４４をインクジェットヘッド３１の基材対向面３０ａに極力接近させて洗浄液を噴射させる構成にしてもよい。 In the above embodiment, an example in which the seal portion 46 is provided to prevent splashing of the cleaning liquid has been described. However, if there is no problem even if the splashing occurs, the seal portion 46 is not provided and the washing frame tray 44 is The cleaning solution may be jetted as close as possible to the base material facing surface 30a 31.

また、上記実施形態では、拭き取り工程において、予備拭き取り動作と本拭き取り動作とを行う例について説明したが、ノズル面５１ａ等に付着した汚れが僅かである場合には、シャワー洗浄工程の洗浄液量を少なくすることにより、ノズル面５１ａ等に残留した洗浄液の量が少ない場合には、予備拭き取り動作を省略してもよい。 In the above embodiment, an example in which the preliminary wiping operation and the main wiping operation are performed in the wiping step has been described. However, when the dirt attached to the nozzle surface 51a or the like is slight, the cleaning fluid amount in the shower washing step is used. If the amount of the cleaning liquid remaining on the nozzle surface 51a and the like is small by reducing the amount, the preliminary wiping operation may be omitted.

１インクジェット塗布装置
２ステージ
３液滴ユニット
４洗浄装置
８キャップユニット
３０ａ基材対向面
３１インクジェットヘッド
４１廃液トレイ
４３洗浄液噴射部
４４洗浄フレームトレイ
４４ｂ１シール部
４７シャワーノズル
５１ａノズル面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 inkjet coating apparatus 2 stage 3 droplet unit 4 cleaning apparatus 8 cap unit 30a base material opposing surface 31 inkjet head 41 waste liquid tray 43 cleaning solution ejecting unit 44 cleaning frame tray 44 b1 sealing unit 47 shower nozzle 51 a nozzle surface

Claims

A cleaning apparatus for cleaning an ink jet head having a nozzle surface in which a plurality of nozzle holes from which ink is ejected is formed.
A cleaning solution injection unit that ejects the cleaning solution;
A waste liquid tray for receiving the washing liquid jetted from the washing liquid jet unit;
Equipped with
The cleaning liquid injection unit is formed with a plurality of injection ports, and the cleaning liquid is directly injected from the injection ports toward the nozzle surface.

The cleaning liquid jet unit is provided in a cleaning frame tray disposed in the waste liquid tray, and in a state in which the inkjet head is disposed on the cleaning frame tray, a predetermined length is provided along the longitudinal direction of the inkjet head. The cleaning apparatus according to claim 1, wherein the cleaning solution injection unit is disposed at an interval.

The cleaning frame tray is provided with a seal portion for preventing scattering of the cleaning liquid, and the seal portion abuts on the ink jet head while the ink jet head is disposed on the cleaning frame tray. The cleaning device according to claim 1 or 2, wherein the cleaning solution is prevented from splashing to the outside of the cleaning frame tray.

A cleaning device according to any of the above claims;
A wiping device that wipes off the cleaning liquid adhering to the inkjet head after cleaning;
An inkjet coating apparatus comprising
The wiping device is a wiping unit that relatively moves in the opposing direction in a state where the nozzle surface of the inkjet head and the porous member face each other to wipe the cleaning liquid;
Separately from the wiping unit, a wiping unit for wiping the cleaning liquid by bringing the nozzle surface and the cloth member into sliding contact with each other;
An inkjet coating apparatus comprising: