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JP2019142234A - Liquid jet head and liquid jet device - Google Patents

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JP2019142234A
JP2019142234A JP2019078430A JP2019078430A JP2019142234A JP 2019142234 A JP2019142234 A JP 2019142234A JP 2019078430 A JP2019078430 A JP 2019078430A JP 2019078430 A JP2019078430 A JP 2019078430A JP 2019142234 A JP2019142234 A JP 2019142234A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow path
head
branch
channel
wiring board
Prior art date
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Ceased
Application number
JP2019078430A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
勇 富樫
Isamu Togashi
勇 富樫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2019078430A priority Critical patent/JP2019142234A/en
Publication of JP2019142234A publication Critical patent/JP2019142234A/en
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

To provide a liquid jet head including a passage member capable of achieving downsizing and securing a larger area in which a liquid passage can be arranged, and to provide a liquid jet device.SOLUTION: A liquid jet head includes: multiple head bodies 110 each having a liquid jet surface 20a for jetting an ink; COF substrates 98 each connected to the head body 110; and a passage member 200 provided with passages 240 for supplying inks to the respective head bodies 110. The passage member 200 has multiple openings 201 into which the COF substrates 98 are inserted. The COF substrate 98 extends at the passage member 200 side relative to the head body 110 and inclines to the first surface 98a side of double surfaces of the COF substrate 98 between the head body 110 and the passage member 200. The passage 240 is connected to the head body 110 at the second surface 98b side of the double surfaces of the COF substrate 98.SELECTED DRAWING: Figure 17

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus, and more particularly to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus that eject ink as a liquid.

液体噴射ヘッドとして、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室を圧電素子等の圧力発生手段により変形させ、ノズル開口からインク滴を吐出させるヘッド本体と、該ヘッド本体に供給されるインクの流路を構成する流路部材とを備えたインクジェット式記録ヘッドが知られている。   As the liquid ejecting head, for example, a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening that discharges ink droplets is deformed by pressure generating means such as a piezoelectric element, and a head main body that discharges ink droplets from the nozzle opening, and the head main body are supplied to the head main body. 2. Description of the Related Art An ink jet recording head including a flow path member that forms a flow path of ink is known.

ヘッド本体は流路部材に接続され、流路からのインクがヘッド本体に供給され、又はヘッド本体からのインクが流路に排出されるようになっている。また、流路部材には、厚さ方向に貫通して、フレキシブル配線基板が挿通される開口部が設けられている。フレキシブル配線基板は、当該開口部を挿通してヘッド本体の圧力発生手段にリード電極を介して接続されている。さらに、フレキシブル配線基板は、流路部材のヘッド本体とは反対側に配置された接続基板に接続されている。接続基板は制御部に接続されており、該制御部の制御信号が接続基板、フレキシブル配線基板を介して圧力発生手段に伝達されるようになっている(例えば、特許文献1参照)。   The head main body is connected to a flow path member, and ink from the flow path is supplied to the head main body, or ink from the head main body is discharged to the flow path. The flow path member is provided with an opening that penetrates in the thickness direction and through which the flexible wiring board is inserted. The flexible wiring board is inserted through the opening and connected to the pressure generating means of the head body via a lead electrode. Furthermore, the flexible wiring board is connected to a connection board disposed on the opposite side of the flow path member from the head main body. The connection board is connected to the control unit, and a control signal of the control unit is transmitted to the pressure generating means via the connection board and the flexible wiring board (for example, see Patent Document 1).

特開2012−81644号公報JP 2012-81644 A

一方、液体噴射ヘッドは、高解像度とともに小型化が要求されており、流路部材も特に液体噴射面に平行な水平面における大きさを小型化することが要求されている。   On the other hand, the liquid ejecting head is required to be downsized with high resolution, and the flow path member is also required to be reduced in size particularly in a horizontal plane parallel to the liquid ejecting surface.

しかしながら、流路部材の小型化により、流路部材のうち、フレキシブル配線基板が挿通される開口部を除いた、流路を形成可能な領域が狭くなってしまう。すなわち、前記水平面内でインクが流通するような水平流路を流路部材に設けることが困難となる。また、流路部材の流路を形成可能な領域が狭いと、流路を引き回す自由度が制約されるため、例えば、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することも困難となる。   However, due to the downsizing of the flow path member, an area where the flow path can be formed in the flow path member excluding the opening through which the flexible wiring board is inserted becomes narrow. That is, it becomes difficult to provide the flow path member with a horizontal flow path through which ink flows in the horizontal plane. In addition, if the area where the flow path of the flow path member can be formed is narrow, the degree of freedom in routing the flow path is limited, and it is difficult to configure an optimal flow path according to the arrangement of the head body, for example. Become.

なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置においても同様に存在する。   Such a problem exists not only in an ink jet recording head that ejects ink, but also in a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject liquid other than ink.

本発明はこのような事情に鑑み、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。   In view of such circumstances, the present invention provides a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that are reduced in size and include a flow path member that can secure a larger area where a liquid flow path can be disposed. With the goal.

上記課題を解決する本発明の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記第1面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第1分岐流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第2分岐流路を有し、前記第1分岐流路は、前記第2分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近いことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第1面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第1面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第1面側の密な領域をP、第2面側の疎な領域をQとする。このように、流路をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第2面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。
さらに、領域Qにおいて、液体噴射面に垂直な方向においてヘッド本体に近い第1分岐流路を設ける場合に比べて、第2分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねて配置することができるので、液体噴射面内における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
ここで、前記第1流路は、前記第1面側において、前記第1分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第1垂直流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記第2分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第2垂直流路を有することが好ましい。これによれば、液体噴射面に垂直な方向から見た平面視において流路部材に占める第1垂直流路及び第2垂直流路の範囲は、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ傾斜して接続する流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ第1垂直流路及び第2垂直流路で接続することで、流路部材の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。
また、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第1面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第1分岐流路と、複数の前記第1分岐流路と接続された第1交差流路と、を有し、前記第2流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第2分岐流路と、複数の前記第2分岐流路と接続された第2交差流路と、を有し、前記第1交差流路と前記第2交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にあることが好ましい。これによれば、領域Pにおいて分岐流路を設ける場合に比べて、分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、交差流路が、フレキシブル配線基板の面方向において、互いにフレキシブル配線基板に対して反対側にあるので、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねずに配置することができ、液体噴射面に直交する方向における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
また、前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、前記第2流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されていることが好ましい。これによれば、フレキシブル配線基板の面方向(面に平行な方向)においてフレキシブル配線基板の外側に第2流路を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材に第2流路を配置する自由度が向上する。
また、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側に駆動回路が設けられていることが好ましい。これによれば、開口部の幅を第1面側に拡幅することで駆動回路が開口部の内面に接触することをより効果的に抑制することができ、駆動回路を保護することができる。そして、開口部の幅を第1面側に拡幅しても、上述した密な領域P側がさらに狭くなるだけであり、疎な領域Q側が狭くなることを避けることができる。
本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射装置が提供される。
上記課題を解決する本発明の他の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第1面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第1面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第1面側の密な領域をP、第2面側の疎な領域をQとする。このように、流路をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第2面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。
An aspect of the present invention that solves the above problems includes a plurality of head bodies having a liquid ejecting surface on which liquid is ejected, a flexible wiring board connected to each head body, and a flow for supplying liquid to each head body. A flow path member provided with a path, wherein the flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board is located on the flow path member side with respect to the head body. It is extended and inclined between the head body and the flow path member toward the first surface side of both surfaces of the flexible wiring board, and the flow path is the second of both surfaces of the flexible wiring board. On the surface side, the head body has a portion provided along the liquid ejection surface, and the head body is connected to a first flow path and a second flow path, and the first flow path is connected to the first flow path. On the first side, The first flow path is provided along the liquid ejection surface, and the second flow path has a second flow path provided along the liquid ejection surface on the second surface side. In the liquid ejecting head, the first branch channel is closer to the head body in a direction perpendicular to the liquid ejecting surface than the second branch channel.
In such an aspect, by inclining the flexible wiring board to the first surface side, the opening of the flow path member can also be moved to the first surface side, so that the flow path of the flow path member can be densely formed in the region that can be formed. Can be provided. A dense region on the first surface side than the opening of the flow path member is P, and a sparse region on the second surface side is Q. Thus, since the flow path can be arranged in a wider area Q, it is easy to configure an optimal flow path according to the arrangement of the head body. In particular, when providing a flow path along the liquid ejection surface, it is possible to prevent the flow path from interfering with the flexible wiring board. Further, in order to prevent interference with the flexible wiring board, the width of the liquid ejecting head in the direction is reduced compared with the case where the flow path member along the liquid ejecting surface is moved to the second surface side to widen the flow path member. Can be
Furthermore, in the region Q, the second branch channel can be formed in the channel member with a higher degree of freedom as compared to the case where the first branch channel close to the head body is provided in the direction perpendicular to the liquid ejection surface. . In addition, since the plurality of flow paths can be arranged in a direction perpendicular to the liquid ejecting surface, the shape of the liquid ejecting head in the liquid ejecting surface can be reduced in size.
Here, the first flow path has a first vertical flow path that connects the first branch flow path and the head main body along the direction perpendicular to the liquid ejection surface on the first surface side. The second flow path preferably has a second vertical flow path that connects the second branch flow path and the head main body along the direction perpendicular to the liquid ejection surface on the second surface side. . According to this, the range of the first vertical flow channel and the second vertical flow channel that occupy the flow channel member in a plan view as viewed from the direction perpendicular to the liquid ejection surface is the first branch flow channel and the second branch flow channel. It is smaller than the range occupied by the flow paths connecting the head main body at an angle. That is, by connecting the first branch channel and the second branch channel and the head body with the first vertical channel and the second vertical channel, respectively, the size of the channel member in the plan view is reduced. It becomes possible.
A plurality of head bodies having a liquid ejection surface from which liquid is ejected; a flexible wiring board connected to each head body; and a channel member provided with a channel for supplying liquid to each head body The flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board extends to the flow path member side with respect to the head main body, and the head main body And the flow path member are inclined toward the first surface side of both surfaces of the flexible wiring substrate, and the flow channel is formed on the liquid ejection surface on the second surface side of the both surfaces of the flexible wiring substrate. A first flow path and a second flow path are connected to the head main body, and the first flow path is on the first surface side of the flexible wiring board. ,Previous A first branch channel provided in a direction parallel to the liquid ejection surface; and a first intersecting channel connected to the plurality of first branch channels, wherein the second channel is the flexible channel On the second surface side of the wiring board, there are a second branch channel provided in a direction parallel to the liquid ejection surface, and a second cross channel connected to the plurality of second branch channels. And it is preferable that the said 1st intersection flow path and the said 2nd intersection flow path exist on the opposite side with respect to the said flexible wiring board in the surface direction of the said flexible wiring board. According to this, compared with the case where the branch channel is provided in the region P, the branch channel can be formed in the channel member with a higher degree of freedom. Further, since the intersecting flow paths are on the opposite sides of the flexible wiring board in the plane direction of the flexible wiring board, the plurality of flow paths can be arranged without being overlapped in the direction perpendicular to the liquid ejection surface, The shape of the liquid ejecting head in the direction orthogonal to the liquid ejecting surface can be reduced.
Further, the flexible wiring board has one end near the head main body in the direction perpendicular to the liquid ejecting surface and the other end far from the head main body, and the other end is more than the one end. It is preferable that a width of the flexible wiring board is narrow in the surface direction, and the second flow path is formed in the flow path member so as to pass a region outside the surface direction of the other end. According to this, the area | region which forms a 2nd flow path can be provided in the outer side of a flexible wiring board in the surface direction (direction parallel to a surface) of a flexible wiring board. Thereby, the freedom degree which arrange | positions a 2nd flow path in a flow path member further improves.
Further, it is preferable that a drive circuit is provided on the second surface side of the flexible wiring board. According to this, it can suppress more effectively that a drive circuit contacts the inner surface of an opening part by expanding the width | variety of an opening part to the 1st surface side, and can protect a drive circuit. And even if the width of the opening is widened to the first surface side, only the above-described dense region P side is further narrowed, and it is possible to avoid the sparse region Q side from becoming narrow.
According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head.
In this aspect, there is provided a liquid ejecting apparatus including a flow path member that can be downsized and can secure a larger region where the liquid flow path can be disposed.
According to another aspect of the present invention for solving the above-described problems, a plurality of head main bodies each having a liquid ejecting surface on which liquid is ejected, a flexible wiring substrate connected to each head main body, and a liquid supplied to each head main body And a flow path member provided with a flow path, wherein the flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board is connected to the head body with the flow path member. Extending between the head body and the flow path member, and is inclined to the first surface side of both surfaces of the flexible wiring board, and the flow path is formed on both surfaces of the flexible wiring board. The liquid ejecting head includes a portion provided along the liquid ejecting surface on the second surface side.
In such an aspect, by inclining the flexible wiring board to the first surface side, the opening of the flow path member can also be moved to the first surface side, so that the flow path of the flow path member can be densely formed in the region that can be formed. Can be provided. A dense region on the first surface side than the opening of the flow path member is P, and a sparse region on the second surface side is Q. Thus, since the flow path can be arranged in a wider area Q, it is easy to configure an optimal flow path according to the arrangement of the head body. In particular, when providing a flow path along the liquid ejection surface, it is possible to prevent the flow path from interfering with the flexible wiring board. Further, in order to prevent interference with the flexible wiring board, the width of the liquid ejecting head in the direction is reduced compared with the case where the flow path member along the liquid ejecting surface is moved to the second surface side to widen the flow path member. Can be

ここで、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記第1面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第1分岐流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第2分岐流路を有し、前記第1分岐流路は、前記第2分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近いことが好ましい。これによれば、領域Qにおいて、液体噴射面に垂直な方向においてヘッド本体に近い第1分岐流路を設ける場合に比べて、第2分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねて配置することができるので、液体噴射面内における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。   Here, a first flow path and a second flow path are connected to the head body, and the first flow path is provided on the first surface side along the liquid ejection surface. The second flow path has a second branch flow path provided along the liquid ejection surface on the second surface side, and the first branch flow path is It is preferable that the second branch flow path is closer to the head body in a direction perpendicular to the liquid ejection surface. According to this, in the region Q, the second branch channel is formed in the channel member with a higher degree of freedom compared to the case where the first branch channel close to the head body is provided in the direction perpendicular to the liquid ejection surface. be able to. In addition, since the plurality of flow paths can be arranged in a direction perpendicular to the liquid ejecting surface, the shape of the liquid ejecting head in the liquid ejecting surface can be reduced in size.

また、前記第1流路は、前記第1面側において、前記第1分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第1垂直流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記第2分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第2垂直流路を有することが好ましい。これによれば、液体噴射面に垂直な方向から見た平面視において流路部材に占める第1垂直流路及び第2垂直流路の範囲は、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ傾斜して接続する流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ第1垂直流路及び第2垂直流路で接続することで、流路部材の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。   Further, the first flow path has a first vertical flow path along a direction perpendicular to the liquid ejecting surface by connecting the first branch flow path and the head body on the first surface side, The second flow path preferably includes a second vertical flow path that connects the second branch flow path and the head main body along the direction perpendicular to the liquid ejection surface on the second surface side. According to this, the range of the 1st vertical flow path and the 2nd vertical flow path which occupies the flow path member in the planar view seen from the direction perpendicular to the liquid ejection surface is the first branch flow path and the second branch flow path. It is smaller than the range occupied by the flow paths connecting the head main body at an angle. That is, by connecting the first branch channel and the second branch channel and the head body with the first vertical channel and the second vertical channel, respectively, the size of the channel member in the plan view is reduced. It becomes possible.

また、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第1分岐流路と、複数の前記第1分岐流路と接続された第1交差流路と、を有し、前記第2流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第2分岐流路と、複数の前記第2分岐流路と接続された第2交差流路と、を有し、前記第1交差流路と前記第2交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にあることが好ましい。これによれば、領域Pにおいて分岐流路を設ける場合に比べて、分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、交差流路が、フレキシブル配線基板の面方向において、互いにフレキシブル配線基板に対して反対側にあるので、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねずに配置することができ、液体噴射面に直交する方向における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。   In addition, a first flow path and a second flow path are connected to the head body, and the first flow path is parallel to the liquid ejection surface on the second surface side of the flexible wiring board. A first branch flow path provided in a direction and a plurality of first cross flow paths connected to the first branch flow path, wherein the second flow path is the second of the flexible wiring board. A second branch flow path provided in a direction parallel to the liquid ejection surface and a second cross flow path connected to the plurality of second branch flow paths on the surface side; It is preferable that the flow path and the second intersecting flow path are on the opposite side of the flexible wiring board in the surface direction of the flexible wiring board. According to this, compared with the case where the branch channel is provided in the region P, the branch channel can be formed in the channel member with a higher degree of freedom. Further, since the intersecting flow paths are on the opposite sides of the flexible wiring board in the plane direction of the flexible wiring board, the plurality of flow paths can be arranged without being overlapped in the direction perpendicular to the liquid ejection surface, The shape of the liquid ejecting head in the direction orthogonal to the liquid ejecting surface can be reduced.

また、前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、前記第2流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されていることが好ましい。これによれば、フレキシブル配線基板の面方向(面に平行な方向)においてフレキシブル配線基板の外側に第2流路を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材に第2流路を配置する自由度が向上する。   Further, the flexible wiring board has one end near the head main body in the direction perpendicular to the liquid ejecting surface and the other end far from the head main body, and the other end is more than the one end. It is preferable that a width of the flexible wiring board is narrow in the surface direction, and the second flow path is formed in the flow path member so as to pass a region outside the surface direction of the other end. According to this, the area | region which forms a 2nd flow path can be provided in the outer side of a flexible wiring board in the surface direction (direction parallel to a surface) of a flexible wiring board. Thereby, the freedom degree which arrange | positions a 2nd flow path in a flow path member further improves.

また、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側に駆動回路が設けられていることが好ましい。これによれば、開口部の幅を第1面側に拡幅することで駆動回路が開口部の内面に接触することをより効果的に抑制することができ、駆動回路を保護することができる。そして、開口部の幅を第1面側に拡幅しても、上述した密な領域P側がさらに狭くなるだけであり、疎な領域Q側が狭くなることを避けることができる。   Further, it is preferable that a drive circuit is provided on the second surface side of the flexible wiring board. According to this, it can suppress more effectively that a drive circuit contacts the inner surface of an opening part by expanding the width | variety of an opening part to the 1st surface side, and can protect a drive circuit. And even if the width of the opening is widened to the first surface side, only the above-described dense region P side is further narrowed, and it is possible to avoid the sparse region Q side from becoming narrow.

本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射装置が提供される。
According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head.
In this aspect, there is provided a liquid ejecting apparatus including a flow path member that can be downsized and can secure a larger region where the liquid flow path can be disposed.

本発明の実施形態1に係る記録装置の概略斜視図。1 is a schematic perspective view of a recording apparatus according to Embodiment 1 of the invention. 本発明の実施形態1に係るヘッドユニットの分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of the head unit according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係るヘッドユニットの底面図。FIG. 3 is a bottom view of the head unit according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの平面図。FIG. 3 is a plan view of the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの底面図。FIG. 3 is a bottom view of the recording head according to the first embodiment of the invention. 図4のA−A’線断面図。FIG. 5 is a sectional view taken along line A-A ′ of FIG. 4. 本発明の実施形態1に係るヘッド本体の分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of the head body according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1に係るヘッド本体の断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of the head body according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態1のノズル開口の配置を模式的に示した図。The figure which showed typically arrangement | positioning of the nozzle opening of Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1に係る流路部材(第1流路部材)の平面図。The top view of the flow-path member (1st flow-path member) which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1に係る第2流路部材の平面図。The top view of the 2nd channel member concerning Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施形態1に係る第3流路部材の平面図。The top view of the 3rd flow-path member which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1に係る第3流路部材の底面図。The bottom view of the 3rd channel member concerning Embodiment 1 of the present invention. 図11〜図13のB−B’線断面図。B-B 'line sectional drawing of FIGS. 11-13. 図11〜図13のC−C’線断面図。FIG. 14 is a cross-sectional view taken along line C-C ′ in FIGS. 11 to 13. 図11〜図13のD−D’線断面図。D-D 'line sectional drawing of FIGS. 図11〜図13のE−E’線断面図及び従来のヘッド本体の断面図。FIG. 14 is a cross-sectional view taken along line E-E ′ of FIGS. 11 to 13 and a cross-sectional view of a conventional head body. 本発明の実施形態1に係るヘッド本体の概略平面図。FIG. 3 is a schematic plan view of the head body according to the first embodiment of the invention.

〈実施形態1〉
本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単に記録ヘッドともいう。インクジェット式記録ヘッドユニットは、液体噴射ヘッドユニットの一例であり、単にヘッドユニットともいう。インクジェット式記録装置は、液体噴射装置の一例である。図1は、本実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図である。
<Embodiment 1>
The present invention will be described in detail based on embodiments. An ink jet recording head is an example of a liquid jet head, and is also simply referred to as a recording head. The ink jet recording head unit is an example of a liquid ejecting head unit, and is also simply referred to as a head unit. An ink jet recording apparatus is an example of a liquid ejecting apparatus. FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an ink jet recording apparatus according to the present embodiment.

図1に示すように、インクジェット式記録装置1は、ヘッドユニット101を備え、被噴射媒体である紙などの記録シートSを搬送することで印刷を行う、所謂ライン式記録装置である。   As shown in FIG. 1, the ink jet recording apparatus 1 is a so-called line recording apparatus that includes a head unit 101 and performs printing by transporting a recording sheet S such as paper that is an ejection target medium.

具体的には、インクジェット式記録装置1は、装置本体2と、複数の記録ヘッド100を有するヘッドユニット101と、記録シートSを搬送する搬送手段4と、ヘッドユニット101と相対向する記録シートSを支持する支持部材7とを具備する。なお、本実施形態では、記録シートSの搬送方向をX方向とする。また、ヘッドユニット101のノズル開口が設けられた液体噴射面内において、X方向と直交する方向をY方向とする。さらに、X方向及びY方向に直交する方向をZ方向とする。また、X方向において、記録シートSを搬送する上流側をX1側、下流側をX2側とし、Y方向において一方をY1側、他方をY2側とし、Z方向において液体噴射方向側(記録シートS側)をZ1側、反対側をZ2側とする。   Specifically, the ink jet recording apparatus 1 includes an apparatus main body 2, a head unit 101 having a plurality of recording heads 100, a conveying unit 4 that conveys a recording sheet S, and a recording sheet S that faces the head unit 101. And a support member 7 for supporting the. In the present embodiment, the conveyance direction of the recording sheet S is the X direction. Further, in the liquid ejection surface provided with the nozzle openings of the head unit 101, the direction orthogonal to the X direction is defined as the Y direction. Furthermore, let the direction orthogonal to the X direction and the Y direction be the Z direction. In the X direction, the upstream side for conveying the recording sheet S is the X1 side, the downstream side is the X2 side, one is the Y1 side and the other is the Y2 side in the Y direction, and the liquid ejection direction side (the recording sheet S in the Z direction). Side) is the Z1 side, and the opposite side is the Z2 side.

ヘッドユニット101は、複数の記録ヘッド100と、複数の記録ヘッド100を保持するヘッド固定基板102とを具備する。   The head unit 101 includes a plurality of recording heads 100 and a head fixing substrate 102 that holds the plurality of recording heads 100.

複数の記録ヘッド100は、搬送方向であるX方向に交差する方向であるY方向に並設されてヘッド固定基板102に固定されている。なお、本実施形態では、複数の記録ヘッド100は、Y方向の直線上に並設されている。すなわち、複数の記録ヘッド100は、X方向にずれて配置されていない。これにより、ヘッドユニット101のX方向の幅を狭くして、ヘッドユニット101の小型化を図ることができる。   The plurality of recording heads 100 are arranged side by side in the Y direction, which is a direction intersecting the X direction that is the transport direction, and are fixed to the head fixing substrate 102. In the present embodiment, the plurality of recording heads 100 are arranged side by side on a straight line in the Y direction. In other words, the plurality of recording heads 100 are not displaced in the X direction. Thereby, the width of the head unit 101 in the X direction can be narrowed, and the head unit 101 can be downsized.

ヘッド固定基板102は、複数の記録ヘッド100のノズル開口が記録シートS側に向くように、複数の記録ヘッド100を保持するものであり、装置本体2に固定されている。   The head fixing substrate 102 holds the plurality of recording heads 100 so that the nozzle openings of the plurality of recording heads 100 face the recording sheet S side, and is fixed to the apparatus main body 2.

搬送手段4は、記録シートSをヘッドユニット101に対して、X方向に搬送する。搬送手段4は、例えば、ヘッドユニット101に対して記録シートSの搬送方向であるX方向の両側に設けられた第1の搬送ローラー5と、第2の搬送ローラー6とを具備する。このような第1の搬送ローラー5と第2の搬送ローラー6とによって、記録シートSをX方向に搬送する。なお、記録シートSを搬送する搬送手段4は、搬送ローラーに限定されず、ベルトやドラム等であってもよい。   The transport unit 4 transports the recording sheet S to the head unit 101 in the X direction. The transport unit 4 includes, for example, a first transport roller 5 and a second transport roller 6 provided on both sides in the X direction that is the transport direction of the recording sheet S with respect to the head unit 101. The recording sheet S is conveyed in the X direction by the first conveyance roller 5 and the second conveyance roller 6 as described above. The transport unit 4 that transports the recording sheet S is not limited to the transport roller, and may be a belt, a drum, or the like.

支持部材7は、ヘッドユニット101に相対向する位置で、搬送手段4によって搬送される記録シートSを支持する。支持部材7は、例えば、断面が矩形状を有する金属又は樹脂等からなり、第1の搬送ローラー5と第2の搬送ローラー6との間にヘッドユニット101に相対向して設けられている。   The support member 7 supports the recording sheet S conveyed by the conveying unit 4 at a position facing the head unit 101. The support member 7 is made of, for example, a metal or resin having a rectangular cross section, and is provided opposite to the head unit 101 between the first transport roller 5 and the second transport roller 6.

なお、支持部材7には、搬送された記録シートSを支持部材7上で吸着する吸着手段が設けられていてもよい。吸着手段としては、例えば、記録シートSを吸引することで吸引吸着するものや、静電気力で記録シートSを静電吸着するもの等が挙げられる。また、例えば、搬送手段4がベルトやドラムである場合、支持部材7は、ヘッドユニット101に相対向する位置で、ベルト上やドラム上に記録シートSを支持する。   The support member 7 may be provided with a suction unit that sucks the conveyed recording sheet S on the support member 7. Examples of the suction means include a device that sucks and sucks the recording sheet S and a device that electrostatically sucks the recording sheet S by electrostatic force. For example, when the transport unit 4 is a belt or a drum, the support member 7 supports the recording sheet S on the belt or the drum at a position facing the head unit 101.

ヘッドユニット101の各記録ヘッド100には、図示していないが、インクが貯留されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体貯留手段がインクを供給可能に接続されている。液体貯留手段は、例えば、ヘッドユニット101上に保持されていても、また、装置本体2内のヘッドユニット101とは異なる位置に保持されていてもよい。また、液体貯留手段から供給されたインクを記録ヘッド100に供給するための流路等をヘッド固定基板102の内部に設けるようにしてもよく、ヘッド固定基板102にインク流路部材を設け、インク流路部材を介して液体貯留手段からのインクを記録ヘッド100に供給するようにしてもよい。もちろん、液体貯留手段からヘッド固定基板102又はヘッド固定基板102に固定されたインク流路部材等を介さずに、記録ヘッド100に直接インクが供給されてもよい。   Although not shown, each storage head 100 of the head unit 101 is connected to a liquid storage means such as an ink tank or an ink cartridge in which ink is stored so as to be able to supply ink. For example, the liquid storage unit may be held on the head unit 101 or may be held at a position different from the head unit 101 in the apparatus main body 2. Further, a flow path or the like for supplying ink supplied from the liquid storage means to the recording head 100 may be provided inside the head fixed substrate 102, and an ink flow path member is provided on the head fixed substrate 102 to provide ink. You may make it supply the ink from a liquid storage means to the recording head 100 via a flow-path member. Of course, the ink may be directly supplied from the liquid storage means to the recording head 100 without using the head fixing substrate 102 or the ink flow path member fixed to the head fixing substrate 102.

このようなインクジェット式記録装置1では、第1の搬送ローラー5によって記録シートSがX方向に搬送され、ヘッドユニット101によって支持部材7上で支持された記録シートSに印刷が実行される。印刷された記録シートSは、第2の搬送ローラー6によってX方向に搬送される。   In such an ink jet recording apparatus 1, the recording sheet S is transported in the X direction by the first transport roller 5, and printing is performed on the recording sheet S supported on the support member 7 by the head unit 101. The printed recording sheet S is conveyed in the X direction by the second conveying roller 6.

ヘッドユニット101について図2及び図3を参照して詳細に説明する。図2は本実施形態に係るヘッドユニットを示す分解斜視図であり、図3はヘッドユニットの液体噴射面側の底面図である。   The head unit 101 will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 2 is an exploded perspective view showing the head unit according to this embodiment, and FIG. 3 is a bottom view of the liquid ejection surface side of the head unit.

本実施形態のヘッドユニット101は、複数の記録ヘッド100と、複数の記録ヘッド100を保持するヘッド固定基板102とを具備する。記録ヘッド100は、ノズル開口21が設けられた液体噴射面20aをZ方向のZ1側に有する。各記録ヘッド100は、ヘッド固定基板102の記録シートSに相対向する面側、すなわち、Z方向の記録シートS側であるZ1側に固定されている。   The head unit 101 of this embodiment includes a plurality of recording heads 100 and a head fixing substrate 102 that holds the plurality of recording heads 100. The recording head 100 has a liquid ejection surface 20a provided with nozzle openings 21 on the Z1 side in the Z direction. Each recording head 100 is fixed to the side of the head fixing substrate 102 facing the recording sheet S, that is, the Z1 side that is the recording sheet S side in the Z direction.

前述のように、複数の記録ヘッド100は、搬送方向であるX方向に直交するY方向に直線上に並設されてヘッド固定基板102に固定されている。すなわち、複数の記録ヘッド100は、X方向にずれて配置されていない。これにより、ヘッドユニット101のX方向の幅を狭くして、ヘッドユニット101の小型化を図ることができる。もちろん、Y方向に並設された記録ヘッド100をX方向にずらして配置するようにしてもよいが、記録ヘッド100をX方向に大きくずらすと、ヘッド固定基板102等のX方向の幅が広くなってしまう。このようにヘッドユニット101のX方向の大きさが大きくなると、インクジェット式記録装置1における第1の搬送ローラー5と第2の搬送ローラー6とのX方向の距離が遠くなり、記録シートSの姿勢の固定が困難になる。また、ヘッドユニット101及びインクジェット式記録装置1が大型化してしまう。   As described above, the plurality of recording heads 100 are arranged in a straight line in the Y direction orthogonal to the X direction, which is the transport direction, and are fixed to the head fixing substrate 102. In other words, the plurality of recording heads 100 are not displaced in the X direction. Thereby, the width of the head unit 101 in the X direction can be narrowed, and the head unit 101 can be downsized. Of course, the recording heads 100 arranged side by side in the Y direction may be shifted in the X direction, but if the recording head 100 is greatly shifted in the X direction, the width of the head fixing substrate 102 or the like in the X direction becomes wider. turn into. When the size of the head unit 101 in the X direction is increased in this way, the distance in the X direction between the first transport roller 5 and the second transport roller 6 in the ink jet recording apparatus 1 is increased, and the posture of the recording sheet S is increased. It becomes difficult to fix. Further, the head unit 101 and the ink jet recording apparatus 1 are increased in size.

なお、本実施形態では、ヘッド固定基板102に4個の記録ヘッド100を固定するようにしたが、記録ヘッド100の数は2個以上であれば、特にこれに限定されるものではない。   In this embodiment, the four recording heads 100 are fixed to the head fixing substrate 102. However, the number of the recording heads 100 is not particularly limited as long as the number is two or more.

図2、図4〜図6を用いて記録ヘッド100について説明する。図4は記録ヘッドの平面図であり、図5は記録ヘッドの底面図であり、図6は図4のA−A’線断面図である。なお、図4は記録ヘッド100のZ方向のZ2側の平面図であり、保持部材120の図示を省略している。   The recording head 100 will be described with reference to FIGS. 2 and 4 to 6. 4 is a plan view of the recording head, FIG. 5 is a bottom view of the recording head, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line A-A ′ of FIG. 4. 4 is a plan view of the recording head 100 on the Z2 side in the Z direction, and the holding member 120 is not shown.

記録ヘッド100は、複数のヘッド本体110と、各ヘッド本体110に接続されたCOF基板98と、各ヘッド本体にインクを供給する流路が設けられた流路部材200とを備えている。さらに、本実施形態では、記録ヘッド100は複数のヘッド本体110を保持する保持部材120と、ヘッド本体110の液体噴射面20a側に設けられた固定板130と、中継基板140とを備えている。   The recording head 100 includes a plurality of head main bodies 110, a COF substrate 98 connected to each head main body 110, and a flow path member 200 provided with a flow path for supplying ink to each head main body. Furthermore, in the present embodiment, the recording head 100 includes a holding member 120 that holds a plurality of head main bodies 110, a fixing plate 130 provided on the liquid ejecting surface 20 a side of the head main body 110, and a relay substrate 140. .

ヘッド本体110は、インクの流路が設けられた保持部材120及び流路部材200からインクが供給され、インクジェット式記録装置1に設けられた制御部(図示せず)から中継基板140及びCOF基板98を介して制御信号が伝達され、該制御信号に基づいてインク滴を吐出するものである。ヘッド本体110の詳細な構成は後述する。   The head main body 110 is supplied with ink from the holding member 120 and the flow path member 200 provided with an ink flow path, and is connected to a relay board 140 and a COF board from a control unit (not shown) provided in the ink jet recording apparatus 1. A control signal is transmitted via 98, and ink droplets are ejected based on the control signal. The detailed configuration of the head body 110 will be described later.

各ヘッド本体110は、Z方向のZ1側にノズル開口21が設けられた液体噴射面20aを有する。また、複数のヘッド本体110のZ2側が、流路部材200のZ1側の面に接着されている。   Each head body 110 has a liquid ejecting surface 20a provided with a nozzle opening 21 on the Z1 side in the Z direction. Further, the Z2 side of the plurality of head bodies 110 is bonded to the Z1 side surface of the flow path member 200.

流路部材200は、ヘッド本体110に供給されるインクの液体流路が設けられた部材である。流路部材200の詳細な構成は後述するが、流路部材200には、Z1側の面に、複数のヘッド本体110がY方向に並設されて接着されている。また、流路部材200に設けられた液体流路は、各ヘッド本体110の液体流路に連通しており、流路部材200から各ヘッド本体110にインクが供給されるようになっている。   The flow path member 200 is a member provided with a liquid flow path for ink supplied to the head main body 110. Although the detailed configuration of the flow path member 200 will be described later, a plurality of head main bodies 110 are bonded to the flow path member 200 in parallel in the Y direction on the surface on the Z1 side. The liquid flow path provided in the flow path member 200 communicates with the liquid flow path of each head body 110 so that ink is supplied from the flow path member 200 to each head body 110.

本実施形態では、1つの流路部材200に6個のヘッド本体110が接着されている。もちろん、1つの流路部材200に固定するヘッド本体110の数は上述したものに限定されず、1つの流路部材200に対してヘッド本体110が1個であっても、また、2個以上の複数であってもよい。   In the present embodiment, six head bodies 110 are bonded to one flow path member 200. Of course, the number of head main bodies 110 to be fixed to one flow path member 200 is not limited to the above-described one, and there may be one head main body 110 for one flow path member 200, or two or more. It may be a plurality.

また、流路部材200には、Z方向に貫通した開口部201が設けられており、該開口部201には、一端がヘッド本体110に接続されたCOF基板98が挿通している。   The flow path member 200 is provided with an opening 201 penetrating in the Z direction, and a COF substrate 98 having one end connected to the head body 110 is inserted through the opening 201.

COF基板98は、フレキシブル配線基板の一例である。フレキシブル配線基板は、可撓性を有する基板上に配線が形成されたものである。また、COF基板98は、ヘッド本体110に設けられた圧力発生手段を駆動する駆動回路97(図7参照)を備えている。   The COF substrate 98 is an example of a flexible wiring substrate. The flexible wiring board is formed by wiring on a flexible substrate. The COF substrate 98 also includes a drive circuit 97 (see FIG. 7) that drives pressure generating means provided in the head body 110.

中継基板140は、表面に配線、IC、抵抗等の電装部品が実装された基板であり、保持部材120と流路部材200との間に配置されている。中継基板140には、流路部材200に設けられた開口部201と連通した貫通部141が形成されている。各貫通部141の開口形状は、流路部材200の開口部201よりも大きく形成されている。   The relay substrate 140 is a substrate on the surface of which electrical components such as wiring, IC, and resistance are mounted, and is disposed between the holding member 120 and the flow path member 200. The relay substrate 140 is formed with a through portion 141 communicating with the opening 201 provided in the flow path member 200. The opening shape of each penetration part 141 is formed larger than the opening part 201 of the flow path member 200.

ヘッド本体110の圧力発生手段に接続されたCOF基板98は、開口部201及び貫通部141を挿通し、中継基板140のZ2側の面に設けられた端子(図示せず)に接続されている。   The COF substrate 98 connected to the pressure generating means of the head main body 110 is inserted through the opening 201 and the through portion 141 and connected to a terminal (not shown) provided on the Z2 side surface of the relay substrate 140. .

特に図示しないが、中継基板140には、インクジェット式記録装置1の制御部に接続されている。このため、当該制御部から送られる駆動信号等を中継基板140を通じてCOF基板98の駆動回路97に伝達され、駆動回路97によりヘッド本体110の圧力発生手段が駆動されるようになっている。これにより、記録ヘッド100のインクの噴射動作が制御されている。   Although not particularly illustrated, the relay substrate 140 is connected to a control unit of the ink jet recording apparatus 1. For this reason, a drive signal or the like sent from the control unit is transmitted to the drive circuit 97 of the COF board 98 through the relay board 140, and the pressure generation means of the head body 110 is driven by the drive circuit 97. Thereby, the ink ejection operation of the recording head 100 is controlled.

保持部材120は、Z1側に溝状の空間を形成する保持部121を有する。保持部121は、保持部材120のZ1側の面に、Y方向に亘って連続して設けられることで、Y方向の両側面に開口して設けられている。また、保持部材120は、保持部121をX方向の略中央部に設けることで、当該保持部121のX方向の両側には、足部122が形成されている。すなわち、足部122は、保持部材120のZ1側の面に、X方向の両端部のみに設けられており、Y方向の両端部には設けられていない。なお、本実施形態では保持部材120は一部材からなるが、このような態様に限定されず、複数の部材がZ方向に積層されて構成されていてもよい。   The holding member 120 has a holding part 121 that forms a groove-like space on the Z1 side. The holding portion 121 is provided continuously on the surface on the Z1 side of the holding member 120 over the Y direction so as to be opened on both side surfaces in the Y direction. In addition, the holding member 120 is provided with a holding portion 121 at a substantially central portion in the X direction, so that foot portions 122 are formed on both sides of the holding portion 121 in the X direction. That is, the foot part 122 is provided only on both ends in the X direction on the Z1 side surface of the holding member 120, and is not provided on both ends in the Y direction. In the present embodiment, the holding member 120 is composed of one member, but is not limited to such a mode, and a plurality of members may be stacked in the Z direction.

このような保持部121内に、中継基板140、流路部材200、複数のヘッド本体110が収容されている。具体的には、流路部材200のZ1側の面に各ヘッド本体110が接着剤等で接合され、流路部材200のZ2側の面に中継基板140が固定されている。このように一体的に構成された中継基板140、流路部材200及び複数のヘッド本体110が保持部121内に収容されている。   In such a holding part 121, the relay substrate 140, the flow path member 200, and the plurality of head main bodies 110 are accommodated. Specifically, each head main body 110 is bonded to the Z1 side surface of the flow path member 200 with an adhesive or the like, and the relay substrate 140 is fixed to the Z2 side surface of the flow path member 200. The relay substrate 140, the flow path member 200, and the plurality of head main bodies 110 that are integrally configured in this way are accommodated in the holding portion 121.

保持部材120と流路部材200とは、保持部121及び流路部材200のZ方向で相対向する面同士が接着剤によって接着されている。中継基板140は、保持部121と流路部材200とで挟まれた空間に収容されている。なお、接着剤による接着に代わり、ネジなどの固定手段により保持部材120と流路部材200とを一体化してもよい。   The holding member 120 and the flow path member 200 are bonded to each other with the adhesive portions of the holding part 121 and the flow path member 200 facing each other in the Z direction. The relay substrate 140 is accommodated in a space sandwiched between the holding part 121 and the flow path member 200. Note that the holding member 120 and the flow path member 200 may be integrated by a fixing means such as a screw instead of bonding with an adhesive.

また、保持部材120には、特に図示しないが、インクが流通する流路や異物等を捕獲するフィルター等が形成されている。これらの保持部材120の流路は、流路部材200の液体流路に連通している。これにより、インクジェット式記録装置1に設けられた液体貯留手段からのインクが保持部材120及び流路部材200を介してヘッド本体110に供給されるようになっている。   In addition, although not particularly shown, the holding member 120 is formed with a flow path through which ink flows, a filter that captures foreign matters, and the like. The flow paths of these holding members 120 are in communication with the liquid flow paths of the flow path member 200. As a result, the ink from the liquid storage means provided in the ink jet recording apparatus 1 is supplied to the head body 110 via the holding member 120 and the flow path member 200.

固定板130は、記録ヘッド100の液体噴射面20a側、すなわち、記録ヘッド100のZ方向のZ1側に設けられ、各記録ヘッド100を保持する部材である。固定板130は、例えば、金属等の板状部材を折り曲げることで形成されたものである。具体的には固定板130は、液体噴射面20a側に設けられたベース部131と、ベース部131のY方向の両端部がZ方向のZ2側に屈曲して設けられた折り曲げ部132とを具備する。   The fixing plate 130 is a member that is provided on the liquid ejection surface 20 a side of the recording head 100, that is, on the Z1 side of the recording head 100 in the Z direction, and holds each recording head 100. The fixed plate 130 is formed, for example, by bending a plate-like member such as metal. Specifically, the fixing plate 130 includes a base portion 131 provided on the liquid ejection surface 20a side, and a bent portion 132 provided by bending both end portions in the Y direction of the base portion 131 to the Z2 side in the Z direction. It has.

また、ベース部131には、各ヘッド本体110のノズル開口21を露出するための開口である露出開口部133が設けられている。本実施形態では、露出開口部133は、ヘッド本体110毎に独立して開口するように設けられている。すなわち、本実施形態の記録ヘッド100は、6個のヘッド本体110を有するため、ベース部131には6個の独立した露出開口部133が設けられている。もちろん、ヘッド本体110の構成等によっては、複数のヘッド本体110で構成されるヘッド本体群に対して1つの共通する露出開口部133を設けるようにしてもよい。   Further, the base 131 is provided with an exposure opening 133 that is an opening for exposing the nozzle opening 21 of each head body 110. In the present embodiment, the exposure opening 133 is provided so as to open independently for each head body 110. That is, since the recording head 100 of this embodiment has six head bodies 110, the base portion 131 is provided with six independent exposure openings 133. Of course, depending on the configuration of the head main body 110 and the like, one common exposed opening 133 may be provided for the head main body group including a plurality of head main bodies 110.

このようなベース部131によって、保持部材120の保持部121のZ1側が覆われている。ベース部131は、図6に示すように、保持部材120のZ方向のZ1側の面、すなわち、足部122のZ1側の端面に接着剤を介して接合されている。   Such a base portion 131 covers the Z1 side of the holding portion 121 of the holding member 120. As shown in FIG. 6, the base portion 131 is joined to the Z1 side surface of the holding member 120 in the Z direction, that is, the end surface on the Z1 side of the foot portion 122 via an adhesive.

また、折り曲げ部132は、ベース部131のY方向の両端部に設けられており、保持部121のY方向の側面に開口する開口面積を覆う大きさで形成されている。すなわち、折り曲げ部132は、ベース部131のY方向の端部から固定板130の縁部までの領域のことである。そして、このような折り曲げ部132は、保持部材120のY方向の側面に接着剤を介して接合されている。これにより、保持部121のY方向の側面への開口は、折り曲げ部132によって覆われて封止されている。   The bent portions 132 are provided at both ends of the base portion 131 in the Y direction, and are formed to have a size that covers an opening area that opens on the side surface of the holding portion 121 in the Y direction. That is, the bent portion 132 is a region from the end portion of the base portion 131 in the Y direction to the edge portion of the fixed plate 130. And such a bending part 132 is joined to the side surface of the holding member 120 in the Y direction via an adhesive. Thereby, the opening to the side surface in the Y direction of the holding portion 121 is covered and sealed by the bent portion 132.

このように、固定板130が保持部材120に接着剤により接着されることで、保持部材120と固定板130との間の空間である保持部121内にヘッド本体110が配置される。   As described above, the fixing plate 130 is bonded to the holding member 120 with an adhesive, whereby the head main body 110 is disposed in the holding portion 121 that is a space between the holding member 120 and the fixing plate 130.

上述したように、本実施形態に係る記録ヘッド100は、1つの記録ヘッド100に対して複数のヘッド本体110を設けてノズル列の多列化を図ることで、1つの記録ヘッド100に対して1つのヘッド本体110のみにノズル列を複数列設けて多列化する場合に比べて、歩留まりを向上することができる。すなわち、単体のヘッド本体110でのノズル列の多列化を行うのは、ヘッド本体110の歩留まりが低下すると共に製造コストが高価になってしまう。これに対して、複数のヘッド本体110によってノズル列の多列化を行うことで、ヘッド本体110の歩留まりを向上して製造コストを低減することができる。   As described above, the recording head 100 according to the present embodiment provides a plurality of head main bodies 110 with respect to one recording head 100 to increase the number of nozzle rows, so that one recording head 100 is provided. The yield can be improved as compared with the case where a plurality of nozzle rows are provided in only one head main body 110 to increase the number of rows. That is, increasing the number of nozzle rows in the single head main body 110 decreases the yield of the head main body 110 and increases the manufacturing cost. On the other hand, by increasing the number of nozzle rows by using the plurality of head main bodies 110, the yield of the head main bodies 110 can be improved and the manufacturing cost can be reduced.

また、保持部材120のY方向の側面の開口は、固定板130の折り曲げ部132により封止される。これにより、保持部材120のY方向の両側(図3に示したハッチ部分)に固定板130のベース部131と接着するために足部がなくても、保持部121のY方向の側面に設けられた開口からの水分蒸発を抑制することができる。   The opening on the side surface in the Y direction of the holding member 120 is sealed by the bent portion 132 of the fixing plate 130. Thereby, even if there is no foot part for bonding to the base part 131 of the fixing plate 130 on both sides in the Y direction of the holding member 120 (the hatched portion shown in FIG. 3), it is provided on the side face of the holding part 121 in the Y direction. Moisture evaporation from the formed opening can be suppressed.

したがって、Y方向に記録ヘッド100を並設したヘッドユニット101は、Y方向において隣り合う記録ヘッド100側に足部122が存在しないことから、Y方向で隣り合う記録ヘッド100の間隔を狭くすることができる。これにより、Y方向で隣り合う記録ヘッド100のヘッド本体110同士を近接して設けることができ、隣り合う記録ヘッド100の各ヘッド本体110に設けられたノズル開口21をY方向で近接させて設けることができる。   Therefore, the head unit 101 in which the recording heads 100 are arranged in the Y direction does not have the foot portion 122 on the side of the recording head 100 adjacent in the Y direction, so that the interval between the recording heads 100 adjacent in the Y direction is reduced. Can do. Thereby, the head main bodies 110 of the recording heads 100 adjacent in the Y direction can be provided close to each other, and the nozzle openings 21 provided in the head main bodies 110 of the adjacent recording heads 100 are provided close to each other in the Y direction. be able to.

なお、本実施形態に係る記録ヘッド100は、保持部材120のX方向の両側に足部122を設けるようにしたが、足部122を設けないようにしてもよい。すなわち、保持部材120のZ1側の面にヘッド本体110が接着され、固定板130のX方向及びY方向の両側に折り曲げ部132を設けるようにしてもよい。すなわち、固定板130には、液体噴射面20aの面内方向における全周に亘って折り曲げ部132が設けられており、保持部材120の側面の全周に亘って固定板130が接着されていてもよい。ただし、本実施形態のように保持部材120のX方向の両側に足部122を設けることで、足部122のZ1側の端面を固定板130のベース部131に接着することにより、インクジェット式記録ヘッド100のZ方向の強度を向上することができるとともに、足部122からの水分蒸発を抑制することができる。   In the recording head 100 according to the present embodiment, the foot portions 122 are provided on both sides of the holding member 120 in the X direction, but the foot portions 122 may not be provided. That is, the head main body 110 may be bonded to the surface of the holding member 120 on the Z1 side, and the bent portions 132 may be provided on both sides of the fixing plate 130 in the X direction and the Y direction. That is, the fixed plate 130 is provided with a bent portion 132 over the entire circumference in the in-plane direction of the liquid ejection surface 20a, and the fixed plate 130 is bonded over the entire circumference of the side surface of the holding member 120. Also good. However, by providing the foot portions 122 on both sides in the X direction of the holding member 120 as in the present embodiment, the end surface on the Z1 side of the foot portion 122 is bonded to the base portion 131 of the fixing plate 130, so that ink jet recording is performed. The strength of the head 100 in the Z direction can be improved, and moisture evaporation from the foot 122 can be suppressed.

図7及び図8を用いて、ヘッド本体110について説明する。図7は本実施形態に係るヘッド本体の斜視図であり、図8はヘッド本体のY方向の断面図である。もちろん、ヘッド本体110の構成は以下の構成に限定されない。   The head main body 110 will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a perspective view of the head main body according to the present embodiment, and FIG. 8 is a cross-sectional view of the head main body in the Y direction. Of course, the configuration of the head body 110 is not limited to the following configuration.

本実施形態のヘッド本体110は、圧力発生室12、ノズル開口21、マニホールド95、圧力発生手段等を備える。そのために、流路形成基板10、連通板15、ノズルプレート20、保護基板30、コンプライアンス基板45、ケース40等の複数の部材が接着剤等によって接合されている。   The head main body 110 of this embodiment includes a pressure generation chamber 12, a nozzle opening 21, a manifold 95, pressure generation means, and the like. For this purpose, a plurality of members such as the flow path forming substrate 10, the communication plate 15, the nozzle plate 20, the protective substrate 30, the compliance substrate 45, and the case 40 are joined together with an adhesive or the like.

流路形成基板10には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室12が複数のノズル開口21の並設方向に沿って並設されている。なお、本実施形態では、この圧力発生室12の並設方向は、Xa方向と称する。また、流路形成基板10には、圧力発生室12がXa方向に並設された列が複数列、本実施形態では、2列設けられている。この圧力発生室12の列が複数列設された列設方向を、以降、Ya方向と称する。なお、本実施形態では、Xa方向及びYa方向に直交する方向は、Z方向と一致する。また、本実施形態のヘッド本体110は、ノズル開口21の並設方向であるXa方向が、記録シートSの搬送方向であるX方向に対して傾斜した方向となるようにヘッドユニット101に搭載される。   In the flow path forming substrate 10, pressure generation chambers 12 partitioned by a plurality of partition walls are arranged in parallel along the direction in which the plurality of nozzle openings 21 are arranged by anisotropic etching from one side. In the present embodiment, the juxtaposed direction of the pressure generating chambers 12 is referred to as the Xa direction. Further, the flow path forming substrate 10 is provided with a plurality of rows in which the pressure generating chambers 12 are arranged in the Xa direction, and in this embodiment, two rows. An arrangement direction in which a plurality of rows of the pressure generation chambers 12 are arranged is hereinafter referred to as a Ya direction. In the present embodiment, the directions orthogonal to the Xa direction and the Ya direction coincide with the Z direction. The head main body 110 according to the present embodiment is mounted on the head unit 101 so that the Xa direction, which is the direction in which the nozzle openings 21 are arranged, is inclined with respect to the X direction, which is the conveyance direction of the recording sheet S. The

また、流路形成基板10には、圧力発生室12のYa方向の一端部側に、当該圧力発生室12よりも開口面積が狭く、圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。   Further, the flow path forming substrate 10 is provided with a flow path resistance of the ink flowing into the pressure generation chamber 12 on one end side in the Ya direction of the pressure generation chamber 12 and having an opening area smaller than that of the pressure generation chamber 12. A supply path or the like may be provided.

流路形成基板10の一方面側には、連通板15が接合されている。また、連通板15には、各圧力発生室12に連通する複数のノズル開口21が設けられたノズルプレート20が接合されている。本実施形態では、ノズルプレート20のノズル開口21が開口するZ方向のZ1側が液体噴射面20aとなっている。   A communication plate 15 is bonded to one surface side of the flow path forming substrate 10. Further, a nozzle plate 20 provided with a plurality of nozzle openings 21 communicating with each pressure generating chamber 12 is joined to the communication plate 15. In the present embodiment, the Z1 side in the Z direction where the nozzle openings 21 of the nozzle plate 20 are open is the liquid ejection surface 20a.

連通板15には、圧力発生室12とノズル開口21とを連通するノズル連通路16が設けられている。連通板15は、流路形成基板10よりも大きな面積を有し、ノズルプレート20は流路形成基板10よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート20の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。   The communication plate 15 is provided with a nozzle communication path 16 that communicates the pressure generation chamber 12 and the nozzle opening 21. The communication plate 15 has a larger area than the flow path forming substrate 10, and the nozzle plate 20 has a smaller area than the flow path forming substrate 10. Thus, cost reduction can be achieved by making the area of the nozzle plate 20 relatively small.

また、連通板15には、マニホールド95の一部を構成する第1マニホールド17と、第2マニホールド18とが設けられている。第1マニホールド17は、連通板15をZ方向に貫通して設けられている。第2マニホールド18は、連通板15をZ方向に貫通することなく、連通板15のノズルプレート20側に開口してZ方向の途中まで設けられている。   The communication plate 15 is provided with a first manifold 17 and a second manifold 18 that constitute a part of the manifold 95. The first manifold 17 is provided through the communication plate 15 in the Z direction. The second manifold 18 opens to the nozzle plate 20 side of the communication plate 15 without penetrating the communication plate 15 in the Z direction, and is provided halfway in the Z direction.

さらに、連通板15には、圧力発生室12のY方向の一端部に連通する供給連通路19が、圧力発生室12毎に独立して設けられている。この供給連通路19は、第2マニホールド18と圧力発生室12とを連通する。   Further, the communication plate 15 is provided with a supply communication passage 19 that communicates with one end portion of the pressure generation chamber 12 in the Y direction independently for each pressure generation chamber 12. The supply communication path 19 communicates the second manifold 18 and the pressure generation chamber 12.

ノズルプレート20には、各圧力発生室12とノズル連通路16を介して連通するノズル開口21が形成されている。複数のノズル開口21がXa方向に並設され、それぞれの並設されたノズル開口21が2つのノズル列a及びノズル列bをなし、このノズル列a、ノズル列bがYa方向に並設されている。なお、本実施形態では、詳細は後述するが、ノズル列a及びノズル列bのそれぞれは、2つに分割して1列で2種類の液体を噴射できるようになっている。   In the nozzle plate 20, nozzle openings 21 communicating with the pressure generation chambers 12 through the nozzle communication passages 16 are formed. A plurality of nozzle openings 21 are juxtaposed in the Xa direction, and each of the juxtaposed nozzle openings 21 forms two nozzle rows a and b, and the nozzle row a and nozzle row b are juxtaposed in the Ya direction. ing. In the present embodiment, although details will be described later, each of the nozzle row a and the nozzle row b is divided into two so that two types of liquid can be ejected in one row.

一方、流路形成基板10の連通板15とは反対面側には、振動板50が形成されている。また、振動板50上には、第1電極60と圧電体層70と第2電極80とが順次積層されることで、本実施形態の圧力発生手段である圧電アクチュエーター300が構成されている。一般的には圧電アクチュエーター300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層を圧力発生室12毎にパターニングして構成する。   On the other hand, a diaphragm 50 is formed on the surface of the flow path forming substrate 10 opposite to the communication plate 15. In addition, the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80 are sequentially stacked on the vibration plate 50, thereby configuring the piezoelectric actuator 300 that is a pressure generating unit of the present embodiment. In general, one electrode of the piezoelectric actuator 300 is used as a common electrode, and the other electrode and the piezoelectric layer are patterned for each pressure generating chamber 12.

また、流路形成基板10の圧電アクチュエーター300側の面には、流路形成基板10と略同じ大きさを有する保護基板30が接合されている。保護基板30は、圧電アクチュエーター300を保護するための空間である保持部31を有する。また、保護基板30には、Z方向に貫通する貫通孔32が設けられている。圧電アクチュエーター300の電極から引き出されたリード電極90の端部は、この貫通孔32内に露出するように延設され、リード電極90とCOF基板98とが、貫通孔32内で電気的に接続されている。   A protective substrate 30 having substantially the same size as the flow path forming substrate 10 is bonded to the surface of the flow path forming substrate 10 on the piezoelectric actuator 300 side. The protective substrate 30 has a holding portion 31 that is a space for protecting the piezoelectric actuator 300. Further, the protective substrate 30 is provided with a through hole 32 penetrating in the Z direction. The end portion of the lead electrode 90 drawn from the electrode of the piezoelectric actuator 300 is extended so as to be exposed in the through hole 32, and the lead electrode 90 and the COF substrate 98 are electrically connected in the through hole 32. Has been.

また、保護基板30及び連通板15には、複数の圧力発生室12に連通するマニホールド95を画成するケース40が固定されている。ケース40は、平面視において上述した連通板15と略同一形状を有し、保護基板30に接合されると共に、上述した連通板15にも接合されている。具体的には、ケース40は、保護基板30側に流路形成基板10及び保護基板30が収容される深さの凹部41を有する。この凹部41は、保護基板30の流路形成基板10に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部41に流路形成基板10等が収容された状態で凹部41のノズルプレート20側の開口面が連通板15によって封止されている。これにより、流路形成基板10の外周部には、ケース40と流路形成基板10及び保護基板30とによって第3マニホールド42が画成されている。そして、この第3マニホールド42と、連通板15に設けられた第1マニホールド17及び第2マニホールド18とによって本実施形態のマニホールド95が構成されている。なお、上述したように1列のノズル列で2種類の液体を噴射できるようになっているので、マニホールド95を構成する第1マニホールド17、第2マニホールド18及び第3マニホールド42は、それぞれノズル列方向、すなわち、Xa方向で2つに分割されている。例えば、第1マニホールド17は、図7に示すように、第1マニホールド17aと第1マニホールド17bとからなる。第2マニホールド18及び第3マニホールド42も同様に2つに分割され、マニホールド95全体としてもXa方向に2つ分割されている。   A case 40 that defines a manifold 95 that communicates with the plurality of pressure generation chambers 12 is fixed to the protective substrate 30 and the communication plate 15. The case 40 has substantially the same shape as the communication plate 15 described above in a plan view, and is bonded to the protective substrate 30 and is also bonded to the communication plate 15 described above. Specifically, the case 40 has a recess 41 having a depth in which the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30 are accommodated on the protective substrate 30 side. The concave portion 41 has an opening area larger than the surface of the protective substrate 30 bonded to the flow path forming substrate 10. The opening surface on the nozzle plate 20 side of the recess 41 is sealed by the communication plate 15 in a state where the flow path forming substrate 10 and the like are accommodated in the recess 41. Accordingly, a third manifold 42 is defined by the case 40, the flow path forming substrate 10, and the protective substrate 30 on the outer peripheral portion of the flow path forming substrate 10. The third manifold 42 and the first manifold 17 and the second manifold 18 provided on the communication plate 15 constitute a manifold 95 of the present embodiment. As described above, since two types of liquid can be ejected by one nozzle row, the first manifold 17, the second manifold 18 and the third manifold 42 constituting the manifold 95 are respectively arranged in the nozzle row. The direction is divided into two in the Xa direction. For example, as shown in FIG. 7, the first manifold 17 includes a first manifold 17a and a first manifold 17b. Similarly, the second manifold 18 and the third manifold 42 are also divided into two, and the entire manifold 95 is also divided into two in the Xa direction.

本実施形態では、マニホールド95を構成する第1マニホールド17、第2マニホールド18及び第3マニホールド42は、それぞれノズル列a及びノズル列bを挟んで対称に配置されている。これによれば、ノズル列a及びノズル列b毎に異なる液体を噴射することも可能となる。勿論、マニホールドの配置はこれに限定されるものではない。   In the present embodiment, the first manifold 17, the second manifold 18, and the third manifold 42 constituting the manifold 95 are arranged symmetrically with the nozzle row a and the nozzle row b interposed therebetween, respectively. According to this, it is also possible to eject different liquids for each nozzle row a and nozzle row b. Of course, the arrangement of the manifold is not limited to this.

また、本実施形態では、後述するように4種の液体を噴射できるように、各ノズル列に対応するマニホールドをXa方向で2つに分割して合計4つのマニホールド95としているが、ノズル列a及びノズル列b毎に形成されたマニホールドとしてもよいし、また、ノズル列a及びノズル列bの2列に対して共通の1つのマニホールドとしてもよい。   Further, in this embodiment, the manifold corresponding to each nozzle row is divided into two in the Xa direction so that four types of liquids can be ejected as will be described later. In addition, a manifold formed for each nozzle row b may be used, or a single manifold common to two rows of the nozzle row a and the nozzle row b may be used.

また、連通板15の第1マニホールド17及び第2マニホールド18が開口する面には、コンプライアンス基板45が設けられている。このコンプライアンス基板45が、第1マニホールド17と第2マニホールド18の開口を封止している。   A compliance substrate 45 is provided on the surface of the communication plate 15 where the first manifold 17 and the second manifold 18 open. The compliance substrate 45 seals the openings of the first manifold 17 and the second manifold 18.

このようなコンプライアンス基板45は、本実施形態では、封止膜46と、固定基板47とを具備する。封止膜46は、可撓性を有する薄膜(例えば、ポリフェニレンサルファイド(PPS)やステンレス鋼(SUS)等)により形成されている。また、固定基板47は、ステンレス鋼(SUS)等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板47のマニホールド95に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部48となっているため、マニホールド95の一方面は可撓性を有する封止膜46のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部49となっている。   Such a compliance substrate 45 includes a sealing film 46 and a fixed substrate 47 in this embodiment. The sealing film 46 is formed of a flexible thin film (for example, polyphenylene sulfide (PPS), stainless steel (SUS), etc.). The fixed substrate 47 is made of a hard material such as a metal such as stainless steel (SUS). Since the region of the fixed substrate 47 facing the manifold 95 is an opening 48 that is completely removed in the thickness direction, one surface of the manifold 95 is sealed only by the flexible sealing film 46. The compliance portion 49 is a flexible portion.

また、固定板130は、コンプライアンス基板45の連通板15とは反対面側に接着される。すなわち、固定板130のベース部131に設けられた露出開口部133は、ノズルプレート20の面積よりも広い開口面積を有し、露出開口部133内でノズルプレート20の液体噴射面20aを露出する。もちろん、固定板130は、これに限定されず、例えば、固定板130の露出開口部133をノズルプレート20の外形よりも小さな開口面積とし、固定板130をノズルプレート20の液体噴射面20aに当接又は接着するようにしてもよい。また、固定板130の露出開口部133をノズルプレート20の外形よりも小さな開口面積とした場合であっても、固定板130と液体噴射面20aとが接しないように設けるようにしてもよい。すなわち、固定板130が液体噴射面20a側に設けられているとは、液体噴射面20aに接していないものも、また、液体噴射面20aに接するものも含むものである。   The fixing plate 130 is bonded to the surface of the compliance substrate 45 opposite to the communication plate 15. That is, the exposed opening 133 provided in the base portion 131 of the fixed plate 130 has an opening area larger than the area of the nozzle plate 20, and exposes the liquid ejection surface 20 a of the nozzle plate 20 in the exposed opening 133. . Of course, the fixing plate 130 is not limited to this. For example, the exposed opening 133 of the fixing plate 130 has an opening area smaller than the outer shape of the nozzle plate 20, and the fixing plate 130 contacts the liquid ejection surface 20a of the nozzle plate 20. You may make it contact | connect or adhere | attach. Even if the exposed opening 133 of the fixed plate 130 has a smaller opening area than the outer shape of the nozzle plate 20, the fixed plate 130 and the liquid ejection surface 20a may be provided so as not to contact each other. That is, the fact that the fixed plate 130 is provided on the liquid ejecting surface 20a includes not only the one that is not in contact with the liquid ejecting surface 20a but also the one that is in contact with the liquid ejecting surface 20a.

なお、ケース40には、マニホールド95に連通して各マニホールド95にインクを供給するための導入路44が設けられている。また、ケース40には、保護基板30の貫通孔32に連通してCOF基板98が挿通される接続口43が設けられている。   The case 40 is provided with an introduction path 44 that communicates with the manifold 95 and supplies ink to each manifold 95. The case 40 is provided with a connection port 43 that communicates with the through hole 32 of the protective substrate 30 and through which the COF substrate 98 is inserted.

このような構成のヘッド本体110では、インクを噴射する際に、貯留手段から導入路44を介してインクを取り込み、マニホールド95からノズル開口21に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路97からの信号に従い、圧力発生室12に対応する各圧電アクチュエーター300に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター300と共に振動板をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室12内の圧力が高まり所定のノズル開口21からインク滴が噴射される。   In the head main body 110 having such a configuration, when ink is ejected, the ink is taken in from the storage unit via the introduction path 44 and the inside of the flow path is filled with the ink from the manifold 95 to the nozzle opening 21. Thereafter, in accordance with a signal from the drive circuit 97, a voltage is applied to each piezoelectric actuator 300 corresponding to the pressure generation chamber 12 to bend and deform the diaphragm together with the piezoelectric actuator 300. As a result, the pressure in the pressure generating chamber 12 is increased and ink droplets are ejected from the predetermined nozzle openings 21.

ここで、図5及び図9を用いて、ヘッド本体110のノズル列を構成するノズル開口21の並設方向が、記録シートSの搬送方向であるX方向に対して傾斜して設けられている点について詳細に説明する。図9は本実施形態に係るヘッド本体のノズル開口の配置を模式的に示した説明図である。   Here, using FIG. 5 and FIG. 9, the parallel arrangement direction of the nozzle openings 21 constituting the nozzle row of the head main body 110 is provided to be inclined with respect to the X direction that is the conveyance direction of the recording sheet S. The point will be described in detail. FIG. 9 is an explanatory view schematically showing the arrangement of the nozzle openings of the head body according to the present embodiment.

複数のヘッド本体110は、液体噴射面20aの面内方向において、記録シートSの搬送方向であるX方向に対してノズル列a、ノズル列bが傾斜するように固定されている。ここでいうノズル列は複数のノズル開口21が所定の方向に並設されたものをいう。本実施形態では、液体噴射面20aには、所定の方向としてXa方向に複数のノズル開口21が並設された2列のノズル列a及びノズル列bが液体噴射面20aに設けられている。Xa方向は、前記X方向に対して、0度より大きく90度未満の角度で交差した方向となっている。ここで、X方向とXa方向とは、0度より大きく45度未満の角度で交差することが好ましい。これによると、45度より大きく90度未満の角度で交差する場合と比較すると、Y方向におけるノズル開口21同士の間隔D1をより小さくでき、Y方向に高解像度の記録ヘッド100を実現することができる。もちろん、X方向とXa方向とを、45度より大きく90度未満の角度で交差するようにしてもよい。   The plurality of head main bodies 110 are fixed so that the nozzle row a and the nozzle row b are inclined with respect to the X direction that is the conveyance direction of the recording sheet S in the in-plane direction of the liquid ejection surface 20a. The nozzle row here means a plurality of nozzle openings 21 arranged in parallel in a predetermined direction. In the present embodiment, the liquid ejecting surface 20a is provided with two nozzle rows a and nozzle rows b in which a plurality of nozzle openings 21 are arranged in parallel in the Xa direction as the predetermined direction. The Xa direction is a direction intersecting the X direction at an angle greater than 0 degree and less than 90 degrees. Here, it is preferable that the X direction and the Xa direction intersect at an angle greater than 0 degree and less than 45 degrees. According to this, as compared with the case of intersecting at an angle greater than 45 degrees and less than 90 degrees, the interval D1 between the nozzle openings 21 in the Y direction can be made smaller, and a high-resolution recording head 100 can be realized in the Y direction. it can. Of course, the X direction and the Xa direction may intersect at an angle greater than 45 degrees and less than 90 degrees.

なお、X方向とXa方向とが0度より大きく45度未満の角度で交差するとは、液体噴射面20aの面内においてX方向と45度で交差する直線よりも、ノズル列がX方向に向けてより傾斜している状態をいう。また、ここでいう間隔D1は、ノズル列a及びノズル列bのノズル開口21を、Y方向の仮想線に対して、X方向に投影した場合のノズル開口21同士の間隔である。また、ノズル列a及びノズル列bのノズル開口21をX方向の仮想線に対して、Y方向に投影した場合のノズル開口21同士の間隔をD2とする。   Note that the fact that the X direction and the Xa direction intersect at an angle greater than 0 degree and less than 45 degrees means that the nozzle row is directed in the X direction rather than a straight line intersecting the X direction at 45 degrees within the plane of the liquid ejection surface 20a. It means a state that is more inclined. The interval D1 here is an interval between the nozzle openings 21 when the nozzle openings 21 of the nozzle row a and the nozzle row b are projected in the X direction with respect to the virtual line in the Y direction. Further, the interval between the nozzle openings 21 when the nozzle openings 21 of the nozzle array a and the nozzle array b are projected in the Y direction with respect to the virtual line in the X direction is defined as D2.

また、図9に示すように、本実施形態では、1つのノズル列で2種類、2つのノズル列で4種類の液体を噴射できるようになっている。すなわち、4色のインクを使用すると仮定すると、例えば、ノズル列aでは、ブラックBkとマゼンタM、ノズル列bでは、シアンCとイエローYを噴射できるようになっている。また、ノズル列aとノズル列bとは同じ数のノズル開口21を有し、ノズル列aのノズル開口21のY方向の位置と、ノズル列bのノズル開口21のY方向の位置とは、X方向で重なっている。   As shown in FIG. 9, in this embodiment, two types of liquid can be ejected by one nozzle row and four types of liquid by two nozzle rows. That is, assuming that four colors of ink are used, for example, the nozzle row a can eject black Bk and magenta M, and the nozzle row b can eject cyan C and yellow Y. Further, the nozzle row a and the nozzle row b have the same number of nozzle openings 21, and the position of the nozzle openings 21 of the nozzle row a in the Y direction and the position of the nozzle openings 21 of the nozzle row b in the Y direction are: Overlapping in the X direction.

ヘッド本体110a〜110cは、同様なノズル列a、bを有しており、ヘッド本体110a〜110cがY方向に近接して設けられることにより、Y方向に隣接するヘッド本体110の各ノズル開口21が、互いにX方向で重なるように並設されている。よって、例えばヘッド本体110aのマゼンタMのノズル列aとイエローYのノズル列bとが、ヘッド本体110bのブラックBkのノズル列aとシアンCのノズル列bとにX方向で重なることで、X方向の一列に4色が並ぶようになり、カラーイメージを印刷することができる。また、Y方向に隣接するヘッド本体110bとヘッド本体110cについても、同様に、各ノズル開口21が、互いにX方向で重なるように並設されている。   The head main bodies 110a to 110c have similar nozzle rows a and b, and the head main bodies 110a to 110c are provided close to the Y direction, whereby each nozzle opening 21 of the head main body 110 adjacent to the Y direction is provided. Are arranged side by side so as to overlap each other in the X direction. Therefore, for example, the magenta M nozzle row a and the yellow Y nozzle row b of the head main body 110a overlap the black Bk nozzle row a and the cyan C nozzle row b of the head main body 110b in the X direction. Four colors are arranged in a line in the direction, and a color image can be printed. Similarly, in the head main body 110b and the head main body 110c adjacent to each other in the Y direction, the nozzle openings 21 are arranged side by side so as to overlap each other in the X direction.

さらに、隣接するヘッド本体110が有する同じ色のノズル列のうち少なくとも一部のノズル開口21が互いにX方向で重なるように配置されていることで、ヘッド本体110間のつなぎ目の画質を向上することができる。すなわち、例えば、ヘッド本体110aのマゼンタMのノズル列aの1つのノズル開口21とヘッド本体110bのマゼンタMのノズル列aの1つのノズル開口21とが、互いにX方向で重なるように配置されており、この互いに重なる2つのノズル開口21からの噴射を制御することにより、隣接するヘッド本体110間のつなぎ目においてバンディングや筋といった画質の劣化を防ぐことができる。また、図9に示す例では、1つのノズル開口21のみがX方向に重なっているが、2つ以上のノズル開口21がX方向に重なっていてもよい。   Furthermore, by disposing at least some of the nozzle openings 21 in the same color nozzle row of the adjacent head main bodies 110 so as to overlap each other in the X direction, the image quality of the joint between the head main bodies 110 can be improved. Can do. That is, for example, one nozzle opening 21 of the magenta nozzle row a of the head main body 110a and one nozzle opening 21 of the magenta M nozzle row a of the head main body 110b are arranged so as to overlap each other in the X direction. In addition, by controlling the ejection from the two nozzle openings 21 that overlap each other, it is possible to prevent image quality degradation such as banding and streaking at the joint between the adjacent head bodies 110. In the example shown in FIG. 9, only one nozzle opening 21 overlaps in the X direction, but two or more nozzle openings 21 may overlap in the X direction.

このような色の配置は、勿論これに限定されるものではない。例えば、特に図示しないが、1つのノズル列で、ブラックBk、マゼンタM、シアンC及びイエローYの4色を噴射できるように配置してもよい。   Of course, the arrangement of such colors is not limited to this. For example, although not particularly illustrated, the nozzles may be arranged so that four colors of black Bk, magenta M, cyan C, and yellow Y can be ejected by one nozzle row.

上述したように、ヘッド本体110を複数有する記録ヘッド100をヘッド固定基板102に4個固定してヘッドユニット101を構成しているが、図5の直線Lに示すように、隣接する記録ヘッド100同士でノズル列の一部がX方向で重なるように配置されている。すなわち、1つの記録ヘッド100において隣接するヘッド本体110の関係と同様に、Y方向に隣接する記録ヘッド100間において隣接するヘッド本体110がY方向に近接して設けられることにより、隣接する記録ヘッド100間において、カラーイメージを印刷できるとともに、隣接する記録ヘッド100間のつなぎ目の画質を向上することができる。もちろん、隣接する記録ヘッド100間においてX方向に重なるノズル開口21の数は、1つの記録ヘッド100におけるヘッド本体110間においてX方向に重なるノズル開口21の数と同じである必要はない。   As described above, four recording heads 100 having a plurality of head main bodies 110 are fixed to the head fixing substrate 102 to constitute the head unit 101. However, as shown by a straight line L in FIG. They are arranged so that part of the nozzle rows overlap in the X direction. That is, similarly to the relationship between adjacent head main bodies 110 in one recording head 100, adjacent head main bodies 110 are provided adjacent to each other in the Y direction between the adjacent recording heads 100 in the Y direction. A color image can be printed between 100 and the image quality of the joint between adjacent recording heads 100 can be improved. Of course, the number of nozzle openings 21 that overlap in the X direction between adjacent recording heads 100 need not be the same as the number of nozzle openings 21 that overlap in the X direction between the head bodies 110 in one recording head 100.

このように、ヘッド本体110間のノズル列と、記録ヘッド100間のノズル列とがX方向で一部重なることにより、つなぎ目の画質を向上することができる。   Thus, the nozzle row between the head main bodies 110 and the nozzle row between the recording heads 100 partially overlap in the X direction, so that the image quality of the joint can be improved.

また、各ノズル列のXa方向において隣接するノズル開口21間において、X方向の間隔D1とY方向の間隔D2とは整数比となるように、ノズルピッチやX方向とXa方向の角度を設定するのが好ましい。これによれば、X方向及びY方向にマトリクス状に配置された画素から構成されるイメージデータを印刷する場合に、各ノズルと画素との対応付けが容易となる。なお、もちろん、このような整数比に限定されるものではない。   In addition, the nozzle pitch and the angle between the X direction and the Xa direction are set so that the X direction interval D1 and the Y direction interval D2 have an integer ratio between the nozzle openings 21 adjacent to each other in the Xa direction of each nozzle row. Is preferred. According to this, when printing image data composed of pixels arranged in a matrix in the X direction and the Y direction, it is easy to associate each nozzle with a pixel. Of course, it is not limited to such an integer ratio.

本実施形態の記録ヘッド100は、図5に示すように、液体噴射面20a側から平面視した際に、略平行四辺形となる形状を有する。これは、上述したように、各ヘッド本体110のノズル列a、ノズル列bを構成するノズル開口21の並設方向であるXa方向が、記録シートSの搬送方向であるX方向に対して傾斜して設けられており、このノズル列a、ノズル列bの傾斜する方向であるXa方向と同じように記録ヘッド100の外形、すなわち、固定板130を略平行四辺形となるように形成したからである。もちろん、記録ヘッド100の液体噴射面20a側から平面視した際の形状は、略平行四辺形に限定されず、台形の矩形状や多角形状等であってもよい。   As shown in FIG. 5, the recording head 100 of the present embodiment has a shape that is a substantially parallelogram when viewed from the liquid ejection surface 20 a side. This is because, as described above, the Xa direction, which is the juxtaposed direction of the nozzle openings 21 constituting the nozzle row a and the nozzle row b of each head body 110, is inclined with respect to the X direction, which is the conveyance direction of the recording sheet S. Since the outer shape of the recording head 100, that is, the fixed plate 130 is formed to be a substantially parallelogram in the same manner as the Xa direction, which is the direction in which the nozzle row a and the nozzle row b are inclined. It is. Of course, the shape of the recording head 100 when viewed from the liquid ejection surface 20a side is not limited to a substantially parallelogram, and may be a trapezoidal rectangular shape, a polygonal shape, or the like.

なお、以上説明した実施形態では、1つのヘッド本体に2列のノズル列を設けた例を説明したが、3列以上のノズル列を有するものであっても同様に上述した効果を奏することはいうまでもない。なお、本実施形態のように、1つのヘッド本体110に設けられたノズル列が2列であれば、図7のように、それぞれのノズル列に対応した2つのマニホールド95の間に、それぞれのノズル列のノズル開口21を配置することができるので、複数のノズル列のノズル開口21がそれぞれのノズル列に対応したマニホールドに対して同じ側に配置される場合と比較すると、2列のノズル列のYa方向の間隔を狭めることができる。ゆえに、2列のノズル列に対して1つのノズルプレート20に要する面積を小さくすることができる。また、2列のノズル列のそれぞれの圧電アクチュエーター300とCOF基板98との接続も容易になる。   In the embodiment described above, an example in which two nozzle rows are provided in one head body has been described. However, even if the nozzle body has three or more nozzle rows, the above-described effects can be obtained. Needless to say. If the number of nozzle rows provided in one head body 110 is two as in the present embodiment, each of the two manifolds 95 corresponding to each nozzle row as shown in FIG. Since the nozzle openings 21 of the nozzle rows can be arranged, compared to the case where the nozzle openings 21 of the plurality of nozzle rows are arranged on the same side with respect to the manifold corresponding to each nozzle row, two nozzle rows Can be narrowed in the Ya direction. Therefore, the area required for one nozzle plate 20 with respect to two nozzle rows can be reduced. In addition, the connection between the piezoelectric actuators 300 of the two nozzle rows and the COF substrate 98 is facilitated.

また、本実施形態では、各ノズル列a、bは、同じ数のノズル開口21を有している。これによれば、各ノズル列間のX方向におけるオーバーラップ数を同じにでき、効率的な液体噴射ができる。しかしながら、各ノズル列のノズル開口の数は、必ずしも同じである必要はない。さらに、ノズル列a、bが噴射する液体の種類は全て同じであってもよく、例えば全て同じ色のインクを使用してもよい。   In the present embodiment, each nozzle row a, b has the same number of nozzle openings 21. According to this, the number of overlaps in the X direction between the nozzle rows can be made the same, and efficient liquid ejection can be performed. However, the number of nozzle openings in each nozzle row is not necessarily the same. Further, the types of liquids ejected by the nozzle rows a and b may all be the same, for example, all the same color inks may be used.

また、本実施形態では、ヘッド本体110は、2列のノズル列に対して1つのノズルプレート20を有することが好ましい。これによれば、各ノズル列の配置がさらに高精度に実現できる。もちろん、ノズル列毎に別のノズルプレート20を設けてもよい。なお、ノズルプレート20は、ステンレス鋼(SUS)板やシリコン基板などから構成される。   In the present embodiment, the head main body 110 preferably has one nozzle plate 20 for two nozzle rows. According to this, the arrangement of the nozzle rows can be realized with higher accuracy. Of course, you may provide another nozzle plate 20 for every nozzle row. The nozzle plate 20 is made of a stainless steel (SUS) plate or a silicon substrate.

図10〜図16を用いて、本実施形態に係る流路部材200について詳細に説明する。図10は流路部材200としての第1流路部材の平面図であり、図11は流路部材200としての第2流路部材の平面図であり、図12は流路部材200としての第3流路部材の平面図であり、図13は第3流路部材の底面図であり、図14は図10〜図13のB−B’線断面図であり、図15は図10〜図13のC−C’線断面図であり、図16は図10〜図15のD−D’線断面図である。なお、図10〜図12はZ2側の平面図であり、図13はZ1側の底面図である。   The flow path member 200 according to the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 10 is a plan view of the first flow path member as the flow path member 200, FIG. 11 is a plan view of the second flow path member as the flow path member 200, and FIG. FIG. 13 is a bottom view of the third flow path member, FIG. 14 is a cross-sectional view taken along the line BB ′ of FIGS. 10 to 13, and FIG. FIG. 16 is a cross-sectional view taken along line CC ′ of FIG. 13, and FIG. 16 is a cross-sectional view taken along line DD ′ of FIGS. 10 to 12 are plan views on the Z2 side, and FIG. 13 is a bottom view on the Z1 side.

流路部材200は、インクが流通する流路240が設けられた部材である。本実施形態では、Z方向に積層された3つの第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230と、複数の流路240とを備えている。Z方向において、保持部材120側(図2参照)からヘッド本体110側に向かって、第1流路部材210、第2流路部材220、第3流路部材230の順で積層されている。特に図示しないが、接着剤により第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230は接着固定されているが、このような態様に限定されず、例えばネジなどの固定手段により第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230を一体化してもよい。また、特に材料の限定はないが、例えばSUSなどの金属や樹脂により形成することができる。   The channel member 200 is a member provided with a channel 240 through which ink flows. In the present embodiment, the first flow path member 210, the second flow path member 220, the third flow path member 230, and a plurality of flow paths 240 stacked in the Z direction are provided. In the Z direction, the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 are stacked in this order from the holding member 120 side (see FIG. 2) toward the head main body 110 side. Although not particularly illustrated, the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 are bonded and fixed by an adhesive, but the present invention is not limited to this mode, and for example, fixing such as a screw The first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 may be integrated by means. Further, although there is no particular limitation on the material, for example, it can be formed of a metal such as SUS or a resin.

流路240は、上流の部材(本実施形態では保持部材120)から供給されるインクが導入される導入流路280と、該インクをヘッドに供給する出口となる接続部290とを両端とする流路である。本実施形態では、4つの流路240が形成されており、各流路240は、一つの導入流路280にインクが供給され、途中で分岐して複数の接続部290からインクがヘッド本体110に供給するように構成されている。   The flow path 240 has both ends of an introduction flow path 280 into which ink supplied from an upstream member (the holding member 120 in the present embodiment) is introduced and a connection portion 290 serving as an outlet for supplying the ink to the head. It is a flow path. In the present embodiment, four flow paths 240 are formed, and each flow path 240 is supplied with ink to one introduction flow path 280 and branches in the middle, and the ink is supplied from the plurality of connection portions 290 to the head main body 110. It is comprised so that it may supply.

4つの流路240のうち一部は第1流路241、残りは第2流路242とされている。本実施形態では、第1流路241及び第2流路242は2つずつ形成されている。2つの第1流路241のそれぞれを第1流路241a、第1流路241bとする。以降、第1流路241と記載した際には、第1流路241a及び第1流路241bの双方を指しているものとする。第2流路242についても同様である。   Among the four channels 240, a part is a first channel 241 and the rest is a second channel 242. In the present embodiment, two first flow paths 241 and two second flow paths 242 are formed. Each of the two first channels 241 is referred to as a first channel 241a and a first channel 241b. Henceforth, when it describes as the 1st flow path 241, both the 1st flow path 241a and the 1st flow path 241b shall be pointed out. The same applies to the second flow path 242.

第1流路241は、第1導入流路281を備えている。第1導入流路281は、第1流路241のうち、後述する第1交差流路251と、流路部材200よりも上流の流路(本実施形態では保持部材120が有する流路)とを接続する流路である。本実施形態では、2つの第1流路241a及び第1流路241bは、それぞれ第1導入流路281a及び第1導入流路281bを有している。   The first flow path 241 includes a first introduction flow path 281. The first introduction flow path 281 includes a first cross flow path 251 described later in the first flow path 241, a flow path upstream of the flow path member 200 (a flow path included in the holding member 120 in the present embodiment). It is a flow path which connects. In the present embodiment, the two first flow paths 241a and 241b have a first introduction flow path 281a and a first introduction flow path 281b, respectively.

具体的には、第1導入流路281aは、第1流路部材210のZ2側の表面に設けられた突部212の頂面に開口してZ方向に貫通した貫通孔211と、第2流路部材220のZ方向に貫通した貫通孔221とが連通したものである。第1導入流路281bも同様である。以降、第1導入流路281と記載した際には、第1導入流路281a及び第1導入流路281bを指すものとする。   Specifically, the first introduction flow path 281a has a through hole 211 that opens in the top surface of the protrusion 212 provided on the Z2 side surface of the first flow path member 210 and penetrates in the Z direction. A through hole 221 that penetrates the flow path member 220 in the Z direction communicates therewith. The same applies to the first introduction flow path 281b. Hereinafter, when the first introduction flow path 281 is described, the first introduction flow path 281a and the first introduction flow path 281b are indicated.

第2流路242は、第2導入流路282を備えている。第2導入流路282は、第2流路242のうち、後述する第2交差流路252と、流路部材200よりも上流の流路(本実施形態では保持部材120が有する流路)とを接続する流路である。本実施形態では、2つの第2流路242a及び第2流路242bは、それぞれ第2導入流路282a及び第2導入流路282bを有している。   The second flow path 242 includes a second introduction flow path 282. The second introduction flow path 282 includes a second cross flow path 252 to be described later, and a flow path upstream of the flow path member 200 (the flow path of the holding member 120 in the present embodiment). It is a flow path which connects. In the present embodiment, the two second flow paths 242a and the second flow path 242b have a second introduction flow path 282a and a second introduction flow path 282b, respectively.

具体的には、第2導入流路282aは、第1流路部材210のZ2側の表面に設けられた突部213の頂面に開口してZ方向に貫通した貫通孔である。第2導入流路282bも同様である。以降、第2導入流路282と記載した際には、第2導入流路282a及び第2導入流路282bを指すものとする。   Specifically, the second introduction flow path 282a is a through hole that opens in the top surface of the protrusion 213 provided on the Z2 side surface of the first flow path member 210 and penetrates in the Z direction. The same applies to the second introduction channel 282b. Hereinafter, when the second introduction channel 282 is described, the second introduction channel 282a and the second introduction channel 282b are indicated.

さらに、導入流路280と記載した際には、上述した4つの導入流路の全てを指しているものとする。   Furthermore, when the introduction channel 280 is described, all of the above-described four introduction channels are indicated.

本実施形態では、図10に示す平面視においては、第1流路部材210の左上隅の近傍に第1導入流路281aが配置され、第1流路部材210の右下隅の近傍に第1導入流路281bが配置されている。また、図10に示す平面視においては、第1流路部材210の右上隅の近傍に第2導入流路282aが配置され、第1流路部材210の左下隅の近傍に第2導入流路282bが配置されている。   In the present embodiment, in the plan view shown in FIG. 10, the first introduction flow path 281 a is disposed in the vicinity of the upper left corner of the first flow path member 210, and the first flow path is in the vicinity of the lower right corner of the first flow path member 210. An introduction channel 281b is disposed. 10, the second introduction channel 282a is disposed in the vicinity of the upper right corner of the first channel member 210, and the second introduction channel in the vicinity of the lower left corner of the first channel member 210. 282b is arranged.

第1流路241は、第2流路部材220と第3流路部材230とで形成された第1交差流路251を含む。第1交差流路251は、第1流路241のうち、液体噴射面20aに平行な方向にインクを流通させる一部分である。本実施形態では、2つの第1流路241が形成されているため、第1交差流路251も2つ形成されている。2つの第1交差流路251のそれぞれを第1交差流路251a、第1交差流路251bとする。   The first flow path 241 includes a first intersecting flow path 251 formed by the second flow path member 220 and the third flow path member 230. The first intersecting channel 251 is a part of the first channel 241 that circulates ink in a direction parallel to the liquid ejection surface 20a. In the present embodiment, since the two first flow paths 241 are formed, two first cross flow paths 251 are also formed. Each of the two first intersecting channels 251 is referred to as a first intersecting channel 251a and a first intersecting channel 251b.

第1交差流路251aは、第2流路部材220のZ1側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部226aと、第3流路部材230のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部231aとを合わせて封止することにより形成されている。第1交差流路251bは、第2流路部材220のZ1側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部226bと、第3流路部材230のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部231bとを合わせて封止することにより形成されている。   The first intersecting channel 251a includes an intersecting groove 226a formed on the Z1 side surface of the second channel member 220 along the Y direction, and the Z2 side surface of the third channel member 230 along the Y direction. It is formed by sealing together with the formed intersecting groove portion 231a. The first intersecting channel 251b includes an intersecting groove 226b formed on the Z1 side surface of the second channel member 220 along the Y direction and a Z2 side surface of the third channel member 230 along the Y direction. It is formed by sealing together with the formed intersecting groove portion 231b.

いずれの第1交差流路251a、251bについても、第2流路部材220及び第3流路部材230に交差溝部226a、226b、231a、231bをそれぞれ形成することで、第1交差流路251a、251bそれぞれの断面積を広げ、第1交差流路251a、251bにおける圧力損失を低減させている。なお、第1交差流路251a、251bは、第2流路部材220のみに形成された交差溝部226a、226b、により形成されていてもよいし、又は、第3流路部材230のみに形成された交差溝部231a、231bにより形成されていてもよい。例えば、Z2側にある第2流路部材220のみに交差溝部226a、226bを形成することで、後述するように、Xa方向の幅がZ1側からZ2側に向けて狭くなるCOF基板98と、これらの第1交差流路251a、251bとの干渉を防ぎつつ、第1流路241を配置する自由度を向上させることができる。   For any of the first intersecting channels 251a, 251b, the first intersecting channels 251a, 231b, 231b are formed by forming the intersecting grooves 226a, 226b, 231a, 231b in the second channel member 220 and the third channel member 230, respectively. The cross-sectional area of each 251b is expanded, and the pressure loss in the first intersecting flow paths 251a and 251b is reduced. The first intersecting flow paths 251a and 251b may be formed by intersecting groove portions 226a and 226b formed only in the second flow path member 220, or formed only in the third flow path member 230. The crossing groove portions 231a and 231b may be formed. For example, by forming the cross groove portions 226a and 226b only in the second flow path member 220 on the Z2 side, as will be described later, the COF substrate 98 whose width in the Xa direction becomes narrower from the Z1 side to the Z2 side, The degree of freedom of arranging the first flow path 241 can be improved while preventing interference with the first cross flow paths 251a and 251b.

第1交差流路251aと第1交差流路251bとは、COF基板98が挿通する開口部201(第3開口部235)のX方向における両外側に配置されている。   The first cross flow channel 251a and the first cross flow channel 251b are disposed on both outer sides in the X direction of the opening 201 (third opening 235) through which the COF substrate 98 is inserted.

第2流路242は、第1流路部材210と第2流路部材220とで形成された第2交差流路252を含む。第2交差流路252は、第2流路242のうち、液体噴射面20aに平行な方向にインクを流通させる一部分である。本実施形態では、2つの第2流路242が形成されているため、第2交差流路252も2つ形成されている。2つの第2交差流路252のそれぞれを第2交差流路252a、第2交差流路252bとする。   The second flow path 242 includes a second intersecting flow path 252 formed by the first flow path member 210 and the second flow path member 220. The second intersecting flow path 252 is a part of the second flow path 242 that circulates ink in a direction parallel to the liquid ejecting surface 20a. In the present embodiment, since the two second flow paths 242 are formed, two second cross flow paths 252 are also formed. Let each of the two 2nd cross flow paths 252 be the 2nd cross flow paths 252a and the 2nd cross flow paths 252b.

第2交差流路252aは、第1流路部材210のZ1側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部213aと、第2流路部材220のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部222aとを合わせて封止することにより形成されている。第2交差流路252bは、第1流路部材210のZ1側の表面に形成された交差溝部213bと、第2流路部材220のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部222bとを合わせて封止することにより形成されている。   The second intersecting flow path 252a includes an intersecting groove portion 213a formed along the Y direction on the Z1 side surface of the first flow path member 210 and a Z2 side surface of the second flow path member 220 along the Y direction. It is formed by sealing together with the formed intersecting groove portion 222a. The second intersecting channel 252b includes an intersecting groove 213b formed on the surface on the Z1 side of the first channel member 210 and an intersecting groove formed on the surface on the Z2 side of the second channel member 220 along the Y direction. It is formed by sealing together with 222b.

いずれの第2交差流路252a、252bについても、第1流路部材210及び第2流路部材220に交差溝部213a、213b、222a、222bをそれぞれ形成することで、第2交差流路252a、252bそれぞれの断面積を広げ、第2交差流路252a、252bにおける圧力損失を低減させている。なお、第2交差流路252a、252bは、第1流路部材210のみに形成された交差溝部213a、213bのみにより形成されていてもよいし、又は、第2流路部材220のみに形成された交差溝部222a、222bにより形成されていてもよい。例えば、Z2側にある第1流路部材210のみに交差溝部222a、222bを形成することで、上述した第1交差流路251a、251bと同様に、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第2流路242を配置する自由度を向上させることができる。   For any of the second cross flow channels 252a, 252b, by forming cross groove portions 213a, 213b, 222a, 222b in the first flow channel member 210 and the second flow channel member 220, respectively, the second cross flow channels 252a, The cross-sectional area of each 252b is expanded to reduce the pressure loss in the second intersecting flow paths 252a and 252b. The second intersecting flow paths 252a and 252b may be formed only by the intersecting groove portions 213a and 213b formed only in the first flow path member 210, or may be formed only by the second flow path member 220. Alternatively, the crossing grooves 222a and 222b may be formed. For example, by forming the cross groove portions 222a and 222b only in the first flow path member 210 on the Z2 side, the first cross flow paths 251a and 251b described above can prevent interference with the COF substrate 98 while preventing the interference with the COF substrate 98. The degree of freedom of arranging the two flow paths 242 can be improved.

第2交差流路252aと第2交差流路252bとは、COF基板98が挿通する開口部201(第2開口部225)のX方向における両外側に配置されている。   The second cross flow channel 252a and the second cross flow channel 252b are disposed on both outer sides in the X direction of the opening 201 (second opening 225) through which the COF substrate 98 is inserted.

以降、第1交差流路251と記載した際には、第1交差流路251a及び第1交差流路251bの双方を指しているものとする。第2交差流路252と記載した際には、第2交差流路252a及び第2交差流路252bの双方を指しているものとする。また、交差流路250と記載した際には、上述した4つの交差流路の全てを指しているものとする。   Henceforth, when describing it as the 1st cross flow channel 251, it shall point out both the 1st cross flow channel 251a and the 1st cross flow channel 251b. When it is described as the second cross flow channel 252, it indicates both the second cross flow channel 252 a and the second cross flow channel 252 b. Moreover, when it describes as the cross flow path 250, it shall point out all the four cross flow paths mentioned above.

また、本実施形態では、第1流路241は一つの導入流路280から複数の接続部290に分岐するように構成されている。すなわち、第1交差流路251から、複数の第1分岐流路261が第1交差流路251と同じ平面(第2流路部材220と第3流路部材230とが接合された境界面)において分岐している。   In the present embodiment, the first flow path 241 is configured to branch from one introduction flow path 280 to a plurality of connection portions 290. That is, from the first intersecting channel 251, a plurality of first branch channels 261 are the same plane as the first intersecting channel 251 (boundary surface where the second channel member 220 and the third channel member 230 are joined). Branches in

本実施形態では、液体噴射面20aに平行な平面内(第2流路部材220と第3流路部材230との境界面)において、第1交差流路251から6つの第1分岐流路261が分岐している。第1交差流路251aから分岐した6つの第1分岐流路261のそれぞれを第1分岐流路261a1〜第1分岐流路261a6とする。以降、第1分岐流路261aと記載した際には、第1分岐流路261aに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。   In the present embodiment, six first branch channels 261 from the first intersecting channel 251 in a plane parallel to the liquid ejection surface 20a (a boundary surface between the second channel member 220 and the third channel member 230). Is branched. Each of the six first branch channels 261 branched from the first cross channel 251a is referred to as a first branch channel 261a1 to a first branch channel 261a6. Henceforth, when describing with the 1st branch flow path 261a, all the 6 branch flow paths connected to the 1st branch flow path 261a shall be pointed out.

同様に、第1交差流路251bから分岐した6つの第1分岐流路261のそれぞれを第1分岐流路261b1〜第1分岐流路261b6とする。以降、第1分岐流路261bと記載した際には、第1分岐流路261bに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。さらに、第1分岐流路261と記載した際には、第1分岐流路261a及び第1分岐流路261bに接続された12個の分岐流路の全てを指しているものとする。   Similarly, each of the six first branch channels 261 branched from the first intersecting channel 251b is referred to as a first branch channel 261b1 to a first branch channel 261b6. Henceforth, when describing with the 1st branch flow path 261b, all the 6 branch flow paths connected to the 1st branch flow path 261b shall be pointed out. Furthermore, when it describes as the 1st branch flow path 261, it shall point out all the 12 branch flow paths connected to the 1st branch flow path 261a and the 1st branch flow path 261b.

なお、図ではY方向に並んだ6つの第1分岐流路261a1〜第1分岐流路261a6のうち、第1分岐流路261a2〜第1分岐流路261a5の符号の図示は省略しているが、Y1側からY2側に順番に並んでいるものとする。第1分岐流路261b1〜第1分岐流路261b6についても同様である。   In the figure, of the six first branch channels 261a1 to 261a6 arranged in the Y direction, the reference numerals of the first branch channels 261a2 to 261a5 are omitted. , And are arranged in order from the Y1 side to the Y2 side. The same applies to the first branch channel 261b1 to the first branch channel 261b6.

具体的には、第3流路部材230のZ2側の表面には、交差溝部231aに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部232aが設けられている。第2流路部材220のZ1側の表面には、交差溝部226aに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部227aが設けられている。第1分岐流路261aは、分岐溝部227aに分岐溝部232aが互いに相対向して封止されることにより形成されている。   Specifically, on the surface on the Z2 side of the third flow path member 230, a plurality of branch groove portions 232a that communicate with the intersecting groove portion 231a and extend toward the opening portion 201 side are provided. On the surface of the second flow path member 220 on the Z1 side, a plurality of branch groove portions 227a that communicate with the intersecting groove portions 226a and extend toward the opening 201 are provided. The first branch channel 261a is formed by sealing the branch groove part 232a opposite to each other in the branch groove part 227a.

第3流路部材230のZ2側の表面には、交差溝部231bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部232bが設けられている。第2流路部材220のZ1側の表面には、交差溝部226bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部227bが設けられている。第1分岐流路261bは、分岐溝部227bに分岐溝部232bが互いに相対向して封止されることにより形成されている。   On the surface on the Z2 side of the third flow path member 230, a plurality of branch groove portions 232b that communicate with the intersecting groove portion 231b and extend toward the opening 201 side are provided. On the surface of the second flow path member 220 on the Z1 side, a plurality of branch groove portions 227b that communicate with the intersecting groove portions 226b and extend toward the opening 201 are provided. The first branch channel 261b is formed by sealing the branch groove part 232b opposite to each other in the branch groove part 227b.

いずれの第1分岐流路261a、261bについても、第2流路部材220及び第3流路部材230に分岐溝部227a、227b、232a、232bをそれぞれ形成することで、第1分岐流路261a、261bそれぞれの断面積を広げ、第1分岐流路261a、261bにおける圧力損失を低減させている。なお、第1分岐流路261a、261bは、第2流路部材220のみに形成された分岐溝部227a、227bにより形成されていてもよいし、又は、第3流路部材230のみに形成された交差溝部232a、232bにより形成されていてもよい。例えば、後述するように、Ya方向に傾斜することでZ1側からZ2側に向けてYa方向の幅が広がる領域Qにおいて、Z2側にある第2流路部材220のみに分岐溝部227a、227bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第1流路241を配置する自由度を向上させることができる。また、Z2側からZ1側に向けてYa方向の幅が広がる領域Pにおいて、Z1側にある第3流路部材230のみに分岐溝部232a、232bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第1流路241を配置する自由度を向上させることができる。   For any of the first branch flow paths 261a, 261b, the first branch flow paths 261a, 232b are formed by forming the branch groove portions 227a, 227b, 232a, 232b in the second flow path member 220 and the third flow path member 230, respectively. The cross-sectional area of each 261b is expanded to reduce the pressure loss in the first branch flow paths 261a and 261b. The first branch channels 261a and 261b may be formed by the branch groove portions 227a and 227b formed only in the second channel member 220, or may be formed only in the third channel member 230. It may be formed by the intersecting groove portions 232a and 232b. For example, as will be described later, in the region Q where the width in the Ya direction widens from the Z1 side toward the Z2 side by inclining in the Ya direction, the branch groove portions 227a and 227b are formed only in the second flow path member 220 on the Z2 side. By forming it, the freedom degree which arrange | positions the 1st flow path 241 can be improved, preventing interference with the COF board | substrate 98. FIG. In addition, in the region P where the width in the Ya direction increases from the Z2 side toward the Z1 side, the branch groove portions 232a and 232b are formed only in the third flow path member 230 on the Z1 side, thereby preventing interference with the COF substrate 98. While preventing, the freedom degree which arrange | positions the 1st flow path 241 can be improved.

また、第2流路242は一つの導入流路280から複数の接続部290に分岐するように構成されている。詳細は後述するが、第2交差流路252から、複数の第2分岐流路262が第2交差流路252と同じ平面(第1流路部材210と第2流路部材220とが接合された境界面)において分岐している。   The second flow path 242 is configured to branch from one introduction flow path 280 to a plurality of connection portions 290. Although details will be described later, a plurality of second branch channels 262 are connected to the same plane as the second cross channel 252 from the second cross channel 252 (the first channel member 210 and the second channel member 220 are joined together). Branching at the boundary).

本実施形態では、液体噴射面20aに平行な平面内(第1流路部材210と第2流路部材220との境界面)において、第2交差流路252から6つの第2分岐流路262が分岐している。第2交差流路252aから分岐した6つの第2分岐流路262のそれぞれを第2分岐流路262a1〜第2分岐流路262a6とする。   In the present embodiment, six second branch channels 262 from the second intersecting channel 252 in a plane parallel to the liquid ejection surface 20a (a boundary surface between the first channel member 210 and the second channel member 220). Is branched. Each of the six second branch channels 262 branched from the second cross channel 252a is referred to as a second branch channel 262a1 to a second branch channel 262a6.

同様に、第2交差流路252bから分岐した6つの第2分岐流路262のそれぞれを第2分岐流路262b1〜第2分岐流路262b6とする。   Similarly, each of the six second branch channels 262 branched from the second cross channel 252b is referred to as a second branch channel 262b1 to a second branch channel 262b6.

以降、第2分岐流路262aと記載した際には、第2分岐流路262aに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。第2分岐流路262bと記載した際には、第2分岐流路262bに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。また、第2分岐流路262と記載した際には、第2分岐流路262a及び第2分岐流路262bに接続された12個の分岐流路の全てを指しているものとする。さらに、分岐流路260と記載した際には、上述した24個の分岐流路の全てを指しているものとする。   Henceforth, when describing with the 2nd branch flow path 262a, all the 6 branch flow paths connected to the 2nd branch flow path 262a shall be pointed out. When described as the second branch flow path 262b, all the six branch flow paths connected to the second branch flow path 262b are pointed out. Moreover, when describing as the 2nd branch flow path 262, all the 12 branch flow paths connected to the 2nd branch flow path 262a and the 2nd branch flow path 262b shall be pointed out. Furthermore, when it describes as the branch flow path 260, it shall point out all the 24 branch flow paths mentioned above.

なお、図ではY方向に並んだ6つの第2分岐流路262a1〜第2分岐流路262a6のうち、第2分岐流路262a2〜第2分岐流路262a5の符号の図示は省略しているが、Y1側からY2側に順番に並んでいるものとする。第2分岐流路262b1〜第2分岐流路262b6についても同様である。   In the drawing, among the six second branch channels 262a1 to 262a6 arranged in the Y direction, the reference numerals of the second branch channels 262a2 to 262a5 are omitted. , And are arranged in order from the Y1 side to the Y2 side. The same applies to the second branch flow path 262b1 to the second branch flow path 262b6.

具体的には、第2流路部材220のZ2側の表面には、交差溝部222aに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部223aが設けられている。第1流路部材210のZ1側の表面には、交差溝部213aに連通して開口部201側とは反対側に向けて延設された複数の分岐溝部214aが設けられている。第2分岐流路262aは、分岐溝部223aに分岐溝部214aが互いに相対向して封止されることにより形成されている。   Specifically, on the surface on the Z2 side of the second flow path member 220, a plurality of branch groove portions 223a that communicate with the intersecting groove portion 222a and extend toward the opening portion 201 side are provided. On the surface of the first flow path member 210 on the Z1 side, there are provided a plurality of branch groove portions 214a that communicate with the intersecting groove portions 213a and extend toward the side opposite to the opening 201 side. The second branch channel 262a is formed by sealing the branch groove portion 214a with the branch groove portion 223a so as to face each other.

第2流路部材220のZ2側の表面には、交差溝部222bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部223bが設けられている。第1流路部材210のZ1側の表面には、交差溝部213bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部214bが設けられている。第2分岐流路262bは、分岐溝部223bに分岐溝部214bが互いに相対向して封止されることにより形成されている。   On the surface on the Z2 side of the second flow path member 220, a plurality of branch groove portions 223b that communicate with the intersecting groove portions 222b and extend toward the opening 201 are provided. On the surface on the Z1 side of the first flow path member 210, a plurality of branch groove portions 214b that communicate with the intersecting groove portion 213b and extend toward the opening 201 side are provided. The second branch flow path 262b is formed by sealing the branch groove portion 214b with the branch groove portion 223b so as to face each other.

いずれの第2分岐流路262a、262bについても、第1流路部材210及び第2流路部材220に分岐溝部214a、214b、223a、223bをそれぞれ形成することで、第2分岐流路262a、262bそれぞれの断面積を広げ、第2分岐流路262a、262bにおける圧力損失を低減させている。なお、第2分岐流路262a、262bは、第1流路部材210のみに形成された分岐溝部214a、214bにより形成されていてもよいし、又は、第2流路部材220のみに形成された分岐溝部223a、223bにより形成されていてもよい。例えば、後述するように、Ya方向に傾斜することでZ1側からZ2側に向けてYa方向の幅が広がる領域Qにおいて、Z2側にある第1流路部材210のみに分岐溝部214a、214bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第2流路242を配置する自由度を向上させることができる。また、Z2側からZ1側に向けてYa方向の幅が広がる領域Pにおいて、Z1側にある第2流路部材220のみに分岐溝部223a、223bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第2流路242を配置する自由度を向上させることができる。   For any of the second branch flow paths 262a, 262b, the second branch flow paths 262a, 223b are formed by forming the branch groove portions 214a, 214b, 223a, 223b in the first flow path member 210 and the second flow path member 220, respectively. The cross-sectional area of each 262b is expanded, and the pressure loss in the second branch flow paths 262a and 262b is reduced. The second branch flow paths 262a and 262b may be formed by the branch groove portions 214a and 214b formed only in the first flow path member 210, or may be formed only in the second flow path member 220. It may be formed by the branch groove portions 223a and 223b. For example, as will be described later, in the region Q in which the width in the Ya direction widens from the Z1 side toward the Z2 side by inclining in the Ya direction, the branch groove portions 214a and 214b are formed only in the first flow path member 210 on the Z2 side. By forming, the freedom degree which arrange | positions the 2nd flow path 242 can be improved, preventing interference with the COF board | substrate 98. FIG. Further, in the region P in which the width in the Ya direction increases from the Z2 side toward the Z1 side, the branch groove portions 223a and 223b are formed only in the second flow path member 220 on the Z1 side, thereby preventing interference with the COF substrate 98. While preventing, the freedom degree which arrange | positions the 2nd flow path 242 can be improved.

第1分岐流路261には、第1交差流路251とは反対側の端部に第1垂直流路271が接続されている。具体的には、第3流路部材230をZ方向に貫通した貫通孔として第1垂直流路271が形成されている。   A first vertical flow path 271 is connected to the first branch flow path 261 at the end opposite to the first cross flow path 251. Specifically, the first vertical flow path 271 is formed as a through-hole penetrating the third flow path member 230 in the Z direction.

本実施形態では、第1分岐流路261a1〜261a6、第1分岐流路261b1〜261b6のそれぞれに対して1個ずつ、すなわち全体として12個の第1垂直流路271a1〜271a6、第1垂直流路271b1〜271b6が接続されている。   In this embodiment, one for each of the first branch channels 261a1 to 261a6 and the first branch channels 261b1 to 261b6, that is, twelve first vertical channels 271a1 to 271a6 as a whole, the first vertical channels The paths 271b1 to 271b6 are connected.

同様に、第2分岐流路262には、第2交差流路252とは反対側の端部に第2垂直流路272が接続されている。具体的には、第2流路部材220には、Z方向に貫通した貫通孔224が設けられ、第3流路部材230にはZ方向に貫通した貫通孔233が設けられている。これらの貫通孔224及び貫通孔233が連通して第2垂直流路272が形成されている。   Similarly, a second vertical flow path 272 is connected to the end of the second branch flow path 262 opposite to the second cross flow path 252. Specifically, the second flow path member 220 is provided with a through hole 224 penetrating in the Z direction, and the third flow path member 230 is provided with a through hole 233 penetrating in the Z direction. The through hole 224 and the through hole 233 communicate with each other to form a second vertical flow path 272.

本実施形態では、第2分岐流路262a1〜262a6、第2分岐流路262b1〜262b6のそれぞれに対して1個ずつ、すなわち全体として12個の第2垂直流路272a1〜272a6、第2垂直流路272b1〜272b6が接続されている。   In this embodiment, one for each of the second branch flow paths 262a1 to 262a6 and the second branch flow paths 262b1 to 262b6, that is, twelve second vertical flow paths 272a1 to 272a6 as a whole, the second vertical flow The paths 272b1 to 272b6 are connected.

以降、第1垂直流路271aと記載した際には、第1垂直流路271a1〜271a6を指し、第1垂直流路271bと記載した際には、第1垂直流路271b1〜271b6を指し、第1垂直流路271と記載した際には、第1垂直流路271a及び第1垂直流路271bの全てを指すものとする。   Hereinafter, when described as the first vertical flow path 271a, it refers to the first vertical flow path 271a1 to 271a6, and when described as the first vertical flow path 271b, it refers to the first vertical flow path 271b1 to 271b6, When the first vertical flow path 271 is described, all of the first vertical flow path 271a and the first vertical flow path 271b are indicated.

同様に、第2垂直流路272aと記載した際には、第2垂直流路272a1〜272a6を指し、第2垂直流路272bと記載した際には、第2垂直流路272b1〜272b6を指し、第2垂直流路272と記載した際には、第2垂直流路272a及び第2垂直流路272bの全てを指すものとする。   Similarly, when described as the second vertical flow path 272a, it refers to the second vertical flow path 272a1 to 272a6, and when described as the second vertical flow path 272b, it refers to the second vertical flow path 272b1 to 272b6. When the second vertical flow path 272 is described, all of the second vertical flow path 272a and the second vertical flow path 272b are indicated.

さらに、垂直流路270と記載した際には、上述した24個の垂直流路の全てを指しているものとする。   Further, when the vertical channel 270 is described, it indicates all the 24 vertical channels described above.

なお、図ではY方向に並んだ6つの第1垂直流路271a1〜第1垂直流路271a6のうち、第1垂直流路271a2〜第1垂直流路271a5の符号の図示は省略しているが、Y1側からY2側に順番に並んでいるものとする。第1垂直流路271b1〜第1垂直流路271b6、第2垂直流路272a1〜第2垂直流路272b6、第2垂直流路272b1〜第2垂直流路272b6についても同様である。   In the figure, out of the six first vertical flow paths 271a1 to 271a6 arranged in the Y direction, the reference numerals of the first vertical flow paths 271a2 to 271a5 are omitted. , And are arranged in order from the Y1 side to the Y2 side. The same applies to the first vertical channel 271b1 to the first vertical channel 271b6, the second vertical channel 272a1 to the second vertical channel 272b6, and the second vertical channel 272b1 to the second vertical channel 272b6.

上述した垂直流路270は、第3流路部材230のZ1側の開口である接続部290を有している。詳細は後述するが、接続部290は、ヘッド本体110に設けられた導入路44に連通している。   The vertical flow path 270 described above has a connection portion 290 that is an opening on the Z1 side of the third flow path member 230. As will be described in detail later, the connection portion 290 communicates with the introduction path 44 provided in the head main body 110.

本実施形態では、第1垂直流路271a1〜271a6、第1垂直流路271b1〜271b6は、第3流路部材230のZ1側の開口である第1接続部291a1〜291a6、第1接続部291b1〜291b6をそれぞれ有している。同様に、第2垂直流路272a1〜272a6、第2垂直流路272b1〜272b6は、第3流路部材230のZ1側の開口である第2接続部292a1〜292a6、第2接続部292b1〜292b6をそれぞれ有している。   In the present embodiment, the first vertical flow paths 271a1 to 271a6 and the first vertical flow paths 271b1 to 271b6 are the first connection portions 291a1 to 291a6 and the first connection portions 291b1 that are openings on the Z1 side of the third flow path member 230. -291b6, respectively. Similarly, the second vertical flow paths 272a1 to 272a6 and the second vertical flow paths 272b1 to 272b6 are second connection portions 292a1 to 292a6 and second connection portions 292b1 to 292b6 that are openings on the Z1 side of the third flow path member 230, respectively. Respectively.

第1接続部291a1、第1接続部291b1、第2接続部292a1、第2接続部292b1は、6つのヘッド本体110のうちの一つに接続される。その他、第1接続部291a2〜291a6、第1接続部291b2〜291b6、第2接続部292a2〜292a6、第2接続部292b2〜292b6についても同様である。すなわち、一つのヘッド本体110に対して、第1流路241a、第1流路241b、第2流路242a及び第2流路242bが接続されている。   The first connection portion 291a1, the first connection portion 291b1, the second connection portion 292a1, and the second connection portion 292b1 are connected to one of the six head bodies 110. The same applies to the first connection portions 291a2 to 291a6, the first connection portions 291b2 to 291b6, the second connection portions 292a2 to 292a6, and the second connection portions 292b2 to 292b6. That is, the first flow path 241a, the first flow path 241b, the second flow path 242a, and the second flow path 242b are connected to one head body 110.

以降、第1接続部291aと記載した際には、第1接続部291a1〜291a6を指し、第1接続部291bと記載した際には、第1接続部291b1〜291b6を指し、第1接続部291と記載した際には、第1接続部291a及び第1接続部291bの全てを指すものとする。   Hereinafter, when described as the first connection portion 291a, it refers to the first connection portion 291a1 to 291a6, and when described as the first connection portion 291b, it refers to the first connection portion 291b1 to 291b6, Reference numeral 291 denotes all of the first connection portion 291a and the first connection portion 291b.

同様に、第2接続部292aと記載した際には、第2接続部292a1〜292a6を指し、第2接続部292bと記載した際には、第2接続部292b1〜292b6を指し、第2接続部292と記載した際には、第2接続部292a及び第2接続部292bの全てを指すものとする。   Similarly, when described as the second connection portion 292a, it refers to the second connection portions 292a1 to 292a6, and when described as the second connection portion 292b, it refers to the second connection portions 292b1 to 292b6, When it is described as the portion 292, it refers to all of the second connection portion 292a and the second connection portion 292b.

さらに、接続部290と記載した際には、上述した24個の接続部の全てを指しているものとする。   Furthermore, when the connection portion 290 is described, it indicates all the 24 connection portions described above.

上述したように、本実施形態に係る流路部材200は、4つの流路240、すなわち第1流路241a及び第1流路241bと、第2流路242a及び第2流路242bとを備えている。そして、各流路240は、インクの入口となる導入流路280から交差流路250までが一本の流路として構成され、交差流路250から分岐流路260に分岐し、垂直流路270及び接続部290を経由して複数のヘッド本体110に接続されている。   As described above, the flow path member 200 according to the present embodiment includes the four flow paths 240, that is, the first flow path 241a and the first flow path 241b, and the second flow path 242a and the second flow path 242b. ing. Each flow path 240 is configured as a single flow path from the introduction flow path 280 that serves as an ink inlet to the cross flow path 250, branches from the cross flow path 250 to the branch flow path 260, and the vertical flow path 270. In addition, the plurality of head main bodies 110 are connected to each other via the connection unit 290.

本実施形態では、ブラックBk、マゼンタM、シアンC、イエローYの4色のインクを用いる。図示しない液体貯留手段から、シアンCは第1流路241aに、イエローYは第1流路241bに、ブラックBkは第2流路242aに、マゼンタMは第2流路242bに供給される。そして、各色のインクは第1流路241a、第1流路241b、第2流路242a及び第2流路242bを流通し、各ヘッド本体110に供給される。   In the present embodiment, four color inks of black Bk, magenta M, cyan C, and yellow Y are used. From a liquid storage means (not shown), cyan C is supplied to the first flow path 241a, yellow Y is supplied to the first flow path 241b, black Bk is supplied to the second flow path 242a, and magenta M is supplied to the second flow path 242b. Each color ink flows through the first flow path 241a, the first flow path 241b, the second flow path 242a, and the second flow path 242b, and is supplied to each head body 110.

また、流路部材200には、ヘッド本体110に設けられたCOF基板98が挿通する開口部201が設けられている。本実施形態では、第1流路部材210には、Z方向に対して傾斜し、かつ貫通した第1開口部215が形成されている。第2流路部材220には、Z方向に対して傾斜し、かつ貫通した第2開口部225が形成されている。第3流路部材230には、Z方向に対して傾斜し、かつ貫通した第3開口部235が形成されている。   The flow path member 200 is provided with an opening 201 through which the COF substrate 98 provided in the head main body 110 is inserted. In the present embodiment, the first flow path member 210 is formed with a first opening 215 that is inclined with respect to the Z direction and penetrates. The second flow path member 220 is formed with a second opening 225 that is inclined with respect to the Z direction and penetrates therethrough. The third flow path member 230 is formed with a third opening 235 that is inclined with respect to the Z direction and passes therethrough.

これらの第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235は互いに連通しており、一つの開口部201を構成している。開口部201は、Xa方向に長尺な開口形状を有しており、6個の開口部201がY方向に並設されている。   The first opening 215, the second opening 225, and the third opening 235 communicate with each other to form one opening 201. The opening 201 has a long opening shape in the Xa direction, and six openings 201 are arranged in parallel in the Y direction.

ここで、図16に示すように、本実施形態に係るCOF基板98は、Z方向においてヘッド本体110に近い一端部である下側端部98cと、Z方向においてヘッド本体110から遠い他端部である上側端部98dとを有している。上側端部98dのXa方向の幅は、下側端部98cのXa方向の幅よりも狭くなるように形成されている。すなわち、フレキシブル配線基板98の面方向の幅について、他端部は一端部よりも狭くなるように形成されている。   Here, as shown in FIG. 16, the COF substrate 98 according to the present embodiment includes a lower end 98 c that is one end close to the head main body 110 in the Z direction and another end far from the head main body 110 in the Z direction. And an upper end 98d. The width in the Xa direction of the upper end portion 98d is formed to be narrower than the width in the Xa direction of the lower end portion 98c. That is, with respect to the width in the surface direction of the flexible wiring board 98, the other end is formed to be narrower than the one end.

本実施形態では、COF基板98の第1開口部215及び第3開口部235に挿通された部分はXa方向の幅は一定の矩形状であり、第2開口部225に挿通された部分はZ1側からZ2側に向けてXa方向の幅が狭くなるように形成された台形状に形成されている。   In this embodiment, the portion of the COF substrate 98 inserted through the first opening 215 and the third opening 235 has a rectangular shape with a constant width in the Xa direction, and the portion inserted through the second opening 225 is Z1. A trapezoidal shape is formed so that the width in the Xa direction becomes narrower from the side toward the Z2 side.

一方、流路部材200の開口部201は、液体噴射面20aに垂直なZ方向においてヘッド本体110に近い第1開口236(すなわち、第3開口部235のZ1側の開口)及びヘッド本体110から遠い第2開口216(すなわち、第1開口部215のZ2側の開口)を有している。   On the other hand, the opening 201 of the flow path member 200 extends from the first opening 236 (that is, the opening on the Z1 side of the third opening 235) close to the head main body 110 in the Z direction perpendicular to the liquid ejection surface 20a and the head main body 110. A distant second opening 216 (that is, an opening on the Z2 side of the first opening 215) is provided.

第2開口216は、第1開口236よりもXa方向に狭く形成されている。すなわち、開口部201としては、Z方向のZ1からZ2に向けてXa方向の幅が狭くなっている。具体的には、開口部201は、COF基板98が収容される形状とされており、開口部201のXa方向の幅がCOF基板98のXa方向の幅よりも若干広く形成されている。   The second opening 216 is formed narrower in the Xa direction than the first opening 236. That is, as the opening 201, the width in the Xa direction becomes narrower from Z1 to Z2 in the Z direction. Specifically, the opening 201 is configured to accommodate the COF substrate 98, and the width of the opening 201 in the Xa direction is slightly wider than the width of the COF substrate 98 in the Xa direction.

図17を用いて、流路部材200の開口部201に挿通したCOF基板98の傾斜について説明する。図17(a)は、図10〜図13のE−E’線断面図であり、本実施形態に係る記録ヘッドのうち一つのヘッド本体をXa方向のXa2側からXa1側をみた概略側面図である。また、図17(b)は比較例に係るヘッド本体をXa方向のXa2側からXa1側をみた概略側面図である。   The inclination of the COF substrate 98 inserted through the opening 201 of the flow path member 200 will be described with reference to FIG. FIG. 17A is a cross-sectional view taken along the line EE ′ of FIGS. 10 to 13, and is a schematic side view of one of the recording heads according to the present embodiment as viewed from the Xa2 side in the Xa direction to the Xa1 side. It is. FIG. 17B is a schematic side view of the head body according to the comparative example as viewed from the Xa2 side in the Xa direction to the Xa1 side.

図17(a)に示すように、流路部材200には、第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235が連通して一つの開口部201が設けられている。ここで、流路部材200の開口部201のうちヘッド本体110側の第1開口236と、ヘッド本体110とは反対側の第2開口216とを通るCOF基板98の面を平面B(ただし、図17(a)には直線として示してある。)とし、第1開口236において平面Bと交わり、Xa方向に平行であり、かつ液体噴射面20aに垂直な平面を平面A(ただし、図17には直線として示してある。)とすると、COF基板98の面である平面Bは、液体噴射面20aに垂直な平面Aに対して交差している。   As shown in FIG. 17A, the flow path member 200 is provided with one opening 201 by communicating the first opening 215, the second opening 225, and the third opening 235. Here, the surface of the COF substrate 98 passing through the first opening 236 on the head main body 110 side of the opening 201 of the flow path member 200 and the second opening 216 on the opposite side of the head main body 110 is a plane B (however, 17 (a), the plane A intersects with the plane B at the first opening 236, is parallel to the Xa direction, and is perpendicular to the liquid ejection surface 20a. The plane B, which is the surface of the COF substrate 98, intersects the plane A perpendicular to the liquid ejection surface 20a.

具体的には、第2開口216と第1開口236とは、Ya方向において異なる位置に設けられている。本実施形態では、6個の開口部201の各第2開口216は、対応する各第1開口236よりもYa方向のYa2側に所定距離だけずれて配置されている。すなわち、開口部201は、平面Bの第2開口216側がYa方向のYa1側からYa2側に向けて平面Aから遠ざかるように傾斜している。   Specifically, the second opening 216 and the first opening 236 are provided at different positions in the Ya direction. In the present embodiment, the second openings 216 of the six openings 201 are arranged at a predetermined distance from the corresponding first openings 236 on the Ya2 side in the Ya direction. That is, the opening 201 is inclined so that the second opening 216 side of the plane B is away from the plane A from the Ya1 side in the Ya direction toward the Ya2 side.

COF基板98は、ヘッド本体110側に設けられた接続口43(図8参照)から、流路部材200に向けて延設されており、ヘッド本体110と中継基板140(図2参照)との間にある流路部材200において、COF基板98の一方面の側に傾斜している。ここで、COF基板98の両面のうち、この一方面を第1面98a、他方面を第2面98bとする。この場合、COF基板98の第1面98aは、平面Aと向かい合わない側、すなわちYa方向のYa2側の面となる。COF基板98の第2面98bは、平面Aと向かい合う側、すなわちYa方向のYa1側の面となる。   The COF substrate 98 extends from the connection port 43 (see FIG. 8) provided on the head main body 110 side toward the flow path member 200. The COF substrate 98 is connected to the head main body 110 and the relay substrate 140 (see FIG. 2). The channel member 200 between them is inclined toward one side of the COF substrate 98. Here, of both surfaces of the COF substrate 98, this one surface is a first surface 98a and the other surface is a second surface 98b. In this case, the first surface 98a of the COF substrate 98 is a surface that does not face the plane A, that is, a surface on the Ya2 side in the Ya direction. The second surface 98b of the COF substrate 98 is a surface facing the plane A, that is, a surface on the Ya1 side in the Ya direction.

また、「COF基板98がヘッド本体110と中継基板140との間にある流路部材200において第1面98a側に傾斜する」とは、COF基板98のうち、ヘッド本体110から流路部材200の開口部201の出口にあたる第2開口216に至るまでの部分が第1面98a側に傾斜していることをいう。したがって、第2開口216から突出して中継基板140の表面に接続される部分についてはどの様な方向に傾斜していても構わない。   In addition, “the COF substrate 98 is inclined toward the first surface 98a in the flow path member 200 between the head main body 110 and the relay substrate 140” means that among the COF substrates 98, the head main body 110 to the flow path member 200. That is, the portion up to the second opening 216 corresponding to the outlet of the opening 201 is inclined toward the first surface 98a. Therefore, the portion protruding from the second opening 216 and connected to the surface of the relay substrate 140 may be inclined in any direction.

開口部201のYa方向の幅は、傾斜したCOF基板98のうち開口部201に最も近い部分からの間隔が、Ya1側及びYa2側の間でほぼ一定になるようになっている。具体的には、第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230毎に、傾斜したCOF基板98からほぼ一定の間隔を取るように、第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235のそれぞれのYa方向の幅が決められている。流路部材200の加工を容易にするために、第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235は、Z方向に沿って貫通した開口となっており、Xa方向から見た開口部201の形状は、図17のように階段形状になっている。もちろんCOF基板98の傾斜に沿って、開口部201も傾斜させてもよい。開口部201に挿通されたCOF基板98は、このような開口部201に挿通されることで、平面Aに対して第1面98a側(すなわち、Ya2側)に傾斜している。   The width of the opening 201 in the Ya direction is such that the interval from the portion of the inclined COF substrate 98 closest to the opening 201 is substantially constant between the Ya1 side and the Ya2 side. Specifically, for each of the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230, the first opening 215, The widths of the two openings 225 and the third opening 235 in the Ya direction are determined. In order to facilitate the processing of the flow path member 200, the first opening 215, the second opening 225, and the third opening 235 are openings penetrating along the Z direction, as viewed from the Xa direction. The shape of the opening 201 is stepped as shown in FIG. Of course, the opening 201 may be inclined along the inclination of the COF substrate 98. The COF substrate 98 inserted into the opening 201 is inclined to the first surface 98a side (that is, the Ya2 side) with respect to the plane A by being inserted into the opening 201.

なお、図8に示すように、ヘッド本体110のZ2側の表面には、接続口43の周囲に導入路44が形成されており、COF基板98の接続口43に対して、Ya1側に設けられた導入路44とYa2側に設けられた導入路44とは、接続口43とのYa方向の間隔が互いにほぼ同じになるように配置されている。対して、COF基板98は、COF基板98のYa方向において両側からのリード電極90との電気的な接続を容易に行うため、その接続部分が接続口43のほぼ中央に来るように配置されている。言い換えると、COF基板98はYa方向において接続口43の一方側の側面に寄せて配置されており(図8ではYa1側)、その結果、COF基板98はYa方向においていずれかの導入路44に寄せて配置されている。しかし、流路部材200においては、COF基板98とのYa方向の間隔を、Ya1側及びYa2側のいずれにおいてもほぼ一定とすることで、流路部材200とCOF基板98との接触を防ぐとともに、Ya方向の小型化を図っている。   As shown in FIG. 8, an introduction path 44 is formed around the connection port 43 on the surface of the head body 110 on the Z2 side, and is provided on the Ya1 side with respect to the connection port 43 of the COF substrate 98. The introduction path 44 provided and the introduction path 44 provided on the Ya2 side are arranged such that the distance between the connection port 43 in the Ya direction is substantially the same. On the other hand, the COF substrate 98 is arranged so that the connection portion is located at the approximate center of the connection port 43 in order to easily perform electrical connection with the lead electrode 90 from both sides in the Ya direction of the COF substrate 98. Yes. In other words, the COF substrate 98 is disposed close to the side surface on one side of the connection port 43 in the Ya direction (the Ya1 side in FIG. 8), and as a result, the COF substrate 98 is connected to any introduction path 44 in the Ya direction. Arranged close together. However, in the flow path member 200, the distance in the Ya direction from the COF substrate 98 is substantially constant on both the Ya1 side and the Ya2 side, thereby preventing contact between the flow path member 200 and the COF substrate 98. , Ya size reduction.

流路部材200に設けられた第1流路241は、上述したように傾斜したCOF基板98の第1面98a側の第1分岐流路261を介して、対応するヘッド本体110に接続され、第2流路242は、第2面98b側の第2分岐流路262を介して、対応するヘッド本体110に接続されている。   The first flow path 241 provided in the flow path member 200 is connected to the corresponding head body 110 via the first branch flow path 261 on the first surface 98a side of the inclined COF substrate 98 as described above. The second flow path 242 is connected to the corresponding head body 110 via the second branch flow path 262 on the second surface 98b side.

このことを図17及び図18を用いて詳細に説明する。図18は本実施形態に係る記録ヘッドのうち一つのヘッド本体をZ方向のZ2側からZ1側をみた概略平面図である。   This will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 18 is a schematic plan view of one head body of the recording heads according to this embodiment as viewed from the Z2 side in the Z direction to the Z1 side.

図18に示すように、ヘッド本体110のZ2側の表面には、接続口43の周囲に4つの導入路44が形成されている(図7参照)。具体的には、2つの導入路44a、導入路44bが接続口43よりもYa方向のYa1側に開口し、かつXa方向の位置は接続口43に包含される位置である。導入路44aは導入路44bよりもXa方向においてXa1側に配置されている。また、残り2つの導入路44c、導入路44dは接続口43よりもYa方向のYa2側に開口し、かつXa方向の位置は接続口43に包含される位置である。導入路44cは導入路44dよりもXa方向においてXa1側に配置されている。なお、接続口43は第1開口236とほぼ同形状に形成され、接続口43及び第1開口236は連通している。   As shown in FIG. 18, four introduction paths 44 are formed around the connection port 43 on the surface of the head body 110 on the Z2 side (see FIG. 7). Specifically, the two introduction paths 44 a and 44 b are opened closer to the Ya 1 side in the Ya direction than the connection port 43, and the position in the Xa direction is a position included in the connection port 43. The introduction path 44a is disposed closer to the Xa1 side in the Xa direction than the introduction path 44b. Further, the remaining two introduction paths 44 c and 44 d open to the Ya2 side in the Ya direction with respect to the connection port 43, and the position in the Xa direction is a position included in the connection port 43. The introduction path 44c is disposed closer to the Xa1 side in the Xa direction than the introduction path 44d. The connection port 43 is formed in substantially the same shape as the first opening 236, and the connection port 43 and the first opening 236 communicate with each other.

導入路44aは、第2流路242a、すなわち第2導入流路282a(図14参照)、第2交差流路252a、第2分岐流路262a、第2垂直流路272a及び第2接続部292aに接続されている。   The introduction path 44a includes the second flow path 242a, that is, the second introduction flow path 282a (see FIG. 14), the second cross flow path 252a, the second branch flow path 262a, the second vertical flow path 272a, and the second connection portion 292a. It is connected to the.

導入路44bは、第2流路242b、すなわち第2導入流路282b(図15参照)、第2交差流路252b、第2分岐流路262b、第2垂直流路272b及び第2接続部292bに接続されている。   The introduction path 44b is a second flow path 242b, that is, a second introduction flow path 282b (see FIG. 15), a second cross flow path 252b, a second branch flow path 262b, a second vertical flow path 272b, and a second connection portion 292b. It is connected to the.

導入路44cは、第1流路241a、すなわち第1導入流路281a(図14参照)、第1交差流路251a、第1分岐流路261a、第1垂直流路271a及び第1接続部291aに接続されている。   The introduction path 44c is a first flow path 241a, that is, a first introduction flow path 281a (see FIG. 14), a first cross flow path 251a, a first branch flow path 261a, a first vertical flow path 271a, and a first connection portion 291a. It is connected to the.

導入路44dは、第1流路241b、すなわち第1導入流路281b(図15参照)、第1交差流路251b、第1分岐流路261b、第1垂直流路271b及び第1接続部291bに接続されている。   The introduction path 44d is a first flow path 241b, that is, a first introduction flow path 281b (see FIG. 15), a first cross flow path 251b, a first branch flow path 261b, a first vertical flow path 271b, and a first connection portion 291b. It is connected to the.

これらの導入路44a〜導入路44dと、第1流路241及び第2流路242との関係は6つのヘッド本体110について同様である。   The relationship between the introduction path 44a to the introduction path 44d, the first flow path 241 and the second flow path 242 is the same for the six head bodies 110.

このように、第1流路241は、COF基板98の第1面98a側にてヘッド本体110に接続されている。また、第2流路242は、COF基板98の第2面98b側にてヘッド本体110に接続されている。   Thus, the first flow path 241 is connected to the head main body 110 on the first surface 98a side of the COF substrate 98. The second flow path 242 is connected to the head body 110 on the second surface 98 b side of the COF substrate 98.

ここで、図17(a)に示すように、COF基板98は第1面98a側に傾斜しており、また、開口部201も第1面98a(Y2側)に傾斜させている。このように開口部201が第1面98a側に傾斜すると、流路部材200の流路240を形成可能な領域に疎密を設けることができる。   Here, as shown in FIG. 17A, the COF substrate 98 is inclined toward the first surface 98a, and the opening 201 is also inclined toward the first surface 98a (Y2 side). When the opening 201 is inclined toward the first surface 98a in this way, it is possible to provide density in a region where the flow path 240 of the flow path member 200 can be formed.

「流路部材200の流路240を形成可能な領域に疎密が設けられている」とは、流路部材200のヘッド本体110に対向した領域Tが、COF基板98が傾斜するYa方向において、COF基板98が挿通する開口部201を挟んで、COF基板98の第1面98a側の領域Pと、第2面98b側の領域Qとに分割され、Z方向の同一平面内においては領域QのYa方向の幅が領域PのYa方向の幅よりも広いことをいう。   “Density is provided in the area where the flow path 240 of the flow path member 200 can be formed” means that the area T facing the head body 110 of the flow path member 200 is in the Ya direction where the COF substrate 98 is inclined. The region 201 is divided into a region P on the first surface 98a side and a region Q on the second surface 98b side of the COF substrate 98 across the opening 201 through which the COF substrate 98 is inserted. The width in the Ya direction is greater than the width of the region P in the Ya direction.

本実施形態では、流路部材200を構成する第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230のヘッド本体110に対向した領域Tのうち、Ya方向において第1面98a側が領域Pであり、第2面98b側が領域Qである。図にはこれら領域P、Qを示すハッチを施してある。   In the present embodiment, the first surface in the Ya direction of the region T facing the head body 110 of the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 that configures the flow path member 200. The 98a side is the region P, and the second surface 98b side is the region Q. In the figure, hatching indicating these regions P and Q is given.

本実施形態では、図17(a)に示すように、COF基板98の傾斜により、上述した同一面の一つである第1流路部材210のZ1側の表面においては、領域QはYa方向の幅U1の分だけ広がり、その分、領域PはYa方向の幅が狭くなっている。同様に、上述した同一面の一つである第2流路部材220のZ2側の表面においては、領域QはYa方向の幅U2の分だけ広がり、その分、領域PはYa方向の幅が狭くなっている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 17A, due to the inclination of the COF substrate 98, the region Q is in the Ya direction on the surface on the Z1 side of the first flow path member 210, which is one of the same surfaces described above. The width of the region P is narrowed by the width U1. Similarly, on the surface on the Z2 side of the second flow path member 220, which is one of the same surfaces as described above, the region Q widens by the width U2 in the Ya direction, and the region P has a width in the Ya direction correspondingly. It is narrower.

領域QのYa方向の幅は、Z方向のZ1側からZ2側に向かうほど広くなっている。本実施形態では、第1流路部材210の方が第2流路部材220よりも領域P及び領域Qの疎密の差は大きい。同様に、第2流路部材220の方が第3流路部材230よりも領域P及び領域Qの疎密の差は大きい。すなわち、流路部材200は、ヘッド本体110から中継基板140へ向かうほど、領域P及び領域Qの疎密の差が大きくなっている。   The width of the region Q in the Ya direction becomes wider as it goes from the Z1 side to the Z2 side in the Z direction. In the present embodiment, the first flow path member 210 has a larger density difference between the region P and the region Q than the second flow path member 220. Similarly, the second channel member 220 has a larger density difference between the region P and the region Q than the third channel member 230. That is, in the flow path member 200, the difference in density between the region P and the region Q increases as it goes from the head body 110 to the relay substrate 140.

そして、このように疎な領域Qでは、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられた第2分岐流路262が位置する。「疎な領域Qで第2流路242が液体噴射面20aに沿って設けられた部分を有する」とは、少なくとも第2流路242を構成する流路の一部が、上述した領域Qにおいて、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられてからヘッド本体110の導入路44に接続されていることをいう。   In such a sparse region Q, the second branch flow path 262 provided in a plane parallel to the liquid ejection surface 20a is located. “In the sparse area Q, the second flow path 242 has a portion provided along the liquid ejection surface 20a” means that at least a part of the flow path constituting the second flow path 242 is in the above-described area Q. That is, it is provided in a plane parallel to the liquid ejecting surface 20a and then connected to the introduction path 44 of the head body 110.

本実施形態では、第2流路242aのうち第2分岐流路262aが領域Qに設けられている。また、第2流路242bのうち第2分岐流路262bが領域Qに設けられている。   In the present embodiment, the second branch flow path 262a of the second flow path 242a is provided in the region Q. Further, the second branch channel 262b of the second channel 242b is provided in the region Q.

本実施形態に係る記録ヘッド100では、COF基板98を第1面98a側に傾斜させたことで、流路部材200の開口部201も第1面98a側に移動させて設けることができ、流路部材200の流路240を形成可能な領域に疎密を設けることができる。これにより、第2流路242を構成する第2分岐流路262を、領域Pよりも広い領域Qに配置することができる。すなわち、第2分岐流路262をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体110の配置などに応じた最適な第2流路242を構成することが容易となる。換言すれば、領域Qが広いほど、第2流路242の配置の自由度が高い。ここでいう第2流路242の配置の自由度とは、領域QのYa方向の幅に比例する概念であり、自由度が高いほど、第2流路242を領域Qに形成しやすいことを意味する。なお、本実施形態の第2流路242は、本発明の第2面側において、液体噴射面に沿って設けられた部分を有する流路に相当し、本実施形態の第2分岐流路262は、液体噴射面に沿って設けられた流路に相当する。   In the recording head 100 according to the present embodiment, the COF substrate 98 is inclined toward the first surface 98a, so that the opening 201 of the flow path member 200 can also be moved and provided toward the first surface 98a. Density can be provided in an area where the flow path 240 of the path member 200 can be formed. Thereby, the second branch flow path 262 constituting the second flow path 242 can be arranged in the area Q wider than the area P. That is, since the second branch flow path 262 can be arranged in a wider area Q, it is easy to configure the optimal second flow path 242 according to the arrangement of the head body 110 and the like. In other words, the wider the region Q, the higher the degree of freedom of arrangement of the second flow path 242. The degree of freedom of arrangement of the second channel 242 here is a concept proportional to the width of the region Q in the Ya direction, and the higher the degree of freedom, the easier the second channel 242 is formed in the region Q. means. Note that the second flow path 242 of the present embodiment corresponds to a flow path having a portion provided along the liquid ejection surface on the second surface side of the present invention, and the second branch flow path 262 of the present embodiment. Corresponds to a flow path provided along the liquid ejection surface.

また、本実施形態に係る記録ヘッド100によれば、COF基板98を傾斜させることで、Ya方向に幅が拡幅した疎な領域Qを形成することができる。このようにYa方向の幅が広がったことで、第2流路242の一部を構成する第2分岐流路262を、Ya方向にCOF基板98に干渉することなく形成することができる。   Further, according to the recording head 100 according to the present embodiment, the sparse region Q whose width is widened in the Ya direction can be formed by inclining the COF substrate 98. Since the width in the Ya direction is increased in this way, the second branch flow path 262 constituting a part of the second flow path 242 can be formed without interfering with the COF substrate 98 in the Ya direction.

これにより、第2流路部材220のYa方向において、後述の比較例と比較すると、第2分岐流路262と平面Aとの間隔を狭くすることができるので、第2流路部材220、すなわち流路部材200をYa方向に小型化することができ、これにより記録ヘッド100のYa方向の幅を小型化することができる。   Thereby, in the Ya direction of the second flow path member 220, the distance between the second branch flow path 262 and the plane A can be reduced as compared with the comparative example described later. The flow path member 200 can be reduced in size in the Ya direction, whereby the width of the recording head 100 in the Ya direction can be reduced.

さらに、上述したように、本実施形態ではCOF基板98が接続口43のYa1側の側面に寄せて配置されており、その結果、接続口43のYa1側にある導入路44にCOF基板98が寄せて配置されている。そして、垂直流路270を介して導入路44と接続される分岐流路260が、COF基板98とYa方向に一定の間隔を取るために、COF基板98のYa1側の分岐流路260の配置の自由度が狭まっている。しかしながら、COF基板98をその反対側であるYa2側に傾斜させることで、このような場合であっても、COF基板98のYa1側の分岐流路260の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図ることができる。   Furthermore, as described above, in this embodiment, the COF substrate 98 is disposed close to the side surface of the connection port 43 on the Ya1 side, and as a result, the COF substrate 98 is disposed in the introduction path 44 on the Ya1 side of the connection port 43. Arranged close together. The branch flow path 260 connected to the introduction path 44 via the vertical flow path 270 is spaced from the COF substrate 98 in the Ya direction, so that the branch flow path 260 on the Ya1 side of the COF substrate 98 is arranged. The degree of freedom is narrowing. However, by inclining the COF substrate 98 to the opposite Ya2 side, even in such a case, the degree of freedom of arrangement of the branch flow path 260 on the Ya1 side of the COF substrate 98 is increased, and the flow path member The size of 200 in the Ya direction can be reduced.

ちなみに、COF基板98が傾斜していない記録ヘッドでは、上述したような小型化を図ることができない。このことを図17(a)及び図17(b)を用いて説明する。   Incidentally, the recording head in which the COF substrate 98 is not inclined cannot be downsized as described above. This will be described with reference to FIGS. 17 (a) and 17 (b).

図17(a)に示した第2開口部225と第2分岐流路262aとのYa方向の間隔をVとする。一方、図17(b)に、比較例に係る記録ヘッドの概略側面図を示す。比較例に係る記録ヘッド100’は、COF基板98の傾斜と、COF基板98に沿った開口部201の配置と、ヘッド本体110に対向した領域Tの大きさ以外は記録ヘッド100と同じ構成であるとする。   The interval in the Ya direction between the second opening 225 and the second branch flow path 262a shown in FIG. On the other hand, FIG. 17B shows a schematic side view of a recording head according to a comparative example. The recording head 100 ′ according to the comparative example has the same configuration as the recording head 100 except for the inclination of the COF substrate 98, the arrangement of the opening 201 along the COF substrate 98, and the size of the region T facing the head body 110. Suppose there is.

記録ヘッド100’において、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられた第2分岐流路262a’を、Ya方向においてCOF基板98に干渉することなく形成するために、記録ヘッド100と同じ間隔Vを保って形成すると、記録ヘッド100において拡幅した幅Uの分だけ、Ya方向のYa1側に第2分岐流路262a’を設けなければならない。したがって、比較例に係る記録ヘッド100’においては、流路部材200のYa方向において、第2分岐流路262a’と平面Aとの間隔が広くなってしまい、流路部材200のYa方向の小型化を図ることができない。換言すれば、図17(a)に示すように、COF基板98を第1面98a側に傾斜したために、間隔Vを保ちながらも、幅U1又は幅U2の分だけ第2垂直流路272aをCOF基板98側に近づけることができる。すなわち、流路部材200のYa方向の小型化を図ることができる。   In the recording head 100 ′, in order to form the second branch flow path 262a ′ provided in the plane parallel to the liquid ejection surface 20a without interfering with the COF substrate 98 in the Ya direction, the same interval as the recording head 100 is provided. If formed while maintaining V, the second branch channel 262a ′ must be provided on the Ya1 side in the Ya direction by the width U widened in the recording head 100. Therefore, in the recording head 100 ′ according to the comparative example, the distance between the second branch flow path 262 a ′ and the plane A becomes wide in the Ya direction of the flow path member 200, and the flow path member 200 is small in the Ya direction. Cannot be achieved. In other words, as shown in FIG. 17 (a), since the COF substrate 98 is inclined toward the first surface 98a, the second vertical flow path 272a is provided by the width U1 or the width U2 while maintaining the interval V. It can be brought closer to the COF substrate 98 side. That is, the channel member 200 can be downsized in the Ya direction.

また、本実施形態に係る記録ヘッド100では、第1流路241及び第2流路242の第1交差流路251a及び第2交差流路252aを、また、第1交差流路251b及び第2交差流路252bを、それぞれ液体噴射面20aに直交するZ方向における位置を変えてZ方向に重ねて配置した。これにより、複数の交差流路を全て同一平面内に形成する場合に比較して、記録ヘッド100の液体噴射面20aの面方向における形状を小型化することができる。   Further, in the recording head 100 according to the present embodiment, the first cross flow channel 251a and the second cross flow channel 252a of the first flow channel 241 and the second flow channel 242, and the first cross flow channel 251b and the second cross flow channel 252a. The intersecting flow paths 252b are arranged so as to overlap each other in the Z direction while changing the position in the Z direction orthogonal to the liquid ejection surface 20a. Thereby, the shape in the surface direction of the liquid ejection surface 20a of the recording head 100 can be reduced as compared with the case where all of the plurality of intersecting flow paths are formed in the same plane.

さらに、本実施形態に係る記録ヘッド100では、第2分岐流路262とヘッド本体110とを、液体噴射面20aに垂直な方向に沿う第2垂直流路272により接続している。よって、液体噴射面20aに垂直なZ方向から見た平面視において、第2垂直流路272の範囲は、液体噴射面20aに垂直な方向に傾斜した流路により第2分岐流路262とヘッド本体110とを接続する場合において、この傾斜した流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、本実施形態のように、第2交差流路252とヘッド本体110とを第2垂直流路272で接続することで、流路部材200の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。同様に、第1分岐流路261とヘッド本体110とを、液体噴射面20aに垂直な方向に沿う第1垂直流路271により接続したので、これによっても、流路部材200の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。   Further, in the recording head 100 according to the present embodiment, the second branch flow path 262 and the head body 110 are connected by the second vertical flow path 272 along the direction perpendicular to the liquid ejecting surface 20a. Therefore, in a plan view viewed from the Z direction perpendicular to the liquid ejection surface 20a, the range of the second vertical flow path 272 is the second branch flow path 262 and the head by the flow path inclined in the direction perpendicular to the liquid ejection surface 20a. When connecting with the main body 110, it is smaller than the range which this inclined flow path occupies. That is, the size of the channel member 200 in the plan view can be reduced by connecting the second intersecting channel 252 and the head body 110 with the second vertical channel 272 as in the present embodiment. It becomes possible. Similarly, since the first branch flow path 261 and the head body 110 are connected by the first vertical flow path 271 along the direction perpendicular to the liquid ejection surface 20a, this also allows the flow path member 200 in the plan view. It is possible to reduce the size.

なお、垂直流路270のYa方向の幅を、分岐流路260のYa方向の幅よりも小さくしてもよい。その場合には、そうでない場合よりも、開口部201と間隔Vを保ちつつ垂直流路270や分岐流路260の配置の自由度をさらに高めることができる。加えて、垂直流路270の断面積を、分岐流路260の断面積よりも小さくしてもよい。その場合には、垂直流路270における流速を速めることができ、垂直流路270における気泡を効率的に排出することが可能となる。   Note that the width of the vertical channel 270 in the Ya direction may be smaller than the width of the branch channel 260 in the Ya direction. In that case, the degree of freedom of arrangement of the vertical flow path 270 and the branch flow path 260 can be further increased while maintaining the distance V from the opening 201 compared to the case where this is not the case. In addition, the cross-sectional area of the vertical channel 270 may be smaller than the cross-sectional area of the branch channel 260. In that case, the flow velocity in the vertical flow path 270 can be increased, and the bubbles in the vertical flow path 270 can be efficiently discharged.

ここで、仮に、領域Pに第2流路242を形成するとする。この場合、上述したように、流路部材200は、ヘッド本体110からZ方向に遠いほど、領域QのYa方向における幅は広くなり、領域PのYa方向における幅が狭くなる。特に、COF基板98が接続口43のYa2側の側面に対して寄せて配置されていると仮定すると、COF基板98とYa方向に一定の間隔を取るために、領域PのYa方向における幅が一層狭くなる。このため、Ya方向において接続口43の側面にCOF基板98が近接する側(例えばYa2側)と、Ya方向においてCOF基板98が傾斜する側(同様に、例えばYa2側)とが一致する場合に、領域Pに第2流路242を配置する自由度は低く、第2流路242の配置が非常に困難となってしまう。しかしながら、本実施形態では、第2分岐流路262を領域Qに形成することで、第2分岐流路262の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。また、Ya方向において接続口43の側面にCOF基板98が近接する側(例えばYa1側)と、Ya方向においてCOF基板98が傾斜する側(同様に、例えばYa2側)とを一致させないことで、Ya方向において接続口43の側面にCOF基板98が近接する側の分岐流路260の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。   Here, it is assumed that the second flow path 242 is formed in the region P. In this case, as described above, as the flow path member 200 is farther from the head body 110 in the Z direction, the width of the region Q in the Ya direction becomes wider and the width of the region P in the Ya direction becomes narrower. In particular, assuming that the COF substrate 98 is arranged close to the side surface on the Ya2 side of the connection port 43, the width of the region P in the Ya direction is set to be constant from the COF substrate 98 in the Ya direction. Narrower. Therefore, when the side where the COF substrate 98 is close to the side surface of the connection port 43 in the Ya direction (for example, the Ya2 side) and the side where the COF substrate 98 is inclined in the Ya direction (for example, the Ya2 side) coincide with each other. The degree of freedom of disposing the second flow path 242 in the region P is low, and the disposition of the second flow path 242 becomes very difficult. However, in the present embodiment, by forming the second branch flow path 262 in the region Q, the degree of freedom in arrangement of the second branch flow path 262 is increased, and the flow path member 200 is downsized in the Ya direction. . In addition, the side where the COF substrate 98 is close to the side surface of the connection port 43 in the Ya direction (for example, the Ya1 side) and the side where the COF substrate 98 is inclined in the Ya direction (for example, the Ya2 side) are not matched. The degree of freedom of arrangement of the branch flow path 260 on the side where the COF substrate 98 is close to the side surface of the connection port 43 in the Ya direction is increased, and the size of the flow path member 200 in the Ya direction is reduced.

一方、仮に、領域Qに第1流路241を形成したとする。この場合、流路部材200は、ヘッド本体110からZ方向に遠いほど、領域QのYa方向における幅は広くなるものの、Z方向においてヘッド本体110に近い側に第1流路241を形成することになるので、Ya方向に拡幅した領域Qを十分に活用できない。特に、本実施形態のように、液体噴射面20aの面方向における形状を小型化するために、第1交差流路251a及び第2交差流路252aや、第1交差流路251b及び第2交差流路252bを、Z方向における位置を変えてZ方向に重ねて配置することを前提とすると、第1分岐流路261及び第2分岐流路262の両方を領域Qに形成する場合は、第2分岐流路262を領域Qに形成し、かつ、第1分岐流路261を領域Pに形成する場合に比べて自由度は高くない。しかしながら、本実施形態では、第1分岐流路261を領域Pに形成することで、第1分岐流路261の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。また、Z方向に重ねて配置される第1交差流路251及び第2交差流路252について、それぞれの第1分岐流路261及び第2分岐流路262をZ方向に重ねて配置しないことで、第1分岐流路261及び第2分岐流路262の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。   On the other hand, it is assumed that the first flow path 241 is formed in the region Q. In this case, the flow path member 200 forms the first flow path 241 on the side closer to the head body 110 in the Z direction, although the width in the Ya direction of the region Q becomes wider as the distance from the head body 110 in the Z direction. Therefore, the region Q widened in the Ya direction cannot be fully utilized. In particular, as in the present embodiment, in order to reduce the shape of the liquid ejection surface 20a in the surface direction, the first cross flow channel 251a and the second cross flow channel 252a, the first cross flow channel 251b, and the second cross flow are used. Assuming that the flow path 252b is arranged in the Z direction by changing the position in the Z direction, when both the first branch flow path 261 and the second branch flow path 262 are formed in the region Q, Compared with the case where the two-branch channel 262 is formed in the region Q and the first branch channel 261 is formed in the region P, the degree of freedom is not high. However, in this embodiment, by forming the first branch channel 261 in the region P, the degree of freedom of arrangement of the first branch channel 261 is increased, and the channel member 200 is downsized in the Ya direction. . Further, by not overlapping the first branch flow path 261 and the second branch flow path 262 in the Z direction with respect to the first cross flow path 251 and the second cross flow path 252 arranged in the Z direction. The degree of freedom of arrangement of the first branch channel 261 and the second branch channel 262 is increased, and the channel member 200 is downsized in the Ya direction.

また、上述したように、本実施形態に係るCOF基板98は、上側端部98dの面方向(Xa方向)の幅が下側端部98c(図16参照)の面方向の幅よりも狭い。そして、COF基板98にあわせて開口部201が形成されている。したがって、COF基板98の上側端部98dが面方向に狭くなっている分、流路部材200には第2開口216の面方向の両外側に第2流路242を形成可能な領域Wが形成されている。   Further, as described above, in the COF substrate 98 according to the present embodiment, the width in the surface direction (Xa direction) of the upper end portion 98d is narrower than the width in the surface direction of the lower end portion 98c (see FIG. 16). An opening 201 is formed in accordance with the COF substrate 98. Therefore, the area W where the second flow path 242 can be formed is formed in the flow path member 200 on both outer sides of the second opening 216 in the surface direction because the upper end 98d of the COF substrate 98 is narrowed in the plane direction. Has been.

本実施形態では、第2流路242の第2交差流路252や第2分岐流路262は、第1流路部材210と第2流路部材220とに形成されている。したがって、第1流路部材210と第2流路部材220とにおいて、開口部215、225のXa方向の外側部分が領域Wとなる(図16参照)。本実施形態では、第1交差流路251と第2交差流路252とが、Z方向に重なるように配置されている(図14,図15参照)。この場合に、第1交差流路251と第2交差流路252とをそれぞれZ方向へ液体噴射面20aに射影した場合に、それぞれの像が完全に一致しなくてもよく、互いの像の一部が重なるような配置であってもよく、さらに、第2交差流路252の像の少なくとも一部が第1交差流路251の像よりも、X方向において第1交差流路251の像の内側にあってもよい。すなわち、第2流路242aの第2交差流路252aが領域Wを通るように形成されていてもよい。なお、第2交差流路252aに限らず、第2交差流路252bや第2分岐流路262が領域Wを通るように形成してもよい。これらの場合、例えば第2交差流路252や第2分岐流路262が、Z方向から見た場合に、COF基板98の一端部である下側端部98cと干渉する位置に設けられていたとしても、Z方向において第2交差流路252や第2分岐流路262が設けられた位置ではCOF基板98との干渉を避けることができる。   In the present embodiment, the second cross channel 252 and the second branch channel 262 of the second channel 242 are formed in the first channel member 210 and the second channel member 220. Accordingly, in the first flow path member 210 and the second flow path member 220, the outer portions of the openings 215 and 225 in the Xa direction are regions W (see FIG. 16). In the present embodiment, the first intersecting channel 251 and the second intersecting channel 252 are arranged so as to overlap in the Z direction (see FIGS. 14 and 15). In this case, when the first intersecting flow path 251 and the second intersecting flow path 252 are respectively projected onto the liquid ejection surface 20a in the Z direction, the images do not have to completely match each other. The arrangement may be such that part of them overlaps, and further, at least part of the image of the second cross flow channel 252 is an image of the first cross flow channel 251 in the X direction rather than the image of the first cross flow channel 251. May be inside. That is, the second intersecting flow path 252a of the second flow path 242a may be formed so as to pass through the region W. In addition, you may form not only the 2nd cross flow path 252a but the 2nd cross flow path 252b and the 2nd branch flow path 262 so that the area | region W may be passed. In these cases, for example, the second cross flow channel 252 and the second branch flow channel 262 are provided at positions that interfere with the lower end portion 98c that is one end portion of the COF substrate 98 when viewed from the Z direction. Even in the Z direction, interference with the COF substrate 98 can be avoided at the position where the second intersecting flow path 252 and the second branch flow path 262 are provided.

このように、下側端部98cよりも上側端部98dが狭いCOF基板98を形成し、COF基板98にあわせて開口部201を設けることで、Xa方向においてCOF基板98の外側に第2流路242aを形成する領域Wを設けることができる。第2流路242bについても同様である。これにより、より一層、流路部材200に第2流路242を配置する自由度が向上する。   As described above, the COF substrate 98 whose upper end portion 98d is narrower than the lower end portion 98c is formed, and the opening 201 is provided in accordance with the COF substrate 98, whereby the second flow is formed outside the COF substrate 98 in the Xa direction. A region W for forming the path 242a can be provided. The same applies to the second flow path 242b. Thereby, the freedom degree which arrange | positions the 2nd flow path 242 in the flow path member 200 further improves.

また、図17(a)に示すように、流路部材200の開口部201には、駆動回路97が設けられたCOF基板98が挿通されている。本実施形態では、COF基板98の第2面98b側に駆動回路97が設けられている。   As shown in FIG. 17A, a COF substrate 98 provided with a drive circuit 97 is inserted into the opening 201 of the flow path member 200. In the present embodiment, a drive circuit 97 is provided on the second surface 98 b side of the COF substrate 98.

ここで、駆動回路97が開口部201の内面に接触する虞がある。そこで、駆動回路97と開口部201の内面との接触を避けるべく、開口部201のYa方向の幅は駆動回路97の厚さの分だけ広くなっている。開口部201のYa方向の幅を拡幅することにより、駆動回路97と開口部201の内面との接触を効果的に抑制することができる。また、このとき、駆動回路97は、Z方向において、第2流路部材220の第2開口部225と、第3流路部材230の第3開口部235に収容される位置に配置され、第1流路部材210の第1開口部215に収容される位置に配置されていない。これにより、Ya方向において、第1開口部215の幅を、第2開口部225の幅や第3開口部235の幅よりも小さくすることができる。すなわち、Ya方向においてCOF基板98の外側に第2流路242を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材200に第2流路242を配置する自由度が向上する。   Here, there is a possibility that the drive circuit 97 contacts the inner surface of the opening 201. Therefore, in order to avoid contact between the drive circuit 97 and the inner surface of the opening 201, the width of the opening 201 in the Ya direction is increased by the thickness of the drive circuit 97. By widening the width of the opening 201 in the Ya direction, the contact between the drive circuit 97 and the inner surface of the opening 201 can be effectively suppressed. At this time, the drive circuit 97 is disposed at a position accommodated in the second opening 225 of the second flow path member 220 and the third opening 235 of the third flow path member 230 in the Z direction. The first flow path member 210 is not disposed at a position where it is accommodated in the first opening 215. Thereby, in the Ya direction, the width of the first opening 215 can be made smaller than the width of the second opening 225 and the width of the third opening 235. That is, a region for forming the second flow path 242 can be provided outside the COF substrate 98 in the Ya direction. Thereby, the freedom degree which arrange | positions the 2nd flow path 242 in the flow path member 200 further improves.

なお、仮に、駆動回路97を第1流路部材210の第1開口部215に収容される位置に配置すると、第1開口部215のYa方向の幅を小さくすることができない。そのため、流路部材200に第2流路242を配置する自由度を向上させることができない。   If the drive circuit 97 is disposed at a position accommodated in the first opening 215 of the first flow path member 210, the width of the first opening 215 in the Ya direction cannot be reduced. For this reason, the degree of freedom of disposing the second flow path 242 in the flow path member 200 cannot be improved.

一方、本実施形態に係る記録ヘッド100では、駆動回路97を、Z方向において第2開口部225と第3開口部235とに収容される位置に配置し、第1開口部215のYa方向の幅を小さくすることで、第2交差流路252や第2分岐流路262といった第2流路242を流路部材200に配置する自由度を向上させている。   On the other hand, in the recording head 100 according to the present embodiment, the drive circuit 97 is arranged at a position accommodated in the second opening 225 and the third opening 235 in the Z direction, and the Ya direction of the first opening 215 is arranged. By reducing the width, the degree of freedom of arranging the second flow path 242 such as the second cross flow path 252 and the second branch flow path 262 in the flow path member 200 is improved.

ここで、密な領域Pにおいてヘッド本体110に接続された第1流路241について説明する。密な領域Pでは、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられた第1分岐流路261が位置する。「密な領域Pで第1流路241がヘッド本体110に接続されている」とは、少なくとも第1流路241を構成する流路の一部が上述した領域Pに形成されてヘッド本体110の導入路44に接続されていることをいう。なお、本実施形態の第1分岐流路261は、本発明の第1面側において、液体噴射面に沿って設けられた流路に相当する。   Here, the first flow path 241 connected to the head body 110 in the dense region P will be described. In the dense region P, the first branch flow path 261 provided in a plane parallel to the liquid ejection surface 20a is located. “The first flow path 241 is connected to the head main body 110 in the dense area P” means that at least a part of the flow path constituting the first flow path 241 is formed in the above-described area P and the head main body 110. It is connected to the introduction path 44. In addition, the 1st branch flow path 261 of this embodiment is corresponded to the flow path provided along the liquid ejection surface in the 1st surface side of this invention.

密な領域Pでは、Ya方向の幅が縮小したため、第1分岐流路261を配置するのに十分な幅の領域Pが確保できない場合がある。しかしながら、本実施形態では、Z方向において、第1流路241を第2流路242よりもヘッド本体110側に配置している。   In the dense region P, since the width in the Ya direction is reduced, there may be a case where the region P having a sufficient width for arranging the first branch flow path 261 cannot be secured. However, in the present embodiment, the first flow path 241 is disposed closer to the head body 110 than the second flow path 242 in the Z direction.

これにより、COF基板98の傾斜により領域PのYa方向の幅が狭くなったとしても、それに影響されずに、第1流路241をヘッド本体110に接続することができる。   Thereby, even if the width of the region P in the Ya direction is narrowed due to the inclination of the COF substrate 98, the first flow path 241 can be connected to the head main body 110 without being affected by the width.

〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
<Other embodiments>
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above.

例えば、実施形態1に係る記録ヘッド100の各ヘッド本体110は、ノズル列a及びノズル列bがXa方向に沿い、かつ、ノズル列a及びノズル列bを搬送方向であるX方向に対して傾斜させる場合は、上述したようにX方向とXa方向とが0度より大きく90度未満で交差させればよいが、交差させない態様の記録ヘッド100も本発明に含む。あるいは、搬送方向であるX方向に対して、ノズル列の方向であるXa方向が垂直になるようにヘッド本体110を備えた記録ヘッドを構成してもよい。この場合、Xa方向はY方向に一致し、Ya方向はX方向に一致することになる。したがって、実施形態1に係る記録ヘッド100では、Ya方向に小型化されたが、Ya方向をX方向に一致させた態様の記録ヘッド100では、Ya方向に一致するX方向、すなわち記録シートSの搬送方向に小型化できることになる。   For example, each head body 110 of the recording head 100 according to the first embodiment has the nozzle row a and the nozzle row b along the Xa direction, and the nozzle row a and the nozzle row b are inclined with respect to the X direction that is the transport direction. In this case, as described above, the X direction and the Xa direction may be crossed at an angle greater than 0 degree and less than 90 degrees. Alternatively, the recording head including the head body 110 may be configured such that the Xa direction that is the direction of the nozzle row is perpendicular to the X direction that is the transport direction. In this case, the Xa direction coincides with the Y direction, and the Ya direction coincides with the X direction. Therefore, in the recording head 100 according to the first embodiment, the size is reduced in the Ya direction. However, in the recording head 100 in which the Ya direction matches the X direction, the X direction corresponding to the Ya direction, that is, the recording sheet S The size can be reduced in the conveying direction.

他に、実施形態1に係る記録ヘッド100は、第1流路241及び第2流路242を有し、それぞれがZ方向に異なる位置で第1交差流路251及び第2交差流路252を有していたが、このような態様に限定されない。例えば、液体噴射面20aに平行な流路は同一平面にのみ設けられた流路部材を備えた記録ヘッドであってもよい。例えば、上述した実施形態であれば、第1流路部材210及び第2流路部材220を備えた流路部材に第2流路のみを設けた記録ヘッドであってもよい。このように、第1流路241と第2流路242とのいずれかを設けない記録ヘッドであれば、記録ヘッド100をZ方向に小型化することができる。   In addition, the recording head 100 according to the first embodiment includes the first flow path 241 and the second flow path 242, and the first cross flow path 251 and the second cross flow path 252 are respectively located at different positions in the Z direction. Although it had, it is not limited to such an aspect. For example, the recording head provided with the flow path member provided only on the same plane may be used as the flow path parallel to the liquid ejection surface 20a. For example, in the embodiment described above, a recording head in which only the second flow path is provided in the flow path member including the first flow path member 210 and the second flow path member 220 may be used. As described above, if the recording head does not include either the first flow path 241 or the second flow path 242, the recording head 100 can be reduced in size in the Z direction.

また、実施形態1に係る記録ヘッド100では、第1流路241a,第1流路241b、第2流路242a、第2流路242bに対して、それぞれ導入路44c、44d、44a、44bが接続されていたが、このような態様に限定されない。例えば、第1流路241a、第1流路241bに対して、それぞれ導入路44c、44bが接続され、第2流路242a、242bに対して、それぞれ導入路44a、44dが接続されてもよい。また、この場合に、上述のように第2流路のみを有し、第1流路を有さない記録ヘッドであってもよい。ヘッド本体110の配置などに応じた最適な流路を構成することができる。   In the recording head 100 according to the first embodiment, the introduction paths 44c, 44d, 44a, and 44b are provided for the first flow path 241a, the first flow path 241b, the second flow path 242a, and the second flow path 242b, respectively. Although connected, it is not limited to such a mode. For example, the introduction paths 44c and 44b may be connected to the first flow path 241a and the first flow path 241b, respectively, and the introduction paths 44a and 44d may be connected to the second flow paths 242a and 242b, respectively. . In this case, the recording head may have only the second flow path and does not have the first flow path as described above. An optimum flow path can be configured according to the arrangement of the head body 110 and the like.

また、第1流路部材210及び第2流路部材220を接着して第2流路242を形成し、第2流路部材220及び第3流路部材230を接着して第1流路241を形成したが、第1流路241及び第2流路242を形成する方法はこれらに限られない。例えば、三次元造型が可能な積層造形法により、2つ以上の流路部材を接着することなく一体的に造形してもよい。あるいは、個々の流路部材を三次元造型、金型成形(射出成形等)、切削加工、プレス加工により形成してもよい。   Further, the first flow path member 210 and the second flow path member 220 are bonded to form the second flow path 242, and the second flow path member 220 and the third flow path member 230 are bonded to each other to form the first flow path 241. However, the method of forming the first channel 241 and the second channel 242 is not limited to these. For example, two or more flow path members may be integrally modeled by an additive manufacturing method that enables three-dimensional molding. Alternatively, the individual flow path members may be formed by three-dimensional molding, die molding (injection molding, etc.), cutting, or pressing.

また、流路部材200には、第1流路241として2つの第1流路241a及び第1流路241bを有していたが、2つに限定されず、1本又は3本以上であってもよい。第2流路242についても同様である。   In addition, the flow path member 200 has two first flow paths 241a and 241b as the first flow paths 241, but the number is not limited to two, but one or three or more. May be. The same applies to the second flow path 242.

第1交差流路251aは6つの第1分岐流路261aに分岐していたがこれに限定されず、分岐せずに一つのヘッド本体110に接続されていてもよいし、分岐する数も6つに限定されず2つ以上の複数に分岐してもよい。第1交差流路251b、第2交差流路252a及び第2交差流路252bについても同様である。また、第1面98a側に傾斜させるCOF基板98の数も6つに限定されず、一部のCOF基板98のみを傾斜させてもよい。   The first cross channel 251a is branched into six first branch channels 261a, but is not limited to this, and may be connected to one head body 110 without branching, and the number of branches may be six. It is not limited to one and may be branched into two or more. The same applies to the first cross channel 251b, the second cross channel 252a, and the second cross channel 252b. Further, the number of the COF substrates 98 inclined toward the first surface 98a is not limited to six, and only some of the COF substrates 98 may be inclined.

また、第1交差流路251aは、第2流路部材220と第3流路部材230との間で水平にインクを流通させる流路としたがこのような態様に限定されない。すなわち、Z平面に対して傾斜した流路としてもよい。第1交差流路251b、第2交差流路252a及び第2交差流路252bについても同様である。   Moreover, although the 1st cross flow path 251a was made into the flow path which distribute | circulates ink horizontally between the 2nd flow path member 220 and the 3rd flow path member 230, it is not limited to such an aspect. That is, the channel may be inclined with respect to the Z plane. The same applies to the first cross channel 251b, the second cross channel 252a, and the second cross channel 252b.

さらに、第1垂直流路271aは液体噴射面20aに対して垂直に形成されていたがこのような態様に限定されない。すなわち、液体噴射面20aに対して傾斜していてもよい。第1垂直流路271b、第2垂直流路272a及び第2垂直流路272bについても同様である。   Further, although the first vertical flow path 271a is formed perpendicular to the liquid ejection surface 20a, the present invention is not limited to such a mode. That is, you may incline with respect to the liquid ejection surface 20a. The same applies to the first vertical channel 271b, the second vertical channel 272a, and the second vertical channel 272b.

流路部材200に形成された開口部201の第2開口216は、第1開口236よりもXa方向の幅が狭くなっている必要はない。第2開口216と第1開口236のXa方向の幅をほぼ等しくし、長方形状のCOF基板98が収容されるような開口部であってもよい。また、逆に、第2開口216は、第1開口236よりもXa方向の幅が広くなっていてもよい。   The second opening 216 of the opening 201 formed in the flow path member 200 does not have to be narrower in the Xa direction than the first opening 236. The opening may be such that the width of the second opening 216 and the first opening 236 in the Xa direction are substantially equal and the rectangular COF substrate 98 is accommodated. Conversely, the second opening 216 may be wider in the Xa direction than the first opening 236.

また、フレキシブル配線基板としてCOF基板98を備えていたが、フレキシブルプリント基板(FPC)であってもよい。また、COF基板98が接続口43のYa1側の側面に寄せて配置されていなくても、COF基板98とリード電極90との電気的な接続が行われていればよい。   Further, although the COF substrate 98 is provided as a flexible wiring substrate, a flexible printed circuit board (FPC) may be used. Even if the COF substrate 98 is not arranged close to the side surface of the connection port 43 on the Ya1 side, the COF substrate 98 and the lead electrode 90 need only be electrically connected.

また、実施形態1では、保持部材120と流路部材200とを接着剤などにより固定したが、一体化してもよい。すなわち、流路部材200のZ1側に保持部121と足部122とを設けてもよい。これにより、保持部材120をZ方向に積層しない分だけZ方向に小型化できる。また、保持部121が流路部材200に設けられることにより、流路部材200が複数のヘッド本体110を収容できればよく、中継基板140を収容しなくてもよいので、XY方向にも小型化できる。さらに、複数の部材を一体化することで、部品点数を減らすことができる。なお、流路部材200を第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230により構成する場合には、第3流路部材230のZ1側に保持部121と足部122とを設ければよい。   In Embodiment 1, the holding member 120 and the flow path member 200 are fixed with an adhesive or the like, but may be integrated. That is, the holding part 121 and the foot part 122 may be provided on the Z1 side of the flow path member 200. Thereby, the holding member 120 can be reduced in size in the Z direction by the amount not stacked in the Z direction. Further, since the holding member 121 is provided in the flow path member 200, the flow path member 200 only needs to accommodate the plurality of head main bodies 110 and does not need to accommodate the relay substrate 140. Therefore, the size can be reduced in the XY directions. . Furthermore, the number of parts can be reduced by integrating a plurality of members. In the case where the flow path member 200 is constituted by the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230, the holding portion 121 and the foot portion on the Z1 side of the third flow path member 230. 122 may be provided.

また、実施形態1では、ヘッド本体110をY方向に併設して、複数のヘッド本体110により記録ヘッド100を構成したが、1つのヘッド本体110により記録ヘッド100を構成してもよい。また、ヘッドユニット101に含まれる記録ヘッド100の個数についても特に限定はなく、2個以上を搭載してあってもよいし、一つの記録ヘッド100を単体でインクジェット式記録装置1に搭載してもよい。   In the first embodiment, the head main body 110 is provided in the Y direction, and the recording head 100 is configured by the plurality of head main bodies 110. However, the recording head 100 may be configured by one head main body 110. Further, the number of recording heads 100 included in the head unit 101 is not particularly limited, and two or more recording heads 100 may be mounted, or one recording head 100 may be mounted on the ink jet recording apparatus 1 as a single unit. Also good.

なお、上述したインクジェット式記録装置1では、ヘッドユニット101が固定されて記録シートSを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン型記録装置であるが、特にこれに限定されず、ヘッドユニット101や1つ又は複数の記録ヘッド100をキャリッジに搭載して、当該ヘッドユニット101又は記録ヘッド100を記録シートSの搬送方向と交差する主走査方向に移動させると共に、記録シートSを搬送して印刷を行う所謂シリアル型記録装置にも本発明を適用することができる。   The above-described ink jet recording apparatus 1 is a so-called line-type recording apparatus that performs printing only by transporting the recording sheet S with the head unit 101 fixed, but is not particularly limited thereto. One or a plurality of recording heads 100 are mounted on the carriage, the head unit 101 or the recording head 100 is moved in the main scanning direction intersecting the recording sheet S conveyance direction, and the recording sheet S is conveyed for printing. The present invention can also be applied to a so-called serial type recording apparatus.

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッドユニット全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を具備する液体噴射ヘッドユニットにも適用することができる。   Furthermore, the present invention is intended for a wide range of liquid ejecting head units in general, for example, manufacturing of recording heads such as various ink jet recording heads used in image recording apparatuses such as printers, and color filters such as liquid crystal displays. Liquid material ejecting head units equipped with color material ejecting heads, organic EL displays, electrode material ejecting heads used for forming electrodes such as FEDs (field emission displays), bio-organic matter ejecting heads used for biochip manufacturing, etc. Can be applied.

また、本発明の配線基板は、液体噴射ヘッドに用いられる場合に限定されず、任意の電子回路等に適用することもできる。   Further, the wiring board of the present invention is not limited to the case where it is used for a liquid ejecting head, and can be applied to any electronic circuit or the like.

1 インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、43 接続口、 44a、44b、44c、44d 導入路、 97 駆動回路、 98 COF基板、 98a 第1面、 98b 第2面、 98c 下側端部、 98d 上側端部、 100 記録ヘッド、 101 ヘッドユニット、 110 ヘッド本体、 140 中継基板、 200 流路部材、 201 開口部、 210 第1流路部材、 216 第2開口、 220 第2流路部材、 230 第3流路部材、 236 第1開口、 240 流路、 241 第1流路、 242 第2流路、 251 第1交差流路、 252 第2交差流路、 261 第1分岐流路、 262 第2分岐流路、 271 第1垂直流路、 272 第2垂直流路、 281 第1導入流路、 282 第2導入流路、 291 第1接続部、 292 第2接続部、 300 圧電アクチュエーター   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inkjet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 43 connection port, 44a, 44b, 44c, 44d Introducing path, 97 drive circuit, 98 COF board | substrate, 98a 1st surface, 98b 2nd surface, 98c Lower end part, 98d Upper end, 100 recording head, 101 head unit, 110 head main body, 140 relay substrate, 200 flow path member, 201 opening, 210 first flow path member, 216 second opening, 220 second flow path member, 230 first 3 flow path member, 236 1st opening, 240 flow path, 241 1st flow path, 242 2nd flow path, 251 1st cross flow path, 252 2nd cross flow path, 261 1st branch flow path, 262 2nd Branch flow path, 271 first vertical flow path, 272 second vertical flow path, 281 first introduction flow path, 282 second introduction flow path, 91 first connecting portion, 292 a second connecting portion, 300 a piezoelectric actuator

上記課題を解決する本発明の態様は、噴射方向へ液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートと、前記ノズル開口と連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室内の容積を変化させる圧電体層と、前記圧電体層と電気的に接続されるフレキシブル配線基板と、前記流路形成基板に対して前記ノズルプレートが設けられている側とは反対側に設けられた流路部材であって、前記噴射方向に貫通し、前記フレキシブル配線基板が挿入される開口部が設けられた流路部材と、を備え、前記流路部材は、複数の前記ノズル開口と連通するとともに夫々が前記流路部材の長手方向に沿う第1、第2、第3及び第4交差流路を画定し、前記第1及び第2交差流路は、前記噴射方向に少なくとも一部が重なり、前記第3及び第4交差流路は、前記噴射方向に少なくとも一部が重なり、前記開口部は、前記長手方向と直交する方向において、前記第2交差流路と前記第4交差流路との間に配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
上記課題を解決する本発明の別の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記第1面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第1分岐流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第2分岐流路を有し、前記第1分岐流路は、前記第2分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近いことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第1面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第1面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第1面側の密な領域をP、第2面側の疎な領域をQとする。このように、流路をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第2面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。
さらに、領域Qにおいて、液体噴射面に垂直な方向においてヘッド本体に近い第1分岐流路を設ける場合に比べて、第2分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねて配置することができるので、液体噴射面内における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
ここで、前記第1流路は、前記第1面側において、前記第1分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第1垂直流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記第2分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第2垂直流路を有することが好ましい。これによれば、液体噴射面に垂直な方向から見た平面視において流路部材に占める第1垂直流路及び第2垂直流路の範囲は、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ傾斜して接続する流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ第1垂直流路及び第2垂直流路で接続することで、流路部材の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。
また、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第1面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第1分岐流路と、複数の前記第1分岐流路と接続された第1交差流路と、を有し、前記第2流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第2分岐流路と、複数の前記第2分岐流路と接続された第2交差流路と、を有し、前記第1交差流路と前記第2交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にあることが好ましい。これによれば、領域Pにおいて分岐流路を設ける場合に比べて、分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、交差流路が、フレキシブル配線基板の面方向において、互いにフレキシブル配線基板に対して反対側にあるので、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねずに配置することができ、液体噴射面に直交する方向における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
また、前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、前記第2流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されていることが好ましい。これによれば、フレキシブル配線基板の面方向(面に平行な方向)においてフレキシブル配線基板の外側に第2流路を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材に第2流路を配置する自由度が向上する。
また、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側に駆動回路が設けられていることが好ましい。これによれば、開口部の幅を第1面側に拡幅することで駆動回路が開口部の内面に接触することをより効果的に抑制することができ、駆動回路を保護することができる。そして、開口部の幅を第1面側に拡幅しても、上述した密な領域P側がさらに狭くなるだけであり、疎な領域Q側が狭くなることを避けることができる。
本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射装置が提供される。
上記課題を解決する本発明の他の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第1面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第1面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第1面側の密な領域をP、第2面側の疎な領域をQとする。このように、流路をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第2面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。
An aspect of the present invention that solves the above-described problems includes a nozzle plate provided with a nozzle opening for ejecting liquid in the ejection direction, a flow path forming substrate provided with a pressure generation chamber communicating with the nozzle opening, and the pressure generation. A piezoelectric layer that changes the volume of the room, a flexible wiring board that is electrically connected to the piezoelectric layer, and a side opposite to the side where the nozzle plate is provided with respect to the flow path forming board A flow path member that is provided with an opening through which the flexible wiring board is inserted, the flow path member including a plurality of nozzle openings. The first and second, third, and fourth intersecting channels are defined in communication with each other along the longitudinal direction of the channel member, and the first and second intersecting channels are at least partially in the ejection direction. And the third and The four intersecting channels are at least partially overlapped in the ejection direction, and the opening is disposed between the second intersecting channel and the fourth intersecting channel in a direction orthogonal to the longitudinal direction. In the liquid ejecting head, the liquid ejecting head is provided.
Another aspect of the present invention that solves the above problems includes a plurality of head bodies having a liquid ejecting surface on which liquid is ejected, a flexible wiring board connected to each head body, and supplying liquid to each head body. And a flow path member provided with a flow path, wherein the flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board is connected to the head body with the flow path member. Extending between the head body and the flow path member, and is inclined to the first surface side of both surfaces of the flexible wiring board, and the flow path is formed on both surfaces of the flexible wiring board. The second surface side has a portion provided along the liquid ejection surface, and the head body is connected to a first flow path and a second flow path, and the first flow path is On the first surface side A first branch flow path provided along the liquid ejection surface, and the second flow path includes a second branch flow path provided along the liquid ejection surface on the second surface side. And the first branch channel is closer to the head body in a direction perpendicular to the liquid ejection surface than the second branch channel.
In such an aspect, by inclining the flexible wiring board to the first surface side, the opening of the flow path member can also be moved to the first surface side, so that the flow path of the flow path member can be densely formed in the region that can be formed. Can be provided. A dense region on the first surface side than the opening of the flow path member is P, and a sparse region on the second surface side is Q. Thus, since the flow path can be arranged in a wider area Q, it is easy to configure an optimal flow path according to the arrangement of the head body. In particular, when providing a flow path along the liquid ejection surface, it is possible to prevent the flow path from interfering with the flexible wiring board. Further, in order to prevent interference with the flexible wiring board, the width of the liquid ejecting head in the direction is reduced compared with the case where the flow path member along the liquid ejecting surface is moved to the second surface side to widen the flow path member. Can be
Furthermore, in the region Q, the second branch channel can be formed in the channel member with a higher degree of freedom as compared to the case where the first branch channel close to the head body is provided in the direction perpendicular to the liquid ejection surface. . In addition, since the plurality of flow paths can be arranged in a direction perpendicular to the liquid ejecting surface, the shape of the liquid ejecting head in the liquid ejecting surface can be reduced in size.
Here, the first flow path has a first vertical flow path that connects the first branch flow path and the head main body along the direction perpendicular to the liquid ejection surface on the first surface side. The second flow path preferably has a second vertical flow path that connects the second branch flow path and the head main body along the direction perpendicular to the liquid ejection surface on the second surface side. . According to this, the range of the 1st vertical flow path and the 2nd vertical flow path which occupies the flow path member in the planar view seen from the direction perpendicular to the liquid ejection surface is the first branch flow path and the second branch flow path. It is smaller than the range occupied by the flow paths connecting the head main body at an angle. That is, by connecting the first branch channel and the second branch channel and the head body with the first vertical channel and the second vertical channel, respectively, the size of the channel member in the plan view is reduced. It becomes possible.
A plurality of head bodies having a liquid ejection surface from which liquid is ejected; a flexible wiring board connected to each head body; and a channel member provided with a channel for supplying liquid to each head body The flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board extends to the flow path member side with respect to the head main body, and the head main body And the flow path member are inclined toward the first surface side of both surfaces of the flexible wiring substrate, and the flow channel is formed on the liquid ejection surface on the second surface side of the both surfaces of the flexible wiring substrate. A first flow path and a second flow path are connected to the head main body, and the first flow path is on the first surface side of the flexible wiring board. ,Previous A first branch channel provided in a direction parallel to the liquid ejection surface; and a first intersecting channel connected to the plurality of first branch channels, wherein the second channel is the flexible channel On the second surface side of the wiring board, there are a second branch channel provided in a direction parallel to the liquid ejection surface, and a second cross channel connected to the plurality of second branch channels. And it is preferable that the said 1st intersection flow path and the said 2nd intersection flow path exist on the opposite side with respect to the said flexible wiring board in the surface direction of the said flexible wiring board. According to this, compared with the case where the branch channel is provided in the region P, the branch channel can be formed in the channel member with a higher degree of freedom. Further, since the intersecting flow paths are on the opposite sides of the flexible wiring board in the plane direction of the flexible wiring board, the plurality of flow paths can be arranged without being overlapped in the direction perpendicular to the liquid ejection surface, The shape of the liquid ejecting head in the direction orthogonal to the liquid ejecting surface can be reduced.
Further, the flexible wiring board has one end near the head main body in the direction perpendicular to the liquid ejecting surface and the other end far from the head main body, and the other end is more than the one end. It is preferable that a width of the flexible wiring board is narrow in the surface direction, and the second flow path is formed in the flow path member so as to pass a region outside the surface direction of the other end. According to this, the area | region which forms a 2nd flow path can be provided in the outer side of a flexible wiring board in the surface direction (direction parallel to a surface) of a flexible wiring board. Thereby, the freedom degree which arrange | positions a 2nd flow path in a flow path member further improves.
Further, it is preferable that a drive circuit is provided on the second surface side of the flexible wiring board. According to this, it can suppress more effectively that a drive circuit contacts the inner surface of an opening part by expanding the width | variety of an opening part to the 1st surface side, and can protect a drive circuit. And even if the width of the opening is widened to the first surface side, only the above-described dense region P side is further narrowed, and it is possible to avoid the sparse region Q side from becoming narrow.
According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head.
In this aspect, there is provided a liquid ejecting apparatus including a flow path member that can be downsized and can secure a larger region where the liquid flow path can be disposed.
According to another aspect of the present invention for solving the above-described problems, a plurality of head main bodies each having a liquid ejecting surface on which liquid is ejected, a flexible wiring substrate connected to each head main body, and a liquid supplied to each head main body And a flow path member provided with a flow path, wherein the flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board is connected to the head body with the flow path member. Extending between the head body and the flow path member, and is inclined to the first surface side of both surfaces of the flexible wiring board, and the flow path is formed on both surfaces of the flexible wiring board. The liquid ejecting head includes a portion provided along the liquid ejecting surface on the second surface side.
In such an aspect, by inclining the flexible wiring board to the first surface side, the opening of the flow path member can also be moved to the first surface side, so that the flow path of the flow path member can be densely formed in the region that can be formed. Can be provided. A dense region on the first surface side than the opening of the flow path member is P, and a sparse region on the second surface side is Q. Thus, since the flow path can be arranged in a wider area Q, it is easy to configure an optimal flow path according to the arrangement of the head body. In particular, when providing a flow path along the liquid ejection surface, it is possible to prevent the flow path from interfering with the flexible wiring board. Further, in order to prevent interference with the flexible wiring board, the width of the liquid ejecting head in the direction is reduced compared with the case where the flow path member along the liquid ejecting surface is moved to the second surface side to widen the flow path member. Can be

Claims (6)

液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、
前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、
前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、
前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、
前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、
前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、
前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、
前記第1流路は、前記第1面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第1分岐流路を有し、
前記第2流路は、前記第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第2分岐流路を有し、
前記第1分岐流路は、前記第2分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近い
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
A plurality of head bodies having a liquid ejection surface from which liquid is ejected;
A flexible wiring board connected to each head body;
A flow path member provided with a flow path for supplying a liquid for each head body,
The flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted,
The flexible wiring board extends to the flow path member side with respect to the head main body, and on the first surface side of both surfaces of the flexible wiring board between the head main body and the flow path member. Tilted,
The flow path has a portion provided along the liquid ejection surface on the second surface side of both surfaces of the flexible wiring board,
A first flow path and a second flow path are connected to the head body,
The first flow path has a first branch flow path provided along the liquid ejection surface on the first surface side,
The second flow path has a second branch flow path provided along the liquid ejection surface on the second surface side,
The liquid ejecting head, wherein the first branch channel is closer to the head body in a direction perpendicular to the liquid ejecting surface than the second branch channel.
請求項1に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記第1流路は、前記第1面側において、前記第1分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第1垂直流路を有し、
前記第2流路は、前記第2面側において、前記第2分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第2垂直流路を有する
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
The liquid ejecting head according to claim 1,
The first flow path has, on the first surface side, a first vertical flow path that connects the first branch flow path and the head body and extends in a direction perpendicular to the liquid ejection surface,
The second flow path has, on the second surface side, a second vertical flow path that connects the second branch flow path and the head body and extends along a direction perpendicular to the liquid ejection surface. Liquid ejecting head.
液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、
前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、
前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、
前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、
前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、
前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、
前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、
前記第1流路は、
前記フレキシブル配線基板の前記第1面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第1分岐流路と、
複数の前記第1分岐流路と接続された第1交差流路と、を有し、
前記第2流路は、
前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第2分岐流路と、
複数の前記第2分岐流路と接続された第2交差流路と、を有し、
前記第1交差流路と前記第2交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にある
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
A plurality of head bodies having a liquid ejection surface from which liquid is ejected;
A flexible wiring board connected to each head body;
A flow path member provided with a flow path for supplying a liquid for each head body,
The flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted,
The flexible wiring board extends to the flow path member side with respect to the head main body, and on the first surface side of both surfaces of the flexible wiring board between the head main body and the flow path member. Tilted,
The flow path has a portion provided along the liquid ejection surface on the second surface side of both surfaces of the flexible wiring board,
A first flow path and a second flow path are connected to the head body,
The first flow path is
A first branch channel provided in a direction parallel to the liquid ejection surface on the first surface side of the flexible wiring board;
A first intersecting flow path connected to a plurality of the first branch flow paths,
The second flow path is
A second branch flow path provided in a direction parallel to the liquid ejection surface on the second surface side of the flexible wiring board;
A second intersecting flow path connected to a plurality of the second branch flow paths,
The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the first intersecting flow path and the second intersecting flow path are on opposite sides of the flexible wiring board in a surface direction of the flexible wiring board.
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、
前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、
前記第2流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
In the liquid jet head according to any one of claims 1 to 3,
The flexible wiring board has one end close to the head main body in the direction perpendicular to the liquid ejecting surface, and the other end far from the head main body,
The other end portion is formed to have a narrower width in the surface direction of the flexible wiring board than the one end portion,
The liquid jet head, wherein the second flow path is formed in the flow path member so as to pass through a region outside the surface direction of the other end.
請求項1〜請求項4の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記フレキシブル配線基板の前記第2面側に駆動回路が設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
In the liquid jet head according to any one of claims 1 to 4,
A drive circuit is provided on the second surface side of the flexible wiring board.
請求項1〜請求項5の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。   A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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